KR20210091943A - 반송 유닛 및 척킹 방법 - Google Patents

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조길현
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Abstract

본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과; 상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와; 상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고, 상기 그립 부재는, 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와; 상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함할 수 있다.

Description

반송 유닛 및 척킹 방법{Transferring unit and chucking method}
본 발명은 반송 유닛 및 척킹 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 웨이퍼 등이 수납된 용기를 이송하는 반송 유닛, 그리고 상기 반송 유닛이 용기를 척킹하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.
용기는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.
도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재(10)는 베이스 플레이트(12), 벨트(14), 가이드 레일(16), 그리고 그립퍼(18)를 포함한다. 베이스 플레이트(12)에는 가이드 레일(16)이 제공된다. 또한, 베이스 플레이트(12)는 벨트(16)와 결합되어 상하 방향으로 승강된다. 가이드 레일(16)은 그립퍼(18)의 수평 방향 이동을 가이드 할 수 있는 경로를 제공한다. 그립퍼(18)는 가이드 레일(16)의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다.
도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 용기(C)는 바디(CB)와 헤드(CH)를 포함한다. 바디(CB)는 대상물이 수납되는 수납 공간을 가진다. 헤드(CH)는 바디(CB)에 결합되고, 그립퍼(18)에 의해 그립되는 부분일 수 있다. 그립퍼(18)가 용기(C)의 헤드(CH)를 그립하는 경우, 그립퍼(18)는 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이에, 그립퍼(18)는 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입한다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입을 완료하면, 그립퍼(18)는 벨트(14)에 의해 위 방향으로 이동한다. 이때, 그립퍼(18)와 헤드(CH)의 하면은 충돌하게 된다. 이는, 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입시에 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하거나, 그립퍼(18)와 헤드(CH)가 서로 마찰되어 파티클이 발생되는 등의 문제 발생이 없도록 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 일정 간격 이격되어 상기 사이 공간으로 진입하기 때문이다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하게 되면, 진동이 발생한다. 발생된 진동은 용기(C)의 바디(CB)로 전달된다. 바디(CB)에 전달된 진동은 바디(CB) 내에서 파티클을 유발시킨다. 유발된 파티클은 대상물에 부착되어 대상물 처리의 불량을 야기한다.
본 발명은 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과; 상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와; 상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고, 상기 그립 부재는, 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와; 상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상기 그립퍼들의 이동 방향을 가이드 하는 수평 이동 레일을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립퍼는, 상하 방향으로 연장되고, 상기 수평 이동 레일과 결합되는 결합부와; 상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입 가능한 삽입부를 포함하고, 상기 롤러는, 상기 삽입부에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 결합부에는, 상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홈과 상기 돌출단은 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 롤러는, 상기 사이 공간의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하여 상기 용기를 반송시 상기 그립퍼들의 위치가 고정되도록 상기 그립 부재를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하기 위해 상기 그립퍼들이 수평 이동시 상기 롤러가 상기 헤드의 측면과 접촉되지 않도록 상기 그립퍼들을 승강시키도록 상기 승강 부재를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상부에서 바라볼 때, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 정위치 되었는지 여부를 감지하는 센서를 가지는 푸셔를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 푸셔는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드에 형성된 홀에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 복수의 상기 그립퍼들 중 어느 하나는 상기 헤드의 제1영역을 척킹하도록 설치되고, 복수의 상기 그립퍼들 중 다른 하나는 상기 헤드의 제2영역을 척킹하도록 설치되되, 상기 제2영역은, 상부에서 바라볼 때 상기 헤드의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다.
또한, 본 발명은 척킹 방법을 제공한다. 반송 유닛을 이용하여 상기 용기를 척킹하는 척킹 방법은, 상기 유닛이 상기 용기의 상부로 이동하는 제1이동 단계와; 상기 그립퍼, 그리고 상기 롤러가 상기 사이 공간에 삽입 가능한 위치로 이동되는 제1승강 단계와; 상기 그립퍼가 수평 이동하여 상기 롤러가 상기 헤드의 하면과 접촉되는 수평 이동 단계와; 상기 그립퍼가 상기 용기를 척킹한 상태로 상기 용기를 이동시키는 제2승강 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때, 상기 제1승강 단계에는, 상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 높도록 상기 그립퍼를 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 8은 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 13은 도 12의 제1이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 14, 그리고 도 15는 도 12의 제1승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 16, 그리고 도 17은 도 12의 수평 이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 18은 도 12의 제2승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 19는 도 12의 제2이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 실시 예의 물품 반송 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
이하에서는, 물품 반송 장치가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이하에서는 도 4 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치일 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.
도 4에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 5 내지 도 7을 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.
레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.
조향 레일(330)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)이 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 일부는 상부에서 바라볼 때 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다.
반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 휠(520, 530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그립 부재(600), 그리고 제어기를 포함할 수 있다.
바디(510)에는 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 휠(520, 530)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 바디(510)는 내부에 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)에 동력을 전달하여 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.
휠(520, 530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠(520, 530)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠(520, 530)은 주행 휠(520), 그리고 조향 휠(530)을 포함할 수 있다.
주행 휠(520)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.
조향 휠(530)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 바디(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠(520)이 회전하여 반송 유닛(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠(530)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠(530)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.
프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고 그립 부재(600)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 두 개의 바디(510)에 각각 결합될 수 있다.
슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 전방, 후방, 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 승강 부재(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 승강 부재(570)의 위치를 변경할 수 있다.
승강 부재(570)는 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 승강 부재(570)는 프레임(540) 및/또는 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 승강 부재(570)는 내부에 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 구동기는 그립 부재(600)와 연결된 벨트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. 그립 부재(600)의 구체적인 설명은 후술한다.
이하에서는, 주행 레일(310)을 주행하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 8과 도 9를 참조하면, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 일부는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 다른 일부는 직선 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)의 굴곡진 부분은 주행 레일(310)들의 교차 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)의 직선 부분은 주행 레일(310)의 주행 영역에 배치될 수 있다.
반송 유닛(500)이 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 서로 접촉되지 않는 위치로 이동된다. 즉, 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되지 않으므로, 반송 유닛(500)은 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하게 된다(도 8 참조). 그러나, 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우에도 조향 휠 (530)에 의해 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되지 않는다면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉될 수도 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 도 8의 조향 레일(330)의 좌측 면과 접촉될 수도 있다.
이와 달리, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되는 위치로 이동될 수 있다. 구체적으로, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 면과 접촉되도록 그 위치가 변경된다. 예컨대, 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향이 우측 방향인 경우, 우측 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 우측 면과 접촉되도록 조향 휠(530)의 위치가 변경된다(도 9 참조). 도 9에 도시된 예로 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경을 설명하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 기준으로 우측 주행 휠(520)는 주행 레일(310)과 계속하여 접촉된다. 그리고, 반송 유닛(500)의 좌측 주행 휠(520)는 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되면서 주행 레일(310)과 이격된다. 그리고, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경이 완료될 때까지 조향 레일(330)과 계속하여 접촉한다. 주행 방향 변경이 완료되면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)로부터 이격되고, 좌측 주행 휠(520)은 다시 주행 레일(310)과 접촉된다.
도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이고, 도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다. 도 10과 도 11을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 그립 부재(600)에 대하여 상세히 설명한다. 우선, 그립 부재(600)에 대하여 설명하기에 앞서, 그립 부재(600)가 척킹하는 용기(20)에 대하여 간략히 설명한다.
용기(20)는 내부에 물품을 수납할 수 있다. 용기(20)는 풉(FOUP)일 수 있다. 또한, 용기(20)에 수납되는 물품은 웨이퍼 등의 기판일 수 있다. 용기(20)는 하우징(21), 그리고 헤드(23)를 포함할 수 있다. 용기(20)는 물품이 수납되는 수납 공간을 가질 수 있다. 헤드(23)는 후술하는 그립 부재(600)에 의해 척킹 또는 언척킹 될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)에 결합될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다, 헤드(23)는 결합 부재(22)를 매개로 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다.
또한, 헤드(23)에는 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 홀(25)과, 후술하는 돌출단(656)이 삽입되는 홈(27)이 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심 영역에 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 원 형상을 가질 수 있다. 또한, 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)의 일부가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)는 헤드(23)의 측면에 형성될 수 있다. 홈(27)은 헤드(23)의 측면에서 상부에서 바라본 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 홈(27)은 상부에서 바라볼 때 헤드(23)의 측면에서 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 갈수록 그 폭이 점차 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)은 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)은 후술하는 돌출단(656)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)이 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가지는 경우, 돌출단(656)은 홈(27)에 삽입될 수 있도록 이와 동일 또는 유사한 삼각 형상을 가질 수 있다.
그립 부재(600)는 용기(20)를 척킹 또는 언척킹할 수 있다. 그립 부재(600)는 베이스 플레이트(610), 수평 이동 레일(620), 구동 부재(630), 푸셔(640), 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(610)는 판 형상을 가질 수 있다. 베이스 플레이트(610)는 승강 부재(570)의 벨트(572)와 결합될 수 있다. 승강 부재(570)의 벨트(572)가 감기거나 풀리면서, 베이스 플레이트(610)는 상하 방향으로 이동될 수 있다. 베이스 플레이트(610)에는 수평 이동 레일(620)이 제공될 수 있다.
수평 이동 레일(620)은 베이스 플레이트(610)의 상면에 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 후술하는 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 예컨대, 수평 이동 레일(620)은 그립퍼(650)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 복수로 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다.
구동 부재(630)는 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)에 동력을 전달하여 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)와 결합될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)에 제공될 수 있다. 즉, 구동 부재(630)가 동력을 발생시키면, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)을 따라 이동될 수 있다. 이에, 구동 부재(630)와 결합된 그립퍼(650)는 구동 부재(630)로부터 동력을 전달 받아 수평 이동 레일(620)이 가이드 하는 이동 방향을 따라 이동될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 구동 부재(630)들 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)들 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)는 모터일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 구동 부재(630)는 실린더, 솔레노이드 등 동력을 발생시키는 다양한 공지의 장치로 변형될 수 있다.
푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 베이스 플레이트(610)의 중심 영역에 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 그 중심이 베이스 플레이트(610)의 중심과 일치되도록 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 하부로 갈수록 그 직경이 점차 작아지는 상광하협의 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입될 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 그 일부가 삽입되어, 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 척킹이 용이하도록 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.
또한, 푸셔(640)에는 센서(미도시)가 제공될 수 있다. 푸셔(640)에 제공되는 센서는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 그립 부재(600)가 정위치 되었는지 여부를 감지할 수 있다. 또한, 푸셔(640)에 제공되는 센서는 접촉식 센서일 수 있다. 푸셔(640)가 헤드(23)에 접촉되면, 승강 부재(570)는 센서로부터 신호를 전달 받아, 그립 부재(600)의 하강을 중단할 수 있다.
그립퍼(650)는 용기(20)의 헤드(23)를 척킹할 수 있다. 그립퍼(650)는 절곡된 형상을 가질 수 있다. 그립퍼(650)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 그립퍼(650)는 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 어느 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 어느 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 다른 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 다른 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 일 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 타 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나와, 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상부에서 바라볼 때, 푸셔(640)를 기준으로 서로 대칭되는 형상을 가지고, 서로 대칭되는 위치에 설치될 수 있다. 즉, 복수의 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 제1영역을 척킹할 수 있도록 설치되고, 복수의 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 제1영역과 상이한 영역인 제2영역을 척킹할 수 있도록 설치될 수 있다. 여기서, 제2영역은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다.
그립퍼(650)는 결합부(652), 삽입부(654), 그리고 돌출단(656)을 포함할 수 있다.
결합부(652)는 상하 방향으로 연장될 수 있다. 결합부(652)는 구동 부재(630)를 매개로 수평 이동 레일(620)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 삽입부(654)는 결합부(652)로부터 수평 방향을 따라 연장될 수 있다. 삽입부(654)는 상술한 사이 공간(29)에 삽입될 수 있다. 삽입부(654) 일단의 상면은 하향 경사진 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 결합부(652)에 제공될 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)의 측면에 형성된 홈(27)에 삽입될 수 있다. 돌출단(656)은 홈(27)과 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)에 형성된 홈(27)에 삽입되어 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.
롤러(670)는 그립퍼(670)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 복수로 제공될 수 있다. 롤러(670)들은 각각 그립퍼(650)들 각각에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 진입할 수 있도록, 사이 공간(29)의 간격보다 작은 직경을 가질 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)가 사이 공간(29)에 삽입시, 헤드(23)의 하면과 접촉될 수 있다.
제어기(미도시)는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록 반송 유닛(300)을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록, 그립 부재(600) 및/또는 승강 부재(570)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하여, 용기(20)를 반송시 그립퍼(650)들의 위치가 고정되도록 그립 부재(600)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하기 위해, 그립퍼(650)들이 수평 이동시 롤러(670)가 헤드(23)의 측면과 접촉되지 않도록 그립퍼(650)들을 승강시키도록 승강 부재(570)를 제어할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법은, 제1이동 단계(S10), 제1승강 단계(S20), 수평 이동 단계(S30), 제2승강 단계(S40), 그리고 제2이동 단계(S50)를 포함할 수 있다.
제1이동 단계(S10)는 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동하는 단계이다(도 13 참조). 제1이동 단계(S10)에는 주행 휠(520) 및/또는 조향 휠(530)의 회전에 의해, 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 제1이동 단계(S10)에는 반송 유닛(300)이 반도체 공정 장치(100)의 로드 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 이와 달리, 제1이동 단계(S10)에는 용기(20)를 저장하는 스토퍼의 반입/반출 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수도 있다.
제1승강 단계(S20)는 그립 부재(600)가 하강하는 단계이다(도 14 참조). 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 그립 부재(600)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 벨트(572)를 풀러 그립 부재(600)의 베이스 플레이트(610)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 그립 부재(600)가 하강하여, 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 용기(21)의 상면의 사이 공간(29)에 삽입 가능한 위치로 이동될 수 있다. 승강 부재(570)는 그립퍼(650)가 수평 이동시, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과는 이격되되, 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 접촉되는 위치까지 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 하강시킬 수 있다.
예컨대, 도 15에 도시된 바와 같이, 롤러(670)의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인(L1)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인(L2)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 하부에 위치하는 가상의 직선을 제3라인(L3)으로 정의할 때, 제1승강 단계(S20)에는 제1라인(L1)이 헤드(23)의 하면보다는 높이가 낮고, 제2라인(L2)이 헤드(23)의 하면과 높이가 같거나 높도록 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다.
이 경우, 도 15와 도 16에 도시된 바와 같이, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 하우징(21)의 사이 공간(29)에 진입하더라도, 그립퍼(650)는 헤드(23)와 접촉되지 않는다. 이에, 그립퍼(650)가 사이 공간(29)에 진입시, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 마찰되는 문제, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 충돌하는 문제를 발생시키지 않는다. 또한, 롤러(670)가 헤드(23)와 접촉되더라도, 롤러(670)는 그립퍼(670)가 수평 이동하면서 회전하게 된다. 즉, 롤러(670)는 헤드(23)와 접촉된 상태에서 이동되더라도, 헤드(23)와 마찰되어 파티클을 발생시키거나, 헤드(23)와 충돌하여 그립퍼(650)의 이동이 제한되는 문제를 방지할 수 있다. 또한, 수평 이동 단계(S30)가 수행된 이후에는, 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태일 수 있다.
제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 이동시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)의 그립퍼(650)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 상승시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시키도록 구동 부재(630)를 제어할 수 있다. 제2승강 단계(S40)가 수행되기 이전, 수평 이동 단계(S30)에서 롤러(654)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태가 된다. 즉, 제2승강 단계(S40)가 수행되는 시점에는, 수평 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 이격되지 않고 서로 접촉된 상태이다. 이에, 제2승강 단계(S40)에서 그립 부재(600)가 용기(20)를 상승시키더라도, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과 충돌하는 문제를 방지할 수 있다. 이에, 하우징(21)이 가지는 수납 공간에서 파티클이 발생하는 문제를 방지할 수 있고, 나아가 발생된 파티클에 의해 수납 공간에 수납된 물품이 오염되는 것을 최소화 할 수 있다.
제2이동 단계(S50)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로, 반송 유닛(300)이 이동하는 단계이다. 제2이동 단계(S50)에는 반송 유닛(300)이 이동하여, 용기(20)를 반도체 제조 장치(100) 또는 스토커 등에 반송할 수 있다.
상술한 예에서는, 용기(20)가 풉(FOUP)이고, 물품이 웨이퍼 등의 기판인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 용기(20)는 파드(POD)일 수 있고, 물품은 레티클 등의 포토 마스크일 수도 있다.
상술한 예에서는, 물품 반송 장치(300, 500)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 장치(300, 500)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
물품 반송 장치 : 1000
레일 : 300
주행 레일 : 310
조향 레일 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
가이드 레일 : 512
주행 휠 : 520
조향 휠 : 530
승강 부재 : 570
그립 부재 : 600
베이스 플레이트 : 610
수평 이동 레일 : 620
구동 부재 : 630
그립퍼 : 650
롤러 : 670

Claims (13)

  1. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛에 있어서,
    구동기를 가지는 바디와;
    상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과;
    상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와;
    상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고,
    상기 그립 부재는,
    상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와;
    상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함하는 반송 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 그립 부재는,
    상기 그립퍼들의 이동 방향을 가이드 하는 수평 이동 레일을 포함하는 반송 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 그립퍼는,
    상하 방향으로 연장되고, 상기 수평 이동 레일과 결합되는 결합부와;
    상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입 가능한 삽입부를 포함하고,
    상기 롤러는,
    상기 삽입부에 회전 가능하게 결합되는 반송 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 결합부에는,
    상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단이 형성되는 반송 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 홈과 상기 돌출단은 서로 대응하는 형상을 가지는 반송 유닛.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 롤러는,
    상기 사이 공간의 직경보다 작은 직경을 가지는 반송 유닛.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유닛은,
    제어기를 더 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하여 상기 용기를 반송시 상기 그립퍼들의 위치가 고정되도록 상기 그립 부재를 제어하는 반송 유닛.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유닛은,
    제어기를 더 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하기 위해 상기 그립퍼들이 수평 이동시 상기 롤러가 상기 헤드의 측면과 접촉되지 않도록 상기 그립퍼들을 승강시키도록 상기 승강 부재를 제어하는 반송 유닛.
  9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그립 부재는,
    상부에서 바라볼 때, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 정위치 되었는지 여부를 감지하는 센서를 가지는 푸셔를 포함하는 반송 유닛.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 푸셔는,
    상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드에 형성된 홀에 일부가 삽입 가능한 형상을 가지는 반송 유닛.
  11. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 그립퍼들 중 어느 하나는 상기 헤드의 제1영역을 척킹하도록 설치되고,
    복수의 상기 그립퍼들 중 다른 하나는 상기 헤드의 제2영역을 척킹하도록 설치되되,
    상기 제2영역은,
    상부에서 바라볼 때 상기 헤드의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역인 반송 유닛.
  12. 제1항의 반송 유닛을 이용하여 상기 용기를 척킹하는 척킹 방법에 있어서,
    상기 유닛이 상기 용기의 상부로 이동하는 제1이동 단계와;
    상기 그립퍼, 그리고 상기 롤러가 상기 사이 공간에 삽입 가능한 위치로 이동되는 제1승강 단계와;
    상기 그립퍼가 수평 이동하여 상기 롤러가 상기 헤드의 하면과 접촉되는 수평 이동 단계와;
    상기 그립퍼가 상기 용기를 척킹한 상태로 상기 용기를 이동시키는 제2승강 단계를 포함하는 척킹 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고,
    상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때,
    상기 제1승강 단계에는,
    상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 높도록 상기 그립퍼를 이동시키는 척킹 방법.

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