KR20210072971A - 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조 - Google Patents

디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조 Download PDF

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Abstract

개시되는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조가 마스크 지지 프레임 부재와, 프레임 이동 안내 부재와, 프레임 회전 지지 부재를 포함함에 따라, 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 인출되고, 그러한 상태에서 상기 프레임 이동 안내 부재가 회전되고, 상기 프레임 이동 안내 부재의 회전된 상태가 상기 프레임 회전 지지 부재에 의해 지지되고, 그러한 상태에서 상기 마스크 지지 프레임 부재 상의 포토 마스크가 교환될 수 있게 되므로, 작업자가 정면에 상기 포토 마스크를 대면한 상태에서 상기 포토 마스크가 교환될 수 있게 되어, 상기 포토 마스크의 교환 작업이 간편해질 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조{Photomask changing structure of exposure for display panel}
본 발명은 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 관한 것이다.
유기발광다이오드(OLED) 등의 디스플레이 패널 제조 시에는, 노광기에서 포토 마스크를 이용하여 노광 공정이 수행되어져야 한다.
일반적으로 한 대의 노광기에서 다양한 패턴을 노광하게 되는데, 노광 패턴이 변경되는 경우에는 그 변경되는 노광 패턴에 대응되는 포토 마스크로 교환해주어야 한다.
이러한 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
그러나, 종래의 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 포토 마스크를 지지하는 프레임을 단방향으로 단순히 인출한 상태 그대로의 상태에서 상기 포토 마스크를 교환해주어야 하였고, 그에 따라 상기 포토 마스크의 교환이 불편한 단점이 있었다.
또한, 종래의 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 상기 포토 마스크가 상기 프레임에 견고하게 고정되지 못하여, 상기 프레임의 인출 등의 회동 시에 상기 포토 마스크가 그 요구되는 위치에 제대로 고정되어 있지 못하는 문제가 있었다.
또한, 종래의 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 상기 포토 마스크의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용되지 못하고, 상기 포토 마스크의 각 사이즈 별로 상기 프레임이 별도로 구비되어져야 하는 문제가 있었다.
등록특허 제 10-0457552호, 등록일자: 2004.11.08., 발명의 명칭: 평판 디스플레이용 수직형 노광기의 포토 마스크 자동교환방법 및 자동 교환장치
본 발명은 포토 마스크의 교환 작업이 간편해질 수 있는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 상기 포토 마스크를 고정시켜주는 마스크 지지 프레임 부재의 회동 시에, 상기 포토 마스크가 그 요구되는 위치에 견고하게 고정된 상태를 유지할 수 있음은 물론, 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 포토 마스크의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용되어질 수 있는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조는 포토 마스크가 놓여서 지지되는 마스크 지지 프레임 부재; 상기 포토 마스크가 노광 위치로부터 외부로 인출될 때, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 이동을 안내하는 프레임 이동 안내 부재; 및 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 방향에 대해 소정 각도로 회전될 수 있도록, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 회전을 지지하는 프레임 회전 지지 부재;를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 상기 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조가 마스크 지지 프레임 부재와, 프레임 이동 안내 부재와, 프레임 회전 지지 부재를 포함함에 따라, 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 인출되고, 그러한 상태에서 상기 프레임 이동 안내 부재가 회전되고, 상기 프레임 이동 안내 부재의 회전된 상태가 상기 프레임 회전 지지 부재에 의해 지지되고, 그러한 상태에서 상기 마스크 지지 프레임 부재 상의 포토 마스크가 교환될 수 있게 되므로, 작업자가 정면에 상기 포토 마스크를 대면한 상태에서 상기 포토 마스크가 교환될 수 있게 되어, 상기 포토 마스크의 교환 작업이 간편해질 수 있게 되는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 상기 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 상기 마스크 지지 프레임 부재가 위치 가변 가이드부를 더 포함함에 따라, 상기 포토 마스크가 노광 위치에 있을 때에는, 상기 위치 가변 가이드부가 상기 포토 마스크를 잠그게 되어, 상기 포토 마스크의 위치가 안정적으로 유지될 수 있으면서도, 상기 포토 마스크의 교환이 이루어지는 때에는, 상기 위치 가변 가이드부가 상기 포토 마스크를 잠금 해제하게 되어, 상기 포토 마스크가 걸림없이 교환될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 포토 마스크를 고정시켜주는 상기 마스크 지지 프레임 부재의 회동 시에, 상기 포토 마스크가 그 요구되는 위치에 견고하게 고정된 상태를 유지할 수 있음은 물론, 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 포토 마스크의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용되어질 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 노광 위치에 위치된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 외부로 인출된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 소정 각도로 회전된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 소정 각도로 회전된 모습을 타 측에서 비스듬히 내려다본 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재에서 포토 마스크가 제거된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 흡착 실링 부재의 구조를 보이는 단면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 노광 위치에 위치된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도.
도 9를 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 정자세 감지 부재를 정면에서 바라본 단면도.
도 10은 도 9의 정자세 감지 부재에 적용된 삽입홈부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 노광 위치에 위치된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 외부로 인출된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 소정 각도로 회전된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 소정 각도로 회전된 모습을 타 측에서 비스듬히 내려다본 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재에서 포토 마스크가 제거된 모습을 보이는 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 흡착 실링 부재의 구조를 보이는 단면도이다.
도 1 내지 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조(100)는 마스크 지지 프레임 부재(110)와, 프레임 이동 안내 부재(120)와, 프레임 회전 지지 부재(140)를 포함한다.
상기 마스크 지지 프레임 부재(110)는 포토 마스크(10)가 놓여서 지지되는 것으로서, 마스크 지지 프레임 본체(111)와, 마스크 흡착 홀(113)과, 이동 피안내체(112)를 포함한다.
상기 마스크 지지 프레임 본체(111)는 상기 포토 마스크(10)가 얹힐 수 있도록 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 것으로, 직사각형 플레이트 형태로 형성될 수 있다.
상기 마스크 흡착 홀(113)은 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 관통 형성되어, 외부로부터 걸리는 부압(negative pressure)에 의해 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 표면에 상기 포토 마스크(10)가 흡착되도록 하는 것으로, 상기 포토 마스크(10)가 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에 안정적으로 흡착될 수 있도록 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 상기 포토 마스크(10)의 형태에 대응되는 형태, 예를 들어 직사각형 형태로 형성될 수 있다.
상기 마스크 흡착 홀(113)은 외부의 진공 펌프(미도시)와 연결되어, 부압이 걸릴 수 있다.
본 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조(100)는 흡착 실링 부재(160)를 더 포함한다.
상기 흡착 실링 부재(160)는 상기 마스크 흡착 홀(113)을 통한 상기 포토 마스크(10)의 흡착이 원활하게 이루어질 수 있도록, 상기 마스크 흡착 홀(113)과 상기 포토 마스크(10) 사이에 부압이 형성될 수 있는 밀폐 공간을 형성하는 것으로, 흡착 외측 링(161)과, 흡착 내측 링(165)을 포함한다.
상기 흡착 외측 링(161)은 실리콘 고무 등 탄성 변형이 가능한 물질로 이루어지고, 상기 포토 마스크(10)의 전체 형태에 대응되는 형태로 형성되되, 상기 포토 마스크(10)에 비해 일정 비율, 예를 들어 10% 작은 크기로 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 폐루프 형태로 배치되고, 상기 마스크 흡착 홀(113)의 외곽 부분을 지나가도록 배치된다.
상기 흡착 외측 링(161)은 상기 마스크 흡착 홀(113)의 외곽 부분을 지나가는 직사각형 형태로 형성될 수 있다.
상기 흡착 내측 링(165)은 실리콘 고무 등 탄성 변형이 가능한 물질로 이루어지고, 상기 포토 마스크(10)의 전체 형태에 대응되는 형태로 형성되되, 상기 흡착 외측 링(161)에 비해 일정 비율, 예를 들어 10% 작은 크기로 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 폐루프 형태로 배치되고, 상기 마스크 흡착 홀(113)의 내곽 부분을 지나가도록 배치된다.
상기 흡착 내측 링(165)은 상기 마스크 흡착 홀(113)의 내곽 부분을 지나가는 직사각형 형태로 형성될 수 있다.
상세히, 상기 흡착 내측 링(165)은 직사각형 형태로 형성되는 내측 링 본체(166)와, 상기 내측 링 본체(166)의 각 모서리에 형성되되 상기 내측 링 본체(166)에 비해 상대적으로 상기 흡착 외측 링(161) 쪽으로 돌출된 원형 형태로 형성되는 내측 링 모서리체(167)를 포함한다.
상기 흡착 외측 링(161)의 모서리 부분과 상기 내측 링 모서리체(167) 사이의 공간 부분에 상기 마스크 흡착 홀(113)이 형성될 수 있다.
상기와 같이 구성되면, 상기 마스크 흡착 홀(113)의 외곽 쪽으로 상기 마스크 흡착 홀(113)과 이격되면서 상기 흡착 외측 링(161)이 둘러지고, 상기 마스크 흡착 홀(113)의 내부 쪽으로 상기 마스크 흡착 홀(113)과 이격되면서 상기 흡착 내측 링(166)이 둘러짐으로써, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111), 상기 흡착 외측 링(161), 상기 흡착 내측 링(165) 및 상기 포토 마스크(10)에 의한 밀폐 공간이 형성되고, 그에 따라 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 상기 포토 마스크(10)가 안정적으로 흡착될 수 있게 된다.
상기 흡착 외측 링(161)은 외측 링 삽입체(161a)와, 외측 링 연장체(161b)를 포함한다.
상기 외측 링 삽입체(161a)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 삽입되는 것으로, 직사각형 단면 형태로 형성된다.
상기 외측 링 연장체(161b)는 상기 외측 링 삽입체(161a)의 상단으로부터 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 상공 쪽으로 연장되되, 상기 흡착 내측 링(165)으로부터 점진적으로 멀어지는 방향으로 경사진 형태로 형성되고, 그 상부로 갈수록 점진적으로 좁아지는 테이퍼 단면 형태로 형성된다.
상기 흡착 내측 링(165)을 구성하는 상기 내측 링 본체(166)는 내측 링 삽입체(166a)와, 내측 링 연장체(166b)를 포함한다.
상기 내측 링 삽입체(166a)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 삽입되는 것으로, 직사각형 단면 형태로 형성된다.
상기 내측 링 연장체(166b)는 상기 내측 링 삽입체(166a)의 상단으로부터 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 상공 쪽으로 연장되되, 상기 흡착 외측 링(161)으로부터 점진적으로 멀어지는 방향으로 경사진 형태로 형성되고, 그 상부로 갈수록 점진적으로 좁아지는 테이퍼 단면 형태로 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 서로 이격되도록 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 각각 삽입된 상기 외측 링 삽입체(161a)와 상기 내측 링 삽입체(166a)로부터 각각 상기 외측 링 연장체(161b)와 상기 내측 링 연장체(166b)가 점진적으로 서로 멀어지도록 벌어진 형태로 형성되어, 상기 포토 마스크(10)에 대한 흡착 면적이 증대되어 안정적인 흡착이 이루어지면서도, 상기 외측 링 연장체(161b)와 상기 내측 링 연장체(166b)의 각 말단으로 갈수록 점진적으로 날카로워지는 형태로 형성되어, 상기 외측 링 연장체(161b)와 상기 내측 링 연장체(166b)가 상기 포토 마스크(10)와 접하면서 상대적으로 더 잘 탄성 변형되어 상기 포토 마스크(10)에 대한 흡착이 더욱 원활하게 이루어질 수 있게 된다.
여기서, 상기 흡착 내측 링(165)을 구성하는 상기 내측 링 본체(166)의 구조에 대해서만 설명되었으나, 이러한 구조는 상기 흡착 내측 링(165)을 구성하는 상기 내측 링 모서리체(167)에도 동일하게 적용된다.
상기 이동 피안내체(112)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 측면에 형성되어, 상기 프레임 이동 안내 부재(120)와 맞닿아 상기 프레임 이동 안내 부재(120)에 의해 이동 안내되는 것으로, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 측면에 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 비해 상대적으로 얇은 두께로 형성되되 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 측면을 따라 길게 형성된다.
상기 이동 피안내체(112)는 한 쌍으로 구비되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 각 측면에 각각 형성될 수 있다.
도면 번호 114는 프레임 손잡이로서, 작업자가 상기 프레임 손잡이(114)를 잡고 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)를 당겨 외부로 인출시키거나, 상기 마스크 지지 마스크 지지 프레임 본체(111)를 밀어 노광 위치로 인입시킬 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 위치 가변 가이드부(130)를 더 포함한다.
상기 위치 가변 가이드부(130)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 이동 가능하게 연결되고, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 얹힌 상기 포토 마스크(10)의 측면과 맞닿아, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에서 상기 포토 마스크(10)가 요구되는 위치에 고정되도록 지지해주는 것으로, 위치 가변 가이드체(131)와, 위치 가변 장공(132)과, 위치 가변 고정체(133)를 포함한다.
상기 위치 가변 가이드체(131)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에 이동 가능하게 접하되, 일정 길이로 긴 바아(bar) 형태로 형성되어, 상기 포토 마스크(10)의 측면에 접함으로써, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에서의 상기 포토 마스크(10)의 위치를 고정시켜주는 것이다.
상기 위치 가변 장공(132)은 상기 위치 가변 가이드체(131)에 형성되되, 상기 위치 가변 가이드체(131)의 이동 방향(상기 포토 마스크(10)와 접하도록 상기 포토 마스크(10)와 근접되거나, 상기 포토 마스크(10)로부터 이격되는 방향인 상기 포토 마스크(10)의 측면으로부터 수직으로 외부를 향하는 방향)으로 일정 길이로 길게 형성되는 것이다.
상기 위치 가변 고정체(133)는 볼트 형태로 형성되어, 상기 위치 가변 장공(132)을 관통하여, 상기 위치 가변 가이드체(131)를 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 고정시킬 수 있는 것이다.
상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에는 상기 위치 가변 고정체(133)의 나사산이 형성된 몸체가 삽입될 수 있도록 그 내면에 나사산이 형성된 관통홀(미도시)이 형성된다.
상기 위치 가변 고정체(133)가 작업자의 외력에 의해 일 방향으로 회전되어 풀린 상태에서는, 상기 위치 가변 고정체(133)가 상기 위치 가변 장공(132)을 관통한 상태로, 상기 위치 가변 가이드체(131)가 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에서 상기 포토 마스크(10)로 근접되거나 상기 포토 마스크(10)로부터 이격되도록 이동될 수 있고, 상기 위치 가변 고정체(133)가 작업자의 외력에 의해 타 방향으로 회전되어 잠긴 상태에서는, 상기 위치 가변 고정체(133)가 상기 위치 가변 장공(132)을 관통하면서 상기 위치 가변 가이드체(131)를 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 표면에 접하도록 눌러주게 되고, 그에 따라 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에서의 상기 위치 가변 가이드체(131)의 위치가 고정될 수 있게 되어, 상기 포토 마스크(10)에 접한 상기 위치 가변 가이드체(131)에 의해 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에서의 상기 포토 마스크(10)의 위치가 고정될 수 있게 된다.
상기 위치 가변 장공(132)은 상기 위치 가변 가이드체(131) 상에 서로 이격되도록 복수 개 형성되고, 상기 각 위치 가변 장공(132)에 상기 위치 가변 고정체(133)가 각각 하나씩 결합될 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 위치 가변 가이드부(130)는 한 쌍으로 구비되어, 상기 포토 마스크(10)의 각 측면에 맞닿게 된다.
상기 위치 가변 고정체(133)가 풀린 상태에서, 상기 포토 마스크(10)가 상기 마스크 지지 프레임 본체(111) 상에 올려지면, 상기 각 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)의 각 측면에 맞닿도록 이동될 수 있고, 상기와 같이 상기 각 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)의 각 측면에 맞닿도록 이동된 상태에서, 상기 위치 가변 고정체(133)가 잠겨짐으로써, 상기 위치 가변 가이드부(130)가 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에 위치 고정됨으로써, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)에서 상기 포토 마스크(10)가 요구되는 위치에 고정되도록 지지될 수 있게 된다.
상기 프레임 이동 안내 부재(120)는 상기 포토 마스크(10)가 노광 위치로부터 외부로 인출될 때, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 이동을 안내하는 것으로서, 프레임 이동 안내 몸체(121)와, 측면 이동 안내 롤러(123)와, 이동 안내체(122)와, 저면 이동 안내 롤러(124)를 포함한다.
상기 프레임 이동 안내 몸체(121)는 상기 이동 피안내체(112)의 외곽을 따라 일정 길이로 길게 배치되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 이동 방향을 안내하는 것이다.
상기 프레임 이동 안내 몸체(121)는 한 쌍으로 구성되어, 상기 이동 피안내체(112)의 각 측면 외곽에 각각 하나씩 배치된다.
상기 측면 이동 안내 롤러(123)는 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)에 회전 가능하게 연결되되, 상기 이동 피안내체(112)의 측면과 대면되도록 복수 개 배열되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 이동 시에 상기 이동 피안내체(112)의 측면과 접하면서 회전될 수 있는 것이다.
상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 이동 시에, 상기 이동 피안내체(112)의 각 측면이 상기 각 측면 이동 안내 롤러(123)에 순차적으로 접하면서 매끄럽게 이동될 수 있게 된다.
상기 이동 안내체(122)는 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)의 하부에서 돌출되되, 상기 이동 피안내체(112)의 저면을 따라 일정 길이로 길게 형성되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 이동 시에 상기 이동 피안내체(112)를 받쳐서 지지하는 것이다.
상기 저면 이동 안내 롤러(124)는 상기 이동 안내체(122)에 회전 가능하게 연결되되, 상기 이동 피안내체(112)의 저면과 대면되도록 복수 개 배열되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 이동 시에 상기 이동 피안내체(112)의 저면과 접하면서 회전될 수 있는 것이다.
상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 이동 시에, 상기 이동 피안내체(112)의 각 저면이 상기 각 저면 이동 안내 롤러(124)에 순차적으로 접하면서 매끄럽게 이동될 수 있게 된다.
상기 프레임 회전 지지 부재(140)는 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 이동된 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 이동된 방향에 대해 소정 각도로 회전될 수 있도록, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 회전을 지지하는 것으로서, 프레임 지지 몸체(141)와, 프레임 하부 받침체(142)와, 프레임 후면 받침체(143)를 포함한다.
상기 프레임 지지 몸체(141)는 상기 마스크 지지 프레임 본체(111)의 전면 말단부에 고정되는 것이다.
상기 프레임 하부 받침체(142)는 상기 프레임 지지 몸체(141)의 외측 말단부에 연결되어, 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 이동된 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 이동된 방향에 대해 소정 각도로 회전된 상태에서, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 하부를 받쳐서 지지해주는 것이다.
상기 프레임 후면 받침체(143)는 상기 프레임 하부 받침체(142)에 의해 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 하부가 지지된 상태에서, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 후면 중 일정 부분을 받쳐서 지지해주는 것이다.
상기 프레임 후면 받침체(143)는 상기 프레임 지지 몸체(141)에서 상기 프레임 하부 받침체(142)에 비해 상대적으로 더 높은 위치에 형성됨과 함께 상대적으로 더 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측에 배치됨으로써, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 비스듬하게 지지된 형태를 이루도록 한다.
작업자 등의 외력에 의해, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 인출된 상태에서, 작업자 등의 외력에 의해, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 소정 각도 회전되어 비스듬하게 세워지면, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 회전 지지 부재(140)에 의해 받쳐지게 되고, 그에 따라 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 회전된 상태가 고정된 상태에서, 작업자 등에 의해 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 상기 포토 마스크(10)의 교환 등의 작업이 수행될 수 있게 된다.
도면 번호 150은 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측으로 인입된 상태를 고정시켜 주는 프레임 고정 부재이다.
상기 프레임 고정 부재(150)는 프레임 고정 실린더(151)와, 고정 수단(153)을 포함한다.
상기 프레임 고정 실린더(151)는 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)의 말단부에 고정된 유압 실린더이다.
상기 고정 수단(153)은 상기 프레임 고정 실린더(151)의 피스톤(152) 말단에 연결되어 상기 피스톤(152)에 의해 밀리거나 당겨질 수 있고, 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)의 말단부에 회전 가능하게 연결된 것이다.
상기 프레임 고정 실린더(151)가 작동되어 상기 프레임 고정 실린더(151)로부터 상기 피스톤(152)이 인장되면, 상기 고정 수단(153)이 밀리면서 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)의 말단부를 회전축으로 하여 일 방향으로 회전되고, 그에 따라 상기 고정 수단(153)이 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측으로 인입된 상태의 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)를 집어, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 임의로 이탈되지 아니하도록 고정시켜준다.
상기 프레임 고정 실린더(151)가 작동되어 상기 프레임 고정 실린더(151)로 상기 피스톤(152)이 수축되면, 상기 고정 수단(153)이 당겨지면서 상기 프레임 이동 안내 몸체(121)의 말단부를 회전축으로 하여 타 방향으로 회전되고, 그에 따라 상기 고정 수단(153)이 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측으로 인입된 상태의 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)를 집은 상태가 해제되어, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 외부로 인출될 수 있는 상태가 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 포토 마스크(10)가 노광 위치에 있을 때에는, 상기 프레임 고정 부재(150)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측으로 인입된 상태의 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)를 고정시켜 준다.
그러다가, 상기 포토 마스크(10)의 교환이 요구되는 경우, 상기 프레임 고정 부재(150)가 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)를 고정한 상태가 해제되고, 이러한 상태에서 작업자 등의 외력에 의해, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 외측으로 인출된다.
그런 상태에서, 작업자 등의 외력에 의해, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 회전되어 비스듬하게 기울어지게 되고, 그러한 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 회전되어 비스듬하게 기울어진 상태가 상기 프레임 회전 지지 부재(140)에 의해 지지된다.
그런 상태에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 작업자 등의 외력에 의해, 상기 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)로부터 이격되고, 그에 따라 상기 마스크 지지 프레임 부재(110) 상의 상기 포토 마스크(10)의 교환이 이루어질 수 있게 된다.
한편, 상기 포토 마스크(10)의 교환이 완료된 다음, 작업자 등의 외력에 의해, 상기 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)를 집어 고정한 상태에서, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 역으로 회전되고, 그러한 상태에서 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 이동되어 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 내측에 인입됨으로써, 상기 포토 마스크(10)가 노광 위치로 재위치될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조(100)가 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)와, 상기 프레임 이동 안내 부재(120)와, 상기 프레임 회전 지지 부재(140)를 포함함에 따라, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 프레임 이동 안내 부재(120)를 따라 인출되고, 그러한 상태에서 상기 프레임 이동 안내 부재(120)가 회전되고, 상기 프레임 이동 안내 부재(120)의 회전된 상태가 상기 프레임 회전 지지 부재(140)에 의해 지지되고, 그러한 상태에서 상기 마스크 지지 프레임 부재(110) 상의 상기 포토 마스크(10)가 교환될 수 있게 되므로, 작업자가 정면에 상기 포토 마스크(10)를 대면한 상태에서 상기 포토 마스크(10)가 교환될 수 있게 되어, 상기 포토 마스크(10)의 교환 작업이 간편해질 수 있게 된다.
또한, 상기 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조(100)를 구성하는 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 위치 가변 가이드부(130)를 더 포함함에 따라, 상기 포토 마스크(10)가 노광 위치에 있을 때에는, 상기 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)를 잠그게 되어, 상기 포토 마스크(10)의 위치가 안정적으로 유지될 수 있으면서도, 상기 포토 마스크(10)의 교환이 이루어지는 때에는, 상기 위치 가변 가이드부(130)가 상기 포토 마스크(10)를 잠금 해제하게 되어, 상기 포토 마스크(10)가 걸림없이 교환될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 포토 마스크(10)를 고정시켜주는 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)의 회동 시에, 상기 포토 마스크(10)가 그 요구되는 위치에 견고하게 고정된 상태를 유지할 수 있음은 물론, 상기 마스크 지지 프레임 부재(110)가 상기 포토 마스크(10)의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용되어질 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 마스크 지지 프레임 부재가 노광 위치에 위치된 모습을 일 측에서 비스듬히 내려다본 사시도이고, 도 9를 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조를 구성하는 정자세 감지 부재를 정면에서 바라본 단면도이고, 도 10은 도 9의 정자세 감지 부재에 적용된 삽입홈부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 단면도이다.
도 8 내지 도 10을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조는 정자세 감지 부재(270)를 더 포함한다.
상기 정자세 감지 부재(270)는 프레임 이동 안내 몸체(221)에 장착되고, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 이동되는 동안 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 정자세(상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 기울어지지 않은 상태의 자세)를 유지하는지 여부를 감지할 수 있는 것으로, 감지 본체부(280)와, 감지부(290)와, 접촉 감지 센서부(296)를 포함한다.
상기 감지 본체부(280)는 상기 정자세 감지 부재(270)의 외곽을 형성하는 것으로, 본체측 케이스(281)와, 함몰부(282)와, 경사형 연장체(285)를 포함한다.
상기 본체측 케이스(281)는 그 단면이 타원 형태로 형성되면서 그 내부에 일정 공간이 형성된 것이다.
상기 함몰부(282)는 상기 본체측 케이스(281)의 중앙부에서 일정 깊이 함몰된 것으로, 후술되는 감지부측 축(294)의 일부가 삽입된다.
도 9 및 도 10에서 상기 함몰부(282)는 상기 본체측 케이스(281)의 후면, 즉 상기 감지부(290)에 의해 가려지는 부분에 형성됨으로 인해 점선으로 도시된다.
본 실시예에서 상기 함몰부(282)는 상기 본체측 케이스(281)의 전면 및 후면에서 한 쌍이 서로 대면되며 형성된다.
상기 경사형 연장체(285)는 상기 본체측 케이스(281)의 일측부 및 타측부에서 상기 함몰부(282) 쪽으로 각각 일정 길이 연장된 것이다.
상기 경사형 연장체(285)는 그 상측 및 하측이 경사지게 형성됨으로써, 전체적으로는 그 단면이 삼각형 형태를 이루게 되고, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(285)는 상기 삽입홈부의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 서로 대칭되도록 배치된다.
상기 감지부(290)는 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)의 정자세 여부를 감지할 수 있는 것으로, 감지 몸체(291)와, 상기 감지부측 축(294)과, 무게추(295)를 포함한다.
상기 감지 몸체(291)는 그 중심부에서 외측으로 일정 길이 돌출되되, 복수 개가 이격되면서 서로 다른 방향으로 돌출 형성된 것이다.
본 실시예서 상기 감지 몸체(291)는 두 개가 이격되어 이루어지고, 이격된 두 개의 상기 감지 몸체(291)는 상기 함몰부(282)의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 좌우측에서 서로 대칭되는 형태로 형성된다.
상세히, 상기 감지 몸체(291)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(285) 중 일측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 1 날개(292)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(285) 중 타측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 2 날개(293)를 포함한다.
상기 감지부측 축(294)은 상기 감지 몸체(291)의 중앙부에서 상기 함몰부(282) 쪽으로 돌출되어 한 쌍의 상기 함몰부(282)에 각각 삽입되는 것이다.
한 쌍의 상기 함몰부(282)에 상기 감지부측 축(294)이 각각 삽입됨에 따라, 상기 감지 몸체(291)는 상기 감지부측 축(294)을 기준으로 일정 각도 회전 가능하게 된다.
상기 무게추(295)는 상기 감지 몸체(291)가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체(291)에 무게를 부여하는 것으로 상기 감지 몸체(291)의 중심에서 중력 방향으로 일정 길이 돌출된다.
상기 무게추(295)가 형성됨에 따라, 상기 감지 본체부(280)가 일정 각도 기울어지더라도 상기 감지 몸체(291)는 그 위치를 유지할 수 있게 된다.
상기 접촉 감지 센서부(296)는 상기 감지 본체부(280)의 내부에 배치되고, 상기 감지부(290)와의 접촉을 감지하는 것이다.
상세히, 상기 접촉 감지 센서부(296)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(285) 중 하나의 상기 경사형 연장체(285)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 접촉 센서(297)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(285) 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체(285)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 접촉 센서(298)를 포함한다.
상기와 같이 형성됨으로써, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 이동되는 과정에서, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 정자세를 벗어나 기울어지게 되면, 상기 감지 몸체(291)에 상기 제 1 접촉 센서(297) 또는 상기 제 2 접촉 센서(298)가 접촉되고, 그에 따라 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 기울어진 것이 감지될 수 있게 된다.
본 실시예에서는 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 일 방향으로 기울어지게 되면, 상기 감지 본체부(280)도 일 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 1 날개(292)와 상기 제 1 접촉 센서(297)가 접촉되고, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 타 방향으로 기울어지게 되면 상기 감지 본체부(280)도 타 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 2 날개(293)와 상기 제 2 접촉 센서(298)가 접촉됨으로써, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)의 작동 시 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)의 기울어진 방향도 함께 알 수 있게 된다.
상기 정자세 감지 부재(270)에 의해 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 정자세를 벗어난 것이 감지되면, 알람 등을 통해 작업자에게 직접 알려주거나, 제어부에 그 결과를 전송하여 상기 제어부에서 상기 작업자에게 감지 결과를 알려 줄 수도 있다.
한편, 상기 함몰부(282)는 상기 본체측 케이스(281)이 전면 및 후면에서 일정 깊이 함몰되면서 일정 길이 길게 형성된 장형 삽입홈(283)과, 상기 장형 삽입홈(283)의 각 내면에서 상기 장형 삽입홈(283)의 내측으로 갈수록 뾰족해지는 형태로 일정 길이 돌출되어 상기 감지부측 축(294)의 일부가 걸리도록 하는 축 걸림 돌기(284)를 포함한다.
상기 축 걸림 돌기(284)는 상기 함몰부(282)에서 서로 다른 높이로 복수 개가 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(284) 중 최상측의 것에 상기 감지부측 축(294)이 걸린 상태로 상기 감지부(290)가 중력 방향으로 향하면서 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)가 이동되는 동안, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)에 외부 충격이 발생될 경우, 상기 감지부측 축(294)이 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(284) 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(284) 중 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 되고, 이러한 상기 감지부측 축(294)의 하강으로 인해 상기 감지 몸체(291) 역시 하강되어, 상기 제 1 날개(292) 및 상기 제 2 날개(293)가 상기 제 1 접촉 센서(297) 및 상기 제 2 접촉 센서(298)에 동시 접촉됨으로써, 상기 프레임 이동 안내 몸체(221)에 가해진 충격이 감지될 수 있게 된다.
상기 제 1 날개(292) 및 상기 제 2 날개(293)가 상기 제 1 접촉 센서(297) 및 상기 제 2 접촉 센서(298)에 동시에 접촉되어 감지된 충격 정보 역시 상기 제어부를 통해 작업자에게 전달 가능하다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조에 의하면, 포토 마스크의 교환 작업이 간편해질 수 있고, 상기 포토 마스크를 고정시켜주는 마스크 지지 프레임 부재의 회동 시에, 상기 포토 마스크가 그 요구되는 위치에 견고하게 고정된 상태를 유지할 수 있음은 물론, 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 포토 마스크의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용되어질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조
110 : 마스크 지지 프레임 부재
120 : 프레임 이동 안내 부재
130 : 위치 가변 가이드부
140 : 프레임 회전 지지 부재

Claims (5)

  1. 포토 마스크가 놓여서 지지되는 마스크 지지 프레임 부재;
    상기 포토 마스크가 노광 위치로부터 외부로 인출될 때, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 이동을 안내하는 프레임 이동 안내 부재; 및
    상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 방향에 대해 소정 각도로 회전될 수 있도록, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 회전을 지지하는 프레임 회전 지지 부재;를 포함하는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 지지 프레임 부재는
    상기 포토 마스크가 얹힐 수 있도록 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 마스크 지지 프레임 본체와,
    상기 마스크 지지 프레임 본체에 관통 형성되어, 외부로부터 걸리는 부압(negative pressure)에 의해 상기 마스크 지지 프레임 본체의 표면에 상기 포토 마스크가 흡착되도록 하는 마스크 흡착 홀과,
    상기 마스크 지지 프레임 본체의 측면에 형성되어, 상기 프레임 이동 안내 부재와 맞닿아 상기 프레임 이동 안내 부재에 의해 이동 안내되는 이동 피안내체를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 마스크 지지 프레임 부재는
    상기 마스크 지지 프레임 본체에 이동 가능하게 연결되고, 상기 마스크 지지 프레임 본체에 얹힌 상기 포토 마스크의 측면과 맞닿아, 상기 마스크 지지 프레임 본체에서 상기 포토 마스크가 요구되는 위치에 고정되도록 지지해주는 위치 가변 가이드부를 더 포함하고,
    상기 위치 가변 가이드부는 한 쌍으로 구비되어, 상기 포토 마스크의 각 측면에 맞닿게 되고,
    상기 포토 마스크가 상기 마스크 지지 프레임 본체 상에 올려지면, 상기 각 위치 가변 가이드부가 상기 포토 마스크의 각 측면에 맞닿도록 이동된 상태에서, 상기 위치 가변 가이드부가 상기 마스크 지지 프레임 본체에 위치 고정됨으로써, 상기 마스크 지지 프레임 본체에서 상기 포토 마스크가 요구되는 위치에 고정되도록 지지될 수 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 프레임 이동 안내 부재는
    상기 이동 피안내체의 외곽을 따라 일정 길이로 길게 배치되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체의 이동 방향을 안내하는 프레임 이동 안내 몸체와,
    상기 프레임 이동 안내 몸체에 회전 가능하게 연결되되, 상기 이동 피안내체의 측면과 대면되도록 복수 개 배열되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체의 이동 시에 상기 이동 피안내체의 측면과 접하면서 회전될 수 있는 측면 이동 안내 롤러와,
    상기 프레임 이동 안내 몸체에서 돌출되되, 상기 이동 피안내체의 저면을 따라 일정 길이로 길게 형성되어,상기 마스크 지지 프레임 본체의 이동 시에 상기 이동 피안내체를 받쳐서 지지하는 이동 안내체와,
    상기 이동 안내체에 회전 가능하게 연결되되, 상기 이동 피안내체의 저면과 대면되도록 복수 개 배열되어, 상기 마스크 지지 프레임 본체의 이동 시에 상기 이동 피안내체의 저면과 접하면서 회전될 수 있는 저면 이동 안내 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 프레임 회전 지지 부재는
    상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 상기 마스크 지지 프레임 부재가 상기 프레임 이동 안내 부재를 따라 이동된 방향에 대해 소정 각도로 회전된 상태에서, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 하부를 받쳐서 지지해주는 프레임 하부 받침체와,
    상기 프레임 하부 받침체에 의해 상기 마스크 지지 프레임 부재의 하부가 지지된 상태에서, 상기 마스크 지지 프레임 부재의 후면 중 일정 부분을 받쳐서 지지해주는 프레임 후면 받침체를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조.
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