KR20210044680A - 광학 시험용 장치 및 광학 측정 기구의 시험 방법 - Google Patents

광학 시험용 장치 및 광학 측정 기구의 시험 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경을 재현하지 않고 광학 측정 기구의 시험을 행한다.
(해결 수단) 광학 시험용 장치(1)는 광원(2a)으로부터의 입사광 펄스를 입사 대상(4)에 부여하고, 입사광 펄스가 입사 대상에 의해 반사된 반사광 펄스를 취득하는 광학 측정 기구(2)를 시험할 때에 사용된다. 광학 시험용 장치(1)는 시험용 광펄스를 출력하는 2개 이상의 시험용 광원(12,14)과, 광투과영역(400a,400b)을 갖고, 2개 이상의 시험용 광원(12,14)의 각각으로부터 시험용 광펄스를 받아서 광투과영역(400a,400b)을 투과시키는 2개 이상의 액정 패널(32,34)과, 2개 이상의 액정 패널(32,34)을 투과한 시험용 광펄스를 합파하고, 광학 측정 기구(2)에 부여하는 하프 미러(40)를 구비한다. 광투과영역(400a,400b)은 입사 대상(4)에 있어서 광학 측정 기구(2)로부터의 거리가 일정한 거리 일정면(4a,4b)의 각각에 대응한다.

Description

광학 시험용 장치 및 광학 측정 기구의 시험 방법{OPTICAL TESTING DEVICE AND METHOD FOR TESTING OPTICAL MEASURING INSTRUMENT}
본 발명은 반사광을 취득하는 기구의 시험에 관한 것이다.
종래부터, 입사광을 거리 측정의 대상에 부여하여 반사광을 취득하는 광학 측정 기구가 알려져 있다. 이 광학 측정 기구와, 거리 측정의 대상의 거리가 측정된다(예를 들면 특허문헌 1, 2 및 3을 참조). 또, 이러한 거리 측정에 의거하여 화상 취득을 행하는 센서로서는 ToF(Time of Flight) 센서가 알려져 있다.
일본 특허공개 2017-15729호 공보 일본 특허공개 2006-126168호 공보 일본 특허공개 2000-275340호 공보
상기 종래 기술과 같은 광학 측정 기구를 시험할 때에는 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경을 재현해서 시험을 행한다. 그러나, 실환경의 재현은 번거롭다.
그래서, 본 발명은 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경을 재현하지 않고 광학 측정 기구의 시험을 행하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 광원으로부터의 입사광 펄스를 입사 대상에 부여하고, 그 입사광 펄스가 그 입사 대상에 의해 반사된 반사광 펄스를 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서, 시험용 광펄스를 출력하는 2개 이상의 시험용 광원과, 광투과영역을 갖고, 상기 2개 이상의 시험용 광원의 각각으로부터 상기 시험용 광펄스를 받아서 상기 광투과영역을 투과시키는 2개 이상의 광투과부재와, 상기 2개 이상의 광투과부재를 투과한 상기 시험용 광펄스를 합파하여, 상기 광학 측정 기구에 부여하는 합파부를 구비하고, 상기 광투과영역이 상기 입사 대상에 있어서 상기 광학 측정 기구로부터의 거리가 일정한 거리 일정면의 각각에 대응하고, 상기 시험용 광펄스의 각각이 출력되고나서 상기 합파부에 도달할 때까지의 도달시간이 다르고, 상기 도달시간의 차가 상기 거리 일정면 사이의 면간 거리에 대응하도록 구성된다.
상기와 같이 구성된 광학 시험용 장치는 광원으로부터의 입사광 펄스를 입사 대상에 부여하고, 그 입사광 펄스가 그 입사 대상에 의해 반사된 반사광 펄스를 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용된다. 2개 이상의 시험용 광원이 시험용 광펄스를 출력한다. 2개 이상의 광투과부재가 광투과영역을 갖고, 상기 2개 이상의 시험용 광원의 각각으로부터 상기 시험용 광펄스를 받아서 상기 광투과영역을 투과시킨다. 합파부가 상기 2개 이상의 광투과부재를 투과한 상기 시험용 광펄스를 합파하여, 상기 광학 측정 기구에 부여한다. 상기 광투과영역이 상기 입사 대상에 있어서 상기 광학 측정 기구로부터의 거리가 일정한 거리 일정면의 각각에 대응한다. 상기 시험용 광펄스의 각각이 출력되고나서 상기 합파부에 도달할 때까지의 도달시간이 다르다. 상기 도달시간의 차가 상기 거리 일정면 사이의 면간 거리에 대응한다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 광학 측정 기구가 ToF 센서이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 시험용 광원이 레이저 다이오드이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 시험용 광원이 발광 다이오드이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 광투과부재가 액정 패널이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 광투과부재가 필름이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 합파부가 하프 미러이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 합파부가 다이클로익 미러이도록 해도 좋다.
또, 본 발명에 따른 광학 시험용 장치는 상기 합파부가 편광 빔 스플리터이도록 해도 좋다.
본 발명에 따른 광학 측정 기구의 시험 방법은 본 발명에 따른 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과, 상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면 중 어느 하나 이상의 형상을 취득하는 형상 취득 공정과, 취득된 상기 형상에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비하도록 구성된다.
본 발명에 따른 광학 측정 기구의 시험 방법은 본 발명에 따른 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과, 상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면의 경계를 취득하는 경계 취득 공정과, 취득된 상기 경계에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비하도록 구성된다.
본 발명에 따른 광학 측정 기구의 시험 방법은 본 발명에 따른 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과, 상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면 사이의 면간 거리를 취득하는 면간 거리 취득 공정과, 취득된 상기 면간 거리에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비하도록 구성된다.
본 발명에 따른 광학 측정 기구의 시험 방법은 본 발명에 따른 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과, 상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 입사 대상에 있어서의 임의의 2점간의 수평방향 거리를 취득하는 수평방향 거리 취득 공정과, 취득된 상기 수평방향 거리에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비하고, 상기 수평방향은 상기 거리 일정면의 법선방향과 직교하는 방향이도록 구성된다.
도 1은 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(b))이다.
도 2는 제 1 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 2(a)), 정면도(도 2(b))이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블럭도이다.
도 4는 제 1 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 4(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 4(b)), 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)(도 4(c))을 나타내는 도면이다.
도 5는 제 1 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 5(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 5(b))의 타이밍 차트이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블럭도이다.
도 7은 제 2 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 7(a)), 정면도(도 7(b))이다.
도 8은 제 2 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 8(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 8(b)), 액정 패널(광투과부재)(36)의 광투과영역(400c)(도 8(c))을 나타내는 도면이다.
도 9는 제 2 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(b)), 시험용 광원(16)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(c))의 타이밍 차트이다.
도 10은 제 3 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 10(a)), 정면도(도 10(b))이다.
도 11은 제 3 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 11(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 11(b)), 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)(도 11(c))을 나타내는 도면이다.
도 12는 제 3 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 12(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 12(b))의 타이밍 차트이다.
도 13은 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)를 사용했을 때의 광학 측정 기구(2)에 의한 측정 결과를 나타내는 도면이고, 이상적인 측정 결과(도 13(a)), 실제의 측정 결과(도 13(b)), 측정 불능인 경우의 실제의 측정 결과(도 13(c))를 나타낸다.
도 14는 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)를 사용했을 때의 광학 측정 기구(2)에 의한 측정 결과를 나타내는 도면이고, 이상적인 측정 결과(도 14(a)), 실제의 측정 결과(도 14(b)), 측정 불능인 경우의 실제의 측정 결과(도 14(c))를 나타낸다.
도 15는 변형예에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 15(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 15(b))이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.
제 1 실시형태
도 1은 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 1(b))이다. 도 2는 제 1 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 2(a)), 정면도(도 2(b))이다.
도 1(a)을 참조해서 실제의 사용 양태에 있어서, 광학 측정 기구(2)는 광원(2a)으로부터의 입사광 펄스를 입사 대상(4)에 부여한다. 입사광 펄스는 입사 대상(4)에 의해 반사되어서 반사광 펄스로 되고, 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 의해 취득된다. 광학 측정 기구(2)는 예를 들면, LiDaR 모듈 또는 ToF 카메라이며, 광학 측정 기구(2)와 입사 대상(4) 사이의 거리를 측정하기 위해서, 또는 측정한 거리에 의거하여 화상을 취득하기 위해서 사용된다.
도 2를 참조해서 입사 대상(4)은 직육면체에 볼록부를 형성한 2단형상을 갖는다. 광학 측정 기구(2)는 입사 대상(4)의 바로 위에 있고, 면(4a) 및 면(4b)은 광학 측정 기구(2)로부터의 거리가 일정하다. 이후, 면(4a) 및 면(4b)을 거리 일정면(4a,4b)이라고 한다. 또, 입사 대상(4)의 단차는 거리 일정면(4a)과 거리 일정면(4b) 사이의 거리(L0)(이후, 「면간 거리」라고 한다)이다.
도 1(b)를 참조해서 광학 시험용 장치(1)가 광학 측정 기구(2)를 시험할 때에 사용된다. 시험은 예를 들면 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)의 수광성능을 평가하는 것이다. 광학 시험용 장치(1)는 반사광 펄스와 동등한 것을 광학 측정 기구(2)에 부여한다.
도 15는 변형예에 따른 광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태를 나타내는 도면(도 15(a)), 광학 측정 기구(2)의 시험시의 사용 양태를 나타내는 도면(도 15(b))이다. 도 1에 있어서는 광학 측정 기구(2)가 광원(2a) 및 수광부(2b)를 갖도록 도시하고 있지만, 도 15에 나타낸 바와 같이 광학 측정 기구(2)는 수광부(2b)만을 갖고, 광원(2a)은 광학 측정 기구(2)의 외부에 배치하도록 해도 좋다. 광학 측정 기구(2)는 예를 들면, ToF 센서이다. 본 발명의 어느 실시형태에 있어서나, 도 1에 나타내는 광학 측정 기구(2)도, 도 15에 나타내는 광학 측정 기구(2)도 사용 가능하다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블럭도이다. 도 3을 참조해서 제 1 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 시험용 광원(12,14), 광원 구동부(18), 집광 렌즈(22,24), 액정 패널(광투과부재)(32,34), 액정 패널 구동부(38), 하프 미러(합파부)(40), 결상 렌즈(50)를 구비한다.
2개 이상의 시험용 광원(12,14)은 시험용 광펄스를 출력한다. 또, 시험용 광원(12,14)은 예를 들면, 레이저 다이오드 또는 발광 다이오드이다.
도 5는 제 1 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 5(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 5(b))의 타이밍 차트이다.
시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 출력 타이밍으로부터 시간(Δt)만큼 늦게 시험용 광원(14)이 시험용 광펄스를 출력한다. 단, Δt는 LO=(1/2)×c×Δt가 성립하는 값이다. 단, c는 광속이다.
여기에서, 시험용 광원(12)으로부터 하프 미러(40)까지의 광로길이와, 시험용 광원(14)으로부터 하프 미러(40)까지의 광로길이는 같은 값이다.
그러면, 시험용 광펄스의 각각이 시험용 광원(12,14)의 각각으로부터 출력되고나서, 하프 미러(합파부)(40)에 도달할 때까지의 도달시간은 Δt만큼 다르다. 이 Δt는 상기와 같이 (LO=(1/2)×c×Δt), 거리 일정면(4a,4b) 사이의 면간 거리(LO)에 대응하는 값이다.
광원 구동부(18)는 시험용 광원(12) 및 시험용 광원(14)이 시험용 광펄스를 시간(Δt)만큼 비켜서 출력시키도록(도 5 참조), 시험용 광원(12) 및 시험용 광원(14)을 구동한다.
집광 렌즈(22,24)는 시험용 광원(12,14)으로부터 출력된 시험용 광펄스를 평행광으로 해서 액정 패널(32,34)에 입사한다.
2개 이상의 액정 패널(광투과부재)(32,34)은 광투과영역(400a,400b)을 갖고, 2개 이상의 시험용 광원(12,14)의 각각으로부터 시험용 광펄스를 받아서 광투과영역(400a,400b)을 투과시킨다. 또, 액정 패널 대신에 필름(광투과부재)을 사용해도 좋다.
도 4는 제 1 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 4(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 4(b)), 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)(도 4(c))을 나타내는 도면이다.
도 4(a)를 참조해서 광투과영역(400a)은 거리 일정면(4a)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400a)과 거리 일정면(4a)은 동일한 형상이다.
도 4(b)를 참조해서 광투과영역(400b)은 거리 일정면(4b)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400b)과 거리 일정면(4b)은 동일한 형상이다.
도 4(c)를 참조해서 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)은 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)을 겹친 것으로 되고, 실제로 입사 대상(4)으로부터의 반사광 펄스를 수광부(2b)에 의해 수광한 것에 상당하다.
액정 패널 구동부(38)는 액정 패널(32)이 광투과영역(400a)만큼 광을 투과하고, 액정 패널(34)이 광투과영역(400b)만큼 광을 투과하도록 액정 패널(32,34)을 구동한다.
하프 미러(합파부)(40)는 액정 패널(32,34)을 투과한 시험용 광펄스를 합파하여, 결상 렌즈(50)를 통해 광학 측정 기구(2)에 부여한다.
또, 하프 미러(40)는 다이클로익 미러이어도 좋다. 이 경우, 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 파장과, 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스의 파장을 다르게 해 둔다.
또한 하프 미러(40)는 편광 빔 스플리터이어도 좋다. 이 경우, 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 편광면과, 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스의 편광면이 겹치지 않도록(예를 들면 쌍방의 편광면이 직교하도록) 해 둔다. 예를 들면 편광 빔 스플리터가 S편광을 반사하고, P편광을 투과하도록 하고, 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스를 S편광, 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스를 P편광으로 한다.
결상 렌즈(50)는 하프 미러(40)의 출력을 수광부(2b)에 부여해서 결상시킨다.
또, 광학 측정 기구(2)는 수광부(2b)를 갖지만(도 1 및 도 15를 참조), 또한, 결상 렌즈 및 광학필터를 갖고 있어도 좋다. 이 경우에는 결상 렌즈(50)를 콜리메이트 렌즈로 변경한다. 하프 미러(40)의 출력이 (결상 렌즈(50) 대신에 사용되는) 콜리메이트 렌즈를 투과하고, 또한 광학 측정 기구(2)가 갖는 결상 렌즈 및 광학필터를 투과하고나서 수광부(2b)에 도달한다. 이러한 것은 본 발명의 어느 실시형태에 있어서나 가능하다.
다음에 제 1 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광학 시험용 장치(1)는 트리거 신호를 받음으로써, 이하와 같은 동작을 개시한다. 단, 트리거 신호로서는 광원(2a)을 발광시키기 위한 구동 신호를 사용해도 좋다. 또는 트리거 신호로서는 광원(2a)으로부터의 발광을 광전 변환기(도시생략)에 의해 전기신호로 변환한 것을 사용해도 좋다.
우선, 광원 구동부(18)가 시험용 광원(12)을 구동하고, 시험용 광원(12)으로부터 시험용 광펄스를 출력시킨다(도 5(a) 참조). 이 시험용 광펄스는 집광 렌즈(22)를 통해 액정 패널(32)에 부여되고, 액정 패널(32)의 광투과영역(400a)(도 4(a) 참조)을 투과하고, 하프 미러(40)에 부여된다.
다음에 광원 구동부(18)가 시험용 광원(14)을 구동하고, 시험용 광원(14)으로부터 시험용 광펄스를 시험용 광원(12)보다 시간(Δt)만큼 늦게 출력시킨다(도 5(b) 참조). 이 시험용 광펄스는 집광 렌즈(24)를 통해 액정 패널(34)에 부여되고, 액정 패널(34)의 광투과영역(400b)(도 4(b) 참조)을 투과하고, 하프 미러(40)에 부여된다.
액정 패널(32,34)을 투과한 시험용 광펄스는 하프 미러(40)에 의해 합파되고, 결상 렌즈(50)를 통해 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다(수광 공정)(도 4(c) 참조).
광학 측정 기구(2)는 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b) 중 어느 하나 이상의 형상을 취득하고, 그것에 의거하여 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b) 중 어느 하나 이상의 형상을 취득한다(형상 취득 공정).
예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 형상을 취득한다. 그러면, 단차(면간 거리)(LO)를 갖는 입사 대상(4)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다. 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 형상의 각각을 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 형상으로 한다.
또는 예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400a)만의 형상을 취득한다. 그러면, 입사 대상(4)의 거리 일정면(4a)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다(거리 일정면(4b)은 단순한 배경에 지나지 않는다). 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400a)의 형상을 거리 일정면(4a)의 형상으로 한다.
또는 예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400b)만의 형상을 취득한다. 그러면, 입사 대상(4)의 거리 일정면(4b)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다(거리 일정면(4a)은 단순한 노이즈에 지나지 않는다). 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400b)의 형상을 거리 일정면(4b)의 형상으로 한다.
마지막으로, 취득된 형상에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가한다(성능 평가 공정). 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 쌍방의 형상을 취득한 경우에는 취득된 거리 일정면(4a,4b)의 형상을 기지인 참의 거리 일정면(4a,4b)의 형상과 비교해서 어느 정도 참의 값에 가까운지에 따라 수광성능을 평가한다. 거리 일정면(4a)(또는 거리 일정면(4b))의 형상을 취득한 경우에는 그것을 기지인 참의 거리 일정면(4a)(또는 거리 일정면(4b))의 형상과 비교해서 어느 정도 참의 값에 가까운지에 따라 수광성능을 평가한다.
제 1 실시형태에 의하면, 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경(예를 들면 입사 대상(4))을 재현하지 않고 광학 측정 기구(2)의 시험을 행할 수 있다.
<변형예>
또, 제 1 실시형태에는 이하와 같은 변형예가 고려된다.
변형예의 구성은 제 1 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다. 또한 변형예의 동작도 수광 공정까지는 제 1 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다.
광학 측정 기구(2)는 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 경계를 취득하고, 그것에 의거하여 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 경계를 취득한다(경계 취득 공정).
예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 경계를 취득한다. 그러면, 단차(면간 거리)(LO)를 갖는 입사 대상(4)에 있어서의 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 경계의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다. 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 경계를 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 경계로 한다.
마지막으로, 취득된 경계에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가한다(성능 평가 공정). 취득된 경계가 어느 정도 희미해져 있는지에 따라 수광성능의 일종인 수광부(2b)의 인접 화소간의 크로스 토크를 평가할 수 있다. 희미해지는 쪽이 클수록 크로스 토크가 크고, 성능이 나쁘다라고 하게 된다.
제 1 실시형태의 변형예에 의하면, 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경(예를 들면 입사 대상(4))을 재현하지 않고 광학 측정 기구(2)의 크로스 토크의 시험을 행할 수 있다.
제 2 실시형태
제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 입사 대상(4)에 있어서 3개의 거리 일정면(4a,4b,4c)이 존재하는 경우(도 7 참조)에 대응하기 위해서, 시험용 광원(12,14,16) 및 액정 패널(광투과부재)(32,34,36)가 3개 존재하고, 또한 하프 미러(40) 대신에 다이클로익 미러(42)가 존재하는 것이 제 1 실시형태와 다르다.
광학 측정 기구(2)의 실제의 사용 양태는 제 1 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다(도 1 참조). 단, 입사 대상(4)이 제 1 실시형태와는 다르기 때문에, 이하에 설명한다.
도 7은 제 2 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 7(a)), 정면도(도 7(b))이다. 도 7을 참조해서 입사 대상(4)은 제 1 실시형태에 따른 입사 대상(4)(도 2 참조)의 상방에 또한 볼록부를 형성한 3단형상을 갖는다. 광학 측정 기구(2)는 입사 대상(4)의 바로 위에 있고, 면(4a), 면(4b) 및 면(4c)은 광학 측정 기구(2)로부터의 거리가 일정하다. 이후, 면(4a), 면(4b) 및 면(4c)을 거리 일정면(4a,4b,4c)이라고 한다. 또, 입사 대상(4)의 단차는 거리 일정면(4a)과 거리 일정면(4b) 사이의 거리(L1)(이후, 「면간 거리」라고 한다)와, 거리 일정면(4b)과 거리 일정면(4c) 사이의 거리(L2)(이후, 「면간 거리」로 한다)이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성을 나타내는 기능 블럭도이다. 도 6을 참조해서 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 시험용 광원(12,14,16), 광원 구동부(18), 집광 렌즈(22,24,26), 액정 패널(광투과부재)(32,34,36), 액정 패널 구동부(38), 다이클로익 미러(합파부)(42), 결상 렌즈(50)를 구비한다.
3개의 시험용 광원(12,14,16)은 시험용 광펄스를 출력한다. 또, 시험용 광원(12,14,16)은 예를 들면 레이저 다이오드이다.
도 9는 제 2 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(b)), 시험용 광원(16)이 출력하는 시험용 광펄스(도 9(c))의 타이밍 차트이다.
시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 출력 타이밍으로부터 시간(Δt1)만큼 늦게 시험용 광원(14)이 시험용 광펄스를 출력한다. 또한, 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스의 출력 타이밍으로부터 시간(Δt2)만큼 늦게 시험용 광원(16)이 시험용 광펄스를 출력한다.
단, Δt1은 L1=(1/2)×c×Δt1이 성립하는 값이다. Δt2는 L2=(1/2)×cΔt2가 성립하는 값이다. 단, c는 광속이다.
여기에서, 시험용 광원(12)으로부터 다이클로익 미러(42)까지의 광로길이와, 시험용 광원(14)으로부터 다이클로익 미러(42)까지의 광로길이와, 시험용 광원(16)으로부터 다이클로익 미러(42)까지의 광로길이는 같은 값이다.
그러면, 시험용 광펄스의 각각이 시험용 광원(12,14)(시험용 광원(14,16)의 각각으로부터 출력되고나서, 다이클로익 미러(합파부)(42)에 도달할 때까지의 도달시간은 Δt1(Δt2)만큼 다르다. 이 Δt1(Δt2)은 상기와 같이, 거리 일정면(4a,4b(4b,4c)) 사이의 면간 거리(L1(L2))에 대응하는 값이다.
광원 구동부(18)는 시험용 광원(12), 시험용 광원(14) 및 시험용 광원(16)이 시험용 광펄스를 시간(Δt1,Δt2)만큼 비켜서 출력시키도록(도 9 참조), 시험용 광원(12), 시험용 광원(14) 및 시험용 광원(16)을 구동한다.
집광 렌즈(22,24,26)는 시험용 광원(12,14,16)으로부터 출력된 시험용 광펄스를 평행광으로 해서 액정 패널(32,34,36)에 입사한다.
3개의 액정 패널(광투과부재)(32,34,36)은 광투과영역(400a,400b, 400c)을 갖고, 3개의 시험용 광원(12,14,16)의 각각으로부터 시험용 광펄스를 받아서 광투과영역(400a,400b,400c)을 투과시킨다. 또, 액정 패널 대신에 필름(광투과부재)을 사용해도 좋다.
도 8은 제 2 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 8(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 8(b)), 액정 패널(광투과부재)(36)의 광투과영역(400c)(도 8(c))을 나타내는 도면이다.
도 8(a)를 참조해서 광투과영역(400a)은 거리 일정면(4a)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400a)과 거리 일정면(4a)은 동일한 형상이다. 도 8(b)를 참조해서 광투과영역(400b)은 거리 일정면(4b)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400b)과 거리 일정면(4b)은 동일한 형상이다. 도 8(c)를 참조해서 광투과영역(400c)은 거리 일정면(4c)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400c)과 거리 일정면(4c)은 동일한 형상이다.
액정 패널 구동부(38)는 액정 패널(32)이 광투과영역(400a)만 광을 투과하고, 액정 패널(34)이 광투과영역(400b)만 광을 투과하고, 액정 패널(36)이 광투과영역(400c)만 광을 투과하도록 액정 패널(32,34,36)을 구동한다.
다이클로익 미러(합파부)(42)는 액정 패널(32,34,36)을 투과한 시험용 광펄스를 합파하여, 결상 렌즈(50)를 통해 광학 측정 기구(2)에 부여한다. 또, 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 파장과, 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스의 파장과, 시험용 광원(16)이 출력하는 시험용 광펄스의 파장을 다르게 해 둔다.
결상 렌즈(50)는 다이클로익 미러(42)의 출력을 수광부(2b)에 부여해서 결상 시킨다.
다음에 제 2 실시형태의 동작을 설명한다.
우선, 광원 구동부(18)가 시험용 광원(12)을 구동하고, 시험용 광원(12)으로부터 시험용 광펄스를 출력시킨다(도 9(a) 참조). 이 시험용 광펄스는 집광 렌즈(22)를 통해 액정 패널(32)에 부여되고, 액정 패널(32)의 광투과영역(400a)(도 8(a) 참조)을 투과하고, 다이클로익 미러(42)에 부여된다.
다음에 광원 구동부(18)가 시험용 광원(14)을 구동하고, 시험용 광원(14)으로부터 시험용 광펄스를 시험용 광원(12)보다 시간(Δt1)만큼 늦게 출력시킨다(도 9(b) 참조). 이 시험용 광펄스는 집광 렌즈(24)를 통해 액정 패널(34)에 부여되고, 액정 패널(34)의 광투과영역(400b)(도 8(b) 참조)을 투과하고, 다이클로익 미러(42)에 부여된다.
또한, 광원 구동부(18)가 시험용 광원(16)을 구동하고, 시험용 광원(16)으로부터 시험용 광펄스를 시험용 광원(14)보다 시간(Δt2)만큼 늦게 출력시킨다(도 9(c) 참조). 이 시험용 광펄스는 집광 렌즈(26)를 통해 액정 패널(36)에 부여되고, 액정 패널(36)의 광투과영역(400c)(도 8(c) 참조)을 투과하고, 다이클로익 미러(42)에 부여된다.
액정 패널(32,34,36)을 투과한 시험용 광펄스는 다이클로익 미러(42)에 의해 합파되고, 결상 렌즈(50)를 통해 광학 측정 기구(2)의 수광부(2b)에 부여된다(수광 공정).
광학 측정 기구(2)는 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 거리 일정면(4a), 거리 일정면(4b) 및 거리 일정면(4c) 중 어느 하나 이상의 형상을 취득한다(형상 취득 공정).
예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400a), 광투과영역(400b) 및 광투과영역(400c)의 형상을 취득한다. 그러면, 단차(면간 거리)(L1,L2)를 갖는 입사 대상(4)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다. 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400c)의 형상의 각각을 거리 일정면(4a), 거리 일정면(4b) 및 거리 일정면(4c)의 형상으로 한다.
또는 예를 들면 광학 측정 기구(2)는 광투과영역(400b)만의 형상을 취득한다. 그러면, 입사 대상(4)의 거리 일정면(4b)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다(거리 일정면(4a)은 단순한 노이즈이며, 거리 일정면(4c)은 단순한 배경에 지나지 않는다). 따라서, 광학 측정 기구(2)는 취득한 광투과영역(400b)의 형상을 거리 일정면(4b)의 형상으로 한다.
마지막으로, 취득된 형상에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가한다(성능 평가 공정). 거리 일정면(4a), 거리 일정면(4b) 및 거리 일정면(4c)의 형상을 취득한 경우에는 취득된 거리 일정면(4a,4b,4c)의 형상을 기지인 참의 거리 일정면(4a,4b,4c)의 형상과 비교해서 어느 정도 참의 값에 가까운지에 따라 수광성능을 평가한다. 거리 일정면(4b)의 형상을 취득한 경우에는 그것을 기지인 참의 거리 일정면(4b)의 형상과 비교해서 어느 정도 참의 값에 가까운지에 따라 수광성능을 평가한다.
제 2 실시형태에 의해서도, 제 1 실시형태로 동일한 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태의 변형예와 마찬가지로 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 경계를 취득해서 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b)의 경계로 하고, 광투과영역(400b) 및 광투과영역(400c)의 경계를 취득해서 거리 일정면(4b) 및 거리 일정면(4c)의 경계로 하고(경계 취득 공정), 취득한 경계에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가하도록(성능 평가 공정) 해도 좋다. 이 경우도, 취득된 경계가 어느 정도 희미해져 있는지에 따라 수광성능의 일종인 수광부(2b)의 인접 화소간의 크로스 토크를 평가할 수 있다. 희미해지는 쪽이 클수록 크로스 토크가 크고, 성능이 나쁘다라고 하게 된다.
또, 제 2 실시형태에 있어서는 3개의 시험용 광펄스를 합파했지만, 합파부를 추가하면, 4개 이상의 시험용 광펄스의 합파도 가능하다.
제 3 실시형태
제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광학 측정 기구(2)의 거리 측정의 시험을 행하는 점이 제 1 실시형태와 다르다.
본 발명의 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성은 제 1 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다(도 3 참조). 단, 입사 대상(4)(도 10 참조), 광투과영역(400a,400b)(도 11참조) 및 시험용 광펄스의 출력 타이밍(도 12참조)이 제 1 실시형태와 다르기 때문에, 이하에 설명한다.
도 10은 제 3 실시형태에 따른 입사 대상(4)의 평면도(도 10(a)), 정면도(도 10(b))이다.
도 10을 참조해서 입사 대상(4)은 횡방향(X방향:도 10(a) 참조)으로 늘어선 2개의 타원기둥이다. 좌측의 타원기둥의 높이는 우측의 타원기둥의 높이보다 L3만큼 낮다. 광학 측정 기구(2)는 입사 대상(4)의 바로 위에 있고, 2개의 타원기둥의 정상면인 면(4a) 및 면(4b)은 광학 측정 기구(2)로부터의 거리가 일정하다. 이후, 면(4a) 및 면(4b)을 거리 일정면(4a,4b)이라고 한다. 또, 거리 일정면(4a)과 거리 일정면(4b) 사이의 거리(이후, 「면간 거리」라고 한다)는 L3이다. 또한 2개의 타원기둥의 간격(좌측의 타원기둥의 우단과, 우측의 타원기둥의 좌단 사이의 거리)을 Δx로 한다.
도 12는 제 3 실시형태에 따른 시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스(도 12(a)), 시험용 광원(14)이 출력하는 시험용 광펄스(도 12(b))의 타이밍 차트이다.
시험용 광원(12)이 출력하는 시험용 광펄스의 출력 타이밍보다 시간(Δt3)만큼 빠르게 시험용 광원(14)이 시험용 광펄스를 출력한다. 단, Δt3은 L3=(1/2)×c×Δt3이 성립하는 값이다. 단, c는 광속이다.
여기에서, 시험용 광원(12)으로부터 하프 미러(40)까지의 광로길이와, 시험용 광원(14)으로부터 하프 미러(40)까지의 광로길이는 같은 값이다.
그러면, 시험용 광펄스의 각각이 시험용 광원(12,14)의 각각으로부터 출력되고나서, 하프 미러(합파부)(40)에 도달할 때까지의 도달시간은 Δt3만큼 다르다. 이 Δt3은 상기와 같이(L3=(1/2)×c×Δt3), 거리 일정면(4a,4b) 사이의 면간 거리(L3)에 대응하는 값이다.
도 11은 제 3 실시형태에 따른 액정 패널(광투과부재)(32)의 광투과영역(400a)(도 11(a)), 액정 패널(광투과부재)(34)의 광투과영역(400b)(도 11(b)), 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)(도 11(c))을 나타내는 도면이다.
도 11(a)을 참조해서 광투과영역(400a)은 거리 일정면(4a)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400a)과 거리 일정면(4a)은 동일한 형상이다.
도 11(b)를 참조해서 광투과영역(400b)은 거리 일정면(4b)에 대응한다. 예를 들면 광투과영역(400b)과 거리 일정면(4b)은 동일한 형상이다.
도 11(c)를 참조해서 수광부(2b)에 있어서의 수광화상(400)은 광투과영역(400a)을 투과한 시험용 광펄스 및 광투과영역(400b)을 투과한 시험용 광펄스를 겹친 것으로 되고, 실제로 입사 대상(4)으로부터의 반사광 펄스를 수광부(2b)에 의해 수광한 것에 상당하다. 단, 하프 미러(40)에 의해 좌우 반전되므로, 수광부(2b)에 있어서는(도 11(c) 참조), 우단에 있던 광투과영역(400a)(도 11(a) 참조)이 좌단에, 좌단에 있던 광투과영역(400b)(도 11(b) 참조)이 우단으로 이동하고 있다.
다음에 제 3 실시형태의 동작을 설명한다.
제 3 실시형태의 동작도, 수광 공정까지는 제 1 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다.
광학 측정 기구(2)는 수광 공정의 수광 결과(단차(면간 거리)(L3)를 갖는 입사 대상(4)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다)에 의거하여 거리 일정면(4a) 및 거리 일정면(4b) 사이의 면간 거리(L3)를 취득한다(면간 거리 취득 공정). 마지막으로, 취득된 면간 거리(L3)에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가한다(성능 평가 공정).
또, 광투과영역(400a)을 투과한 시험용 광펄스는 광투과영역(400b)을 투과한 시험용 광펄스보다 시간(Δt3)만큼 늦게 수광부(2b)에 부여된다. 면간 거리 취득 공정에 있어서는 이 시간(Δt3)을 수광부(2b)에 있어서 검출하고, 면간 거리(L3)(=(1/2)×c×Δt3)를 구한다.
도 13은 제 3 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)를 사용했을 때의 광학 측정 기구(2)에 의한 측정 결과를 나타내는 도면이고, 이상적인 측정 결과(도 13(a)), 실제의 측정 결과(도 13(b)), 측정 불능인 경우의 실제의 측정 결과(도 13(c))를 나타낸다.
도 13(a)를 참조해서 이상적으로는 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)에 따른 측정 결과의 L 좌표(광학 측정 기구(2)과 입사 대상(4)의 거리(L)에 상당)는 일정값을 취하고, 이들 사이의 차가 L3이 된다.
그러나, 도 13(b)를 참조해서 실제로는 측정오차가 있으므로, 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)에 따른 측정 결과의 L 좌표(거리(L)에 상당)는 일정값을 취하지 않고, 수광부(2b)의 화소마다 어느 정도의 편차가 있다. 이러한 경우이어도 광투과영역(400a)(광투과영역(400b))에 따른 측정 결과의 L 좌표에 대해서, 중앙값 또는 평균값 등을 취함으로써, 측정 결과간의 차가 거의 L3과 같은 것이 된다.
그러나, 도 13(c)를 참조해서 면간 거리(L3)가 작아지면, 광투과영역(400a)(광투과영역(400b))에 따른 측정 결과의 L 좌표가 겹쳐져 버리고, 광투과영역(400a) 및 광투과영역(400b)의 측정 결과의 L 좌표 사이의 차로부터 면간 거리(L3)를 구할 수 없게 된다.
도 13(c)와 같이 되지 않고 측정 가능한 면간 거리(L3)의 최소값(즉, 분해능)을 구함으로써 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가할 수 있다.
제 3 실시형태에 의하면, 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경(예를 들면 입사 대상(4))을 재현하지 않고 광학 측정 기구(2)의 시험(광학 측정 기구(2)의 L 방향의 거리 측정의 분해능의 측정)을 행할 수 있다.
제 4 실시형태
제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)는 광학 측정 기구(2)의 수평방향(X 방향)의 위치 측정의 시험을 행하는 점이 제 3 실시형태와 다르다.
본 발명의 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)의 구성은 제 3 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다.
다음에 제 4 실시형태의 동작을 설명한다.
제 4 실시형태의 동작도 수광 공정까지는 제 3 실시형태와 동일하여 설명을 생략한다.
광학 측정 기구(2)는 수광 공정의 수광 결과(단차(면간 거리(L3))를 갖는 입사 대상(4)의 화상을 취득한 것과 동일하게 된다)에 의거하여 입사 대상(4)에 있어서의 임의의 2점간(예를 들면 도 10에 있어서의 좌측의 타원기둥의 우단과, 우측의 타원기둥의 좌단)의 수평방향 거리(예를 들면 도 10에 있어서의 Δx)를 취득한다(수평방향 거리 취득 공정). 단, 수평방향(X 방향)은 거리 일정면(4a,4b)의 법선방향과 직교하는 방향이다(도 10 참조). 마지막으로, 취득된 수평방향 거리(Δx)에 의거하여 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가한다(성능 평가 공정).
또, 수평방향 거리 취득 공정에 있어서는 수광부(2b)에 있어서 광투과영역(400a)을 투과한 시험용 광펄스로부터 얻어진 화상의 우단(도 10에 있어서의 좌측의 타원기둥의 우단에 상당)과, 수광부(2b)에 있어서 광투과영역(400b)을 투과한 시험용 광펄스로부터 얻어진 화상의 좌단(도 10에 있어서의 우측의 타원기둥의 좌단)의 거리를 수평방향 거리(Δx)로 한다.
도 14는 제 4 실시형태에 따른 광학 시험용 장치(1)를 사용했을 때의 광학 측정 기구(2)에 의한 측정 결과를 나타내는 도면이고, 이상적인 측정 결과(도 14(a)), 실제의 측정 결과(도 14(b)), 측정 불능인 경우의 실제의 측정 결과(도 14(c))를 나타낸다.
도 14(a)를 참조해서 이상적으로는 광투과영역(400a)의 우단 및 광투과영역(400b)의 좌단에 따른 측정 결과의 X 좌표는 하나의 값을 취하고, 이들 사이의 차가 Δx가 된다.
그러나, 도 14(b)를 참조해서 실제로는 측정오차가 있으므로, 광투과영역(400a)의 우단 및 광투과영역(400b)의 좌단에 따른 측정 결과의 X 좌표는 일정값을 취하지 않고, 수광부(2b)의 화소마다 어느 정도의 편차가 있다. 이러한 경우이어도 광투과영역(400a)의 우단(광투과영역(400b)의 좌단)에 따른 측정 결과의 X 좌표에 대해서, 중앙값 또는 평균값 등을 취함으로써, 측정 결과간의 차가 거의 Δx와 같은 것이 된다.
그러나, 도 14(c)를 참조해서,Δx가 작아지면, 광투과영역(400a)의 우단 및 광투과영역(400b)의 좌단에 따른 측정 결과의 X 좌표가 겹쳐 버리고, 광투과영역(400a)의 우단 및 광투과영역(400b)의 좌단의 측정 결과의 X 좌표 사이의 차로부터, Δx를 구할 수 없게 된다.
도 14(c)와 같이 되지 않고 측정 가능한 수평방향 거리(Δx)의 최소값(즉, 분해능)을 구함으로써 광학 측정 기구(2)의 수광성능을 평가할 수 있다.
제 4 실시형태에 의하면, 실제로 측정하는 것이 상정되는 실환경을 재현하지 않고 광학 측정 기구(2)의 시험(광학 측정 기구(2)의 수평방향(X 방향)의 위치 측정의 분해능의 측정)을 행할 수 있다.
2: 광학 측정 기구
2a: 광원
2b: 수광부
4: 입사 대상
4a, 4b, 4c: 거리 일정면
1: 광학 시험용 장치
12, 14, 16: 시험용 광원
22, 24, 26: 집광 렌즈
18: 광원 구동부
32, 34, 36: 액정 패널(광투과부재)
400a, 400b: 광투과영역
400: 수광화상
38: 액정 패널 구동부
40: 하프 미러(합파부)
42: 다이클로익 미러(합파부)
50: 결상 렌즈

Claims (13)

  1. 광원으로부터의 입사광 펄스를 입사 대상에 부여하고, 그 입사광 펄스가 그 입사 대상에 의해 반사된 반사광 펄스를 취득하는 광학 측정 기구를 시험할 때에 사용하는 광학 시험용 장치로서,
    시험용 광펄스를 출력하는 2개 이상의 시험용 광원과,
    광투과영역을 갖고, 상기 2개 이상의 시험용 광원의 각각으로부터 상기 시험용 광펄스를 받아서 상기 광투과영역을 투과시키는 2개 이상의 광투과부재와,
    상기 2개 이상의 광투과부재를 투과한 상기 시험용 광펄스를 합파하여, 상기 광학 측정 기구에 부여하는 합파부를 구비하고,
    상기 광투과영역이 상기 입사 대상에 있어서 상기 광학 측정 기구로부터의 거리가 일정한 거리 일정면의 각각에 대응하고,
    상기 시험용 광펄스의 각각이 출력되고나서 상기 합파부에 도달할 때까지의 도달시간이 다르고,
    상기 도달시간의 차가 상기 거리 일정면 사이의 면간 거리에 대응하는 광학 시험용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학 측정 기구가 ToF 센서인 광학 시험용 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 시험용 광원이 레이저 다이오드인 광학 시험용 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 시험용 광원이 발광 다이오드인 광학 시험용 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 광투과부재가 액정 패널인 광학 시험용 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광투과부재가 필름인 광학 시험용 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 합파부가 하프 미러인 광학 시험용 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 합파부가 다이클로익 미러인 광학 시험용 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 합파부가 편광 빔 스플리터인 광학 시험용 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과,
    상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면 중 어느 하나 이상의 형상을 취득하는 형상 취득 공정과,
    취득된 상기 형상에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비한 광학 측정 기구의 시험 방법.
  11. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과,
    상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면의 경계를 취득하는 경계 취득 공정과,
    취득된 상기 경계에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비한 광학 측정 기구의 시험 방법.
  12. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과,
    상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 거리 일정면 사이의 면간 거리를 취득하는 면간 거리 취득 공정과,
    취득된 상기 면간 거리에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비한 광학 측정 기구의 시험 방법.
  13. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 시험용 장치로부터 상기 시험용 광펄스를 합파한 것을 상기 광학 측정 기구에 의해 받는 수광 공정과,
    상기 수광 공정의 수광 결과에 의거하여 상기 입사 대상에 있어서의 임의의 2점간의 수평방향 거리를 취득하는 수평방향 거리 취득 공정과,
    취득된 상기 수평방향 거리에 의거하여 상기 광학 측정 기구의 수광성능을 평가하는 성능 평가 공정을 구비하고,
    상기 수평방향은 상기 거리 일정면의 법선방향과 직교하는 방향인 광학 측정 기구의 시험 방법.
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