FI122448B - Kuvantamisjärjestely - Google Patents
Kuvantamisjärjestely Download PDFInfo
- Publication number
- FI122448B FI122448B FI20085741A FI20085741A FI122448B FI 122448 B FI122448 B FI 122448B FI 20085741 A FI20085741 A FI 20085741A FI 20085741 A FI20085741 A FI 20085741A FI 122448 B FI122448 B FI 122448B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- wavelength
- wavelength component
- radiation
- web
- camera
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
- G01N2021/8663—Paper, e.g. gloss, moisture content
Description
Kuvantamisjärjestely - Bilderingsanordning
Keksintö liittyy yleisesti liikkuvan kalvon yksityiskohtien kuvantamiseen, mutta erityisemmin järjestelyyn ilkkuvan rainan määrätyn pinnan topografian kuvantami-5 seksi siten kuin kuvantamisjärjestelyyn kohdistuvan itsenäisen patenttivaatimuksen johdanto-osassa on sanottu. Keksintö liittyy myös menetelmään liikkuvan rainan määrätyn pinnan topografian kuvantamiseksi. Keksintö liittyy myös järjestelmään liikkuvan rainan määrätyn pinnan topografian kuvantamiseksi. Keksintö liittyy myös painokoneeseen, jossa on keksinnön mukainen järjestely. Keksintö liittyy 10 myös paperikoneeseen, jossa on keksinnön mukainen järjestely. Keksintö liittyy myös keksinnön mukaisen järjestelyn käyttöön rainan koostumuksen ja/tai rakenteen monitoroimiseksi.
Taustaa 15
Teollinen valmistus on lähes aina massatuotantoa, jolle on ominaista suuret määrät tuotetta. Esimerkiksi rainan teollinen valmistus asettaa monia vaatimuksia, jolloin virhetilanteen sattuessa hukkaan joutuvan materiaalin määrä on riippuvainen reaktioajan pituudesta katkaista virheellinen tuotanto ja/tai eliminoida virhe, mutta 20 myös tuotantonopeudesta.
Esimerkiksi paperirainaa on perinteisesti tarkkailtu inhimillistä tarkkailijaa käyttämällä rainan laadun ja koostumuksen silmämääräisessä valvonnassa. Myöhem-^ min on myös kehitetty erilaisia laitteita rainan laadun poikkeamien paljastamiseksi ^ 25 ja siten pyritty rajoittamaan ongelmaa virheellisen massatuotannon määrästä teol- v lisessa mittakaavassa. Rainan ominaisuuksien poikkeamilla voi olla merkitystä ^ esimerkiksi silloin kun rainaa, esimerkiksi paperia, liikutetaan suurella nopeudella.
* Tällöin painossa painojäljen aikaansaamiseksi paperin laatu ja ominaisuudet nä- 5 kyvät painatuksen laadussa, mutta myös jo itse paperin valmistusvaiheessa pape- g 30 riradan kuljettaessa paperia prosessissa. Tällöin poikkeamat koostumuksessa ° ja/tai rakenteessa voivat muuttaa myös painojälkeä, tai rakenteellisten seikkojen vuoksi riittävän lujuuden puuttumisen kautta aiheuttaa paperin katkeamisen hallitsemattomasti. Nämä seikat johtavat ongelmalliseen tilanteeseen seisokkien ja/tai 2 rikkoutuneiden laitteiden tai niiden osien kautta, ellei niitä huomata riittävän ajoissa. Tällöin pitkä viive havaitusta poikkeamasta herätteenä ja siihen vasteena tapahtuvasta tuotannon alasajosta voi aiheuttaa viiveen pituisien virhetuotantojak-son ja siten vähintäänkin materiaalihukkaa inkurantin tuotteen muodossa.
5
Patenttijulkaisussa US 6,757,065 rajataan sinänsä tunnettu tekniikka liikkuvan pinnan kuvantamisesta vuorottaisia kuvia ottamalla pinnan topografian määrittämiseksi käytettäessä yhtä kameraa ja kahta valolähdettä. Tällöin liikkuvaa pintaa kuvattaessa valaisun vuorottelemisen avulla eri valolähteistä peräisin olevalla sätei-10 lyllä saadaan kaksi eri kuvaa peräkkäisistä kohdista. Julkaisussa kuvat ovat kuitenkin eri kohdista pintaa sen liikkeen vuoksi suhteessa kameraan ja valolähteiden vuorottaiseen valaisemiseen. Lisäksi suljinajat voivat muodostua epäedullisiksi suhteessa saavutettavaan kuvan tarkkuuteen.
15 Mikroskooppinen kuvantaminen asettaa huomattavia vaatimuksia kuvantamisen suurimmalle tarkkuudelle, toisaalta tarvittavan syväterävyyden ja toisaalta diffrak-tiorajan kautta. Käyttämällä objektiivissa pientä aukkoa (suurta aukkolukua) saadaan syväterävyysaluetta kasvatettua, mutta samalla aukon aiheuttama diffraktio kasvaa ongelmallisesti. Diffraktio tarkoittaa pisteen leviämistä valon kulkiessa au-20 kon läpi. Diffraktion suuruus riippuu aukon koosta, linssin polttovälistä ja valon aallonpituudesta. Käytettävien kameroiden kennojen yksittäiset pikselit ovat mikro-metrien suuruusluokkaa, joten pisteen levitessä diffraktion vaikutuksesta yli pikse-likoon kuvaustarkkuus kärsii. Näin ollen joudutaan optimoimaan optiikka siten, että ^ käytössä on pienin mahdollinen aukko, jolla kuva ei ole diffraktiorajoittunut mikä ^ 25 aiheuttaa ongelmia valonlähteen valinnassa riittävän valaisutehon aikaansaami- v seksi. Samalla on huomioitava riittävän valotuksen saaminen kamerakennolle, ^ koska aukon halkaisijan mitan puolittuessa aukon läpi menevä valoteho putoaa * neljäsosaan puolittumattomaan verrattuna.
I'-- g 30 Vaikka edellä mainitut ongelmat sinänsä voivatkin joiltain osin olla alan ammatti-
O
<n miehellä tiedossa, hakijan tiedossa ei ole hakemuksen prioriteettipäivämäärän puitteissa tietoa sellaisista julkaisuista, joissa olisi tarkemmin käsitelty ratkaisua liikkeen pysäyttämiseen liittyvän riittävän valaistuksen järjestämistä.
3
Lyhyt yhteenveto
Keksinnön avulla voidaan ratkaista tunnetun tekniikan ongelmat, mukaan lukien 5 juuri edellä mainitut, varsinkin riittävän lyhyen mutta intensiivisen valaistuksen aikaansaamiseksi pysäytyskuvan aikaansaamiseksi määrätystä kohdasta liikkuvaa rainaa samanaikaisesti tai oleellisen samanaikaisesti kahdella aallonpituudella ku-vantamalla.
10 Keksinnön mukaiselle järjestelylle on tunnusomaista se mitä on sanottu järjestelyä koskevan itsenäisen patenttivaatimuksen tunnusmerkkiosassa. Keksinnön mukaiselle järjestelmälle on tunnusomaista se mitä on sanottu järjestelmää koskevan itsenäisen patenttivaatimuksen tunnusmerkkiosassa. Keksinnön mukaiselle menetelmälle on tunnusomaista se mitä on sanottu menetelmää koskevan itsenäisen 15 patenttivaatimuksen tunnusmerkkiosassa. Keksinnön mukaiselle painokoneelle on tunnusomaista se mitä on sanottu painokonetta koskevan itsenäisen patenttivaatimuksen tunnusmerkkiosassa. Keksinnön mukaiselle paperikoneelle on tunnusomaista se mitä on sanottu paperikonetta koskevan itsenäisen patenttivaatimuksen tunnusmerkkiosassa. Keksinnön muita suoritusmuotoja on esitelty epäitsenäi-20 sissä patenttivaatimuksissa. Keksinnön suoritusmuodot ovat soveltuvin osin yhdisteltävissä.
Käyttämällä keksinnön suoritusmuotojen mukaisesti kameraparia kuvantamisessa, ^ niiden avulla syntyvät kuvat voidaan tarkentaa erikseen kameraparin kameroille, ^ 25 jolloin kromaattisen aberration vaikutus eliminoituu, mutta samalla vältetään myös v kalliin akromaattisen optiikan käyttö. Koska keksinnön suoritusmuotojen mukaises- ™ ti voidaan käyttää monokromaattista mutta samalla inkoherenttia valaistusta riittä- * väliä teholla mutta lyhyinä pulsseina, myös saavutetaan etua laajakaistaiseen va- 5 loon perustuviin ratkaisuihin nähden, jolloin ylikuuluminen erään kameran aallonpi- g 30 tuuskohtaisella komponentilla eräässä toisessa kamerassa saadaan minimoitua.
O
<m Eräässä keksinnön suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä voidaan käyttää kiin teää polttoväliä ja riittävän pientä aukkoa syväterävyyden saavuttamiseksi, erityisesti kun käytössä on keksinnön suoritusmuodon mukaisen järjestelyn inkoherentti 4 laser-lähde, jolloin saavutetaan valaisutehoja jotka riittävät pienellekin aukolle vaikka pulssi olisikin hyvin lyhyt, esimerkiksi erään suoritusmuodon mukaan alle 250 ns, mutta erään toisen suoritusmuodon mukaan alle 50 ns.
5 Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi valaistuksessa, joka on toteutettu sellaisella inkoherentilla säteilyllä, jolla on ainakin eräs ensimmäinen aal-lonpituuskomponentti ja eräs toinen aallonpituuskomponentti, järjestettynä vastaanotettavaksi aallonpituuskomponenttikohtaisilla kameroilla kuhunkin johtavan 10 optisen polun erään aallonpituuskomponenttikohtaisen haaran päässä, jolla optisella polulla on järjestyksessä mainitun säteilyn kulkusuunnassa säteilyn lähteen jälkeen mainittu kuvannettavan pinnan kohta, aallonpituusselektiivinen kalvo mainitun ensimmäisen aallonpituuskomponentin suuntaamiseksi eräälle ensimmäiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle mainittua kalvoa erääseen ensimäiseen opti-15 seen tapahtumaan käyttäen erästä ensimmäistä optisen polun aallonpituuskom-ponenttikohtaista haaraa pitkin ja mainitun toisen aallonpituuskomponentin suuntaamiseksi eräälle toiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle mainittua kalvoa erääseen toiseen optiseen tapahtumaan käyttäen erästä toista optisen polun aal-lonpituuskomponenttikohtaista haaraa pitkin, kunkin kameran avulla otettavan ku-20 van tallentamiseksi tallennusvälineelle valaistuksen pulssituksen tahdissa. Keksinnön suoritusmuodon mukaan valaistuksen inkoherenssi on järjestetty usean kohe-rentin monokromaattisen valolähteen koherenssit yhteisvaikutteisesti sekoittamalla.
δ ^ 25 Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on joukko aallonpi- v tuuskohtaisia laser-säteilylähteitä järjestettynä mainitun erään ensimmäinen aal- ^ lonpituuskomponentin ja mainitun erään toisen aallonpituuskomponentin aikaan- * saamiseksi omalla joukolla aallonpituuskohtaisia laser-säteilylähteitä, joiden vai- 5 heistusta tai koherenssiin vaikuttavaa suuretta on sekoitettu inkoherenssin saavut in g 30 tamiseksi kullekin aallonpituuskomponenteille. Tällöin voidaan järjestää useampia
O
cm kamerapareja ottamaan kuvia aallonpituuskohtaisesti joko samasta kohdasta tai eri kohdista rainaa.
5
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on mainitun säteilyn säteilylähteet järjestettynä sellaisen joukon aallonpituuskomponentteja aikaansaamiseksi jossa joukossa on ainakin kaksi tai useampia aallonpituuskomponentteja, jolloin mainitut ensimmäinen ja toinen aallonpituuskomponentti ovat eräät 5 mainitussa joukossa aallonpituuskomponentteja.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä, käyttämällä laser-säteilyä, jonka koherenssi on sekoitettu, voidaan valaistuksen pulssitusta sää-tää/valita pulssin ominaisuudet varsin vapaasti, kuvantamistarkkuden ja/tai rainan 10 nopeuden perusteella. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan lasersäteilyläh-teet ovat kussakin joukossa aallonpituudeltaan samaa säteilyä lähettäviä, mutta tarkasteltaessa niiden yhteisvaikutuksesta aiheutuvaa valaistusta sen koherenssi on sekoitettu, vaikka yksittäiset laserlähteet olisivatkin koherentteja sinänsä.
15 Tällöin keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on pulssituksen taajuus alle 100 MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä valaistuksen säteilyn erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin tuottamiseksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan järjestelyssä on pulssituksen taajuus alle 1 MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin tuottami-20 seksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan järjestelyssä on pulssituksen taajuus alle 0,1 MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin tuottamiseksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan järjestelyssä pulssituksen taajuus on alle 0,01 MHz, eräälle joukolle lasersäteilylähteitä ^ erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin tuottamiseksi.
? 25
(M
v Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on erääseen tiettyyn ™ joukkoon lasersäteilylähteitä kuuluvan lasersäteilylähteen pulssituksen taajuus on * ainakin eräällä seuraavista taajuusväleistä: 0,001 MHz- 0,03MHz; 0,08MHz- g 0,1 MHz; 0,3MHz -0,8MHz; 1MHz-3MHz; 8MHz-13 MHz; 15MHz-50MHz; 55MHz- g 30 350MHz ja eräs sellainen taajuusväli, jossa taajuusvälin alaraja on jokin muu kuin ° suurin juuri mainituista taajuusvälien rajoista, mutta yläraja mainittua alarajaa suu rempi, erään toisen aallonpituuskomponentin tuottamiseksi, jolloin pulssituksen 6 taajuutta ja kuvista ilmenevien yksityiskohtien tarkkuutta voidaan varioida ja siten optimoida tarvittaessa rainan mukaan.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on pulssitusvälineet 5 järjestettynä mainitun toisen aallonpituuden säteilyn pulssituksen taajuuden asettamiseksi mainitun ensimmäisen aallonpituuden säteilyn taajuuden erään nollasta poikkeavan kokonaislukumonikerran suuruiseksi.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä on vaiheistusvälineet 10 pulssituksen yhteisen taajuuden asettamiseksi erään ensimmäisen aallonpituus-komponentin säteilylle ja erään toisen aallonpituuskomponentin säteilylle tiettyyn keskinäiseen vaiheeseen vaihe-eron avulla ja/tai säteilylähteiden joukon keskinäiseen koherenssiin vaikuttamiseksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan järjestelyssä mainittu vaihe-ero on asetettu käytännössä nollaksi.
15
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä mainittu vaihe-ero on järjestetty vastaamaan rainan valmistuksessa siihen jääneen erään aineen fluoresenssin ja/tai fosforenssin laukeamisen aikavakiota, jolloin mainittu ensimmäinen aallonpituuskomponentti on valittu mainitun fluoresenssin ja/tai fosforenssin virit-20 tämiseksi.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä pulssin kesto valaistusta vastaavassa tilassa toisella aallonpituuskomponentilla on lyhyempi kuin ^ pulssin kesto valaistusta vastaavassa tilassa ensimmäisellä aallonpituuskom- ^ 25 ponentilla i ™ Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä erääseen ensimmäi- * seen aallonpituuteen liittyvän säteilyn pulssitus on järjestetty eri taajuudelle kuin 5 erääseen toiseen aallonpituuteen liittyvän säteilyn pulssitus.
S 30
O
o <m Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä aallonpituuskohtainen kamera on järjestetty vain erään aallonpituuden ympäristöön käytännössä piikitty-vällä aallonpituudella tallennettavan kuvan tallentamiseksi.
7
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelyssä valaisun järjestämiseksi järjestetyistä erääseen joukkoon lasersäteilylähteitä kuuluvan kunkin laser-säteilylähteen teho on ainakin eräällä seuraavista tehoväleistä: 1 mW-300 mW, 5 800 mW-1W, 1W-3W, 8W-13W, 10W-55W, 100 W-1kW ja eräs sellainen tehoväli, jossa tehovälin alaraja on jokin muu kuin suurin juuri mainittujen välien rajoista, mutta yläraja mainittua alarajaa suurempi. Tällöin voidaan optimoida rainan ominaisuuksiin sopivaa valaistusta, mutta myös suljinaikaa tietyn halutun tarkkuuden aikaansaamiseksi kuviin.
10
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan menetelmä, liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi inkoherentin säteilyn avulla toteutettavassa valaistuksessa, jolloin mainitulla inkoherentilla säteilyllä on ainakin eräs ensimmäinen aallonpituuskomponentti ja eräs toinen aallonpituuskomponentti, kä-15 sittää ainakin seuraavat vaiheet: - suunnataan inkoherentti valaistus optista polkua pitkin, liikkuvan rainan pinnan kuvannettavalle eräälle määrätylle kohdalle, - pulssitetaan mainittua valaistusta pulssitusvälineillä hetkellisen pysäytyskuvan ottamiseksi kullakin erääseen optisen polun päähän järjestetyllä kameralla, 20 - ohjataan mainittu valaistus pinnan mainitusta määrätystä kohdasta aallonpituus- selektiiviselle kalvolle, joka on mainitulla optisella polulla, - valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään ensimmäisen aal-lonpituuskomponentin jakamiseksi erään ensimmäisen optisen tapahtuman ^ kautta optisen polun erääseen ensimmäiseen haaraan sen päässä olevalle ^ 25 eräälle ensimmäiselle kameralle,
(M
v - valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään toisen aallonpi- ™ tuuskomponentin jakamiseksi erään toisen optisen tapahtuman kautta mai- * nitun optisen polun erääseen toiseen haaraan sen päässä olevalle eräälle 5 toiselle kameralle, h-· oo 30 - tallennetaan kuva mainitulla ensimmäisellä kameralla eräänä ensimmäisenä ku-
O
o <m vana eräälle ensimmäiselle tallennusvälineelle, ja - tallennetaan kuva mainitulla toisella kameralla eräänä toisena kuvana eräälle toiselle tallennusvälineelle.
8
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa menetelmässä valaisun passituksen taajuuden tahdissa otetaan kuva ensin ainakin ensimmäisellä tai toisella kameralla, jolloin seuraavana otettava kuva kohdistuu osalle tiettyä valaisupulssia 5 tietyn viiveen puitteissa joka on lyhyempi kuin mainittu valaisupulssi.
Keksinnön eräässä suoritusmuodon mukaisessa menetelmässä kameralla otettua kuvaa käsitellään pikselöitynä matriisina liitettäväksi kertymäkuvaan, jonka matriisin kunkin alkioelementin suureen ennen kuvanottoa olevaan arvoon kohdistetaan 10 aritmeettinen laskutoimitus mainitun alkioelementin otetun kuvan suureen arvon kanssa, uuden kertymäkuvan muodostamiseksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa menetelmässä kertymäkuvan alkioelementin suuren arvo normitetaan kertymäkuvaan yhdistettyjen kuvien lukumäärästä riippuvan suureen avulla. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa menetelmässä alkioelementin suureen 15 arvoa muutetaan tietyssä suunnassa olevien naapurialkioelementtien suureen arvojen perusteella.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa järjestelmässä liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi jossa järjestelmässä on vähin-20 tään kaksi keksinnön suoritusmuodon mukaista järjestelyä järjestettynä rainan pinnan topografian kuvantamiseksi ainakin kahdesta kohdasta rainaa.
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa kuljettimessa rainan kuljettamisek-^ si on keksinnön suoritusmuodon mukainen järjestely. Tällöin järjestely on järjestet- ^ 25 ty rainankuljetusradan sellaiseen kohtaan, joka edeltää radan kriittistä kohtaa ja/tai v sellaisen kohdan jälkeen. Keksinnön suoritusmuodon mukaan kuljetin käsittää ^ myös itse radan rainan kuljettamiseksi.
CC
CL
5 Keksinnön erään suoritusmuodon mukaisessa painokoneessa on keksinnön erään g 30 suoritusmuodon mukainen järjestely. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaises- o <m sa paperikoneessa on keksinnön erään suoritusmuodon mukainen järjestely.
9
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaista järjestelyä voidaan käyttää rainan rakenteellisen tasaisuuden monitoroinnissa, mutta myös lisäksi tai vaihtoehtoisesti rainan koostumuksen tasaisuuden monitoroinnissa.
5 Keksinnön erään suoritusmuodon mukainen järjestely ja menetelmä on tarkoitettu nopeasti liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi.
Piirustukset 10 Keksinnön suoritusmuotoja kuvataan seuraavassa viittaamalla selityksessä sen eräänä osana kuviin, jotka esittävät esimerkkejä keksinnön suoritusmuodoista kuitenkaan keksintöä sinänsä rajoittamatta. Samoilla viitteillä eri kuvissa tarkoitetaan samoja asioita, ellei toisin erikseen asianmukaisen kuvan asiayhteydessä esitetä. Tällöin viitteellä viitattujen osien ja/tai vaiheiden ei välttämättä tarvitse olla täsmäl-15 leen samoja. Koska kuvat ovat luonteeltaan esimerkkejä havainnollistavia, eivät niissä esitetyt geometriset kuviot ja/tai symbolit ole välttämättä skaalassa toisiinsa nähden, ellei toisin erikseen asiayhteydessä ilmoiteta.
Kuva 1 havainnollistaa keksinnön suoritusmuodon mukaista järjestelyä liik-20 kuvan pinnan kuvantamiseksi kahdella kameralla,
Kuva 2 havainnollistaa keksinnön suoritusmuodon mukaista paperikonetta,
Kuva 3 havainnollistaa keksinnön suoritusmuodon mukaista painokonetta,
Kuva 4 havainnollistaa keksinnön suoritusmuodon mukaista rainanvalmis- ^ tusyksikköä, ja ^ 25 Kuva 5 havainnollistaa keksinnön suoritusmuodon mukaista menetelmää
CM
T liikkuvan pinnan kuvantamiseksi kahdella kameralla,
CM
X
Keksinnön yksityiskohtainen kuvaus i^.
g 30 Kuvassa 1 on esitetty esimerkki keksinnön mukaisesta järjestelystä, jossa valoläh-
O
cm de 101 voi käsittää useita, jopa satoja koherentteja valolähteitä, jotta koherenssi saadaan sekoitettua ja siten vältetään speckle ilmiö. Pinnan kuvannettava kohta voidaan määritellä sapluunalla ja/tai linssillä 103 rajaamalla, jonka sapluunan ja/tai 10 linssin muoto ei sinänsä tarvitse välttämättä rajoittua kuvassa 1 esitettyyn. Kuvan-nettavasta kohdasta valo siirtyy dikromaattiselle kalvolle 104, joka kalvo jakaa valaistuksen aallonpituuskohtaisesti valolähteen aallonpituutta vastaavaa reittiä pitkin optisen polun haaraan ja sen päässä sijaitsevalle kameralle 102. Vaikka kuvassa 5 1 onkin esitetty sellainen optinen polku, jossa aallonpituuskohtainen haarauma on sekä polun alkupäässä että loppupäässä, keksinnön erään suoritusmuodon mukaan valolähteet voivat sijaita sekoitetulla tavalla. Lisäksi todetaan, että vaikka valonlähteitä 101 onkin piirretty havainnollisuuden vuoksi vain yksi pari, keksinnön erään suoritusmuodon mukaan valolähteitä 101 voi olla useampia. Valolähde 101 10 on keksinnön erään suoritusmuodon mukaan monokromaattinen, mutta se on järjestetty inkoherentiksi. Tämä on toteutettu esimerkiksi käyttämällä joukkoa koherentteja valonlähteitä, joiden koherenssi on sotkettu tarkoituksellisesti speckle ilmiön estämiseksi, mutta silti riittävän valaisutehon aikaansaamiseksi lyhyitä pulsseja varten pysäytyskuvan ottamiseksi. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan va-15 lolähteessä 101 on laservalolähde, jota pulssitetaan.
Keksinnön suoritusmuodon mukainen järjestely voidaan toteuttaa esimerkiksi mittalaitteena, mutta myös moduulimaisena ratkaisuna. Moduulissa voi olla tällöin muitakin osia, jotka sinänsä tunnetusta tekniikasta suoraan ilmenevän mukaisesti 20 voivat käsittää rainan käsittelyyn liittyviä osia, esimerkiksi kuljettimen. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan mainitunlainen moduuli (100) voidaan hyödyntää painokoneessa sen osana, jolloin painokone on keksinnön suoritusmuodon mukainen painokone (200) (Kuva 2). Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan mai-^ nitunlainen moduuli voidaan hyödyntää vaihtoehtoisesti paperikoneessa sen osa- ^ 25 na, jolloin paperikone on keksinnön suoritusmuodon mukainen paperikone (300) ^ (Kuva 3). Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan mainitunlainen moduuli voi- ^ daan hyödyntää vaihtoehtoisesti rainanvalmistusyksikössä sen osana, jolloin rai-
CC
nanvalmistusyksikkö on keksinnön suoritusmuodon mukainen rainanvalmistusyk-^ sikkö 400 (Kuva 4).
<8 30
O
o
Raina voi olla keksinnön eräiden seuraavien suoritusmuotojen mukaan sellua, paperia, tekstiiliä, muovikalvoa, metalliverkkoa, komposiittimateriaalia, ohutta metalli-kalvoa, puuviilua tai jotain sinänsä keskenään yhteensopivien aineiden yhdistel- 11 mää edellä mainituista. Lisäksi keksinnön erään vaihtoehtoisen äärimmäisen suoritusmuodon mukaan raina voidaan käsittää jäykän kappaleen pinnaksi. Sellaisen keksinnön suoritusmuodon mukaan mainittu pinta on sahapinta, höylätty pinta, jyrsitty pinta, taottu pinta, valssattu pinta, etsattu pinta. Tällöin mainittu jäykkä kappa-5 le voi olla soveltuvin osin tai kokonaan puuta, metallia, keräämiä, puolijohdetta, lasia, muovia tai mainittujen yhdistelmänä saatavaa ainetta.
Kuvassa 5 on havainnollistettu keksinnön suoritusmuodon mukaista menetelmää esimerkiksi Kuvan 1 mukaisessa järjestelyssä. Menetelmässä liikkuvan rainan 10 pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi inkoherentin säteilyn avulla toteutettavassa valaistuksessa, jolla on ainakin eräs ensimmäinen aallonpituus-komponentti λ±ε ja eräs toinen aallonpituuskomponentti λ, on ainakin seuraavat vaiheet: - suunnataan 501 inkoherentti valaistus optista polkua OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, 15 OP.4a, OP4b pitkin liikkuvan rainan pinnan eräälle määrätylle kuvannettavalle kohdalle, - pulssitetaan 501 mainittua valaistusta pulssitusvälineillähetkellisen pysäytyskuvan ottamiseksi kullakin erääseen optisen polun päähän järjestetyllä kameralla 102, 20 - ohjataan 502 mainittu valaistus pinnan mainitusta määrätystä kohdasta aallonpi- tuusselektiiviselle λ, λ±ε kalvolle, joka on mainitulla optisella polulla OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b, - valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään ensimmäisen aal-5 lonpituuskomponentin λ±ε jakamiseksi 503 erään optisen tapahtuman, ku-
(M
^ 25 ten heijastuksen, kautta optisen polun erääseen ensimmäiseen haaraan ^ OP.4a sen päässä olevalle eräälle ensimmäiselle kameralle 102,
(M
x - valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään toisen aallonpi- tc tuuskomponentin λ jakamiseksi 503 erään toisen optisen tapahtuman kaulii ta mainitun optisen polun erääseen toiseen haaraan OP.4b sen päässä ole in o 30 valle eräälle toiselle kameralle 102, o ^ - tallennetaan 504 kuva mainitulla ensimmäisellä kameralla eräänä ensimmäisenä kuvana eräälle ensimmäiselle tallennusvälineelle, ja 12 - tallennetaan 504 kuva mainitulla toisella kameralla eräänä toisena kuvana eräälle toiselle tallennusvälineelle.
Mainitut vaiheet voivat olla osittain päällekkäisiä valaistuksen suuntaamisen, puls-5 situksen ja muun käytännön toteuttamisen kannalta mielekkäällä tavalla. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan menetelmässä otetaan valaisun pulssituksen taajuuden tahdissa kuva ainakin ensimmäisellä tai toisella kameralla. Keksinnön suoritusmuodon mukaan voidaan siten aikaansaada mikroskooppiselle tasolle tarkkuudeltaan yltävä kuva yhden tai useamman kameraparin järjestelyllä.
10
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan kameralla otettua kuvaa käsitellään 505 pikselöitynä matriisina liitettäväksi kertymäkuvaan, jonka matriisin kunkin alkio-elementin suureen ennen kuvanottoa olevaan arvoon kohdistetaan aritmeettinen laskutoimitus mainitun alkioelementin otetun kuvan suureen arvon kanssa, uuden 15 kertymäkuvan muodostamiseksi. Tällöin kuvaa voidaan myös käsitellä muulla tavoin, esimerkiksi takaisinkytkentään vaikuttavien seikkojen havaitsemiseksi. Tällöin saavutetaan etua siinä, että valvojalle voidaan esittää kuva, jossa poikkeamat ovat paremmin esillä, jolloin havaitsijan on helpompi katkaista virheellinen tuotanto. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan kuvasta voidaan myös etsiä tiettyjä 20 piirteitä takaisinkytkentäsignaalin muodostamiseksi, virheellisen tuotannon pysäyttämiseksi mahdollisimman varhaisessa vaiheessa, mutta eräässä suoritusmuodossa sellaisen takaisinkytkentäsignaalin muodostamiseksi, jonka avulla voidaan säätää rainanvalmistusta rainan rakenteen ja/tai koostumuksen muuttamiseksi.
δ , 25 Tällöin menetelmässä voidaan käsitellä kuvaa tai sen osaa siten, että muodoste-
(M
v taan kertymäkuva, jolloin sen alkioelementin suuren arvo normitetaan kertymäku- ™ vaan yhdistettyjen kuvien lukumäärästä riippuvan suureen avulla. Keksinnön * erään suoritusmuodon mukaan voidaan myös muodostaa kuva, jossa alkioele- 5 mentin suureen arvoa muutetaan 506 tietyssä suunnassa olevien naapurialkio- g 30 elementtien suureen arvojen perusteella, o
(M
13
Esimerkki 1.
Esimerkissä oleva järjestely 100 on järjestetty laitteeksi tarkoitettuna liikkuvan kohteen pinnan mikroskooppiseen kuvantamiseen. Esimerkissä rainan pinta 105 on diffuusisti heijastavaa materiaalia. Pintaa valaistaan valolähteellä 101, OP.1a, 5 OP.1b viistosti tasoaaltomaisella valolla. Esimerkissä nopean liikkeen pysäytys tehdään lyhyellä ja suuri-intensiteettisellä valopulssilla, jolloin ei välttämättä tarvita erikoiskameroita.
Kuten mainittu, keksinnön suoritusmuotoesimerkissä koherenssiongelma on ratio kaistu käyttämällä laitteessa esimerkiksi diodilaserrakennetta, jossa voi olla jopa satoja yksittäisiä lasereita, joita ohjataan hieman eri vaiheessa, jolloin koherenssi tarkoituksellisesti saadaan sekoitettua ja siten vältetään speckle-ilmiö. Yksittäisten laserien energia voidaan ohjata samaan valokuituun, jolloin saadaan pistemäinen valonlähde viistovalokuvan muodostamiseen pinnasta. Tällöin saatavalla inkohe-15 rentilla valolla speckle-ilmiö ei ole ongelma kuvanmuodostuksessa. Esimerkissä kuvatussa laitteessa käytettiin Cavitar Oy:n kaupallisia pulssitettuja diodilasereita, joiden aallonpituudet olivat 690 nm ja 804 nm. Eri aallonpituuksilla syntyvät kuvat ohjattiin eri kameroille dikromaattisen peilin kautta. Minimipulssinpituus oli 42 ns. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan voidaan käyttää sekä näkyvän, että IR-20 alueen aallonpituuksia. Valitsemalla ε toisella tavalla kuin yllä (jossa poikkeama 114 nm) keksinnön kulloisenkin suoritusvariantin mukaan voidaan valaistusta varioida näkyvän valon puitteissa, mutta erään toisen suoritusmuotovariantin mukaan ainakin toinen aallonpituuksista on valittu näkyvän valon ulkoupolelta valaistuksen ^ toteuttamiseksi. Tällöin yksittäistä kameraparia varten käytettyt aallonpituudet voi- C\1 . 25 vat molemmat olla eräässä suoritusmuodossa IR-alueella, kun taas eräässä toi-
C\J
^ sessa UV-aluleella, mutta kolmannessa eräs ensimmäinen IR-aluella ja eräs toi-
C\J
nen UV-alueella.
CC
CL
5 Esimerkki 2.
LT) § 30 Liikkuva raina on tekstiiliä, jonka kuitu rakenteen poikkeamia tarkastellaan.
o ^ Pinnan karkeuden arvioimiseksi käytetään keksinnön suoritusmuodon mukaista järjestelyä. Heti kun pinta on muodostettu, otetaan kuvat keksinnön mukaisen järjestelyn toimesta. Keksinnön suoritusmuodon mukaisella toisella järjestelyllä ote- 14 taan kuvat pinnasta kun pinnan väriaine tai muu komposiitti on saatettu pinnan kanssa kosketuksiin. Mainitut järjestelyt muodostavat keksinnön erään suoritusmuodon mukaisen järjestelmän esimerkkinä, jonka mukaista käyttöä ei tule nähdä rajoittuneeksi yksinomaan tekstiilirainaan ja/tai kahteen järjestelyyn järjestelmässä. 5
Esimerkki 3.
Liikkuva raina on paperia, jonka painatustulosta on tarkoitus arvioida ennen kuin paperi menee painoon. Tällöin keksinnön suoritusmuodon mukaisella kuvantami-sella otetaan kuvat, joiden perusteella päätellään paperin hienorakenteen soveltu-10 vuus tiettyyn painatukseen. Keksinnön erään suoritusmuotoesimerkin mukaan keksinnön suoritusmuodon mukainen järjesty on osana painokonetta. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan painokoneessa on keksinnön suoritusmuodon mukainen järjestelmä.
15 Esimerkki 4.
Liikkuvaa rainaa valmistetaan rainanvalmistusyksiköllä ja keksinnön suoritusmuodon mukaisella järjestelyllä kuvannetaan rainaa sen rakennetta ja/tai sen koostumusta koskevan tiedon esimerkiksi täyteaineen, liima-aineen ja/tai väriaineen jakautuneisuudesta pinnalle.
20
Esimerkki 5.
Liikkuvaa rainaa monitoroidaan sen valmistukseen liittyvässä käsittelyvaiheessa. Lisäksi rainaa voidaan tarkkailla sitä purettaessa käyttöön, esimerkiksi rullalta otet-^ taessa, käytettäessä ja/tai toiselle siirrettäessä. Monitoroiniti suoritetaan keksinnön ™ 25 erään suoritusmuodon mukaisella laitteistolla. Tällöin laitteistossa on kaksi inkohe-
(N
v renttiä valonlähdettä, joilla on eri aallonpituudet (λ, λ±ε). Valolähdepari ja kamera-
C\J
pari ovat samassa tasossa keskenään. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan
CC
“ laitteistossa voi olla myös eräs toinen vastaavanlainen valonlähdepari, kuitenkaan pt rajoittamatta itse parin valonlähteiden aallonpituuden valintaa sinänsä eikä myös-
LO
g 30 kään valonlähdeparien lukumäärää. Suoritusmuodossa jossa on eräs ensimmäi-o ™ nen valonlähdepari ja eräs toinen valonlähdepari, käyttöön vaikuttaa montako op- tisenpolun haaraa järjestetään optiselle polulle dikromaattisen peilin jälkeen joh- 15 tamaan kameraan. Tällöin tuon peilin vaste läpäisevälle säteilyn aallonpituudelle vaikuttaa kameroiden ja valonlähteiden yksityiskohtaisempaan sijoitteluun.
Kun tarkastellaan rainan topografiaa erään kameraparin määrittämänä, mitattavan 5 pinnan gradientin laskentaan voidaan käyttää sinänsä tunnettua fotometristä stereota (R. Woodhamin (1980), Photometric Method for Determining surface Orientation from Multiple Images, Optical engineering vol. 19, no. 1, pp. 139-144 mukaan soveltuvin osin). Hanson ja Johansson esittävät (P. Hansson, P. Johannson (2000), Topography and refelctance analysis of paper surface using a photometric 10 stereo method, Optical engineering , Vol. 39, no.9, pp 2555-2561) johtivat kaavat 2-valo-fotometriselle stereolle: (1) 1 W2 dx tan(<7) +12 missä /1 on erääseen ensimmäiseen kameraan tullut intensiteetti ja k on erääseen 15 toiseen kameraan tullut intensiteetti ja σ on valon tulokulma rainan pinnan normaalin suhteen molemmille valonlähteille. Tällöin pinnan topografia voidaan laskea integroimalla gradienttikenttä Hansonin ja Johanssonin menetelmällä käyttämällä integrointia Fourier-tasossa yhdistettynä Wiener-suotimeen. Esitetyllä esimerkillä ei sinänsä rajoiteta sinänsä tunnettuja laskentatapoja käytettäväksi kek-20 sinnön suoritusmuotojen yhteydessä.
Esimerkki 6 ^ Esimerkin 5 mukaisen laitteiston asetelmassa käytetään neljää valolähdettä mutta C\] ^ vaihtoehtoisesti esimerkistä 5 poiketen vain yhtä kameraa. Tällöin eräs ensimmäi- T 25 nen valonlähdepari (jossa on eräät ensimmäinen ja toinen valonlähde) ja kamera
C\J
ovat keskenään samassa ensimmäisessä tasossa ja eräs toinen valonlähdepari cc (jossa on eräät kolmas ja neljäs valonlähde) ja kamera ovat keskenään samassa toisessa tasossa niin, että mainitut ensimmäinen ja toinen taso ovat kohtisuorassa
LO
g toisiinsa nähden. Kameran optinen akseli on esimerkissä tasojen leikkaussuoran o ^ 30 suuntainen ja samalla myös rainan pinnan normaalin suuntainen. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan leikkaussuora muodostaa suorasta kulmasta poikkeavan kulman rainan pinnan normaalin suhteen.
16
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan esimerkissä 6 valaistaan pintaa vuorotellen neljällä valonlähteellä, mutta hyvin nopeasti pysäytysmäisten kuvien aikaansaamiseksi, ja siten käytännöllisesti katsoen samasta kohtaa pintaa. Pinnasta si-5 ronnut intensiteetti mitataan kameralla, jolloin saadaan neljä kuvaa pinnasta, joita havainnollistetaan intensiteetein /1-/4 mitattuna kustakin kuvan pisteestä, vastaavaa valonlähdettä käyttäen.
Mitattavan pinnan gradientin laskentaan käytetään esimerkin 5 mukaista laskentaa 10 soveltuvin osin. Nelivalo-fotometriselle stereolle, jossa valolähteet ovat siis 90° välein, rainan pinnan normaalin suunnasta rainaan päin katsottuna. Pinnan x- ja y-gradientit voidaan tällöin laskea pisteittäin: (2) <¥__2 1,-1, dx tan(<7) /, + Λ + / + /4 (3) V__2 1,-1, dy tan(cr) Ix+I2 + /3 + /4 15 Pinnan topografia lasketaan integroimalla gradienttikenttä joko Hansonin ja Johanssonin menetelmän avulla käyttämällä integrointia Fourier-tasossa yhditettynä Wiener-suotimeen ja sen jälkeen yhdistämällä gradienttikentät symmetrisillä painoilla (T. Kuparinen, V. Kyrki, J.Mielikäinen and P. Toivanen (2007): On surface reconstruction from gradient fields. In Proc. of IEEE ICIP pages II 545-548, Sep-20 tember 16-19.) tai Wiener-suodattamalla gradienttikenttiä ja sitten integroimalla suodatetut gradienttikentät Frankot ja Chellappan esittämällä menetelmällä (R.
Frankot, R. Chellappa (1988): A method for enforcing integralibility in shape from o ^ shading algorithms, IEEE Trans. Pattern Anal. Machine Intell., voi. 10, no. 4 pp
C\J
T 435-446).
" 25
X
Q- Esimerkki 7.
5 Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan laitteisto on esimerkin 6 mukainen, h-.
g mutta esimerkistä 6 poiketen kameroilla otetaan kuvat liikkuvasta rainasta saman- ° aikaisesti tai oleellisen samanaikaisesti. Keksinnön erään suoritusmuotovariantin 30 mukaan erään ensimmäisen kameraparin kuvat otetaan samanaikaisesti kamera-parin kesken tarkasteltuna, mutta eri aikaan kuin erän toisen kameraparin kuvat, 17 jotka otetaan myös keskenään tarkasteltaessa kameraparin kameroiden kesken samanaikaisesti.
Esimerkki joukosta eräitä muita suoritusmuotoja 5 Ledeillä aikaansaatavan valaistuksen suoritusmuodossa pulssin pituus ei ole rajoittava tekijä, mutta saatava energia voi olla riittämätön kamerakennon valottamiseen lyhyellä pulssilla, erityisesti jos rainan pinta absorboi voimakkaasti valoa. Stroboskooppeja käyttävässä suoritusmuodossa voidaan tosin saada riittävä energia sinänsä, mutta stroboskooppien minimipulssitustaajuus rajoittuu yhteen 10 mikrosekuntiin. Lasereita sellaisenaan käyttävissä suoritusmuodoissa on varjopuolena laservalon koherenttisuus, joka aiheuttaa speckle-ilmiön. Speckle turmelee pinnasta saatavan kuvan. Tällöin, huolimatta sinänsä tunnetusta tehokkuudesta ja nopeudesta valonlähteenä pelkästä laserista ei sinänsä ole suurta hyötyä varsinkaan nopeasti liikkuvan pinnan tapauksessa.
15
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan valonlähteistä tuleva valo jaetaan optisiin haaroihin kuvanotossa käytettäväksi. Jakaminen tapahtuu optisesesti erään ensimmäisen ja erään toisen optisen tapahtuman kautta. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan mainittu eräs ensimmäinen optinen tapahtuma on jokin seu-20 raavista: heijastus, läpäisy, absorptio, esto. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan mainittu eräs toinen optinen tapahtuma on jokin seuraavista: heijastus, läpäisy, absorptio, esto. Eston aikana erään valonlähteen valoa estetään pääsemästä vastaavalle kameralle. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan esto on toteutet-^ tavissa avartamalla valolähdettä, jolloin esimerkiksi inkoherentti joukko lasersätei-
O
^ 25 lylähteitä järjestetään tietyllä aallonpituudella olemaan valaisematta eston kestoi- v sen ajanjakson ajan. Avartamalla valonlähdettä ohjaamalla sitä sähköisesti voi- ™ daan tällöin saavuttaa suurempia nopeuksia kuin mekaanisten rako- yms. vastaani vien systeemien avulla valonsädettä katkomalla, ja pyörivien reikä- ja kololevyjen ^ avulla toteutettaviin nähden mekaanisia värinöitä voidaan siten myös osaltaan g 30 pienentää. Estoa voidaan käyttää myös erään suoritusmuodon mukaan vaiheis- ° tuksen aikaansaamiseksi, esimerkiksi jälkihehkuun ja/tai sen havaitsemiseen liitty en.
18
Mainitut optiset tapahtumat noudattavat esimerkiksi dikromaattisen peilin pinnalla, käytännöllisiä häviöitä lukuunottamatta, energian säilymislakia kullekin valaistukselle siten, että tiettyyn kohtaan säteilyvuota tulevan säteilyn energian summa on sama kuin siitä läpäisyn, heijastuksen ja/tai absorption kautta poistuva energia.
5
Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan käytetään pelkästään yhtä kameraa samanaikaiseen kuvantamiseen. Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan valolähteiden säteilyn aallonpituudet on valittu vastaamaan esimerkiksi näkyvän valon punaista (R), vihreää (G) ja sinistä (B), jolloin kameran kennoissa olevat RGB-10 herkät pikselit näkevät vastaavan aallonpituuden valon. Tällöin samaa kennoa lukemalla, mutta vain tiettyjä pikseleitä käyttämällä, saadaan samasta kamerasta yhfaikaisesti kerättynä ainakin kolme eri kuvaa. Neljäs valonlähde voi toimia esimerkiksi infrapuna-alueella.
15 Keksinnön vielä erään suoritusmuodon mukaan kameraparin toinen kamera on RGB-kamera, joka on sovitettu ottamaan kolme kuvaa, mutta ensimmäinen kamera on sovitettu toimimaan esimerkiksi infrapuna-alueelle.
Keksintöä on edellä kuvattu esimerkkien avulla. On kuitenkin selvää, että nämä 20 esimerkit ovat ymmärrystarkoitusta varten, ja että keksinnön suojapiiri voi vaihdella seuraavana esitettyjen patenttivaatimusten puitteissa.
δ
(M
(M
δ
X
cc
CL
I'-- m oo o o
(M
Claims (29)
19 5 1. Järjestely liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantami- seksi sellaisessa valaistuksessa, joka on toteutettu sellaisella inkoherentilla säteilyllä, jolla on ainakin eräs ensimmäinen aallonpituuskomponentti (λ+ε) ja eräs toinen aallonpituuskomponentti (λ), tunnettu siitä, että järjestelyssä - mainittu eräs ensimmäinen aallonpituuskomponentti (λ±ε) ja eräs toinen 10 aallonpituuskomponentti (λ) on sovitettu vastaanotettavaksi aallonpituus- komponenttikohtaisella kameralla (102) kuhunkin sellaiseen johtavan optisen polun (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) erään aallonpituus-komponenttikohtaisen (OP.4b, OP4a) haaran päässä, jolla optisella polulla (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) on mainitun säteilyn kulku-15 suunnassa säteilyn lähteen (101) jälkeen mainittu kuvannettavan pinnan (105) kohta, ja että järjestely käsittää - aallonpituusselektiivinen kalvon (104) o mainitun ensimmäisen aallonpituuskomponentin (λ±ε) suuntaamiseksi eräälle ensimmäiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) 20 mainittua kalvoa (104) erääseen ensimmäiseen optiseen tapahtu maan käyttäen erästä ensimmäistä optisen polun aallonpituuskom-ponenttikohtaista haaraa (OP.4a) pitkin ja o mainitun toisen aallonpituuskomponentin (λ) suuntaamiseksi eräälle o toiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) mainittua kalvoa cm 25 (104) erääseen toiseen optiseen tapahtumaan käyttäen erästä toista i ^ optisen polun aallonpituuskomponenttikohtaista haaraa (OP.4b) pit- x kin, CL ___ o kunkin kameran (102) avulla otettavan kuvan tallentamiseksi tallen- nusvälineelle valaistuksen pulssituksen tahdissa, 00 30. ja että järjestely käsittää vaiheistusvälineet pulssituksen yhteisen taajuuden CM asettamiseksi erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin säteilylle ja erään toisen aallonpituuskomponentin säteilylle tiettyyn keskinäiseen vaiheeseen vaihe-eron avulla. 20
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen järjestely, jossa on joukko aallonpituus-kohtaisia laser-säteilylähteitä järjestettynä mainitun erään ensimmäinen aallonpi-tuuskomponentin ja mainitun erään toisen aallonpituuskomponentin aikaansaami- 5 seksi omalla joukolla aallonpituuskohtaisia laser-säteilylähteitä, joiden vaiheistusta tai koherenssiin vaikuttavaa suuretta on sekoitettu inkoherenssin saavuttamiseksi kullekin aallonpituuskomponenteille.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen järjestely, jossa on mainitun säteilyn sätei-10 lylähteet järjestettynä sellaisen joukon aallonpituuskomponentteja aikaansaamiseksi jossa joukossa on ainakin kaksi tai useampia aallonpituuskomponentteja, jolloin mainitut ensimmäinen ja toinen aallonpituuskomponentti ovat eräät mainitussa joukossa aallonpituuskomponentteja.
4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen järjestely, jossa pulssituksen taajuus on allelO MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpituus-komponentin tuottamiseksi.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen järjestely, jossa pulssituksen taajuus on 20 alle 1 MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpituus- komponentin tuottamiseksi.
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen järjestely, jossa pulssituksen taajuus on ^ alle 0,1 MHz eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpituus- ^ 25 komponentin tuottamiseksi. i ™ 7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen järjestely, jossa pulssituksen taajuus on * alle 0,01 MHz, eräälle joukolle lasersäteilylähteitä erään ensimmäisen aallonpi- 5 tuuskomponentin tuottamiseksi. S 30 O o <m 8. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestely, jossa erääseen tiettyyn joukkoon lasersäteilylähteitä kuuluvan lasersäteilylähteen pulssituksen taajuus on ainakin eräällä seuraavista taajuusväleistä: 21 0,001MHz- 0,03MHz; 0,08MHz- 0,1 MHz; 0,3MHz -0,8MHz; 1MHz-3MHz; 8MHz-13 MHz; 15MHz-50MHz; 55MHz-150MHz ja eräs sellainen taajuusväli, jossa taajuus-välin alaraja on jokin muu kuin suurin juuri mainituista taajuusvälien rajoista, mutta yläraja mainittua alarajaa suurempi, erään toisen aallonpituuskomponentin tuotta-5 miseksi.
9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen järjestely, jossa on pulssitusvälineet järjestettynä mainitun toisen aallonpituuden säteilyn pulssituksen taajuuden asettamiseksi mainitun ensimmäisen aallonpituuden säteilyn taajuuden erään nollasta 10 poikkeavan kokonaislukumonikerran suuruiseksi.
10. Patenttivaatimuksen 1 mukainen järjestely, jossa mainittu vaihe-ero on asetettu käytännössä nollaksi. 15
11. Patenttivaatimuksen 1 mukainen järjestely, jossa mainittu vaihe-ero on järjestetty vastaamaan rainan valmistuksessa siihen jääneen erään aineen fluoresenssin ja/tai fosforenssin laukeamisen aikavakiota, jolloin mainittu ensimmäinen aallonpituuskomponentti on valittu mainitun fluoresenssin ja/tai fosforenssin virit- 20 tämiseksi.
12. Patenttivaatimuksen 1 mukainen järjestely, jossa pulssin kesto valaistusta vastaavassa tilassa toisella aallonpituuskomponentilla on lyhyempi kuin pulssin ^ kesto valaistusta vastaavassa tilassa ensimmäisellä aallonpituuskomponentilla ? 25 (M
13. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestely, jossa ™ erääseen ensimmäiseen aallonpituuteen liittyvän säteilyn pulssitus on järjestetty * eri taajuudelle kuin erääseen toiseen aallonpituuteen liittyvän säteilyn pulssitus. sj- g 30 14. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestely, jossa O <m aallonpituuskohtainen kamera on järjestetty vain erään aallonpituuden ympäris töön käytännössä piikittyvällä aallonpituudella tallennettavan kuvan tallentamiseksi. 22
15. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestely, jossa valaisun järjestämiseksi järjestetyistä erääseen joukkoon lasersäteilylähteitä kuuluvan kunkin lasersäteilylähteen teho on ainakin eräällä seuraavista tehoväleistä: 5. mW-300 mW, 800 mW-1W, 1W-3W, 8W-13W, 10W-55W, 100 W-1kW ja eräs sellainen tehoväli, jossa tehovälin alaraja on jokin muu kuin suurin juuri mainittujen välien rajoista, mutta yläraja mainittua alarajaa suurempi.
16. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestely, jossa jär-10 jestely on sovitettu nopeasti liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi.
17. Menetelmä liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi inkoherentin säteilyn avulla toteutettavassa valaistuksessa, tunnettu siitä, 15 että mainitulla inkoherentilla säteilyllä on ainakin eräs ensimmäinen aallonpituus-komponentti (λ±ε) ja eräs toinen aallonpituuskomponentti (λ), jolloin menetelmä käsittää ainakin seuraavat vaiheet: - suunnataan (501) inkoherentti valaistus optista polkua (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) pitkin, liikkuvan rainan pinnan kuvannettavalle eräälle määrä- 20 tylle kohdalle, - pulssitetaan (501) mainittua valaistusta pulssitusvälineillä hetkellisen pysäytyskuvan ottamiseksi kullakin erääseen optisen polun päähän järjestetyllä kameralla (102), ^ - ohjataan (502) mainittu valaistus pinnan (105) mainitusta määrätystä kohdasta (M ^ 25 aallonpituusselektiiviselle (λ, λ±ε) kalvolle (104), joka on mainitulla optisella polulla Z (OP.1 a, OP.1 b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b), CU x o valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään ensimmäisen CC aallonpituuskomponentin (λ±ε) jakamiseksi (503) erään ensimmäisen ^ optisen tapahtuman kautta optisen polun erääseen ensimmäiseen tn o 30 haaraan (OP.4a) sen päässä olevalle eräälle ensimmäiselle kameral- o w le (102), o valaistuksen aikaansaamiseksi käytetyn säteilyn erään toisen aallonpituuskomponentin (λ) jakamiseksi (503) erään toisen optisen tapah- 23 tuman kautta mainitun optisen polun erääseen toiseen haaraan (OP.4b) sen päässä olevalle eräälle toiselle kameralle (102), - tallennetaan (504) kuva mainitulla ensimmäisellä kameralla eräänä ensimmäisenä kuvana eräälle ensimmäiselle tallennusvälineelle, ja 5. tallennetaan (504) kuva mainitulla toisella kameralla eräänä toisena kuvana eräälle toiselle tallennusvälineelle, - asetetaan pulssituksen yhteinen taajuus erään ensimmäisen aallonpituuskom-ponentin säteilylle ja erään toisen aallonpituuskomponentin säteilylle tiettyyn keskinäiseen vaiheeseen vaihe-eron avulla. 10
18. Patenttivaatimuksen 17 mukainen menetelmä, jossa valaisun pulssituksen taajuuden tahdissa otetaan kuva ainakin ensimmäisellä tai toisella kameralla.
19. Patenttivaatimuksen 17 mukainen menetelmä, jossa kameralla otettua ku-15 vaa käsitellään (505) pikselöitynä matriisina liitettäväksi kertymäkuvaan, jonka matriisin kunkin alkioelementin suureen ennen kuvanottoa olevaan arvoon kohdistetaan aritmeettinen laskutoimitus mainitun alkioelementin otetun kuvan suureen arvon kanssa, uuden kertymäkuvan muodostamiseksi.
20. Patenttivaatimuksen 19 mukainen menetelmä, jossa kertymäkuvan alkio- elementin suuren arvo normitetaan kertymäkuvaan yhdistettyjen kuvien lukumäärästä riippuvan suureen avulla. ^ 21. Patenttivaatimuksen 20 mukainen menetelmä, jossa alkioelementin suu- ^ 25 reen arvoa muutetaan (506) tietyssä suunnassa olevien naapurialkioelementtien T suureen arvojen perusteella. cv X
22. Minkä tahansa edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, jossa ku-^ vannetaan nopeasti liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografiaa. S 30 O cm 23. Järjestelmä liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvanta- miseksi, tunnettu siitä, että 24 - järjestelmässä on vähintään kaksi järjestelyä (100) liikkuvan rainan pinnan (105) topografian kuvantamiseksi ainakin kahdesta kohdasta sellaisessa valaistuksessa, joka on toteutettu kussakin ainakin kahdessa kuvannetta-vassa kohdassa sellaisella inkoherentilla säteilyllä, jolla on ainakin eräs en- 5 simmäinen aallonpituuskomponentti (λ±ε) ja eräs toinen aallonpituuskom- ponentti (λ), - jotka mainitut ainakin eräs ensimmäinen ja eräs toinen aallonpituuskom-ponentetti on kussakin ainakin kahdessa kuvannettavassa kohdassa järjestetty vastaanotettavaksi aallonpituuskomponenttikohtaisella kameralla (102) 10 kuhunkin sellaiseen johtavan optisen polun (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) erään aallonpituuskomponenttikohtaisen (OP.4b, OP4a) haaran päässä, jolla optisella polulla (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) on mainitun säteilyn kulkusuunnassa säteilyn lähteen (101) jälkeen mainittu kuvannettavan pinnan (105) yksi mainituista ainakin kahdesta ku-15 vannettavasta kohdasta, ja että järjestelmä käsittää - aallonpituusselektiivisen kalvon (104) kullekin ainakin kahdelle kuvannetta-valle kohdalle o mainitun ensimmäisen aallonpituuskomponentin (λ±ε) suuntaamiseksi 20 eräälle ensimmäiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) mainittua kalvoa (104) erääseen ensimmäiseen optiseen tapahtumaan käyttäen erästä ensimmäistä optisen polun aallonpituuskomponenttikohtaista haaraa (OP.4a) pitkin ja o o mainitun toisen aallonpituuskomponentin (λ) suuntaamiseksi eräälle toi- c\j 25 selle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) mainittua kalvoa (104) i T^j erääseen toiseen optiseen tapahtumaan käyttäen erästä toista optisen x polun aallonpituuskomponenttikohtaista haaraa (OP.4b) pitkin," CL o kunkin, kutakin ainakin kahta kuvannettavaa kohtaa vastaavan kamera-parin muodostavan ensimmäisen ja toisen aallonpituuskomponetnetti-o 30 kohtaisen kameran (102) avulla otettavan kuvan tallentamiseksi tallen- C\J nusvälineelle valaistuksen pulssituksen tahdissa, - ja että järjestely käsittää vaiheistusvälineet pulssituksen yhteisen taajuuden asettamiseksi erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin säteilylle ja 25 erään toisen aallonpituuskomponentin säteilylle tiettyyn keskinäiseen vaiheeseen vaihe-eron avulla.
23. Patenttivaatimuksen 23 mukainen järjestelmä, jossa järjestelmä on sovitettu 5 nopeasti liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi.
24. Rata rainan kuljettamiseksi, tunnettu siitä, että rata käsittää järjestelyn liikkuvan rainan pinnan määrätyn kohdan topografian kuvantamiseksi sellaisessa valaistuksessa, joka on toteutettu sellaisella inkoherentilla säteilyllä, jolla on ainakin 10 eräs ensimmäinen aallonpituuskomponentti (λ±ε) ja eräs toinen aallonpituuskom-ponentti (λ), jossa järjestelyssä - mainittu eräs ensimmäinen aallonpituuskomponentti (λ±ε) ja eräs toinen aallonpituuskomponentti (λ) on sovitettu vastaanotettavaksi aallonpituus-komponenttikohtaisella kameralla (102) kuhunkin sellaiseen johtavan opti-15 sen polun (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) erään aallonpituus- komponenttikohtaisen (OP.4b, OP4a) haaran päässä, jolla optisella polulla (OP.1a, OP.1b, OP.2, OP.3, OP.4a, OP4b) on mainitun säteilyn kulkusuunnassa säteilyn lähteen (101) jälkeen mainittu kuvannettavan pinnan (105) kohta, ja että järjestely käsittää 20 - aallonpituusselektiivinen kalvon (104) o mainitun ensimmäisen aallonpituuskomponentin (λ±ε) suuntaamiseksi eräälle ensimmäiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) mainittua kalvoa (104) erääseen ensimmäiseen optiseen tapahtuen maan käyttäen erästä ensimmäistä optisen polun aallonpituuskom- cvj 25 ponenttikohtaista haaraa (OP.4a) pitkin ja i o mainitun toisen aallonpituuskomponentin (λ) suuntaamiseksi eräälle * toiselle aallonpituuskohtaiselle kameralle (102) mainittua kalvoa CL (104) erääseen toiseen optiseen tapahtumaan käyttäen erästä toista optisen polun aallonpituuskomponenttikohtaista haaraa (OP.4b) pit-§ 30 kin, C\l o kunkin kameran (102) avulla otettavan kuvan tallentamiseksi tallennusvälineelle valaistuksen pulssituksen tahdissa. 26 - ja että järjestely käsittää vaiheistusvälineet pulssituksen yhteisen taajuuden asettamiseksi erään ensimmäisen aallonpituuskomponentin säteilylle ja erään toisen aallonpituuskomponentin säteilylle tiettyyn keskinäiseen vaiheeseen vaihe-eron avulla. 5
25. Patenttivaatimuksen 24 mukainen rata, tunnettu siitä, että rata on järjestetty paperikoneeseen (300).
26. Patenttivaatimuksen 24 mukainen rata, tunnettu siitä, että rata on järjestet-10 ty painokoneeseen (200).
27. Patenttivaatimuksen 24 mukainen rata, tunnettu siitä, että rata on järjestetty rainanvalmistusyksikköön (400).
28. Patenttivaatimuksen 1 mukaisen järjestelyn käyttö rainan rakenteellisen ta saisuuden monitoroinnissa.
29. Patenttivaatimuksen 1 mukaisen järjestelyn käyttö rainan koostumuksen tasaisuuden monitoroinnissa. 20 δ (M (M δ X en CL Sj- h-· m oo o o (M 27
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20085741A FI122448B (fi) | 2008-07-23 | 2008-07-23 | Kuvantamisjärjestely |
| EP09800104A EP2313738A1 (en) | 2008-07-23 | 2009-06-25 | Imaging arrangement |
| PCT/FI2009/050569 WO2010010229A1 (en) | 2008-07-23 | 2009-06-25 | Imaging arrangement |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20085741A FI122448B (fi) | 2008-07-23 | 2008-07-23 | Kuvantamisjärjestely |
| FI20085741 | 2008-07-23 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20085741A0 FI20085741A0 (fi) | 2008-07-23 |
| FI20085741A FI20085741A (fi) | 2010-01-24 |
| FI122448B true FI122448B (fi) | 2012-01-31 |
Family
ID=39677618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20085741A FI122448B (fi) | 2008-07-23 | 2008-07-23 | Kuvantamisjärjestely |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2313738A1 (fi) |
| FI (1) | FI122448B (fi) |
| WO (1) | WO2010010229A1 (fi) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013103831A1 (en) * | 2012-01-06 | 2013-07-11 | Oyj, Kemira | Method of characterizing creped materials |
| WO2015102644A1 (en) * | 2014-01-06 | 2015-07-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Paper classification based on three-dimensional characteristics |
| JP7209610B2 (ja) * | 2019-10-15 | 2023-01-20 | 株式会社アドバンテスト | 光学試験用装置および光学測定器具の試験方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3752556A (en) * | 1971-06-02 | 1973-08-14 | R Kurtz | Real time moving scene holographic camera system |
| US5365084A (en) * | 1991-02-20 | 1994-11-15 | Pressco Technology, Inc. | Video inspection system employing multiple spectrum LED illumination |
| JPH07286968A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| US5982493A (en) * | 1998-06-02 | 1999-11-09 | Motorola, Inc. | Apparatus and method for acquiring multiple images |
| JP2000131042A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Technical Systems:Kk | 被検査物体の欠陥判定用カメラおよびこれを用いた欠陥判定装置 |
| SE9900276L (sv) | 1999-01-28 | 2000-01-10 | Skogsind Tekn Foskningsinst | Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta |
| US6597006B1 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-22 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Dual beam symmetric height systems and methods |
| US7777199B2 (en) * | 2004-09-17 | 2010-08-17 | Wichita State University | System and method for capturing image sequences at ultra-high framing rates |
-
2008
- 2008-07-23 FI FI20085741A patent/FI122448B/fi not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-06-25 WO PCT/FI2009/050569 patent/WO2010010229A1/en active Application Filing
- 2009-06-25 EP EP09800104A patent/EP2313738A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2010010229A1 (en) | 2010-01-28 |
| FI20085741A (fi) | 2010-01-24 |
| FI20085741A0 (fi) | 2008-07-23 |
| EP2313738A1 (en) | 2011-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100669040B1 (ko) | 다중광속을 이용한 곡률 측정 장치와 방법 | |
| CN104502357B (zh) | 用于光学检测的照射系统 | |
| TWI606233B (zh) | 用於樣本之光譜成像之光學測量系統 | |
| KR101414867B1 (ko) | 인쇄 회로 기판 타깃의 정렬 | |
| KR101186464B1 (ko) | Ｔｓｖ 측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법 | |
| US11463675B2 (en) | Light-source characterizer and associated methods | |
| JP5417723B2 (ja) | 方位測定方法及び方位測定装置 | |
| KR100964251B1 (ko) | 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경 | |
| US20100295938A1 (en) | Apparatus for the Optical Inspection of Wafers | |
| CN103575218A (zh) | 彩色共焦扫描装置 | |
| CN112236666A (zh) | 瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法 | |
| FI122448B (fi) | Kuvantamisjärjestely | |
| CN106030288A (zh) | 荧光分析器 | |
| TW201923305A (zh) | 藉由干涉距離測量手段來偵測物體表面輪廓之組件 | |
| KR101175780B1 (ko) | 적외선 레이저 프로젝션 디스플레이를 이용한 3차원 깊이 카메라 | |
| CN106546333A (zh) | 高动态范围红外成像光谱仪 | |
| TW201903463A (zh) | 採用進階光學干涉顯微術之光學切層裝置 | |
| CN102680497A (zh) | 用于检测图案缺陷的设备 | |
| US7945087B2 (en) | Alignment of printed circuit board targets | |
| KR20220120588A (ko) | 결합된 ocd 및 광반사변조 방법 및 시스템 | |
| JP2010096913A (ja) | レーザ顕微鏡装置 | |
| RU2544305C1 (ru) | Лазерная локационная система | |
| KR20170141943A (ko) | 반도체의 고속 광학 검사방법 | |
| KR20150048971A (ko) | 광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 측정 장치 및 측정 방법 | |
| JP2022146623A (ja) | 検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: OY LABVISION TECHNOLOGIES LTD Free format text: OY LABVISION TECHNOLOGIES LTD |
|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 122448 Country of ref document: FI |
|
| MM | Patent lapsed |