KR20210031473A - 진공 펌프 - Google Patents

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KR20210031473A
KR20210031473A KR1020217002887A KR20217002887A KR20210031473A KR 20210031473 A KR20210031473 A KR 20210031473A KR 1020217002887 A KR1020217002887 A KR 1020217002887A KR 20217002887 A KR20217002887 A KR 20217002887A KR 20210031473 A KR20210031473 A KR 20210031473A
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KR
South Korea
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vacuum pump
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main
correlation module
motor
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Application number
KR1020217002887A
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Inventor
조리 코켈버그스
룰 빈센트 폴 게레로
Original Assignee
라이볼트 게엠베하
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Abstract

본 발명은 입구(14) 및 출구(15)를 갖는 하우징(12), 및 가스상 매체를 입구(14)로부터 출구(15)로 전달하기 위해 하우징(12) 내에 배열된 로터(16, 20)를 포함하는 진공 펌프에 관한 것이다. 나아가, 로터(16, 20)를 회전시키기 위해 모터(24)가 제공되며, 모터(24)를 제어하기 위해 모터(24)에 연결된 제어 장치(30)가 제공된다. 진공 펌프(10)의 적어도 하나의 작동 파라미터(42)를 탐지하기 위해 적어도 하나의 센서(36, 38)가 제공된다. 센서(36, 38)는 제어 장치(30)에 연결된다. 제어 장치(30)는 상관 모듈(44)을 갖는다. 상관 모듈(44)은 탐지된 작동 파라미터(42)를 적어도 하나의 주요 파라미터(46)와 상관시키도록 설계된다. 모터(24)는 주요 파라미터를 이용하여 제어된다.

Description

진공 펌프
본 발명은 진공 펌프, 특히 건조 압축 2-샤프트 펌프(dry compression two-shaft pump), 그리고 진공 펌프를 작동시키는 방법에 관한 것이다.
공지의 진공 펌프는 입구 및 출구를 갖는 하우징을 포함한다. 하우징 내에는 전기 모터에 의해 구동되어 회전하는 로터가 배열된다. 로터는 가스상 매체가 입구로부터 출구로 전달되도록 스테이터 또는 제 2 로터의 로터 요소와 협력하는 로터 요소를 포함한다.
특히 건조 압축 2-샤프트 펌프의 경우, 펌핑 매체의 역류를 방지하고 양호한 펌프 성능을 달성하기 위해 로터의 로터 요소들 사이, 그리고 로터 요소들과 스테이터 사이 각각에 작은 간격을 제공할 필요가 있다. 그러나, 이러한 간격은 진공 펌프의 작동 온도뿐만 아니라 로터의 회전 속도에 의해 규정된다. 따라서, 간격은 고온의 입구 온도, 고온의 유입 가스 온도 또는 고온의 냉각액 온도와 같이 최적이 아닌 작동 파라미터들의 경우에도, 예컨대 로터와 하우징 및/또는 제 2 샤프트의 접촉이 방지되도록 설계되어야 한다. 따라서, 종래의 펌프에서, 로터 요소와 스테이터와 제 2 로터의 로터 요소 각각 사이의 간격의 크기는 안전 여유를 포함하도록 선택된다. 그러나, 그에 따라 펌프 출력이 감소한다.
센서에 의해 로터 요소와 하우징과 제 2 샤프트의 로터 요소 각각 사이의 간격을 탐지할 수 있다. 그러나, 그러한 탐지는 복잡하고 비용이 많이 든다.
진공 펌프의 작동 중의 다른 주요 파라미터(critical parameter)는 로터를 지지하는 베어링의 온도이다. 베어링은 로터의 회전으로 인해 가열되는데, 기존의 윤활유가 한계 온도 이상에서 열화되어 윤활 특성을 잃어버릴 수도 있으므로 한계 온도를 넘지 않아야만 한다. 나아가, 베어링 온도는 또한 열적 변형에 의해서도 제한된다. 그러나, 높은 속도, 높은 입구 압력, 높은 입구 가스 온도뿐만 아니라 높은 냉각수 온도도 베어링의 온도에 기여하므로, 로터의 속도는 가능한 가장 열악한 작동 조건에서도 베어링의 한계 온도에 도달하지 않도록 그에 맞게 조정되어야만 한다. 이를 위해, 로터의 가능한 최대 회전 속도가 감소되고 그에 의해 펌프 출력도 줄어든다.
본 발명의 목적은 제조 비용이 저렴하고 최적의 성능을 내는 진공 펌프뿐만 아니라 그러한 진공 펌프를 작동시키는 방법을 제공하는 것이다.
이러한 목적은 청구항 1에 기재된 진공 펌프 및 청구항 11에 기재된 방법에 의해 달성된다.
특히 건조 압축 2-샤프트 펌프인 본 발명에 따른 진공 펌프는 입구 및 출구를 갖는 하우징을 포함한다. 하우징 내에는 특히 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되는 로터가 배열된다. 로터는 특히 적어도 하나의 로터 요소를 포함한다. 또한, 로터가 회전되도록 로터를 구동하기 위한 모터가 제공되며, 로터의 회전에 의해 가스상 매체가 입구로부터 출구로 전달된다. 또한, 진공 펌프는 모터를 제어하기 위해 모터에 연결된 제어 장치를 포함하며, 특히 모터의 속도가 제어된다.
본 발명에 따르면, 펌프의 적어도 하나의 작동 파라미터를 탐지하기 위해 센서가 제공되며, 센서는 제어 장치에 연결된다. 제어 장치는 상관 모듈(correlation module)을 포함하며, 상관 모듈은 탐지된 작동 파라미터를 진공 펌프의 주요 파라미터와 상관시키도록 구성된다. 그 후, 모터는 주요 파라미터에 기초하여 제어 장치에 의해 제어되며, 특히 모터의 속도가 제어된다. 따라서, 펌프의 적어도 하나의 탐지된 작동 파라미터로부터 진공 펌프의 주요 파라미터가 도출되고, 그에 기초하여 모터가 제어된다. 진공 펌프의 모든 작동 상황에서 주요 파라미터의 한계값이 초과되는 것을 확실하게 방지하는 각 주요 파라미터의 안전 여유를 더 이상 제공할 필요가 없다. 따라서, 본 발명에 따른 진공 펌프는 기존의 작동 파라미터의 함수로서 항상 최적의 출력을 생성할 수 있다.
바람직하게는, 1개 초과의 센서가 제공된다. 1개 초과의 센서를 제공하면, 진공 펌프의 1개 초과의 작동 파라미터, 특히 복수의 작동 파라미터를 탐지할 수 있다. 따라서, 주요 파라미터와 상관될 수 있는 복수의 작동 파라미터가 이용 가능하다. 대안적으로, 작동 파라미터가 특히 진공 펌프 상의 여러 위치에 있는 1개 초과의 센서에 의해 탐지되는 것도 가능하다.
바람직하게는, 탐지되는 작동 파라미터는 하기의 값 중 하나 이상이다: 입구 가스의 온도, 출구 가스의 온도, 유입되는 냉각 매체의 온도(냉각 매체는 특히 물임), 유출되는 냉각 매체의 온도(냉각 매체는 특히 물임), 모터의 회전 속도, 모터 출력(모터 출력은 특히 전기 모터의 로터의 회전과 여기 전압(exciting voltage) 사이의 위상 시프트 또는 전력 소비량에 의해 결정됨), 냉각 매체 유량, 진동뿐만 아니라, 입구 압력 및 출구 압력. 이들은 측정하기 용이한 작동 파라미터들이다. 특히, 이를 위해 필요한 센서는 저렴하다.
바람직하게는, 주요 파라미터는 로터 및/또는 스테이터 또는 하우징 간의 간격이다. 특히, 2-샤프트 펌프가 제공되는 경우, 주요 파라미터는 제공된 두 로터 사이의 간격일 수도 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 베어링 온도가 주요 파라미터로서 선택될 수 있다. 특히, 1개 초과의 주요 파라미터가 고려될 수 있다. 일반적으로 말하자면, 주요 파라미터는 그것의 한계값을 초과했을 때 진공 펌프의 손상 또는 진공 펌프의 고장을 초래하는 진공 펌프의 파라미터이다.
바람직하게는, 상관 모듈은 회귀(regression) 또는 퍼지 논리(fuzzy logic), 또는 일반적으로 머신 러닝 알고리즘에 의해, 바람직하게는 머신 러닝에 기초한 회귀 모듈 또는 회귀에 의해 작동 파라미터와 주요 파라미터를 상관시키도록 구성된다.
바람직하게는, 상관 모듈은 상관 함수에 의해 작동 파라미터와 주요 파라미터를 상관시키도록 구성된다. 여기에서, 기본적인 상관 함수는 진공 펌프의 모델에 기초할 수 있다. 따라서, 각각의 작동 파라미터 또는 복수의 작동 파라미터는 주요 파라미터(들)가 탐지된 작동 파라미터 또는 복수의 탐지된 작동 파라미터로부터 직접 도출될 수 있도록 상관 함수에 기초하여 주요 파라미터 또는 주요 파라미터들의 특정 값에 할당된다.
바람직하게는, 상관 모듈은 신경 회로망(neural network)를 포함하며, 신경 회로망은 특히 재귀 신경 회로망(recursive neural network)으로서 구성된다. 여기에서, 작동 파라미터와 주요 파라미터는 신경 회로망에 의해 서로 상관된다. 신경 회로망을 제공하면, 특정 모델로 되돌아가는 일 없이 작동 파라미터 또는 복수의 작동 파라미터가 주요 파라미터와 상관될 수 있다.
바람직하게는, 신경 회로망이 훈련되는데, 먼저, 적어도 하나의 주요 파라미터에 대해 적어도 하나의 센서가 제공된다. 훈련을 위해, 탐지된 작동 파라미터는 입력값으로 사용되고, 주요 파라미터는 출력값으로 사용된다. 여기에서, 출력값은 훈련을 위해 사용된 센서에 의해 결정되는 주요 파라미터와 비교되며, 그에 의해 신경 회로망이 훈련된다. 훈련은 각 펌프 타입에 대해, 즉 각각의 상이한 진공 펌프에 대해 한번씩만 실행되어야 한다. 일단 적절하게 훈련된 신경 회로망이 존재하면, 동일한 타입의 추가 진공 펌프 또는 무시해도 좋을 만큼만 변형된 진공 펌프의 제어에 있어서는 그것을 실행할 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 주요 파라미터에 대한 센서는 오직 훈련 중에만 필요하다. 실제 작동 중에는 주요 파라미터에 대한 센서가 필요하지 않다.
바람직하게는, 진공 펌프는 주요 파라미터에 대한 센서를 포함하지 않는다. 특히, 진공 펌프는 어떠한 주요 파라미터에 대한 센서도 포함하지 않는다. 주요 파라미터에 대한 센서는 특히 고가의 센서이므로, 이들 센서를 생략하면 진공 펌프에 대한 비용을 상당히 절감할 수 있다.
바람직하게는, 제어 장치는 주요 파라미터가 사전 규정된 한계값을 초과할 때 로터의 회전 속도를 감소시키도록 구성된다. 따라서, 진공 펌프의 손상이 방지된다.
바람직하게는, 회전 속도는 주요 파라미터가 사전 규정된 한계값에 도달하지 않은 경우 증가한다. 이것은 특히 위에서 설명한 것과 본질적으로 동일한 한계값이다. 이에 의해, 다양한 작동 파라미터에 의해 규정되는 기존의 작동 조건의 함수로서, 항상 최적의 작동 성능이 달성될 수 있다.
또한, 본 발명은 특히 상술한 바와 같은 펌프인 진공 펌프를 작동시키는 방법에 관한 것이다.
이하에서는, 첨부 도면을 참조하고 바람직한 실시예에 기초하여 본 발명에 대해 상세하게 설명할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 2-샤프트 펌프의 개략적인 도면이고,
도 2는 도 1의 진공 펌프의 제어도이다.
도시된 예시적인 실시예에서 스크류 펌프로 구성된 본 발명에 따른 진공 펌프(10)는 입구(14) 및 출구(15)를 갖는 하우징(12)을 포함한다. 하우징(12) 내에는 나선형 로터 요소(18)를 갖는 제 1 샤프트(16)가 배열된다. 그와 병렬로, 제 2 샤프트(20)가 하우징(12) 내에 배열되는데, 상기 제 2 샤프트는 제 1 샤프트(16)의 로터 요소(18)와 맞물리는 나선형 로터 요소(22)를 갖는다. 또한, 기어(26)를 거쳐서 2개의 샤프트(16, 20)를 구동 및 회전시키는 전기 모터(24)가 제공된다. 이를 위해, 샤프트(16, 20)는 베어링(28)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 2개의 샤프트(16, 20) 및 서로 반대 방향으로 회전하는 샤프트(16, 20)에 연결된 펌프 요소(18, 22)로 인해, 가스상 매체가 입구(14)로부터 출구(15)로 펌핑된다.
본 발명에 따른 진공 펌프(10)는 전기 모터(24)를 제어하기 위한 제어 장치(30)를 추가로 포함한다. 제어 장치(30)에는 진공 펌프(10)의 작동 파라미터들을 탐지하기 위한 다양한 센서가 연결된다. 예컨대, 도 1에서 센서(36)는 하우징(12)의 냉각 매체 공급 시스템(34)의 입구(32)에 배열된 온도 센서로서 구성된다. 이 센서(36)는 유입되는 냉각 매체의 온도를 탐지하며, 냉각 매체는 특히 물이다. 제어 장치(30)에 연결된 다른 센서(38)는 입구(14)에서의 입구 가스의 온도를 탐지한다. 추가 작동 파라미터들도 센서에 의해 탐지될 수 있는데, 추가 작동 파라미터는 예컨대 출구(15)에서의 출구 온도, 냉각 매체 공급 시스템(34)의 출구(40)에서 유출되는 냉각 매체의 온도, 로터 요소(18, 22)의 회전 속도, 전기 모터(24)의 모터 출력, 냉각 매체 공급 시스템(34)의 냉각 매체 유량, 하우징(12)에서의 진공 펌프(10)의 진동, 입구(14)에서의 입구 압력, 및/또는 출구(15)에서의 출구 압력이다.
복수의 상술한 작동 파라미터 또는 이들 작동 파라미터 전부는 개별적으로 제어 장치(30)에 의해 탐지된다. 제어 장치(30)는 탐지된 작동 파라미터가 진공 펌프(10)의 주요 파라미터와 상관되는 상관 모듈을 포함한다. 그 후, 제어 장치(30)는 그에 따라 결정된 주요 파라미터의 함수로서 진공 펌프(10)의 전기 모터(24)를 제어한다. 주요 파라미터는 예컨대 로터 요소(18, 22) 상호 간의 간격 또는 하우징(12)에 대한 로터 요소(18, 22) 각각의 간격이다. 로터 요소(18, 22)가 서로 또는 하우징(12)과 접촉하게 된다면, 이것은 진공 펌프의 심각한 손상 또는 심지어 파괴를 초래한다. 제어 장치(30)는 예컨대 회전 속도를 줄여서 그러한 접촉을 방지하기 위해 결정된 작동 파라미터 및 그에 따라 상관된 주요 파라미터에 기초하여 진공 펌프를 제어한다. 여기에서는 주요 파라미터의 직접적인 탐지는 필요하지 않다. 다른 주요 파라미터는 베어링(28)의 베어링 온도이다. 한계값을 초과했을 때에는 더 이상 베어링(28)의 윤활이 보장되지 않으므로, 이것은 베어링(28)의 파괴를 초래할 수도 있다. 추가 주요 파라미터들이 포함될 수도 있는데, 진공 펌프의 각 파라미터는 그에 대한 한계값이 존재하는 주요 파라미터로 여겨져서, 이 한계값을 초과하면 더 이상 진공 펌프의 적절한 작동이 보장되지 않고 진공 펌프는 심지어 손상 또는 파괴될 수도 있다.
도 2는 제어도를 나타낸다. 여기에서, 복수의 작동 파라미터(42)가 상관 모듈(44)에 제공된다. 도 2에 도시된 예에서, 3개의 작동 파라미터(42)가 사용된다. 그러나, 개수는 3개에 한정되지 않으므로, 그보다 더 많거나 더 적은 작동 파라미터(42)가 사용되어 상관 모듈(44)에 전달될 수도 있다.
특히, 상관 모듈(44)은 작동 파라미터(42)를 진공 펌프의 하나 이상의 주요 파라미터와 상관시키는 머신 러닝 기반 모델로서 구성될 수 있는 신경 회로망이다. 이를 위해, 상관 모듈의 신경 회로망은 적절한 방식으로 훈련된다. 특히, 전적으로 훈련을 위해서만 사용되는 센서가 진공 펌프에 제공되는데, 이 센서는 주요 파라미터를 직접 결정/측정하며, 주요 파라미터는 나중에 작동 중의 작동 파라미터에 기초하여 도출될 것이다. 여기에서는, 복수의 주요 파라미터가 관련될 수 있다. 신경 회로망을 훈련시키는 방법은 하기의 단계를 포함한다:
a) 적어도 하나의 작동 파라미터를 결정하는 단계;
b) 적어도 하나의 주요 파라미터에 대한 값과 상관시키는 단계;
c) 주요 파라미터의 결정된 값을 훈련 목적으로 제공된 센서에 의해 측정된 주요 파라미터와 비교하는 단계;
d) 불일치하거나 편차가 너무 큰 경우, 신경 회로망을 조정하고 단계 a) 내지 d)를 다시 실행하는 단계;
e) 일치하거나 편차가 사전 규정된 한계값 미만인 경우, 훈련을 종료하는 단계;
f) 그와 같이 훈련된 신경 회로망을 동일한 유형의 진공 펌프로 전달하는 단계.
여기에서, 각각의 상관 모듈 내에 그와 같이 전달된 신경 회로망을 포함한 진공 펌프는 특히 주요 파라미터를 직접 측정하기 위한 어떠한 센서도 포함하지 않는다.
도 2의 예시적인 실시예에서, 로터 요소들의 하우징(12)에 대한 간격 및 로터 요소들 상호 간의 간격과, 베어링(28)의 베어링 온도와 같은 2개의 주요 파라미터(46)가 제공된다. 상관 모듈(44)에 의해 작동 파라미터(42)로부터 결정된 주요 파라미터(46)는 그 후 비교기(50)에서 사전 규정된 한계값(48)과 비교된다. 주요 파라미터의 직접적인 측정을 위한 센서는 제공되지 않는다. 상관 모듈(44)에 의해 결정된 주요 파라미터(46)가 사전 규정된 한계값(48)을 초과하는 경우, 제어 요소(52)는 회전 속도를 조정하는데, 특히 회전 속도를 감소시킨다. 1개 초과의 결정된 주요 파라미터(46)가 각각의 한계값(48)을 넘는 경우, 최대 요소(maximum element)(54)는 단지 더 많은 양의 초과가 고려되는 것을 허용한다. 더 많은 양의 초과로 인해 제어 장치(52)에 의해 회전 속도가 감소되면 다른 주요 파라미터의 더 작은 양의 초과는 취소된다.
그러나, 상관 모듈(44)에 의해 결정된 주요 파라미터(46)가 사전 규정된 한계값(48)보다 낮은 경우, 제어 요소(52)는 회전 속도를 증가시킨다. 그러나, 이를 위해, 회전 속도의 최대 절대값이 한계값(55)으로 규정된다. 제어 요소(52)에 의한 회전 속도의 증가는 비교기(56)에서 한계값(55)과 비교된다. 최대 허용 회전 속도에 아직 도달하지 않은 경우, 회전 속도의 증가는 전기 모터(24)에 전달된다. 이를 위해, 도 2의 제어도는 전기 모터(24)에 연결되는 연결부(58)를 포함한다.
따라서, 상술한 바와 같은 진공 펌프를 작동시키는 방법은 하기의 단계들을 포함한다:
a) 적어도 하나의 작동 파라미터를 측정하는 단계;
b) 측정된 작동 파라미터를 적어도 하나의 주요 파라미터와 상관시키는 단계;
c) 결정된 주요 파라미터를 사전 규정된 한계값과 비교하는 단계;
d) 실행된 비교의 함수로서 모터를 제어하는 단계― 특히 속도를 조정함 ―.
따라서, 진공 펌프(10)는 가능한 가장 열악한 작동 조건을 위해 설계될 필요는 없지만, 작동은 기존의 작동 파라미터에 동적으로 맞춰질 수 있으며, 진공 펌프의 작동에 관한 주요 파라미터가 사전 규정된 한계값을 초과하지 않도록 항상 주의해야 한다. 그러나, 주요 파라미터가 한계값보다 낮으면, 회전 속도의 증가 및 그에 따른 펌프 출력의 증가가 허용된다.

Claims (12)

  1. 특히 건조 압축 2-샤프트 펌프(dry compression two-shaft pump)인 진공 펌프로서,
    입구(14) 및 출구(15)를 갖는 하우징(12),
    상기 입구(14)로부터 상기 출구(15)로 가스상 매체를 전달하기 위해 상기 하우징(12) 내에 배열된 로터(16, 20),
    상기 로터(16, 20)를 회전시키기 위한 모터(24), 및
    상기 모터(24), 특히 속도를 제어하기 위해 상기 모터(24)에 연결된 제어 장치(30)를 포함하는, 진공 펌프에 있어서,
    상기 진공 펌프(10)의 적어도 하나의 작동 파라미터(42)를 탐지하기 위해 적어도 하나의 센서(36, 38)가 제공되고, 상기 센서(36, 38)는 상기 제어 장치(30)에 연결되며,
    상기 제어 장치(30)는 상관 모듈(correlation module)(44)을 포함하고, 상기 상관 모듈(44)은 탐지된 작동 파라미터(42)를 적어도 하나의 주요 파라미터(critical parameter)(46)와 상관시키도록 구성되고, 상기 모터(24)는 상기 주요 파라미터(46)를 기초로 제어되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탐지된 작동 파라미터(42)는 입구 가스 온도, 출구 가스 온도, 입구 냉각 매체 온도, 출구 냉각 매체 온도, 회전 속도, 모터 출력, 냉각 매체 유량, 진동, 입구 압력 및 출구 압력의 값들 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 주요 파라미터(46)는 로터(16, 20)와 스테이터 또는 하우징(12) 또는 다른 로터(16, 20) 사이의 간격, 및/또는 베어링 온도인 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상관 모듈(44)은 회귀(regression) 및/또는 퍼지 논리(fuzzy logic) 및/또는 머신 러닝 알고리즘에 의해 상기 작동 파라미터(42)와 상기 주요 파라미터(46)를 상관시키는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상관 모듈(44)은 상관 함수에 의해 상기 작동 파라미터(42)와 상기 주요 파라미터(46)를 상관시키는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상관 모듈(44)은 특히 재귀 신경 회로망(recursive neural network)을 포함하고, 상기 신경 회로망에 의해 상기 작동 파라미터(42)와 상기 주요 파라미터(46)를 상관시키는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 신경 회로망은 훈련되는데, 먼저, 적어도 하나의 주요 파라미터에 대해 적어도 하나의 센서가 제공되며, 훈련을 위해, 상기 탐지된 작동 파라미터(42)는 입력값으로 사용되고 상기 주요 파라미터는 출력값으로 사용되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 주요 파라미터를 위해 센서가 제공되지 않는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 장치(30)는 상기 주요 파라미터(46)가 사전 규정된 한계값(48)을 초과하는 경우 상기 로터(16, 20)의 회전 속도를 감소시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 주요 파라미터(46)가 사전 규정된 한계값(48)보다 낮은 경우, 상기 로터(16, 20)의 회전 속도가 증가되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프.
  11. 특히 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프를 작동시키는 방법에 있어서,
    상기 진공 펌프의 적어도 하나의 작동 파라미터를 측정하는 단계;
    측정된 작동 파라미터를 상기 진공 펌프의 적어도 하나의 주요 파라미터와 상관시키는 단계;
    결정된 주요 파라미터를 사전 규정된 한계값과 비교하는 단계; 및
    실행된 비교의 함수로서 상기 진공 펌프의 모터를 제어하는 단계― 특히 속도를 조정함 ―를 포함하는
    진공 펌프 작동 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    특히 신경 회로망을 포함하는 상관 모듈이 제공되고, 상기 상관 모듈 및 특히 상기 상관 모듈의 신경 회로망은,
    a) 상기 적어도 하나의 작동 파라미터를 결정하는 단계;
    b) 상기 적어도 하나의 주요 파라미터에 대한 값과 상관시키는 단계;
    c) 상기 주요 파라미터의 결정된 값을 훈련 목적으로 제공된 센서에 의해 측정된 주요 파라미터와 비교하는 단계;
    d) 불일치하거나 편차가 너무 큰 경우, 상기 상관 모듈, 특히 상기 신경 회로망을 조정하고 단계 a) 내지 d)를 다시 실행하는 단계;
    e) 일치하거나 편차가 사전 규정된 한계값 미만인 경우, 훈련을 종료하는 단계; 및
    f) 그와 같이 훈련된 신경 회로망을 동일한 유형의 진공 펌프로 전달하는 단계에 의해 훈련되는
    진공 펌프 작동 방법.
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