KR20210025174A - 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치 - Google Patents

다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치 Download PDF

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KR20210025174A
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Abstract

본 발명의 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 순환관과 연결되는 분기부재에 다수의 모세관이 설치되는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부의 누설을 검사하기 위한 것으로, 프레임에 설치된 베이스테이블를 구비한 본체부와, 상기 본체부에 설치된 액튜에이터에 의해 승강되며 상기 베이스테이블에 결합됨으로써 검사공간을 구획하는 챔버를 포함하는 챔버유닛과, 상기 챔버유닛에 설치되어 검사공간의 누설검사가스의 배출하여 환기하기 위한 환기유닛과, 챔버 또는 베이스테이블에 설치되는 노즐을 통하여 검사공간에 누설검사가스를 공급하기 위한 가스공급유닛과, 상기 챔버의 검사공간에 설치되어 상기 다발성분기 모세관유닛의 각 모세관과 결합되어 모세관의 단부를 밀폐하기 위한 모세관밀폐지그유닛과, 상기 모세관밀폐지그에 지지된 다발성 모세관유닛의 분기부재와 결합되어 내부를 진공시키기 위한 진공유닛과, 상기 진공유닛에 의해 상기 다발성 분기 모세관유닛를 내부를 진공시 배출되는 누설검사가스를 감지하는 누설가스검출유닛을 구비한다.

Description

다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치{leakage detection apparatus of capillary tube unit}
본 발명은 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부위 누설여부를 검출할 수 있는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치에 관한 것이다.
일반적으로 공기조화기, 냉장 및 냉동기, 히트펌프 등은 냉매의 상변화를 이용한 냉동사이클에 의해 구동된다. 이러한 냉동사이클은 고온 저압의 기체 냉매는 압축기에서 압출되어 응축기로 이송되고, 응축기에서 이러한 고온 고압의 기체 냉매는 증발기에서 흡수한 열과 압축기의 일량에 해당하는 열을 방출하고, 저온 고압의 액체 냉매로 응축된다. 그리고 응축기에 의해 응축된 액체 냉매는 교축부를 통과한 후 증상대적으로 압력이 낮은 증발기 내에서 증발되어 증발잠열을 흡수하게 된다.
한편, 이러한 교축부는 냉동싸이클에 있어서, 고압측과 저압측을 구확하는 분기부가 되는데, 일반적으로, 모세관 또는 온도에 따라 냉매량의 흐름을 제어할 있는 익스펜션밸브 등이 이용된다.
이러한 교축부는 기후변화 등으로 인하여 기존의 프레온계 냉매(염화불화 탄소, 수소염화불화탄소) 냉매의 사용의 지양되고, 가연성이 높은 프로판계열(R290 냉매), 부탄계열(R600a 냉매)의 냉매가 개발되어 사용되고 있다. 이러한 가연성이 높은 냉매의 사용 시 냉매가 누설되면, 폭발의 위험성이 있으므로 교축부를 포함하는 냉매순환관의 누설 관리기준이 높아지고 있다.
한편, 이러한 교축부를 이루는 모세관은 동과 같은 금속재질로 이루어지며 일정길이를 초과하는 관으로 형성하기 위해서는 일정 길이로 된 각 모세관을 용접하여 사용하고 있으며, 특히, 냉매순환관에 다수개의 모세관이 연결되는 다발성 분기 모세관유닛은 다수개의 모세관이 분기부에 용접된 구조를 가지고 있으므로 용접에 따른 누설검사가 필수적으로 수행된다.
상기와 같은 모세관의 용접부위의 검사는 육안(肉眼) 또는 물에 담긴 수조에 넣어 기포 발생 여부를 확인하거나, 별도의 압력게이지가 장착된 장치를 통하여 검사를 진행하는 방식이 주로 사용되어 왔다. 예컨대, 검사를 요하는 모세관의 일측선단을 차단하는 볼트를 설치하고 타측 선단을 통해 검사용 가스를 주입하고 그 주입된 가스의 압력을 압력게이지로 확인하여 용접부를 통해 가스가 누설되는지 여부를 확인하였다.
그러나 상기와 같은 방식은 검사용 가스가 주입되는 부위의 밀폐가 제대로 이루어 지지 않아 압력게이지를 통해 측정된 수치의 신뢰도가 떨어지는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 제 2018-0015497호에는 모세관 누설검사장치가 게시되어 있다. 게시된 모세관 누설검사장치는 용접하여 연결된 모세관에 검사용 가스를 주입하여 압력변화를 측정함으로써 연결부의 누설 여부를 확인할 수 있는 구조를 가진다. 이러한 모세관 누설검사장치는 모세관의 내부에 가스를 주입하고 압력의 변화를 검출하게 되므로 상대적으로 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다. 특히 미세한 압력의 변화의 검출이 용이하지 않다.
대한민국 공개 특허 제 2010-0061889호에는 모세관압력 검사장치용 보조장치가 게시되어 있다.
대한민국 특허 공개 제2007-035013호 대한민국 특허등록 제 10-1007651호 대한민국 특허등록 제 2012-091524호 0004)대한민국 특허등록 제 1999-037945호
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 다발성 분기 모세관 유닛의 용접부 누설검사에 따른 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 누설검사 시간을 단축시킬 수 있는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 검사를 위한 헬륨(He) 가스의 소모량을 줄일 수 있으며, 누설량 검출에 따른 작업공수를 줄여 생산성의 향상을 도모할 수 있는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치를 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 순환관과 연결되는 분기부재에 다수의 모세관이 설치되는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부의 누설을 검사하기 위한 것으로, 프레임에 설치된 베이스테이블를 구비한 본체부와, 상기 본체부에 설치된 액튜에이터에 의해 승강되며 상기 베이스테이블에 결합됨으로써 검사공간을 구획하는 챔버를 포함하는 챔버유닛과,
상기 챔버의 검사공간의 누설검사가스의 배출하여 환기하기 위한 환기유닛과,
챔버 또는 베이스테이블에 설치되는 노즐을 통하여 검사공간에 누설검사가스를 공급하기 위한 가스공급유닛과,
상기 챔버의 검사공간에 설치되어 상기 다발성분기 모세관유닛의 각 모세관과 결합되어 모세관의 단부를 밀폐하기 위한 모세관밀폐지그유닛과,
상기 모세관밀폐지그에 지지된 다발성 분기 모세관유닛의 분기부재와 결합되어 내부를 진공시키기 위한 진공유닛과,
상기 진공유닛에 의해 상기 다발성 분기 모세관유닛를 내부를 진공 시 배출되는 누설검사가스를 감지하는 누설가스검출유닛을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 누설검사가스는 헬륨(He)가스 이다. 그리고 상기 모세관밀폐지그유닛은 다발성 분기 모세관유닛의 모세관(120)의 단부를 밀폐하기 위한 것으로, 모세관밀폐지그와, 이 모세관밀폐지그의 양단부와 베이스플레이트의 사이에 설치되는 승강실린더를 구비하며,
상기 모세관밀폐지그는 상기 승강실린더들에 의해 양측에 지지되어 승강되는 것으로, 지그본체와, 상기 지그본체의 하면에 부착되는 패킹부재를 구비한다.
상기 진공유닛은 챔버가 베이스플레이트의 상면과 밀착된 상태에서 상기 다발성 분기 모세관유닛의 내부를 진공압을 공급하여 이의 내부가 진공상태가 유지될 수 있도록 한 것으로 진공펌프와, 상기 진공펌프와 다발성 분기 모세관유닛을 연결하는 배출관을 구비하며,
상기 누설가스검출유닛은 진공유닛에 의해 다발성 분기 모세관유닛의 내부 진공이 이루어지는 과정에서 배출되는 기체에 누설감지가스인 헬륨가스가 포함되어 있는지를 검출하기 위한 것으로, 상기 배출관과 연결관에 의해 연결되어 헬륨가스를 감출하기 위한 헬륨가스검출센서와, 다발성 분기 모세관유닛의 내부압을 검출하는 진공압검출센서와, 헬륨가스검출센서와 다발성분기모세관유닛에 의해 검출된 정보를 표시하기 위한 디스플레이어를 포함한다.
본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 냉동싸이클의 순환관과 연결되는 분기부재에 다수개의 모세관이 용접된 다발성 분기 모세관유닛의 검사에 따른 시간을 단축 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 그리고 종래와 같이 다발성 분기 모세관의 내부에 압력을 인가한 상태에서 압력의 변화 또는 침수시켜 기포의 발생을 이용한 누설감지에 따른 문제점 즉, 다발성 분기 모세관유닛의 이차오염 및 이를 제거하기 위한 작업공수가 증가하는 문제점을 근본적으로 방지할 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 용접부위의 누설검사 가스의 소모량을 줄일 수 있으며, 검사시간을 단축시켜 생산성의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치를 나타내 보인 정면도,
도 2는 도 1에 도시된 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치의 평면도,
도 3은 도 1에 도시된 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치의 측면도,
도 4는 모세관밀폐지그유닛에 의한 누설검출장치의 요부를 발췌하여 도시한 측면도,
도 5는 모세관이 모세관밀폐지그에 의해 밀폐된 상태를 발체하여 도시한 단면도.
본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 모세관의 용접부위 누설상태를 검출하기 위한 것으로, 그 일 실시예를 도 1 내지 도 3에 나타내 보였다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치(10)는 냉동싸이클의 응축기에 의해 응축되는 냉매를 순환시키기 위한 순환관에 설치되는 분기부재(110)에 다수개의 모세관(120)들이 용접된 다발성 분기 모세관유닛(100)의 용접부위의 누설을 검출하기 위한 것으로, 프레임(11)에 설치되는 베이스테이블(11)을 구비한 본체부(15)와, 상기 본체부(15)에 설치된 액튜에이터(23)에 의해 승강되며 상기 베이스테이블(11)에 결합됨으로써 검사공간(21)을 구획하는 챔버(22)를 포함하는 챔버유닛(20)을 구비한다. 그리고 상기 챔버유닛(20)에 설치되어 검사공간의 누설검사가스의 배출하여 환기하기 위한 환기유닛(30)과, 챔버 또는 베이스테이블(12)에 설치되는 노즐을 통하여 검사공간에 누설검사가스를 공급하기 위한 가스공급유닛(40)을 구비한다.
상기 챔버의 검사공간에 설치되어 상기 다발성 분기 모세관유닛(100)의 각 모세관(120)과 결합되어 모세관(120)의 단부를 밀폐하기 위한 모세관밀폐지그(50)을 포함하는 모세관밀폐지그유닛(60)을 구비한다. 또한 상기 모세관밀폐지그유닛(60)에 의해 모세관(120)들의 단부가 막힌 다발성 분기 모세관유닛(100)과 연결되어 내부를 진공시키기 위한 진공유닛(70)과, 이 진공유닛(70)에 의해 상기 다발성 분기 모세관유닛(100)의 내부 진공 시 배출되는 누설검사가스를 감지하여 용접부위의 누설여부를 검사하는 누설가스검출유닛(80)을 구비한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치를 구성요소별로 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치(10)의 본체부(15)는 베이스테이블(11)의 하면에 이를 지지하기 프레임(12)이 설치되는데, 이 프레임(12)에는 후술하는 진공유닛(70)이 설치되는 공간을 형성하게 된다. 그리고 본체부(15)를 이루는 베이스부재(11)의 상면은 평활한 상태를 유지하여 챔버(22)의 하면과 밀착 시 기밀을 유지할 수 있도록 함이 바람직하다.
상기 챔버유닛(20)은 다발성 분기 모세관유닛(100)의 누설검사를 위한 것으로, 상기 베이스플레이트(11)와 대응되는 하면이 개방되며 검사공간(21)을 형성하는 챔버(22)를 포함한다. 이 챔버(22)는 상기 본체부(15)에 지지된 액튜에이터(23)에 의해 베이스테이블(11)과 밀착 및 분리할 수 있도록 구성된다. 상기 액튜에이터(23)는 공압실린더를 사용함이 바람직하며 상기 챔버(22)를 수직으로 승강시킬 수 있도록 함이 바람직하다. 이러한 챔버(22)는 베이스테이블(11)과 결합되어 후술하는 베이스테이블(11)에 설치된 모세관밀폐지지유닛(60)을 감싸게 된다. 상기 챔버(22)의 가장자리에는 베이스플레이트(11)와 접촉 시 기밀을 위한 실링재가 설치될 수 있다.
그리고 상기 환기유닛(30)은 상기 챔버(22)에 가스공급유닛(40)에 의해 공급된 누설검사가스 즉, 헬륨(He)가스를 검사공간으로부터 배출시키기 위한 것으로, 상기 본체부(15)의 프레임(12)에 설치되는 송풍기(31)와 상기 송풍기(31)와 챔버(22)의 검사공간을 연결하는 배출관(32)을 포함하다. 상기 배출관(32)은 플랙시블한 관으로 이루어지며 상기 챔버의 승강 시 간섭되지 않도록 함이 바람직하다. 상기 송풍기는 시로코팬을 사용함이 바람직하며, 이 시로코팬과 연결되는 배출관(32)은 배출력의 균일성을 도모하기 위하여 복수개 설치될 수 있다. 그리고 상기 배출관(32)에는 챔버(22)의 검사공간(21)의 진공 시 검사공간(21)을 구획하기 위한 차단밸브(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 모세관밀폐지지유닛(60)은 다발성 분기 모세관유닛(100)의 모세관(120)의 단부를 밀폐하기 위한 것으로, 모세관밀폐지그(50)와, 이 모세관밀폐지그(50)의 양단부와 베이스플레이트(11)의 사이에 설치되는 승강실린더(61)를 구비한다. 상기 승강실린더(61)는 공압실린더를 상용함이 바람직하다. 상기 승강실린더(61)들은 챔버(22)에 의해 구획된 검사공간(21)과 대응되는 측의 베이스플레이트(11)에 고정된 브라켓(62)에 설치된다. 상기 모세관밀폐지그(50)를 승강시키는 승강실린더(61)는 상술한 실시예에 의해 한정되지 않고, 상기 모세관밀폐지그(50)을 승강시킬 수 있는 구조이면 가능하다. 예컨대, 리드스크류, 솔레노이드 등으로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 모세관밀폐지그(50)는 상기 승강실린더(61)들에 의해 양측에 지지되어 승강되는 것으로, 지그본체(51)와, 상기 지그본체(51)의 하면에 부착되는 패킹부재(55)를 구비한다. 상기 지그본체(51)와 패킹부재(55)는 다발성 분기 모세관유닛(100)의 모세관(120) 단부의 높이 차이에 대응하여 단차부(52)가 형성될 수 있다.
상기 모세관밀폐지그(50)는 상술한 실시예에 의해 한정되지 않고, 상기 모세관밀폐지그에 다발성 분기 모세관유닛(100)의 각 모세관(120)과 대응되는 상기 관통공이 형성되고, 이 관통공의 내부에 모세관의 단부 또는 관통에 삽입된 모세관의 외주면에 밀착되어 모세관(120)의 단부를 밀폐하는 실링부재가 설치될 수 있다. 상기 실링부재가 모세관(120)의 단부측 외주면에 밀착되는 경우 실링부재를 가압하기 위한 가압수단이 더 구비될 수 있다. 그리고 상기 모세관밀폐지그의 하면과 대응되는 측에는 다발성 분기 모세관유닛(100)을 지지하거나 고정할 수 있는 지지부(미도시)가 더 구비될 수 있다.
한편, 상기 진공유닛(70)은 챔버(22)가 베이스플레이트(11)의 상면과 밀착된 상태에서 상기 발성 분기 모세관유닛(100)의 내부를 진공압을 공급하여 이의 내부가 진공상태가 유지될 수 있도록 한 것으로 진공펌프(71)와, 상기 진공펌프(71)와 다발성 분기 모세관유닛(100)을 연결하는 가스배출관(72)을 구비한다. 상기 가스배출관(72)에는 진공압의 공급 및 차단을 위한 밸브가 설치될 수 있다.
상기 가스공급유닛(40)은 밀폐가 이루어진 챔버(22)의 검사공간(21)에 누설감지가스인 헬륨을 공급하기 위한 것으로, 챔버(22)의 내부에 설치되는 가스분사노즐(41)들과, 상기 가스분사노즐(41)들과 가스공급관(42)에 의해 연결되는 가스봄베(45)를 구비한다. 상기 가스봄베(45)에는 누설감시가스인 헬륨가스가 저장된다. 그리고 가스공급관 또는 각 가스분사노즐(41) 측에는 가스의 분사를 제어하기 위한 제어밸브(43)가 설치된다.
상기 누설가스검출유닛(80)은 진공유닛(70)에 의해 다발성 분기 모세관유닛(100)의 내부 진공이 이루어지는 과정에서 배출되는 기체에 누설감지가스인 헬륨가스가 포함되어 있는지를 검출하기 위한 것으로 상기 가스배출관(71)과 연결관(81)에 의해 연결된다. 상기 누설가스검출유닛(80)은 가스공급유닛(40)에 의해 공급되는 헬륨가스를 감출하기 위한 헬륨가스검출센서, 진공압검출센서, 헬륨가스검출센서와 진공압검출센서에 의해 검출된 정보를 표시하기 위한 디스플레이어를 구비한다. 상기 누설가스검출유닛(80)에는 가스공급유닛(40), 진공유닛(70), 챔버유닛(20) 등을 제어하기 위한 제어부를 더 구비한다.
상기 헬륨가스검출센서는 AGILENT TECHNOLOGIES사의 PR02-G8611A의 제품을 사용함이 바람직하다. 이는 리크 값(rate) 2.4x10-■ Pa.mㅃ의 가스검출이 가능하다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치를 작용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 다발성 분기 모세관유닛(100)의 모세관(120)의 용접부위 누설 상태를 검출하기 위해서는 먼저, 상기 챔버유닛(20)의 액튜에이터(23)을 작동시켜 상기 챔버(22)를 베이스플레이트(11)에 대해 상승시킨다.
그리고 베이스플레이트(11)에 지지부에 분기부재(110)과 모세관(120)의 용접부위의 누설여부를 검출하기 위한 다발성 분기 모세관유닛(100)을 장착하고, 분기부재(110)를 진공유닛(70)의 가스배출관(72)과 연결한다. 이때에 상기 다발성 분기 모세관유닛(100)의 모세관(120)의 단부는 상기 모세관밀폐지그(50)의 패킹부재(55)와 대응되도록 위치된다. 특히 모세관밀폐지그에 모세관이 삽입되는 관통공이 형성된 경우에는 모세관의 단부가 상기 관통공과 대응되는 위치에 설치되어야 함은 당연하다.
상기와 같이 다발성 분기 모세관유닛(100)의 장착이 완료되면, 모세관밀폐지그유닛(60)의 승강실린더(61)를 작동시켜 모세관밀폐지그(50)의 패킹부재(55)에 지지부에 지지된 다발성 분기 모세관유닛(100)의 모세관의 단부가 밀착 및 가압되도록 하여 모세관(120)의 단부를 밀폐한다.
상기와 같이 다발성 분기 모세관유닛(100)의 장착이 완료되면 상기 챔버유닛(20)의 액튜에이터(23)를 작동시켜 상기 챔버(22)를 하강시켜 개구된 단부가 베이스플레이트(11)의 상면에 밀착되도록 함으로써 다발성 분기 모세관유닛(100)를 감싸는 검사공간(21)을 밀폐한다. 아울러 진공유닛(70)의 진공펌프(71)를 구동시켜 다발성 분기 모세관유닛(100)의 내부가 진공상태가 유지될 수 있도록 하고, 상기 챔버(22)의 검사공간(21)에 가스공급유닛(40)을 이용하여 누설검사가스인 헬륨가가스를 미량 공급한다. 상기 다발성 분기 모세관유닛(100) 내의 진공도는 0.09torr를 유지함이 바람직하다.
상기와 같이 다발성 분기 모세관유닛(100)의 내부에 진공이 이루어지는 과정에서 배기되는 기체로부터 상기 누설검출유닛(80)의 헬륨가스검출센서에 의해 헬륨의 유무를 검출하여 용접부위의 누설상태의 여부를 감지하게 된다. 상기 헬륨가스가 검출의 이루어지면 용접부위가 누설되는 것을 간주한다.
상기와 같이 모세관 용접부위의 리크여부의 검사가 왼료되면 상기 챔버유닛(20)의 액튜에이터(23)를 작동시켜 상기 챔버(20)을 상승시킴가 아울러 상기 환기유닛(30)의 송풍기(31)를 작동시켜 챔버(22)의 검사공간이 청정한 상태를 유지할 수 있도록 환기시킨다.
이러한 과정에서 상기 베이스테이블(11)의 지지부로부터 누설검사가 완료된 다발성 분기 모세관유닛(100)을 분리한다.
상술한 바와 같이 본원 발명의 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 챔버의 검사공간의 헬륨가스 분위기로 조성하고, 이의 내부에 설치된 다발성 분기 모세관유닛의 모세관들을 밀폐한 상태에서 내부공간에 진공압을 인가하여 다발성 분기 모세관유닛의 내부로 헬륨가스의 유입여부를 감지하여 용접부위의 누설여부를 검출하게 된다. 이러한 검출장치는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부위 누설검사에 따른 작업공수를 줄일 수 있으며, 누설검사에 따른 2차 오염을 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 사람이라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 순환관과 연결되는 분기부재에 다수의 모세관이 설치되는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부의 누설을 검사하기 위한 것으로, 프레임에 설치된 베이스테이블를 구비한 본체부와, 상기 본체부에 설치된 액튜에이터에 의해 승강되며 상기 베이스테이블에 결합됨으로써 검사공간을 구획하는 챔버를 포함하는 챔버유닛과,
    상기 챔버유닛에 설치되어 검사공간의 누설검사가스의 배출하여 환기하기 위한 환기유닛과,
    챔버 또는 베이스테이블에 설치되는 노즐을 통하여 검사공간에 누설검사가스를 공급하기 위한 가스공급유닛과,
    상기 챔버의 검사공간에 설치되어 상기 다발성분기 모세관유닛의 각 모세관과 결합되어 모세관의 단부를 밀폐하기 위한 모세관밀폐지그유닛과,
    상기 모세관밀폐지그에 지지된 다발성 모세관유닛의 분기부재와 결합되어 내부를 진공시키기 위한 진공유닛과,
    상기 진공유닛에 의해 상기 다발성 분기 모세관유닛를 내부를 진공시 배출되는 누설검사가스를 감지하는 누설가스검출유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    누설검사가스는 헬륨(He)인 것을 특징으로 하는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 모세관밀폐지그유닛은 발성 분기 모세관유닛의 모세관(120)의 단부를 밀폐하기 위한 것으로, 모세관밀폐지그와, 이 모세관밀폐지그의 양단부와 베이스플레이트의 사이에 설치되는 승강실린더를 구비하며,
    상기 모세관밀폐지그는 상기 승강실린더들에 의해 양측에 지지되어 승강되는 것으로, 지그본체와, 상기 지그본체의 하면에 부착되는 패킹부재를 구비한 것을 특징으로 하는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 지그본체와 패킹부재는 다발성 분기 모세관유닛의 모세관 단부의 높이 차이에 대응하여 단차부가 형성된 것을 특징으로 하는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 진공유닛은 챔버가 베이스플레이트의 상면과 밀착된 상태에서 상기 발성 분기 모세관유닛의 내부를 진공압을 공급하여 이의 내부가 진공상태가 유지될 수 있도록 한 것으로 진공펌프와, 상기 진공펌프와 다발성 분기 모세관유닛을 연결하는 가스배출관을 구비하며,
    상기 누설가스검출유닛은 진공유닛에 의해 발성 분기 모세관유닛의 내부 진공이 이루어지는 고정에서 배출되는 기체에 누설감지가스인 헬륨가스가 포함되어 있는지를 검출하기 위한 것으로 상기 가스배출관과 연결관에 의해 연결되는 헬륨가스를 감출하기 위한 헬륨가스검출센서와, 다발성 분기 모세관유닛의 내부압을 검출하는 진공압검출센서와, 상기 검출된 정보를 정보를 표시하기 위한 디스플레이어를 포함한 것을 특징으로 하는 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치.













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