KR20210013139A - 분광기, 천체망원경 및 분광기의 제조 방법 - Google Patents

분광기, 천체망원경 및 분광기의 제조 방법 Download PDF

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교세라 가부시키가이샤
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Abstract

본 개시의 분광기는, 회절격자가 형성된 제 1 면과 상기 제 1 면의 이면인 제 2 면을 갖는 제 1 기재와, 회절격자가 형성된 제 3 면과 상기 제 3 면의 이면인 제 4 면을 갖는 제 2 기재와, 상기 제 4 면과 대향하는 제 1 구멍과 제 2 구멍을 갖는 덮개를 갖고, 상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재를 배열해서 고정하는 홀더와, 상기 제 2 구멍에 배치되고, 상기 제 4 면과 상기 덮개를 접속해서 상기 제 2 기재를 상기 홀더와는 비접촉으로 고정하는 고정 부재를 구비하는 분광기이다.

Description

분광기, 천체망원경 및 분광기의 제조 방법
본 개시는 분광기, 분광기를 구비한 천체망원경, 및 분광기의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 회절격자를 갖는 기재를 구비한 분광기가 천체망원경에 사용되고 있다. 일반적으로, 고감도이고 또한 고정밀도의 분광기를 얻기 위해서는, 직육면체 형상의 기재로 형성하는 회절격자의 면적을 크게 하는 것이 필요하다. 그러나, 1체의 기재의 크기에는 제조상의 한계가 있기 때문에, 복수의 기재를 나란히 배치함으로써 기재의 실질적인 대형화를 꾀하는 것이 행하여지고 있다(특허문헌 1, 비특허문헌 1 참조).
복수의 기재가 나란히 배치된 분광기에 있어서는, 각 기재끼리의 자세, 즉 회절격자가 형성된 면끼리가 이루는 각도가 소정의 범위로 되도록 정밀하게 제어하는 것이 필요하다. 비특허문헌 1에서는, 기재가 위치 및 각도 조정 가능하게, 홀더에 유지되어 있다. 이러한 구성에서는, 분광기의 사용시에 2체의 기재의 위치조정이 필요하게 된다. 한편, 한번 확정한 기재와 홀더의 위치 관계가 불변적으로 되도록, 홀더에 기재가 고정되어 부착되어 있는 구성으로 하기 위해서는, 각 기재를 정밀도 좋게 고정할 필요가 있다.
일본 특허공개 평 6-94527호 공보
First high-efficiency and high-resolution(R=80,000) NIR spectroscopy with high-blazed echelle grating: WINERED HIRES modes(Shogo Otsubo 등)
본 개시의 분광기는 제 1 기재와, 제 2 기재와, 홀더와, 고정 부재를 구비한다. 제 1 기재는 회절격자를 갖는 제 1 면과 상기 제 1 면의 이면인 제 2 면을 갖는다. 제 2 기재는 회절격자를 갖는 제 3 면과 상기 제 3 면의 이면인 제 4 면을 갖는다. 홀더는 상기 제 4 면과 대향하는 제 1 구멍과 제 2 구멍을 갖는 덮개를 갖고, 상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재를 배열해서 고정한다. 고정 부재는 상기 제 2 구멍에 배치되고, 상기 제 4 면과 상기 덮개를 접속해서 상기 제 2 기재를 상기 홀더와는 비접촉으로 고정한다.
또한, 본 개시의 분광기의 제조 방법은, 상기 분광기의 제조 방법으로서 이하의 공정을 구비한다. 상기 공정의 하나는, 상기 제 1 기재를 상기 홀더에 고정하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 상기 제 2 기재를 상기 홀더에 배치하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 자세 조정 기구의 일부인 자세 조정 부재를 상기 제 1 구멍에 통과시켜서 상기 제 4 면에 접속하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 상기 자세 조정 부재를 사용해서 상기 제 2 기재의 위치를 상기 제 1 기재의 위치에 맞춰서 조정하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 상기 제 2 구멍에 고정 부재를 배치하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 상기 제 4 면과 상기 덮개를 상기 고정 부재를 개재해서 고정하는 공정이다. 상기 공정의 하나는, 상기 자세 조정 부재의 적어도 일부를 제거하는 공정이다.
도 1은 본 실시형태의 분광기를 구비한 천체망원경의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 분광기를 구성하는 기재와 홀더의 사시도이다.
도 3은 자세 조정 부재를 구비하는 자세 조정 기구와 도 2에 나타내는 분광기를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 실시형태의 분광기의 제조 방법을 나타내는 개략도이다
본 개시의 분광기에 대해서, 천체망원경용의 분광기를 예로 해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 분광기를 구비한 천체망원경의 일례를 나타내는 모식도이다.
천체망원경(10)은 외부로부터의 전자파(W)를 제한해서 통과시키는 슬릿(20)과, 슬릿(20)을 통과한 전자파(W)를 평행하게 하는 렌즈(30)와, 평행하게 된 전자파(W)를 반사하기 위한 금이 표면에 피복된 미러(40)와, 홀더(3)에 폭 방향으로 어긋나게 한 상태에서 직렬로 나란히 배치되고, 반사된 전자파(W)를 파장마다 분광하는 회절격자(도 1에서는 도시하지 않음)를 구비한 기재(1, 2)와, 기재(1, 2)를 고정하는 홀더(3)와, 분광의 광로를 따라 순차 배치되는 렌즈군(70)과, 검출기(적외선 어레이)(80)를 구비하고 있다. 이들 부품은 창부를 구비한 저온 유지 기구(90)에 수용되어, 온도 변동이 억제되어 있다. 도 1에 있어서의 분광기는, 기재 (1, 2) 및 홀더(3)를 구비하고 있다.
저온 유지 기구(90)의 외부로부터 분광기를 향해서 입사된 전자파(W)는, 광로를 따라서 진행하고, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)에서 반사하여 파장마다 분광된 반사파로 되고, 이 반사파는 검출기(80)에서 결상되어 관측 대상물의 정보를 해석할 수 있다.
도 2는 도 1에 나타내는 분광기를 구성하는 기재와 홀더의 사시도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 기재(1, 2)는 형상이 모두 직육면체 형상인 제 1 기재(1)와 제 2 기재(2)로 이루어진다. 제 1 기재(1) 및 제 2 기재(2)는, 예를 들면, 각각 길이가 190㎜∼210㎜, 높이가 50㎜∼70㎜, 폭이 50㎜∼70㎜의 직육면체이다.
제 1 기재(1)는 회절격자가 형성된 제 1 면(1a)과 그 이면인 제 2 면(1b)을 갖고, 제 2 기재(2)는 회절격자가 형성된 제 3 면(2a)과 그 이면인 제 4 면(2b)을 갖는다. 그리고, 기재(1, 2)는 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)이 노출되도록 홀더(3)에 수용되고, 폭 방향으로 어긋난 상태에서 직렬로 나란히 고정되어 있다. 제 1 기재(1)와 제 2 기재(2)의 상대적인 위치를 나타내는 제 1 면(1a)과 제 3 면(2a)이 이루는 각도는, 3차원(3개의 다른 방향과, 3개의 다른 평면)상에서, 예를 들면, 2초 이하에서의 조정을 요한다.
홀더(3)는 제 2 면(1b) 및 제 4 면(2b)과 대향하는 덮개(3a)와, 덮개(3a)를 지지하는 4매의 측판(3b)을 갖고, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)측은 개구되어 제 1 기재(1) 및 제 2 기재(2)를 수용하는 내부공간을 구비하고 있다.
또, 도 2에서는 설명을 위해서, 측판(3b)의 일부를 비표시로 하고 있다.
또한, 덮개(3a)는 복수의 판으로 구성되어 있어도 좋다. 홀더(3)는 덮개(3a)와 4매의 측판(3b)을 별체로 만들어서 조합시켜도 좋고, 일체로 제작해도 좋다. 또한, 홀더(3)에는 제 1 면(1a)과 제 3 면(2a)의 각각의 외측 가장자리의 일부를 덮도록 제 1 기재(1) 및 제 2 기재(2)를 고정하는 잠금쇠(도시하지 않음)가 장착되어 있어도 좋다.
도 2에 있어서는, 직육면체 형상의 제 1 기재(1)와 직육면체 형상의 제 2 기재(2)를 나타내고 있지만, 기재(1, 2)의 형상은 이것에 한정되는 것은 아니다.
덮개(3a)와 측판(3b)은, 예를 들면, 덮개(3a) 또는 측판(3b)에 코일인서트(도시하지 않음)가 형성되고, 코일인서트에 볼트(도시하지 않음)를 삽입, 체결함으로써 고정되어 있다. 볼트의 재질은, 예를 들면, 철-36wt% 니켈 합금(상표명은, 인바), 철-32wt% 니켈-4wt% 코발트 합금(상표명은, 슈퍼 인바) 등의 저열팽창 금속이다.
덮개(3a)는 제 4 면(2b)과 대향하는 제 1 구멍(3d)과 제 2 구멍(3e)을 갖고 있고, 제 2 기재(2)의 위치를 제 1 기재(1)의 위치에 맞춰서 조정하기 위한 자세 조정 부재(5)가 제 1 구멍(3d)을 통과해서 배치되고, 고정 부재(6)가 제 2 구멍(3e)에 배치된다.
또, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제 1 구멍(3d)과 제 2 구멍(3e)을 각각 복수 갖고 있어도 좋다.
제 1 구멍(3d)과 제 2 구멍(3e)을 각각 복수 가지면, 제 2 기재(2)의 위치나 각도의 미조정이 용이하고, 미조정 후의 홀더(3)에의 고정도 미조정 후의 위치나 각도가 어긋나기 어려워진다.
또한, 자세 조정 부재(5)를 통과시키기 위한 구멍과 고정 부재(6)를 배치하기 위한 구멍은 측판(3b)에도 형성되어 있어도 좋다.
자세 조정 부재(5)는 제 2 그레이팅(2)을 홀더(3)에 고정하기 전에, 제 2 그레이팅(2)의 위치 및 각도 중 적어도 어느 하나를 제 1 그레이팅(1)의 위치나 각도에 맞춰서 조정하는 기능을 갖는다. 자세 조정 부재(5)는 제 2 그레이팅(2)을 매달아 올리는 부재로서도 기능시킬 수 있다. 선단측이 접착제에 의해 제 2 그레이팅(2)에 직접 접착되어서, 선단과 반대측이 후술하는 판형상 부재에 볼트 등으로 체결되어 있어도 좋다.
고정 부재(6)는 제 2 기재(2)의 제 4 면(2b)과 덮개(3a)를 접속하고, 제 2 기재(2)를 홀더(3)와는 비접촉으로 고정한다. 고정 부재(6)의 형상은, 예를 들면 원통 형상 또는 원기둥 형상이며, 홀더(3)와 같은 재질인 것이 바람직하다.
제 1 기재(1) 및 제 2 기재(2)는 평행한 전자파(W)를 입사시켰을 때의 쌍방의 반사파가 이루는 각도가, 예를 들면, 2초 이내, 바람직하게는 1초 이내로 되도록, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)의 위치나 각도가 조정되어 있다.
상기 구성에 의해, 제 2 기재(2)를, 자세 조정 부재(5)를 사용해서 정밀하게 위치나 각도를 조정한 후, 고정 부재(6)를 사용해서 정밀도 좋게 고정할 수 있다.
또한, 홀더(3)의 외표면 중, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)을 평면으로 보았을 때에, 제 1 면(a) 및 제 3 면(2a)을 둘러싸고 있는 측판(3b)의 외표면은, 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 피막을 갖고 있어도 좋다. 또, 홀더(3)의 외표면은 이 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)을 둘러싸고 있는 부위 이외도 흑색 피막을 갖고 있어도 좋다.
또한, 홀더(3)의 내표면은 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)으로부터 깊이 방향으로 적어도 1㎜까지 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 피막을 갖고 있어도 좋다.
아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색의 피막은, 자외선 영역에서 근적외선 영역까지의 반사율이 낮으므로, 회절격자로 일부 산란해서 노이즈가 되는 전자파(W)의 흡수 효율이 높아져, 해석의 정밀도를 높게 할 수 있다. 특히, 세라믹스의 표면이 밝은 색을 띨 경우에는 그 효과가 높다.
피막에 포함되는 아크릴 수지는, 푸리에 변환 적외 분광 광도계(FTIR)를 사용해서 동정하면 좋다.
또한, 흑색 피막은 아크릴 수지 이외에, 마그네슘, 알루미늄 및 규소를 포함하고 있어도 좋고, 그 이들 원소의 함유량의 합계가 1질량% 이하이면 좋다.
제 1 기재(1)와 제 2 기재(2)는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내의 유리이면 좋다.
홀더(3) 및 고정 부재(6)는 사용 온도(예를 들면 실온)에서의 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 ±2×10-6/K 이내의 세라믹스이다. 이러한 세라믹스의 예 로서, 코디어라이트, 리튬알루미노실리케이트, 인산 지르코늄칼륨 또는 뮬라이트를 주성분으로 하는 세라믹스를 들 수 있다.
기재(1, 2), 홀더(3) 및 고정 부재(6)가 이러한 저열팽창 재료로 제작되어 있으면, 온도변화에 노출되어도 형상의 변화가 작기 때문에 저열팽창 재료로 이루어지는 부재는 높은 신뢰성을 갖는다.
코디어라이트가 주성분인 세라믹스는, Ca가 CaO 환산으로 0.4질량% 이상 0.6질량% 이하, Al이 Al2O3 환산으로 2.3질량% 이상 3.5질량% 이하 및 Mn 및 Cr이 MnCr2O4 환산으로 0.6질량% 이상 0.7질량% 이하 포함되어 있어도 좋다. 이 세라믹스는 평균 선팽창률을 ±20×10-9/K 이하로 할 수 있다.
리튬알루미노실리케이트가 주성분인 세라믹스는, 탄화규소를 20질량% 이하 포함하고 있어도 좋다.
또한, 유리의 예로서, 티타늄규산을 주성분으로 하는 유리를 들 수 있다.
여기에서, 홀더(3) 및 고정 부재(6)가 세라믹스로 이루어질 경우, JIS R 1618:2002에 준거하여 평균 선팽창률을 구하면 좋다.
기재(1, 2)가 유리로 이루어질 경우, JIS R 3251:1995에 준거하여 평균 선팽창률을 구하면 좋다.
또, 홀더(3) 및 고정 부재(6)의 평균 선팽창률이 ±1×10-6/K 이하일 경우에는, 광헤테로다인법 1광로 간섭계를 사용해서 측정하면 좋다.
여기에서, 세라믹스에 있어서의 주성분이란, 착안하는 세라믹스를 구성하는 성분의 합계 100질량% 중 60질량% 이상을 차지하는 성분을 말한다. 세라믹스를 구성하는 성분은 X선 회절 장치(XRD)를 사용해서 동정하면 좋다. 각 성분의 함유량은, 성분을 동정한 후 형광 X선 분석 장치(XRF) 또는 ICP 발광 분광 분석 장치를 사용하여 성분을 구성하는 원소의 함유량을 구하고, 동정된 성분으로 환산하면 좋다.
이하에 본 개시의 분광기의 제조 방법을, 도 3, 도 4를 사용해서 설명한다.
우선, 회절격자가 형성된 제 1 면(1a)과 제 1 면(1a)의 이면인 제 2 면(1b)을 갖는 제 1 기재(1)와, 회절격자가 형성된 제 3 면(2a)과 제 3 면(2a)의 이면인 제 4 면(2b)을 갖는 제 2 기재(2)를 준비한다.
이어서, 4매의 측판(3b)을 준비하고, 도 4(a)와 같이 조립해서 프레임 형상체로 한다. 또, 이 프레임 형상체의 외표면의 적어도 일부(예를 들면, 프레임 형상체에 제 1 기재(1) 및 제 2 기재(2)를 삽입했을 때에, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)를 둘러싸도록 위치하는 외표면)에, 유기용제로 희석된 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 도료를 도포, 건조시킴으로써 프레임 형상체의 외표면을 흑색 도료로 피복해도 좋다.
마찬가지로, 프레임 형상체의 내표면을, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)으로부터 깊이 방향으로 적어도 1㎜까지, 유기용제로 희석된 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 도료를 도포, 건조시킴으로써, 프레임 형상체의 상기 범위의 내표면을 흑색 도료로 피복해도 좋다.
어느 경우에나, 흑색 도료와 유기용제의 혼합 비율은, 질량비로 1:1, 또한, 건조 온도는 60℃ 이상 80℃ 이하, 건조 시간은 15분 이상 25분 이하로 하면 좋다.
다음에, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 기재(1)를 제 2 면(1b)이 덮개(3a)측이 되도록 홀더(3)의 내부공간에 적재함과 아울러 덮개(3a)를 프레임 형상체에 접속한다. 프레임 형상체와 덮개(3a)의 접속은, 덮개(3a) 또는 측판(3b)에 미리 형성된 코일인서트에 볼트(도시하지 않음)를 삽입, 체결함으로써 행할 수 있다. 그리고, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 고정 부재(6)를 개재해서 홀더(3)에 접착제(예를 들면, 3M Scotch Weld사 제품 에폭시 접착제, SW9323)를 사용해서 제 1 기재(1)를 고정한다.
제 1 기재(1)를 고정하는 고정 부재(6)는, 예를 들면, 제 2 기재(2)를 고정하는 고정 부재(6)와 같은 형상, 같은 재질이다.
다음에, 프레임 형상체의 개구부로부터, 제 2 기재(2)를 제 4 면(2b)이 덮개(3a)측이 되도록 삽입하고, 제 1 면(1a)과 제 3 면(2a)이 나란히 노출되도록 제 2 기재(2)를 프레임 형상체 내에 배치함과 아울러 덮개(3a)를 프레임 형상체에 접속한다. 이 덮개(3a)와 프레임 형상체의 접속은 제 1 기재(1)에 대향하는 덮개(3a)의 경우와 같은 방법으로 접속할 수 있다.
이상에 의해서, 도 3에 나타내는 바와 같은 프레임 형상체와 덮개(3a)가 접속된 홀더(3)가 완성된다.
도 3은 자세 조정 부재(5)를 구비하는 자세 조정 기구(4)와 도 2에 나타내는 분광기를 나타내는 사시도이다.
다음에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 자세 조정 부재(5)를 제 1 구멍(3d)에 통과시켜서 제 4 면(2b)에 부착한다. 또, 도 3에 있어서도, 도 2와 마찬가지로 측판(3b)의 일부를 비표시로 하고 있다. 자세 조정 부재(5)와 제 1 구멍(3d)의 사이에는 자세를 조정하기 위한 클리어런스를 형성하고 있다. 자세 조정 부재(5)는 복수의 제 1 구멍(3d)마다 삽입되는 기둥형상 부재이다. 자세 조정 기구(4)는 자세 조정 부재(5)와, 자세 조정 부재(5)에 체결되는 판형상 부재(7)와, 회전시킴으로써 판형상 부재(7)의 자세를 조정하는 가동 부재(8)를 갖고, 홀더(3)에 고정 완료된 제 1 기재(1)에 대하여 제 2 기재(2)의 위치 및 각도를 3차원적으로 조정한다. 도 3에 나타내는 자세 조정 기구(4)는, 제 1 방향(중력 방향)에 있어서의 제 2 기재(2)의 위치와 각도를 조정할 수 있는 가동 부재(8)의 일례인 3개의 마이크로미터 헤드(8a)와, 제 1 방향에 수직인 방향의 위치와 각도를 조정할 수 있는 2개의 마이크로미터 헤드(8b)를 구비한다. 마이크로미터 헤드(8a, 8b)는, 예를 들면, 시그마 코키사 제품 차동 마이크로미터 헤드(SHSP-19) 등을 사용하면 좋다. 자세 조정 부재(5)는 선단측이 접착제에 의해 제 2 기재(2)에 직접 접착되어서, 선단과 반대측이 판형상 부재(7)에 볼트 등으로 체결되어 있어도 좋다.
다음에, 자세 조정 부재(5)를 사용하여 평행한 전자파(W)를 입사시켰을 때의 제 1 기재(1)와 제 2 기재(2)의 반사파가 이루는 각도가, 예를 들면, 1초 이내 또는 0.1초 이내로 되도록 조정한다. 또, 제 1 면(1a) 및 제 3 면(2a)에, 예를 들면, He-He 레이저광을 입사시키고, 마이크로미터 헤드의 미동나사를 돌리면서 쌍방의 반사파의 간섭무늬를 광간섭계로 확인하고, 간섭무늬가 맞추어진 곳을 제 2 기재(2)의 고정 위치로 한다.
다음에, 제 2 기재의 제 4 면(2b)과 제 2 구멍(3e)의 사이에 고정 부재(6)를 배치하고, 제 4 면(2b)과 고정 부재(6), 고정 부재(6)와 제 2 구멍(3e)을 형성하는 내주면의 사이에 접착제(예를 들면, 3M Scotch Weld사 제품 에폭시 접착제, SW9323)를 개재해서 제 2 기재(2)를 홀더(3)에 고정한다(도 4(c)).
최후에, 제 2 기재(2)로부터 자세 조정 부재(5)를 분리함으로써, 도 2에 나타내는 분광기가 얻어진다. 자세 조정 부재(5)의 분리에 의해 제 1 기재(1)에 대한 제 2 기재(2)의 각도는 약간 저하하지만, 2초 이내로 할 수 있다.
자세 조정 부재(5)는 제 2 기재(2)의 조정, 고정 후는 분리되지만, 자세 조정 부재(5)의 기둥형상부를 그대로 남겨도 좋다.
이상, 본 개시의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 개시는 상술한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 개시의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경, 개량, 조합 등이 가능하다.
1 : 제 1 기재
1a : 제 1 면
1b : 제 2 면
2 : 제 2 기재
2a : 제 3 면
2b : 제 4 면
3 : 홀더
3a : 덮개
3b : 측판
3d : 제 1 구멍
3e : 제 2 구멍
4 : 자세 조정 기구
5 : 자세 조정 부재
6 : 고정 부재
7 : 판형상 부재
8 : 가동 부재(마이크로미터 헤드)
10 : 천체망원경
100 : 분광기

Claims (15)

  1. 회절격자가 형성된 제 1 면과 상기 제 1 면의 이면인 제 2 면을 갖는 제 1 기재와,
    회절격자가 형성된 제 3 면과 상기 제 3 면의 이면인 제 4 면을 갖는 제 2 기재와,
    상기 제 4 면과 대향하는 제 1 구멍과 제 2 구멍을 갖는 덮개를 갖고, 상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재를 배열해서 고정하는 홀더와,
    상기 제 2 구멍에 배치되고, 상기 제 4 면과 상기 덮개를 접속해서 고정하는 고정 부재를 구비하는 분광기의 제조 방법으로서,
    상기 제 1 기재를 상기 홀더에 고정하는 공정과,
    상기 제 2 기재를 상기 홀더에 배치하는 공정과,
    자세 조정 기구의 일부인 자세 조정 부재를 상기 제 1 구멍에 통과시켜서 상기 제 4 면에 접속하는 공정과,
    상기 자세 조정 기구를 사용해서 상기 제 2 기재의 위치를 상기 제 1 기재의 위치에 맞춰서 조정하는 공정과,
    상기 제 2 구멍에 고정 부재를 배치하는 공정과,
    상기 제 4 면과 상기 덮개를, 상기 고정 부재를 개재해서 고정하는 공정과,
    상기 자세 조정 부재의 적어도 일부를 제거하는 공정을 구비하는 분광기의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 유리로 형성하고, 상기 홀더 및 상기 고정 부재는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 세라믹스로 형성하는 분광기의 제조 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 면 및 상기 제 3 면을 평면으로 보았을 때에, 상기 제 1 면 및 상기 제 3 면을 둘러싸는 상기 홀더의 외표면을, 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 도료로 피복하는 공정을 구비하는 분광기의 제조 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀더의 내표면을, 상기 제 1 면 및 상기 제 3 면으로부터 깊이 방향으로 적어도 1㎜까지, 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 도료로 피복하는 공정을 구비하는 분광기의 제조 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 구멍과 상기 제 2 구멍이 각각 복수 형성되어 있는 분광기의 제조 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 부재와 상기 제 4 면, 상기 고정 부재와 상기 덮개를 각각 접착제에 의해 고정하는 분광기의 제조 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 분광기의 제조 방법을 사용한 천체망원경의 제조 방법.
  8. 회절격자를 갖는 제 1 면과 상기 제 1 면의 이면인 제 2 면을 갖는 제 1 기재와,
    회절격자를 갖는 제 3 면과 상기 제 3 면의 이면인 제 4 면을 갖는 제 2 기재와,
    상기 제 4 면과 대향하는 제 1 구멍과 제 2 구멍을 갖는 덮개를 갖고, 상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재를 배열해서 고정하는 홀더와,
    상기 제 2 구멍에 배치되고, 상기 제 4 면과 상기 덮개를 접속해서 상기 제 2 기재를 상기 홀더와는 비접촉으로 고정하는 고정 부재를 구비하는 분광기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 구멍은 상기 제 2 기재의 위치 및 각도 중 적어도 어느 하나를 조정하기 위한 자세 조정 부재를 삽입하기 위한 구멍인 분광기.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 기재와 상기 제 2 기재는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 유리로 이루어지고, 상기 홀더와 상기 고정 부재는 40℃∼400℃에 있어서의 평균 선팽창률이 모두 ±2×10-6/K 이내인 세라믹스로 이루어지는 분광기.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 면 및 상기 제 3 면을 평면으로 보았을 때에, 상기 제 1 면 및 상기 제 3 면을 둘러싸는 상기 홀더의 외표면은 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 피막을 갖고 있는 분광기.
  12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀더의 내표면은 상기 제 1 면 및 상기 제 3 면으로부터 깊이 방향으로 적어도 1㎜까지 아크릴 수지를 주성분으로 하는 흑색 피막을 갖고 있는 분광기.
  13. 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 구멍과 상기 제 2 구멍을 각각 복수 갖고 있는 분광기.
  14. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 부재와 상기 제 4 면, 상기 고정 부재와 상기 덮개가 각각 접착제에 의해 고정되어 있는 분광기.
  15. 제 8 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 기재된 분광기를 구비한 천체망원경.
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