KR20210006285A - Electrical inspection device and holding unit - Google Patents

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KR20210006285A
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Abstract

The purpose of the present invention is to provide an electrical inspection device capable of easily increasing the efficiency of an electrical inspection of a substrate to be inspected. The electrical inspection device for one aspect of the present invention comprises: an electrical inspection head (11) having a plurality of probes (11a) contactable with respect to the substrate to be inspected (P) from the normal line direction of the substrate to be inspected (P); a switching unit (12) having a circuit capable of switching the connection to the plurality of probes (11a); and a bearing (13) rotatably supporting the electrical inspection head (11) and the switching unit (12) around an axis parallel to the normal line of the substrate to be inspected (P). The electrical inspection head (11) and the switching unit (12) are detachably connected and are directly connected in the normal line direction of the substrate to be inspected (P).

Description

전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛{ELECTRICAL INSPECTION DEVICE AND HOLDING UNIT}Electrical inspection device and holding unit TECHNICAL FIELD [ELECTRICAL INSPECTION DEVICE AND HOLDING UNIT}

본 발명은, 전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to an electrical inspection device and a holding unit.

프린트 기판 등의 제조 현장에서는, 복수의 프로브(전기 접촉자)를 검사 대상 기판의 측정점에 접촉시켜 검사 대상 기판의 전기적인 특성을 검사하는 전기 검사 장치가 사용되고 있다.In manufacturing sites such as printed circuit boards, an electrical inspection apparatus is used in which a plurality of probes (electrical contactors) are brought into contact with a measurement point of a substrate to be inspected to inspect electrical characteristics of a substrate to be inspected.

이 전기 검사 장치로서는, 복수의 프로브를 갖는 전기 검사 헤드와 복수의 프로브에의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛을 구비하는 것이 공지이다. 이 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판의 도전 패턴에 대응하도록 전환 유닛에 의해 복수의 프로브에의 전기적인 접속을 전환함으로써, 검사 대상 기판의 전기적인 특성을 효율적으로 검사할 수 있다.As this electrical inspection apparatus, it is known to include an electrical inspection head having a plurality of probes and a switching unit having a circuit capable of switching connection to the plurality of probes. This electrical inspection apparatus can efficiently inspect the electrical characteristics of the inspection object substrate by switching the electrical connection to the plurality of probes by the switching unit so as to correspond to the conductive pattern of the inspection object substrate.

이와 같은 전기 검사 장치로서, 복수의 프로브를 갖는 검사 지그와, 복수의 프로브에의 전기적인 접속을 전환 가능한 선출 수단을 보유 지지하는 보유 지지부를 갖는 것이 발안되어 있다(일본 특허 공개 제2008-175595호 공보 참조). 이 공보에 기재된 전기 검사 장치는, 상기 보유 지지부가 검사 대상 기판의 법선과 평행한 회전축의 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다.As such an electrical inspection apparatus, it is proposed to have an inspection jig having a plurality of probes, and a holding portion for holding an election means capable of switching electrical connection to the plurality of probes (Japanese Patent Laid-Open No. 2008-175595). See publication). In the electrical inspection apparatus described in this publication, the holding portion is configured to be rotatable around a rotation axis parallel to the normal line of the inspection target substrate.

일본 특허 공개 제2008-175595호 공보Japanese Patent Publication No. 2008-175595

상기 공보에 기재된 전기 검사 장치는, 상기 보유 지지부를 회전시킴으로써, 상기 검사 지그 및 선출 수단을 보유 지지부와 일체적으로 회전시킬 수 있다.The electrical inspection apparatus described in the above publication can rotate the inspection jig and the selection means integrally with the holding portion by rotating the holding portion.

그러나, 이 전기 검사 장치는, 상기 선출 수단이 상기 검사 지그보다도 회전축의 직경 방향 외측에서 상기 보유 지지부에 보유 지지되어 있다. 그 때문에, 이 전기 검사 장치는, 상기 선출 수단의 회전에 의한 관성 모멘트가 커지므로, 상기 검사 지그의 회전 속도를 크게 하기 어렵다. 그 결과, 상기 전기 검사 장치는, 전기 검사 효율을 충분히 높이기 어렵다. 또한, 상기 전기 검사 장치는, 상기 선출 수단이 상기 검사 지그보다도 회전축의 직경 방향 외측에서 보유 지지되므로, 상기 선출 수단을 회전할 때에 비교적 큰 간섭 회피용의 공간이 필요해진다. 또한, 상기 전기 검사 장치는, 상기 선출 수단의 회전에 의한 관성 모멘트가 커지기 쉽고, 회전에 의해 각 부에 부하가 걸리기 쉬워진다.However, in this electrical inspection device, the selection means is held in the holding portion radially outward from the inspection jig in the radial direction of the rotation shaft. Therefore, in this electrical inspection apparatus, the moment of inertia due to the rotation of the selection means is increased, and it is difficult to increase the rotational speed of the inspection jig. As a result, it is difficult for the electric inspection apparatus to sufficiently increase the electric inspection efficiency. Further, in the electric inspection apparatus, since the selection means is held radially outward of the rotation shaft than the inspection jig, a relatively large interference avoidance space is required when rotating the selection means. In addition, in the electrical inspection device, the moment of inertia due to rotation of the selection means is liable to be large, and a load is liable to be applied to each portion by rotation.

본 발명의 과제는, 검사 대상 기판의 전기 검사의 효율을 용이하게 높일 수 있는 전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an electrical inspection device and a holding unit capable of easily increasing the efficiency of electrical inspection of a substrate to be inspected.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 일 양태에 관한 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판에 대하여, 이 검사 대상 기판의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖는 전기 검사 헤드와, 상기 복수의 프로브에의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛과, 상기 전기 검사 헤드 및 전환 유닛을 상기 법선과 평행한 축의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링을 구비하고, 상기 전기 검사 헤드와 전환 유닛이, 착탈 가능하게, 상기 법선 방향으로 직결된다.In order to solve the above problems, an electrical inspection apparatus according to an aspect of the present invention comprises: an electrical inspection head having a plurality of probes that can be brought into contact with a substrate to be inspected from a normal direction of the substrate to be inspected, and the plurality of probes A switching unit having a circuit capable of switching the connection of the electrical inspection head and the switching unit rotatably supported around an axis parallel to the normal line, and the electrical inspection head and the switching unit are detachable , It is directly connected in the normal direction.

상기 전기 검사 헤드 및 전환 유닛이, 평면에서 보아 상기 베어링의 내주연내에 포함되면 된다.The electrical inspection head and the switching unit may be included in the inner circumference of the bearing in plan view.

상기 전환 유닛이 상기 베어링을 상기 법선 방향으로 관통한 상태에서 배치되어 있으면 된다.It is sufficient that the switching unit is disposed in a state that passes through the bearing in the normal direction.

당해 전기 검사 장치는, 상기 법선과 평행한 중심축을 갖는 통상의 동체부와, 이 동체부의 상기 검사 대상 기판측의 단부에 마련되는 저부를 갖는 하우징을 구비하고, 상기 저부가, 상기 전환 유닛이 관통하는 개구를 갖고, 상기 베어링이, 상기 동체부의 외주면의 상기 검사 대상 기판측의 단부를 지지하고 있으면 된다.The electrical inspection apparatus includes a housing having a normal body portion having a central axis parallel to the normal line and a bottom portion provided at an end portion of the body portion on the inspection target substrate side, and the bottom portion passes through the switching unit. It may have an opening, and the bearing may support an end portion of the outer peripheral surface of the body portion on the side of the substrate to be inspected.

당해 전기 검사 장치는, 상기 전기 검사 헤드를 3차원으로 위치 결정 가능한 구동 기구를 더 구비하면 된다.The electric inspection apparatus may further include a drive mechanism capable of positioning the electric inspection head in three dimensions.

본 발명의 다른 일 양태에 관한 보유 지지 유닛은, 검사 대상 기판에 대하여, 이 검사 대상 기판의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖는 전기 검사 헤드와 상기 복수의 프로브에의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛을 상기 법선 방향으로 직결한 상태에서 보유 지지 가능한 하우징과, 상기 하우징을 상기 법선과 평행한 축의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링을 구비한다.A holding unit according to another aspect of the present invention includes an electrical inspection head having a plurality of probes that can be brought into contact with a substrate to be inspected from a normal direction of the substrate to be inspected, and a circuit capable of switching the connection to the plurality of probes. And a housing capable of holding the switching unit in a state directly connected in the normal direction, and a bearing rotatably supporting the housing around an axis parallel to the normal line.

본 발명의 일 양태에 관한 전기 검사 장치 및 다른 일 양태에 관한 보유 지지 유닛은, 검사 대상 기판의 전기 검사의 효율을 용이하게 높일 수 있다.The electrical inspection apparatus according to one aspect of the present invention and the holding unit according to another aspect can easily increase the efficiency of electrical inspection of a substrate to be inspected.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전기 검사 장치의 본체를 도시하는 모식적 일부 단면 사시도이다.
도 2는 도 1의 본체의 일부 단면 정면도이다.
도 3은 도 1의 본체의 저면도이다.
도 4는 도 1의 본체를 구동 가능한 구동 기구를 도시하는 모식적 평면도이다.
도 5는 도 1의 본체의 검사 헤드와 전환 유닛의 접속 구조를 도시하는 모식적 단면도이다.
도 6은 도 1의 본체와는 다른 형태에 관한 본체를 도시하는 도 2에 대응하는 모식적 단면도이다.1 is a schematic partial cross-sectional perspective view showing a main body of an electrical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a partial cross-sectional front view of the body of FIG. 1.
3 is a bottom view of the main body of FIG. 1.
4 is a schematic plan view showing a drive mechanism capable of driving the main body of FIG. 1.
5 is a schematic cross-sectional view showing a connection structure between an inspection head of the main body of FIG. 1 and a switching unit.
6 is a schematic cross-sectional view corresponding to FIG. 2 showing a main body according to a form different from that of FIG. 1.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with appropriate reference to the drawings.

[제1 실시 형태][First embodiment]

<전기 검사 장치><Electrical inspection device>

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 당해 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판(P)에 대하여, 이 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브(11a)를 갖는 전기 검사 헤드(11)와, 복수의 프로브(11a)로의 접속을 전환 가능한 회로(이하, 「전환 회로」라고도 함)를 갖는 전환 유닛(12)과, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 검사 대상 기판(P)의 법선과 평행한 축의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링(13)을 구비한다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 보유 지지하는 하우징(14)을 구비한다. 전기 검사 헤드(11), 전환 유닛(12), 베어링(13) 및 하우징(14)은, 당해 전기 검사 장치의 본체(1)를 구성한다. 또한, 베어링(13) 및 하우징(14)은, 그 자체가 본 발명의 일 양태인 보유 지지 유닛(3)을 구성한다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 도 4에 도시한 바와 같이, 전기 검사 헤드(11)를 3차원으로 위치 결정 가능한 구동 기구(2)를 구비한다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 베어링(13)의 중심축(이하, 단순히 「축(A)」이라고도 함)의 주위로 회전시키는 모터 등의 구동원(도시하지 않음)과, 검사 대상 기판(P)의 도전 패턴의 도통이나 절연, 전기 저항, 임피던스 등을 계측 가능한 계측부(도시하지 않음)와, 베어링(13)의 외륜을 고정 가능한 프레임체(15)를 구비한다. 상기 구동원은, 하우징(14)을 회전시킴으로써, 이 하우징(14)에 보유 지지되는 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 하우징(14)과 일체적으로 회전시킨다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판(P)의 위치 정보를 취득하는 화상 처리 디바이스(도시하지 않음), 이 화상 처리 디바이스에 의해 취득한 위치 정보에 기초하여 구동 기구(2)를 구동 제어하는 컨트롤러(도시하지 않음), 검사 대상 기판(P)을 복수의 프로브(11a)와 대향하는 위치로 반송하는 반송 기구(도시하지 않음) 등을 더 구비하고 있어도 된다.As shown in Figs. 1 to 3, the electrical inspection apparatus includes an electrical inspection head having a plurality of probes 11a that can be brought into contact with the inspection object substrate P from the normal direction of the inspection object substrate P. (11), a switching unit 12 having a circuit (hereinafter also referred to as ``switching circuit'') capable of switching the connection to a plurality of probes 11a, and the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 A bearing 13 rotatably supported around an axis parallel to the normal of the target substrate P is provided. Further, the electrical inspection apparatus includes a housing 14 that holds the electrical inspection head 11 and the switching unit 12. The electric inspection head 11, the switching unit 12, the bearing 13, and the housing 14 constitute the main body 1 of the electric inspection apparatus. Further, the bearing 13 and the housing 14 constitute the holding unit 3 which is itself an aspect of the present invention. In addition, the electrical inspection apparatus includes a drive mechanism 2 capable of positioning the electrical inspection head 11 in three dimensions, as shown in FIG. 4. In addition, the electric inspection apparatus is a drive source such as a motor that rotates the electric inspection head 11 and the switching unit 12 around the central axis of the bearing 13 (hereinafter, also simply referred to as “axis A”). (Not shown), a measuring unit (not shown) capable of measuring the conduction, insulation, electrical resistance, impedance, etc. of the conductive pattern of the inspection target substrate P, and a frame body 15 capable of fixing the outer ring of the bearing 13 ). The drive source rotates the housing 14 to integrally rotate the electrical inspection head 11 and the conversion unit 12 held in the housing 14 with the housing 14. In addition, the electrical inspection apparatus includes an image processing device (not shown) that acquires positional information of the inspection target substrate P, and drives and controls the drive mechanism 2 based on the positional information acquired by the image processing device. A controller (not shown), and a transfer mechanism (not shown) for transferring the inspection target substrate P to a position facing the plurality of probes 11a may be further provided.

(검사 대상 기판)(Substrate to be inspected)

검사 대상 기판(P)은, 판상 또는 시트상이다. 검사 대상 기판(P)으로서는, 예를 들어 프린트 기판을 들 수 있다. 이 프린트 기판으로서는, 예를 들어 박막상의 기판 위에 복수의 기능부가 형성되고, 각 기능부를 포함하는 부분을 잘라내어 복수의 전자 부품을 형성 가능한 것을 들 수 있다.The inspection target substrate P is in the shape of a plate or a sheet. As the inspection target substrate P, a printed circuit board is exemplified. Examples of the printed circuit board include those in which a plurality of functional portions are formed on a thin-film substrate, and a portion including each functional portion is cut out to form a plurality of electronic components.

(전기 검사 헤드)(Electrical inspection head)

전기 검사 헤드(11)는, 복수의 프로브(11a)와, 복수의 프로브(11a)를 보유 지지하는 보유 지지부(11b)를 갖는다. 보유 지지부(11b)는, 검사 대상 기판(P)에 대향하는 저면을 갖고 있다. 복수의 프로브(11a)는, 이 저면으로부터 검사 대상 기판(P)측으로 돌출되어 있다. 복수의 프로브(11a)는, 검사 대상 기판(P)의 도전 패턴에 접촉 가능하게 배치되어 있다. 복수의 프로브(11a)는, 예를 들어 0.1㎜ 전후로부터 2㎜ 이하 정도의 피치로 배치되어 있다. 복수의 프로브(11a)의 합계 개수로서는, 예를 들어 2000개 이상으로 할 수 있다.The electrical inspection head 11 has a plurality of probes 11a and a holding portion 11b that holds the plurality of probes 11a. The holding portion 11b has a bottom surface facing the inspection target substrate P. The plurality of probes 11a protrude from the bottom surface toward the inspection target substrate P. The plurality of probes 11a are disposed so as to be able to contact the conductive pattern of the inspection target substrate P. The plurality of probes 11a are arranged at a pitch of about 2 mm or less from around 0.1 mm, for example. The total number of the plurality of probes 11a can be, for example, 2000 or more.

(전환 유닛)(Switching unit)

전환 유닛(12)은, 검사 대상 기판(P)의 종류나 검사 항목에 따라 복수의 프로브(11a)와 전술한 계측부의 접속을 전환 가능한 전환 회로(도 1 내지 도 3에서는 도시하지 않음)를 갖는다. 전환 유닛(12)은, 예를 들어 검사 대상 기판(P)의 도전 패턴에 따라 선정된 하나 또는 복수의 프로브(11a)와 상기 계측부의 전기적인 접속을 선택적으로 ON으로 한다. 전환 유닛(12)은, 예를 들어 컴퓨터를 포함하는 제어부(도시하지 않음)에서 선정된 하나 또는 복수의 프로브(11a)와 상기 계측부의 전기적인 접속을, 이 제어부의 지시에 따라 선택적으로 ON으로 한다.The switching unit 12 has a switching circuit (not shown in Figs. 1 to 3) capable of switching the connection of the plurality of probes 11a and the above-described measurement unit according to the type or inspection item of the inspection target substrate P. . The switching unit 12 selectively turns ON the electrical connection of one or more probes 11a selected according to the conductive pattern of the inspection target substrate P and the measurement unit. The switching unit 12 selectively turns ON the electrical connection of the measurement unit with one or more probes 11a selected by a control unit (not shown) including a computer, for example, according to the instruction of the control unit. do.

(하우징)(housing)

하우징(14)은, 검사 대상 기판(P)의 법선과 평행한 중심축을 갖는 통상의 동체부(14a)와, 동체부(14a)의 검사 대상 기판(P)측의 단부에 마련되는 저부(14b)를 갖는다. 또한, 하우징(14)은, 동체부(14a)의 검사 대상 기판(P)과 반대측의 단부에 마련되는 덮개부(14c)와, 저부(14b)에 마련되어, 전기 검사 헤드(11)를 착탈 가능하게 지지하는 지지부(14d)를 갖는다. 또한, 동체부(14a), 저부(14b), 덮개부(14c) 및 지지부(14d)는, 서로 탈착 가능해도 되고, 착탈 불능으로 일체적으로 형성되어도 된다.The housing 14 includes a normal body portion 14a having a central axis parallel to the normal line of the inspection target substrate P, and a bottom portion 14b provided at an end portion of the body portion 14a on the side of the inspection target substrate P. ). In addition, the housing 14 is provided in the lid portion 14c and the bottom portion 14b provided at the end of the body portion 14a opposite to the inspection target substrate P, and the electrical inspection head 11 can be attached and detached. It has a support portion (14d) to support it. Further, the body portion 14a, the bottom portion 14b, the lid portion 14c, and the support portion 14d may be detachable from each other or may be integrally formed so as not to be detachable.

동체부(14a)는, 검사 대상 기판(P)측의 단부에 확경부(14e)를 갖는다. 동체부(14a)는, 바람직하게는 원통상이다. 동체부(14a)의 중심축은, 베어링(13)의 축(A)과 일치하고 있다. 동체부(14a)는, 그 내부에 전환 유닛(12)을 수용하기 위한 수용 스페이스를 갖는다.The body portion 14a has an enlarged diameter portion 14e at an end portion on the side of the substrate P to be inspected. The body portion 14a is preferably cylindrical. The central axis of the body portion 14a coincides with the axis A of the bearing 13. The body portion 14a has an accommodation space for accommodating the switching unit 12 therein.

저부(14b)는, 판상, 바람직하게는 원판상이다. 저부(14b)는, 동체부(14a)의 검사 대상 기판(P)측의 단부 개구를 막고 있다. 저부(14b)는, 동체부(14a)의 중심축과 수직으로 배치된다. 저부(14b)는, 전환 유닛(12)이 관통하는 개구(14f)를 갖는다. 개구(14f)는, 예를 들어 대향하는 한 쌍의 측연부를 갖는 직사각 형상이다. 또한, 하우징(14)은, 전환 유닛(12)을 개구(14f)를 관통한 상태에서 고정하는 고정부(도시하지 않음)를 갖고 있어도 된다.The bottom portion 14b has a plate shape, preferably a disk shape. The bottom portion 14b blocks the opening of the end portion of the body portion 14a on the inspection target substrate P side. The bottom portion 14b is disposed perpendicular to the central axis of the body portion 14a. The bottom portion 14b has an opening 14f through which the switching unit 12 passes. The opening 14f is, for example, a rectangular shape having a pair of opposite side edges. Further, the housing 14 may have a fixing portion (not shown) that fixes the switching unit 12 in a state where it has passed through the opening 14f.

지지부(14d)는, 저부(14b)의 저면(검사 대상 기판(P)과 대향하는 측의 면)에 설치되는 한 쌍의 가이드 벽(14g)과, 이들 가이드 벽(14g)의 저면에 설치되어, 이 저면으로부터 검사 대상 기판(P)측으로 돌출되는 한 쌍의 훅(14h)을 갖는다. 한 쌍의 가이드 벽(14g)은, 개구(14f)의 상기 한 쌍의 측연부를 따라 좌우 방향(검사 대상 기판(P)의 법선과 수직인 방향)으로 연장되어 있다. 한 쌍의 가이드 벽(14g)은, 전기 검사 헤드(11)를 양측으로부터 지지한다. 한 쌍의 훅(14h)은, 전기 검사 헤드(11)를 양측으로부터 끼워 넣기 가능하게 구성되어 있다. 한 쌍의 훅(14h)은, 전기 검사 헤드(11)를 끼워 넣은 상태에서 가이드 벽(14g)에 대하여 동체부(14a)의 중심축 방향(즉, 검사 대상 기판(P)의 법선 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.The support portion 14d is provided on a pair of guide walls 14g installed on the bottom surface of the bottom portion 14b (the surface facing the inspection target substrate P), and the bottom surface of these guide walls 14g. , And a pair of hooks 14h protruding from the bottom surface toward the inspection target substrate P side. The pair of guide walls 14g extend in the left-right direction (direction perpendicular to the normal line of the inspection target substrate P) along the pair of side edges of the opening 14f. The pair of guide walls 14g supports the electrical inspection head 11 from both sides. The pair of hooks 14h is configured to be able to fit the electrical inspection head 11 from both sides. The pair of hooks 14h is in the direction of the central axis of the body part 14a with respect to the guide wall 14g (that is, the normal direction of the inspection target substrate P) with the electric test head 11 inserted therein. It is configured to be movable.

〔접속 구조〕[Connection structure]

이하에, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)의 접속 구조에 대하여 상세하게 설명한다. 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)은, 착탈 가능하게 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 직결되어 있다.Hereinafter, the connection structure between the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 will be described in detail. The electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected in the normal direction of the inspection target substrate P so as to be detachable.

<착탈 기구><Removal mechanism>

도 1 및 도 2를 참조하여, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)의 착탈 기구에 대하여 설명한다. 먼저, 전환 유닛(12)은, 하우징(14)의 저부(14b)의 개구(14f)를 관통한 상태에서 하우징(14)에 대하여 고정된다. 이 고정 상태에 있어서, 전환 유닛(12)의 검사 대상 기판(P)과 대향하는 측의 단부면(12a)은, 하우징(14)의 저부(14b)로부터 검사 대상 기판(P)측으로 돌출된 상태에서 보유 지지된다. 상기 고정 상태에 있어서, 전환 유닛(12)의 단부면(12a)과 저부(14b)의 저면은 평행하다. 상기 고정 상태에 있어서, 전환 유닛(12)의 개구(14f)보다도 검사 대상 기판(P)과 반대측의 부분은, 하우징(14)의 동체부(14a) 내(전술한 수용 스페이스 내)에 위치하고 있다.1 and 2, the attachment/detachment mechanism of the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 is demonstrated. First, the switching unit 12 is fixed with respect to the housing 14 while passing through the opening 14f of the bottom portion 14b of the housing 14. In this fixed state, the end surface 12a of the switching unit 12 on the side opposite to the inspection target substrate P protrudes from the bottom 14b of the housing 14 toward the inspection target substrate P side. Is held in. In the fixed state, the end surface 12a of the switching unit 12 and the bottom surface of the bottom portion 14b are parallel. In the fixed state, the portion opposite to the inspection target substrate P than the opening 14f of the switching unit 12 is located in the body portion 14a of the housing 14 (in the accommodation space described above). .

이어서, 전술한 전환 유닛(12)의 고정 상태에서, 한 쌍의 훅(14h)에 의해 전기 검사 헤드(11)를 끼워 넣는다. 전기 검사 헤드(11)는, 한 쌍의 훅(14h) 사이를 한 쌍의 가이드 벽(14g)의 긴 쪽 방향(한 쌍의 가이드 벽(14g)이 연장되어 있는 방향)으로 슬라이드함으로써 한 쌍의 훅(14h)에 끼워 넣어진다. 그리고, 전기 검사 헤드(11)를 끼워 넣은 상태에서 한 쌍의 훅(14h)을 전환 유닛(12)측으로 이동시키고, 전환 유닛(12)의 단부면(12a)과, 전기 검사 헤드(11)의 전환 유닛(12)과 대향하는 측의 단부면(11c)(보다 상세하게는, 보유 지지부(11b)의 전환 유닛(12)과 대향하는 측의 단부면(11c))을 누른다. 이로써, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)이 접속된다. 또한, 전기 검사 헤드(11)를 전환 유닛(12)으로부터 분리하는 경우에는, 한 쌍의 훅(14h)을 전환 유닛(12)과 반대측으로 이동시킨 후, 한 쌍의 훅(14h)으로부터 전기 검사 헤드(11)를 발출하면 된다. 당해 전기 검사 장치는, 이와 같이 전기 검사 헤드(11)를 전환 유닛(12)으로부터 용이하게 착탈할 수 있으므로, 검사 대상 기판(P)의 종류 등에 대응하여 전기 검사 헤드(11)를 용이하게 교환할 수 있다.Next, in the fixed state of the switching unit 12 described above, the electrical inspection head 11 is fitted by a pair of hooks 14h. The electrical inspection head 11 slides between the pair of hooks 14h in the long direction of the pair of guide walls 14g (the direction in which the pair of guide walls 14g extends) It is inserted into the hook 14h. Then, in the state where the electrical inspection head 11 is fitted, the pair of hooks 14h are moved toward the switching unit 12 side, and the end face 12a of the switching unit 12 and the electrical inspection head 11 are The end surface 11c on the side opposite to the switching unit 12 (more specifically, the end surface 11c on the side opposite to the switching unit 12 of the holding portion 11b) is pressed. Thereby, the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are connected. In addition, when removing the electrical inspection head 11 from the switching unit 12, after moving the pair of hooks 14h to the opposite side to the switching unit 12, electrical inspection from the pair of hooks 14h It is enough to take out the head 11. The electrical inspection device can easily attach and detach the electrical inspection head 11 from the switching unit 12 in this way, so that the electrical inspection head 11 can be easily replaced according to the type of the inspection target substrate P, etc. I can.

<전기적 접속 구조><Electrical connection structure>

계속해서, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)의 전기적인 접속 구조에 대하여 설명한다. 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)이 직결되어 있다. 환언하면, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)이 서로 눌림으로써, 동시에 복수의 프로브(11a)와, 복수의 프로브(11a)로의 전기적인 접속을 전환 가능한 전환 회로가 전기적으로 접속된다.Subsequently, the electrical connection structure of the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 will be described. In the electric inspection apparatus, the electric inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected. In other words, the electrical inspection device is a switching circuit capable of switching the electrical connection to the plurality of probes 11a and the plurality of probes 11a at the same time by pressing the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 together. Is electrically connected.

도 5를 참조하여, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)의 전기적인 접속 구조에 대하여 상세하게 설명한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 전기 검사 헤드(11)는, 전환 유닛(12)과 대향하는 단부면(11c)으로부터 전환 유닛(12)측으로 돌출되는 복수의 핀(11d)을 갖고 있다. 핀(11d)은, 단부면(11c)에 마련되는 관통 구멍(11e)을 관통한 상태에서 보유 지지부(11b)에 보유 지지되어 있다. 핀(11d)은, 각각 일대 일로 프로브(11a)에 접속되어 있다.Referring to Fig. 5, the electrical connection structure of the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 will be described in detail. As shown in FIG. 5, the electrical inspection head 11 has a plurality of pins 11d protruding from the end face 11c facing the switching unit 12 toward the switching unit 12 side. The pin 11d is held by the holding portion 11b in a state where it has passed through the through hole 11e provided in the end surface 11c. The pins 11d are connected to the probe 11a on a one-to-one basis, respectively.

또한, 전환 유닛(12)은, 복수의 핀(11d)과 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 일대 일로 대응하는 복수의 접촉자(12c)와, 이 접촉자(12c)를 전기 검사 헤드(11)측으로 누르는 스프링(12d)을 갖고 있다. 전환 회로(12b)는, 복수의 핀(11d)과 일대 일로 대응하는 접점을 갖고 있다. 접촉자(12c)는, 스프링(12d)이 복원력에 저항하여 압축된 상태에서 전환 회로(12b)의 상기 접점과 전기적으로 접속된다.In addition, the switching unit 12 includes a plurality of pins 11d and a plurality of contacts 12c corresponding one-to-one in the normal direction of the inspection target substrate P, and the contactors 12c are connected to the electrical inspection head 11 It has a spring 12d that pushes it to the side. The switching circuit 12b has a contact point corresponding to the plurality of pins 11d on a one-to-one basis. The contactor 12c is electrically connected to the contact point of the switching circuit 12b in a state in which the spring 12d is compressed against the restoring force.

당해 전기 검사 장치는, 전환 유닛(12)의 단부면(12a)과, 전기 검사 헤드(11)의 단부면(11c)이 눌림으로써, 핀(11d)이 접촉자(12c)를 압박한다. 이로써, 접촉자(12)가 전환 회로(12b)측으로 압입되어, 프로브(11a)와 전환 회로(12b)가 전기적으로 접속된다. 당해 전기 검사 장치는, 스프링(12d)과 전환 회로(12b) 사이에 플렉시블 기판이나 와이어 등의 전기 배선을 갖지 않는다. 당해 전기 검사 장치는, 핀(11d)으로 접촉자(12c)를 압박함으로써, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)을 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 용이하게 직결할 수 있다.In the electrical inspection apparatus, the end surface 12a of the switching unit 12 and the end surface 11c of the electrical inspection head 11 are pressed, so that the pin 11d presses the contactor 12c. Thereby, the contactor 12 is pressed into the switching circuit 12b, and the probe 11a and the switching circuit 12b are electrically connected. The electrical inspection apparatus does not have electrical wiring such as a flexible substrate or wire between the spring 12d and the switching circuit 12b. The electrical inspection apparatus can easily and directly connect the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 in the normal direction of the inspection target substrate P by pressing the contactor 12c with the pin 11d.

또한, 프로브(11a)와 전환 회로(12b)의 전기적인 접속 구조로서는, 예를 들어 전환 유닛(12)의 단부면(12a)에 소켓(도시하지 않음)이 마련되고, 이 소켓에 복수의 핀(11d)이 끼워 넣어짐으로써 전기적으로 접속되는 구성을 채용하는 것도 가능하다.In addition, as an electrical connection structure between the probe 11a and the switching circuit 12b, for example, a socket (not shown) is provided on the end surface 12a of the switching unit 12, and a plurality of pins are provided in the socket. It is also possible to adopt a configuration electrically connected by inserting (11d).

(베어링)(bearing)

베어링(13)은, 하우징(14)의 동체부(14a)를 지지하고 있다. 베어링(13)의 중심축(축(A))은, 검사 대상 기판(P)의 법선과 평행하게 배치된다. 베어링(13)은, 검사 대상 기판(P)과 근접하여 마련되는 것이 바람직하다. 베어링(13)과 검사 대상 기판(P)의 거리의 상한으로서는, 180㎜가 바람직하고, 125㎜가 보다 바람직하고, 100㎜가 더욱 바람직하다. 상기 거리를 상기 상한 이하로 함으로써, 베어링(13)의 기울기에 기인하는 검사 대상 기판(P)의 측정점에 대한 복수의 프로브(11a)의 위치 어긋남을 충분히 작게 할 수 있다. 이로써, 당해 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판(P)의 전기 검사 정밀도를 충분히 높일 수 있다. 한편, 상기 거리의 하한으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 복수의 프로브(11a)와 검사 대상 기판(P)의 의도하지 않은 접촉을 억제하는 관점에서, 10㎜로 할 수 있다. 또한, 「베어링과 검사 대상 기판의 거리」란, 베어링과 검사 대상 기판의 측정점의 평균 거리를 의미하고, 예를 들어 검사 대상 기판의 법선 방향에 있어서의 베어링과 임의의 5개의 측정점의 거리의 평균값을 말한다.The bearing 13 supports the body part 14a of the housing 14. The central axis (axis A) of the bearing 13 is arranged parallel to the normal line of the inspection target substrate P. It is preferable that the bearing 13 is provided close to the inspection target substrate P. As the upper limit of the distance between the bearing 13 and the inspection target substrate P, 180 mm is preferable, 125 mm is more preferable, and 100 mm is still more preferable. By making the distance equal to or less than the upper limit, the positional shift of the plurality of probes 11a with respect to the measurement point of the inspection target substrate P due to the inclination of the bearing 13 can be sufficiently reduced. Thereby, the electrical inspection apparatus can sufficiently increase the electrical inspection precision of the inspection target substrate P. On the other hand, the lower limit of the distance is not particularly limited, but may be set to 10 mm, for example, from the viewpoint of suppressing unintended contact between the plurality of probes 11a and the inspection target substrate P. In addition, ``the distance between the bearing and the substrate to be inspected'' means the average distance between the bearing and the measuring point of the substrate to be inspected, for example, the average value of the distance between the bearing and any five measuring points in the normal direction of the substrate to be inspected Say.

베어링(13)은, 동체부(14a)의 외주면을 지지하고 있다. 베어링(13)은, 동체부(14a)의 외주면의 검사 대상 기판(P)측의 단부를 지지하고 있고, 더 상세하게는 동체부(14a)의 확경부(14e)의 외주면을 지지하고 있다. 당해 전기 검사 장치는, 베어링(13)이 동체부(14a)의 검사 대상 기판(P)측의 단부를 지지하고 있으므로, 베어링(13)과 검사 대상 기판(P)의 거리를 작게 하기 쉽다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 베어링(13)이 확경부(14e)의 외주면을 지지하고 있으므로, 베어링(13)의 직경을 크게 하여, 축(A) 주위의 회전 각도를 고정밀도로 조절하기 쉽고, 복수의 프로브(11a)를 검사 대상 기판(P)에 대하여 고정밀도로 위치 결정하기 쉽다.The bearing 13 supports the outer peripheral surface of the body part 14a. The bearing 13 supports an end portion of the outer circumferential surface of the body portion 14a on the side of the inspection target substrate P, and more specifically, supports the outer circumferential surface of the diameter expansion portion 14e of the body portion 14a. In the electrical inspection apparatus, since the bearing 13 supports the end portion of the body portion 14a on the side of the inspection target substrate P, the distance between the bearing 13 and the inspection target substrate P can be easily reduced. Further, in the electrical inspection apparatus, since the bearing 13 supports the outer circumferential surface of the diameter expansion portion 14e, it is easy to adjust the rotation angle around the shaft A with high precision by increasing the diameter of the bearing 13, It is easy to position the plurality of probes 11a with respect to the inspection target substrate P with high precision.

베어링(13)의 외륜은, 프레임체(15)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 베어링(13)의 외륜은, 복수의 나사에 의해 프레임체(15)에 고정되어 있다.The outer ring of the bearing 13 is fixed to the frame body 15. Specifically, the outer ring of the bearing 13 is fixed to the frame body 15 by a plurality of screws.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이, 평면에서 보아 베어링(13)의 내주연 내에 포함되어 있다. 구체적으로는, 전환 유닛(12)은, 검사 대상 기판(P)과 대향하는 단부면(12a) 측에서 개구(14f)에 끼워 넣은 상태에서, 하우징(14)에 고정되어 있다. 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이, 평면에서 보아 베어링(13)의 내주연 내에 포함되어 있음으로써, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)의 질량이 동체부(14a)의 중심축 근방으로 모이기 쉽다. 이로써, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 작은 관성 모멘트로 회전시킬 수 있고, 편심이 작아져 회전이 안정된다. 그 결과, 복수의 프로브(11a)를 검사 대상 기판(P)에 대하여 고정밀도로 빠르게 위치 결정할 수 있다.As shown in Figs. 1 to 3, in the electric inspection apparatus, the electric inspection head 11 and the switching unit 12 are included in the inner periphery of the bearing 13 in plan view. Specifically, the switching unit 12 is fixed to the housing 14 in the state of being fitted in the opening 14f on the side of the end surface 12a facing the substrate P to be inspected. In the electrical inspection apparatus, the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are included in the inner circumference of the bearing 13 when viewed from a plan view, so that the mass of the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 It is easy to gather in the vicinity of the central axis of this body part 14a. Thereby, the electric inspection apparatus can rotate the electric inspection head 11 and the switching unit 12 with a small moment of inertia, the eccentricity becomes small, and the rotation is stabilized. As a result, it is possible to quickly position the plurality of probes 11a with respect to the inspection target substrate P with high precision.

전환 유닛(12)은, 베어링(13)을 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 관통한 상태에서 배치되어 있다. 보다 상세하게는, 전환 유닛(12)은, 검사 대상 기판(P)과 대향하는 단부면(12a)측에서 베어링(13)의 내주연 내를 관통하고 있다. 당해 전기 검사 장치는, 전환 유닛(12)이 베어링(13)을 관통하고 있음으로써, 베어링(13)을 검사 대상 기판(P)에 접근시키기 쉽다. 이로써, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 정밀도를 충분히 높일 수 있다.The switching unit 12 is disposed in a state that has penetrated the bearing 13 in the normal direction of the inspection target substrate P. More specifically, the switching unit 12 penetrates the inner periphery of the bearing 13 from the side of the end surface 12a facing the substrate P to be inspected. In the electrical inspection apparatus, since the switching unit 12 passes through the bearing 13, it is easy to bring the bearing 13 closer to the inspection target substrate P. Thereby, the electric inspection apparatus can sufficiently increase the electric inspection precision.

(구동 기구)(Drive mechanism)

구동 기구(2)로서는, 직교 좌표형 시스템이 사용된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 구동 기구(2)는, Z축(도 1에 있어서의 축(A)과 평행한 축)과 수직인 X축 방향으로 연장되는 고정 레일(21)과, 한 쌍의 고정 레일(21) 위를 각각 이동하는 한 쌍의 슬라이더(22)와, 한 쌍의 슬라이더(22) 사이에 Z축 방향 및 X축 방향에 수직인 Y축 방향에 걸쳐지는 한 쌍의 가동 레일(23)과, 한 쌍의 가동 레일(23) 위를 이동 가능한 제1 이동체(24)와, 제1 이동체(24)에 접속되어, 하우징(14)이 끼워 넣어지는 개구(25a)를 갖는 제2 이동체(25)를 갖는다. 제2 이동체(25)는, 하우징(14)을 Z축과 평행한 방향으로 이동 가능하게 보유 지지한다. 당해 전기 검사 장치는, 구동 기구(2)가 전기 검사 헤드(11)를 3차원으로 위치 결정 가능하므로, 원하는 측정점에 대하여 복수의 프로브(11a)를 용이하게 위치 정렬할 수 있다.As the drive mechanism 2, a Cartesian coordinate system is used. As shown in Fig. 4, the drive mechanism 2 includes a pair of fixed rails 21 extending in the X-axis direction perpendicular to the Z-axis (an axis parallel to the axis A in Fig. 1). A pair of sliders 22 moving on each of the fixed rails 21 of the, and a pair of movable rails spanning the Z-axis direction and the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction between the pair of sliders 22 (23), a first moving body 24 movable on a pair of movable rails 23, and a first moving body 24 connected to the first moving body 24, and having an opening 25a into which the housing 14 is inserted. It has 2 moving bodies (25). The second moving body 25 holds the housing 14 so as to be movable in a direction parallel to the Z axis. In the electric inspection apparatus, since the drive mechanism 2 can position the electric inspection head 11 in three dimensions, the plurality of probes 11a can be easily aligned with respect to a desired measurement point.

당해 전기 검사 장치는, 구동 기구(2)에 의해 전기 검사 헤드(11)의 3차원에서의 위치 결정이 가능하고, 또한 전술한 구동원에 의해 전기 검사 헤드(11)를 축(A)의 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다. 전기 검사 헤드(11)의 축(A)의 주위의 회전 각도로서는, 특별히 한정되지 않지만 360° 초과가 바람직하다. 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11)와 전환 유닛(12)이 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 직결되므로, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 회전시키기 위한 간섭 회피용의 공간을 작게 할 수 있다. 그 때문에, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11)의 축(A)의 주위의 회전 각도를 크게 하기 쉽다.The electric inspection apparatus can determine the position of the electric inspection head 11 in three dimensions by the drive mechanism 2, and the electric inspection head 11 is moved around the axis A by the above-described driving source. It is configured to be rotatable. Although it does not specifically limit as a rotation angle around the axis A of the electrical inspection head 11, It is preferable to exceed 360 degrees. In the electrical inspection apparatus, since the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected in the normal direction of the inspection target substrate P, interference avoidance for rotating the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 The space of the dragon can be made small. Therefore, the electrical inspection apparatus easily increases the rotation angle around the axis A of the electrical inspection head 11.

<이점><Advantage>

당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 직결되어 있으므로, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 작은 관성 모멘트로 회전시킬 수 있고, 복수의 프로브(11a)를 검사 대상 기판(P)에 대하여 빠르고 또한 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 따라서, 당해 전기 검사 장치는, 검사 대상 기판(P)의 전기 검사 효율을 용이하게 높일 수 있다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 작은 관성 모멘트로 회전시킬 수 있으므로, 이 회전에 기인하는 각 부의 부하를 작게 할 수 있다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이 직결되어 있으므로, 전기적 접속의 신뢰성을 높임과 함께, 부품 개수의 증가를 억제하여, 장치의 소형화를 도모할 수 있다.In the electrical inspection apparatus, since the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected in the normal direction of the inspection target substrate P, the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are connected with a small moment of inertia. It can be rotated, and the plurality of probes 11a can be positioned with respect to the inspection target substrate P quickly and with high precision. Accordingly, the electrical inspection apparatus can easily increase the electrical inspection efficiency of the inspection target substrate P. In addition, since the electric inspection apparatus can rotate the electric inspection head 11 and the switching unit 12 with a small moment of inertia, the load of each part resulting from this rotation can be reduced. In addition, in the electrical inspection apparatus, since the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected, the reliability of the electrical connection is improved, and an increase in the number of parts is suppressed, so that the miniaturization of the device can be achieved. .

<보유 지지 유닛><holding support unit>

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 당해 보유 지지 유닛(3)은, 검사 대상 기판(P)에 대하여, 이 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브(11a)를 갖는 전기 검사 헤드(11)와 복수의 프로브(11a)로의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛(12)을 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 직결한 상태에서 보유 지지 가능한 하우징(14)과, 하우징(14)을 검사 대상 기판(P)의 법선과 평행한 축(A)의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링(13)을 구비한다.As shown in Figs. 1 and 2, the holding unit 3 has a plurality of probes 11a that can be brought into contact with the inspection target substrate P from the normal direction of the inspection target substrate P. A housing 14 capable of holding the switching unit 12 having a circuit capable of switching the connection between the electrical inspection head 11 and the plurality of probes 11a in a state directly connected in the normal direction of the inspection target substrate P; and A bearing 13 is provided for supporting the housing 14 so as to be rotatable around an axis A parallel to the normal line of the inspection target substrate P.

<이점><Advantage>

당해 보유 지지 유닛(3)은, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 검사 대상 기판(P)의 법선 방향으로 직결한 상태에서 보유 지지할 수 있으므로, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 작은 관성 모멘트로 회전시킬 수 있고, 복수의 프로브(11a)를 검사 대상 기판(P)에 대하여 빠르고 또한 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 따라서, 당해 보유 지지 유닛(3)은, 검사 대상 기판(P)의 전기 검사 효율을 용이하게 높일 수 있다.The holding unit 3 can hold the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 in a state in which they are directly connected in the normal direction of the inspection target substrate P, so that the electrical inspection head 11 and switching The unit 12 can be rotated with a small moment of inertia, and the plurality of probes 11a can be positioned with respect to the inspection target substrate P quickly and with high precision. Therefore, the holding unit 3 can easily increase the electrical inspection efficiency of the inspection target substrate P.

[그 밖의 실시 형태][Other embodiments]

상기 실시 형태는, 본 발명의 구성을 한정하는 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태는, 본 명세서의 기재 및 기술 상식에 기초하여 상기 실시 형태 각 부의 구성 요소의 생략, 치환 또는 추가가 가능하고, 그것들은 모두 본 발명의 범위에 속하는 것이라고 해석되어야 한다.The above embodiment does not limit the configuration of the present invention. Therefore, in the above embodiments, it is possible to omit, substitute, or add constituent elements of each part of the above embodiments based on the description and common technical knowledge of the present specification, and all of them should be interpreted as being within the scope of the present invention.

당해 전기 검사 장치는, 예를 들어 도 6에 도시한 바와 같이, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이 평면에서 보아 베어링(33)의 내주연 내에 내포되지 않는 구성을 채용하는 것도 가능하다. 도 6의 전기 검사 장치는, 하우징(34)이, 검사 대상 기판(P)의 법선과 평행한 중심축을 갖는 통상의 동체부(34a)와, 동체부(34a)의 검사 대상 기판(P)측의 단부에 마련되는 저부(34b)와, 동체부(34a)의 검사 대상 기판(P)과 반대측의 단부에 마련되는 덮개부(34c)와, 저부(34b)에 마련되어, 전기 검사 헤드(11)를 착탈 가능하게 지지하는 지지부(34d)를 갖고 있다. 당해 전기 검사 장치는, 덮개부(34c)의 외면에 베어링(33)이 배치되어 있다. 당해 전기 검사 장치는, 도 1의 전기 검사 장치와 마찬가지로, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이 직결되어 있음으로써, 전기적 접속의 신뢰성을 높일 수 있다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)의 질량을 동체부(34a)의 중심축 근방으로 모으기 쉽고, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)을 작은 관성 모멘트로 회전시킬 수 있고, 편심이 작아져 회전이 안정된다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 베어링(33)이 덮개부(34c)의 외면에 배치되므로, 장치의 소형화를 도모하기 쉽다.The electrical inspection device may adopt a configuration in which the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are not contained within the inner periphery of the bearing 33 when viewed from a plan view, for example, as shown in FIG. 6. Do. In the electrical inspection apparatus of FIG. 6, the housing 34 is a normal body portion 34a having a central axis parallel to the normal of the inspection target substrate P, and an inspection target substrate P side of the body portion 34a. The bottom part 34b provided at the end of the body part 34a, the cover part 34c provided at the end of the body part 34a opposite to the inspection target substrate P, and the bottom part 34b provided in the electrical test head 11 It has a support part 34d which supports it detachably. In the electrical inspection apparatus, a bearing 33 is disposed on the outer surface of the lid portion 34c. In the electric inspection apparatus, the electric inspection head 11 and the switching unit 12 are directly connected, similarly to the electric inspection apparatus in FIG. 1, so that the reliability of the electric connection can be improved. In addition, the electrical inspection apparatus is easy to collect the mass of the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 near the central axis of the body portion 34a, and the electrical inspection head 11 and the switching unit 12 are small. It can be rotated by the moment of inertia, and the eccentricity is small, so the rotation is stable. Further, in the electrical inspection apparatus, since the bearing 33 is disposed on the outer surface of the lid portion 34c, it is easy to achieve a miniaturization of the apparatus.

상기 전환 유닛은, 반드시 베어링을 검사 대상 기판의 법선 방향으로 관통한 상태에서 배치되어 있지 않아도 된다. 예를 들어, 당해 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드가 베어링을 검사 대상 기판의 법선 방향으로 관통한 상태에서 배치되어도 된다. 이 구성에 의하면, 베어링과 검사 대상 기판의 거리를 작게 하기 쉽다. 또한, 당해 전기 검사 장치는, 도 6에 도시한 바와 같이, 전기 검사 헤드(11) 및 전환 유닛(12)이 모두 베어링(33)을 관통하지 않는 구성을 채용하는 것도 가능하다.The switching unit does not necessarily have to be disposed in a state where the bearing has passed in the normal direction of the inspection target substrate. For example, the electrical inspection device may be disposed in a state in which the electrical inspection head penetrates the bearing in the normal direction of the inspection target substrate. With this configuration, it is easy to reduce the distance between the bearing and the substrate to be inspected. In addition, as shown in FIG. 6, the electrical inspection apparatus may adopt a configuration in which neither the electrical inspection head 11 nor the switching unit 12 penetrates the bearing 33.

상기 하우징의 구체적 구성은 전술한 실시 형태의 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 상기 동체부는, 반드시 검사 대상 기판측의 단부에 확경부를 갖고 있지 않아도 된다. 또한, 상기 하우징은, 복수의 전기 검사 헤드 및/또는 복수의 전환 유닛을 유지 가능하게 구성되어 있어도 된다. 예를 들어, 상기 하우징은, 통상의 동체부와, 이 동체부의 검사 대상 기판측의 단부에 마련되는 저부를 갖고, 이 저부에 복수의 전환 유닛이 관통하는 복수의 개구가 형성되어 있어도 된다. 또한, 전술한 하우징 대신에 복수의 프레임을 조합한 프레임체를 사용하는 것도 가능하다.The specific configuration of the housing is not limited to the configuration of the above-described embodiment. For example, the body portion does not necessarily have to have an enlarged diameter portion at the end of the substrate side to be inspected. Further, the housing may be configured to be capable of holding a plurality of electrical inspection heads and/or a plurality of switching units. For example, the housing may have a normal body portion and a bottom portion provided at an end portion on the inspection target substrate side of the body portion, and a plurality of openings through which a plurality of switching units pass may be formed in the bottom portion. In addition, it is also possible to use a frame body in which a plurality of frames are combined instead of the above-described housing.

상기 구동 기구의 구체적 구성은 전술한 실시 형태의 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 상기 구동 기구로서, 다관절 로봇을 사용하는 것도 가능하다.The specific configuration of the drive mechanism is not limited to the configuration of the above-described embodiment. For example, it is also possible to use an articulated robot as the drive mechanism.

[산업상 이용가능성][Industrial availability]

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 양태에 관한 전기 검사 장치는, 프린트 기판의 전기 검사에 적합하게 사용된다.As described above, the electrical inspection apparatus according to an aspect of the present invention is suitably used for electrical inspection of a printed circuit board.

1: 본체
2: 구동 기구
3: 보유 지지 유닛
11: 전기 검사 헤드
11a: 프로브
11b: 보유 지지부
11c: 단부면
11d: 대향면
11e: 관통 구멍
12: 전환 유닛
12a: 단부면
12b: 전환 회로
12c: 접촉자
12d: 스프링
13, 33: 베어링
14, 34: 하우징
14a, 34a: 동체부
14b, 34b: 저부
14c, 34c: 덮개부
14d, 34d: 지지부
14e: 확경부
14f: 개구
14g: 가이드 벽
14h: 훅
15: 프레임체
21: 고정 레일
22: 슬라이더
23: 가동 레일
24: 제1 이동체
25: 제2 이동체
25a: 개구
P: 검사 대상 기판
A: 축1: main body
2: drive mechanism
3: holding unit
11: electrical inspection head
11a: probe
11b: holding part
11c: end face
11d: facing surface
11e: through hole
12: conversion unit
12a: end face
12b: switching circuit
12c: contactor
12d: spring
13, 33: bearing
14, 34: housing
14a, 34a: fuselage
14b, 34b: bottom
14c, 34c: cover portion
14d, 34d: support
14e: enlarged neck
14f: opening
14g: guide wall
14h: hook
15: frame body
21: fixed rail
22: slider
23: movable rail
24: first moving body
25: second moving body
25a: opening
P: substrate to be inspected
A: axis

Claims (6)

검사 대상 기판에 대하여, 이 검사 대상 기판의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖는 전기 검사 헤드와,
상기 복수의 프로브에의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛과,
상기 전기 검사 헤드 및 전환 유닛을 상기 법선과 평행한 축의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링을
구비하고,
상기 전기 검사 헤드와 전환 유닛이, 착탈 가능하게, 상기 법선 방향으로 직결되는 전기 검사 장치.An electrical inspection head having a plurality of probes that can be brought into contact with the inspection target substrate from a normal direction of the inspection target substrate,
A switching unit having a circuit capable of switching connection to the plurality of probes;
A bearing rotatably supporting the electrical inspection head and the conversion unit around an axis parallel to the normal
Equipped,
An electrical inspection device in which the electrical inspection head and the switching unit are detachably connected to each other in the normal direction. 제1항에 있어서, 상기 전기 검사 헤드 및 전환 유닛이, 평면에서 보아 상기 베어링의 내주연 내에 포함되는, 전기 검사 장치.The electric inspection apparatus according to claim 1, wherein the electric inspection head and the switching unit are included in the inner periphery of the bearing when viewed in plan view. 제2항에 있어서, 상기 전환 유닛이, 상기 베어링을 상기 법선 방향으로 관통한 상태에서 배치되어 있는 전기 검사 장치.The electrical inspection apparatus according to claim 2, wherein the switching unit is disposed in a state that passes through the bearing in the normal direction. 제3항에 있어서, 상기 법선과 평행한 중심축을 갖는 통상의 동체부와, 이 동체부의 상기 검사 대상 기판측의 단부에 마련되는 저부를 갖는 하우징을 구비하고,
상기 저부가, 상기 전환 유닛이 관통하는 개구를 갖고,
상기 베어링이, 상기 동체부의 외주면의 상기 검사 대상 기판측의 단부를 지지하고 있는, 전기 검사 장치.The method according to claim 3, further comprising a housing having a normal body portion having a central axis parallel to the normal line, and a bottom portion provided at an end portion of the body portion on the inspection target substrate side,
The bottom portion has an opening through which the switching unit passes,
The bearing supports an end portion of the outer circumferential surface of the body portion on the side of the substrate to be inspected. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전기 검사 헤드를 3차원으로 위치 결정 가능한 구동 기구를 더 구비하는, 전기 검사 장치.The electric inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, further comprising a drive mechanism capable of positioning the electric inspection head in three dimensions. 검사 대상 기판에 대하여, 이 검사 대상 기판의 법선 방향으로부터 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖는 전기 검사 헤드와 상기 복수의 프로브에의 접속을 전환 가능한 회로를 갖는 전환 유닛을 상기 법선 방향으로 직결한 상태에서 보유 지지 가능한 하우징과,
상기 하우징을 상기 법선과 평행한 축의 주위로 회전 가능하게 지지하는 베어링을
구비하는 보유 지지 유닛.With respect to the inspection target substrate, an electrical inspection head having a plurality of probes that can be contacted from the normal direction of the inspection target substrate and a switching unit having a circuit capable of switching connections to the plurality of probes are held in a state directly connected in the normal direction A supportable housing,
A bearing rotatably supporting the housing around an axis parallel to the normal
A holding unit to be provided.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116316278A (en) * 2023-05-22 2023-06-23 国网山东省电力公司诸城市供电公司 Circuit maintenance device for power supply

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272982A (en) * 1988-04-25 1989-10-31 Teru Yamanashi Kk Inspecting device for substrate
JPH02243976A (en) * 1989-03-17 1990-09-28 Nippon Seiko Kk Method and device for moving contactor of circuit board inspection device
JPH0572283A (en) * 1991-09-10 1993-03-23 Hitachi Electron Eng Co Ltd Measuring jig for ic tester
JPH06160483A (en) * 1992-11-13 1994-06-07 Nitto Seiko Co Ltd Board inspection apparatus
JP2002107411A (en) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Support base for test head
JP2002107410A (en) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Tab automatic handler
JP2002164396A (en) * 2000-09-05 2002-06-07 Cascade Microtech Inc Chuck assembly for probe station
WO2005093820A1 (en) * 2004-03-25 2005-10-06 Tokyo Electron Limited Turning device for heavy object
JP2007524814A (en) * 2003-03-31 2007-08-30 インテスト コーポレイション Test head positioning system and method
JP2008175595A (en) 2007-01-16 2008-07-31 Nidec-Read Corp Board inspecting device
JP2017028296A (en) * 2015-03-30 2017-02-02 株式会社東京精密 Prober
JP2017126729A (en) * 2016-01-08 2017-07-20 株式会社東京精密 Prober and probe contact method
JP2018041838A (en) * 2016-09-07 2018-03-15 株式会社東京精密 Prober

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85107031B (en) * 1985-09-20 1988-08-24 株式会社三丰制作所 Coordinate-measuring instrument
JPH0755885A (en) * 1993-06-30 1995-03-03 Hitachi Ltd Electrical characteristic inspection device of electrical circuit board
JP3116261B2 (en) * 1994-05-17 2000-12-11 東京エレクトロン株式会社 Probe device
JPH0915302A (en) * 1995-06-30 1997-01-17 Olympus Optical Co Ltd Method and device for positioning circuit board inspection device
JP3545655B2 (en) * 1999-09-08 2004-07-21 株式会社日本マイクロニクス Electrical connection device
AU2003218348A1 (en) * 2002-03-22 2003-10-13 Electro Scientific Industries, Inc. Test probe alignment apparatus
JP3842192B2 (en) * 2002-09-12 2006-11-08 シーケーディ株式会社 Component mounting device and component inspection device
GB0308550D0 (en) * 2003-04-10 2003-05-21 Barker Colin Improvements to an automatic test machine
GB0508402D0 (en) * 2005-04-26 2005-06-01 Renishaw Plc Probe calibration
JP4919617B2 (en) * 2005-05-27 2012-04-18 ヤマハファインテック株式会社 Electrical inspection apparatus and electrical inspection method for printed circuit board
JP5451730B2 (en) * 2005-11-15 2014-03-26 株式会社アドバンテスト Probe card holding device
JP2010112789A (en) * 2008-11-05 2010-05-20 Yamaha Fine Technologies Co Ltd Electrical inspection apparatus
JP5629545B2 (en) * 2009-12-18 2014-11-19 株式会社日本マイクロニクス Probe card and inspection device
JP2011185702A (en) * 2010-03-08 2011-09-22 Yamaha Fine Technologies Co Ltd Electric inspection method and electric inspection device of circuit board
JP2013101017A (en) * 2011-11-08 2013-05-23 Nidec-Read Corp Substrate inspection device
JP2014071043A (en) * 2012-09-28 2014-04-21 Nidec-Read Corp Substrate inspection device and substrate inspection method
JP6327825B2 (en) * 2013-10-08 2018-05-23 日置電機株式会社 Flexible substrate, flexible substrate assembly, and substrate inspection apparatus
JP6273131B2 (en) * 2013-11-27 2018-01-31 株式会社日本マイクロニクス Inspection apparatus and inspection method
KR101754175B1 (en) * 2014-12-27 2017-07-05 싱크-테크 시스템 코포레이션 Testing station with upgrading function
JP6520356B2 (en) * 2015-04-28 2019-05-29 新東工業株式会社 Inspection apparatus and inspection method
TWI631352B (en) * 2016-08-02 2018-08-01 旺矽科技股份有限公司 Measuring system

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272982A (en) * 1988-04-25 1989-10-31 Teru Yamanashi Kk Inspecting device for substrate
JPH02243976A (en) * 1989-03-17 1990-09-28 Nippon Seiko Kk Method and device for moving contactor of circuit board inspection device
JPH0572283A (en) * 1991-09-10 1993-03-23 Hitachi Electron Eng Co Ltd Measuring jig for ic tester
JPH06160483A (en) * 1992-11-13 1994-06-07 Nitto Seiko Co Ltd Board inspection apparatus
JP2002164396A (en) * 2000-09-05 2002-06-07 Cascade Microtech Inc Chuck assembly for probe station
JP2002107410A (en) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Tab automatic handler
JP2002107411A (en) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Support base for test head
JP2007524814A (en) * 2003-03-31 2007-08-30 インテスト コーポレイション Test head positioning system and method
WO2005093820A1 (en) * 2004-03-25 2005-10-06 Tokyo Electron Limited Turning device for heavy object
JP2008175595A (en) 2007-01-16 2008-07-31 Nidec-Read Corp Board inspecting device
JP2017028296A (en) * 2015-03-30 2017-02-02 株式会社東京精密 Prober
JP2017126729A (en) * 2016-01-08 2017-07-20 株式会社東京精密 Prober and probe contact method
JP2018041838A (en) * 2016-09-07 2018-03-15 株式会社東京精密 Prober

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116316278A (en) * 2023-05-22 2023-06-23 国网山东省电力公司诸城市供电公司 Circuit maintenance device for power supply
CN116316278B (en) * 2023-05-22 2023-09-22 国网山东省电力公司诸城市供电公司 Circuit maintenance device for power supply

Also Published As

Publication number Publication date
JP7371885B2 (en) 2023-10-31
CN112198414B (en) 2024-04-26
KR102311432B1 (en) 2021-10-12
TWI748549B (en) 2021-12-01
CN112198414A (en) 2021-01-08
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