KR20200144447A - 포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체 - Google Patents

포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체 Download PDF

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KR20200144447A
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Abstract

본 발명의 실시예는 포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체를 개시하였는데, 여기서 포토리소리그래피의 제어방법은: 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는동시에, 제 2 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작고, 제 1 속도는 제 1 이동플랫폼의 등속 이동 속도인 단계를 포함하므로, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 하여, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.

Description

포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체{Photolithography equipment and its control method, apparatus and storage medium}
본 발명의 실시예는 포토리소그래피 기술분야에 관한 것으로서, 예를 들어 포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체에 관한 것이다.
포토리소그래피 기술이 발전함에 따라, 대세대 듀얼(dual) 이동플랫폼을 구비하는 포토리소그래피 설비가 점점 더 널리 응용되고 있다.
대세대의 포토리소그래피 설비는 비교적 큰 크기의 기판의 노광(exposure)에 사용될 수 있으나, 기판의 크기가 크므로 이동플랫폼이 기판을 적재하여 이동할 때 관성이 비교적 크며, 이동플랫폼이 이동하면 포토리소그래피 설비가 진동하여, 두개의 이동플랫폼 사이에 상호 간섭이 발생됨으로써, 노광 정밀도에 영향을 미치게 된다.
본 발명에서는, 포토리소그래피 설비의 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 낮추어 노광정밀도를 향상시키기 위해, 포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체를 제공한다.
제 1 양상에 있어서, 본 발명의 실시예에서는 포토리소그래피 설비의 제어방법을 제공하는데, 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 두개의 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하고, 두개의 이동플랫폼은 각각 제 1 이동플랫폼과 제 2 이동플랫폼이며;
포토리소그래피 설비의 제어방법은:
노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 동시에, 제 2 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작고, 제 1 속도는 제 1 이동플랫폼의 등속 이동 속도인 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0과 같다.
일부 실시예에서, 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 단계는:
노광공정에서, 제 1 이동플랫폼이 동일한 노광필드 내에서 등속으로 이동하도록 제어하는 단계; 를 포함하고,
노광공정에서, 포토리소그래피 설비의 제어방법은,
제 1 이동플랫폼이 서로 다른 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하는 단계; 를 더 포함한다.
일부 실시예에서, 포토리소그래피 설비의 제어방법은:
노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하는 동시에, 제 2 이동플랫폼이 비 노광영역에서 노광영역으로 이동하여 자재얼라인을 진행하되, 제 2 이동플랫폼이 비 노광영역에서 노광영역으로 이동하는 속도는 제 1 기설정 속도보다 크도록 제어하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 포토리소그래피 설비의 제어방법은:
제 1 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 수행하도록 제어하기 전에, 제 1 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계를 더 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계는:
제 1 이동플랫폼이 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하고, 제 2 이동플랫폼이 순차적으로 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 수행하도록 제어하는 단계는:
제 1 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 제 2 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 수행하는 시간은 제 2 이동플랫폼이 비 노광영역에서 자재얼라인 공정을 수행하는 시간과 같도록 제어한다.
일부 실시예에서, 제 1 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 제 2 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계는:
제 1 이동플랫폼의 노광공정과 제 2 이동플랫폼의 자재얼라인 공정이 동시에 완성될 때, 자재얼라인 공정을 완성한 제 2 이동플랫폼이 노광영역과 비 노광영역의 경계부분에 위치하도록 제어하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계 이전에, 초기화 공정을 더 포함하되, 초기화 공정은:
자재전송 장치가 두개의 이동플랫폼에 자재를 로딩(loading)하도록 제어하는 단계; 자재로딩 프리얼라인 장치가 두개의 이동플랫폼에 대해 프리얼라인을 하도록 제어하는 단계; 자재얼라인 장치가 두개의 이동플랫폼에 대해 자재얼라인을 진행하도록 제어하는 단계; 두개의 이동플랫폼 중의 제 1 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하도록 제어하되, 여기서 제 1 이동플랫폼은 두개의 이동플랫폼 중의 임의의 하나인 단계; 를 포함한다.
제 2 양상에 있어서, 본 발명의 실시예에서는 포토리소그래피 설비의 제어장치를 더 제공하는데, 이는 포토리소그래피 설비에 이용되고, 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 두개의 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하며; 상기 포토리소그래피 설비의 제어장치는:
노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 동시에, 제 2 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작고, 제 1 속도는 제 1 이동플랫폼의 등속 이동 속도이도록 구성되는 제어모듈을 포함한다.
일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0과 같다.
제 3 양상에 있어서, 본 발명의 실시예에서는 컴퓨터 프로그램이 저장되는 컴퓨터 판독가능 저장매체를 더 제공하며, 해당 프로그램이 프로세서에 의해 수행되면 제 1 양상에서 제공한 포토리소그래피 설비의 제어방법을 실행한다.
제 4 양상에 있어서, 본 발명의 실시예에서는 포토리소그래피 설비를 더 제공하며, 포토리소그래피 설비는 해당 포토리소그래피 설비는 제 2 양상에서 제공한 포토리소그래피 설비의 제어장치를 포함하고, 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 더 포함하며, 두개의 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함한다.
본 발명의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비 및 그의 제어방법, 장치와 저장매체는, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 상기 제 1 속도보다 작도록 제어하여, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 함으로써, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보하여, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 제어방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 제어방법 중 두개의 이동플랫폼이 각각의 공정을 진행하는 대응 상황을 보여준 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 개략도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법 중 두개의 이동플랫폼이 각각의 공정을 진행하는 대응 상황을 보여준 도면이다..
도 11은 본 발명의 실시예에서 제공하는 제어장치의 구조 개략도이다.
이하, 도면과 실시예를 결합하여 본 발명을 더 상세히 설명하도록 한다. 이해할 수 있는 것은. 여기서 기술한 구체적인 실시예는 본 발명을 해석하기 위한 것을 뿐, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 이외, 추가로 설명할 필요가 있는 것은, 기술의 편의를 위해, 도면에서는 전체 구조가 아닌 본 발명과 관련된 부분만 도시하였다.
포토리소그래피 설비의 완제품의 생산율을 향상시키기 위해, 듀얼 이동플랫폼을 구비하는 포토리소그래피 설비는 더욱더 널리 응용되고 있다. 그러나 대세대(예하면 6세대, 8.5세대)의 듀얼 이동플랫폼을 구비하는 포토리소그래피 설비는 이동플랫폼의 크기가 크고, 두개의 이동플랫폼이 동일한 가이드레일에서 이동한다. 듀얼 이동플랫폼을 구비하는 포토리소그래피 설비에 대한 기존의 제어방법은, 통상적으로 하나의 이동플랫폼이 노광영역에서 노광할 때, 다른 이동플랫폼은 비 노광영역에서 고속으로 기판얼라인을 진행함으로써, 노광 중인 이동플랫폼에 큰 방해(disturbance)를 주는 바, 최종적으로 노광정밀도에 영향을 미치게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 제어방법의 흐름도이고, 본 실시예는 듀얼 이동플랫폼을 구비하는 포토리소그래피 설비를 제어하는 경우에 적용할 수 있으며, 해당 방법은 포토리소그래피 설비의 제어장치에 의해 실행될 수 있고, 포토리소그래피 설비의 제어장치는 소프트웨어(software) 및/또는 하드웨어(hardware)로 구현될 수 있으며, 포토리소그래피 장치는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하며; 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다:
단계(110): 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
설명해야 할 점은, 포토리소그래피 설비의 이동플랫폼은 자재를 적재하여 노광영역과 비 노광영역에서 이동함으로써, 자재에 대한 노광을 보조적으로 진행할 수 있다. 노광공정은 정밀도에 대한 요구가 높은데, 특히 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하면서 노광을 진행할 때, 정밀도에 대한 요구가 극히 높다. 따라서, 일 이동플랫폼이 노광영역에 위치하여, 노광공정에서 등속으로 이동하는 경우, 포토리소그래피 설비 중 이동플랫폼을 적재하는 가이드레일은 최대한 진동을 피면하여 노광공정을 수행하는 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보해야 한다.
노광영역에서 등속으로 이동하는 일 이동플랫폼의 제 1 속도는 어느 하나의 고정된 속도만 표시할 수 있는 것이 아니며, 서로 다른 자재에 대해 노광할 때의 노광 요구가 다를 수 있거나, 동일한 자재의 서로 다른 위치에 대한 노광 요구도 다를 수 있으므로, 등속으로 이동하는 속도도 다를 수 있음을 쉽게 이해할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예에서 제 1 속도의 크기는 하나의 구체적인 속도 크기로 한정되지 않으며, 복수 개의 속도 값을 가리킬 수도 있다. 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 최대한 줄여 노광정밀도를 향상시키기 위해, 본 발명 실시예의 방안에서는, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동할 때, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작으므로, 비 노광영역에서 이동플랫폼이 이동하는 속도는 노광영역에서 노광공정을 수행하는 등속으로 이동하는 이동플랫폼의 속도보다 작다. 예를 들어 노광영역에서 노광공정을 수행하는 등속으로 이동하는 이동플랫폼의 속도가 10mm/s일 때, 제 1 기설정 속도는 10mm/s보다 작으므로, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 가이드레일에 큰 진동을 발생시키지 않아, 노광공정을 수행하고 있는 이동플랫폼에 방해를 주지 않으므로써, 노광정밀도를 확보하게 된다.
일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 기설정 값이고, 그 크기는 포토리소그래피 설비의 여러 번의 시험측정에 따라 획득할 수 있다. 그리고, 서로 다른 가이드레일의 길이, 서로 다른 크기의 이동플랫폼에 따라 제 1 기설정 속도는 다를 수 있다. 따라서, 제 1 기설정 속도의 크기를 확정할 때, 가이드레일의 크기를 고정하고, 이동플랫폼의 크기를 고정하며, 자재의 크기를 고정하는 등 조건하에서, 여러 번 시험하는데, 매번 시험에 있어서, 일 이동플랫폼은 노광영역에서 고정 속도 v1로 등속으로 이동하면서 노광공정을 수행하고, 다른 이동플랫폼은 비 노광영역에서 어느 하나의 속도 v2로 이동하며, 만약 1차 시험 후 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼 상의 자재가 노광정밀도를 충족할 수 없으면, v1의 속도가 변하지 않는 조건에서, 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 노광한 후의 자재가 정밀도 요구를 충족할 수 있을 때까지 v2의 값을 변경하고, 노광영역에서 노광한 후 정밀도를 충족할 경우, 대응되게 비 노광영역에서 이동하는 이동플랫폼의 이동속도 v2의 크기를 제 1 기설정 속도로 확정한다. 노광영역에 위치한 이동플랫폼의 균일한 이동속도 v1의 값을 변경한 후, 계속하여 동일한 방법을 사용하여 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼의 이동속도를 측정할 수 있기에, 노광영역에서 이동하는 이동플랫폼이 다른 속도로 등속으로 이동할 때 대응되는 제 1 기설정 속도를 확정함으로써, 비 노광영역에서 이동하는 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼의 노광정밀도에 영향을 미치지 않도록 확보한다. 본 발명의 실시예에서, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동할 때, 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼의 이동속도는 제 1 기설정 속도보다 작거나 같으므로, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 할 수 있어, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.
본 발명의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비의 제어방법은, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작으므로, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 하여, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.
상기 방안의 기초상, 일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0과 같다. 일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0이 아닌 하나의 기설적 값이다.
설명해야 할 점은, 제 1 기설정 속도는 0과 같고, 즉 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하는 경우, 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼이 정지되도록 제어함으로써, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 포토리소그래피 설비 및 가이드레일에 대한 진동을 발생할 수 없게 하여, 노광영역에서 노광공정을 수행할 때 등속으로 이동하는 이동플랫폼이 다른 이동플랫폼의 방해를 받지 않도록 확보할 수 있으므로, 비 노광영역에서 위치한 이동플랫폼의 이동으로 인해 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해를 제거하여, 노광정밀도를 확보하게 된다.
도 2는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 2를 참조하면, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다:
단계(210): 노광공정에서, 이동플랫폼이 동일한 노광필드 내에서 등속으로 이동하도록 제어하고; 노광공정에서, 이동플랫폼이 서로 다른 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하며; 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
설명해야 할 점은, 자재에 대해 노광할 때, 복수 개의 노광필드로 나누어 노광할 수 있는데, 동일한 노광필드에서, 이동플랫폼은 등속으로 이동함으로써, 균일하게 자재를 노광하도록 확보한다. 노광필드를 전환할 때, 즉 서로 다른 노광필드 사이에서 이동플랫폼은 가속 또는 감속 이동할 수 있다. 이동플랫폼이 동일한 노광필드 내에서 등속으로 이동할 때의 정밀도에 대한 요구는 이동플랫폼이 다른 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동할 때의 정밀도에 대한 요구에 비해 높다. 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동할 때, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하여, 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 정밀도 요구가 높은 공정에 대한 단계를 수행할 때, 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼이 최대한 진동을 발생하지 않도록 함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 방해를 감소하는데 유리하고, 노광정밀도를 향상시킨다.
도 3은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 3을 참조하면, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다.
단계(310): 노광공정에서, 이동플랫폼이 동일한 노광필드 내에서 등속으로 이동하도록 제어하고; 노광공정에서, 이동플랫폼이 서로 다른 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하며; 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
단계(320): 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 가속 또는 감속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼이 비 노광영역에서 노광영역으로 이동하여 자재얼라인을 진행하도록 제어하되, 다른 이동플랫폼이 비 노광영역에서 노광영역으로 이동하는 속도는 제 1 기설정 속도보다 크다.
상기 분석과 같이, 이동플랫폼이 서로 다른 노광필드 사이에서 이동할 때, 정밀도에 대한 요구가 상대적으로 낮으므로, 이때 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼의 이동속도를 적절하게 증가할 수 있다. 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동할 때, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에의 이동속도는 제 1 기설정 속도보다 작거나 같은데, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 노광 중인 이동플랫폼에 방해를 주지 않도록 확보하기 위해, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼의 이동속도는 일반적으로 비교적 작다. 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 가속 또는 감속으로 이동할 때, 다른 이동플랫폼이 비 노광영역에서 노광영역으로 이동하는 속도를 제 1 기설정 속도보다 크게 제어하여, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼의 자재얼라인 속도를 증가할 수 있어, 일 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 완성할 때, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼도 최대한 자재얼라인을 완성할 수 있음으로써, 포토리소그래피 설비의 생산율을 향상하는데 유리하다.
상기 방안의 기초상, 선택 가능하게, 노광영역에서 수행하는 공정은 마스크얼라인 공정과 노광공정을 포함하고, 비 노광영역에서 수행하는 공정은 이동플랫폼 호밍(return to original positon) 공정, 자재교체 공정, 프리얼라인 공정 및 자재얼라인 공정을 포함한다.
도 4는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 4를 참조하면, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다.
단계(410): 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어한다.
설명해야 할 점은, 이동플랫폼은 노광영역으로 이동한 후, 우선 마스크얼라인 공정을 수행하고, 즉 마스크플레이트와 자재에 대한 얼라인을 진행함으로써, 자재 상의 노광 패턴 위치의 정확성을 확보한다.
단계(420): 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
도 5는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 5를 참조하면, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다.
단계(510): 일 이동플랫폼이 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하고, 다른 이동플랫폼이 순차적으로 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정을 수행하도록 제어한다.
도 6은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 제어방법 중 두개의 이동플랫폼이 각각의 공정을 진행하는 대응 상황을 보여준 도면이고, 도 6에서는 일 이동플랫폼이 노광영역에서 노광공정을 수행하며 등속으로 이동할 때, 다른 이동플랫폼이 정지되어 있는 것을 예로 들어 설명하도록 한다. 도 6을 참조하면, 포토리소그래피 설비의 완제품의 생산율을 향상시키기 위해, 일 이동플랫폼의 노광영역에서의 공정과 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 공정을 동시에 진행할 수 있다. 노광영역에서 수행되는 공정에서는, 마스크얼라인 공정의 소요시간이 비교적 짧고, 비 노광영역에서 수행되는 공정에서는, 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정의 소요시간이 비교적 짧으므로, 일 이동플랫폼의 노광영역에서의 마스크얼라인 공정과 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정을 동시에 진행할 수 있고, 이로써 포토리소그래피 설비의 생산율 향상을 확보할 수 있다.
단계(520): 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
도 7은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 7을 참조하면, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다:
단계(610): 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 다른 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하며; 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
계속하여 도 6을 참조하면, 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행할 때, 다른 이동플랫폼은 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하고, 즉 일 이동플랫폼의 노광공정과 다른 이동플랫폼의 자재얼라인 공정을 동시에 진행함으로써, 포토리소그래피 설비의 생산율을 향상시키는데 유리하다.
표 1은 본 발명의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비의 이동플랫폼이 각각의 공정을 수행할 때 발생되는 진동의 레벨 및 각각의 공정을 수행할 때의 정밀도 요구에 대한 것이다.
노광공정 진동레벨 정밀도 요구
노광필드 내에서 등속으로 이동 비교적 낮음 극히 높음
노광필드와 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동 비교적 높음 높음
마스크얼라인 높음 낮음
자재얼라인 높음 낮음
이동플랫폼이 노광공정을 수행하는 경우, 노광필드 내에서 등속으로 이동할 때의 정밀도에 대한 요구가 매우 높으므로, 이때 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하는데, 일 이동플랫폼이 정밀도에 대한 요구가 높은 공정을 수행할 때, 다른 이동플랫폼이 발생시키는 진동의 레벨을 최대한 낮게 함으로써, 비교적 높은 노광정밀도를 확보하게 된다.
이동플랫폼이 노광공정에서, 노광필드와 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동하는 경우, 정밀도에 대한 요구가 상대적으로 낮으므로, 이때 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 제 1 기설정 속도보다 큰 속도로 이동하도록 제어하여, 포토리소그래피 설비의 비교적 높은 생산율을 확보하게 된다.
계속하여 도 6을 참조하면, 상기 방안의 기초상, 선택 가능하게, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행하는 시간은 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하는 시간과 같다.
설명해야 할 점은, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행하는 시간은 비 노광영역에 위치한 다른 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하는 시간과 같으며, 또한, 상기 실시예에서 기술한 바와 같이, 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 다른 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는데, 즉 일 이동플랫폼의 노광공정과 다른 이동플랫폼의 자재얼라인 공정을 동시에 진행하고, 두개의 공정시간이 같으므로, 일 이동플랫폼의 노광공정과 다른 이동플랫폼의 자재얼라인 공정을 동시에 완성할 수 있어, 자재얼라인을 완성한 이동플랫폼이 대기할 필요 없이, 직접 노광영역으로 이동하여 상응한 공정을 수행 할 수 있음으로써, 포토리소그래피 설비의 완제품의 생산율을 향상하는데 유리하다.
상기 방안의 기초상, 선택 가능하게, 일 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 다른 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계는:
일 이동플랫폼의 노광공정과 다른 이동플랫폼의 자재얼라인 공정이 동시에 완성될 때, 자재얼라인 공정을 완성한 이동플랫폼이 노광영역과 비 노광영역의 경계부분에 위치하도록 제어하는 단계를 포함하므로, 비 노광영역에서 자재얼라인 공정을 완성한 이동플랫폼이 직접 노광영역에 진입할 수 있도록 하여, 비 노광영역과 노광영역에서 수행되는 공정의 심리스연결을 구현함으로써, 포토리소그래피 설비의 완제품의 생산율을 더 향상시킨다.
도 8은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법의 흐름도이고, 도 9는 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 개략도이며, 도 8과 도 9를 참조하면, 상기 방안의 기초상, 해당 포토리소그래피 설비의 제어방법은 이하에서 설명되는 단계를 포함한다: 즉,
초기화 공정단계(단계(710)): 해당 초기화 공정 단계는자재전송 장치(3, 4)가 두개의 이동플랫폼(도 9의 도면에서 도면부호 "1" 및 "2"에 대응)에 자재를 로딩하도록 제어하는 단계; 자재로딩 프리얼라인 장치(5, 6)가 두개의 이동플랫폼에 대해 프리얼라인하도록 제어하는 단계; 자재얼라인 장치(7, 8)가 두개의 이동플랫폼에 대해 자재얼라인을 진행하도록 제어하는 단계; 두개의 이동플랫폼 중 임의의 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하도록 제어하는 단계; 를 포함한다.
도 10은 본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 다른 제어방법 중 두개의 이동플랫폼이 각각의 공정을 진행하는 대응 상황을 보여준 도면이고, 도 10을 참조하면, 포토리소그래피 설비가 작동하기 시작했을 때, 두개의 이동플랫폼은 자재를 적재하지 않고, 모두 각자의 로딩/언로딩 스테이션에 위치하므로, 동시에 두개의 이동플랫폼에 대응되는 자재전송 장치(3, 4)가 두개의 이동플랫폼에 자재를 로딩하도록 제어할 수 있고, 재료를 로딩할 때 프리얼라인 장치(5, 6)는 자재와 이동플랫폼에 대해 프리얼라인하여, 자재가 이동플랫폼으로부터 벗어나지 않도록 한다. 프리얼라인을 진행한 후, 두개의 이동플랫폼에 대응되는 자재얼라인 장치(7, 8)는 동시에 자재얼라인을 진행하도록 제어할 수 있고, 자재얼라인을 진행한 후, 두개의 이동플랫폼이 노광영역과 비 노광영역의 경계에 도착하도록 제어할 수 있다. 다음 일 이동플랫폼은 노광영역으로 이동하여 상응한 마스크얼라인 공정과 노광공정을 수행하고, 다른 이동플랫폼은 노광영역과 비 노광영역의 경계에서 대기하도록 제어한다.
계속하여 도 10을 참조하면, 초기화 공정 후, 두개의 이동플랫폼은 번갈아 노광영역에 진입하여 노광을 진행하는데, 도 10에 도시된 주기 1, 주기 2, …… 에 대응되게, 일 이동플랫폼이 노광영역에서 마스크얼라인 공정과 노광공정을 수행하는 동시에, 다른 이동플랫폼은 비 노광영역에서 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정을 수행하게 된다.
단계(720): 이동플랫폼이 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어한다.
단계(730): 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어한다.
본 발명의 실시예에서는 포토리소그래피 설비의 제어장치를 제공하는데, 해당 제어장치는 본 발명의 임의의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비의 제어방법을 실행할 수 있고, 도 11은 본 발명의 실시예에서 제공하는 제어장치의 구조 개략도이며, 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하며, 포토리소그래피 설비의 제어장치는:
노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 여기서 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어하기 위한 제어모듈(810)을 포함한다.
본 발명의 실시예에서 제공하는 포토리소그래피 설비의 제어장치는, 제어모듈을 통해 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼이 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어하여, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 하여, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.
일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0과 같음으로, 비 노광영역에 위치한 이동플랫폼이 포토리소그래피 설비 및 가이드레일의 진동을 발생시키지 않아, 노광영역에서 노광공정을 수행할 때 등속으로 이동하는 이동플랫폼이 다른 이동플랫폼의 방해를 받지 않도록 확보할 수 있으므로, 비 노광영역에서 위치한 이동플랫폼의 이동으로 인해 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해를 제거하여, 노광 정밀도를 확보하게 된다. 일부 실시예에서, 제 1 기설정 속도는 0이 아닌 하나의 기설적 값이다.
상기 제품은 본 발명의 임의의 실시예에서 제공한 방법을 실행할 수 있고, 실행방법에 상응하는 기능모듈과 유리한 효과를 구비한다.
본 발명의 실시예는 포토리소그래피 설비를 더 제공하며, 해당 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 더 포함하고, 상기 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함한다. 포토리소그래피 설비의 구조 개략도는 도 9를 참조할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비는, 포토리소그래피 설비의 제어장치에 포함된 제어모듈을 통해, 노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼이 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작도록 제어하므로, 가이드레일의 진동을 비교적 작게 하여, 노광영역에서 노광공정을 수행하는 이동플랫폼이 받는 방해가 최대한 작도록 확보함으로써, 두개의 이동플랫폼 사이의 상호 간섭을 가능한 제거하여, 이동플랫폼의 노광정밀도를 확보하게 된다.
본 발명의 실시예는 컴퓨터 프로그램이 저장되는 컴퓨터 판독가능 저장매체를 제공하며, 해당 프로그램이 프로세서에 의해 수행되면 본 발명의 실시예에서 제공한 포토리소그래피 설비의 제어방법을 실행하게 되는데, 해당 제어방법은:
노광영역에 위치한 일 이동플랫폼이 노광공정에서 제 1 속도의 등속속도로 등속으로 이동하는 경우, 다른 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 하되, 제 1 기설정 속도가 제 1 속도보다 작도록 한다.
하나 또는 복수 개의 컴퓨터 판독가능한 매체의 임의의 조합을 사용할 수 있다. 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 판독가능 신호매체 또는 컴퓨터 판독가능 저장매체일 수 있다. 컴퓨터 판독가능 저장매체는 예하면 전기, 자기, 광, 전자기, 적외선 또는 반도체의 시스템, 장치 또는 소자 또는 상기의 임의의 조합일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 컴퓨터 판독가능 저장매체의 더 구체적인 예시(비 완전한 리스트)는: 하나 또는 복수 개의 와이어를 갖는 전기적 연결, 휴대용 컴퓨터 자기 디스크, 하드디스크, 램(RAM), 롬(ROM), 이피롬(EPROM 또는 플래쉬메모리), 광섬유, 씨디롬(Compact Disc Read Only Memory, CD-ROM), 광저장소자, 자기저장소자 또는 상기의 임의의 적합한 조합을 포함한다. 본 문서에서, 컴퓨터 판독가능 저장매체는 프로그램을 포함하거나 저장하는 임의의 유형매체일 수 있고, 해당 프로그램은 명령수행 시스템, 장치 또는 소자에 사용되거나 이들과 결합 사용될 수 있다.
컴퓨터 판독가능한 신호매체는, 베이스밴드에서 전파되거나, 또는 반송파 일부로서 전파되는 데이터신호를 포함할 수 있고, 컴퓨터 판독가능한 프로그램 코드를 적재한다. 전파되는 이러한 데이터신호로는 다양한 형태를 채택할 수 있고, 해당 형태는 전자기신호, 광신호 또는 상기 임의의 적합한 조합을 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다. 컴퓨터 판독가능한 신호매체는 컴퓨터 판독가능 저장매체 이외의 임의의 컴퓨터 판독가능 매체일 수 있고, 해당 컴퓨터 판독가능 매체는 명령수행시스템, 장치 또는 소자에 사용되거나 이들과 결합 사용되는 프로그램을 송신, 전파 또는 전송할 수 있다.
컴퓨터 판독가능 매체에 포함되는 프로그램 코드는 임의의 적절한 매체를 사용하여 전송될 수 있으며, 해당 임의의 적절한 매체는 무선, 전선, 광케이블, RF 등, 또는 상기 임의의 적합한 조합을 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
하나 또는 복수 개의 프로그래밍 언어 또는 그들 조합으로 본 발명의 작업을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램 코드를 작성할 수 있고, 상기 프로그래밍 언어는, Java, Smalltalk, C++와 같은 객체 지향 프로그래밍 언어와, "C" 언어 또는 유사한 프로그밍 언어와 같은 통상적인 절차식 프로그밍 언어를 포함한다. 프로그램 코드는, 완전히 사용자 컴퓨터에서 실행되거나, 부분적으로 사용자 컴퓨터에서 실행되거나, 하나의 별도의 소프트웨어 패키지로서 실행되거나, 일부가 사용자 컴퓨터에서 실행되고 일부가 원격 컴퓨터에서 실행되거나, 완전히 원격 컴퓨터 또는 본 실시예에서 제공한 설비에서 실행된다. 원격 컴퓨터인 경우, 원격 컴퓨터는 근거리 통신망(LAN) 또는 광역 통신망(WAN) 중 임의의 종류의 네트워크를 통해 사용자 컴퓨터에 연결될 수 있거나, 외부 컴퓨터(예하면 인터넷 서비스 제공자를 이용하여 인터넷을 통해 연결함)에 연결될 수 있다.

Claims (14)

  1. 포토리소그래피 설비의 제어방법에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 두개의 상기 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하고, 두개의 상기 이동플랫폼은 각각 제 1 이동플랫폼과 제 2 이동플랫폼이며;
    포토리소그래피 설비의 제어방법은:
    상기 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 동시에, 제 2 이동플랫폼의 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하되, 상기 제 1 기설정 속도는 상기 제 1 속도보다 작고, 제 1 속도는 제 1 이동플랫폼의 등속 이동 속도인 단계; 를 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기설정 속도는 0과 같은 것을 특징으로 하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 단계는:
    노광공정에서 상기 제 1 이동플랫폼이 동일한 노광필드 내에서 등속으로 이동하도록 제어하는 단계; 를 포함하고,
    노광공정에서, 상기 포토리소그래피 설비의 제어방법은,
    상기 제 1 이동플랫폼이 서로 다른 노광필드 사이에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하는 단계; 를 더 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비의 제어방법은:
    상기 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 가속 또는 감속으로 이동하도록 제어하는 동시에, 상기 제 2 이동플랫폼이 상기 비 노광영역에서 상기 노광영역으로 이동하여 자재얼라인을 진행하되, 상기 제 2 이동플랫폼이 상기 비 노광영역에서 상기 노광영역으로 이동하는 속도는 제 1 기설정 속도보다 크도록 제어하는 단계; 를 더 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비의 제어방법은:
    상기 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역에서 노광공정을 수행하도록 제어하기 이전에, 상기 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계; 를 더 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동플랫폼이 상기 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 상기 단계는:
    상기 제 1 이동플랫폼이 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하고, 상기 제 2 이동플랫폼이 순차적으로 이동플랫폼 호밍 공정, 자재교체 공정 및 프리얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계; 를 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역에서 노광공정을 수행하도록 제어하는 단계는:
    상기 제 1 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 상기 제 2 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계; 를 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비의 제어방법은,
    상기 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역에서 노광공정을 수행하는 시간은 상기 제 2 이동플랫폼이 상기 비 노광영역에서 자재얼라인 공정을 수행하는 시간과 같도록 제어하는 단계; 를 더 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 이동플랫폼이 노광공정을 수행하도록 제어하고, 상기 제 2 이동플랫폼이 자재얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 상기 단계는:
    상기 제 1 이동플랫폼의 상기 노광공정과 상기 제 2 이동플랫폼의 상기 자재얼라인 공정이 동시에 완성될 때, 상기 자재얼라인 공정을 완성한 상기 제 2 이동플랫폼이 상기 노광영역과 상기 비 노광영역의 경계부분에 위치하도록 제어하는 단계; 를 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역으로 이동하여 마스크얼라인 공정을 수행하도록 제어하는 단계 이전에 초기화 공정을 더 포함하되, 상기 초기화 공정은:
    자재전송 장치가 두개의 상기 이동플랫폼에 자재를 로딩하도록 제어하는 단계;
    자재로딩 프리얼라인 장치가 두개의 상기 이동플랫폼에 대해 프리얼라인을 진행하도록 제어하는 단계;
    자재얼라인 장치가 두개의 상기 이동플랫폼에 대해 자재얼라인을 진행하도록 제어하는 단계;
    두개의 상기 이동플랫폼 중의 제 1 이동플랫폼이 상기 노광영역으로 이동하도록 제어하되, 여기서 제 1 이동플랫폼은 두개의 상기 이동플랫폼 중의 임의의 하나인 단계; 를 포함하는 포토리소그래피 설비의 제어방법.
  11. 포토리소그래피 설비를 위한 포토리소그래피 설비의 제어장치에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 포함하고, 두개의 상기 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하며;
    포토리소그래피 설비의 제어장치는:
    상기 노광영역에 위치한 제 1 이동플랫폼이 노광공정에서 등속으로 이동하게 제어하는 동시에, 제 2 이동플랫폼의 상기 비 노광영역에서의 이동속도를 제 1 기설정 속도보다 작거나 같게 제어하되, 상기 제 1 기설정 속도는 제 1 속도보다 작고, 제 1 속도는 제 1 이동플랫폼의 등속 이동속도이도록 구성되는 제어모듈; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피 설비의 제어장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 기설정 속도는 0과 같은 것을 특징으로 하는 포토리소그래피 설비의 제어장치.
  13. 컴퓨터 프로그램이 저장되는 컴퓨터 판독가능 저장매체에 있어서,
    상기 프로그램이 프로세서에 의해 수행되면 상기 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 포토리소그래피 설비의 제어방법을 실행하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독가능 저장매체.
  14. 포토리소그래피 설비에 있어서,
    상기 포토리소그래피 설비는 제 11 항 또는 제 12 항에 따른 포토리소그래피 설비의 제어장치를 포함하고,
    상기 포토리소그래피 설비는 두개의 이동플랫폼을 더 포함하되, 두개의 상기 이동플랫폼의 작업영역은 노광영역과 비 노광영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피 설비.
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