KR20200127497A - 방진장치를 구비한 실험용 테이블 - Google Patents

방진장치를 구비한 실험용 테이블 Download PDF

Info

Publication number
KR20200127497A
KR20200127497A KR1020190051729A KR20190051729A KR20200127497A KR 20200127497 A KR20200127497 A KR 20200127497A KR 1020190051729 A KR1020190051729 A KR 1020190051729A KR 20190051729 A KR20190051729 A KR 20190051729A KR 20200127497 A KR20200127497 A KR 20200127497A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vibration
housing
insertion body
elastic member
support
Prior art date
Application number
KR1020190051729A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102236037B1 (ko
Inventor
장인구
Original Assignee
(주)에스엠텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에스엠텍 filed Critical (주)에스엠텍
Priority to KR1020190051729A priority Critical patent/KR102236037B1/ko
Publication of KR20200127497A publication Critical patent/KR20200127497A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102236037B1 publication Critical patent/KR102236037B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L9/00Supporting devices; Holding devices
    • B01L9/02Laboratory benches or tables; Fittings therefor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/046Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means using combinations of springs of different kinds
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/06Auxiliary integrated devices, integrated components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 실험용 테이블의 상단에 안착된 다양한 실험장비로 전달되는 진동을 차단하기 위한 방진장치가 구비된 실험용 테이블에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테이블과 테이블을 지지하는 지지대 사이에 진동을 흡수하는 방진장치를 추가로 장착하여 외부진동이 테이블에 안착된 실험장비로 전달되는 것을 방지하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블에 관한 것이다.

Description

방진장치를 구비한 실험용 테이블 {Vibration-proofing device equipped with table}
본 발명은 실험용 테이블의 상단에 안착된 다양한 실험장비로 전달되는 진동을 차단하기 위한 방진장치가 구비된 실험용 테이블에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테이블과 테이블을 지지하는 지지대 사이에 진동을 흡수하는 방진장치를 추가로 장착하여 외부진동이 테이블에 안착된 실험장비로 전달되는 것을 방지하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블에 관한 것이다.
일반적으로, 실험실에서 사용하는 테이블의 일부는 정밀이 요구되는 실험이나 측정을 할 때 진동원에 대하여 진동을 억제 및 방지하면서 정밀성을 확보하기 위한 수단으로 제진 또는 방진기능이 부가된 제품이 사용되고 있다.
이러한 실험장비는 미세한 진동에도 오작동을 일으키므로 이러한 장비에는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하는 제진장치가 장비에 자체적으로 설치되어 있지만 상대적으로 큰 진동을 차단할 수 없는 문제점이 발생 되었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 선행기술인 외부의 진동을 제거하는 종래의 공기 스프링 타입의 제진 테이블이 제공된 바 있지만, 기계적 밸브에 의해 일정한 범위내에서만 수동적으로 진동을 흡수 및 제어할 수 있고, 진동폭이 작은 경우에는 진동효과가 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 상기의 공기 스프링 타입이 아닌 탄성을 갖는 탄성부재가 구비되어 테이블에 올려진 실험장비가 정숙을 유지할 수 있도록 제공된 기술이 있었으나, 탄성부재를 지지대와 테이블에 고정하는 과정에서 탄성력을 저하시키는 문제점이 있었고, 테이블에 안착되는 실험장비 자체의 중량에 따라 탄성부재의 탄성을 확보하기 위해 탄성부재의 높이가 다르게 설치되는 등의 문제점이 있었다.
따라서, 테이블과 테이블을 지지하는 지지대 사이에 별도의 방진장치를 구비하고, 구비된 방진장치의 탄성력을 확보함과 동시에 설치 및 시공이 간편한 이점을 갖는 실험용 테이블의 개발이 필요한 실정이다.
1. 공개특허공보 제10-2012-0001068호 '복합형 방진 마운트 시스템' (출원일자 2010.06.29) 2. 등록특허공보 제10-1890834호 '실험테이블의 진동 저감장치; (출원일자 2016.10.26)
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 테이블의 상판을 지지하는 지지대와 테이블 사이에 진동을 흡수하는 별도의 방진장치를 구비하여 간단한 구조로 진동이 테이블로 전달되는 것을 감쇠하면서 진동의 확산을 방지할 수 있는 방진장치를 구비한 실험용 테이블을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 방진장치를 구비한 실험용 테이블은 상면에 실험용장비가 안착되는 테이블(100); 상기 테이블(100)의 하단에 장착되어 상기 테이블(100)의 상하 높낮이를 조절할 수 있도록 상기 테이블(100)을 상하방향으로 이동시키는 다수의 테이블지지대(200); 상기 테이블(100)과 상기 테이블지지대(200) 사이에 구비되어 외부로부터 전달되는 외부 진동을 흡수하도록 상기 테이블(100)을 탄성지지하는 방진수단(300);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 방진수단(300)은 내부에 수용공간(S)이 형성되며, 상면에 상기 테이블(100)이 안착되고, 하측이 개방된 하우징(310); 상기 수용공간(S)에 위치하며, 탄성을 갖는 탄성부재(320); 상기 탄성부재(320)가 안착되며, 상기 탄성부재(320)가 상기 수용공간(S)에 위치하도록 상기 하우징(310)의 개방된 하측에 끼워지는 지지판(330); 상단에 상기 지지판(330)이 안착되고, 하단이 상기 테이블지지대(200)에 고정되되, 상기 탄성부재(320)가 상기 하우징(310)을 탄성지지하도록 상측 일부가 상기 수용공간(S)으로 상기 지지판(330)과 함께 삽입되는 삽입몸체(340); 상기 하우징(310)의 개방된 하측에 장착되고 상기 삽입몸체(340)의 측면과 접촉되어 상기 삽입몸체(340)가 상기 하우징(310)에서 인출되는 것을 방지하는 몸체지지링(350);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 삽입몸체(340)의 측면에는 외측방향으로 가이드돌기(341)가 돌출 형성되며, 상기 가이드돌기(341)의 끝단과 상기 하우징(310)의 내측면이 마주보면서 상기 삽입몸체(340)와 가이드돌기(341)가 함께 상기 하우징(310)에 삽입되되, 상기 몸체지지링(350)에 상기 가이드돌기(341)가 안착 지지되어 상기 삽입몸체(340)의 인출이 방지되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 삽입몸체(340)의 내부에는 상기 지지판(330)과 상기 삽입몸체(340) 사이가 소정간격 이격되도록 상기 지지판(330)을 탄성지지하는 보조탄성체(360)가 더 구비되며, 상기 보조탄성체(360)는 상기 탄성부재(320)의 탄성력 보다 작은 탄성력을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 탄성부재(320)는 물결 모양을 갖는 다수개의 스프링(Spring)이 어긋나도록 적층되어 탄성을 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 테이블의 모서리를 각각 지지하는 다수의 지지대가 구비되며, 지지대가 상하이동이 가능하여 테이블의 높낮이를 조절할 수 있고, 지지대와 테이블 사이에 방진수단을 더 구비함으로써, 외부로부터 전달되는 진동을 흡수하여 정밀한 실험이 수행될 수 있도록 하는 이점이 있다.
도 1 은 본 발명의 전체적인 모습을 나타낸 사시도.
도 2 는 본 발명의 방진수단의 주요구성을 나타낸 분해 사시도.
도 3 은 본 발명의 방진수단의 주요구성을 나타낸 단면도.
도 4 는 본 발명의 방진수단의 작동 일실시예를 나타낸 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 방진장치를 구비한 실험용 테이블의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1 을 참조하면 본 발명은 테이블(100), 테이블지지대(200) 및 방진수단(300)을 포함한다.
테이블(100)은 소정의 두께를 갖는 판 형상을 가지며, 상면에 제진 대상물이 안착될 수 있다. 제진 대상물은 계측기기, 정밀실험장비 등이 될 수 있으며, 사용자의 목적에 따라 다양하게 사용될 수 있다. 테이블(100)의 상면에는 다수의 고정홀이 일정간격을 이루며 형성될 수 있고, 형성된 고정홀에 상기의 제진 대상물이 안착 및 고정될 수 있다.
테이블지지대(200)는 테이블(100)의 하단에 장착된다. 한편, 테이블지지대(200)는 테이블(100)의 상하 높낮이를 조절할 수 있도록 테이블(100)을 상하방향으로 이동시킬 수 있는 구조로 제작된다. 테이블지지대(200)는 바람직하게는 테이블(100)의 각각의 모서리에 다수로 설치된다.
이때, 테이블지지대(200)는 유압 또는 공압의 액츄에이터일 수 있으며, 각각의 테이블지지대(200)가 일체로 상하이동이 가능하도록 제어되는 것이 바람직하다. 즉, 테이블(100)이 상하이동할 때, 각각의 테이블지지대(200)가 동기화되어 일체로 제어되면 테이블(100)이 수평을 유지하며 상하 이동할 수 있는 것이다.
방진수단(300)은 테이블(100)과 테이블지지대(200) 사이에 구비되어 외부로부터 전달되는 외부 진동을 흡수하는 목적을 갖는다. 방진수단(300)은 테이블지지대(200)의 상단에 고정되면서 테이블(100)을 탄성지지함으로 인해 바닥으로부터 테이블지지대(200)를 통해 전달되는 진동 등의 외부 진동을 감쇠 또는 흡수하는 것이다.
도 2 내지 도 4 를 참조하면 방진수단(300)은 하우징(310), 탄성부재(320), 지지판(330), 삽입몸체(340) 및 몸체지지링(350)을 포함한다.
하우징(310)은 내부에 수용공간(S)이 형성되며 수용공간(S)의 하측이 개방되도록 내부가 중공된 원통 형상을 갖는다. 이때, 수용공간(S)은 하우징(310)의 하면이 내측으로 함입되어 하우징(310)의 중공된 부분에 해당한다.
그리고, 하우징(310)의 상면에는 테이블(100)의 하면이 안착된다. 이때, 탄성을 가지며, 진동을 흡수하기 위한 부재에 해당하는 탄성부재(320)가 하우징(310)의 수용공간(S)에 삽입되어 위치한다.
지지판(330)은 하우징(310)의 개방된 하측에 끼워져 수용공간(S) 내부로 삽입되도록 하우징(310)의 개방된 하측의 직경과 동일하거나 작은 직경을 가지도록 형성된다. 이때, 지지판(330)의 상단에는 탄성부재(320)가 안착되고, 안착된 탄성부재(320)의 위치를 가이드해줄 수 있는 안내돌기(331)가 지지판(330)의 가장자리를 따라 돌출 형성된다.
삽입몸체(340)는 상하방향으로 연장되는 원통형상을 이루는 형상을 가지며, 상단에 지지판(330)의 하면이 안착되고, 하단이 테이블지지대(200)에 고정된다. 이때, 삽입몸체(340)의 상단은 지지판(330)과 함께 하우징(310)의 수용공간(S)으로 일정깊이 삽입되도록 삽입몸체(340)의 상단의 직경은 수용공간(S)이 이루는 직경과 같거나 작은 직경을 유지하는 것이 바람직하다. 삽입몸체(340)가 수용공간(S)으로 삽입되면서 탄성부재(320)의 탄성으로 인해 테이블(100)을 지지할 수 있는 것이다. 따라서, 테이블(100)의 상면을 가압하면 탄성부재(320)가 압축되고, 동시에 지지판(330)과 삽입몸체(340)의 상단이 수용공간(S)으로 일정 깊이 삽입된다.
한편, 삽입몸체(340)의 하면에는 고정돌기(343)가 돌출되며, 고정돌기(343)가 테이블지지대(200)에 삽입되면서 삽입몸체(340)와 테이블지지대(200)는 상호 견고하게 고정될 수 있다. 이러한 구조적 특성으로 인해 방진수단(300)의 조립 및 설치가 간편해지는 이점이 있다.
몸체지지링(350)은 하우징(310)의 개방된 하측면 가장자리를 따라 장착/고정되는 링 형상 또는 서로 마주볼 때 원을 그리는 링 형상을 이루도록 한쌍의 반원을 그리는 링형상을 갖는다. 몸체지지링(350)이 반원을 그리는 목적은 하우징(310)에 삽입몸체(340)가 삽입된 상태에서 몸체지지링(350)을 하우징(310)에 고정이 용이하도록 하기 위함이다.
이때, 삽입몸체(340)는 몸체지지링(350)을 관통하고, 몸체지지링(350)의 내측 가장자리가 삽입몸체(340)의 측면과 접촉되어 삽입몸체(340)가 하우징(310)에서 인출되는 것을 방지한다.
일 실시예로 몸체지지링(350)의 내측면에 소정의 돌기가 형성되고, 삽입몸체(340)의 측면에 상기 소정의 돌기가 삽입되는 가이드홈이 삽입몸체(340)의 연장되는 상하방향을 따라 일정 간격을 유지하며 형성된다. 따라서, 삽입몸체(340)가 하우징(310)에서 쉽게 인출되는 것을 방지할 수 있으며, 테이블(100)을 일정압력으로 가압하면 몸체지지링(350)의 돌기가 가이드홈을 따라 하방향으로 슬라이딩될 수 있다.
도 3 및 도 4 를 참조하여 삽입몸체(340)과 몸체지지링(350)의 또 다른 실시예에 대해 설명한다. 삽입몸체(340)의 상부 측면 즉, 수용공간(S)에 삽입되는 삽입몸체(340)의 상단에는 외측방향으로 가이드돌기(341)가 돌출 형성되며, 링형상으로 연장되어 형성될 수 있다.
이때, 가이드돌기(341)의 외측 끝단면은 하우징(310)의 내측면이 마주보며 가이드돌기(341)가 형성된 삽입몸체(340)의 상단 일부가 가이드돌기(341)가 함께 하우징(310)의 수용공간(S)에 삽입된다. 이때, 몸체지지링(350)의 내측 직경이 가이드돌기(341)의 외측 직경보다 작은 직경을 유지하고, 몸체지지링(350)에 가이드돌기(341)가 안착 지지되면서 삽입몸체(340)의 인출이 방지될 수 있는 것이다.
도 3 을 참조하면 삽입몸체(340)의 내부에는 지지판(330)을 탄성지지하기 위한 보조탄성체(360)가 더 구비될 수 있다. 보조탄성체(360)는 삽입몸체(340)의 상면이 함입된 삽입홈(342)에 삽입될 수 있으며, 보조탄성체(360)의 상단에 지지판(330)의 하면이 안착되면서 지지판(330)과 삽입몸체(340)의 상면 사이를 소정간격 이격시킨다.
이로 인해 탄성부재(320)의 상단이 하우징(310)의 내측상면에 밀착된 상태를 유지하고, 동시에 가이드돌기(341)가 몸체지지링(350)에 안착된 상태를 유지시켜 줄 수 있다. 따라서, 방진수단(300)만 단독으로 보관하거나, 테이블지지대(200)에 방진수단(300)의 조립 및 설치 시 보조탄성체(360)의 탄성을 인해 하우징(310) 내부에서 탄성부재(320)가 지지판(330)의 안착된 위치에서 이탈되는 현상을 방지해준다.
이후, 하우징(310)에 테이블(100)이 안착되면 보조탄성체(360)는 압축되고, 지지판(330)이 삽입몸체(340)의 상면에 안착되면서 탄성부재(320)가 테이블(100)을 탄성지지한다.
도 2 및 도 3 을 참조하면 탄성부재(320)는 소정의 두께를 갖는 판상의 링으로 원주방향을 따라 물결 모양을 갖는 스프링(Spring)에 해당할 수 있다. 상기의 물결 모양은 반복적으로 연속될 수 있으며, 물결 모양의 곡선이 동일한 곡률반경을 그리며 형성될 수 있다.
탄성부재(320)는 다수개 구비되고, 각각의 탄성부재(320)가 적층되어 하나의 탄성부재(320)를 이룰 수 있다. 이때, 다수의 탄성부재(320) 중 어느 하나의 탄성부재(320) 상면의 높은부분(P1)과 이웃한 다른 탄성부재(320) 하면의 낮은부분(P2)이 접촉되도록 각각의 탄성부재(320)가 어긋나도록 적층되어 탄성을 유지할 수 있다.
즉, 하우징(310)에 테이블(100)이 안착되거나 테이블(100)에 하중이 가해질 때 P1과 P2 사이의 간격(t)이 좁아지면서 각각의 탄성부재(320)가 압축되는 것이다. 이와 같은 탄성부재(320)는 일반적인 코일 스프링보다 적은 높이에서도 동일한 탄성을 가질 수 있는 장점이 있다.
이와 같은 구성에 의한 본 발명은 외부로부터 전달되는 진동을 상기의 탄성부재(320)가 흡수함으로써 테이블(100)에 제진 대상물을 통해 정밀한 실험이 수행될 수 있다.
100 : 테이블 200 : 테이블지지대
300 : 방진수단 310 : 하우징
320 : 탄성부재 330 : 지지판
340 : 삽입몸체 350 : 몸체지지링

Claims (5)

  1. 상면에 실험용장비가 안착되는 테이블(100);
    상기 테이블(100)의 하단에 장착되어 상기 테이블(100)의 상하 높낮이를 조절할 수 있도록 상기 테이블(100)을 상하방향으로 이동시키는 다수의 테이블지지대(200);
    상기 테이블(100)과 상기 테이블지지대(200) 사이에 구비되어 외부로부터 전달되는 외부 진동을 흡수하도록 상기 테이블(100)을 탄성지지하는 방진수단(300);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 방진수단(300)은
    내부에 수용공간(S)이 형성되며, 상면에 상기 테이블(100)이 안착되고, 하측이 개방된 하우징(310);
    상기 수용공간(S)에 위치하며, 탄성을 갖는 탄성부재(320);
    상기 탄성부재(320)가 안착되며, 상기 탄성부재(320)가 상기 수용공간(S)에 위치하도록 상기 하우징(310)의 개방된 하측에 끼워지는 지지판(330);
    상단에 상기 지지판(330)이 안착되고, 하단이 상기 테이블지지대(200)에 고정되되, 상기 탄성부재(320)가 상기 하우징(310)을 탄성지지하도록 상측 일부가 상기 수용공간(S)으로 상기 지지판(330)과 함께 삽입되는 삽입몸체(340);
    상기 하우징(310)의 개방된 하측에 장착되고 상기 삽입몸체(340)의 측면과 접촉되어 상기 삽입몸체(340)가 상기 하우징(310)에서 인출되는 것을 방지하는 몸체지지링(350);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 삽입몸체(340)의 측면에는 외측방향으로 가이드돌기(341)가 돌출 형성되며,
    상기 가이드돌기(341)의 끝단과 상기 하우징(310)의 내측면이 마주보면서 상기 삽입몸체(340)와 가이드돌기(341)가 함께 상기 하우징(310)에 삽입되되,
    상기 몸체지지링(350)에 상기 가이드돌기(341)가 안착 지지되어 상기 삽입몸체(340)의 인출이 방지되는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 삽입몸체(340)의 내부에는 상기 지지판(330)과 상기 삽입몸체(340) 사이가 소정간격 이격되도록 상기 지지판(330)을 탄성지지하는 보조탄성체(360)가 더 구비되며,
    상기 보조탄성체(360)는 상기 탄성부재(320)의 탄성력 보다 작은 탄성력을 갖는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성부재(320)는 물결 모양을 갖는 다수개의 스프링(Spring)이 어긋나도록 적층되어 탄성을 유지하는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 실험용 테이블.
KR1020190051729A 2019-05-02 2019-05-02 방진장치를 구비한 실험용 테이블 KR102236037B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190051729A KR102236037B1 (ko) 2019-05-02 2019-05-02 방진장치를 구비한 실험용 테이블

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190051729A KR102236037B1 (ko) 2019-05-02 2019-05-02 방진장치를 구비한 실험용 테이블

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200127497A true KR20200127497A (ko) 2020-11-11
KR102236037B1 KR102236037B1 (ko) 2021-04-05

Family

ID=73451773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190051729A KR102236037B1 (ko) 2019-05-02 2019-05-02 방진장치를 구비한 실험용 테이블

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102236037B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102416069B1 (ko) * 2021-10-15 2022-07-05 주식회사케이옵토 멀티 접속구를 포함하는 테이블 선반

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58184330A (ja) * 1982-04-19 1983-10-27 Kanto Tokushu Seikou Kk 皿ばね積層体
KR20120001068A (ko) 2010-06-29 2012-01-04 한국과학기술원 복합형 방진 마운트 시스템
KR20170121404A (ko) * 2016-04-25 2017-11-02 조양근 진동 흡수 댐퍼
KR20180045579A (ko) * 2016-10-26 2018-05-04 삼인싸이언스(주) 실험테이블의 진동 저감장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58184330A (ja) * 1982-04-19 1983-10-27 Kanto Tokushu Seikou Kk 皿ばね積層体
KR20120001068A (ko) 2010-06-29 2012-01-04 한국과학기술원 복합형 방진 마운트 시스템
KR20170121404A (ko) * 2016-04-25 2017-11-02 조양근 진동 흡수 댐퍼
KR20180045579A (ko) * 2016-10-26 2018-05-04 삼인싸이언스(주) 실험테이블의 진동 저감장치
KR101890834B1 (ko) 2016-10-26 2018-08-22 삼인싸이언스(주) 실험테이블의 진동 저감장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102416069B1 (ko) * 2021-10-15 2022-07-05 주식회사케이옵토 멀티 접속구를 포함하는 테이블 선반

Also Published As

Publication number Publication date
KR102236037B1 (ko) 2021-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4871142A (en) Mounting system for vibration isolation
EP2881615B1 (en) Vibration damping device
KR101528555B1 (ko) 면진장치
KR101971502B1 (ko) 면진 장치 및 이를 포함하는 면진 테이블
KR102236037B1 (ko) 방진장치를 구비한 실험용 테이블
KR101701810B1 (ko) 내진장치
KR101184114B1 (ko) 수직방향 면진장치
US20200357601A1 (en) Charged particle beam device
JPH02150526A (ja) 防振装置
KR100761906B1 (ko) 면진장치
KR102098661B1 (ko) 제진장치
KR101966817B1 (ko) 진동 감쇠 장치
JP5952649B2 (ja) 振動減衰装置
CN216111887U (zh) 减振总成及具有其的振动设备
KR101074452B1 (ko) 액세스 플로어용 면진 정착구조물
KR101832624B1 (ko) 방진 장치
JP2014177963A (ja) 空気ばね装置及び防振装置
JP2011220511A (ja) 制振装置
JP7086718B2 (ja) 気体ばね式防振装置
KR101267134B1 (ko) 면진 장치
JPH0439440A (ja) 防振装置
JP2013124751A (ja) 免震機能付防振装置
JP7141638B2 (ja) 除振構造
KR20170012987A (ko) 제진용 마운트
KR101613567B1 (ko) 방진 마운트

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant