KR20200126459A - 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치 - Google Patents

수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20200126459A
KR20200126459A KR1020190049799A KR20190049799A KR20200126459A KR 20200126459 A KR20200126459 A KR 20200126459A KR 1020190049799 A KR1020190049799 A KR 1020190049799A KR 20190049799 A KR20190049799 A KR 20190049799A KR 20200126459 A KR20200126459 A KR 20200126459A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
organic material
sublimation
shutter
ionic liquid
unit
Prior art date
Application number
KR1020190049799A
Other languages
English (en)
Inventor
전영일
채진석
김재훈
오세윤
남태현
Original Assignee
(주)일솔레드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)일솔레드 filed Critical (주)일솔레드
Priority to KR1020190049799A priority Critical patent/KR20200126459A/ko
Publication of KR20200126459A publication Critical patent/KR20200126459A/ko

Links

Images

Classifications

    • H01L51/0025—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/311—Purifying organic semiconductor materials
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

이 발명은 진공챔버 내에서 이온성 액체와 접촉시켜 재결정화된 유기소재를 생성하기 위해 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치(10)로서, 진공챔버(110) 내에 배치되며, 불순물이 함유된 유기소재 원료를 수용하는 수용상자(121)와, 수용상자 내의 유기소재 원료를 가열하여 승화시키는 전열선(123), 및 승화된 유기소재의 승화기체를 분사하는 분사노즐(122)을 갖는 승화유닛(120)과; 분사노즐에 근접 배치되어 분사노즐로부터 분사되는 유기소재의 승화기체가 이온성 액체를 향해 분사되는 것을 방지하도록 수평방향으로 개폐가 가능한 셔터유닛(130)을 포함하고, 셔터유닛은 승화유닛을 용기 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방하는 한 쌍의 셔터모듈(140)과, 한 쌍의 셔터모듈에 연결되어 한 쌍의 셔터모듈을 회동시켜 개폐하는 한 쌍의 개폐 구동모듈(150)을 포함한다.

Description

수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치{Sublimation apparatus having a shutter and refining apparatus of organic material having the same}
이 발명은 승화장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이온성 액체를 이용하여 유기소재를 정제함에 있어서 이온성 액체에 접촉시키는 승화기체 내의 불순물의 양을 최소화하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치에 관한 것이다. 또한, 이 발명은 상기와 같은 수평형 셔터를 갖는 승화장치를 구비한 유기소재 정제장치에 관한 것이기도 하다.
유기소재의 순도는 OLED 소자의 발광특성에 영향을 미치는 주요한 요인이다. 즉, 유기소재 중에 불순물이 혼입되어 있으면, 그 불순물이 캐리어의 트랩이 되거나 소광의 원인이 되어 발광 강도 및 발광 효율을 저하시킨다. 따라서, 불순물을 제거하기 위하여 유기소재 원료를 정제하고 있다.
유기소재 원료의 정제방법으로는 일반적으로 용매를 사용한 재결정 또는 승화에 의한 재결정이 사용되고 있다. 용매를 사용한 재결정은 유기소재 원료를 대량으로 정제할 수 있다는 이점이 있으나, 용매를 사용하기 때문에 용매가 유기결정 중에 들어가 버리기 쉽다는 단점이 있다. 즉, 유기결정 중에 들어간 용매가 불순물로 작용하여 발광특성을 저하시키게 되는 문제점이 있다.
다른 정제방식으로는 고성능 액체 크로마토그래피(HPLC : High Performance Liquid Chromatography)와 같은 크로마토그래피 방식이 있는데, 이와 같은 크로마토그래피 방식으로 정제를 하는 경우, 단순한 화학적 정제 공정에 비하여 더 높은 순도를 달성할 수가 있다. 그러나, 이러한 크로마토그래피 방식은 대부분 분석용으로만 이용되고 있는 실정이고, 대량 생산의 재료 정제용으로 이용하기에는 부적합한 공정으로 여겨지고 있다.
따라서, 유기소재 원료는 통상적으로 진공승화 정제법을 이용하여 정제하고 있다. 즉, 한국 특허등록 제1296430호, 제1304350호 및 제1343487호 등에 기재된 바와 같이, 유기소재의 승화점 차이(온도구배)를 이용하여 유기소재와 불순물을 분리 정제하는 것이다. 이러한 진공승화 정제법은 순수한 물리적인 방법으로서 보조 시약의 사용이나 그 이외의 화학적 방법에 의하지 않으므로 시료의 오염이 없고 분리율이 큰 장점을 가지고 있어서 OLED 소자용 유기소재의 정제에 유용한 방법으로 알려져 있다.
그런데, 진공승화 정제법은 고순도 유기소재를 얻기 위해 2~3회 이상의 반복 공정을 수행함에 따른 저수율 및 대량 생산 한계로 인해 소재의 단가가 높은 편이고, 승화정제기 쿼츠(quartz) 튜브의 구경/길이가 300Φ/1.5m로 제한되어 대용량화에 한계가 있다. 또한, 쿼츠(quartz) 튜브 표면에 부착된 고순도 유기소재 수거를 위해 장비의 가동 중지가 필요하고, 일정 생산량을 위해 다수의 정제 장비를 설치해야 하므로 공장 부지비, 장비비 등의 투자 부담이 크다는 문제점이 있다.
상기와 같은 진공승화 정제법의 문제점을 개선하기 위한 기술로서, 이온성 액체(Ionic Liquids)를 이용하여 유기소재를 정제하는 기술에 대해 한국 특허등록 제1547096호 및 제1599454호 등에 개시되어 있다. 이 기술은 유기소재와 불순물의 이온성 액체 내에서의 용해도 차이(농도구배)를 이용하여 유기소재와 불순물을 분리 정제하는 것이다.
한편, 이 기술의 정제장치는 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화부와, 승화기체와 이온성 액체를 접촉시켜 이온성 액체 내에 유기소재의 승화기체를 포집하는 포집부를 포함하며, 포집부에서는 이온성 액체 내에 포집되어 용해된 승화기체의 유기소재를 과포화시켜, 이온성 액체 내에 재결정화된 유기소재를 생성하도록 구성된다. 이러한 정제기술은 이온성 액체를 이용하여 정제함에 따라 1회의 공정으로도 고순도 정제가 가능하며, 80% 이상의 고수율이 가능하다는 장점이 있다. 그런데, 보다 고순도 정제가 가능한 기술이 필요한 실정이다.
따라서, 이 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 이온성 액체를 이용하여 유기소재를 정제함에 있어서 셔터를 이용해 이온성 액체와 접촉하는 승화기체 내의 불순물의 양을 최소화함으로써 고순도 정제가 가능한 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 이 발명은 진공챔버 내에서 이온성 액체와 접촉시켜 재결정화된 유기소재를 생성하기 위해 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치로서, 상기 진공챔버 내에 배치되며, 불순물이 함유된 유기소재 원료를 수용하는 수용상자와, 상기 수용상자 내의 유기소재 원료를 가열하여 승화시키는 가열부, 및 승화된 유기소재의 승화기체를 분사하는 분사부를 갖는 승화유닛과; 상기 분사부에 근접 배치되어 상기 분사부부터 분사되는 유기소재의 승화기체가 이온성 액체를 향해 분사되는 것을 방지하도록 수평방향으로 개폐가 가능한 셔터유닛을 포함하며, 상기 셔터유닛은 상기 승화유닛을 용기 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방하는 한 쌍의 셔터모듈과, 상기 한 쌍의 셔터모듈에 연결되어 상기 한 쌍의 셔터모듈을 회동시켜 개폐하는 한 쌍의 개폐 구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 이 발명에 따르면, 상기 셔터모듈은 상기 승화유닛을 용기 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방할 수 있는 일정 너비 및 형상을 갖는 셔터 본체부와, 상기 셔터 본체부에 착탈 가능하게 결합되는 실드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 이 발명에 따르면, 상기 실드부는 상기 셔터 본체부에 결합되는 실드 본체부와, 상기 실드 본체부의 측벽에서 돌출되어 마련되는 플랜지부를 포함하며, 상기 한 쌍의 셔터모듈 각각의 실드부에 마련된 플랜지부는, 서로 간에 겹쳐지도록 서로 다른 높이에 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 이 발명에 따르면, 상기 셔터 본체부는 그 내부에 배열되는 전열선을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 이 발명에 따르면, 상기 개폐 구동모듈은 상기 진공챔버를 관통하여 상기 셔터모듈에 연결되는 개폐 회전축과, 상기 진공챔버의 외부에 배치되며 상기 개폐 회전축에 연결되어 상기 개폐 회전축을 회전시키는 회전 구동부와, 상기 개폐 회전축이 관통한 상기 진공챔버의 외벽 부위에 배치되고 상기 개폐 회전축이 회전 가능하게 연결되며 외부 공기가 상기 진공챔버 내부로 유입되는 것을 방지하는 밀봉부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 이 발명의 유기소재 정제장치는 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치와, 상기 승화장치와 연통하도록 배치되어 유기소재의 승화기체를 용기 내에서 유동하는 이온성 액체에 접촉시켜 승화기체를 포집하여 용해시키는 용해장치, 및 이온성 액체에 용해된 승화기체 중 조성 구성의 주성분인 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화된 유기소재를 생성하고 후처리하는 후처리장치를 포함하며, 상기 승화장치는 상기와 같이 구성된 수평형 셔터를 갖는 승화장치인 것을 특징으로 한다.
또한, 이 발명에 따르면, 상기 후처리장치는 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화하는 재결정화부와, 재결정화된 유기소재를 이온성 액체로부터 분리하여 회수하는 회수부, 및 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체를 재사용하기 위해 순환시키는 순환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 발명은 이온성 액체를 이용하여 유기소재를 정제함에 있어서 셔터를 이용해 이온성 액체와 접촉하는 승화기체 내의 불순물의 양을 최소화함으로써 고순도 정제가 가능한 장점이 있다.
도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 수평형 셔터를 갖는 승화장치를 구비한 유기소재 정제장치의 구성관계를 도시한 개념도이고,
도 2는 도 1에 도시된 셔터유닛의 구성관계를 도시한 평면도이며,
도 3은 도 2에 도시된 셔터 본체부의 내부를 도시한 단면도이다.
아래에서, 이 발명에 따른 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치의 양호한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 수평형 셔터를 갖는 승화장치를 구비한 유기소재 정제장치의 구성관계를 도시한 개념도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이 실시예의 유기소재 정제장치는 불순물이 함유된 OLED용 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치(10)와, 승화장치(10)와 연통하도록 배치되어 유기소재의 승화기체를 용기 내에서 유동하는 이온성 액체에 접촉시켜 승화기체를 포집하여 용해시키는 용해장치(20), 및 이온성 액체에 용해된 승화기체 중 조성 구성의 주성분인 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화된 유기소재를 생성하고 후처리하는 후처리장치(30)를 포함하여 구성된다.
여기서, 후처리장치(30)는 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화하는 재결정화부와, 재결정화된 유기소재를 이온성 액체로부터 분리하여 회수하는 회수부, 및 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체를 재사용하기 위해 순환시키는 순환부를 포함하여 구성된다. 한편, 이 실시예의 유기소재 정제장치는 PLC(programmable logic controller) 프로그램에 의해 제어되도록 구성된다.
상기 승화장치(10)는 진공챔버(110) 내에 배치된다. 진공챔버(110)에는 배기관을 통해 진공펌프가 접속되어, 소정 압력(진공도)으로 진공 흡인하여 유지할 수 있게 되어 있다. 또한, 진공챔버(110)의 연직방향 하부에는 용해장치(20)가 설치된다.
그리고, 진공챔버(110)에는 용해장치(20)의 용기(210)보다 연직방향 위쪽에 위치하여 승화유닛(120)이 설치된다. 승화유닛(120)은 유기소재 원료를 수용하는 수용상자(121)를 갖는다. 여기서, 수용상자(121)는 Y축 방향으로 길게 형성된 직육면체 형상으로서, 그 하면의 Y축 방향의 각부에는 원통으로 구성되는 분사부로서의 다수개의 분사노즐(122)이 Y축 방향으로 소정 간격을 두어 돌출 형성된다. 한편, 분사노즐(122)은 그 노즐구멍의 구멍축(122a)이 연직방향에 대해 소정의 각도로 경사지고, 그 선단의 분사구(122b)가 연직방향에서 경사져서 아래쪽을 향하게 된다. 여기서, 구멍축(122a)의 경사각은 용해장치(20)의 용기(210)의 높이 및 이온성 액체의 저장량 등을 고려해 적절하게 설정된다.
한편, 분사노즐(122)을 포함하는 수용상자(121)의 주위에는 가열부로서의 전열선(123)이 감기고, 도면 바깥쪽의 전원으로부터 통전함으로써 수용상자(121)를 그 전체에 걸쳐 거의 균등하게 가열할 수 있게 한다. 그리고, 수용상자(121)를 가열함으로써 해당 수용상자(121)로부터의 복사열에 의해 용기 내의 유기소재 원료를 가열하여 해당 유기소재 원료를 승화시킬 수 있게 되어 있다. 또한, 특별히 도시하여 설명하지 않지만, 수용상자(121) 내에는 분산판이 설치되고, 수용상자(121)를 가열하여 그 내부의 유기소재 원료를 승화시키고, 이 승화된 유기소재의 승화기체를 각 분사노즐(122)로부터 거의 균등하게 분사할 수 있게 한다.
또한, 수용상자(121)를 거의 균등하게 가열하는 방식은 상기의 것으로 한정되는 것은 아니다. 더욱이, 용기 내의 유기소재 원료를 직접 가열하는 가열부를 따로 설치할 수도 있고, 예를 들면, 다른 가열부로서의 전열선을 용기의 주위에 감아, 통전하여 유기소재 원료를 전열에 의해 가열할 수도 있다.
상기와 같이 구성된 수용상자(121)는 분사노즐(122)의 분사구(122b)가 용해장치(20)의 용기(210)의 Y축 방향 일단으로부터 이격되는 위치에 오프셋 배치된다. 이 경우, 분사구(122b)와 용기(210)의 Y축 방향 일단 사이의 간격은 용해장치(20)의 용기(210)의 높이 및 이온성 액체의 저장량 등을 고려해 적절하게 설정된다.
상기와 같이 수용상자(121) 내에서 승화된 유기소재의 승화기체를 분사구(122b)로부터 용기(210) 내의 이온성 액체를 향해 분사시켰을 때에, 수용상자(121)의 외표면에도 유기소재 원료 및 불순물이 부착 및/또는 퇴적되고, 이것이 불순물의 발생원이 되어 아래쪽으로 낙하하더라도, 수용상자(121)가 오프셋 배치되어 있어, 용기(210) 내의 이온성 액체에 낙하하지 않게 된다. 결과적으로, 불순물의 영향을 최대한 줄일 수 있다.
또한, 가열부의 전열선(123)는 수용상자(121)를 가열하고 수용상자(121)로부터의 복사열에 의해 유기소재 원료를 가열하는 구성을 채용했기 때문에, 분사구(122b)를 포함하는 수용상자(121)의 내면이나 외면에 유기소재 원료가 부착되어도, 수용상자(121) 자체가 가열됨으로써, 유기소재 원료가 재차 승화된다. 이로 인해 불순물의 발생원이 만들어지기 어려워져 유리하다.
상기 실시예에서는 수용상자(121)에 다수개의 분사노즐(122)을 설치한 것을 일례로 설명했지만, 한 개의 분사노즐(122)만을 설치할 수도 있고, 수용상자의 각부에 원형이나 슬릿 형상의 구멍을 개설하고, 이것을 분사부라고 할 수도 있다.
그런데, 수용상자(121)를 오프셋 배치한 경우, 용해장치(20)의 용기(210)의 폭에 따라 유기소재의 승화기체가 이온성 액체에 거의 균일하게 접촉할 수 없는 경우가 있다. 따라서, 이 실시예에서는 진공챔버(110) 내에 용해장치(20)의 용기(210)의 폭방향 양측에 각각 수용상자(121)를 배치한 것이다. 또한, 각 분사노즐(122)의 구멍축(122a)을 적절하게 바꾸어 배치할 수도 있다.
한편, 진공챔버(110) 내에는 분사노즐(122)의 분사구(122b)에 근접 배치되어 해당 분사구(122b)로부터의 유기소재의 승화기체가 용기(210) 내의 이온성 액체를 향해 분사되는 것을 방지하는, 수평방향으로 개폐가 가능한 셔터유닛(130)을 구비한다.
도 2는 도 1에 도시된 셔터유닛의 구성관계를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 셔터 본체부의 내부를 도시한 단면도이다. 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 셔터유닛(130)은 진공챔버(110)에 연결되게 배치된다. 이러한 셔터유닛(130)은 승화유닛(120)을 용기(210) 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방하는 한 쌍의 셔터모듈(140)과, 한 쌍의 셔터모듈(140)에 연결되어 한 쌍의 셔터모듈(140)을 회동시켜 승화유닛(120)을 용기(210) 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방하는 한 쌍의 개폐 구동모듈(150)을 포함한다.
셔터모듈(140)은 일정 너비를 갖는 셔터 본체부(141)와, 셔터 본체부(141)에 착탈 가능하게 결합되는 실드부(142)를 포함한다.
셔터 본체부(141)는 승화유닛(120)을 용기(210) 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방할 수 있는 일정 너비 및 형상을 갖는 것으로서, 그 내부에는 전열선(141a)이 배열되는 것이 바람직하다. 여기서, 전열선(141a)은 후술할 유기소재 내의 불순물이 셔터 본체부(141)의 표면에 고착되지 않고 진공챔버(110)의 외부로 배출될 수 있도록 셔터 본체부(141)를 가열하는 역할을 한다.
이 실시예의 실드부(142)는 셔터 본체부(141)에 착탈 가능하게 결합됨으로써, 증착물질에 의해 오염이 많이 진행시 새로운 제품으로 교체된다. 또한, 이러한 실드부(142)는 셔터 본체부(141)에 밀착 접촉된다. 한편, 실드부(142)는 셔터 본체부(141)에 결합되는 실드 본체부(142a)와, 실드 본체부(142a)의 측벽에서 돌출되어 마련되는 플랜지부(142b)를 포함한다.
한 쌍의 셔터모듈(140) 각각의 실드부(142)에 마련된 플랜지부(142b)는, 서로 간에 겹쳐질 수 있는 높이에 배치됨으로써(서로 다른 높이에 배치됨으로써), 승화유닛(120)을 용기(210)의 이온성 액체에 대해 차폐시 유기소재의 승화기체가 이온성 액체 방향으로 이동되는 것을 더욱 확실하게 저지할 수 있다. 즉, 승화유닛(120)을 통한 승화시에, 초기에는 유기소재 원료 내에 포함된 불순물이 많이 함유된 상태의 유기소재의 승화기체가 분사노즐(122)을 통해 분사된다. 따라서, 초기 분사되는 승화기체 내에 포함된 불순물 등을 한 쌍의 셔터모듈(140)을 통해 용기(210) 내의 이온성 액체와의 접촉을 차단하고 진공챔버(110)의 외부로 배출함으로써, 용해장치(20) 및 후처리장치(30)를 통해 보다 고순도 정제가 가능해진다.
한편, 개폐 구동모듈(150)은 셔터 본체부(141)에 연결된다. 이러한 개폐 구동모듈(150)은 셔터모듈(140)을 회동시켜 승화유닛(120)을 용기(210) 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방한다.
이 실시예의 개폐 구동모듈(150)은 진공챔버(110)를 관통하여 셔터모듈(140)에 연결되는 개폐 회전축(151)과, 진공챔버(110)의 외부에 배치되며 개폐 회전축(151)에 연결되어 개폐 회전축(151)을 회전시키는 회전 구동부(152)와, 개폐 회전축(151)이 관통한 진공챔버(110)의 외벽 부위에 배치되고 개폐 회전축(151)이 회전 가능하게 연결되며 외부 공기가 진공챔버(110) 내부로 유입되는 것을 방지하는 밀봉부(도시안됨)를 포함한다.
밀봉부는 진공챔버(110)의 하부벽에 지지된다. 이러한 밀봉부에는 개폐 회전축(151)이 회전 가능하게 연결된다. 이 실시예의 밀봉부는 개폐 회전축(151)이 관통한 진공챔버(110)의 하부벽 부위에 배치되어 외부 공기가 진공챔버(110) 내부로 유입되는 것을 방지한다. 이러한 밀봉부는 진공챔버(110)의 하부벽에 결합되며 개폐 회전축(151)이 회전가능하게 연결되는 밀봉몸체(도시안됨)와, 개폐 회전축(151)의 외주면과 밀봉몸체의 내주면 사이에 배치되는 자성유체(Magnetic Fluid, 도시안됨)를 포함한다.
여기서 자성유체(미도시)는 액체 속에 자성분말을 콜로이드 모양으로 안정 분산시킨 다음 침전이나 응집이 생기지 않도록 계면활성제를 첨가한 유체로서, 이러한 자성유체(미도시)가 밀봉몸체와 개폐 회전축(151) 사이에 오링과 같은 막을 형성함으로써, 개폐 회전축(151)의 회전에 의해 외부 공기가 진공 분위기의 진공챔버(110) 내부로 유입되는 것을 방지한다.
이 실시예의 밀봉부에는 자성유체 씰(Magnetic Fluid seal)이 사용되는데, 이에 이 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 진공도를 유지시키는 다양한 밀봉부재가 이 실시예의 밀봉부로 사용될 수 있다.
회전 구동부(152)는 진공챔버(110)의 외부에 배치된다. 이러한 회전 구동부(152)는 개폐 회전축(151)에 연결되어 개폐 회전축(151)을 회전시킨다. 이 실시예의 회전 구동부(152)는 개폐 회전축(151)에 연결된 서보모터(152a)를 포함한다. 여기서, 이 실시예의 회전 구동부(152)는 서보모터(152a)를 통해 셔터모듈(140)에 회전력을 제공함으로써, 셔터모듈(140)의 회전 각도를 정밀하게 제어할 수 있는 이점이 있다.
상기 용해장치(20)는 승화장치(10)와 연통하도록 배치되어 유기소재의 승화기체를 용기(210) 내에서 유동하는 이온성 액체에 접촉시켜 승화기체를 용해시키는 것으로서, 이온성 액체를 수용한 상태로 다수개의 분사노즐(122)의 하부에 위치하여 분사노즐(122)을 통해 분사되는 유기소재의 승화기체와 이온성 액체를 접촉시켜 용해되도록 하는 용기(210)를 포함하여 구성된다.
용기(210) 내의 이온성 액체는 이온성 액체가 저장되어 있는 공급탱크(ILS supplement container)로부터 공급받는다. 한편, 공급탱크는 일정 조건의 진공상태인 용기(210)에 이온성 액체를 공급해야 하기 때문에, 그 내부 또한 일정 조건의 진공상태를 유지하기 위한 러핑펌프 및 밸브 등을 갖도록 구성된다. 여기서, 러핑펌프는 10-3 토르 정도까지 효율적으로 진공화하는 로터리펌프를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 공급탱크는 진공챔버(110)(용해장치 역할도 수행) 내의 용기(210)에 일정 온도의 이온성 액체를 공급할 수 있도록 이온성 액체를 가열하는 가열코일 등을 갖는다.
용기(210)는 분사노즐(122)을 통해 분사되는 유기소재의 승화기체가 접촉하는 이온성 액체를 저장하는 것으로서, 이온성 액체와 반응하지 않는 소재를 사용하면 된다. 한편, 이러한 용기(210)에는 그 내부에 저장되는 이온성 액체의 온도, 예를 들어 60 ~ 200℃ 정도를 유지시키기 위한 가열코일 등이 배치된다. 여기서, 이온성 액체의 온도는 정제하고자 하는 유기소재의 종류, 이온성 액체의 종류 및/또는 공정조건 등에 따라 범위 이외의 온도로 가열코일 등을 통해 제어할 수 있다.
한편, 이 실시예의 용해장치(20)는 용기(210) 내에 담긴 이온성 액체를 좌우, 상하방향으로 유동시켜 이온성 액체의 표면으로 분사되는 유기소재의 승화기체가 이온성 액체의 내부로까지 확산하면서 용해되도록 하는 유동수단을 별도로 더 구비하는 것이 바람직하다. 즉, 유동수단은 유기소재의 승화기체가 이온성 액체에 접촉함에 따라, 이온성 액체의 표면에 생성되는 핵이 표면에 존재하지 않고 이온성 액체의 내부로 이동하여 용해되도록 하는 역할을 한다. 만약, 생성된 핵이 이온성 액체의 표면에 그대로 존재한 상태에서 핵의 표면에 유기소재의 승화기체가 분사될 경우, 효율적인 유기소재의 재결정화가 불가능할 뿐만 아니라 불순물이 함께 석출될 우려가 있다. 여기서, 유동수단은 기계적 방식, 자력, 초음파, 마그네틱 등 이온성 액체를 유동시킬 수 있는 다양한 방식을 적용할 수가 있다.
이 실시예에서는 유동수단을 기계적 방식으로 구성할 수 있다. 즉, 유동수단(도시안됨)은 외부에서 진공챔버(110)를 관통하여 용기(210)의 하단에 결합되는 회전축과, 진공챔버(110)의 외부로 노출되는 회전축에 결합되는 모터와, 용기(210) 내의 이온성 액체에 잠기도록 진공챔버(110)의 일측에 고정되는 교반부재로 구성할 수 있다. 이 실시예의 용기(210)는 원통 형태를 가지며, 회전축은 회전하더라도 진공챔버(110) 내부의 진공도를 유지할 수 있도록 진공챔버(110)에 관통 결합되며, 교반부재는 이온성 액체의 상하 유동이 가능한 쟁기모양의 날개를 갖는 것이 바람직하다. 여기서, 용기(210)는 교반부재에 대해 상대운동을 한다. 따라서, 용기(210)가 모터의 구동력에 의해 회전함에 따라 용기(210) 내의 이온성 액체는 좌우방향, 전후방향으로 유동하게 되고, 교반부재로 인해 이온성 액체는 상하방향으로 유동하게 된다. 따라서, 용기(210) 내의 이온성 액체는 좌우, 상하방향으로 연속적으로 유동하게 된다.
상기와 같이 용기(210)가 회전함에 따라, 용기(210)와 후술할 재결정화부의 버퍼탱크(ILS buffer container)를 연결하는 연결관이 서로 간에 선택적으로 접속되어야 한다. 그래서, 이 실시예에서는 용기(210)와 모터를 연결하는 회전축이 승하강하여 용기(210)가 승하강하고, 이렇게 용기(210)가 승하강함에 따라 용기(210)에 연결된 연결관과 버퍼탱크에 연결된 연결관이 서로 간에 접속되어 유로를 형성하거나 서로 간에 분리되어 유로가 폐쇄되고 용기(210)의 회전이 가능하도록 한다. 여기서, 용기(210)와 버퍼탱크의 연결관이 서로 간에 접속되어 유로를 형성하거나 서로 간에 분리되어 유로가 폐쇄되는 구조는 일반적인 방식이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
한편, 이 실시예에서는 용기(210)가 회전하도록 구성함에 따라, 유기소재의 승화기체를 분사하는 분사노즐(122)이 일정 분사영역을 갖는 것이 바람직하다. 즉, 유기소재의 승화기체가 이온성 액체에 접촉함에 따라, 분사영역의 이온성 액체의 표면에 생성되는 핵이 용기(210)가 회전함에 따라 승화기체의 비분사영역으로 이동하여 이온성 액체의 내부로 이동하여 용해될 수 있는 시간을 제공할 수 있도록 분사노즐(122)이 일정 분사영역을 갖는 것이 바람직하다. 한편, 분사노즐(122)의 분사영역은 회전축이 위치하는 중심에서 외측으로 갈수록 그 영역이 점점 넓어지도록 분사노즐(122)을 구성하는 것이 바람직하다.
이 실시예에서는 기계적 방식으로 용기(210)가 회전하도록 구성함에 따라 원통의 용기(210)를 이용하였으나, 유동수단을 자력, 초음파, 마그네틱 등을 이용해 이온성 액체를 유동시킬 경우 용기(210)를 원통을 비롯한 다각형(사각형 포함) 형태로 구성해도 무방하다.
한편, 상기와 같은 승화장치(10)와 용해장치(20)는 진공챔버(110) 내에 위치하도록 배치되며, 이러한 진공챔버(110)는 그 내부를 진공상태로 유지하고 일정 조건을 만족시킬 수 있도록 터보펌프, 러핑펌프, 다수개의 밸브 등을 갖도록 구성된다. 여기서, 터보펌프는 진공챔버(110)의 내부를 10-5 ~ 10-7 토르 정도까지 진공화하기 위한 것으로서, 디퓨져 펌프(diffuser pump)를 이용할 수도 있다. 그리고, 러핑펌프는 10-3 토르 정도까지 효율적으로 진공화하는 로터리펌프를 이용하는 것이 바람직하다. 상기와 같이 진공챔버(110)에 연결된 터보펌프는 승화장치(10)에서의 유기소재 원료를 승화시키기 위한 초기 진공도 등을 형성하기 위해 사용되고, 러핑펌프는 진공챔버(110)와 선택적으로 연통되는 공급탱크와 후술할 재결정화부의 버퍼탱크와 동일하거나 유사한 진공도 유지 등을 위해 사용된다.
재결정화부는 이온성 액체에 용해된 승화기체 중 조성 구성의 주성분인 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화하는 것으로서, 용기(210)에서 배출되는 유기소재의 승화기체가 용해된 이온성 액체를 저장하는 버퍼탱크와, 버퍼탱크 내의 이온성 액체를 서냉시키고 상압화하여 과포화시켜 재결정화하는 재결정화수단을 구비한다. 여기서, 재결정화수단은 러핑펌프, 밸브 등으로 구성된다. 러핑펌프로는 10-3 토르 정도까지 효율적으로 진공화하는 로터리펌프를 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 러핑펌프는 진공챔버(110)와 선택적으로 연통되는 버퍼탱크와 동일하거나 유사한 진공도 유지 등을 위해 사용된다.
한편, 버퍼탱크 내의 이온성 액체를 서냉시킴에 있어서는, 일반적인 열교환기 등을 이용해 원하는 온도, 예를 들어 60 ~ 100℃ 정도로 서냉시키면 된다. 이러한 서냉과정은 이온성 액체 내에 용해된 승화기체 중 조성 구성의 주성분인 정제대상 유기소재를 점진적이고 순차적으로 과포화시켜 그 내부에 불순물이 없는 상태로 재결정화하여 고순도의 유기소재로 정제하기 위함이다. 따라서, 상기와 같은 서냉과정은 정제하고자 하는 유기소재의 종류 및/또는 이온성 액체의 종류에 따라 그 온도범위를 다양화할 수 있고, 냉각방법 또한 다양한 방법으로 수행할 수 있다.
그리고, 버퍼탱크 내부의 상압화는 질소가스의 공급을 통해 수행하되, 이러한 상압화는 후술할 회수부에서의 재결정화된 유기소재의 원활한 회수 및 순환부에서의 이온성 액체의 원활한 순환이 가능하도록 하기 위해서다.
회수부는 재결정화된 유기소재를 이온성 액체로부터 분리하여 회수하는 것으로서, 질소분위기를 갖는 글로브 박스(Glove box)와, 글로브 박스 내에 위치하여 재결정화된 유기소재가 함유된 이온성 액체를 저장하는 제1 저장탱크와, 제1 저장탱크 내의 이온성 액체로부터 재결정화된 유기소재를 분리하여 회수하는 회수수단, 및 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체를 저장하는 제2 저장탱크로 구성된다. 여기서, 회수수단은 필터 등을 이용해 재결정화된 유기소재를 분리하여 회수하면 된다.
순환부는 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체를 재사용하기 위해 순환시키는 것으로서, 제2 저장탱크 내의 이온성 액체를 공급탱크로 펌핑하는 순환펌프와 밸브 등으로 구성된다. 여기서, 순환펌프는 이온성 액체를 정량으로 이송하는 정량펌프를 이용하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 회수부와 순환부는 상압하에서 수행된다. 따라서, 회수부에서의 재결정화된 유기소재의 원활한 회수 및 순환부에서의 이온성 액체의 원활한 순환이 가능하다. 한편, 공급탱크에서는 순환펌프에 의해 이송되는 이온성 액체를 상압조건에서 공급받는다. 따라서, 상술한 진공챔버(110)와의 동일 유사한 진공도를 유지시키기 위해 공급탱크의 내부를 일정 조건의 진공상태로 유지하기 위한 러핑펌프 및 밸브 등을 갖는다.
상술한 바와 같이, 이 실시예의 공급탱크, 진공챔버(110) 및 버퍼탱크는 서로 간에 연통되는 구조를 갖는다. 따라서, 공급탱크에서 진공챔버(110) 내의 용기(210)로 이온성 액체를 공급하거나, 진공챔버(110) 내의 용기(210)에서 이온성 액체를 버퍼탱크로 유동시킴에 있어서, 이온성 액체의 원활한 공급 및 이송이 가능하도록 동일 유사한 진공도 상태에서 작업을 수행하는 것이 바람직하다. 그런데, 이온성 액체는 비휘발성 성질을 갖기 때문에, 어느 정도의 진공도의 차이가 발생하더라도 튀는 현상이 발생하지 않는다. 예를 들어, 진공챔버(110)의 내부 진공도가 10-6 토르이고, 버퍼탱크의 내부 진공도가 10-3 토르 상태에서, 밸브를 개방해 이온성 액체를 진공챔버(110)에서 버퍼탱크로 유동시키더라도 별다른 문제없이 유동이 가능하다.
한편, 실시예에서는 진공챔버(110) 내의 용기(210)에서 유기소재의 승화기체가 이온성 액체 내에서 용해만 되는 것으로 설명하였으나, 용기(210) 내에서 용해된 후 정제대상 유기소재가 과포화되어 일부 재결정화가 이루어질 수도 있다. 또한, 버퍼탱크 내에서 정제대상 유기소재를 과포화시켜 재결정화하는 것으로 설명하였으나, 상기와 같이 용기(210)와 글로브 박스 내의 제1 저장탱크 내에서도 정제대상 유기소재를 과포화시켜 재결정화하는 것도 가능하다.
한편, 이 실시예의 유기소재 정제장치는 온도제어가 필요한 부분 및 라인에 가열코일 및/또는 피복튜브 등을 갖도록 구성되며, 이때의 온도는 PLC(programmable logic controller) 프로그램에 의해 제어된다.
실시예에서는 작업의 편리성을 위해 상압하에서 재결정화부, 회수부 및 순환부를 수행하도록 구성하였으나 진공상태에서도 가능하다.
아래에서는 상기와 같이 구성된 이 실시예의 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치를 이용해 유기소재를 정제하는 방법에 대해 설명한다.
먼저, 승화유닛(120) 내의 수용상자(121)를 가열하여 불순물이 함유된 OLED용 유기소재 원료를 가열하여 승화시킨다. 이때, 유기소재 원료의 변성이 발생하지 않도록 충분한 시간을 두고 서서히 가열한다. 수용상자(121)는 전열선(123)을 통해 대략 150 ~ 350℃ 정도로 가열된다. 그리고, 수용상자(121)에서 승화된 유기소재의 승화기체가 분사되는 분사노즐(122) 또한 대략 150~350℃ 정도로 제어된다. 즉, 유기소재의 승화기체가 분사노즐(122) 내에서 결정화되어 들러붙지 않도록 분사노즐(122)의 온도를 제어한다.
상기와 같은 승화유닛(120)을 통한 승화시에, 초기에는 유기소재 원료 내에 포함된 불순물이 많이 함유된 상태의 유기소재의 승화기체가 분사노즐(122)을 통해 분사된다. 따라서, 초기 분사되는 승화기체 내에 포함된 불순물 등을 한 쌍의 셔터모듈(140)을 통해 용기(210) 내의 이온성 액체와의 접촉을 차단하고 진공챔버(110)의 외부로 배출한다. 즉, 개폐 회전축(151)의 회전에 의해 셔터모듈(140)을 차폐하여 초기의 승화기체 내에 포함된 불순물 등을 용기(210) 내의 이온성 액체와의 접촉을 차단하고 진공챔버(110)의 외부로 배출한다.
그런 다음, 셔터모듈(140)을 개방하여 분사노즐(122)을 통해 유기소재의 승화기체를 용기(210) 내의 이온성 액체와 접촉하도록 분사한다. 한편, 승화장치(10)에서의 승화공정 시에 진공챔버(110) 내의 용기(210)에는 60 ~ 200℃ 정도의 이온성 액체가 일부 저장되어 있는 것이 바람직하다. 이때, 이온성 액체의 온도는 공급탱크로부터 공급시에 일정 온도로 공급되고, 최종적으로는 용기(210)에 설치된 가열코일 등에 의해 조정된다. 한편, 공급탱크에서 진공챔버(110) 내의 용기(210)로의 이온성 액체의 공급은 공급탱크와 진공챔버(110)가 각각의 러핑펌프에 의해 그 내부 진공도가 대략 10-3 토르 정도인 동일 유사한 조건에서 수행된다.
그 후, 진공챔버(110)는 터보펌프를 통해 그 내부 진공도가 대략 10-6 토르가 되도록 조정된다. 상기와 같은 상태에서 승화장치(10)에서 승화된 유기소재의 승화기체가 분사노즐(122)을 통해 용기(210) 내에 저장된 이온성 액체의 표면으로 분사된다. 이때, 유기소재의 승화기체는 분사노즐(122)의 분사영역에 해당하는 이온성 액체의 표면에 분사되어 핵이 생성된다. 한편, 이렇게 분사노즐(122)을 통한 유기소재의 승화기체의 분사시에도 용기(210)가 회전하기 때문에, 분사영역의 이온성 액체의 표면에 생성되는 핵이 용기(210)가 회전함에 따라 승화기체의 비분사영역으로 이동하여 이온성 액체의 내부로 이동하여 용해된다.
그런 다음, 용기(210)의 회전이 중지되고, 회전축 및 용기(210)가 하강하여 용기(210)와 버퍼탱크의 연결관이 서로 간에 접속되어 연통됨으로써, 유기소재의 승화기체가 용해된 이온성 액체는 용기(210)에서 배출되어 버퍼탱크로 유동한다. 이때, 버퍼탱크는 러핑펌프에 의해 그 내부 진공도가 10-3 토르 정도이다. 이렇게 진공챔버(110)와 버퍼탱크의 내부 진공도의 차이가 발생하더라도 이온성 액체가 비휘발성 성질을 갖기 때문에, 이온성 액체는 튀는 현상 등이 없이 버퍼탱크의 내부로 원활하게 유동한다. 이렇게 하여 유기소재의 승화기체가 용해된 이온성 액체가 버퍼탱크 내부로 모두 유동이 완료되면, 열교환기 등을 이용해 이온성 액체를 60 ~ 100℃ 정도까지 서냉하여 과포화시켜 재결정화한다. 그리고, 버퍼탱크 내부에 질소가스를 공급해 상압화한다.
그 후, 재결정화된 유기소재가 함유된 이온성 액체를 글로브 박스 내에 위치하여 제1 저장탱크에 공급해 저장한 후, 필터 등의 회수수단을 이용해 제1 저장탱크 내의 이온성 액체로부터 재결정화된 유기소재를 분리하여 회수한다. 이렇게 회수된 재결정화된 유기소재는 별도로 보관하고, 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체는 제2 저장탱크에 저장한다. 이렇게 제2 저장탱크에 저장된 이온성 액체는 재사용을 위해 순환펌프에 의해 펌핑되어 공급탱크로 이송된다.
상기와 같은 회수부와 순환부는 상압하에서 수행된다. 따라서, 공급탱크에서는 순환펌프에 의해 이송되는 이온성 액체를 상압조건에서 공급받는다. 따라서, 상술한 진공챔버(110)와의 동일 유사한 진공도를 유지시키기 위해 공급탱크의 내부는 러핑펌프에 의해 진공화된다. 또한, 진공챔버(110) 내의 용기(210)에 공급할 수 있는 일정 온도를 갖도록 공급탱크에 설치된 가열코일 등을 통해 이온성 액체가 가열된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 이 발명의 상세한 설명에서는 이 발명의 바람직한 실시예에 관해서 설명하였으나, 이는 이 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 이 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 이 발명의 기술사상의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 물론이다. 따라서, 이 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 청구범위 뿐만 아니라 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 승화장치 20 : 용해장치
30 : 후처리장치 110 : 진공챔버
120 : 승화유닛 130 : 셔터유닛
140 : 셔터모듈 150 : 개폐 구동모듈

Claims (7)

  1. 진공챔버 내에서 이온성 액체와 접촉시켜 재결정화된 유기소재를 생성하기 위해 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치로서,
    상기 진공챔버 내에 배치되며, 불순물이 함유된 유기소재 원료를 수용하는 수용상자와, 상기 수용상자 내의 유기소재 원료를 가열하여 승화시키는 가열부, 및 승화된 유기소재의 승화기체를 분사하는 분사부를 갖는 승화유닛과,
    상기 분사부에 근접 배치되어 상기 분사부부터 분사되는 유기소재의 승화기체가 이온성 액체를 향해 분사되는 것을 방지하도록 수평방향으로 개폐가 가능한 셔터유닛을 포함하며,
    상기 셔터유닛은 상기 승화유닛을 용기 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방하는 한 쌍의 셔터모듈과, 상기 한 쌍의 셔터모듈에 연결되어 상기 한 쌍의 셔터모듈을 회동시켜 개폐하는 한 쌍의 개폐 구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 셔터모듈은 상기 승화유닛을 용기 내의 이온성 액체에 대해 선택적으로 차폐 및 개방할 수 있는 일정 너비 및 형상을 갖는 셔터 본체부와, 상기 셔터 본체부에 착탈 가능하게 결합되는 실드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 실드부는 상기 셔터 본체부에 결합되는 실드 본체부와, 상기 실드 본체부의 측벽에서 돌출되어 마련되는 플랜지부를 포함하며,
    상기 한 쌍의 셔터모듈 각각의 실드부에 마련된 플랜지부는, 서로 간에 겹쳐지도록 서로 다른 높이에 배치되는 것을 특징으로 하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 셔터 본체부는 그 내부에 배열되는 전열선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 개폐 구동모듈은 상기 진공챔버를 관통하여 상기 셔터모듈에 연결되는 개폐 회전축과, 상기 진공챔버의 외부에 배치되며 상기 개폐 회전축에 연결되어 상기 개폐 회전축을 회전시키는 회전 구동부와, 상기 개폐 회전축이 관통한 상기 진공챔버의 외벽 부위에 배치되고 상기 개폐 회전축이 회전 가능하게 연결되며 외부 공기가 상기 진공챔버 내부로 유입되는 것을 방지하는 밀봉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평형 셔터를 갖는 승화장치.
  6. 불순물이 함유된 유기소재 원료를 승화시키는 승화장치와,
    상기 승화장치와 연통하도록 배치되어 유기소재의 승화기체를 용기 내에서 유동하는 이온성 액체에 접촉시켜 승화기체를 포집하여 용해시키는 용해장치, 및
    이온성 액체에 용해된 승화기체 중 조성 구성의 주성분인 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화된 유기소재를 생성하고 후처리하는 후처리장치를 포함하며,
    상기 승화장치는 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 수평형 셔터를 갖는 승화장치인 것을 특징으로 하는 유기소재 정제장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 후처리장치는 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화하는 재결정화부와, 재결정화된 유기소재를 이온성 액체로부터 분리하여 회수하는 회수부, 및 재결정화된 유기소재가 분리된 이온성 액체를 재사용하기 위해 순환시키는 순환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기소재 정제장치.
KR1020190049799A 2019-04-29 2019-04-29 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치 KR20200126459A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190049799A KR20200126459A (ko) 2019-04-29 2019-04-29 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190049799A KR20200126459A (ko) 2019-04-29 2019-04-29 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200126459A true KR20200126459A (ko) 2020-11-09

Family

ID=73429775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190049799A KR20200126459A (ko) 2019-04-29 2019-04-29 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20200126459A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109545705B (zh) 基板清洗方法以及基板清洗装置
KR20170128154A (ko) 이온성 액체를 이용한 유기소재 정제장치 및 정제방법
US20200234980A1 (en) Substrate drying method and substrate drying apparatus
JP2010514927A (ja) 薄膜蒸着装置の原料ガス供給装置及び残留ガス処理処置及びその方法
KR102273984B1 (ko) 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치
JP2015162486A (ja) 基板乾燥装置および基板乾燥方法
KR20200123895A (ko) 연속 공정이 가능한 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치
JP2009267167A (ja) 基板処理装置
CN110648941A (zh) 处理液温度调节装置、基板处理装置及处理液供给方法
KR20200126459A (ko) 수평형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치
TWI605869B (zh) 利用離子液體的有機材料提煉方法及提煉裝置
KR20200125857A (ko) 수직형 셔터를 갖는 승화장치 및 이를 구비한 유기소재 정제장치
JP2016516291A (ja) 基板処理装置
KR101392379B1 (ko) 기판처리장치
KR20160145971A (ko) 이온성 액체를 이용한 유기재료 단결정 성장 방법 및 장치
KR102220438B1 (ko) 이온성 액체를 이용한 유기재료 단결정 성장 방법 및 장치
US9187328B2 (en) Methods and apparatus for the production of carbon-containing materials
KR102176768B1 (ko) 승화정제 장치 및 방법
KR20160092471A (ko) 이온성 액체를 이용한 유기소재 정제방법 및 정제장치
KR102576405B1 (ko) 하이브리드 플랜지 부 및 이를 갖는 승화 정제 장치
KR102319338B1 (ko) 흐르는 용액을 이용한 유기재료 정제장치 및 방법
KR20160053165A (ko) 정제 장치 및 정제 방법
KR20200126460A (ko) 유기소재 인라인 정제 시스템
KR20150123188A (ko) 보호층을 갖는 유기소재
KR101547096B1 (ko) 이온성 액체를 이용한 유기소재 정제방법 및 정제장치