KR20200118593A - 전계 방출 엑스선 소스 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극에 대하여 게이트 전극이 정렬된 상태로 그 상대적인 위치가 고정되도록, 게이트 정렬 어댑터를 포함하여 구성된 전계 방출 엑스선 소스 장치와 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치는, 타겟이 구비된 애노드 전극; 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극; 상기 타겟과 상기 전자 방출원 사이에 배치된 게이트 정렬 어댑터; 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 게이트 전극; 양단이 상기 애노드 전극과 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 튜브 형의 제 1 절연 스페이서; 및 양단이 상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 케이트 전극에 접합된 튜브 형의 제 2 절연 스페이서를 포함하여 구성된다.

Description

전계 방출 엑스선 소스 장치 및 그 제조 방법{Field Emission X-Ray Source Device And Manufacturing Process Thereof}
본 발명은 전계 방출 엑스선 소스 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 더 상세하게는, 진공 상태의 튜브 내에서 캐소드 전극상에 배치된 전자 방출원으로부터 방출되어 가속된 전자를 애노드 전극상의 타겟에 충돌시켜 엑스선을 방출하는 전계 방출 엑스선 소스 장치와, 진공 접합 공정을 포함하여 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
종래의 전계 방출 엑스선 소스(Field Emission X-ray Source)는 진공 상태의 공간에, 캐소드(cathode) 전극 상에 설치된 전자 방출원(emitter)과, 그에 인접하게 설치된 게이트(gate) 전극을 구비하고, 게이트 전극과 전자 방출원 사이에 형성된 전계에 의해 전자가 방출되도록 구성된다. 게이트 전극은 전자 방출원의 배열에 따라 다수의 홀이 배열된 메쉬(mesh)형 전극판을 갖는다. 전자 방출원(emitter)으로부터 방출된 전자 빔(electron beam)이 이러한 홀을 통과하여 진행하면, 애노드(anode) 전극과 캐소드(cathode) 전극 사이에 수~수십 kV의 전위로 형성된 전계에 의해 전자가 가속되고, 가속된 전자 빔이 애노드 측에 설치된 엑스선 타겟(target)을 타격함으로써 엑스선이 방출된다.
전계 방출 엑스선 소스 장치에서 캐소드 전극, 애노드 전극과 같은 금속 전극 부재들은 주로 세라믹 소재로 만들어진 절연성 스페이서에 의해 서로 전기적으로 절연되도록 이격 배치된다. 절연성 스페이서들은 상기 금속 전극 부재들과 접합되어 밀폐된 공간을 형성한다. 금속 재질의 전극 부재와 세라믹 재질의 절연성 스페이서는 진공 브레이징 공정을 통해 접합됨으로써 이들 내부에 진공 상태의 밀폐된 공간을 형성한다.
브레이징(Brazing)은 모재와 모재 사이의 용가재를 용융시켰다가 다시 응고시켜 두 모재를 서로 접합하는 기술로서, 진공 브레이징은 진공 챔버 내에서 브레이징 공정을 진행하는 기술을 의미한다. 진공 브레이징은 전계 방출 엑스선 소스와 같은 진공 소자의 제조시에, 내부를 원하는 진공도로 형성함과 동시에 브레이징 접합을 통해 기밀성을 확보할 수 있어 유용하다.
이와 같은 이유로 전계 방출 엑스선 소스의 제조시에 진공 브레이징 공정이 활용되어 왔다. 그러나 여전히 해결하기 어려운 문제점이 있다. 절연성 스페이서를 사이에 두고 전자 방출원이 배치된 캐소드 전극 부재와 게이트 전극 부재를 접합할 때, 게이트 전극의 메쉬형 전극판에 형성된 다수의 홀이 캐소드 전극 상에 배치된 다수의 전자 방출원 팁의 위치에 맞게 정렬되어야 한다. 그런데 진공 브레이징 공정은 진공 챔버 내에서 진행되기 때문에 이들을 정확히 정렬시키기 어렵다. 또한, 정렬이 이루어졌다 해도 브레이징 진행 중에 용가재가 용융되어 유동성이 생겼을 때 정렬 상태가 틀어지는 경우가 많다.
본 발명은, 전술한 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로, 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극에 대하여 게이트 전극이 정렬된 상태로 그 상대적인 위치가 고정되도록, 게이트 정렬 어댑터를 포함하여 구성된 전계 방출 엑스선 소스 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상기 게이트 정렬 어댑터를 이용하여 캐소드 전극에 대해 게이트 전극이 정렬된 상태로 이들 부재가 고정되도록 하는, 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
전술한 과제의 해결을 위하여, 본 발명의 한 측면에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치는, 타겟이 구비된 애노드 전극; 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극; 상기 타겟과 상기 전자 방출원 사이에 배치된 게이트 정렬 어댑터; 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 게이트 전극; 양단이 상기 애노드 전극과 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 튜브 형의 제 1 절연 스페이서; 및 양단이 상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 케이트 전극에 접합된 튜브 형의 제 2 절연 스페이서를 포함하여 구성된다.
상기 전자 방출원은 복수의 팁 형상이고, 상기 게이트 전극은 상기 복수의 팁에 대응되는 메쉬 형상일 수 있다.
상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 제 1 및 제 2 절연 스페이서는 브레이징 접합되고, 상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 게이트 전극은 용접될 수 있다.
상기 게이트 정렬 어댑터는 외부 회로로부터 상기 게이트 전극으로 전기적 신호를 전달할 수 있다.
본 발명의 한 측면에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법은, 튜브 형의 제 1 절연 스페이서를 사이에 두고 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극과 게이트 정렬 어댑터를 접합하는 제 1 진공 접합 공정; 게이트 전극을 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합하는 게이트 정렬 접합 공정; 및 튜브 형의 제 2 절연 스페이서를 사이에 두고 상기 게이트 정렬 어댑터와 타겟이 구비된 애노드 전극을 접합하는 제 2 진공 접합 공정을 포함하여 구성된다.
상기 제 1 진공 접합 공정 및 제 2 진공 접합 공정은 브레이징 공정을 포함할 수 있다.
상기 전자 방출원은 복수의 팁 형상이고, 상기 게이트 전극은 상기 복수의 팁에 대응되는 메쉬 형상이며, 상기 게이트 정렬 접합 공정은, 상기 복수의 팁과 상기 메쉬가 일대일 대응 정렬되게 접합할 수 있다.
상기 게이트 정렬 접합 공정은, 대기 중에서 용접으로 진행될 수 있다.
본 발명에 따르면, 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극에 대하여 게이트 전극이 정렬된 상태로 그 상대적인 위치가 고정되도록, 게이트 정렬 어댑터를 포함하여 구성된 전계 방출 엑스선 소스 장치가 제공된다.
또한, 상기 게이트 정렬 어댑터를 이용하여 캐소드 전극에 대해 게이트 전극이 정렬된 상태로 이들 부재가 고정되도록 하는, 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 단면을 보인다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 제1 진공 접합 공정을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 게이트 정렬 접합 공정을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 제2 진공 접합 공정을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법을 개략적으로 보인다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예를 설명한다. 실시예를 통해 본 발명의 기술적 사상이 좀 더 명확하게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명은 이하에 설명된 실시예에 한정되는 것이 아니라 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 단면을 보인다.
먼저, 본 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 전체적인 구성을 살펴본다. 본 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치는 튜브형의 절연 스페이서(10, 11)와 상기 절연 스페이서(10, 11)의 양단에 접합된 전극 등 금속 부재를 포함한다. 상기 금속 부재에는 애노드 전극(20)과, 상기 애노드 전극(20)의 반대편에 배치된 캐소드 전극(40), 이들 사이에 배치된 게이트 전극(50)과, 게이트 정렬 어댑터(60)가 포함된다.
상기 애노드 전극(20)에는 경사면에는 텅스텐 재질의 엑스선 타겟이 마련되고, 상기 캐소드 전극(40) 상에는 다수의 전자 방출원(42)이 배열된다. 상기 전자 방출원(42)은 도시된 바와 같이, 별도의 전자 방출원 기판(41)에 마련되어 캐소드 전극(40)에 결합될 수도 있다. 다수의 전자 방출원(42)은 캐소드 전극(40) 표면에 직접 형성될 수도 있다.
상기 전자 방출원(42)은 예컨대 탄소나노튜브와 같은 다수의 나노 구조물을 이용한 것일 수 있다. 탄소나노튜브를 이용한 전자 방출원(42)의 경우 상기 전자 방출원 기판(41) 또는 캐소드 전극(40) 표면에 화학기상증착법(CVD)을 이용하여 다수의 탄소나노튜브를 직접 성장시키거나, 탄소나노튜브 페이스트를 도포한 후 소성하는 등의 방법으로 형성될 수 있다.
튜브형의 상기 절연 스페이서(10, 11)는 세라믹, 유리 또는 실리콘 등의 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어 알루미나(Al2O3) 세라믹스와 같은 소재로 만들어질 수 있다. 상기 절연 스페이서(10, 11)가 절연 물질로 이루어짐에 따라 전계 방출 엑스선 소스 장치에서 상기 애노드 전극(20), 상기 캐소드 전극(40), 및 상기 게이트 전극(50)이 서로 전기적으로 절연된다. 상기 게이트 전극(50)은 상기 전자 방출원(42)에 가깝게 배치되어, 입력된 신호에 따라 전자 방출을 개시하는 전계를 형성한다. 상기 게이트 전극(50)은 전자 빔이 통과할 수 있도록 다수의 게이트 홀이 형성된 메쉬(mesh)형 전극판(50M)을 포함한다. 한편, 상기 게이트 전극(50)은 상기 애노드 전극(20)을 향해 가속되는 전자빔을 그 중심부 쪽으로 집속하는 전계를 형성하는 집속 전극의 기능을 함께 수행하도록 전자빔 진행 방향을 따라 연장된 구간을 가질 수 있다.
이하에서는, 전술한 절연 스페이서(10, 11) 중에서 상기 애노드 전극(20)과 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 사이에 배치된 것을 제 1 절연 스페이서(10)라 칭하고, 상기 게이트 정렬 어댑터(60)와 상기 캐소드 전극(40) 사이에 배치된 것을 제 2 절연 스페이서(11)라 칭하기로 한다.
상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 도전성 금속 소재로 이루어진 것으로, 상기 제 1 절연 스페이서(10)와 상기 제 2 절연 스페이서(11)의 사이에 배치되고, 이들과 접합된다. 상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 외측 주연부(61)가 원통형으로 형성되어, 상기 제 1 및 제 2 절연 스페이서(10, 11)와 함께 상기 애노드 전극(20)과 상기 캐소드 전극(40) 사이에서 전계 방출 엑스선 소스 장치의 내부 공간을 정의한다. 상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 적어도 일부가 상기 제 1 및 제 2 절연 스페이서(10, 11)의 내벽보다 상기 내부 공간의 안쪽으로 연장되어 그 위에 상기 게이트 전극(50)의 일부를 지지하도록 형성된 안착부(63)를 갖는다. 게이트 전극(50)은 도전체로 이루어진 상기 게이트 정렬 어댑터(60)를 통해 장치 외부의 회로와 전기적으로 연결될 수 있다. 한편, 상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 상기 내부 공간에서도 상기 캐소드 전극(40)과 소정의 거리 이상 간격을 두어 서로 절연이 유지되도록 배치된다.
상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 전체가 도전성 금속 소재로 이루어진 것이 바람직하나, 이에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 상기 게이트 정렬 어댑터(60)에서 상기 안착부(63)의 적어도 일부가 도전성 금속 소재로 형성되고, 상기 적어도 일부로부터 외부의 회로까지 전기적인 연결이 확보된다면, 상기 게이트 정렬 어댑터(60)의 구조물 자체는 비금속 소재로 형성될 수도 있다. 다만, 이하에서는 게이트 정렬 어댑터(60)가 금속 소재로 형성된 예를 중심으로 설명하기로 한다.
상기 애노드 전극(20)과 상기 게이트 정렬 어댑터(60)는 상기 제 1 절연 스페이서(10)의 양단부와 진공 브레이징 등을 통해 기밀성을 갖도록 접합된다. 전술한 바와 같이, 상기 절연 스페이서(10)는 알루미나 세라믹스 등의 비금속 소재로 이루어졌기 때문에 금속 부재인 애노드 전극(20) 및 게이트 정렬 어댑터(60)와의 접합이 용이하지 않다. 기밀성 있는 안정적인 접합을 위해서는 상기 절연 스페이서(10)의 양단에 근접한 부분을 메탈라이징하여 접합성을 향상시킬 수 있다. 이점은 상기 제 2 절연 스페이서(11)의 양단부에 상기 게이트 정렬 어댑터(60)와 상기 캐소드 전극(40)이 접합된 부분에 대해서도 적용된다. 세라믹 소재의 표면을 메탈라이징 하면 용융된 금속 즉, 용융된 브레이징 필러에 대해 젖음성이 향상되기 때문에 금속과 세라믹 소재 사이의 기밀성 접합에 도움이 된다.
이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법을 중심으로 설명한다. 그러나 제조 방법의 설명에만 한정되는 것은 아니다. 본 발명이 속한 기술 분야의 통상의 기술자라면 제조 공정에 대한 설명을 통해 장치의 구성에 대해서도 좀 더 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 제 1 진공 접합 공정을 나타낸다.
제 1 진공 접합 공정은 진공 챔버(100) 내에서 캐소드 전극(40)과 제 2 절연 스페이서(11), 및 게이트 정렬 어댑터(60)를 접합하는 공정으로서, 전술한 진공 브레이징 공정을 포함한다. 캐소드 전극(40) 및 게이트 정렬 어댑터(60)에서 상기 제 2 절연 스페이서(11)의 상하단과 접하는 부분에는 조립을 용이하게 하고, 접합면이 더 안정적으로 확보되도록 상기 제 2 절연 스페이서(11)의 두께에 대응되는 단차부가 형성될 수 있다.
상기 게이트 정렬 어댑터(60)와 상기 제 2 절연 스페이서(11)의 접합부(66), 그리고 상기 제 2 절연 스페이서(11)와 상기 캐소드 전극(40)의 접합부(14)에는 용가재(Brazing Filler)를 배치하고, 진공 챔버(100) 내부가 진공 상태에 도달한 후에 내부 온도를 상기 용가재의 융점 온도보다 높였다가 다시 낮추면 전술한 세 개의 부재(40, 11, 60)가 서로 접합되어 제 1 조립체(A1)가 형성된다. 본 공정에서 진공 상태로 브레이징을 진행하는 것은 카본나노튜브 등을 포함하는 전자 방출원(42)이 고온의 공정 중에 산화되는 것을 방지하기 위함이다. 본 실시예와 같이 다수의 전자 방출원(42)이 캐소드 전극(40) 상에 배치된 채로 브레이징 접합 공정을 진행하는 경우에는 진공 챔버(100) 내에서 진행하는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 게이트 정렬 접합 공정을 나타낸다.
좀 더 구체적으로, 도 3의 (a)는 전술한 제 1 진공 접합 공정을 통해 제작된 제 1 조립체(A1)의 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 위에 게이트 전극(50)을 올리고, 비젼(vision) 카메라(200)로 상기 게이트 전극(50)를 위에서 내려다보는 모습을 보이고, 도 3의 (b)는 상기 비젼 카메라(200)로 촬영된 게이트 전극(50)의 메쉬형 전극판(50M) 부분과 확대된 그 일부분의 모습을 보인다.
게이트 정렬 접합 공정에서는, 상기 (a)와 (b)에 보이는 바와 같이, 비젼 카메라(200)가 포함된 정렬 장치를 이용하여, 캐소드 전극(40)에 대해 게이트 전극(50)을 정확하게 정렬시키고, 정렬 상태가 유지되도록 상기 게이트 전극(50)이 지지된 채로 상기 게이트 전극(50)을 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 상에 접합한다. 정렬 방법의 일 예로, 다수의 전자 방출원(42)의 복수의 팁이 상기 메쉬형 전극판(50M)에 형성된 다수의 게이트 홀(52)의 중심에 위치하도록 상기 게이트 전극(50)의 위치를 조정할 수 있다. 이를 위해 상기 게이트 전극(50)에서 상기 게이트 정렬 어댑터(60)의 안착면(63)에 대응되는 단차면(53)은 상기 안착면(63)보다 다소 넓게 형성될 수 있다.
한편, 상기 게이트 정렬 어댑터(60)와 상기 게이트 전극(50)은 서로 용접에 의해 접합될 수 있다. 구체적인 용접 방식에 대해 제약은 없다. 다만, 본 공정이 대기 중에서 진행되어도 상기 전자 방출원(42)에 이상이 생기지 않도록 상기 접합부(65)에만 국소적으로 에너지를 가하는 용접 방식을 적용하는 것이 바람직하다.
상기 게이트 정렬 접합 공정의 결과물로서, 전술한 제 1 조립체(A1)에 상기 게이트 전극(50)이 접합된 제 2 조립체(A2)가 제공된다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 공정 중 제 2 진공 접합 공정을 나타낸다.
제 2 진공 접합 공정은 전술한 제 1 진공 접합 공정과 마찬가지로 진공 챔버(100) 내에서 진행된다. 전술한 제 2 조립체(A2)에 제 1 절연 스페이서(10)와 애노드 전극(20)을 추가적으로 조립하고, 상기 진공 챔버(100) 내에서 진공 브레이징 공정을 통해 이들을 접합한다. 상기 제 1 절연 스페이서(10)와 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 사이의 접합부(16) 및 상기 제 1 절연 스페이서(10)와 상기 애노드 전극(20) 사이의 접합부(12)는 전계 방출 엑스선 소스 장치의 내부 공간이 목표 진공도에 도달한 상태에서 브레이징 접합되어, 상기 내부 공간을 밀폐시킨다.
상기 제 2 진공 접합 공정의 브레이징 온도는 전술한 제 1 진공 접합 공정에 사용된 용가재(브레이징 필러)의 융점보다 같거나 낮은 것이 바람직하다. 따라서, 제 2 진공 접합 공정에는 제 1 진공 접합 공정에서 사용된 용가재보다 융점이 같거나 낮은 용가재가 사용된다. 다시 말해서, 상기 제 1 절연 스페이서(10)와 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 사이의 접합부(16) 및 상기 제 1 절연 스페이서(10)와 상기 애노드 전극(20) 사이의 접합부(12)에 적용된 용가재는 제 2 절연 스페이서(11)와 상기 게이트 정렬 어댑터(60) 사이의 접합부(66) 및 상기 제 2 절연 스페이서(11)와 캐소드 전극(40)의 접합부(14)에 적용된 용가재보다 융점이 같거나 낮은 것이 바람직하다. 그 이유는 제 2 진공 접합 공정의 브레이징 온도가 제 1 진공 접합 공정의 브레이징 온도보다 더 높을 경우 자칫 제 1 진공 접합 공정으로 접합된 캐소드 전극(40)과 제 1 절연 스페이서(11)와 게이트 정렬 어댑터(60) 사이의 용가재가 재 용융되어 접합이 분리되거나 정렬이 틀어질 수 있기 때문이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법을 개략적으로 보인다.
본 발명의 한 실시예에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법은 전술한 바와 같이, 제 1 진공 접합 공정(S1)과, 게이트 정렬 접합 공정(S2), 그리고 제 2 진공 접합 공정(S3)을 포함하여 구성된다. 각 공정의 구체적인 구성 및 결과물 등은 앞에서 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한 것과 같다.
요약하자면, 본 발명에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치는 게이트 전극이 제 1 및 제 2 절연 스페이서와 직접 접합되지 않고, 이들과 게이트 정렬 어댑터를 통해 간접적으로 결합되도록 구성된다. 또한, 본 발명에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법은 먼저, 상기 게이트 정렬 어댑터를 캐소드 전극에 대하여 상대적으로 고정시키는 진공 브레이징의 제 1 진공 접합 공정(S1)과, 상기 게이트 정렬 어댑터에 상기 게이트 전극을 정렬시키며 상대적으로 고정 시키는 대기 중의 용접에 의한 게이트 정렬 접합 공정(S2), 그리고 상기 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 진공 상태의 내부 공간을 형성하는 진공 브레이징의 제 2 진공 접합 공정(S3)으로 구성된다.
10: 제 1 절연 스페이서
11: 제 2 절연 스페이서 20: 애노드 전극
40: 캐소드 전극 41: 전자 방출원 기판
42: 전자 방출원 50: 게이트 전극
50M: 메쉬형 전극판 52: 게이트 홀
60: 게이트 정렬 어댑터 100: 진공 챔버

Claims (8)

  1. 타겟이 구비된 애노드 전극;
    전자 방출원이 구비된 캐소드 전극;
    상기 타겟과 상기 전자 방출원 사이에 배치된 게이트 정렬 어댑터;
    상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 게이트 전극;
    양단이 상기 애노드 전극과 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합된 튜브 형의 제 1 절연 스페이서; 및
    양단이 상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 케이트 전극에 접합된 튜브 형의 제 2 절연 스페이서를 포함하는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 방출원은 복수의 팁 형상이고, 상기 게이트 전극은 상기 복수의 팁에 대응되는 메쉬 형상인,
    전계 방출 엑스선 소스 장치
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 제 1 및 제 2 절연 스페이서는 브레이징 접합되고,
    상기 게이트 정렬 어댑터와 상기 게이트 전극은 용접된,
    전계 방출 엑스선 소스 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 정렬 어댑터는 외부 회로로부터 상기 게이트 전극으로 전기적 신호를 전달하는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치.
  5. 튜브 형의 제 1 절연 스페이서를 사이에 두고 전자 방출원이 구비된 캐소드 전극과 게이트 정렬 어댑터를 접합하는 제 1 진공 접합 공정;
    게이트 전극을 상기 게이트 정렬 어댑터에 접합하는 게이트 정렬 접합 공정; 및
    튜브 형의 제 2 절연 스페이서를 사이에 두고 상기 게이트 정렬 어댑터와 타겟이 구비된 애노드 전극을 접합하는 제 2 진공 접합 공정을 포함하는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 진공 접합 공정 및 제 2 진공 접합 공정은 브레이징 공정을 포함하는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 전자 방출원은 복수의 팁 형상이고, 상기 게이트 전극은 상기 복수의 팁에 대응되는 메쉬 형상이며,
    상기 게이트 정렬 접합 공정은, 상기 복수의 팁과 상기 메쉬가 일대일 대응 정렬되게 접합하는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 게이트 정렬 접합 공정은, 대기 중에서 용접으로 진행되는,
    전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법.
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