KR20200111373A - A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate - Google Patents

A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate Download PDF

Info

Publication number
KR20200111373A
KR20200111373A KR1020190030979A KR20190030979A KR20200111373A KR 20200111373 A KR20200111373 A KR 20200111373A KR 1020190030979 A KR1020190030979 A KR 1020190030979A KR 20190030979 A KR20190030979 A KR 20190030979A KR 20200111373 A KR20200111373 A KR 20200111373A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bush
plate
assembly
electrode plate
groove
Prior art date
Application number
KR1020190030979A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102195927B1 (en
Inventor
김진출
김충원
박상욱
정진오
Original Assignee
주식회사 월덱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 월덱스 filed Critical 주식회사 월덱스
Priority to KR1020190030979A priority Critical patent/KR102195927B1/en
Publication of KR20200111373A publication Critical patent/KR20200111373A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102195927B1 publication Critical patent/KR102195927B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
    • H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532—Electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

Disclosed is a bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for etching apparatus, which includes: a bush formed with a fastening hole and having an outer circumferential lower portion formed larger than an outer circumferential upper portion so as to be inserted into a groove of an electrode plate; an assembly ring completely surrounding a lower portion of the bush; a rotation preventing member fixed to an upper portion of the assembly ring while surrounding an outer side of the bush to prevent a rotation when a bolt is fastened to the bush; and a fixing member fitted on an upper portion of the bush to fix the bush to the assembly ring and the rotation preventing member. Accordingly, the bush assembly is easily manufactured, and partially replaceable, so that the economic efficiency is improved.

Description

에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조{A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate} A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate}

본 발명은 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 전, 부시 조립체만으로 전극판에 견고하게 1차적으로 고정되어 전극판으로부터 이탈을 방지하는 한편, 플레이트와 결합 시 볼트 조림방향으로 회전되지 않도록 하여 부시 조립체의 파손 및 견고한 고정력을 가질 수 있는 기술에 관한 것이다. The present invention relates to a bush assembly for coupling an electrode plate and a plate for an etching apparatus, and a coupling structure between the electrode plate and the plate, and more particularly, before assembling a bush assembly for coupling the electrode plate and the plate by plate and bolt, The present invention relates to a technology capable of having a strong fixing force and breakage of the bush assembly by preventing separation from the electrode plate by being firmly fixed to the electrode plate with only the bush assembly and preventing it from rotating in the bolt tightening direction when combined with the plate.

통상적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드가 구비된다. Typically, a plasma device used for etching a semiconductor wafer is installed horizontally with a wafer mainly located on the anode inside the plasma chamber, injecting a reactive gas through a plurality of holes formed therein, and applying a high frequency voltage to the wafer. A cathode is provided to generate plasma required for etching.

우선 종래의 기술들을 살펴보면, First of all, looking at the conventional technologies,

등록번호 제10-1113987호(특) 본 발명의 출원인과 동일한 출원인이 출원한 것으로, 반도체 웨이퍼 공정을 위한 장치에 캐소드를 결합하여 위치시키도록 하는 체결구 구조에 있어서, 캐소드에 형성되는 체결홀에 삽입되어 중앙을 상하 관통시켜 내측이 나사산으로 이루어지는 볼트삽입구를 형성하는 부시와, 상기 캐소드가 결합되어지는 플레이트를 삽입 관통하여 이어지는 끝부를 상기 부시의 체결홀에 삽입하여 나사 결합시키도록 하는 조립스크류와, 상기 캐소드의 체결홀의 내측으로 삽입되어 상기 체결홀에 삽입된 부시의 외측을 감싸도록 고정시키는 조립링을 구비하고, 상기 캐소드 체결홀의 둘레부 일측에 홈을 형성하고, 상기 조립링과 부시의 원심을 지나는 방향으로 절개시키도록 하는 절개홈을 각각 형성하여 상기 체결홀의 홈과, 조립링 및 부시의 절개홈을 일직선으로 일치시키고 고정핀을 삽입하여 회전 유동을 방지토록 구성하되, 상기 체결홀의 홈은 상기 조립링 및 부시에 형성되는 절개홈과 경사를 가지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 결합을 위한 체결구 구조에 관한 기술이다. Registration No. 10-1113987 (Special) Filed by the same applicant as the applicant of the present invention, in a fastener structure that combines and positions a cathode in an apparatus for semiconductor wafer processing, in a fastening hole formed in the cathode A bush that is inserted through the center up and down to form a bolt insertion hole having a threaded inside, and an assembly screw that inserts the end of the plate to which the cathode is connected to be inserted into the fastening hole of the bush to be screwed. , An assembly ring inserted into the inside of the fastening hole of the cathode and fixed so as to surround the outside of the bush inserted into the fastening hole, forming a groove on one side of the circumference of the cathode fastening hole, and centrifugal of the assembly ring and the bush. By forming a cutout groove to cut in the direction passing through the groove, the groove of the fastening hole and the cut groove of the assembly ring and the bush are aligned in a straight line, and a fixing pin is inserted to prevent rotational flow, but the groove of the fastening hole is It is a technology related to a fastener structure for coupling a cathode, characterized in that it is configured to have an inclination and a cut groove formed in the assembly ring and the bush.

상기한 종래 기술은 전극판과 플레이트의 각각의 홀이 형성된 후, 플레이트 측에서 볼트와 같은 결합부재를 이용하여 결합되고, 상기 전극판의 하부에서 너트와 같은 결합부재를 이용하여, 양측에서 결합되는 구조로 구성되어 있으나, 이러한 구조는 어느 한쪽의 충격 등이 발생할 경우, 풀림현상에 의해 전극판과 플레이트의 이탈을 초래할 수가 있는 문제점을 갖고 있다. In the above-described conventional technique, after the respective holes of the electrode plate and the plate are formed, they are coupled using a coupling member such as a bolt at the plate side, and coupled at both sides using a coupling member such as a nut at the lower portion of the electrode plate. Although it is composed of a structure, such a structure has a problem in that when an impact or the like of either side occurs, the electrode plate and the plate may be separated due to the loosening phenomenon.

등록번호 제10-1593920호(특) 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 원주 방향 혹은 내부에 배치되는 다수개의 체결홈에 삽입되는 부시 조립체에 있어서, 상기 부시 조립체는, 원기둥 형태의 외주면에 제1결합부가 형성된 체결부와, 체결부의 상부에서 연장되면서, 경사부가 형성된 연장부를 포함하는 부시; 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 체결홈 내측에 형성되는 결합 공간부로 삽입되는 결합링; 및 상기 부시의 연장부와 결합되는 삽입 링;을 포함하고, 상기 결합링은, 한 쌍의 반원기둥 형태로 이루어지고, 안쪽으로 중공부가 형성되며, 상기 중공부가 형성된 내주면에 제2결합부를 포함하며, 상기 결합 공간부 내에서, 상기 부시의 제1결합부와 상기 결합링의 제2결합부가 결합하여 기밀하게 밀착됨으로써 부시를 고정하며, 상기 결합 공간부의 직경은 상기 체결홈의 직경에 비해 큰 값을 가져, 캐소드 전극판 또는 그라운드 링과 부시 조립체와의 접촉면을 증가시키는 것을 특징으로 하는 부시 조립체에 관한 기술이다. Registration No. 10-1593920 (Special) In a bush assembly inserted into a plurality of fastening grooves disposed in the circumferential direction or inside of a cathode electrode plate or a grip ring, the bush assembly is first coupled to an outer peripheral surface of a cylindrical shape A bush including an additional fastening portion and an extension portion having an inclined portion formed thereon while extending from an upper portion of the fastening portion; A coupling ring inserted into a coupling space formed inside the coupling groove of the cathode electrode plate or the grip ring; And an insertion ring coupled with the extension portion of the bush, wherein the coupling ring has a pair of semi-cylindrical shapes, has a hollow portion inwardly formed, and includes a second coupling portion on an inner peripheral surface in which the hollow portion is formed, , In the coupling space part, the first coupling part of the bush and the second coupling part of the coupling ring are coupled and tightly contacted to fix the bush, and the diameter of the coupling space part is larger than the diameter of the coupling groove. It is a technology related to a bush assembly, characterized in that it increases the contact surface between the cathode electrode plate or the ground ring and the bush assembly.

등록번호 제10-1257726호(특) 캐소드의 체결홀에 삽입되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부로 연장되고 상면 중앙에 삽입홀이 형성되며 타원형상으로 형성되고 하측 원주 방향 상에 결합홈이 형성된 상부 결합부를 가지는 부시; 상기 부시에 삽입되도록 타원형태의 링 형상으로 이루어지고, 내측 하부 원주 방향 상에 형성된 돌출편을 가지는 삽입링; 및 상기 부시가 삽입된 캐소드의 상부에 위치된 플레이트를 경유하여 상기 삽입홀에 결합되는 스크류 볼트; 를 포함하되, 상기 부시와 상기 삽입링은 상기 결합홈 및 상기 돌출편을 통해 결합하는 플라즈마 챔버의 캐소드 체결구에 관한 기술이다. Registration no. A bush having an upper coupling portion formed; An insertion ring having an elliptical ring shape so as to be inserted into the bush and having a protruding piece formed in the inner lower circumferential direction; And a screw bolt coupled to the insertion hole via a plate positioned above the cathode into which the bush is inserted. Including, wherein the bush and the insertion ring is a technology related to a cathode fastener of the plasma chamber coupled through the coupling groove and the protruding piece.

상기한 종래 기술들은 각각의 분할된 형태의 부시 조립체 구성들이 전극판의 홈에 삽입되어 고정되는 구조로 이루어져 있으나, 플레이트와 결합 시 볼트에 의해 결합되어 고정됨으로써, 플레이트와 결합 전 충격 등에 의해 전극판에 삽입되는 부시 조립체가 홈에서 이탈될 수밖에 없는 문제점을 갖고 있다. The above-described conventional techniques consist of a structure in which each divided type of bush assembly is inserted into and fixed to the groove of the electrode plate, but when the plate is coupled to the plate, it is coupled and fixed by bolts, so that the electrode plate There is a problem that the bush assembly inserted in the groove is inevitably separated from the groove.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서, 부시, 조립링, 회전방지부재, 고정부재로 유기적인 결합으로 구성되는 부시 조립체를 전극판에 형성된 홈에 끼움할 시, 플레이트와 결합 전 볼트에 의해 부시 조립체가 전극판에 고정되지 않고, 상기 고정부재에 의해 부시, 조립링, 회전방지부재를 1차적으로 고정하도록 구성하여 플레이트와 결합전 부시 조립체의 이탈을 방지하는 한편, 플레이트와 볼트를 통해 결합 시, 상기 부시 조립체가 볼트를 조임하는 방향으로 회전하지 않는 구조를 제공토록 하여 전극판과 플레이트의 견고한 고정력을 향상시킬 수 있도록 하는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 완성해낸 것이다. The present invention has been devised to solve the problems of the prior art, and when a bush assembly consisting of a bush, an assembly ring, an anti-rotation member, and a fixing member is organically coupled into a groove formed in an electrode plate, the plate and The bush assembly is not fixed to the electrode plate by bolts before coupling, and the bush, assembly ring, and rotation preventing member are primarily fixed by the fixing member to prevent separation of the bush assembly before the plate and the plate. Bush for combining the electrode plate and the plate for an etching device that allows the bush assembly to provide a structure that does not rotate in the direction in which the bolt is tightened when combined through the bolt and the electrode plate to improve the rigid fixing power of the electrode plate and the plate. It was completed with the technical task with the focus on providing the assembly and the bonding structure of the electrode plate and the plate.

이에 본 발명은, 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체에 있어서, 외주 상부 내측에 볼트(b)가 체결되는 체결홀(11)이 형성되고, 외주 하부는 외주 상부보다 더 크게 형성되어 에칭장치용 전극판(100)의 홈(110)에 삽입되는 부시(10); 상기 부시(10)를 외측을 감싸며 끼워지되 부시(10)의 하부를 완전히 감싸는 조립링(20); 상기 부시(10)의 외측을 감싸며 끼워지되 상기 조립링(20)의 상부에 끼워져 고정되고, 상부 내측에는 단턱홀(31)이 형성되어 부시(10)에 볼트(b) 체결 시 회전을 방지하기 위한 회전방지부재(30); 상기 단턱홀(31)에 위치하되 부시(10)의 상부에 끼워져 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 고정하는 고정부재(40); 로 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다. Accordingly, in the present invention, in the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate for an etching apparatus, a fastening hole 11 to which the bolt (b) is fastened is formed in the upper outer circumference, and the lower outer circumference is formed larger than the upper outer circumference. A bush 10 inserted into the groove 110 of the electrode plate 100 for an etching apparatus; An assembly ring 20 that surrounds and fits the bush 10, but completely surrounds the lower portion of the bush 10; It wraps around the outside of the bush 10, but is fitted and fixed to the top of the assembly ring 20, and a stepped hole 31 is formed in the upper inner side to prevent rotation when the bolt (b) is fastened to the bush 10. A rotation preventing member 30 for; A fixing member 40 which is located in the stepped hole 31 and is fitted to the upper portion of the bush 10 to fix the bush 10 and the assembly ring 20 and the rotation preventing member 30; It is characterized in that it consists of a technical feature.

상기 조립링(20)의 상부에는 돌출되는 하나 이상의 키(21)가 형성되고, 상기 회전방지부재(30)의 하부에는 상기 키(21)와 대응하는 키홈(33)이 형성되어, 상기 조립링(20)의 키(21)가 회전방지부재(30)의 키홈(33)에 삽입되어 서로 다른 수평방향으로 배치되어 완전히 고정되는 것을 기술적 특징으로 한다. At least one key 21 protruding from the upper portion of the assembly ring 20 is formed, and a key groove 33 corresponding to the key 21 is formed at the lower portion of the rotation preventing member 30, and the assembly ring It is a technical feature that the key 21 of (20) is inserted into the key groove 33 of the rotation preventing member 30 and disposed in different horizontal directions to be completely fixed.

상기 부시(10)는 외부상측(10a)과 외부하측(10b)으로 구분되게 형성되며 외부 상부 내, 외측에는 나사산이 형성되고, 상기 고정부재(40)의 내측에는 나사산이 형성되어 상기 나사산과 회전 결합되는 것을 기술적 특징으로 한다. The bush 10 is formed to be divided into an outer upper side (10a) and an outer lower side (10b), and a thread is formed inside and outside the outer upper side, and a thread is formed inside the fixing member 40 to rotate with the screw thread. It is characterized by being combined.

상기 부시(10)의 상부와 고정부재(40)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(13, 41)이 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다. It is a technical feature that tabs 13 and 41 are formed on both sides facing each other on the upper portion of the bush 10 and the upper portion of the fixing member 40.

상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 기술적 특징으로 한다. The bush assembly is characterized in that it is an insulator or non-insulator.

상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole 중 어느 하나로 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다. The bush assembly is characterized in that it is composed of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole.

에칭장치용 전극판(100)과 플레이트(200)를 결합하기 위한 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조에 있어서, 상기 전극판(100)의 일측에 서로 연장되되 서로 다른 형상의 상부홈(110a)과 하부홈(110b)을 형성하는 홈(110)을 형성하고, 부시(10)의 외주에 조립링(20)을 끼운 후 상기 부시(10)의 외부하측(10a)을 상기 홈(110)으로 삽입하되 하부홈(110b) 바닥부까지 완전히 삽입시킨 다음 일측방향으로 회전시켜 조립링(20)과 함께 홈(110)에서 이탈되지 않도록 구성하며, 상부에 단턱홀(31)을 가지고 상기 상부홈(110a)에 끼워져 부시(10)의 상부 외주를 감싸는 회전방지부재(30)를 구성하되, 상기 조립링(20)의 상부와 고정되도록 구성하고, 상기 단턱홀(31)에 삽입하되, 부시(10)의 외주에 고정부재(40)를 체결 구성하여 상기 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 완전히 고정 구성시키며, 상기 전극판(100)의 상부에 플레이트(200)를 구비하되 결합홀(210)을 부시의 체결홀(11)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성하는 것을 기술적 특징으로 한다. In the coupling structure of the electrode plate and the plate using a bush assembly for coupling the electrode plate 100 and the plate 200 for an etching apparatus, the upper grooves of different shapes extending from each other on one side of the electrode plate 100 ( After forming a groove 110 forming a lower groove 110a and a lower groove 110b, inserting the assembly ring 20 into the outer circumference of the bush 10, the outer lower side 10a of the bush 10 is inserted into the groove 110. ), but completely inserted to the bottom of the lower groove (110b) and then rotated in one direction so as not to be separated from the groove 110 together with the assembly ring 20, and has a stepped hole 31 at the upper It is fitted into the groove (110a) to constitute a rotation preventing member (30) surrounding the upper outer circumference of the bush (10), configured to be fixed to the upper portion of the assembly ring (20), and inserted into the stepped hole (31), The fixing member 40 is fastened to the outer periphery of (10) to completely fix the bush 10, the assembly ring 20, and the rotation preventing member 30, and a plate on the top of the electrode plate 100 ( 200), but it is characterized in that the coupling hole 210 is disposed on the same line with the coupling hole 11 of the bush to be completely fastened with a bolt b.

본 발명에 따른 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조에 의하면, 전극판과 플레이트의 결합을 위한 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 부시 조립체가 간단한 구조로 구성됨에 따라 제작이 용이하고, 부분적인 교체가 가능하여 경제적 효율성이 높으며, 무엇보다, 부시 조립체를 전극판에 결합 시 1차적으로 고정부재에 의해 완전히 고정되어 전극판으로의 충격 등에 의해 부시 조립체의 뒤틀림 및 이탈을 원천적으로 차단하고 플레이트와 결합 시 볼트를 조임하는 방향으로 부시조립체가 회전되지 않게 되어 부시조립체의 파손 및 견고한 고정력을 가질 수 있는 유용한 발명이다. According to the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate for the etching apparatus according to the present invention and the coupling structure of the electrode plate and the plate, while maintaining the original purpose of the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate, the bush assembly It is easy to manufacture as the structure is composed of a simple structure, and economical efficiency is high because partial replacement is possible. Above all, when the bush assembly is combined with the electrode plate, it is primarily completely fixed by the fixing member to prevent impact to the electrode plate. Accordingly, it is a useful invention that prevents twisting and separation of the bush assembly and prevents rotation of the bush assembly in the direction of tightening the bolt when combined with the plate, thereby damaging the bush assembly and having a strong fixing force.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 단면도
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 단면도
도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 사용상태도1 is a perspective view showing a preferred embodiment of the present invention
2 is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention
3 is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention
4 is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention
5 is a cross-sectional view showing a preferred embodiment of the present invention
6 is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention
7 is a plan view and a cross-sectional view showing a preferred embodiment of the present invention
Figure 8 is a state diagram showing a preferred embodiment of the present invention

본 발명은 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 전, 부시 조립체만으로 전극판에 견고하게 1차적으로 고정되어 전극판으로부터 이탈을 방지하는 한편, 플레이트와 결합 시 볼트 조림방향으로 회전되지 않도록 하여 부시 조립체의 파손 및 견고한 고정력을 가질 수 있는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조를 제공한다. In the present invention, before assembling a bush assembly for connecting the electrode plate and the plate by the plate and bolt, it is primarily fixed to the electrode plate with only the bush assembly to prevent separation from the electrode plate, while tightening the bolt when combined with the plate A bush assembly and a coupling structure of the electrode plate and the plate are provided for coupling the electrode plate and the plate for an etching apparatus capable of having a strong fixing force and damage to the bush assembly by preventing rotation in the direction.

이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 8을 참고로 하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the preferred configuration and operation of the present invention for achieving the above object will be described with reference to FIGS. 1 to 8.

우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 1 내지 도 5를 참고하여 살펴보면, 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체에 있어서, 외주 상부 내측에 볼트(b)가 체결되는 체결홀(11)이 형성되고, 외주 하부는 외주 상부보다 더 크게 형성되어 에칭장치용 전극판(100)의 홈(110)에 삽입되는 부시(10); 상기 부시(10)를 외측을 감싸며 끼워지되 부시(10)의 하부를 완전히 감싸는 조립링(20); 상기 부시(10)의 외측을 감싸며 끼워지되 상기 조립링(20)의 상부에 끼워져 고정되고, 상부 내측에는 단턱홀(31)이 형성되어 부시(10)에 볼트(b) 체결 시 회전을 방지하기 위한 회전방지부재(30); 상기 단턱홀(31)에 위치하되 부시(10)의 상부에 끼워져 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 고정하는 고정부재(40); 로 구성된다. First, prior to describing the present invention, a configuration thereof will be described with reference to FIGS. 1 to 5. In a bush assembly for coupling an electrode plate and a plate for an etching apparatus, a fastening hole in which a bolt (b) is fastened to an upper inner side of an outer circumference (11) is formed, the outer circumferential lower portion is formed larger than the outer circumferential upper portion of the bush 10 inserted into the groove 110 of the electrode plate 100 for the etching apparatus; An assembly ring 20 that surrounds and fits the bush 10, but completely surrounds the lower portion of the bush 10; It wraps around the outside of the bush 10, but is fitted and fixed to the top of the assembly ring 20, and a stepped hole 31 is formed in the upper inner side to prevent rotation when the bolt (b) is fastened to the bush 10. A rotation preventing member 30 for; A fixing member 40 which is located in the stepped hole 31 and is fitted to the upper portion of the bush 10 to fix the bush 10 and the assembly ring 20 and the rotation preventing member 30; Consists of

상기 부시(10)는 도 2, 3, 4, 5, 6에 도시된 바와 같이 실질적으로 전극판(100)의 홈(110)에 삽입되는 것으로써, 외부상측(10a)과 외부하측(10b)으로 구분되게 형성되며 외부 상부 내, 외측에는 나사산이 형성되어, 내측에는 플레이트(200)와의 결합을 위해 사용되는 볼트와 체결되고, 외측에는 부시(10), 조립링(20), 회전방지부재(30)의 고정을 위한 고정부재(40)가 체결된다. The bush 10 is substantially inserted into the groove 110 of the electrode plate 100 as shown in FIGS. 2, 3, 4, 5, and 6, and the outer upper side 10a and the outer lower side 10b It is formed to be divided into, the outer upper inner and outer threads are formed, the inner side is fastened with a bolt used for coupling with the plate 200, and the outer side is a bush 10, an assembly ring 20, a rotation preventing member ( A fixing member 40 for fixing 30) is fastened.

한편, 도 2 또는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 부시(10)의 외부 상측(10a)과 외부 하측(10b)은 그 형상 및 구조가 상이하게 형성되는데, 즉, 외부 상측(10a)은 원형의 형상으로 형성되고, 외부 하측(10b)은 타원형으로 형성되게 된다. 이러한 부시(10)의 외형은 도 7에 도시된 바와 같이 전극판(100)의 홈(110)이 상부홈(110a)과 하부홈(110b)이 서로 상이하게 형성되는데, 상기 상부홈(110a)은 타원형으로 형성되고, 상기 하부홈(110b)은 원형으로 형성됨에 따라, 상기 부시(10)가 홈(110)에 삽입되어야 함으로써, 하부가 타원형으로 형성되어 상기 홈(110)에 순차적으로 삽입되게 구성된다. On the other hand, as shown in Figure 2 or 4, the outer upper side (10a) and the outer lower side (10b) of the bush 10 are formed in different shapes and structures, that is, the outer upper side (10a) is circular It is formed in a shape, and the outer lower side 10b is formed in an elliptical shape. The outer shape of the bush 10 is that the groove 110 of the electrode plate 100 is formed differently from the upper groove 110a and the lower groove 110b, as shown in FIG. 7, and the upper groove 110a Is formed in an elliptical shape, and the lower groove 110b is formed in a circular shape, so that the bush 10 has to be inserted into the groove 110, so that the lower portion is formed in an elliptical shape to be sequentially inserted into the groove 110. Is composed.

상기 조립링(20)은 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 부시(10)를 감싸며 끼워지되, 하부에 상기 부시(10)의 외부하측(10b)을 완전히 감쌀 수 있도록 형성되고, 상부 양측에는 상기 회전방지부재(30)가 상측에 안착되어 완전히 고정될 수 있는 키(21)가 형성된다. The assembly ring 20 is fitted while surrounding the bush 10 as shown in FIGS. 1 to 5, and is formed to completely wrap the outer lower side 10b of the bush 10 at the lower side, and both sides of the upper side The rotation preventing member 30 is seated on the upper side and a key 21 capable of being completely fixed is formed.

상기 회전방지부재(30)는 도 2 또는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 부싱(10)의 외주를 감싸며 끼움 구성되되, 상부에 상기 고정부재(40)가 인입될 수 있는 단턱홀(31)이 형성되고, 하부 양측에는 상기 조립링(20)의 키(21)와 대응되는 형상의 키홈(33)이 형성되어, 최종적으로 상기 키홈(33)에 키(21)가 완전히 맞물려지도록 구성된다. The rotation preventing member 30 is configured to surround and fit the outer circumference of the bushing 10, as shown in FIG. 2 or 5, and there is a stepped hole 31 through which the fixing member 40 can be inserted. It is formed, and the key groove 33 of the shape corresponding to the key 21 of the assembly ring 20 is formed on both sides of the bottom, and is finally configured to completely engage the key 21 with the key groove 33.

이때, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 회전방지부재(30)가 부시(10)를 감싸며 끼워져 상기 조립링(20)에 끼워져 고정되되 상기 조립링(20)과 서로 다른 수평방향으로 배치되어 완전히 고정되게 된다. At this time, as shown in Figs. 1 to 3, the rotation preventing member 30 is wrapped around the bush 10 and fitted and fixed to the assembly ring 20, but disposed in a horizontal direction different from the assembly ring 20 Is completely fixed.

이러한 상기 회전방지부재(30)의 배치구조의 경우, 하기될 전극판(100)과 플레이트(200)를 결합하기 위해 부시조립체를 구성함에 있어서, 상기 부시(10)와 조립링(20)은 최초 투입방향에서 90°각도로 회전시켜야 하기 때문이며, 상기 회전방지부재(30)가 상기 조립링(20)에 완전히 고정되는 이유는 조립링(20)과의 고정과 더불어, 플레이트(200)를 전극판(100)과 결합 시 볼트(b) 조임에 의해 부시조립체가 회전하는 것을 원천적으로 차단하기 위함이다. In the case of the arrangement structure of the rotation preventing member 30, in configuring the bush assembly to couple the electrode plate 100 and the plate 200 to be described below, the bush 10 and the assembly ring 20 are first This is because it must be rotated at an angle of 90° in the input direction, and the reason why the rotation preventing member 30 is completely fixed to the assembly ring 20 is fixed to the assembly ring 20 and the plate 200 is an electrode plate. This is to fundamentally block the rotation of the bush assembly by tightening the bolt (b) when combined with (100).

한편, 상기 고정부재(40)는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 회전방지부재(30)의 단턱홀(31) 위치되되 상기 부시(10)의 외부상측(10a)에 끼움 또는 회전결합되어 상기 부시(10), 조립링(20) 및 회전방지부재(30)가 상호간에 이탈되는 것을 방지하도록 하기 위한 너트 개념의 구조이다. On the other hand, the fixing member 40 is positioned in the stepped hole 31 of the rotation preventing member 30 as shown in Figs. 1 to 5, but fitted to the outer upper side (10a) of the bush 10 or rotationally coupled It is a structure of a nut concept to prevent the bush 10, the assembly ring 20, and the rotation preventing member 30 from being separated from each other.

즉, 부시(10)는 볼트의 역할을 수행하고, 상기 고정부재(40)는 너트의 역할을 수행하게 되어, 그 사이에 조립링(20)과 회전방지부재(30)가 위치되어 고정되게 된다. That is, the bush 10 serves as a bolt, and the fixing member 40 serves as a nut, so that the assembly ring 20 and the rotation preventing member 30 are positioned and fixed therebetween. .

이때, 상기 고정부재(40)의 내측에는 나사산이 형성되어 상기 나사산과 회전 결합될 수 가 있으며, 본 발명에서는 별도의 나사산은 도시하진 않았다. In this case, a screw thread is formed inside the fixing member 40 so that it can be rotationally coupled to the screw thread, and a separate thread is not shown in the present invention.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 부시(10)의 상부와 고정부재(40)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(13, 41)이 형성되어, 별도의 드라이버와 같은 공구 등을 이용하여서 상기 부시(10)를 전극판(100)의 홈(110)에 넣은 후 90°각도로 회전 시 용이하게 회전이 가능한 한편, 상기 고정부재(40)를 상기 부시(10)의 외부상측(10a)에 조립 시 나사산이 형성되어 있어, 강한 조임 시 필수적인 구성으로써, 고정부재(40)의 견고한 조임을 통해 각각의 구성들이 견고한 고정력을 가질 수가 있다. In addition, as shown in FIG. 1, tabs 13 and 41 are formed on both sides facing each other on the upper part of the bush 10 and the upper part of the fixing member 40, so that a separate tool such as a driver is provided. The bush 10 can be easily rotated when it is rotated at a 90° angle after inserting the bush 10 into the groove 110 of the electrode plate 100, while the fixing member 40 is placed on the outer upper side of the bush 10 ( Since the screw thread is formed when assembling in 10a), it is an essential configuration for strong tightening, and each of the configurations can have a solid fixing force through the solid tightening of the fixing member 40.

또한, 본 발명의 부시 조립체는 실질적으로 전극판(100)과 플레이트(200)를 결합하기 위한 별도의 구성품으로써, 절연체 또는 비절연체로 형성될 수가 있다. In addition, the bush assembly of the present invention is a separate component for substantially coupling the electrode plate 100 and the plate 200, and may be formed of an insulator or a non-insulator.

또한, 상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole 중 어느 하나로 구성될 수가 있다. In addition, the bush assembly may be composed of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, and Cerazole.

상기한 바와 같은 부시조립체를 이용한 에칭장치용 전극판(100)과 플레이트(200)를 결합하기 위한 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조를 보면, Looking at the coupling structure of the electrode plate and the plate using a bush assembly for coupling the electrode plate 100 and the plate 200 for the etching apparatus using the bush assembly as described above,

먼저, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이 상기 전극판(100)의 일측에 서로 연장되되 서로 다른 형상의 상부홈(110a)과 하부홈(110b)을 형성하는 홈(110)을 형성하고, 부시(10)의 외주에 조립링(20)을 끼운 후 상기 부시(10)의 외부하측(10a)을 상기 홈(110)으로 삽입하되 하부홈(110b) 바닥부까지 완전히 삽입시킨 다음 일측방향으로 회전시켜 조립링(20)과 함께 홈(110)에서 이탈되지 않도록 구성하며, 상부에 단턱홀(31)을 가지고 상기 상부홈(110a)에 끼워져 부시(10)의 상부 외주를 감싸는 회전방지부재(30)를 구성하되, 상기 조립링(20)의 상부와 고정되도록 구성하고, 상기 단턱홀(31)에 삽입하되, 부시(10)의 외주에 고정부재(40)를 체결 구성하여 상기 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 완전히 고정 구성시키며, 상기 전극판(100)의 상부에 플레이트(200)를 구비하되 결합홀(210)을 부시의 체결홀(11)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성한다. First, as shown in FIGS. 6 to 8, a groove 110 extending from one side of the electrode plate 100 to form an upper groove 110a and a lower groove 110b having different shapes is formed, After inserting the assembly ring 20 into the outer circumference of the bush 10, insert the outer lower side (10a) of the bush 10 into the groove 110, but completely insert it to the bottom of the lower groove (110b) and then in one direction. It is configured to rotate so as not to be separated from the groove 110 together with the assembly ring 20, and has a stepped hole 31 at the top and is inserted into the upper groove 110a to surround the upper outer circumference of the bush 10 ( 30), but configured to be fixed with the upper portion of the assembly ring 20, inserted into the stepped hole 31, and configured to fasten the fixing member 40 to the outer periphery of the bush 10 ), the assembly ring 20, and the rotation preventing member 30 are completely fixed, and a plate 200 is provided on the upper portion of the electrode plate 100, but the coupling hole 210 is provided with the fastening hole 11 of the bush. Arranged on the same line and configured to be completely fastened with bolts (b).

이러한 전극판(100)과 플레이트(200)의 결합구조는 별도로 도시하진 않았지만, 통상적으로 전극판(100)의 일측에 일정간격 이격된 형태로 다수의 홈(110)을 형성하고, 플레이트(200)에는 상기 홈(110)과 대응하는 위치에 각각의 결합홀(210)을 형성한 후, 상기 홈(110)과 결합홀(210)의 개수에 맞춰 각각의 부시 조립체를 구성하여서, 볼트(b)를 이용하여 상호 결합하게 되어 상기 플레이트(200) 또는 전극판(100)의 이탈을 원천적으로 차단할 수가 있고, 내구성 또한 향상시킬 수가 있게 된다. Although the coupling structure of the electrode plate 100 and the plate 200 is not separately shown, a plurality of grooves 110 are formed in a form spaced at a predetermined interval on one side of the electrode plate 100, and the plate 200 After forming each coupling hole 210 at a position corresponding to the groove 110, each bush assembly is configured according to the number of the groove 110 and the coupling hole 210, and the bolt (b) By combining them with each other, it is possible to fundamentally block the separation of the plate 200 or the electrode plate 100, and also improve durability.

본 발명에 따른 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조에 의하면, 전극판과 플레이트의 결합을 위한 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 부시 조립체가 간단한 구조로 구성됨에 따라 제작이 용이하고, 부분적인 교체가 가능하여 경제적 효율성이 높으며, 무엇보다, 부시 조립체를 전극판에 결합 시 1차적으로 고정부재에 의해 완전히 고정되어 전극판으로의 충격 등에 의해 부시 조립체의 뒤틀림 및 이탈을 원천적으로 차단하고 플레이트와 결합 시 볼트를 조임하는 방향으로 부시조립체가 회전되지 않게 되어 부시조립체의 파손 및 견고한 고정력을 가질 수 있는 유용한 발명이다. According to the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate for the etching apparatus according to the present invention and the coupling structure of the electrode plate and the plate, while maintaining the original purpose of the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate, the bush assembly It is easy to manufacture as the structure is composed of a simple structure, and economical efficiency is high because partial replacement is possible. Above all, when the bush assembly is combined with the electrode plate, it is primarily completely fixed by the fixing member to prevent impact to the electrode plate. Accordingly, it is a useful invention that prevents twisting and separation of the bush assembly and prevents rotation of the bush assembly in the direction of tightening the bolt when combined with the plate, thereby damaging the bush assembly and having a strong fixing force.

10 : 부시 10a : 외부상측 10b : 외부하측
11 : 체결홀 13 : 탭
20 : 조립링 21 : 키
30 : 회전방지부재 31 : 단턱홀 33 : 키홈
40 : 고정부재 41 : 탭
100 : 전극판 110 : 홈 110a : 상부홈
110b : 하부홈
200 : 플레이트 210 : 결합홀
b : 볼트10: bush 10a: outer upper side 10b: outer lower side
11: fastening hole 13: tap
20: assembly ring 21: key
30: rotation preventing member 31: stepped hole 33: keyway
40: fixing member 41: tab
100: electrode plate 110: groove 110a: upper groove
110b: lower groove
200: plate 210: coupling hole
b: bolt

Claims (7)

에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체에 있어서,
외주 상부 내측에 볼트(b)가 체결되는 체결홀(11)이 형성되고, 외주 하부는 외주 상부보다 더 크게 형성되어 에칭장치용 전극판(100)의 홈(110)에 삽입되는 부시(10);
상기 부시(10)를 외측을 감싸며 끼워지되 부시(10)의 하부를 완전히 감싸는 조립링(20);
상기 부시(10)의 외측을 감싸며 끼워지되 상기 조립링(20)의 상부에 끼워져 고정되고, 상부 내측에는 단턱홀(31)이 형성되어 부시(10)에 볼트(b) 체결 시 회전을 방지하기 위한 회전방지부재(30);
상기 단턱홀(31)에 위치하되 부시(10)의 상부에 끼워져 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 고정하는 고정부재(40); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
In the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate for an etching apparatus,
A fastening hole 11 to which the bolt (b) is fastened is formed in the upper inner side of the outer periphery, and the lower outer periphery is formed larger than the upper outer periphery and is inserted into the groove 110 of the electrode plate 100 for the etching apparatus. ;
An assembly ring 20 that surrounds and fits the bush 10, but completely surrounds the lower portion of the bush 10;
It wraps around the outside of the bush 10, but is fitted and fixed to the top of the assembly ring 20, and a stepped hole 31 is formed in the upper inner side to prevent rotation when the bolt (b) is fastened to the bush 10. A rotation preventing member 30 for;
A fixing member 40 which is located in the stepped hole 31 and is fitted to the upper portion of the bush 10 to fix the bush 10 and the assembly ring 20 and the rotation preventing member 30; Bush assembly for coupling the plate and the electrode plate for an etching apparatus, characterized in that consisting of.
 제 1항에 있어서,
상기 조립링(20)의 상부에는 돌출되는 하나 이상의 키(21)가 형성되고,
상기 회전방지부재(30)의 하부에는 상기 키(21)와 대응하는 키홈(33)이 형성되어,
상기 조립링(20)의 키(21)가 회전방지부재(30)의 키홈(33)에 삽입되어 서로 다른 수평방향으로 배치되어 완전히 고정되는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
The method of claim 1,
One or more keys 21 protruding are formed on the upper part of the assembly ring 20,
A key groove 33 corresponding to the key 21 is formed in the lower portion of the rotation preventing member 30,
Combining the electrode plate and the plate for an etching apparatus, characterized in that the key 21 of the assembly ring 20 is inserted into the key groove 33 of the rotation preventing member 30 and disposed in different horizontal directions to be completely fixed. For bush assembly.
 제 1항에 있어서,
상기 부시(10)는 외부상측(10a)과 외부하측(10b)으로 구분되게 형성되며 외부 상부 내, 외측에는 나사산이 형성되고,
상기 고정부재(40)의 내측에는 나사산이 형성되어 상기 나사산과 회전 결합되는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
The method of claim 1,
The bush 10 is formed to be divided into an outer upper side (10a) and an outer lower side (10b), and the outer upper inner and outer threads are formed,
A bush assembly for coupling an electrode plate and a plate for an etching apparatus, characterized in that a screw thread is formed inside the fixing member 40 to be rotationally coupled to the screw thread.
 제 1항에 있어서,
상기 부시(10)의 상부와 고정부재(40)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(13, 41)이 형성되는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판의 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
The method of claim 1,
A bush assembly for combining the plate of the electrode plate for an etching apparatus, characterized in that tabs 13 and 41 are formed on both sides facing each other on the upper portion of the bush 10 and the upper portion of the fixing member 40.
 제 1항에 있어서,
상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판의 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
The method of claim 1,
The bush assembly is a bush assembly for joining the plate of the electrode plate for an etching apparatus, characterized in that the insulator or non-insulator.
 제 1항에 있어서,
상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판의 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체.
The method of claim 1,
The bush assembly is a bush assembly for bonding the plate of the electrode plate for an etching apparatus, characterized in that consisting of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole.
 에칭장치용 전극판(100)과 플레이트(200)를 결합하기 위한 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조에 있어서,
상기 전극판(100)의 일측에 서로 연장되되 서로 다른 형상의 상부홈(110a)과 하부홈(110b)을 형성하는 홈(110)을 형성하고,
부시(10)의 외주에 조립링(20)을 끼운 후 상기 부시(10)의 외부하측(10a)을 상기 홈(110)으로 삽입하되 하부홈(110b) 바닥부까지 완전히 삽입시킨 다음 일측방향으로 회전시켜 조립링(20)과 함께 홈(110)에서 이탈되지 않도록 구성하며,
상부에 단턱홀(31)을 가지고 상기 상부홈(110a)에 끼워져 부시(10)의 상부 외주를 감싸는 회전방지부재(30)를 구성하되, 상기 조립링(20)의 상부와 고정되도록 구성하고,
상기 단턱홀(31)에 삽입하되, 부시(10)의 외주에 고정부재(40)를 체결 구성하여 상기 부시(10)와 조립링(20) 및 회전방지부재(30)를 완전히 고정 구성시키며,
상기 전극판(100)의 상부에 플레이트(200)를 구비하되 결합홀(210)을 부시의 체결홀(11)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조.In the coupling structure of the electrode plate and the plate using a bush assembly for coupling the electrode plate 100 and the plate 200 for an etching apparatus,
A groove 110 extending from one side of the electrode plate 100 to form an upper groove 110a and a lower groove 110b having different shapes is formed,
After inserting the assembly ring 20 into the outer circumference of the bush 10, insert the outer lower side (10a) of the bush 10 into the groove 110, but completely insert it to the bottom of the lower groove (110b) and then in one direction. It is configured so as not to be separated from the groove 110 with the assembly ring 20 by rotating,
It has a stepped hole 31 at the top and is fitted into the upper groove 110a to constitute a rotation preventing member 30 surrounding the upper outer circumference of the bush 10, but configured to be fixed to the upper part of the assembly ring 20,
Inserted into the stepped hole 31, but configured to fasten the fixing member 40 to the outer circumference of the bush 10 to completely fix the bush 10, the assembly ring 20, and the rotation preventing member 30,
Etching characterized in that the plate 200 is provided on the top of the electrode plate 100, but the coupling hole 210 is arranged on the same line with the fastening hole 11 of the bush to be completely fastened with a bolt b. A combination structure of an electrode plate and a plate using a bush assembly for connecting the electrode plate and the plate for a device.
KR1020190030979A 2019-03-19 2019-03-19 A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate KR102195927B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190030979A KR102195927B1 (en) 2019-03-19 2019-03-19 A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190030979A KR102195927B1 (en) 2019-03-19 2019-03-19 A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200111373A true KR20200111373A (en) 2020-09-29
KR102195927B1 KR102195927B1 (en) 2020-12-28

Family

ID=72661213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190030979A KR102195927B1 (en) 2019-03-19 2019-03-19 A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102195927B1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102382595B1 (en) * 2021-10-05 2022-04-04 주식회사 일강케이스판 A sInsulation module for solar panel roof assembled using rotary coupling member and assembly method thereof
KR102409256B1 (en) * 2021-12-31 2022-06-15 (주)코마테크놀로지 Bush assembly for upper cathode electrode plate of semiconductor etch equipment with stress dispersion structure
KR20220090245A (en) * 2020-12-22 2022-06-29 (주)원세미콘 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof
KR102422370B1 (en) * 2021-10-19 2022-07-20 주식회사 애플트리 Method for fastening of 12-inch silicon electrode used in semiconductor etching process equipment
KR20220141622A (en) * 2021-04-13 2022-10-20 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
KR20220148024A (en) * 2021-04-28 2022-11-04 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101514397B1 (en) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) Bush assembly cathode Electrode Plate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101514397B1 (en) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) Bush assembly cathode Electrode Plate

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220090245A (en) * 2020-12-22 2022-06-29 (주)원세미콘 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof
KR20220141622A (en) * 2021-04-13 2022-10-20 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
KR20220148024A (en) * 2021-04-28 2022-11-04 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
KR102382595B1 (en) * 2021-10-05 2022-04-04 주식회사 일강케이스판 A sInsulation module for solar panel roof assembled using rotary coupling member and assembly method thereof
KR102422370B1 (en) * 2021-10-19 2022-07-20 주식회사 애플트리 Method for fastening of 12-inch silicon electrode used in semiconductor etching process equipment
KR102409256B1 (en) * 2021-12-31 2022-06-15 (주)코마테크놀로지 Bush assembly for upper cathode electrode plate of semiconductor etch equipment with stress dispersion structure
KR20230103824A (en) * 2021-12-31 2023-07-07 (주)코마테크놀로지 Combination structure of upper cathode electrode plate and plate for semiconductor etching equipment having a stress dispersion structure

Also Published As

Publication number Publication date
KR102195927B1 (en) 2020-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102195927B1 (en) A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate
KR102128596B1 (en) Bush assembly for plasma electric plate and electrode assembling structure including the same
JP3219263U (en) Torque transmission device in which torque input end and torque output end are electrically insulated, its mounting parts, and torque transmission shaft unit
KR101113987B1 (en) Coupler for cathode combination
KR102073773B1 (en) Assembly type upper electrode structure with improved alignment
KR101980255B1 (en) Bush assembling structure for cathode electric plate and upper electrode assembly including the same
KR102115385B1 (en) Interlocking fastening upper electrode assembly with improved tightening power
KR102269883B1 (en) Bush assembly for plasma electric plate and upper electrode assembling structure including the same
KR102076311B1 (en) Double structure bolt with improved tightening force between upper electrode and shower head
US6897584B2 (en) High power terminal block assembly for generators and method of assembling and installing the same
US6665140B1 (en) Conductive lock washer
KR101964032B1 (en) Terminal apparatus for pad mounted transformer
JP3947745B2 (en) Spoke fixing structure
KR102498896B1 (en) Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
KR102562444B1 (en) Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
WO2021047000A1 (en) Device for filling gaps between sections of sectioned motor
KR102409253B1 (en) Combination structure of upper cathode electrode plate and plate of semiconductor etching equipment
KR102409256B1 (en) Bush assembly for upper cathode electrode plate of semiconductor etch equipment with stress dispersion structure
JP5623215B2 (en) Socket for bolt tightening
CN202522245U (en) Rotary encoder
KR101258523B1 (en) Rotor disk adapter
WO2023167459A1 (en) Fixing-type anti-loosening fastening structure
JP7043432B2 (en) Fastening fixture and fastening structure
KR20230174608A (en) Combining structure of the plasma shower head for the fastening force improvement and annealing prevention and gas distribution plate
KR101490407B1 (en) Plasma treatment apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant