KR102076311B1 - Double structure bolt with improved tightening force between upper electrode and shower head - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 샤워 헤드의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부 볼트를 일체형 타입으로 구비하게 되어 샤워 헤드에 전달되는 부하를 최소화하고 부쉬체를 삽입할 필요가 없어 부쉬의 회전을 강제적으로 막기 위한 고정링이나 핀을 사용하지 않아 고정링에 의한 파손 방지 및 부품비를 절감할 수 있는 샤워 헤드의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트에 관한 것이다.The present invention relates to a double-structured bolt to improve the tightening force of the shower head, and more particularly to the upper bolt as an integral type to minimize the load transmitted to the shower head and does not need to insert the bush body rotation of the bush The present invention relates to a double-structured bolt that improves the tightening force of the shower head, which does not use a fixing ring or a pin to forcibly prevent the damage, and prevents damage caused by the fixing ring and reduces component costs.
일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드(샤워헤드)가 구비된다.In general, a plasma apparatus used for etching a semiconductor wafer is installed horizontally with a wafer mainly positioned on an anode inside a plasma chamber, injecting a reaction gas through a plurality of holes formed therein, and applying a high frequency voltage to the wafer. A cathode (shower head) is provided to generate a plasma required for etching.
종래에 따르면 상기한 샤워헤드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되고 있는 바, 이러한 볼트 체결에서는 샤워 헤드와, 챔버 내부의 플레이트에 각각 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구를 형성하여, 상기 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성된다.According to the related art, the shower head is mainly coupled through a bolt on a plate inside the plasma chamber. In such bolting, a shower head and a plurality of bolt insertion holes formed with threads are formed in the plate inside the chamber, respectively. The bolt insertion port is configured to be coupled by inserting a bolt after matching up and down.
이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동에 의해 볼트체결구의 나사산의 손상이 발생되어 고가의 샤워 헤드를 소모시키게 되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사 결합의 풀림에 의해 샤워 헤드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 발생하였다.In the bolt fastening structure, the screw thread of the bolt fastener is damaged by the flow of the bolt generated in the high pressure plasma environment, which consumes an expensive shower head, and the shower head and the plate are loosened by loosening the screw. There was a problem in that a gap occurred to deteriorate the performance of the wafer etching process.
한편, 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로서, 샤워 헤드에 원형의 통공을 형성하고, 상기 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 상기 부시의 외측과 캐소드의 통공의 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 상기 부시에 나사 결합으로 상호 결합시키도록 구성하여 나사 결합부의 손상의 발생을 억제하고, 손상 발생 시에는 상기한 부시만을 교환하여 사용할 수 있도록 하는 구성이 적용되었다.On the other hand, as a method for solving this problem, a circular through hole is formed in the shower head, and is inserted between the bush fixedly inserted by the step inside the through hole, and between the outside of the bush and the inside of the through hole of the cathode. After the assembly ring is provided, the plate of the plasma chamber is inserted to connect the subsequent assembly screws to the bushes by screwing to suppress the occurrence of damage of the screw joints. A configuration has been applied to make this possible.
그러나, 상기 구성에서도 샤워 헤드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상을 발생시키는 문제점이 있었으며, 일반적인 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 시 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 샤워 헤드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점을 여전히 갖게 된다.However, even in the above configuration, there is a problem in that the bush inserted into the through hole of the shower head is in contact with the side of the through hole to cause damage. Like the general bolt coupling structure, the screw with the assembly screw when the bush flows in the wafer etching process There is still a problem that the bond is broken to create a gap between the shower head and the plate, thereby lowering the etching performance.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 샤워 헤드와 상부 지지플레이트에 삽입되는 볼트를 일체형 구조로 체결함으로써 샤워 헤드에 부쉬체를 삽입하지 않고 별도의 고정링이 필요하지 않아 제품의 안정성을 향상시키고 샤워 헤드에 전달되는 부하를 최소화하여 파손을 방지할 수 있어 사용자에게 신뢰감을 높일 수 있는 샤워 헤드와 상부 지지플레이드 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, the object is to fasten the bolts inserted into the shower head and the upper support plate in an integrated structure, a separate fixing ring is required without inserting a bushing body in the shower head It is possible to prevent damage by improving the stability of the product and minimizing the load delivered to the shower head, thereby providing a double structure bolt that improves the tightening force between the shower head and the upper support plate, which can increase the user's confidence. .
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 샤워 헤드의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트는 샤워 헤드의 체결홈에 삽입되는 이탈방지너트와, 상기 샤워 헤드의 체결홈에 조립되고 이탈방지너트의 외부에 끼워지는 인서트 볼트와, 상기 인서트 볼트의 내측 상부에 끼워지고 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 하는 논슬립 너트와, 상기 샤워 헤드의 상부에 구비되는 상부 지지플레이트를 고정시키기 위해 상부 지지플레이트의 삽입부 내부를 통해 이탈방지너트와 조립되는 논슬립 볼트를 포함할 수 있다.The dual structure bolt which improves the fastening force of the shower head according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a release preventing nut is inserted into the fastening groove of the shower head, and assembled into the fastening groove of the shower head and the anti-separation nut An upper support plate for fixing an insert bolt fitted to an outer side of the insert, a non-slip nut fitted to an inner upper portion of the insert bolt and preventing rotation of the insert bolt, and an upper support plate provided on the shower head. It may include a non-slip bolt that is assembled with the separation prevention nut through the inside of the insertion portion.
상기 인서트 볼트의 상부 내측면은 타원이나 사각 형태로 형성되며, 상기 논슬립 너트의 외부는 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트의 내측면과 동일한 형태의 타원이나 사각 형태로 형성될 수 있다.The upper inner surface of the insert bolt is formed in an ellipse or square shape, the outside of the non-slip nut may be formed in the ellipse or square shape of the same shape as the inner surface of the insert bolt to prevent the rotation of the insert bolt.
상기 인서트 볼트와 논슬립 볼트 사이에는 와셔부가 체결되되 상기 와셔부는 복수개의 스프링 와셔와 평와셔로 이루어질 수 있다.The washer part is fastened between the insert bolt and the non-slip bolt, but the washer part may include a plurality of spring washers and flat washers.
상기 논슬립 볼트는 이탈방지너트의 내부에 형성되는 암나사산에 체결되기 위해 숫나사산이 형성된 몸체부와, 상기 몸체부에 구비되되 상부 내면으로 논슬립 볼트를 삽입부로 삽입시켜 이탈방지너트에 체결시키기 위해 체결공구가 끼워질 수 있도록 공구삽입홈이 형성된 머리부로 이루어질 수 있다.The non-slip bolt is a fastening tool for fastening to the anti-separation nut by inserting the non-slip bolt into the insert portion into the upper portion of the body portion and the body portion is formed in the male portion to be fastened to the female thread formed in the departure prevention nut. It may be made of a head portion formed with a tool insertion groove so that it can be fitted.
상기 인서트 볼트는 SUS나 하스텔로이의 금속재로 이루어질 수 있다.The insert bolt may be made of a metal material of SUS or Hastelloy.
상기 이탈방지너트의 외표면에는 샤워 헤드의 실리콘 보다 경도 및 강도가 약한 PBI(폴리벤지미다졸, Polybenzimidozole), PTEF, PI(폴리이미드), PEEK(Polyetheretherketone) 중 어느 하나의 합성수지재가 코팅처리될 수 있다.The outer surface of the anti-separation nut may be coated with a synthetic resin material of any one of PBI (Polybenzimidazole, Polybenzimidozole), PTEF, PI (Polyimide), and PEEK (Polyetheretherketone), which are weaker in hardness and strength than silicon in the shower head. have.
상기 인서트 볼트와 논슬립 볼트의 몸체부 사이에는 열팽창에 의한 이탈을 방지할 수 있도록 공간부가 형성될 수 있다.A space portion may be formed between the insert bolt and the body portion of the non-slip bolt to prevent the separation due to thermal expansion.
상기 체결홈과 삽입부는 동일한 내경으로 이루어져 이탈방지너트와 인서트 볼트 및 논슬립 볼트가 서로 일체로 연결된 상태에서 이탈방지너트와 인서트 볼트가 삽입부를 통과하여 체결홈으로 체결될 수 있다.The fastening groove and the insert part may have the same inner diameter, and the release preventing nut and the insert bolt may be fastened to the fastening groove through the insertion part while the release preventing nut, the insert bolt, and the non-slip bolt are integrally connected to each other.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트에 의하면, 샤워 헤드의 체결홈과 상부 지지플레이트의 삽입부가 동일한 내경으로 이루어져 이탈방지너트에 인서트 볼트 및 논슬립 볼트가 결합된 상태에서 이탈방지너트와 인서트 볼트가 삽입부를 통과하여 체결홈으로 체결됨으로써 종래와 같이 샤워 헤드에 삽입되는 부쉬체를 삽입하지 않게 되어 샤워 헤드의 형상을 간소화시키고 부화를 최소화할 수 있으며 열팽창에 의한 이탈을 방지하여 제품의 안정성을 극대화할 수 있다.As described above, according to the dual structure bolt which improves the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention, the insertion groove of the shower head and the insertion part of the upper support plate have the same inner diameter, and the insert bolt and Since the non-slip bolt is coupled to the release preventing nut and the insert bolt through the insertion part and fastened to the fastening groove, the bush body inserted into the shower head is not inserted as in the prior art, thereby simplifying the shape of the shower head and minimizing hatching. Also, it can maximize the stability of the product by preventing the separation by thermal expansion.
도 1은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 분해사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 결합사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 절단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 설치되기전 상태를 도시한 절단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 설치상태를 도시한 절단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 다른 일 예를 도시한 분해사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a double structural bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing a state before the installation of the double-structured bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating an installation state of a double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
6 is an exploded perspective view showing another example of the double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.In the drawings, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but are exaggerated for clarity. Although specific terms have been used in the present specification, they are used for the purpose of describing the present invention and are not used to limit the scope of the present invention as defined in the meaning or the claims.
본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는/결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.The expression 'and / or' is used herein to mean at least one of the components listed before and after. In addition, the expression 'connected / combined' is used in the sense of including directly connected to or indirectly connected to other components. In this specification, the singular forms also include the plural unless specifically stated otherwise in the phrases. Also, as used herein, components, steps, operations, and elements referred to as 'comprising' or 'comprising' refer to the presence or addition of one or more other components, steps, operations, and elements.
실시 예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 측(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, each layer (film), region, pattern or structures may be “top” or “under” the substrate, each side (film), region, pad or pattern. "Formed" includes all that are formed directly or through another layer. Criteria for the top / bottom or bottom / bottom of each layer are described with reference to the drawings.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 분해사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 결합사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트를 도시한 절단면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 설치되기전 상태를 도시한 절단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 설치상태를 도시한 절단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트의 다른 일 예를 도시한 분해사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention, Figure 2 is a double structure to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention 3 is a perspective view showing the bolt, Figure 3 is a cross-sectional view showing a double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention, Figure 4 is a shower head and the upper support plate according to the present invention 5 is a cross-sectional view showing a state before the installation of the double structure bolt to improve the fastening force between, Figure 5 is a cut surface showing the installation state of the double structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention. 6 is a diagram of a double-structured bolt having improved fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention. It illustrates an example is an exploded perspective view.
도 1 내지 도 5도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트는 이탈방지너트(100)와, 인서트 볼트(200)와, 논슬립 너트(300)와, 논슬립 볼트(400)와, 와셔부(500)를 포함하게 된다.As shown in Figures 1 to 5, the dual structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate according to the present invention is the
상기 이탈방지너트(100)는 샤워 헤드(10)의 체결홈(11)에 삽입되어지게 된다.The
또한, 상기 이탈방지너트(100)의 바닥면 외경은 체결홈(11)의 내경과 동일한 넓이로 이루어지게 된다.In addition, the outer diameter of the bottom surface of the
상기 이탈방지너트(100)는 하부에 체결홈(11)의 내벽면에 밀착되게 삽입되는 바닥판(110)이 구비되고, 상기 바닥판(110)의 상부를 향해 연장되게 끼움부(120)가 구비되어지게 된다.The
또한, 상기 끼움부(120)의 내부에는 논슬립 볼트(400)가 나사 체결될 수 있도록 암나사산(121)이 형성되게 된다.In addition, the
그리고, 상기 이탈방지너트(100)의 외표면에는 샤워 헤드(10)의 실리콘 보다 경도 및 강도가 약한 PBI(폴리벤지미다졸, Polybenzimidozole), PTEF, PI(폴리이미드), PEEK(Polyetheretherketone) 중 어느 하나의 합성수지재가 코팅처리된다.In addition, the outer surface of the
상기 인서트 볼트(200)는 체결홈(11)에 삽입되는 이탈방지너트(100)의 외부에 끼워지게 된다.The
또한, 상기 인서트 볼트(200)의 내부에는 이탈방지너트(100)의 끼움부(120)가 삽입되고 논슬립 볼트(400)가 끼워져 이탈방지너트(100)의 내부로 체결될 수 있도록 상,하를 관통하여 관통홈(210)이 형성되게 된다.In addition, the
그리고, 상기 관통홈(210)의 내측면에는 하부에서 삽입되는 끼움부(120)가 걸리고 상부에 삽입되는 논슬립 너트(300)를 지지할 수 있도록 안쪽으로 돌출되게 걸림턱(220)이 형성될 수 있다.In addition, a
상기 인서트 볼트(200)의 상부 내측면은 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성되게 된다.The upper inner surface of the
또한, 상기 인서트 볼트(200)의 외부에는 체결홈(110)에 나사 체결될 수 있도록 나사산으로 이루어진 탭(230)이 구비되게 된다.In addition, the
상기 인서트 볼트(200)는 SUS나 하스텔로이의 금속재로 이루어지게 된다.The
상기 논슬립 너트(300)는 인서트 볼트(200)의 내측 상부에 끼워지며, 외부는 인서트 볼트(200)의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트(200)의 내측면과 동일한 형태로 형성되게 된다.The
즉, 상기 논슬립 너트(300)의 외측면은 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성되게 된다.That is, the outer surface of the
상기 논슬립 볼트(400)는 샤워 헤드(10)의 상부에 구비되는 상부 지지플레이트(20)를 고정시키기 위해 상부 지지플레이트(20)의 삽입부(21) 내를 통해 이탈방지너트(100)와 조립되게 된다.The
상기 논슬립 볼트(400)는 이탈방지너트(100)의 내부에 형성되는 암나사산(121)에 체결될 수 있도록 숫나사산(411)이 형성된 몸체부(410)와, 상기 몸체부(410)의 상부에 구비되어 논슬립 볼트(400)를 이탈방지너트(100)에 체결시킬 수 있도록 하는 머리부(420)로 이루어지게 된다.The
또한, 상기 머리부(420)의 상부 내면에는 인서트 볼트(200)와 이탈방지너트(100)가 연결된 상태에서 삽입부(21)를 통해 체결홈(11)으로 인서트 볼트(200)를 체결시킬 수 있도록 체결공구(도시하지 않음)가 끼워지는 공구삽입홈(421)이 형성되게 된다.In addition, the
즉, 상기 논슬립 볼트(400)에 인서트 볼트(200)가 연결되는 이탈방지너트(100)가 일체로 체결된 상태에서 상기 인서트 볼트(200)를 삽입부(21)를 통해 체결홈(11)에 체결시킬 수 있게 된다,That is, the
그리고, 상기 인서트 볼트(200)와 이탈방지너트(100)가 논슬립 볼트(400)에 연결된 상태에서 상기 논슬립 볼트(400) 및 인서트 볼트(200)와 이탈방지너트(100)를 삽입부(21)를 통과하여 체결홈(11)으로 체결할 수 있도록 상기 삽입부(21)와 체결홈(11)의 내경이 동일하게 형성됨이 바람직하다.The
상기 논슬립 볼트(400)의 몸체부(410)와 인서트 볼트(200)의 사이에는 열팽창에 의한 인서트 볼트(200)의 이탈을 방지할 수 있도록 공간부(S)가 형성되게 된다.The space S is formed between the
이때, 상기 공간부(S)는 0.05㎜ ~ 0.1㎜로 형성될 수 있다.At this time, the space (S) may be formed of 0.05mm ~ 0.1mm.
상기 와셔부(500)는 논슬립 볼트(400)의 몸체부(410)에 끼워지게 된다.The
또한, 상기 와셔부(500)는 복수개의 스프링 와셔(510)와 상기 스프링 와셔(510)의 하부에 결합되는 평와셔(520)로 이루어지게 된다.In addition, the
도 6에서와 같이, 상기 논슬립 너트(300)는 논슬립 볼트(400)의 숫나사산(411)이 형성된 몸체부(410)에 끼워져 일체화되게 된다.As shown in FIG. 6, the
상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 샤워 헤드와 상부 지지플레이트 사이의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트에 따른 작용상태를 살펴보면 아래와 같다.Looking at the action state according to the dual structure bolt to improve the fastening force between the shower head and the upper support plate of the present invention having the above structure as follows.
상기 논슬립 볼트(400)의 몸체부(410)에 와셔부(500)를 끼우고 상기 인서트 볼트(200)의 상부 내측면에 논슬립 너트(300)를 삽입하며, 상기 인서트 볼트(200)의 하부 내측으로 이탈방지너트(100)가 끼워지게 된다.Insert the
그리고, 상기 논슬립 볼트(400)의 몸체부(410)를 논슬립 너트(300)와 인서트 볼트(200)로 통과시켜 상기 몸체부(410)의 숫나사산(411)을 끼움부(120)의 암나사산(121)에 체결하여 상기 논슬립 볼트(400)를 이탈방지너트(100)와 연결시키게 된다.Then, the
또한, 상기 상부 지지플레이트(20)의 삽입부(21)와 샤워 헤드(10)의 체결홈(11)이 동일한 내경을 갖게 됨으로써 상기 논슬립 볼트(400)와 인서트 볼트(200) 및 이탈방지너트(100)가 일체로 연결된 상태에서 상기 상부 지지플레이트(20)의 삽입부(21)를 통해 이중 구조 볼트를 삽입시키고 상기 샤워 헤드(10)의 체결홈(11)에 인서트 볼트(200)를 조립할 수 있게 된다.In addition, the
이와 함께, 상기 이탈방지너트(100)와 인서트 볼트(200) 및 논슬립 볼트(400)를 일체형 타입으로 연결시켜 상부 지지플레이트(20)와 샤워 헤드(10)에 조립함으로써 부시 또는 별도의 인서트가 필요하지 않게 된다.In addition, the
그리고, 상기 논슬립 볼트(400)가 인서트 볼트(200)로 삽입되면서 이탈방지너트(100)에 체결될 때 상기 논슬립 볼트(400)와 인서트 볼트(200) 사이에 공간부(S)를 형성하여 이격되게 삽입됨으로써 열팽창에 의한 이탈 현상을 방지할 수 있으며 상기 인서트 볼트(200)와 이탈방지너트(100)에 논슬립 볼트(400)가 연결하여 상부 지지플레이트(20)와 샤워 헤드(10)를 풀림 현상 없이 견고하고 안정적으로 조립할 수 있어 상기 상부 지지플레이트(20)와 샤워 헤드(10) 사이의 갭(gap)을 없앨 수 있어 제품의 품질을 높일 수 있게 된다.When the
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.As described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, and any person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Modifications are possible, of course, such changes are within the scope of the claims.
10 : 샤워 헤드 11 : 체결홈
20 : 상부 지지플레이트 21 : 삽입부
100 : 이탈방지너트 110 : 바닥판
120 : 끼움부 121 : 암나사산
200 : 인서트 볼트 210 : 관통홈
220 : 걸림턱 230 : 탭
300 : 논슬립 너트 400 : 논슬립 볼트
410 : 몸체부 411 : 숫나사산
420 : 머리부 421 : 공구삽입홈
500 : 와셔부 510 : 스프링 와셔
520 : 평와셔 S : 공간부10: shower head 11: fastening groove
20: upper support plate 21: insertion portion
100: release prevention nut 110: bottom plate
120: fitting part 121: female thread
200: insert bolt 210: through groove
220: jam jaw 230: tab
300: non slip nut 400: non slip bolt
410: body portion 411: male thread
420: head 421: tool insertion groove
500: washer 510: spring washer
520: flat washer S: space part
Claims (8)
상기 샤워 헤드의 체결홈에 조립되고 이탈방지너트의 외부에 끼워지는 인서트 볼트;
상기 인서트 볼트의 내측 상부에 끼워지고 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 하는 논슬립 너트; 및
상기 샤워 헤드의 상부에 구비되는 상부 지지플레이트를 고정시키기 위해 상부 지지플레이트의 삽입부 내부를 통해 이탈방지너트와 조립되는 논슬립 볼트;를 포함하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.A separation preventing nut inserted into the fastening groove of the shower head;
An insert bolt assembled to a fastening groove of the shower head and fitted to an outside of the release preventing nut;
A non-slip nut fitted in an inner upper portion of the insert bolt and preventing rotation of the insert bolt; And
Dual-structure bolt to improve the tightening force of the shower head and the upper support plate, including; non-slip bolt assembled with the release preventing nut through the inside of the insert portion of the upper support plate to secure the upper support plate provided on the shower head .
상기 인서트 볼트의 상부 내측면은 타원이나 사각 형태로 형성되며, 상기 논슬립 너트의 외부는 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트의 내측면과 동일한 형태의 타원이나 사각 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The upper inner surface of the insert bolt is formed in the shape of an ellipse or square, the outside of the non-slip nut is formed in the shape of the ellipse or square of the same shape as the inner surface of the insert bolt to prevent the rotation of the insert bolt. Double structural bolts to improve the clamping force between the shower head and the upper support plate.
상기 인서트 볼트와 논슬립 볼트 사이에는 와셔부가 체결되되 상기 와셔부는 복수개의 스프링 와셔와 평와셔로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The washer portion is fastened between the insert bolt and the non-slip bolt, the washer portion is a dual structure bolt to improve the tightening force of the shower head and the upper support plate, characterized in that consisting of a plurality of spring washers and flat washers.
상기 논슬립 볼트는, 이탈방지너트의 내부에 형성되는 암나사산에 체결되기 위해 숫나사산이 형성된 몸체부;와 상기 몸체부에 구비되되 상부 내면으로 논슬립 볼트를 삽입부로 삽입시켜 이탈방지너트에 체결시키기 위해 체결공구가 끼워질 수 있도록 공구삽입홈이 형성된 머리부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The non-slip bolt, the male portion is formed in the male thread to be fastened to the female thread formed in the escape prevention nut; and is provided on the body portion and the non-slip bolt is inserted into the upper inner surface to be fastened to the release prevention nut A double structure bolt to improve the tightening force of the shower head and the upper support plate, characterized in that consisting of; head portion formed with a tool insertion groove so that the tool can be fitted.
상기 인서트 볼트는 SUS나 하스텔로이의 금속재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The insert bolt is a double structure bolt to improve the tightening force of the shower head and the upper support plate, characterized in that made of a metal material of SUS or Hastelloy.
상기 이탈방지너트의 외표면에는 샤워 헤드의 실리콘 보다 경도 및 강도가 약한 PBI(폴리벤지미다졸, Polybenzimidozole), PTEF, PI(폴리이미드), PEEK(Polyetheretherketone) 중 어느 하나의 합성수지재가 코팅처리되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The outer surface of the anti-separation nut is coated with a synthetic resin material of any one of PBI (polybenzimidazole, Polybenzimidozole), PTEF, PI (polyimide), PEEK (Polyetheretherketone) having a weaker hardness and strength than the silicone of the shower head. A double structure bolt that improves the clamping force between the shower head and the upper support plate.
상기 인서트 볼트와 논슬립 볼트의 몸체부 사이에는 열팽창에 의한 이탈을 방지할 수 있도록 공간부가 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
And a space part formed between the insert bolt and the body part of the non-slip bolt to prevent separation due to thermal expansion.
상기 체결홈과 삽입부는 동일한 내경으로 이루어져 이탈방지너트와 인서트 볼트 및 논슬립 볼트가 서로 일체로 연결된 상태에서 이탈방지너트와 인서트 볼트가 삽입부를 통과하여 체결홈으로 체결되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드와 상부 지지플레이트의 체결력을 향상시킨 이중 구조 볼트.The method of claim 1,
The fastening groove and the insert part are made of the same inner diameter, the shower head and the upper portion, characterized in that the release preventing nut and the insert bolt is fastened to the fastening groove through the insertion portion in a state that the release preventing nut, the insert bolt and the non-slip bolt are integrally connected to each other. Double structure bolts to improve the clamping force of the support plate.
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