KR20230129740A - Slide type annealing prevention combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것으로, 샤워 헤드부와 가스 분배부를 결합시키는 분배판 고정볼트가 작업 과정에서 풀려 체결력이 낮아지는 것을 막을 수 있도록 하는 가운데 언록킹 캡이 슬라이드 이동되어 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있는 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것이다.The present invention relates to a slide-type anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, which prevents the distribution plate fixing bolts that connect the shower head and the gas distribution section from loosening during the work process and lowering the fastening force. This relates to a slide-type anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate in which the unlocking cap can slide and move to reduce processing and assembly errors.

Description

플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조{SLIDE TYPE ANNEALING PREVENTION COMBINING STRUCTURE OF THE SHOWER HEAD FOR THE PLASMA AND GAS DISTRIBUTION BOARD}Slide-type anti-loosening fastening structure of plasma shower head and gas distribution board {SLIDE TYPE ANNEALING PREVENTION COMBINING STRUCTURE OF THE SHOWER HEAD FOR THE PLASMA AND GAS DISTRIBUTION BOARD}

본 발명은 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것으로, 샤워 헤드부와 가스 분배부를 결합시키는 분배판 고정볼트가 작업 과정에서 풀려 체결력이 낮아지는 것을 막을 수 있도록 하는 가운데 언록킹 캡이 슬라이드 이동되어 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있는 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것이다.The present invention relates to a slide-type anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, which prevents the distribution plate fixing bolts that connect the shower head and the gas distribution section from loosening during the work process and lowering the fastening force. This relates to a slide-type anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate in which the unlocking cap can slide and move to reduce processing and assembly errors.

일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고, 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키는 캐소드가 구비되어 있다.In general, a plasma device used for etching processing of semiconductor wafers is installed horizontally with the wafer, which is mainly located on the anode inside the plasma chamber, injects a reaction gas through a number of holes formed in the plasma chamber, and applies a high-frequency voltage to etch the wafer. There is a cathode that generates the plasma necessary for etching.

캐소드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되고 있는 바, 이러한 볼트 체결에서는 캐소드와, 챔버 내부의 플레이트 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구를 형성하여, 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성되어 있다.The cathode is mainly connected to the plate inside the plasma chamber through bolts. In this bolt fastening, a plurality of bolt insertion holes with threads are formed on the inside of the plate inside the chamber and the cathode, and the bolt insertion holes are aligned up and down and then the bolt is inserted. It is configured to insert and combine.

이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동에 의해 볼트체결구의 나사산에 손상이 발생되어 캐소드가 소모되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사의 풀림에 의해 캐소드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 있었다.In this bolt fastening structure, there is a problem that the threads of the bolt fastener are damaged by the flow of the bolt generated in a high-pressure plasma environment and the cathode is consumed, and a gap is created between the cathode and the plate due to the loosening of the screw, damaging the wafer. There was a problem that degraded the performance of the etching process.

한편, 이러한 문제점을 해결하기 위한 방안으로 플라즈마에 통공을 형성하고, 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 부시의 외측과 통공 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 부시에 나사식으로 상호 결합시키도록 구비하여 나사 결합부의 손상의 발생을 억제하고, 손상 발생시에 부시만을 교체하여 사용할 수 있도록 하였다.Meanwhile, as a way to solve this problem, a hole is formed in the plasma, a bush is fixedly inserted by a step inside the hole, and an assembly ring is inserted between the outside of the bush and the inside of the hole, and then the plasma chamber is installed. By inserting the plate and connecting the subsequent assembly screws to the bush, damage to the screw joint is suppressed and only the bush can be replaced when damage occurs.

그러나, 캐소드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상이 발생되는 문제점이 있었고, 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 경우, 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 캐소드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점이 있었다.However, there was a problem in that the bush inserted into the through hole of the cathode moved and came into contact with the side of the through hole, causing damage, and as with the bolt joint structure, if the bush moved during the wafer etching process, the screw connection with the assembly screw was broken. There was a problem of deteriorating etching performance by creating a gap between the cathode and the plate.

한편, 이러한 문제점을 해소하기 위한 방안으로 등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)의 플라즈마 전극용 부시 조립체 및 이를 포함하는 전극 조립구조가 제안되었고, 제안된 전극 조립구조는 조립링을 사용하지 않아도 부시 조립시 자체적으로 회전을 방지하게 되어 구조의 간단화 및 볼트 풀림 현상을 방지할 수 있도록 하였으나, 플라즈마 전극판에 전극판이 고정부재에 나사결합된 지지부재에 의하여 지지된 후 작업 과정에서 고온으로 인한 연신율이나 변형 등 기타의 원인으로 인하여 지지부재가 고정부재에서 역회전으로 풀리게 됨에 따라 지지력이 낮아지는 문제점이 있었다. 또한 이로 인하여 견고성이 낮아지는 또 다른 문제점이 있었다.Meanwhile, as a way to solve this problem, a bush assembly for a plasma electrode and an electrode assembly structure including the same were proposed in Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.), and the proposed electrode assembly structure includes an assembly ring. Even when not in use, it automatically prevents rotation when assembling the bush, simplifying the structure and preventing bolt loosening. However, during the work process after the electrode plate on the plasma electrode plate is supported by the support member screwed to the fixing member, There was a problem in that the support force was lowered as the support member was released from the fixing member in reverse rotation due to other causes such as elongation or deformation due to high temperature. In addition, there was another problem in that the robustness was lowered due to this.

등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.)

본 발명은 샤워 헤드부에 가스 분배부가 밀착되도록 하는 분배판 고정볼트에 슬라이더 캡에 끼워진 록킹 캡이 결합되도록 하여 풀림이 방지되도록 하고, 이를 통해 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있도록 하는 가운데 체결력이 낮아지는 것을 방지하여 정밀도가 높은 제품(공정)을 얻을 수 있도록 한 것이다.The present invention prevents loosening by coupling the locking cap inserted into the slider cap to the distribution plate fixing bolt that ensures that the gas distribution part is in close contact with the shower head, thereby reducing processing and assembly errors and lowering the fastening force. This is to prevent this and obtain a product (process) with high precision.

본 발명은 언록킹 너트 삽입구(110)를 갖는 샤워 헤드부(100)와; 상기 언록킹 너트 삽입구(110)에 회전되는 것이 방지되도록 삽입된 언록킹 너트(200)와; 상기 언록킹 너트(200)가 상부로 이동되는 것을 방지하도록 언록킹 너트 삽입구(100)에 결합된 중공 가이드부(300)와; 볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 하부가 상기 샤워 헤드부(100)의 상부에 안착되게 구비된 가스 분배부(400)와; 상기 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 언록킹 너트(200)에 나사결합되도록 구비된 분배판 고정볼트(500); 및 상기 분배판 고정볼트(500)에 볼트 록킹부(600)가 결합됨으로써 풀림이 방지되도록 체결되는 것을 특징으로 한다.The present invention includes a shower head unit 100 having an unlocking nut insertion hole 110; an unlocking nut (200) inserted into the unlocking nut insertion hole (110) to prevent rotation; a hollow guide portion 300 coupled to the unlocking nut insertion hole 100 to prevent the unlocking nut 200 from moving upward; a gas distribution unit 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410 and the lower part of which is provided to be seated on the upper part of the shower head unit 100; A distribution plate fixing bolt (500) provided to pass through the bolt body through hole (420) and be screwed to the unlocking nut (200); And the bolt locking portion 600 is coupled to the distribution plate fixing bolt 500, thereby preventing loosening.

또한, 상기 샤워 헤드부(100)는, 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 언록킹 너트 삽입구(110)를 구비하되, 상기 언록킹 너트 삽입구(110)는, 바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111) 및 ; 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the shower head unit 100 is provided with an unlocking nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the shower head body 101, and the unlocking nut insertion hole 110 is provided at the bottom of the anti-rotation piece. Insertion groove (111) and ; and a guide nut portion 112 provided on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the shower head body 101.

또한, 상기 회전 방지편 삽입홈(111)은, 장홈의 형태를 갖도록 구비되고, 상기 가이드 너트부(112)는, 둥근 암나사의 형태를 갖는 것을 특징으로 한다.In addition, the rotation prevention piece insertion groove 111 is provided to have the shape of a long groove, and the guide nut portion 112 is characterized in that it has the shape of a round female thread.

또한, 상기 언록킹 너트(200)는, 너트 몸체(210)와; 상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비된 것으로, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220); 및 상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)이 관통되도록 구비되는 암나사부(230)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the unlocking nut 200 includes a nut body 210; A rotation prevention piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions; and a female thread portion 230 provided through the nut body 210 and the rotation prevention piece 220.

또한, 상기 중공 가이드부(300)는, 언록킹 너트(200)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310)와; 상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320); 및 상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the hollow guide portion 300 includes a hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 200; A male thread portion 320 provided on the outer periphery of the hollow guide body 310; And a tool insertion portion 330 provided at the top of the hollow guide body 320.

또한, 상기 분배판 고정볼트(500)는, 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)를 구비하고, 상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the distribution plate fixing bolt 500 is provided with a polygonal bolt head 520 having a pressing flange 521 on the upper part of the bolt body 510 having a bolt male thread portion 511, and the pressing flange 521 ) is characterized in that a loosening prevention portion 530 is coupled to the lower part of the.

또한, 상기 풀림방지부(530)는, 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the loosening prevention portion 530 is characterized in that it is provided with a two-layer plate ring washer.

또한, 상기 볼트 록킹부(600)는, 록킹 캡(610)과 슬라이더 캡(620)으로 구비되되, 상기 록킹 캡(610)은 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹되는 것으로, 캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함하고, 상기 슬라이더 캡(620)은 캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄이는 것으로, 양측단부가 반원형태를 가지며, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621)와; 상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622); 및 상기 노출부(622)의 하부로 구비된 T형태를 갖는 슬라이드홈(623);을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the bolt locking unit 600 is provided with a locking cap 610 and a slider cap 620, and the locking cap 610 is locked by inserting the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500. As such, the cap body 611; And a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611, and the slider cap 620 is attached to the cap body 611. A slider body 621 that slides in the longitudinal direction in the inserted state to reduce processing and assembly errors, has both ends having a semicircular shape and extends outward to a predetermined length; an exposed portion 622 provided in a long hole shape on the upper part of the slider body 621; And a slide groove 623 having a T shape provided at the lower part of the exposed portion 622.

또한, 상기 캡 몸체(611)는, 사각형태를 갖도록 구비됨을 것을 특징으로 한다.In addition, the cap body 611 is characterized in that it is provided to have a rectangular shape.

그리고 상기 록킹홈(612-1)은, 15°간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비됨을 특징으로 한다.And the locking groove 612-1 is characterized in that it is provided as a mountain-shaped groove with an interval of 15°.

본 발명은 샤워 헤드부에 구비된 언록킹 너트에 가스 분배부를 관통한 분배판 고정볼트의 볼트 숫나사부가 나사결합되도록 함으로써, 충분한 조임력이 확보 될 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The present invention achieves the effect of ensuring sufficient tightening force by screwing the male threaded portion of the distribution plate fixing bolt that penetrates the gas distribution section to the unlocking nut provided in the shower head section.

또한, 이를 통해 작업 과정에서 진동이 발생되는 것을 방지하여 정밀도가 높은 제품 또는 공정을 얻을 수 있는 효과가 있다.In addition, this has the effect of preventing vibrations from occurring during the work process and producing products or processes with high precision.

또한, 분배판 고정볼트의 다각 볼트 헤드 모서리가 록킹 캡의 록킹홈에 끼워진 상태가 유지됨으로써, 역방향으로 회전되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, by maintaining the polygonal bolt head edge of the distribution plate fixing bolt inserted into the locking groove of the locking cap, it is possible to prevent rotation in the reverse direction.

또한, 이를 통해 분배판 고정볼트의 조임력에 변화가 발생되는 것을 막을 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, this has the effect of preventing changes in the tightening force of the distribution plate fixing bolts.

그리고 슬라이더 캡이 캡 몸체에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동됨으로써, 가공, 조립 오차를 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Additionally, by sliding the slider cap in the longitudinal direction while it is inserted into the cap body, processing and assembly errors can be reduced.

도1은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조의 내,외부를 일부 절개하여 도시한 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조를 분리 도시한 사시도이다.
도3은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 있어 언록킹 너트, 중공 가이드부, 분배판 고정볼트, 록킹 캡 및 슬라이더 캡의 분리, 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도4는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조를 분리하여 도시한 종단면도이다.
도5는 도2의 A-A선 단면도이다.
도6은 도2의 B-B선 단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing the inside and outside of the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention, partially cut away.
Figure 2 is a perspective view separately illustrating the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.
Figure 3 shows the separated and combined state of the unlocking nut, hollow guide part, distribution plate fixing bolt, locking cap, and slider cap in the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention. This is a perspective view.
Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view showing the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention, separately.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line AA of Figure 2.
Figure 6 is a cross-sectional view taken along line BB of Figure 2.

본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as follows.

도1은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조의 내,외부를 일부 절개하여 도시한 사시도이고, 도2는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조를 분리 도시한 사시도이고, 도3은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 있어 언록킹 너트, 중공 가이드부, 분배판 고정볼트, 록킹 캡 및 슬라이더 캡의 분리, 결합된 상태를 도시한 사시도이고, 도4는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조를 분리하여 도시한 종단면도이고, 도5는 도2의 A-A선 단면도이고, 도6은 도2의 B-B선 단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing the inside and outside of the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention with partial cuts, and Figure 2 is a plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention. It is a perspective view showing the slide-type anti-loosening fastening structure separately, and Figure 3 shows the unlocking nut, hollow guide part, and distribution plate fixing bolt in the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention. , It is a perspective view showing the separated and combined state of the locking cap and the slider cap, and Figure 4 is a vertical cross-sectional view showing the slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate separated according to the present invention. 5 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 2, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 2.

본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조는 충분한 조임력이 확보 될 수 있도록 하여 작업 과정에서 진동이 발생되는 것을 방지하여 정밀도가 높은 제품 또는 공정을 얻을 수 있도록 하는 가운데 조임력에 변화가 발생되는 것을 막을 수 있도록 하고, 아울러 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있도록 한 것으로, 도1 내지 도6에 도시된 바와 같이, 샤워 헤드부(100), 언록킹 너트(200), 중공 가이드부(300), 가스 분배부(400), 분배판 고정볼트(500) 및 볼트 록킹부(600)가 포함되도록 구비되어 있다.The slide-type anti-loosening fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention ensures sufficient tightening force and prevents vibrations from occurring during the work process, enabling high-precision products or processes to be obtained. This is to prevent changes in tightening force and to reduce processing and assembly errors. As shown in Figures 1 to 6, the shower head unit 100, the unlocking nut 200, and the hollow It is provided to include a guide part 300, a gas distribution part 400, a distribution plate fixing bolt 500, and a bolt locking part 600.

여기에서, 상기 샤워 헤드부(100)는 소정 두께를 갖는 원판형태의 Si로 이루어진 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 다수개의 언록킹 너트 삽입구(110)가 적소에 구비된다.Here, the shower head unit 100 has a shower head body 101 made of Si in the shape of a disk with a predetermined thickness and a plurality of unlocking nut insertion holes 110 with a predetermined depth are provided at appropriate locations.

이러한 상기 언록킹 삽입구(110)는 언록킹 너트(200)가 삽입된 상태에서 중공 가이드부(300)에 의하여 언록킹 너트(200)가 분리되는 것을 방지할 수 있도록 구비된 것으로, 바닥에 장홈의 형태를 갖는 회전 방지편 삽입홈(111)이 구비되어 있고, 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 둥근 암나사의 형태를 갖는 가이드 너트부(112)가 구비된다.The unlocking insertion hole 110 is provided to prevent the unlocking nut 200 from being separated by the hollow guide portion 300 when the unlocking nut 200 is inserted, and has a long groove on the bottom. A guide nut portion ( 112) is provided.

상기 언록킹 너트(200)는 언록킹 너트 삽입구(110)에 삽입되어 후술하는 분배판 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)에 구비된 볼트 숫나사부(511)가 나사결합되는 과정에서 체결력에 의하여 가스 분배부(400)의 하부인 밑면이 샤워 헤드부(100)의 상부인 윗면과 일정한 압력으로 맞대어져 고정된 상태가 유지될 수 있게 구비된다.The unlocking nut 200 is inserted into the unlocking nut insertion hole 110 and is used for fastening force in the process of screwing the bolt male thread portion 511 provided on the bolt body 510 of the distribution plate fixing bolt 500, which will be described later. As a result, the lower surface of the gas distribution unit 400 is brought into contact with the upper surface of the shower head unit 100 at a constant pressure to maintain a fixed state.

이를 위해, 상기 언록킹 너트(200)는 너트 몸체(210)의 하부에 소정 두께를 가지며 양측방향으로 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220)이 구비되어 샤워 헤드 몸체(101)의 회전 방지편 삽입홈(111)에 삽입됨으로써, 분배판 고정볼트(500)를 조이는 과정에서 너트 몸체(210)가 같이 회전되는 것을 방지할 수 있게 된다.For this purpose, the unlocking nut 200 is provided with a rotation prevention piece 220 that has a predetermined thickness at the lower part of the nut body 210 and protrudes in a crescent shape in both directions to prevent rotation of the shower head body 101. By being inserted into the insertion groove 111, it is possible to prevent the nut body 210 from rotating during the process of tightening the distribution plate fixing bolt 500.

상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)에는 관통되는 형태를 갖는 암나사부(230)가 구비되어 분배판 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)에 구비된 볼트 숫나사부(511)가 용이하게 결합될 수 있게 된다.The nut body 210 and the rotation prevention piece 220 are provided with a female threaded portion 230 having a penetrating shape, and the male bolt threaded portion 511 provided on the bolt body 510 of the distribution plate fixing bolt 500 is provided. It can be easily combined.

상기 중공 가이드부(300)는 언록킹 너트(200)가 상부로 인출(돌출)되는 것을 방지하여 분배판 고정볼트(500)에 충분한 체결력이 제공될 수 있도록 구비된 것으로, 언록킹 너트(200)의 너트 몸체(210) 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310) 외주연부에 숫나사부(320)가 구비되어 있고, 상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 공구 삽입부(330)가 구비되어 별도의 공구를 이용하여 가이드 너트부(112)에 충분한 조임력으로 나사결합될 수 있게 구비된다.The hollow guide portion 300 is provided to prevent the unlocking nut 200 from being drawn out (protruding) upward and provide sufficient fastening force to the distribution plate fixing bolt 500. The unlocking nut 200 A male thread portion 320 is provided on the outer periphery of the hollow guide body 310 having the same inner diameter as the outer diameter of the nut body 210, and a tool insertion portion 330 is provided at the top of the hollow guide body 320. It is provided so that it can be screwed onto the guide nut portion 112 with sufficient tightening force using a separate tool.

상기 가스 분배부(400)는 볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)이 상부에서 하부를 향하여 완전하게 관통된 형태를 갖도록 구비됨으로써,상기 분배판 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)가 가스 분배부(400)를 관통하여 하부로 위치된 언록킹 너트(200)의 암나사부(230)에 나사결합될 수 있도록 구비된다.The gas distribution unit 400 is provided so that the bolt body through hole 420 is completely penetrated from the top to the bottom at the bottom of the bolt head locking groove 410, so that the distribution plate fixing bolt 500 The bolt body 510 is provided to be screwed to the female thread portion 230 of the unlocking nut 200 located downwardly through the gas distribution portion 400.

상기 분배판 고정볼트(500)는 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 링 또는 디스크 형태의 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)가 구비되어 미도시한 렌치 등을 이용하여 조이거나 풀 수 있도록 구비되어 있고, 상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합됨으로써, 다각 볼트 헤드(520)가 결합된 상태에서 역방향으로 풀리는 것을 방지할 수 있게 구비된다.The distribution plate fixing bolt 500 is provided with a polygonal bolt head 520 having a ring or disk-shaped pressing flange 521 on the upper part of the bolt body 510 having a bolt male thread portion 511, and is provided with a wrench (not shown). It is equipped to tighten or loosen using a back, and the loosening prevention part 530 is coupled to the lower part of the pressurizing flange 521, thereby preventing the polygonal bolt head 520 from loosening in the reverse direction while it is coupled. It is well-equipped.

이를 위해, 상기 풀림방지부(530)는 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되도록 하여 항상 볼트 걸림홈(410)의 바닥으로부터 상부를 향하여 일정한 탄성력이 작용되도록 하여 풀리는 것을 방지할 수 있게 된다.To this end, the loosening prevention portion 530 is provided with a two-layer plate ring washer so that a certain elastic force is always applied from the bottom of the bolt locking groove 410 toward the top, thereby preventing loosening.

상기 볼트 록킹부(600)는 분배판 고정볼트(500)의 풀림이 방지되도록 하는 가운데 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있게 체결되는 것으로, 가압 플랜지(521)의 상부로 위치된 다각 볼트 헤드(520)에 결합되는 록킹 캡(610) 및 상기 록킹 캡(610)에 슬라이드 이동 가능하도록 결합되는 슬라이더 캡(620)으로 구비된다.The bolt locking portion 600 is fastened to reduce processing and assembly errors while preventing loosening of the distribution plate fixing bolt 500. The polygonal bolt head 520 is located at the upper part of the pressing flange 521. It is provided with a locking cap 610 coupled to and a slider cap 620 coupled to the locking cap 610 to enable sliding movement.

상기 록킹 캡(610)은 사각형태를 갖는 캡 몸체(611) 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612)가 구비됨으로써, 상기 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹될 수 있게 된다The locking cap 610 is provided with a cap body 611 having a square shape and a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611. As a result, the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 can be inserted and locked.

상기 록킹홈(612-1)은 15°간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비되어 미도시한 공구를 이용하여 볼트 머리 걸림홈(410)에 삽입되면서 다각 볼트 헤드(520)의 모서리가 록킹홈(612-1)에 삽입될 수 있게 된다.The locking groove 612-1 is provided as a mountain-shaped groove with an interval of 15°, and is inserted into the bolt head locking groove 410 using a tool (not shown), so that the corner of the polygonal bolt head 520 is formed into a locking groove ( 612-1).

이는 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 6각형태를 가짐으로써, 각각의 모서리 부분이 삽입되어 고정될 수 있도록 하기 위함이며, 이는 24개로 배열되도록 하는 것이 바람직하다.This is because the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 has a hexagonal shape so that each corner part can be inserted and fixed, and it is preferable to arrange them in 24 pieces.

상기 슬라이더 캡(620)은 캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄이는 것으로, 양측단부가 반원형태를 가지며, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621)로 이루어져 볼트 머리 걸림홈(410)에 용이하게 삽입되도록 구비된다.The slider cap 620 slides in the longitudinal direction while being inserted into the cap body 611 to reduce processing and assembly errors. The slider cap 620 has a semicircular shape at both ends and extends outward to a predetermined length. It consists of a slider body 621 and is provided to be easily inserted into the bolt head locking groove 410.

상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622)가 구비되어 있고, 상기 노출부(622)의 하부로 슬라이드홈(623)이 구비됨으로써, 상기 슬라이드홈(623)에 삽입된 록킹캡(610)을 따라 슬라이드홈(623)의 방향으로 미소 간격 또는 거리로 슬라이드 이동이 가능하게 된다.An exposed part 622 having a long hole shape is provided on the upper part of the slider body 621, and a slide groove 623 is provided on the lower part of the exposed part 622, so that the slide groove 623 It is possible to slide at small intervals or distances in the direction of the slide groove 623 along the inserted locking cap 610.

이를 위해, 상기 슬라이드홈(623)은 T형태를 갖도록 하는 것이 바람직하고, T형태의 하부에 내측으로 돌출되는 돌부를 구비함으로써, 록킹캡(610)으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있게 된다.For this purpose, the slide groove 623 preferably has a T shape, and by providing a protrusion protruding inward at the bottom of the T shape, it can be prevented from being separated from the locking cap 610.

이 건 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 이 건 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 이 건 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.This invention is not limited to the specific embodiments and descriptions described above, and various modifications may be made by anyone skilled in the art without departing from the gist of the invention as claimed in the claims. is possible, and such modifications fall within the scope of protection of this invention.

100:샤워 헤드부 101:샤워 헤드 몸체
110:언록킹 너트 삽입구 111:회전 방지편 삽입홈
112:가이드 너트부 200:언록킹 너트
210:너트 몸체 220:회전 방지편
230:암나사부 300:중공 가이드부
310:중공 가이드 몸체 320:숫나사부
330:공구 삽입부 400:가스 분배부
410:볼트 머리 걸림홈 420:볼트 몸체 관통홀
500:분배판 고정볼트 510:볼트 몸체
511:볼트 숫나사부 520:다각 볼트 헤드
521:가압 플랜지 530:풀림방지부
600:볼트 록킹부 610:록킹 캡
611:캡 몸체 612:볼트 헤드 록킹부
612-1:록킹홈 620:슬라이더 캡
621:슬라이더 몸체 622:노출부
623:슬라이드홈100: Shower head part 101: Shower head body
110: Unlocking nut insertion hole 111: Rotation prevention piece insertion groove
112: Guide nut portion 200: Unlocking nut
210: Nut body 220: Anti-rotation piece
230: Female thread part 300: Hollow guide part
310: Hollow guide body 320: Male thread part
330: Tool insertion part 400: Gas distribution part
410: Bolt head locking groove 420: Bolt body through hole
500: Distribution plate fixing bolt 510: Bolt body
511: Bolt male thread 520: Multi-angle bolt head
521: Pressurized flange 530: Loosening prevention part
600: Bolt locking part 610: Locking cap
611: Cap body 612: Bolt head locking part
612-1: Locking groove 620: Slider cap
621: Slider body 622: Exposed portion
623: Slide groove

Claims (10)

언록킹 너트 삽입구(110)를 갖는 샤워 헤드부(100);
상기 언록킹 너트 삽입구(110)에 회전되는 것이 방지되도록 삽입된 언록킹 너트(200);
상기 언록킹 너트(200)가 상부로 이동되는 것을 방지하도록 언록킹 너트 삽입구(110)에 결합된 중공 가이드부(300);
볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 하부가 상기 샤워 헤드부(100)의 상부에 안착되게 구비된 가스 분배부(400); 및
상기 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 언록킹 너트(200)에 나사결합되도록 구비된 분배판 고정볼트(500);를 포함하고,
상기 분배판 고정볼트(500)에 볼트 록킹부(600)가 결합됨으로써 풀림이 방지되도록 체결되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
Shower head unit 100 having an unlocking nut insertion hole 110;
an unlocking nut (200) inserted into the unlocking nut insertion hole (110) to prevent rotation;
A hollow guide portion 300 coupled to the unlocking nut insertion hole 110 to prevent the unlocking nut 200 from moving upward;
A gas distribution unit 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410 and having its lower part seated on the upper part of the shower head unit 100; and
It includes a distribution plate fixing bolt 500 provided to pass through the bolt body through hole 420 and be screwed to the unlocking nut 200,
A sliding anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that the bolt locking portion 600 is coupled to the distribution plate fixing bolt 500 to prevent loosening.
 제1항에 있어서,
상기 샤워 헤드부(100)는, 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 언록킹 너트 삽입구(110)를 구비하되,
상기 언록킹 너트 삽입구(110)는, 바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111); 및 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 1,
The shower head unit 100 is provided with an unlocking nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the shower head body 101,
The unlocking nut insertion hole 110 includes a rotation prevention piece insertion groove 111 provided on the bottom; And a guide nut portion 112 provided on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the shower head body 101. A plasma shower head and a gas distribution plate comprising a. Slide-type anti-loosening fastening structure.
 제2항에 있어서,
상기 회전 방지편 삽입홈(111)은 장홈의 형태를 갖도록 구비되고,
상기 가이드 너트부(112)는 둥근 암나사의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 2,
The rotation prevention piece insertion groove 111 is provided to have the shape of a long groove,
A slide-type anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, wherein the guide nut portion 112 has the shape of a round female thread.
 제1항에 있어서,
상기 언록킹 너트(200)는,
너트 몸체(210);
상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비된 것으로, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220); 및
상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)이 관통되도록 구비되는 암나사부(230);를 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 1,
The unlocking nut 200 is,
Nut body (210);
A rotation prevention piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions; and
A sliding anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate, including a female thread portion 230 through which the nut body 210 and the rotation prevention piece 220 penetrate.
 제1항에 있어서,
상기 중공 가이드부(300)는,
언록킹 너트(200)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310);
상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320); 및
상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330);를 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 1,
The hollow guide part 300,
A hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 200;
A male thread portion 320 provided on the outer periphery of the hollow guide body 310; and
A slide-type anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate, including a tool insertion portion 330 provided at the top of the hollow guide body 320.
 제1항에 있어서,
상기 분배판 고정볼트(500)는, 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)를 구비하고,
상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 1,
The distribution plate fixing bolt 500 is provided with a polygonal bolt head 520 having a pressing flange 521 on the top of a bolt body 510 having a male bolt portion 511,
A sliding anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that a loosening prevention portion 530 is coupled to the lower part of the pressurizing flange 521.
 제6항에 있어서,
상기 풀림방지부(530)는, 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to clause 6,
The anti-loosening portion 530 is a slide-type anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that it is provided with a two-ply plate washer.
 제1항에 있어서,
상기 볼트 록킹부(600)는, 록킹 캡(610)과 슬라이더 캡(620)으로 구비되되,
상기 록킹 캡(610)은, 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹되는 것으로, 캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함하고,
상기 슬라이더 캡(620)은,
캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄이는 것으로, 양측단부가 반원형태를 가지며, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621);
상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622); 및
상기 노출부(622)의 하부로 구비된 T형태를 갖는 슬라이드홈(623);을 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to paragraph 1,
The bolt locking unit 600 is provided with a locking cap 610 and a slider cap 620,
The locking cap 610 is locked by inserting the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500, and includes a cap body 611; And a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611,
The slider cap 620 is,
A slider body 621 that slides in the longitudinal direction while inserted into the cap body 611 to reduce processing and assembly errors, and has both ends having a semicircular shape and extending outward to a predetermined length;
an exposed portion 622 provided in a long hole shape on the upper part of the slider body 621; and
A slide-type anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate, including a slide groove 623 having a T shape provided at a lower portion of the exposed portion 622.
 제8항에 있어서,
상기 캡 몸체(611)는, 사각형태를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.
According to clause 8,
A sliding anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, wherein the cap body 611 is provided to have a rectangular shape.
 제8항에 있어서,
상기 록킹홈(612-1)은, 15°간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비됨을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조.According to clause 8,
The locking groove (612-1) is a sliding anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that the locking groove (612-1) is provided as a mountain-shaped groove with an interval of 15°.
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