KR20230129738A - Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board - Google Patents

Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board Download PDF

Info

Publication number
KR20230129738A
KR20230129738A KR1020220026702A KR20220026702A KR20230129738A KR 20230129738 A KR20230129738 A KR 20230129738A KR 1020220026702 A KR1020220026702 A KR 1020220026702A KR 20220026702 A KR20220026702 A KR 20220026702A KR 20230129738 A KR20230129738 A KR 20230129738A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nut
shower head
gas distribution
unlocking
distribution plate
Prior art date
Application number
KR1020220026702A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박진경
Original Assignee
주식회사 케이씨파츠텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨파츠텍 filed Critical 주식회사 케이씨파츠텍
Priority to KR1020220026702A priority Critical patent/KR20230129738A/en
Publication of KR20230129738A publication Critical patent/KR20230129738A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3244—Gas supply means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B39/00—Locking of screws, bolts or nuts
    • F16B39/02—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place after screwing down
    • F16B39/12—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place after screwing down by means of locknuts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B39/00—Locking of screws, bolts or nuts
    • F16B39/22—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening
    • F16B39/24—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening by means of washers, spring washers, or resilient plates that lock against the object
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B39/00—Locking of screws, bolts or nuts
    • F16B39/22—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening
    • F16B39/28—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening by special members on, or shape of, the nut or bolt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/334—Etching

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

본 발명은 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 관한 것으로, 언록킹 너트가 샤워 헤드부에 밀착되는 것을 방지함으로써, 플라즈마 공정 작업 과정에서 고착으로 인해 크랙 및/또는 치핑이 발생하는 것을 막을 수 있는 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 관한 것이다.The present invention relates to a fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, and prevents cracks and/or chipping from occurring due to adhesion during the plasma process work by preventing the unlocking nut from coming into close contact with the shower head. It relates to a fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate.

Description

플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조{COMBINING STRUCTURE OF THE SHOWER HEAD FOR THE PLASMA AND GAS DISTRIBUTION BOARD}Fastening structure of plasma shower head and gas distribution board {COMBINING STRUCTURE OF THE SHOWER HEAD FOR THE PLASMA AND GAS DISTRIBUTION BOARD}

본 발명은 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 관한 것으로, 언록킹 너트가 샤워 헤드부에 밀착되는 것을 방지함으로써 플라즈마 공정의 수행 과정에서 고착으로 인한 크랙 및/또는 치핑의 발생을 감소시킬 수 있는 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 관한 것이다.The present invention relates to a fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, which prevents the unlocking nut from coming into close contact with the shower head, thereby reducing the occurrence of cracks and/or chipping due to adhesion during the plasma process. It relates to a fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate.

일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치에는, 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 위치하는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고, 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키는 캐소드가 구비된다.In general, a plasma device used for the etching process of a semiconductor wafer is installed horizontally with the wafer located on the anode inside the plasma chamber, injects a reaction gas through a plurality of holes formed in the plasma chamber, and applies a high-frequency voltage to etch the wafer. A cathode is provided that generates plasma necessary for etching.

상기 캐소드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되는데, 이러한 볼트 체결 구조에서는 캐소드와, 챔버 내부의 플레이트 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구가 형성되어, 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성된다.The cathode is mainly connected to the plate inside the plasma chamber through bolts. In this bolt fastening structure, a plurality of bolt insertion holes with threads are formed on the inside of the cathode and the plate inside the chamber, and the bolt insertion holes are aligned vertically and then the bolt is inserted. It is configured to insert and combine.

이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동 혹은 물리적 스트레스 등에 의해 볼트체결구의 나사산에 손상이 발생되어 캐소드가 소모되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사의 풀림에 의해 캐소드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 존재한다.In this bolt fastening structure, there is a problem that the cathode is consumed due to damage to the thread of the bolt fastener due to the movement of the bolt or physical stress generated in a high-pressure plasma environment, and the gap between the cathode and the plate is widened due to the loosening of the screw. There is a problem that occurs and deteriorates the performance of the wafer etching process.

이러한 문제점을 해결하기 위한 방안으로 플라즈마에 통공을 형성하고, 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 부시의 외측과 통공 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 부시에 나사식으로 상호 결합시키도록 구비하여 나사 결합부의 손상의 발생을 억제하고, 손상 발생시에 부시만을 교체하여 사용할 수 있도록 하였다.As a way to solve this problem, a hole is formed in the plasma, a bush is fixedly inserted by a step inside the hole, and an assembly ring is inserted between the outside of the bush and the inside of the hole, and then the plate of the plasma chamber is installed. The assembly screws that are inserted and connected to each other are provided to screw together in the bush to prevent damage to the screw joint, and to enable use by replacing only the bush in case of damage.

그러나, 캐소드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상이 발생되는 문제점이 있었고, 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 경우, 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 캐소드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점이 존재하였다.However, there was a problem in that the bush inserted into the through hole of the cathode moved and came into contact with the side of the through hole, causing damage, and as with the bolt joint structure, if the bush moved during the wafer etching process, the screw connection with the assembly screw was broken. There was a problem of deteriorating etching performance by creating a gap between the cathode and the plate.

한편, 이러한 문제점을 해소하기 위한 방안으로 등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)의 플라즈마 전극용 부시 조립체 및 이를 포함하는 전극 조립구조가 제안되었고, 제안된 전극 조립구조는 조립링을 사용하지 않아도 부시 조립시 자체적으로 회전을 방지하게 되어 구조의 간단화 및 볼트 풀림 현상을 방지할 수 있도록 하였으나, 플라즈마 전극판에 형성된 삽입홈 바닥의 가장자리와 부시 몸체의 하부에 형성된 밀착편이 항상 맞닿은 상태가 유지됨에 따라 작업 과정에서 고온으로 인하여 고착되는 문제점이 있었으며, 이로 인하여 플라즈마 전극판에 크랙 ㅁ및/또는 치핑이 발생하는 문제점이 여전히 존재한다.Meanwhile, as a way to solve this problem, a bush assembly for a plasma electrode and an electrode assembly structure including the same were proposed in Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.), and the proposed electrode assembly structure includes an assembly ring. Even when not in use, the bush is automatically prevented from rotating during assembly, simplifying the structure and preventing bolt loosening. However, the edge of the bottom of the insertion groove formed on the plasma electrode plate and the close contact piece formed on the lower part of the bush body are always in contact. As is maintained, there was a problem of sticking due to high temperature during the work process, and as a result, there is still a problem of cracks and/or chipping occurring in the plasma electrode plate.

등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.)

본 발명은 샤워 헤드부에 구비된 언록킹 너트의 하부가 고정볼트의 체결력에 의하여 샤워 헤드부의 바닥으로부터 일정 간격 이격된 상태가 유지됨에 따라 작업 과정에서 고온으로 인하여 고착되는 것을 방지할 수 있도록 함으로써, 샤워 헤드부에 크랙 내지는 치핑이 발생되는 것을 방지하여 파손을 감소시키기 위한 것이다.The present invention prevents the lower part of the unlocking nut provided in the shower head from sticking due to high temperature during the work process by maintaining a certain distance from the bottom of the shower head by the fastening force of the fixing bolt, This is to reduce damage by preventing cracks or chipping from occurring in the shower head.

본 발명은 언록킹 너트 삽입구(110)를 갖는 샤워 헤드부(100)와; 상기 언록킹 너트 삽입구(110)에 상하 슬라이드 가능하게 구비된 언록킹 너트(200)와; 상기 언록킹 너트(200)가 상하 슬라이드 가능하게 구비되며, 일정 한도 이상으로 이동되는 것을 막도록 구비된 중공 가이드부(300)와; 볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 상기 볼트 몸체 관통홀(420)의 하단부에 너트 헤드 삽입부(430)가 구비된 가스 분배부(400); 및 상기 가스 분배부(400)의 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 샤워 헤드부(100)의 언록킹 너트 삽입구(110)에 슬라이드 가능하게 구비된 언록킹 너트(200)가 분배판 고정볼트(500)에 의하여 나사결합되는 과정에서 상기 언록킹 너트(200)가 상부로 슬라이드 이동되어 상기 언록킹 너트(200)의 상단이 너트 헤드 삽입부(430)에 삽입됨으로써 풀림이 방지되게 체결되는 것이 포함됨을 특징으로 한다.The present invention includes a shower head unit 100 having an unlocking nut insertion hole 110; an unlocking nut (200) provided to slide up and down in the unlocking nut insertion hole (110); a hollow guide portion 300 that is provided to slide the unlocking nut 200 up and down and is provided to prevent the unlocking nut 200 from moving beyond a certain limit; A gas distribution unit 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410 and a nut head insertion portion 430 at the lower end of the bolt body through hole 420; And an unlocking nut 200 provided to slide through the bolt body through hole 420 of the gas distribution unit 400 and into the unlocking nut insertion hole 110 of the shower head unit 100 is connected to the distribution plate fixing bolt. In the process of screwing by (500), the unlocking nut 200 is slid upward and the upper end of the unlocking nut 200 is inserted into the nut head insertion portion 430, thereby fastening to prevent loosening. It is characterized by being included.

또한, 상기 샤워 헤드부(100)는 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 상기 언록킹 너트 삽입구(110)가 구비되되, 상기 언록킹 너트 삽입구(110)는 바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111) 및 ; 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112)가 포함됨을 특징으로 한다.In addition, the shower head unit 100 is provided with the unlocking nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the shower head body 101, and the unlocking nut insertion hole 110 is inserted into the anti-rotation piece provided on the floor. Home (111) and ; It is characterized in that a guide nut portion 112 is provided on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the shower head body 101.

또한, 상기 회전 방지편 삽입홈(111)은 장홈의 형태를 갖도록 구비되고, 상기 가이드 너트부(112)는 둥근 암나사의 형태가 포함됨을 특징으로 한다.In addition, the rotation prevention piece insertion groove 111 is provided to have the shape of a long groove, and the guide nut portion 112 is characterized by having a round female thread shape.

또한, 상기 언록킹 너트(200)는 너트 몸체(210)와; 상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비된 것으로, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 하부 회전 방지편(220)과; 상기 너트 몸체(210)의 상부에 구비된 것으로, 소정 두께로 돌출된 상부 회전 방지편(230); 및 상기 상부 회전 방지편(230), 너트 몸체(210), 하부 회전 방지편(220)이 관통되게 구비된 암나사부(240)가 포함됨을 특징으로 한다.In addition, the unlocking nut 200 includes a nut body 210; A lower anti-rotation piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions; An upper anti-rotation piece 230 provided on the nut body 210 and protruding to a predetermined thickness; And a female thread portion 240 provided through the upper rotation prevention piece 230, the nut body 210, and the lower rotation prevention piece 220 is included.

또한, 상기 중공 가이드부(300)는 언록킹 너트(200)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310)와; 상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320); 및 상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330)가 포함됨을 특징으로 한다.In addition, the hollow guide portion 300 includes a hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 200; A male thread portion 320 provided on the outer periphery of the hollow guide body 310; And a tool insertion portion 330 provided at the top of the hollow guide body 320 is included.

또한, 상기 너트 헤드 삽입부(430)는 언록킹 너트(200)의 상부에 돌출된 상부 회전 방지편(230)과 동일한 형태를 갖도록 구비됨을 특징으로 한다.In addition, the nut head insertion portion 430 is characterized in that it is provided to have the same shape as the upper rotation prevention piece 230 protruding from the top of the unlocking nut 200.

또한, 상기 분배판 고정볼트(500)는 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 다각홈(521)을 갖는 볼트 헤드(520)가 구비되고, 상기 볼트 헤드(520)의 하부에 풀림방지부(530)가 구비됨을 특징으로 한다.In addition, the distribution plate fixing bolt 500 is provided with a bolt head 520 having a polygonal groove 521 on the upper part of the bolt body 510 having a male bolt thread portion 511, and the bolt head 520 It is characterized in that a loosening prevention part 530 is provided at the lower part.

그리고 상기 풀림방지부(530)는 2겹의 플레이트링 와셔로 구비됨을 특징으로 한다.And the loosening prevention part 530 is characterized by being provided with a two-layer plate ring washer.

본 발명은 샤워 헤드부에 구비된 언록킹 너트의 하부가 고정볼트의 체결력에 의하여 샤워 헤드부의 바닥으로부터 일정 간격 이격된 상태가 유지됨으로써, 작업 과정에서 고온으로 인하여 고착되는 것을 방지할 수 있다.In the present invention, the lower part of the unlocking nut provided on the shower head is maintained at a certain distance from the bottom of the shower head by the fastening force of the fixing bolt, thereby preventing sticking due to high temperature during work.

또한, 이를 통해 샤워 헤드부에 크랙 및/또는 치핑이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인해 샤워 헤드부가 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 존재한다.In addition, this can prevent cracks and/or chipping from occurring in the shower head, which has the effect of preventing the shower head from being damaged.

한편, 본 발명은 샤워 헤드부에 구비된 언록킹 너트의 상부가 고정볼트의 체결력에 의하여 상부로 슬라이드 이동하여 가스분배부의 하부에 구비된 너트 헤드 삽입부에 삽입됨에 따라 유동 혹은 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 이를 통해 분배판 고정볼트의 조임력에 변화가 발생되는 것을 막을 수 있는 장점이 존재한다.Meanwhile, in the present invention, the upper part of the unlocking nut provided in the shower head slides upward by the fastening force of the fixing bolt and is inserted into the nut head insertion part provided in the lower part of the gas distribution section, thereby preventing flow or vibration from occurring. This has the advantage of preventing changes in the tightening force of the distribution plate fixing bolts.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조의 내,외부를 일부 절개하여 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조를 분리 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트와 중공 가이드부 및 분배판 고정볼트의 분리, 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조를 분리하여 도시한 종단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트가 언록킹 너트 삽입구에 맞닿은 상태를 도시한 종단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트가 언록킹 너트 삽입구에 이격된 상태를 도시한 종단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing the inside and outside of the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention with some cuts.
Figure 2 is a perspective view separately showing the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing the separated and combined state of the unlocking nut, the hollow guide portion, and the distribution plate fixing bolt in the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.
Figure 4 is a vertical cross-sectional view showing the separated fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.
Figure 5 is a longitudinal cross-sectional view showing the unlocking nut in contact with the unlocking nut insertion hole in the fastening structure between the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.
Figure 6 is a longitudinal cross-sectional view showing the unlocking nut spaced apart from the unlocking nut insertion hole in the fastening structure between the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.

본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조의 내,외부를 일부 절개하여 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조를 분리 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트와 중공 가이드부 및 분배판 고정볼트의 분리, 결합된 상태를 도시한 사시도이다.Figure 1 is a perspective view showing the interior and exterior of the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention with some cuts, and Figure 2 is the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention. It is a perspective view showing the separation, and Figure 3 is a perspective view showing the separated and combined state of the unlocking nut, the hollow guide portion, and the distribution plate fixing bolt in the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조를 분리하여 도시한 종단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트가 언록킹 너트 삽입구에 맞닿은 상태를 도시한 종단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조에 있어 언록킹 너트가 언록킹 너트 삽입구에 이격된 상태를 도시한 종단면도이다.Figure 4 is a vertical cross-sectional view showing a separated fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate according to the present invention, and Figure 5 is an unlocking nut in the fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate according to the present invention. is a longitudinal cross-sectional view showing a state in contact with the unlocking nut insertion port, and Figure 6 shows a state in which the unlocking nut is spaced apart from the unlocking nut insertion port in the fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to the present invention. This is a vertical cross-sectional view.

이 건 발명에 따른 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조는 작업 과정에서 고온으로 인하여 고착되는 것을 방지하는 가운데 크랙 또는 치핑으로 인하여 파손되는 것을 방지할 수 있도록 한 것으로, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 샤워 헤드부(100), 언록킹 너트(200), 중공 가이드부(300), 가스 분배부(400) 및 분배판 고정볼트(500)가 포함되도록 구비된다.The fastening structure of the plasma shower head and the gas distribution plate according to this invention is designed to prevent damage due to cracks or chipping while preventing sticking due to high temperature during the work process, as shown in Figures 1 to 6. As shown, it is provided to include a shower head unit 100, an unlocking nut 200, a hollow guide unit 300, a gas distribution unit 400, and a distribution plate fixing bolt 500.

여기에서, 상기 샤워 헤드부(100)는 소정 두께를 갖는 원판형태의 Si로 이루어진 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 다수개의 언록킹 너트 삽입구(110)가 적소에 구비된다.Here, the shower head unit 100 has a shower head body 101 made of Si in the shape of a disk with a predetermined thickness and a plurality of unlocking nut insertion holes 110 with a predetermined depth are provided at appropriate locations.

이러한 상기 언록킹 삽입구(110)는 언록킹 너트(200)가 삽입된 상태에서 중공 가이드부(300)에 의하여 언록킹 너트(200)가 분리되는 것을 방지할 수 있도록 구비된 것으로, 바닥에 장홈의 형태를 갖는 회전 방지편 삽입홈(111)이 구비되어 있고, 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 둥근 암나사의 형태를 갖는 가이드 너트부(112)가 구비된다.The unlocking insertion hole 110 is provided to prevent the unlocking nut 200 from being separated by the hollow guide portion 300 when the unlocking nut 200 is inserted, and has a long groove on the bottom. A guide nut portion ( 112) is provided.

상기 언록킹 너트(200)는 이 건 발명의 특징적인 구성으로 상기 언록킹 너트 삽입구(110)에 상하 슬라이드 가능하게 구비된다.The unlocking nut 200 is a characteristic configuration of this invention and is provided in the unlocking nut insertion hole 110 to be able to slide up and down.

이를 위해, 상기 언록킹 너트(200)는 너트 몸체(210)의 하부에 소정 두께를 가지며 양측방향으로 초승달 형태로 돌출된 하부 회전 방지편(220)이 구비되어 샤워 헤드 몸체(101)의 회전 방지편 삽입홈(111)에 삽입됨으로써, 분배판 고정볼트(500)를 조이는 과정에서 너트 몸체(210)가 같이 회전되는 것을 방지할 수 있게 된다.To this end, the unlocking nut 200 is provided with a lower rotation prevention piece 220 that has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape in both directions to prevent rotation of the shower head body 101. By being inserted into the insertion groove 111, it is possible to prevent the nut body 210 from rotating during the process of tightening the distribution plate fixing bolt 500.

상기 너트 몸체(210)의 상부에는 소정 두께로 돌출된 상부 회전 방지편(230)이 구비되어 분배판 고정볼트(500)에 의하여 나사결합으로 조여지는 과정에서 언록킹 너트(200)가 축방향 즉, 상부로 슬라이드 이동하여 후술하는 가스 분배부(400)의 너트 헤드 삽입부(430)에 삽입됨으로써, 더 한층 역방향을 회전되는 것을 방지하여 풀림으로 인한 조임력에 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 하는 가운데 언록킹 너트(200)의 하부가 도 6에 도시된 바와 같이, 너트 헤드 삽입부(430)의 바닥으로부터 들떠 이격된 상태가 유지될 수 있게 된다. 즉, 이를 통해 언록킹 너트(200)의 하부가 너트 헤드 삽입부(430)에 고착되는 것을 막음으로써, 샤워 헤드부(100)의 샤워 헤드 몸체(101)가 크랙 또는 치핑으로 인하여 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.The upper part of the nut body 210 is provided with an upper anti-rotation piece 230 protruding to a predetermined thickness, and in the process of being screwed and tightened by the distribution plate fixing bolt 500, the unlocking nut 200 is rotated in the axial direction, that is, , slides upward and is inserted into the nut head insertion part 430 of the gas distribution part 400, which will be described later, to prevent further rotation in the reverse direction and to prevent changes in tightening force due to loosening. As shown in FIG. 6, the lower part of the middle unlocking nut 200 can be maintained in a lifted spaced state from the bottom of the nut head insertion portion 430. In other words, this prevents the lower part of the unlocking nut 200 from being adhered to the nut head insertion part 430, thereby preventing the shower head body 101 of the shower head unit 100 from being damaged due to cracks or chipping. You can do it.

상기 상부 회전 방지편(230), 너트 몸체(210), 하부 회전 방지편(220)이 관통되게 구비된 암나사부(240)가 구비되어 분배판 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)가 용이하게 결합될 수 있게 된다.A female thread portion 240 through which the upper rotation prevention piece 230, the nut body 210, and the lower rotation prevention piece 220 are provided is provided to facilitate the bolt body 510 of the distribution plate fixing bolt 500. can be combined.

상기 중공 가이드부(300)는 언록킹 너트(200)가 상하 슬라이드 가능하게 구비되는 가운데 일정 한도 이상으로 이동되는 것을 막아 분배판 고정볼트(500)의 조임력이 충분하게 유지될 수 있도록 한 것으로, 언록킹 너트(200)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310) 외주연부에 숫나사부(320)가 구비되어 있고, 상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 공구 삽입부(330)가 구비되어 별도의 공구를 이용하여 가이드 너트부(112)에 충분한 조임력으로 나사결합될 수 있게 구비된다.The hollow guide portion 300 is provided to allow the unlocking nut 200 to slide up and down and prevents it from moving beyond a certain limit so that the tightening force of the distribution plate fixing bolt 500 can be sufficiently maintained. A male thread portion 320 is provided on the outer periphery of the hollow guide body 310 having the same inner diameter as the outer diameter of the locking nut 200, and a tool insertion portion 330 is provided at the top of the hollow guide body 320. It is provided so that it can be screwed onto the guide nut portion 112 with sufficient tightening force using a separate tool.

상기 가스 분배부(400)는 볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)이 상부에서 하부를 향하여 완전하게 관통된 형태를 갖도록 구비되어 있고, 상기 볼트 몸체 관통홀(420)의 하단부에 너트 헤드 삽입부(430)가 구비됨으로써, 상기 분배판 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)가 가스 분배부(400)를 관통하여 하부로 위치된 언록킹 너트(200)의 암나사부(240)에 나사결합될 수 있게 구비된다.The gas distribution unit 400 is provided so that a bolt body through hole 420 is completely penetrated from the top to the bottom at the bottom of the bolt head locking groove 410, and the bolt body through hole 420 By providing a nut head insertion portion 430 at the lower end of the , the bolt body 510 of the distribution plate fixing bolt 500 penetrates the gas distribution portion 400 and is connected to the female thread of the unlocking nut 200 positioned downward. It is provided so that it can be screwed to the part 240.

상기 분배판 고정볼트(500)를 회전시킴과 동시에 암나사부(240)에 의하여 언록킹 너트(200)가 하부에서 상부를 향하여 슬라이드 이동 가능하게 구비되어 있다.At the same time as rotating the distribution plate fixing bolt 500, the unlocking nut 200 is provided to be able to slide from the bottom to the top by the female thread portion 240.

상기 너트 헤드 삽입부(430)는 언록킹 너트(200)의 상부에 돌출된 상부 회전 방지편(230)과 동일한 형태를 갖도록 구비됨으로써, 삽입이 용이하게 이루어지는 가운데 간혹 축방향으로 회전하는 유동이 발생되어 조임력에 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있게 구비된다.The nut head insertion portion 430 is provided to have the same shape as the upper anti-rotation piece 230 protruding from the top of the unlocking nut 200, thereby facilitating insertion and occasionally generating a rotating flow in the axial direction. It is provided to prevent changes in tightening force.

상기 분배판 고정볼트(500)는 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 다각홈(521)을 갖는 볼트 헤드(520)가 구비되어 미도시한 렌치 등을 이용하여 조이거나 풀 수 있도록 구비되어 있고, 상기 볼트 헤드(520)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합되어, 볼트 헤드(520)가 결합된 상태에서 역방향으로 풀리는 것을 방지할 수 있게 구비된다.The distribution plate fixing bolt 500 is provided with a bolt head 520 having a polygonal groove 521 on the top of a bolt body 510 having a male bolt portion 511, and can be tightened using a wrench, etc. (not shown). It is provided to be loosened, and a loosening prevention portion 530 is coupled to the lower part of the bolt head 520 to prevent the bolt head 520 from loosening in the reverse direction while it is coupled.

이를 위해, 상기 풀림방지부(530)는 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되도록 하여 항상 볼트 걸림홈(410)의 바닥으로부터 상부를 향하여 일정한 탄성력이 작용되도록 하여 풀리는 것을 방지할 수 있게 된다.To this end, the loosening prevention portion 530 is provided with a two-layer plate ring washer so that a certain elastic force is always applied from the bottom of the bolt locking groove 410 toward the top, thereby preventing loosening.

이러한 상기 분배판 고정볼트(500)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 가스 분배부(400)의 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 샤워 헤드부(100)의 언록킹 너트 삽입구(110)에 슬라이드 가능하도록 구비된 언록킹 너트(200)가 분배판 고정볼트(500)에 의하여 나사결합되고, 조여지는 과정에서 상기 언록킹 너트(200)가 상부로 슬라이드 이동되어 상기 언록킹 너트(200)의 상단에 구비된 상부 회전 방지편(230)이 가스 분배부(400)의 하부에 구비된 너트 헤드 삽입부(430)에 삽입됨으로써, 언록킹 너트(200)의 하부가 샤워 헤드부(100)의 언록킹 너트 삽입구(110)의 바닥으로부터 이격된 상태가 유지될 수 있도록 하는 가운데 너트 헤드 삽입부(430)에 상부 회전 방지편(230)에 의하여 풀림이 방지될 수 있게 된다.As shown in FIGS. 5 and 6, the distribution plate fixing bolt 500 penetrates the bolt body through hole 420 of the gas distribution unit 400 and enters the unlocking nut insertion hole of the shower head unit 100. The unlocking nut 200 provided to be able to slide on 110 is screwed together by the distribution plate fixing bolt 500, and during the tightening process, the unlocking nut 200 slides upward and the unlocking nut ( By inserting the upper rotation prevention piece 230 provided at the upper end of the gas distribution unit 400 into the nut head insertion part 430 provided at the lower part of the gas distribution unit 400, the lower part of the unlocking nut 200 is connected to the shower head unit ( Loosening can be prevented by the upper rotation prevention piece 230 on the nut head insertion portion 430 while maintaining the spaced state from the bottom of the unlocking nut insertion hole 110 of 100.

이 건 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 이 건 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 이 건 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.This invention is not limited to the specific embodiments and descriptions described above, and various modifications may be made by anyone skilled in the art without departing from the gist of the invention as claimed in the claims. is possible, and such modifications fall within the scope of protection of this invention.

100:샤워 헤드부 110:언록킹 너트 삽입구
200:언록킹 너트 300:중공 가이드부
400:가스 분배부 410:볼트 머리 걸림홈
420:볼트 몸체 관통홀 430:너트 헤드 삽입부
500:분배판 고정볼트100: Shower head 110: Unlocking nut insertion hole
200: Unlocking nut 300: Hollow guide part
400: Gas distribution unit 410: Bolt head locking groove
420: Bolt body through hole 430: Nut head insertion part
500: Distribution plate fixing bolt

Claims (8)

언록킹 너트 삽입구(110)를 갖는 샤워 헤드부(100);
상기 언록킹 너트 삽입구(110)에 상하 슬라이드 가능하게 구비된 언록킹 너트(200);
상기 언록킹 너트(200)가 상하 슬라이드 가능하게 구비되며, 일정 한도 이상으로 이동되는 것을 막도록 구비된 중공 가이드부(300); 및
볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 상기 볼트 몸체 관통홀(420)의 하단부에 너트 헤드 삽입부(430)가 구비된 가스 분배부(400);를 포함하고,
상기 가스 분배부(400)의 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 샤워 헤드부(100)의 언록킹 너트 삽입구(110)에 슬라이드 가능하게 구비된 언록킹 너트(200)가 분배판 고정볼트(500)에 의하여 나사결합되는 과정에서, 상기 언록킹 너트(200)가 상부로 슬라이드 이동하여 상기 언록킹 너트(200)의 상단이 너트 헤드 삽입부(430)에 삽입됨으로써 풀림이 방지되도록 체결되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
Shower head unit 100 having an unlocking nut insertion hole 110;
An unlocking nut (200) provided to slide up and down in the unlocking nut insertion hole (110);
A hollow guide portion 300 that is provided to slide the unlocking nut 200 up and down and is provided to prevent the unlocking nut 200 from moving beyond a certain limit; and
A gas distribution unit 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410 and having a nut head insertion portion 430 at the lower end of the bolt body through hole 420. do,
The unlocking nut 200, which is slidably provided through the bolt body through hole 420 of the gas distribution unit 400 and into the unlocking nut insertion hole 110 of the shower head unit 100, is connected to the distribution plate fixing bolt ( In the process of screwing by 500), the unlocking nut 200 slides upward and the upper end of the unlocking nut 200 is inserted into the nut head insertion portion 430, thereby fastening to prevent loosening. Characterized by a fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate.
 제1항에 있어서,
상기 샤워 헤드부(100)는, 샤워 헤드 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 상기 언록킹 너트 삽입구(110)가 구비하되,
상기 언록킹 너트 삽입구(110)는, 바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111);및 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 샤워 헤드 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112);를 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 1,
The shower head unit 100 is provided with the unlocking nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the shower head body 101,
The unlocking nut insertion hole 110 includes a rotation prevention piece insertion groove 111 provided at the bottom; and an inner peripheral portion from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the shower head body 101. A fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate, including a guide nut portion (112).
 제2항에 있어서,
상기 회전 방지편 삽입홈(111)은 장홈의 형태를 갖도록 구비되고,
상기 가이드 너트부(112)는 둥근 암나사의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 2,
The rotation prevention piece insertion groove 111 is provided to have the shape of a long groove,
A fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, wherein the guide nut portion 112 has the shape of a round female thread.
 제1항에 있어서,
상기 언록킹 너트(200)는,
너트 몸체(210);
상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비된 것으로, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 하부 회전 방지편(220);
상기 너트 몸체(210)의 상부에 구비된 것으로, 소정 두께로 돌출된 상부 회전 방지편(230); 및
상기 상부 회전 방지편(230), 너트 몸체(210), 하부 회전 방지편(220)이 관통되도록 구비되는 암나사부(240);를 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 1,
The unlocking nut 200 is,
Nut body (210);
A lower anti-rotation piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions;
An upper anti-rotation piece 230 provided on the nut body 210 and protruding to a predetermined thickness; and
A fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate, including a female thread portion 240 through which the upper rotation prevention piece 230, the nut body 210, and the lower rotation prevention piece 220 penetrate.
 제1항에 있어서,
상기 중공 가이드부(300)는,
언록킹 너트(200)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310);
상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320); 및
상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330);를 포함하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 1,
The hollow guide part 300,
A hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 200;
A male thread portion 320 provided on the outer periphery of the hollow guide body 310; and
A fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, including a tool insertion portion 330 provided at the top of the hollow guide body 320.
 제1항에 있어서,
상기 너트 헤드 삽입부(430)는,
언록킹 너트(200)의 상부에 돌출된 상부 회전 방지편(230)과 동일한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 1,
The nut head insertion portion 430 is,
A fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that it has the same shape as the upper rotation prevention piece 230 protruding on the top of the unlocking nut 200.
 제1항에 있어서,
상기 분배판 고정볼트(500)는,
볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 다각홈(521)을 갖는 볼트 헤드(520)를 구비하고,
상기 볼트 헤드(520)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.
According to paragraph 1,
The distribution plate fixing bolt 500 is,
A bolt head 520 having a polygonal groove 521 is provided on the top of a bolt body 510 having a male bolt portion 511,
A fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that a loosening prevention part 530 is coupled to the lower part of the bolt head 520.
 제7항에 있어서,
상기 풀림방지부(530)는,
2겹의 플레이트링 와셔로 구비되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 체결구조.In clause 7,
The loosening prevention part 530 is,
A fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, characterized in that it is provided with a two-layer plate washer.
KR1020220026702A 2022-03-02 2022-03-02 Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board KR20230129738A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220026702A KR20230129738A (en) 2022-03-02 2022-03-02 Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220026702A KR20230129738A (en) 2022-03-02 2022-03-02 Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230129738A true KR20230129738A (en) 2023-09-11

Family

ID=88020375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220026702A KR20230129738A (en) 2022-03-02 2022-03-02 Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230129738A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102128596B1 (en) 2019-02-19 2020-07-01 하나머티리얼즈(주) Bush assembly for plasma electric plate and electrode assembling structure including the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102128596B1 (en) 2019-02-19 2020-07-01 하나머티리얼즈(주) Bush assembly for plasma electric plate and electrode assembling structure including the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101980255B1 (en) Bush assembling structure for cathode electric plate and upper electrode assembly including the same
KR101257726B1 (en) Cathode fastener of plasma chamber
EP1532371A4 (en) Clinch-type blind nut
KR102269883B1 (en) Bush assembly for plasma electric plate and upper electrode assembling structure including the same
KR20110091253A (en) Coupler for cathode combination
US20230032767A1 (en) Interlocking fastening upper electrode assembly having improved fastening force, and plasma device including same
US8146230B2 (en) Method of reducing pressuing during installation of a fastener
US8734074B2 (en) Connecting member and connecting structure
KR20120013518A (en) Double Nut For Coupling Electrode
KR20230129738A (en) Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board
KR102659510B1 (en) The fixed type annealing prevention combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution plate
KR20230129740A (en) Slide type annealing prevention combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board
KR20230129741A (en) Combining structure of the shower head for the plasma and gas distribution board
KR20220078213A (en) Nut structure for loosening prevention
KR20240045703A (en) Fixed anti-loop fastening structure
KR20240045702A (en) Slide type anti-loop fastening structure
KR20230174608A (en) Combining structure of the plasma shower head for the fastening force improvement and annealing prevention and gas distribution plate
CN209892591U (en) Locking bolt assembly that takes off
WO2023167459A1 (en) Fixing-type anti-loosening fastening structure
CN211901246U (en) Anti-loose nut
CN112555257B (en) Anti-drop screw structure and locking device
KR102420516B1 (en) Cathode electrode plate integrated assembly
CN210218376U (en) Outer hexagonal topside nut structure of preventing skidding
US20230356284A1 (en) Process of making an eccentric threaded fastener
WO2023167460A1 (en) Sliding-type anti-loosening fastening structure