KR20240045702A - Slide type anti-loop fastening structure - Google Patents

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박진경
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주식회사 케이씨파츠텍
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Abstract

이건 발명은 제1 부재와 제2 부재의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것으로, 제1 부재와 제2 부재를 결합시키는 고정볼트가 작업 과정에서 풀려 체결력이 낮아지는 것을 막을 수 있도록, 언록킹 캡이 슬라이드 이동되어 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있는 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체를 제공하며, 반도체 제조 장치인 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 풀림방지 체결구조에 적용될 수 있다.This invention relates to a slide-type anti-loosening fastening structure of a first member and a second member, and includes an unlocking cap to prevent the fixing bolt connecting the first member and the second member from loosening during work and lowering the fastening force. This provides a slide-type anti-loosening fastening structure that can be moved to reduce processing and assembly errors, and can be applied to the anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and gas distribution plate, which are semiconductor manufacturing equipment.

Description

슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체{Slide type anti-loop fastening structure} Slide type anti-loop fastening structure}

이건 발명은 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것으로, 샤워 헤드부와 가스 분배부를 결합시키는 분배판 고정볼트가 작업 과정에서 풀려 체결력이 낮아지는 것을 막을 수 있도록 하는 가운데 언록킹 캡이 슬라이드 이동되어 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있는 플라즈마용 샤워 헤드와 가스분배판의 슬라이드식 풀림방지 체결구조에 관한 것이다.This invention relates to a slide-type anti-loosening fastening structure between a plasma shower head and a gas distribution plate, which prevents the distribution plate fixing bolts that connect the shower head and the gas distribution section from loosening during the work process and lowering the fastening force. This relates to a slide-type anti-loosening fastening structure of a plasma shower head and a gas distribution plate in which the unlocking cap can slide and move to reduce processing and assembly errors.

[연구 과제 정보][Research project information]

[과제고유번호]　　S2836451　[Assignment identification number] S2836451

[부처명] 중소벤처기업부　[Ministry Name] Ministry of SMEs and Startups

[연구관리전문기관]　　중소기업기술정보진흥원　[Research Management Institute] Small and Medium Business Technology Information Promotion Agency

[연구사업명]　중소기업기술혁신개발사업　[Research project name] Small and medium-sized enterprise technology innovation development project

[연구과제명]　반도체 에칭 장비의 핵심 부품 국산화를 위한 개선형 구조 및 가공 기술 개발　[Research project name] Development of improved structure and processing technology for local production of core components of semiconductor etching equipment

[주관기관]　(주)티이엠　[Host organization] TEM Co., Ltd.

[연구기간]　2020. 06. 30. ～ 2022. 08. 28 (총 26개월)　[Research period] 2020. 06. 30. ∼ 2022. 08. 28 (total 26 months)

[기여율] 1/1[Contribution rate] 1/1

일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고, 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키는 캐소드가 구비되어 있다.In general, a plasma device used for etching processing of semiconductor wafers is installed horizontally with the wafer, which is mainly located on the anode inside the plasma chamber, injects a reaction gas through a number of holes formed in the plasma chamber, and applies a high-frequency voltage to etch the wafer. A cathode is provided that generates the plasma necessary for etching.

캐소드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되고 있는 바, 이러한 볼트 체결에서는 캐소드와, 챔버 내부의 플레이트 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구를 형성하여, 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성되어 있다.The cathode is mainly connected to the plate inside the plasma chamber through bolts. In this bolt fastening, a plurality of bolt insertion holes with threads are formed on the inside of the plate inside the chamber and the cathode, and the bolt insertion holes are aligned up and down and then the bolt is inserted. It is configured to insert and combine.

이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동에 의해 볼트체결구의 나사산에 손상이 발생되어 캐소드가 소모되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사의 풀림에 의해 캐소드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 있었다.In this bolt fastening structure, there is a problem that the threads of the bolt fastener are damaged by the flow of the bolt generated in a high-pressure plasma environment and the cathode is consumed, and a gap is created between the cathode and the plate due to the loosening of the screw, damaging the wafer. There was a problem that degraded the performance of the etching process.

한편, 이러한 문제점을 해결하기 위한 방안으로 플라즈마에 통공을 형성하고, 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 부시의 외측과 통공 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 부시에 나사식으로 상호 결합시키도록 구비하여 나사 결합부의 손상의 발생을 억제하고, 손상 발생시에 부시만을 교체하여 사용할 수 있도록 하였다.Meanwhile, as a way to solve this problem, a hole is formed in the plasma, a bush is fixedly inserted by a step inside the hole, and an assembly ring is inserted between the outside of the bush and the inside of the hole, and then the plasma chamber is installed. By inserting the plate and connecting the subsequent assembly screws to the bush, damage to the screw joint is suppressed and only the bush can be replaced when damage occurs.

그러나, 캐소드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상이 발생되는 문제점이 있었고, 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 경우, 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 캐소드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점이 있었다.However, there was a problem in that the bush inserted into the through hole of the cathode moved and came into contact with the side of the through hole, causing damage, and as with the bolt joint structure, if the bush moved during the wafer etching process, the screw connection with the assembly screw was broken. There was a problem of deteriorating etching performance by creating a gap between the cathode and the plate.

한편, 이러한 문제점을 해소하기 위한 방안으로 등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)의 플라즈마 전극용 부시 조립체 및 이를 포함하는 전극 조립구조가 제안되었고, 제안된 전극 조립구조는 조립링을 사용하지 않아도 부시 조립시 자체적으로 회전을 방지하게 되어 구조의 간단화 및 볼트 풀림 현상을 방지할 수 있도록 하였으나, 플라즈마 전극판에 전극판이 고정부재에 나사결합된 지지부재에 의하여 지지된 후 작업 과정에서 고온으로 인한 연신율이나 변형 등 기타의 원인으로 인하여 지지부재가 고정부재에서 역회전으로 풀리게 됨에 따라 지지력이 낮아지는 문제점이 있었다. 또한 이로 인하여 견고성이 낮아지는 또 다른 문제점이 발생한다.Meanwhile, as a way to solve this problem, a bush assembly for a plasma electrode and an electrode assembly structure including the same were proposed in Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.), and the proposed electrode assembly structure includes an assembly ring. Even when not in use, it automatically prevents rotation when assembling the bush, simplifying the structure and preventing bolt loosening. However, during the work process after the electrode plate on the plasma electrode plate is supported by the support member screwed to the fixing member, There was a problem in that the support force was lowered as the support member was released from the fixing member in reverse rotation due to other causes such as elongation or deformation due to high temperature. Additionally, this causes another problem of lowered robustness.

등록특허공보 제10-2128596호(2020.06.24.)Registered Patent Publication No. 10-2128596 (2020.06.24.)

이건 발명은 샤워 헤드부 등의 제1 부재가 가스 분배부 등의 제2 부재에 밀착되도록 하는 고정볼트에 슬라이더 캡에 끼워진 록킹 캡이 결합되도록 함으로써 풀림이 방지되도록 하고, 이를 통해 반도체 등의 제조 과정에서 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있도록 할 수 있을 분만 아니라, 체결 구조체를 포함하는 장치를 사용하는 과정 중에서 제1 부재와 제2 부재 사이의 체결력이 감소하는 것을 방지함으로써, 정밀도가 공정을 수행함으로써, 높은 수율로 제품을 생산하기 위한 것이다.This invention prevents loosening by allowing the locking cap fitted on the slider cap to be coupled to the fixing bolt that allows the first member, such as the shower head, to come into close contact with the second member, such as the gas distribution part, thereby preventing the manufacturing process of semiconductors, etc. Not only can it reduce processing and assembly errors, but it can also prevent the fastening force between the first member and the second member from decreasing during the process of using the device including the fastening structure, thereby performing the process with high precision. This is to produce products with high yield.

이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체는, 너트 삽입구(110)를 갖는 제1 부재(100); 너트(200); 볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 하부가 상기 제1부재(100)의 상부에 안착되는 제2 부재(400); 및 상기 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 상기 너트(200)에 결합되는 고정볼트(500);를 포함하고, 상기 고정볼트(500)에 볼트 록킹부(600)가 결합됨으로써 풀림이 방지되도록 체결되는 것을 특징으로 한다.A slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention includes a first member 100 having a nut insertion hole 110; nuts (200); A second member 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410, the lower part of which is seated on the upper part of the first member 100; and a fixing bolt 500 that penetrates the bolt body through hole 420 and is coupled to the nut 200, wherein the bolt locking portion 600 is coupled to the fixing bolt 500 to prevent loosening. It is characterized by being concluded.

상기 제1 부재(100)는, 반도체 플라즈마 장치에 사용되는 샤워헤드부인 것이 바람직하고, 상기 제2 부재(400)는, 반도체 플라즈마 장치에 사용되는 가스 분배부인 것이 바람직하다.The first member 100 is preferably a showerhead used in a semiconductor plasma device, and the second member 400 is preferably a gas distribution portion used in a semiconductor plasma device.

상기 제1 부재(100)는, 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 너트 삽입구(110)를 구비하되, 상기 너트 삽입구(110)는, 바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111); 및 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112);를 포함할 수 있다.The first member 100 is provided with a nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the body 101, wherein the nut insertion hole 110 includes a rotation prevention piece insertion groove 111 provided on the bottom; and a guide nut portion 112 provided on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the body 101.

상기 회전 방지편 삽입홈(111)은 장홈의 형태를 갖도록 구비되는 것이 바람직하고, 상기 가이드 너트부(112)는 둥근 암나사의 형태를 갖는 것이 바람직하다.The rotation prevention piece insertion groove 111 preferably has the shape of a long groove, and the guide nut portion 112 preferably has the shape of a round female thread.

상기 너트(200)는, 상기 너트 삽입구(110)에 회전되는 것이 방지되도록 삽입되는 언록킹 너트(201); 및 상기 언록킹 너트(201)가 상부로 이동되는 것을 방지하도록 너트 삽입구(110)에 결합되는 중공 가이드부(300);를 포함할 수 있다.The nut 200 includes an unlocking nut 201 inserted into the nut insertion hole 110 to prevent rotation; and a hollow guide portion 300 coupled to the nut insertion hole 110 to prevent the unlocking nut 201 from moving upward.

상기 언록킹 너트(201)는, 너트 몸체(210); 상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비되고, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220); 및 상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)이 관통되도록 구비되는 암나사부(230);를 포함할 수 있다. The unlocking nut 201 includes a nut body 210; A rotation prevention piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions; and a female thread portion 230 provided through the nut body 210 and the rotation prevention piece 220.

상기 중공 가이드부(300)는, 언록킹 너트(201)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310); 및 상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320);를 포함할 수 있고, 상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330);를 더 포함할 수 있다.The hollow guide portion 300 includes a hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 201; and a male screw portion 320 provided on the outer peripheral portion of the hollow guide body 310, and may further include a tool insertion portion 330 provided on the upper end of the hollow guide body 320. there is.

상기 고정볼트(500)는, 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)를 구비할 수 있다.The fixing bolt 500 may be provided with a polygonal bolt head 520 having a pressing flange 521 on the top of the bolt body 510 having a male bolt portion 511.

상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합될 수 있으며, 상기 풀림방지부는 2겹의 플레이트링 와셔로 구비될 수 있다.A loosening prevention part 530 may be coupled to the lower part of the pressing flange 521, and the loosening prevention part may be provided with a two-layer plated washer.

상기 볼트 록킹부(600)는, 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹되는 록킹 캡(610); 및 캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄일 수 있는 슬라이더 캡(620);을 포함할 수 있다.The bolt locking unit 600 includes a locking cap 610 into which the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 is inserted and locked; and a slider cap 620 that can slide in the longitudinal direction while being inserted into the cap body 611 to reduce processing and assembly errors.

상기 록킹 캡(610)은, 캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함하거나, 캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹 돌기가 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함할 수 있다.The locking cap 610 includes a cap body 611; And a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611; or, a cap body 611; and a bolt head locking portion 612 in which locking protrusions are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611.

상기 슬라이더 캡(620)은, 양측단부가 반원형태를 갖되, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621); 상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622); 및 상기 노출부(622)의 하부로 구비된 T형태를 갖는 슬라이드홈(623);을 포함할 수 있다.The slider cap 620 includes a slider body 621 having both ends having a semicircular shape and extending outward to a predetermined length; an exposed portion 622 provided in a long hole shape on the upper part of the slider body 621; and a slide groove 623 having a T shape provided below the exposed portion 622.

상기 캡 몸체(611)는, 다각형태를 갖도록 구비되고, 상기 록킹홈(612-1)은, 소정 간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비되며, 상기 록킹 돌기는, 소정 간격을 갖는 산형태의 돌기로 구비되는 것이 바람직하다.The cap body 611 is provided to have a polygonal shape, the locking groove 612-1 is provided as a mountain-shaped groove with a predetermined spacing, and the locking protrusion is a mountain-shaped protrusion with a predetermined spacing. It is desirable to be provided with.

이건 발명은 제1 부재에 구비된 너트에 제2 부재를 관통하는 고정볼트의 볼트 숫나사부가 나사결합되도록 함으로써, 충분한 조임력이 확보 될 수 있는 효과를 얻을 수 있다.This invention achieves the effect of ensuring sufficient tightening force by screwing the male bolt portion of the fixing bolt penetrating the second member to the nut provided on the first member.

또한, 이를 통해 작업 과정에서 진동이 발생되는 것을 방지하여 정밀도가 높은 제품 또는 공정을 얻을 수 있는 효과가 있다.In addition, this has the effect of preventing vibrations from occurring during the work process and producing products or processes with high precision.

그리고, 고정볼트의 다각 볼트 헤드 모서리가 록킹 캡의 록킹홈에 끼워진 상태가 유지됨으로써, 역방향으로 회전되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, by maintaining the polygonal bolt head edge of the fixing bolt inserted into the locking groove of the locking cap, the effect of preventing rotation in the reverse direction can be obtained.

아울러 이를 통해 고정볼트의 조임력에 변화가 발생되는 것을 막을 수 있는 효과를 얻을 수 있으며, 슬라이더 캡이 캡 몸체에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동됨으로써, 가공, 조립 오차를 줄일 수 있는 효과가 존재한다.In addition, this has the effect of preventing changes in the tightening force of the fixing bolt, and has the effect of reducing processing and assembly errors by sliding and moving in the longitudinal direction while the slider cap is inserted into the cap body. .

도 1은 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체의 내,외부를 일부 절개하여 도시한 사시도이다.
도 2는 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체를 분리 도시한 사시도이다.
도 3은 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체에 있어 언록킹 너트, 중공 가이드부, 분배판 고정볼트, 록킹 캡 및 슬라이더 캡의 분리, 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체를 분리하여 도시한 종단면도이다.
도 5와 도 6은 각각 도 2의 A-A선과 B-B선의 단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing the inside and outside of a slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention, partially cut away.
Figure 2 is an exploded perspective view of a slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing the separated and combined states of the unlocking nut, hollow guide portion, distribution plate fixing bolt, locking cap, and slider cap in the slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a vertical cross-sectional view showing the slide-type anti-loosening fastening structure in isolation according to an embodiment of the present invention.
Figures 5 and 6 are cross-sectional views taken along lines AA and BB in Figure 2, respectively.

이건 발명의 구체적인 실시 형태를 첨부된 도면 1 내지 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Specific embodiments of this invention will be described with reference to the attached drawings 1 to 6 as follows.

도 1은 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체의 내부와 외부의 일부를 절개하여 도시한 사시도이고, 도 2는 이건 발명에 슬러이드식 풀림 방지 체결 구조체를 분리 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a cutaway portion of the inside and outside of the slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the Egan invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the slide-type anti-loosening fastening structure in isolation according to the Egan invention. .

도 3의 (a) 내지 (c)는, 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체에서 언록킹 너트와 중공 가이드부로 구성된 너트, 고정볼트, 록킹 캡 및 슬라이더 캡의 분리 혹은 결합된 상태를 도시한 사시도이다.3 (a) to (c) show the separated or combined nut, fixing bolt, locking cap, and slider cap consisting of an unlocking nut and a hollow guide part in the slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention. This is a perspective view showing the condition.

도 4는 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체를 분리하여 도시한 종단면도이다.Figure 4 is a vertical cross-sectional view showing the slide-type anti-loosening fastening structure in isolation according to an embodiment of the present invention.

도 5와 도 6은, 각각 도 2의 A-A선과 B-B선의 단면도이다..Figures 5 and 6 are cross-sectional views taken along line A-A and line B-B in Figure 2, respectively.

이건 발명에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체는, 충분한 조임력이 확보될 수 있도록 함으로써 작업 혹은 공정 진행 과정에서 진동이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 조임력의 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있어, 가공 및 조립 오차를 감소 및 으며, 정밀도가 높은 제품을 얻거나 또는 정밀도가 높은 공정을 수행할 수 있다. 도 1 내지 도 6에서 확인 되듯이, 이건 발명의 일 실시 형태에 따른 슬라이드식 풀림 방지 체결 구조체는, 제1 부재(100), 너트(200), 제2 부재(400), 고정볼트(500) 및 볼트 록킹부(600)를 포함한다. 이때 상기 너트(200)는, 언록킹 너트(201)와 중공 가이드부(300)를 포함할 수 있다.The slide-type anti-loosening fastening structure according to this invention can prevent vibration from occurring during work or processing by ensuring sufficient tightening force, and can prevent changes in tightening force from occurring during processing and processing. Assembly errors can be reduced and high-precision products can be obtained or high-precision processes can be performed. As can be seen in FIGS. 1 to 6, the slide-type anti-loosening fastening structure according to an embodiment of the present invention includes a first member 100, a nut 200, a second member 400, and a fixing bolt 500. and a bolt locking unit 600. At this time, the nut 200 may include an unlocking nut 201 and a hollow guide portion 300.

여기에서, 제1 부재(100)는, 특별히 제한되지는 않으나 반도체 제조 장치인 플라즈마 식각 장치에 포함되는 샤워헤드를 포함할 수 있으며, 제2 부재(400)는 플라즈마 식각 장치의 가스 분배판을 포함할 수 있다. 이러한 플라즈마용 샤워헤드 등을 포함하는 제1 부재(100)에는, 소정 두께를 갖는 원판형태의 Si로 이루어진 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 다수개의 언록킹 너트 삽입구(110)가 적소에 구비될 수 있다. 또한, 가스 분배판 등을 포함하는 제2 부재(400)에는, 플라즈마 반응 가스 혹은 식각 가스 등을 플라즈마 챔버 내로 공급할 수 있도록 복수의 가스홀들이 형성될 수 있다.Here, the first member 100 is not particularly limited, but may include a showerhead included in a plasma etching device that is a semiconductor manufacturing device, and the second member 400 includes a gas distribution plate of the plasma etching device. can do. In the first member 100 including such a plasma showerhead, a body 101 made of Si in the shape of a disk with a predetermined thickness will be provided with a plurality of unlocking nut insertion holes 110 having a predetermined depth in place. You can. Additionally, a plurality of gas holes may be formed in the second member 400 including the gas distribution plate, etc. to supply plasma reaction gas or etching gas, etc. into the plasma chamber.

도 2 내지 3에서 확인되듯이, 이러한 너트 삽입구(110)는 언록킹 너트(201)가 삽입된 상태에서 중공 가이드부(300)에 의하여 언록킹 너트(201)가 분리되는 것을 방지할 수 있도록 구비된 것으로, 바닥에 장홈의 형태를 갖는 회전 방지편 삽입홈(111)이 구비되며, 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 둥근 암나사의 형태를 갖는 가이드 너트부(112)가 구비된다.As can be seen in Figures 2 and 3, this nut insertion hole 110 is provided to prevent the unlocking nut 201 from being separated by the hollow guide portion 300 when the unlocking nut 201 is inserted. It is provided with a rotation prevention piece insertion groove 111 in the form of a long groove at the bottom, and a guide in the form of a round female thread on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the body 101. A nut portion 112 is provided.

또한, 상기 언록킹 너트(201)는 언록킹 너트 삽입구(110)에 삽입되어, 후술되는 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)에 구비된 볼트 숫나사부(511)가 나사결합되는 과정에서 체결력에 의하여 제2 부재(400)의 하부인 밑면이 제1 부재(100)의 상부인 윗면과 일정한 압력으로 맞대어져 고정된 상태가 유지될 수 있다.In addition, the unlocking nut 201 is inserted into the unlocking nut insertion hole 110 to apply a fastening force in the process of screwing the bolt male thread portion 511 provided on the bolt body 510 of the fixing bolt 500, which will be described later. As a result, the lower, lower surface of the second member 400 can be maintained in a fixed state by abutting against the upper, upper surface of the first member 100 with a certain pressure.

이를 위해, 언록킹 너트(201)는 너트 몸체(210)의 하부에 소정 두께를 가지며 양측방향으로 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220)이 구비되어 몸체(101)의 회전 방지편 삽입홈(111)에 삽입됨으로써, 고정볼트(500)를 조이는 과정에서 너트 몸체(210)가 같이 회전되는 것을 방지할 수 있게 된다.For this purpose, the unlocking nut 201 is provided with anti-rotation pieces 220 that have a predetermined thickness at the lower part of the nut body 210 and protrude in the shape of a crescent moon in both directions, and are inserted into the anti-rotation piece insertion grooves of the body 101 ( By being inserted into 111), it is possible to prevent the nut body 210 from rotating during the process of tightening the fixing bolt 500.

상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)에는 관통되는 형태를 갖는 암나사부(230)가 구비되어 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)에 구비된 볼트 숫나사부(511)가 용이하게 결합될 수 있게 된다.The nut body 210 and the rotation prevention piece 220 are provided with a female thread portion 230 having a penetrating shape to facilitate the bolt male thread portion 511 provided on the bolt body 510 of the fixing bolt 500. can be combined.

상기 중공 가이드부(300)는, 언록킹 너트(201)가 상부로 인출(돌출)되는 것을 방지하여 고정볼트(500)에 충분한 체결력을 제공하도록 구비된 것으로, 언록킹 너트(201)의 너트 몸체(210) 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310) 외주연부에 숫나사부(320)가 구비되어 있고, 상기 중공 가이드 몸체(310)의 상단에 공구 삽입부(330)가 구비되어 별도의 공구를 이용하여 가이드 너트부(112)에 충분한 조임력으로 나사결합될 수 있다.The hollow guide portion 300 is provided to prevent the unlocking nut 201 from being pulled out (protruding) upward and provide sufficient fastening force to the fixing bolt 500, and is provided to the nut body of the unlocking nut 201. (210) A male thread portion 320 is provided on the outer periphery of a hollow guide body 310 having the same inner diameter as the outer diameter, and a tool insertion portion 330 is provided at the top of the hollow guide body 310 to use a separate tool. It can be screwed onto the guide nut portion 112 with sufficient tightening force.

도 4 내지 6에서 확인되듯이, 상기 제2 부재(400)는 볼트 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)이 상부에서 하부를 향하여 완전하게 관통된 형태를 갖도록 구비됨으로써, 상기 고정볼트(500)의 볼트 몸체(510)가 제2 부재(400)를 관통하여 하부로 위치된 언록킹 너트(201)의 암나사부(230)에 나사결합될 수 있도록 구비된다.As can be seen in FIGS. 4 to 6, the second member 400 is provided so that the bolt body through hole 420 is completely penetrated from the top to the bottom at the bottom of the bolt locking groove 410, The bolt body 510 of the fixing bolt 500 is provided to be screwed to the female thread portion 230 of the unlocking nut 201 positioned downwardly through the second member 400.

상기 고정볼트(500)는 볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 링 또는 디스크 형태의 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)가 구비되어 미도시된 렌치 등을 이용하여 조이거나 풀 수 있다. 그리고 상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림 방지부(530)가 결합됨으로써, 다각 볼트 헤드(520)가 결합된 상태에서 역방향으로 풀리는 것을 방지할 수 있게 구비된다.The fixing bolt 500 is provided with a polygonal bolt head 520 having a press flange 521 in the form of a ring or disk on the upper part of the bolt body 510 having a male bolt portion 511, and can be used with a wrench, etc. (not shown). You can use it to tighten or loosen it. In addition, the loosening prevention portion 530 is coupled to the lower part of the pressing flange 521, thereby preventing the polygonal bolt head 520 from loosening in the reverse direction while it is coupled.

이를 위해, 상기 풀림방지부(530)는 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되도록 하여 항상 볼트 걸림홈(410)의 바닥으로부터 상부를 향하여 일정한 탄성력이 작용되도록 하여 풀리는 것을 방지할 수 있게 된다.To this end, the loosening prevention portion 530 is provided with a two-layer plate ring washer so that a certain elastic force is always applied from the bottom of the bolt locking groove 410 toward the top, thereby preventing loosening.

상기 볼트 록킹부(600)는 고정볼트(500)의 풀림이 방지되도록 하는 가운데 가공 및 조립 오차를 줄일 수 있게 체결되는 것으로, 가압 플랜지(521)의 상부로 위치된 다각 볼트 헤드(520)에 결합되는 록킹 캡(610) 및 상기 록킹 캡(610)에 슬라이드 이동 가능하도록 결합되는 슬라이더 캡(620)으로 구비된다.The bolt locking portion 600 is fastened to reduce processing and assembly errors while preventing loosening of the fixing bolt 500, and is coupled to the polygonal bolt head 520 located at the top of the pressing flange 521. It is provided with a locking cap 610 and a slider cap 620 coupled to the locking cap 610 so that it can slide.

상기 록킹 캡(610)은 사각형태를 갖는 캡 몸체(611) 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612)가 구비됨으로써, 상기 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹될 수 있게 된다The locking cap 610 is provided with a cap body 611 having a square shape and a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611. As a result, the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 can be inserted and locked.

상기 록킹홈(612-1)은 소정의 간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비되어 미도시한 공구를 이용하여 볼트 머리 걸림홈(410)에 삽입되면서 다각 볼트 헤드(520)의 모서리가 록킹홈(612-1)에 삽입될 수 있다.The locking groove 612-1 is provided as a mountain-shaped groove with a predetermined spacing, and is inserted into the bolt head locking groove 410 using a tool (not shown), so that the corner of the polygonal bolt head 520 becomes a locking groove ( 612-1).

또한 선택적으로 상기 록킹홈(612-1) 대신에 소정의 간격, 바람직하게는 약 15°간격을 갖는 산형태의 돌기인 록킹돌기로 구비되는 것도 가능하다(미도시).Additionally, alternatively, instead of the locking groove 612-1, it is possible to provide a locking protrusion, which is a mountain-shaped protrusion with a predetermined spacing, preferably about 15° spacing (not shown).

바람직하게는 상기 소정의 간격은 약 15°의 각도를 유지할 수 있는데, 이는 분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 육각형태를 가짐으로써, 각각의 모서리 부분이 삽입되어 고정될 수 있도록 하기 위함이며, 이는 24개로 배열되도록 하는 것이 바람직하다.Preferably, the predetermined interval can maintain an angle of about 15°, which is because the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 has a hexagonal shape, so that each corner portion can be inserted and fixed. This is to ensure that it is preferably arranged in 24 numbers.

상기 슬라이더 캡(620)은 캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄이는 것으로, 양측단부가 반원형태를 가지며, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621)로 이루어져 볼트 머리 걸림홈(410)에 용이하게 삽입되도록 구비된다.The slider cap 620 slides in the longitudinal direction while being inserted into the cap body 611 to reduce processing and assembly errors. The slider cap 620 has a semicircular shape at both ends and extends outward to a predetermined length. It consists of a slider body 621 and is provided to be easily inserted into the bolt head locking groove 410.

상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622)가 구비되어 있고, 상기 노출부(622)의 하부로 슬라이드홈(623)이 구비됨으로써, 상기 슬라이드홈(623)에 삽입된 록킹캡(610)을 따라 슬라이드홈(623)의 방향으로 미소 간격 또는 거리로 슬라이드 이동이 가능하게 된다.An exposed part 622 having a long hole shape is provided on the upper part of the slider body 621, and a slide groove 623 is provided on the lower part of the exposed part 622, so that the slide groove 623 It is possible to slide at small intervals or distances in the direction of the slide groove 623 along the inserted locking cap 610.

이를 위해, 상기 슬라이드홈(623)은 T형태를 갖도록 하는 것이 바람직하고, T형태의 하부에 내측으로 돌출되는 돌부를 구비함으로써, 록킹캡(610)으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있게 된다.For this purpose, the slide groove 623 preferably has a T shape, and by providing a protrusion protruding inward at the bottom of the T shape, it can be prevented from being separated from the locking cap 610.

이건 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 이 건 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 이 건 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.This invention is not limited to the specific embodiments and descriptions described above, and various modifications may be made by anyone skilled in the art without departing from the gist of the invention as claimed in the claims. It is possible, and such modifications fall within the scope of protection of this invention.

100: 제1 부재 101: 몸체
110: 너트 삽입구 111: 회전 방지편 삽입홈
112: 가이드 너트부 200: 너트
201: 언록킹 너트 210: 너트 몸체
220: 회전 방지편 230: 암나사부
300: 중공 가이드부 310: 중공 가이드 몸체
320: 숫나사부 330: 공구 삽입부
400: 제2 부재 410: 볼트 걸림홈
420: 볼트 몸체 관통홀 500: 고정볼트
510: 볼트 몸체 511: 볼트 숫나사부
520: 다각 볼트 헤드 521: 가압 플랜지
530: 풀림 방지부 600: 볼트 록킹부
610: 록킹 캡 611: 캡 몸체
612: 볼트 헤드 록킹부 612-1: 록킹홈
620: 슬라이더 캡 621: 슬라이더 몸체
622: 노출부 623: 슬러이드 홈100: first member 101: body
110: Nut insertion hole 111: Rotation prevention piece insertion groove
112: Guide nut portion 200: Nut
201: unlocking nut 210: nut body
220: Anti-rotation piece 230: Female thread portion
300: hollow guide part 310: hollow guide body
320: male thread 330: tool insertion part
400: second member 410: bolt locking groove
420: Bolt body through hole 500: Fixing bolt
510: Bolt body 511: Bolt male thread portion
520: polygonal bolt head 521: pressurized flange
530: Loosening prevention part 600: Bolt locking part
610: Locking cap 611: Cap body
612: Bolt head locking part 612-1: Locking groove
620: Slider cap 621: Slider body
622: exposed portion 623: slide groove

Claims (20)

너트 삽입구(110)를 갖는 제1 부재(100);
너트(200);
볼트 머리 걸림홈(410)의 바닥에 볼트 몸체 관통홀(420)을 가지며, 하부가 상기 제1부재(100)의 상부에 안착되는 제2 부재(400); 및
상기 볼트 몸체 관통홀(420)을 관통하여 상기 너트(200)에 결합되는 고정볼트(500);를 포함하고,
상기 고정볼트(500)에 볼트 록킹부(600)가 결합됨으로써 풀림이 방지되도록 체결되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
A first member 100 having a nut insertion hole 110;
nuts (200);
A second member 400 having a bolt body through hole 420 at the bottom of the bolt head locking groove 410, the lower part of which is seated on the upper part of the first member 100; and
It includes a fixing bolt 500 that penetrates the bolt body through hole 420 and is coupled to the nut 200,
A slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that the bolt locking portion 600 is coupled to the fixing bolt 500 to prevent loosening.
 제1항에 있어서,
상기 제1 부재(100)는, 반도체 플라즈마 장치에 사용되는 샤워헤드부인 것을 특징으로 하는, 고정식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The first member 100 is a fixed anti-loosening fastening structure, characterized in that it is a shower head used in a semiconductor plasma device.
 제1항에 있어서,
상기 제2 부재(400)는, 반도체 플라즈마 장치에 사용되는 가스 분배부인 것을 특징으로 하는, 고정식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The second member 400 is a fixed anti-loosening fastening structure, characterized in that it is a gas distribution part used in a semiconductor plasma device.
 제1항에 있어서,
상기 제1 부재(100)는, 몸체(101)에 소정 깊이를 갖는 너트 삽입구(110)를 구비하되,
상기 너트 삽입구(110)는,
바닥에 구비된 회전 방지편 삽입홈(111); 및 상기 회전 방지편 삽입홈(111)의 상부에서 몸체(101)의 상부까지 내주연부에 구비된 가이드 너트부(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The first member 100 is provided with a nut insertion hole 110 having a predetermined depth in the body 101,
The nut insertion hole 110 is,
A rotation prevention piece insertion groove (111) provided on the floor; And a guide nut portion 112 provided on the inner periphery from the top of the rotation prevention piece insertion groove 111 to the top of the body 101. A slide-type anti-loosening fastening structure comprising a.
 제4항에 있어서,
상기 회전 방지편 삽입홈(111)은 장홈의 형태를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 4,
The slide-type anti-loosening fastening structure is characterized in that the rotation prevention piece insertion groove 111 is provided to have the shape of a long groove.
 제4항에 있어서,
상기 가이드 너트부(112)는 둥근 암나사의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 4,
The guide nut portion 112 is a slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that it has the shape of a round female thread.
 제1항에 있어서,
상기 너트(200)는,
상기 너트 삽입구(110)에 회전되는 것이 방지되도록 삽입되는 언록킹 너트(201); 및
상기 언록킹 너트(201)가 상부로 이동되는 것을 방지하도록 너트 삽입구(110)에 결합되는 중공 가이드부(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 고정식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The nut 200 is,
an unlocking nut (201) inserted into the nut insertion hole (110) to prevent rotation; and
A fixed anti-loosening fastening structure comprising a hollow guide portion (300) coupled to the nut insertion hole (110) to prevent the unlocking nut (201) from moving upward.
 제7항에 있어서,
상기 언록킹 너트(201)는,
너트 몸체(210);
상기 너트 몸체(210)의 하부에 구비되고, 소정 두께를 가지며 양측방향을 향하여 초승달형태로 돌출된 회전 방지편(220); 및
상기 너트 몸체(210) 및 회전 방지편(220)이 관통되도록 구비되는 암나사부(230);를 포함하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
In clause 7,
The unlocking nut 201 is,
Nut body (210);
A rotation prevention piece 220 provided at the lower part of the nut body 210, has a predetermined thickness and protrudes in a crescent shape toward both directions; and
A slide-type anti-loosening fastening structure including a female thread portion 230 provided through the nut body 210 and the rotation prevention piece 220.
 제7항에 있어서,
상기 중공 가이드부(300)는,
언록킹 너트(201)의 외경과 동일한 내경을 갖는 중공 가이드 몸체(310); 및
상기 중공 가이드 몸체(310)의 외주연부에 구비된 숫나사부(320);를 포함하는 것을 특징을호 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
In clause 7,
The hollow guide part 300,
A hollow guide body 310 having an inner diameter equal to the outer diameter of the unlocking nut 201; and
A slide-type anti-loosening fastening structure comprising a male screw portion 320 provided on the outer periphery of the hollow guide body 310.
 제9항에 있어서,
상기 중공 가이드부(300)는,
상기 중공 가이드 몸체(320)의 상단에 구비된 공구 삽입부(330);를 포함하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 9,
The hollow guide part 300,
A slide-type anti-loosening fastening structure including a tool insertion portion 330 provided at the top of the hollow guide body 320.
 제1항에 있어서,
상기 고정볼트(500)는,
볼트 숫나사부(511)를 갖는 볼트 몸체(510)의 상부에 가압 플랜지(521)를 갖는 다각 볼트 헤드(520)를 구비하는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The fixing bolt 500 is,
A slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that it is provided with a polygonal bolt head (520) having a pressing flange (521) on the top of a bolt body (510) having a male bolt portion (511).
 제11항에 있어서,
상기 가압 플랜지(521)의 하부에 풀림방지부(530)가 결합되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 11,
A slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that a loosening prevention part 530 is coupled to the lower part of the pressing flange 521.
 제12항에 있어서,
상기 풀림방지부(530)는, 2겹의 플레이트링 와셔로 구비되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 12,
The anti-loosening portion 530 is a slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that it is provided with a two-ply plate ring washer.
 제1항에 있어서,
상기 볼트 록킹부(600)는,
분배판 고정볼트(500)의 다각 볼트 헤드(520)가 끼워져 록킹되는 록킹 캡(610); 및
캡 몸체(611)에 끼워진 상태에서 길이 방향으로 슬라이드 이동되어 가공, 조립 오차를 줄일 수 있는 슬라이더 캡(620);을 포함하는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to paragraph 1,
The bolt locking unit 600,
A locking cap 610 into which the polygonal bolt head 520 of the distribution plate fixing bolt 500 is inserted and locked; and
A slider anti-loosening fastening structure, characterized in that it includes a slider cap 620 that slides in the longitudinal direction while being inserted into the cap body 611 to reduce processing and assembly errors.
 제14항에 있어서,
상기 록킹 캡(610)은,
캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹홈(612-1)이 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 14,
The locking cap 610 is,
Cap body 611; And a bolt head locking portion 612 in which locking grooves 612-1 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611. A slide-type anti-loosening fastening structure comprising a.
 제14항에 있어서,
상기 록킹 캡(610)은,
캡 몸체(611); 및 상기 캡 몸체(611)의 내부에 록킹 돌기(612-2)가 원형배열로 반복되게 구비된 볼트 헤드 록킹부(612);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 14,
The locking cap 610 is,
Cap body 611; And a bolt head locking portion 612 in which locking protrusions 612-2 are repeatedly provided in a circular arrangement inside the cap body 611. A slide-type anti-loosening fastening structure comprising a.
 제14항에 있어서,
상기 슬라이더 캡(620)은,
양측단부가 반원형태를 가지며, 외측으로 소정 길이로 연장된 형태를 갖도록 구비된 슬라이더 몸체(621);
상기 슬라이더 몸체(621)의 상부에 장공형태를 갖도록 구비된 노출부(622); 및
상기 노출부(622)의 하부로 구비된 T형태를 갖는 슬라이드홈(623);을 포함하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 14,
The slider cap 620 is,
A slider body 621 having both ends having a semicircular shape and extending outward to a predetermined length;
an exposed portion 622 provided in a long hole shape on the upper part of the slider body 621; and
A slide-type anti-loosening fastening structure including; a slide groove 623 having a T shape provided at a lower portion of the exposed portion 622.
 제15항 또는 제16항에 있어서,
상기 캡 몸체(611)는, 다각형태를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to claim 15 or 16,
The cap body 611 is a slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that it is provided to have a polygonal shape.
 제15항에 있어서,
상기 록킹홈(612-1)은, 소정 간격을 갖는 산형태의 홈으로 구비되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.
According to clause 15,
The locking groove (612-1) is a slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that the locking groove (612-1) is provided as a mountain-shaped groove with a predetermined spacing.
 제16항에 있어서,
상기 록킹 돌기(612-2)은, 소정 간격을 갖는 산형태의 돌기로 구비되는 것을 특징으로 하는, 슬라이드식 풀림방지 체결구조체.According to clause 16,
The locking protrusion (612-2) is a slide-type anti-loosening fastening structure, characterized in that it is provided as a mountain-shaped protrusion with a predetermined spacing.
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