KR102562444B1 - Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 샤워헤드용 샤워헤드 전극판의 플레이트의 결합구조체 및 전극판과 플레이트의 결합구조에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(23)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되어, 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합 시 부시 조립체의 결합구조에 의해 견고한 고정력과 풀림을 방지할 수 있는 유용한 발명이다.The present invention relates to a coupling structure of a plate of a showerhead electrode plate for a showerhead and a coupling structure between an electrode plate and a plate, and more specifically, a groove portion 210 is formed on one side of an electrode plate 200, but an insert is formed at the bottom The lower groove 211 where the lower body of (10) is located and the upper groove 213 into which the insert 10 is inserted extend to each other, but the lower groove 211 is the upper groove 213 The insert 10 is fitted into the groove 210 by forming the insert 10 larger than the insert body 10, and the bush 20 is inserted into the bush inlet hole 11 of the insert 10. After being inserted into (13), the bush 20 is rotated so that the locking jaw 23 slides along the slide hole 15 of the insert 10, and the end of the slide hole 15 and the locking jaw 23 ) is fixed by contacting the side surface, and by fastening the fastening member 30 to the upper part of the bush 20, the lower side of the fastening member 30 comes into contact with the upper side of the insert 10 and is fixed, and the electrode The plate 300 is provided on the top of the plate 200, but the coupling hole 310 is arranged on the same line as the coupling hole 21 of the bush 20 to completely fasten with the bolt b, the electrode plate When combining the 200 and the plate 300, it is a useful invention capable of preventing loosening and a solid fixing force by the coupling structure of the bush assembly.
Description
본 발명은 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 하되, 전극판과 부시 조립체의 자체적인 고정력을 높여 이탈을 방지하며, 전극판과 플레이트를 결합 시, 부시조립체에 의해 견고한 고정력을 가질 수 있는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a bush assembly for a showerhead electrode plate and a coupling structure between an electrode plate and a plate. The present invention relates to a technology capable of preventing separation by increasing phosphorus fixing force and having a solid fixing force by a bush assembly when an electrode plate and a plate are coupled.
통상적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드가 구비된다.In general, a plasma device used for etching a semiconductor wafer is installed horizontally with a wafer mainly located on an anode inside a plasma chamber, injects a reaction gas through a plurality of holes formed in the plasma chamber, and applies a high-frequency voltage to the wafer. A cathode is provided to generate plasma required for etching.
우선 종래의 기술들을 살펴보면,First, looking at the conventional technologies,
등록번호 10-1593920호(특) 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 원주 방향 혹은 내부에 배치되는 다수개의 체결홈에 삽입되는 부시 조립체에 있어서, 상기 부시 조립체는, 원기둥 형태의 외주면에 제1결합부가 형성된 체결부와, 체결부의 상부에서 연장되면서, 경사부가 형성된 연장부를 포함하는 부시; 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 체결홈 내측에 형성되는 결합 공간부로 삽입되는 결합링; 및 상기 부시의 연장부와 결합되는 삽입 링;을 포함하고, 상기 결합링은, 한 쌍의 반원기둥 형태로 이루어지고, 안쪽으로 중공부가 형성되며, 상기 중공부가 형성된 내주면에 제2결합부를 포함하며, 상기 결합 공간부 내에서, 상기 부시의 제1결합부와 상기 결합링의 제2결합부가 결합하여 기밀하게 밀착됨으로써 부시를 고정하며, 상기 결합 공간부의 직경은 상기 체결홈의 직경에 비해 큰 값을 가져, 캐소드 전극판 또는 그라운드 링과 부시 조립체와의 접촉면을 증가시키는 것을 특징으로 하는 부시 조립체에 관한 기술이다.Registration No. 10-1593920 (Special) In the bush assembly inserted into a plurality of fastening grooves disposed in or in the circumferential direction of a cathode electrode plate or a ground ring, the bush assembly has a first coupling portion on an outer circumferential surface of a cylindrical shape. A bush including an extension portion formed with a fastening portion and an inclined portion formed while extending from an upper portion of the fastening portion; a coupling ring inserted into a coupling space formed inside the fastening groove of the cathode electrode plate or the ground ring; and an insertion ring coupled to the extension of the bush, wherein the coupling ring is formed in a pair of semi-cylindrical shapes, has a hollow portion formed therein, and includes a second coupling portion on an inner circumferential surface where the hollow portion is formed; , In the coupling space, the first coupling portion of the bush and the second coupling portion of the coupling ring are coupled and tightly adhered to fix the bush, and the diameter of the coupling space is a larger value than the diameter of the coupling groove It is a technique related to a bush assembly, characterized in that it increases the contact surface between the cathode electrode plate or ground ring and the bush assembly.
등록번호 10-1257726호(특) 캐소드의 체결홀에 삽입되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부로 연장되고 상면 중앙에 삽입홀이 형성되며 타원형상으로 형성되고 하측 원주 방향 상에 결합홈이 형성된 상부 결합부를 가지는 부시; 상기 부시에 삽입되도록 타원형태의 링 형상으로 이루어지고, 내측 하부 원주 방향 상에 형성된 돌출편을 가지는 삽입링; 및 상기 부시가 삽입된 캐소드의 상부에 위치된 플레이트를 경유하여 상기 삽입홀에 결합되는 스크류 볼트; 를 포함하되, 상기 부시와 상기 삽입링은 상기 결합홈 및 상기 돌출편을 통해 결합하는 플라즈마 챔버의 캐소드 체결구에 관한 기술이다.Registration No. 10-1257726 (Special) A base plate inserted into the fastening hole of the cathode, extending to the top of the base plate, with an insertion hole formed in the center of the upper surface, formed in an elliptical shape and with a coupling groove formed on the lower circumferential direction. Bush having an upper coupling portion; an insertion ring formed in an elliptical ring shape to be inserted into the bush and having a protruding piece formed on an inner lower circumferential direction; and a screw bolt coupled to the insertion hole via a plate positioned above the cathode into which the bush is inserted. Including, the bush and the insertion ring is a technology related to a cathode fastener of a plasma chamber coupled through the coupling groove and the protruding piece.
상기한 종래 기술들은 각각의 분할된 형태의 부시 조립체 구성들이 전극판의 홈에 삽입되어 고정되는 구조로 이루어져 있으나, 플레이트와 결합 시 볼트에 의해 결합되어 고정됨으로써, 플레이트와 결합 전 충격 등에 의해 전극판에 삽입되는 부시 조립체가 홈에서 이탈될 수밖에 없는 문제점을 갖고 있다.The prior art described above consists of a structure in which each of the divided bush assemblies is inserted into the groove of the electrode plate and fixed. There is a problem in that the bush assembly inserted into the groove is inevitably separated from the groove.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서, 전극판과 플레이트를 결합하되, 상기 전극판의 홈부에 삽입체, 부시, 체결부재로 구성되는 부시 조립체를 구성하여, 상기 부시 조립체가 전극판에서 이탈되지 않도록 완전히 고정됨과 아울러, 상기 부시 조립체의 체결홀과 플레이트의 결합홀을 동일선상에 배치시킨 후, 볼트로 체결시킬 시, 상기 부시 조립체의 회전을 방지할 수 있는 구조를 통해 자체적인 내구성 및 고정력을 향상시키고 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 완성해낸 것이다.The present invention has been devised to solve the problems of the prior art, and combines the electrode plate and the plate, but configures a bush assembly composed of an insert, a bush, and a fastening member in the groove of the electrode plate, so that the bush assembly is completely fixed so as not to be separated from the electrode plate, and after arranging the coupling hole of the bush assembly and the coupling hole of the plate on the same line, when fastened with a bolt, through a structure capable of preventing rotation of the bush assembly It was completed as a technical task with an emphasis on improving its own durability and fixing power and providing a bush assembly for a showerhead electrode plate and a coupling structure between an electrode plate and a plate.
이에 본 발명은, 전극판과 플레이트를 결합하기 위해 전극판의 홈에 체결되는 부시 조립체에 있어서, 분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10); 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20); 상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하고, 상기 삽입체(10)는, 상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와, 상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되되, 상기 하부몸체(10a)가 상부몸체(10b)보다 더 크게 형성되어, 하부몸체(10a)가 전극판(210)의 하부홈(211)과 상부홈(213)의 경계부분에 걸림되어 고정되며, 상기 슬라이드홀(15)은 삽입체(10)의 내측면 반 지점까지 형성되고, 상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.Therefore, in the present invention, in the bush assembly fastened to the groove of the electrode plate to combine the electrode plate and the plate, it is formed in a divided form and inserted into the groove portion 210 of the electrode plate 200, but disposed to face each other, An insert 10 having a bush inlet hole 11 and a locking jaw inlet hole 13 formed therebetween, and a slide hole 15 formed therein; A fastening hole 21 inserted into the bush inlet hole 11 through which a central portion penetrates and a screw thread is formed on the inside, a screw thread for fastening the fastening member 30 on the upper outer circumference, and the locking jaw on one side of the lower outer circumference. A bush 20 fitted into the inlet hole 13 and formed with a locking jaw 23 that slides along the slide hole 15 during rotation; A fastening member 30 fastened with a screw thread on an upper outer circumference of the bush 20, and the insert 10 includes a lower body 10a in which the lower groove 211 of the electrode plate 200 is located. ) and an upper body 10b protruding to one side of the upper part of the lower body 10a and positioned in the upper groove 213, the lower body 10a is formed larger than the upper body 10b, The lower body 10a is caught and fixed at the boundary between the lower groove 211 and the upper groove 213 of the electrode plate 210, and the slide hole 15 extends to the inner half of the insert 10. It is formed, and the upper portion of the bush 20 and the upper portion of the fastening member 30 are characterized in that tabs 27 and 37 are formed on both sides facing each other.
상기 부시(20)의 걸림턱(23)은, 상기 부시(20)의 외주에 서로 대칭되게 각각 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.The locking jaws 23 of the bush 20 are technically characterized in that they are formed symmetrically with each other on the outer circumference of the bush 20 .
상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 기술적 특징으로 한다.The bush assembly is characterized in that it is an insulator or a non-insulator.
상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
샤워헤드용 전극판과 플레이트의 결합구조체에 있어서, 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(23)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.The bush assembly is characterized in that it is composed of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, and Al 2 O 3 .
In the combination structure of the electrode plate and the plate for a showerhead, a groove 210 is formed on one side of the electrode plate 200, but the lower groove 211 where the lower body of the insert 10 is located and the upper part The upper groove 213 into which the insert 10 is inserted extends to each other, and the lower groove 211 is formed to be larger than the upper groove 213 so that the insert 10 is inserted into the groove portion 210. It is configured to be fitted, and the bush 20 is inserted into the bush inlet hole 11 of the insert 10, and the chin 23 of the bush 20 is inserted into the chin inlet hole 13 of the insert 10 After being drawn in, the bush 20 is rotated so that the locking jaw 23 slides along the slide hole 15 of the insert 10, and the end of the slide hole 15 and the side of the locking jaw 23 The lower side of the fastening member 30 abuts and is fixed with the upper side of the insert 10 by fastening the fastening member 30 to the upper part of the bush 20, and the electrode plate 200 It is provided with a plate 300 at the top of the ), but the coupling hole 310 is arranged on the same line as the coupling hole 21 of the bush 20 to be completely fastened with the bolt (b).
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본 발명에 따른 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 의하면, 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 전극판과 플레이트를 결합 시, 그 사이에 부시 조립체를 구성하되, 부시 조립체 만으로 전극판의 홈부에 끼운 후 볼트 너트 방식의 구조로 조립되어 고정되는 것이 아닌, 전극판의 홈부와 부시 조립체의 구조를 통해 부시 조립체를 결합할 시 자체적으로 부시 조립체가 전극판과 완전히 결합되도록 하여, 충격 등 기타 외부요인으로 풀림 및 이탈을 방지할 수가 있고, 플레이트를 전극판과 결합 시 볼트의 회전방향으로 더 이상 회전하지 않고 고정된 상태에서 볼트만 부시 조립체에 회전결합 될 수 있도록 하여 내구성을 높일 수 가 있는 유용한 발명이다.According to the bush assembly for the showerhead electrode plate and the coupling structure of the electrode plate and the plate according to the present invention, while maintaining the original purpose of the bush assembly, when combining the electrode plate and the plate, the bush assembly is formed between them, The bush assembly is completely combined with the electrode plate by itself when the bush assembly is combined through the groove of the electrode plate and the structure of the bush assembly, rather than being assembled and fixed in a bolt-and-nut type structure after being inserted into the groove of the electrode plate only with the bush assembly In this way, it is possible to prevent loosening and separation due to shock and other external factors, and when the plate is coupled to the electrode plate, it does not rotate further in the direction of rotation of the bolt, and only the bolt can be rotated to the bush assembly in a fixed state. It is a useful invention that can increase durability.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 정단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해단면도
도 5는 본 발명의 전극판의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도, 단면도
도 6은 본 발명의 삽입체의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도
도 7은 본 발명의 삽입체의 바람직한 실시 예를 나타내는 정단면도, 평단면도
도 8은 본 발명의 부시의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도, 정면도
도 9는 본 발명의 전극판과 플레이트의 결합구조에 대한 바람직한 실시 예를 나타내는 도면1 is a perspective view showing a preferred embodiment of the present invention
Figure 2 is a plan view, a front cross-sectional view showing a preferred embodiment of the present invention
3 is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention
Figure 4 is an exploded cross-sectional view showing a preferred embodiment of the present invention
5 is a perspective view, a plan view, and a cross-sectional view showing a preferred embodiment of the electrode plate of the present invention
Figure 6 is a perspective view, a plan view showing a preferred embodiment of the insert of the present invention
7 is a front cross-sectional view and a top cross-sectional view showing a preferred embodiment of the insert of the present invention
Figure 8 is a perspective view, a plan view, a front view showing a preferred embodiment of the bush of the present invention
9 is a view showing a preferred embodiment of the coupling structure of the electrode plate and the plate of the present invention
본 발명은 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 하되, 전극판과 부시 조립체의 자체적인 고정력을 높여 이탈을 방지하며, 전극판과 플레이트를 결합 시, 부시조립체에 의해 견고한 고정력을 가질 수 있는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체를 제공한다.In the present invention, the bush assembly for coupling the electrode plate and the plate is assembled by the plate and the bolt, but the self-fixing force of the electrode plate and the bush assembly is increased to prevent separation, and when the electrode plate and the plate are coupled, the bush assembly Provided are a bush assembly for a showerhead electrode plate that can have a strong fixing force and a coupling structure between the electrode plate and the plate.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 9를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred configuration and operation of the present invention for achieving the above object will be described with reference to FIGS. 1 to 9 with reference to the accompanying drawings.
우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 2 내지 도 3을 참고하여 살펴보면, 전극판과 플레이트를 결합하기 위해 전극판의 홈에 체결되는 부시 조립체에 있어서, 분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10); 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20); 상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하여 구성된다.First, prior to describing the present invention, referring to FIGS. 2 and 3 for its configuration, in the bush assembly fastened to the groove of the electrode plate to couple the electrode plate and the plate, it is formed in a divided form and the electrode plate ( 200) is inserted into the groove part 210 and disposed to face each other, between which a bush inlet hole 11 and a locking jaw inlet hole 13 are formed, respectively, and an insert in which a slide hole 15 is formed on the inside. (10); A fastening hole 21 inserted into the bush inlet hole 11 through which a central portion penetrates and a screw thread is formed on the inside, a screw thread for fastening the fastening member 30 on the upper outer circumference, and the locking jaw on one side of the lower outer circumference. A bush 20 fitted into the inlet hole 13 and formed with a locking jaw 23 that slides along the slide hole 15 during rotation; It is configured to include; a fastening member 30 fastened with a screw thread on the outer circumferential upper portion of the bush 20.
상기 삽입체(10)를 더욱 상세하게 설명하면, 도 3, 4, 6, 7에 도시된 바와 같이, 분할된 형태로 각각 형성되어, 전극판(200)에 형성된 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치 구성되고, 그 사이에 상기 부시(20)의 외주가 인입될 수 있는 부시인입홀(11)을 형성하고, 상기 부시인입홀(11)의 외측으로 연장되어 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 인입되는 걸림턱인입홀(13)이 형성되며, 내측면에는 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 슬라이딩될 수 있는 슬라이드홀(15)이 형성된다.Describing the insert 10 in more detail, as shown in FIGS. 3, 4, 6, and 7, it is formed in a divided form and inserted into the groove 210 formed in the electrode plate 200, but mutually It is configured to face each other, and forms a bush inlet hole 11 through which the outer periphery of the bush 20 can be inserted, and extends to the outside of the bush inlet hole 11 to engage the bush 20. A locking jaw entry hole 13 into which the jaw 23 is inserted is formed, and a slide hole 15 through which the jaw 23 of the bush 20 can slide is formed on the inner surface.
즉, 상기 삽입체(10)는 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입 배치되되 부시(20)가 서로 마주하는 부분에 삽입되면, 상기 부시(20)에 의해 홈부(210)에 완전히 밀착되어 고정되고, 상기 부시(20)가 상기 홈부(210)에 완전히 삽입된 후 일측방향으로 회전하게 되면, 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)을 타며 이동되고, 상기 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)의 끝단에 맞닿게 되어 고정될 수 있도록 하기 위한 구성이다.That is, when the insert 10 is inserted into the groove 210 of the electrode plate 200 and inserted into the portion where the bush 20 faces each other, the bush 20 completely adheres to the groove 210. and is fixed, and when the bush 20 is completely inserted into the groove 210 and rotates in one direction, the locking jaw 23 is moved along the slide hole 15, and the locking jaw 23 is It is configured to be in contact with the end of the slide hole 15 so that it can be fixed.
한편, 이러한 삽입체(10)의 외형은 상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와, 상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되되, 상기 하부몸체(10a)가 상부몸체(10b)보다 더 크게 형성되어, 상기 하부몸체(10a)가 전극판(210)의 하부홈(211)과 상부홈(213)의 경계부분에 걸림되게 되어 이탈을 방지하며 고정될 수 있게 구성된다.Meanwhile, the outer shape of the insert 10 is the lower body 10a where the lower groove 211 of the electrode plate 200 is located, and the upper groove 213 protruding to one side of the upper part of the lower body 10a. It consists of an upper body (10b) located in the lower body (10a) is formed larger than the upper body (10b), so that the lower body (10a) is formed in the lower groove 211 and the upper part of the electrode plate 210 It is caught on the boundary of the groove 213 to prevent separation and is configured to be fixed.
또한, 상기 상부몸체(10b)는 상부방향으로 돌출되되 상기 전극판(200)의 상부홈(213)의 높이와 대응되게 형성되어 상기 전극판(200)의 상측면 보다 더 돌출되지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the upper body 10b protrudes upward and is formed to correspond to the height of the upper groove 213 of the electrode plate 200 so that it does not protrude further than the upper side of the electrode plate 200. desirable.
또한, 상기 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)의 경우 그 길이는 필요에 따라 삽입체(10)의 내측면을 따라 일부분만을 남겨두고 형성될 수가 있고, 내측면의 반 정도 지점까지 형성될 수가 있으며, 본 발명에서는 내측의 반 정도 지점까지 형성되는 것으로 도시하였고, 본 발명의 실시 예로써 한정짓지 아니한다.In addition, in the case of the slide hole 15 of the insert 10, the length may be formed leaving only a portion along the inner surface of the insert 10, if necessary, and may be formed up to about half of the inner surface. There is a number, and in the present invention, it is shown to be formed up to the inner half point, and is not limited to an embodiment of the present invention.
한편, 상기 삽입체(10)에 삽입되는 부시(20)는 도 3, 4, 8에 도시된 바와 같이, 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성된다.On the other hand, as shown in FIGS. 3, 4 and 8, the bush 20 inserted into the insert 10 is inserted into the bush inlet hole 11, the central portion penetrates, and a screw thread is formed on the inside. A hole 21, a screw thread for fastening the fastening member 30 to the upper outer circumference, and a locking jaw 23 that slides along the slide hole 15 during rotation by being inserted into the locking jaw inlet hole 13 on one side of the lower outer circumference. ) is formed.
즉, 상기 부시(20)의 외주가 상기 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 삽입되되, 걸림턱(23)이 걸림턱인입홀(13)에 인입되게 되며, 상기 부시(20)의 하측면이 전극판(200)의 하부홈(211)의 바닥부와 완전히 맞닿은 후 일측방향으로 회전하게 되면, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)을 다라 슬라이딩 되며 상기 걸림턱(23)의 측면이 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿게 되며 고정되게 된다.That is, the outer circumference of the bush 20 is inserted into the bush inlet hole 11 of the insert 10, and the chin 23 is inserted into the chin inlet hole 13, and the bush 20 When the bottom of the lower groove 211 of the electrode plate 200 is in complete contact with the bottom of the groove 211 of the electrode plate 200 and then rotates in one direction, the engaging jaw 23 of the bush 20 slides along the slide hole 15. The side surface of the locking jaw 23 comes into contact with the end of the slide hole 15 and is fixed.
한편, 상기 체결홀(21)은 상기 볼트(b)의 크기와 대응되게 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, the fastening hole 21 is preferably formed to correspond to the size of the bolt (b).
여기서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)의 외주 상부에는 체결부재(30)가 체결되기 위한 나사산이 형성되는데, 이러한 나사산의 경우 통상의 볼트와 같은 개념이고 상기 체결부재(30)가 통상의 너트의 개념으로써, 추후 상기 부시(20)의 하부가 전극판(200)의 홈부(210)에 끼워진 상태에서 상기 체결부재(30)를 부시(20)의 외부 상부에 체결하게 되면, 상기 체결부재(30)의 체결방향에 따라 체결부재(30)로 부시(20)의 하부방향으로 이동하면서 상기 체결부재(30)의 하측면이 삽입체(10)의 상측면과 맞닿으며 완전히 고정될 수 있게 되어, 부시(20)가 전극판(200)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다.Here, as shown in FIGS. 1 to 3, a screw thread for fastening the fastening member 30 is formed on the upper outer circumference of the bush 20, and in the case of this screw thread, it is the same concept as a conventional bolt and the fastening member 30 is a concept of a normal nut, and later, in a state where the lower part of the bush 20 is inserted into the groove part 210 of the electrode plate 200, the fastening member 30 is fastened to the outer upper part of the bush 20. When this is done, the lower surface of the fastening member 30 is in contact with the upper surface of the insert 10 while moving in the lower direction of the bush 20 with the fastening member 30 according to the fastening direction of the fastening member 30 and can be completely fixed, preventing the bush 20 from being separated from the electrode plate 200.
상기 걸림턱(23)은 도 3, 4, 8에 도시된 바와 같이, 삽입체(10)의 걸림턱인입홀(13)에 삽입될 수 있게 부시(20)의 하부 외주 양측에 각각 형성되는데, 즉, 서로 대칭되게 각각 형성되어, 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)에 각각 슬라이딩 되어 고정될 수 있게 된다.As shown in FIGS. 3, 4, and 8, the locking jaws 23 are formed on both sides of the lower outer circumference of the bush 20 so that they can be inserted into the locking jaw entry holes 13 of the insert 10, That is, they are formed symmetrically with each other, so that they can be slid and fixed to the slide holes 15 of the insert 10, respectively.
즉, 상기 걸림턱(23)은 걸림턱인입홀(13)로 삽입된 후, 부시(20)를 일측방향으로 회전 시, 상기 슬라이드홀(15)을 타며 이동되며 측면이 상기 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿으며 고정되게 되고, 이때, 상기 걸림턱(23) 상하 높이는 상기 슬라이드홀(15)의 상하높이와 대응되거나 아주 미세하게 조금 낮게 형성될 수가 있다.That is, the locking jaw 23 is moved along the slide hole 15 when the bush 20 is rotated in one direction after being inserted into the locking jaw inlet hole 13, and the side faces the slide hole 15 At this time, the upper and lower heights of the locking jaws 23 correspond to the upper and lower heights of the slide holes 15 or may be formed slightly lower in a very fine manner.
이러한 상기 걸림턱(23)은, 도 2, 3, 8에 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)가 추후 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합하기 위하여 별도의 볼트(b)를 이용하여 부시 조립체(100)와 볼트(b)를 체결함에 있어서 상기 부시 조립체(100)가 헛도는 현상을 방지토록 함과 아울러, 상기 부시 조립체(100)의 마모 등을 방지할 수 있도록 하는 효과를 가질 수가 있으며, 상기 삽입체(10)가 분할되어 각각의 슬라이드홀(15)을 형성하고, 부시(20)의 걸림턱(23)이 양측에 각각 형성되어 상기 각각의 슬라이드홀(15)에 슬라이딩 되어 고정됨으로, 상기 부시(20)를 홈부(210)에 끼움시킨 상태에서 회전 시, 걸림턱(23)의 측면이 홈부(210)의 슬라이드홀(15)의 끝단과 각각 맞닿게 되어 균형있는 고정력을 가질 수가 있다.As shown in FIGS. 2, 3, and 8, the locking jaw 23 uses a separate bolt b to couple the electrode plate 200 and the plate 300 to the bush 20 later. In fastening the bush assembly 100 and the bolt (b), the effect of preventing the bush assembly 100 from spinning and preventing wear of the bush assembly 100 The insert 10 is divided to form each slide hole 15, and the engaging jaws 23 of the bush 20 are formed on both sides to slide in each slide hole 15. When the bush 20 is inserted into the groove 210 and rotated, the side surface of the locking jaw 23 comes into contact with the end of the slide hole 15 of the groove 210, respectively, so that a balanced fixing force is obtained. can have
즉, 상기 체결부재(30)를 부시(10)의 외주 상측에 형성된 나사산에 체결 시, 부시(20)가 체결부재(30)의 회전방향으로 회전하면서 각각의 상기 걸림턱(23)의 측면이 각각의 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿게 되어 균형있게 고정될 수 있게 되어 걸림턱(23)의 파손을 방지할 수가 있게 된다.That is, when the fastening member 30 is fastened to the screw thread formed on the outer circumferential upper side of the bush 10, the side of each of the locking jaws 23 rotates in the direction of rotation of the fastening member 30. It comes into contact with the end of each slide hole 15 so that it can be fixed in a balanced way, so that the breakage of the locking jaw 23 can be prevented.
한편, 도 2 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되어, 상기 부시(20)와 체결부재(30)를 도구(드라이버 등)을 이용하여 손쉽게 회전시킬 수가 있다.On the other hand, as shown in FIG. 2, tabs 27 and 37 are formed on opposite sides of the upper part of the bush 20 and the upper part of the fastening member 30, so that the bush 20 and the fastening member (30) can be easily rotated using a tool (driver, etc.).
이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 부시 조립체(100)를 전극판(200)의 홈부(210)에 끼움시킨 후, 회전시켜 고정함에 있어서, 분할된 형태의 각각의 삽입체(10)를 전극판(200) 홈부(210)에 끼움시키되, 각각의 삽입체(10) 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 형성되도록 한 다음, 상기 부시인입홀(11)로 부시(20)를 인입시키며, 이때, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 상기 걸림턱인입홀(13)로 인입될 수 있도록 배치하여 최종적으로 부시(20)를 부시인입홀(11)로 인입시키고, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하게 되면, 상기 체결부재(30)의 하측과 상기 삽입체(10)의 상측이 서로 맞닿게 되며 상기 체결부재(30)의 체결방향에 따라 서서히 삽입체(10)의 상측으로 압박이 가해져 조여지며 견고하게 고정되어 미세한 흔들림 등 움직임까지 억제할 수 있다.At this time, as shown in FIG. 2, after inserting the bush assembly 100 into the groove 210 of the electrode plate 200 and then rotating and fixing, the divided inserts 10 are It is inserted into the groove 210 of the electrode plate 200, and the bush inlet hole 11 and the chin inlet hole 13 are formed between each insert 10, and then the bush inlet hole 11 The bush 20 is drawn in, and at this time, the bush 20 is finally inserted into the bush inlet hole 11 by arranging so that the locking jaw 23 of the bush 20 can be drawn into the locking jaw inlet hole 13. and when the fastening member 30 is fastened to the upper part of the bush 20, the lower side of the fastening member 30 and the upper side of the insert 10 come into contact with each other, and the fastening member 30 Depending on the direction of fastening, pressure is gradually applied to the upper side of the insert 10 to be tightened, and it is firmly fixed to suppress even movement such as minute shaking.
또한, 본 발명의 부시 조립체는 실질적으로 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합하기 위한 구성품으로 절연체 또는 비절연체로 형성될 수가 있다.In addition, the bush assembly of the present invention is a component for substantially coupling the electrode plate 200 and the plate 300 and may be formed of an insulator or a non-insulator.
또한, 상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되될 수가 있다.In addition, the bush assembly may be composed of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, and Al 2 O 3 .
상기한 바와 같은 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조체를 도 1 내지 도 9를 참고하여 설명하면,Referring to the coupling structure of the electrode plate and the plate using the bush assembly as described above with reference to FIGS. 1 to 9,
샤워헤드용 전극판과 플레이트의 결합구조체에 있어서, 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(23)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성된다.In the combination structure of the electrode plate and the plate for a showerhead, a groove 210 is formed on one side of the electrode plate 200, but the lower groove 211 where the lower body of the insert 10 is located and the upper part The upper groove 213 into which the insert 10 is inserted extends to each other, and the lower groove 211 is formed to be larger than the upper groove 213 so that the insert 10 is inserted into the groove portion 210. It is configured to be fitted, and the bush 20 is inserted into the bush inlet hole 11 of the insert 10, so that the chin is inserted into the chin inlet hole 13, and then the bush 20 is rotated to The locking jaw 23 slides along the slide hole 15 of the insert 10 so that the end of the slide hole 15 and the side of the locking jaw 23 come into contact with each other and are fixed to the top of the bush 20. By fastening the fastening member 30, the lower side of the fastening member 30 comes into contact with the upper side of the insert 10 and is fixed, and the plate 300 is provided on the upper side of the electrode plate 200, but the coupling hole 310 is disposed on the same line as the fastening hole 21 of the bush 20 to be completely fastened with the bolt (b).
즉, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 서로 다른 형태의 하부홈(211)과 상부홈(213)을 각각 형성하되, 상기 상부홈(213)은 평면상 원형으로 형상으로 형성되고, 상기 하부홈(211)은 타원형으로 형성되도록 하여, 상기 홈부(210)로 삽입체(10)를 삽입할 시, 삽입체(10)의 하부몸체(10a)가 전극판(200)의 하부홈(211)에 위치되고, 상기 삽입체(10)의 상부몸체(10b)가 전극판(200)의 상부홈(213)에 위치되게 된다.That is, as shown in FIGS. 3 to 7, the groove part 210 is formed on one side of the electrode plate 200, but the lower groove 211 and the upper groove 213 are formed in different shapes, respectively. The upper groove 213 is formed in a circular shape on a plane, and the lower groove 211 is formed in an elliptical shape so that when the insert 10 is inserted into the groove 210, the The lower body 10a is positioned in the lower groove 211 of the electrode plate 200, and the upper body 10b of the insert 10 is positioned in the upper groove 213 of the electrode plate 200.
도 2, 도 9에 도시된 바와 같이, 분할된 한 쌍의 삽입체(10)에 의해 형성되는 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)에 맞춰서 부시(20)를 삽입하게 되면, 부시에 의해 삽입체(10)가 마주하는 반대방향으로 밀려져, 하부홈(211)과 상부홈(213)의 일측면과 완전히 밀착되게 되며 1차적으로 고정되게 되고, 상기 부시(20)를 일측방향으로 회전하게 되면, 각각의 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 타며 회전하되, 상기 걸림턱(23)의 측면이 슬라이드홀(15)의 단부와 맞닿게 되면 이동이 제한되며 고정되도록 구성되고, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 결합하게 되면, 체결부재(30)의 체결에 따라 체결부재(30)의 하부가 삽입체(10)의 상측면을 서서히 압박하면서 완전히 맞닿아 고정되도록 하여 부시(20)가 회전되는 것을 방지하면서도 부시가 전극판(200)으로부터 이탈되는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.As shown in FIGS. 2 and 9, when the bush 20 is inserted in line with the bush inlet hole 11 and the engaging jaw inlet hole 13 formed by the pair of divided inserts 10, The insert 10 is pushed in the opposite direction by the bush, so that it comes into complete contact with one side of the lower groove 211 and the upper groove 213 and is primarily fixed. When it rotates in the direction, each locking jaw 23 rotates while riding the slide hole 15 of the insert 10, but when the side surface of the locking jaw 23 comes into contact with the end of the slide hole 15 When the fastening member 30 is coupled to the upper portion of the bush 20, the lower portion of the fastening member 30 moves along the lower part of the insert 10 according to the fastening of the fastening member 30. It is possible to fundamentally prevent the bush 20 from being separated from the electrode plate 200 while preventing the bush 20 from being rotated by gradually pressing the upper side surface so that it completely contacts and is fixed.
한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 전극판(200)의 상부로 플레이트(300)를 배치구성하되, 플레이트(300)의 결합홀(310)을 부시의 체결홀(11)과 동일선상에 배치시킨 후, 볼트(b)로 결합홀(310)과 체결홀(11)에 순차적으로 결합하게 되면, 전극판(200)과 플레이트(300)과 부시조립체(100)를 통해 견고하게 고정될 수 있게 된다.On the other hand, as shown in FIG. 9, the plate 300 is disposed above the electrode plate 200, but the coupling hole 310 of the plate 300 is on the same line as the coupling hole 11 of the bush. After being arranged, when sequentially coupled to the coupling hole 310 and the coupling hole 11 with bolts (b), it can be firmly fixed through the electrode plate 200, plate 300, and bush assembly 100. there will be
본 발명에 따른 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 의하면, 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 전극판과 플레이트를 결합 시, 그 사이에 부시 조립체를 구성하되, 부시 조립체 만으로 전극판의 홈부에 끼운 후 볼트 너트 방식의 구조로 조립되어 고정되는 것이 아닌, 전극판의 홈부와 부시 조립체의 구조를 통해 부시 조립체를 결합할 시 자체적으로 부시 조립체가 전극판과 완전히 결합되도록 하여, 충격 등 기타 외부요인으로 풀림 및 이탈을 방지할 수가 있고, 플레이트를 전극판과 결합 시 볼트의 회전방향으로 더 이상 회전하지 않고 고정된 상태에서 볼트만 부시 조립체에 회전결합 될 수 있도록 하여 내구성을 높일 수 가 있는 유용한 발명이다.According to the bush assembly for the showerhead electrode plate and the coupling structure of the electrode plate and the plate according to the present invention, while maintaining the original purpose of the bush assembly, when combining the electrode plate and the plate, the bush assembly is formed between them, The bush assembly is completely combined with the electrode plate by itself when the bush assembly is combined through the groove of the electrode plate and the structure of the bush assembly, rather than being assembled and fixed in a bolt-and-nut type structure after being inserted into the groove of the electrode plate only with the bush assembly In this way, it is possible to prevent loosening and separation due to shock and other external factors, and when the plate is coupled to the electrode plate, it does not rotate further in the direction of rotation of the bolt, and only the bolt can be rotated to the bush assembly in a fixed state. It is a useful invention that can increase durability.
10 : 삽입체 10a : 하부몸체 10b : 상부몸체
11 : 부시인입홀 13 : 걸림턱인입홀 15 : 슬라이드홀
20 : 부시
21 : 체결홀 23 : 걸림턱 27 : 탭
30 : 체결부재 37 : 탭
100 : 부시조립체
200 : 전극판
210 : 홈부 211 : 하부홈 213 : 상부홈
300 : 플레이트 310 : 결합홀
b : 볼트10: insert 10a: lower body 10b: upper body
11: bush inlet hole 13: locking jaw inlet hole 15: slide hole
20 : Bush
21: fastening hole 23: locking jaw 27: tab
30: fastening member 37: tab
100: bush assembly
200: electrode plate
210: groove 211: lower groove 213: upper groove
300: plate 310: coupling hole
b : bolt
Claims (7)
분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10);
상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20);
상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하고, 상기 삽입체(10)는,
상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와, 상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되되,
상기 하부몸체(10a)가 상부몸체(10b)보다 더 크게 형성되어, 하부몸체(10a)가 전극판(210)의 하부홈(211)과 상부홈(213)의 경계부분에 걸림되어 고정되며,
상기 슬라이드홀(15)은 삽입체(10)의 내측면 반 지점까지 형성되고,
상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
In the bush assembly fastened to the groove of the electrode plate to couple the electrode plate and the plate,
It is formed in a divided form and is inserted into the groove 210 of the electrode plate 200 and disposed to face each other, and a bush inlet hole 11 and a chin inlet hole 13 are formed between them, respectively, and slide inside. an insert 10 in which a hole 15 is formed;
A fastening hole 21 inserted into the bush inlet hole 11 through which a central portion penetrates and a screw thread is formed on the inside, a screw thread for fastening the fastening member 30 on the upper outer circumference, and the locking jaw on one side of the lower outer circumference. A bush 20 fitted into the inlet hole 13 and formed with a locking jaw 23 that slides along the slide hole 15 during rotation;
It includes; a fastening member 30 fastened to a screw thread on an upper outer circumference of the bush 20, and the insert 10,
It consists of a lower body 10a in which the lower groove 211 of the electrode plate 200 is located, and an upper body 10b protruding to one side of the upper part of the lower body 10a and located in the upper groove 213. ,
The lower body 10a is formed to be larger than the upper body 10b, so that the lower body 10a is caught and fixed at the boundary between the lower groove 211 and the upper groove 213 of the electrode plate 210,
The slide hole 15 is formed up to half the inner surface of the insert 10,
Bush assembly for showerhead electrode plate, characterized in that tabs (27, 37) are formed on both sides facing each other on the upper part of the bush (20) and the upper part of the fastening member (30).
상기 부시(20)의 걸림턱(23)은
상기 부시(20)의 외주에 서로 대칭되게 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
According to claim 1,
The locking jaw 23 of the bush 20 is
A bush assembly for a showerhead electrode plate, characterized in that each is formed symmetrically with each other on the outer circumference of the bush (20).
상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
According to claim 1,
The bush assembly for a showerhead electrode plate, characterized in that the bush assembly is an insulator or a non-insulator.
상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
According to claim 1,
The bush assembly is a showerhead electrode plate bush assembly, characterized in that composed of any one of Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al 2 O 3 .
전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고,
부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(23)의 측면이 맞닿아 고정되며,
상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고,
상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판과 플레이트의 결합구조체.
In the coupling structure of the electrode plate and the plate for the shower head,
A groove part 210 is formed on one side of the electrode plate 200, but the lower groove 211 where the lower body of the insert 10 is located and the upper groove 213 into which the insert 10 is inserted. ) are formed to extend from each other, but the lower groove 211 is formed to be larger than the upper groove 213 to fit the insert 10 into the groove portion 210,
The bush 20 is introduced into the bush inlet hole 11 of the insert 10, so that the chin 23 of the bush 20 is inserted into the chin inlet hole 13 of the insert 10 Then, by rotating the bush 20, the locking jaw 23 slides along the slide hole 15 of the insert 10, and the end of the slide hole 15 and the side of the locking jaw 23 come into contact and are fixed becomes,
By fastening the fastening member 30 to the upper part of the bush 20, the lower side of the fastening member 30 abuts and is fixed with the upper side of the insert 10,
The plate 300 is provided on the upper part of the electrode plate 200, but the coupling hole 310 is arranged on the same line as the coupling hole 21 of the bush 20 to be completely fastened with the bolt (b). Characterized by a combination structure of a showerhead electrode plate and a plate.
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