KR20200102341A - Overhead transport vehicle - Google Patents

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KR20200102341A
KR20200102341A KR1020200000190A KR20200000190A KR20200102341A KR 20200102341 A KR20200102341 A KR 20200102341A KR 1020200000190 A KR1020200000190 A KR 1020200000190A KR 20200000190 A KR20200000190 A KR 20200000190A KR 20200102341 A KR20200102341 A KR 20200102341A
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KR
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branch
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rail
guide rail
guide
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Application number
KR1020200000190A
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Korean (ko)
Inventor
마사미 스즈키
히로시 오츠카
토모타카 키누가와
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, provided is a ceiling transport vehicle (10). At least on left and right sides of a transport direction from above the ceiling transport vehicle (10) running along a transport track including a main track and a branch track, guide rollers (32L, 32R) provided one by one are guided from an outer surface of a main guide rail (40M) of the main track or a branch guide rail (40B) of the branch track. The main guide rail (40M) or the branch guide rail (40B) is installed above an area through which at least one pair of left and right traveling wheels (18L, 18R) of the ceiling transport vehicle (10) pass.

Description

천장 반송차{OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE}Overhead transport vehicle {OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE}

본 발명은 천장 반송차에 관한 것이며, 특히 메인 궤도와 분기 궤도를 포함하는 반송 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차에 관한 것이다.The present invention relates to an overhead conveying vehicle, and in particular, to an overhead conveying vehicle running along a conveying track including a main track and a branch track.

종래 반도체 제조 공장 등의 물품을 반송하는 공정을 포함하는 작업이 행해지는 설비에 있어서 물품의 반송을 위해 도 5에 나타내는 바와 같은 천장 반송차(80)가 사용되는 경우가 있다. 또한, 도 5는 천장 반송차(80)를 그 주행 방향의 후방으로부터 본 모양을 나타내는 배면도이다. 이 천장 반송차(80)는 주행 대차(86)와, 사이드 롤러(89L, 89R)와, 가이드 롤러(87)를 갖고 있다. 주행 대차(86)는 좌우 한 쌍의 차륜(88)을 구비하고 있다. 사이드 롤러(89L, 89R)는 주행 대차(86)의 하방에서 좌우 한 쌍으로 설치되어 있다. 가이드 롤러(87)는 주행 대차(86)의 상방에서 좌우로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 그리고 도 5에 가상선으로 나타내어져 있는 바와 같이 주행 대차(86)의 하방에는 물품 유지부(84)가 접속되어 있으며, 이 물품 유지부(84)는 반송 대상이 되는 물품(82)(예를 들면, 반도체 기판을 수납하는 하우징 등)을 유지한다.In a facility in which an operation including a step of transporting an article, such as a semiconductor manufacturing plant, is carried out in the related art, the ceiling conveying vehicle 80 as shown in FIG. 5 is sometimes used for conveying the article. In addition, FIG. 5 is a rear view showing the state of the ceiling conveyance vehicle 80 as seen from the rear in its traveling direction. This ceiling conveyance vehicle 80 has a traveling cart 86, side rollers 89L and 89R, and a guide roller 87. The running cart 86 is provided with a pair of left and right wheels 88. The side rollers 89L and 89R are provided in a pair of left and right under the traveling cart 86. The guide roller 87 is provided so as to be slidable left and right from the upper side of the traveling cart 86. And, as shown by a virtual line in Fig. 5, an article holding unit 84 is connected below the traveling cart 86, and the article holding unit 84 is an article 82 (for example, For example, a housing for housing a semiconductor substrate, etc.) is held.

주행 대차(86)의 차륜(88)은 좌우 한 쌍의 주행 레일(92, 94)에 지지된다. 이 주행 레일(92, 94)은 설비의 천장으로부터 서스펜드 장치(90)에 의해 매달리는 등의 방법으로 설비의 천장측에 설치되어 있다. 그리고 주행 레일(92, 94)은 미리 정해진 반송 궤도를 따라 천장 반송차(80)의 주행 루트를 형성하고 있다. 이 주행 레일(92, 94) 상에서 차륜(88)이 전동(轉動)함과 아울러, 주행 레일(92, 94)의 내면(도면 중 내측의 측면)에 사이드 롤러(89L, 89R)가 따름으로써 주행 대차(86)는 반송 궤도를 따라 설비 내를 주행할 수 있다. 이와 같이 해서 주행 대차(86)가 주행함으로써 주행 대차(86)에 접속되어 있는 물품 유지부(84)에 유지된 물품(82)이 반송 궤도를 따라 반송된다.The wheels 88 of the traveling bogie 86 are supported by a pair of left and right traveling rails 92 and 94. These travel rails 92 and 94 are installed on the ceiling side of the facility by a method such as being suspended from the ceiling of the facility by the suspension device 90. And the travel rails 92 and 94 form the travel route of the overhead conveyance vehicle 80 along a predetermined conveyance track. The wheels 88 are driven on the travel rails 92 and 94, and the side rollers 89L and 89R follow the inner surfaces of the travel rails 92 and 94 (inner side surfaces in the drawing). The bogie 86 can travel in the facility along the conveyance trajectory. As the traveling cart 86 travels in this way, the article 82 held by the article holding unit 84 connected to the traveling cart 86 is conveyed along the conveyance trajectory.

그런데 반송 궤도는 설비 내에 있어서 2방향 이상으로 브랜칭(분기)하는 것이 있다. 그러한 경우에 천장 반송차(80)를 적절한 브랜칭끝(방향)으로 안내하기 위해 분기 지점의 가까이에서는 주행 레일(92, 94)의 상방에 가이드 레일(96)이 설치된다. 여기에서는 도시하지 않지만 이 가이드 레일(96)은 분기 지점에 있어서 두 갈래형상으로 설치되어 있다. 그 두 갈래형상의 가이드 레일(96)의 어느 쪽에 대해서 가이드 롤러(87)가 접하여 전동하는(가이드되는)지에 따라 천장 반송차(80)의 주행 방향이 변화된다.However, some conveyance tracks are branched (branched) in two or more directions within the facility. In such a case, in order to guide the ceiling vehicle 80 to an appropriate branching end (direction), a guide rail 96 is installed above the traveling rails 92 and 94 near the branching point. Although not shown here, the guide rail 96 is provided in a two-prong shape at a branch point. The traveling direction of the ceiling conveyance vehicle 80 changes depending on which of the two-pronged guide rails 96 the guide roller 87 contacts and rolls (guided).

도 5에 나타내는 가이드 롤러(87)는 상술한 바와 같이 도면 중 좌우로 슬라이딩 가능하며, 가이드 레일(96)의 도면 중 우측의 측면과 좌측의 측면의 어느 쪽에 접하는지를 선택 가능하게 되어 있다. 천장 반송차(80)의 동작을 제어하는 제어기(도시하지 않음)는 가이드 롤러(87)를 좌우로 슬라이딩시킴으로써 물품(82)이 반송되어야 할 목적지에 따른 적절한 브랜칭끝을 선택한다.The guide roller 87 shown in FIG. 5 is slidable left and right in the drawing as described above, and in the drawing of the guide rail 96, it is possible to select which side of the guide rail 96 is in contact with the right side and the left side. A controller (not shown) that controls the operation of the ceiling transport vehicle 80 selects an appropriate branching end according to the destination to which the article 82 is to be conveyed by sliding the guide roller 87 left and right.

예로서 반송 궤도가 직진하는 메인 궤도와 우측 방향으로 향하는 분기 궤도로 분기되어 있으며, 가이드 레일(96)이 그 반송 궤도를 따라 직선형상의 부분과 우측 굽힘 부분의 두 갈래로 분기되는 구조일 경우에 대해서 나타낸다. 도 5에 나타내는 바와 같이 가이드 롤러(87)가 가이드 레일(96)의 우측면에 접해서 가이드되면 천장 반송차(80)는 가이드 레일(96)의 우측 굽힘 부분에 안내되어 우측 방향으로 향하는 것이 되며, 분기 궤도로 안내된다. 한편, 도 5에 가상선으로 나타내는 바와 같이 가이드 롤러(87)가 가이드 레일(96)의 좌측면에 접해서 가이드되면 천장 반송차(80)는 가이드 레일(96)의 직선형상의 부분에 안내되어 그대로 직진하여 메인 궤도로 안내된다.For example, in the case of a structure in which the conveying track is divided into a main track going straight and a branch track facing the right direction, and the guide rail 96 is divided into two branches of a straight part and a right bent part along the conveying track. Show. As shown in FIG. 5, when the guide roller 87 comes into contact with the right side of the guide rail 96 and is guided, the ceiling conveyance vehicle 80 is guided to the right bent portion of the guide rail 96 and is directed to the right, It is guided to a branch orbit. On the other hand, as shown by an imaginary line in FIG. 5, when the guide roller 87 comes into contact with the left side of the guide rail 96 and is guided, the ceiling transport vehicle 80 is guided to the linear portion of the guide rail 96 Go straight and guide you to the main track.

상술한 천장 반송차(80)가 미리 정해진 반송 궤도를 따라 정확하게 또한 되도록 진동을 일으키지 않도록 주행하기 위해서는 주행 레일(92, 94)이나 가이드 레일(96)이 정확한 위치 관계로 설치되어 있지 않으면 안된다. 일본 특허공개 2018-062241호 공보에는 이러한 각 레일의 설치 상태를 검사하기 위한 레일 검사 장치가 개시되어 있다.The traveling rails 92 and 94 and the guide rail 96 must be provided in an accurate positional relationship in order for the above-described ceiling transport vehicle 80 to travel accurately along a predetermined transport track so as not to generate vibration as much as possible. Japanese Patent Laid-Open No. 2018-062241 discloses a rail inspection device for inspecting the installation state of each of these rails.

그러나 종래 기술에 있어서는 일본 특허공개 2018-062241호 공보에 기재되어 있는 바와 같은 레일 검사 장치를 사용해도 여전히 각 레일을 정확하게 설치하는 것은 곤란했다. 도 5에 기재되어 있는 바와 같이 종래의 천장 반송차(80)를 가이드하기 위한 가이드 레일(96)은 좌우 한 쌍의 주행 레일(92, 94)에 대하여 좌우 방향의 중앙 상방에 설치된다. 이 때문에 가이드 레일(96)의 위치 조정에 있어서는 작업자는 주행 레일(92, 94)끼리 사이의 넓은 범위 내에서 조정을 행하지 않으면 안된다. 그리고 상술한 바와 같이 가이드 롤러(87)는 가이드 레일(96)의 좌측면에도 우측면에도 접할 가능성이 있다. 따라서, 가이드 레일(96)은 그 좌측면과 우측면의 양쪽이 정확한 위치, 방향이 되도록 설치되지 않으면 안된다. 이렇게 양쪽의 측면의 위치와 방향이 정확하게 되도록 가이드 레일(96)을 설치하는 것은 곤란하다.However, in the prior art, even if a rail inspection device as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-062241 is used, it is still difficult to accurately install each rail. As shown in FIG. 5, the guide rail 96 for guiding the conventional ceiling transport vehicle 80 is installed above the center of the left and right direction with respect to the pair of left and right travel rails 92 and 94. For this reason, in adjusting the position of the guide rail 96, the operator must perform the adjustment within a wide range between the traveling rails 92 and 94. In addition, as described above, the guide roller 87 may be in contact with both the left side and the right side of the guide rail 96. Therefore, the guide rail 96 must be installed so that both the left and right sides thereof are in the correct position and direction. It is difficult to install the guide rail 96 so that the positions and directions of both sides are correct.

일본 특허공개 2018-062241호 공보에 기재된 레일 검사 장치에 의해 가이드 레일(96)의 일방의 측면과 일방의 주행 레일 사이의 폭 방향(좌우 방향) 간격을 검사하는 것이 가능하지만 다른 편방의 측면의 위치가 정확하게 되도록 설치되어 있는지의 여부는 다른 편방의 측면에 대하여 다시 검사를 행하지 않으면 알 수 없다. 그리고 어느 측면도 정확한 위치가 되도록 설치될 때까지는 레일 위치의 미세 조정과 양측면에 대한 검사가 몇 번이나 반복되는 것이 되며, 매우 수고가 드는 작업이 필요하다.With the rail inspection device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-062241, it is possible to inspect the widthwise (left-right direction) gap between one side of the guide rail 96 and one running rail, but the position of the other side. Whether or not it is installed so as to be accurate cannot be determined unless another inspection is performed on the side of the other side. And until it is installed so that both sides are in the correct position, the fine adjustment of the rail position and inspection on both sides are repeated many times, and very laborious work is required.

또한, 종래의 천장 반송차(80)에서는 반송 궤도의 분기 지점 부근에 있어서 가이드 롤러(87) 및 가이드 레일(96)에 마모가 발생해버리는 문제도 있었다. 반송 궤도의 분기 지점 부근에서는 분기원(分岐元)으로부터 분기선(分岐先)으로 이행할 때까지의 구간에 있어서 좌우 한 쌍의 주행 레일(92, 94)의 일방이 일시적으로 도중에 끊어지는 경우가 있다. 예를 들면, 천장 반송차(80)가 직진하는 메인 궤도로부터 우측 방향으로 향하는 분기 궤도로 분기되는 경로를 더듬어 갈 경우 일시적으로 도 5에 나타내는 좌측의 주행 레일(92)이 존재하지 않는 구간을 지나게 된다. 그 구간에 있어서는 주행 레일(92)에 의한 지지를 받을 수 없는 좌측의 차륜(88)이 중력에 이끌려 천장 반송차(80)를 도면 중의 좌측 하방으로 기울게 하는 힘이 작용한다. 그러나 도 5에 나타내는 바와 같이 가이드 레일(96)의 우측면에 가이드 롤러(87)가 접하고 있으면 천장 반송차(80)를 도면 중의 좌측 하방으로 기울게 하고자 하는 힘은 가이드 레일(96)의 우측면에서 받아내어 천장 반송차(80)이 낙하되거나 기울거나 하는 것은 방지된다.In addition, in the conventional overhead conveyance vehicle 80, there is also a problem that abrasion occurs on the guide roller 87 and the guide rail 96 in the vicinity of the branch point of the conveyance track. In the vicinity of the branch point of the conveyance track, one of the left and right pair of running rails 92 and 94 may be temporarily cut off in the middle of the section from the branch circle to the branch line. . For example, if the overhead vehicle 80 follows a path branching from the main track going straight to the branch track going in the right direction, it temporarily passes through the section where the left running rail 92 shown in FIG. 5 does not exist. do. In that section, the left wheel 88, which cannot be supported by the travel rail 92, is attracted by gravity, and a force is applied to incline the overhead vehicle 80 to the lower left in the drawing. However, as shown in FIG. 5, if the guide roller 87 is in contact with the right side of the guide rail 96, the force to tilt the ceiling carrier 80 downward to the left in the drawing is received from the right side of the guide rail 96. The ceiling transport vehicle 80 is prevented from falling or tilting.

그러나 천장 반송차(80)가 좌측 하방으로 기울어지려고 하는 움직임은 우측의 차륜(88)과 우측의 주행 레일(94)의 접점을 중심점으로서 도면 중의 좌회전의 힘을 수반하기 때문에 우측의 차륜(88)과 우측의 주행 레일(94)의 접점으로부터 좌우 방향으로 떨어져 있는 가이드 레일(96)의 우측면과 가이드 롤러(87)의 접점에는 도면 중의 좌측 하방으로 향하는 힘이 가해진다.However, since the movement of the ceiling carrier 80 to incline downward to the left involves the force of left rotation in the drawing as the center point of the contact between the right wheel 88 and the right travel rail 94, the right wheel 88 In the drawing, a force directed downward to the left in the drawing is applied to the contact between the right side of the guide rail 96 and the guide roller 87 separated from the contact of the right side travel rail 94 in the left and right direction.

즉, 가이드 레일(96)과 가이드 롤러(87) 사이에서 좌우 방향뿐만 아니라 상하 방향의 힘이 작용한다. 가이드 롤러(87)의 좌우 방향의 움직임은 가이드 레일(96)에 의해 규제되어 있지만 상하 방향의 움직임은 규제되어 있지 않기 때문에 상하 방향의 힘이 작용함으로써 가이드 롤러(87)는 가이드 레일(96)의 우측면에 대하여 상하로 슬라이딩하는 것이 되고, 가이드 롤러(87)와 가이드 레일(96) 사이에서 마찰이 발생하여 가이드 롤러(87) 및 가이드 레일(96)의 표면이 마모되어버릴 우려가 있다. 또한, 이 마모에 의해 가이드 롤러(87) 및 가이드 레일(96)로부터 분진이 발생하면 반도체 제조 공장 등의 반송 설비에 있어서 요구되는 고도의 청정성을 충족시킬 수 없게 되어버린다.That is, between the guide rail 96 and the guide roller 87, not only the left-right direction but also the vertical direction force acts. The movement of the guide roller 87 in the left and right directions is regulated by the guide rail 96, but the movement in the vertical direction is not regulated. It slides up and down with respect to the right side, and there is a fear that friction occurs between the guide roller 87 and the guide rail 96, and the surfaces of the guide roller 87 and the guide rail 96 are worn. In addition, when dust is generated from the guide roller 87 and the guide rail 96 due to this wear, the high level of cleanliness required for conveyance equipment such as a semiconductor manufacturing plant cannot be satisfied.

그래서 본 발명에 있어서는 각 레일의 위치 관계의 조정이 용이하며, 또한 가이드 롤러 및 가이드 레일의 마모의 우려가 적은 천장 반송차를 제공하는 것을 과제로 한다.Therefore, in the present invention, it is an object of the present invention to provide a ceiling conveyance vehicle that facilitates adjustment of the positional relationship of each rail and is less likely to wear the guide roller and the guide rail.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 의한 천장 반송차의 실시형태의 일례는 복수의 메인 궤도 및 상기 복수의 메인 궤도끼리를 접속하는 분기 궤도를 포함하는 반송 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차에 있어서, 상기 천장 반송차는 적어도 한 쌍의 좌우의 주행 차륜과, 상기 주행 차륜의 상방에서 주행 방향의 좌측과 우측에 각각 적어도 1개씩 설치된 가이드 롤러를 구비하고, 상기 메인 궤도는 메인 레일과 메인 가이드 레일을 구비하고 있으며, 상기 메인 레일은 그 상면에서 상기 주행 차륜를 지지하고, 상기 메인 가이드 레일은 상기 메인 레일에 있어서 상기 주행 차륜이 통과하는 영역의 상방에 설치되어 있어서 상기 가이드 롤러를 가이드하고, 상기 분기 궤도는 분기 레일과 분기 가이드 레일을 구비하고 있으며, 상기 분기 레일은 그 상면에서 상기 주행 차륜를 지지하고, 상기 분기 가이드 레일은 상기 분기 레일에 있어서 상기 주행 차륜이 통과하는 영역의 상방에 설치되어 있어서 상기 가이드 롤러를 가이드하고, 상기 메인 가이드 레일 및 상기 분기 가이드 레일에 대해서 상기 메인 궤도 및 상기 분기 궤도의 중심측의 측면을 내면, 반대측의 측면을 외면이라고 부를 경우에 상기 가이드 롤러는 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일의 외면에서 가이드되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an example of an embodiment of the overhead transport vehicle according to the present invention is a ceiling transport vehicle running along a transport track including a plurality of main tracks and a branch track connecting the plurality of main tracks, The ceiling conveyance vehicle includes at least a pair of left and right driving wheels, and at least one guide roller installed on the left and right sides of the driving direction from above the driving wheel, and the main track includes a main rail and a main guide rail. The main rail supports the traveling wheel on its upper surface, and the main guide rail is installed above a region of the main rail through which the traveling wheel passes to guide the guide roller, and the branch track is A branch rail and a branch guide rail are provided, and the branch rail supports the traveling wheel on its upper surface, and the branch guide rail is installed above a region of the branch rail through which the traveling wheel passes. And the main guide rail and the branch guide rail, when the side surface of the center side of the main track and the branch track is called an inner surface, and the side surface of the opposite side is called an outer surface, the guide roller is the main guide rail or the branch guide rail. It is characterized in that it is guided from the outer surface of the guide rail.

또한, 바람직하게는 상기 천장 반송차는 상기 주행 차륜의 하방에서 주행 방향의 좌측과 우측에 각각 설치된 사이드 롤러를 구비하고 있으며, 상기 사이드 롤러는 상기 메인 레일 및 상기 분기 레일의 내면에서 가이드되면 좋다.In addition, preferably, the ceiling conveyance vehicle includes side rollers respectively installed on the left and right sides of the driving direction from the lower side of the driving wheel, and the side rollers may be guided on the inner surfaces of the main rail and the branch rail.

또한, 바람직하게는 상기 사이드 롤러는 상기 가이드 롤러의 1개 1개에 대하여 주행 방향의 전후에 2개 1세트로 설치되어 있으면 좋다.In addition, it is preferable that the side rollers are provided in a set of two before and after the running direction with respect to one of the guide rollers.

또한, 바람직하게는 상기 가이드 롤러는 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일에 의해 가이드되어 있을 때에 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일의 접점이 평면으로부터 볼 때에 있어서 상기 주행 차륜의 회전축 상에 위치하도록 설치되어 있으면 좋다.In addition, preferably, when the guide roller is guided by the main guide rail or the branch guide rail, the contact point of the main guide rail or the branch guide rail is positioned on the rotation axis of the traveling wheel when viewed from a plan view. It is good if it is installed.

또한, 바람직하게는 상기 메인 가이드 레일 및 상기 분기 가이드 레일은 그 외면이 평면으로부터 볼 때에 있어서 상기 주행 차륜의 주행 방향 중심선과 일치하도록 설치되어 있으면 좋다.Further, preferably, the main guide rail and the branch guide rail may be provided so that their outer surfaces coincide with the center line in the running direction of the traveling wheel when viewed from a plan view.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의한 천장 반송차의 실시형태의 일례에 의하면 가이드 롤러를 메인 궤도로 가이드하기 위한 메인 가이드 레일과, 분기 궤도로 가이드하기 위한 분기 가이드 레일이 각각 설치되어 있다. 이 때문에 메인 가이드 레일의 위치를 조정하는 것에 있어서는 메인 레일의 내면과 메인 가이드 레일의 외면의 위치 관계만을 조정하면 좋고, 메인 가이드 레일의 내면의 위치와 방향까지 고려할 필요가 없다. 마찬가지로 분기 가이드 레일의 위치를 조정하는 것에 있어서는 분기 레일의 내면과 분기 가이드 레일의 외면의 위치 관계만을 조정하면 좋고, 분기 가이드 레일의 내면의 위치와 방향까지 고려할 필요가 없다. 또한, 메인 가이드 레일은 메인 레일의 상방, 분기 가이드 레일은 분기 레일의 상방에 설치되는 것이 되기 때문에 메인 가이드 레일과 메인 레일의 거리 및 분기 가이드 레일과 분기 레일의 거리가 짧아지며, 각 레일의 위치 관계의 조정은 그 짧은 거리 내에서의 조정이 된다. 따라서, 각 레일의 위치 관계의 조정이 용이하다.According to an example of an embodiment of the overhead conveyance vehicle according to the present invention, a main guide rail for guiding the guide roller to the main track and a branch guide rail for guiding the branch track are provided. For this reason, in adjusting the position of the main guide rail, it is only necessary to adjust the positional relationship between the inner surface of the main rail and the outer surface of the main guide rail, and there is no need to consider the position and direction of the inner surface of the main guide rail. Similarly, in adjusting the position of the branch guide rail, it is only necessary to adjust the positional relationship between the inner surface of the branch rail and the outer surface of the branch guide rail, and there is no need to consider the position and direction of the inner surface of the branch guide rail. In addition, since the main guide rail is installed above the main rail and the branch guide rail is installed above the branch rail, the distance between the main guide rail and the main rail and the distance between the branch guide rail and the branch rail are shortened. The adjustment of the relationship is the adjustment within that short distance. Therefore, it is easy to adjust the positional relationship of each rail.

또한, 가이드 롤러는 주행 차륜이 통과하는 영역의 상방에 설치된 메인 가이드 레일 또는 분기 가이드 레일에서 가이드된다. 그 때문에 분기 궤도에 있어서 좌우 한 쌍의 주행 차륜의 어느 쪽인가가 지지되어 있지 않는 상태이어도 지지되어 있는 주행 차륜과 지지하고 있는 레일의 접점으로부터 메인 가이드 레일 또는 분기 가이드 레일에 대한 가이드 롤러의 접점까지의 좌우 방향의 거리가 짧아진다. 그 때문에 메인 가이드 레일 또는 분기 가이드 레일에 가해지는 상하 방향의 힘이 작아지며, 가이드 롤러, 메인 가이드 레일, 분기 가이드 레일이 마모되는 것 및 분진이 발생해버리는 것의 우려가 적다.In addition, the guide roller is guided by a main guide rail or a branch guide rail installed above a region through which the driving wheels pass. Therefore, even if either of the left and right pair of running wheels is not supported on the branch track, from the contact point between the supported running wheel and the supporting rail to the contact point of the guide roller to the main guide rail or the branch guide rail. The distance in the left and right direction of is shortened. Therefore, the vertical force applied to the main guide rail or the branch guide rail is reduced, and there is little concern that the guide roller, the main guide rail, and the branch guide rail are worn out, and that dust is generated.

도 1은 본 발명에 의한 실시형태의 일례에 있어서의 천장 반송차가 주행하는 반송 경로의 일부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 천장 반송차의 구조를 나타내는 배면도이다.
도 3은 도 2의 A-A 화살표로부터 본 도면이다.
도 4는 가이드 롤러가 분기 가이드 레일에 가이드되는 모양을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 5는 종래의 천장 반송차의 구조를 나타내는 배면도이다.1 is a plan view schematically showing a part of a conveyance path on which an overhead conveyance vehicle travels in an example of an embodiment according to the present invention.
2 is a rear view showing the structure of a ceiling transport vehicle.
FIG. 3 is a view seen from the arrow AA of FIG. 2.
4 is a plan view schematically showing a shape in which a guide roller is guided to a branch guide rail.
5 is a rear view showing the structure of a conventional ceiling transport vehicle.

도 1의 평면도에는 본 발명에 의한 실시형태의 일례에 있어서 천장 반송차(10)가 주행하는 반송 궤도가 개략적으로 나타내어져 있다. 이 반송 궤도는, 예를 들면 반도체 제조 공장 등의 반송 대상이 되는 물품(12)(예를 들면, 반도체 기판을 수납하는 하우징 등)을 반송하는 공정을 포함하는 작업이 행해지는 설비 내에 설치되어 있다.A plan view of Fig. 1 schematically shows a conveyance track on which the ceiling conveyance vehicle 10 travels in an example of an embodiment according to the present invention. This conveyance track is installed in a facility in which an operation including a step of conveying an article 12 to be conveyed (e.g., a housing for accommodating a semiconductor substrate) is performed, for example, in a semiconductor manufacturing plant. .

도 1의 반송 궤도에는 복수의 메인 궤도(RM)가 포함된다. 각 메인 궤도(RM)는 설비 내에 있어서 물품(12)에 대한 각종 작업이 행해지는 구획을 지나는 궤도이며, 물품(12)에 대하여 행해지는 작업의 종류에 따라 각각의 메인 궤도(RM)가 형성되어 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장이면 메인 궤도(RM)를 따라 복수의 물품 처리부가 설치되어 있으며, 제조되는 반도체의 종류나 가공의 단계에 따라 천장 반송차(10)가 적절한 메인 궤도(RM)를 통과한다.A plurality of main trajectories RM are included in the conveyance trajectory of FIG. 1. Each main track RM is a track passing through a division in which various operations on the article 12 are performed in the facility, and each main track RM is formed according to the type of work performed on the article 12. have. For example, in a semiconductor manufacturing plant, a plurality of product processing units are installed along the main track (RM), and the ceiling transport vehicle 10 passes through the appropriate main track (RM) depending on the type of semiconductor to be manufactured or the stage of processing. do.

그리고 반송 궤도에는 이들 복수의 메인 궤도(RM)끼리를 접속하는 분기 궤도(RB)가 형성되어 있다. 반송 궤도에는 메인 궤도(RM)와 분기 궤도(RB)에 브랜칭하는 분기 구획이 복수 존재하고, 어느 하나의 메인 궤도(RM)를 주행하는 천장 반송차(10)는 분기 구획에 있어서 그 후에 향해야 할 메인 궤도(RM)(이것은 상위 시스템 등에 의해 지정된다)에 따라 현재 주행하고 있는 메인 궤도(RM)를 그대로 주행할지, 분기 궤도(RB)를 경유해서 별도의 메인 궤도(RM)를 향할지를 선택한다. 이후의 설명에서는 도 1에 있어서 가상선으로 둘러싸여 있는 분기 구획(MB), 즉 직선형상의 메인 궤도(RM)와 우측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)로 분기되는 구획에 대해서 설명한다.In addition, a branch track RB for connecting the plurality of main tracks RM is formed in the conveyance track. In the conveyance track, there are a plurality of branch divisions branching in the main track RM and the branch track RB, and the overhead transfer vehicle 10 running on any one of the main tracks RM is in the branch section and should be headed after that. Depending on the main track RM (this is designated by the host system, etc.), it selects whether to run the current main track RM as it is or to go to a separate main track RM via the branch track RB. . In the following description, in Fig. 1, a branch section MB surrounded by an imaginary line, that is, a section branched into a straight main track RM and a branch track RB facing the right direction will be described.

도 2에 분기 구획(MB)에 위치하는 천장 반송차(10)를 주행 방향의 후방으로부터 본 배면도를 나타낸다. 또한, 도 3에 도 2 중의 A-A 화살표로부터 본 도면을 나타낸다. 이 천장 반송차(10)는 적어도 1쌍(도 3에 나타내는 바와 같이 여기에서는 2쌍으로 한다)의 좌우의 주행 차륜(18L, 18R)을 구비한 주행 대차(16)에 의해 설비 내를 주행한다. 그리고 주행 대차(16)의 하방에는 반송 대상이 되는 물품(12)을 유지하는 물품 유지부(14)가 접속되어 있다. 여기에서는 도시하지 않지만 물품 유지부(14)는 물품(12)을 승강시키는 기구를 구비하고 있으며, 이에 따라 물품 유지부(14)는 반송 궤도의 하방에 있어서 물품(12)에 대한 작업이 행해지는 장소(반도체 제조 공장에 있어서의 물품 처리부 등)와 천장측의 반송 궤도를 주행하는 천장 반송차(10) 사이에서 물품(12)을 이재할 수 있다.Fig. 2 shows a rear view of the ceiling transport vehicle 10 located in the branch section MB as viewed from the rear in the traveling direction. In addition, in FIG. 3, the figure seen from the arrow A-A in FIG. 2 is shown. This overhead transport vehicle 10 travels inside the facility by a traveling bogie 16 provided with at least one pair of left and right traveling wheels 18L and 18R (as shown in Fig. 3, it is referred to as two pairs here). . Further, an article holding portion 14 holding the article 12 to be conveyed is connected below the traveling cart 16. Although not shown here, the article holding unit 14 is provided with a mechanism for lifting the article 12, and accordingly, the article holding unit 14 performs work on the article 12 below the conveyance track. The article 12 can be transferred between the place (the article processing unit in a semiconductor manufacturing plant, etc.) and the ceiling conveyance vehicle 10 running on the conveyance track on the ceiling side.

또한, 역 U자상의 프레임체(25)를 구비한 서스펜드 장치(20)에 의해 설비의 천장으로부터 서스펜드 지지된 메인 레일(22)과 분기 레일(24)이 반송 궤도를 따라 배치되어 있으며, 분기 구획(MB)에 있어서의 천장 반송차(10)의 주행 대차(16)가 구비하는 좌우의 주행 차륜(18L, 18R)은 이들 메인 레일(22) 및 분기 레일(24)에 의해 지지된다. 도 2에 있어서는 좌측의 주행 차륜(18L)이 메인 레일(22) 상면에, 우측의 주행 차륜(18R)이 분기 레일(24) 상면에 지지된다. 또한, 메인 궤도(RM)에 있어서는 좌우 양쪽의 레일이 메인 레일(22)이며, 좌우의 주행 차륜(18L, 18R)은 어느 것이나 메인 레일(22)에 의해 지지된다.In addition, the main rail 22 and the branch rail 24, which are suspended from the ceiling of the facility by the suspension device 20 provided with the inverted U-shaped frame body 25, are arranged along the conveyance track. The left and right travel wheels 18L and 18R included in the travel bogie 16 of the overhead transport vehicle 10 in (MB) are supported by these main rails 22 and branch rails 24. In FIG. 2, the left traveling wheel 18L is supported on the upper surface of the main rail 22, and the right traveling wheel 18R is supported on the upper surface of the branch rail 24. In addition, in the main track RM, both the left and right rails are the main rail 22, and the left and right traveling wheels 18L and 18R are both supported by the main rail 22.

도 3에는 천장 반송차(10)가 메인 궤도(RM)로부터 분기 구획(MB)으로 진입해 가는 모양이 나타내어져 있다. 도 3 중 우측의 레일은 메인 궤도(RM)에 있어서는 메인 레일(22)이며, 분기 구획(MB)에 있어서는 분기 레일(24)이다. 도면 중에서는 이 메인 레일(22)과 분기 레일(24)을 연속한 레일로서 그리고 있지만 메인 레일(22)과 분기 레일(24)을 별체로 하고, 그 경계에 약간의 간극이 있어도 좋다.In Fig. 3, a state in which the ceiling transport vehicle 10 enters the branch section MB from the main track RM is shown. In Fig. 3, the rail on the right side is the main rail 22 in the main track RM, and the branch rail 24 in the branch section MB. In the drawing, the main rail 22 and the branch rail 24 are depicted as continuous rails, but the main rail 22 and the branch rail 24 are separated, and there may be a slight gap at the boundary.

이들 메인 레일(22)과 분기 레일(24)의 내면(도 2, 도 3 중의 중앙 부근의 측면, 즉 메인 궤도(RM) 또는 분기 궤도(RB)의 중심측의 측면)에는 주행 대차(16)의 하방에 설치된 좌우의 사이드 롤러(50L, 50R)가 전동면(구름면)을 향하고 있다. 메인 궤도(RM)에 있어서는 이들 사이드 롤러(50L, 50R)가 메인 레일(22)의 내면에서 가이드되어 천장 반송차(10)가 메인 궤도(RM)를 따라 주행한다.On the inner surfaces of these main rails 22 and branch rails 24 (the side near the center in FIGS. 2 and 3, that is, the side of the main track RM or the center side of the branch track RB), a running bogie 16 The left and right side rollers 50L and 50R installed below the are facing the raceway (rolling surface). In the main track RM, these side rollers 50L and 50R are guided from the inner surface of the main rail 22, and the ceiling conveyance vehicle 10 travels along the main track RM.

주행 대차(16)의 상방에는 가이드 롤러 장치(30)가 부착되어 있다. 이 가이드 롤러 장치(30)는 후술하는 메인 가이드 레일(40M) 또는 분기 가이드 레일(40B)에 가이드되는 좌우의 가이드 롤러(32L, 32R)와, 이들 가이드 롤러(32L, 32R)를 이동시키는 가이드 롤러 구동부(34)와, 가이드 롤러 구동부(34)를 지지하는 가이드 롤러 대좌(31)를 구비하고 있다. 가이드 롤러 구동부(34)는 가이드 롤러 장치(30) 나아가서는 천장 반송차(10) 전체에 대한 좌우의 가이드 롤러(32L, 32R)의 위치를 변화시킴으로써 좌측의 가이드 롤러(32L)가 메인 가이드 레일(40M)에 가이드되는 상태와, 우측의 가이드 롤러(32R)가 분기 가이드 레일(40B)에 가이드되는 상태를 스위칭할 수 있다. 가이드 롤러(32L, 32R)는 주행 차륜(18L, 18R)의 상방에서 주행 방향의 좌측과 우측에 각각 적어도 1개씩은 존재하도록 설치되어 있다. 도 3에 있어서는 2대의 주행 차륜(18L, 18R)에 대응하여 가이드 롤러 장치(30)가 2개 설치되어 있음으로써 좌측과 우측에 각각 2개씩의 가이드 롤러(32L, 32R)가 존재한다.A guide roller device 30 is attached above the traveling cart 16. This guide roller device 30 includes left and right guide rollers 32L and 32R guided by a main guide rail 40M or branch guide rail 40B to be described later, and a guide roller for moving these guide rollers 32L and 32R. A drive unit 34 and a guide roller pedestal 31 supporting the guide roller drive unit 34 are provided. The guide roller drive unit 34 changes the position of the left and right guide rollers 32L and 32R with respect to the guide roller device 30 and the entire ceiling conveyance vehicle 10, so that the left guide roller 32L becomes the main guide rail ( 40M) and a state in which the right guide roller 32R is guided to the branch guide rail 40B can be switched. The guide rollers 32L and 32R are provided so as to exist at least one each on the left and right sides of the traveling direction from above the traveling wheels 18L and 18R. In Fig. 3, two guide roller devices 30 are provided corresponding to the two running wheels 18L and 18R, and thus two guide rollers 32L and 32R are provided on the left and right sides, respectively.

메인 가이드 레일(40M) 및 분기 가이드 레일(40B)은 각각 메인 레일(22) 및 분기 레일(24)의 상방에 설치되어 있으며, 천장 반송차(10)보다 높은 위치에 있다. 여기에서는 메인 레일(22), 분기 레일(24)을 서스펜드 지지하는 역 U자상의 프레임체(25)에 있어서 역 U자의 상변이 되는 개소의 하면에 메인 가이드 레일(40M) 및 분기 가이드 레일(40B)이 (나사 고정 등에 의해)부착되어 있다.The main guide rail 40M and the branch guide rail 40B are provided above the main rail 22 and the branch rail 24, respectively, and are at a position higher than the ceiling conveyance vehicle 10. Here, in the reverse U-shaped frame body 25 that suspends the main rail 22 and the branch rail 24, the main guide rail 40M and the branch guide rail 40B are located on the lower surface of the upper side of the reverse U-shape. ) Is attached (by screwing, etc.).

메인 가이드 레일(40M) 및 분기 가이드 레일(40B)은 판자형상의 부분을 갖고 있으며, 이 판자형상의 부분은 반송 방향에 대한 좌우(도 2, 도 3 중의 좌우)에 양면의 각각을 향하고 있다. 메인 궤도(RM) 및 분기 궤도(RB)의 중심측(도 2, 도 3 중의 중앙측)의 면을 내면, 반대측의 면을 외면으로 해서 외면에서 가이드 롤러(32L, 32R)를 가이드하도록 설치되어 있다. 도 2, 도 3에는 분기 가이드 레일(40B)의 외면(도 2, 도 3 중에서 우측의 면)에 우측의 가이드 롤러(32R)가 가이드되는 모양이 나타내어져 있다.The main guide rail 40M and the branch guide rail 40B have a board-like part, and this board-like part faces each of both sides (left and right in Figs. 2 and 3) with respect to the conveying direction. It is installed so as to guide the guide rollers 32L and 32R from the outer surface with the inner surface of the main track RM and the branch track RB (center side in Figs. 2 and 3) as the inner surface and the opposite side as the outer surface. have. In Figs. 2 and 3, a shape in which the right guide roller 32R is guided to the outer surface (the right side in Figs. 2 and 3) of the branch guide rail 40B is shown.

도 2, 도 3에 나타내는 가이드 롤러 장치(30)에 있어서는 가이드 롤러(32L, 32R)는 각각 가이드 롤러 구동부(34)를 베이스부로 하여 수평면 내에서 회전하는 암의 선단에 부착되어 있다. 이 암은 가이드 롤러 구동부(34)에 있어서 회전의 베이스부가 되는 위치(도 3에서는 반송 궤도의 중심 가까이)로부터 메인 가이드 레일(40M) 또는 분기 가이드 레일(40B)까지의 직선 거리보다 가이드 롤러(32L, 32R)의 반지름분 길이 치수로 되어 있다. 도 3에 나타내어져 있는 가이드 롤러 장치(30)는 좌측의 가이드 롤러(32L)용의 암이 주행 방향에 가까운 각도(주행 방향에 대해서 예각)로 되어 있으며, 우측의 가이드 롤러(32R)용의 암이 우측 방향을 향하는 각도(주행 방향에 대해서 직각)로 된 상태이다.In the guide roller device 30 shown in Figs. 2 and 3, the guide rollers 32L and 32R are each attached to the tip end of an arm rotating in a horizontal plane with the guide roller drive unit 34 as a base. This arm is the guide roller 32L than the linear distance from the position where the guide roller drive unit 34 becomes the base of rotation (near the center of the conveyance track in Fig. 3) to the main guide rail 40M or the branch guide rail 40B. , 32R). In the guide roller device 30 shown in Fig. 3, the arm for the guide roller 32L on the left is at an angle close to the traveling direction (acute angle with respect to the traveling direction), and the arm for the guide roller 32R on the right It is in the state of being at this right angle (perpendicular to the driving direction).

이 상태에서 천장 반송차(10)가 주행함으로써 천장 반송차(10)는 우측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)로 안내된다. 도 4의 평면도에 우측의 가이드 롤러(32R)가 분기 가이드 레일(40B)에 가이드되는 모양을 개략적으로 나타낸다. 설명을 위해 도 4에 있어서는 천장 반송차(10)에 대해서 반송 대차(16)의 도시를 생략하고, 가이드 롤러 장치(30) 중 가이드 롤러 구동부(34)와 좌우의 가이드 롤러(32L, 32R)의 위치만을 나타낸다.In this state, the ceiling conveyance vehicle 10 travels, so that the ceiling conveyance vehicle 10 is guided to the branch track RB facing the right direction. The plan view of FIG. 4 schematically shows a shape in which the right guide roller 32R is guided to the branch guide rail 40B. For the sake of explanation, in FIG. 4, the illustration of the conveyance truck 16 is omitted for the ceiling conveyance vehicle 10, and the guide roller drive part 34 and the left and right guide rollers 32L and 32R of the guide roller device 30 are Only the location is indicated.

분기 가이드 레일(40B)은 우측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)를 따르는 분기 레일(24)의 상방에 설치되어 있으며, 도 4에 나타내는 바와 같이 그 평면으로부터 볼 때 형상은 분기 궤도(RB)를 따라 우측 방향으로 구부러진 형상으로 되어 있다. 분기 궤도(RB)를 향하는 예정의 천장 반송차(10)(도 4에는 가이드 롤러 장치(30)만이 나타내어져 있다)가 분기 구획(MB)에 근접하면 가이드 롤러 구동부(34)가 우측의 가이드 롤러(32R)용의 암을 우측 방향을 향하는 각도로 회전시켜서 가이드 롤러 장치(30)는 도 4 중에 실선으로 나타내어지는 상태가 된다. 이 상태에서 천장 반송차(10)가 전진해 가면 우측의 가이드 롤러(32R)가 분기 가이드 레일(40B)의 외면(도 4 중에서 우측의 면)에 가이드됨으로써 가이드 롤러 장치(30)를 포함하는 천장 반송차(10)는 분기 가이드 레일(40B)의 평면으로부터 볼 때 형상을 따른 방향, 즉 우측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)로 안내된다.The branch guide rail 40B is installed above the branch rail 24 along the branch track RB facing the right direction, and as shown in Fig. 4, the shape is along the branch track RB when viewed from the plane. It has a shape bent to the right. When the planned ceiling conveyance vehicle 10 (only the guide roller device 30 is shown in Fig. 4) toward the branch track RB is close to the branch section MB, the guide roller drive unit 34 moves to the right guide roller. The guide roller device 30 is in a state indicated by a solid line in FIG. 4 by rotating the arm for 32R at an angle toward the right. In this state, when the ceiling conveyance vehicle 10 moves forward, the guide roller 32R on the right side is guided to the outer surface (the right side in FIG. 4) of the branch guide rail 40B, and thus the ceiling including the guide roller device 30 The conveyance vehicle 10 is guided in a direction along the shape, that is, a branch track RB toward the right as viewed from the plane of the branch guide rail 40B.

한편, 메인 가이드 레일(40M)은 분기 구획(MB)에 있어서 직선형상의 메인 궤도(RM)를 따르는 메인 레일(22)의 상방에 설치되어 있으며, 도 4에 나타내는 바와 같이 그 평면으로부터 볼 때 형상도 메인 레일(22)을 따라 직선형상으로 되어 있다. 메인 궤도(RM)를 직진하는 예정의 천장 반송차(10)가 분기 구획(MB)에 근접하면 도 4에 가상선으로 나타내는 바와 같이 가이드 롤러 구동부(34)가 좌측의 가이드 롤러(32L)용의 암을 좌측 방향을 향하는 각도로 회전시킴과 아울러, 우측의 가이드 롤러(32R)용의 암을 주행 방향에 가까운 각도로 회전시킨다. 이 상태의(가상선으로 나타내는) 가이드 롤러 장치(30)이면 좌측의 가이드 롤러(32L)가 메인 가이드 레일(40M)의 외면(도 4 중에서 좌측의 면)에 가이드되고, 우측의 가이드 롤러는 가이드되지 않는다. 이 상태에서 천장 반송차(10)가 전진해 가면 좌측의 가이드 롤러(32L)가 메인 가이드 레일(40M)의 외면에 가이드됨으로써 가이드 롤러 장치(30)를 포함하는 천장 반송차(10)는 메인 가이드 레일(40M)의 평면으로부터 볼 때 형상을 따른 방향, 즉 직선형상의 메인 궤도(RM)로 안내된다.On the other hand, the main guide rail 40M is installed above the main rail 22 along the straight main track RM in the branch section MB, and as shown in FIG. It has a linear shape along the main rail 22. When the planned ceiling conveyance vehicle 10 going straight on the main track RM approaches the branch section MB, the guide roller drive unit 34 is used for the guide roller 32L on the left as shown by a virtual line in FIG. While rotating the arm at an angle toward the left, the arm for the right guide roller 32R is rotated at an angle close to the traveling direction. With the guide roller device 30 in this state (represented by a virtual line), the guide roller 32L on the left is guided to the outer surface (the surface on the left in Fig. 4) of the main guide rail 40M, and the guide roller on the right is a guide. It doesn't work. In this state, when the ceiling transport vehicle 10 moves forward, the guide roller 32L on the left is guided to the outer surface of the main guide rail 40M, so that the ceiling transport vehicle 10 including the guide roller device 30 is a main guide. When viewed from the plane of the rail 40M, it is guided in a direction along the shape, that is, to the straight main track RM.

또한, 좌우의 가이드 롤러(32L, 32R)가 모두 가이드되어 버리는 상태, 즉 좌측의 가이드 롤러(32L)가 메인 가이드 레일(40M)에 가이드되면서 우측의 가이드 롤러(32R)가 분기 가이드 레일(40B)에 가이드된다는 상태가 발생하지 않도록 하기 위해서, 예를 들면 양 암의 구동 기구가 기어 등으로 연결됨으로써 좌측의 가이드 롤러(32L)용의 암의 움직임과 우측의 가이드 롤러(32R)용의 암의 움직임이 연동하도록 되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 어느 한쪽의 암이 주행 방향과 직각이 되면 타방의 암이 주행 방향과 가까운 각도가 되고, 좌측과 우측의 가이드 롤러(32L, 32R)의 어느 한쪽밖에 가이드되지 않도록 되어 있으면 좋다.In addition, the left and right guide rollers 32L and 32R are all guided, that is, the left guide roller 32L is guided to the main guide rail 40M, and the right guide roller 32R is the branch guide rail 40B. In order not to cause a state of being guided, for example, the drive mechanisms of both arms are connected with gears, so that the movement of the arm for the guide roller 32L on the left and the arm for the guide roller 32R on the right. It is desirable that this linkage is made. That is, when either arm is perpendicular to the travel direction, the other arm becomes an angle close to the travel direction, and only one of the left and right guide rollers 32L and 32R may be guided.

이상과 같은 본 실시형태의 천장 반송차(10)에 의하면 종래 기술에 비해 각 레일의 위치 관계의 조정이 용이하다. 도 2에 나타내는 바와 같이 메인 가이드 레일(40M)과 분기 가이드 레일(40B)이 각각 설치되어 있기 때문에 천장 반송차(10)가 적절하게 메인 궤도(RM)로 안내되도록 하기 위해서는 작업자는 메인 가이드 레일(40M)의 위치를 조정해서 메인 가이드 레일(40M)의 외면과 메인 레일(22)의 내면의 위치 관계가 적절하게 되도록 하면 좋고, 메인 가이드 레일(40M)의 내면의 위치와 방향까지 고려할 필요가 없다. 또한, 천장 반송차(10)가 적절하게 분기 궤도(RB)로 안내되도록 하기 위해서는 작업자는 분기 가이드 레일(40B)의 위치를 조정해서 분기 가이드 레일(40B)의 외면과 분기 레일(24)의 내면의 위치 관계가 적절하게 되도록 하면 좋고, 분기 가이드 레일(40B)의 내면의 위치와 방향까지 고려할 필요가 없다.According to the ceiling transport vehicle 10 of the present embodiment as described above, it is easier to adjust the positional relationship of each rail compared to the prior art. As shown in Fig. 2, since the main guide rail 40M and the branch guide rail 40B are respectively installed, in order to properly guide the ceiling transport vehicle 10 to the main track RM, the operator must use the main guide rail ( 40M) should be adjusted so that the positional relationship between the outer surface of the main guide rail 40M and the inner surface of the main rail 22 is appropriate, and there is no need to consider the position and direction of the inner surface of the main guide rail 40M. . In addition, in order to properly guide the ceiling transport vehicle 10 to the branch track RB, the operator adjusts the position of the branch guide rail 40B, so that the outer surface of the branch guide rail 40B and the inner surface of the branch rail 24 It is good if the positional relationship of is appropriate, and there is no need to consider the position and direction of the inner surface of the branch guide rail 40B.

또한, 메인 가이드 레일(40M)은 메인 레일(22)의 상방, 분기 가이드 레일(40B)은 분기 레일(24)의 상방에 설치되어 있기 때문에 메인 가이드 레일(40M)과 메인 레일(22)의 거리 및 분기 가이드 레일(40B)과 분기 레일(24)의 거리가 짧아져 있으며, 각 레일의 위치 관계의 조정은 그 짧은 거리 내에서의 조정이 된다. 따라서, 각 레일의 위치 관계의 조정이 용이하다.In addition, since the main guide rail 40M is installed above the main rail 22 and the branch guide rail 40B is installed above the branch rail 24, the distance between the main guide rail 40M and the main rail 22 And the distance between the branch guide rail 40B and the branch rail 24 is shortened, and the adjustment of the positional relationship of each rail is adjusted within the short distance. Therefore, it is easy to adjust the positional relationship of each rail.

또한, 본 실시형태의 천장 반송차(10)에서는 좌우의 주행 차륜(18L, 18R)의 어느 쪽인가가 지지되어 있지 않는 상태에 있어서도 가이드 롤러(32L, 32R), 메인 가이드 레일(40M), 분기 가이드 레일(40B)이 마모되어 버릴 우려가 적다. 예를 들면, 도 4에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)가 우측 방향으로 향하는 분기 궤도(RB)로 안내될 경우 메인 궤도(RM)로부터 분기 궤도(RB)로 이행하는 도중에서는 도 2의 좌측에 위치하는 주행 차륜(18L)이 일시적으로 메인 레일(22)로부터 멀어져서 공중에 뜨는(지지를 받을 수 없는) 시기가 있다. 그러한 경우, 좌측의 주행 차륜(18L)이 중력에 이끌려 천장 반송차(10)를 도면 중의 좌측 하방으로 기울게 하는 힘이 작용하지만, 그 힘은 우측의 가이드 롤러(32R)와 분기 가이드 레일(40B) 외면의 접점, 도 2 중에 나타내는 점(P)에서 받아내어진다.In addition, in the ceiling conveyance vehicle 10 of the present embodiment, the guide rollers 32L and 32R, the main guide rail 40M, and the branch even when either of the left and right traveling wheels 18L and 18R is not supported. There is little possibility that the guide rail 40B will wear out. For example, as shown in FIG. 4, when the ceiling transport vehicle 10 is guided to the branch track RB facing the right direction, the left side of FIG. 2 is on the way from the main track RM to the branch track RB. There is a time when the traveling wheel 18L located at is temporarily moved away from the main rail 22 and floats (cannot be supported). In such a case, a force to incline the ceiling conveyance vehicle 10 to the lower left in the drawing is applied due to the gravity of the driving wheel 18L on the left, but the force is the guide roller 32R and the branch guide rail 40B on the right. It is received at the contact point on the outer surface and a point P shown in FIG. 2.

이 점(P)은 도 2에 나타내는 바와 같이 우측의 주행 차륜(18R)의 주행 방향 중심선(LZ1)(주행 차륜(18R)의 좌우 방향 치수의 중앙을 지나는 선)과 일치하는 위치에 있다. 천장 반송차(10)를 도면 중의 좌측 하방으로 기울게 하는 힘은 천장 반송차(10)를 우측의 주행 차륜(18R)과 메인 레일(24)의 접점(주행 방향 중심선(LZ1) 상에 위치한다)을 중심으로 해서 좌회전으로 회전시키는 바와 같이 작용하지만 상술하는 점(P)이 주행 방향 중심선(LZ1) 상에 위치하고 있기 때문에 점(P)에 작용하는 힘은 도면 중의 좌우 방향에 대해서만 작용하여 분기 가이드 레일(40B) 외면에 상하 방향의 힘이 가해질 일이 없다. 따라서, 가이드 롤러(32R)가 분기 가이드 레일(40B)에 대하여 상하로 슬라이딩되어 버릴 일은 없고, 가이드 롤러(32R)와 분기 가이드 레일(40B)이 마모되어 버릴 우려는 적다.This point P is at a position coincident with the running direction center line LZ1 of the right running wheel 18R (a line passing through the center of the horizontal dimension of the running wheel 18R) as shown in FIG. 2. The force that makes the ceiling carrier 10 inclined downward to the left in the drawing is the contact between the ceiling carrier 10 and the driving wheel 18R on the right and the main rail 24 (located on the running direction center line LZ1). It acts as if it rotates to the left rotation centering on, but since the point (P) described above is located on the center line (LZ1) in the driving direction, the force acting on the point (P) acts only in the left and right directions in the drawing, and the branch guide rail (40B) No vertical force is applied to the outer surface. Therefore, the guide roller 32R does not slide up and down with respect to the branch guide rail 40B, and there is little possibility that the guide roller 32R and the branch guide rail 40B will wear out.

마찬가지로 천장 반송차(10)가 분기 구획(MB)에 있어서 메인 궤도(RM)로 안내될 경우 우측의 주행 차륜(18R)이 공중에 뜨는 시기가 있지만 그 시기에 있어서도 좌측의 가이드 롤러(32L)와 메인 가이드 레일(40M) 외면의 접점이 좌측의 주행 차륜(18L)의 주행 방향 중심선(LZ2)과 일치하는 위치에 있기 때문에 가이드 롤러(32L)가 메인 가이드 레일(40M)에 대하여 상하로 슬라이딩되어 버릴 일은 없고, 가이드 롤러(32R)와 메인 가이드 레일(40M)이 마모되어 버릴 우려는 적다.Similarly, when the overhead conveyance vehicle 10 is guided to the main track RM in the branch section MB, there is a time when the right traveling wheel 18R floats in the air, but also at that time, the left guide roller 32L and the Since the contact point on the outer surface of the main guide rail 40M is in a position coincident with the driving direction center line LZ2 of the left driving wheel 18L, the guide roller 32L will slide up and down with respect to the main guide rail 40M. There is no problem, and there is little fear that the guide roller 32R and the main guide rail 40M will wear out.

또한, 본 실시형태에 있어서는 좌우의 주행 차륜(18L, 18R)의 어느 쪽인가가 지지되어 있지 않는 상태, 예를 들면 메인 레일(22)이 도중에 끊어져 있으며, 좌측의 주행 차륜(18L)이 공중에 뜬 상태(편측 지지 상태)에 있어서 반송 대차(16)가 주행 방향에 대하여 좌우로 진동되어 버릴(좌우 회전 운동을 한다) 우려도 적다. 왜냐하면, 도 3에 나타내는 바와 같이 분기 가이드 레일(40B)에 가이드되는 우측의 가이드 롤러(32R)에 대하여 주행 대차(16) 하방에서 분기 레일(24) 내면에 안내되는 사이드 롤러(50R)가 주행 방향의 전후로 2개 1세트로 설치되어 있기(도 3에서는 가이드 롤러(32R)가 2개 있기 때문에 사이드 롤러(50R)는 2세트, 4개 존재하기) 때문이다. 이렇게 사이드 롤러(50R)가 설치되어 있음으로써 편측 지지 상태의 주행 대차(16)는 점(P)을 정상점의 1개로 하는 삼각형의 정상점에 각각 배치된 가이드 롤러(32R)와 2개의 사이드 롤러(50R)로 지지되게 된다. 이 상태에서는 도면 중 좌측 방향의 힘과 우측 방향의 힘의 양쪽에서 끼워넣도록 하여 지지되는 것이 되며, 낙하가 보다 확실하게 방지됨과 아울러, 3점에서 지지됨으로써 점(P)을 중심으로 한 좌우 회전 운동도 방지된다.In addition, in the present embodiment, in a state in which either of the left and right traveling wheels 18L and 18R is not supported, for example, the main rail 22 is cut in the middle, and the left traveling wheel 18L is in the air. In the floating state (one-side support state), there is also little fear that the transport cart 16 will vibrate left and right with respect to the travel direction (it rotates left and right). This is because, as shown in FIG. 3, the side roller 50R guided to the inner surface of the branch rail 24 from the lower side of the traveling cart 16 with respect to the guide roller 32R on the right side guided by the branch guide rail 40B is in the running direction. This is because they are provided in a set of two before and after (in Fig. 3, since there are two guide rollers 32R, there are two sets of side rollers 50R and four). Since the side rollers 50R are installed in this way, the traveling bogie 16 in a supported state on one side is a guide roller 32R and two side rollers respectively disposed at a triangular top point with a point P as one of the top points. It will be supported by (50R). In this state, it is supported by being inserted in both the left and right forces in the drawing, and falling is more reliably prevented, and by being supported at three points, the left and right rotation around the point (P) Exercise is also prevented.

여기에서 점(P)이 평면으로부터 볼 때에 있어서 주행 차륜(18L, 18R)의 회전축(LX) 상에 위치하고, 또한 평면으로부터 볼 때에 있어서의 주행 차륜(18L, 18R)의 주행 방향 중심선(LY)과 일치하도록 분기 가이드 레일(40B)이 배치되어 있으면 가이드 롤러(32R)와 2개의 사이드 롤러(50R)에 의해 주행 대차(16)를 지지하는 힘은 점(P)을 중심으로 해서 전후 좌우로 균등하게 되는(점(P)을 중심으로 하는 회전이 발생하지 않는) 바와 같이 작용하는 것이 되고, 보다 주행 대차(16)의 자세가 안정된다.Here, the point P is located on the rotation axis LX of the running wheels 18L and 18R when viewed from the top, and the running direction center line LY of the running wheels 18L and 18R when viewed from the top If the branch guide rails 40B are arranged so as to coincide, the force to support the traveling cart 16 by the guide rollers 32R and the two side rollers 50R is equally front and rear, left and right around the point P. It acts as it becomes (rotation around the point P does not occur), and the posture of the traveling bogie 16 becomes more stable.

분기 가이드 레일(40B), 우측의 가이드 롤러(32R), 우측의 사이드 롤러(50R)에 관한 이상의 설명은 좌측의 주행 차륜(18L)이 공중에 뜬 상태에 관한 것이지만 우측의 주행 차륜(18R)이 공중에 뜬 상태에서는 메인 가이드 레일(40M), 좌측의 가이드 롤러(32L), 좌측의 사이드 롤러(50L)가 상술한 바와 같은 위치 관계에 대응하는 배치로 되어 있으면 주행 대차(16)의 자세가 안정된다.The above description of the branch guide rail 40B, the right guide roller 32R, and the right side roller 50R relates to a state in which the left traveling wheel 18L is in the air, but the right traveling wheel 18R is When floating in the air, if the main guide rail 40M, the left guide roller 32L, and the left side roller 50L are arranged corresponding to the above-described positional relationship, the posture of the traveling cart 16 is stable. do.

단, 점(P)이 회전축(LX), 평면으로부터 볼 때에 있어서의 주행 방향 중심선(LY), 배면으로부터 볼 때에 있어서의 주행 방향 중심선(LZ1)과 엄밀하게 일치할 필요는 없고, 이들의 선과 어느 정도 가까운 위치로 되어만 있으면 주행 대차(16)의 자세는 충분하게 안정된다.However, it is not necessary that the point P exactly coincide with the rotation axis LX, the travel direction center line LY when viewed from the plane, and the travel direction center line LZ1 when viewed from the rear surface. As long as the position is close enough, the posture of the traveling bogie 16 is sufficiently stabilized.

또한, 본 실시형태에 있어서는 직선형상의 메인 궤도(RM)로부터 우측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)로 분기되는 도 1 중의 분기 구획(MB)에 대해서 설명했지만 좌측 방향을 향하는 분기 궤도(RB)를 분기하는 분기 구획이거나, 직선형상의 궤도로부터 우측 굽힘의 커브와 좌측 굽힘의 커브의 두 갈래로 분기되는 것 같은 분기 구획이거나 해도 분기 구획에 있어서 가이드 롤러(30L, 30R)를 가이드하는 가이드 레일이 주행 차륜(18L, 18R)을 각각 지지하는 주행용 레일의 상방에 설치되어 가이드 롤러(30L, 30R)가 천장 반송차(10)의 진행처에 따라 적절한 가이드 레일의 외면에서 가이드되도록 되어 있으면 좋다.In addition, in this embodiment, although the branch section MB in Fig. 1 branching from the linear main track RM to the branch track RB facing the right direction has been described, the branch track RB facing the left direction is branched. The guide rail for guiding the guide rollers 30L and 30R in the branch section is a branch section that is divided into two branches of the right bend curve and the left bend curve from a straight track. The guide rollers 30L and 30R may be installed above the running rails that support 18L and 18R, respectively, so that the guide rollers 30L and 30R may be guided from an appropriate outer surface of the guide rail according to the travel destination of the ceiling transport vehicle 10.

10: 천장 반송차 18L: 주행 차륜
18R: 주행 차륜 22: 메인 레일
24: 분기 레일 32L: 가이드 롤러
32R: 가이드 롤러 40M: 메인 가이드 레일
40B: 분기 가이드 레일 50L: 사이드 롤러
50R: 사이드 롤러10: ceiling transport vehicle 18L: driving wheel
18R: driving wheel 22: main rail
24: branch rail 32L: guide roller
32R: guide roller 40M: main guide rail
40B: branch guide rail 50L: side roller
50R: side roller

Claims (5)

복수의 메인 궤도 및 상기 복수의 메인 궤도끼리를 접속하는 분기 궤도를 포함하는 반송 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차에 있어서,
상기 천장 반송차는 적어도 한 쌍의 좌우의 주행 차륜과, 상기 주행 차륜의 상방에서 주행 방향의 좌측과 우측에 각각 적어도 1개씩 설치된 가이드 롤러를 구비하고,
상기 메인 궤도는 메인 레일과 메인 가이드 레일을 구비하고 있으며, 상기 메인 레일은 그 상면에서 상기 주행 차륜를 지지하고, 상기 메인 가이드 레일은 상기 메인 레일에 있어서 상기 주행 차륜이 통과하는 영역의 상방에 설치되어 있어서 상기 가이드 롤러를 가이드하고,
상기 분기 궤도는 분기 레일과 분기 가이드 레일을 구비하고 있으며, 상기 분기 레일은 그 상면에서 상기 주행 차륜를 지지하고, 상기 분기 가이드 레일은 상기 분기 레일에 있어서 상기 주행 차륜이 통과하는 영역의 상방에 설치되어 있어서 상기 가이드 롤러를 가이드하고,
상기 메인 가이드 레일 및 상기 분기 가이드 레일에 대해서 상기 메인 궤도 및 상기 분기 궤도의 중심측의 측면을 내면, 반대측의 측면을 외면이라고 부를 경우에 상기 가이드 롤러는 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일의 외면에서 가이드되는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.In the overhead conveyance vehicle running along a conveyance track including a plurality of main tracks and a branch track connecting the plurality of main tracks,
The ceiling conveyance vehicle includes at least a pair of left and right traveling wheels, and at least one guide roller installed on the left and right sides of the traveling direction from above the traveling wheels,
The main track is provided with a main rail and a main guide rail, and the main rail supports the driving wheel on its upper surface, and the main guide rail is installed above an area in the main rail through which the driving wheel passes. To guide the guide roller,
The branch rail is provided with a branch rail and a branch guide rail, the branch rail supports the traveling wheel on its upper surface, and the branch guide rail is installed above the region in the branch rail through which the traveling wheel passes. To guide the guide roller,
When the side of the main track and the branch guide rail on the center side of the main track and the branch guide rail is referred to as an inner surface and an opposite side of the main guide rail and the branch guide rail as an outer surface, the guide roller is Ceiling transport vehicle, characterized in that guided in. 제 1 항에 있어서,
상기 천장 반송차는 상기 주행 차륜의 하방에서 주행 방향의 좌측과 우측에 각각 설치된 사이드 롤러를 구비하고 있으며,
상기 사이드 롤러는 상기 메인 레일 및 상기 분기 레일의 내면에서 가이드되는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.The method of claim 1,
The ceiling conveyance vehicle has side rollers respectively installed on the left and right sides of the driving direction under the driving wheel,
The side roller is a ceiling conveyance vehicle, characterized in that guided on the inner surface of the main rail and the branch rail. 제 2 항에 있어서,
상기 사이드 롤러는 상기 가이드 롤러의 1개 1개에 대하여 주행 방향의 전후에 2개 1세트로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.The method of claim 2,
The side rollers are installed in a set of two side rollers before and after a running direction with respect to one of the guide rollers. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 롤러는 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일에 의해 가이드되어 있을 때에 상기 메인 가이드 레일 또는 상기 분기 가이드 레일과의 접점이 평면으로부터 볼 때에 있어서 상기 주행 차륜의 회전축 상에 위치하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.The method according to any one of claims 1 to 3,
When the guide roller is guided by the main guide rail or the branch guide rail, the contact point with the main guide rail or the branch guide rail is installed so as to be positioned on the rotation axis of the traveling wheel when viewed from a plan view. Ceiling transport vehicle characterized by. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 가이드 레일 및 상기 분기 가이드 레일은 그 외면이 평면으로부터 볼 때에 있어서 상기 주행 차륜의 주행 방향 중심선과 일치하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.The method according to any one of claims 1 to 4,
The main guide rail and the branch guide rail are provided so that their outer surfaces coincide with the center line in the traveling direction of the traveling wheel when viewed from a plan view.
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