KR20200073239A - 표면처리 장치 - Google Patents

Abstract

표면처리 장치(1)는 처리액이 수용되는 처리조(3-1)와, 처리조 내에 배치되는 적어도 하나의 양극(20)과, 적어도 1개의 음극 레일(40-1)과, 처리액에 침지되는 복수개의 워크(2)를 각각 아래로 늘어뜨려 유지하면서, 적어도 1개의 음극 레일과 접촉하여 복수개의 워크를 음극으로 설정하는 복수개의 지그(30)를, 처리조 내의 복수개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여 간헐적으로 반송시키는 간헐 반송 장치(70, 72)와, 처리조 내에, 평면에서 보았을 때 복수개의 정지 위치 각각에 정지되는 워크와 적어도 하나의 양극 사이에 적어도 하나 배치되고, 복수개의 워크에 처리액을 분출하는 복수개의 노즐관(60)과, 복수개의 노즐관 각각을 복수개의 워크 각각과 평행한 수평방향을 따라 이동시키는 이동 기구를 가진다.

Description

표면처리 장치

본 발명은 워크를 간헐 반송하는 표면처리 장치 등에 관한 것이다.

도금액이 수용된 도금조 내에서 워크를 간헐 반송하고, 각 정지 위치에서 양극과 워크(음극) 사이에 전류를 공급하여 워크를 도금하는 도금 장치가 특허문헌 1에 개시되어 있다. 이 장치에서는 도금조와, 그 도금조의 상류 및/또는 하류에 배치된 다른 전(前)처리조(treatment bath) 및/또는 후(後)처리조에 워크를 간헐 반송시키는 순환식 간헐 반송 장치(스프로킷 및 체인)를 이용하여 워크를 간헐 반송하고 있다.

특히 이 도금 장치에서는 도금조 내의 각 정지 위치에서 워크에 공급된 전류량을 적산하고, 제어 장치에 의해 상기 적산값이 워크의 소요 전류량에 도달하면, 승강 장치를 구동하여 워크를 지지 반송하는 행거(hanger)를 도금조의 상방(上方)으로 이동시키며, 워크에 대한 통전을 해제하고 있다. 그로써, 예를 들면 다품종 소량의 워크에 대한 전류량을 개별적으로 조정하여 도금막 두께를 워크별로 개별적으로 조정할 수 있다.

일본 특허공보 특허제2727250호

전해 도금 장치로서 도금액을 워크를 향해 토출하는 노즐관을 도금조 내에 고정하여 배치하는 것이 알려져 있다. 특허문헌 1의 도금 장치에서는 노즐관은 사용되지 않고, 간헐 반송되는 도금조 내에 노즐관을 배치했을 때의 과제에 대해서는 인식이 없다.

더욱이 특허문헌 1의 도금 장치는 도금조 및 다른 처리층에 워크를 간헐 반송시키는 순환식 간헐 반송 장치(스프로킷 및 체인)와, 각각의 워크의 지그(jig)(행거)를 개별적으로 승강시키는 승강 기구를 이용하고 있기 때문에, 장치가 대규모가 된다. 또한, 간헐 반송에서도 연속 반송에서도, 스루풋(throughput)은 도금조의 전체 길이의 영향을 받기 때문에, 도금조의 전체 길이가 다른 각종 도금 장치의 라인업을 준비할 필요가 있다. 그 때, 순환식 간헐 반송 장치를 포함해 장치 전체를 재설계해야만 한다.

본 발명의 적어도 하나의 양태는 처리조 내에서 간헐 정지되어 처리되는 워크를 향해 처리액을 토출하는 노즐관을 병용해도, 처리되는 워크의 면내 균일성을 확보할 수 있는 간헐 반송식 표면처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 적어도 하나의 양태는 공통 구조를 가지는 처리조 유닛을 연결시켜, 처리조의 전체 길이에 걸쳐 워크에 대한 전류 제어 및 간헐 반송을 가능하게 한 간헐 반송식 표면처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

(1) 본 발명의 한 양태는,

처리액이 수용되는 처리조와,

상기 처리조 내에 배치되는 적어도 하나의 양극과,

적어도 1개의 음극 레일과,

상기 처리액에 침지되는 복수개의 워크를 각각 아래로 늘어뜨려 유지하면서, 상기 적어도 1개의 음극 레일과 접촉하여 상기 복수개의 워크를 음극으로 설정하는 복수개의 지그를, 상기 처리조 내의 복수개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여 간헐적으로 반송시키는 간헐 반송 장치와,

상기 처리조 내에, 평면에서 보았을 때 상기 복수개의 정지 위치 각각에 정지되는 워크와 상기 적어도 하나의 양극 사이에 적어도 하나 배치되고 상기 워크에 상기 처리액을 분출하는 복수개의 노즐관과,

상기 복수개의 노즐관 각각을 간헐 정지된 대응하는 워크에 대하여 주사(走査) 이동시키는 이동 기구를 가지는 표면처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 한 양태에 의하면, 간헐 정지되는 워크에 대하여, 워크의 정지 위치와 대응하여 적어도 하나 마련된 노즐관을 주사 이동시킬 수 있다. 그로써, 평면에서 보았을 때 워크와 양극 사이에 위치하는 노즐관의 그림자가 되어 양극-음극간의 전계가 방해를 받는 영역이 노즐관의 주사 이동에 따라 이동한다. 이 때문에, 노즐관에 의해 전계가 방해를 받는 영역이 고정되지 않고, 처리되는 워크의 면내 균일성이 향상된다.

(2) 본 발명의 한 양태(1)에서는 상기 이동 기구는 상기 복수개의 정지 위치에서 정지된 상기 복수개의 워크 각각의 적어도 수평 폭과 대응하는 길이 범위를 적어도 1회 순환하여 주사하도록 상기 복수개의 노즐관을 이동시킬 수 있다. 이렇게 하면, 처리되는 워크의 면내 균일성이 향상된다. 특히, 노즐관의 초기 위치로부터 적어도 1회 순환 주사시켜 초기 위치로 복귀시키는 것이 바람직하다. 노즐관의 그림자가 워크면 내에서 거의 균일화되기 때문이다.

(3) 본 발명의 한 양태 (1) 또는 (2)에서는 상기 복수개의 노즐관은 상기 복수개의 정지 위치에서 정지된 상기 복수개의 워크 각각과 대향하는 각 위치에 배치된 적어도 2개의 노즐관을 포함하고, 상기 적어도 2개의 노즐관은 수직방향에서 각각 다른 위치에 상기 처리액의 복수개의 분출구를 포함할 수 있다. 이 적어도 2개의 노즐관을 워크에 대하여 주사 이동시킴으로써, 처리액이 직접 분사되지 않는 불균일성이 적어지고, 처리되는 워크의 면내 균일성이 향상된다.

(4) 본 발명의 한 양태 (1)~(3)에서는 상기 처리조는 서로 연결되는 복수개의 분할 처리조를 포함하고, 서로 이웃하는 2개의 분할 처리조는 상기 복수개의 워크가 통과하는 개구를 통해 연통되며, 상기 하나의 양극, 상기 적어도 1개의 음극 레일, 상기 적어도 하나의 노즐관, 상기 간헐 반송 장치 및 상기 이동 기구는 상기 복수개의 분할 처리조별로 각각 배치되고, 상기 복수개의 분할 처리조 각각에 마련된 상기 적어도 하나의 양극과 상기 적어도 1개의 음극 레일은 적어도 하나의 정류기에 접속할 수 있다. 이렇게 하여, 장치 전체의 재설계를 요하지 않고, 분할 처리조의 수를 조정하여 사용자의 요망에 적합한 길이의 처리조를 가지는 간헐 반송식 표면처리 장치를 용이하게 구축할 수 있다.

(5) 본 발명의 다른 양태는,

복수개의 처리유닛이 연결되는 표면처리 장치로서,

상기 복수개의 처리유닛 각각은,

처리액이 수용되는 분할 처리조와,

상기 분할 처리조 내에 배치되는 적어도 하나의 양극과,

적어도 1개의 음극 레일과,

상기 처리액에 침지되는 복수개의 워크를 각각 유지하면서, 상기 적어도 1개의 음극 레일과 접촉하여 상기 복수개의 워크를 음극으로 설정하는 복수개의 지그를, 상기 분할 처리조 내의 복수개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여 간헐적으로 반송시키는 간헐 반송 장치와,

상기 적어도 하나의 양극과 상기 적어도 1개의 음극 레일에 접속된 적어도 하나의 정류기를 가지며,

서로 이웃하는 2개의 분할 처리조는 상기 복수개의 워크가 통과하는 개구를 통해 연통되는 표면처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 다른 양태에 의하면, 복수개의 처리유닛 각각이 각각 독립적으로 분할 처리조, 하나의 양극, 적어도 1개의 음극 레일, 간헐 반송 장치 및 적어도 하나의 정류기를 가진다. 이 때문에, 장치 전체의 재설계를 요하지 않고, 처리유닛의 수를 조정하여 사용자의 요망에 적합한 길이의 처리조를 가지는 간헐 반송식 표면처리 장치를 용이하게 구축할 수 있다.

(6) 본 발명의 다른 양태(5)에서는 상기 간헐 반송 장치는 복수개의 압동편(pushing piece)을 구비하여 진퇴 구동되는 푸셔(pusher)를 포함하고, 상기 푸셔는 전진 시에 상기 복수개의 압동편이 상기 복수개의 지그의 복수개의 피압동편을 밀어 움직여 상기 복수개의 워크를 전진시키며, 후퇴 시에 상기 복수개의 압동편과 상기 복수개의 피압동편의 계합(係合)이 해제되어 초기 위치로 복귀되어도 된다. 이렇게 하여, 푸셔에 의해 복수개의 지그는 분할 처리조 내 또는 서로 이웃하는 분할 처리조 사이에서 동시에 1단계 이동되어 간헐 반송된다.

(7) 본 발명의 다른 양태(5)에서는 상기 간헐 반송 장치는 복수개의 압동편을 구비하여 진퇴 구동 및 승강 구동되는 푸셔를 포함하고, 상기 복수개의 압동편은 상기 푸셔의 승강 동작 중 한쪽에 의해 상기 복수개의 지그에 마련된 복수개의 피압동편이 배치되는 오목부를 포함하며, 상기 푸셔의 승강 동작 중 다른 쪽에 의해 상기 복수개의 피압동편이 상기 오목부로부터 이탈되고, 상기 푸셔는 전진 시에 상기 복수개의 압동편이 상기 복수개의 피압동편을 밀어 움직여 상기 복수개의 워크를 전진시키면서, 전진 정지 시에 상기 복수개의 워크를 정지시키며, 상기 복수개의 피압동편이 상기 오목부로부터 이탈되는 후퇴 시에 초기 위치로 복귀되어도 된다. 이렇게 하여, 푸셔에 의해 복수개의 지그는 분할 처리조 내 또는 서로 이웃하는 분할 처리조 사이에서 동시에 1단계 이동되어 간헐 반송된다. 특히, 오목부와 피압동편의 계합에 의해, 복수개의 지그를 소정의 위치에 정지시킬 수 있고, 보다 고속인 간헐 이송이 가능해진다.

(8) 본 발명의 한 양태 (4) 및 다른 양태(5)~(7)에서는 상기 적어도 하나의 정류기는 상기 복수개의 정지 위치의 수와 일치하는 복수개의 정류기를 포함하고, 상기 적어도 1개의 음극 레일은 상기 복수개의 정지 위치에 각각 정지된 상기 복수개의 지그에 각각 접촉되면서, 전기적으로 절연된 복수개의 도전부를 포함하며, 상기 복수개의 도전부가 각각 상기 복수개의 정류기에 접속되어도 된다. 이렇게 하면, 복수개의 워크의 음극 측이 절연되어 각각 복수개의 정류기에 접속되므로, 복수개의 워크에 흐르는 전류를 개별적으로 제어할 수 있다.

(9) 본 발명의 다른 양태(8)에서는 상기 적어도 하나의 양극은 상기 복수개의 정지 위치의 수와 일치하는 복수개의 양극을 포함하고, 상기 복수개의 양극이 각각 상기 복수개의 정류기에 접속된다. 이와 같이, 복수개의 워크 각각에 대해 음극 및 양극이 절연되므로, 워크별로 완전 개별 급전이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 간헐 반송 방식 도금 장치에서의 도금 처리부의 개략 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 도금 장치 중 하나의 처리유닛의 개략 평면도이다.
도 3은 하나의 처리유닛 내에 정지되는 워크와 양극의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 4는 워크를 반송하는 반송 지그의 사시도이다.
도 5는 양극, 음극 레일 상의 도전부 및 정류기의 접속을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6(A), (B)는 음극 레일의 정면도 및 단면도이다.
도 7은 반송 지그의 피급전부가 셀 사이에서 음극 레일의 도전부를 이송하는 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 셀 내에서 왕복 수평주사 이동되는 노즐관을 나타내는 평면이다.
도 9는 노즐관의 분출구의 배열 피치를 나타내는 도면이다.
도 10은 처리유닛별로 배치되는 간헐 반송 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11(A), (B)는 처리유닛별로 배치되는 간헐 반송 장치의 다른 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 간헐 반송 방식에 적합한 반송 지그의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 13은 음극 레일의 청소 기능을 부가한 반송 지그의 변형예를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 알맞은 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 한편, 이하에 설명하는 본 실시형태는 청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것이 아니고, 본 실시형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다.

1. 복수개의 처리유닛

도 1은 본 실시형태에 따른 간헐 반송식 도금 장치(광의로는 표면처리 장치)의 단면도이다. 도 1에서 이 도금 장치(1)는 회로 기판 등의 워크(2)를 도금하는 도금 처리부가 복수개의 처리유닛(3-1~3-n)(n은 2 이상의 정수)을 연결하여 구성된다. 복수개의 처리유닛(3-1~3-n)은 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 복수개의 처리유닛(3-1~3-n) 각각에서는 적어도 하나, 도 1에서는 예를 들면 4개의 워크(2)가 간헐 정지될 수 있다. 도 1은 최대 사이즈의 워크(2)를 나타내고, 도금 장치(1)는 그 최대 사이즈 이하의 워크(2)를 처리할 수 있는 범용성을 가진다.

워크(2)는 후술될 간헐 반송 장치에 의해, 현재 정지 위치로부터 다음 정지 위치를 향해, A방향으로 순차 간헐 반송된다. 본 실시형태에서는, 하나의 워크(2)는 각 처리유닛 내에서 예를 들면 4군데에 정지된다. 최상류 처리유닛(3-1)의 상류 측에는 B방향으로의 하강 이동에 의해 워크(2)가 반입되는 반입유닛(4)이 연결되어도 된다. 처리유닛(3-1) 내의 워크(2)가 간헐 반송될 때에, 반입유닛(4) 내의 워크(2)도 간헐 반송되어 처리유닛(3-1)으로 이동된다. 최하류 처리유닛(3-n)의 하류 측에는 처리유닛(3-n)으로부터 수평 이동되는 워크(2)를 C방향으로 상승시켜 반출하는 반출유닛(5)이 연결되어도 된다. 처리유닛(3-n) 내의 워크(2)가 간헐 반송되기 전에 반출유닛(5) 내의 워크(2)는 상방으로 반출된다. 단, 반입유닛(4) 및/또는 반출유닛(5)은 생략해도 된다. 이 경우, 처리유닛(3-1)의 최상류 정지 위치에 워크(2)가 하강되고, 처리유닛(3-n)의 최하류 정지 위치의 워크(2)가 상승되어 반출된다.

도 2는 처리유닛(3-2~3-n)과 공통 구성을 가지는 처리유닛(3-1)의 평면도이다. 처리유닛(3-1)은 도금액(광의로는 처리액)이 수용되는 분할 처리조(6)를 가진다. 워크(2)는 분할 처리조(6) 내의 도금액에 침지된다. 분할 처리조(6)는 상방이 개구된 대략 상자체이고, 상류 측 및 하류 측의 격벽에는 각각 개구(6A, 6B)가 마련되며, 서로 이웃하는 유닛(처리유닛, 반입유닛 또는 반출유닛) 사이에서 워크(2)의 수평 이동이 허용된다.

본 실시형태에서는 처리유닛(3-1) 내의 복수개 예를 들면 4개의 정지 위치에 있는 워크(2)의 표면 및 이면 중 적어도 한쪽 측에, 적어도 하나의 양극(20)이 마련된다. 본 실시형태에서는 각 정지 위치에 있는 각 하나의 워크(2)의 표면과 대향하는 양극(20A)과, 워크(2)의 이면과 대향하는 양극(20B)이 마련된다. 양극(20(20A, 20B)) 각각은 서로 도통(導通)된 복수개의 분할 양극을 포함할 수 있다. 본 실시형태에서는 상류 측의 분할 양극(20A1(20B1))과 하류 측의 분할 양극(20A2(20B2))으로 분할되어 있다. 양극(20)은 3 이상으로 분할된 분할 양극을 포함하고 있어도 되는데, 서로 도통되기 때문에 하나의 양극으로 간주할 수 있다.

도 3은 처리유닛(3-1)에 배치되는 양극(20A1, 20A2(20B1, 20B2))과 워크(2)의 위치 관계를 나타내는 정면도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 워크(2)는 반송 지그(30)에 유지된다. 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 양극(20(20A, 20B)) 각각은 4개의 정지 위치에 있는 워크(2)와 정면으로 대향하는 위치에 배치된다. 요컨대, 도 2에 나타내는 바와 같이, 음극으로 설정되는 워크(2)와 양극(20) 사이에서 균일한 전계를 형성할 수 있으면 된다. 양극(20)의 형상은 불문하고, 도 2 및 도 3에 나타내는 양극은 윤곽이 직사각형인데, 평면에서 보았을 때의 윤곽을 원형으로 해도 된다. 양극은 불용성 양극이며 가용성 양극이어도 된다.

본 실시형태에서는 하나의 처리유닛(3-1)을 4개의 셀(11-1~11-4)로 구획하는 차폐판(23)을 가질 수 있다. 각 셀(11-1~11-4) 내에, 평면에서 보았을 때 워크(2)의 양측에 양극(20(20A1, 20A2, 20B1, 20B2))이 배치된다. 차폐판(23)은 서로 이웃하는 셀 사이에서의 전계(도 2에 화살표로 나타내는 양극-음극간의 전계)의 영향을 차단하기 위해 마련된다. 차폐판(23)에는 워크(2)가 통과하는 개구(23A)가 형성된다.

2. 반송 지그

도 4는 반송 지그(30)의 일례를 나타내고 있다. 이 반송 지그(30)는 수평 암부(300)와 수직 암부(310)와 워크 유지부(320)와 피안내부(330)와 피급전부(340)와 피압동편(350)을 가진다. 수평 암부(300)는 간헐 반송방향(A)과 직교하는 방향(B)을 따라 연장된다. 수직 암부(310)는 수평 암부(300)에 아래로 늘어뜨려져 유지된다. 워크 유지부(320)는 수직 암부(310)에 고정된다. 워크 유지부(320)는 상부 프레임(321)과, 상부 프레임(321)에 예를 들면 승강할 수 있게 지지되는 하부 프레임(322)을 포함한다. 상부 프레임(321)에는 워크(2)의 상부를 클램핑하는 복수개의 클램퍼(323)가 마련된다. 하부 프레임(322)에는 워크(2)의 하부를 클램핑하는 복수개의 클램퍼(324)가 마련된다. 워크(2)에는 하부의 클램퍼(324)에 의해 하향 텐션이 부여된다. 단, 워크(2)가 두꺼운 경우나, 워크(2)의 하부로부터 급전되지 않는 경우에는 하부 프레임(322) 및 클램퍼(324)를 생략해도 된다.

피안내부(330)는 처리유닛(3-2~3-n)을 따라 배치되고, 예를 들면 처리유닛(3-2~3-n)별로 분할된 안내 레일(도시하지 않음)에 안내되어 반송 지그(30)를 직선 안내하는 것이다. 피안내부(330)는 안내 레일의 윗면과 회전 접촉하는 롤러(331)와, 안내 레일의 양 측면과 회전 접촉하는 롤러(332)(도 4에서는 한쪽 측면에 회전 접촉하는 롤러만 도시)를 포함할 수 있다.

피급전부(340)는 도 5 및 도 6에서 설명하는 음극 레일과 접촉하여 반송 지그(30)의 수평 암부(300), 수직 암부(310), 워크 유지부(320)를 통해 워크(2)를 음극으로 설정한다. 피급전부(340)는 간헐 반송방향(A)을 따라 연장되는 지지암(341)의 상류 측과 하류 측에 지지되는 2개의 접촉자(342, 343)를 포함한다. 접촉자(342, 343)는 지지암(341)에 평행 링크기구를 통해 지지되고, 음극 레일에 압접되도록 스프링으로 압박된다. 2개의 접촉자(342, 343)는 클램퍼(323, 324)의 적어도 한쪽과 전기적으로 접속됨으로써, 워크(2)가 음극으로 설정된다.

피압동편(350)은 예를 들면 수직 암부(310)에 고정되고, 워크 유지부(320)의 바로 위의 위치에서 피압동편(350)을 수직으로 하여 배치된다. 피압동편(350)은 후술할 간헐 반송 장치에 의해 도시 C방향으로부터 밀려 움직여, 반송 지그(30)에 간헐 반송력을 전달시키는 것이다. 한편, 도 4에 나타내는 반송 지그(30)에는 연속 반송 시에 사용되는 피계합부(360)가 마련되어 있고, 반송 지그(30)는 간헐 반송에도 연속 반송에도 겸용할 수 있다.

3. 음극 레일 및 정류기

도 5에 나타내는 바와 같이 각 처리유닛(3-1~3-n)(도 5는 2개의 처리유닛만 도시)은 적어도 1개의 음극 레일(40)을 가진다. 음극 레일(40)은 반송방향(A)과 평행으로 복수개 병렬로 배치해도 된다. 이 경우, 복수개의 음극 레일(40)은 동일한 정류기에 접속되어도 되고, 다른 정류기에 접속되어 급전 부위별로 전류값을 독립적으로 제어하도록 해도 된다. 본 실시형태에서는 1개의 음극 레일(40)이 마련된다. 1개의 음극 레일(40)은 바람직하게는 처리유닛(3-1~3-n)별로 분할된 복수개의 분할 음극 레일(40-1~40-n)(도 5는 2개의 분할 음극 레일(40-1, 40-2)만을 나타냄)을 가지며, 반송방향(A)에서 연속하도록 연결된다. 분할 음극 레일(40-1~40-n) 각각은 도 5 및 도 6(A)에 나타내는 바와 같이, 절연 레일(41) 상에서 간격(비도전부)(42)을 두어, 워크(2)가 정지되는 각 셀별로 하나씩 합계 4개의 도전부(43)를 가진다. 4개의 도전부(43) 각각은 각 처리유닛(3-1~3-n) 중 4군데의 정지 위치에서 워크(2)를 유지하여 정지된 도 4에 나타내는 반송 지그(30)의 피급전부(340)(2개의 접촉자(342, 343))와 전기적으로 도통된다. 한편, 도 5에서는 각 처리유닛(3-1~3-n)에 수용되는 도금액의 액면(L)이 도시되고, 워크(2)는 도금액 중에 침지된다. 한편, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이, 음극 레일(40)의 폭방향의 양단(兩端)에는 격벽(44, 44)이 마련되고, 도전부(43) 상에 비유성(非油性)의 도전성 유체(예를 들면 물)(45)를 유지할 수 있다. 이렇게 하면, 피급전부(340)(2개의 접촉자(342, 343))와 도전부(43)의 전기적 접촉을, 도전성 유체(45)를 통해 보다 확실하게 담보할 수 있다. 단, 물의 도전성은 금속인 도전부(43)의 도전성보다도 훨씬 낮으므로, 서로 이웃하는 도전부(43, 43) 사이의 절연성은 유지된다. 또한, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이, 도전부(43)를 절연 레일(41) 상에 고정하는 볼트(46)는 피급전부(340)의 주행로를 끼운 양측에 배치할 수 있다. 이로써, 도전부(34)에 볼트의 카운터보어(counterbore)를 마련할 필요가 없어져, 저항이 되는 요인을 배제할 수 있다.

각 처리유닛(3-1~3-n)은 워크(2)가 정지되는 각 셀별로 하나씩 합계 4개의 정류기(50)(도 5에서는 하나의 정류기(50)만을 나타냄)를 가진다. 4개의 정류기(50) 중 각 하나의 양(陽)단자(51)는 각 셀에 배치된 양극(20(20A1, 20A2, 20B1, 20B2))과 접속된다. 4개의 정류기(50) 중 각 하나의 음단자(52)는 분할 음극 레일(40-1~40-n) 중 각 하나의 셀에 대응하는 도전부(43)와 접속된다.

4. 워크(2)의 정지 시의 전류 제어

각 처리유닛(3-1~3-n)의 4군데의 정지 위치(셀)에서 4개의 워크(2)에 흐르는 전류는 각 셀별로 하나씩 마련된 정류기(50) 각각에 의해 독립적으로 제어된다. 게다가 셀 사이에서는 음극끼리가 절연되고, 양극끼리도 절연되므로, 각 하나의 워크(2)별로 절연 분리시켜, 각 정류기(50)에 의해 워크(2)를 개별적으로 급전 제어할 수 있다. 또한, 셀 사이에서는 차폐판(23)에 의해 전계를 분리함으로써, 셀 사이에서의 영향을 배제하여 워크(2)별 개별 급전이 담보된다. 그로써, 워크(2)의 도금 품질을 향상시킬 수 있다.

본 실시형태의 간헐 반송 방식을 종래의 연속 반송 방식과 대비하면, 연속 반송되는 워크(음극)는 고정된 양극과의 위치 관계가 상시 변화되는 것에 반해, 본 실시형태의 정지된 워크(음극)(2)는 양극(20)과 정면으로 대향시킬 수 있다. 이와 같이, 워크(2)의 정지 중에는 음극과 양극의 위치 관계가 일정해지고, 각 워크는 동일 도금조건이 되므로, 도금 품질이 향상될 것으로 기대된다. 특히 워크(2)가 정지되어 있으면 접촉 저항의 변동은 없어지므로, 치밀한 전류 제어가 가능해진다. 또한, 연속 반송에 이용되는 긴 음극 레일 도중에는 고정 볼트용 카운터보어 등이 있으며, 음극 레일의 저항값이 장소별로 다르고 균일 저항으로 되지는 않는다. 그 때문에, 워크의 연속 반송 중의 위치에 의해 워크에 흐르는 전류가 다르지만, 간헐 반송에서는 그와 같은 문제를 해소할 수 있다. 더욱이, 본 실시형태는 연속 반송과 같이 워크의 연속 반송 속도에 의해 도금 품질이 악영향을 받는 일도 없다.

단, 상술한 바와 같은 완전 개별 급전을 반드시 실시하지 않고 워크(2)를 간헐 반송해도 된다. 즉, 각 처리유닛(3-1~3-n)의 4개의 셀(11-1~11-4)로 음극 및 양극 중 한쪽 또는 쌍방을 공통(공통 음극 및/또는 공통 양극)으로 해도 된다.

5. 워크(2)의 간헐 반송 중의 전류 제어

워크(2)가 셀 사이에서 간헐 반송되는 동안에도 정류기(50)에 의해 워크(2)에 전류가 공급된다. 여기서, 간헐 반송 중에 도 4에 나타내는 반송 지그(30)의 2개의 접촉자(342, 343) 중 적어도 한쪽은 음극 레일 상의 도전부(43)와 접촉하고 있다. 즉, 반송 상류 측의 접촉자(342)가 간격(42)의 위치에서 절연 레일(41)과 접촉해도, 반송 하류 측의 접촉자(343)는 도전부(43)와 접촉하고 있다. 마찬가지로, 반송 하류 측의 접촉자(343)가 간격(42)의 위치에서 절연 레일(41)과 접촉해도, 반송 상류 측의 접촉자(342)는 이웃 셀의 도전부(43)와 접촉하고 있다. 그들 과정에서 반송 하류 측의 접촉자(343)가 예를 들면 셀(11-1)의 도전부(43)와 접촉하고, 반송 상류 측의 접촉자(342)는 셀(11-2)의 도전부(43)와 접촉한다. 이 경우, 워크(2)는 셀(11-1) 및 셀(11-2)에 대응하는 2개의 정류기(50)로부터 전류가 공급된다. 이 셀 사이를 이동하는 과정의 상태(이송 상태)를 도 7에 모식적으로 나타낸다. 도 7에서 도 4에 나타내는 반송 지그(30)의 피급전부(340)가 모식적으로 도시되고, 피급전부(340)는 상류 측 셀의 도전부(43)와 하류 측 셀의 도전부(43)에 접촉하고 있다. 여기서, 워크(2)가 정지되어 있을 때의 정류기(50)의 출력을 유지하여 워크(2)를 간헐 반송하면, 2개의 정류기(50)와 접속되는 이송 중의 워크(2)에는 과도적으로 2배의 전류가 흐를 우려가 있다. 특히, 간헐 반송 속도가 느릴수록 과도 전류의 영향은 크다.

본 실시형태에서는 워크(2)의 간헐 반송 중에는 이하의 2개의 전류 제어 중 어느 하나를 채용하고 있다. 간헐 반송 속도가 비교적 느린 경우에는 상술한 과도 전류를 저감 또는 방지하기 위해, 워크(2)의 정지 시에서의 정류기(50)의 출력(예를 들면 100%)을 점감(예를 들면 50%까지 점감)시킨 후에 점증(100%까지 되돌림)시킨다. 간헐 반송 속도가 비교적 빠른 경우에는, 과도 전류는 흐르는 기간이 극히 짧기 때문에 무시할 수 있다. 따라서, 그 경우에는 워크(2)의 정지 시와 워크(2)의 간헐 반송 시에서 정류기(50)의 출력을 다르게 하도록 제어하지 않아도 된다. 예를 들면, 워크(200)의 반송방향의 폭을 800mm, 간헐 반송 속도를 12m/min, 도 7에 모식적으로 나타내는 피급전부(430)의 반송방향의 폭을 60mm로 가정하면, 간헐 반송 시간은 5sec가 되고, 피급전부(430)가 셀 사이에서 도전부(43)를 이송하는데에 요하는 시간(과도 전류가 흐를 수 있는 시간)은 불과 0.3sec이다.

6. 노즐관의 이동 주사

각 처리유닛(3-1~3-n)의 4개의 셀(11-1~11-4)에서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 평면에서 보았을 때 정지 위치에 있는 워크(2)의 각 면(표면 및 이면)과 양극(20) 사이에 적어도 1개의 노즐관(60)을 더 마련할 수 있다. 노즐관(60)은 워크(음극)(2)와 양극(20) 사이에 형성되는 전계를 차단하므로, 복수개의 노즐관(60)을 마련하는 경우라도 그 개수는 적은 것이 바람직하다. 노즐관(60)은 도 9에 나타내는 바와 같이 도금액을 분출하는 복수개의 분출구(60A)를 가진다. 도 9에 나타내는 노즐관(60)의 분출구(60A)는 수직방향 피치(P)는 종래의 연속 반송식에 이용되는 피치(예를 들면 7.5mm)보다도 작고, 분출구(60A)의 외경 이상이면서 5mm 이하로 할 수 있다. 단위 시간당 도금액 공급량을 많게 하기 위해서이다. 또한, 작은 사이즈의 칩이나 조밀한 패턴에 균등하게 도금액을 공급하기 위해서도, 피치(P)는 작은 쪽이 좋다. 한편, 도 9에서는 워크(2)의 표리면 측의 노즐관(60)은 워크(2)를 끼워 대향 배치되어 있지만, 비대향 위치에 마련해도 된다. 대향 배치시키면 워크(2)가 액체 압력에 의해 변형되는 것을 해소할 수 있고, 비대향 배치시키면 워크(2)의 관통공에 도금액을 공급하기 쉬워진다. 한편, 연속 반송 방식에서도 노즐관이 마련되는데, 그 개수는 한 처리유닛에 십수 개로 많다.

워크의 연속 반송 방식에서는 다수의 노즐관이 고정되어 있었는데, 간헐 반송 방식을 채용하는 본 실시형태에서는 각 처리유닛(3-1~3-n)의 4개의 셀(11-1~11-4)에서 적어도 1개의 노즐관(60)을, 예를 들면 도 8의 화살표(A1)방향 및 (A2)방향(모두 간헐 반송방향(A)과 평행한)으로 수평주사 이동시키고 있다. 그로써, 도 9에 나타내는 바와 같이, 워크(2)의 전체 면에 대하여 균일하게 도금액을 분출시킬 수 있다. 또한, 노즐관(60)의 이동 속도는 연속 반송 방식에서의 워크(2)의 이동 속도(예를 들면 0.8m/min)보다도 빠르게 할 수 있다. 이렇게 하면, 단위 시간당 도금액 공급량을 많게 할 수 있다. 한편, 연속 반송식에서 워크 속도를 빠르게 하면 처리조의 전체 길이가 길어져 장치가 대형화되는데, 본 실시형태와 같은 간헐 반송에서는 장치는 대형화되지 않는다.

노즐관(60)의 왕복 이동 기구는 도시를 생략하는데, 공지의 왕복 직선 운동시키는 기구(예를 들면 가역 모터로 구동되는 피니언-랙 기구, 피스톤-크랭크 기구 등)를 채용할 수 있다. 이 왕복 이동 기구는 각 셀에서 정지되어 있는 워크(2)의 적어도 수평 폭과 대응하는 길이 범위를 적어도 1회 순환하여 주사하도록, 2개의 노즐관(60)을 이동시킬 수 있다. 이렇게 하면, 처리되는 워크(2)의 면내 균일성이 향상된다. 특히, 노즐관(60)의 초기 위치로부터 적어도 1회 순환 주사시켜 초기 위치로 복귀시키는 것이 바람직하다. 노즐관(60)의 그림자가 워크 면내에서 거의 균일화되기 때문이다. 한편, 노즐관(60)은 장치의 가동 중에 걸쳐 왕복 주사 이동을 연속시켜도 되고, 워크(2)의 간헐 반송 중은 왕복 주사 이동을 정지해도 된다.

본 실시형태에 의하면, 간헐 정지되는 워크(2)에 대하여, 워크(2)의 정지 위치와 대응하여 적어도 하나 예를 들면 2개의 노즐관(60)을 워크(2)에 대하여 주사 이동시킬 수 있다. 그로써, 평면에서 보았을 때 워크(2)와 양극(20) 사이에 위치하는 노즐관(60)의 그림자가 되어 양극-음극간의 전계가 방해를 받는 영역이 노즐관(60)의 이동에 따라 이동한다. 이 때문에, 노즐관(60)에 의해 전계가 방해를 받는 영역이 고정되지 않고, 처리되는 워크(2)의 면내 균일성이 향상된다. 한편, 노즐관(60)의 주사 이동방향은 수평방향에 한정되지 않는다. 예를 들면 노즐관(60)을 수평으로 배치하여 수직방향으로 주사 이동해도 되고, 주사 이동방향은 수평, 수직 등의 어느 방향이어도 된다.

노즐관(60)은 공지의 구조에 의해 분할 처리조 내의 분출구(60A) 부근의 도금액을 빨아들여 분출시킬 수 있다. 따라서, 양극(20) 부근의 금속이온이 풍부한 도금액을 워크(2)를 향해 분출할 수 있고, 스루풋(throughput)이 향상된다.

한편, 노즐관(60)의 주사 이동은 간헐 반송 방식 표면처리 장치에 널리 적용할 수 있고, 반드시 상술한 실시형태와 같은 구조, 즉 복수개의 처리유닛의 연결 구조, 음극분할 구조, 양극분할 구조나, 후술할 푸셔(pusher)에 의한 간헐 반송 기구를 구비한 구조 등에 한정되는 것은 아니다.

7. 처리유닛별 간헐 반송 장치

본 실시형태에서는 각 처리유닛(3-1~3-n)별로 간헐 반송 장치를 마련하는 것이 바람직하다. 처리유닛의 수 n을 변경해도 간헐 반송 장치를 재설계할 필요가 없기 때문이다. 그 편의를 요구하지 않으면, 특허문헌 1과 같이 순환식 간헐 반송 장치를 이용해도 되고, 각 처리유닛(3-1~3-n)에 공용되는 하나의 간헐 반송 장치를 이용해도 된다. 한편, 이하에 설명하는 간헐 반송 장치는 반드시 복수개의 처리유닛을 연결하여 도금조를 형성하는 것에 한정되지 않는다.

각 처리유닛(3-1~3-n)별로 마련되는 간헐 반송 장치로서, 도 10 또는 도 11에 나타내는 것을 채용할 수 있다. 도 10에 나타내는 간헐 반송 장치는 간헐 반송방향(A)과 평행한 정과 역방향(A1, A2)을 향해, 예를 들면 에어 실린더 등으로 진퇴 구동되는 푸셔(70)로 구성된다. 푸셔(70)는 4군데에 압동편(71)을 가진다. 4개의 압동편(71)은 4개의 반송 지그(30)의 피압동편(350)(도 4 참조)을 밀어 움직일 수 있다. 4개의 압동편(71)은 도 10에서 시계방향(D)으로 회전하도록 압박되어 있다.

푸셔(70)는 방향(A1)을 향한 전진 시에 4개의 압동편(71)이 4개의 반송 지그(30)의 피압동편(350)을 밀어 움직여 4개의 워크(2)를 간헐 반송시킨다. 푸셔(70)는 방향(A2)을 향한 후퇴 시에 압동편(71)이 피압동편(350)과 접촉하면, 압동편(71)이 화살표(D)방향에 대한 압박력에 저항하여 화살표(D)와는 역방향으로 회전함으로써, 피압동편(350)에 방해받지 않고 초기 위치로 복귀된다. 이렇게 하여, 각 처리유닛(3-1~3-n) 내에 있던 4개의 워크(2)는 푸셔(70)에 의해 동시에 1단계 이동되어 간헐 반송된다. 그로써, 처리유닛 내의 최상류 위치 이외의 3개의 워크(2)는 동일 처리유닛 내에서 1단계 이동되고, 동일하거나 전단(前段)의 처리유닛 내의 최상류 위치에 있던 워크(2)는 그 후단(後段)의 처리유닛 내의 최하류 위치로 이동된다. 이렇게 하여, 4개의 반송 지그(30)에 유지된 4개의 워크(2)는 처리유닛 내의 4개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여, 간헐적으로 반송된다.

도 10에 나타내는 간헐 반송 장치는 반송 지그(30)를 밀어 움직일뿐이기 때문에, 반송 지그(30)의 정지 위치를 제어할 수는 없다. 이 간헐 반송 장치는 간헐 반송 속도가 비교적 느려, 푸셔(70)에 의한 밀어 움직임 정지 후도 반송 지그(30)가 계속 전진하는 관성력을 발생시키지 않는 경우에 사용할 수 있다. 혹은, 이 간헐 반송 장치는 반송 지그(30)의 안내 롤러(331, 332)의 적어도 하나에 본원 출원인에 의한 국제특허출원 PCT/JP2018/020119에 기재된 브레이크 기구를 마련한 경우에도 채용할 수 있다.

도 11(A), (B)에 나타내는 간헐 반송 장치는 4개의 압동편(73)을 구비하여 진퇴 구동(A1, A2방향의 구동) 및 승강 구동(화살표(E)방향의 구동)되는 푸셔(72)를 포함한다. 4개의 압동편(73)은 반송 지그(30)의 피압동편(350)이 꼭 끼이는 예를 들면 상향 개구의 오목부(73A)를 포함한다. 도 11(A)에 나타내는 바와 같이, 푸셔(72)가 상승되면 4개의 오목부(73A)에 반송 지그(30)의 피압동편(350)이 꼭 끼인다. 그 후, 도 11(B)에 나타내는 바와 같이, 푸셔(72)를 A1방향으로 전진시키면, 4개의 반송 지그(30)는 동시에 1단계분만큼 간헐 반송된다. 또한, 푸셔(72)의 전진이 종료되면, 오목부(73A)에 의해 피압동편(350)의 정지 위치가 일의적으로 정해진다. 그 후, 푸셔(72)은 하강되고, 더욱이 후퇴되어 초기 위치로 복귀된다. 특히, 오목부(73A)와 피압동편(350)의 계합에 의해, 복수개의 반송 지그(30)를 소정의 위치에 정지시킬 수 있고, 보다 고속인 간헐 이송이 가능해진다.

한편, 상기와 같이 본 실시형태에 대해 상세하게 설명했는데, 본 발명의 신규사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능한 것은 당업자에게는 용이하게 이해될 것이다. 따라서, 이와 같은 변형예는 모두 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면, 명세서 또는 도면에서, 적어도 한번, 보다 광의 또는 동의인 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 치환할 수 있다. 또한 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

도 12는 도 8에 나타내는 반송 지그(30) 중 워크 유지부(320)를 워크 유지부(320A)로 변경한 변형예를 나타내고, 도 12에서는 워크(2)를 둘러싸는 해칭으로 나타내는 사각 프레임 영역에 더미 피처리부(80)를 마련하고 있다. 더미 피처리부(80)는 워크(2)와 함께 표면처리(도금)되는 영역이다. 더미 피처리부(80)는 도 12에 나타내는 급전부(81)와 접속된다. 이 급전부(81)는 도 4에 나타내는 피급전부(340)와 전기적으로 접속됨으로써, 더미 피처리부(80)는 워크(2)와 동일하게 하여 음극으로 설정된다.

워크(2)의 주변 가장자리는 더미 피처리부(80)의 내측에 위치하기 때문에, 워크(2)의 주변 가장자리는 에지가 되지 않는다. 따라서, 워크(2)의 주변 가장자리에 전계가 집중되지 않으므로, 이른바 도그본(dog bone)이라고 일컬어지는 두꺼운 막부는 생기지 않는다. 더미 피처리부(80)의 전기 저항을 워크(2) 면 내의 전기 저항과 실질적으로 동일해지도록 하면, 워크(2)의 면내 균일성이 향상된다. 한편, 도금 장치(1)는 도금 처리부의 후공정에 박리조를 가지며, 도금 후에 반송 지그(30)는 박리조에 투입되어 도금이 박리된다. 그 때에 더미 피처리부(80)에 형성된 도금도 박리되므로, 반송 지그(30)를 반복 재사용할 수 있게 된다.

도 13은 도 8에 나타내는 반송 지그(30) 중 피급전부(340)에 음극 레일(40)의 청소 기능을 부가한 변형예인 반송 지그(30A)를 나타낸다. 도 13에서는 지지암(341)이 접촉자(342, 343)에 추가로, 음극 레일(40)과 접촉하여 음극 레일(40)을 청소하는 적어도 하나의 레일 청소부(344)를 지지하고 있다. 도 13에 나타내는 레일 청소부(344)는 음극 레일(40)의 도전부(43)를 연마하여 퇴적층(예를 들면 도전부 상의 산화 피막 등)을 깎아내는 연마재 예를 들면 스크레이퍼(344A)와, 연마분이나 먼지를 쓸어내는 브러쉬(344B) 중 적어도 한쪽 또는 쌍방을 포함하고 있다. 브러쉬(344B)는 스크레이퍼(344A)의 하류 측에 마련할 수 있다. 청소부(344(344A, 344B))는 접촉자(342, 344)와 동일한 구조에 의해 음극 레일(40)에 압접된다.

도 13에 나타내는 청소부(344)를 가지는 반송 지그(30A)를, 도금 장치(1)에서 순환 사용되는 다수의 반송 지그 중 적어도 하나로서 이용함으로써, 도금 장치(1)를 가동시키면서 음극 레일(40)을 청소하고, 통전 불량을 방지할 수 있다. 그로써, 음극 레일(40)의 도전부(43)의 전기 저항값이 높아지는 등의 문제를 억제하고, 종래 주 1회의 빈도로 실시되고 있던 메인터넌스 빈도를 적게 할 수 있다.

한편, 도 13에 나타내는 반송 지그(39A)는 상술한 간헐 반송식 표면처리 장치에 한정되지 않고, 도전부(34)가 연속하여 마련되는 음극 레일을 가지는 연속 반송식 표면처리 장치에서도 사용할 수 있다.

1: 표면처리 장치
2: 워크
3-1~3-n: 처리조(분할 처리조)
20(20A1, 20A2, 20B1, 20B2): 양극
30, 30A: 반송 지그
40, 40-1, 40-2: 음극 레일(분할 음극 레일)
41: 절연 레일
42: 간격(비도전부)
43: 도전부
50: 정류기
51: 양단자
52: 음단자
60: 노즐관
60A: 분출구
70, 72: 푸셔(간헐 반송 장치)
71, 73: 압동편
73A: 오목부

Claims (9)

1. 처리액이 수용되는 처리조(treatment bath)와,
   상기 처리조 내에 배치되는 적어도 하나의 양극과,
   적어도 1개의 음극 레일과,
   상기 처리액에 침지되는 복수개의 워크를 각각 아래로 늘어뜨려 유지하면서, 상기 적어도 1개의 음극 레일과 접촉하여 상기 복수개의 워크를 음극으로 설정하는 복수개의 지그(jig)를, 상기 처리조 내의 복수개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여 간헐적으로 반송시키는 간헐 반송 장치와,
   상기 처리조 내에, 평면에서 보았을 때 상기 복수개의 정지 위치 각각에 정지되는 워크와 상기 적어도 하나의 양극 사이에 적어도 하나 배치되고 상기 복수개의 워크에 상기 처리액을 분출하는 복수개의 노즐관과,
   상기 복수개의 노즐관 각각을 간헐 정지된 대응하는 워크에 대하여 주사(走査) 이동시키는 이동 기구를 가지는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 이동 기구는 상기 복수개의 정지 위치에서 정지된 상기 복수개의 워크 각각의 적어도 수평 폭과 대응하는 길이 범위를 적어도 1회 순환하여 주사하도록 상기 복수개의 노즐관을 이동시키는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 복수개의 노즐관은 상기 복수개의 정지 위치에서 정지된 상기 복수개의 워크 각각과 대향하는 각 위치에 배치된 적어도 2개의 노즐관을 포함하고,
   상기 적어도 2개의 노즐관은 수직방향에서 각각 다른 위치에 상기 처리액의 복수개의 분출구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 처리조는 서로 연결되는 복수개의 분할 처리조를 포함하고, 서로 이웃하는 2개의 분할 처리조는 상기 복수개의 워크가 통과하는 개구를 통해 연통되며,
   상기 하나의 양극, 상기 적어도 1개의 음극 레일, 상기 적어도 하나의 노즐관, 상기 간헐 반송 장치 및 상기 이동 기구는 상기 복수개의 분할 처리조별로 각각 배치되고,
   상기 복수개의 분할 처리조 각각에 마련된 상기 적어도 하나의 양극과 상기 적어도 1개의 음극 레일은 적어도 하나의 정류기에 접속되는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
   하는 것을 특징으로 하는 표면처리 장치.
5. 복수개의 처리유닛이 연결되는 표면처리 장치로서,
   상기 복수개의 처리유닛 각각은,
   처리액이 수용되는 분할 처리조와,
   상기 분할 처리조 내에 배치되는 적어도 하나의 양극과,
   적어도 1개의 음극 레일과,
   상기 처리액에 침지되는 복수개의 워크를 각각 유지하면서, 상기 적어도 1개의 음극 레일과 접촉하여 상기 복수개의 워크를 음극으로 설정하는 복수개의 지그를, 상기 분할 처리조 내의 복수개의 정지 위치를 시점 및/또는 종점으로 하여 간헐적으로 반송시키는 간헐 반송 장치와,
   상기 적어도 하나의 양극과 상기 적어도 1개의 음극 레일에 접속된 적어도 하나의 정류기를 가지며,
   서로 이웃하는 2개의 분할 처리조는 상기 복수개의 워크가 통과하는 개구를 통해 연통되는 것을 특징으로 하는 표면처리 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 간헐 반송 장치는 복수개의 압동편(pushing piece)을 구비하여 진퇴 구동되는 푸셔(pusher)를 포함하고,
   상기 푸셔는 전진 시에 상기 복수개의 압동편이 상기 복수개의 지그의 복수개의 피압동편을 밀어 움직여 상기 복수개의 워크를 전진시키며, 후퇴 시에 상기 복수개의 압동편과 상기 복수개의 피압동편의 계합(係合)이 해제되어 초기 위치로 복귀되는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 간헐 반송 장치는 복수개의 압동편을 구비하여 진퇴 구동 및 승강 구동되는 푸셔를 포함하고,
   상기 복수개의 압동편은 상기 푸셔의 승강 동작 중 한쪽에 의해 상기 복수개의 지그에 마련된 복수개의 피압동편이 배치되는 오목부를 포함하며, 상기 푸셔의 승강 동작 중 다른 쪽에 의해 상기 복수개의 피압동편이 상기 오목부로부터 이탈되고,
   상기 푸셔는 전진 시에 상기 복수개의 압동편이 상기 복수개의 피압동편을 밀어 움직여 상기 복수개의 워크를 전진시키면서, 전진 정지 시에 상기 복수개의 워크를 정지시키며, 상기 복수개의 피압동편이 상기 오목부로부터 이탈되는 후퇴 시에 초기 위치로 복귀되는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
8. 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 정류기는 상기 복수개의 정지 위치의 수와 일치하는 복수개의 정류기를 포함하고,
   상기 적어도 1개의 음극 레일은 상기 복수개의 정지 위치에 각각 정지된 상기 복수개의 지그에 각각 접촉되면서, 전기적으로 절연된 복수개의 도전부를 포함하며, 상기 복수개의 도전부가 각각 상기 복수개의 정류기에 접속되는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 양극은 상기 복수개의 정지 위치의 수와 일치하는 복수개의 양극을 포함하고, 상기 복수개의 양극이 각각 상기 복수개의 정류기에 접속되는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
   

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