KR20200067991A - Fluid flow control device - Google Patents

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팅-유 우
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Abstract

A fluid flow control device includes a transfer pipe (1), a flow control unit (2) and a fluid discharge control unit (3). The transfer pipe (1) includes first and second pipe sections (11, 12). The flow control unit (2) can be operated to be switched between a penetration state in which the flow of fluids from the first pipe section (11) to the second pipe section (12) is allowed and a non-penetration state in which the flow of the fluids from the first pipe section (11) to the second pipe section (12) is suspended. The fluids in the second pipe section (12) flow towards the flow control unit (2) due to a suction force generated by a pressure difference. The fluid discharge control unit (3) is placed in the downstream of the second pipe section (12) of the transfer pipe (1), and is regulated to control the flow of the fluids to the outside of the second pipe section (12). According to the fluid flow control device, the fluids can be effectively prevented from falling to the outside of a discharge flow path.

Description

유체 유동 제어 장치{FLUID FLOW CONTROL DEVICE}FLUID FLOW CONTROL DEVICE

본 발명은 유동 제어 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 제어되는 방식으로 유체를 제공하기 위한 유체 유동 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control device, and more particularly, to a fluid flow control device for providing fluid in a controlled manner.

일반적으로, 기판이 반도체 습식 프로세스에서 식각되거나 세척될 때, 파이프 내의 처리 액체가 상기 기판의 표면을 처리하기 위해 상기 파이프의 배출 단부로 수송될 필요가 있다. 그러나, 상기 처리 액체가 상기 배출 단부를 통해 상기 기판으로 공급되는 것이 중단될 필요가 있을 때, 액체 적하 현상이 상기 처리 액체의 중량으로 인하거나 상기 처리 액체 내의 상대적으로 많은 양의 기포의 존재로 인하여 상기 파이프의 배출 단부에서 쉽게 일어날 수 있다. 상기 기판 상으로 떨어지는 상기 처리 액체는 상기 기판의 품질에 악영향을 미칠 수 있다.Generally, when a substrate is etched or cleaned in a semiconductor wet process, processing liquid in the pipe needs to be transported to the discharge end of the pipe to treat the surface of the substrate. However, when the processing liquid needs to be stopped from being supplied to the substrate through the discharge end, the liquid dropping phenomenon is due to the weight of the processing liquid or due to the presence of a relatively large amount of air bubbles in the processing liquid. It can easily occur at the discharge end of the pipe. The processing liquid falling onto the substrate may adversely affect the quality of the substrate.

이에 따라, 본 발명의 목적은 종래 기술의 단점을 해결할 수 있는 유체 유동 제어 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a fluid flow control device capable of solving the disadvantages of the prior art.

본 발명에 따르면, 상기 유체 유동 제어 장치는 수송 파이프, 유동 제어 유닛 및 유체 배출 제어 유닛을 포함한다.According to the invention, the fluid flow control device comprises a transport pipe, a flow control unit and a fluid discharge control unit.

상기 수송 파이프는 내부의 유체의 흐름을 위해 조절되며, 제1 파이프 섹션 및 제2 파이프 섹션을 포함한다. 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제1 파이프 섹션 및 제2 파이프 섹션 사이에 연결되고, 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 파이프 섹션 내로의 상기 유체의 유동이 허용되는 통과 상태 및 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 파이프 섹션 내로의 상기 유체의 유동이 중단되는 비통과 상태 사이에서 전환되게 동작할 수 있다. 상기 유체 배출 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션의 다운스트림에 배치되고, 상기 제2 파이프 섹션의 외부로의 상기 유체의 흐름을 제어하기 위해 조절된다.The transport pipe is adjusted for the flow of fluid therein, and includes a first pipe section and a second pipe section. The flow control unit is connected between the first pipe section and the second pipe section of the transport pipe, and the first pipe and the passage state permitting the flow of the fluid from the first pipe section into the second pipe section. It can operate to switch between a non-passing state in which the flow of the fluid from a section into the second pipe section is stopped. The fluid discharge control unit is disposed downstream of the second pipe section of the transport pipe, and is adjusted to control the flow of the fluid out of the second pipe section.

상기 유동 제어 유닛이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 때, 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체는 상기 제2 파이프 섹션 내의 유체 압력 및 주위 압력 사이의 차이에 의해 생성되는 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛을 향해 흐른다. 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체의 압력의 급격한 변화를 방지하기 위해 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환되게 동작할 수 있다.When the flow control unit is switched from the passing state to the non-passing state, the fluid in the second pipe section of the transport pipe is the suction force generated by the difference between the fluid pressure in the second pipe section and the ambient pressure. Due to the flow control unit. The flow control unit is operable to switch from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay to prevent a sudden change in the pressure of the fluid in the second pipe section of the transport pipe.

본 발명에 따르면, 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 수 있는 상기 유동 제어 유닛의 구성에 의하여, 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 유체가 상기 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛을 향해 흐르도록 인출될 수 있으며, 상기 유체 배출 제어 유닛의 설계에 의하여, 상기 유체가 상기 배출 유로의 외부로 떨어지는 것이 효과적으로 방지된다. 이에 따라, 유체 적하 및 상기 기판의 품질에 영향을 미치는 것과 관련된 종래 기술의 문제점이 본 발명의 유체 유동 제어 장치를 사용함에 의해 해소된다.According to the present invention, by the configuration of the flow control unit capable of switching from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay, the fluid in the second pipe section of the transport pipe controls the flow due to the suction force It can be drawn to flow toward the unit, and by the design of the fluid discharge control unit, the fluid is effectively prevented from falling out of the discharge passage. Accordingly, the problems of the prior art related to dropping fluid and affecting the quality of the substrate are solved by using the fluid flow control device of the present invention.

본 발명의 다른 특징들과 이점들은 첨부된 도면들을 참조하여 다음의 실시예들의 상세한 설명에서 명확해질 것이며, 첨부된 도면들에 있어서,
도 1은 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치의 제1, 제2 및 제4 실시예들을 예시하는 개략적인 도면이고,
도 2는 제1 위치에서의 제1 실시예의 유체 배출 제어 유닛의 이동형 부재를 예시하는 개략적인 부분 단면도이며,
도 3은 도 2와 유사하지만, 제2 위치에서의 제1 실시예의 이동형 부재를 예시하는 개략적인 부분 단면도이고,
도 4는 제1 실시예의 동작을 예시하는 흐름도이며,
도 5는 제1 위치에서의 유체 배출 제어 유닛의 이동형 부재를 예시하는 제2 실시예의 개략적인 부분 단면도이고,
도 6은 도 5와 유사하지만, 제2 위치에서의 제2 실시예의 이동형 부재를 예시하는 개략적인 부분 단면도이며,
도 7은 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치의 제3 실시예를 예시하는 보다 상세한 개략적인 도면이고,
도 8은 제1 위치에서의 유체 배출 제어 유닛의 이동형 부재를 예시하는 제3 실시예의 개략적인 단면도이며,
도 9는 도 8과 유사하지만, 제2 위치에서의 제3 실시예의 이동형 부재를 예시하는 개략적인 단면도이고,
도 10은 제1 위치에서의 유체 배출 제어 유닛의 이동형 부재를 예시하는 제4 실시예의 개략적인 부분 단면도이며,
도 11은 도 10과 유사하지만, 제2 위치에서의 제4 실시예의 이동형 부재를 예시하는 개략적인 부분 단면도이다.Other features and advantages of the present invention will become apparent in the detailed description of the following embodiments with reference to the accompanying drawings, in the accompanying drawings,
1 is a schematic diagram illustrating first, second and fourth embodiments of a fluid flow control device according to the present invention,
2 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a movable member of the fluid discharge control unit of the first embodiment in the first position,
3 is a schematic partial sectional view similar to FIG. 2 but illustrating the movable member of the first embodiment in the second position,
4 is a flowchart illustrating the operation of the first embodiment,
5 is a schematic partial cross-sectional view of a second embodiment illustrating a movable member of a fluid discharge control unit in a first position,
Fig. 6 is a schematic partial sectional view similar to Fig. 5, but illustrating the movable member of the second embodiment in the second position,
7 is a more detailed schematic diagram illustrating a third embodiment of a fluid flow control device according to the present invention,
8 is a schematic cross-sectional view of a third embodiment illustrating a movable member of a fluid discharge control unit in a first position,
9 is a schematic sectional view similar to FIG. 8 but illustrating the movable member of the third embodiment in the second position,
10 is a schematic partial cross-sectional view of a fourth embodiment illustrating a movable member of a fluid discharge control unit in a first position,
11 is a schematic partial cross-sectional view similar to FIG. 10 but illustrating the movable member of the fourth embodiment in the second position.

본 발명을 보다 상세하게 설명하기 전에, 참조 부호들이나 참조 부호들의 종결 부분들이 선택적으로 유사한 특성들을 가질 수 있는 대응되거나 유사한 요소들을 나타내도록 도면들에서 적절하게 고려되어 반복적으로 사용되는 점이 이해되어야 할 것이다. Before describing the present invention in more detail, it should be understood that reference numerals or terminating portions of reference numerals are appropriately considered and repeatedly used in the drawings to represent corresponding or similar elements that may optionally have similar characteristics. .

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치(fluid flow control device)(10)의 제1 실시예는 수송 파이프(delivery pipe)(1), 유동 제어 유닛(2), 유체 배출 제어 유닛(fluid output control unit)(3), 니들 밸브(4) 및 리턴 파이프(return pipe)(5)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a first embodiment of a fluid flow control device 10 according to the present invention includes a delivery pipe 1, a flow control unit 2, and a fluid discharge control unit (fluid output control unit) 3, a needle valve 4 and a return pipe (return pipe) (5).

상기 수송 파이프(1)는 내부의 유체(도시되지 않음)의 흐름을 위해 조정되며, 제1 파이프 섹션(pipe section)(11) 및 제2 파이프 섹션(12)을 포함한다. 제1 실시예에 있어서, 상기 제1 파이프 섹션(11)은 내부에 상기 유체를 수용하는 유체 공급(fluid supply)(20)에 연결된다. 상기 니들 밸브(4)는 상기 유체 공급(20)으로부터 공급되는 상기 유체의 유량을 제어하기 위해 상기 수송 파이프(1)의 제1 파이프 섹션(11) 상에 배치된다. 제1 실시예에서 사용되는 유체는 물, 고점도의 처리 용액, 기포를 함유하는 과산화수소 용액 또는 다른 화학 용액으로 예시될 수 있다.The transport pipe 1 is adjusted for the flow of fluid (not shown) therein, and includes a first pipe section 11 and a second pipe section 12. In the first embodiment, the first pipe section 11 is connected to a fluid supply 20 for receiving the fluid therein. The needle valve 4 is arranged on the first pipe section 11 of the transport pipe 1 to control the flow rate of the fluid supplied from the fluid supply 20. The fluid used in the first embodiment can be exemplified by water, a high-viscosity treatment solution, a hydrogen peroxide solution containing bubbles, or another chemical solution.

상기 유동 제어 유닛(2)은 상기 수송 파이프(1)의 제1 및 제2 파이프 섹션들(11, 12) 사이에 연결되며, 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 제2 파이프 섹션(12) 내로의 상기 유체의 유동이 허용되는 통과 상태(passage state) 및 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 제2 파이프 섹션(12) 내로의 상기 유체의 유동이 중단되는 비통과 상태(non-passage state) 사이에서 전환되도록 동작할 수 있다.The flow control unit 2 is connected between the first and second pipe sections 11, 12 of the transport pipe 1, from the first pipe section 11 to the second pipe section 12 A passage state in which the flow of the fluid into the interior is permitted and a non-passage state in which the flow of the fluid from the first pipe section 11 into the second pipe section 12 is stopped. ).

상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 때, 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체는 상기 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체 압력 및 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 위치에서의 압력인 주위 압력 사이의 차이에 의해 생성되는 흡입력으로 인하여 상기 유동 제어 유닛(2)을 향해 흐른다. 상기 유체 유동 제어 장치(10)가 폐쇄 시스템에 적용되지 않을 경우, 상기 주위 압력은 대기 압력이 된다. 상기 유동 제어 유닛(2)은 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체의 압력의 급격한 변화를 방지하기 위해 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환되도록 동작할 수 있다. 이러한 방식으로, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 비통과 상태로 전환된 후에 상기 유체가 외부로 떨어지는 것이 방지된다. 상기 소정의 시간 지연은, 예를 들면, 이에 한정되는 것은 아니지만 2초이다.When the flow control unit 2 is switched from the passing state to the non-passing state, the fluid in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 is the fluid pressure in the second pipe section 12 and It flows toward the flow control unit 2 due to the suction force generated by the difference between the ambient pressure which is the pressure at the position of the fluid discharge control unit 3. When the fluid flow control device 10 is not applied to a closed system, the ambient pressure becomes atmospheric pressure. The flow control unit 2 is operated to switch from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay to prevent a sudden change in the pressure of the fluid in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 can do. In this way, the fluid is prevented from falling out after the flow control unit 2 is switched to the non-passing state. The predetermined time delay is, for example, but not limited to 2 seconds.

보다 상세하게는, 상기 유동 제어 유닛(2)은 상기 수송 파이프(1)의 제1 및 제2 파이프 섹션들(11, 12) 사이에 연결되는 제1 이방향 밸브(two-way valve)(21), 상기 수송 파이프(1)의 제1 파이프 섹션(11) 및 상기 리턴 파이프(5) 사이에 연결되는 제2 이방향 밸브(22), 트리거 모듈(trigger module)(23), 상기 트리거 모듈(23)을 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22)에 연결하는 연결 파이프 유닛(24), 그리고 상기 트리거 모듈(23) 및 상기 제1 이방향 밸브(21) 사이에서 상기 연결 파이프 유닛(24) 상에 배치되는 제어 밸브 유닛(25)을 포함한다.More specifically, the flow control unit 2 is a first two-way valve 21 connected between first and second pipe sections 11 and 12 of the transport pipe 1 ), a second two-way valve 22 connected between the first pipe section 11 of the transport pipe 1 and the return pipe 5, a trigger module 23, and the trigger module ( 23) a connecting pipe unit 24 connecting the first and second two-way valves 21 and 22, and the connecting pipe between the trigger module 23 and the first two-way valve 21 And a control valve unit 25 disposed on the unit 24.

상기 제1 이방향 밸브(21)는 상기 통과 상태 및 상기 비통과 상태 사이에서 상기 유동 제어 유닛(2)의 전환이 허용되도록 그 밸브 개방 정도를 제어하게 동작할 수 있다. 상기 트리거 모듈(23)은 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 제2 파이프 섹션(12)으로 흐르게 되기 위하여 상기 제1 이방향 밸브(21)가 열리고, 상기 제2 이방향 밸브(22)가 닫히는 상기 통과 상태 및 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 리턴 파이프(5) 내로 흐르게 되기 위하여 상기 제1 이방향 밸브(21)가 닫히고 상기 제2 이방향 밸브(22)가 열리는 상기 비통과 상태 사이에서 상기 유동 제어 유닛(2)을 전환시키기 위해 트리거 소스(trigger source)를 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22)에 제공하도록 동작할 수 있다. 상기 제어 밸브 유닛(25)은 상기 시간 지연의 지속의 조절을 위해 상기 트리거 소스의 유량을 제어하도록 동작할 수 있다.The first two-way valve 21 may be operated to control the degree of opening of the valve so that switching of the flow control unit 2 is allowed between the passage state and the non-pass state. In the trigger module 23, the first two-way valve 21 is opened so that the fluid flows from the first pipe section 11 to the second pipe section 12, and the second two-way valve ( 22) the first two-way valve 21 is closed and the second two-way valve 22 so that the passage state and the fluid flowing from the first pipe section 11 into the return pipe 5 are closed. Is operable to provide a trigger source to the first and second two-way valves 21 and 22 to switch the flow control unit 2 between the open and non-passing states. The control valve unit 25 may be operative to control the flow rate of the trigger source to control the duration of the time delay.

제1 실시예에 있어서, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태에 있을 때, 상기 유체는 상기 유체 공급(20)으로부터 상기 제1 파이프 섹션(11) 내로 흐르고, 이후에 상기 제1 이방향 밸브(21)를 통해 상기 제2 파이프 섹션(12) 내로 흐른다. 제1 실시예에 있어서, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 비통과 상태에 있을 때, 상기 유체는 상기 유체 공급(20)으로부터 상기 제1 파이프 섹션(11) 내로 흐르고, 상기 제2 이방향 밸브(22)를 통해 상기 리턴 파이프(5) 내로 흐르며, 이후에 상기 유체 공급(20)으로 돌아간다. 제1 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간 지연은 0.1초부터 5초까지의 범위이며, 상기 소정의 시간 지연의 지속은 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 직경, 상기 유체의 유량 및/또는 상기 유체의 특성들을 기초로 하여 결정될 수 있다.In the first embodiment, when the flow control unit 2 is in the passing state, the fluid flows from the fluid supply 20 into the first pipe section 11, after which the first two-way It flows into the second pipe section 12 through a valve 21. In the first embodiment, when the flow control unit 2 is in the non-passing state, the fluid flows from the fluid supply 20 into the first pipe section 11, and the second two-way valve It flows into the return pipe 5 through 22 and then returns to the fluid supply 20. In the first embodiment, the predetermined time delay ranges from 0.1 seconds to 5 seconds, and the duration of the predetermined time delay is the diameter of the second pipe section 12 of the transport pipe 1, the fluid And/or the properties of the fluid.

제1 실시예에 있어서, 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 직경은 0.25인치 내지 0.375인치인 것으로 예시되며, 상기 시간 지연은, 이에 한정되는 것은 아니지만, 2초인 것으로 예시된다. 상기 실시예의 다른 변형예에서, 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 직경은, 이에 한정되는 것은 아니지만, 0.125인치 내지 0.25인치, 또는 0.375인치 내지 1인치가 될 수 있다. 대체로, 상기 제2 파이프 섹션(12)의 직경이 커질수록, 상기 소정의 시간 지연이 길어지고, 상기 제2 파이프 섹션(12)의 직경이 작아질수록, 상기 소정의 시간 지연이 짧아지지만, 상기 소정의 시간 지연은 상기 유체의 점도, 주위 온도 등과 같은 인자들에 따라 조절될 수 있으며, 다른 실제적인 필요에 따라 조절될 수 있다. 선택적으로는, 상기 제2 이방향 밸브(22) 및 상기 리턴 파이프(5)가 생략될 수 있으며, 상기 유체는 상기 유체 공급(20)으로 다시 재순환되지 않는다. In the first embodiment, the diameter of the second pipe section 12 of the transport pipe 1 is exemplified to be 0.25 inches to 0.375 inches, and the time delay is not limited thereto, but is illustrated to be 2 seconds. . In another variation of the above embodiment, the diameter of the second pipe section 12 of the transport pipe 1 may be, but is not limited to, 0.125 inches to 0.25 inches, or 0.375 inches to 1 inches. In general, the larger the diameter of the second pipe section 12, the longer the predetermined time delay, and the smaller the diameter of the second pipe section 12, the shorter the predetermined time delay, but the The predetermined time delay can be adjusted according to factors such as the viscosity of the fluid, ambient temperature, etc., and can be adjusted according to other practical needs. Optionally, the second two-way valve 22 and the return pipe 5 can be omitted, and the fluid is not recirculated back to the fluid supply 20.

보다 상세하게는, 상기 트리거 소스는 가압 가스이다. 상기 트리거 모듈(23)은 상기 연결 파이프 유닛(24)으로의 상기 트리거 소스의 수송을 제어하기 위해 동작할 수 있는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)(231) 및 상기 가압 가스를 공급하기 위해 상기 솔레노이드 밸브(231)에 연결되는 가압 가스 공급(232)을 포함한다. 제1 실시예에 있어서, 상기 제1 이방향 밸브(21)는 통상적으로 닫히고 상기 가압 가스의 수용에 따라 열리는 이방향의 공기압으로 작동하는 볼 밸브이며, 상기 제2 이방향 밸브(22)는 통상적으로 열리고 상기 가압 가스의 수용에 따라 닫히는 이방향의 공기압으로 작동하는 볼 밸브이다. 상기 연결 파이프 유닛(24)은 상기 제1 이방향 밸브(21) 및 상기 솔레노이드 밸브(231) 사이에 연결되는 제1 연결 파이프(241), 그리고 상기 제2 이방향 밸브(22) 및 상기 솔레노이드 밸브(231) 사이에 연결되는 제2 연결 파이프(242)를 포함한다. 상기 제어 밸브 유닛(25)은 상기 솔레노이드 밸브(231)로부터 상기 제1 이방향 밸브(21) 내로 흐르는 상기 가압 가스의 유량을 제어하기 위한 유량 조절 밸브(flow rate adjustment valve)(251), 그리고 상기 가압 가스가 상기 솔레노이드 밸브(231)로부터 상기 제1 이방향 밸브(21) 내로 흐르는 것을 제한하기 위한 일방향 밸브(one-way valve)(252)를 포함한다. 상기 솔레노이드 밸브(231)가 흡입 상태에 있을 때, 이는 상기 가압 가스가 상기 일방향 밸브(252) 및 상기 제1 및 제2 연결 파이프들(241, 242)을 통해 각각의 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22) 내로 흐르는 것을 제어하여, 상기 제1 이방향 밸브(21)가 열리게 되고, 상기 제2 이방향 밸브(22)가 닫히게 됨으로써, 상기 유동 제어 유닛(2)을 상기 통과 상태로 전환시킨다. 상기 솔레노이드 밸브(231)가 상기 흡입 상태로부터 배출 상태로 전환될 때, 상기 솔레노이드 밸브(231)의 제어 하에서, 상기 가압 가스가 상기 제어 밸브 유닛(25)을 통해 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22)로 수송되지 않을 수 있고, 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22) 내의 가압 가스가 상기 유량 조절 밸브(251)를 거쳐 제어된 속도로 상기 솔레노이드 밸브(231)로 다시 흐르게 되어, 상기 제1 이방향 밸브(21)가 다시 통상적으로 닫히게 전환되고, 상기 제2 이방향 밸브(22)가 다시 통상적으로 열리게 전환된다. 이러한 방식으로, 상기 유동 제어 유닛(2)은 상기 비통과 상태로 서서히 다시 전환된다.More specifically, the trigger source is pressurized gas. The trigger module 23 is a solenoid valve (231) operable to control the transport of the trigger source to the connecting pipe unit (24) and the solenoid valve to supply the pressurized gas ( 231) is connected to the pressurized gas supply (232). In the first embodiment, the first two-way valve 21 is a ball valve that is operated with air pressure in two directions, which is normally closed and opened upon receipt of the pressurized gas, and the second two-way valve 22 is usually It is a ball valve that operates with air pressure in two directions, which is opened and closed upon receiving the pressurized gas. The connecting pipe unit 24 is a first connecting pipe 241 connected between the first two-way valve 21 and the solenoid valve 231, and the second two-way valve 22 and the solenoid valve It includes a second connecting pipe 242 connected between (231). The control valve unit 25 includes a flow rate adjustment valve 251 for controlling the flow rate of the pressurized gas flowing from the solenoid valve 231 into the first two-way valve 21, and the And a one-way valve 252 for restricting pressurized gas from flowing from the solenoid valve 231 into the first two-way valve 21. When the solenoid valve 231 is in a suction state, this means that the pressurized gas passes through the one-way valve 252 and the first and second connecting pipes 241 and 242, respectively, in the first and second two-way directions. By controlling the flow into the valves 21 and 22, the first two-way valve 21 is opened and the second two-way valve 22 is closed, so that the flow control unit 2 is passed through the state. Switch to When the solenoid valve 231 is switched from the suction state to the discharge state, under the control of the solenoid valve 231, the pressurized gas passes through the control valve unit 25 to the first and second two-way valves The solenoid valve 231 may not be transported to the fields 21 and 22, and the pressurized gas in the first and second two-way valves 21 and 22 may be controlled through the flow control valve 251 at a controlled speed. ), the first two-way valve 21 is switched to close normally again, and the second two-way valve 22 is switched to open normally again. In this way, the flow control unit 2 is gradually switched back to the non-passing state.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 실시예에서, 상기 유체 유동 제어 장치(10)는 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 주위를 덮는 슬리브(sleeve)(1a)를 더 포함한다. 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 다운스트림(downstream)에 배치된다. 보다 구체적으로는, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 상기 유동 제어 유닛(2)으로부터 떨어져 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 단부에 배치되며, 상기 슬리브(1a)에 연결된다. 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 상기 제2 파이프 섹션(12)의 외부로의 상기 유체의 흐름을 제어하기 위해 조절된다.1 to 3, in the first embodiment, the fluid flow control device 10 further includes a sleeve 1a covering around the second pipe section 12 of the transport pipe 1 Includes. The fluid discharge control unit 3 is arranged downstream of the second pipe section 12 of the transport pipe 1. More specifically, the fluid discharge control unit 3 is disposed at the end of the second pipe section 12 of the transport pipe 1 away from the flow control unit 2 and connected to the sleeve 1a do. The fluid discharge control unit 3 is adjusted to control the flow of the fluid to the outside of the second pipe section 12.

제1 실시예에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 튜브형 부재(tubular member)(31), 이동형 부재(movable member)(32) 및 구동 유닛(30)을 포함한다.In the first embodiment, the fluid discharge control unit 3 includes a tubular member 31, a movable member 32 and a driving unit 30.

상기 튜브형 부재(31)는 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)과 유체 연통되는 배출 유로(311)를 구비하여 형성되며, 상기 유체의 배출을 위해 조절된다. 상기 배출 유로(311)는 사행 세그먼트(meandering segment)(311a)를 가진다. 상기 이동형 부재(32)는 상기 튜브형 부재(31) 내의 상기 사행 세그먼트(311a)에 대응되는 위치에 배치되며, 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 통한 상기 유체의 흐름을 허용하기 위해 상기 배출 유로(311)를 차단하지 않는 제1 위치(도 2 참조) 및 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 통항 상기 유체의 흐름을 방지하기 위해 상기 배출 유로(311)를 차단하는 제2 위치(도 3 참조) 사이에서 이동 가능하다.The tubular member 31 is formed with a discharge passage 311 in fluid communication with the second pipe section 12 of the transport pipe 1, and is adjusted for discharge of the fluid. The discharge passage 311 has a meandering segment 311a. The movable member 32 is disposed at a position corresponding to the meandering segment 311a in the tubular member 31, and the movable member 32 allows the flow of the fluid through the discharge passage 311 In order to prevent the flow of the fluid through the discharge passage 311 and the first position (see FIG. 2) and the movable member 32 that does not block the discharge passage 311, the discharge passage 311 It is movable between the blocking second positions (see Fig. 3).

상기 구동 유닛(30)은 상기 튜브형 부재(31)에 연결되고, 상기 제1 및 제2 위치들 사이에서 상기 이동형 부재(32)의 이동을 구동하기 위한 구동 소스(driving source)를 제공하도록 동작할 수 있다. 상기 구동 소스는 가스의 압력인 것으로 예시된다. 보다 상세하게는, 상기 튜브형 부재(31)는 상기 배출 유로(311)의 사행 세그먼트(311a)를 구성하는 돌출 부분(33) 및 리세스(recess) 부분(34)을 가진다. 제1 실시예에 있어서, 상기 이동형 부재(32)는 유연한 멤브레인의 중앙 부분이며, 상기 튜브형 부재(31)의 돌출 부분(33) 및 리세스 부분(34) 사이에 배치된다. 상기 튜브형 부재(31)는 상기 배출 유로(311)의 사행 세그먼트(311a)와 유체 연통되고, 연결 파이프(301)를 통해 상기 구동 유닛(30)과 유체 연통되는 가스 채널(36)을 더 구비하여 형성된다.The drive unit 30 is connected to the tubular member 31 and is operative to provide a driving source for driving the movement of the movable member 32 between the first and second positions. Can be. The drive source is exemplified as the gas pressure. More specifically, the tubular member 31 has a protruding portion 33 and a recess portion 34 constituting the meandering segment 311a of the discharge flow path 311. In the first embodiment, the movable member 32 is a central portion of a flexible membrane and is disposed between the protruding portion 33 and the recessed portion 34 of the tubular member 31. The tubular member 31 is further provided with a gas channel 36 in fluid communication with the meandering segment 311a of the discharge passage 311 and in fluid communication with the drive unit 30 through a connecting pipe 301. Is formed.

상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치에 있을 때, 상기 이동형 부재(32)는 상기 배출 유로(311)를 통하고 그 외부로 상기 유체의 흐름을 허용하기 위해 상기 튜브형 부재(31)의 돌출 부분(33)으로부터 이격된다. 상기 구동 유닛(30)이 상기 가스가 상기 가스 채널(36)을 통해 상기 튜브형 부재(31)의 리세스 부분(34)에 인접하는 상기 배출 유로(311)의 일부 내로 흐르게 되도록 작동될 때, 상기 이동형 부재(32)가 눌려지며, 상기 배출 유로(311)의 외부로의 상기 유체의 흐름을 방지하기 위해 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 차단하도록 상기 튜브형 부재(31)의 돌출 부분(33)에 인접하게 되는 상기 제2 위치로 이동되는 상기 가스의 압력에 의해 상기 이동형 부재(32)가 변형된다. 상기 가스의 압력이 해제될 때, 상기 이동형 부재(32)는 상기 이동형 부재(32)의 유연한 성질로 인해 상기 제1 위치도 자동적으로 다시 돌아간다.When the movable member 32 is in the first position, the movable member 32 protrudes from the tubular member 31 to allow the flow of the fluid through and out of the discharge passage 311. Spaced from portion 33. When the drive unit 30 is operated such that the gas flows through the gas channel 36 into a portion of the discharge passage 311 adjacent to the recessed portion 34 of the tubular member 31, the The movable member 32 is pressed, and of the tubular member 31 so that the movable member 32 blocks the discharge passage 311 to prevent the flow of the fluid to the outside of the discharge passage 311. The movable member 32 is deformed by the pressure of the gas moved to the second position adjacent to the protruding portion 33. When the pressure of the gas is released, the movable member 32 automatically returns to the first position again due to the flexible nature of the movable member 32.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 유체 유동 제어 장치(10)의 동작은 다음의 단계들을 포함한다.1 to 4, the operation of the fluid flow control device 10 of the present invention includes the following steps.

단계 S1에서, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로 전환되어, 상기 유체가 상기 수송 파이프(1)를 통하여 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 외부로 흐른다.In step S1, the flow control unit 2 is switched to the passing state, so that the fluid flows out of the fluid discharge control unit 3 through the transport pipe 1.

단계 S2에서, 상기 유동 제어 유닛(2)이 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환되어, 상기 수송 파이프(1) 내의 상기 유체가 상기 수송 파이프(1) 내의 상기 유체 압력 및 상기 주위 압력 사이의 차이에 의해 생성되는 상기 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛(2)을 향해 흐른다.In step S2, the flow control unit 2 is switched from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay, so that the fluid in the transport pipe 1 is the fluid pressure in the transport pipe 1 and The suction force generated by the difference between the ambient pressures flows toward the flow control unit 2.

단계 S3에서, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 상기 유체가 상기 유체 유동 제어 장치(10)의 외부로 흐르는 것을 방지하도록 동작한다.In step S3, the fluid discharge control unit 3 operates to prevent the fluid from flowing out of the fluid flow control device 10.

제1 실시예에 있어서, 단계 S1에서, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로 전환되어, 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)으로 흐른다. 단계 S2에서, 상기 트리거 모듈(23) 및 상기 제어 밸브 유닛(25)의 동작들을 통해, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 소정의 시간 지연 후에 상기 비통과 상태로 전환되어, 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 리턴 파이프(5)로 흐르고, 이후에 상기 유체 공급(20)으로 돌아가며, 상기 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체가 상기 생성된 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛(2)을 향해 다시 흐르게 된다. 단계 S3에서, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 이동형 부재(32)가 상기 유체 유동 제어 장치(10)의 외부로 상기 유체가 떨어지는 것을 방지하기 위해 상기 구동 유닛(30)의 작동에 의해 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동된다.In the first embodiment, in step S1, the flow control unit 2 is switched to the passing state, so that the fluid is transferred from the first pipe section 11 to the second pipe section of the transport pipe 1 ( 12). In step S2, through the operations of the trigger module 23 and the control valve unit 25, the flow control unit 2 is switched to the non-pass state after the predetermined time delay, so that the fluid is transferred to the agent. The flow control unit 2 flows from one pipe section 11 to the return pipe 5, after which it returns to the fluid supply 20, and the fluid in the second pipe section 12 due to the generated suction force. ). In step S3, the movable member 32 of the fluid discharge control unit 3 prevents the fluid from falling out of the fluid flow control device 10 by the operation of the drive unit 30 to remove the agent. It is moved from the 1 position to the 2nd position.

도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치(10)의 제2 실시예는 제1 실시예와 유사하며, 제1 및 제2 실시예들 사이의 차이점은 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 구조에 있다. 제2 실시예에 있어서, 상기 튜브형 부재(31)는 상기 배출 유로(311) 및 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)과 유체 연통되는 흡입 공간(312)을 더 구비하여 형성된다. 상기 이동형 부재(32)는 상기 이동형 부재(32)가 상기 흡입 공간(312) 내에 있고 상기 배출 유로(311)에 근접하는 제1 위치(도 5 참조) 그리고 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치보다 멀리 상기 배출 유로(311)로부터 떨어지는 제2 위치(도 6 참조) 사이에서 이동될 수 있으므로, 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동될 때에 상기 유체의 적어도 일부가 상기 흡입 공간(312) 내로 흐른다.1, 5 and 6, the second embodiment of the fluid flow control device 10 according to the present invention is similar to the first embodiment, and the difference between the first and second embodiments is the above It is in the structure of the fluid discharge control unit 3. In the second embodiment, the tubular member 31 is further formed by further comprising an intake space 312 in fluid communication with the discharge passage 311 and the second pipe section 12 of the transport pipe 1. . The movable member 32 has a first position in which the movable member 32 is in the suction space 312 and proximate the discharge passage 311 (see FIG. 5 ), and the movable member 32 is the first Since the movable member 32 is moved from the first position to the second position, it can be moved between a second position (see FIG. 6) that is farther away from the discharge flow path 311. A portion flows into the suction space 312.

제2 실시예에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)은 상기 이동형 부재(32)를 상기 제1 위치를 향해 편향시키기 위해 상기 튜브형 부재(31) 및 상기 이동형 부재(32) 사이에 연결되는 탄성 부재(resilient member)(37)를 더 포함한다, 상기 튜브형 부재(31)는 측방으로 돌출되고, 상기 흡입 공간(312) 및 상기 배출 유로(311)와 유체 연통되며 상기 탄성 부재(37)가 수용되는 수용 공간(313)을 구비하여 형성되는 연장 부분(31a)을 더 포함한다. 상기 가스 채널(36)(도 2 참조)은 제2 실시예에서 생략되며, 상기 튜브형 부재(31)의 연장 부분(31a)은 상기 수용 공간(313)의 양 측부들에 각기 배치되고, 상기 수용 공간(313)과 유체 연통되며, 서로 다른 거리들로 상기 배출 유로(311)로부터 이격되는 제1 가스 채널(36a) 및 제2 가스 채널(36b)을 더 구비하여 형성된다. 제2 실시예에 있어서, 상기 제1 가스 채널(36a)은 연결 파이프(302)를 거쳐 상기 구동 유닛(30)과 유체 연통된다. 상기 이동형 부재(32)는 피스톤 부분(321) 및 스템(stem) 부분(322)을 가진다. 상기 피스톤 부분(321)은 상기 수용 공간(313) 내에 배치되고, 상기 제1 및 제2 가스 채널들(36a, 36b) 사이에 이들 사이의 유체 연통을 방지하도록 배치되며, 상기 스템 부분(322)은 상기 피스톤 부분(321)과 일체로 형성되고, 상기 배출 유로(311)를 향해 연장된다. 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치에 있을 때, 상기 이동형 부재(32)의 스템 부분(322)은 상기 배출 유로(311)에 근접하고, 상기 흡입 공간(312)을 차지한다. 상기 구동 유닛(30)이 상기 가스를 상기 제1 가스 채널(36a)을 통해 상기 수용 공간(313)으로 제공하도록 작동될 때, 상기 이동형 부재(32)의 피스톤 부분(321)이 상기 배출 유로(311)로부터 떨어져 이동되도록 상기 탄성 부재(37)의 편향력에 대한 상기 가스의 압력에 의해 눌려지므로, 상기 이동형 부재(32)가 상기 제2 위치에 도달된다. 상기 제2 위치에서, 상기 탄성 부재(37)가 변형되고, 상기 이동형 부재(32)의 스템 부분(322)이 더 이상 상기 흡입 공간(312)을 차지하지 않으므로, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환된 후에 상기 유체가 상기 배출 유로(311)의 외부로 떨어지는 것을 방지하기 위해 상기 배출 유로(311) 내의 유체의 적어도 일부는 상기 흡입 공간(312) 내로 흐른다. 상기 구동 유닛(30)이 상기 가스의 제공을 중단하도록 동작될 때, 상기 탄성 부재(37)는 상기 이동형 부재(32)를 상기 제1 위치로 다시 이동하도록 편향시킨다.In the second embodiment, the fluid discharge control unit (3) is elastically connected between the tubular member (31) and the movable member (32) to deflect the movable member (32) towards the first position. It further includes a resilient member 37, the tubular member 31 protrudes laterally, and is in fluid communication with the suction space 312 and the discharge passage 311, and the elastic member 37 is accommodated. It further includes an extended portion 31a formed with a receiving space 313. The gas channel 36 (see FIG. 2) is omitted in the second embodiment, and the extending portions 31a of the tubular member 31 are disposed on both sides of the receiving space 313, respectively. It is formed in fluid communication with the space 313 and further comprising a first gas channel 36a and a second gas channel 36b spaced apart from the discharge passage 311 at different distances. In the second embodiment, the first gas channel 36a is in fluid communication with the drive unit 30 via a connecting pipe 302. The movable member 32 has a piston portion 321 and a stem portion 322. The piston portion 321 is disposed in the receiving space 313 and is disposed between the first and second gas channels 36a and 36b to prevent fluid communication therebetween, and the stem portion 322 Is integrally formed with the piston portion 321 and extends toward the discharge passage 311. When the movable member 32 is in the first position, the stem portion 322 of the movable member 32 is close to the discharge passage 311 and occupies the suction space 312. When the drive unit 30 is operated to provide the gas to the receiving space 313 through the first gas channel 36a, the piston portion 321 of the movable member 32 causes the discharge passage ( 311), the movable member 32 reaches the second position because it is pressed by the pressure of the gas against the biasing force of the elastic member 37 so as to move away from it. In the second position, since the elastic member 37 is deformed, and the stem portion 322 of the movable member 32 no longer occupies the suction space 312, the flow control unit 2 is At least a portion of the fluid in the discharge passage 311 flows into the suction space 312 to prevent the fluid from falling out of the discharge passage 311 after being switched from the passage state to the non-pass state. When the drive unit 30 is operated to stop providing the gas, the elastic member 37 deflects the movable member 32 to move back to the first position.

제2 실시예의 변형예에서, 상기 탄성 부재(37)가 생략될 수 있고, 상기 구동 유닛(30)이 상기 제1 및 제2 가스 채널들(36a, 36b) 모두와 유체 연통될 수 있어, 상기 구동 유닛(30)이 상기 가스를 상기 제2 가스 채널(36b)로 제공하도록 작동될 때에 상기 이동형 부재(32)의 피스톤 부분(321)이 상기 배출 유로(311)를 향해 이동되도록 상기 가스의 압력에 의해 밀려져 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치에 도달하고, 상기 구동 유닛(30)이 상기 가스를 상기 제1 가스 채널(36a)로 제공하도록 작동될 때에 상기 이동형 부재(32)의 피스톤 부분(321)이 상기 배출 유로(311)로부터 멀어지게 이동하여 상기 이동형 부재(32)가 상기 제2 위치에 도달하는 점이 이해되어야 할 것이다. 상기 제2 실시예의 유체 유동 제어 장치(10)는 상기 유체가 구리 식각 용액과 같은 화학 용액일 경우에 적합할 수 있다.In a modification of the second embodiment, the elastic member 37 can be omitted, and the drive unit 30 can be in fluid communication with both the first and second gas channels 36a, 36b, so that the When the drive unit 30 is operated to provide the gas to the second gas channel 36b, the pressure of the gas so that the piston portion 321 of the movable member 32 is moved toward the discharge passage 311 Pushed by the movable member 32 to reach the first position, and when the drive unit 30 is operated to provide the gas to the first gas channel 36a, the movable member 32 It will be understood that the piston portion 321 moves away from the discharge passage 311 so that the movable member 32 reaches the second position. The fluid flow control device 10 of the second embodiment may be suitable when the fluid is a chemical solution such as a copper etching solution.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치(10)의 제3 실시예는 제2 실시예와 유사하며, 제2 및 제3 실시예들 사이의 차이점은 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들(21, 22)(도 1 참조)이 제3 실시예에서 삼방향 밸브(three-way valve)(26)로 대체되는 것에 있다. 상기 삼방향 밸브(26)는 공기압 밸브이며, 상기 수송 파이프(1)의 제1 파이프 섹션(11)에 연결되는 투입 단부(261), 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)에 연결되는 제1 배출 단부(262), 그리고 상기 리턴 파이프(5)에 연결되는 제2 배출 단부(263)를 포함하여, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태에 있을 때에 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 제1 배출 단부(262)를 통해 상기 제2 파이프 섹션(12) 내로 흐르게 하기 위해 상기 제1 배출 단부(262)가 열리고 상기 제2 배출 단부(263)가 닫히며, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 비통과 상태에 있을 때에 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션(11)으로부터 상기 제2 배출 단부(263)를 통해 상기 리턴 파이프(5)로 흐르게 하기 위해 상기 제1 배출 단부(262)가 닫히고 상기 제2 배출 단부(263)가 열린다.Referring to FIG. 7, the third embodiment of the fluid flow control device 10 according to the present invention is similar to the second embodiment, and the difference between the second and third embodiments is the first and second anisotropy The directional valves 21, 22 (see Fig. 1) are in the third embodiment being replaced by a three-way valve 26. The three-way valve 26 is a pneumatic valve, to the input end 261 connected to the first pipe section 11 of the transport pipe 1, to the second pipe section 12 of the transport pipe 1 The first discharge end 262 is connected and a second discharge end 263 is connected to the return pipe 5, so that when the flow control unit 2 is in the passing state, the fluid is the first agent. The first discharge end 262 is opened and the second discharge end 263 is closed to flow from one pipe section 11 through the first discharge end 262 into the second pipe section 12. , When the flow control unit 2 is in the non-passing state, the fluid is allowed to flow from the first pipe section 11 to the return pipe 5 through the second discharge end 263. One discharge end 262 is closed and the second discharge end 263 is opened.

제3 실시예에 있어서, 상기 연결 파이프 유닛(24)은 상기 트리거 모듈(23)을 상기 삼방향 밸브(26)에 연결한다. 상기 제어 밸브 유닛(25)은 상기 트리거 모듈(23) 및 상기 삼방향 밸브(26) 사이에서 상기 연결 파이프 유닛(24) 상에 배치된다. 상기 트리거 모듈(23)은 제1 실시예의 경우와 유사한 방식으로 상기 유동 제어 유닛(2)을 상기 통과 상태 및 상기 비통과 상태에서 전환시키기 위해 트리거 소스를 상기 삼방향 밸브(26)를 제공하도록 동작할 수 있다.In the third embodiment, the connecting pipe unit 24 connects the trigger module 23 to the three-way valve 26. The control valve unit 25 is disposed on the connecting pipe unit 24 between the trigger module 23 and the three-way valve 26. The trigger module 23 is operative to provide the trigger source with the three-way valve 26 to switch the flow control unit 2 from the pass state and the non-pass state in a manner similar to that of the first embodiment. can do.

보다 구체적으로는, 상기 제어 밸브 유닛(25)의 유량 조절 밸브(251)는 상기 솔레노이드 밸브(231)로부터 상기 삼방향 밸브(26)로 흐르는 상기 가압 가스의 유량을 제어한다. 상기 일방향 밸브(252)는 상기 가압 가스가 상기 솔레노이드 밸브(231)로부터 상기 삼방향 밸브(26)로 흐르는 것을 제한한다. 상기 솔레노이드 밸브(231)가 흡입 상태에 있을 때, 상기 가압 가스가 상기 일방향 밸브(252) 및 상기 연결 파이프 유닛(24)을 통해 상기 삼방향 밸브(26) 내로 흐르므로, 상기 삼방향 밸브(26)가 상기 가압 가스를 수용하고, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로 전환된다. 상기 솔레노이드 밸브(231)가 개방 상태로부터 배출 상태로 전환될 때, 상기 가압 가스가 상기 제어 밸브 유닛(25)을 통해 상기 삼방향 밸브(26)로 수송되지 않고, 상기 삼방향 밸브(26) 내의 가압 가스가 상기 유량 조절 밸브(251)를 거쳐 제어된 속도로 상기 솔레노이드 밸브(231)로 다시 흐르므로, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 비통과 상태로 서서히 다시 전환된다.More specifically, the flow control valve 251 of the control valve unit 25 controls the flow rate of the pressurized gas flowing from the solenoid valve 231 to the three-way valve 26. The one-way valve 252 restricts the pressurized gas from flowing from the solenoid valve 231 to the three-way valve 26. When the solenoid valve 231 is in a suction state, since the pressurized gas flows into the three-way valve 26 through the one-way valve 252 and the connecting pipe unit 24, the three-way valve 26 ) Receives the pressurized gas, and the flow control unit 2 is switched to the passing state. When the solenoid valve 231 is switched from the open state to the exhaust state, the pressurized gas is not transported through the control valve unit 25 to the three-way valve 26, but within the three-way valve 26 Since the pressurized gas flows back through the flow control valve 251 to the solenoid valve 231 at a controlled speed, the flow control unit 2 is gradually switched back to the non-pass state.

제3 실시예에 있어서, 상기 유체 유동 제어 장치(10)는 상기 유동 제어 유닛(2) 및 상기 유체 배출 제어 유닛(3) 사이에서 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내에 배치되는 흡입 밸브 유닛(6)을 더 포함한다. 상기 흡입 밸브 유닛(6)은 상기 유동 제어 유닛(2)의 다운스트림에 배치되는 차단 밸브(shut-off valve)(61) 및 상기 차단 밸브(61)의 다운스트림이고 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 업스트림(upstream)에 배치되는 흡입 밸브(62)를 포함한다. 상기 흡입 밸브 유닛(6)은 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내의 상기 유체를 상기 유체 배출 제어 유닛(3)로부터 떨어져 상기 유동 제어 유닛(2)을 향하는 방향으로 인출하기 위해 다른 흡입력을 제공한다.In the third embodiment, the fluid flow control device 10 is disposed in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 between the flow control unit 2 and the fluid discharge control unit 3. The suction valve unit 6 is further included. The intake valve unit 6 is a shut-off valve 61 disposed downstream of the flow control unit 2 and a downstream of the shutoff valve 61 and the fluid discharge control unit 3 ) Upstream of the inlet valve 62. The intake valve unit 6 is for drawing the fluid in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 away from the fluid discharge control unit 3 in the direction toward the flow control unit 2. Provide different suction power.

상기 유체 유동 제어 장치(10)는 트리거 모듈(7), 상기 트리거 모듈(7) 및 상기 흡입 밸브 유닛(6)을 상호 연결하는 연결 파이프 유닛(8), 그리고 상기 트리거 모듈(7) 및 상기 차단 밸브(61) 사이에 배치되는 제어 밸브 유닛(9)을 더 포함한다. 상기 연결 파이프 유닛(8)은 상기 차단 밸브(61) 및 상기 트리거 모듈(7) 사이에 연결되는 제1 연결 파이프(81), 그리고 상기 흡입 밸브(62) 및 상기 트리거 모듈(7) 사이에 연결되는 제2 연결 파이프(82)를 포함한다. 상기 트리거 모듈(7)은 상기 연결 파이프 유닛(8)에 대한 가압 가스의 수송을 제어하기 위해 동작할 수 있는 솔레노이드 밸브(71) 및 상기 가압 가스의 공급을 위해 상기 솔레노이드 밸브(71)에 연결되는 가압 가스 공급(72)을 포함한다.The fluid flow control device 10 includes a trigger module 7, a connecting pipe unit 8 interconnecting the trigger module 7 and the intake valve unit 6, and the trigger module 7 and the blocking It further comprises a control valve unit 9 arranged between the valves 61. The connecting pipe unit 8 is a first connecting pipe 81 connected between the shut-off valve 61 and the trigger module 7 and a connection between the intake valve 62 and the trigger module 7 It includes a second connecting pipe 82. The trigger module 7 is a solenoid valve 71 operable to control the transport of pressurized gas to the connecting pipe unit 8 and is connected to the solenoid valve 71 for supply of the pressurized gas And pressurized gas supply 72.

사용하는 동안, 상기 유동 제어 유닛(2)이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 때, 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체는 상기 유동 제어 유닛(2)을 향하고 상기 유체 배출 제어 유닛(3)으로부터 떨어져 흐르도록 인출되고, 상기 흡입 밸브 유닛(6)의 동작을 통해 상기 유체 배출 제어 유닛(3)으로부터 더 떨어져 인출되며, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 동작에 의해 상기 배출 유로(311) 의 외부로 흐르는 것이 효과적으로 방지된다. 상기 유체가 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 동작 전에 상기 흡입 밸브 유닛(6)에 의해 상기 유체 배출 제어 유닛(3)로부터 더 떨어지게 인출되는 점이 이해되어야 할 것이다. 상기 유동 제어 유닛(2)이 오작동될 경우, 상기 흡입 밸브 유닛(6)의 차단 밸브(61)가 통과 상태(상기 차단 밸브(61)를 통한 상기 유체의 유동이 허용되는 경우)로부터 비통과 상태(상기 차단 밸브(61)를 통한 상기 유체의 유동이 중단되는 경우)로 서서히 전환될 수 있으므로, 상기 유체가 상기 유동 제어 유닛(2)의 동작을 통해 생성되는 상기 흡입력과 유사한 흡입력으로 인해 후방으로 인출된다. 상기 흡입 밸브(62)는 상기 유체가 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12)의 외부로 흐르는 것을 더 방지하도록 상기 유체의 일부를 후방으로 더 인출할 수 있다.During use, when the flow control unit 2 is switched from the passing state to the non-passing state, the fluid in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 is connected to the flow control unit 2. Is drawn to flow toward and away from the fluid discharge control unit 3, and further withdrawn from the fluid discharge control unit 3 through the operation of the intake valve unit 6, of the fluid discharge control unit 3 It is effectively prevented from flowing out of the discharge flow path 311 by the operation. It will be understood that the fluid is withdrawn further away from the fluid discharge control unit 3 by the intake valve unit 6 before operation of the fluid discharge control unit 3. When the flow control unit 2 malfunctions, the shut-off valve 61 of the intake valve unit 6 is not passed from the passing state (when the flow of the fluid through the shut-off valve 61 is allowed). Since it can be gradually switched to (when the flow of the fluid through the shutoff valve 61 is stopped), the fluid is moved backward due to the suction force similar to the suction force generated through the operation of the flow control unit 2 Withdrawal. The intake valve 62 may further draw a portion of the fluid rearward to further prevent the fluid from flowing out of the second pipe section 12 of the transport pipe 1.

도 8 및 도 9를 더 참조하면, 상기 제3 실시예의 유체 배출 제어 유닛(3)의 이동형 부재(32)는 제2 실시예의 경우로부터 변경된다. 제3 실시예에 있어서, 상기 이동형 부재(32)는 상기 배출 유로(311)를 통한 상기 유체의 흐름을 허용하게 하기 위해 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 차단하지 않는 제1 위치(도 8 참조) 및 상기 배출 유로(311)의 외부로의 상기 유체의 흐름을 방지하기 위해 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 차단하는 제2 위치(도 9 참조) 사이에서 이동할 수 있다. 보다 구체적으로는, 상기 이동형 부재(32)는, 상기 이동형 부재(32)가 상기 제2 위치에 있을 때, 상기 이동형 부재(32)의 스템 부분(322)이 상기 튜브형 부재(31)의 돌출 부분(33)에 대해 인접하고, 상기 유체가 상기 배출 유로(311)의 외부로 흐르는 것을 방지하기 위해 상기 배출 유로(311)의 사행 세그먼트(311a)를 차단하도록 구성된다. 8 and 9, the movable member 32 of the fluid discharge control unit 3 of the third embodiment is changed from the case of the second embodiment. In the third embodiment, the movable member 32 is a first that does not block the discharge passage 311 by the movable member 32 to allow the flow of the fluid through the discharge passage 311 Between the position (see FIG. 8) and the second position (see FIG. 9) in which the movable member 32 blocks the discharge passage 311 to prevent the flow of the fluid to the outside of the discharge passage 311. You can move on. More specifically, in the movable member 32, when the movable member 32 is in the second position, the stem portion 322 of the movable member 32 protrudes from the tubular member 31. Adjacent to (33), it is configured to block the meandering segment (311a) of the discharge passage 311 to prevent the fluid from flowing out of the discharge passage 311.

제3 실시예에 있어서, 상기 유동 제어 유닛(2) 및 상기 흡입 밸브 유닛(6)의 동작들은 상기 배출 유로(311) 내의 상기 유체가 상기 이동형 부재(32)로부터 이격되고 그보다 높아져서, 상기 이동형 부재(32)가 상기 배출 유로(311)를 차단하도록 동작될 때에 상기 유체가 아래로 떨어지고 상기 배출 유로(311)를 나가는 것이 효과적으로 방지되는 점을 확보할 수 있다. 이에 따라, 상기 제3 실시예의 유체 유동 제어 장치(10)는 상기 유체가 티타늄 식각 용액, 상당한 양의 기포를 함유하는 과산화수소 용액, 또는 다른 화학 용액인 경우에 사용되기에 적합하다.In the third embodiment, the operations of the flow control unit 2 and the intake valve unit 6 are such that the fluid in the discharge passage 311 is spaced apart from the movable member 32 and becomes higher, so that the movable member When the 32 is operated to block the discharge flow path 311, it can be ensured that the fluid falls down and effectively exits the discharge flow path 311. Accordingly, the fluid flow control device 10 of the third embodiment is suitable for use when the fluid is a titanium etching solution, a hydrogen peroxide solution containing a significant amount of bubbles, or other chemical solution.

도 1, 도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치(10)의 제4 실시예는 제2 실시예와 유사하며, 제2 및 제4 실시예들 사이의 차이점은 제4 실시예의 유체 배출 제어 유닛(3)이 상기 튜브형 부재(31)의 흡입 공간(312) 내에 밀폐되게 배치되는 유연한 부분(324)을 더 포함하는 것에 있다. 상기 이동형 부재(32)의 스템 부분(322)은 상기 유연한 부분(324)의 측부에 연결되며, 상기 유연한 부분(324) 및 상기 배출 유로(311) 사이에 배치되는 상기 흡입 공간(312)의 일부의 체적을 변화시키기 위해 상기 유연한 부분(324)를 변형시키도록 이동할 수 있다. 구체적으로는, 상기 유연한 부분(324)은 상기 튜브형 부재(31)에 부착되는 주변부 및 상기 이동형 부재(32)의 스템 부분(322)에 연결되는 중심부를 갖는 유연한 멤브레인이다. 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치에 있을 때(도 10 참조), 상기 유연한 부분(324)의 중심부는 상기 배출 유로(311)에 근접한다. 상기 이동형 부재(32)가 상기 제2 위치에 있을 때(도 11 참조), 상기 유연한 부분(324)의 중심부는 상기 배출 유로(311)로부터 멀리 떨어지므로, 상기 이동형 부재(32)가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동될 때 상기 배출 유로(311) 내의 상기 유체의 적어도 일부가 상기 흡입 공간(312) 내로 흐를 수 있다.1, 10 and 11, the fourth embodiment of the fluid flow control device 10 according to the present invention is similar to the second embodiment, and the difference between the second and fourth embodiments is The fluid discharge control unit (3) of the fourth embodiment is in that it further comprises a flexible portion (324) disposed hermetically in the suction space (312) of the tubular member (31). The stem portion 322 of the movable member 32 is connected to a side of the flexible portion 324 and is a part of the suction space 312 disposed between the flexible portion 324 and the discharge passage 311. The flexible portion 324 can be moved to deform to change its volume. Specifically, the flexible portion 324 is a flexible membrane having a peripheral portion attached to the tubular member 31 and a central portion connected to the stem portion 322 of the movable member 32. When the movable member 32 is in the first position (see FIG. 10 ), the central portion of the flexible portion 324 approaches the discharge passage 311. When the movable member 32 is in the second position (see FIG. 11), the central portion of the flexible portion 324 is far away from the discharge passage 311, so that the movable member 32 is the first When moved from the position to the second position, at least a portion of the fluid in the discharge flow path 311 may flow into the suction space 312.

상술한 실시예들의 각각의 유체 배출 제어 유닛(3)이 상기 유체가 상기 배출 유로(311)의 외부로 떨어지는 것을 방지하기 위한 것이며, 이에 따라 상술한 실시예들 또는 다른 실시예들 중의 임의의 것에 적용될 수 있는 점이 이해되어야 할 것이다.Each fluid discharge control unit 3 of the above-described embodiments is for preventing the fluid from falling out of the discharge passage 311, and accordingly to any of the above-described embodiments or other embodiments It should be understood that it can be applied.

본 발명의 유체 유동 제어 장치(10)를 이용하여 식각되거나 세척되는 기판은 캐리어 플레이트, 웨이퍼, 칩 또는 이와 유사한 것들의 형태가 될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니지만, 원형의 형상이나 정방형의 형상이 될 수 있다. 또한, 본 발명의 유체 유동 제어 장치(10)는, 이에 한정되는 것은 아니지만, 반도체 습식 프로세스(식각, 세정, 건조 등), 예를 들면, 단일 기판 습식 프로세스, 다중 기판 습식 프로세스, 단일 웨이퍼 솔더 볼 금속 식각, 얇은 웨이퍼 지지/스트리핑, 라미네이팅/스트리핑 프로세스들, 실리콘 카바이드 웨이퍼 재생, 실리콘 웨이퍼 재생 등에 적용될 수 있다.The substrate that is etched or washed using the fluid flow control device 10 of the present invention may be in the form of a carrier plate, wafer, chip, or the like, but is not limited to a circular shape or a square shape. Can be. In addition, the fluid flow control device 10 of the present invention is not limited to, but is not limited to, semiconductor wet process (etching, cleaning, drying, etc.), for example, single substrate wet process, multiple substrate wet process, single wafer solder ball It can be applied to metal etching, thin wafer support/striping, laminating/stripping processes, silicon carbide wafer recycling, silicon wafer recycling, and the like.

요약하면, 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 수 있는 상기 유동 제어 유닛(2)의 구성에 의하여, 상기 수송 파이프(1)의 제2 파이프 섹션(12) 내의 유체가 상기 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛(2)을 향해 흐르도록 인출될 수 있으며, 상기 유체 배출 제어 유닛(3)의 설계에 의하여, 상기 유체가 상기 배출 유로(311)의 외부로 떨어지는 것이 효과적으로 방지된다. 이에 따라, 유체 적하 및 상기 기판의 품질에 영향을 미치는 것과 관련된 종래 기술의 문제점은 본 발명의 유체 유동 제어 장치(10)를 사용함에 의해 해소된다.In summary, by the configuration of the flow control unit 2 which can be switched from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay, the fluid in the second pipe section 12 of the transport pipe 1 is Due to the suction force, it can be drawn out to flow toward the flow control unit 2, and by the design of the fluid discharge control unit 3, the fluid is effectively prevented from falling out of the discharge flow path 311. . Accordingly, the problems of the prior art related to the effect of dropping fluid and affecting the quality of the substrate are solved by using the fluid flow control device 10 of the present invention.

앞서의 설명에 있어서, 설명의 목적을 위해 많은 특정 세부 사항들이 실시예들의 완전한 이해를 제공하도록 설시된다. 그러나, 해당 기술 분야의 숙련자에게는 하나 또는 그 이상의 실시예들이 이들 특정 세부 사항들의 일부가 없이 수행될 수 있는 점이 명백할 것이다. 또한, 본 명세서 전체에 걸쳐 "하나의 실시예", "일 실시예", 서수로 나타낸 실시예 등에 대한 언급은 특정한 특징, 구조 또는 특성들이 본 발명의 수행에 포함될 수 있는 것을 의미하는 점이 이해되어야 할 것이다. 앞서의 설명에서 본 발명을 간소화하고 다양한 본 발명의 측면들의 이해를 보조하는 목적들을 위해 다양한 특징들이 때때로 단일 실시예, 도면 또는 그 설명에서 함께 그룹으로 되며, 하나의 실시예로부터의 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정 세부 사항들이 본 발명의 수행에서 적절한 경우에 다른 실시예로부터의 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정 세부 사항들과 함께 수행될 수 있는 점이 이해되어야 할 것이다.In the foregoing description, for purposes of explanation, many specific details are set forth to provide a thorough understanding of the embodiments. However, it will be apparent to one skilled in the art that one or more embodiments may be performed without some of these specific details. In addition, it should be understood that reference to "one embodiment", "one embodiment", an ordinal number, or the like throughout the specification means that specific features, structures, or characteristics may be included in the practice of the present invention. something to do. For the purposes of simplifying the invention in the preceding description and assisting in understanding the various aspects of the invention, various features are sometimes grouped together in a single embodiment, a drawing, or a description thereof, and one or more from one embodiment. It should be understood that features or specific details may be performed in conjunction with one or more features or specific details from other embodiments where appropriate in the practice of the present invention.

본 발명을 예시적인 실시예들로 간주되는 사항들과 관련하여 설명하였지만, 본 발명이 개시된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 모든 변형들과 균등한 배치들을 포괄하도록 가장 넓은 해석의 사상과 범주 내에 포함되는 다양한 배치들을 포함하도록 의도되는 점이 이해될 것이다.Although the present invention has been described in relation to matters considered as exemplary embodiments, the present invention is not limited to the disclosed embodiments, and is within the spirit and scope of the broadest interpretation to cover all modifications and equivalent arrangements. It will be understood that it is intended to cover the various arrangements included.

1：수송 파이프 1a：슬리브
2：유동 제어 유닛 3：유체 배출 제어 유닛
4：니들 밸브 5：리턴 파이프
6：흡입 밸브 유닛 7：트리거 모듈
8：연결 파이프 유닛 9：제어 밸브 유닛
10：유체 유동 제어 장치 11：제1 파이프 섹션
12：제2 파이프 섹션 20：유체 공급
21：제1 이방향 밸브 22：제2 이방향 밸브
23：트리거 모듈 24：연결 파이프 유닛
25：제어 밸브 유닛 26：삼방향 밸브
30：구동 유닛 31：튜브형 부재
31a：연장 부분 32：이동형 부재
33：돌출 부분 34：리세스 부분
36：가스 채널 36a：제1 가스 채널
36b：제2 가스 채널 37：탄성 부재
61：차단 밸브 62：흡입 밸브
71：솔레노이드 밸브 72：가압 가스 공급
81：제1 연결 파이프 82：제2 연결 파이프
231：솔레노이드 밸브 232：가압 가스 공급
241：제1 연결 파이프 242：제2 연결 파이프
251：유량 조절 밸브 252：일방향 밸브
261：투입 단부 262：제1 배출 단부
263：제2 배출 단부 302：연결 파이프
311：배출 유로 311a：사행 세그먼트
312：흡입 공간 313：수용 공간
321：피스톤 부분 322：스템 부분
324：유연한 부분1: Transport pipe 1a: Sleeve
2: Flow control unit 3: Fluid discharge control unit
4: Needle valve 5: Return pipe
6: Suction valve unit 7: Trigger module
8: Connection pipe unit 9: Control valve unit
10: Fluid flow control device 11 First pipe section
12: second pipe section 20: fluid supply
21: First two-way valve 22: Second two-way valve
23: Trigger module 24: Connecting pipe unit
25: Control valve unit 26: Three-way valve
30: Drive unit 31: Tube type member
31a: extension part 32: movable member
33: Extrusion part 34: Recess part
36: gas channel 36a: first gas channel
36b: Second gas channel 37: Elastic member
61: Shut-off valve 62: Suction valve
71: Solenoid valve 72: Pressurized gas supply
81: 1st connection pipe 82: 2nd connection pipe
231: Solenoid valve 232: Pressurized gas supply
241: 1st connection pipe 242: 2nd connection pipe
251: Flow control valve 252: One-way valve
261: input end 262: first discharge end
263: Second discharge end 302: Connecting pipe
311: Emission flow path 311a: Twisted segment
312: suction space 313: accommodation space
321: piston part 322: stem part
324: Flexible part

Claims (16)

유체 유동 제어 장치(fluid flow control device)에 있어서:
내부의 유체의 흐름을 위해 조절되고, 제1 파이프 섹션(pipe section) 및 제2 파이프 섹션을 포함하는 수송 파이프(delivery pipe);
상기 수송 파이프의 상기 제1 파이프 섹션 및 상기 제2 파이프 섹션 사이에 연결되고, 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 파이프 섹션 내로의 상기 유체의 유동이 허용되는 통과 상태 및 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 파이프 섹션 내로의 상기 유체의 유동이 중단되는 비통과 상태 사이에서 전환되게 동작할 수 있는 유동 제어 유닛; 및
상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션의 다운스트림(downstream)에 배치되고, 상기 제2 파이프 섹션의 외부로의 상기 유체의 흐름을 제어하기 위해 조절되는 유체 배출 제어 유닛(fluid output control unit)을 포함하며,
상기 유동 제어 유닛이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 때, 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체는 상기 제2 파이프 섹션 내의 유체 압력 및 주위 압력 사이의 차이에 의해 생성되는 흡입력으로 인하여 상기 유동 제어 유닛을 향해 흐르고, 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체의 압력의 급격한 변화를 방지하기 위해 소정의 시간 지연으로 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환되게 동작할 수 있는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.In a fluid flow control device:
A delivery pipe that is regulated for the flow of fluid therein and includes a first pipe section and a second pipe section;
A passage state connected between the first pipe section and the second pipe section of the transport pipe, and allowing flow of the fluid from the first pipe section into the second pipe section and from the first pipe section A flow control unit operable to switch between a non-passing state in which the flow of the fluid into the second pipe section is stopped; And
A fluid output control unit disposed downstream of the second pipe section of the transport pipe, and adjusted to control the flow of the fluid out of the second pipe section ,
When the flow control unit is switched from the passing state to the non-passing state, the fluid in the second pipe section of the transport pipe is the suction force generated by the difference between the fluid pressure in the second pipe section and the ambient pressure. Thereby flowing toward the flow control unit, the flow control unit being switched from the passing state to the non-passing state with a predetermined time delay to prevent a sudden change in the pressure of the fluid in the second pipe section of the transport pipe Fluid flow control device characterized in that it can operate. 제 1 항에 있어서, 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제1 및 제2 파이프 섹션들 사이에 연결되고, 상기 통과 상태 및 상기 비통과 상태 사이에서 상기 유동 제어 유닛의 전환을 허용하기 위해 그 밸브 개방 정도를 제어하도록 동작할 수 있는 제1 이방향 밸브(two-way valve)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The flow control unit according to claim 1, wherein the flow control unit is connected between the first and second pipe sections of the transport pipe, and its valve to allow switching of the flow control unit between the through state and the non-pass state. And a first two-way valve operable to control the degree of opening. 제 2 항에 있어서, 리턴 파이프(return pipe)를 더 포함하고, 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제1 파이프 섹션 및 상기 리턴 파이프 사이에 연결되는 제2 이방향 밸브, 트리거 모듈(trigger module), 상기 트리거 모듈을 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들에 연결하는 연결 파이프 유닛, 그리고 상기 트리거 모듈 및 상기 제1 이방향 밸브 사이에서 상기 연결 파이프 유닛 상에 배치되는 제어 밸브 유닛을 더 포함하며, 상기 트리거 모듈은 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 파이프 섹션으로 흐르게 하기 위해 상기 제1 이방향 밸브가 열리고 상기 제2 이방향 밸브가 닫히는 상기 통과 상태 및 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 리턴 파이프로 흐르게 하기 위해 상기 제1 이방향 밸브가 닫히고 상기 제2 이방향 밸브가 열리는 상기 비통과 상태 사이에서 상기 유동 제어 유닛을 전환시키기 위하여 트리거 소스(trigger source)를 상기 제1 및 제2 이방향 밸브들에 제공하도록 동작할 수 있고, 상기 제어 밸브 유닛은 상기 시간 지연의 지속의 조절을 위해 상기 트리거 소스의 유량을 제어하도록 동작할 수 있는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.3. A trigger module according to claim 2, further comprising a return pipe, the flow control unit being connected between a first pipe section of the transport pipe and the return pipe. , A connecting pipe unit connecting the trigger module to the first and second two-way valves, and a control valve unit disposed on the connecting pipe unit between the trigger module and the first two-way valve, The trigger module includes the passage state in which the first two-way valve is opened and the second two-way valve is closed so that the fluid flows from the first pipe section to the second pipe section, and the fluid is the first pipe. A trigger source to switch the flow control unit between the non-pass state in which the first two-way valve is closed and the second two-way valve is opened to flow from a section to the return pipe. And a second two-way valve, wherein the control valve unit is operable to control the flow rate of the trigger source for adjustment of the duration of the time delay. 제 1 항에 있어서, 리턴 파이프를 더 포함하며, 상기 유동 제어 유닛은 상기 수송 파이프의 제1 파이프 섹션에 연결되는 투입 단부, 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션에 연결되는 제1 배출 단부 및 상기 리턴 파이프에 연결되는 제2 배출 단부를 가지는 삼방향 밸브를 포함하여, 상기 유동 제어 유닛이 상기 통과 상태에 있을 때, 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제1 배출 단부를 통해 상기 제2 파이프 섹션 내로 흐르게 하기 위해 상기 제1 배출 단부가 열리고 상기 제2 배출 단부가 닫히며, 상기 유동 제어 유닛이 상기 비통과 상태에 있을 때, 상기 유체가 상기 제1 파이프 섹션으로부터 상기 제2 배출 단부를 통해 상기 리턴 파이프 내로 흐르게 하기 위해 상기 제1 배출 단부가 닫히고 상기 제2 배출 단부가 열리는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The return pipe of claim 1, further comprising a return pipe, wherein the flow control unit includes an input end connected to a first pipe section of the transport pipe, a first discharge end connected to a second pipe section of the transport pipe, and the return. Including a three-way valve having a second discharge end connected to a pipe, when the flow control unit is in the passing state, the fluid from the first pipe section through the first discharge end to the second pipe section The first discharge end is opened to flow into, the second discharge end is closed, and when the flow control unit is in the non-passing state, the fluid passes through the second discharge end from the first pipe section. A fluid flow control device, characterized in that said first discharge end is closed and said second discharge end is opened for flowing into a return pipe. 제 4 항에 있어서, 상기 유동 제어 유닛은 트리거 모듈, 상기 트리거 모듈을 상기 삼방향 밸브에 연결하는 연결 파이프 유닛, 그리고 상기 트리거 모듈 및 상기 삼방향 밸브 사이에서 상기 연결 파이프 유닛 상에 배치되는 제어 밸브 유닛을 더 포함하며, 상기 트리거 모듈은 상기 유동 제어 유닛을 상기 통과 상태 및 상기 비통과 상태 사이에서 전환시키기 위해 트리거 소스를 상기 삼방향 밸브에 제공하도록 동작할 수 있고, 상기 제어 밸브 유닛은 상기 시간 지연의 지속의 조절을 위해 상기 트리거 소스의 유량을 제어하도록 동작할 수 있는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.5. The control valve according to claim 4, wherein the flow control unit is a trigger module, a connecting pipe unit connecting the trigger module to the three-way valve, and a control valve disposed on the connecting pipe unit between the trigger module and the three-way valve. Further comprising a unit, the trigger module is operable to provide a trigger source to the three-way valve to switch the flow control unit between the pass state and the non-pass state, wherein the control valve unit is the time A fluid flow control device operable to control the flow rate of the trigger source to control the duration of the delay. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은,
상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션과 유체 연통되고, 상기 유체의 배출을 위해 조절되는 배출 유로, 그리고 상기 배출 유로 및 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션과 유체 연통되는 흡입 공간을 구비하여 형성되는 튜브형 부재(tubular member); 및
상기 튜브형 부재 내에 배치되고, 이동형 부재(movable member)가 상기 흡입 공간 내에 있고 상기 배출 유로에 근접하는 제1 위치 및 상기 이동형 부재가 상기 제1 위치보다 멀리 상기 배출 유로로부터 떨어지는 제2 위치 사이에서 이동할 수 있는 상기 이동형 부재를 포함하여, 상기 이동형 부재가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동될 때에 상기 유체의 적어도 일부가 상기 흡입 공간 내로 흐르는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.According to claim 1, The fluid discharge control unit,
A tubular member formed in fluid communication with a second pipe section of the transport pipe, and having a discharge flow path adjusted for discharge of the fluid, and a suction space in fluid communication with the discharge flow path and the second pipe section of the transport pipe (tubular member); And
It is disposed within the tubular member, and a movable member is in the suction space and moves between a first position proximate the discharge passage and a second position where the movable member falls from the discharge passage farther than the first position. And a movable member, wherein at least a portion of the fluid flows into the suction space when the movable member is moved from the first position to the second position. 제 6 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은 상기 튜브형 부재의 흡입 공간 내에 밀폐되게 배치되는 유연한 부분을 더 포함하며, 상기 이동형 부재는 상기 유연한 부분의 측부에 연결되고, 상기 유연한 부분 및 상기 배출 유로 사이에 배치되는 상기 흡입 공간의 일부의 체적을 변화시키기 위해 상기 유연한 부분을 변형시키도록 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.7. The fluid discharge control unit according to claim 6, wherein the fluid discharge control unit further comprises a flexible portion that is hermetically disposed in the suction space of the tubular member, wherein the movable member is connected to a side of the flexible portion, and the flexible portion and the discharge flow path And moving the fluid to deform the flexible portion to change the volume of a portion of the suction space disposed therebetween. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은,
상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션과 유체 연통되고, 상기 유체의 배출을 위해 조절되는 배출 유로를 구비하여 형성되는 튜브형 부재; 및
상기 튜브형 부재 내에 배치되고, 상기 배출 유로를 통한 상기 유체의 흐름을 허용하기 위해 이동형 부재가 상기 배출 유로를 차단하지 않는 제1 위치 및 상기 배출 유로의 외부로 상기 유체의 흐름을 방지하기 위해 상기 이동형 부재가 상기 배출 유로를 차단하는 제2 위치 사이에서 이동할 수 있는 상기 이동형 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.According to claim 1, The fluid discharge control unit,
A tubular member formed in fluid communication with a second pipe section of the transport pipe and having a discharge flow path adjusted for discharge of the fluid; And
It is disposed in the tubular member, the movable member to prevent the flow of the fluid to the first position and the outside of the discharge passage to prevent the flow of the fluid through the discharge passage to the movable member and the discharge position And a movable member, the member being movable between a second position blocking the discharge flow path. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은 상기 튜브형 부재에 연결되고, 상기 제1 및 제2 위치들 사이에서 상기 이동형 부재의 동작을 구동시키기 위한 구동 소스(driving source)를 제공하도록 동작할 수 있는 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.9. A driving source (driving) according to any one of claims 6 to 8, wherein the fluid discharge control unit is connected to the tubular member and drives the operation of the movable member between the first and second positions. and a drive unit operable to provide a source). 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은 상기 튜브형 부재에 연결되고, 상기 제1 및 제2 위치들 사이에서 상기 이동형 부재의 동작을 구동시키기 위한 구동 소스를 제공하도록 동작할 수 있는 구동 유닛, 그리고 상기 제1 위치를 향해 상기 이동형 부재를 편향시키기 위하여 상기 튜브형 부재 및 상기 이동형 부재 사이에 연결되는 탄성 부재(resilient member)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The fluid discharge control unit is connected to the tubular member, and provides a driving source for driving the operation of the movable member between the first and second positions. And a driving unit operable to operate, and a resilient member connected between the tubular member and the movable member to deflect the movable member toward the first position. Device. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배출 유로는 사행 세그먼트(meandering segment)를 가지며, 상기 이동형 부재는 상기 튜브형 부재 내의 상기 사행 세그먼트에 대응되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.9. The fluid according to any one of claims 6 to 8, wherein the discharge passage has a meandering segment, and the movable member is disposed at a position corresponding to the meandering segment in the tubular member. Flow control device. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은 상기 유동 제어 유닛이 상기 통과 상태로부터 상기 비통과 상태로 전환될 때에 상기 제2 파이프 섹션을 통한 상기 유체의 배출을 방지하도록 동작할 수 있어, 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체가 상기 흡입력으로 인해 상기 유동 제어 유닛을 향해 흐르는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The fluid discharge control unit of claim 1, wherein the fluid discharge control unit is operable to prevent discharge of the fluid through the second pipe section when the flow control unit is switched from the through state to the non-pass state. The fluid flow control device, characterized in that the fluid in the second pipe section of the pipe flows toward the flow control unit due to the suction force. 제 1 항에 있어서, 상기 유동 제어 유닛 및 상기 유체 배출 제어 유닛 사이에서 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내에 배치되는 흡입 밸브 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The fluid flow control device according to claim 1, further comprising an intake valve unit disposed in the second pipe section of the transport pipe between the flow control unit and the fluid discharge control unit. 제 13 항에 있어서, 상기 흡입 밸브 유닛은 상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션 내의 상기 유체를 상기 유동 제어 유닛을 향해 상기 유체 배출 제어 유닛으로부터 떨어진 방향으로 인출하기 위해 다른 흡입력을 제공하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.14. The method of claim 13, wherein the suction valve unit is characterized in that it provides a different suction force for drawing the fluid in the second pipe section of the transport pipe toward the flow control unit in a direction away from the fluid discharge control unit. Fluid flow control device. 제 13 항에 있어서, 상기 유체 배출 제어 유닛은,
상기 수송 파이프의 제2 파이프 섹션에 유체 연통되고, 상기 유체의 배출을 위해 조절되는 배출 유로를 구비하여 형성되는 튜브형 부재; 및
상기 튜브형 부재 내에 배치되고, 상기 배출 유로를 통한 상기 유체의 흐름을 허용하기 위해 이동형 부재가 상기 배출 유로를 차단하지 않는 제1 위치 및 상기 배출 유로를 통한 상기 유체의 흐름을 방지하기 위해 상기 이동형 부재가 상기 배출 유로를 차단하는 제2 위치 사이에서 이동할 수 있는 상기 이동형 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The method of claim 13, wherein the fluid discharge control unit,
A tubular member in fluid communication with a second pipe section of the transport pipe and formed with a discharge flow path adjusted for discharge of the fluid; And
The movable member is disposed in the tubular member to prevent the flow of the fluid through the discharge passage and a first position in which the movable member does not block the discharge passage to allow the flow of the fluid through the discharge passage. And a movable member movable between a second position blocking the discharge flow path. 제 1 항에 있어서, 상기 소정의 시간 지연은 0.1초부터 5초까지의 범위인 것을 특징으로 하는 유체 유동 제어 장치.The fluid flow control device according to claim 1, wherein the predetermined time delay is in a range from 0.1 second to 5 seconds.
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