KR20200066478A - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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KR20200066478A
KR20200066478A KR1020180152792A KR20180152792A KR20200066478A KR 20200066478 A KR20200066478 A KR 20200066478A KR 1020180152792 A KR1020180152792 A KR 1020180152792A KR 20180152792 A KR20180152792 A KR 20180152792A KR 20200066478 A KR20200066478 A KR 20200066478A
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장희동
조진완
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 기재의 스크라이빙 장치는 지지대; 상기 지지대에 구비되고 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠을 포함하는 스크라이빙 헤드; 상기 지지대에 설치되어 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 상기 스크라이빙 헤드를 수평으로 이동시키고, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판에 대하여 수직으로 이동시키는 구동 유닛; 및 상기 스크라이빙 헤드에서 상기 스크라이빙 휠에 인접한 부분에 결합되어, 상기 스크라이빙 헤드가 상기 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판을 누르는 깊이가 일정하게 유지될 수 있도록 상기 기판의 표면에 밀착되어 상기 기판의 표면에 대한 상기 스크라이빙 휠의 수직 위치를 규제하는 휠 깊이 유지 유닛을 포함한다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정 라인을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 단위 기판으로 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
한편, 최근에는 디스플레이 패널이 박형화되면서 절단될 기판의 두께도 감소하고 있다. 따라서, 스크라이빙 공정도 보다 정밀하게 제어될 필요가 있다. 박형 기판에 종래 기술과 같은 방식으로 스크라이빙 라인을 형성하는 경우, 기판으로의 스크라이빙 휠의 깊이(절입량, 절삭량)를 정밀하게 제어하기 어렵다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 기판으로의 스크라이빙 휠이 깊이를 스크라이빙 라인을 따라 일정하게 유지될 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 스크라이빙 장치는 지지대; 상기 지지대에 구비되고 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠을 포함하는 스크라이빙 헤드; 상기 지지대에 설치되어 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 상기 스크라이빙 헤드를 수평으로 이동시키고, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판에 대하여 수직으로 이동시키는 구동 유닛; 및 상기 스크라이빙 헤드에서 상기 스크라이빙 휠에 인접한 부분에 결합되어, 상기 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 스크라이빙 휠이 상기 기판을 누르는 깊이가 일정하게 유지될 수 있도록 상기 기판의 표면에 밀착되어 상기 기판의 표면에 대한 상기 스크라이빙 휠의 수직 위치를 규제하는 휠 깊이 유지 유닛을 포함한다.
한편, 상기 휠 깊이 유지 유닛은, 블록 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드에 결합되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판에 접촉된 상태를 유지하면서 이동될 수 있다.
한편, 상기 휠 깊이 유지 유닛은 상기 스크라이빙 헤드에 탈착 가능할 수 있다.
한편, 상기 휠 깊이 유지 유닛의 내부에 회전 가능하게 설치되고, 일부분이 상기 휠 깊이 유지 유닛의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 노출될 부분이 상기 기판에 접촉되는 베어링을 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 휠 깊이 유지 유닛은, 롤러 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드에 회전 가능하게 결합되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판에 접촉되어 회전될 수 있다.
한편, 선 형상으로 이루어져서 상기 지지대에 결합되고, 상기 스크라이빙 휠에 인접하도록 위치되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 상기 기판과 상기 휠 깊이 유지 유닛 사이에 개재될 수 있는 하나 이상의 가이드 부재;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 가이드 부재는 두 개이고, 상기 두 개의 가이드 부재는 서로 이격되어 상기 스크라이빙 휠이 상기 두 개의 가이드 부재 사이에 위치되게 할 수 있다.
한편, 상기 가이드 부재는 상기 지지대에 탈착 가능할 수 있다.
한편, 상기 지지대에 설치되어 상기 가이드 부재가 상기 기판에 대해 멀어지거나 가까워지도록 상기 가이드 부재를 승강시키는 승강 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상기 가이드 부재에서 상기 기판과 접촉되는 부분에 설치되어 상기 가이드 부재가 상기 기판에 대해 미끄러지는 것을 방지하는 미끄럼 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 깊이 유지 유닛을 포함한다. 이에 따라, 휠 깊이 유지 유닛에 의해 기판으로의 스크라이빙 휠의 깊이가 스크라이빙 라인을 따라 일정하게 유지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 장치를 도시한 단면도이다.
도 3은 휠 깊이 유지 유닛의 변형예를 도시한 도면이다.
도 4는 휠 깊이 유지 유닛의 다른 변형예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 스크라이빙 장치를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치(100)는 지지대(110), 스크라이빙 헤드(120), 구동 유닛(130) 및 휠 깊이 유지 유닛(140)을 포함한다.
지지대(110)는 스크라이빙 장치(100)를 구성하는 스크라이빙 헤드(120), 구동 유닛(130) 및 휠 깊이 유지 유닛(140)이 결합될 수 있다. 이러한 지지대(110)는 기판(S)이 이송되는 기판 이송 장치(10)에 인접하게 설치될 수 있다. 지지대(110)는 지면 상에 설치되거나, 기판 이송 장치(10)에 결합된 것도 가능할 수 있다. 지지대(110)는 일반적인 스크라이빙 장치에 포함되어 다양한 유닛들이 결합된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
스크라이빙 헤드(120)는 상기 지지대(110)에 결합되고, 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 휠(122)을 포함한다. 더욱 상세하게 설명하면, 스크라이빙 헤드(120)는 휠 홀더(121)를 포함할 수 있다. 휠 홀더(121)에는 스크라이빙 휠(122)이 결합될 수 있다.
한편, 도면에 도시하지는 않았으나, 스크라이빙 헤드(120)는 두 개가 한 쌍을 이룰 수 있다. 두 개의 스크라이빙 헤드(120)가 Z축 방향으로 서로 대향되도록 위치될 수 있다. 기판(S)이 스크라이빙 장치(100)로 이동되는 경우, 두 개의 스크라이빙 헤드(120) 중 하나의 스크라이빙 헤드(120)는 기판(S)의 위에 위치되고, 나머지 하나는 기판(S)의 아래에 위치될 수 있다.
이에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)의 일면(상면) 및 타면(하면)을 가압한 상태에서, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(120)에 대하여 기판(S)이 상대 이동되거나, 기판(S)에 대하여 한 쌍의 스크라이빙 헤드(120)가 상대 이동되기도 하고, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(120) 및 기판이 모두 이동되는 것에 의하여, 기판(S)의 양면에서 서로 대응되는 부분에 스크라이빙 라인이 각각 형성될 수 있다.
구동 유닛(130)은 상기 지지대(110)에 설치되어 상기 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있도록 상기 스크라이빙 헤드(120)를 이동시킬 수 있다. 또한, 구동 유닛(130)은 상기 스크라이빙 휠(122)이 상기 기판(S)에 대해 멀어지거나 가까워지도록 상기 스크라이빙 헤드(120)를 이동시킬 수 있다. 즉, 구동 유닛(130)은 스크라이빙 헤드(120)를 X축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이하에서는, 기판(S)의 폭 방향(좌우 방향)은 X축 방향이고, 기판(S)이 이송되는 방향(전후 방향)은 Y축 방향이며, 기판(S)의 면 방향(상하 방향)은 Z축 방향인 것으로 가정하여 설명하기로 한다.
구동 유닛(130)에 대해 더욱 상세하게 설명하면, 구동 유닛(130)이 스크라이빙 헤드(120)를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록, 구동 유닛(130)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구 중 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(120)는 Z축 방향으로 왕복 이동되고, 스크라이빙 휠(122)도 Z축 방향으로 이동되면서, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 가압하거나 기판(S)으로부터 멀어질 수 있다.
그리고, 구동 유닛(130)이 스크라이빙 헤드(120)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있도록, 구동 유닛(130)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구 중 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 가압한 상태에서 스크라이빙 헤드(120)가 구동 유닛(130)에 의해 X축 방향으로 이동되고, 기판(S) 상에 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
휠 깊이 유지 유닛(140)은 적어도 일부분이 상기 기판(S)에 밀착된다. 휠 깊이 유지 유닛(140)은 상기 스크라이빙 헤드(120)가 상기 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 스크라이빙 휠(122)의 상기 기판(S)에 대한 수직 위치(Z축 방향 위치)를 규제하여 상기 스크라이빙 휠(122)이 상기 기판(S)을 누르는 깊이가 일정하게 유지될 수 있게 한다.
이를 위한 휠 깊이 유지 유닛(140)은 일례로 블록 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드(120)에 결합될 수 있다. 휠 깊이 유지 유닛(140)은 두 개일 수 있으며, 두 개의 휠 깊이 유지 유닛(140)은 스크라이빙 헤드(120)의 측면에 각각 결합될 수 있다. 이러한 두 개의 휠 깊이 유지 유닛(140)은 스크라이빙 헤드(120)를 사이에 두고 Y축 방향으로 나란하도록 위치될 수 있다. 이때, 휠 깊이 유지 유닛(140)은 스크라이빙 헤드(120)에 바로 결합될 수도 있으나, 별도의 샤프트(141)에 의해 결합되는 것도 가능할 수 있다.
휠 깊이 유지 유닛(140)의 형상은 일례로 육면체일 수 있다. 휠 깊이 유지 유닛(140)에서 기판(S)과 접촉되는 부분은 마찰력이 낮은 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 휠 깊이 유지 유닛(140)에서 기판(S)과 접촉되는 부분에는 섬유 소재로 코팅될 수 있다. 이에 따라, 휠 깊이 유지 유닛(140)이 기판(S)의 표면을 따라서 부드럽게 이동될 수 있다. 이러한 휠 깊이 유지 유닛(140)은 기판(S)을 기준으로 최하단부가 스크라이빙 휠(122)의 끝부분보다는 먼 위치에 위치될 수 있다. 휠 깊이 유지 유닛(140)의 최하단부와 스크라이빙 휠(122)의 끝부분의 사이의 거리는 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 누르는 깊이일 수 있다. 즉, 휠 깊이 유지 유닛(140)의 두께에 비례하여, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 누르는 깊이가 증가될 수 있다.
한편, 상기 휠 깊이 유지 유닛(140)은 상기 스크라이빙 헤드(120)에 탈착 가능할 수 있다. 다양한 두께로 이루어진 휠 깊이 유지 유닛(140)들이 구비된 상태에서, 사용자는 상황에 따라 다양한 종류의 휠 깊이 유지 유닛(140)을 스크라이빙 헤드(120)에 결합하여 사용할 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 누르는 깊이를 변경시켜야 하는 경우, 스크라이빙 헤드(120) 전체를 교체할 필요 없이 휠 깊이 유지 유닛(140)만 교체하여 작업을 실시할 수 있다.
이와 같은 휠 깊이 유지 유닛(140)은 상기 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판(S)에 접촉된 상태를 유지하면서 이동될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(122)은 휠 깊이 유지 유닛(140)에 의하여 상기 기판(S)을 누르는 깊이가 일정하게 유지될 수 있으므로, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 과도하게 깊게 누르는 것을 방지할 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치(100)에 포함된 휠 깊이 유지 유닛(140)은 변형예로 베어링(150)을 더 포함할 수 있다.
베어링(150)은 상기 휠 깊이 유지 유닛(140)의 내부에 회전 가능하게 설치되고, 일부분이 상기 휠 깊이 유지 유닛(140)의 외부로 노출되도록 설치될 수 있다. 그리고, 베어링(150)에서 상기 노출될 부분이 상기 기판(S)에 접촉될 수 있다. 휠 깊이 유지 유닛(140)이 스크라이빙 휠(122)과 함께 기판(S)을 따라 이동되는 과정에서 베어링(150)이 기판(S)에 접촉됨으로써, 휠 깊이 유지 유닛(140)이 마찰 없이 자연스럽게 이동될 수 있다. 이러한 베어링(150)은 일례로 유체 베어링, 볼 베어링 및 에어 베어링 중 선택된 어느 하나의 방식으로 이루어진 것일 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치(100)에 포함된 휠 깊이 유지 유닛(340)은 다른 변형예로 롤러 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드(120)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
휠 깊이 유지 유닛(340)은 상기 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판(S)에 접촉되어 회전될 수 있다. 즉, 휠 깊이 유지 유닛(340)은 상기 스크라이빙 헤드(120)와 함께 이동되면서 회전되므로, 기판(S)과의 마찰이 최소화될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(120)가 전술한 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치(100)와 비교하여 더욱 부드럽게 이동될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치(200)는 하나 이상의 가이드 부재(160)를 더 포함할 수 있다.
가이드 부재(160)는 선(Line) 형상으로 이루어져서 상기 지지대(110)에 결합되고, 상기 스크라이빙 휠(122)에 인접하도록 위치될 수 있다. 가이드 부재(160)는 상기 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 상기 기판(S)과 상기 휠 깊이 유지 유닛(140) 사이에 개재될 수 있다.
가이드 부재(160)는 휠 깊이 유지 유닛(140)을 기판(S)에 대해 이격시키고, 휠 깊이 유지 유닛(140)이 기판(S)에 직접적으로 접촉되지 않도록 할 수 있다. 이에 따라, 기판(S)에는 가이드 부재(160)가 접촉되어 이동하지 않고, 휠 깊이 유지 유닛(140)이 가이드 부재(160)의 표면을 따라 이동되므로, 기판(S)이 휠 깊이 유지 유닛(140)에 의하여 흠집에 발생되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 가이드 부재(160)는 두 개이고, 상기 두 개의 가이드 부재(160)는 서로 이격되어 상기 스크라이빙 휠(122)이 상기 두 개의 가이드 부재(160) 사이에 위치되게 할 수 있다. 이때, 스크라이빙 휠(122)의 양측면은 두 개의 가이드 부재(160) 각각과 접촉될 수 있다.
이에 따라, 전술한 바와 같이 가이드 부재(160)는 휠 깊이 유지 유닛(140)을 기판(S)에 대해 이격시킬 뿐만 아니라, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 스크라이빙 휠(122)이 진동이나 외부의 충격에 의하여 Y축 방향으로 흔들리는 것도 방지할 수 있다. 즉, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 더욱 정확하게 형성할 수 있다.
상기 가이드 부재(160)는 상기 지지대(110)에 탈착 가능할 수 있다.
가이드 부재(160)가 지지대(110)에 탈착될 수 있는 방법은 일례로, 도면에 도시하지는 않았으나, 지지대(110)에 가이드 부재(160)의 끝부분이 수용될 수 있는 결합홈(미도시)을 형성하고, 가이드 부재(160)가 결합홈에 결합될 수 있게 하는 것이다. 다만, 가이드 부재(160)가 지지대(110)에 탈착될 수 있는 방법을 이와 같은 구조로 한정하지는 않는다.
다양한 두께로 이루어진 가이드 부재(160)들이 마련된 상태에서, 사용자는 기판(S)의 종류에 따라 다양한 종류의 가이드 부재(160)를 지지대(110)에 결합하여 사용할 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 누르는 깊이를 변경시켜야 하는 경우, 스크라이빙 헤드(120) 전체를 교체할 필요없이 가이드 부재(160)만 교체하여 작업을 실시할 수 있다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치(100)는 승강 유닛(180)을 포함할 수 있다.
승강 유닛(180)은 상기 지지대(110)에 설치되고, 상기 가이드 부재(160)가 상기 기판(S)에 대해 멀어지거나 가까워지도록 상기 가이드 부재(160)를 승강 시킬 수 있다. 승강 유닛(180)은 일례로, 래크 기어와 피니언 기어, 피스톤과 실린더 및 롤러와 밸트 중 선택된 어느 하나의 장치일 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며 대상물을 승강 시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
기판(S)이 본 발명에 따른 스크라이빙 장치(100)로 이송되는 경우, 승강 유닛(180)이 가이드 부재(160)를 기판(S)에서 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 가이드 부재(160)가 기판(S)과 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 스크라이빙 장치(100)가 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서는, 승강 유닛(180)이 가이드 부재(160)를 이동시켜서 가이드 부재(160)가 기판(S)에 밀착되도록 할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치(300)는 미끄럼 방지 부재(170)를 더 포함할 수 있다.
미끄럼 방지 부재(170)는 상기 가이드 부재(160)에서 상기 기판(S)과 접촉되는 부분에 설치될 수 있다. 가이드 부재(160)와 기판(S)이 서로 밀착된 경우, 미끄럼 방지 부재(170)는 상기 가이드 부재(160)가 상기 기판(S)에 대해 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 진동이나 외부의 충격이 가이드 부재(160)나 스크라이빙 헤드(120)에 가해지더라도 스크라이빙 라인이 기판(S) 상의 목표 위치에 정확하게 형성될 수 있다. 이를 위한 미끄럼 방지 부재(170)는 일례로 우레탄, 고무 등의 소재로 이루어진 패드일 수 있다.
전술한 본 발명에 따른 스크라이빙 장치(100)는 휠 깊이 유지 유닛(140)을 포함한다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(122)은 휠 깊이 유지 유닛(140)에 의하여 상기 기판(S)을 누르는 깊이가 일정하게 유지될 수 있으므로, 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 과도하게 깊게 누르는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치(100)는 스크라이빙 휠(122)이 기판(S)을 누르는 깊이를 일정하게 유지하면서 기판(S)에 스크라이빙 라인을 안정적으로 형성할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
100: 스크라이빙 장치
110: 지지대
120: 스크라이빙 헤드
122: 스크라이빙 휠
130: 구동 유닛
140, 240, 340: 휠 깊이 유지 유닛
150: 베어링
160: 가이드 부재
170: 미끄럼 방지 부재
180: 승강 유닛

Claims (8)

  1. 지지대;
    상기 지지대에 구비되고 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠을 포함하는 스크라이빙 헤드;
    상기 지지대에 설치되어 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 상기 스크라이빙 헤드를 수평으로 이동시키고, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판에 대하여 수직으로 이동시키는 구동 유닛; 및
    상기 스크라이빙 헤드에서 상기 스크라이빙 휠에 인접한 부분에 결합되어, 상기 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판의 표면에 밀착되어 상기 기판의 표면에 대한 상기 스크라이빙 휠의 수직 위치를 규제하는 휠 깊이 유지 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 휠 깊이 유지 유닛은, 블록 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드에 결합되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판에 접촉된 상태를 유지하면서 이동되는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 휠 깊이 유지 유닛의 내부에 회전 가능하게 설치되고, 일부분이 상기 휠 깊이 유지 유닛의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 노출될 부분이 상기 기판에 접촉되는 베어링을 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 휠 깊이 유지 유닛은, 롤러 형상으로 이루어지고, 상기 스크라이빙 헤드에 회전 가능하게 결합되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 상기 기판에 접촉되어 회전되는 스크라이빙 장치.
  5. 청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,
    선 형상으로 이루어져서 상기 지지대에 결합되고, 상기 스크라이빙 휠에 인접하도록 위치되며, 상기 스크라이빙 휠이 기판 상에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 상기 기판과 상기 휠 깊이 유지 유닛 사이에 개재될 수 있는 하나 이상의 가이드 부재;를 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 가이드 부재는 두 개이고, 상기 두 개의 가이드 부재는 서로 이격되어 상기 스크라이빙 휠이 상기 두 개의 가이드 부재 사이에 위치되게 하는 스크라이빙 장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 지지대에 설치되어 상기 가이드 부재가 상기 기판에 대해 멀어지거나 가까워지도록 상기 가이드 부재를 승강시키는 승강 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 가이드 부재에서 상기 기판과 접촉되는 부분에 설치되어 상기 가이드 부재가 상기 기판에 대해 미끄러지는 것을 방지하는 미끄럼 방지 부재를 더 포함하는 스크라이빙 장치.
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