KR20200061816A - 점 증발원용 도가니 및 점 증발원 - Google Patents

Abstract

점 증발원용 도가니 및 점 증발원이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증발물질이 수용되는 수용공간과, 상기 수용공간 상부에 결합공간이 마련되고, 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 생성되는 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체와; 내부에 상기 수용공간과 연통되는 확산공간이 마련되고, 상기 결합공간에 내장되어 상기 확산공간의 증발입자를 외부로 토출시키는 분사탭을 포함하는, 점 증발원용 도가니가 제공된다.

Description

점 증발원용 도가니 및 점 증발원{Crucible for point evaporation source and point evaporation source having the same}

본 발명은 점 증발원용 도가니 및 점 증발원에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 점 증발원의 내부에서 증발입자가 누출되는 것을 방지하여 점 증발원의 유지관리를 효율적으로 할 수 있는 점 증발원용 도가니 및 점 증발원에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.

진공열증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 도가니를 가열하여 도가니에서 승화된 증발입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

도 1은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니를 도시하고 있고, 도 2는 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니가 장착된 점 증발원을 도시하고 있다.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니(100)는, 내부에 증발물질이 수용되며 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체(102)와, 도가니 본체(102)의 상단에 결합되어 도가니 본체(102)에서 생성되는 기체 상의 증발입자를 기판을 향하여 분출하는 분사탭(104)과, 도가니 본체(102)와 분사탭(104)을 연결하는 연결부재(105)로 구성된다.

이와 같은 점 증발원용 도가니(100)가, 도 2에 도시된 바와 같이, 점 증발원(110)의 히터부(108) 내부에 장착되는 경우, 도가니 본체(102)와 분사탭(104)의 연결부위가 점 증발원(110) 내부에 위치하게 되어 증착공정이 진행되는 동안 연결부위에서 기체 상의 증발입자가 누출(도 2에서 화살표로 표시하고 있음)되고, 연결부위에서 누출된 증발입자는 점 증발원(110)의 내부를 오염시켜 유지관리 상에 문제를 일으킬 소지가 있다.

고 진공의 진공챔버 내에서 증착 공정이 진행되기 때문에 연결부위에서의 증발입자의 누출은 필연적이며 누출된 증발입자는 점 증발원(110)의 내부에 오염을 일으키게 된다.

본 발명은, 점 증발원의 내부에서 증발입자가 누출되는 것을 방지하여 점 증발원의 유지관리를 효율적으로 할 수 있는 점 증발원용 도가니 및 점 증발원을 제공하고자 한다.

그리고, 도가니에서 증발된 증발입자를 고르게 분산시켜 분사함으로써 기판에 증착되는 증착막의 증착 균일도를 향상시키는 점 증발원용 도가니 및 점 증발원을 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증발물질이 수용되는 수용공간과, 상기 수용공간 상부에 결합공간이 마련되고, 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 생성되는 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체와; 내부에 상기 수용공간과 연통되는 확산공간이 마련되고, 상기 결합공간에 내장되어 상기 확산공간의 증발입자를 외부로 토출시키는 분사탭을 포함하는, 점 증발원용 도가니가 제공된다.

상기 도가니 본체의 최상단에 외주를 따라 외측으로 연장되는 지지플랜지가 형성될 수 있다.

상기 점 증발원용 도가니는, 상기 지지플랜지의 상면과 상기 분사탭의 상면을 커버하도록 상기 지지플랜지에 결합되는 디스크 형상의 제1 리플렉터를 더 포함할 수 있다.

상기 결합공간의 내주에는 암나사부가 형성되고, 상기 분사탭의 외주에는 상기 암나사부에 나사 결합되는 수나사부가 형성되어, 상기 분사탭이 상기 결합공간에 나사 결합될 수 있다.

상기 수용공간의 상단에 내주를 따라 단턱이 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 단턱에 지지되도록 상기 수용공간에 횡방향으로 배치되는 베플 플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 도가니 본체의 하단에는, 상단에서 하단으로 갈수록 단면이 축소되는 원추 형상의 함입부가 형성될 수 있다.

상기 확산공간은, 상단을 향하여 단면이 축소되는 단차부가 연속적으로 형성될 수 있다.

상기 분사탭은, 상기 확산공간 상부에 상단에서 하단을 향하여 단면이 축소되도록 뿔대 형상으로 함입홈이 형성되고, 상기 함입홈의 바닥에는 상기 확산공간과 연통되는 복수의 분사홀이 관통하여 상기 바닥의 외주를 따라 형성되며, 상기 결합공간에 내장되는 디퓨져 바디와; 외주면이 상기 함입홈의 측벽과 이격되도록 상기 함입홈의 바닥에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 뿔대 형상의 확산부를 포함하며, 상기 복수의 분사홀의 중앙의 상기 함입홈의 바닥에 결합되는 디퓨져 헤드를 포함할 수 있다.

상기 분사홀은, 상기 도가니에서 분출되어 상기 분사홀로 유입되는 상기 증발입자가 일정한 방향성을 갖도록 일정 높이로 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 관 상의 제2 리플렉터와; 상기 제2 리플렉터의 내주를 따라 배치되는 히터부와; 상기 도가니 본체의 상단부가 상기 히터부의 내부에 삽입되는 상기 점 증발원용 도가니를 포함하는, 점 증발원이 제공된다.

본 발명의 실시예에에 따르면, 점 증발원의 내부에서 증발입자가 누출되는 것을 방지함으로써 점 증발원의 유지관리를 효율적으로 할 수 있다.

또한, 도가니에서 증발된 증발입자를 고르게 분산시켜 분사함으로써 기판에 증착되는 증착막의 증착 균일도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니를 도시한 도면.
도 2는 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니가 장착된 점 증발원을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 결합 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니가 장착된 점 증발원을 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 결합 단면도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 따른 점 증발원용 도가니 및 점 증발원의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 결합 단면도이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니가 장착된 점 증발원을 도시한 도면이다.

도 3 내지 도 5에는, 도가니(10), 도가니 본체(12), 수용공간(14), 결합공간(16), 단턱(18), 암나사부(20), 지지플랜지(22), 함입부(24), 분사탭(26), 확산공간(28), 단차부(29), 수나사부(30), 노즐공(32), 베플 플레이트(34), 관통공(36), 제1 리플렉터(38), 제2 리플렉터(40), 히터부(42), 디퓨져 바디(44), 분사홀(46), 함입홈(48), 확산부(50), 디퓨져 헤드(52), 결합구(54), 결합홈(56)이 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)는, 내부에 증발물질이 수용되는 수용공간(14)과, 상기 수용공간(14) 상부에 결합공간(16)이 마련되고, 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 생성되는 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체(12)와; 내부에 상기 수용공간(14)과 연통되는 확산공간(28)이 마련되고, 상기 결합공간(16)에 삽입되어 결합되어 상기 확산공간(28)의 증발입자를 외부로 토출시키는 분사탭(26)을 포함한다.

도가니 본체(12)는, 상단이 개방된 용기 형상으로, 도가니 본체(12)의 내부에는 증발물질이 수용되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 증발입자가 도가니 (10)의 개방된 상단을 통해 분출된다. 도가니 본체(12)의 내부는 증발물질이 수용되는 수용공간(14)과, 수용공간(14) 상부에 위치하는 결합공간(16)으로 구획될 수 있는데, 수용공간(14)에는 증발물질이 수용되며 히터부(42)의 가열에 따라 증발물질이 증발되면서 기체 상태의 증발입자가 증발물질 상부 수용공간(14)에 생성되고, 결합공간(16)에는 후술할 분사탭(26)이 내장되어 수용공간(14)의 증발입자가 분사탭(26)을 통해 기판을 향하여 분출된다.

도가니 본체(12)의 하단에는, 상단에서 하단으로 갈수록 단면이 축소되는 원추 형상의 함입부(24)를 형성할 수 있다. 여기서, 함입부(24)의 단면은 함입부(24)가 형성하는 공간을 횡방향으로 절단하였을 경우의 단면을 의미한다.

히터부(42)의 따라 도가니 본체(12)에 충전되어 있는 증발물질이 증발하게 되는데 증착 공정이 진행됨에 따라 도가니 본체(12)에 남아 있는 증발물질의 분포가 달라지게 된다. 즉, 도가니 본체(12)의 중심부와 외곽부에서의 증발물질의 증발량이 달라지고 이에 따라 도가니(10)에 남아 있는 증발물질의 분포가 달라지는 것이다. 이로 인해 도가니(10)에서 생성되는 증발입자의 밀도가 균일하지 않을 수 있다.

본 실시예에서는 도가니 본체(12)의 바닥부에 원추 형상의 함입부(24)를 형성함으로써, 증착 공정을 진행하는 동안 도가니 본체(12)에 잔류하는 증발물질의 분포 형상이 플랫(flat)한 형태로 유지함으로써 도가니 본체(12)에서 생성되는 증발입자의 밀도를 균일하게 유지할 수 있다. 물론, 본 실시예와 달리 도가니 본체(12)의 바닥면을 플랫한 형태로 구성하는 것도 가능하다.

그리고, 도가니 본체(12)의 최상단에 외주를 따라 외측으로 연장되는 지지플랜지(22)를 형성할 수 있는데, 도가니(10)를 점 증발원에 삽입하는 경우 지지플랜지(22)가 점 증발원의 입구에 지지되면서 도가니(10)가 점 증발원에 안착되도록 하기 위함이다.

한편, 지지플랜지(22)의 상면과 분사탭(26)의 상면을 커버하도록 디스크 형상의 제1 리플렉터(38)가 지지플랜지(22)에 결합될 수 있다. 히터부(42)에 의해 도가니(10)가 가열되는 경우, 열 에너지가 도가니 본체(12)의 지지플랜지(22)의 상면와 분사탭(26)의 상면을 거쳐 외부로 방출되는데 이러한 열 에너지의 방출을 방지하기 위해 제1 리플렉터(38)가 지지플랜지(22)에 결합되어 도가니(10)에서 방출되는 열 에너지를 가둬 둘 수 있다. 제1 리플렉터(38)는 탄탈륨(Ta, tantalum), 티타늄(Ti, titanium) 등이 포함하는 재질로 이루어질 수 있다

분사탭(26)은, 내부에 수용공간(14)과 연통되는 확산공간(28)이 마련되고, 결합공간(16)에 내장되어 확산공간(28)의 증발입자를 외부로 토출시킨다. 분사탭(26)은 도가니 본체(12)에서 도가니(10)의 가열에 따라 생성된 증발입자를 기판을 향하여 토출시키기 위한 것으로서, 분사탭(26)의 내부에는 도가니 본체(12)의 수용공간(14)과 연통되는 확산공간(28)이 마련되어 수용공간(14)에서 생성된 증발입자가 수용공간(14)과 확산공간(28)을 채우면서 분사탭(26)의 노즐공(32)을 통해 확산공간(28)의 증발입자가 상향으로 확산되면서 기판으로 분출된다.

본 실시예에 따른 분사탭(26)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 도가니 본체(12) 상단부에 마련된 결합공간(16)에 삽입되어 내장된다. 따라서, 도가니(10) 가열에 따른 증발물질의 증발과정에서 증발입자가 도가니 본체(12)와 분사탭(26)의 결합부위에서 누출이 되더라도, 분사탭(26)이 도가니 본체(12)의 상단의 결합공간(16)에 내장되어 있기 때문에 누출된 증발입자가 점 증발원 내부에 누출되지 않고 도가니(10) 상단 즉, 분사탭(26)의 상단으로 분출되어 점 증발원 내부의 오염을 방지할 수 있다.

분사탭(26)의 확산공간(28)에 상단을 향하여 단면이 축소되는 단차부(29)를 연속적으로 형성할 수 있다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 증발입자가 토출되는 노즐공(32)을 향하여 확산공간(28)의 단면이 축소되는 단차부(29)를 연속적으로 형성하는 것이다. 본 실시예에서는 두 개의 단차부(29)를 형성한 형태를 제시한다.

확산공간(28)에 상단으로 갈수록 단면이 축소되는 단차부(29)를 연속적으로 형성함으로써 수용공간(14)에서 생성된 증발입자가 확산공간(28)의 상단으로 갈수록 압력이 증가하면서 노즐공(32)에서 토출되는 증발입자의 토출 방향성을 일정하게 유지할 수 있다.

이 경우, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 수용공간(14)의 상단에 단턱(18)을 형성하면서 수용공간(14)의 상단도 좁아지도록 하여 수용공간(14)의 상단과 확산공간(28)의 단차부(29)가 연결되면서 연속적으로 단면이 축소되도록 구성할 수도 있다.

도가니 본체(12)에 대해 분사탭(26)을 결합하기 위해, 결합공간(16)의 내주에 암나사부(20)를 형성하고, 분사탭(26)의 외주에는 암나사부(20)에 나사 결합되는 수나사부(30)를 형성하여, 분사탭(26)을 도가니 본체(12)의 결합공간(16)에 나사 결합할 수 있다. 분사탭(26)을 결합공간(16)에 나사 결합함으로써 도가니 본체(12)에서 증발입자가 누출되는 것을 최소화할 수 있다.

한편, 도가니 본체(12)의 수용공간(14) 상단에 베플 플레이트(34)를 배치할 수 있다. 즉, 수용공간(14)의 상단에 내주를 따라 단턱(18)을 형성하고, 베플 플레이트(34)를 단턱(18)에 안착시킴으로써 베플 플레이트(34)를 수용공간(14)에 횡방향으로 배치할 수 있다.

본 실시예의 경우 분사탭(26)을 결합공간(16)에 나사 결합함에 따라 분사탭(26)의 하단이 단턱(18) 상에 놓인 베플 플레이트(34)를 상단을 가압하여 베플 플레이트(34)가 고정되도록 구성하였다.

베플 플레이트(34)는 도가니(10)의 가열에 따라 도가니 본체(12)에서 증발물질이 기화 또는 승화되는 과정에서 증발물질이 작은 덩어리 형태로 튀어 분사탭(26)의 입구나 기판 상에 증착되는 것을 방지한다.

즉, 도가니 본체(12)의 생성되는 증발입자는 베플 플레이트(34)의 관통공(36)을 거쳐 도분사탭(26)으로 이동하고, 작은 덩어리 형태로 튀는 입자는 베플 플레이트(34)가 외부 튀는 것을 방지하게 된다.

베플 플레이트(34)에 형성되는 관통공(36)을 분사탭(26)의 노즐공(32)과 동일 선상에 위치하지 않도록 하여 베플 플레이트(34)의 관통공(36)을 통과하는 작은 덩어리 형태의 입자가 도가니(10)의 외부로 튀는 것을 방지할 수 있다.

도 5에는 본 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)가 장착된 점 증발원이 도시되어 있다. 점 증발원은 관 상의 제2 리플렉터(40)와; 제2 리플렉터(40)의 내주를 따라 배치되는 히터부(42)와; 도가니 본체(12)의 상단부가 제2 리플렉터(40)에 삽입되도록 히터부(42)의 내부에 삽입되는 본 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)를 포함한다.

리플렉터(12)는, 그 내부에 도가니(10)(미도시)가 삽입되며 도가니(10)의 외주면을 둘러싸는 관 상의 부재이다. 참고로, 도가니(10)는 기판에 증착되는 유기물 등의 증발물질을 담는 용기로서 여기서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.

제2 리플렉터(40)는, 상단부와 하단부가 개방된 형태의 관 형태로 구성될 수 있다. 제2 리플렉터(40)의 내부에는 히터부(42)가 위치한다.

제2 리플렉터(40)는, 그 내부에 위치한 히터부(42)에서 방출되는 복사열을 도가니(10) 측으로 반사시키게 된다. 이를 통해, 히터부(42)에서 방출되는 복사열 에너지의 낭비를 최소화할 수 있으며, 복사열 에너지가 도가니(10)를 향해 집중적으로 방출됨으로써 도가니(10) 내 증발물질의 증발 작용을 보다 촉진할 수 있다.

히터부(42)는, 제2 리플렉터(40)의 내주를 따라 배치되어 도가니 본체(12)의 외주를 가열한다. 히터부(42)가 도가니 본체(12)의 외주를 가열함에 따라 수용공간(14)에 수용되어 있던 증발물질이 증발되면서 증발입자가 생성된다.

본 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)는 제2 리플렉터(40)의 내부를 따라 배치된 히터부(42)에 삽입되어 배치되는데, 도가니 본체(12)의 상단부가 히터부(42)에 삽입되도록 점 증발원 도가니(10)가 히터부(42)에 장착된다. 도가니 본체(12)의 결합공간(16)에 상술한 분사탭(26)이 내장되어 있기 때문에 히터부(42)가 도가니 본체(12)의 상단부를 가열하더라도 도가니 본체(12)와 분사탭(26)의 결합부위에서 누출되는 증발입자가 점 증발원 내부에 누출되지 않고 도가니(10) 상단 즉, 분사탭(26)의 상단으로 분출되어 점 증발원 내부의 오염을 방지하게 된다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)의 분해 단면도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(10)의 결합 단면도이다.

도 6 및 도 7에는, 도가니 본체(12), 수용공간(14), 결합공간(16), 단턱(18), 암나사부(20), 지지플랜지(22), 분사탭(26), 확산공간(28), 수나사부(30), 베플 플레이트(34), 관통공(36), 디퓨져 바디(44), 분사홀(46), 함입홈(48), 확산부(50), 디퓨져 헤드(52), 결합구(54), 결합홈(56)이 도시되어 있다.

본 실시예는 도가니에서 토출되는 증발입자를 고르게 분산시키기 위해 분사탭(26)의 형태를 달리한 것으로서, 본 실시예에 따른 분사탭(26)은, 확산공간(28) 상부에 상단에서 하단을 향하여 단면이 축소되도록 뿔대 형상으로 함입홈(48)이 형성되고, 함입홈(48)의 바닥에는 확산공간(28)과 연통되는 복수의 분사홀(46)이 관통하여 바닥의 외주를 따라 형성되며, 결합공간(16)에 내장되는 디퓨져 바디(44)와; 외주면이 함입홈(48)의 측벽과 이격되도록 함입홈(48)의 바닥에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 뿔대 형상의 확산부(50)를 포함하며, 복수의 분사홀(46)의 중앙의 함입홈(48)의 바닥에 결합되는 디퓨져 헤드(52)를 포함한다.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 분사탭(26)도 도가니 본체(12) 상단부에 마련된 결합공간(16)에 삽입되어 내장되도록 구성된다.

도가니 본체(12)에서 생성되는 증발입자의 분포는 도가니 본체(12)의 중심부에서 밀도가 높고 외측으로 갈수록 밀도가 낮아지는 가우스(gauss) 분포를 갖게 되는데, 도가니 본체(12)에서 분출되는 가우스 분포의 증발입자가 바로 기판에 증착되는 경우 기판에 대한 증착정밀도가 낮아진다.

따라서, 본 실시예에서는 디퓨져 바디(44)와 디퓨져 헤드(52)를 통해 도가니(10)에서 분출되는 증발입자를 고르게 분산시켜 기판에 증착되는 증착막의 증착 균일도를 향상시키게 된다.

디퓨져 바디(44)의 상단에는, 확산공간(28)의 상단에서 하단을 향하여 단면이 축소되도록 뿔대 형상으로 함입되어 형성되는 함입홈(48)이 형성되고, 함입홈(48)의 바닥에는 확산공간(28)과 연통되는 복수의 분사홀(46)이 관통하여 바닥의 외주를 따라 형성된다. 디퓨져 바디(44)는 도가니 본체(12)의 결합공간(16) 내에 내장된다.

디퓨져 바디(44)는 도가니 본체(12)의 상단과 결합되며, 도가니 본체(12)에서 분출되는 증발입자가 디퓨져 바디(44)의 분사홀(46)을 통해 유출된다. 분사홀(46)을 통해 유출되는 증발입자는 디퓨져 바디(44)의 함입홈(48)의 내벽과 디퓨져 헤드(52)의 확산부(50)가 형성하는 분출 경로를 통해 확산되면서 기판에 증착된다.

본 실시예에서는 원뿔대(circular truncated cone) 형상의 함입홈(48)이 디퓨져 바디(44)의 상면에 함입되어 형성되어 있고, 이에 따라 복수의 분사홀(46)도 함입홈(48)의 바닥에 환 형을 이루어 형성된다.

디퓨져 바디(44)는 일정 두께를 가질 수 있으며 이에 따라 함입홈(48)의 바닥에 관통하여 형성되는 분사홀(46)이 일정 높이를 갖게 된다. 일정 높이를 갖는 분사홀(46)은 도가니(10)에서 분출되어 분사홀(46)로 유입되는 증발입자가 일정 높이의 분사홀(46)을 거치면서 분사홀(46)의 형성 방향으로 일정한 방향성을 갖고 분사홀(46)에서 분출된다.

디퓨져 헤드(52)는, 외주면이 함입홈(48)의 측벽과 이격되도록 함입홈(48)의 바닥에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 뿔대 형상의 확산부(50)를 구비하며, 복수의 분사홀(46)의 중앙의 함입홈(48)의 바닥에 결합된다.

확산부(50)는, 디퓨져 바디(44)에 형성되는 함입홈(48)의 형상과 상응하여 함입홈(48)의 바닥에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 뿔대 형상으로 형성된다.

함입홈(48)의 측벽과 확산부(50)의 외주면은 서로 대향하여 이격되어 있고 그 사이의 함입홈(48)의 바닥에는 복수의 분사홀(46)이 형성되어 있다. 따라서, 함입홈(48)의 측벽과 확산부(50)의 외주면이 형성하는 공간은 함입홈(48)의 분사홀(46)에서 분출되는 증발입자의 분출 경로를 형성하게 된다.

뿔대 형상의 함입홈(48)의 측벽과 뿔대 형상의 확산부(50)의 외주면이 형성하는 공간은 도가니(10)의 중심에 대해 경사를 이루게 되고 이러한 경사에 의해 증발입자가 확산된다.

본 실시예에 따른 확산부(50)는 원뿔대(circular truncated cone) 형상의 함입홈(48)에 상응하여 원뿔대 형상을 갖는다.

디퓨져 바디(44)와 디퓨져 헤드(52)의 결합을 위하여 함입홈(48)의 바닥에는 결합홈(56)이 형성되고 디퓨져 헤드(52)의 확산부(50)의 하단에는 결합구(54)가 형성되어 있어, 결합구(54)를 결합홈(56)에 삽입하여 결합함으로써 디퓨져 바디(44)에 디퓨져 헤드(52)가 결합될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

10: 도가니 12: 도가니 본체
14: 수용공간 16: 결합공간
18: 단턱 20: 암나사부
22: 지지플랜지 24: 함입부
26: 분사탭 28: 확산공간
29: 단차부 30: 수나사부
32: 노즐공 34: 베플 플레이트
36: 관통공 38: 제1 리플렉터
40: 제2 리플렉터 42: 히터부
44: 디퓨져 바디 46: 분사홀
48: 함입홈 50: 확산부
52: 디퓨져 헤드 54: 결합구
56: 결합홈

Claims (10)

1. 내부에 증발물질이 수용되는 수용공간과, 상기 수용공간 상부에 결합공간이 마련되고, 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 생성되는 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체와;
   내부에 상기 수용공간과 연통되는 확산공간이 마련되고, 상기 결합공간에 내장되어 상기 확산공간의 증발입자를 외부로 토출시키는 분사탭을 포함하는, 점 증발원용 도가니.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 도가니 본체의 최상단에 외주를 따라 외측으로 연장되는 지지플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 지지플랜지의 상면과 상기 분사탭의 상면을 커버하도록 상기 지지플랜지에 결합되는 디스크 형상의 제1 리플렉터를 더 포함하는, 점 증발원용 도가니.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 결합공간의 내주에는 암나사부가 형성되고, 상기 분사탭의 외주에는 상기 암나사부에 나사 결합되는 수나사부가 형성되어,
   상기 분사탭이 상기 결합공간에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 수용공간의 상단에 내주를 따라 단턱이 형성되며,
   상기 단턱에 지지되도록 상기 수용공간에 횡방향으로 배치되는 베플 플레이트를 더 포함하는, 점 증발원용 도가니.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 도가니 본체의 하단에는, 상단에서 하단으로 갈수록 단면이 축소되는 원추 형상의 함입부가 형성되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
7. 제1항에 있어서,
   상기 확산공간은,
   상단을 향하여 단면이 축소되는 단차부가 연속적으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 분사탭은,
   상기 확산공간 상부에 상단에서 하단을 향하여 단면이 축소되도록 뿔대 형상으로 함입홈이 형성되고, 상기 함입홈의 바닥에는 상기 확산공간과 연통되는 복수의 분사홀이 관통하여 상기 바닥의 외주를 따라 형성되며, 상기 결합공간에 내장되는 디퓨져 바디와;
   외주면이 상기 함입홈의 측벽과 이격되도록 상기 함입홈의 바닥에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 뿔대 형상의 확산부를 포함하며, 상기 복수의 분사홀의 중앙의 상기 함입홈의 바닥에 결합되는 디퓨져 헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 분사홀은,
   상기 도가니에서 분출되어 상기 분사홀로 유입되는 상기 증발입자가 일정한 방향성을 갖도록 일정 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원용 도가니.
   
10. 관 상의 제2 리플렉터와;
    상기 제2 리플렉터의 내주를 따라 배치되는 히터부와;
    상기 도가니 본체의 상단부가 상기 히터부의 내부에 삽입되는 제1항 내지 제9항 중 어느 항에 따른 점 증발원용 도가니를 포함하는, 점 증발원.

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