KR20160034740A

KR20160034740A - 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원

Info

Publication number: KR20160034740A
Application number: KR1020140126105A
Authority: KR
Inventors: 박현식
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2014-09-22
Filing date: 2014-09-22
Publication date: 2016-03-30

Abstract

본 발명은 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 상기 중공부가 제1 격벽에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부를 구비하는 하부바디와, 상기 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부를 커버하는 확산부를 구비하고, 상기 확산부와 연통되는 복수의 노즐구가 형성되며, 상기 하부바디의 상부에 결합되는 상부바디 및 상기 수용부를 가열하는 히터가 삽입되도록 상기 제1 격벽 내부에 형성되는 히터 수용부를 포함하는, 증발원용 도가니가 제공된다.

Description

증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원{CRUCIBLE FOR EVAPORATION SOURCE AND EVAPORATION SOURCE INCLUDING THE SAME}

본 발명은 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 도가니에 수용된 증착물질을 균일하게 가열함으로써 증착물질이 균등하게 증발되어 기판에 증착되도록 하여, 증착물질의 비균등 증발에 의한 기판의 품질 저하를 방지할 수 있는 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원을 제공한다.

유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.

유기 전계 발광 소자는, 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.

또한, 유기 전계 발광 소자는, 구성층인 공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층을 제외한 나머지 애노드 및 캐소드 전극이 금속 박막으로 되어 있다.

유기 전계 발광 소자의 유기 박막 및 금속 박막을 증착시키기 위하여 일반적으로 진공열증착법이 사용되고 있는데, 진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니에 수용되는 증착물질을 가열하여 증발되는 증발입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라 대면적 기판에 박막을 균일하게 증착하기 위해 선형 증발원(Linear source)이 사용되고 있다.

종래 기술에 따른 증발원의 경우, 증착물질을 증발입자로 가열하기 위한 열공급은 도가니 외부에 설치되는 가열 히터에 의해 이루어졌다.

그러나, 이러한 방식의 열공급에 의할 경우, 열전달 과정에서 열이 흡수되어 도가니의 중심부에 위치하는 증착물질에 열이 충분히 공급되지 않는 문제점이 있다.

또한, 이러한 도가니 내부의 열전달의 불균형은 도가니 내의 증착물질의 비균등한 증발을 초래하여 기판에 균일한 유기 박막을 형성하기 어려운 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제10- 2006-0111040호(2006. 10. 26 공개)

본 발명은, 도가니에 수용된 증착물질을 균일하게 가열함으로써 증착물질이 균등하게 증발되어 기판에 증착되도록 하여, 증착물질의 비균등 증발에 의한 기판의 품질 저하를 방지할 수 있는 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원을 제공한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 상기 중공부가 제1 격벽에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부를 구비하는 하부바디와, 상기 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부를 커버하는 확산부를 구비하고, 상기 확산부와 연통되는 복수의 노즐구가 형성되며, 상기 하부바디의 상부에 결합되는 상부바디 및 상기 수용부를 가열하는 히터가 삽입되도록 상기 제1 격벽 내부에 형성되는 히터 수용부를 포함하는, 증발원용 도가니가 제공된다.

상기 제1 격벽은 격자상으로 형성될 수 있다.

상기 수용부는, 제2 격벽에 의해 상기 수용부의 내부 공간이 구획될 수 있다.

상기 수용부의 단면은 원형이며, 상기 제2 격벽은 상기 수용부의 내부 공간을 동심원상으로 구획할 수 있다.

상기 제2 격벽은 상기 수용부의 내부 공간을 복수의 허니컴(honey comb) 형상으로 구획할 수 있다.

상기 증착물질은 가열에 따라 용융되는 금속물질이며, 상기 제1 격벽에는 복수의 수용부가 연통되어 용융된 상기 금속물질이 유동하기 위한 이동유로가 형성될 수 있다.

상기 증착물질은 가열에 따라 용융되는 금속물질이며, 상기 제2 격벽에는 구획된 상기 수용부가 연통되어 용융된 상기 금속물질이 유동하기 위한 통공이 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 상기 중공부가 제1 격벽에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질이 수용되며, 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부를 구비하는 하부바디와, 상기 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부를 커버하는 확산부를 구비하고, 상기 확산부와 연통되는 복수의 노즐구가 형성되며 상기 하부바디의 상부에 결합되는 상부바디와, 상기 하부바디와 상기 상부바디 중 하나 이상을 가열하는 제1 히터부와, 상기 제1 격벽의 내부에 삽입되어 상기 복수의 수용부를 가열하는 제2 히터부 및 상기 노즐구와 연결되어 상기 증발입자를 기판을 향해 분사시키는 노즐탭을 포함하는, 증발원이 제공된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 도가니에 수용된 증착물질을 균일하게 가열함으로써 증착물질이 균등하게 증발되어 기판에 증착되도록 하여, 증착물질의 비균등 증발에 의한 기판의 품질 저하를 방지할 수 있는 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원을 제공한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 개략도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ’선에 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 변형예의 평면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 변형예의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 다른 변형예의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 개략도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

이하, 본 발명에 따른 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 증발원을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 개략도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ’선에 따른 단면도이다.

도 1 및 도 2에는, 하부바디(100), 증착물질(110), 제1 격벽(130), 히터 수용부(135), 수용부(150), 제2 격벽(153), 이동유로(170), 가스켓(171, gasket), 체결구(173), 상부바디(200), 노즐구(230), 확산부(250)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 증발원용 도가니는, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 중공부가 제1 격벽(130)에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질(110)이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부(150)를 구비하는 하부바디(100)와, 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 복수의 수용부(150)를 커버하는 확산부(250)를 구비하고, 확산부(250)와 연통되는 복수의 노즐구(230)가 형성되며, 하부바디(100)의 상부에 결합되는 상부바디(200) 및 수용부(150)를 가열하는 히터가 삽입되도록 제1 격벽(130) 내부에 형성되는 히터 수용부(135)를 포함하여, 도가니에 수용된 증착물질(110)을 균일하게 가열함으로써 증착물질(110)이 균등하게 증발되어 기판(400)에 증착되도록 하여, 증착물질(110)의 비균등 증발에 의한 기판(400)의 품질 저하를 방지할 수 있다.

이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여 본 실시예에 따른 증발원용 도가니의 각 구성에 대해 보다 구체적으로 설명하도록 한다.

하부바디(100)는, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 중공부가 제1 격벽(130)에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질(110)이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부(150)를 구비한다.

하부바디(100)는 일변에 비해 인접한 변이 긴 대략 직육면체의 형상이며, 하부바디(100)의 내부에 형성되는 중공부는 하부바디(100)의 형상에 대응되도록 형성된다. 중공부는 증착물질(110)이 수용되는 수용부(150)가 형성되는 공간으로서, 중공부를 직육면체 형상으로 구현함으로써 보다 많은 증착물질(110)이 수용될 수 있어, 대면적 기판(400)의 유기 박막 증착에 유리하다.

수용부(150)는 중공부가 제1 격벽(130)에 의해 구획되어 형성되는 공간으로서 복수로 형성되고, 내부에 증착물질(110)이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출한다. 여기서 증발입자란 증착물질(110)이 히터에 의해 가열되어 승화 또는 기화된 상태의 입자를 의미하는 것으로, 이때 증착물질(110)은 유기물질 또는 금속물질일 수 있다.

제 1격벽은 하부바디(100)의 바닥면에서 돌출 형성되어 중공부를 구획하는 것으로, 중공부를 구획하여 복수의 수용부(150)를 형성한다.

수용부(150)는 내부에 증착물질(110)을 수용하며, 후술할 히터 수용부(135)에 삽입되는 히터에 의해 가열되어 증발입자를 분출한다. 수용부(150)의 크기에 의해 증착물질(110)의 수용량이 정해지며, 수용부(150)는 제 1격벽의 형상 및 배치에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다. 본 실시예의 경우 수용부(150)가 사각형으로 형성되는 경우를 중심으로 설명한다.

상부바디(200)는 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부(150)를 커버하는 확산부(250)를 구비하고, 상기 확산부(250)와 연통되는 복수의 노즐구(230)가 형성되며, 상기 하부바디(100)의 상부에 결합된다.

상부바디(200)는 하부바디(100)와 동일하게 일변에 비해 인접한 변이 긴 대략 직육면체의 형상이며 내부에 확산부(250)를 구비한다. 확산부(250)는 상부바디(200)에 형성되는 중공의 공간으로서, 하부가 개구되어 복수의 수용부(150)를 커버한다. 확산부(250)는 복수의 수용부(150)에서 분출되는 증발입자를 확산시켜 균일하게 분포시킨다.

노즐구(230)는 확산부(250)와 연통되도록 상부바디(200) 상측에 복수로 형성되며, 기판(400)을 향하도록 배치되어 확산부(250)의 증발입자를 기판(400)을 향해 분사시킨다.

하부바디(100)의 상단과 상부바디(200)의 하단에는 외측으로 연장되는 플랜지가 형성될 수 있으며, 플랜지는 서로 면접되도록 마주하게 위치된다. 하부바디(100)와 상부바디(200)는 각각의 플랜지에 형성되는 결합홀(미도시)을 통해 볼트(Bolt), 너트(Nut) 등의 체결구(173)를 이용하여 결합된다.

한편, 하부바디(100) 및 상부바디(200)의 플랜지 사이에는 가스켓(171)이 개재될 수 있으며, 체결구(173)의 조임에 따라 플랜지가 밀착되는데 이때 가스켓(171)이 압착되면서 하부바디(100)와 상부바디(200)를 밀실되도록 체결할 수 있다.

히터 수용부(135)는 수용부(150)를 가열하는 히터가 삽입되는 공간으로서, 제1 격벽(130) 내부에 형성된다. 히터 수용부(135)는 제1 격벽(130)의 형상에 대응하여 형성되고 후술할 제2 히터부(320)와 같은 히터가 삽입되며, 삽입되는 히터에 의해 수용부(150) 내부의 증착물질(110)이 가열된다.

이와 같이, 하부바디(100)를 구획하는 제1 격벽(130)에 히터가 삽입되는 히터 수용부(135)를 구비하여, 수용부(150)에 수용된 증착물질(110)을 균일하게 가열함으로써 증착물질(110)이 균등하게 증발되도록 하고, 증발된 증발입자가 확산부(250)에서 균일하게 분포되도록 하여, 증착물질(110)의 비균등 증발에 의한 기판(400)의 품질 저하를 방지할 수 있다.

본 실시예에서는 증발원용 도가니가 선형 증발원(Linear source)에 사용되는 도가니의 형태를 갖는 것을 제시하고 있으나, 점 증발원(Point source)에 사용되는 도가니인 경우도 가능하다.

도 2는 본 실시예에 따른 증발원용 도가니의 단면도로서, 도 2를 참조하면, 제1 격벽(130)은 격자상으로 형성될 수 있다.

증착물질(110)이 증발입자로 상변화하거나 증발입자가 증착물질(110)로 상변화하는 과정에서 증착물질(110)이 도가니 외벽에 응력을 가하는데, 이러한 증착물질(110)의 상변화에 따라 가해지는 응력의 세기는 도가니에 수용되는 증착물질(110)의 양과 관계가 있다.

본 실시예에 따른 증발원용 도가니는, 복수의 제1 격벽(130)에 의해 중공부가 복수의 수용부(150)로 구획되며, 수용부(150)의 개수가 증가할수록 하나의 수용부(150)에 수용되는 증착물질(110)의 양이 적어지므로, 증착물질(110)의 상변화에 의해 제1 격벽(130) 또는 도가니의 외벽이 받는 응력이 감소하여 제1 격벽(130) 또는 도가니 외벽이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 증착물질(110)은 가열에 따라 용융되는 금속물질일 수 있으며, 제1 격벽(130)에는 복수의 수용부(150)가 연통되어 용융된 금속물질이 유동하기 위한 이동유로(170)가 형성될 수 있다.

수용부(150)에 수용되는 증착물질(110)이 금속물질인 경우 히터에 가열에 따라 고체인 금속물질이 용융되고 기화되어 증발입자로 변하는 상변화 과정을 거치는데, 복수의 수용부(150) 각각에서 증발되는 증발입자의 양이 다른 경우 금속물질의 소모량이 달라지고 이러한 경우 수용부(150)마다 금속물질의 주입시기가 달라지는 문제가 발생할 수 있다. 이동유로(170)는 제1 격벽(130)사이에 복수의 수용부(150)를 연통시키도록 형성되어, 용융된 금속물질이 이동유로(170)를 통해 이동하여 증착 공정 동안 복수의 수용부(150)에 존재하는 금속물질의 양을 동일하게 할 수 있고, 이로써 복수의 수용부(150)의 금속물질의 주입시기를 동일하게 할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 변형예의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 변형예의 측면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 다른 변형예의 평면도이다.

도 3 내지 도 5에는, 하부바디(100), 제1 격벽(130), 히터 수용부(135), 수용부(150), 제2 격벽(153), 통공(157)이 도시되어 있다.

제2 격벽(153)은 수용부(150)의 내부 공간을 구획한다. 제2 격벽(153)은 제1 격벽(130)과 마찬가지로 수용부(150)의 내부 공간을 다수의 공간으로 구획하여, 증착물질(110)의 상변화에 의해 제2 격벽(153) 또는 제1 격벽(130)이 받는 응력을 감소시킴으로써 제2 격벽(153) 또는 제1 격벽(130)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 도 3 및 도 4를 참조하면, 수용부(150)의 단면은 원형이며, 제2 격벽(153)은 수용부(150)의 내부 공간을 동심원상으로 구획할 수 있다.

수용부(150)의 단면이 원형인 경우, 제2 격벽(153)의 단면도 원형으로 형성될 수 있으며, 서로 다른 직경으로 복수로 형성되어 수용부(150)와 동심원상에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 제2 격벽(153)에 의해 구획되는 수용부(150) 내부 공간에 증착물질(110)이 위치한다.

한편, 증착물질(110)은 가열에 따라 용융되는 금속물질이며, 제2 격벽(153)에는 구획된 상기 수용부(150)가 연통되어 용융된 금속물질이 유동하기 위한 통공(157)이 형성될 수 있다.

통공(157)은 제1 격벽(130)에 형성되는 이동유로(170)와 마찬가지로 수용부(150)의 내부 공간을 연통하여 용융된 금속물질이 제2 격벽(153)에 의해 구획된 수용부(150)의 내부 공간을 이동하도록 한다. 수용부(150)는 히터 수용부(135)에 삽입되는 히터에 의해 가열되는데 제1 격벽(130)에 인접하게 위치하는 금속물질이 수용부(150) 중앙에 위치하는 금속물질에 비해 상대적으로 더 가열되어 증발이 더 활발하게 이루어 질 수 있으므로, 용융된 금속물질을 통공(157)을 통해 이동시켜 증착공정동안 제2 격벽(153)에 의해 구획된 수용부(150)의 내부 공간에 존재하는 금속물질의 양을 동일하게 할 수 있고, 이로써 수용부(150) 수용된 금속물질을 끝까지 사용할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 다른 변형예의 평면도이다.

도 5를 참조하면, 제2 격벽(153)은 수용부(150)의 내부 공간을 복수의 허니컴(honey comb) 형상으로 구획할 수 있다.

본 실시예에 따른 수용부(150)는 단면이 사각형으로, 제2 격벽(153)은 수용부(150)의 내부 공간을 허니컴(honey comb) 형상으로 구획하며, 증착물질(110)이 금속물질인 경우 제2 격벽(153)에는 수용부(150)의 내부 공간이 서로 연통되도록 통공(157)이 형성될 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 개략도이다.

도 6에는, 하부바디(100), 증착물질(110), 제1 격벽(130), 히터 수용부(135), 수용부(150), 제2 격벽(153), 이동유로(170), 가스켓(171), 체결구(173), 상부바디(200), 노즐구(230), 확산부(250), 노즐탭(270), 제1 히터부(310), 제2 히터부(320), 기판(400)이 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 증발원은, 상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 중공부가 제1 격벽(130)에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질(110)이 수용되며, 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부(150)를 구비하는 하부바디(100)와, 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 복수의 수용부(150)를 커버하는 확산부(250)를 구비하고, 확산부(250)와 연통되는 복수의 노즐구(230)가 형성되며 하부바디(100)의 상부에 결합되는 상부바디(200)와, 하부바디(100)와 상부바디(200) 중 하나 이상을 가열하는 제1 히터부(310)와, 제1 격벽(130)의 내부에 삽입되어 복수의 수용부(150)를 가열하는 제2 히터부(320) 및 노즐구(230)와 연결되어 증발입자를 기판(400)을 향해 분사시키는 노즐탭(270)을 포함하여, 도가니에 수용된 증착물질(110)을 균일하게 가열함으로써 증착물질(110)이 균등하게 증발되어 기판(400)에 증착되도록 하여, 증착물질(110)의 비균등 증발에 의한 기판(400)의 품질 저하를 방지할 수 있다.

본 실시예에 따른 증발원의 도가니의 구성은 노즐탭(270), 제1 히터부(310) 및 제2 히터부(320)의 구성을 제외하고는 앞선 일 실시예의 구성과 동일하므로, 동일한 구성에 관하여는 앞선 일 실시예의 설명으로 갈음한다.

도 6을 참조하면, 제1 히터부(310)는 하부바디(100)와 상부바디(200) 중 하나 이상을 가열하도록 하부바디(100)와 상부바디(200)의 외주에 인접하게 위치한다. 제1 히터부(310)는 도가니 외벽을 가열하여 수용부(150)에 수용되는 증착물질(110)을 증발시킨다.

제2 히터부(320)는 제1 격벽(130)의 내부에 삽입되어 복수의 수용부(150)를 가열한다. 제 1격벽은 복수의 수용부(150) 사이에 위치하므로, 제2 히터부(320)는 복수의 수용부(150)에 수용된 증착물질(110)을 균일하게 가열할 수 있다.

노즐탭(270)은 상부바디(200)에 형성되는 노즐구(230)와 연결되어 증발입자를 기판(400)을 향해 분사시킨다.

본 실시예에 따른 증발원은, 진공챔버(미도시) 내부에 기판(400)에 대향하여 배치되며, 히터 수용부(135)에 삽입되는 제2 히터에 의해 수용부(150)의 증착물질(110)이 균일하게 가열되어 증발되고, 증발된 증발입자가 확산부(250)에 의해 확산되며, 확산된 증발입자가 노즐탭(270)에 의해 기판(400)에 균일하게 분사됨으로써 증착물질(110)의 비균등 증발에 의한 기판(400)의 품질 저하를 방지할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

100: 하부바디 110: 증착물질
130: 제1 격벽 135: 히터 수용부
150: 수용부 153: 제2 격벽
157: 통공 170: 이동유로
171: 가스켓(gasket) 173: 체결구
200: 상부바디 230: 노즐구
250: 확산부 270: 노즐탭
310: 제1 히터부 320: 제2 히터부
400: 기판

Claims

상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 상기 중공부가 제1 격벽에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질이 수용되며 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부를 구비하는 하부바디;
상기 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부를 커버하는 확산부를 구비하고, 상기 확산부와 연통되는 복수의 노즐구가 형성되며, 상기 하부바디의 상부에 결합되는 상부바디; 및
상기 수용부를 가열하는 히터가 삽입되도록 상기 제1 격벽 내부에 형성되는 히터 수용부를 포함하는, 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 제1 격벽은 격자상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 수용부는,
제2 격벽에 의해 상기 수용부의 내부 공간이 구획되는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
제3항에 있어서,
상기 수용부의 단면은 원형이며,
상기 제2 격벽은 상기 수용부의 내부 공간을 동심원상으로 구획하는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
제3항에 있어서,
상기 제2 격벽은 상기 수용부의 내부 공간을 복수의 허니컴(honey comb) 형상으로 구획하는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 증착물질은 가열에 따라 용융되는 금속물질이며,
상기 제1 격벽에는 복수의 수용부가 연통되어 용융된 상기 금속물질이 유동하기 위한 이동유로가 형성되는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
제3항에 있어서,
상기 증착물질은 가열에 따라 용융되는 금속물질이며,
상기 제2 격벽에는 구획된 상기 수용부가 연통되어 용융된 상기 금속물질이 유동하기 위한 통공이 형성되는 것을 특징으로 하는, 증발원용 도가니.
상부가 개구되는 중공부가 형성되고, 상기 중공부가 제1 격벽에 의해 구획되어 형성되고 내부에 증착물질이 수용되며, 가열에 따라 증발입자를 분출하는 복수의 수용부를 구비하는 하부바디;
상기 증발입자가 확산되도록 하부가 개구되어 상기 복수의 수용부를 커버하는 확산부를 구비하고, 상기 확산부와 연통되는 복수의 노즐구가 형성되며 상기 하부바디의 상부에 결합되는 상부바디;
상기 하부바디와 상기 상부바디 중 하나 이상을 가열하는 제1 히터부;
상기 제1 격벽의 내부에 삽입되어 상기 복수의 수용부를 가열하는 제2 히터부; 및
상기 노즐구와 연결되어 상기 증발입자를 기판을 향해 분사시키는 노즐탭을 포함하는, 증발원.