KR20200045632A - 스토커 장치 - Google Patents

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Abstract

스토커 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 스토커 장치는, 반송물을 지지하는 반송물 지지유닛과, 반송물 지지유닛의 업/다운(up/down) 방향의 이동을 안내하는 마스트유닛과, 마스트유닛에 지지되며 반송물 지지유닛을 업/다운(up/down) 방향으로 이동시키는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛과, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛과 반송물 지지유닛을 연결하며 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛의 파손 시 마스트유닛을 가압하여 반송물 지지유닛의 추락을 방지하는 회동 가압부를 구비하는 회동 가압형 제동유닛을 포함한다.

Description

스토커 장치{STOCKER APPARATUS}
본 발명은, 스토커 장치에 관한 것에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반송물을 승하강시키는 타워형 스토커 장치에서 장치가 파손되더라도 반송물이 추락하는 것을 방지할 수 있는 스토커 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는, 크게 다이오드, 트랜지스터, IC(Integrated Circuit : 직접회로)등 여러 가지가 있는데, 전자제품을 만드는 기본 요소가 된다고 해서 보통 반도체 소자라고 부른다.
다이오드(Diode)는 가장 간단한 반도체 소자로 PN접합으로 되어있고 교류를 직류로 바꾼다거나 전파에서 소리를 끄집어내는 검파 작용을 한다. 트랜지스터는 PNP 또는 NPN 식이 있으며 작은 신호를 크게 하는 증폭작용을 한다.
이러한 개별 소자와는 달리 소자들을 모아 놓은 집적회로는 저장 또는 기억과 연산의 역할을 한다. 트랜지스터나 다이오드를 개별소자라고 부르는 것에 비해 소자들이 모인 반도체를 집적회로라고 한다.
이러한 반도체 제품을 생산하는 공정은, 최초 웨이퍼 제작에서부터 최종완제품까지 크게 4가지 공정으로 구별할 수 있다. 즉, 실리콘(Silicon)원석에서 웨이퍼(wafer)를 제작하는 웨이퍼 제조공정, 제조된 웨이퍼를 이용하여 웨이퍼 표면에 집적회로를 형성하는 웨이퍼 가공공정, 가공된 웨이퍼로 반도체 칩(Chip)을 제작하는 패키지(Package)조립 공정 및 패키지를 모듈(Module)에 부착하여 완전한 기능을 하는 완제품을 제작하는 모듈 조립공정으로 나눌 수 있다.
이러한 많은 공정이 수행되는 반도체 생산라인에서는, 공정과 공정 또는 장치와 장치 사이에서 웨이퍼, 반도체 칩, 반도체 스트립 등의 운반이 이루어지는데, 생산 공정의 효율성을 높이고 높은 청정도를 유지하기 위하여 웨이퍼, 반도체 칩, 반도체 스트립 등은 카세트(cassette), 트레이(tray). 매거진(magazine) 등의 반송물에 담겨진 상태로 운반되는 것이 일반적이다
이러한 반송물은 스토커 시스템에 의해 보관 및 입출되는데, 종래기술 따른 스토커 시스템은, 반송물이 적재되는 선반들과, 선반에 반송물을 인입하거나 선반에서 반송물을 인출하는 스토커 장치를 구비한다. 종래기술에 따른 스토커 시스템에서 선반은 공간활용도를 높이기 위해 상하방향으로 구획되며, 스토커 장치는 타워형으로 마련되어 반송물을 상하방향으로 이동시켜 상하방향으로 구획된 선반들에 반송물을 인입하고 선반들에서 인출된 반송물을 상하방향으로 이동시킨다.
이러한 종래기술에 따른 스토커 장치에는 반송물을 지지하며 반송물을 승하강시키는 리프터가 마련되는데, 반송물의 승하강 과정에서 리프터의 파손 시 리프터와 반송물이 자유낙하하여 대형사고가 발생되는 문제점이 있다.
대한민국 공개공보 제10-2015-0100000호, (2015.09.02.)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 반송물의 업/다운(up/down) 이동과정에서 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛이 파손되더라도 반송물이 추락하는 것을 방지할 수 있는 스토커 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반송물을 지지하는 반송물 지지유닛; 상기 반송물 지지유닛의 업/다운(up/down) 방향의 이동을 안내하는 마스트유닛; 상기 마스트유닛에 지지되며, 상기 반송물 지지유닛을 업/다운(up/down) 방향으로 이동시키는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛; 및 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛과 상기 반송물 지지유닛을 연결하며, 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛의 파손 시 상기 마스트유닛을 가압하여 상기 반송물 지지유닛의 추락을 방지하는 회동 가압부를 구비하는 회동 가압형 제동유닛을 포함하는 스토커 장치가 제공될 수 있다.
상기 회동 가압형 제동유닛은, 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛에 연결되는 구동유닛 연결부; 및 상기 반송물 지지유닛이 결합되며, 상기 회동 가압부가 회동 가능하게 지지되는 제동부를 포함할 수 있다.
상기 구동유닛 연결부는, 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛에 결합되는 결합용 브라켓부; 및 상기 결합용 브라켓부에 지지되며, 상기 결합용 브라켓부에서 돌출되어 마련되는 돌출 샤프트부를 포함할 수 있다.
상기 돌출 샤프트부의 일측 단부는 상기 결합용 브라켓부에 결합되고, 상기 돌출 샤프트부의 타측 단부는 자유단부로 형성될 수 있다.
상기 돌출 샤프트부에는, 상기 돌출 샤프트부의 외주면 일측 표면에서 상기 돌출 샤프트부의 가상의 중심축 방향으로 함몰되어 형성되는 안착용 그루브가 마련될 수 있다.
상기 제동부는, 상기 반송물 지지유닛이 결합되며, 상기 회동 가압부가 회동 가능하게 결합되는 제동 본체부; 및 상기 구동유닛 연결부에 결합되고 상기 회동 가압부에 연결되며, 상기 제동 본체부를 지지하는 본체부용 지지부를 포함할 수 있다.
상기 회동 가압부는 한 쌍으로 마련되며, 상기 제동 본체부의 중앙 영역을 기준으로 대칭되게 배치될 수 있다.
상기 회동 가압부는, 상기 제동 본체부에 회전 가능하게 결합되는 회전축이 마련되는 회동 몸체부; 상기 회동 몸체부에 결합되며, 상기 회전축에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며 중량물; 및 상기 회동 몸체부에 결합되고, 상기 회전축에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며, 상기 마스트유닛에 접촉되는 브레이킹 패드를 포함할 수 있다.
상기 회전축은 상기 중량물과 상기 브레이킹 패드의 사이에 위치될 수 있다.
상기 본체부용 지지부는 와이어로 마련되며, 상기 회동 몸체부에는 상기 와이어가 관통하는 와이어 관통공이 마련될 수 있다.
상기 제동부는, 상기 제동 본체부에 마련되며, 상기 회동 가압부에 접촉되어 상기 회동 가압부의 회동 각도를 제한하는 각도 제한 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 마스트유닛은, 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛을 지지하는 마스트 프레임부; 및 상기 마스트 프레임부에서 돌출되어 마련되며, 상기 회동 가압부에 가압되는 마찰용 돌출부를 포함할 수 있다.
상기 마찰용 돌출부는, 한 쌍으로 마련되어 상호 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다.
상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛은, 상기 마스트 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상하로 이격 배치되게 마련되는 한 쌍의 풀리부; 상기 한 쌍의 풀리부를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터부; 및 상기 회동 가압형 제동유닛에 결합되며, 상기 한 쌍의 풀리부에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 벨트부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛의 파손 시 마스트유닛을 가압하여 반송물 지지유닛의 추락을 방지하는 회동 가압부를 포함하는 회동 가압형 제동유닛을 구비함으로써, 반송물의 업/다운(up/down) 이동과정에서 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛이 파손되더라도 반송물 및 반송물 지지유닛이 추락하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치가 도시된 정면도이다.
도 2는 도 1의 측면도이다.
도 3은 도 1의 회동 가압형 제동유닛이 도시된 도면이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 도 1의 벨트부의 파절 시 회동 가압부가 회동된 상태가 도시된 도면이다.
도 6은 도 5의 회동 가압부의 회동에 의해 브레이킹 패드가 마찰용 돌출부에 접촉된 상태가 도시된 도면이다.
도 7은 도 3의 즉석밥 제조장치의 내부를 확대한 도면이다.
도 8 및 도 9는 도 3의 각도 제한 스토퍼에 의한 회동 가압부의 회동 각도 제한이 도시된 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치가 도시된 정면도이고, 도 2는 도 1의 측면도이며, 도 3은 도 1의 회동 가압형 제동유닛이 도시된 도면이고, 도 4는 도 3의 측면도이며, 도 5는 도 1의 벨트부의 파절 시 회동 가압부가 회동된 상태가 도시된 도면이고, 도 6은 도 5의 회동 가압부의 회동에 의해 브레이킹 패드가 마찰용 돌출부에 접촉된 상태가 도시된 도면이며, 도 7은 도 3의 즉석밥 제조장치의 내부를 확대한 도면이고, 도 8 및 도 9는 도 3의 각도 제한 스토퍼에 의한 회동 가압부의 회동 각도 제한이 도시된 도면이다. 도 2에서 회동 가압형 제동유닛의 측면을 용이하게 도시하기 위해 마스트유닛의 일부를 단면으로 처리하였다.
본 실시예에 따른 스토커 장치는, 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 반송물(미도시)을 지지하는 반송물 지지유닛(110)과, 반송물 지지유닛(110)의 업/다운(up/down) 방향의 이동을 안내하는 마스트유닛(120)과, 마스트유닛(120)에 지지되며 반송물 지지유닛(110)을 업/다운(up/down) 방향으로 이동시키는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)과, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)과 반송물 지지유닛(110)을 연결하며 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 마스트유닛(120)을 가압하여 반송물 지지유닛(110)의 추락을 방지하는 회동 가압부(150)를 구비하는 회동 가압형 제동유닛(140)을 포함한다.
이러한 스토커 장치는, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 회동 가압부(150)가 회동되어 마스트유닛(120)을 가압하여 반송물 지지유닛의 추락을 방지함으로써, 반송물(미도시)의 업/다운(up/down) 이동과정에서 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)이 파손되더라도 반송물 및 반송물 지지유닛(110)이 추락하는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.
반송물(미도시)은 반도체 칩, 반도체 스트립 등을 수용하는 카세트(cassette), 트레이(tray). 매거진(magazine) 등이 해당된다.
반송물 지지유닛(110)은 반송물(미도시)을 지지한다. 이러한 반송물 지지유닛(110)은, 반송물(미도시)을 포킹(forking)하는 포크부(미도시)와, 회동 가압형 제동유닛(140)에 결합되며 포크부(미도시)를 지지하는 포크부용 브라켓(111)을 포함한다.
마스트유닛(120)은 반송물 지지유닛(110)의 업/다운(up/down) 방향의 이동을 안내한다. 이러한 마스트유닛(120)은, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)을 지지하는 마스트 프레임부(121)와, 마스트 프레임부(121)에서 돌출되어 마련되며 회동 가압부(150)에 가압되는 마찰용 돌출부(122)를 포함한다.
마스트 프레임부(121)는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)을 지지한다. 이러한 마스트 프레임부(121)는 기둥 형상으로 마련되며, 마스트 프레임부(121)에는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)이 지지된다.
마찰용 돌출부(122)는 마스트 프레임부(121)의 일측벽에서 돌출되어 마련된다. 이러한 마찰용 돌출부(122)는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 회동 가압부(150)에 접촉된다. 이러한 마찰용 돌출부(122)는 플레이트 형상으로 마련되며 마스트 프레임부(121)의 길이 방향으로 길게 연장된다.
본 실시예에서 마찰용 돌출부(122)는, 한 쌍으로 마련되어 상호 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다. 이러한 한 쌍의 마찰용 돌출부(122)는 마스트 프레임부(121)의 가상의 중심 축선을 기준으로 상호 대칭되게 이격되어 배치된다.
한편, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)은 마스트유닛(120)에 지지된다. 이러한 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)은 반송물 지지유닛(110)을 업/다운(up/down) 방향으로 이동시킨다.
본 실시예에서 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)은, 마스트 프레임부(121)에 지지되며 상하로 이격 배치되게 마련되는 한 쌍의 풀리부(미도시)와, 한 쌍의 풀리부(미도시)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터부(미도시)와, 회동 가압형 제동유닛(140)에 결합되며 한 쌍의 풀리부(미도시)에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 벨트부(131)와, 회동 가압형 제동유닛(140)에 결합되는 이동블록(132)과, 마스트 프레임부(121)에 지지되고 이동블록(132)이 슬라이딩 이동 가능하게 연결되어 이동블록(132)의 이동을 안내하는 가이드 레일(133)을 포함한다.
한 쌍의 풀리부(미도시)는 마스트 프레임부(121)에 지지되며 상하로 이격되어 배치된다. 이러한 한 쌍의 풀리부(미도시)는 마스트 프레임부(121)에 회전 가능하게 결합된다.
구동모터부(미도시)는, 마스트 프레임부(121)에 지지되며, 풀리부(미도시)에 연결되어 풀리부(미도시)에 회전 구동력을 전달한다.
벨트부(131)는 회동 가압형 제동유닛(140)에 결합된다. 이러한 벨트부(131)는 한 쌍의 풀리부(미도시)에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되어 벨트부(131)에 연결된 반송물 지지유닛(110)을 상하방향으로 이동시킨다.
이동블록(132)은 회동 가압형 제동유닛(140)에 결합된다. 이러한 이동블록(132)은 가이드 레일(133)에 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다. 이러한 이동블록(132)의 이동에 따라 회동 가압형 제동유닛(140)에 연결된 반송물 지지유닛(110)이 이동된다.
한편, 회동 가압형 제동유닛(140)은, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)과 반송물 지지유닛(110)을 연결하며, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 마스트유닛(120)을 가압하여 반송물 및 반송물 지지유닛(110)의 추락을 방지한다.
이러한 회동 가압형 제동유닛(140)은, 도 5 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 마스트유닛(120)을 가압하여 반송물 지지유닛(110)의 추락을 방지하는 회동 가압부(150)와, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)에 연결되는 구동유닛 연결부(160)와, 반송물 지지유닛(110)이 결합되며 회동 가압부(150)가 회동 가능하게 지지되는 제동부(180)를 포함한다.
구동유닛 연결부(160)는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)에 연결된다. 이러한 구동유닛 연결부(160)는, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)에 결합되는 결합용 브라켓부(161)과, 결합용 브라켓부(161)에 지지되며 결합용 브라켓부(161)에서 돌출되어 마련되는 돌출 샤프트부(162)를 포함한다.
결합용 브라켓부(161)는, 도 1 내지 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 벨트부(131)에 결합된다. 본 실시예에서 결합용 브라켓부(161)는 벨트부(131)를 사이에 두고 배치되는 한 쌍의 플레이트로 마련되어 결합용 볼트(미도시)에 의해 체결되어 벨트부(131)에 결합된다.
돌출 샤프트부(162)는 결합용 브라켓부(161)에 결합된다. 이러한 돌출 샤프트부(162)는 결합용 브라켓부(161)에서 돌출되어 마련된다. 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 돌출 샤프트부(162)의 일측 단부는 결합용 브라켓부(161)에 결합되고, 돌출 샤프트부(162)의 타측 단부는 자유단부를 형성한다.
이러한 돌출 샤프트부(162)에는 돌출 샤프트부(162)의 외주면 일측 표면에서 돌출 샤프트부의 가상의 중심축 방향으로 함몰되어 형성되는 안착용 그루브(163)가 마련된다. 이러한 안착용 그루브(163)에는 제동부(180)의 후술할 본체부용 지지부(182)가 안착된다. 이렇게 안착용 그루브(163)에 배치된 본체부용 지지부(182)는 안착용 그루브(163)의 측벽에 간섭되어 돌출 샤프트부(162)의 길이방향으로 이동되는 것이 제한된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 돌출 샤프트부(162)에는 본체부용 지지부(182)가 안착되는 안착용 그루브(163)가 마련됨으로써, 돌출 샤프트부(162)와 본체부용 지지부(182)의 결합안정성을 높일 수 있는 이점이 있다.
제동부(180)에는 반송물 지지유닛(110)이 결합된다. 또한, 제동부(180)에는 회동 가압부(150)가 회동 가능하게 결합된다. 본 실시예에서 제동부(180)는, 도 3 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 반송물 지지유닛(110)이 결합되며 회동 가압부(150)가 회동 가능하게 결합되는 제동 본체부(181)와, 구동유닛 연결부(160)에 결합되고 회동 가압부(150)에 연결되며 제동 본체부(181)를 지지하는 본체부용 지지부(182)와, 제동 본체부(181)에 마련되며 회동 가압부(150)에 접촉되어 회동 가압부(150)의 회동 각도를 제한하는 각도 제한 스토퍼(155)를 포함한다.
제동 본체부(181)의 하부면에는 반송물 지지유닛(110)이 결합된다. 이러한 제동 본체부(181)에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 이동블록(132)에 결합되어 제동 본체부(181)의 상하방향의 이동이 안내된다.
또한, 제동 본체부(181)에는, 도 3 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 회동 가압부(150)가 회동 가능하게 결합된다. 이러한 제동 본체부(181)는 내부가 중공된 사각의 박스 형상으로 마련된다. 본 실시예의 제동 본체부(181)의 상단부 영역의 가장자리 쪽에 회동 가압부(150)가 위치한다.
본체부용 지지부(182)는 구동유닛 연결부(160)에 결합된다. 이러한 본체부용 지지부(182)는 회동 가압부(150)에 연결되며 제동 본체부(181)를 지지한다. 본체부용 지지부(182)는 와이어로 마련되는데, 본 실시예에서 본체부용 지지부(182)는 금속재질의 와이어로 마련될 수 있다.
이러한 본체부용 지지부(182)의 상단부 영역은 안착용 그루브(163)에 안착되어 돌출 샤프트부(162)에 결합되며, 본체부용 지지부(182)의 하단부 영역은 회동 가압부(150)의 후술할 와이어 관통공(151a)을 관통하여 회동 가압부(150)에 결합된다.
각도 제한 스토퍼(155)는 제동 본체부(181)에 마련된다. 이러한 각도 제한 스토퍼(155)는 회동 가압부(150)에 접촉되어 회동 가압부(150)의 회동 각도를 제한한다.
본 실시예에서 각도 제한 스토퍼(155)는, 도 3 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 원통형의 핀(pin) 형상으로 마련되며 회동 가압부(150)의 회동 과정에서 회동 가압부(150)에 접촉되어 회동 가압부(150)가 소정의 각도 이상으로 회동되는 것을 제한한다.
이러한 각도 제한 스토퍼(155)는 회동 가압부(150)의 회전 각도를 제한하여 회동 가압부(150)가 필요 이상으로 회동되어 회동 가압부(150)의 후술할 브레이킹 패드(154)가 마찰용 돌출부(122)에서 이탈되는 것을 방지한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 회동 가압부(150)의 회동 각도를 제한하는 각도 제한 스토퍼(155)를 구비함으로서, 회동 가압부(150)가 마찰용 돌출부(122)를 가압하는 각도 이상으로 회전되어 회동 가압부(150)의 가압이 해제되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예에서 회동 가압부(150)는, 한 쌍으로 마련되어 제동 본체부(181)의 중앙 영역을 기준으로 대칭되게 배치된다. 이러한 회동 가압부(150)는 플레이트 형상으로 마련된다.
본 실시예에서 회동 가압부(150)는, 도 3 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 제동 본체부(181)에 회전 가능하게 결합되는 회전축(152)이 마련되는 회동 몸체부(151)와, 회동 몸체부(151)에 결합되며 회전축(152)에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며 중량물(153)과, 회동 몸체부(151)에 결합되고 회전축(152)에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며 마스트유닛(120)에 접촉되는 브레이킹 패드(154)를 포함한다.
회동 몸체부(151)에는 제동 본체부(181)에 회전 가능하게 결합되는 회전축(152)이 마련된다. 이러한 회전축(152)과 제동 본체부(181)는 베어링(미도시)을 통해 연결되어 회동 가압부(150)의 회동을 더욱 원활하게 한다.
본 실시예에서 회전축(152)은 중량물(153)과 브레이킹 패드(154)의 사이에 위치된다. 이와 같이 회전축(152)이 중량물(153)과 브레이킹 패드(154)의 사이에 위치됨으로써, 회동 가압부(150)에 연결된 벨트부(131)가 파손되어 본체부용 지지부(182)가 회동 가압부(150)를 지지하지 못하는 경우 회동 가압부(150)가 회전축(152)을 기준으로 중량물(153)이 있는 방향쪽으로 회동된다.
또한, 회동 몸체부(151)에는 상술한 본체부용 지지부(182)가 관통하는 와이어 관통공(151a)이 마련된다.
중량물(153)은 회동 몸체부(151)에 결합된다. 이러한 중량물(153)은 회전축(152)에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다. 본 실시예에서 중량물(153)은 회동 몸체부(151)의 밀도보다 높은 밀도를 가지는 재질로 마련됨으로써, 회동 가압부(150)에 연결된 벨트부(131)의 파손되어 본체부용 지지부(182)가 회동 가압부(150)를 지지하지 못하는 경우 회동 가압부(150)가 회전축(152)을 기준으로 중량물(153)이 있는 방향쪽으로 회동될 수 있도록 한다.
브레이킹 패드(154)는 회동 몸체부(151)에 결합된다. 이러한 브레이킹 패드(154)는 회전축(152)에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다. 이러한 브레이킹 패드(154)는 회동 가압부(150)에 연결된 벨트부(131)의 파손되어 본체부용 지지부(182)가 회동 가압부(150)를 지지하지 못하는 경우 회동 몸체부(151)의 회전에 따라 회전되어 마찰용 돌출부(122)에 접촉된다.
본 실시예에서 브레이킹 패드(154)는 접지력 및 마찰력을 높이기 위해 우레탄(urethane) 재질로 마련된다.
이하에서 본 실시예에 따른 스토커 장치의 동작을 도 1 내지 도 8을 참고하여 설명한다.
스토커 장치의 정상적인 작동 시 회동 가압부(150)는 본체부용 지지부(182)에 지지되어 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같은 자세를 이룬다. 즉, 정상적인 작동 시 벨트부(131)에 회동 가압형 제동유닛(140) 및 반송물(미도시) 등의 하중이 인가되고, 이러한 하중과 본체부용 지지부(182)가 회동 가압부(150)를 상측으로 당기는 인장력이 평형을 이루어 회동 가압부(150)는 회동되지 않는다. 따라서, 회동 가압부(150)의 브레이킹 패드(154)는 마찰용 돌출부(122)에 접촉되지 않는다.
다음, 스토커 장치의 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130) 파손, 예를 들어 벨트부(131)가 절단되는 경우 벨트부(131)와 회동 가압부(150)와의 연결이 끊어지고, 그에 따라 본체부용 지지부(182)가 회동 가압부(150)를 상측으로 당기는 인장력이 사라져 회동 가압부(150)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 회동된다.
이러한 회동 가압부(150)의 회동에 의해 도 6에 도시된 바와 같이 브레이킹 패드(154)가 마찰용 돌출부(122)에 접촉되어 마찰용 돌출부(122)의 표면을 가압함으로써, 회동 가압형 제동유닛(140)이 아래쪽으로 추락하지 않고 정지상태를 유지할 수 있고, 그에 따라 반송물(미도시)과 반송물 지지유닛(110)이 아래쪽으로 자유낙하하지 않게 된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)의 파손 시 마스트유닛(120)을 가압하여 반송물 지지유닛(110)의 추락을 방지하는 회동 가압부(150)를 포함하는 회동 가압형 제동유닛(140)을 구비함으로써, 반송물(미도시)의 업/다운(up/down) 이동과정에서 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛(130)이 파손되더라도 반송물 및 반송물 지지유닛(110)이 추락하는 것을 방지할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110: 반송물 지지유닛 111: 포크부용 브라켓
120: 마스트유닛 121: 마스트 프레임부
122: 마찰용 돌출부
130: 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛
131: 벨트부 132: 이동블록
133: 가이드 레일
140: 회동 가압형 제동유닛
150: 회동 가압부 151: 회동 몸체부
151a: 와이어 관통공 152: 회전축
153: 중량물 154: 브레이킹 패드
155: 각도 제한 스토퍼 160: 구동유닛 연결부
161: 결합용 브라켓부 162: 돌출 샤프트부
163: 안착용 그루브 180: 제동부
181: 제동 본체부 182: 본체부용 지지부

Claims (14)

  1. 반송물을 지지하는 반송물 지지유닛;
    상기 반송물 지지유닛의 업/다운(up/down) 방향의 이동을 안내하는 마스트유닛;
    상기 마스트유닛에 지지되며, 상기 반송물 지지유닛을 업/다운(up/down) 방향으로 이동시키는 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛; 및
    상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛과 상기 반송물 지지유닛을 연결하며, 상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛의 파손 시 상기 마스트유닛을 가압하여 상기 반송물 지지유닛의 추락을 방지하는 회동 가압부를 구비하는 회동 가압형 제동유닛을 포함하는 스토커 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회동 가압형 제동유닛은,
    상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛에 연결되는 구동유닛 연결부; 및
    상기 반송물 지지유닛이 결합되며, 상기 회동 가압부가 회동 가능하게 지지되는 제동부를 포함하는 스토커 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동유닛 연결부는,
    상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛에 결합되는 결합용 브라켓부; 및
    상기 결합용 브라켓부에 지지되며, 상기 결합용 브라켓부에서 돌출되어 마련되는 돌출 샤프트부를 포함하는 스토커 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 돌출 샤프트부의 일측 단부는 상기 결합용 브라켓부에 결합되고, 상기 돌출 샤프트부의 타측 단부는 자유단부를 형성하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 돌출 샤프트부에는,
    상기 돌출 샤프트부의 외주면 일측 표면에서 상기 돌출 샤프트부의 가상의 중심축 방향으로 함몰되어 형성되는 안착용 그루브가 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제동부는,
    상기 반송물 지지유닛이 결합되며, 상기 회동 가압부가 회동 가능하게 결합되는 제동 본체부; 및
    상기 구동유닛 연결부에 결합되고 상기 회동 가압부에 연결되며, 상기 제동 본체부를 지지하는 본체부용 지지부를 포함하는 스토커 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 회동 가압부는 한 쌍으로 마련되며, 상기 제동 본체부의 중앙 영역을 기준으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 회동 가압부는,
    상기 제동 본체부에 회전 가능하게 결합되는 회전축이 마련되는 회동 몸체부;
    상기 회동 몸체부에 결합되며, 상기 회전축에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며 중량물; 및
    상기 회동 몸체부에 결합되고, 상기 회전축에 대해 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며, 상기 마스트유닛에 접촉되는 브레이킹 패드를 포함하는 스토커 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 회전축은 상기 중량물과 상기 브레이킹 패드의 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 본체부용 지지부는 와이어로 마련되며,
    상기 회동 몸체부에는 상기 와이어가 관통하는 와이어 관통공이 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 제동부는,
    상기 제동 본체부에 마련되며, 상기 회동 가압부에 접촉되어 상기 회동 가압부의 회동 각도를 제한하는 각도 제한 스토퍼를 더 포함하는 스토커 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 마스트유닛은,
    상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛을 지지하는 마스트 프레임부; 및
    상기 마스트 프레임부에서 돌출되어 마련되며, 상기 회동 가압부에 가압되는 마찰용 돌출부를 포함하는 스토커 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 마찰용 돌출부는, 한 쌍으로 마련되어 상호 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 업/다운(up/down) 이동용 구동유닛은,
    상기 마스트 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상하로 이격 배치되게 마련되는 한 쌍의 풀리부;
    상기 한 쌍의 풀리부를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터부; 및
    상기 회동 가압형 제동유닛에 결합되며, 상기 한 쌍의 풀리부에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 벨트부를 포함하는 스토커 장치.

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10335424A (ja) * 1997-04-03 1998-12-18 Tokyo Electron Ltd 昇降機構およびキャリア搬送装置
KR20080019899A (ko) * 2006-08-29 2008-03-05 주식회사 에스에프에이 스토커 장치
KR20100051440A (ko) * 2008-11-07 2010-05-17 주식회사 에스에프에이 이송장치
KR20180047089A (ko) * 2016-10-31 2018-05-10 세메스 주식회사 브레이크 모듈을 포함하는 타워 리프트
KR102015010B1 (ko) 2017-02-16 2019-08-27 빛생활연구소 주식회사 조명그룹의 이상 감지 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10335424A (ja) * 1997-04-03 1998-12-18 Tokyo Electron Ltd 昇降機構およびキャリア搬送装置
KR20080019899A (ko) * 2006-08-29 2008-03-05 주식회사 에스에프에이 스토커 장치
KR20100051440A (ko) * 2008-11-07 2010-05-17 주식회사 에스에프에이 이송장치
KR20180047089A (ko) * 2016-10-31 2018-05-10 세메스 주식회사 브레이크 모듈을 포함하는 타워 리프트
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