KR20200032631A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

(과제) 노즐의 하방에 형성된 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판의 상면에 처리액을 공급하는 기판 처리 장치에 있어서, 정전에 의해 노즐이 낙하하여 기판의 상면과 접촉하는 것을 효과적으로 방지한다.
(해결 수단) 노즐을 상하 방향으로 승강 구동시키는 승강부는, 상하 방향으로 연장 형성되는 볼나사축과, 볼나사축과 나사 결합된 상태에서 노즐에 연결되는 브래킷을 갖는 볼나사 기구와, 볼나사축을 회전 구동시키는 전동 모터와, 정전시에 전동 모터 또는 볼나사축에 브레이크를 거는 브레이크 기구와, 정전시에 노즐의 자중에 의한 낙하에 수반하여 회전하려고 하는 볼나사축에 대해 회전을 규제하는 부하 이너셔를 부가하여 볼나사축의 회전을 억제하는 회전 억제 기구를 가지고 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 노즐의 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판의 상면에 처리액을 공급하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
노즐로부터 처리액을 기판에 공급하는 기판 처리 장치의 일례로서, 예를 들어 일본 공개특허공보 2018-114476호에 기재된 도포 장치가 알려져 있다. 이 도포 장치에서는, 노즐의 하방에 형성된 토출구를 기판의 상면을 향하게 한 상태에서 노즐은 기판의 상방에서 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 노즐의 하방단이 기판의 상면과 근접하도록 노즐을 도포 위치에 위치 결정한 상태에서 노즐에 대해 기판을 상대적으로 수평 이동시키면서 노즐의 토출구로부터 처리액을 기판의 상면에 공급한다. 이렇게 하여, 기판의 상면에 처리액을 도포하여 도포막을 형성한다.
일본 공개특허공보 2018-114476호에 기재된 장치에서는, 도포 처리는 노즐을 도포 위치에 위치 결정하여 실시된다. 이 때문에, 도포 처리 중에 정전이 발생하여, 기판 처리 장치에 대한 전력 공급이 정지되면, 노즐이 낙하하여 노즐의 하방단이 기판과 접촉할 가능성이 있다. 그래서, 예를 들어 노즐을 승강시키는 구동원으로서 브레이크가 장착된 전동 모터를 사용하여, 정전시에 브레이크를 작동시키는 등의 낙하 대책을 채용하는 것이 고려된다. 그러나, 브레이크에 관한 구체적인 기재는 일본 공개특허공보 2018-114476호에 포함되어 있지 않다.
또, 정전과 동시에 브레이크를 작동시키도록 브레이크가 장착된 전동 모터에 지령하였다고 해도, 즉시 브레이크를 작용시키는 것은 어려워, 지령 접수로부터 일정 시간이 경과한 후가 아니면 브레이크가 유효하게 작용하지 않는다. 요컨대, 정전으로부터 브레이크가 작용할 때까지는 타임래그가 존재하고 있다. 따라서, 예를 들어 도 2 의 (a) 란에 나타내는 바와 같이, 타임래그 (ΔT) 동안에 노즐이 낙하하여 기판과 접촉한다는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 노즐의 하방에 형성된 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판의 상면에 처리액을 공급하는 기판 처리 장치에 있어서, 정전에 의해 노즐이 낙하하여 기판의 상면과 접촉하는 것을 효과적으로 방지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태는, 기판 처리 장치로서, 하방에 토출구를 갖고, 토출구를 기판의 상면을 향하게 한 상태에서 기판의 상방에 있어서 자유롭게 승강할 수 있게 형성되는 노즐과, 노즐을 상하 방향으로 승강 구동시키는 승강부와, 노즐에 처리액을 공급하여 노즐의 토출구로부터 처리액을 토출시키는 처리액 공급부를 구비하고, 승강부는, 상하 방향으로 연장 형성되는 볼나사축과, 볼나사축에 나사 결합된 상태에서 노즐에 연결되는 브래킷을 갖는 볼나사 기구와, 볼나사축을 회전 구동시키는 전동 모터와, 정전시에 전동 모터 또는 볼나사축에 브레이크를 거는 브레이크 기구와, 정전시에 노즐의 자중에 의한 낙하에 수반하여 회전하려고 하는 볼나사축에 대해 회전을 규제하는 부하 이너셔를 부가하여 볼나사축의 회전을 억제하는 회전 억제 기구를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
이와 같이 구성된 발명에서는, 정전의 발생과 함께 브레이크 기구가 전동 모터 또는 볼나사축에 브레이크를 건다. 또, 브레이크가 작용할 때까지 타임래그가 발생하는 경우가 있고, 그 동안, 노즐은 자중에 의해 낙하하려고 한다. 그러나, 회전 억제 기구가 볼나사축에 대해 회전을 규제하는 부하 이너셔를 부가하여 볼나사축의 회전을 억제한다. 그 결과, 브레이크가 작용할 때까지의 동안에 노즐이 낙하하는 낙하량이 낮게 억제된다.
이상과 같이, 정전에 의해 노즐이 낙하하여 기판의 상면과 접촉하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 일 실시형태인 도포 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 도포 장치에 있어서 더미 이너셔에 의한 노즐의 낙하 억제 효과를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 1 은 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 일 실시형태인 도포 장치의 구성을 나타내는 도면이다. 이 도포 장치 (1) 는, 일본 공개특허공보 2018-114476호에 기재된 도포 장치와 마찬가지로, 수평 자세로 반송되는 기판 (S) 의 상면 (Sf) 을 향해 슬릿 노즐 (이하, 간단히 「노즐」이라고 한다) (2) 로부터 도포액 (처리액) 을 토출하여 상면 (Sf) 상에 도포막을 형성하는 슬릿 코터이다. 또한, 이하의 각 도면에 있어서 장치 각 부의 배치 관계를 명확하게 하기 위해, 기판 (S) 의 반송 방향을 「X 방향」이라고 칭하고, X 방향과 직교하는 수평 방향을 「Y 방향」이라고 칭하며, 상하 방향을 「Z 방향」이라고 칭한다.
도포 장치 (1) 는 기판 반송부 (3) 를 가지고 있고, 당해 기판 반송부 (3) 에 의해 기판 (S) 을 X 방향으로 반송한다. 또, 노즐 (2) 의 하방, 요컨대 노즐 선단부에는, Y 방향으로 슬릿상의 토출구 (21) 가 연장 형성되어 있다. 이 토출구 (21) 를 하방을 향하게 한 상태에서 노즐 (2) 은 노즐 지지 부재 (22) 에 의해 지지되고, 당해 노즐 지지 부재 (22) 와 함께 기판 (S) 의 상면 (Sf) 의 상방에서 Z 방향으로 자유롭게 승강할 수 있게 배치되어 있고, 승강부 (4) 에 의해 승강 구동된다. 이로써 노즐 (2) 은 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 근접한 도포 처리 위치 (도 1 에서 점선으로 나타내는 위치) 와, 도포 처리 위치로부터 상방으로 이간되어 대기하는 대기 위치 (도 1 에서 실선으로 나타내는 위치) 사이를 왕복 이동한다. 또한, 승강부 (4) 의 상세한 구성 및 동작에 대해서는 이후에 상세히 서술한다.
노즐 (2) 에는 도포액 공급부 (5) 가 접속되어 있고, 노즐 (2) 이 도포 처리 위치에 위치 결정된 상태에서 도포액 공급부 (5) 로부터 도포액이 압송 (壓送) 되면, 토출구 (21) 로부터 도포액이 기판 (S) 을 향해 토출되어, 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 공급된다. 이렇게 하여, 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 도포액이 도포되어, 도포막이 형성된다.
승강부 (4) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, Y 방향에 있어서 기판 반송부 (3) 에 의해 수평 반송되는 기판 (S) 보다 외측에 형성된 좌우 대칭 (+Y 측과 -Y 측으로 대칭) 구조를 갖는 볼나사 기구 (41L, 41R) 를 구비하고 있다. 이 실시형태에서는, 1 쌍의 볼나사 기구 (41L, 41R) 로 노즐 지지 부재 (22) 를 개재하여 노즐 (2) 을 상하 방향 (Z) 으로 승강시키도록 구성되어 있다. 보다 상세하게는, 각 볼나사 기구 (41L, 41R) 는, 기둥상 부재 (42) 와, 상하 방향 (Z) 으로 평행하게 연장된 상태에서 기둥상 부재 (42) 에 장착된 볼나사축 (43) 을 가지고 있다. 각 볼나사축 (43) 에 대해 브래킷 (44) 이 나사 결합되어 있다. 이들 2 개의 브래킷 (44) 에 대해 노즐 지지 부재 (22) 의 양 단부가 각각 장착되고, 노즐 (2) 의 토출구 (21) 를 하방을 향하게 한 상태에서 노즐 (2) 을 지지하면서 노즐 지지 부재 (22) 는 상하 방향 (Z) 으로 자유롭게 승강할 수 있게 형성되어 있다.
또, 각 볼나사축 (43) 의 상단은 커플링 (45) 및 감속기 (46) 를 개재하여 브레이크 기구가 장착된 전동 모터 (47) 와 연결되어 있다. 본 실시형태에서는, 전동 모터 (47) 에 브레이크 기구 (48) 가 내장되어 있지만, 볼나사 기구 (41L, 41R) 중의 회전 부분 (예를 들어 전동 모터 (47) 의 회전축 (도시 생략) 이나 볼나사축 (43) 등) 에 브레이크를 거는 브레이크 기구를 독립적으로 형성해도 된다.
각 브레이크 기구 (48) 는 스위치 (6) 를 개재하여 정류 회로 (7) 와 접속되어 있다. 정류 회로 (7) 는 단상 교류 전력을 정류하여 직류로 변환시키는 회로로, 정류 회로 (7) 로부터 출력되는 브레이크용 전력은 스위치 (6) 를 통해 브레이크 기구 (48) 에 입력되어, 브레이크 기구 (48) 를 동시에 구동시킨다. 또, 정류 회로 (7) 의 다른 출력은 전동 모터 (47) 를 구동 제어하는 서보 앰프 (8) 의 제어용 전력으로서 공급된다.
서보 앰프 (8) 에서는, 정류 회로 (7) 로부터의 전력 공급을 받아 전동 모터 (47) 를 제어하는 제어부 (81) 를 가지고 있다. 이 제어부 (81) 는, 도포 장치 (1) 전체를 제어하는 제어 유닛 (도시 생략) 으로부터의 동작 지령을 받아, 속도나 위치의 피드백 제어나 전류의 피드백 제어를 실시한다. 그리고, 그들 피드백 제어에 기초하여, 제어부 (81) 는, 좌측 구동 출력부 (82L) 를 구동시켜 볼나사 기구 (41L) 의 구동원인 전동 모터 (47) (이하 「좌측 전동 모터 (47L)」라고 한다) 를 구동 제어함과 함께, 우측 구동 출력부 (82R) 를 구동시켜 볼나사 기구 (41R) 의 구동원인 전동 모터 (47) (이하 「우측 전동 모터 (47R)」라고 한다) 를 구동 제어한다. 또한, 좌측 전동 모터 (47L) 및 우측 전동 모터 (47R) 를 구별하지 않고 설명할 때에는, 간단히 「전동 모터 (47)」라고 칭한다.
이들 좌측 구동 출력부 (82L) 및 우측 구동 출력부 (82R) 에는 파워 공급부 (83) 가 접속되어 있어, 동력용 전력이 공급된다. 이 파워 공급부 (83) 는, 서보 앰프 (8) 에 공급되는 삼상 교류 전력을 정류하여 직류 전력을 동력용 전력으로서 좌측 구동 출력부 (82L) 및 우측 구동 출력부 (82R) 에 공급하고 있다.
또, 파워 공급부 (83) 에는, 삼상 교류 전력의 전압 저하를 검출함으로써 삼상 교류 전원으로부터의 송전 정지, 요컨대 정전을 검출하는 전압 저하 검출 회로 (831) 가 형성되어 있다. 이 전압 저하 검출 회로 (831) 는 정전을 검출하면, 정전 검출 신호 (SG) 를 제어부 (81) 에 출력한다. 한편, 제어부 (81) 는, 정전 검출 신호 (SG) 를 받으면, 스위치 (6) 에 부여하고 있는 브레이크 출력을 ON 상태로부터 OFF 상태로 전환한다. 즉, 통상 운전시에 있어서 제어부 (81) 는 브레이크 출력을 ON 상태로 설정하고, 스위치 (6) 를 통해 정류 회로 (7) 의 브레이크용 전력을 각 브레이크 기구 (48) 의 코일 (도시 생략) 에 공급하여 각 코일을 여자함으로써 전동 모터 (47) 에 브레이크를 작용하고 있지 않은 비브레이크 상태를 만들어 내고 있다. 한편, 정전 발생시에는, 제어부 (81) 는 브레이크 출력을 OFF 상태로 전환함으로써, 상기 여자를 정지시켜 전동 모터 (47) 에 브레이크를 걸어 노즐 (2) 의 상하 이동을 정지시킨다.
이와 같이 스위치 (6) 의 개폐 전환에 의해 브레이크 기구 (48) 를 제어하고 있기 때문에, 예를 들어 도 2 에 나타내는 바와 같이, 타이밍 T1 에서의 정전 발생에 수반하여 브레이크 출력을 OFF 상태로 전환하였다고 해도, 브레이크가 작용할 때까지 타임래그 (ΔT) (＝ T2 － T1) 가 발생해 버린다. 그 때문에, 동 도면의 (a) 란에 나타내는 바와 같이, 노즐 (2) 이 도포 처리 위치에 위치 결정되어 있는, 요컨대 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 근접하고 있는 상태에서 정전이 발생하면, 다음과 같은 문제가 발생할 가능성이 있다. 타임래그 (ΔT) 동안 브레이크가 걸려 있지 않기 때문에, 볼나사축 (43) 은 자유롭게 회전할 수 있는 상태로 되어 있어, 노즐 (2) 의 자중에 의한 낙하를 방지할 수 없다. 그 결과, 노즐 (2) 은 자중에 의해 낙하하여, 타이밍 T3 (＜ T2) 에서 노즐 (2) 이 기판 (S) 의 상면 (Sf) 과 접촉하는 경우가 있다.
그래서, 본 실시형태에서는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 볼나사 기구 (41L, 41R) 의 어느 것에 있어서도, 볼나사축 (43) 에 대해 볼나사축 (43) 과 함께 회전하는 회전계의 더미 이너셔 (49) 가 장착되어 있다. 타임래그 (ΔT) 동안, 더미 이너셔 (49) 는 볼나사축 (43) 에 부하 이너셔를 부가하고, 이로써 볼나사축 (43) 의 회전을 억제한다. 그 결과, 도 2 의 (b) 란에 나타내는 바와 같이, 노즐 (2) 의 낙하량 (M) 을 억제하여, 타임래그 (ΔT) 에 있어서 노즐 (2) 이 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 정전의 발생과 함께 브레이크 기구 (48) 가 전동 모터 (47) 에 브레이크를 걺과 함께, 브레이크가 작용할 때까지의 동안, 요컨대 타임래그 (ΔT) 에 있어서, 더미 이너셔 (49) 에 의해 볼나사축 (43) 에 대해 회전을 규제하는 회전계의 부하 이너셔를 부여하고 있다. 이 때문에, 정전에 의해 노즐 (2) 이 낙하하여 기판 (S) 의 상면 (Sf) 과 접촉하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또, 본 실시형태에 의하면, 이하와 같은 작용 효과가 얻어진다.
정전시의 노즐 (2) 의 낙하 대책으로는 무정전 전원의 설치가 고려되지만, 승강 대상물 (주로 노즐 (2) 과 노즐 지지 부재 (22)) 의 중량이 비교적 크기 때문에 그것에 비례하여 전동 모터 (47) 의 용량도 크고, 필연적으로 무정전 전원의 비용이 높아진다. 이에 반해, 본 실시형태에서는, 무정전 전원이 불필요하여, 비용 면에서 유리하다.
또, 노즐 (2) 의 낙하를 방지하기 위해, 노즐 (2) 을 항상 상방으로 밀어 올리는 에어 실린더 등의 추가 설치나 노즐을 끌어올리는 것과 같은 카운터 (밸런스) 웨이트 기구의 추가 등도 고려되지만, 모두 장치 구성이 대규모가 되므로, 비용의 증대나 장치의 대형화를 초래해 버린다. 이에 반해, 본 실시형태에서는, 단지 더미 이너셔 (49) 를 추가할 뿐으로, 비용이나 장치 사이즈의 면에서 유리하다.
이와 같이 상기한 실시형태에서는, 도포액 및 도포액 공급부 (5) 가 각각 본 발명의 「처리액」 및 「처리액 공급부」의 일례에 상당하고 있다. 또, 더미 이너셔 (49) 가 본 발명의 「회전 억제 기구」 및 「제 1 이너셔 부재」의 일례에 상당하고 있다.
또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한 상기 서술한 것 이외에 다양한 변경을 실시하는 것이 가능하다. 예를 들어 상기 실시형태에서는, 더미 이너셔 (49) 를 볼나사축 (43) 에 배치하고 있지만, 더미 이너셔 (49) 의 배치 형성 위치는 이것에 한정되는 것은 아니고, 전동 모터 (47) 의 회전축과 커플링 (45) 사이 또는 커플링 (45) 과 볼나사축 (43) 사이에 더미 이너셔 (49) 를 개재 삽입해도 되고, 이들의 경우, 더미 이너셔 (49) 는 본 발명의 「제 2 이너셔 부재」의 일례에 상당한다. 또, 전동 모터 (47) 의 회전축과 감속기 (46) 사이 또는 감속기 (46) 와 볼나사축 (43) 사이에 더미 이너셔 (49) 를 개재 삽입해도 되고, 이들의 경우, 더미 이너셔 (49) 는 본 발명의 「제 3 이너셔 부재」의 일례에 상당한다.
또, 상기 실시형태에서는, 전동 모터 (47) 의 회전 구동력의 볼나사축 (43) 에 대한 전달 경로 상에 더미 이너셔 (49) 를 형성하고 있지만, 당해 전달 경로로부터 떨어진 이간 위치에 더미 이너셔 (49) 를 형성해도 된다. 요컨대, 볼나사축 (43) 의 회전력을 승강부 (4) 로부터 떨어진 이간 위치에 전달하는 구동 전달부를 형성하여, 더미 이너셔 (49) 가 이간 위치에서 구동 전달부에 의해 전달되는 회전력을 받아 볼나사축 (43) 과 연동하여 회전하도록 구성해도 되고, 이 경우, 더미 이너셔 (49) 는 본 발명의 「제 4 이너셔 부재」의 일례에 상당한다.
또, 상기 실시형태에서는, 볼나사축 (43) 등의 승강부에 형성되는 회전 부분의 회전을 억제하기 위해 더미 이너셔 (49) 를 형성하고 있지만, 본 발명의 「회전 억제 기구」의 구성은 이것에 한정되는 것이 아니고, 볼나사축 (43) 의 직경이, 승강 대상물 (주로 노즐 (2) 과 노즐 지지 부재 (22)) 을 승강시키는 데에 필요시되는 사이즈보다 충분히 두꺼워지도록 설정하여, 볼나사축 (43) 자체의 회전계의 부하 이너셔를 크게 하도록 구성해도 된다. 이 경우, 볼나사축 (43) 이 본 발명의 「회전 억제 기구」로서 기능한다.
또, 전동 모터 (47) 에 대해서도 마찬가지로, 승강 대상물을 승강시키는 데에 필요시되는 용량보다 충분한 용량을 갖는 전동 모터 (47) 를 사용하여, 모터 내부의 회전자에 의한 부하 이너셔를 크게 하도록 구성해도 된다. 이 경우, 전동 모터 (47) 가 본 발명의 「회전 억제 기구」로서 기능한다.
또, 상기 실시형태에서는, 노즐 (2) 을 도포 처리 위치에 위치 결정한 채로 기판 (S) 을 X 방향으로 이동시켜 기판 (S) 의 상면 (Sf) 에 도포액을 도포하는 도포 장치 (1) 에 본 발명을 적용하고 있지만, 본 발명의 적용 대상은 이것에 한정되지 않고, 기판 (S) 에 대해 노즐 (2) 을 X 방향으로 상대적으로 이동시키는 도포 장치 전반에 적용할 수 있다. 또, 노즐에 처리액을 송급함으로써 당해 노즐로부터 기판의 상면에 처리액을 공급하여 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 기술 전반에 대해 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.
본 발명은, 노즐의 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판의 상면에 처리액을 공급하는 기판 처리 장치 전반에 적용 가능하다.
1 : 도포 장치 (기판 처리 장치)
2 : (슬릿) 노즐
4 : 승강부
5 : 도포액 공급부 (처리액 공급부)
21 : 토출구
41L, 41R : 볼나사 기구
43 : 볼나사축
44 : 브래킷
45 : 커플링
46 : 감속기
47 : 전동 모터
47L : 좌측 전동 모터
47R : 우측 전동 모터
48 : 브레이크 기구
49 : 더미 이너셔 (회전 억제 기구)
S : 기판
Sf : 상면
Z : 상하 방향
ΔT : 타임래그

Claims (5)

  1. 하방에 토출구를 갖고, 상기 토출구를 기판의 상면을 향하게 한 상태에서 상기 기판의 상방에 있어서 자유롭게 승강할 수 있게 형성되는 노즐과,
    상기 노즐을 상하 방향으로 승강 구동시키는 승강부와,
    상기 노즐에 처리액을 공급하여 상기 노즐의 상기 토출구로부터 상기 처리액을 토출시키는 처리액 공급부를 구비하고,
    상기 승강부는,
    상기 상하 방향으로 연장 형성되는 볼나사축과, 상기 볼나사축에 나사 결합된 상태에서 상기 노즐에 연결되는 브래킷을 갖는 볼나사 기구와,
    상기 볼나사축을 회전 구동시키는 전동 모터와,
    정전시에 상기 전동 모터 또는 상기 볼나사축에 브레이크를 거는 브레이크 기구와,
    정전시에 상기 노즐의 자중에 의한 낙하에 수반하여 회전하려고 하는 상기 볼나사축에 대해 회전을 규제하는 부하 이너셔를 부가하여 상기 볼나사축의 회전을 억제하는 회전 억제 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 기재된 기판 처리 장치로서,
    상기 회전 억제 기구는 상기 볼나사축에 형성된 제 1 이너셔 부재를 갖는, 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항에 기재된 기판 처리 장치로서,
    상기 승강부는 상기 전동 모터의 회전축과 상기 볼나사축을 연결하는 커플링을 갖고,
    상기 회전 억제 기구는, 상기 전동 모터의 회전축과 상기 커플링 사이 또는 상기 커플링과 상기 볼나사축 사이에 개재 삽입되어, 상기 볼나사축의 회전과 연동하여 회전하는 제 2 이너셔 부재를 갖는, 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 기재된 기판 처리 장치로서,
    상기 승강부는 상기 전동 모터의 회전축과 상기 볼나사축 사이에 개재 삽입된 감속기를 갖고,
    상기 회전 억제 기구는, 상기 전동 모터의 회전축과 상기 감속기 사이 또는 상기 감속기와 상기 볼나사축 사이에 개재 삽입되어, 상기 볼나사축의 회전과 연동하여 회전하는 제 3 이너셔 부재를 갖는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치로서,
    상기 볼나사축의 회전력을 상기 승강부로부터 떨어진 이간 위치에 전달하는 구동 전달부를 구비하고,
    상기 회전 억제 기구는, 상기 이간 위치에서 상기 구동 전달부에 의해 전달되는 상기 회전력을 받아 상기 볼나사축과 연동하여 회전하는 제 4 이너셔 부재를 갖는, 기판 처리 장치.
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