KR20200031011A - 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법 - Google Patents

임프린팅 장치 및 임프린팅 방법 Download PDF

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Abstract

임프린팅 장치는 마스터 기판 및 폴리머 필름 사이에 압력을 인가하여, 상기 마스터 기판에 형성된 패턴을 상기 폴리머 필름에 전사시킨다. 상기 임프린팅 장치는 복수의 코일들을 포함하며, 상기 복수의 코일들에 의해 유도된 전자기장에 의해 상기 마스터 기판의 표면이 가열된다. 상기 복수의 코일들의 위치는 상기 마스터 기판에 대응하여 변경된다.

Description

임프린팅 장치 및 임프린팅 방법{IMPRINTING APPARATUS AND IMPRINTING METHOD}
본 발명은 코일을 통한 유도가열을 이용하는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법에 관한 것이다.
나노 단위의 미세패턴을 임프린팅 하기 위해서는 패턴이 형성된 마스터 기판을 폴리머 필름 상에 압착하게 된다.
필름 상에 인가되는 압력의 크기를 줄이기 위해서 코일에 형성된 자기장을 통해서 미세패턴을 유도가열하기도 한다.
이 때, 가열대상이 되는 마스터 기판의 크기가 변하는 경우, 코일이 마스터 기판을 균일하게 가열하지 못하는 문제점이 발생한다.
또한, 정밀도 높은 임프린팅 공정을 위해서는 가열된 코일의 온도가 균일해야 되는데, 코일이 배치된 위치에 따라 가열되는 온도가 서로 다른 문제점이 발생한다.
본 발명은 코일을 이용하여 미세 패턴이 형성된 마스터 기판이 균일한 온도를 갖도록 가열하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 다양한 크기의 마스터 기판을 가열할 수 있는 임프린팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 지지면을 제공하는 제1 몸체부 및 상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하며 상하 방향으로 움직일 수 있는 제2 몸체부를 포함할 수 있다.
상기 제1 몸체부는 복수의 코일코어들, 복수의 코일선들, 복수의 제1 지지봉들, 및 복수의 제2 지지봉들을 포함할 수 있다.
상기 복수의 코일코어들은 매트릭스 형태로 배열되고, 각각에 상기 상하 방향과 직교하는 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 상하 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의될 수 있다.
상기 복수의 코일선들은 각각이 상기 복수의 코일코어들을 둘러쌀 수 있다.
상기 복수의 제1 지지봉들은 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과할 수 있다.
상기 복수의 제2 지지봉들은 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하는 전원공급부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 코일코어들 중 적어도 일부는 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제1 방향으로 이동할 수 있다. 상기 코일코어들 중 적어도 적어도 일부는 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제2 방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 제1 몸체부의 일측에 배치된 제1 상부 고정롤러, 상기 제1 몸체부의 타측에 배치된 제2 상부 고정롤러, 상기 제2 몸체부의 일측에 배치되고 상기 제1 상부 고정롤러와 마주하는 제1 하부 고정롤러, 및 상기 제2 몸체부의 타측에 배치되고 상기 제2 상부 고정롤러와 마주하는 제2 하부 고정롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 제1 상부 고정롤러 및 상기 제1 하부 고정롤러에 인접하게 배치되는 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 상부 고정롤러 및 상기 제2 하부 고정롤러에 인접하게 배치되고 상기 제1 가이드 롤러와 같은 방향으로 회전하는 제2 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 복수의 코일코어들 중 적어도 어느 하나의 일측에 배치되고 상기 복수의 제1 지지봉들 중 대응하는 제1 지지봉에 결합되는 상기 제1 고정부재 및 상기 복수의 코일코어들 중 상기 적어도 어느 하나의 타측에 배치되고 상기 복수의 제2 지지봉들 중 대응하는 제2 지지봉에 결합되는 제2 고정부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 각각이 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 각각에 수용되는 복수의 가이드 부재들을 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 가이드 부재들 각각의 내부에는 제1 나사패턴이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 복수의 제1 지지봉들 및 상기 복수의 제2 지지봉들 각각에 상기 제1 나사패턴에 대응하는 제2 나사패턴이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하는 매트릭스 형태로 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며, 상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 각각에 대응하도록 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며, 상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 몸체부는 냉각수를 가이드 하는 파이프를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법은 제1 몸체부가 제공하는 지지면에 적어도 일부분이 금속코팅층에 의해 커버되는 미세패턴이 형성된 마스터 기판을 배치하는 단계; 상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하는 제2 몸체부 및 상기 마스터 기판 사이에 폴리머 필름을 배치하는 단계; 상기 제1 몸체부는 각각에 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들, 각각이 상기 복수의 코일코어들을 에워싸는 복수의 코일선들, 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들, 및 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함을 포함하며, 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 가열하는 단계; 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부가 상기 마스터 기판 및 상기 폴리머 필름에 압력을 인가하는 단계; 및 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부의 거리가 멀어지는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 작은 크기의 압력만으로도 임프린팅 공정을 진행하여, 불량률을 줄이고 공정속도를 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 마스터 기판을 균일하게 가열하여, 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다.
또한, 다양한 크기의 마스터 기판에 유연하게 대응할 수 있어서, 공정의 편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 도시한 것이다.
도 2는 도 1에서 코일코어들, 코일선들, 제1 지지봉들, 제2 지지봉들, 및 고정부재들을 예시적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어를 예시적으로 도시한 것이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스터 기판을 예시적으로 도시한 것이다.
도 4b는 도 4a의 I-I`을 따라 절단한 단면을 예시적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 몸체부를 예시적으로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지봉을 예시적으로 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법에 따른 순서도를 예시적으로 도시한 것이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도면들에 있어서, 구성요소들의 비율 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
"포함하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(IPA)를 도시한 것이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어들(CC), 코일선들(CL), 제1 지지봉들(SB1), 제2 지지봉들(SB2), 및 고정부재들(FX)을 예시적으로 도시한 것이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어(CC)를 도시한 것이다.
임프린팅 장치(IPA)는 제1 몸체부(BD1), 제2 몸체부(BD2), 마스터 기판(MS), 고정 롤러들(RL1-H, RL2-H, RL1-L, RL2-L), 가이드 롤러들(GR1, GR2), 및 전원공급부(PW)를 포함할 수 있다.
제1 몸체부(BD1)는 제1 하우징(HS1), 복수의 코일코어들(CC), 복수의 코일선들(CL), 복수의 제1 지지봉들(SB1), 복수의 제2 지지봉들(SB2), 및 고정부재들(FX)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 제1 하우징(HS1)은 코일코어들(CC), 코일선들(CL), 지지봉들(SB1, SB2), 및 고정부재들(FX)을 수용할 수 있다.
제1 하우징(HS1)은 마스터 기판(MS)을 지지하기 위한 지지면을 제공할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 코일코어들(CC)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 본 명세서에서는 5x5로 배열된 코일코어들(CC)을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 코일코어들(CC)의 개수 및 배열되는 형태는 필요에 따라 변경될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 코일코어들(CC) 각각은 원기둥 형태를 가질 수 있다. 코일코어들(CC) 각각은 금속물질을 포함할 수 있다.
코일선들(CL) 각각은 대응하는 코일코어(CC)를 둘러쌀 수 있다. 즉, 코일선들(CL) 각각은 대응하는 코일코어(CC)의 외곽면을 따라서 감겨 있다.
코일선들(CL)에 교류전원이 제공되는 경우, 코일선들(CL) 각각의 내부 및 코일코어(CC)에는 유도자기장이 형성될 수 있다.
도 3을 참조하면, 코일코어들(CC) 각각에는 제1 방향(DR1)으로 형성된 제1 관통홀(TH1) 및 제2 방향(DR2)으로 형성된 제2 관통홀(TH2)이 정의될 수 있다. 이 때, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)은 서로 직교할 수 있다.
제1 지지봉들(SB1) 각각은 대응하는 코일코어들(CC)의 제1 관통홀들(TH1)에 삽입될 수 있다.
제2 지지봉들(SB2) 각각은 대응하는 코일코어들(CC)의 제2 관통홀들(TH2)에 삽입될 수 있다.
코일코어들(CC) 중 적어도 일부는 제1 지지봉들(SB1) 또는 제2 지지봉들(SB2)에 의해 가이드 되어, 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다.
이에 따라, 코일코어들(CC)이 배치되는 전체적인 면적이 변경될 수 있다. 또한, 코일코어들(CC) 중 일부는 서로 가깝게 배치되고, 다른 일부는 서로 멀게 배치될 수 있다.
고정부재들(FX) 각각은 코일코어들(CC)에 인접하게 배치되고, 지지봉들(SB1, SB2) 중 대응하는 지지봉에 결합될 수 있다.
고정부재들(FX)은 코일코어들(CC)이 지지봉들(SB1, SB2)이 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 움직이는 것을 방지할 수 있다. 예를들어, 고정부재(FX)는 암나사 형태를 가져서, 고정부재(FX)를 회전시켜서 코일코어들(CC)을 이동시키거나 고정시킬 수 있다. 이 때, 지지봉들(SB1, SB2)의 적어도 일부분에는 고정부재(FX)의 암나사 패턴에 대응하는 수나사 패턴이 형성될 수 있다.
제2 몸체부(BD2)는 제2 하우징(HS2) 및 파이프(PP)를 포함할 수 있다.
제2 몸체부(BD2)는 제1 몸체부(BD1) 하부에 배치될 수 있다. 제2 몸체부(BD2)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 직교하는 제3 방향(DR3, 또는 상하"?*)으로 이동하여, 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 물체에 압력을 인가할 수 있다. 이에따라, 제2 하우징(HS2)은 다른 물체에 압력을 인가하는 압력면을 제공할 수 있다.
파이프(PP)는 제2 몸체부(BD2)의 내부를 관통하는 형태로 실장될 수 있다. 파이프(PP)는 냉각매질(예를들어, 냉각수)이 통과하는 통로를 제공할 수 있다. 임프린팅 장치(IPA) 중 적어도 일부분이 가열되는 경우, 파이프(PP)에 흐르는 냉각수를 이용하여, 임프린팅 장치(IPA)의 온도를 낮출 수 있다.
도 1에서는 제1 몸체부(BD1)가 제2 몸체부(BD2)보다 상부에 배치되는 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 본 발명의 다른 실시예에서는 제2 몸체부(BD2)가 제1 몸체부(BD1)보다 상부에 배치될 수 있다.
제1 상부 고정롤러(RL1-H)는 제1 몸체부(BD1)의 일측에 인접하게 배치되고, 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 제1 몸체부(BD1)의 타측에 인접하게 배치될 수 있다.
제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 가이드바(GB)에 의해 제1 몸체부(BD1)에 고정될 수 있다. 단, 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 가이드바(GB)가 아닌 별도의 구성요소에 의해 제1 몸체부(BD1)에 인접하게 고정될 수 있다.
제1 하부 고정롤러(RL1-L)는 제2 몸체부(BD2)의 일측에 인접하게 배치되고, 제2 하부 고정롤러(RL2-L)는 제2 몸체부(BD2)의 타측에 인접하게 배치될 수 있다.
제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제1 하부 고정롤러(RL1-L) 사이에 인가되는 압력 및 제2 상부 고정롤러(RL2-H)와 제2 하부 고정롤러(RL2-L) 사이에 인가되는 압력에 의해 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 폴리머 필름(PF)이 고정될 수 있다. 즉, 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2)에 의해 폴리머 필름(PF)과 마스터 기판(MS)이 압착될 때, 고정롤러들(RL1-H, RL1-L, RL2-H, RL2-L)에 의해서 폴리머 필름(PF)이 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 움직이는 것이 방지될 수 있다.
제1 가이드 롤러(GR1)는 제1 상부 고정롤러(RL1-H) 및 제1 하부 고정롤러(RL1-L)에 인접하게 배치될 수 있다. 제2 가이드 롤러(GR2)는 제2 상부 고정롤러(RL2-H) 및 제2 하부 고정롤러(RL2-L)에 인접하게 배치될 수 있다.
제1 가이드 롤러(GR1) 및 제2 가이드 롤러(GR2)는 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 폴리머 필름(PF)을 가이드 할 수 있다. 제1 가이드 롤러(GR1)와 제2 가이드 롤러(GR2)는 서로 같은 방향으로 회전될 수 있다.
전원공급부(PW)는 외부로부터 제공받은 전력을 코일선들(CL)에 교류전원 형태로 제공할 수 있다. 전원공급부(PW)는 코일선들(CL)에 전체적으로 동일한 교류전원을 제공하거나, 필요에 따라 코일선들(CL)에 서로 다른 크기의 교류전원을 제공할 수 있다. 도 1에서는 전원공급부(PW)와 코일선들(CL)을 연결하는 배선들은 편의상 도시되지 않았다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스터 기판(MS)을 예시적으로 도시한 것이다. 도 4b는 도 4a의 I-I`을 따라 절단한 단면을 예시적으로 도시한 것이다.
마스터 기판(MS)은 베이스부(BS), 패턴부(PT), 및 금속코팅층(CT)을 포함할 수 있다.
베이스부(BS)의 일면에 임프린팅의 대상의 형상을 결정하는 패턴부(PT)가 배치될 수 있다. 패턴부(PT)를 구성하는 배선들 각각의 두께는 수 나노미터 내지 수 마이크로 미터 일 수 있다.
금속코팅층(CT)은 베이스부(BS)의 일면상에 배치되며, 패턴부(PT)를 커버할 수 있다.
금속코팅층(CT)은 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 유도된 전자기장에 의해 가열된다. 가열된 금속코팅층(CT)을 이용하면 적은 압력을 이용하더라도 폴리머 필름(PF)에 임프린팅 공정이 수월하게 진행될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어(CC), 가이드 부재들(GS1, GS2), 및 지지봉들(SB1-1, SB2-1)을 도시한 것이다.
제1 가이드 부재(GS1)는 제1 관통홀(TH1)에 삽입되는 구성요소이고, 제2 가이드 부재(GS2)는 제2 관통홀(TH2)에 삽입되는 구성요소이다.
제1 가이드 부재(GS1) 및 제2 가이드 부재(GS2) 각각의 내부에는 제1 나사패턴(SCR1)이 형성될 수 있다.
제1 지지봉(SB1-1)은 제1 가이드 부재(GS1)에 삽입되고, 제2 지지봉(SB2-1)은 제2 가이드 부재(GS2)에 삽입될 수 있다.
제1 지지봉(SB1-1) 및 제2 지지봉(SB2-1) 각각의 외면에는 제1 나사패턴(SCR1)에 대응하는 제2 나사패턴(SCR2)이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 제1 가이드 부재(GS1) 또는 제1 지지봉(SB1-1)을 회전하여 제1 방향(DR1) 상에서 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 조절할 수 있다. 또한, 제2 가이드 부재(GS2) 또는 제2 지지봉(SB2-1)을 회전하여 제2 방향(DR2) 상에서 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 조절할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 몸체부(BD2-1)를 예시적으로 도시한 것이다.
본 발명의 일 실시예에서, 제2 몸체부(BD2-1)는 복수의 온도센서들(TS)을 더 포함할 수 있다. 온도센서들(TS)은 코일코어들(CC)의 배열에 대응하여 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
온도센서들(TS)은 임프린팅 공정 중에 코일코어들(CC) 또는 코일선들(CL)의 온도를 각각 측정할 수 있다.
임프린팅 장치(IPA)는 측정된 온도에 따라, 전원공급부(PW)가 코일선들(CL)에 제공하는 전원의 크기를 조절할 수 있다. 예를들어, 온도가 낮다고 센싱된 부분에 대응하는 코일선(CL)에는 큰 세기를 갖는 교류전원을 제공하고, 온도가 높다고 센싱된 부분에 대응하는 코일선(CL)에는 작은 세기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다. 이와 같은 조절을 통해서, 임프린팅 장치(IPA)는 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)을 균일하게 가열할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서는, 온도센서들(TS)이 제1 몸체부(BD1)에 실장될 수 있다. 이 경우, 온도센서들(TS) 각각은 코일코어들(CC) 중 대응하는 코일코어(CC)에 인접하게 배치될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지봉(SB1-2)을 예시적으로 도시한 것이다.
제1 지지봉(SB1-2)의 표면에는 눈금(MK) 표시될 수 있다. 사용자는 제1 지지봉(SB1-2)의 표면에 형성된 눈금(MK)을 통해 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 측정할 수 있다.
도 7에서는 제1 지지봉(SB1-2)만 예시적으로 도시하였으나, 제2 지지봉에도 눈금(MK)이 표시될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법(S10)에 따른 순서도를 예시적으로 도시한 것이다.
임프린팅 방법(S10)은 마스터 기판 배치 단계(S100), 코일위치 조절 단계(S200), 폴리머 필름 배치단계(S300), 유도가열단계(S400), 압력인가 단계(S500), 및 분리단계(S600)를 포함할 수 있다.
마스터 기판 배치 단계(S100)에서 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 마스터 기판(MS)이 배치될 수 있다.
코일위치 조절 단계(S200)에서 마스터 기판(MS)의 크기에 대응하여, 코일코어들(CC) 중 적어도 일부의 위치가 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 변경될 수 있다.
폴리머 필름 배치단계(S300)에서 폴리머 필름(PF)은 마스터 기판(MS) 및 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치될 수 있다.
유도가열단계(S400)에서 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 형성된 유도 자기장에 의해 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)이 가열될 수 있다.
압력인가 단계(S500)에서 제1 몸체부(BD1) 및 제2 몸체부(BD2) 중 적어도 어느 하나가 이동하고, 이에 따라, 폴리머 필름(PF) 및 마스터 기판(MS)은 제1 몸체부(BD1) 및 제2 몸체부(BD2)으로부터 압력을 인가받게 된다. 이 과정에서, 마스터 기판(MS)에 형성된 패턴부(PT)의 모양에 대응한 형상이 폴리머 필름(PF)에 전사된다.
분리단계(S600)에서 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2)는 서로 멀어지고, 이에 따라, 패턴이 전사된 폴리머 필름(PF)이 마스터 기판(MS)으로부터 분리될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 임프린팅 방법(S10)은 마스터 기판 배치 단계(S100)와 유도가열단계(S400) 사이에 실시되는 사전 가열단계(미도시)를 더 포함할 수 있다.
사전 가열단계에서는 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 형성된 유도 자기장을 이용하여 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)을 가열하여, 금속코팅층(CT)을 어닐링 할 수 있다. 사전 가열단계에서 가열된 금속코팅층(CT)의 온도는 유도가열단계(S400)에서 가열된 금속코팅층(CT)의 온도보다 높을 수 있다.
실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
IPA: 임프린팅 장치 BD1: 제1 몸체부
BD2: 제2 몸체부 CC: 코일코어
CL: 코일선 SB1: 제1 지지봉
SB2: 제2 지지봉 PW: 전원공급부
PP: 파이프 RL1-H: 제1 상부 고정롤러
RL2-H: 제2 상부 고정롤러 RL1-L: 제1 하부 고정롤러
RL2-L: 제2 하부 고정롤러 GR1: 제1 가이드 롤러
GR2: 제2 가이드 롤러

Claims (15)

  1. 지지면을 제공하는 제1 몸체부; 및
    상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하며, 상하 방향으로 움직일 수 있는 제2 몸체부를 포함하고,
    상기 제1 몸체부는,
    매트릭스 형태로 배열되고, 각각에 상기 상하 방향과 직교하는 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 상하 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들;
    각각이 상기 복수의 코일코어들을 둘러싸는 복수의 코일선들;
    각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들; 및
    각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함하는 임프린팅 기구.
  2. 제1 항에 있어서
    상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하는 전원공급부를 더 포함하는 임프린팅 기구.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 코일코어들 중 적어도 일부는 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제1 방향으로 이동할 수 있고,
    상기 코일코어들 중 적어도 적어도 일부는 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제2 방향으로 이동할 수 있는 임프린팅 기구.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 몸체부의 일측에 배치된 제1 상부 고정롤러;
    상기 제1 몸체부의 타측에 배치된 제2 상부 고정롤러;
    상기 제2 몸체부의 일측에 배치되고, 상기 제1 상부 고정롤러와 마주하는 제1 하부 고정롤러; 및
    상기 제2 몸체부의 타측에 배치되고, 상기 제2 상부 고정롤러와 마주하는 제2 하부 고정롤러를 더 포함하는 임프린팅 기구.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 상부 고정롤러 및 상기 제1 하부 고정롤러에 인접하게 배치되는 제1 가이드 롤러; 및
    상기 제2 상부 고정롤러 및 상기 제2 하부 고정롤러에 인접하게 배치되고, 상기 제1 가이드 롤러와 같은 방향으로 회전하는 제2 가이드 롤러를 더 포함하는 임프린팅 기구.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 복수의 코일코어들 중 적어도 어느 하나의 일측에 배치되고, 상기 복수의 제1 지지봉들 중 대응하는 제1 지지봉에 결합되는 상기 제1 고정부재; 및
    상기 복수의 코일코어들 중 상기 적어도 어느 하나의 타측에 배치되고, 상기 복수의 제2 지지봉들 중 대응하는 제2 지지봉에 결합되는 제2 고정부재를 더 포함하는 임프린팅 기구.
  7. 제3 항에 있어서,
    각각이 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 각각에 수용되는 복수의 가이드 부재들을 더 포함하고,
    상기 복수의 가이드 부재들 각각의 내부에는 제1 나사패턴이 형성된 임프린팅 기구.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 지지봉들 및 상기 복수의 제2 지지봉들 각각에 상기 제1 나사패턴에 대응하는 제2 나사패턴이 형성된 임프린팅 기구.
  9. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하는 매트릭스 형태로 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며,
    상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공하는 임프린팅 기구.
  10. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 각각에 대응하도록 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며,
    상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공하는 임프린팅 기구.
  11. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 몸체부는 냉각수를 가이드 하는 파이프를 포함하는 임프린팅 기구.
  12. 제1 몸체부가 제공하는 지지면에 적어도 일부분이 금속코팅층에 의해 커버되는 미세패턴이 형성된 마스터 기판을 배치하는 단계;
    상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하는 제2 몸체부 및 상기 마스터 기판 사이에 폴리머 필름을 배치하는 단계;
    상기 제1 몸체부는 각각에 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들, 각각이 상기 복수의 코일코어들을 에워싸는 복수의 코일선들, 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들, 및 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함을 포함하며, 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 가열하는 단계;
    상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부가 상기 마스터 기판 및 상기 폴리머 필름에 압력을 인가하는 단계; 및
    상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부의 거리가 멀어지는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 코일코어들 중 적어도 일부분이 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라 상기 제1 방향으로 이동되거나, 상기 코일코어들 중 적어도 일부분이 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라 상기 제2 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하게 배치된 복수의 온도센서들을 포함하고, 상기 복수의 온도센서들을 이용하여 상기 복수의 코일코어들 각각의 온도를 센싱하며,
    상기 복수의 코일코어들 중 센싱된 온도가 제1 도인 코일코어에는 제1 교류전원을 제공하고,
    상기 복수의 코일코어들 중 센싱된 온도가 상기 제1 도보다 낮은 제2 도인 코일코어에는 상기 제1 교류전원보다 큰 제2 교류전원을 제공하는 임프린팅 방법
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 어닐링하는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법.
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