KR20200023645A - 정보 처리 장치, 제조 보조 시스템, 밸브의 조립 방법, 및 기기 교환 방법 - Google Patents

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Abstract

적정한 스펙을 갖는 기기를 용이하게 제조 가능한 기술을 제공한다. 정보 처리 장치(1)에 의하면, 해석부(11A)는, 밸브(30)의 사용 정보에 기초하여, 밸브(30)에 적합한 적정 스펙을 나타내는 적정 스펙 정보를 작성하고, 스펙 비교부(11B)는, 적정 스펙 정보와, 소정의 스펙을 나타내는 스펙 정보를 비교하고, 스펙 갱신부(11C)는, 스펙 비교부(11B)에 의한 비교 결과에 기초하여, 밸브(30)의 스펙 정보를 갱신하고, 제조 조건 작성 수단(제조 조건 작성부(11D), 제조 조건 갱신부(11E))은, 스펙 갱신부(11C)에 의해 갱신된 스펙 정보에 기초하여, 밸브(30)의 제조 조건을 작성하고, 지시 정보 작성부(11G)는, 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 표시 장치(3)에 표시하기 위한 밸브의 제조에 관한 지시 정보를 작성한다.

Description

정보 처리 장치, 제조 보조 시스템, 밸브의 조립 방법, 및 기기 교환 방법
본 발명은, 정보 처리 장치, 제조 보조 시스템, 밸브의 조립 방법, 및 기기 교환 방법에 관한 것이다.
반도체 프로세스에서는 다양한 레시피가 사용되고, 각 레시피가 다르면 반도체 프로세스에 사용되는 밸브에 대한 요구 성능은 다르다. 이 때문에, 각 반도체 프로세스에 적합한 밸브를 제조하는 것이 바람직하다.
그러나, 각 반도체 프로세스에 적합한 밸브를 제조하기 위해서는, 밸브마다 종이의 제조 매뉴얼을 준비할 필요가 있지만, 클린 룸 내에 다량의 종이를 반입하게 되므로 현실적이지 않다.
이 때문에, 고스펙의 밸브를 양산하여, 반도체 프로세스에 사용하고 있지만, 오버스펙에 의한 밸브의 고액화를 초래하고 있다.
그래서 본 발명은, 적정한 스펙을 갖는 기기를 용이하게 제조 가능한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 해결하기 위해, 본 발명의 일 양태인 정보 처리 장치는, 스펙 정보에 기초하는 제조 조건에 의해 제조된 기기의 사용 정보에 기초하여, 기기에 적합한 적정 스펙을 나타내는 적정 스펙 정보를 작성하는 적정 스펙 작성 수단과, 상기 적정 스펙 작성 수단 작성된 상기 적정 스펙 정보에 기초하여, 기기의 제조 조건을 결정하는 제조 조건 결정 수단을 구비한다.
상기 적정 스펙 정보와, 소정의 스펙을 나타내는 상기 스펙 정보를 비교하는 스펙 비교 수단과, 상기 스펙 비교 수단에 의한 비교 결과에 기초하여, 기기의 상기 스펙 정보를 갱신하는 스펙 갱신 수단과, 상기 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 표시 장치에 표시하기 위한 상기 기기의 제조에 관한 지시 정보를 작성하는 지시 정보 작성 수단을 구비해도 된다.
또한, 상기 적정 스펙 작성 수단은, 상기 소정의 스펙을 나타내는 상기 스펙 정보 및/또는 상기 적정 스펙 정보, 및 상기 스펙 정보에 관한 누적 정보에 기초하여, 상기 적정 스펙 정보를 작성해도 된다.
본 발명의 일 양태인 제조 보조 시스템은, 상기한 정보 처리 장치와, 상기 지시 정보 작성 수단에 의해 작성된 상기 지시 정보를 표시하는 표시 장치를 구비한다.
상기 표시 장치는, 촬영 장치와 일체로 구성되어 있어도 된다.
본 발명의 일 양태인 상기한 제조 보조 시스템을 사용한 밸브의 조립 방법은, 상기 기기는, 밸브이고, 상기 제조 조건은, 상기 밸브의 밸브체의 물성값, 상기 밸브체의 치수, 및 상기 밸브의 제조 시의 주위의 온도 범위 중 어느 하나, 및 상기 밸브의 누설 검출 방법을 포함하고 있다.
상기 제조 조건은, 상기 밸브의 스트로크양을 포함해도 된다.
본 발명의 일 양태인 기기 교환 방법은, 정보 처리 장치에 있어서의 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 기기를 제조하고, 제조한 기기를, 사용 정보를 취득한 기기와 교환한다.
본 발명에 따르면, 적정한 스펙을 갖는 기기를 용이하게 제조 가능한 기술을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 제조 지시 정보 작성 장치를 구비하는 제조 보조 시스템의 구성도를 도시한다.
도 2는 유체 제어 장치의 외관 사시도를 도시한다.
도 3은 밸브의 정면도를 도시한다.
도 4는 사용 정보 테이블의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 5는 스펙 정보 테이블의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 6은 적정 스펙 정보 테이블의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 7은 제조 조건 테이블의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 8은 지시 정보 작성 처리의 수순을 도시하는 흐름도이다.
도 9는 헤드 마운트 디스플레이의 외관도를 도시한다.
본 발명의 실시 형태에 관한 정보 처리 장치(1)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 정보 처리 장치(1)를 구비하는 제조 보조 시스템(10)의 구성도를 도시하고 있다.
본 발명의 실시 형태에 관한 정보 처리 장치(1)는, 유체 제어 장치(20)에 마련되는 밸브(30)에 관한 제조 지시 정보를 작성하는 장치이다. 유체 제어 장치(20)는, 반도체 제조 장치에 마련되는 장치이다. 밸브(30)는 기기의 일례이다.
처음에, 유체 제어 장치(20) 및 밸브(30)에 대하여 설명한다.
도 2는, 유체 제어 장치(20)의 외관 사시도를 도시하고 있다. 도 3은, 밸브(30)의 정면도를 도시하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이 유체 제어 장치(20)는, 기반(21)과, 복수(3라인)의 가스 라인(22)과, 가스 아웃 매니폴드(23)를 구비하고 있다. 각 가스 라인(22)의 구성은 동일하므로, 이하에는 복수의 가스 라인(22) 중 하나의 가스 라인(22)에 대해서만 설명을 행한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 가스 라인(22)은, 복수의 조인트(24, 25)와, 복수의 유체 제어 기기(27 내지 30)를 구비한다.
복수의 조인트(24, 25)는, 프로세스 가스의 입구로 되는 입구 조인트(24)와, 입구 조인트(24)와 가스 아웃 매니폴드(23) 사이에 배치되는 복수의 블록상의 조인트(25)로 구성되어 있다. 복수의 조인트(24, 25)는, 기반(21) 상에 일렬로 나열되도록 마련되고, 기반(21)에 고정되어 있다. 가스 아웃 매니폴드(23)에는, 출구 배관(26)이 접속되어 있다.
복수의 유체 제어 기기(27 내지 30)는, 수동식 레귤레이터(감압 밸브)(27)와 필터(28)와, 유량 제어 기기(예를 들어, 매스 플로 컨트롤러(MFC: Mass Flow Controller))(29)와, 자동 밸브(예를 들어, 유체 구동식 자동 밸브)(30)로 구성되어 있다. 각 유체 제어 기기(27 내지 30)는, 조인트(24, 25)에 대하여 각각 연결되어 있다. 그리고, 입구 조인트(24)로부터 유입되는 가스는, 유체 제어 기기(27 내지 30) 및 복수의 조인트(25) 및 가스 아웃 매니폴드(23)를 통과하여, 도시하지 않은 챔버로 공급된다. 또한, 레귤레이터(27) 또는 매스 플로 컨트롤러(29)에는, 가스의 유량을 검지하는 도시하지 않은 유량 센서가 마련되어 있다.
도 3은, 밸브(30)의 정면도를 도시하고 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 밸브(30)는, 바디(31)와, 액추에이터(32)와, 바디(31)와 액추에이터(32)와 접속하여 토크 렌치(도시 생략)에 의해 회전되는 보닛(33)과, 바디(31)와 보닛(33)에 의해 외주연부가 핀치되는 다이어프램(34)을 구비한다. 또한, 밸브(30)는, 외부로부터 액추에이터(32)로 공급되는 구동 유체에 의해 개폐가 행해지는 밸브이다. 또한, 밸브(30)에는, 센서부(35)가 마련되어 있다. 센서부(35)는, 가스의 압력을 검지하는 압력 센서, 가스의 온도를 검지하는 온도 센서, 다이어프램(34)의 움직임을 검지하는 변위 센서에 의해 구성되어 있다. 다이어프램(34)은 밸브체에 상당한다.
이어서, 정보 처리 장치(1)를 구비하는 제조 보조 시스템(10)의 구성에 대하여 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 제조 보조 시스템(10)은, 정보 처리 장치(1)와, 카메라(2)와, 표시 장치(3)를 구비하고, 이것들은 유선 또는 무선에 의해 통신 가능하게 구성되어 있다.
카메라(2)는, 예를 들어 동화상을 촬영 가능한 비디오 카메라이고, 제조 중인 밸브(30)를 촬영하고, 촬영한 동화상을 정보 처리 장치(1)로 송신하도록 구성되어 있다. 표시 장치(3)는, 디스플레이를 갖고, 정보 처리 장치(1)로부터 송신되는 밸브(30)의 제조에 관한 지시 정보를 표시한다.
정보 처리 장치(1)는, CPU(Central Processing Unit)(11)와, 기억부(12)와, 통신부(13)를 구비하고, 그것들은 버스에 의해 서로 접속되어 있다.
CPU(11)는, 기억부(12)에 기억된 프로그램을 판독하여 실행함으로써, 정보 처리 장치(1) 및 제조 보조 시스템(10)을 제어한다.
기억부(12)는, 후술하는 지시 정보 작성 처리에 관한 프로그램을 기억하고, 당해 프로그램이 CPU(11)에 판독되어 실행됨으로써, CPU(11)의 각 처리부(11A 내지 11G)의 기능이 실현된다.
또한, 기억부(12)는, 밸브(30)의 사용 정보, 스펙(사양) 정보, 적정 스펙(사양) 정보, 제조 조건, 누적 정보에 관한 각종 테이블을 저장하고 있다.
도 4는, 사용 정보 테이블(100)의 구성예를 도시하는 도면이다.
사용 정보 테이블(100)은, 예를 들어 유체 제어 장치(20)의 각 가스 라인(22)의 최상류 및 최하류에 위치하는 밸브(30)의 사용 정보를 저장하고 있고, 각 밸브(30)에 대응하여 복수의 사용 밸브 테이블(101)이 마련되어 있다. 각 사용 밸브 테이블(101)에는, 대응하는 밸브(30)의 로트 No.가 붙여져 있다.
사용 밸브 테이블(101)은, 사용 정보의 항목으로서, 가스종(102)과, 환경 온도(103)와, 유체 온도(104)와, 개폐 빈도(105)와, 유량(106)과, 압력(107)과, 구동압(108)을 저장한다.
가스종(102)은, 밸브(30)에 있어서 사용되어 있는 가스의 종류를 나타낸다. 환경 온도(103)는, 밸브(30)의 주위의 평균 온도(℃)를 나타낸다. 유체 온도(104)는, 밸브(30)를 흐르는 가스의 평균 온도(℃)를 나타낸다. 개폐 빈도(105)는, 사용 기간에 있어서의 밸브(30)의 개폐 횟수(개폐의 합계값)를 나타낸다. 유량(106)은, 사용 기간에 있어서 밸브(30)를 흐른 가스의 유량(㎥/s)을 나타낸다. 압력(107)은, 밸브(30)에 흐르는 가스의 평균 압력(㎫)을 나타낸다. 구동압(108)은, 밸브(30)를 개폐하기 위해 액추에이터(32)로 공급되는 구동 유체의 평균 구동압(㎫)을 나타낸다.
밸브(30)에 마련된 센서부(35), 레귤레이터(27) 또는 매스 플로 컨트롤러(29)에 마련된 도시하지 않은 유량 센서에 의해, 환경 온도(103), 유체 온도(104) 등이 취득되어, 유체 제어 장치(20)에 마련된 기억부에 축적된다. 또한, 기억부에 축적하지 않고, 무선 통신에 의해 외부의 다른 정보 처리 장치로 송신해도 된다. 그리고, 반도체 제조 장치에 마련된 유체 제어 장치(20)가 소정의 기간(예를 들어, 1주일) 사용되고 당해 기억부에 축적된 데이터에 기초하여, 사용 정보 테이블(100)이 작성된다. 또한, 사용 정보 테이블(100)의 작성은, 정보 처리 장치(1)에서 행해도 되고, 외부의 다른 정보 처리 장치에 있어서 사용 정보 테이블(100)을 작성하여 정보 처리 장치(1)에 입력하도록 해도 된다. 또한, 사용 정보 테이블(100)에 있어서, 온도 및 압력은 평균값이었지만, 사용 기간에 있어서의 온도 및 압력의 범위(상한 및 하한)여도 된다.
도 5는, 스펙 정보 테이블(200)의 구성예를 도시하는 도면이다.
스펙 정보 테이블(200)은, 사용 정보 테이블(100)에 사용 정보가 저장되어 있는 밸브(30)의 스펙(사양) 정보를 저장하고 있다. 따라서, 스펙 정보 테이블(200)에는, 각 밸브(30)에 대응하는 스펙 밸브 테이블(201)이 마련되어 있다.
스펙 밸브 테이블(201)은, 스펙 정보의 항목으로서, 가스종(202)과, 환경 온도 범위(203)와, 유체 온도 범위(204)와, 상한 개폐 빈도(205)와, 상한 유량(206)과, 최고 압력(207)과, 구동압 범위(208)를 저장한다.
가스종(202)은, 밸브(30)에 있어서 사용되고 있는 가스의 종류를 나타내지만, 제조 시에는 사용되는 가스가 불분명하므로, 아무것도 입력되어 있지 않다. 환경 온도 범위(203)는, 밸브(30)를 사용 가능한 주위의 온도 범위(℃)를 나타낸다. 유체 온도 범위(204)는, 밸브(30)에 흐르게 하는 가스의 온도 범위(℃)를 나타낸다. 상한 개폐 빈도(205)는, 사용 기간에 있어서의 밸브(30)의 개폐 횟수(개폐의 합계값)의 상한을 나타낸다. 상한 유량(206)은, 사용 기간에 있어서 밸브(30)를 흐르는 가스의 유량(㎥/s)의 상한을 나타낸다. 최고 압력(207)은, 밸브(30)에 흐르게 하는 것이 가능한 가스의 최고 압력(㎫)을 나타낸다. 구동압(208)은, 밸브(30)를 개폐하기 위해 액추에이터(32)로 공급되는 구동 유체의 구동압(㎫)의 범위를 나타낸다.
도 6은, 적정 스펙 정보 테이블(300)의 구성예를 도시하는 도면이다.
적정 스펙 정보 테이블(300)은, 후술하는 바와 같이 사용 정보 테이블(100)에 기초하여 작성되는 테이블이고, 각 밸브(30)에 대응하는 적정 스펙 밸브 테이블(301)을 구비한다.
적정 스펙 밸브 테이블(301)은, 사용 정보에 기초하는 적정한 스펙 정보로서, 가스종(302)과, 환경 온도 범위(303)와, 유체 온도 범위(304)와, 상한 개폐 빈도(305)와, 상한 유량(306)과, 최고 압력(307)과, 구동압 범위(308)를 저장한다. 적정 스펙 밸브 테이블(301)에 저장되어 있는 항목은, 스펙 밸브 테이블(201)에 저장되어 있는 항목과 마찬가지이므로, 설명을 생략한다. 또한, 적정 스펙 밸브 테이블(301)에서는, 사용되는 가스가 입력되어 있다.
도 7은, 제조 조건 테이블(400)의 구성예를 도시하는 도면이다.
제조 조건 테이블(400)은, 각 밸브(30)를 제조하기 위한 제조 조건이 저장되어 있다. 따라서, 제조 조건 테이블(400)에는, 각 밸브(30)에 대응하는 제조 밸브 테이블(401)이 마련되어 있다.
제조 밸브 테이블(401)은, 제조 정보의 항목으로서, 토크값(402)과, 다이어프램 치수(403)와, 다이어프램 경도(404)와, 다이어프램 변위량(405)과, 온도 범위(406)와, 공구(407)와, 누설 시험 방법(408)을 저장한다.
토크값(402)은, 보닛(33)을 바디(31)에 비틀어 넣을 때의 토크값을 나타낸다. 당해 토크값에 의해, 외주연부가 핀치되는 다이어프램(34)의 형상이 변화된다. 예를 들어, 토크값을 높이면, 다이어프램(34)의 형상이 급한 산 형상으로 되기 때문에, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 증대되고, 다이어프램(34)의 내구성은 저하된다. 한편, 토크값을 낮추면, 다이어프램(34)의 형상이 완만한 산 형상으로 되기 위해, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 감소하고, 다이어프램(34)의 내구성은 증가한다.
다이어프램 치수(403)는, 다이어프램(34)의 치수를 나타낸다. 다이어프램(34)의 치수는 제조 로트에 따라 다소의 오차가 있기 때문에, 치수 A-C의 순으로 치수가 커지도록 분류된다. 그리고, 다이어프램(34)의 치수가 클수록, 다이어프램(34)의 형상이, 완만한 산 형상으로 되기 때문에, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 감소한다. 한편, 다이어프램(34)의 치수가 작을수록, 다이어프램(34)의 형상이, 급한 산 형상으로 되기 때문에, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 증가한다.
다이어프램 경도(404)는, 다이어프램(34)의 경도(비커스 경도)를 나타낸다. 다이어프램(34)의 경도는 제조 로트에 따라 다소의 오차가 있기 때문에, 경도 A-C의 순으로 경도가 세지도록 분류된다. 그리고, 다이어프램(34)의 경도가 셀수록, 다이어프램(34)의 형상이, 급한 산 형상으로 되기 때문에, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 증가한다. 한편, 다이어프램(34)의 경도가 부드러울수록, 다이어프램(34)의 형상이, 완만한 산 형상으로 되기 때문에, 밸브(30)의 스트로크양 및 가스 유량이 감소한다. 다이어프램(34)의 경도는, 밸브체의 물성값에 상당한다.
다이어프램 변위량(405)은, 밸브(30)의 다이어프램(34)이 밸브 시트에 착좌할 때까지의 거리, 즉 밸브(30)의 스트로크양을 나타낸다. 다이어프램 변위량(405)은 사용하는 밸브(30)의 Cv값을 결정하는 데, 중요한 항목으로 된다. 그리고, 다이어프램 변위량(405)이 클수록, 다이어프램(34)의 형상이 급한 산 형상으로 되기 때문에, 가스 유량이 증대하고, 다이어프램 변위량(405)이 작을수록, 다이어프램(34)의 형상이 완만한 산 형상으로 되기 때문에, 가스 유량이 감소한다.
온도 범위(406)는, 밸브(30)의 제조 시의 주위의 온도 범위를 나타낸다.
공구(407)는, 보닛(33)을 바디(31)에 비틀어 넣을 때에 사용하는 렌치의 종류를 나타낸다.
누설 시험 방법(408)은, 밸브(30)가 완성된 후에 행하는 누설 시험의 방법을 나타낸다. 밸브(30)에 흐르게 하는 가스종에 따라, 누설 시험이 변경된다. 예를 들어, 모노실란(SiH4)을 흐르게 하는 밸브(30)에 대해서는, 질소를 흐르게 하는 밸브(30)에 대하여 행해지는 누설 시험보다도 더 엄격한 시험이 행해진다. 누설 시험의 방법은, 누설 검출 방법에 상당한다.
누적 정보 테이블(500)에는, 과거에 정보 처리 장치(1)에 있어서 지시 정보가 작성된 밸브에 관한 사용 정보 테이블(100), 스펙 정보 테이블(200), 적정 스펙 정보 테이블(300), 및 제조 조건 테이블(400)을 축적한 테이블이고, 후술하는 지시 정보 작성 처리가 행해진 후, 사용된 테이블이 저장된다.
통신부(13)는, 카메라(2) 및 표시 장치(3)와 통신을 행하여, 카메라(2)로부터 송신되는 동화상을 수신하고, CPU(11)의 표시 제어부(11G)로부터의 정보를 표시 장치(3)로 송신한다.
CPU(11)는, 해석부(11A)와, 스펙 비교부(11B)와, 스펙 갱신부(11C)와, 제조 조건 작성부(11D)와, 제조 조건 갱신부(11E)와, 지시 정보 작성부(11F)와, 표시 제어부(11G)를 갖는다.
해석부(11A)는, 사용 정보 테이블(100)에 저장된 사용 정보를 해석하고, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보 및 누적 정보 테이블(500)에 저장된 누적 정보에 기초하여, 적정한 스펙 정보를 작성한다. 예를 들어, 사용 정보 테이블(100)에 저장된 사용 정보의 각 항목과, 당해 밸브(30)의 스펙 정보의 각 항목을 비교하고, 합치하는 항목에 대해서는, 당해 스펙을 적정 스펙으로서 사용하고, 합치하지 않는 항목에 대해서는, 합치하도록 변경한 스펙을 적정 스펙이라고 해도 된다.
또한, 누적 정보에 있어서, 당해 밸브(30)와 동일한 스펙을 갖는 밸브에 대하여, 사용 정보의 개폐 빈도(105)가, 스펙 정보의 상한 개폐 빈도(205)를 상회하는 경우 또는 대폭으로 하회하는 경우가 없는 경우에는, 적정 스펙 정보의 상한 개폐 빈도(305)를 사용 정보의 개폐 빈도(105)에 기초하여 작성하지 않아도 된다. 또한, 사용 정보의 모든 항목에 합치하는 스펙을, 누적 정보의 적정 스펙 정보로부터 적정한 스펙을 추출하도록 해도 된다.
밸브(30)는 스트로크양이 작아질수록, 다이어프램(34)의 변위량이 작고 또한 반복 응력이 작아지기 때문에, 내구성, 즉 사용 가능한 개폐 횟수를 증가시킬 수 있다. 그러나, 밸브(30)의 스트로크양을 작게 하면, 압력 손실이 커서 유량을 확보할 수 없어, 내구성과 유량은 상반되는 관계에 있다.
구체적으로는, 도 4의 사용 정보의 각 항목(102 내지 108)과, 도 5의 스펙 정보의 각 항목(202 내지 208)을 비교한다. 사용 정보의 항목(103, 107 내지 108)에 대해서는 스펙 정보의 항목(203, 207 내지 208)과 합치하고 있으므로, 당해 스펙을 적정 스펙으로서 사용한다. 한편, 사용 정보의 항목(102, 104 내지 106)에 대해서는, 스펙 정보의 항목(202, 204 내지 206)의 항목과 합치하고 있지 않으므로, 합치하도록 변경한 스펙을 적정 스펙으로서 사용한다. 이로써, 도 6에 도시하는 적정 스펙 정보가 작성된다. 해석부(11A)는, 적정 스펙 작성 수단에 상당한다.
스펙 비교부(11B)는, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보와, 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장된 적정 스펙 정보를 비교한다. 예를 들어, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 항목(203 내지 208)과, 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장된 항목(303 내지 308)을 비교하여, 모두 일치하는지 여부를 판정한다.
스펙 갱신부(11C)는, 스펙 비교부(11B)에 의한 비교 결과에 기초하여, 스펙 정보에 있어서, 적정 스펙 정보와 상이한 항목의 정보를, 적정 스펙 정보의 항목의 정보로 갱신한다. 예를 들어, 도 5, 도 6에 있어서, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보와, 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장된 적정 스펙 정보는, 유체 온도 범위(204, 304)와, 상한 개폐 빈도(205, 305)와, 상한 유량(206, 306)이 다르다. 따라서, 스펙 정보의 유체 온도 범위(204), 상한 개폐 빈도(205), 및 상한 유량(206)의 정보를, 적정 스펙 정보의 유체 온도 범위(304), 상한 개폐 빈도(305), 및 상한 유량(306)의 정보로 갱신한다.
제조 조건 작성부(11D)는, 갱신된 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보에 기초하여, 밸브(30)의 제조 조건을 작성한다. 구체적으로는, 제조 조건 테이블(400)에 저장된 제조 조건과 동일한 항목(토크값, 다이어프램 치수 등)에 대하여 작성한다. 예를 들어, 가스종(302)이 SiH4이기 때문에, 누설 시험 방법(408)은, 더 엄격한 시험 방법이 선택된다. 또한, 스펙 정보의 갱신에 의해, 상한 개폐 빈도(205)가 변경된 경우에는, 다이어프램(34)의 내구성이 영향을 끼치기 때문에, 적절한 토크값(402)의 값이 설정되거나, 또는 적절한 다이어프램 치수(403) 및 다이어프램 경도(404)가 선택된다. 또한, 상한 유량(206)이 변경된 경우에는, 다이어프램(34)의 변위량을 변경하기 위해, 적절한 토크값(402)의 값이 설정되거나, 또는 적절한 다이어프램 치수(403) 및 다이어프램 경도(404)가 선택된다.
제조 조건 갱신부(11E)는, 제조 조건 작성부(11D)에 의해 작성된 제조 조건에 기초하여, 제조 조건 테이블(400)에 저장된 제조 조건을 갱신한다. 제조 조건 작성부(11D)와 제조 조건 갱신부(11E)는, 제조 조건 결정 수단에 상당한다.
지시 정보 작성부(11F)는, 제조 조건 갱신부(11E)에 의해 갱신된 제조 조건에 기초하여, 밸브(30)의 제조 시에 표시 장치(3)에 표시하기 위한 지시 정보를 작성한다. 예를 들어, 제조 조건 테이블(400)의 토크값(402)에 기초하여, 토크값 「6.0」을 표시 장치(3)에 표시하기 위한 지시 정보, 다이어프램 치수(403)에 기초하여, 「치수 A」를 표시 장치(3)에 표시하기 위한 지시 정보 등을 작성한다.
표시 제어부(11G)는, 카메라(2)로부터 수신한 동화상에 기초하여, 밸브(30) 제조 공정을 판단하고, 제조 공정에 따라, 지시 정보 작성부(11F)가 작성한 지시 정보를 표시 장치(3)로 송신한다.
상기와 같은 구성을 구비하는 본 실시 형태의 정보 처리 장치(1)는, 이하에 설명하는 수순으로 지시 정보 작성 처리를 행한다.
도 8은, 지시 정보 작성 처리의 수순을 도시하는 흐름도이다.
정보 처리 장치(1)의 CPU(11)가 실행하는 지시 정보 작성 처리는, 예를 들어 유저가 기억부(12)에 기억된 지시 정보 작성 처리에 관한 프로그램을 실행함으로써 개시된다.
먼저, 해석부(11A)는, 도 4에 도시하는 사용 정보 테이블(100)에 저장된 사용 정보를 해석하고, 도 6에 도시하는 적정한 스펙 정보를 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장한다(스텝 S1).
스펙 비교부(11B)는, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보와, 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장된 적정 스펙 정보를 비교한다(스텝 S2). 구체적으로는, 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 항목(203 내지 208)과, 적정 스펙 정보 테이블(300)에 저장된 항목(303 내지 308)을 비교하여, 모두 일치하는지 여부를 판정한다.
모두 일치하는 경우(스텝 S2: 예), 스펙 비교부(11B)는, 지시 정보 작성 처리를 종료한다. 한편, 일치하지 않는 항목이 있는 경우(스텝 S2. 아니오), 스펙 비교부(11B)는 스텝 S3으로 진행된다.
스펙 갱신부(11C)는, 스텝 S2에 있어서의 스펙 비교부(11B)에 의한 비교 결과에 기초하여, 스펙 정보에 있어서, 적정 스펙 정보와 상이한 항목의 정보를, 적정 스펙 정보의 항목의 정보로 갱신한다(스텝 S3).
제조 조건 작성부(11D)는, 갱신된 스펙 정보 테이블(200)에 저장된 스펙 정보에 기초하여, 밸브(30)의 제조 조건을 작성한다(스텝 S4).
제조 조건 갱신부(11E)는, 제조 조건 작성부(11D)에 의해 작성된 제조 조건에 기초하여, 제조 조건 테이블(400)에 저장된 제조 조건을 갱신한다(스텝 S5).
지시 정보 작성부(11F)는, 제조 조건 갱신부(11E)에 의해 갱신된 제조 조건에 기초하여, 밸브(30)의 제조 시에 표시 장치(3)에 표시하기 위한 지시 정보를 작성한다(스텝 S6).
또한, 본 실시 형태에 관한 기기 교환 방법에서는, 제조 조건 갱신부(11E)에 의해 갱신된 제조 조건에 기초하여, 밸브를 제조하고, 제조한 밸브를, 사용 정보를 취득한 유체 제어 장치(20)의 밸브(30)와 교환한다. 이로써, 항상 반도체 프로세스에 따른 적절한 스펙을 갖는 밸브를 제공할 수 있다.
상기와 같은, 정보 처리 장치(1)에 의하면, 해석부(11A)는, 밸브(30)의 사용 정보에 기초하여, 밸브(30)에 적합한 적정 스펙을 나타내는 적정 스펙 정보를 작성하고, 스펙 비교부(11B)는, 적정 스펙 정보와, 소정의 스펙을 나타내는 스펙 정보를 비교하고, 스펙 갱신부(11C)는, 스펙 비교부(11B)에 의한 비교 결과에 기초하여, 밸브(30)의 스펙 정보를 갱신하고, 제조 조건 작성 수단(제조 조건 작성부(11D), 제조 조건 갱신부(11E))은, 스펙 갱신부(11C)에 의해 갱신된 스펙 정보에 기초하여, 밸브(30)의 제조 조건을 작성하고, 지시 정보 작성부(11F)는, 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 표시 장치(3)에 표시하기 위한 밸브의 제조에 관한 지시 정보를 작성한다.
이러한 구성에 의하면, 밸브(30)의 사용 상태에 따른 적정한 스펙을 갖는 밸브를 제조하기 위한 제조 조건이 작성되고, 당해 제조 조건에 기초하여, 표시 장치(3)에 표시하기 위한 밸브의 제조에 관한 지시 정보가 작성된다. 이 때문에, 밸브(30)와 동일한 밸브의 주문이 있던 경우에, 반도체 프로세스에 따른 적절한 스펙을 갖는 다양한 밸브를 용이하게 제조할 수 있다. 이로써, 밸브의 오버스펙을 방지할 수 있어, 밸브의 고액화를 억제할 수 있다. 따라서, 유저는, 리피트 발주 또는 동 프로세스의 밸브라면, 자신의 사용 환경에 적합한 스펙의 밸브를 입수 가능해진다.
또한, 해석부(11A)는, 소정의 스펙을 나타내는 스펙 정보 및/또는 누적 정보에 기초하여, 적정 스펙 정보를 작성한다. 이로써, 밸브(30)와 동일한 밸브의 주문이 있던 경우에, 반도체 프로세스에 따른 더 적절한 스펙을 갖는 다양한 밸브를 용이하게 제조할 수 있다.
또한, 상기한 제조 보조 시스템(10)에 의하면, 정보 처리 장치(1)와, 지시 정보 작성부(11F)에 의해 작성된 지시 정보를 표시하는 표시 장치(3)를 구비하므로, 작업자가 표시 장치(3)를 보면서 용이하게 다양한 밸브를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되지 않는다. 당업자라면 본 발명의 범위 내에서, 다양한 추가나 변경 등을 행할 수 있다.
예를 들어, 상기한 실시 형태에서는, 기기를 밸브(30)로 했지만, 다른 유체 제어 기기여도 된다.
또한, 카메라(2)와 표시 장치(3)는, 일체로 구성된 태블릿 단말기(4)(도 1)여도 되고, 예를 들어 작업자와 밸브(30) 사이에 태블릿 단말기(4)를 배치하여, 카메라(2)로 촬영한 동화상을 표시 장치(3)에 표시하고, 제조 보조를 행해도 된다. 또한, 정보 처리 장치(1), 카메라(2), 및 표시 장치(3)가 일체로 구성되어 있어도 된다.
또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 카메라(2)와 표시 장치(3)는, 일체로 구성된 헤드 마운트 디스플레이(5)여도 된다.
1: 정보 처리 장치
2: 카메라
3: 표시 장치
4: 태블릿 단말기
5: 헤드 마운트 디스플레이
10: 제조 보조 시스템
11: CPU
11A: 해석부
11B: 스펙 비교부
11C: 스펙 갱신부
11D: 제조 조건 작성부
11E: 제조 조건 갱신부
11F: 지시 정보 작성부
12: 기억부
100: 사용 정보 테이블
200: 스펙 정보 테이블
300: 적정 스펙 정보 테이블
400: 제조 조건 테이블
500: 누적 정보 테이블
30: 밸브

Claims (8)

  1. 스펙 정보에 기초하는 제조 조건에 의해 제조된 기기의 사용 정보에 기초하여, 기기에 적합한 적정 스펙을 나타내는 적정 스펙 정보를 작성하는 적정 스펙 작성 수단과,
    상기 적정 스펙 작성 수단에 의해 작성된 상기 적정 스펙 정보에 기초하여, 기기의 제조 조건을 결정하는 제조 조건 결정 수단을 구비하는, 정보 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적정 스펙 정보와, 소정의 스펙을 나타내는 상기 스펙 정보를 비교하는 스펙 비교 수단과,
    상기 스펙 비교 수단에 의한 비교 결과에 기초하여, 기기의 상기 스펙 정보를 갱신하는 스펙 갱신 수단과,
    상기 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 표시 장치에 표시하기 위한 상기 기기의 제조에 관한 지시 정보를 작성하는 지시 정보 작성 수단을 구비하는, 정보 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 적정 스펙 작성 수단은, 상기 소정의 스펙을 나타내는 상기 스펙 정보 및/또는 상기 적정 스펙 정보, 및 상기 스펙 정보에 관한 누적 정보에 기초하여, 상기 적정 스펙 정보를 작성하는, 정보 처리 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 기재된 정보 처리 장치와,
    상기 지시 정보 작성 수단에 의해 작성된 상기 지시 정보를 표시하는 표시 장치를 구비하는, 제조 보조 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 표시 장치는, 촬영 장치와 일체로 구성되어 있는, 제조 보조 시스템.
  6. 상기 기기는, 밸브이고,
    상기 제조 조건은, 상기 밸브의 밸브체의 물성값, 상기 밸브체의 치수, 상기 밸브의 제조 시의 주위의 온도 범위, 및 상기 밸브의 누설 검출 방법 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 제4항 또는 제5항에 기재된 제조 보조 시스템을 사용한, 밸브의 조립 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제조 조건은, 상기 밸브의 스트로크양을 포함하는, 밸브의 조립 및 검사 방법.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 정보 처리 장치에 있어서의 제조 조건 결정 수단에 의해 결정된 제조 조건에 기초하여, 기기를 제조하고,
    제조한 기기를, 사용 정보를 취득한 기기와 교환하는, 기기 교환 방법.
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