KR20200014966A - Mask stocking apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 마스크 보관장치에 관한 것에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스크를 정위치에 정확하게 적재시킬 수 있는 마스크 보관장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask storage device, and more particularly, to a mask storage device capable of accurately loading a mask in place.
평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광 효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.Organic Light Emitting Display (OLED), one of the flat panel display elements, is an ultra-thin display device that realizes color images by self-emission of organic materials. It is attracting attention as a promising display device.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode and a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. The organic layers may include at least a light emitting layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in addition to the light emitting layer.
유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic light emitting display device may be classified into a polymer organic light emitting device and a low molecular organic light emitting device according to an organic film, in particular, a material forming a light emitting layer.
풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 '마스크'라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize full color, the light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using a fine metal mask (FMM) and a laser induced thermal imaging (LITI) method are applied. For example, a method using a color filter may be applied.
마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When manufacturing a large OLED by applying a mask method, a so-called horizontal upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then deposited may be applied.
수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal upward deposition method is a method of aligning a substrate and a mask disposed horizontally with respect to a bottom surface of a chamber or the like, bonding them together, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.
하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as OLEDs become larger in size, masks are becoming larger and larger in weight, and in this case, deflection of the mask occurs in the direction of gravity, making it difficult to closely adhere the mask to the substrate, thereby eventually securing the precision required for mass production. There is a difficult problem.
따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있으며, 본 출원인은 이러한 기술들에 대하여 다수 선출원한 바 있으며, 일부는 등록되어 적용 중에 있다.Therefore, in the recent years, a technique for placing the substrate and the mask in a vertical direction and then bonding them, and then depositing an organic material has been studied, and the applicant has applied for a number of these applications, some of which are registered and applied.
한편, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 형태일지라도 챔버 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.On the other hand, apart from the above-described horizontal and vertical, any type of mask must be supplied into the chamber, so that a corresponding process through the mask, such as a deposition process on a substrate, can be performed.
이때, 마스크는 단독으로 공급되기도 하지만 카세트 내에 적재된 상태에서 증착 장치로 카세트 상태로 공급될 수 있다. 카세트에서 증착 장치로 마스크가 정확하게 전달되기 위해서는 먼저 마스크가 카세트에 정위치로 적재되는 것이 선행되어야 한다.In this case, the mask may be supplied alone, but may be supplied in a cassette state to the deposition apparatus while being loaded in the cassette. In order for the mask to be correctly transferred from the cassette to the deposition apparatus, the mask must first be loaded into the cassette in place.
그런데 종래기술에 따른 마스크 보관장치는, 마스크를 카세트에 이재하는 스토커장치로부터 수동적으로 마스크를 전달받기만 할 뿐이어서, 이재된 마스크가 정위치에 정확하게 적재되지 않은 경우가 빈번하게 발생되는 문제점이 있다.By the way, the mask storage apparatus according to the prior art only receives the mask manually from the stocker device which transfers the mask to the cassette, and thus, there is a problem that frequently the case where the transferred mask is not correctly placed in the correct position is frequently generated.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 마스크를 카세트에 이재 시 마스크를 정위치에 정확하게 적재시킬 수 있는 마스크 보관장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a mask storage device that can accurately load the mask in place when the mask is transferred to the cassette.
본 발명의 일 측면에 따르면, 보관장치 본체에 지지되며, 마스크가 적재되는 카세트유닛; 상기 보관장치 본체에 마련되며, 상기 카세트유닛에 연결되어 상기 카세트유닛의 위치를 조정하는 카세트 위치조정유닛; 상기 보관장치 본체에 지지되며, 상기 마스크를 상기 카세트유닛에 이재 시 상기 마스크와 상기 카세트유닛의 위치정보를 획득하는 위치 감지유닛; 및 상기 카세트 위치조정유닛과 상기 위치 감지유닛에 연결되며, 상기 마스크가 상기 카세트유닛에 정위치로 이재되도록 상기 카세트 위치조정유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하는 마스크 보관장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the cassette is supported on the storage device body, the mask unit is stacked; A cassette position adjusting unit provided in the main body of the storage device and connected to the cassette unit to adjust the position of the cassette unit; A position sensing unit supported by the storage device body and acquiring position information of the mask and the cassette unit when the mask is transferred to the cassette unit; And a control unit connected to the cassette position adjusting unit and the position detecting unit and controlling the cassette position adjusting unit so that the mask is transferred to the cassette unit in the correct position.
상기 위치 감지유닛은, 상기 마스크와 상기 카세트유닛의 위치정보를 획득하는 위치 감지부; 및 상기 위치 감지부에 연결되며, 상기 위치 감지부를 업/다운(up/down)방향으로 이동시키는 감지부 업/다운(up/down) 이동부를 포함할 수 있다.The position detecting unit may include a position detecting unit obtaining position information of the mask and the cassette unit; And a sensing unit up / down moving unit connected to the position sensing unit and moving the position sensing unit in an up / down direction.
상기 위치 감지부는, 상기 업/다운(up/down) 이동부에 연결되는 장착용 브라켓; 상기 장착용 브라켓에 결합되는 제1 감지센서; 상기 장착용 브라켓에 결합되며, 상기 제1 감지센서의 하부 영역에 배치되는 제2 감지센서; 및 상기 장착용 브라켓에 결합되며, 상기 제2 감지센서의 하부 영역에 배치되는 제3 감지센서를 포함할 수 있다.The position detection unit, the mounting bracket connected to the up / down (up / down) moving unit; A first detection sensor coupled to the mounting bracket; A second detection sensor coupled to the mounting bracket and disposed in a lower region of the first detection sensor; And a third detection sensor coupled to the mounting bracket and disposed in a lower region of the second detection sensor.
상기 감지부 업/다운(up/down) 이동부는, 상기 위치 감지부가 결합되는 감지부용 이동블록; 상기 감지부용 이동블록에 연결되며, 상기 감지부용 이동블록의 이동을 안내하는 감지부용 이동 가이드; 및 상기 감지부용 이동블록에 연결되며, 상기 감지부용 이동블록을 이동시키는 감지부용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The sensing unit up / down moving unit includes: a moving block for a sensing unit to which the position sensing unit is coupled; A moving guide for the sensing unit connected to the moving block for the sensing unit and guiding the movement of the moving block for the sensing unit; And connected to the moving block for the sensing unit, may include a moving unit for the sensing unit for moving the moving block for the sensing unit.
상기 카세트 위치조정유닛은, 상기 카세트유닛을 지지하고, 상기 카세트유닛을 제1축 방향, 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키며 상기 카세트유닛을 상기 제1축 방향과 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향을 회전축심으로 하여 회전시키는 얼라인 스테이지모듈; 및 상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하며, 상기 얼라인 스테이지모듈을 상기 제3축 방향으로 이동시키는 승강모듈을 포함할 수 있다.The cassette position adjusting unit supports the cassette unit, moves the cassette unit in a first axis direction, a second axis direction crossing the first axis direction, and moves the cassette unit in the first axis direction and the second axis direction. An alignment stage module configured to rotate the third axis direction intersecting the axial direction with the rotation axis center; And an elevating module that supports the alignment stage module and moves the alignment stage module in the third axis direction.
상기 얼라인 스테이지모듈은, 상기 카세트유닛이 연결되는 상부 플레이트부;The alignment stage module may include: an upper plate portion to which the cassette unit is connected;
상기 상부 플레이트부의 하부 영역에 배치되며, 상기 승강모듈에 연결되는 하부 플레이트부; 및 상기 하부 플레이트부에 지지되고 상기 상부 플레이트부에 연결되며, 상기 상부 플레이트부를 이동시키는 상부 플레이트부용 이동 구동부를 포함할 수 있다.A lower plate portion disposed in a lower region of the upper plate portion and connected to the elevating module; And a movement driving part for the upper plate part which is supported by the lower plate part and connected to the upper plate part and moves the upper plate part.
상기 상부 플레이트부용 이동 구동부는, 상기 하부 플레이트부의 상부면에 마련되는 가이드 레일; 상기 가이드 레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 하부 슬라이딩 블록; 상기 하부 슬라이딩 블록에 연결되며 상기 하부 슬라이딩 블록을 이동시키는 리니어 모듈; 상기 하부 슬라이딩 블록의 상부에 배치되고 하부 슬라이딩 블록에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 하부 슬라이딩 블록의 이동방향에 교차하는 방향으로 이동되는 상부 슬라이딩 블록; 및 상기 상부 슬라이딩 블록에 지지되고 상기 상부 플레이트부에 상대회전 가능하게 연결되는 크로스 롤러 링부를 포함할 수 있다.The moving plate for the upper plate portion, the guide rail provided on the upper surface of the lower plate portion; A lower sliding block slidably connected to the guide rail; A linear module connected to the lower sliding block and moving the lower sliding block; An upper sliding block disposed above the lower sliding block and slidably connected to the lower sliding block, the upper sliding block moving in a direction crossing the movement direction of the lower sliding block; And a cross roller ring part supported by the upper sliding block and connected to the upper plate part so as to be relatively rotatable.
상기 리니어 모듈은, 상기 하부 슬라이딩 블록에 결합되는 리니어모듈용 이동 너트; 상기 리니어모듈용 이동 너트에 치합되는 리니어모듈용 볼 스크류; 및 상기 리니어모듈용 볼 스크류를 회전시키는 리니어모듈용 서보모터를 포함할 수 있다.The linear module may include a moving nut for the linear module coupled to the lower sliding block; A ball screw for the linear module engaged with the moving nut for the linear module; And it may include a linear motor servo motor for rotating the ball screw for the linear module.
상기 승강모듈은, 상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하는 승강용 지지부; 및 상기 승강용 지지부에 연결되어 상기 승강용 지지부를 승강시키는 승강 구동부를 포함할 수 있다.The lifting module, the lifting support for supporting the alignment stage module; And a lift driver connected to the lift support to lift the lift support.
상기 보관장치 본체에 마련되며, 상기 카세트유닛의 센터링 작업을 위해 상기 카세트유닛의 측벽을 가압하는 카세트용 센터링모듈을 구비하는 카세트용 센터링유닛을 더 포함할 수 있다. The cassette may further include a cassette centering unit provided in the main body of the storage device and having a cassette centering module for pressing the sidewall of the cassette unit for the centering operation of the cassette unit.
상기 카세트용 센터링모듈은, 한 쌍으로 마련되어 상기 카세트유닛의 모서리 영역에 인접하게 위치되고 상호 이격되어 배치될 수 있다.The cassette centering module may be provided as a pair and positioned adjacent to the corner region of the cassette unit and spaced apart from each other.
상기 카세트용 센터링모듈은, 상기 카세트유닛의 측벽에 접촉되는 카세트용 회전 롤러가 회전 가능하게 결합되는 카세트용 가압블록; 및 상기 카세트용 가압블록에 연결되며, 상기 카세트용 가압블록을 상기 카세트유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 카세트용 가압 구동부를 포함할 수 있다.The cassette centering module may include a cassette press block in which a cassette rotating roller which is in contact with the sidewall of the cassette unit is rotatably coupled; And a cassette pressurizing drive unit connected to the cassette pressurizing block and moving the cassette pressurizing block in a direction approaching and spaced apart from the cassette unit.
상기 보관장치 본체에 마련되고 상기 얼라인 스테이지모듈과 상기 승강모듈 사이에 배치되며, 상기 마스크가 상기 카세트유닛에 이재되기 전에 상기 마스크의 센터링 작업을 위해 상기 마스크의 측벽을 가압하는 마스크용 센터링모듈을 구비하는 마스크용 센터링유닛을 더 포함할 수 있다.A centering module for the mask provided in the main body of the storage device and disposed between the alignment stage module and the lifting module and pressurizing the sidewall of the mask for centering the mask before the mask is transferred to the cassette unit; A masking centering unit may be further included.
상기 마스크용 센터링모듈은 상기 마스크의 모서리 영역에 인접하게 배치될 수 있다.The masking centering module may be disposed adjacent to an edge area of the mask.
상기 마스크용 센터링모듈은, 상기 마스크의 측벽에 접촉되는 마스크용 회전 롤러가 회전 가능하게 결합되는 마스크용 가압블록; 및 상기 마스크용 가압블록에 연결되며, 상기 마스크용 가압블록을 상기 마스크에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 마스크용 가압 구동부를 포함할 수 있다.The masking centering module may include a mask pressing block for rotatable coupling of a mask rotating roller in contact with the sidewall of the mask; And a mask pressurizing drive unit connected to the mask pressurizing block and moving the mask pressurizing block in a direction approaching and spaced apart from the mask.
상기 승강 안내부는, 상기 승강 안내부는, 상기 승강용 지지부에 결합된 승강봉; 및 상기 승강용 지지부가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 승강봉의 이동을 가이드하는 리니어 부시를 포함하며, 상기 승강 구동부는, 외주면에 나사산이 형성되며, 상기 승강용 지지부에 회전 가능하게 결합되는 잭 스크류부; 상기 잭 스크류부가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 잭 스크류부에 치합되어 상기 잭 스크류부를 회전시키는 잭 스크류 웜 회전부; 및 잭 스크류 웜 회전부가 설치되는 웜 회전부용 지지부를 포함할 수 있다.The elevating guide portion, the elevating guide portion, the elevating rod coupled to the elevating support portion; And a lifting support connected to the lifting support in a vertical direction, the linear bush guiding the movement of the lifting rod, and the lifting drive unit having a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof and rotatably coupled to the lifting support. A jack screw portion; A jack screw worm rotating part connected to the jack screw part so as to be slidably moved upward and downward and engaged with the jack screw part to rotate the jack screw part; And it may include a support for the worm rotation unit is installed jack screw worm rotation.
상기 승강 안내부는, 상기 승강용 지지부에 결합된 승강블록; 및 상기 보관장치 본체에 지지되며, 상기 승강블록이 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 승강블록 가이드부를 포함하며, 상기 승강 구동부는, 상기 승강용 지지부에 결합되는 이동 너트부; 상기 이동 너트부에 치합되는 볼 스크류부; 및 상기 볼 스크류부에 연결되며, 상기 볼 스크류부를 회전시키는 볼 스크류용 회전부를 포함할 수 있다.The lifting guide portion, the lifting block coupled to the lifting support; And a lifting block guide part which is supported by the storage device main body and in which the lifting block is slidably connected, and the lifting drive part comprises: a moving nut part coupled to the lifting support part; A ball screw part engaged with the moving nut part; And a ball screw rotating part connected to the ball screw part to rotate the ball screw part.
상기 카세트 위치조정유닛은, 상기 승강모듈에 지지되고 상기 얼라인 스테이지모듈에 연결되며, 상기 얼라인 스테이지모듈을 회전시키는 선회모듈을 더 포함할 수 있다.The cassette position adjusting unit may further include a pivot module supported by the elevating module and connected to the alignment stage module to rotate the alignment stage module.
상기 선회모듈은, 상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하는 선회용 회전 플레이트부; 상기 승강모듈에 연결되는 선회용 베이스부; 상기 선회용 베이스부에 회전 가능하게 연결되며, 상기 선회용 회전 플레이트에 결합되는 선회용 회전축; 및 상기 선회용 베이스부에 지지되며, 선회용 회전축을 회전시키는 선회용 회전구동부를 포함할 수 있다.The pivot module includes a pivot plate for supporting the alignment stage module; A turning base part connected to the lifting module; A pivot shaft rotatably connected to the pivot base portion and coupled to the pivot plate; And it is supported on the pivot base portion, it may include a pivoting rotating portion for rotating the pivot for rotation.
상기 선회용 회전구동부는, 상기 선회용 회전축에 연결되며, 상기 선회용 회전축을 회전시키는 선회용 회전벨트; 및 상기 선회용 회전벨트에 연결되며, 상기 선회용 회전벨트를 회전시키는 선회용 구동모터를 포함할 수 있다.The rotating rotary drive unit, the rotating rotary belt is connected to the rotating rotary shaft, for rotating the rotating rotary shaft; And a driving motor for turning connected to the pivoting belt and rotating the pivoting belt.
본 발명의 실시예들은, 마스크를 카세트유닛에 이재 시 마스크와 카세트유닛의 위치정보를 획득하는 위치 감지유닛과, 카세트유닛의 위치를 조정하는 카세트 위치조정유닛을 구비함으로써, 마스크를 카세트에 이재 시 위치 감지유닛이 감지한 위치정보에 따라 마스크에 대해 카세트유닛을 상대이동시켜 마스크를 정위치에 정확하게 적재시킬 수 있다.Embodiments of the present invention, when the mask is transferred to the cassette unit by having a position detecting unit for obtaining the mask and the position information of the cassette unit, and the cassette position adjusting unit for adjusting the position of the cassette unit, According to the position information detected by the position sensing unit, the cassette unit can be moved relative to the mask so that the mask can be loaded in the correct position.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 보관장치가 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 도 1의 카세트유닛의 정면도이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 도 1의 위치 감지부의 정면도이다.
도 6은 도 5의 제1 감지센서와 제3 감지센서가 감지하는 대상이 도시된 도면이다.
도 7은 도 5의 제2 감지센서가 감지하는 대상이 도시된 도면이다.
도 8은 도 1의 얼라인 스테이지모듈의 측면도이다.
도 9는 도 8의 평면도이다.
도 10은 도 1의 카세트용 센터링유닛이 도시된 도면이다.
도 11은 도 10의 카세트용 센터링모듈이 도시된 도면이다.
도 12는 도 1의 마스크용 센터링유닛이 도시된 도면이다.
도 13은 도 12의 마스크용 센터링모듈이 도시된 도면이다.
도 14는 도 1의 승강모듈을 측면에서 바라본 도면이다.
도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 승강모듈이 도시된 도면이다.
도 16은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 보관장치가 도시된 도면이다.
도 17은 도 16의 선회모듈이 도시된 도면이다.
도 18은 본 발명의 제4 실시예에 따른 선회모듈이 도시된 도면이다.1 is a view showing a mask storage device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a plan view of FIG. 1.
3 is a front view of the cassette unit of FIG. 1.
4 is a side view of FIG. 3.
5 is a front view of the position sensor of FIG. 1.
FIG. 6 is a diagram illustrating an object detected by the first and third sensing sensors of FIG. 5.
FIG. 7 is a diagram illustrating an object detected by the second detection sensor of FIG. 5.
8 is a side view of the alignment stage module of FIG. 1.
9 is a plan view of FIG. 8.
10 is a view illustrating a centering unit for a cassette of FIG. 1.
FIG. 11 is a view illustrating a centering module for a cassette of FIG. 10.
12 is a view illustrating a centering unit for a mask of FIG. 1.
FIG. 13 is a view illustrating a centering module for a mask of FIG. 12.
FIG. 14 is a side view of the elevating module of FIG. 1.
15 is a view showing a lifting module according to a second embodiment of the present invention.
16 is a view showing a mask storage device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 17 is a view illustrating the turning module of FIG. 16.
18 is a view showing a swing module according to a fourth embodiment of the present invention.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, descriptions of functions or configurations already known will be omitted to clarify the gist of the present invention.
이하의 도면에서 제1축 방향은 X축 방향으로, 제2축 방향은 Y축 방향으로, 제3축 방향은 Z축 방향으로 도시한다.In the following drawings, the first axis direction is shown in the X axis direction, the second axis direction is shown in the Y axis direction, and the third axis direction is shown in the Z axis direction.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 보관장치가 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 평면도이며, 도 3은 도 1의 카세트유닛의 정면도이고, 도 4는 도 3의 측면도이며, 도 5는 도 1의 위치 감지부의 정면도이고, 도 6은 도 5의 제1 감지센서와 제3 감지센서가 감지하는 대상이 도시된 도면이며, 도 7은 도 5의 제2 감지센서가 감지하는 대상이 도시된 도면이고, 도 8은 도 1의 얼라인 스테이지모듈의 측면도이며, 도 9는 도 8의 평면도이고, 도 10은 도 1의 카세트용 센터링유닛이 도시된 도면이며, 도 11은 도 10의 카세트용 센터링모듈이 도시된 도면이고, 도 12는 도 1의 마스크용 센터링유닛이 도시된 도면이며, 도 13은 도 12의 마스크용 센터링모듈이 도시된 도면이고, 도 14는 도 1의 승강모듈을 측면에서 바라본 도면이다.1 is a view showing a mask storage device according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of Figure 1, Figure 3 is a front view of the cassette unit of Figure 1, Figure 4 is a side view of Figure 3 5 is a front view of the position detecting unit of FIG. 1, and FIG. 6 is a view illustrating an object detected by the first and third sensing sensors of FIG. 5, and FIG. 7 is detected by the second sensing sensor of FIG. 5. FIG. 8 is a side view of the alignment stage module of FIG. 1, FIG. 9 is a plan view of FIG. 8, FIG. 10 is a view showing a cassette centering unit of FIG. 1, and FIG. 11 is The centering module for the cassette of Figure 10 is shown, Figure 12 is a view showing the centering unit for the mask of Figure 1, Figure 13 is a view showing the centering module for the mask of Figure 12, Figure 14 is Figure 1 View of the elevating module from the side.
본 실시예에 따른 마스크 보관장치는, 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 보관장치 본체(100)와, 보관장치 본체(100)에 지지되며 마스크(M)가 적재되는 카세트유닛(N)을 포함한다.1 to 13, the mask storage device according to the present embodiment is supported by the storage device main body 100, the storage device main body 100, and the cassette unit N on which the mask M is stacked. It includes.
카세트유닛(N)은 보관장치 본체(100)에 지지된다. 이러한 카세트유닛(N)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트 프레임부(N1)와, 카세트 프레임부(N1)의 내벽에서 돌출되어 마련되며 카세트 프레임부(N1)의 상하방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되어 마스크(M)를 지지하는 다수의 마스크 지지대(N2)를 포함한다.The cassette unit N is supported by the storage device body 100. 2 to 3, the cassette unit N is provided to protrude from the inner wall of the cassette frame portion N1 and the cassette frame portion N1, and the vertical direction of the cassette frame portion N1 is provided. It includes a plurality of mask support (N2) arranged to be spaced apart by a predetermined interval to support the mask (M).
본 실시예에서 보관장치 본체(100)는, 마스크 보관장치에 인접하게 위치된 스토커장치(미도시)가 마스크(M)를 카세트유닛(N)에 이재 시 카세트유닛(N)을 이재될 마스크(M)에 대해 상대이동시켜 마스크(M)가 정위치에 이재되도록 한다.In the present exemplary embodiment, the storage device main body 100 may include a mask to be transferred from the cassette unit N when the stocker device (not shown) positioned adjacent to the mask storage device transfers the mask M to the cassette unit N. Relative movement with respect to M) causes the mask M to move in place.
이러한 보관장치 본체(100)는, 본체 프레임부(110)와, 마스크(M)를 카세트유닛(N)에 이재 시 마스크(M)와 카세트유닛(N)의 위치정보를 획득하는 위치 감지유닛(120)과, 카세트유닛(N)의 위치를 조정하는 카세트 위치조정유닛(130)과, 마스크(M)가 카세트유닛(N)에 정위치로 이재되도록 카세트 위치조정유닛(130)을 제어하는 제어유닛(미도시)과, 카세트유닛(N)의 센터링 작업을 수행하는 카세트용 센터링유닛(140)과, 마스크(M)가 카세트유닛(N)에 이재되기 전에 마스크(M)의 센터링 작업을 수행하는 마스크용 센터링유닛(150)을 포함한다.The storage device main body 100 includes a main
위치 감지유닛(120)은 마스크(M)를 카세트유닛(N)에 이재 시 이재될 마스크(M)와 카세트유닛(N)의 위치정보를 획득한다. 스토커장치(미도시)가 마스크(M)를 카세트유닛(N)에 이재하는 방식을 간단히 설명하면, 스토커장치(미도시)에 마련된 포크(fork, F)가 마스크(M)를 지지한 상태로 카세트유닛(N)의 내부로 진입된 후 카세트유닛(N)의 상승에 따라 포크(F)에 지지된 마스크(M)가 카세트유닛(N)의 마스크 지지대(N2)에 지지되는 방식으로 마스크(M)가 포크(F)에서 카세트로 이재된다.The
여기서, 위치 감지유닛(120)은 포크(F)가 카세트유닛(N)의 내부로 진입된 후 카세트유닛(N)의 상승 전 상태에서의 카세트유닛(N) 및 마스크(M)의 위치정보와, 카세트가 상승하여 마스크(M)가 마스크 지지대(N2)에 지지된 상태에서의 카세트유닛(N) 및 마스크(M)의 위치정보를 획득한다.Here, the
본 실시예에서 위치 감지유닛(120)은, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 3개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. 따라서, 마스크(M)와 3개의 위치감지유닛 사이의 거리를 측정할 수 있어 마스크(M)가 어떠한 자세로 포크(F)에 지지되어 있는지 정확히 알 수 있다.In this embodiment, as shown in detail in FIG. 2, the
마찬가지로, 카세트유닛(N)과 3개의 위치감지유닛 사이의 거리를 측정할 수 있어 카세트유닛(N)이 어떠한 자세로 카세트 위치조정유닛(130)에 지지되어 있는지 정확히 알 수 있다.Similarly, the distance between the cassette unit N and the three position detecting units can be measured to accurately know in what position the cassette unit N is supported by the cassette
이와 같이 본 실시예에 따른 마스크 보관장치는, 복수개로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 위치 감지유닛(120)을 구비함으로써, 마스크(M) 및 카세트유닛(N)의 위치와 자세정보를 정확하게 획득할 수 있다.As described above, the mask storage device according to the present exemplary embodiment includes a
이러한 위치 감지유닛(120)은, 마스크(M)와 카세트유닛(N)의 위치정보를 획득하는 위치 감지부(121)와, 위치 감지부(121)에 연결되며 위치 감지부(121)를 업/다운(up/down)방향으로 이동시키는 감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)를 포함한다.The
위치 감지부(121)는 마스크(M)와 카세트유닛(N)의 위치정보를 획득한다. 본 실시예에서 위치 감지부(121)는, 업/다운(up/down) 이동부에 연결되는 장착용 브라켓(122)과, 장착용 브라켓(122)에 결합되는 제1 감지센서(123)와, 장착용 브라켓(122)에 결합되며 제1 감지센서(123)의 하부 영역에 배치되는 제2 감지센서(124)와, 장착용 브라켓(122)에 결합되며 제2 감지센서(124)의 하부 영역에 배치되는 제3 감지센서(125)를 포함한다.The
제1 감지센서(123)는 카세트유닛(N)의 내부로 진입한 포크(F)에 지지된 마스크(M)의 위치정보를 획득한다.The
제3 감지센서(125)는 제1 감지센서(123)의 하부 영역에 배치되어 포크(F)가 마스크(M)를 지지한 채로 카세트유닛(N)의 내부로 진입한 상태에서 카세트유닛(N)의 마스크 지지대(N2)의 위치정보를 획득한다.The
제2 감지센서(124)는 제1 감지센서(123)와 제3 감지센서(125)의 사이 공간에 배치된다. 이러한 제2 감지센서(124)는 카세트유닛(N)의 상승에 의해 포크(F)에 지지된 마스크(M)가 마스크 지지대(N2)에 이재된 상태에서 마스크(M)의 위치정보를 획득하여 마스크(M)가 최종적으로 정위치로 이재되었는지 확인할 수 있는 위치정보를 획득한다.The
본 실시예에서 제1 내지 제3 감지센서(123, 124, 125)에는 레이저를 이용한 거리측정센서가 사용된다. 따라서, 제1 감지센서(123)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트유닛(N)의 내부로 진입한 포크(F)에 지지된 마스크(M)를 향해 제1 레이저(L1)를 출사한 뒤 마스크(M)에 반사된 제1 레이저(L1)를 전달받아 제1 감지센서(123)와 마스크(M) 사이의 거리정보를 획득한다.In the present exemplary embodiment, a distance measuring sensor using a laser is used for the first to
제3 감지센서(125)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 마스크 지지대(N2)를 향해 제3 레이저(L3)를 출사한 뒤 마스크 지지대(N2)에 반사된 제3 레이저(L3)를 전달받아 제3 감지센서(125)와 마스크 지지대(N2) 사이의 거리정보를 획득한다.As shown in detail in FIG. 6, the
제2 감지센서(124)는, 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 마스크 지지대(N2)에 지지된 마스크(M)를 향해 제2 레이저(L2)를 출사한 뒤 마스크(M)에 반사된 제2 레이저(L2)를 전달받아 제2 감지센서(124)와 마스크(M) 사이의 거리정보를 획득한다.As shown in detail in FIG. 7, the
감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)는 위치 감지부(121)를 업/다운(up/down)방향으로 이동시킨다. 이러한 감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)에는 위치 감지부(121)에 연결된다. The detector up / down
감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)는, 장착용 브라켓(122)이 결합되는 감지부용 이동블록(127)과, 감지부용 이동블록(127)에 연결되며 감지부용 이동블록(127)의 이동을 안내하는 감지부용 이동 가이드(128)와, 감지부용 이동블록(127)에 연결되며 감지부용 이동블록(127)을 이동시키는 감지부용 이동 구동부(미도시)를 포함한다.The sensing unit up / down moving
감지부용 이동 구동부(미도시)는, 감지부용 이동블록(127)이 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)가 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)에 연결되어 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.The moving unit (not shown) for the sensing unit includes a moving nut (not shown) to which the detecting
본 실시예에서 위치 감지부(121)는 감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)에 의해 상하방향으로 이동되어 마스크(M)가 적재되는 위치로 이동된다. 또한, 위치 감지부(121)는 감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)에 의해 마스크용 센터링유닛(150)이 배치된 영역으로 이동되어 마스크용 센터링유닛(150)에 의해 센터링 작업이 완료된 마스크(M)의 위치정보를 획득한다. In the present embodiment, the
한편, 카세트 위치조정유닛(130)은 카세트유닛(N)을 지지하며 카세트유닛(N)의 위치를 조정한다. 이러한 카세트 위치조정유닛(130)은, 카세트유닛(N)을 제1축 방향과 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향 및 제1축 방향과 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향을 회전축심으로 하여 회전시키는 얼라인 스테이지모듈(131)과, 얼라인 스테이지모듈(131)을 지지하며 얼라인 스테이지모듈(131)을 제3축 방향으로 이동시키는 승강모듈(138)을 포함한다.On the other hand, the cassette
본 실시예에서 얼라인 스테이지모듈(131)은, 제1축 방향과 제2축 방향이 이루는 2차원 평면 상에서 카세트유닛(N)을 이동시키며, 제1축 방향과 제2축 방향이 교차하는 제3축 방향을 회전 축심으로 하여 카세트유닛(N)을 회전시킨다.In the present exemplary embodiment, the
이러한 얼라인 스테이지모듈(131)은, 도 8 내지 도 9에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트유닛(N)이 연결되는 상부 플레이트부(132)와, 상부 플레이트부(132)의 하부 영역에 배치되며 승강모듈(138)에 연결되는 하부 플레이트부(133)와, 하부 플레이트부(133)에 지지되고 상부 플레이트부(132)에 연결되며 상부 플레이트부(132)를 이동시키는 상부 플레이트부용 이동 구동부(135, 136, 137)를 포함한다. 도 9에서는 설명의 편의를 위해 상부 플레이트부(132)를 투명한 것으로 도시하였다.The
본 실시예에서 상부 플레이트부용 이동 구동부(135, 136, 137)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 상호 이격되어 배치되는 제1 내지 제3 상부 플레이트부용 이동 구동부(135, 136, 137)를 포함한다. 이러한 제1 내지 제3 상부 플레이트부용 이동 구동부(135, 136, 137)는 상호 간의 독립적인 작동에 의해 상부 플레이트부(132)를 제1축 방향(X)과 제2축 방향(Y)으로 이동시키고 제3축 방향(Z)을 회전축심으로 하여 회전시킨다. In the present exemplary embodiment, the
본 실시예에서 제1 내지 제3 상부 플레이트부용 이동 구동부(135, 136, 137)는 동일한 구조를 가지되 배치방향 및 배치위치만이 다를 뿐이어서 제2 상부 플레이트부용 이동 구동부(136) 및 제3 상부 플레이트부용 이동 구동부(137)는 도 8에서 도시된 제1 상부 플레이트부용 이동 구동부(135)의 구조와 거의 동일한 구조를 가진다.In the present embodiment, the first to third moving parts for the
제1 상부 플레이트부용 이동 구동부(135)는, 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 하부 플레이트부(133)의 상부면에 마련되는 제1 가이드 레일(135a)과, 제1 가이드 레일(135a)에 제2축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)과, 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)에 연결되며 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)을 제2축 방향으로 이동시키는 제1 리니어 모듈(135c)과, 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)의 상부에 배치되고 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)에 제1축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 상부 슬라이딩 블록(135d)과, 제1 상부 슬라이딩 블록(135d)에 지지되고 상부 플레이트부(132)에 상대회전 가능하게 연결되는 제1 크로스 롤러 링부(135e)를 포함한다.As shown in detail in FIG. 8, the
제1 리니어 모듈(135c)은, 제1 하부 슬라이딩 블록(135b)에 결합되는 제1 리니어모듈용 이동 너트(미도시)와, 제1 리니어모듈용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제1 리니어모듈용 볼 스크류(135f)와, 제1 리니어모듈용 볼 스크류(135f)를 회전시키는 제1 리니어모듈용 서보모터(135g)를 포함한다.The first
제2 상부 플레이트부용 이동 구동부(136)는, 하부 플레이트부(133)의 상부면에 마련되는 제2 가이드 레일(미도시)과, 제2 가이드 레일(미도시)에 제2축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)과, 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 연결되며 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)을 제2축 방향으로 이동시키는 제2 리니어 모듈(136c)과, 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)의 상부에 배치되고 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 제1축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 상부 슬라이딩 블록(미도시)과, 제2 상부 슬라이딩 블록(미도시)에 지지되고 상부 플레이트부(132)에 상대회전 가능하게 연결되는 제2 크로스 롤러 링부(136e)를 포함한다.The second upper
제2 리니어 모듈(136c)은, 제2 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 결합되는 제2 리니어모듈용 이동 너트(미도시)와, 제2 리니어모듈용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제2 리니어모듈용 볼 스크류(136f)와, 제2 리니어모듈용 볼 스크류(136f)를 회전시키는 제2 리니어모듈용 서보모터(136g)를 포함한다.The second
제3 상부 플레이트부용 이동 구동부(137)는, 하부 플레이트부(133)의 상부면에 마련되는 제3 가이드 레일(미도시)과, 제3 가이드 레일(미도시)에 제1축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)과, 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 연결되며 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)을 제1축 방향으로 이동시키는 제3 리니어 모듈(137c)과, 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)의 상부에 배치되고 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 제2축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 상부 슬라이딩 블록(미도시)과, 제3 상부 슬라이딩 블록(미도시)에 지지되고 상부 플레이트부(132)에 상대회전 가능하게 연결되는 제3 크로스 롤러 링부(137e)를 포함한다.The third upper
제3 리니어 모듈(137c)은, 제3 하부 슬라이딩 블록(미도시)에 결합되는 제3 리니어모듈용 이동 너트(미도시)와, 제3 리니어모듈용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제3 리니어모듈용 볼 스크류(137f)와, 제3 리니어모듈용 볼 스크류(137f)를 회전시키는 제3 리니어모듈용 서보모터(137g)를 포함한다.The third
한편, 승강모듈(138)은 얼라인 스테이지모듈(131)을 제3축 방향으로 이동시킨다. 이러한 승강모듈(138)은, 얼라인 스테이지모듈(131)을 지지하는 승강용 지지부(138a)와, 승강용 지지부(138a)에 연결되며 승강용 지지부(138a)의 승강을 안내하는 승강 안내부(138b, 138c)와, 승강용 지지부(138a)에 연결되어 승강용 지지부(138a)를 승강시키는 승강 구동부(138d, 138e, 138f)를 포함한다. Meanwhile, the elevating
승강용 지지부(138a)는 플레이트 형상으로 마련된다. 승강용 지지부(138a)의 상부에는 얼라인 스테이지모듈(131)을 지지하는 마스크용 센터링유닛(150)이 배치된다.The
승강 안내부(138b, 138c)는 승강용 지지부(138a)의 승강을 안내한다. 이러한 승강 안내부(138b, 138c)는 승강용 지지부(138a)에 연결된다. 본 실시예에 따른 승강 안내부(138b, 138c)는, 승강용 지지부(138a)에 결합된 승강봉(138b)와, 승강용 지지부(138a)가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 승강봉(138b)의 이동을 가이드하는 리니어 부시(138c)를 포함한다. The lifting guides 138b and 138c guide the lifting of the
승강봉(138b)의 상단부는 승강용 지지부(138a)의 하면에 결합된다. 리니어 부시(138c)에는 승강봉(138b)이 삽입되는 가이드홈(미도시)이 마련된다. 이러한 가이드홈(미도시)의 내벽은 승강봉(138b)의 외주면에 슬라이딩 가능하게 연결된다. The upper end of the lifting
승강 구동부(138d, 138e, 138f)는 승강용 지지부(138a)를 승강시킨다. 이러한 승강 구동부(138d, 138e, 138f)는 승강용 지지부(138a)에 연결된다. 본 실시예에서 승강 구동부(138d, 138e, 138f)는, 외주면에 나사산(미도시)이 형성되며 승강용 지지부(138a)에 회전 가능하게 결합되는 잭 스크류부(138d)과, 잭 스크류부(138d)가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 잭 스크류부(138d)에 치합되어 잭 스크류부를 회전시키는 잭 스크류 웜 회전부(138f, 138g)와, 잭스크류 웜 회전부(138f, 138g)가 설치되는 웜 회전부용 지지부(138e)를 포함한다. The lifting
잭 스크류부(138d)의 외주면의 적어도 일부분에는 나사산이 형성된다. 이러한 잭 스크류부(138d)의 상부 영역은 승강용 지지부(138a)측에 회전 가능하게 결합된다.Threads are formed on at least a portion of the outer circumferential surface of the
잭 스크류 웜 회전부용 지지부(138e)에는 잭 스크류부(138d)가 삽입되는 가이드홈(미도시)이 마련된다. The
잭 스크류 웜 회전부(138f, 138g)는, 웜 회전부용 지지부(138e)에 지지되며, 잭 스크류부(138d)를 회전시킨다. 이러한 잭 스크류 웜 회전부(138f, 138g)는, 잭 스크류부(138d)에 치합되는 웜 기어부(138f)와, 웜 기어부(138f)에 연결되어 웜 기어부(138f)를 회전시키는 잭 스크류용 회전모터부(138g)를 포함한다.The jack screw
잭 스크류용 회전모터부(138g)의 작동에 의해 웜 기어부(138f)가 회전된다. 웜 기어부(138f)의 회전 시 웜 기어부(138f)에 치합된 잭 스크류부(138d)가 회전되어 상하방향으로 이동된다. 이러한 잭 스크류부(138d)의 상하방향 이동에 따라 잭 스크류부(138d)에 결합된 승강용 지지부(138a)가 승강된다.The
한편, 제어유닛(미도시)은 마스크(M)가 카세트유닛(N)에 정위치로 이재되도록 카세트 위치조정유닛(130)을 제어한다. 이러한 제어유닛(미도시)은, 카세트 위치조정유닛(130)과 위치 감지유닛(120)에 무선 또는 유선으로 연결되어 카세트 위치조정유닛(130)으로부터 마스크(M)와 카세트의 위치정보를 전달받으며, 전달받은 위치정보에 따라 카세트 위치조정유닛(130)에 제어신호를 송신하여 마스크(M)가 카세트유닛(N)의 정위치에 이재되도록 카세트유닛(N)의 마스크(M)에 대해 상대이동시킨다. On the other hand, the control unit (not shown) controls the cassette
한편, 카세트용 센터링유닛(140)은 카세트유닛(N)의 센터링 작업을 수행한다. 이러한 카세트용 센터링유닛(140)은, 카세트 위치조정유닛(130)에 지지되는 카세트 센터링유닛용 프레임(141)과, 카세트 센터링유닛용 프레임(141)에 지지되며 카세트유닛(N)의 센터링 작업을 위해 카세트유닛(N)의 측벽을 가압하는 카세트용 센터링모듈(149)을 포함한다.On the other hand, the
본 실시예에 따른 카세트용 센터링모듈(149)은, 도 10에 자세히 도시된 바와 같이 2개로 마련되며 카세트유닛(N)의 모서리 영역에 위치되고 카세트유닛(N)의 중심영역을 기준으로 대치되게 배치된다.The centering
또한, 본 실시예에 따른 카세트용 센터링유닛(140)은, 한 쌍으로 마련되어 카세트유닛(N)의 모서리 영역에 인접하게 위치되고 상호 이격되어 배치된다. In addition, the
이러한 카세트용 센터링유닛(140)은, 카세트 센터링유닛용 프레임(141)에 지지되며 카세트유닛(N)을 제1축 방향 및 제2축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 카세트 센터링유닛용 지지부(142)와, 카세트유닛(N)의 측벽에 접촉되는 카세트용 회전 롤러(143)가 회전 가능하게 결합되는 카세트용 가압블록(144)과, 카세트용 가압블록(144)에 연결되며 카세트용 가압블록(144)을 카세트유닛(N)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 카세트용 가압 구동부(145)를 포함한다.The
본 실시예에서 카세트 센터링유닛용 지지부(142)는 4개로 마련되어 카세트유닛(N)의 4개의 모서리 영역을 지지하는데, 카세트 센터링유닛용 지지부(142)의 개수는 본 발명의 권리범위를 한정하지 않으며 카세트 센터링유닛용 지지부(142)는 다양한 개수로 마련될 수 있다. In the present embodiment, the
카세트용 가압블록(144)에는 카세트유닛(N)의 측벽에 접촉되는 카세트용 회전 롤러(143)가 회전 가능하게 결합된다. 이러한 카세트용 가압블록(144)은 카세트용 가압 구동부(145)의 구동에 의해 카세트유닛(N)의 외측벽에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다. The
카세트용 가압 구동부(145)는 카세트용 가압블록(144)에 연결되며 카세트용 가압블록(144)을 카세트유닛(N)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시킨다. 본 실시예에 따른 카세트용 가압 구동부(145)는, 도 11에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트 센터링유닛용 프레임(141)에 지지되는 카세트용 가압 실린더 본체(146)와, 카세트용 가압 실린더 본체(146)에 상대이동 가능하게 연결되고 카세트용 가압블록(144)에 결합되는 카세트용 가압 실린더 로드(147)를 포함한다. The cassette pressurizing
한편, 마스크용 센터링유닛(150)은 마스크(M)가 카세트유닛(N)에 이재되기 전에 마스크(M)의 센터링 작업을 수행한다. 이러한 마스크용 센터링유닛(150)은 얼라인 스테이지모듈(131)과 승강모듈(138) 사이에 배치된다.On the other hand, the
마스크용 센터링유닛(150)은, 승강모듈(138)에 지지되는 마스크 센터링유닛용 프레임(151)과, 마스크 센터링유닛용 프레임(151)에 지지되며 마스크(M)의 센터링 작업을 위해 마스크(M)의 측벽을 가압하는 마스크용 센터링모듈(159)을 포함한다.The
본 실시예에 따른 마스크용 센터링모듈(159)은, 도 12에 자세히 도시된 바와 같이 2개로 마련되며 마스크(M)의 모서리 영역에 위치되고 마스크(M)의 중심영역을 기준으로 대치되게 배치된다.The centering
이러한 마스크용 센터링유닛(150)은, 마스크 센터링유닛용 프레임(151)에 지지되며 마스크(M)를 제1축 방향 및 제2축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 마스크 센터링유닛용 지지부(152)와, 마스크(M)의 측벽에 접촉되는 마스크용 회전 롤러(154)가 회전 가능하게 결합되는 마스크용 가압블록(153)과, 마스크용 가압블록(153)에 연결되며 마스크용 가압블록(153)을 마스크(M)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 마스크용 가압 구동부(155)를 포함한다.The
본 실시예에서 마스크 센터링유닛용 지지부(152)는 4개로 마련되어 마스크(M)의 4개의 모서리 영역을 지지하는데, 마스크 센터링유닛용 지지부(152)의 개수는 본 발명의 권리범위를 한정하지 않으며 마스크 센터링유닛용 지지부(152)는 다양한 개수로 마련될 수 있다. In the present embodiment, the
마스크용 가압블록(153)에는 마스크(M)의 측벽에 접촉되는 마스크용 회전 롤러(154)가 회전 가능하게 결합된다. 이러한 마스크용 가압블록(153)은 마스크용 가압 구동부(155)의 구동에 의해 마스크(M)의 외측벽에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다. The
마스크용 가압 구동부(155)는 마스크용 가압블록(153)에 연결되며 마스크용 가압블록(153)을 마스크(M)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시킨다. 본 실시예에 따른 마스크용 가압 구동부(155)는, 도 13에 자세히 도시된 바와 같이, 마스크 센터링유닛용 프레임(151)에 지지되는 마스크용 가압 실린더 본체(156)와, 마스크용 가압 실린더 본체(156)에 상대이동 가능하게 연결되고 마스크용 가압블록(153)에 결합되는 마스크용 가압 실린더 로드(157)를 포함한다. The
이하에서 본 실시예에 따른 마스크 보관장치의 동작을 도 1 내지 도 13을 참고하여 설명한다. Hereinafter, the operation of the mask storage device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 13.
먼저 기타 위치에 있는 카세트유닛(N)에 이재된 마스크(M)의 센터링 작업을 위해 스토커장치(미도시)가 포크(F)에 지지된 마스크(M)를 마스크용 센터링유닛(150)으로 이동시켜 마스크(M)를 마스크 센터링유닛용 지지부(152)에 위에 올려 놓는다.First, the stalker device (not shown) moves the mask M supported by the fork F to the centering
이후, 마스크용 가압 구동부(155)의 동작에 의해 마스크용 가압블록(153)이 마스크(M)의 외측벽으로 이동되어 마스크(M)를 가압한다. 마스크(M)의 중심영역을 기준으로 대치되게 배치된 마스크용 가압블록(153)들이 동시에 마스크(M)의 외측벽을 가압함으로써, 마스크 센터링유닛용 지지부(152) 상에 편심되게 놓여진 마스크(M)가 정위치로 이동될 수 있다.Thereafter, the
이때, 카세트용 센터링모듈(149)도 카세트의 센터링 작업을 동시에 진행한다. 즉, 카세트용 가압 구동부(145)의 동작에 의해 카세트용 가압블록(144)이 카세트의 외측벽으로 이동되어 카세트를 가압한다. At this time, the
카세트유닛(N)의 중심영역을 기준으로 대치되게 배치된 카세트용 가압블록(144)들이 동시에 카세트유닛(N)의 외측벽을 가압함으로써, 카세트 센터링유닛용 지지부(142) 상에 편심되게 놓여진 카세트유닛(N)이 정위치로 이동될 수 있다.Cassette units placed eccentrically on the
다음, 스토커장치(미도시)의 포크(F)가 마스크용 센터링유닛(150)으로 이동되어 센터링작업이 완료된 마스크(M)를 마스크용 센터링유닛(150)에서 꺼낸 후 카세트유닛(N)의 내부로 이동시킨다.Next, the fork F of the stocker device (not shown) is moved to the centering
이후, 감지부 업/다운(up/down) 이동부(126)의 동작에 의해 위치 감지부(121)가 카세트유닛(N)의 내부로 진입한 마스크(M)에 인접한 위치로 이동된다.Thereafter, the
다음, 제1 감지센서(123)가 포크(F)에 지지된 마스크(M)의 위치정보를 획득한다. 이때, 제3 감지센서(125)는 포크(F)에 지지된 마스크(M)가 이재될 마스크 지지대(N2)의 위치 정보를 획득한다.Next, the
도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 상호 이격되어 배치된 3개의 위치 감지유닛(120)이 마스크(M) 및 카세트유닛(N)의 정확한 위치정보를 획득한다.As shown in FIG. 2, the three
위치 감지유닛(120)에 의해 획득된 포크(F)에 지지된 마스크(M) 및 카세트유닛(N)의 위치정보는 제어유닛(미도시)의 전달된다. 제어유닛(미도시)은 전달받은 포크(F)에 지지된 마스크(M) 및 카세트유닛(N)의 위치정보에 따라 마스크(M)가 마스크 지지대(N2) 상에 정위치로 적재될 수 있도록 얼라인 스테이지모듈(131)을 제어하여 카세트유닛(N)의 위치를 미세조정 한다.The position information of the mask M and the cassette unit N supported by the fork F obtained by the
이후, 승강모듈(138)의 작동에 의해 카세트유닛(N)이 상승하여 포크(F)에 지지된 마스크(M)가 마스크 지지대(N2)에 이재된다.Thereafter, the cassette unit N is raised by the operation of the
다음, 제2 감지센서(124)가 마스크 지지대(N2)에 지지된 마스크(M)의 위치정보를 획득하여 제어유닛(미도시)이 마스크(M)가 카세트유닛(N)의 마스크 지지대(N2)에 정위로 적재되었는지 최종적으로 판단한다. Next, the
이와 같이 본 실시예에 따른 마스크 보관장치는, 마스크(M)를 카세트유닛(N)에 이재 시 마스크(M)와 카세트유닛(N)의 위치정보를 획득하는 위치 감지유닛(120)과, 카세트유닛(N)의 위치를 조정하는 카세트 위치조정유닛(130)을 구비함으로써, 마스크(M)를 카세트에 이재 시 위치 감지유닛(120)이 감지한 위치정보에 따라 마스크(M)에 대해 카세트유닛(N)을 상대이동시켜 마스크(M)를 정위치에 정확하게 적재시킬 수 있다.As described above, the mask storage device according to the present embodiment includes a
도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 승강모듈이 도시된 도면이다.15 is a view showing a lifting module according to a second embodiment of the present invention.
본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 승강 안내부(238b, 238c)와 승강 구동부(238d, 238e, 238f, 238g)의 구성이 변경된 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 1 내지 도 14의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.This embodiment differs only in that the configuration of the elevating
본 실시예의 승강 안내부(238b, 238c)는, 승강용 지지부(138a)에 결합된 승강블록(238b)과, 본체 프레임부(110)에 지지되며 승강블록(238b)이 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 승강블록 가이드부(238c)를 포함한다. 승강블록 가이드부(238c)에는 승강블록(238b)이 상하방향으로 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 가이드레일(미도시)이 마련된다.The elevating
본 실시예의 승강 구동부(238d, 238e, 238f, 238g)는, 승강용 지지부(138a)에 결합되는 이동 너트부(238d)와, 이동 너트부(238d)에 치합되는 볼 스크류부(238e)와, 볼 스크류부(238e)에 연결되어 볼 스크류부(238e)를 회전시키는 볼 스크류용 회전부((238f, 238g)를 포함한다.The lifting
볼 스크류용 회전부((238f, 238g)는, 볼 스크류부(238e)에 연결되어 볼 스크류부(238e)를 회전시키는 볼 스크류용 벨트부(238g)와, 볼 스크류용 벨트부(238g)에 연결되어 볼 스크류용 벨트부(238g)를 회전시키는 볼 스크류용 회전모터부(238f)를 포함한다.The ball screw rotating parts (238f, 238g) are connected to the
이와 같이 본 실시예에 따른 승강 구동부(238d, 238e, 238f, 238g)가 리니어모터 방식으로 마련됨으로써 승강모듈(138)의 승강높이 조절이 더욱 정확하게 이루어질 수 있다.As described above, the elevating
도 16은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 보관장치가 도시된 도면이고, 도 17은 도 16의 선회모듈이 도시된 도면이다.16 is a view showing a mask storage device according to a third embodiment of the present invention, Figure 17 is a view showing the turning module of FIG.
본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 선회모듈(360)이 추가되는 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 1 내지 도 14의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.This embodiment differs only in that the
본 실시예에서 카세트 위치조정유닛(130)은, 승강모듈(138)에 지지되고 얼라인 스테이지모듈(131)에 연결되며 얼라인 스테이지모듈(131)을 회전시키는 선회모듈(360)을 더 포함한다. In this embodiment, the cassette
이러한 선회모듈(360)은 얼라인 스테이지모듈(131)이 카세트유닛(N)을 최대로 회전시킬 수 있는 각도 이상으로 카세트유닛(N)을 제3축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시킬 수 있다(예를 들어, 90도 각도). 따라서 스토커장치(미도시)의 위치가 가변되더라도 선회모듈(360)에 의해 카세트유닛(N)이 스토커장치(미도시)를 향하여 선회될 수 있다. The
이러한 선회모듈(360)은, 얼라인 스테이지모듈(131)을 지지하는 선회용 회전 플레이트부(361)와, 승강모듈(138)에 연결되는 선회용 베이스부(362)와, 선회용 베이스부(362)에 회전 가능하게 연결되며 선회용 회전 플레이트부(361)에 결합되는 선회용 회전축(363)과, 선회용 베이스부(362)에 지지되며 선회용 회전축(363)을 회전시키는 선회용 회전구동부(364)를 포함한다.The
선회용 회전 플레이트부(361)의 상면에는 얼라인 스테이지모듈(131)이 결합되며, 선회용 베이스부(362)는 승강용 지지부(138a)의 상면에 결합된다.The
선회용 회전구동부(364)는 선회용 회전축(363)을 회전시킨다. 본 실시예서는 선회용 회전구동부(364)는, 선회용 회전축(363)에 치합되어 선회용 회전축(363)을 회전시키는 변속기어부(364a)와, 변속기어부(364a)에 연결되어 변속기어부(364a)에 동력을 전달하는 구동모터부(364b)를 포함한다. The turning
이와 같이 본 실시예에 따른 마스크 보관장치는, 카세트유닛(N)을 회전시킬 수 있는 선회모듈(360)을 구비함으로써, 카세트유닛(N)을 스토커장치(미도시)를 향하도록 회전시킬 수 있고, 그에 따라 스토커장치(미도시)의 위치에 상관없이 스토커장치(미도시)로부터 마스크(M)를 전달받을 수 있는 이점이 있다.As described above, the mask storage device according to the present embodiment includes the
도 18은 본 발명의 제4 실시예에 따른 선회모듈이 도시된 도면이다.18 is a view showing a swing module according to a fourth embodiment of the present invention.
본 실시예는 제3 실시예와 비교할 때에 선회용 회전구동부(464, 465)의 구성에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 16 내지 도 17의 제3 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.This embodiment is different from the third embodiment in the configuration of the rotational
본 실시예에 따른 선회용 회전구동부(464, 465)는, 선회용 회전축(363)에 연결되며 선회용 회전축(363)을 회전시키는 선회용 회전벨트(464)와, 선회용 회전벨트(464)에 연결되며 선회용 회전벨트(464)를 회전시키는 선회용 구동모터(465)를 포함한다. Swivel
이와 같이 본 실시예에 따른 마스크 보관장치는, 선회용 구동모터(465)로부터 회전 구동력을 전달받아 선회용 회전축(363)에 전달하는 선회용 회전벨트(464)를 구비함으로써, 선회용 구동모터(465)를 선회용 회전축(363)에서 이격된 위치에 배치시킬 수 있고, 그에 따라 조립성이 우수하고 유지보수가 용이한 이점이 있다.As described above, the mask storage device according to the present embodiment includes a
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present embodiment has been described in detail with reference to the drawings, the scope of the present invention is not limited to the above-described drawings and description.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
100: 보관장치 본체
110: 본체 프레임부
120: 위치 감지유닛
121: 위치 감지부
122: 장착용 브라켓
123: 제1 감지센서
124: 제2 감지센서
125: 제3 감지센서
126: 감지부 업/다운(up/down) 이동부
127: 감지부용 이동블록
128: 이동 가이드
130: 카세트 위치조정유닛
131: 얼라인 스테이지모듈
132: 상부 플레이트부
133: 하부 플레이트부
135: 제1 상부 플레이트부용 이동 구동부
135a: 제1 가이드 레일
135b: 제1 하부 슬라이딩 블록
135c: 제1 리니어 모듈
135d: 제1 상부 슬라이딩 블록
135e: 제1 크로스 롤러 링부
136: 제2 상부 플레이트부용 이동 구동부
137: 제3 상부 플레이트부용 이동 구동부
138: 승강모듈
138a: 승강용 지지부
138b: 승강봉
138c: 리니어부시
140: 카세트용 센터링유닛
141: 카세트 센터링유닛용 프레임
142: 카세트 센터링유닛용 지지부
143: 카세트용 회전롤러
144: 카세트용 가압블록
145: 카세트용 가압 구동부
146: 카세트용 가압 실린더 본체
147: 카세트용 가압 실린더 로드
149: 카세트용 센터링모듈
150: 마스크용 센터링유닛
151: 마스크 센터링유닛용 프레임
152: 마스크 센터링유닛용 지지부
153: 마스크용 가압블록
154: 마스크용 회전 롤러
155: 마스크용 가압 구동부
156: 마스크용 가압 실린더 본체
157: 마스크용 가압 실린더 로드
159: 마스크용 센터링모듈
M: 마스크
N: 카세트유닛
N1: 카세트 프레임부
N2: 마스크 지지대
F: 포크100: storage device main body 110: main body frame portion
120: position detection unit 121: position detection unit
122: mounting bracket 123: first detection sensor
124: second detection sensor 125: third detection sensor
126: detector up / down moving part
127: moving block for the detection unit 128: moving guide
130: cassette position adjusting unit 131: alignment stage module
132: upper plate portion 133: lower plate portion
135: moving drive part for the first upper plate part
135a:
135c: first
135e: first cross roller ring portion
136: moving drive part for the second upper plate part
137: moving drive part for the third upper plate part
138: lifting
138b: Lifting
140: cassette centering unit 141: cassette centering unit frame
142: support for cassette centering unit
143: rotating roller for cassette 144: pressure block for cassette
145: pressure drive unit for cassette 146: pressure cylinder body for cassette
147: pressurized cylinder rod for cassette 149: centering module for cassette
150: masking centering unit 151: mask centering unit frame
152: support for mask centering unit 153: pressure block for mask
154: rotating roller for the mask 155: pressure driving unit for the mask
156: pressure cylinder body for the mask 157: pressure cylinder rod for the mask
159: centering module for the mask M: mask
N: cassette unit N1: cassette frame portion
N2: Mask Support F: Fork
Claims (20)
상기 보관장치 본체에 마련되며, 상기 카세트유닛에 연결되어 상기 카세트유닛의 위치를 조정하는 카세트 위치조정유닛;
상기 보관장치 본체에 지지되며, 상기 마스크를 상기 카세트유닛에 이재 시 상기 마스크와 상기 카세트유닛의 위치정보를 획득하는 위치 감지유닛; 및
상기 카세트 위치조정유닛과 상기 위치 감지유닛에 연결되며, 상기 마스크가 상기 카세트유닛에 정위치로 이재되도록 상기 카세트 위치조정유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하는 마스크 보관장치.A cassette unit supported by the storage device body and having a mask loaded thereon;
A cassette position adjusting unit provided in the main body of the storage device and connected to the cassette unit to adjust the position of the cassette unit;
A position sensing unit supported by the storage device body and acquiring position information of the mask and the cassette unit when the mask is transferred to the cassette unit; And
And a control unit connected to the cassette position adjusting unit and the position detecting unit and controlling the cassette position adjusting unit so that the mask is placed in the cassette unit in the correct position.
상기 위치 감지유닛은,
상기 마스크와 상기 카세트유닛의 위치정보를 획득하는 위치 감지부; 및
상기 위치 감지부에 연결되며, 상기 위치 감지부를 업/다운(up/down)방향으로 이동시키는 감지부 업/다운(up/down) 이동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 1,
The position detection unit,
A position sensor for acquiring position information of the mask and the cassette unit; And
And a detector up / down moving unit connected to the position sensing unit and moving the position sensing unit in an up / down direction.
상기 위치 감지부는,
상기 업/다운(up/down) 이동부에 연결되는 장착용 브라켓;
상기 장착용 브라켓에 결합되는 제1 감지센서;
상기 장착용 브라켓에 결합되며, 상기 제1 감지센서의 하부 영역에 배치되는 제2 감지센서; 및
상기 장착용 브라켓에 결합되며, 상기 제2 감지센서의 하부 영역에 배치되는 제3 감지센서를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 2,
The position detection unit,
A mounting bracket connected to the up / down moving part;
A first detection sensor coupled to the mounting bracket;
A second detection sensor coupled to the mounting bracket and disposed in a lower region of the first detection sensor; And
And a third detection sensor coupled to the mounting bracket and disposed in a lower region of the second detection sensor.
상기 감지부 업/다운(up/down) 이동부는,
상기 위치 감지부가 결합되는 감지부용 이동블록;
상기 감지부용 이동블록에 연결되며, 상기 감지부용 이동블록의 이동을 안내하는 감지부용 이동 가이드; 및
상기 감지부용 이동블록에 연결되며, 상기 감지부용 이동블록을 이동시키는 감지부용 이동 구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 2,
The detector up / down moving unit,
A moving block for a detector coupled to the position detector;
A moving guide for the sensing unit connected to the moving block for the sensing unit and guiding the movement of the moving block for the sensing unit; And
Mask storage device is connected to the moving block for the sensing unit, comprising a moving unit for the sensing unit for moving the moving block for the sensing unit.
상기 카세트 위치조정유닛은,
상기 카세트유닛을 지지하고, 상기 카세트유닛을 제1축 방향, 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키며 상기 카세트유닛을 상기 제1축 방향과 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향을 회전축심으로 하여 회전시키는 얼라인 스테이지모듈; 및
상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하며, 상기 얼라인 스테이지모듈을 상기 제3축 방향으로 이동시키는 승강모듈을 포함하는 마스크 보관장치.The method of claim 1,
The cassette positioning unit,
A third supporting the cassette unit, moving the cassette unit in a first axis direction, a second axis direction crossing the first axis direction, and crossing the cassette unit in the first axis direction and the second axis direction; An align stage module configured to rotate with the axis of rotation in the axial direction; And
And a lift module which supports the alignment stage module and moves the alignment stage module in the third axis direction.
상기 얼라인 스테이지모듈은,
상기 카세트유닛이 연결되는 상부 플레이트부;
상기 상부 플레이트부의 하부 영역에 배치되며, 상기 승강모듈에 연결되는 하부 플레이트부; 및
상기 하부 플레이트부에 지지되고 상기 상부 플레이트부에 연결되며, 상기 상부 플레이트부를 이동시키는 상부 플레이트부용 이동 구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 5,
The alignment stage module,
An upper plate portion to which the cassette unit is connected;
A lower plate portion disposed in a lower region of the upper plate portion and connected to the elevating module; And
And a movable driving unit for the upper plate part, which is supported by the lower plate part and connected to the upper plate part, and moves the upper plate part.
상기 상부 플레이트부용 이동 구동부는,
상기 하부 플레이트부의 상부면에 마련되는 가이드 레일;
상기 가이드 레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 하부 슬라이딩 블록;
상기 하부 슬라이딩 블록에 연결되며 상기 하부 슬라이딩 블록을 이동시키는 리니어 모듈;
상기 하부 슬라이딩 블록의 상부에 배치되고 하부 슬라이딩 블록에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 하부 슬라이딩 블록의 이동방향에 교차하는 방향으로 이동되는 상부 슬라이딩 블록; 및
상기 상부 슬라이딩 블록에 지지되고 상기 상부 플레이트부에 상대회전 가능하게 연결되는 크로스 롤러 링부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 6,
The moving drive unit for the upper plate portion,
A guide rail provided on an upper surface of the lower plate portion;
A lower sliding block slidably connected to the guide rail;
A linear module connected to the lower sliding block and moving the lower sliding block;
An upper sliding block disposed above the lower sliding block and slidably connected to the lower sliding block, the upper sliding block moving in a direction crossing the movement direction of the lower sliding block; And
And a cross roller ring part supported by the upper sliding block and rotatably connected to the upper plate part.
상기 리니어 모듈은,
상기 하부 슬라이딩 블록에 결합되는 리니어모듈용 이동 너트;
상기 리니어모듈용 이동 너트에 치합되는 리니어모듈용 볼 스크류; 및
상기 리니어모듈용 볼 스크류를 회전시키는 리니어모듈용 서보모터를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 7, wherein
The linear module,
A moving nut for the linear module coupled to the lower sliding block;
A ball screw for the linear module engaged with the moving nut for the linear module; And
Mask storage device comprising a linear servo motor for rotating the ball screw for the linear module.
상기 승강모듈은,
상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하는 승강용 지지부;
상기 승강용 지지부에 연결되며, 상기 승강용 지지부의 승강을 안내하는 승강 안내부; 및
상기 승강용 지지부에 연결되어 상기 승강용 지지부를 승강시키는 승강 구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 5,
The lifting module,
Lifting support for supporting the alignment stage module;
A lifting guide part connected to the lifting support part and guiding the lifting of the lifting support part; And
And a lift driver connected to the lift support to lift the lift support.
상기 보관장치 본체에 마련되며, 상기 카세트유닛의 센터링 작업을 위해 상기 카세트유닛의 측벽을 가압하는 카세트용 센터링모듈을 구비하는 카세트용 센터링유닛을 더 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 1,
And a cassette centering unit provided in the main body of the storage device and having a cassette centering module for pressing the sidewall of the cassette unit for the centering operation of the cassette unit.
상기 카세트용 센터링모듈은,
한 쌍으로 마련되어 상기 카세트유닛의 모서리 영역에 인접하게 위치되고 상호 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관장치. The method of claim 10,
The cassette centering module,
Mask storage device, characterized in that provided as a pair is positioned adjacent to the corner area of the cassette unit and spaced apart from each other.
상기 카세트용 센터링모듈은,
상기 카세트유닛의 측벽에 접촉되는 카세트용 회전 롤러가 회전 가능하게 결합되는 카세트용 가압블록; 및
상기 카세트용 가압블록에 연결되며, 상기 카세트용 가압블록을 상기 카세트유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 카세트용 가압 구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 10,
The cassette centering module,
A cassette press block for rotatable coupling of the cassette rotating roller in contact with the sidewall of the cassette unit; And
And a cassette pressurizing drive unit connected to the cassette pressurizing block and moving the cassette pressurizing block in a direction approaching and spaced apart from the cassette unit.
상기 보관장치 본체에 마련되고 상기 얼라인 스테이지모듈과 상기 승강모듈 사이에 배치되며, 상기 마스크가 상기 카세트유닛에 이재되기 전에 상기 마스크의 센터링 작업을 위해 상기 마스크의 측벽을 가압하는 마스크용 센터링모듈을 구비하는 마스크용 센터링유닛을 더 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 5,
A centering module for the mask provided in the main body of the storage device and disposed between the alignment stage module and the elevating module, for pressing the sidewall of the mask for centering the mask before the mask is transferred to the cassette unit; Mask storage device further comprises a masking centering unit provided.
상기 마스크용 센터링모듈은 상기 마스크의 모서리 영역에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관장치. The method of claim 13,
The masking device as claimed in claim 1, wherein the masking centering module is disposed adjacent to an edge of the mask.
상기 마스크용 센터링모듈은,
상기 마스크의 측벽에 접촉되는 마스크용 회전 롤러가 회전 가능하게 결합되는 마스크용 가압블록; 및
상기 마스크용 가압블록에 연결되며, 상기 마스크용 가압블록을 상기 마스크에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 마스크용 가압 구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 13,
The centering module for the mask,
A mask pressing block for rotatable coupling of the mask rotating roller in contact with the sidewall of the mask; And
The mask storage device is connected to the pressure block for the mask, the mask storage device including a pressure drive for the mask for moving the mask in the direction approaching and spaced apart from the mask.
상기 승강 안내부는,
상기 승강용 지지부에 결합된 승강봉; 및
상기 승강용 지지부가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 승강봉의 이동을 가이드하는 리니어 부시를 포함하며,
상기 승강 구동부는,
외주면에 나사산이 형성되며, 상기 승강용 지지부에 회전 가능하게 결합되는 잭 스크류부;
상기 잭 스크류부가 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 잭 스크류부에 치합되어 상기 잭 스크류부를 회전시키는 잭 스크류 웜 회전부; 및
잭 스크류 웜 회전부가 설치되는 웜 회전부용 지지부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 9,
The lifting guide portion,
An elevating rod coupled to the elevating support; And
The lifting support is connected to the sliding movement in the vertical direction, and includes a linear bush for guiding the movement of the lifting rod,
The lifting drive unit,
A screw thread formed on an outer circumferential surface thereof, the jack screw part being rotatably coupled to the lifting support part;
A jack screw worm rotating part connected to the jack screw part so as to be slidably moved upward and downward, and engaged with the jack screw part to rotate the jack screw part; And
Mask storage device including a support for the worm rotation unit is installed jack screw worm rotation.
상기 승강 안내부는,
상기 승강용 지지부에 결합된 승강블록; 및
상기 보관장치 본체에 지지되며, 상기 승강블록이 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 승강블록 가이드부를 포함하며,
상기 승강 구동부는,
상기 승강용 지지부에 결합되는 이동 너트부;
상기 이동 너트부에 치합되는 볼 스크류부; 및
상기 볼 스크류부에 연결되며, 상기 볼 스크류부를 회전시키는 볼 스크류용 회전부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 9,
The lifting guide portion,
An elevation block coupled to the elevation support; And
Supported by the storage device body, the lifting block includes a lifting block guide portion which is slidably connected,
The lifting drive unit,
A moving nut part coupled to the lifting support part;
A ball screw part engaged with the moving nut part; And
Mask storage device is connected to the ball screw portion, comprising a rotation for the ball screw for rotating the ball screw portion.
상기 카세트 위치조정유닛은,
상기 승강모듈에 지지되고 상기 얼라인 스테이지모듈에 연결되며, 상기 얼라인 스테이지모듈을 회전시키는 선회모듈을 더 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 5,
The cassette positioning unit,
And a pivot module supported by the elevating module and connected to the alignment stage module to rotate the alignment stage module.
상기 선회모듈은,
상기 얼라인 스테이지모듈을 지지하는 선회용 회전 플레이트부;
상기 승강모듈에 연결되는 선회용 베이스부;
상기 선회용 베이스부에 회전 가능하게 연결되며, 상기 선회용 회전 플레이트에 결합되는 선회용 회전축; 및
상기 선회용 베이스부에 지지되며, 선회용 회전축을 회전시키는 선회용 회전구동부를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 18,
The pivot module,
A pivot plate for supporting the alignment stage module;
A turning base part connected to the lifting module;
A pivot shaft rotatably connected to the pivot base portion and coupled to the pivot plate; And
And a pivoting rotating part that is supported by the pivoting base part and rotates the pivoting shaft.
상기 선회용 회전구동부는,
상기 선회용 회전축에 연결되며, 상기 선회용 회전축을 회전시키는 선회용 회전벨트; 및
상기 선회용 회전벨트에 연결되며, 상기 선회용 회전벨트를 회전시키는 선회용 구동모터를 포함하는 마스크 보관장치. The method of claim 19,
The turning rotary drive unit,
A pivot belt connected to the pivot shaft, the pivot belt rotating the pivot shaft; And
And a turning drive motor connected to the pivoting belt and rotating the pivoting belt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180090132A KR20200014966A (en) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | Mask stocking apparatus |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180090132A KR20200014966A (en) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | Mask stocking apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200014966A true KR20200014966A (en) | 2020-02-12 |
Family
ID=69569625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020180090132A KR20200014966A (en) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | Mask stocking apparatus |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20200014966A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230032035A (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-07 | 로체 시스템즈(주) | Transportion system for a cassette and method of auto teaching a position of the cassete |
| KR102653120B1 (en) * | 2023-04-27 | 2024-04-01 | (주)한국엔지니어링 | Transferring material fixing apparatus and transporting cart comprising the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150066032A (en) | 2013-12-06 | 2015-06-16 | 주식회사 에스에프에이 | Stocker apparatus |
-
2018
- 2018-08-02 KR KR1020180090132A patent/KR20200014966A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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