KR20190099127A - Method of calculating correction value of industrial robot - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for calculating a correction value of an industrial robot for calculating a correction value for correcting the operation of the industrial robot.
종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유기 EL(유기 일렉트로루미네선스) 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이고, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.Conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in
암은, 기단부측이 본체부에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부와, 핸드 기초부에 고정됨과 함께 유리 기판이 탑재되는 핸드 포크를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.The arm includes a first arm portion whose proximal end is rotatably connected to the main body, and a second arm portion whose proximal end is rotatably connected to the distal end of the first arm. The hand is provided with the hand base part rotatably connected to the front-end | tip part side of a 2nd arm part, and the hand fork to which the glass substrate is mounted while being fixed to the hand base part. Further, the industrial robot described in
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이 등의 제조 시스템에 설치되면, 산업용 로봇의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 행해지고 있다. 또한, 예를 들어 제조 시스템에 설치되는 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하면, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여, 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계가 어긋난다. 그 때문에, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하는 경우에도, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 다시 행해지고 있다.When the industrial robot of
한편, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 그 때문에, 본원 발명자는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하여, 어긋남을 보정하는 것을 검토하고 있다. 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출할 때는, 보정값을 용이하게 산출할 수 있는 것이 바람직하다.On the other hand, if the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching work before the replacement is corrected, it becomes unnecessary to perform complicated teaching work again. Therefore, the inventor of the present application considers correcting the deviation by calculating a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching operation of the industrial robot before replacement. . When calculating the correction value for correcting a deviation, it is preferable that the correction value can be easily calculated.
그래서, 본 발명의 과제는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공하는 데 있다.Therefore, the subject of this invention is the industrial robot which can calculate the correction value for correcting the shift | offset | difference of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinate of the teaching position taught in the industrial robot's teaching work before replacement | replacement relatively easily. The present invention provides a method for calculating a correction value.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이고, 상기 산업용 로봇은, 본체부와, 상기 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 상기 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부와, 상기 제2 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되어, 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 상기 핸드 포크 사이에서 상기 반송 대상물의 전달이 행해지는 복수의 챔버를 갖고, 상기 제1 암부, 상기 제2 암부 및 상기 핸드 중, 회동 가능하게 연결된 두 부재의 한쪽을 한쪽 부재라 하고, 다른 쪽을 다른 쪽 부재라 했을 때, 상기 한쪽 부재에 대한 상기 다른 쪽 부재의 기준 위치에 정지하도록 상기 다른 쪽 부재를 이동시켰을 때의 정지 위치에 있어서의 인코더의 값과, 상기 다른 쪽 부재를 상기 정지 위치로부터 상기 기준 위치에 상기 다른 쪽 부재가 위치 결정 지그에 의해 위치 결정되는 위치까지 이동시켰을 때의 상기 인코더의 값에 기초하여, 상기 다른 쪽 부재의 상기 기준 위치에 대응하는 상기 인코더의 기준값을 특정하는 기준 위치 특정 공정과, 상기 기준값을 반영시킨 조건에서, 상기 제1 암부, 상기 제2 암부 및 상기 핸드를 모터 구동하여 상기 산업용 로봇을 가상의 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과, 상기 로봇 동작 공정 후에, 상기 산업용 로봇을 동작시켜서 상기 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로, 검지용 패널을 탑재한 상기 핸드 포크를 이동시키고, 상기 전달 위치에 있어서의 상기 검지용 패널의 기준 위치와 상기 검지용 패널의 정지 위치의 어긋남양에 기초하여 상기 제1 암부를 모터 구동할 때의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a correction value calculation method of the industrial robot which calculates the correction value for correcting the operation | movement of an industrial robot, The said industrial robot rotates a main-body part and the base end side to the said main-body part. The first arm portion that is connected to the first arm portion, the second arm portion that is connected to the distal end side of the first arm portion so as to be rotatable, and the proximal end side are rotatably connected to the distal end side of the second arm portion, and the conveying object A hand having a hand fork mounted thereon, and a plurality of chambers through which the conveying object is delivered between the hand fork, wherein one of the two members connected to the first arm, the second arm, and the hand so as to be rotatable; When the other member is called the other member, the other member is moved to stop at the reference position of the other member with respect to the one member Based on the value of the encoder at the stop position at the time and the value of the encoder when the other member is moved from the stop position to the position where the other member is positioned by the positioning jig at the reference position. And the motor driving the first arm portion, the second arm portion and the hand under a reference position specifying step of specifying a reference value of the encoder corresponding to the reference position of the other member, and under the condition that the reference value is reflected. A robot operating step of making the industrial robot a virtual reference posture, and after the robot operating step, the industrial robot is operated to detect a transfer position of the transfer object in any one of the plurality of chambers. Move the hand fork equipped with the reference position and reference position of the detection panel in the delivery position It has a correction value calculation step of calculating the correction value at the time of motor driving the first arm on the basis of the displacement amount of the stopped position of the said detection panel.
본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제1 암부, 제2 암부 및 핸드에 대해서는, 한쪽 부재에 회동 가능하게 연결된 다른 쪽 부재를 기준 위치까지 이동시켰을 때의 정지 위치에 있어서의 인코더의 값과, 정지 위치로부터 다른 쪽 부재를 기준 위치까지 이동시킨 인코더의 값에 기초하여, 다른 쪽 부재의 기준 위치에 대응하는 인코더의 기준값을 특정한 후, 로봇 동작 공정에서는, 기준값을 반영시킨 조건에서, 산업용 로봇을 가상의 기준 자세로 하고, 보정값 산출 공정에서는, 산업용 로봇을 동작시켜서 챔버 내에 있어서의 반송 대상물의 전달 위치로, 검지용 패널을 탑재한 핸드 포크를 이동시킨다. 다음으로, 전달 위치에 있어서의 검지용 패널의 기준 위치와 검지용 패널의 정지 위치의 어긋남양에 기초하여 제1 암부를 모터 구동할 때의 보정값을 산출한다. 따라서, 복잡하고 손이 많이 가는 교시 작업을 실제로 행하지 않아도, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출할 수 있다.In the method for calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, in the reference position specifying step, the first arm portion, the second arm portion, and the hand stop when moving the other member connected to one member to be able to rotate to the reference position. After specifying the reference value of the encoder corresponding to the reference position of the other member based on the value of the encoder at the position and the value of the encoder which moved the other member from the stop position to the reference position, in the robot operation step, the reference value is determined. Under the condition of reflecting the above, the industrial robot is assumed to be a virtual reference posture, and in the correction value calculation step, the industrial robot is operated to move the hand fork equipped with the detection panel to the transfer position of the object to be transported in the chamber. Next, the correction value at the time of driving a motor with a 1st arm part is calculated based on the shift amount of the reference position of the detection panel in a transmission position, and the stop position of the detection panel. Therefore, a correction value for correcting misalignment of the robot coordinate system of the industrial robot after the replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching before replacement is relatively easy, even without complicated and laborious teaching work. Can be calculated.
본 발명에 있어서, 상기 보정값 산출 공정에서는, 카메라에 의한 상기 검지용 패널의 촬상 결과에 기초하여 상기 어긋남양을 검출하는 양태를 채용할 수 있다.In this invention, the aspect which detects the said shift | offset | difference amount can be employ | adopted on the said correction value calculation process based on the imaging result of the said detection panel by a camera.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 챔버에는, 외부로부터 상기 반송 대상물의 반입이 행해지는 로더용 챔버 및 외부로의 상기 반송 대상물의 반출이 행해지는 언로더용 챔버가 포함되고, 상기 보정값 산출 공정 시, 상기 로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치 또는 상기 언로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, the plurality of chambers include a loader chamber in which the carrying object is carried out from the outside and an unloader chamber in which the carrying object is carried out to the outside. The aspect which moves the said hand fork to the delivery position of the said conveyance object in the said loader object or the delivery position of the said conveyance object in the said chamber for unloaders can be employ | adopted.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 챔버에는, 상기 반송 대상물에 대한 처리가 행해지는 프로세스 챔버가 포함되고, 상기 보정값 산출 공정 시, 상기 프로세스 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, the plurality of chambers include a process chamber in which the process for the conveying object is performed, and the hand fork is moved to the conveying position of the conveying object in the process chamber during the correction value calculation process. The aspect to move can be employ | adopted.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 챔버에는, 외부로부터 상기 반송 대상물의 반입이 행해지는 로더용 챔버, 외부로의 상기 반송 대상물의 반출이 행해지는 언로더용 챔버 및 상기 반송 대상물에 대한 처리가 행해지는 프로세스 챔버가 포함되고, 상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치 또는 상기 언로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제1 보정값 산출 공정과, 상기 프로세스 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제2 보정값 산출 공정을 행하는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, the plurality of chambers are subjected to a loader chamber in which the carrying object is carried in from the outside, an unloader chamber in which the carrying object is carried out to the outside, and processing for the carrying object. A process chamber is included, The correction value calculation process WHEREIN: The 1st which moves the said hand fork to the delivery position of the said conveyance object in the said loader object, or the delivery position of the said conveyance object in the said unloader chamber. The aspect which performs a correction value calculation process and the 2nd correction value calculation process which moves the said hand fork to the delivery position of the said conveyance object in the said process chamber can be employ | adopted.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 챔버에는, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상에 상기 본체부에 대하여 상기 제1 암부가 회동할 때의 제1 회동 중심이 위치하는 제1 챔버와, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상으로부터 상기 제1 회동 중심이 측방으로 어긋나 있는 제2 챔버가 포함되고, 상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 제1 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제1 보정값 산출 공정과, 상기 제2 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제2 보정값 산출 공정을 행하는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, in the plurality of chambers, a first rotational center when the first arm portion rotates with respect to the main body portion is located on an extension line of the movement trajectory when the hand fork linearly moves and enters the inside. And a second chamber in which the first pivot center is laterally shifted from an extension line of the movement trajectory when the hand fork moves in a straight line and enters the inside, wherein the correction value calculation step includes: A first correction value calculating step of moving the hand fork to the delivery position of the conveyed object in the first chamber, and a second correction to move the hand fork to the delivery position of the conveyed object in the second chamber. The aspect which performs a value calculation process can be employ | adopted.
본 발명에 있어서, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 상기 제2 챔버의 내측으로 진입할 때, 상기 제1 암부에 대하여 상기 제2 암부가 회동할 때의 제2 회동 중심이, 상기 제1 회동 중심 및 상기 제2 암부에 대하여 상기 핸드가 회동할 때의 제3 회동 중심보다 상기 핸드의 진행 방향 측에 위치하는 과정을 통과하고, 상기 복수의 챔버에는, 또한, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상으로부터 상기 제1 회동 중심이 측방으로 어긋나고, 또한, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때, 상기 제3 회동 중심이 항상 상기 제2 회동 중심보다 상기 핸드의 진행 방향 측에 위치하는 제3 챔버가 포함되고, 상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 제3 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제3 보정값 산출 공정을 행하는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, when the hand fork linearly moves and enters the inside of the second chamber, a second rotational center when the second arm rotates with respect to the first arm, the first rotational center and The process of positioning the hand toward the direction of the hand from the third rotational center when the hand rotates with respect to the second arm portion, and the plurality of chambers, the hand fork is moved in a straight line to the inside When the first rotational center is laterally shifted from the extension line of the movement trajectory when moving, and the hand fork is moved in a straight line and enters inward, the third rotational center is always larger than that of the second rotational center. A third chamber located on the advancing direction side is included, and the hand fork is moved to the delivery position of the conveyed object in the third chamber as the correction value calculating step. That can employ the embodiment of performing a third correction value calculation step.
본 발명에 있어서, 상기 기준 위치 특정 공정으로서, 상기 두 부재가 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부인 제1 기준 위치 특정 공정과, 상기 두 부재가 상기 제2 암부 및 상기 핸드인 제2 기준 위치 특정 공정을 행하는 양태를 채용할 수 있다. 본 발명에 있어서, 상기 기준 위치 특정 공정 후, 상기 기준 위치 특정 공정 후, 상기 보정값 산출 공정 전에, 상기 제2 암부에 대한 기준 위치에 상기 핸드 기초부를 정지시킨 상태에서, 위치 결정 지그에 의해, 상기 핸드에 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정을 행하는 양태를 채용할 수 있다.In the present invention, as the reference position specifying step, a first reference position specifying step in which the two members are the first arm portion and the second arm portion, and a second reference position in which the two members are the second arm portion and the hand. The aspect which performs a specific process can be employ | adopted. In the present invention, after the reference position specifying step, after the reference position specifying step, and before the correction value calculating step, the positioning jig is stopped in the state where the hand base is stopped at the reference position with respect to the second arm portion. The aspect which performs the hand fork positioning process of positioning a hand fork to the said hand can be employ | adopted.
본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제1 암부, 제2 암부 및 핸드에 대해서는, 한쪽 부재에 회동 가능하게 연결된 다른 쪽 부재를 기준 위치까지 이동시켰을 때의 정지 위치에 있어서의 인코더의 값과, 정지 위치로부터 다른 쪽 부재를 기준 위치까지 이동시킨 인코더의 값에 기초하여, 다른 쪽 부재의 기준 위치에 대응하는 인코더의 기준값을 특정한 후, 로봇 동작 공정에서는, 기준값을 반영시킨 조건에서, 산업용 로봇을 가상의 기준 자세로 하고, 보정값 산출 공정에서는, 산업용 로봇을 동작시켜서 챔버 내에 있어서의 반송 대상물의 전달 위치로, 검지용 패널을 탑재한 핸드 포크를 이동시킨다. 다음으로, 전달 위치에 있어서의 검지용 패널의 기준 위치와 검지용 패널의 정지 위치의 어긋남양에 기초하여 제1 암부를 모터 구동할 때의 보정값을 산출한다. 따라서, 복잡하고 손이 많이 가는 교시 작업을 실제로 행하지 않아도, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출할 수 있다.In the method for calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, in the reference position specifying step, the first arm portion, the second arm portion, and the hand stop when moving the other member connected to one member to be able to rotate to the reference position. After specifying the reference value of the encoder corresponding to the reference position of the other member based on the value of the encoder at the position and the value of the encoder which moved the other member from the stop position to the reference position, in the robot operation step, the reference value is determined. Under the condition of reflecting the above, the industrial robot is assumed to be a virtual reference posture, and in the correction value calculation step, the industrial robot is operated to move the hand fork equipped with the detection panel to the transfer position of the object to be transported in the chamber. Next, the correction value at the time of driving a motor with a 1st arm part is calculated based on the shift amount of the reference position of the detection panel in a transmission position, and the stop position of the detection panel. Therefore, a correction value for correcting misalignment of the robot coordinate system of the industrial robot after the replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching before replacement is relatively easy, even without complicated and laborious teaching work. Can be calculated.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는, 도 2에 나타내는 챔버에 대하여 기판을 반출 및 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 5는, 도 2에 나타내는 프로세스 챔버에 대하여 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 6은, 도 2에 나타내는 프로세스 챔버에 대하여 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 7은, 도 2에 나타내는 프로세스 챔버에 대하여 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 8은, 도 2에 나타내는 프로세스 챔버에 대하여 기판을 반입할 때의 산업용 로봇의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 9는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇에 제1 위치 결정 지그, 제2 위치 결정 지그 및 제3 위치 결정 지그가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 10의 (A)는, 도 9의 (B)의 E부의 확대도이고, (B)는, (A)의 F-F 방향으로부터 제1 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 G부의 확대도이다.
도 11의 (A)는, 도 9의 (B)의 H부의 확대도이고, (B)는, (A)의 J-J 방향으로부터 제2 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 K부의 확대도이다.
도 12의 (A)는, 도 9의 (A)의 L부의 확대도이고, (B)는, 도 9의 (B)의 M부의 확대도이고, (C)는, (B)의 N-N 방향으로부터 제3 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (D)는, (B)의 P부의 확대도이다.
도 13은, 도 1에 나타내는 제1 암부의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서 사용하는 검지용 패널을 핸드 포크에 탑재한 상태의 설명도이다.
도 14는, 도 1에 나타내는 제1 암부의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 15는, 도 1에 나타내는 제1 암부의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 카메라의 시야 등을 나타내는 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure of the industrial robot by which the correction value is calculated by the correction value calculation method of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention, (A) is a top view, (B) is a side view.
FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot shown in FIG. 1 is incorporated in a manufacturing system of an organic EL display.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the movement of the industrial robot when carrying out and carrying out a substrate with respect to the chamber shown in FIG. 2.
FIG. 5: is explanatory drawing which shows the movement of the industrial robot at the time of carrying in a board | substrate with respect to the process chamber shown in FIG.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing the movement of the industrial robot when loading a substrate into the process chamber shown in FIG. 2.
FIG. 7: is explanatory drawing which shows the movement of the industrial robot at the time of carrying in a board | substrate with respect to the process chamber shown in FIG.
FIG. 8: is explanatory drawing which shows the movement of the industrial robot at the time of carrying in a board | substrate with respect to the process chamber shown in FIG.
FIG. 9 is a view in which the first positioning jig, the second positioning jig, and the third positioning jig are installed in the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a plan view, and (B) is a side view.
FIG. 10A is an enlarged view of an E portion in FIG. 9B, (B) is a diagram illustrating a first positioning jig and the like from the FF direction of (A), and (C) is ( It is an enlarged view of G section of A).
FIG. 11A is an enlarged view of an H portion in FIG. 9B, (B) is a diagram illustrating a second positioning jig and the like from the JJ direction of (A), and (C) is ( It is an enlarged view of K part of A).
FIG. 12A is an enlarged view of the L portion of FIG. 9A, (B) is an enlarged view of the M portion of FIG. 9B, and (C) is the NN direction of (B). It is a figure which shows a 3rd positioning jig | tool, etc., (D) is an enlarged view of the P part of (B).
FIG. 13: is explanatory drawing of the state which mounted the detection panel used in the correction value calculation process which calculates the correction value of the 1st arm part shown in FIG.
FIG. 14 is a diagram for explaining the operation of the robot in the correction value calculating step of calculating the correction value of the first arm portion shown in FIG. 1.
FIG. 15: is explanatory drawing which shows the visual field of the camera, etc. in the correction value calculation process which calculates the correction value of the 1st dark part shown in FIG.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.
(산업용 로봇의 구성) (Configuration of Industrial Robot)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇(1)의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다. 또한, 도 1의 (B) 및 도 2에서는, 핸드 포크(18, 19)에 마련한 지지부의 도시를 생략하였다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure of the
도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 한다.)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 한다.)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 7)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 (henceforth "
챔버(5)는, 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 프로세스 챔버이다. 본 형태에 있어서, 챔버(5)는 복수 마련되어 있다. 본 형태에 있어서, 챔버(5)로서 두 프로세스 챔버(51, 52)와, 트랜스퍼 챔버(4)에 대하여 프로세스 챔버(51, 52)와는 반대측에 마련된 두 프로세스 챔버(53, 54)가 마련되어 있다. 또한, 챔버(6)는, 예를 들어 제조 시스템(3)에 공급되는 기판(2)이 수용되는 공급용의 챔버(로더용 챔버)이고, 챔버(7)는, 예를 들어 제조 시스템(3)으로부터 배출되는 기판(2)이 수용되는 배출용 챔버(언로더용 챔버)이다. 챔버(4 내지 7)의 내부는, 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는, 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는 후술하는 핸드 포크(18, 19)가 챔버(5 내지 7) 내로 들어감으로써, 로봇(1)은, 복수의 챔버(5 내지 7)의 사이에서 기판(2)을 반송한다.The chamber 5 is a process chamber for performing a predetermined process on the
도 1에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8)와, 핸드(8)가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암(9)과, 암(9)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다. 핸드(8) 및 암(9)은, 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)는, 암(9)을 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다.As shown in FIG. 1, the
상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는, 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은, 진공 영역(VR) 내에 배치되어 있고, 핸드(8) 및 암(9)은, 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은, 대기 영역(AR) 내(대기 중)에 배치되어 있다.As described above, a part of the
암(9)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(15)와 제2 암부(16)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(9)은, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단부측은, 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(15)의 선단부측에는, 제2 암부(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(16)의 선단부측에는, 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 제1 암부(15)에는, 제1 암부(15)의 연장 방향과 반대측에 카운터 웨이트(28)가 마련되어 있다.The
제2 암부(16)는, 제1 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(8)는, 제2 암부(16)보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심(제1 회동 중심(C1))과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심(제2 회동 중심(C2))의 거리는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심(제2 회동 중심(C2))과 제2 암부(16)에 대한 핸드(8)의 회동 중심(제3 회동 중심(C3))의 거리와 동등하게 되어 있다.The
핸드(8)는, 제2 암부(16)의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부(17)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(8)는, 2개의 핸드 포크(18)와, 2개의 핸드 포크(19)를 구비하고 있다. 핸드 포크(18, 19)는, 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 포크(18)와 핸드 포크(19)는 동일 형상으로 형성되어 있다. 2개의 핸드 포크(18)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(18)는, 핸드 기초부(17)로부터 수평 방향의 일방향으로 연장되어 있다. 2개의 핸드 포크(19)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(19)는, 핸드 기초부(17)로부터 핸드 포크(18)와 역방향에 연장되어 있다.The
핸드 포크(18, 19)는, 핸드 기초부(17)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 핸드 포크(18, 19)는, 고정용 나사에 의해 핸드 기초부(17)에 고정되어 있다. 핸드 포크(18, 19)에는, 고정용 나사가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 삽입 관통 구멍은, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍이고, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서, 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(18, 19)의 고정 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.The
본 형태에서는, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 또한, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(19)에 탑재된다. 핸드 포크(18)의 상면에는, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다. 핸드 포크(19)의 상면에도, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다.In this embodiment, one
본 형태에 있어서, 2개의 핸드 포크(18)에는, 서로 이격하는 방향으로 돌출된 복수개의 제1 지지부(181)와, 복수의 제1 지지부(181) 중, 양단에 위치하는 2개의 제1 지지부(181)의 각각으로부터 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 제2 지지부(182)가 마련되어 있다. 복수의 제1 지지부(181)의 각각의 선단부 및 복수의 제2 지지부(182)의 각각의 선단부에는, 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재(183, 184)가 마련되어 있다. 또한, 핸드 포크(19)도 마찬가지의 구조를 갖고 있는데, 제1 지지부 및 제2 지지부 등의 도시를 생략하였다.In this embodiment, the two
또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키기 위한 모터(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키기 위한 모터(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기초부(17)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 모터(21)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(24)와, 모터(22)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(25)와, 모터(23)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(26)를 구비하고 있다(도 3 참조).The
인코더(24)는, 모터(21)에 설치되어 있다. 인코더(25)는, 모터(22)에 설치되고, 인코더(26)는, 모터(23)에 설치되어 있다. 모터(21) 및 인코더(24)는, 예를 들어 본체부(10)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 모터(22, 23) 및 인코더(25, 26)는, 예를 들어 제1 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(21 내지 23)는, 로봇(1)의 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 인코더(24 내지 26)도, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 형태의 모터(21)는 제1 모터이고, 모터(22)는 제2 모터이고, 모터(23)는 제3 모터이다. 또한, 인코더(24)는 제1 인코더이고, 인코더(25)는 제2 인코더이고, 인코더(26)는 제3 인코더이다.The
또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(31)와, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(32)와, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(33)를 구비하고 있다. 본 형태의 원점 센서(31)는 제1 원점 센서이고, 원점 센서(32)는 제2 원점 센서이고, 원점 센서(33)는 제3 원점 센서이다.The
원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 근접 센서이다. 혹은, 원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서이다. 원점 센서(31 내지 33)는, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본체부(10)와 제1 암부(15)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(31)는, 본체부(10) 및 제1 암부(15) 중 어느 한쪽에 고정되고, 본체부(10) 및 제1 암부(15) 중 어느 다른 쪽에는, 제1 암부(15)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(31)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.The
마찬가지로, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(32)는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 다른 쪽에는, 제2 암부(16)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(32)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다. 또한, 제2 암부(16)와 핸드 기초부(17)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(33)는, 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17) 중 어느 다른 쪽에는, 핸드 기초부(17)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(33)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.Similarly, in the joint part which is the connection part of the
(산업용 로봇의 개략 동작)(Schematic movement of industrial robot)
도 4는, 도 2에 나타내는 챔버(5) 및 챔버(6)에 대하여 기판(2)을 반출 및 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 나타내는 설명도이다. 도 5는, 도 2에 나타내는 프로세스 챔버(51)에 기판(2)로 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 나타내는 설명도이다. 도 6은, 도 1에 나타내는 프로세스 챔버(5)로 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 나타내는 설명도이다. 도 7은, 도 1에 나타내는 프로세스 챔버(53)로 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임을 나타내는 설명도이다. 도 8은, 도 1에 나타내는 프로세스 챔버(54)로 기판(2)을 반입할 때의 산업용 로봇(1)의 움직임 나타내는 설명도이다. 또한, 도 4 내지 도 8에서는, 핸드 포크(18, 19)에 마련한 지지부의 도시를 생략하였다.FIG. 4: is explanatory drawing which shows the movement of the
로봇(1)은, 모터(21, 22, 23)를 구동시켜서, 챔버(5, 6, 7) 사이에서 기판(2)을 반송한다. 예를 들어, 도 4에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 챔버(6)로부터 기판(2)을 반출하는 한편, 챔버(7)로 기판(2)을 반입시킨다. 보다 구체적으로는, 로봇(1)은, 도 4의 (A)에 나타내는 바와 같이, 핸드 포크(18)가 좌우 방향과 평행하게 되어 있는 상태에서, 암(9)을 뻗어서 챔버(6) 내에서 기판(2)을 수취한다. 또한, 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹칠 때까지 암(9)을 오므려서 챔버(6)로부터 기판(2)을 반출시킨다. 또한, 로봇(1)은, 핸드(8)를 180° 회동시키고 나서, 암(9)을 뻗어, 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 챔버(7)로 기판(2)을 반입시킨다. 챔버(6)로부터 기판(2)을 반출시킬 때 및 챔버(7)로 기판(2)을 반입할 때, 상하 방향으로부터 보면, 제2 암부(16)에 대한 핸드(8)의 제3 회동 중심(C3)은, 제1 회동 중심(C1)을 통과하는 좌우 방향에 평행한 가상선 위를 직선적으로 이동한다. 즉, 챔버(6)로부터 기판(2)을 반출시킬 때 및 챔버(7)로 기판(2)을 반입할 때, 상하 방향으로부터 보면, 핸드(8)는, 우측 방향으로 직선적으로 이동한다. 이와 같이, 챔버(6, 7)는 모두, 핸드(8)가 챔버(6, 7) 내를 향하여 직선적으로 이동할 때 핸드(8)의 이동 궤적의 연장선상에 제1 회동 중심(C1)이 위치하는 제1 챔버이다.The
도 5에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)을 프로세스 챔버(51)로 반입시킨다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 암(9)을 단축시킨 상태로부터, 모터(21, 22, 23)를 구동시켜서, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 핸드 포크(18)가 전후 방향과 평행하게 됨과 동시에 기판(2)이 핸드(8)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제3 회동 중심(C3)과 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(51)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(8), 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 암(9)을 뻗어서, 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 프로세스 챔버(51)로 기판(2)을 반입시킨다. 이때는, 상하 방향으로부터 보면, 제3 회동 중심(C3)은, 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(51)의 중심을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선 위를 직선적으로 이동한다.As shown in FIG. 5, the
도 6에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)을 프로세스 챔버(52)로 반입시킨다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 도 6의 (A)에 나타내는 바와 같이, 암(9)을 오므린 상태로부터, 모터(21, 22, 23)를 구동시켜서, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 핸드 포크(18)가 전후 방향과 평행하게 됨과 함께 기판(2)이 핸드(8)의 후단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제3 회동 중심(C3)과 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(52)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(8), 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 암(9)을 뻗어서, 도 6의 (C)에 나타내는 바와 같이, 프로세스 챔버(52)에 기판(2)을 반입시킨다. 이때는, 상하 방향으로부터 보면, 제3 회동 중심(C3)은, 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(52)의 중심을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선 위를 직선적으로 이동한다.As shown in FIG. 6, the
본 형태에 있어서, 프로세스 챔버(51, 52)는 모두, 핸드(8)가 챔버(51, 52) 내를 향하여 직선적으로 이동할 때 핸드(8)의 이동 궤적의 연장선으로부터 측방으로 어긋난 위치에 제1 회동 중심(C1)이 위치하고, 또한, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제2 회동 중심(C2)이 제1 회동 중심(C1) 및 제3 회동 중심(C3)보다 핸드(8)의 진행 방향 측(프로세스 챔버(51)측 또는 프로세스 챔버(52)측)에 위치하는 과정을 통과하는 제2 챔버이다.In this embodiment, both of the process chambers 51 and 52 are arranged at positions first shifted laterally from an extension line of the movement trajectory of the
도 7에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)을 프로세스 챔버(53)로 반입시킨다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 암(9)을 오므린 상태로부터, 모터(21, 22, 23)를 구동시켜서, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 핸드 포크(18)가 전후 방향과 평행하게 됨과 함께 기판(2)이 핸드(8)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제3 회동 중심(C3)과 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(53)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(8), 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 암(9)을 뻗어서, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 프로세스 챔버(53)로 기판(2)을 반입시킨다. 이때는, 상하 방향으로부터 보면, 제3 회동 중심(C3)은, 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(53)의 중심을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선 위를 직선적으로 이동한다.As shown in FIG. 7, the
도 8에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)을 프로세스 챔버(54)로 반입시킨다. 이때는, 로봇(1)은, 먼저, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 암(9)을 오므린 상태로부터, 모터(21, 22, 23)를 구동시켜서, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 핸드 포크(18)가 전후 방향과 평행하게 됨과 함께 기판(2)이 핸드(8)의 전단부측에 배치되도록, 또한, 좌우 방향에 있어서, 제3 회동 중심(C3)과 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(54)의 중심이 대략 일치하도록, 핸드(8), 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)를 회동시킨다. 그 후, 로봇(1)은, 암(9)을 뻗어서, 도 8의 (C)에 나타내는 바와 같이, 챔버(54)로 기판(2)을 반입시킨다. 이때는, 상하 방향으로부터 보면, 제3 회동 중심(C3)은, 좌우 방향에 있어서의 프로세스 챔버(54)의 중심을 통과하는 전후 방향에 평행한 가상선 위를 직선적으로 이동한다.As shown in FIG. 8, the
본 형태에 있어서, 프로세스 챔버(53, 54)는 모두, 핸드(8)가 챔버(51, 52) 내를 향하여 직선적으로 이동할 때 핸드(8)의 이동 궤적의 연장선으로부터 측방으로 어긋난 위치에 제1 회동 중심(C1)이 위치하고, 또한, 제2 회동 중심(C2)이 제1 회동 중심(C1) 및 제3 회동 중심(C3)보다 전방에 위치하는 과정을 통과하지 않고, 제3 회동 중심(C3)이 항상 제2 회동 중심(C2)보다 핸드(8)의 진행 방향 측(프로세스 챔버(53)측 또는 프로세스 챔버(54)측)에 위치하는 제3 챔버이다.In this embodiment, both of the process chambers 53 and 54 have a first position at a position shifted laterally from an extension line of the movement trajectory of the
또한, 핸드 포크(19)에 의해 기판(2)을 반송하는 경우도 마찬가지의 동작이 행해진다. 또한, 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출시킬 때, 상기 설명과는 반대의 동작이 행해진다.The same operation is also performed when the
(산업용 로봇의 보정값 산출 방법)(Calculation method of compensation value of industrial robot)
도 9는, 도 1에 나타내는 로봇(1)에 위치 결정 지그(36 내지 38)가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 10의 (A)는, 도 9의 (B)의 E부의 확대도이고, 도 10의 (B)는, 도 10의 (A)의 F-F 방향으로부터 위치 결정 지그(36) 등을 나타내는 도면이고, 도 10의 (C)는, 도 10의 (A)의 G부의 확대도이다. 도 11의 (A)는, 도 9의 (B)의 H부의 확대도이고, 도 11의 (B)는, 도 11의 (A)의 J-J 방향으로부터 위치 결정 지그(37) 등을 나타내는 도면이고, 도 11의 (C)는, 도 11의 (A)의 K부의 확대도이다. 도 12의 (A)는, 도 9의 (A)의 L부의 확대도이고, 도 12의 (B)는, 도 9의 (B)의 M부의 확대도이고, 도 12의 (C)는, 도 12의 (B)의 N-N 방향으로부터 위치 결정 지그(38) 등을 나타내는 도면이고, 도 12의 (D)는, 도 12의 (B)의 P부의 확대도이다.FIG. 9: is a figure in which the positioning jig 36-38 was provided in the
로봇(1)이 제조 시스템(3)에 설치되면, 로봇(1)의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 로봇(1)의 교시 작업이 행해진다. 또한, 예를 들어 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계가 어긋나기 때문에, 로봇(1)의 교시 작업을 다시 행할 필요가 발생한다.When the
한편, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 본 형태에서는, 로봇(1)을 교환한 후에 번잡한 교시 작업을 다시 행하지 않아도 되게, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 즉, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드(8) 중, 회동 가능하게 연결된 두 부재의 한쪽을 한쪽 부재라 하고, 다른 쪽을 다른 쪽 부재라 했을 때, 한쪽 부재에 대한 다른 쪽 부재의 기준 위치에 정지하도록 다른 쪽 부재를 이동시켰을 때의 정지 위치에 있어서의 인코더의 값과, 다른 쪽 부재를 정지 위치로부터 기준 위치로 다른 쪽 부재가 위치 결정 지그에 의해 위치 결정되는 위치까지 이동시켰을 때의 인코더 값에 기초하여, 다른 쪽 부재의 기준 위치에 대응하는 상기 인코더의 기준값을 특정하는 기준 위치 특정 공정을 행하고, 그 후, 교환 후의 로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 이하, 이 보정값 산출 방법을 설명한다.On the other hand, if the misalignment of the robot coordinate system of the
이하의 설명에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치라 하고, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치라 하고, 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치라 하고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치라 한다.In the following description, the predetermined reference position of the
본 형태에서는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향으로부터 보았을 때 제1 암부(15)의 긴 변 방향과 제2 암부(16)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치와 제1 기준 위치가 일치되어 있다.In this embodiment, when the
또한, 핸드 기초부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 핸드 기초부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향으로부터 보았을 때 제2 암부(16)의 긴 변 방향과 핸드 포크(18)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 원점 위치로부터 핸드 기초부(17)가 90° 회동한 위치가 제2 기준 위치로 되어 있다.In addition, when the
또한, 제4 기준 위치는, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 일치되어 있어도 되고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있어도 된다.In addition, the 4th reference position may correspond with the origin position of the
또한, 본 형태에서는, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(36)와, 제2 기준 위치에 핸드 기초부(17)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(37)와, 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(38)가 사용된다. 본 형태의 위치 결정 지그(36)는 제1 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(37)는 제2 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(38)는 제3 위치 결정 지그이다. 또한, 위치 결정 지그(38)는, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 소정의 기준 위치에 핸드 포크(19)를 위치 결정할 때도 사용된다.Moreover, in this form, the
도 10에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(36)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(41)와, 핀(42)을 구비하고 있다. 고정 부재(41)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(41)에는, 핀(42)이 삽입되는 관통 구멍(41a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 선단의 측면에는, 핀(42)이 삽입되는 삽입 구멍(16a)이 형성되어 있다. 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 삽입되면, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(41)는 제1 고정 부재이고, 핀(42)은 제1 핀이고, 삽입 구멍(16a)은 제1 삽입 구멍이고, 관통 구멍(41a)은 제1 관통 구멍이다.As shown in FIG. 10, the
도 11에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(37)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(43, 44)과, 핀(45)을 구비하고 있다. 고정 부재(43)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(44)는, 고정 부재(43)의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(43)에는, 고정 부재(41)와의 간섭을 방지하기 위한 홈부가 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 저면에는, 고정 부재(43)에 대한 고정 부재(44)의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 나사(46)의 선단면이 접촉하고 있다. 나사(46)는, 고정 부재(43)의 하단부면에 고정되는 나사 보유 지지 부재(47)에 나사 결합하고 있다.As shown in FIG. 11, the
고정 부재(44)에는, 핀(45)이 삽입되는 관통 구멍(44a)이 형성되어 있다. 또한, 핸드 기초부(17)의 측면에는, 핀(45)이 삽입되는 삽입 구멍(17a)이 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 삽입되면, 핸드 기초부(17)가 제2 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(43, 44)는 제2 고정 부재이고, 핀(45)은 제2 핀이고, 삽입 구멍(17a)은 제2 삽입 구멍이고, 관통 구멍(44a)은 제2 관통 구멍이다.In the fixing
도 12에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(38)는, 2개의 핸드 포크(18)에 고정되는 고정 부재(48, 49)와, 핀(50)을 구비하고 있다. 고정 부재(48)는, 2개의 핸드 포크(18)의 상면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)는, 고정 부재(48)의 하면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)에는, 핀(50)이 삽입되는 관통 구멍(49a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 기단부의 측면에는, 핀(50)이 삽입되는 삽입 구멍(16b)이 형성되어 있다. 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 삽입되면, 2개의 핸드 포크(18)가 제3 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(48, 49)는 제3 고정 부재이고, 핀(50)은 제3 핀이고, 삽입 구멍(16b)은 제3 삽입 구멍이고, 관통 구멍(49a)은 제3 관통 구멍이다.As shown in FIG. 12, the
예를 들어, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 먼저, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 제1 기준 위치(원점 위치)로 회동시킨다. 즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.For example, when the
또한, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 제2 기준 위치(원점 위치로부터 90° 회동한 위치)로 회동시킨다. 예를 들어, 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 원점 위치로 회동시킨 후, 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 원점 위치로부터 제2 기준 위치로 회동시킨다. 즉, 제2 기준 위치에서 핸드 기초부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 회동시켜서 정지시킨다.Moreover, the
그 후, 고정 부재(41, 43, 44)를 제1 암부(15)에 고정하고, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(18)에 고정한다. 또한, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제1 기준 위치로 회동한 제2 암부(16)는, 엄밀하게는 제1 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 마찬가지로, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 제2 기준 위치로 회동한 핸드 기초부(17)는, 엄밀하게는 제2 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다.Thereafter, the fixing
그 후, 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 끼워지는 위치까지 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 삽입 구멍(16a)에 핀(42)을 삽입하고, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(22)의 회동량을 인코더(25)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(25)에서의 검지 결과를 사용하여 제2 암부(16)의 제1 기준 위치를 특정한다.After that, the
즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 정지시켰을 때의 제2 암부(16)의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(36)에 의해 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 위치 결정되는 위치까지 제2 암부(16)를 회동시켰을 때의 인코더(25)의 검지 결과와, 제1 정지 위치에 제2 암부(16)가 정지해 있을 때의 인코더(25)의 값에 기초하여 제1 기준 위치를 특정한다(제1 기준 위치 특정 공정).That is, the 1st which is the stop position of the
그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 끼워지는 위치까지 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기초부(17)를 회동시켜서 삽입 구멍(17a)에 핀(45)을 삽입하고, 제2 기준 위치에 핸드 기초부(17)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(23)의 회동량을 인코더(26)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(26)에서의 검지 결과를 사용하여 핸드 기초부(17)의 제2 기준 위치를 특정한다.Thereafter, the
즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 제2 기준 위치에서 핸드 기초부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 정지시켰을 때의 핸드 기초부(17)의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(37)에 의해 핸드 기초부(17)가 위치 결정되는 위치까지 핸드 기초부(17)를 회동시켰을 때의 인코더(26)의 검지 결과와, 제2 정지 위치에 핸드 기초부(17)가 정지해 있을 때의 인코더(26)의 값에 기초하여 제2 기준 위치를 특정한다(제2 기준 위치 특정 공정).That is, in the state in which the
그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기초부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기초부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(18)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 제3 기준 위치에 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다.Thereafter, the
즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기초부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 위치 결정 지그(38)에 의해 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다(핸드 포크 위치 결정 공정). 위치 결정된 핸드 포크(18)는, 나사에 의해 핸드 기초부(17)에 고정된다.That is, the
그 후, 적어도 위치 결정 지그(37, 38)를 분리함과 함께, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기초부(17)를 180° 회동시킨다. 이 상태에서, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(19)에 고정한다. 또한, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기초부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(19)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 소정의 기준 위치에 2개의 핸드 포크(19)를 위치 결정한다. 위치 결정된 핸드 포크(19)는, 나사에 의해 핸드 기초부(17)에 고정된다.Thereafter, at least the positioning jigs 37 and 38 are separated, and the
(챔버(6)(제1 챔버)에서의 제1 보정값 산출 공정)(First Compensation Value Calculation Process in Chamber 6 (First Chamber))
도 13은, 도 1에 나타내는 제1 암부(15)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서 사용하는 검지용 패널(40)을 핸드 포크(18)에 탑재한 상태의 설명도이고, (A)는 평면도, (B)는 단면도이다. 도 14는, 도 1에 나타내는 제1 암부(15)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 15는, 도 1에 나타내는 제1 암부(15)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 카메라의 시야 등을 나타내는 설명도이다.FIG. 13: is explanatory drawing of the state which mounted the detection panel 40 used in the correction value calculation process which calculates the correction value of the
본 형태에서는, 로봇(1)에 사용한 제1 암부(15)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정의 설명도이다. 본 형태에서는, 제1 기준 위치 특정 공정 및 제2 기준 위치 특정 공정 후, 보정값 산출 공정을 행할 때는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 2개의 핸드 포크(18)에 검지용 패널(40)을 탑재한다(패널 탑재 공정).In this embodiment, it is explanatory drawing of the correction value calculation process which calculates the correction value of the
검지용 패널(40)은, 보정값을 산출할 때 사용되는 차광성의 패널이다. 본 형태에 있어서, 반송 대상물은, 사각형의 기판(2)이라는 점에서, 검지용 패널(40)은, 기판(2)을 핸드 포크(18)에 탑재했을 때 대각으로 위치하는 두 각(2a, 2b)을 연결하도록 연장되게 존재하는 판형 부재이다. 보다 구체적으로는, 검지용 패널(40)은, 핸드 포크(18)를 따라 직선적으로 연장되도록 존재하는 제1 부분(81)과, 제1 부분(81)으로부터, 핸드 포크(18)에 기판(2)을 탑재했을 때의 각(2a)에 상당하는 위치까지 비스듬히 연장되도록 존재하는 제2 부분(82)과, 제1 부분(81)으로부터, 핸드 포크(18)에 기판(2)을 탑재했을 때의 각(2b)에 상당하는 위치까지 비스듬히 연장되도록 존재하는 제3 부분(83)을 구비하고 있다.The detection panel 40 is a light shielding panel used when calculating a correction value. In this embodiment, since the object to be conveyed is a
또한, 검지용 패널(40)은, 핸드 포크(18)의 상면에 위치 결정된 상태에서, 2개의 핸드 포크(18)에 탑재되어 있다. 구체적으로는, 보정값 산출 공정을 행할 때, 핸드 포크(18)에서는, 기판(2)을 하방으로부터 받기 위한 복수의 볼록형의 수용부(185)의 각각에 위치 결정 부재(29)가 나사 등에 의해 고정된다. 위치 결정 부재(29)에는, 검지용 패널(40)의 위치 결정 구멍(84)에 끼워지는 위치 결정 돌기(290)가 형성되어 있고, 검지용 패널(40)은, 위치 결정 돌기(290)에 의해 위치 결정된다.In addition, the detection panel 40 is mounted on the two
이 상태에서, 검지용 패널(40)의 제2 부분(82) 및 제3 부분(83)의 단부에 형성된 직사각형의 제1 피검출부(821) 및 제2 피검출부(831)는, 기판(2)을 핸드 포크(18)에 탑재했을 때의 기판(2)의 각(2a, 2b)의 에지에 겹친다.In this state, the rectangular first to-
다음으로, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여, 또는 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여, 제1 암부(15)를 정지시켰을 때의 제1 암부(15)의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 기준 자세로 한다(로봇 동작 공정).Next, based on the detection result of the
즉, 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 홈 포지션까지 동작시킨다. 본 형태에서는, 예를 들어 제1 암부(15)가 제3 정지 위치에 정지하고, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 정지하고, 핸드 기초부(17)가 제2 기준 위치로부터 90° 회동한 위치에 정지해 있는 상태가 로봇(1)의 가상의 홈 포지션(가상의 기준 자세)으로 되어 있다. 이러한 홈 포지션은, 도 4의 (B)에 나타내는 상태이다.That is, driving control of the
또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 제4 기준 위치가 일치되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록, 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 제3 정지 위치는, 엄밀하게는 제4 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 또한, 로봇 동작 공정 전까지, 위치 결정 지그(36, 38)는 분리되어 있다.In addition, when the origin position of the
그 후, 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다(핸드 이동 공정). 예를 들어, 도 14의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 구체적으로는, 도 4의 (B)에 나타내는 상태로부터, 도 4에 화살표(6a)로 나타내는 동작을 행하고, 도 4의 (A)에 나타내는 바와 같이, 암(9)을 뻗어서, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다.Thereafter, the
여기서, 챔버(6)에는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 제5 기준 위치를 나타내는 기준 마크가 붙여진 참조 부재와, 카메라가 배치되어 있다. 본 형태에서는, 검지용 패널(40)의 2개의 피검출부(제1 피검출부(821) 및 제2 피검출부(831))의 위치를 기준 마크와 대비한다. 이 때문에, 챔버(6)에는, 제1 기준 마크(860)가 붙여진 차광성의 제1 부재(86)와, 제2 기준 마크(870)가 붙여진 차광성의 제2 부재(87)와, 제1 기준 마크(860) 및 제1 피검출부(821)가 시야(88a) 내로 들어오는 제1 카메라(88)와, 제2 기준 마크(870) 및 제2 피검출부(831)가 시야(89a) 내로 들어오는 제2 카메라(89)가 마련되어 있다.Here, in the
본 형태에 있어서, 제1 부재(86) 및 제2 부재(87)는 차광성의 판형 부재이고, 챔버(6)의 내벽 등에 고정되어 있다. 또한, 제1 기준 마크(860) 및 제2 기준 마크(870)는 각각, 제1 부재(86) 및 제2 부재(87)를 관통하는 구멍이다. 본 형태에 있어서, 제1 부재(86) 및 제2 부재(87)는, 제1 기준 마크(860) 및 제2 기준 마크(870)가 형성된 부분은 박판으로 되어 있다.In this embodiment, the
제1 기준 마크(860) 및 제2 기준 마크(870)는, 2개로 제5 기준 위치를 나타내고 있다. 구체적으로는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(40)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서, 챔버(6)에서의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켜서 정지시켰을 때, 제1 카메라(88)에서의 촬상 결과에 있어서 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)의 위치 관계 및 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)의 위치 관계를, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제5 기준 위치로 하고 있다. 여기서, 제1 카메라(88)의 촬상 결과에 있어서, 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우의 어긋남양 및 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우의 어긋남양에 대응하는 제1 암부(15)의 회동 방향 및 회동 각도는, 인코더(24)에서의 검출값에 대응시킨 값으로서 제어부(27)에 기억되어 있다.The
따라서, 보정값 산출 공정에서는, 제1 카메라(88)의 촬상 결과에 있어서 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계가 되고, 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계가 될 때까지, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 어긋남양에 대응하는 인코더(24)에서의 검출값에 기초하여 제어부(27)가 보정값을 산출할 수 있다.Therefore, in the correction value calculation process, in the imaging result of the
즉, 도 14의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 제1 카메라(88)의 촬상 결과에 있어서 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나고, 또한, 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나 있었다고 하자. 이 경우, 보정값 산출 공정에 있어서, 도 14의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계가 되고, 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계가 될 때까지, 모터(21)를 구동시켜서 제1 암부(15)를 본체부(10)에 대하여 회동시켰을 때의 인코더(24)의 값을 보정값으로서 산출할 수 있다.That is, as shown to FIG. 14A, when the
그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다. 구체적으로는, 도 4의 (A)에 나타내는 상태로부터, 도 4에 화살표(6b)로 나타내는 동작을 행하여, 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이, 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다.Thereafter, driving control of the
그리고, 다시, 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 그리고, 다시, 제1 카메라(88)의 촬상 결과 및 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 기초하여, 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)의 위치 관계 및 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)의 위치 관계에 기초하여 새로운 보정값을 산출한 후, 새로운 보정값(금회의 보정값)을 반영시켜서, 전회와 마찬가지로, 모터(21, 22, 23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다. 따라서, 보정값은 순차, 갱신되도록 된다.Then, the
이러한 동작을 반복하여 행하여, 최신의 보정값, 혹은 어긋남양(제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)의 어긋남양 및 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)의 어긋남양)이, 미리 설정되어 있는 역치 이하로 된 시점에서, 보정값을 확정하고, 확정된 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 복귀시킨 위치를 정규의 홈 포지션으로 한다.By repeating these operations, the latest correction value or amount of deviation (deviation amount between the
상기 동작을 반복하여 행할 때, 어느 공정에서도, 가상의 홈 포지션으로부터, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키는 왕로 및 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치에 핸드 포크(18)가 위치하는 상태로부터 가상의 홈 포지션으로 복귀하는 귀로에 있어서, 로봇(1)은, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드(8)에 대하여, 도 4에 나타내는 동작과 동일한 회동 동작을 행하게 한다. 따라서, 보정값 산출 공정을 행할 때, 모터나, 모터의 회전을 감속시켜서 암 등에 전달하는 감속 기구의 백 래시의 영향이 보정값에 미치기 어렵다.When the above operation is repeatedly performed, in any process, the path for moving the
또한, 본 형태에서는, 제1 카메라(88)의 촬상 결과에 있어서 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나고, 또한, 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우, 제1 암부(15)를 본체부(10)에 대하여 회동시키지 않고, 어긋남양에 대응하는 인코더(24)의 값을 보정값으로서 산출하였다. 단, 제1 카메라(88)의 촬상 결과 및 제2 카메라(89)의 촬상 결과로부터 어긋남의 방향을 검출한 후, 도 14의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(15)를 본체부(10)에 대하여 어긋남을 해소하도록 회동시켜, 그 때의 인코더(24)의 검출량에 기초하여 보정값을 산출해도 된다. 어느 경우도, 상기 보정값 산출 공정은, 챔버(7)에서 행해도 된다.In addition, in this form, in the imaging result of the
(프로세스 챔버(51)(제2 챔버)에서의 제2 보정값 산출 공정)(2nd correction value calculation process in the process chamber 51 (2nd chamber))
본 형태에서는, 챔버(6)에서의 보정값 산출 공정을 행한 후, 마찬가지로 보정값 산출 공정을 프로세스 챔버(51)에서도 행한다. 따라서, 프로세스 챔버(51)에도, 챔버(6)와 마찬가지로, 제1 기준 마크(860)가 붙여진 제1 부재(86)와, 제2 기준 마크(870)가 붙여진 제2 부재(87)와, 제1 기준 마크(860) 및 제1 피검출부(821)가 시야 내로 들어오는 제1 카메라(88)와, 제2 기준 마크(870) 및 제2 피검출부(831)가 시야 내로 들어오는 제2 카메라(89)가 마련되어 있다.In this embodiment, after performing the correction value calculation process in the
따라서, 챔버(6)에서의 보정값 산출 공정과 대략 마찬가지로, 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)이 홈 포지션에 위치하는 상태로부터, 도 5의 (B)에 나타내는 상태를 경유시켜서, 프로세스 챔버(51) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켜, 챔버(51)에서의 보정값을 산출한다.Therefore, as in the correction value calculating step in the
그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 프로세스 챔버(51)에서의 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하고, 로봇(1)을 도 5의 (B)에 나타내는 상태를 경유시켜서, 도 5의 (A)에 나타내는 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다.Thereafter, the
그리고, 다시, 로봇(1)을 동작시켜서 프로세스 챔버(51)에서의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키고, 새로운 보정값을 산출한 후, 새로운 보정값(금회의 보정값)을 반영시켜서, 로봇(1)을 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다. 이러한 동작을 반복하여 행하여, 최신의 보정값 등이 미리 설정되어 있는 역치 이하로 된 시점에서, 보정값을 확정한다.Then, the
상기 동작을 반복하여 행할 때, 어느 공정에서도, 가상의 홈 포지션으로부터, 프로세스 챔버(51) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키는 왕로 및 프로세스 챔버(51) 내의 기판(2)의 전달 위치에 핸드 포크(18)가 위치하는 상태로부터 가상의 홈 포지션으로 복귀하는 귀로에 있어서, 로봇(1)은, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드(8)에 대하여, 도 5에 나타내는 동작과 동일한 회동 동작을 행하게 한다. 따라서, 보정값 산출 공정을 행할 때, 모터나, 모터의 회전을 감속시켜 암 등에 전달하는 감속 기구의 백 래시의 영향이 보정값에 미치기 어렵다.When the above operation is repeatedly performed, in any process, a path for moving the
(프로세스 챔버(53)(제3 챔버)에서의 제3 보정값 산출 공정)(Third Correction Value Calculation Process in Process Chamber 53 (Third Chamber))
본 형태에서는, 챔버(6)에서의 보정값 산출 공정 및 프로세스 챔버(51)에서의 보정값 산출 공정을 행한 후, 마찬가지로 보정값 산출 공정을 프로세스 챔버(53)에서도 행한다. 따라서, 프로세스 챔버(53)에도, 챔버(6)와 마찬가지로, 제1 기준 마크(860)가 붙여진 제1 부재(86)와, 제2 기준 마크(870)가 붙여진 제2 부재(87)와, 제1 기준 마크(860) 및 제1 피검출부(821)가 시야 내로 들어오는 제1 카메라(88)와, 제2 기준 마크(870) 및 제2 피검출부(831)가 시야 내로 들어오는 제2 카메라(89)가 마련되어 있다.In this embodiment, after the correction value calculating process in the
따라서, 챔버(6)에서의 보정값 산출 공정과 대략 마찬가지로, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)이 홈 포지션에 위치하는 상태로부터, 도 7의 (B)에 나타내는 상태를 경유시켜서, 프로세스 챔버(53) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켜, 챔버(51)에서의 보정값을 산출한다.Therefore, as in the correction value calculating step in the
그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 프로세스 챔버(53)에서의 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하고, 로봇(1)을 도 7의 (B)에 나타내는 상태를 경유시켜서, 도 7의 (A)에 나타내는 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다.Thereafter, the
그리고, 다시, 로봇(1)을 동작시켜서 프로세스 챔버(53)에서의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키고, 새로운 보정값을 산출한 후, 새로운 보정값(금회의 보정값)을 반영시켜서, 로봇(1)을 가상의 홈 포지션으로 복귀시킨다. 이러한 동작을 반복하여 행하고, 최신의 보정값 등이 미리 설정되어 있는 역치 이하로 된 시점에서, 보정값을 확정한다.Then, the
상기 동작을 반복하여 행할 때, 어느 공정에서도, 가상의 홈 포지션으로부터, 프로세스 챔버(53) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키는 왕로 및 프로세스 챔버(53) 내의 기판(2)의 전달 위치에 핸드 포크(18)가 위치하는 상태로부터 가상의 홈 포지션으로 복귀하는 귀로에 있어서, 로봇(1)은, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드(8)에 대하여, 도 7에 나타내는 동작과 동일한 회동 동작을 행하게 한다. 따라서, 보정값 산출 공정을 행할 때, 모터나, 모터의 회전을 감속하여 암 등에 전달하는 감속 기구의 백 래시의 영향이 보정값에 미치기 어렵다.When the above operation is repeatedly performed, in any process, a path for moving the
(핸드 포크(19)의 조정)(Adjustment of the hand fork 19)
또한, 본 형태에서는, 핸드 포크(18)에서의 보정값 산출 공정 후, 핸드 기초부(17)를 180° 회동시킴과 함께 2개의 핸드 포크(19)에 검지용 패널(40)을 바꿔싣고 나서, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(19)를 이동시킨다. 이때, 제1 카메라(88)의 촬상 결과에 있어서 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계로부터 어긋나고, 또한, 제2 카메라(89)의 촬상 결과에 있어서 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계부터 어긋나 있는 경우에는, 제1 기준 마크(860)와 제1 피검출부(821)가 소정의 위치 관계가 되고, 제2 기준 마크(870)와 제2 피검출부(831)가 소정의 위치 관계가 되게, 위치 결정 지그(38)를 사용하여, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 고정 위치를 조정한다.In addition, in this embodiment, after the correction value calculation process by the
(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제1 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(36)를 사용하여, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 기준 위치인 제1 기준 위치를 특정하고, 제2 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(37)를 사용하여, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 기준 위치인 제2 기준 위치를 특정하여, 핸드 포크 위치 결정 공정에 있어서 위치 결정 지그(38)에 의해, 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 기준 위치인 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하고 있다.As described above, in the present embodiment, the second arm portion in the rotational direction of the
또한, 본 형태에서는, 그 후의 로봇 동작 공정에 있어서, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 기준 자세로 하고 나서, 핸드 이동 공정에 있어서, 핸드 포크(18)를 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)로 이동시켜서 보정값 산출 공정을 행하고, 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다. 즉, 본 형태에서는, 제2 암부(16), 핸드 기초부(17) 및 핸드 포크(18)를 소정의 기준 위치에 맞춘 상태에서, 핸드 포크(18)를 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)로 이동시켜서 보정값 산출 공정을 행하여, 제1 암부(15)를 구동하는 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다.In addition, in this embodiment, in the subsequent robot operation process, the
또한, 본 형태에서는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(40)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서, 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서, 검지용 패널(40)의 제1 피검출부(821) 및 제2 피검출부(831)에 대응하는 위치가 제5 기준 위치로 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In addition, in this embodiment, the
즉, 본 형태에서는, 제5 기준 위치와 검지용 패널(40)의 제1 피검출부(821) 및 제2 피검출부(831)의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.That is, in this embodiment, the
또한, 본 형태에서는, 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)의 각각에서 보정값 산출 공정을 행하기 때문에, 보정값의 정밀도를 높일 수 있다.Moreover, in this embodiment, since the correction value calculation process is performed in each of the
또한, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 차광성의 검지용 패널(40) 및 차광성의 부재(제1 부재(86) 및 제2 부재(87))에 형성된 구멍을 포함하는 기준 마크(제1 기준 마크(860) 및 제2 기준 마크(870))를 사용하기 때문에, 카메라(제1 카메라(88) 및 제2 카메라(89))에서의 촬상에 적합하다. 또한, 카메라(제1 카메라(88) 및 제2 카메라(89))에 의한 촬상 결과를 이용하면, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 제5 기준 위치에 대한 검지용 패널(40)의 어긋남양을 구하는 것이 가능해진다. 또한, 카메라(제1 카메라(88) 및 제2 카메라(89))에 의한 촬상 결과를 이용하면, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 동작량을 얻을 수 있어, 이러한 동작량을 보정값으로서 산출할 수 있다.Moreover, in this form, in the correction value calculation process, the reference mark containing the hole formed in the light-shielding detection panel 40 and the light-shielding member (the
또한, 보정값 산출 공정에 있어서, 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)로 핸드 포크(18)를 이동시키는 동작과, 챔버(6), 프로세스 챔버(51) 및 프로세스 챔버(53)로부터 가상의 홈 포지션으로 복귀하는 동작을 반복하여 행할 때, 로봇(1)은, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드(8)에 대하여, 도 4에 나타내는 동작과 동일한 회동 동작을 행하게 한다. 따라서, 보정값 산출 공정을 행할 때, 모터나, 모터의 회전을 감속시켜 암 등에 전달하는 감속 기구의 백 래시의 영향이 보정값에 미치기 어렵다.Further, in the correction value calculating step, the operation of moving the
(다른 실시 형태)(Other embodiment)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서 검지용 패널(40)의 위치를 카메라로 관찰했지만, 센서 등을 사용해도 된다. 그 경우, 검지용 패널(40)로서, 기판(2)과 형상 및 사이즈가 동등한 기판을 사용해도 된다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, A various deformation | transformation is possible in the range which does not change the summary of this invention. For example, in the said embodiment, although the position of the detection panel 40 was observed with the camera in the correction value calculation process, you may use a sensor etc. In that case, you may use the board | substrate whose shape and size are the same as the board |
상술한 형태에 있어서, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치로부터 제2 암부(16)가 소정 각도 회동한 위치가 제1 기준 위치로 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과와 인코더(25)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.In the above-mentioned form, the position where the
또한, 상술한 형태에 있어서, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 원점 위치와 제2 기준 위치가 일치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제2 기준 위치에서 핸드 기초부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기초부(17)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇 동작 공정 후에 패널 탑재 공정이 행해져도 된다.Moreover, in the form mentioned above, the origin position of the
상술한 형태에서는, 제조 시스템(3)에 설치된 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행하고 있지만, 제조 시스템(3)에 설치되기 전의 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다. 예를 들어, 로봇(1)의 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.In the above-mentioned aspect, although the 1st reference position specification process, the 2nd reference position specification process, and the hand fork positioning process are performed with respect to the
또한, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송할 때, 길이가 긴 핸드 포크(18, 19)가 반송의 지장이 되지 않게, 핸드 포크(18, 19)를 분리한 상태에서, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송하는 경우에는, 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정을 행하고, 제조 시스템(3)에 설치된 후의 로봇(1)에 대하여 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.In addition, when conveying the
상술한 형태에 있어서, 고정 부재(41)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(42)이 삽입되는 제1 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(44)는, 핸드 기초부(17)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(45)이 삽입되는 제2 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(48, 49)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 2개의 핸드 포크(18)에, 핀(50)이 삽입되는 제3 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다.In the above-described form, the fixing
상술한 형태에 있어서, 핸드(8)는, 핸드 포크(19)를 구비하지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등 이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기압으로 되어 있는 공간 내에 배치되어 있어도 된다.In the form mentioned above, the
1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(반송 대상물)
5, 6, 7: 챔버
8: 핸드
9: 암
10: 본체부
15: 제1 암부
16: 제2 암부
17: 핸드 기초부
18: 핸드 포크
21: 모터(제1 모터)
22: 모터(제2 모터)
23: 모터(제3 모터)
24: 인코더(제1 인코더)
25: 인코더(제2 인코더)
26: 인코더(제3 인코더)
31: 원점 센서(제1 원점 센서)
32: 원점 센서(제2 원점 센서)
33: 원점 센서(제3 원점 센서)
36: 위치 결정 지그(제1 위치 결정 지그)
37: 위치 결정 지그(제2 위치 결정 지그)
38: 위치 결정 지그(제3 위치 결정 지그)
80: 검지용 패널
86: 제1 부재
87: 제2 부재
88: 제1 카메라
89: 제2 카메라
860: 제1 기준 마크
870: 제2 기준 마크
C1: 제1 회동 중심
C2: 제2 회동 중심
C3: 제3 회동 중심1: Robot (Industrial Robot)
2: substrate (return object)
5, 6, 7: chamber
8: hand
9: cancer
10: main body
15: first dark
16: second arm
17: Hand Foundation
18: hand fork
21: motor (first motor)
22: motor (second motor)
23: motor (third motor)
24: encoder (first encoder)
25: encoder (second encoder)
26: encoder (third encoder)
31: origin sensor (first origin sensor)
32: home sensor (second home sensor)
33: home sensor (third home sensor)
36: positioning jig (first positioning jig)
37: positioning jig (second positioning jig)
38: positioning jig (third positioning jig)
80: detection panel
86: first member
87: second member
88: first camera
89: second camera
860: first reference mark
870: second reference mark
C1: 1st rotation center
C2: 2nd center of rotation
C3: 3rd center of rotation
Claims (9)
상기 산업용 로봇은, 본체부와, 상기 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 상기 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부와, 상기 제2 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되어, 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 상기 핸드 포크 사이에서 상기 반송 대상물의 전달이 행해지는 복수의 챔버를 갖고,
상기 제1 암부, 상기 제2 암부 및 상기 핸드 중, 회동 가능하게 연결된 두 부재의 한쪽을 한쪽 부재라 하고, 다른 쪽을 다른 쪽 부재라 했을 때, 상기 한쪽 부재에 대한 상기 다른 쪽 부재의 기준 위치에 정지하도록 상기 다른 쪽 부재를 이동시켰을 때의 정지 위치에 있어서의 인코더의 값과, 상기 다른 쪽 부재를 상기 정지 위치로부터 상기 기준 위치에 상기 다른 쪽 부재가 위치 결정 지그에 의해 위치 결정되는 위치까지 이동시켰을 때의 상기 인코더의 값에 기초하여, 상기 다른 쪽 부재의 상기 기준 위치에 대응하는 상기 인코더의 기준값을 특정하는 기준 위치 특정 공정과,
상기 기준값을 반영시킨 조건에서, 상기 제1 암부, 상기 제2 암부 및 상기 핸드를 모터 구동하여 상기 산업용 로봇을 가상의 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과,
상기 로봇 동작 공정 후에, 상기 산업용 로봇을 동작시켜서 상기 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로, 검지용 패널을 탑재한 상기 핸드 포크를 이동시키고, 상기 전달 위치에 있어서의 상기 검지용 패널의 기준 위치와 상기 검지용 패널의 정지 위치의 어긋남양에 기초하여 상기 제1 암부를 모터 구동할 때의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정,
을 갖는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.It is a method of calculating the correction value of an industrial robot that calculates a correction value for correcting the operation of the industrial robot.
The industrial robot includes a main body portion, a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the main body portion, a second arm portion rotatably connected to the proximal end side on the distal end side of the first arm portion, and the second arm portion. The proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the arm, and has a hand having a hand fork on which the conveying object is mounted, and a plurality of chambers in which the conveying object is delivered between the hand forks,
The reference position of the said other member with respect to the said one member, when one of the two members rotatably connected among the said 1st arm part, the said 2nd arm part, and the said hand is called the one member, and the other is the other member. The value of the encoder at the stop position when the other member is moved to stop at, and from the stop position to the position at which the other member is positioned by the positioning jig at the reference position. A reference position specifying step of specifying a reference value of the encoder corresponding to the reference position of the other member based on the value of the encoder when moved;
A robot operation step of driving the first arm part, the second arm part, and the hand to a virtual reference posture under conditions in which the reference value is reflected;
After the robot operation step, the industrial robot is operated to move the hand fork equipped with the detection panel to a transfer position of the transfer object in any one of the plurality of chambers, and at the transfer position A correction value calculating step of calculating a correction value at the time of driving the motor with the first arm based on the shift amount between the reference position of the detection panel and the stop position of the detection panel of;
Method for calculating the correction value of the industrial robot, characterized in that it has a.
상기 보정값 산출 공정에서는, 카메라에 의한 상기 검지용 패널의 촬상 결과에 기초하여 상기 어긋남양을 검출하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculating step, the deviation amount is detected based on the imaging result of the detection panel by a camera.
상기 복수의 챔버에는, 외부로부터 상기 반송 대상물의 반입이 행해지는 로더용 챔버 및 외부로의 상기 반송 대상물의 반출이 행해지는 언로더용 챔버가 포함되고,
상기 보정값 산출 공정 시, 상기 로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치 또는 상기 언로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to claim 1 or 2,
The plurality of chambers include a chamber for loaders into which the conveying object is carried from the outside and an unloader chamber into which the conveying object is carried out to the outside,
In the correction value calculation step, the hand fork is moved to a transfer position of the transfer object in the loader chamber or to a transfer position of the transfer object in the unloader chamber. Value calculation method.
상기 복수의 챔버에는, 상기 반송 대상물에 대한 처리가 행해지는 프로세스 챔버가 포함되고,
상기 보정값 산출 공정 시, 상기 프로세스 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to claim 1 or 2,
The plurality of chambers include a process chamber in which the processing on the conveying object is performed,
In the correction value calculation step, the hand fork is moved to a delivery position of the object to be conveyed in the process chamber.
상기 복수의 챔버에는, 외부로부터 상기 반송 대상물의 반입이 행해지는 로더용 챔버, 외부로의 상기 반송 대상물의 반출이 행해지는 언로더용 챔버 및 상기 반송 대상물에 대한 처리가 행해지는 프로세스 챔버가 포함되고,
상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치 또는 상기 언로더용 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제1 보정값 산출 공정과, 상기 프로세스 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제2 보정값 산출 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to claim 1 or 2,
The plurality of chambers include a loader chamber in which the carrying object is carried out from the outside, an unloader chamber in which the carrying object is carried out to the outside, and a process chamber in which the processing of the carrying object is performed. ,
A first correction value calculation step of moving the hand fork to a delivery position of the conveyed object in the chamber for loaders or to a conveyed position of the conveyed object in the unloader chamber as the correction value calculating step; And a second correction value calculating step of moving the hand fork to the delivery position of the conveyed object in the process chamber.
상기 복수의 챔버에는, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상에 상기 본체부에 대하여 상기 제1 암부가 회동할 때의 제1 회동 중심이 위치하는 제1 챔버와, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상으로부터 상기 제1 회동 중심이 측방으로 어긋나 있는 제2 챔버가 포함되고,
상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 제1 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제1 보정값 산출 공정과, 상기 제2 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제2 보정값 산출 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to claim 1 or 2,
The plurality of chambers include: a first chamber in which a first rotational center when the first arm portion rotates with respect to the main body portion is located on an extension line of the movement trajectory when the hand fork is linearly moved inwardly; And a second chamber in which the first rotational center is laterally shifted from an extension line of the movement trajectory when the hand fork moves in a straight line and enters inwardly.
The correction value calculation step includes: a first correction value calculation step of moving the hand fork to a delivery position of the transfer object in the first chamber; and a transfer position of the transfer object in the second chamber; And a second correction value calculating step of moving the hand fork.
상기 핸드 포크가 직선 이동하여 상기 제2 챔버의 내측으로 진입할 때, 상기 제1 암부에 대하여 상기 제2 암부가 회동할 때의 제2 회동 중심이, 상기 제1 회동 중심 및 상기 제2 암부에 대하여 상기 핸드가 회동할 때의 제3 회동 중심보다 상기 핸드의 진행 방향 측에 위치하는 과정을 통과하고,
상기 복수의 챔버에는, 또한, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때의 이동 궤적의 연장선상으로부터 상기 제1 회동 중심이 측방으로 어긋나고, 또한, 상기 핸드 포크가 직선 이동하여 내측으로 진입할 때, 상기 제3 회동 중심이 항상 상기 제2 회동 중심보다 상기 핸드의 진행 방향 측에 위치하는 제3 챔버가 포함되고,
상기 보정값 산출 공정으로서, 상기 제3 챔버 내에 있어서의 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 제3 보정값 산출 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 6,
When the hand fork moves linearly and enters the second chamber, the second pivot center when the second arm pivots with respect to the first arm portion is the first pivot center and the second arm portion. Pass the process of positioning the hand in the direction of travel of the hand from the third center of rotation when the hand rotates,
Further, in the plurality of chambers, the first pivot center is laterally shifted laterally from the extension line of the movement trajectory when the hand fork moves linearly and enters the inside, and the hand fork moves linearly and enters the inside. When the third rotational center is always located in the traveling direction side of the hand than the second rotational center is included,
A correction value calculation method for an industrial robot, comprising performing a third correction value calculation step of moving the hand fork to a delivery position of the object to be conveyed in the third chamber as the correction value calculation step.
상기 기준 위치 특정 공정으로서, 상기 두 부재가 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부인 제1 기준 위치 특정 공정과, 상기 두 부재가 상기 제2 암부 및 상기 핸드인 제2 기준 위치 특정 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to any one of claims 1 to 7,
The reference position specifying step, wherein the two members perform a first reference position specifying step of being the first arm portion and the second arm portion, and the two members performing a second reference position specifying step of the second arm portion and the hand. A method for calculating a correction value of an industrial robot.
상기 기준 위치 특정 공정 후, 상기 보정값 산출 공정 전에, 상기 제2 암부에 대한 기준 위치에 상기 핸드 기초부를 정지시킨 상태에서, 위치 결정 지그에 의해, 상기 핸드에 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to any one of claims 1 to 8,
A hand fork position for positioning the hand fork to the hand by a positioning jig after the reference position specifying step stops the hand base at the reference position with respect to the second arm before the correction value calculating step. A correction value calculation method for an industrial robot, characterized by performing a determination step.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |