KR102205705B1

KR102205705B1 - Method of calculating correction value of industrial robot

Info

Publication number: KR102205705B1
Application number: KR1020190017572A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 도모키 다나베; 가즈키 이토
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2018-02-16
Filing date: 2019-02-15
Publication date: 2021-01-21
Also published as: JP7094115B2; KR20190099138A; CN110153993A; JP2019141921A; CN110153993B

Abstract

[과제] 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 할 때의, 산업용 로봇의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 하는 것이 가능해지는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공한다.
[해결 수단] 이 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 좌표 특정 공정에 있어서, 카메라(36, 37)에 의해, 검지용 지그(35)의 모서리부(35a)의 좌표와, 검지용 지그(35)의 모서리부(35b)의 좌표를 특정하고 있다. 또한, 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a, 35b)의 좌표에 기초하여, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키는 제1 모터를 제어하기 위한 제1 인코더의 보정값과, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키는 제2 모터를 제어하기 위한 제2 인코더의 보정값과, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키는 제3 모터를 제어하기 위한 제3 인코더의 보정값을 산출하고 있다.[Problem] Provides a method of calculating a correction value for an industrial robot, which makes it possible to eliminate the need for re-education of the industrial robot when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced.
[Solution means] In this method of calculating a correction value of an industrial robot, in the coordinate specifying step, the coordinates of the corner portion 35a of the detection jig 35 and the detection jig 35 are determined by the cameras 36 and 37. The coordinates of the corner part 35b of) are specified. In addition, in the correction value calculation process, the correction of the first encoder for controlling the first motor that rotates the first arm portion with respect to the body portion based on the coordinates of the corner portions 35a and 35b specified in the coordinate specifying process Value, a correction value of the second encoder for controlling the second motor rotating the second arm with respect to the first arm, and the third encoder for controlling the third motor rotating the hand base with respect to the second arm The correction value is calculated.

Description

How to calculate the correction value of industrial robot {METHOD OF CALCULATING CORRECTION VALUE OF INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for calculating a correction value for an industrial robot for calculating a correction value for correcting the motion of the industrial robot.

종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유기 EL(유기 일렉트로루미네선스) 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이고, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 is a horizontal articulated robot built in and used in an organic EL (organic electroluminescence) display manufacturing system, and a hand on which a glass substrate is mounted, and a hand rotatably connected to the distal end side And a body portion to which the arm to be formed and a base end side of the arm are rotatably connected.

암은, 기단부측이 본체부에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부와, 핸드 기초부에 고정됨과 함께 유리 기판이 탑재되는 핸드 포크를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.The arm includes a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the body portion, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the front end side of the first arm portion. The hand includes a hand base portion rotatably connected to the distal end side of the second arm portion, and a hand fork to which a glass substrate is mounted while being fixed to the hand base portion. In addition, the industrial robot described in Patent Document 1 has a motor for rotating the first arm portion with respect to the main body portion, a motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion, and rotating the hand base portion with respect to the second arm portion. It is equipped with a motor for.

일본 특허 공개 제2015-139854호 공보Japanese Patent Publication No. 2015-139854

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이 등의 제조 시스템에 설치되면, 산업용 로봇의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 행해지고 있다. 또한, 예를 들어 제조 시스템에 설치되는 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하면, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여, 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계가 어긋난다.When the industrial robot described in Patent Document 1 is installed in a manufacturing system such as an organic EL display, in order to create an operation program for the industrial robot, generally, the teaching work of the industrial robot is performed. In addition, for example, when the industrial robot installed in the manufacturing system is exchanged or the motor of the industrial robot is exchanged, the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange is changed to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange. It deviates.

그 때문에, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하는 경우에도, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 다시 행해지고 있다. 그러나, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하는 경우에, 산업용 로봇의 교시 작업이 다시 행해지면, 산업용 로봇의 교환 등을 위하여 정지되어 있는 제조 시스템이 재가동할 때까지 시간이 걸린다.Therefore, even when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, the teaching work of the industrial robot is generally performed again. However, when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, when the teaching work of the industrial robot is performed again, it takes time until the manufacturing system stopped for replacement of the industrial robot or the like is restarted.

그래서, 본 발명의 과제는, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 할 때의, 산업용 로봇의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 하는 것이 가능해지는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of calculating a correction value for an industrial robot, which makes it possible to eliminate the need for re-education of the industrial robot when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced. Have.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이며, 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부와 핸드 기초부로부터 수평 방향의 일방향으로 뻗음과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더를 구비하고, 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 핸드 포크에 검지용 지그를 탑재하는 지그 탑재 공정과, 산업용 로봇을 동작시켜서 소정의 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과, 지그 탑재 공정 및 로봇 동작 공정 후에, 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과, 핸드 이동 공정 후에, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크의 긴 변 방향 및 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향 중 적어도 어느 한쪽으로 어긋난 상태로 배치되는 제1 카메라 및 제2 카메라에 의해, 검지용 지그에 형성됨과 함께 제1 카메라의 시야 내에 배치되는 제1 모서리부의 좌표와, 검지용 지그에 형성됨과 함께 제2 카메라의 시야 내에 배치되는 제2 모서리부의 좌표를 특정하는 좌표 특정 공정과, 좌표 특정 공정에서 특정된 제1 모서리부의 좌표와 제2 모서리부의 좌표에 기초하여, 제1 모터를 제어하기 위한 제1 인코더의 보정값, 제2 모터를 제어하기 위한 제2 인코더의 보정값 및 제3 모터를 제어하기 위한 제3 인코더의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the method of calculating a correction value of an industrial robot of the present invention is a method of calculating a correction value of an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of the industrial robot, and the industrial robot includes a main body and a main body. An arm having a first arm that is rotatably connected to the proximal end of the part, a second arm rotatably connected to the proximal end of the first arm, and a hand rotatably connected to the distal end of the second arm A hand having a hand fork on which an object to be conveyed is mounted while extending in a horizontal direction from the base and the hand base, a first motor for rotating the first arm with respect to the main body, and a second with respect to the first arm A second motor for rotating the arm part, a third motor for rotating the hand base part with respect to the second arm part, a first encoder for detecting a rotation amount of the first motor, and a rotation amount of the second motor A second encoder for detecting the rotation amount of the third motor and a third encoder for detecting the rotation amount of the third motor are provided. After the robot operation process, the jig mounting process and the robot operation process, the hand movement process of moving the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed by operating the industrial robot, and the hand movement process, after the hand movement process, to the delivery position. The first camera and the second camera are disposed in a state that is shifted in at least one of the direction of the long side of the hand fork and the direction orthogonal to the direction of the long side of the hand fork. The coordinates of the first corners arranged in the field of view and the coordinates of the second corners that are formed in the detection jig and are arranged in the field of view of the second camera are specified, and the coordinates of the first corners specified in the coordinates specifying process And the correction value of the first encoder for controlling the first motor, the correction value of the second encoder for controlling the second motor, and the correction of the third encoder for controlling the third motor To calculate the value Is characterized in that it comprises a correction value calculation process.

본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 핸드 이동 공정에 있어서, 소정의 기준 자세로 되어 있는 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키고, 핸드 이동 공정 후의 좌표 특정 공정에 있어서, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크의 긴 변 방향 및 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향 중 적어도 어느 한쪽으로 어긋난 상태로 배치되는 제1 카메라 및 제2 카메라에 의해, 제1 카메라의 시야 내에 배치되는 검지용 지그의 제1 모서리부의 좌표와, 제2 카메라의 시야 내에 배치되는 검지용 지그의 제2 모서리부의 좌표를 특정하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 제1 모서리부의 좌표와 제2 모서리부의 좌표에 기초하여, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키는 제1 모터를 제어하기 위한 제1 인코더의 보정값과, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키는 제2 모터를 제어하기 위한 제2 인코더의 보정값과, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키는 제3 모터를 제어하기 위한 제3 인코더의 보정값을 산출하고 있다.In the method of calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, in the hand movement process, the industrial robot in a predetermined reference posture is operated to move the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed, and the coordinate specifying process after the hand movement process is performed. In the field of view of the first camera, by the first camera and the second camera disposed in a state shifted in at least one of a direction perpendicular to the long side direction of the hand fork and a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork disposed at the delivery position. The coordinates of the first corner portion of the detection jig to be arranged and the coordinates of the second corner portion of the detection jig arranged in the field of view of the second camera are specified. In the present invention, in the correction value calculation process, based on the coordinates of the first corner and the coordinates of the second corner specified in the coordinate specifying process, controlling the first motor to rotate the first arm with respect to the main body A correction value of the first encoder for controlling the correction value of the first encoder, a correction value of the second encoder for controlling a second motor that rotates the second arm part with respect to the first arm part, and a third motor for rotating the hand base part with respect to the second arm part The correction value of the third encoder is calculated.

그 때문에, 본 발명에서는, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하기 전의 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크가 반송 대상물의 전달 위치로 이동했을 때의, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 지그의 제1 모서리부의 좌표와 제2 모서리부의 좌표가 미리 기억되어 있어서, 보정값 산출 공정에 있어서, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 지그의 제1 모서리부의 좌표 및 제2 모서리부의 좌표와, 좌표 특정 공정에서 특정된 제1 모서리부의 좌표 및 제2 모서리부의 좌표에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 해도, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, when the industrial robot is replaced, the motor of the industrial robot is replaced, or the hand fork of the industrial robot before replacement is moved to the delivery position of the object to be transported, it is mounted on the hand fork of the industrial robot before replacement. The coordinates of the first corner portion and the coordinates of the second corner portion of the detected jig are stored in advance, so in the correction value calculation process, the coordinates of the first corner portion of the detection jig mounted on the hand fork of the industrial robot before replacement and 2 By calculating the correction value based on the coordinates of the corners and the coordinates of the first and second corners specified in the coordinate specifying process, even if the industrial robot is exchanged or the motor of the industrial robot is exchanged, the correction value is calculated. Based on the correction value calculated in the process, it becomes possible to correct the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange.

또한, 본 발명에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정함으로써, 산업용 로봇의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명에서는, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 할 때의, 산업용 로봇의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 하는 것이 가능해진다.In addition, in the present invention, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange, it becomes possible to eliminate the need for re-teaching of the industrial robot. . That is, in the present invention, it becomes possible to eliminate the need for re-teaching of the industrial robot when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced.

본 발명에 있어서, 제1 카메라와 제2 카메라는, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크의 긴 변 방향 및 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 어긋난 상태로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 제1 카메라와 제2 카메라가 핸드 포크의 긴 변 방향으로만 어긋나 있는 경우나, 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로만 어긋나 있는 경우와 비교하여, 좌표 특정 공정에서 특정된 제1 모서리부의 좌표와 제2 모서리부의 좌표에 기초하여, 보정값 산출 공정에 있어서, 보정값을 고정밀도로 산출하는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that the first camera and the second camera are displaced in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork disposed at the delivery position and the long side direction of the hand fork. With this configuration, compared to the case where the first camera and the second camera are shifted only in the direction of the long side of the hand fork or only in the direction orthogonal to the direction of the long side of the hand fork, the coordinates specified in the process Based on the coordinates of the first corner and the coordinates of the second corner, in the correction value calculation step, it becomes possible to calculate the correction value with high precision.

본 발명에 있어서, 제1 카메라의 시야 내에 배치되어 제1 카메라에 촬영되는 제1 기준 마크와, 제2 카메라의 시야 내에 배치되어 제2 카메라에 촬영되는 제2 기준 마크가 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 예를 들어 제1 카메라나 제2 카메라가 교환되었을 때나, 어떠한 원인으로 제1 카메라나 제2 카메라의 위치가 어긋났을 때, 제1 카메라나 제2 카메라의 위치 조정을 행하지 않아도, 제1 기준 마크를 기준으로 하여 제1 모서리부의 좌표를 고정밀도로 특정하는 것이 가능해짐과 함께, 제2 기준 마크를 기준으로 하여 제2 모서리부의 좌표를 고정밀도로 특정하는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that a first reference mark disposed within the field of view of the first camera and photographed by the first camera, and a second reference mark disposed within the field of view of the second camera and photographed by the second camera are provided. With this configuration, for example, when the first camera or the second camera is replaced, or when the position of the first camera or the second camera is shifted for some reason, even if the position of the first camera or the second camera is not adjusted, While it becomes possible to specify the coordinates of the first corner portion with high precision based on the first reference mark, it is possible to specify the coordinates of the second corner portion with high precision on the basis of the second reference mark.

본 발명에 있어서, 제1 카메라와 제2 카메라와 제1 기준 마크와 제2 기준 마크는, 전달 위치에 배치된 핸드 포크에 탑재되는 반송 대상물의 위치 확인에도 사용되는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 전달 위치에 배치된 핸드 포크에 탑재되는 반송 대상물의 위치 확인을 행하기 위한 카메라나 기준 마크를 별도 마련할 필요가 없어진다.In the present invention, it is preferable that the first camera, the second camera, the first reference mark, and the second reference mark are also used for positioning a conveyance object mounted on a hand fork arranged at the delivery position. With this configuration, there is no need to separately provide a camera or a reference mark for checking the position of the object to be conveyed mounted on the hand fork arranged at the delivery position.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 반송 대상물에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 복수의 처리부를 갖는 처리 시스템에 내장되어서 사용됨과 함께, 처리 시스템의 일부를 구성하는 반송 대상물의 공급부와 처리 시스템의 일부를 구성하는 반송 대상물의 배출부와 복수의 처리부 사이에서 반송 대상물을 반송하고, 제1 카메라 및 제2 카메라는, 공급부 또는 배출부의 내부에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 일반적으로, 반송 대상물에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 처리부의 내부에는, 비교적 많은 기기가 설치되는 데 비해, 공급부 및 배출부의 내부에 설치되는 기기는 많지 않다. 그 때문에, 이렇게 구성하면, 처리부의 내부에 제1 카메라 및 제2 카메라가 설치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 카메라 및 제2 카메라를 설치하기 쉬워진다.In the present invention, the industrial robot is used by being embedded in a processing system having a plurality of processing units for performing predetermined processing on the object to be conveyed, and a supply unit of a conveying object constituting a part of the processing system and a part of the processing system. It is preferable that the object to be conveyed is conveyed between the discharge unit of the object to be conveyed and the plurality of processing units, and the first camera and the second camera are provided in the supply unit or the discharge unit. In general, relatively many devices are installed inside the processing unit for performing a predetermined treatment on the object to be conveyed, whereas there are not many devices installed inside the supply unit and the discharge unit. Therefore, with this configuration, it becomes easier to install the first camera and the second camera as compared to the case where the first camera and the second camera are provided inside the processing unit.

본 발명에 있어서, 제1 카메라 및 제2 카메라는, 공급부의 내부에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 공급부에 있어서 특정된 제1 모서리부의 좌표와 제2 모서리부의 좌표에 기초하여 보정값이 산출됨과 함께, 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남이 보정된다. 따라서, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 해도, 처리 시스템에 공급되는 반송 대상물을 공급부에 있어서 핸드 포크에 고정밀도로 탑재하는 것이 가능해진다. 그 결과, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 한 후에도, 처리부에 대하여 반송 대상물을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that the first camera and the second camera are provided inside the supply unit. With this configuration, a correction value is calculated based on the coordinates of the first and second corners specified in the supply unit, and the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange based on the calculated correction value. The deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange of the coordinates of is corrected. Therefore, even if the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, it becomes possible to mount the object to be conveyed to the processing system on the hand fork with high precision in the supply unit. As a result, even after the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, it becomes possible to convey the object to be conveyed to the processing unit with high precision.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이며, 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부와 핸드 기초부로부터 수평 방향의 일방향으로 뻗음과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더를 구비하고, 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 핸드 포크에 검지용 지그를 탑재하는 지그 탑재 공정과, 산업용 로봇을 동작시켜서 소정의 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과, 지그 탑재 공정 및 로봇 동작 공정 후에, 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과, 핸드 이동 공정 후에, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크의 긴 변 방향 및 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향 중 적어도 어느 한쪽으로 서로 어긋난 상태로 배치되는 3개의 센서의 각각에 의해 검지용 지그의 에지가 검지될 때까지 산업용 로봇을 동작시킴과 함께, 3개의 센서의 각각에 의해 검지용 지그의 에지가 검지되었을 때의 산업용 로봇의 좌표를 특정하는 좌표 특정 공정과, 좌표 특정 공정에서 특정된 산업용 로봇의 좌표에 기초하여, 제1 모터를 제어하기 위한 제1 인코더의 보정값, 제2 모터를 제어하기 위한 제2 인코더의 보정값 및 제3 모터를 제어하기 위한 제3 인코더의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to solve the above problems, the method of calculating a correction value of an industrial robot of the present invention is a method of calculating a correction value of an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of the industrial robot. , An arm having a first arm that is rotatably connected to the main body and a second arm rotatably connected to the distal end of the first arm, and a rotatable connection to the distal end of the second arm A hand having a hand base portion and a hand fork on which the object to be conveyed is mounted while extending in a horizontal direction from the hand base portion, a first motor for rotating the first arm portion with respect to the body portion, and the first arm portion A second motor for rotating the second arm, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, a first encoder for detecting a rotation amount of the first motor, and a rotation amount of the second motor. A second encoder for detecting and a third encoder for detecting the amount of rotation of the third motor are provided, and the method of calculating the correction value of the industrial robot includes a jig mounting step of mounting a detection jig on a hand fork, and an industrial robot. After the robot operation process by operating the robot to set the predetermined reference posture, the jig mounting process and the robot operation process, the hand movement process of moving the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed by operating the industrial robot, and the hand movement process after the transfer Until the edge of the detection jig is detected by each of the three sensors arranged in a state that deviates from each other in at least one of the direction of the long side of the hand fork placed in the position and the direction perpendicular to the direction of the long side of the hand fork Based on the coordinate specifying process that specifies the coordinates of the industrial robot when the edge of the detection jig is detected by each of the three sensors while operating the robot, and the coordinates of the industrial robot specified in the coordinate specifying process, Comprising a correction value calculation process of calculating a correction value of the first encoder for controlling the first motor, a correction value of the second encoder for controlling the second motor, and a correction value of the third encoder for controlling the third motor Characterized by To

본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 핸드 이동 공정에 있어서, 소정의 기준 자세로 되어 있는 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키고, 핸드 이동 공정 후의 좌표 특정 공정에 있어서, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크의 긴 변 방향 및 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향 중 적어도 어느 한쪽으로 서로 어긋난 상태로 배치되는 3개의 센서의 각각에 의해 검지용 지그의 에지가 검지될 때까지 산업용 로봇을 동작시킴과 함께, 3개의 센서의 각각에 의해 검지용 지그의 에지가 검지되었을 때의 산업용 로봇의 좌표를 특정하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 산업용 로봇의 좌표에 기초하여, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키는 제1 모터를 제어하기 위한 제1 인코더의 보정값과, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키는 제2 모터를 제어하기 위한 제2 인코더의 보정값과, 제2 암부에 대하여 핸드 기초부를 회동시키는 제3 모터를 제어하기 위한 제3 인코더의 보정값을 산출하고 있다.In the method of calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, in the hand movement process, the industrial robot in a predetermined reference posture is operated to move the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed, and the coordinate specifying process after the hand movement process is performed. In this case, the edge of the detection jig is detected by each of the three sensors arranged in a state that is offset from each other in at least one of a direction perpendicular to the long side direction of the hand fork and the direction perpendicular to the long side direction of the hand fork disposed at the delivery position. The industrial robot is operated until the time, and the coordinates of the industrial robot when the edge of the detection jig is detected by each of the three sensors are specified. Further, in the present invention, in the correction value calculation process, based on the coordinates of the industrial robot specified in the coordinate specifying process, the correction value of the first encoder for controlling the first motor that rotates the first arm portion with respect to the body portion And, a correction value of the second encoder for controlling the second motor that rotates the second arm with respect to the first arm, and the correction of the third encoder for controlling the third motor that rotates the hand base with respect to the second arm. It is calculating the value.

그 때문에, 본 발명에서는, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하기 전의 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 지그의 에지가 3개의 센서의 각각에 의해 검지될 때의 산업용 로봇의 좌표가 미리 기억되어 있어서, 보정값 산출 공정에 있어서, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 지그의 에지가 3개의 센서의 각각에 의해 검지될 때의 산업용 로봇의 좌표와, 좌표 특정 공정에서 특정된 산업용 로봇의 좌표에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 해도, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, when the edge of the detection jig mounted on the hand fork of the industrial robot before the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced or before the replacement is detected by each of the three sensors Since the coordinates of the robot are stored in advance, in the correction value calculation process, the coordinates and coordinates of the industrial robot when the edge of the detection jig mounted on the hand fork of the industrial robot before replacement is detected by each of the three sensors. By calculating a correction value based on the coordinates of the industrial robot specified in a specific process, even if the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, the industrial robot before replacement based on the correction value calculated in the correction value calculation process It becomes possible to correct the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange of the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of

본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 제1 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제1 원점 센서와, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제2 원점 센서와, 제2 암부에 대한 핸드 기초부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부의 원점 위치를 검지하기 위한 제3 원점 센서를 구비하고, 로봇 동작 공정에서는, 제1 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제1 원점 센서의 검지 결과와 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 제1 모터를 구동 제어하고, 제2 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제2 원점 센서의 검지 결과와 제2 인코더의 검지 결과에 기초하여 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 제3 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제3 원점 센서의 검지 결과와 제3 인코더의 검지 결과에 기초하여 제3 모터를 구동 제어하여, 산업용 로봇을 기준 자세로 한다.In the present invention, for example, the industrial robot includes a first origin sensor for detecting an origin position of the first arm portion in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion, and the second arm portion with respect to the first arm portion. A second origin sensor for detecting the origin position of the second arm portion in the rotation direction, and a third origin sensor for detecting the origin position of the hand base portion in the rotation direction of the hand base portion with respect to the second arm portion. , In the robot operation process, the first motor is driven and controlled based on the detection result of the first origin sensor or the detection result of the first origin sensor and the detection result of the first encoder, and the detection result of the second origin sensor Based on or based on the detection result of the second home sensor and the detection result of the second encoder, the second motor is driven and controlled, and based on the detection result of the third home sensor or the detection result of the third home sensor and 3 Based on the detection result of the encoder, the third motor is driven and controlled, and the industrial robot is set as the reference posture.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값을 산출하면, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 할 때의, 산업용 로봇의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 하는 것이 가능해진다.As described above, when the correction value is calculated by the method for calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, the re-teaching work of the industrial robot is not required when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced. It becomes possible to do.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는, 도 2에 나타내는 공급부의 내부 구성을 설명하기 위한 확대도이다.
도 5는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram of an industrial robot in which a correction value is calculated by a correction value calculation method for an industrial robot according to an embodiment of the present invention, (A) is a plan view and (B) is a side view.
FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot shown in FIG. 1 is incorporated in a manufacturing system for an organic EL display.
3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1.
4 is an enlarged view for explaining the internal configuration of the supply unit shown in FIG. 2.
5 is a view for explaining a method of calculating a correction value for an industrial robot according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 구성)(Composition of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇(1)의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a diagram of an industrial robot 1 in which a correction value is calculated by a method of calculating a correction value for an industrial robot according to an embodiment of the present invention, where (A) is a plan view and (B) is a side view. FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is incorporated in the manufacturing system 3 of an organic EL display. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in FIG. 1.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 한다.)을 반송하기 위한 로봇이다. 기판(2)은, 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 이 로봇(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 한다.)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 7)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment conveys the glass substrate 2 for an organic EL display (hereinafter referred to as "substrate 2") as a conveyance object. It is a robot to do. The substrate 2 is formed in a rectangular flat plate shape. As shown in FIG. 2, this robot 1 is a horizontal articulated robot built in and used in the manufacturing system 3 of an organic EL display. The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as "chamber 4") disposed at the center, and a plurality of chambers 5 to 7 disposed to surround the chamber 4 Are doing.

챔버(5)는, 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 프로세스 챔버이다. 또한, 챔버(6)는, 제조 시스템(3)에 공급되는 기판(2)이 수용되는 공급용 챔버(로더)이고, 챔버(7)는, 제조 시스템(3)으로부터 배출되는 기판(2)이 수용되는 배출용 챔버(언로더)이다. 챔버(4 내지 7)의 내부는, 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는, 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는 후술하는 핸드 포크(18, 19)가 챔버(5 내지 7) 내로 들어감으로써, 로봇(1)은, 복수의 챔버(5 내지 7)의 사이에 기판(2)을 반송한다.The chamber 5 is a process chamber for performing a predetermined process on the substrate 2. Further, the chamber 6 is a supply chamber (loader) in which the substrate 2 supplied to the manufacturing system 3 is accommodated, and the chamber 7 is a substrate 2 discharged from the manufacturing system 3 It is a discharge chamber (unloader) to be accommodated. The interior of the chambers 4 to 7 is vacuum. Inside the chamber 4, a part of the robot 1 is arranged. The hand forks 18, 19, which will be described later that constitute the robot 1, enter the chambers 5 to 7, so that the robot 1 transports the substrate 2 between the plurality of chambers 5 to 7 do.

본 형태의 챔버(5)는, 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 처리부이다. 또한, 본 형태의 제조 시스템(3)은, 복수의 처리부를 구비하는 처리 시스템이다. 또한, 본 형태의 챔버(6)는, 처리 시스템인 제조 시스템(3)의 일부를 구성하는 기판(2)의 공급부이고, 챔버(7)는, 처리 시스템인 제조 시스템(3)의 일부를 구성하는 기판(2)의 배출부이다.The chamber 5 of this embodiment is a processing unit for performing predetermined processing on the substrate 2. Further, the manufacturing system 3 of this embodiment is a processing system including a plurality of processing units. In addition, the chamber 6 of this embodiment is a supply part of the substrate 2 constituting a part of the manufacturing system 3 which is a processing system, and the chamber 7 constitutes a part of the manufacturing system 3 which is a processing system. It is the discharge part of the board|substrate 2.

도 1에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8)와, 핸드(8)가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암(9)과, 암(9)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다. 핸드(8) 및 암(9)은, 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)는, 암(9)을 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다.As shown in Fig. 1, the robot 1 includes a hand 8 on which the substrate 2 is mounted, an arm 9 to which the hand 8 is rotatably connected to the distal end side, and the arm 9 The base end side is provided with a body portion 10 that is connected to be rotatable. The hand 8 and the arm 9 are disposed above the main body 10. The main body 10 includes a lifting mechanism for lifting the arm 9 and a case body 13 in which the lifting mechanism is accommodated. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13.

상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는, 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은, 진공 영역(VR) 내에 배치되어 있고, 핸드(8) 및 암(9)은, 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은, 대기 영역(AR) 내(대기 중)에 배치되어 있다.As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed inside the chamber 4. That is, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 8 and the arm 9 are in the vacuum chamber (during vacuum). It is placed. On the other hand, a portion of the robot 1 lower than the lower end surface of the flange 14 is disposed in the waiting area AR (in the atmosphere).

암(9)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(15)와 제2 암부(16)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(9)은, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단부측은, 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(15)의 선단부측에는, 제2 암부(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(16)의 선단부측에는, 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되어 있다.The arm 9 is provided with a first arm portion 15 and a second arm portion 16 that are rotatably connected to each other. The arm 9 of this embodiment is constituted by two arm portions, the first arm portion 15 and the second arm portion 16. The base end side of the first arm 15 is connected to the main body 10 so as to be rotatable. To the front end side of the first arm 15, the base end side of the second arm 16 is rotatably connected. The hand 8 is connected to the front end side of the second arm 16 so as to be rotatable.

제2 암부(16)는, 제1 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(8)는, 제2 암부(16)보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심의 거리는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심과 제2 암부(16)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리와 동등하게 되어 있다.The second arm portion 16 is disposed above the first arm portion 15. In addition, the hand 8 is disposed above the second arm 16. The distance between the center of rotation of the first arm 15 with respect to the main body 10 and the center of rotation of the second arm 16 with respect to the first arm 15 is the second arm 16 with respect to the first arm 15 ) Is equal to the distance between the center of rotation of the hand 8 and the center of rotation of the hand 8 with respect to the second arm 16.

핸드(8)는, 제2 암부(16)의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기초부(17)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(8)는, 2개의 핸드 포크(18)와, 2개의 핸드 포크(19)를 구비하고 있다. 핸드 포크(18, 19)는, 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 포크(18)와 핸드 포크(19)는 동일 형상으로 형성되어 있다. 2개의 핸드 포크(18)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(18)는, 핸드 기초부(17)로부터 수평 방향의 일방향으로 뻗어 있다. 2개의 핸드 포크(19)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(19)는, 핸드 기초부(17)로부터 핸드 포크(18)와 역방향으로 뻗어 있다.The hand 8 is provided with a hand base 17 rotatably connected to the distal end side of the second arm 16 and hand forks 18 and 19 on which the substrate 2 is mounted. The hand 8 of this embodiment is provided with two hand forks 18 and two hand forks 19. The hand forks 18 and 19 are formed in a straight line. The hand fork 18 and the hand fork 19 are formed in the same shape. The two hand forks 18 are arranged in parallel with each other having a predetermined distance. The hand fork 18 extends from the hand base 17 in one direction in the horizontal direction. The two hand forks 19 are arranged in parallel with each other having a predetermined distance. The hand fork 19 extends from the hand base 17 in a direction opposite to the hand fork 18.

핸드 포크(18, 19)는, 핸드 기초부(17)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 핸드 포크(18, 19)는, 고정용 나사에 의해 핸드 기초부(17)에 고정되어 있다. 핸드 포크(18, 19)에는, 고정용 나사가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 삽입 관통 구멍은, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍이고, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서, 핸드 기초부(17)에 대한 핸드 포크(18, 19)의 고정 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.The hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base 17. Specifically, the hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base portion 17 with a fixing screw. The hand forks 18 and 19 are provided with insertion holes through which fixing screws are inserted. This insertion hole is a long hole in which a direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18, 19 is a long side direction, and in a direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18, 19, the hand It is possible to adjust the fixing positions of the hand forks 18 and 19 relative to the base 17.

본 형태에서는, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 또한, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(19)에 탑재된다. 핸드 포크(18)의 상면에는, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다. 핸드 포크(19)의 상면에도, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다.In this embodiment, one substrate 2 is mounted on two hand forks 18. In addition, one substrate 2 is mounted on two hand forks 19. On the upper surface of the hand fork 18, a positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is provided. A positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is also provided on the upper surface of the hand fork 19.

또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키기 위한 모터(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키기 위한 모터(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기초부(17)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 모터(21)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(24)와, 모터(22)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(25)와, 모터(23)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(26)를 구비하고 있다(도 3 참조).In addition, the robot 1 includes a motor 21 for rotating the first arm 15 with respect to the main body 10 and a motor 21 for rotating the second arm 16 with respect to the first arm 15 (22), a motor 23 for rotating the hand base 17 with respect to the second arm 16, an encoder 24 for detecting the amount of rotation of the motor 21, and a motor 22 An encoder 25 for detecting the amount of rotation of the motor 23 and an encoder 26 for detecting the amount of rotation of the motor 23 are provided (see Fig. 3).

인코더(24)는, 모터(21)에 설치되어 있다. 인코더(25)는, 모터(22)에 설치되고, 인코더(26)는, 모터(23)에 설치되어 있다. 모터(21) 및 인코더(24)는, 예를 들어 본체부(10)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 모터(22, 23) 및 인코더(25, 26)는, 예를 들어 제1 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(21 내지 23)는, 로봇(1)의 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 인코더(24 내지 26)도, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 형태의 모터(21)는 제1 모터이고, 모터(22)는 제2 모터이고, 모터(23)는 제3 모터이다. 또한, 인코더(24)는 제1 인코더이고, 인코더(25)는 제2 인코더이고, 인코더(26)는 제3 인코더이다.The encoder 24 is attached to the motor 21. The encoder 25 is installed in the motor 22, and the encoder 26 is installed in the motor 23. The motor 21 and the encoder 24 are arranged inside the main body 10, for example. Further, the motors 22 and 23 and the encoders 25 and 26 are arranged inside the first arm 15, for example. The motors 21 to 23 are electrically connected to the control unit 27 of the robot 1. The encoders 24 to 26 are also electrically connected to the control unit 27. The motor 21 of this embodiment is a first motor, the motor 22 is a second motor, and the motor 23 is a third motor. Further, encoder 24 is a first encoder, encoder 25 is a second encoder, and encoder 26 is a third encoder.

또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(31)와, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(32)와, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기초부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기초부(17)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(33)를 구비하고 있다. 본 형태의 원점 센서(31)는 제1 원점 센서이고, 원점 센서(32)는 제2 원점 센서이고, 원점 센서(33)는 제3 원점 센서이다.In addition, the robot 1 includes an origin sensor 31 for detecting the origin position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, and the first arm. The origin sensor 32 for detecting the position of the origin of the second arm 16 in the rotation direction of the second arm 16 relative to (15), and the hand base portion 17 for the second arm 16 ) Is provided with an origin sensor 33 for detecting the origin position of the hand base 17 in the rotation direction of ). The origin sensor 31 of this embodiment is a first origin sensor, the origin sensor 32 is a second origin sensor, and the origin sensor 33 is a third origin sensor.

원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 근접 센서이다. 혹은, 원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서이다. 원점 센서(31 내지 33)는, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본체부(10)와 제1 암부(15)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(31)는, 본체부(10) 및 제1 암부(15) 중 어느 한쪽에 고정되고, 본체부(10) 및 제1 암(15) 중 어느 다른 쪽에는, 제1 암부(15)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(31)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.The origin sensors 31 to 33 are proximity sensors, for example. Alternatively, the origin sensors 31 to 33 are optical sensors having a light emitting element and a light receiving element, for example. The origin sensors 31 to 33 are electrically connected to the control unit 27. In the joint portion that is a connection portion between the body portion 10 and the first arm portion 15, the origin sensor 31 is fixed to either of the body portion 10 and the first arm portion 15, and the body portion 10 And to any other of the first arm 15, a detection member that is detected by the origin sensor 31 when the first arm 15 is in the origin position is fixed.

마찬가지로, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(32)는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제1 암부(15) 및 제(2)암(16) 중 어느 다른 쪽에는, 제2 암부(16)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(32)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다. 또한, 제2 암부(16)와 핸드 기초부(17)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(33)는, 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17) 중 어느 다른 쪽에는, 핸드 기초부(17)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(33)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.Similarly, in the joint part which is the connection part of the 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16, the origin sensor 32 is fixed to either of the 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16, and A detection member that is detected by the origin sensor 32 when the second arm 16 is in the origin position is fixed to the other of the first arm 15 and the (2) arm 16. In addition, in the joint portion, which is a connection portion between the second arm portion 16 and the hand base portion 17, the origin sensor 33 is fixed to either of the second arm portion 16 and the hand base portion 17, and 2 A detection member that is detected by the origin sensor 33 when the hand base 17 is in the origin position is fixed to the other of the arm 16 and the hand base 17.

본 형태에서는, 제2 암부(16)가 원점 위치에 있을 때는, 상하 방향으로부터 보았을 때 제1 암부(15)의 긴 변 방향과 제2 암부(16)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 핸드 기초부(17)가 원점 위치에 있을 때는, 상하 방향으로부터 보았을 때 제2 암부(16)의 긴 변 방향과 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향이 직교하고 있다.In this form, when the second arm portion 16 is at the origin position, the first arm portion is so that the long side direction of the first arm portion 15 and the long side direction of the second arm portion 16 coincide when viewed from the vertical direction. (15) and the 2nd arm part 16 overlap in the vertical direction. Further, when the hand base 17 is at the origin position, the direction of the long side of the second arm 16 and the direction of the long side of the hand forks 18 and 19 are orthogonal when viewed from the vertical direction.

(산업용 로봇의 보정값의 산출 방법)(Calculation method of correction value for industrial robot)

도 4는, 도 2에 나타내는 챔버(6)의 내부 구성을 설명하기 위한 확대도이다.4 is an enlarged view for explaining the internal configuration of the chamber 6 shown in FIG. 2.

로봇(1)이 제조 시스템(3)에 설치되면, 로봇(1)의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 로봇(1)의 교시 작업이 행해진다. 또한, 예를 들어 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되거나, 로봇(1)의 모터(21 내지 23)가 교환되거나 하면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계가 어긋나기 때문에, 로봇(1)의 교시 작업을 다시 행할 필요가 발생한다.When the robot 1 is installed in the manufacturing system 3, in order to create an operation program for the robot 1, the teaching work of the robot 1 is performed. In addition, for example, if the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced or the motors 21 to 23 of the robot 1 are replaced, the teaching that was taught in the teaching work of the robot 1 before the replacement Since the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange is shifted from the coordinates of the position, it is necessary to perform the teaching work of the robot 1 again.

한편, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 본 형태에서는, 로봇(1)을 교환하거나, 모터(21 내지 23)를 교환하거나 한 후에 번잡한 교시 작업을 다시 행하지 않아도 되게, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되거나, 모터(21 내지 23)가 교환되거나 하면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 즉, 교환 후의 로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 이하, 이 보정값의 산출 방법을 설명한다.On the other hand, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange, there is no need to perform the complicated teaching work again. In this embodiment, the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced or the motor is replaced so that it is not necessary to perform the complicated teaching work again after replacing the robot 1 or the motors 21 to 23 When (21 to 23) is exchanged, a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange is calculated. That is, a correction value for correcting the operation of the robot 1 after replacement is calculated. Hereinafter, a method of calculating this correction value will be described.

로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출할 때는, 핸드 포크(18)에 검지용 지그(35)가 탑재된다. 검지용 지그(35)는, 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 본 형태의 검지용 지그(35)는, 기판(2)과 동일 형상으로 형성되어 있다. 검지용 지그(35)는, 핸드 포크(18)의 상면에 설치된 위치 결정 부재에 의해 위치 결정된 상태에서, 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 즉, 검지용 지그(35)는, 핸드 포크(18)의, 기판(2)이 탑재되는 개소와 동일한 개소에, 기판(2)과 동일한 방향으로 탑재된다. 또한, 검지용 지그(35)는, 핸드 포크(19)에 탑재되어도 된다.When calculating a correction value for correcting the motion of the robot 1, a detection jig 35 is mounted on the hand fork 18. The detection jig 35 is formed in a rectangular flat plate shape. The detection jig 35 of this embodiment is formed in the same shape as the substrate 2. The detection jig 35 is mounted on the two hand forks 18 in a state positioned by a positioning member provided on the upper surface of the hand fork 18. That is, the detection jig 35 is mounted in the same direction as the substrate 2 at the same location of the hand fork 18 as the location where the substrate 2 is mounted. Further, the detection jig 35 may be mounted on the hand fork 19.

또한, 로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출할 때는, 2개의 카메라(36, 37)가 사용된다. 카메라(36, 37)는, 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다. 또한, 카메라(36, 37)는, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치(도 2에 있어서 핸드 포크(18)가 배치되어 있는 위치)에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향 및 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 어긋난 상태로 배치되어 있다. 카메라(36, 37)는, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 상방에 설치되어 있다.In addition, when calculating a correction value for correcting the motion of the robot 1, two cameras 36 and 37 are used. The cameras 36 and 37 are installed inside the chamber 6. In addition, the cameras 36 and 37 have the length of the hand forks 18 and 19 arranged at the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6 (the position where the hand fork 18 is arranged in Fig. 2). It is arranged in a state shifted in a direction orthogonal to the side direction and the long side direction of the hand forks 18 and 19. The cameras 36 and 37 are installed above the hand forks 18 and 19 arranged in the delivery position.

직사각형의 평판형으로 형성되는 검지용 지그(35)의 한쪽의 대각선 상에 배치되는 2개의 모서리부의 각각을 모서리부(35a, 35b)(도 4 참조)라 하면, 카메라(36)는, 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18)에 탑재되는 검지용 지그(35)의 모서리부(35a)가 카메라(36)의 시야 내에 배치되도록 설치되고, 카메라(37)는, 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18)에 탑재되는 검지용 지그(35)의 모서리부(35b)가 카메라(37)의 시야 내에 배치되도록 설치되어 있다.Assuming that each of the two corner portions disposed on one diagonal of the detection jig 35 formed in a rectangular flat plate shape is referred to as corner portions 35a, 35b (see Fig. 4), the camera 36 is the delivery position The edge portion 35a of the detection jig 35 mounted on the hand fork 18 disposed in the camera 36 is installed so as to be disposed within the field of view of the camera 36, and the camera 37 is a hand fork disposed at the delivery position ( The edge portion 35b of the detection jig 35 mounted on 18) is provided so as to be disposed within the field of view of the camera 37.

즉, 검지용 지그(35)에는, 전달 위치에 핸드 포크(18)가 배치되어 있을 때, 카메라(36)의 시야 내에 배치되는 모서리부(35a)와, 카메라(37)의 시야 내에 배치되는 모서리부(35b)를 포함하는 4개의 모서리부가 형성되어 있다. 본 형태의 카메라(36)는, 제1 카메라이고, 카메라(37)는, 제2 카메라이다. 또한, 본 형태의 모서리부(35a)는, 제1 모서리부이고, 모서리부(35b)는, 제2 모서리부이다.That is, in the detection jig 35, when the hand fork 18 is disposed in the delivery position, the edge portion 35a disposed within the field of view of the camera 36 and the edge disposed within the field of view of the camera 37 Four corner portions including the portion 35b are formed. The camera 36 of this embodiment is a first camera, and the camera 37 is a second camera. In addition, the corner part 35a of this form is a 1st corner part, and the corner part 35b is a 2nd corner part.

또한, 챔버(6)의 내부에는, 2개의 기준 마크(38, 39)(도 4 참조)가 마련되어 있다. 기준 마크(38, 39)는, 예를 들어 도시를 생략하는 기준 마크 형성 부재에 형성된 관통 구멍이다. 기준 마크 형성 부재는, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 하방에 설치되어 있고, 기준 마크(38, 39)는, 핸드 포크(18, 19)의 하방에 배치되어 있다. 기준 마크(38)는, 카메라(36)의 시야 내에 배치되어 있고, 카메라(36)에 촬영된다. 기준 마크(39)는, 카메라(37)의 시야 내에 배치되어 있고, 카메라(37)에 촬영된다.Further, in the interior of the chamber 6, two reference marks 38 and 39 (see Fig. 4) are provided. The reference marks 38 and 39 are, for example, through holes formed in a reference mark forming member which is not shown. The reference mark forming member is provided below the hand forks 18 and 19 arranged in the delivery position, and the reference marks 38 and 39 are arranged below the hand forks 18 and 19. The reference mark 38 is arranged in the field of view of the camera 36 and is photographed by the camera 36. The reference mark 39 is arranged in the field of view of the camera 37 and is photographed by the camera 37.

상하 방향으로부터 보았을 때, 기준 마크(38)는, 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18)에 탑재되는 검지용 지그(35)의 모서리부(35a)와 어긋난 위치에 배치되어 있다. 또한, 상하 방향으로부터 보았을 때, 기준 마크(39)는, 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18)에 탑재되는 검지용 지그(35)의 모서리부(35b)와 어긋난 위치에 배치되어 있다. 본 형태의 기준 마크(38)는, 제1 기준 마크이고, 기준 마크(39)는, 제2 기준 마크이다.When viewed from the vertical direction, the reference mark 38 is disposed at a position deviated from the edge portion 35a of the detection jig 35 mounted on the hand fork 18 disposed at the delivery position. Further, when viewed from the vertical direction, the reference mark 39 is disposed at a position shifted from the edge portion 35b of the detection jig 35 mounted on the hand fork 18 disposed at the delivery position. The reference mark 38 of this embodiment is a first reference mark, and the reference mark 39 is a second reference mark.

예를 들어, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 2개의 핸드 포크(18)에 검지용 지그(35)를 탑재한다(지그 탑재 공정). 검지용 지그(35)는, 핸드 포크(18)의 상면에 설치된 위치 결정 부재에 의해 위치 결정된 상태에서, 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 또한, 로봇(1)을 동작시켜서 로봇(1)을 소정의 기준 자세로 한다(로봇 동작 공정).For example, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the detection jig 35 is mounted on the two hand forks 18 (jig mounting process). The detection jig 35 is mounted on the two hand forks 18 in a state positioned by a positioning member provided on the upper surface of the hand fork 18. Further, the robot 1 is operated to set the robot 1 to a predetermined reference posture (robot operation step).

로봇 동작 공정에서는, 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 또는 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 모터(21)를 구동 제어하고, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 또는 원점 센서(32)의 검지 결과와 인코더(25)의 검지 결과에 기초하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 또는 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 기준 자세로 한다. 구체적으로는, 로봇 동작 공정에 있어서, 모터(21 내지 23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 동작 개시 위치까지 동작시킨다.In the robot operation process, the motor 21 is driven and controlled based on the detection result of the origin sensor 31 or the detection result of the origin sensor 31 and the detection result of the encoder 24, and the origin sensor 32 Based on the detection result of or based on the detection result of the origin sensor 32 and the detection result of the encoder 25, the motor 22 is driven and controlled, and based on the detection result of the origin sensor 33 or the origin Based on the detection result of the sensor 33 and the detection result of the encoder 26, the motor 23 is driven and controlled, and the robot 1 is taken as a reference posture. Specifically, in the robot operation step, the motors 21 to 23 are driven and controlled to operate the robot 1 to a virtual operation start position.

그 후(즉, 지그 탑재 공정 및 로봇 동작 공정 후에), 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다(핸드 이동 공정). 구체적으로는, 암(9)을 뻗어서, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치(도 4의 실선으로 나타내는 위치)에 핸드 포크(18)를 이동시킨다.After that (that is, after the jig mounting process and the robot operation process), the robot 1 is operated to move the hand fork 18 to the transfer position of the substrate 2 (hand movement process). Specifically, the arm 9 is extended and the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6 (a position indicated by a solid line in FIG. 4 ).

그 후, 카메라(36, 37)에 의해, 검지용 지그(35)의 모서리부(35a, 35b)의 좌표를 특정한다(좌표 특정 공정). 즉, 카메라(36)에 의해 검지용 지그(35)의 모서리부(35a)의 좌표를 특정하고, 카메라(37)에 의해 검지용 지그(35)의 모서리부(35b)의 좌표를 특정한다. 본 형태에서는, 기준 마크(38)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35a)의 좌표가 특정되어 있다. 또한, 기준 마크(39)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35b)의 좌표가 특정되어 있다.Thereafter, the coordinates of the corners 35a and 35b of the detection jig 35 are specified by the cameras 36 and 37 (coordinate specifying step). That is, the camera 36 specifies the coordinates of the edge portion 35a of the detection jig 35, and the camera 37 specifies the coordinates of the edge portion 35b of the detection jig 35. In this embodiment, the coordinates of the corner portions 35a are specified based on the coordinates of the reference mark 38. Further, the coordinates of the corners 35b are specified based on the coordinates of the reference mark 39.

또한, 본 형태에서는, 핸드 포크(18)에 검지용 지그(35)가 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때(도 4의 이점쇄선 참조)의, 검지용 지그(35)의 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표가 미리 특정되어서 기억되어 있다. 교환 전의 로봇(1)에 있어서 모서리부(35a, 35b)의 좌표를 특정할 때도, 기준 마크(38)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35a)의 좌표가 특정되고, 기준 마크(39)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35b)의 좌표가 특정되어 있다.Further, in this embodiment, by operating the robot 1 before replacement, in which the detection jig 35 is mounted on the hand fork 18, the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2 in the chamber 6 The coordinates of the corner 35a and the coordinates of the corner 35b of the detection jig 35 when made (refer to the two-dot chain line in Fig. 4) are specified in advance and stored. When specifying the coordinates of the corners 35a and 35b in the robot 1 before replacement, the coordinates of the corners 35a are specified based on the coordinates of the reference mark 38, and The coordinates of the corner 35b are specified based on the coordinates.

그 후, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표에 기초하여, 모터(21)를 제어하기 위한 인코더(24)의 보정값, 모터(22)를 제어하기 위한 인코더(25)의 보정값 및 모터(23)를 제어하기 위한 인코더(26)의 보정값을 산출한다(보정값 산출 공정).After that, based on the coordinates of the corner 35a and the coordinates of the corner 35b specified in the coordinate specifying process, the correction value of the encoder 24 for controlling the motor 21 and the motor 22 are controlled. A correction value of the encoder 25 for controlling the motor 23 and a correction value of the encoder 26 for controlling the motor 23 are calculated (correction value calculation process).

구체적으로는, 보정값 산출 공정에서는, 먼저, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표에 기초하여 특정되는 모서리부(35a)와 모서리부(35b)를 연결하는 선분의 중점의 좌표와, 교환 전의 로봇(1)에 있어서 미리 특정되어서 기억된 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표에 기초하여 특정되는 모서리부(35a)와 모서리부(35b)를 연결하는 선분의 중점의 좌표의 어긋남에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 수평 방향(XY 방향)의 어긋남을 구한다.Specifically, in the correction value calculation step, first, the corner portion 35a and the corner portion 35b specified based on the coordinates of the corner portion 35a and the coordinates of the corner portion 35b specified in the coordinate specifying step are determined. The coordinates of the midpoint of the line segment to be connected, the coordinates of the corner 35a and the coordinates of the corner 35a and the coordinates of the corner 35b, which are previously specified and stored in the robot 1 before the exchange, are specified. Based on the shift in coordinates of the midpoint of the line segment connecting 35b, the shift in the horizontal direction (XY direction) of the coordinate system of the robot 1 before exchange and the coordinate system of the robot 1 after exchange is calculated.

또한, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표에 기초하여 특정되는 모서리부(35a)와 모서리부(35b)를 연결하는 직선과, 교환 전의 로봇(1)에 있어서 미리 특정되어서 기억된 모서리부(35a)의 좌표와 모서리부(35b)의 좌표에 기초하여 특정되는 모서리부(35a)와 모서리부(35b)를 연결하는 직선이 이루는 각도에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의, 연직 방향을 회동의 축방향으로 하는 회동 방향(θ 방향)의 어긋남을 구한다.In addition, a straight line connecting the corner portion 35a and the corner portion 35b specified based on the coordinates of the corner portion 35a and the coordinates of the corner portion 35b specified in the coordinate specifying process, and the robot 1 before the exchange ), based on the angle formed by the straight line connecting the corner 35a and the corner 35b specified based on the coordinates of the corner 35a and the coordinates of the corner 35b, which are specified and stored in advance, The deviation of the coordinate system of the robot 1 before the exchange and the coordinate system of the robot 1 after the exchange in the rotation direction (theta direction) with the vertical direction as the axial direction of the rotation is calculated.

또한, 보정값 산출 공정에서는, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 XY 방향 및 θ 방향의 어긋남(XYθ 방향의 어긋남)에 기초하는 소정의 연산을 행하여, 인코더(24 내지 26)의 보정값을 산출한다. 그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값을 반영시켜서 모터(21 내지 23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 정규의 동작 개시 위치로 복귀시킨다.In addition, in the correction value calculation process, a predetermined calculation is performed based on a shift in the XY direction and the θ direction of the coordinate system of the robot 1 before exchange and the coordinate system of the robot 1 after exchange (displacement in the XYθ direction), and the encoder ( The correction values of 24 to 26) are calculated. Then, by reflecting the correction value calculated in the correction value calculation process, the motors 21 to 23 are driven and controlled to return the robot 1 to the normal operation start position.

또한, 본 형태에서는, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 일치되어 있지만, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 어긋나 있어도 된다. 또한, 본 형태에서는, 로봇(1)이 동작 개시 위치까지 동작하여 소정의 기준 자세로 되어 있을 때는, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17)는, 원점 위치에 있다. 또한, 본 형태에서는, 카메라(36, 37) 및 기준 마크(38, 39)는, 챔버(6)의 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18, 19)에 탑재되는 기판(2)의 위치 확인에도 사용되고 있다.In this embodiment, although the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 are identical, the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 may be shifted. Further, in this embodiment, when the robot 1 is operated to the starting position and is in a predetermined reference posture, the first arm 15, the second arm 16, and the hand base 17 are at the origin position. Is in. In addition, in this embodiment, the cameras 36 and 37 and the reference marks 38 and 39 are also used to confirm the position of the substrate 2 mounted on the hand forks 18 and 19 disposed at the delivery position of the chamber 6. Is being used.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 핸드 이동 공정 후의 좌표 특정 공정에 있어서, 카메라(36, 37)에 의해, 검지용 지그(35)의 모서리부(35a, 35b)의 좌표를 특정하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a, 35b)의 좌표와, 교환 전의 로봇(1)에 있어서 미리 특정되어서 기억된 모서리부(35a, 35b)의 좌표에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 XYθ 방향의 어긋남을 구함과 함께, 구한 XYθ 방향의 어긋남에 기초하는 소정의 연산을 행하여, 인코더(24 내지 26)의 보정값을 산출하고 있다.As described above, in this embodiment, in the coordinate specifying process after the hand movement process, the coordinates of the corners 35a and 35b of the detection jig 35 are specified by the cameras 36 and 37. Further, in this embodiment, in the correction value calculation step, the coordinates of the corner portions 35a, 35b specified in the coordinate specifying step, and the corner portions 35a, 35b previously specified and stored in the robot 1 before exchange Based on the coordinates of the robot 1 before the exchange and the coordinate system of the robot 1 after the exchange, the deviation in the XYθ direction is obtained, and a predetermined calculation is performed based on the calculated deviation in the XYθ direction, and the encoder 24 The correction values of to 26) are calculated.

그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 교환되거나, 로봇(1)의 모터(21 내지 23)가 교환되거나 해도, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정함으로써, 로봇(1)이 교환되거나, 모터(21 내지 23)가 교환되거나 해도, 로봇(1)의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 할 수 있다.Therefore, in this embodiment, even if the robot 1 is replaced or the motors 21 to 23 of the robot 1 are replaced, the robot 1 before replacement is based on the correction value calculated in the correction value calculation process. It becomes possible to correct the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange of the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of. Further, in this embodiment, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange, the robot 1 is replaced or the motor 21 Even if to 23) are replaced, it is possible to eliminate the need for re-teaching work of the robot 1.

본 형태에서는, 카메라(36)와 카메라(37)가, 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18)의 긴 변 방향 및 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 어긋난 상태로 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 카메라(36)와 카메라(37)가 핸드 포크(18)의 긴 변 방향으로만 어긋나 있는 경우나, 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로만 어긋나 있는 경우와 비교하여, 좌표 특정 공정에서 특정된 모서리부(35a, 35b)의 좌표에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 X 방향, Y 방향 및 θ 방향의 모든 어긋남을 고정밀도로 구하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서 보정값을 고정밀도로 산출하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the camera 36 and the camera 37 are arranged in a state shifted in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork 18 disposed at the delivery position and the long side direction of the hand fork 18 . Therefore, in this embodiment, the camera 36 and the camera 37 are shifted only in the direction of the long side of the hand fork 18, or in a direction orthogonal to the direction of the long side of the hand fork 18. Compared to the case, based on the coordinates of the corners 35a and 35b specified in the coordinate specifying process, the X-direction, Y-direction, and θ-direction of the coordinate system of the robot 1 before exchange and the coordinate system of the robot 1 after exchange It becomes possible to find all the deviations of with high precision. Therefore, in this embodiment, it becomes possible to calculate the correction value with high precision in the correction value calculation process.

본 형태에서는, 챔버(6)의 내부에 기준 마크(38, 39)가 마련되어 있고, 기준 마크(38)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35a)의 좌표가 특정되고, 기준 마크(39)의 좌표를 기준으로 하여 모서리부(35b)의 좌표가 특정되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 카메라(36, 37)가 교환되었을 때나, 어떠한 원인으로 카메라(36, 37)의 위치가 어긋났을 때, 카메라(36, 37)의 위치 조정을 행하지 않아도, 기준 마크(38)를 기준으로 하여 모서리부(35a)의 좌표를 고정밀도로 특정하는 것이 가능해짐과 함께, 기준 마크(39)를 기준으로 하여 모서리부(35b)의 좌표를 고정밀도로 특정하는 것이 가능해진다.In this form, reference marks 38 and 39 are provided inside the chamber 6, and the coordinates of the corner 35a are specified based on the coordinates of the reference mark 38, and The coordinates of the corner 35b are specified based on the coordinates. Therefore, in this embodiment, for example, when the cameras 36 and 37 are replaced, or when the position of the cameras 36 and 37 is shifted for some reason, even if the position of the cameras 36 and 37 is not adjusted, It is possible to specify the coordinates of the corner 35a with high precision based on the reference mark 38, and it is possible to specify the coordinates of the corner 35b with high precision based on the reference mark 39 It becomes.

본 형태에서는, 카메라(36, 37) 및 기준 마크(38, 39)는, 챔버(6)의 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18, 19)에 탑재되는 기판(2)의 위치 확인에도 사용되고 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 챔버(6)의 전달 위치에 배치된 핸드 포크(18, 19)에 탑재되는 기판(2)의 위치 확인을 행하기 위한 카메라나 기준 마크를 챔버(6)에 별도 설치할 필요가 없다. 따라서, 본 형태에서는, 챔버(6)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the cameras 36 and 37 and the reference marks 38 and 39 are also used for positioning the substrate 2 mounted on the hand forks 18 and 19 disposed at the delivery position of the chamber 6. . Therefore, in this embodiment, a camera or a reference mark for positioning the substrate 2 mounted on the hand forks 18 and 19 disposed at the delivery position of the chamber 6 is separately installed in the chamber 6. no need. Therefore, in this embodiment, it becomes possible to simplify the configuration of the chamber 6.

본 형태에서는, 카메라(36, 37)는, 공급용 챔버인 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다. 프로세스 챔버인 챔버(5)의 내부에는, 비교적 많은 기기가 설치되는 데 비해, 공급용 챔버인 챔버(6)의 내부에 설치되는 기기는 많지 않다. 그 때문에, 본 형태에서는, 챔버(5)의 내부에 카메라(36, 37)가 설치되어 있는 경우와 비교하여, 카메라(36, 37)를 설치하기 쉬워진다.In this embodiment, the cameras 36 and 37 are provided inside the chamber 6 which is a supply chamber. While relatively many devices are installed inside the chamber 5 which is a process chamber, few devices are installed inside the chamber 6 which is a supply chamber. Therefore, in this embodiment, compared with the case where the cameras 36 and 37 are provided inside the chamber 5, it becomes easier to install the cameras 36 and 37.

또한, 본 형태에서는, 카메라(36, 37)가 챔버(6)의 내부에 설치되어 있고, 챔버(6)에 있어서 특정된 모서리부(35a, 35b)의 좌표에 기초하여 보정값이 산출됨과 함께, 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남이 보정되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 교환되거나, 모터(21 내지 23)가 교환되거나 해도, 제조 시스템(3)에 공급되는 기판(2)을 챔버(6)에 있어서 핸드 포크(18, 19)에 고정밀도로 탑재하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)이 교환되거나, 모터(21 내지 23)가 교환되거나 한 후에도, 챔버(5)에 대하여 기판(2)을 고정밀도로 반송하는 것이 가능해진다.In addition, in this form, the cameras 36 and 37 are installed inside the chamber 6, and the correction values are calculated based on the coordinates of the corner portions 35a and 35b specified in the chamber 6 , On the basis of the calculated correction value, the shift of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange is corrected. Therefore, in this embodiment, even if the robot 1 is replaced or the motors 21 to 23 are replaced, the substrate 2 supplied to the manufacturing system 3 is transferred to the hand fork 18 in the chamber 6. 19) can be mounted with high precision. Therefore, in this embodiment, even after the robot 1 is replaced or the motors 21 to 23 are replaced, it becomes possible to convey the substrate 2 to the chamber 5 with high precision.

(보정값 산출 방법의 변형예)(Variation example of the correction value calculation method)

도 5는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 로봇(1)의 보정값 산출 방법을 설명하기 위한 도면이다.5 is a diagram for explaining a method of calculating a correction value of the robot 1 according to another embodiment of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 카메라(36, 37)를 대신하여, 챔버(6)의 내부에 3개의 센서(41 내지 43)가 배치되어 있어도 된다. 센서(41 내지 43)는, 예를 들어 근접 센서 또는 광학식 센서이다. 센서(41 내지 43)는, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향 및 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향 중 적어도 어느 한쪽으로 서로 어긋난 상태로 배치되어 있다. 예를 들어, 센서(41 내지 43)는, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향 및 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 서로 어긋난 상태로 배치되어 있다. 또한, 이 경우에는, 기준 마크(38, 39)는 불필요해진다.In the above-described form, in place of the cameras 36 and 37, three sensors 41 to 43 may be disposed inside the chamber 6. The sensors 41 to 43 are, for example, a proximity sensor or an optical sensor. The sensors 41 to 43 are in the direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18 and 19 disposed at the transfer position of the substrate 2 in the chamber 6 and the long side direction of the hand forks 18 and 19 They are arranged in a state of being shifted from each other in at least one of them. For example, the sensors 41 to 43 are in the direction of the long side of the hand forks 18 and 19 and the direction of the long side of the hand forks 18 and 19 disposed at the transfer position of the substrate 2 in the chamber 6 They are arranged in a state that is shifted from each other in a direction orthogonal to. Further, in this case, the reference marks 38 and 39 become unnecessary.

센서(41)는, 직사각형의 평판형으로 형성되는 검지용 지그(35)의 짧은 변 방향의 한쪽의 에지(단부면)를 검지 가능한 위치에 배치되고, 센서(42)는, 검지용 지그(35)의 짧은 변 방향의 다른 쪽 에지(단부면)를 검지 가능한 위치에 배치되어 있다. 또한, 센서(41)는, 검지용 지그(35)의 긴 변 방향의 일단부측(핸드 포크(18, 19)의 기단부측)에 배치되고, 센서(42)는, 검지용 지그(35)의 긴 변 방향의 타단부측(핸드 포크(18, 19)의 선단부측)에 배치되어 있다. 센서(43)는, 검지용 지그(35)의 긴 변 방향의 에지(단부면)이고, 핸드 포크(18, 19)의 선단부측에 배치되는 검지용 지그(35)의 에지를 검지 가능한 위치에 배치되어 있다.The sensor 41 is disposed at a position capable of detecting one edge (end surface) in the short side direction of the detection jig 35 formed in a rectangular flat plate shape, and the sensor 42 is a detection jig 35 The other edge (end face) in the direction of the short side of) is placed in a detectable position. In addition, the sensor 41 is disposed on the one end side (the base end side of the hand forks 18 and 19) in the long side direction of the detection jig 35, and the sensor 42 is It is arranged on the other end side in the longitudinal direction (the front end side of the hand forks 18, 19). The sensor 43 is an edge (end face) of the detection jig 35 in the direction of the long side, and the edge of the detection jig 35 disposed on the tip side of the hand forks 18 and 19 is at a position capable of detecting It is placed.

이 변형예에서는, 핸드 이동 공정 후의 좌표 특정 공정에 있어서, 3개의 센서(41 내지 43)의 각각에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지될 때까지 로봇(1)을 동작시킴과 함께, 3개의 센서(41 내지 43)의 각각에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지되었을 때의 로봇(1)의 좌표를 특정한다.In this modification, in the coordinate specifying step after the hand movement step, the robot 1 is operated until the edge of the detection jig 35 is detected by each of the three sensors 41 to 43, The coordinates of the robot 1 when the edge of the detection jig 35 is detected by each of the three sensors 41 to 43 is specified.

예를 들어, 핸드 이동 공정에 있어서, 도 5의 (A)에 나타내는 위치로 핸드 포크(18)가 이동하면, 좌표 특정 공정에 있어서, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 센서(41)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지될 때까지 로봇(1)을 동작시킴과 함께, 센서(41)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지되었을 때의 로봇(1)의 좌표를 특정한다. 또한, 좌표 특정 공정에 있어서, 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 센서(42)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지될 때까지 로봇(1)을 동작시킴과 함께, 센서(42)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지되었을 때의 로봇(1)의 좌표를 특정하고, 도 5의 (D)에 나타내는 바와 같이, 센서(43)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지될 때까지 로봇(1)을 동작시킴과 함께, 센서(43)에 의해 검지용 지그(35)의 에지가 검지되었을 때의 로봇(1)의 좌표를 특정한다.For example, in the hand movement process, when the hand fork 18 moves to the position shown in Fig. 5A, in the coordinate specifying process, as shown in Fig. 5B, the sensor 41 The coordinates of the robot 1 when the edge of the detection jig 35 is detected by the sensor 41 while operating the robot 1 until the edge of the detection jig 35 is detected by Is specified. In addition, in the coordinate specifying step, as shown in Fig. 5C, while operating the robot 1 until the edge of the detection jig 35 is detected by the sensor 42, the sensor ( The coordinates of the robot 1 when the edge of the detection jig 35 is detected by 42) is specified, and the detection jig 35 by the sensor 43, as shown in Fig. 5D. The robot 1 is operated until the edge of is detected, and the coordinate of the robot 1 when the edge of the detection jig 35 is detected by the sensor 43 is specified.

또한, 그 후의 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 로봇(1)의 좌표에 기초하여, 인코더(24 내지 25)의 보정값을 산출한다. 이 변형예에서는, 교환 전의 로봇(1)의 핸드 포크(18)에 탑재된 검지용 지그(35)의 에지가 3개의 센서(41 내지 43)의 각각에 의해 검지될 때의 로봇(1)의 좌표가 미리 특정되어서 기억되어 있다. 보정값 산출 공정에서는, 좌표 특정 공정에서 특정된 로봇(1)의 좌표와, 교환 전의 로봇(1)에 있어서 미리 특정되어서 기억된 로봇(1)의 좌표에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 XYθ 방향의 어긋남을 구한다. 또한, 보정값 산출 공정에서는, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 XYθ 방향의 어긋남에 기초하는 소정의 연산을 행하여, 인코더(24 내지 26)의 보정값을 산출한다.Further, in the subsequent correction value calculation step, the correction values of the encoders 24 to 25 are calculated based on the coordinates of the robot 1 specified in the coordinate specifying step. In this modified example, the robot 1 when the edge of the detection jig 35 mounted on the hand fork 18 of the robot 1 before replacement is detected by each of the three sensors 41 to 43 The coordinates are specified in advance and stored. In the correction value calculation process, based on the coordinates of the robot 1 specified in the coordinate specifying process and the coordinates of the robot 1 previously specified and stored in the robot 1 before exchange, The shift in the XYθ direction of the coordinate system of the robot 1 after exchange with the coordinate system is determined. In addition, in the correction value calculation process, a predetermined calculation is performed based on the shift in the XYθ direction of the coordinate system of the robot 1 before exchange and the coordinate system of the robot 1 after exchange to calculate the correction values of the encoders 24 to 26. do.

이 변형예에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 좌표 특정 공정에서 특정된 로봇(1)의 좌표와, 교환 전의 로봇(1)에 있어서 미리 특정되어서 기억된 로봇(1)의 좌표에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 좌표계와 교환 후의 로봇(1)의 좌표계의 XYθ 방향의 어긋남을 구함과 함께, 구한 XYθ 방향의 어긋남에 기초하는 소정의 연산을 행하여, 인코더(24 내지 26)의 보정값을 산출하고 있다.In this modification, in the correction value calculation step, the exchange is based on the coordinates of the robot 1 specified in the coordinate specifying step and the coordinates of the robot 1 previously specified and stored in the robot 1 before the exchange. The shift in the XYθ direction of the coordinate system of the robot 1 after exchange with the coordinate system of the previous robot 1 is obtained, and a predetermined calculation based on the deviation in the obtained XYθ direction is performed, and the correction values of the encoders 24 to 26 are calculated. Are calculating.

그 때문에, 이 변형예에서도, 상술한 형태와 마찬가지로, 로봇(1)이 교환되거나, 로봇(1)의 모터(21 내지 23)가 교환되거나 해도, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값에 기초하여, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하는 것이 가능해진다. 또한, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정함으로써, 로봇(1)이 교환되거나, 모터(21 내지 23)가 교환되거나 해도, 로봇(1)의 재교시 작업을 필요로 하지 않게 할 수 있다. 또한, 이 변형예에서는, 카메라(36, 37)에 비하여 저렴한 센서(41 내지 43)를 사용하고 있기 때문에, 저비용으로 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Therefore, in this modified example, as in the above-described form, even if the robot 1 is replaced or the motors 21 to 23 of the robot 1 are replaced, based on the correction value calculated in the correction value calculation step , It becomes possible to correct the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange. In addition, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange, the robot 1 is replaced or the motors 21 to 23 Even if it is replaced, it is possible to eliminate the need for re-teaching work of the robot 1. Further, in this modified example, since the sensors 41 to 43 which are inexpensive compared to the cameras 36 and 37 are used, it becomes possible to calculate the correction value at low cost.

또한, 센서(41 내지 43)는, 로봇(1)의 보정값의 산출이 끝나고 챔버(6) 내에서 실제로 기판(2)의 전달을 행할 때, 핸드 포크(18, 19) 및 기판(2) 등과, 센서(41 내지 43)가 간섭하지 않도록, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치와 상하 방향에서 어긋난 위치에 배치되어 있다.In addition, when the calculation of the correction value of the robot 1 is finished, the sensors 41 to 43 actually transfer the substrate 2 in the chamber 6, the hand forks 18, 19 and the substrate 2 It is arranged at a position shifted in the vertical direction from the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6 so that the sensors 41 to 43 do not interfere.

(다른 실시 형태)(Other embodiment)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described form is an example of a preferred form of the present invention, it is not limited thereto, and various modifications can be made without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 카메라(36, 37)는, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향으로만 어긋난 상태로 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 검지용 지그(35)의, 모서리부(35a, 35b)를 제외한 2개의 모서리부의 각각을 모서리부(35c, 35d)로 하면, 카메라(36)는, 모서리부(35a)가 카메라(36)의 시야 내에 배치되도록 설치되고, 카메라(37)는, 모서리부(35c)가 카메라(37)의 시야 내에 배치되도록 설치되어 있다. 혹은, 카메라(36)는, 모서리부(35d)가 카메라(36)의 시야 내에 배치되도록 설치되고, 카메라(37)는, 모서리부(35b)가 카메라(37)의 시야 내에 배치되도록 설치되어 있다.In the above-described form, the cameras 36 and 37 may be disposed in a state shifted only in the direction of the long side of the hand forks 18 and 19 disposed at the transfer position of the substrate 2 in the chamber 6. In this case, as shown in FIG. 4, when each of the two corner portions of the detection jig 35 excluding the corner portions 35a and 35b are corner portions 35c and 35d, the camera 36, The edge portion 35a is installed so that it may be placed in the field of view of the camera 36, and the camera 37 is installed so that the edge portion 35c is placed in the field of view of the camera 37. Alternatively, the camera 36 is installed so that the edge portion 35d is placed in the field of view of the camera 36, and the camera 37 is installed so that the edge portion 35b is placed in the field of view of the camera 37 .

또한, 카메라(36, 37)는, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치에 배치되는 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로만 어긋난 상태로 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 카메라(36)는, 모서리부(35a)가 카메라(36)의 시야 내에 배치되도록 설치되고, 카메라(37)는, 모서리부(35d)가 카메라(37)의 시야 내에 배치되도록 설치되어 있다. 혹은, 카메라(36)는, 모서리부(35c)가 카메라(36)의 시야 내에 배치되도록 설치되고, 카메라(37)는, 모서리부(35b)가 카메라(37)의 시야 내에 배치되도록 설치되어 있다.Further, the cameras 36 and 37 may be disposed in a state shifted only in a direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18 and 19 disposed at the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6. In this case, the camera 36 is installed so that the edge portion 35a is placed in the field of view of the camera 36, and the camera 37 is installed so that the edge portion 35d is placed in the field of view of the camera 37 Has been. Alternatively, the camera 36 is installed so that the edge portion 35c is placed in the field of view of the camera 36, and the camera 37 is installed so that the edge portion 35b is placed in the field of view of the camera 37 .

상술한 형태에 있어서, 카메라(36, 37)는, 챔버(7)의 내부에 설치되어 있어도 된다. 이 경우라도, 배출용 챔버인 챔버(7)의 내부에 설치되는 기기는 많지 않기 때문에, 챔버(5)의 내부에 카메라(36, 37)가 설치되어 있는 경우와 비교하여, 카메라(36, 37)를 설치하기 쉬워진다.In the above-described form, the cameras 36 and 37 may be provided inside the chamber 7. Even in this case, since there are not many devices installed inside the chamber 7 which is the discharge chamber, compared to the case where the cameras 36 and 37 are installed inside the chamber 5, the cameras 36 and 37 ) It becomes easy to install.

또한, 상술한 형태에 있어서, 카메라(36, 37)는, 챔버(5)의 내부에 배치되어 있어도 된다. 단, 이 경우에는, 카메라(36, 37)가 배치되기 어려워진다. 또한, 챔버(5) 내에서 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행할 때의 온도 환경 등의 안정성을 고려하여, 일반적으로, 챔버(5) 내의 기판(2)의 전달 위치는, 챔버(6, 7) 내의 기판(2)의 전달 위치보다도 안쪽이 된다. 그 때문에, 챔버(6, 7) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18, 19)가 이동했을 때보다도, 챔버(5) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18, 19)가 이동했을 때 쪽이, 암(9)이 뻗은 상태로 된다. 따라서, 카메라(36, 37)는, 챔버(5)의 내부에 배치되어 있는 경우에는, 보정값 산출 공정에 있어서, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향의 어긋남을 고정밀도로 구하기 어려워진다.In addition, in the above-described form, the cameras 36 and 37 may be disposed inside the chamber 5. However, in this case, it becomes difficult to arrange the cameras 36 and 37. In addition, in consideration of the stability of the temperature environment and the like when a predetermined treatment is performed on the substrate 2 in the chamber 5, in general, the delivery position of the substrate 2 in the chamber 5 is the chamber 6 , 7) It becomes inward than the transfer position of the board|substrate 2 inside. Therefore, the hand forks 18 and 19 are moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 5 than when the hand forks 18 and 19 are moved to the delivery position of the substrate 2 in the chambers 6 and 7. When) moves, the arm 9 is in an extended state. Therefore, when the cameras 36 and 37 are arranged inside the chamber 5, it becomes difficult to accurately obtain the shift in the long side direction of the hand forks 18 and 19 in the correction value calculation step.

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 원점 센서(31 내지 33)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 소정의 지그를 사용하여, 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 핸드 기초부(17)를 원점 위치로 맞추면 된다. 또한, 이 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 인코더(24 내지 26)의 검지 결과에 기초하여 모터(21 내지 23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 기준 자세로 한다.In the above-described form, the robot 1 does not have to be provided with the origin sensors 31 to 33. In this case, using a predetermined jig, the first arm 15, the second arm 16, and the hand base 17 may be aligned to the origin position. Further, in this case, in the robot operation step, the motors 21 to 23 are driven and controlled based on the detection results of the encoders 24 to 26 to make the robot 1 a reference posture.

상술한 형태에 있어서, 기준 마크(38, 39)는, 관통 구멍이 아니어도 된다. 예를 들어, 기준 마크(38, 39)는, 기준 마크 형성 부재에 형성된 돌기여도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 챔버(6)의 내부에, 기준 마크(38, 39)가 마련되어 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 카메라(36, 37)의 내부에서 기억되어 있는 원점 위치를 기준으로 하여 모서리부(35a, 35b)의 좌표가 특정된다.In the above-described form, the reference marks 38 and 39 may not be through holes. For example, the reference marks 38 and 39 may be projections formed on the reference mark forming member. In addition, in the above-described form, the reference marks 38 and 39 do not need to be provided inside the chamber 6. In this case, for example, the coordinates of the corner portions 35a and 35b are specified based on the origin position stored inside the cameras 36 and 37.

상술한 형태에 있어서, 검지용 지그(35)는, 직사각형 이외의 평판형으로 형성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 핸드(8)는, 핸드 포크(19)를 구비하고 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 즉, 로봇(1)은, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3) 이외의 제조 시스템에 내장되어도 되고, 제조 시스템 이외의 소정의 처리 시스템에 내장되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기압으로 되어 있는 공간 내에 배치되어 있어도 된다.In the above-described form, the detection jig 35 may be formed in a flat plate shape other than a rectangle. In addition, in the above-described form, the hand 8 does not have to be provided with the hand fork 19. In addition, in the above-described form, the object to be transported by the robot 1 is the substrate for organic EL display 2, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display, or a semiconductor wafer. Etc. may be used. That is, the robot 1 may be incorporated in a manufacturing system other than the manufacturing system 3 of an organic EL display, or may be incorporated in a predetermined processing system other than the manufacturing system. In addition, in the form described above, the robot 1 may be disposed in a space at atmospheric pressure.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(반송 대상물)
3: 제조 시스템(처리 시스템)
5: 챔버(처리부)
6: 챔버(공급부)
7: 챔버(배출부)
8: 핸드
9: 암
10: 본체부
15: 제1 암부
16: 제2 암부
17: 핸드 기초부
18: 핸드 포크
21: 모터(제1 모터)
22: 모터(제2 모터)
23: 모터(제3 모터)
24: 인코더(제1 인코더)
25: 인코더(제2 인코더)
26: 인코더(제3 인코더)
31: 원점 센서(제1 원점 센서)
32: 원점 센서(제2 원점 센서)
33: 원점 센서(제3 원점 센서)
35: 검지용 지그
35a: 모서리부(제1 모서리부)
35b: 모서리부(제2 모서리부)
36: 카메라(제1 카메라)
37: 카메라(제2 카메라)
38: 기준 마크(제1 기준 마크)
39: 기준 마크(제2 기준 마크)
41 내지 43: 센서1: Robot (industrial robot)
2: Substrate (object to be transported)
3: Manufacturing system (processing system)
5: Chamber (processing unit)
6: Chamber (supply)
7: Chamber (discharge part)
8: hand
9: cancer
10: main body
15: first arm
16: second arm part
17: hand base
18: hand fork
21: motor (first motor)
22: motor (second motor)
23: motor (third motor)
24: encoder (first encoder)
25: encoder (second encoder)
26: encoder (third encoder)
31: origin sensor (first origin sensor)
32: origin sensor (second origin sensor)
33: origin sensor (third origin sensor)
35: indexing jig
35a: corner portion (first corner portion)
35b: corner portion (second corner portion)
36: camera (first camera)
37: camera (second camera)
38: reference mark (first reference mark)
39: reference mark (second reference mark)
41 to 43: sensor

Claims

It is a method of calculating a correction value for an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of an industrial robot.
The industrial robot includes an arm having a body part, a first arm part rotatably connected to the base end side to the main body part, and a second arm part rotatably connected to the proximal end side of the first arm part, and the A hand having a hand base part rotatably connected to the distal end side of the second arm part and a hand fork on which an object to be conveyed is mounted while extending in a horizontal direction from the hand base part, and the first arm part with respect to the body part A first motor for rotating the motor, a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, and the first motor A first encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, a second encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, and a third encoder for detecting the amount of rotation of the third motor,
The method of calculating the correction value of the industrial robot,
A jig mounting process of mounting a detection jig on the hand fork,
A robot operation process of operating the industrial robot to obtain a predetermined reference posture,
After the jig mounting process and the robot operation process, a hand movement process of moving the hand fork to a delivery position of the transport object by operating the industrial robot,
After the hand movement process, by a first camera and a second camera disposed in a state that is shifted in at least one of a long side direction of the hand fork disposed at the transfer position and a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork , To specify the coordinates of a first corner part formed on the detection jig and disposed within the field of view of the first camera, and the coordinates of a second corner part formed on the detection jig and disposed within the field of view of the second camera Coordinate specific process,
Based on the coordinates of the first corner and the coordinates of the second corner specified in the coordinate specifying process, a correction value of the first encoder for controlling the first motor, the second for controlling the second motor 2 A method of calculating a correction value for an industrial robot, comprising: a correction value calculation step of calculating a correction value of an encoder and a correction value of the third encoder for controlling the third motor.

The method of claim 1,
The first camera and the second camera are arranged to be shifted in a direction orthogonal to a long side direction of the hand fork and a long side direction of the hand fork disposed at the transfer position. How to calculate the correction value.

The method according to claim 1 or 2,
Industrial characterized in that a first reference mark disposed within the field of view of the first camera and photographed by the first camera, and a second reference mark disposed within the field of view of the second camera and photographed by the second camera are provided How to calculate the robot's correction value.

The method of claim 3,
The first camera, the second camera, the first reference mark, and the second reference mark are used to check the position of the transport object mounted on the hand fork disposed at the delivery position. How to calculate the correction value of.

The method according to claim 1 or 2,
The industrial robot is used by being embedded in a processing system having a plurality of processing units for performing predetermined processing on the conveying object, and a supply unit of the conveying object constituting a part of the processing system and a part of the processing system And conveying the conveying object between the discharging portion of the conveying object and the plurality of processing portions constituting a,
The first camera and the second camera, the method of calculating a correction value of the industrial robot, characterized in that installed inside the supply unit or the discharge unit.

The method of claim 5,
The first camera and the second camera, wherein the correction value calculation method of the industrial robot, characterized in that installed inside the supply unit.

It is a method of calculating a correction value for an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of an industrial robot.
The industrial robot includes an arm having a body part, a first arm part rotatably connected to the base end side to the main body part, and a second arm part rotatably connected to the proximal end side of the first arm part, and the A hand having a hand base part rotatably connected to the distal end side of the second arm part and a hand fork on which an object to be conveyed is mounted while extending in a horizontal direction from the hand base part, and the first arm part with respect to the body part A first motor for rotating the motor, a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, and the first motor A first encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, a second encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, and a third encoder for detecting the amount of rotation of the third motor,
The method of calculating the correction value of the industrial robot,
A jig mounting process of mounting a detection jig on the hand fork,
A robot operation process of operating the industrial robot to obtain a predetermined reference posture,
After the jig mounting process and the robot operation process, a hand movement process of moving the hand fork to a delivery position of the transport object by operating the industrial robot,
After the hand movement process, each of the three sensors disposed in a state that is shifted from each other in at least one of a direction perpendicular to the long side direction of the hand fork and a direction perpendicular to the long side direction of the hand fork disposed at the transfer position A coordinate specifying process for specifying the coordinates of the industrial robot when the edge of the detection jig is detected by each of the three sensors while operating the industrial robot until the edge of the detection jig is detected. ,
Based on the coordinates of the industrial robot specified in the coordinate specifying process, a correction value of the first encoder for controlling the first motor, a correction value of the second encoder for controlling the second motor, and the second 3 A method of calculating a correction value for an industrial robot, comprising: a correction value calculating step of calculating a correction value of the third encoder for controlling a motor.

The method according to claim 1 or 7,
The industrial robot includes a first origin sensor for detecting an origin position of the first arm portion in a rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion, and a rotation direction of the second arm portion with respect to the first arm portion A second origin sensor for detecting the origin position of the second arm portion in, and a third origin sensor for detecting the origin position of the hand base portion in the rotation direction of the hand base portion with respect to the second arm portion. Equipped,
In the robot operation process, the first motor is driven and controlled based on the detection result of the first origin sensor or the detection result of the first origin sensor and the detection result of the first encoder, and the second origin Based on the detection result of the sensor or based on the detection result of the second origin sensor and the detection result of the second encoder, while controlling the driving of the second motor, based on the detection result of the third origin sensor or The method of calculating a correction value for an industrial robot, comprising driving and controlling the third motor based on a detection result of the third origin sensor and a detection result of the third encoder to set the industrial robot to the reference posture.