KR102192561B1 - Method of calculating correcting value of industrial robot - Google Patents

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KR102192561B1
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도모키 다나베
가즈키 이토
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공한다.
[해결 수단] 이 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 제2 암부(16)의 기준 위치를 위치 결정 지그(36)를 사용하여 특정하고, 핸드 기부(17)의 기준 위치를 위치 결정 지그(37)를 사용하여 특정하고, 위치 결정 지그(38)에 의해 핸드 포크(18)를 기준 위치에 위치 결정한 후에, 특정된 기준 위치를 기준으로 하여 모터를 구동 제어하고, 산업용 로봇(1)을 잠정 기준 자세로 하고 나서, 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키고 있다. 또한, 그 후, 핸드 포크(18)에 탑재되는 검지용 패널의 에지와 소정의 제5 기준 위치의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하고 있다.[Task] A method of calculating a correction value for an industrial robot that can relatively easily calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange. to provide.
[Solution means] In this method of calculating the correction value of the industrial robot, the reference position of the second arm 16 is specified using the positioning jig 36, and the reference position of the hand base 17 is determined by the positioning jig 37 ), and after positioning the hand fork 18 at the reference position by the positioning jig 38, the motor is driven and controlled based on the specified reference position, and the industrial robot 1 is tentatively referenced. After setting the posture, the hand fork 18 is moved to the delivery position of the object to be conveyed. Further, after that, based on the edge of the detection panel mounted on the hand fork 18 and the amount of displacement in the rotational direction of the first arm 15 relative to the body 10 at a predetermined fifth reference position. Thus, the correction value is calculated.

Figure R1020190014911
Figure R1020190014911

Description

산업용 로봇의 보정값 산출 방법{METHOD OF CALCULATING CORRECTING VALUE OF INDUSTRIAL ROBOT}How to calculate the correction value of industrial robot {METHOD OF CALCULATING CORRECTING VALUE OF INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for calculating a correction value for an industrial robot for calculating a correction value for correcting the motion of the industrial robot.

종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유기 EL(유기 일렉트로루미네선스) 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이고, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 is a horizontal articulated robot built in and used in an organic EL (organic electroluminescence) display manufacturing system, and a hand on which a glass substrate is mounted, and a hand rotatably connected to the distal end side And a body portion to which the arm to be formed and a base end side of the arm are rotatably connected.

암은, 기단부측이 본체부에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와, 핸드 기부에 고정됨과 함께 유리 기판이 탑재되는 핸드 포크를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기부를 회동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.The arm includes a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the body portion, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the front end side of the first arm portion. The hand includes a hand base rotatably connected to the distal end side of the second arm, and a hand fork to which a glass substrate is mounted while being fixed to the hand base. In addition, the industrial robot described in Patent Document 1 has a motor for rotating the first arm portion with respect to the main body portion, a motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion, and rotating the hand base with respect to the second arm portion. It is equipped with a motor for.

일본 특허 공개 제2015-139854호 공보Japanese Patent Publication No. 2015-139854

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이 등의 제조 시스템에 설치되면, 산업용 로봇의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 행해지고 있다. 또한, 예를 들어 제조 시스템에 설치되는 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하면, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여, 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계가 어긋난다. 그 때문에, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하는 경우에도, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 다시 행해지고 있다.When the industrial robot described in Patent Document 1 is installed in a manufacturing system such as an organic EL display, in order to create an operation program for the industrial robot, generally, the teaching work of the industrial robot is performed. In addition, for example, when the industrial robot installed in the manufacturing system is exchanged or the motor of the industrial robot is exchanged, the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange is changed to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange. It deviates. Therefore, even when the industrial robot is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, the teaching work of the industrial robot is generally performed again.

한편, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 그 때문에, 본원 발명자는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하여, 어긋남을 보정하는 것을 검토하고 있다. 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출할 때는, 보정값을 용이하게 산출할 수 있는 것이 바람직하다.On the other hand, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange, there is no need to perform the complicated teaching work again. Therefore, the inventor of the present application is considering calculating a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange, and correcting the deviation. . When calculating the correction value for correcting the deviation, it is preferable that the correction value can be easily calculated.

그래서, 본 발명의 과제는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공하는 데 있다.Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of relatively easily calculating a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange. It is to provide a method of calculating the correction value.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이며, 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와 핸드 기부로부터 수평 방향의 일방향으로 연장됨과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더와, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 제1 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제1 원점 센서와, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제2 원점 센서와, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 원점 위치를 검지하기 위한 제3 원점 센서를 구비하고, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 핸드 기부에 대한 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 제1 암부의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 하면, 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 제1 기준 위치에서 제2 암부가 정지하도록 제2 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제2 원점 센서의 검지 결과와 제2 인코더의 검지 결과에 기초하여 제2 암부를 정지시켰을 때의 제2 암부의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 제1 기준 위치에 제2 암부를 위치 결정하기 위한 제1 위치 결정 지그에 의해 제2 암부가 위치 결정되는 위치까지 제2 암부를 회동시켰을 때의 제2 인코더의 검지 결과와, 제1 정지 위치에 제2 암부가 정지해 있을 때의 제2 인코더의 값에 기초하여 제1 기준 위치를 특정하는 제1 기준 위치 특정 공정과, 제1 기준 위치 특정 공정 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부가 배치되어 있는 상태에서, 제2 기준 위치에서 핸드 기부가 정지하도록 제3 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제3 원점 센서의 검지 결과와 제3 인코더의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부를 정지시켰을 때의 핸드 기부의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 제2 기준 위치에 핸드 기부를 위치 결정하기 위한 제2 위치 결정 지그에 의해 핸드 기부가 위치 결정되는 위치까지 핸드 기부를 회동시켰을 때의 제3 인코더의 검지 결과와, 제2 정지 위치에 핸드 기부가 정지해 있을 때의 제3 인코더의 값에 기초하여 제2 기준 위치를 특정하는 제2 기준 위치 특정 공정과, 제2 기준 위치 특정 공정 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부가 배치되어 있는 상태에서, 제3 기준 위치에 핸드 포크를 위치 결정하기 위한 제3 위치 결정 지그에 의해 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정과, 핸드 포크 위치 결정 공정 후에, 핸드 포크에 검지용 패널을 탑재하는 패널 탑재 공정과, 핸드 포크 위치 결정 공정 후 또는 패널 탑재 공정 후에, 제4 기준 위치에서 제1 암부가 정지하도록 제1 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제1 원점 센서의 검지 결과와 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 제1 암부를 정지시켰을 때의 제1 암부의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 제1 모터를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 제3 모터를 구동 제어하여, 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과, 로봇 동작 공정 후에, 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과, 핸드 이동 공정 후에, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the correction value calculation method of an industrial robot of the present invention is a correction value calculation method of an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of the industrial robot, and the industrial robot includes: An arm having a first arm that is rotatably connected to the base end side of the main body and a second arm rotatably connected to the base end side of the first arm, and rotatably connected to the tip end of the second arm. A hand having a hand base and a hand fork on which an object to be conveyed is mounted while extending in a horizontal direction from the base of the hand, a first motor for rotating the first arm with respect to the body, and a second arm with respect to the first arm A second motor for rotating the motor, a third motor for rotating the base of the hand with respect to the second arm, a first encoder for detecting the amount of rotation of the first motor, and for detecting the amount of rotation of the second motor A second encoder, a third encoder for detecting the rotation amount of the third motor, a first home sensor for detecting the origin position of the first arm in the rotation direction of the first arm with respect to the main body, 1 A second origin sensor for detecting the origin position of the second arm portion in the rotation direction of the second arm portion with respect to the arm portion, and detecting the origin position of the hand base in the rotation direction of the hand base portion with respect to the second arm portion. A third origin sensor is provided, and a predetermined reference position of the second arm portion in the rotation direction of the second arm portion with respect to the first arm portion is set as the first reference position, and the rotation direction of the hand base with respect to the second arm portion The predetermined reference position of the hand base in the second reference position, the predetermined reference position of the hand fork in a direction orthogonal to the direction of the long side of the hand fork relative to the hand base is the third reference position, and the main body When the predetermined reference position of the first arm portion in the rotation direction of the first arm portion relative to the portion is set as the fourth reference position, the method of calculating the correction value of the industrial robot is performed by the second arm so that the second arm portion stops at the first reference position. Based on the detection result of the origin sensor or the detection result of the second origin sensor and the second encoder Based on the detection result of, from the first stop position, which is the stop position of the second arm part when the second arm part is stopped, the second arm part by a first positioning jig for positioning the second arm part at the first reference position. The first reference position is specified based on the detection result of the second encoder when the second arm is rotated to the position where is positioned, and the value of the second encoder when the second arm is stopped at the first stop position. After the first reference position specifying process and the first reference position specifying process, the base of the hand is stopped at the second reference position while the second arm is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process. So, from the second stop position, which is the stop position of the hand base when the hand base is stopped based on the detection result of the third origin sensor or the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder, the second The detection result of the third encoder when the hand base is rotated to the position where the hand base is positioned by the second positioning jig for positioning the hand base at the reference position, and the hand base stops at the second stop position. A second reference position specifying process for specifying a second reference position based on the value of the third encoder when there is, and after the second reference position specifying process, a second reference position specified in the first reference position specifying process is performed. With the arm portion disposed and the hand base disposed at the second reference position specified in the second reference position specifying process, the hand by a third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position The hand fork positioning step of positioning the fork, the panel mounting step of mounting the detection panel on the hand fork after the hand fork positioning step, and after the hand fork positioning step or after the panel mounting step, at the fourth reference position The first arm is the stop position of the first arm when the first arm is stopped based on the detection result of the first home sensor or the detection result of the first home sensor and the detection result of the first encoder so that the first arm part stops. 3 stop position The first motor is driven and controlled based on the reference, and the second motor is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the second reference specified in the second reference position specifying process. A robot operation process in which a third motor is driven and controlled based on a position to put the industrial robot into a tentative reference posture, and a hand movement process in which the industrial robot is operated to move the hand fork to the delivery position of the conveyed object after the robot operation process And, after the hand movement step, correction for controlling the first motor based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion between the fifth reference position, which is a predetermined reference position, and the edge of the detection panel. It characterized in that it comprises a correction value calculation process of calculating a value.

본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 제1 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 기준 위치인 제1 기준 위치를 제1 위치 결정 지그를 사용하여 특정하고, 제2 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 기준 위치인 제2 기준 위치를 제2 위치 결정 지그를 사용하여 특정하고, 핸드 포크 위치 결정 공정에 있어서, 핸드 기부에 대한 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크의 기준 위치인 제3 기준 위치에 제3 위치 결정 지그에 의해 핸드 포크를 위치 결정하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 그 후의 로봇 동작 공정에 있어서, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 제3 모터를 구동 제어하고, 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하고 나서, 핸드 이동 공정에 있어서, 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키고 있다.In the method of calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, in the first reference position specifying step, the first reference position, which is the reference position of the second arm in the rotation direction of the second arm with respect to the first arm, is set to the first position. In the second reference position specifying step, a second reference position, which is the reference position of the hand base in the rotation direction of the hand base with respect to the second arm, is specified using a second positioning jig. And, in the hand fork positioning process, the hand fork is positioned by a third positioning jig at the third reference position, which is the reference position of the hand fork in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork relative to the hand base. Are doing. Further, in the present invention, in the subsequent robot operation process, the second motor is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the second reference position specified in the second reference position specifying process. After driving and controlling the third motor based on the second reference position and setting the industrial robot to a provisional reference posture, in the hand movement step, the hand fork is moved to the delivery position of the object to be conveyed.

또한, 본 발명에서는, 그 후의 보정값 산출 공정에 있어서, 소정의 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다. 즉, 본 발명에서는, 제2 암부, 핸드 기부 및 핸드 포크를 소정의 기준 위치로 맞춘 상태에서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시킨 후, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다.Further, in the present invention, in the subsequent correction value calculation step, the first motor is based on the amount of shift in the rotational direction of the first arm portion with respect to the body portion of the predetermined fifth reference position and the edge of the detection panel. A correction value for controlling is calculated. That is, in the present invention, after moving the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed while aligning the second arm, the hand base and the hand fork to a predetermined reference position, the body of the fifth reference position and the edge of the detection panel A correction value for controlling the first motor is calculated based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm with respect to the negative.

그 때문에, 본 발명에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크가 반송 대상물의 전달 위치로 이동했을 때, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 패널의 에지가 배치되는 소정의 위치를 제5 기준 위치로 하면, 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, when the hand fork of the industrial robot before replacement is moved to the delivery position of the object to be conveyed, the fifth standard is the predetermined position at which the edge of the detection panel mounted on the hand fork of the industrial robot before replacement is disposed. As a position, by calculating a correction value for controlling the first motor, a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange is calculated. It becomes possible to do.

즉, 본 발명에서는, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.That is, in the present invention, by calculating a correction value based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion of the edge of the detection panel and the fifth reference position, in the teaching work of the industrial robot before replacement It becomes possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange of the coordinates of the teaching position that was taught. Accordingly, in the present invention, it becomes possible to relatively easily calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange.

본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 제5 기준 위치에 배치되는 1개의 센서에서 검지용 패널의 에지가 검지될 때까지 제1 암부를 회동시켰을 때의 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 이 경우에는, 비교적 저렴한 센서를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 센서를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In the present invention, in the correction value calculation step, for example, the detection result of the first encoder when the first arm is rotated until the edge of the detection panel is detected by one sensor disposed at the fifth reference position. Based on this, a correction value is calculated. In this case, it becomes possible to calculate a correction value using a relatively inexpensive sensor. In addition, in the present invention, in the correction value calculation step, the correction value can be calculated based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion of the fifth reference position and the edge of the detection panel. , It becomes possible to calculate a correction value using one sensor.

또한, 본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 1개의 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 카메라를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In the present invention, in the correction value calculation step, for example, using one camera, the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion between the fifth reference position and the edge of the detection panel You can get In the present invention, in the correction value calculation step, since the correction value can be calculated based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion, 1 It becomes possible to calculate the correction value using two cameras.

또한, 본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지가 일치하는 위치에서 검지용 패널을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부를 회동시켰을 때의 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출해도 된다.Further, in the present invention, in the correction value calculation step, for example, in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion, positioning the detection panel at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel coincide. A correction value may be calculated based on the detection result of the first encoder when the first arm is rotated to the position where the detection panel is positioned by the fourth positioning jig for positioning.

본 발명에 있어서, 예를 들어 제2 암부가 제1 기준 위치에 있을 때는, 제1 암부와 제2 암부가 상하 방향에서 겹치고, 핸드 기부가 제2 기준 위치에 있을 때는, 제2 암부와 핸드 포크가 상하 방향에서 겹쳐 있다.In the present invention, for example, when the second arm is at the first reference position, the first arm and the second arm overlap in the vertical direction, and when the hand base is at the second reference position, the second arm and the hand fork Overlap in the vertical direction.

본 발명에 있어서, 제1 위치 결정 지그는, 예를 들어 제1 암부 및 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제1 고정 부재와, 제1 암부 및 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제1 삽입 구멍과 제1 고정 부재에 형성되는 제1 관통 구멍에 삽입되는 제1 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 제2 암부를 제1 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the first positioning jig includes, for example, a first fixing member fixed to one of the first arm and the second arm, and a first insertion formed on the other of the first arm and the second arm. It includes a hole and a first pin inserted into a first through hole formed in the first fixing member. In this case, with a relatively simple configuration, it becomes possible to position the second arm at the first reference position.

본 발명에 있어서, 제2 위치 결정 지그는, 예를 들어 제1 암부 및 핸드 기부 중 어느 한쪽에 고정되는 제2 고정 부재와, 제1 암부 및 핸드 기부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제2 삽입 구멍과 제2 고정 부재에 형성되는 제2 관통 구멍에 삽입되는 제2 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 핸드 기부를 제2 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the second positioning jig includes, for example, a second fixing member fixed to one of the first arm and the hand base, and a second insertion hole formed on the other of the first arm and the hand base, And a second pin inserted into a second through hole formed in the second fixing member. In this case, with a relatively simple configuration, it becomes possible to position the hand base at the second reference position.

본 발명에 있어서, 핸드는, 2개의 핸드 포크를 구비하고, 제3 위치 결정 지그는, 예를 들어 2개의 핸드 포크 및 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제3 고정 부재와, 2개의 핸드 포크 및 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제3 삽입 구멍과 제3 고정 부재에 형성되는 제3 관통 구멍에 삽입되는 제3 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 2개의 핸드 포크를 제3 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the hand is provided with two hand forks, and the third positioning jig is, for example, a third fixing member fixed to either of the two hand forks and the second arm, and two hand forks. And a third insertion hole formed on the other side of the second arm portion and a third pin inserted into a third through hole formed in the third fixing member. In this case, with a relatively simple configuration, it becomes possible to position the two hand forks at the third reference position.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.As described above, in the method of calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, the correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange is relatively easy. It becomes possible to calculate.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇에 제1 위치 결정 지그, 제2 위치 결정 지그 및 제3 위치 결정 지그가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 5의 (A)는, 도 4의 (B)의 E부의 확대도이고, (B)는, (A)의 F-F 방향으로부터 제1 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는, 도 4의 (B)의 H부의 확대도이고, (B)는, (A)의 J-J 방향으로부터 제2 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 K부의 확대도이다.
도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 L부의 확대도이고, (B)는, 도 4의 (B)의 M부의 확대도이고, (C)는, (B)의 N-N 방향으로부터 제3 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (D)는, (B)의 P부의 확대도이다.
도 8은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 보정값 산출 공정에서의 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram of an industrial robot in which a correction value is calculated by a method of calculating a correction value for an industrial robot according to an embodiment of the present invention, (A) is a plan view and (B) is a side view.
FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot shown in FIG. 1 is incorporated in a manufacturing system for an organic EL display.
3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a diagram of a state in which a first positioning jig, a second positioning jig, and a third positioning jig are installed in the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a plan view, and (B) is a side view.
FIG. 5(A) is an enlarged view of part E of FIG. 4(B), (B) is a view showing a first positioning jig and the like from the FF direction of (A), and (C) is, ( It is an enlarged view of part G of A).
6(A) is an enlarged view of a portion H of FIG. 4(B), (B) is a view showing a second positioning jig and the like from the JJ direction in (A), and (C) is, ( It is an enlarged view of part K of A).
FIG. 7(A) is an enlarged view of part L of FIG. 4(A), (B) is an enlarged view of part M of FIG. 4(B), and (C) is an NN direction of (B) It is a figure which shows the 3rd positioning jig etc. from, (D) is an enlarged view of the P part of (B).
FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the industrial robot in a correction value calculation step of calculating a correction value of the industrial robot shown in FIG. 1.
9 is a diagram for explaining the operation of the industrial robot in a correction value calculation step according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 구성)(Composition of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇(1)의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a diagram of an industrial robot 1 in which a correction value is calculated by a method of calculating a correction value for an industrial robot according to an embodiment of the present invention, where (A) is a plan view and (B) is a side view. FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is incorporated in the manufacturing system 3 of an organic EL display. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in FIG. 1.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 한다.)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 한다.)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 7)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment conveys the glass substrate 2 for an organic EL display (hereinafter referred to as "substrate 2") as a conveyance object. It is a robot to do. As shown in FIG. 2, this robot 1 is a horizontal articulated robot built in and used in the manufacturing system 3 of an organic EL display. The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as "chamber 4") disposed at the center, and a plurality of chambers 5 to 7 disposed to surround the chamber 4 Are doing.

챔버(5)는, 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 프로세스 챔버이다. 또한, 챔버(6)는, 예를 들어 제조 시스템(3)에 공급되는 기판(2)이 수용되는 공급용의 챔버(로더)이고, 챔버(7)는, 예를 들어 제조 시스템(3)으로부터 배출되는 기판(2)이 수용되는 배출용의 챔버(언로더)이다. 챔버(4 내지 7)의 내부는, 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는, 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는 후술하는 핸드 포크(18, 19)가 챔버(5 내지 7) 내로 들어감으로써, 로봇(1)은, 복수의 챔버(5 내지 7)의 사이에서 기판(2)을 반송한다.The chamber 5 is a process chamber for performing a predetermined process on the substrate 2. Further, the chamber 6 is a supply chamber (loader) in which the substrate 2 supplied to the manufacturing system 3 is accommodated, and the chamber 7 is, for example, from the manufacturing system 3 It is a discharge chamber (unloader) in which the discharged substrate 2 is accommodated. The interior of the chambers 4 to 7 is vacuum. Inside the chamber 4, a part of the robot 1 is arranged. The hand forks 18 and 19, which will be described later, constituting the robot 1 enter the chambers 5 to 7, so that the robot 1 transfers the substrate 2 between the plurality of chambers 5 to 7 do.

도 1에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8)와, 핸드(8)가 선단부측으로 회동 가능하게 연결되는 암(9)과, 암(9)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다. 핸드(8) 및 암(9)은, 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)는, 암(9)을 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다.As shown in FIG. 1, the robot 1 includes a hand 8 on which a substrate 2 is mounted, an arm 9 to which the hand 8 is rotatably connected to the distal end, and a base end of the arm 9 The side is provided with a body portion 10 to be rotatably connected. The hand 8 and the arm 9 are disposed above the main body 10. The main body 10 includes a lifting mechanism for lifting the arm 9 and a case body 13 in which the lifting mechanism is accommodated. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13.

상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는, 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은, 진공 영역(VR) 내에 배치되어 있고, 핸드(8) 및 암(9)은, 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은, 대기 영역(AR) 내(대기 중)에 배치되어 있다.As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed inside the chamber 4. That is, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 8 and the arm 9 are in the vacuum chamber (during vacuum). It is placed. On the other hand, a portion of the robot 1 lower than the lower end surface of the flange 14 is disposed in the waiting area AR (in the atmosphere).

암(9)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(15)와 제2 암부(16)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(9)은, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단부측은, 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(15)의 선단부측에는, 제2 암부(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(16)의 선단부측에는, 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되어 있다.The arm 9 is provided with a first arm portion 15 and a second arm portion 16 that are rotatably connected to each other. The arm 9 of this embodiment is constituted by two arm portions, the first arm portion 15 and the second arm portion 16. The base end side of the first arm 15 is connected to the main body 10 so as to be rotatable. To the front end side of the first arm 15, the base end side of the second arm 16 is rotatably connected. The hand 8 is connected to the front end side of the second arm 16 so as to be rotatable.

제2 암부(16)는, 제1 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(8)는, 제2 암부(16)보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심의 거리는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심과 제2 암부(16)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리와 동등하게 되어 있다.The second arm portion 16 is disposed above the first arm portion 15. In addition, the hand 8 is disposed above the second arm 16. The distance between the center of rotation of the first arm 15 with respect to the main body 10 and the center of rotation of the second arm 16 with respect to the first arm 15 is the second arm 16 with respect to the first arm 15 ) Is equal to the distance between the center of rotation of the hand 8 and the center of rotation of the hand 8 with respect to the second arm 16.

핸드(8)는, 제2 암부(16)의 선단부측으로 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부(17)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(8)는, 2개의 핸드 포크(18)와, 2개의 핸드 포크(19)를 구비하고 있다. 핸드 포크(18, 19)는, 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 포크(18)와 핸드 포크(19)는 동일 형상으로 형성되어 있다. 2개의 핸드 포크(18)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(18)는, 핸드 기부(17)로부터 수평 방향의 일방향으로 연장되어 있다. 2개의 핸드 포크(19)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(19)는, 핸드 기부(17)로부터 핸드 포크(18)와 역방향으로 연장되어 있다.The hand 8 is provided with a hand base 17 rotatably connected to the front end side of the second arm 16 and hand forks 18 and 19 on which the substrate 2 is mounted. The hand 8 of this embodiment is provided with two hand forks 18 and two hand forks 19. The hand forks 18 and 19 are formed in a straight line. The hand fork 18 and the hand fork 19 are formed in the same shape. The two hand forks 18 are arranged in parallel with each other having a predetermined distance. The hand fork 18 extends from the hand base 17 in one direction in the horizontal direction. The two hand forks 19 are arranged in parallel with each other having a predetermined distance. The hand fork 19 extends from the hand base 17 in a direction opposite to the hand fork 18.

핸드 포크(18, 19)는, 핸드 기부(17)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 핸드 포크(18, 19)는, 고정용의 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정되어 있다. 핸드 포크(18, 19)에는, 고정용의 나사가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 삽입 관통 구멍은, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍이고, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18, 19)의 고정 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.The hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base 17. Specifically, the hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base 17 with screws for fixing. The hand forks 18 and 19 are provided with insertion holes through which a fixing screw is inserted. This insertion hole is a long hole in which a direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18, 19 is a long side direction, and in a direction orthogonal to the long side direction of the hand forks 18, 19, the hand It is possible to adjust the fixing positions of the hand forks 18 and 19 with respect to the base 17.

본 형태에서는, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 또한, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(19)에 탑재된다. 핸드 포크(18)의 상면에는, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다. 핸드 포크(19)의 상면에도, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다.In this embodiment, one substrate 2 is mounted on two hand forks 18. In addition, one substrate 2 is mounted on two hand forks 19. On the upper surface of the hand fork 18, a positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is provided. A positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is also provided on the upper surface of the hand fork 19.

또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키기 위한 모터(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키기 위한 모터(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 모터(21)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(24)와, 모터(22)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(25)와, 모터(23)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(26)를 구비하고 있다(도 3 참조). In addition, the robot 1 includes a motor 21 for rotating the first arm 15 with respect to the main body 10 and a motor 21 for rotating the second arm 16 with respect to the first arm 15 (22), a motor 23 for rotating the hand base 17 with respect to the second arm 16, an encoder 24 for detecting the amount of rotation of the motor 21, and the motor 22 An encoder 25 for detecting the amount of rotation and an encoder 26 for detecting the amount of rotation of the motor 23 are provided (see Fig. 3).

인코더(24)는, 모터(21)에 설치되어 있다. 인코더(25)는, 모터(22)에 설치되고, 인코더(26)는, 모터(23)에 설치되어 있다. 모터(21) 및 인코더(24)는, 예를 들어 본체부(10)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 모터(22, 23) 및 인코더(25, 26)는, 예를 들어 제1 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(21 내지 23)는, 로봇(1)의 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 인코더(24 내지 26)도, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 형태의 모터(21)는 제1 모터이고, 모터(22)는 제2 모터이고, 모터(23)는 제3 모터이다. 또한, 인코더(24)는 제1 인코더이고, 인코더(25)는 제2 인코더이고, 인코더(26)는 제3 인코더이다.The encoder 24 is attached to the motor 21. The encoder 25 is installed in the motor 22, and the encoder 26 is installed in the motor 23. The motor 21 and the encoder 24 are arranged inside the main body 10, for example. Further, the motors 22 and 23 and the encoders 25 and 26 are arranged inside the first arm 15, for example. The motors 21 to 23 are electrically connected to the control unit 27 of the robot 1. The encoders 24 to 26 are also electrically connected to the control unit 27. The motor 21 of this embodiment is a first motor, the motor 22 is a second motor, and the motor 23 is a third motor. Further, encoder 24 is a first encoder, encoder 25 is a second encoder, and encoder 26 is a third encoder.

또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(31)와, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(32)와, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(33)를 구비하고 있다. 본 형태의 원점 센서(31)는 제1 원점 센서이고, 원점 센서(32)는 제2 원점 센서이고, 원점 센서(33)는 제3 원점 센서이다.In addition, the robot 1 includes an origin sensor 31 for detecting the origin position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, and the first arm. An origin sensor 32 for detecting the origin position of the second arm 16 in the rotation direction of the second arm 16 relative to (15), and the hand base 17 for the second arm 16 It is provided with an origin sensor 33 for detecting the origin position of the hand base 17 in the rotation direction of. The origin sensor 31 of this embodiment is a first origin sensor, the origin sensor 32 is a second origin sensor, and the origin sensor 33 is a third origin sensor.

원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 근접 센서이다. 혹은, 원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서이다. 원점 센서(31 내지 33)는, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본체부(10)와 제1 암부(15)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(31)는, 본체부(10) 및 제1 암부(15) 중 어느 한쪽에 고정되고, 본체부(10) 및 제1 암부(15)) 중 어느 다른 쪽에는, 제1 암부(15)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(31)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.The origin sensors 31 to 33 are proximity sensors, for example. Alternatively, the origin sensors 31 to 33 are optical sensors having a light emitting element and a light receiving element, for example. The origin sensors 31 to 33 are electrically connected to the control unit 27. In the joint portion that is a connection portion between the body portion 10 and the first arm portion 15, the origin sensor 31 is fixed to either of the body portion 10 and the first arm portion 15, and the body portion 10 And a detection member detected by the origin sensor 31 when the first arm 15 is in the origin position is fixed to the other of the first arm 15 ).

마찬가지로, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(32)는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 다른 쪽에는, 제2 암부(16)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(32)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다. 또한, 제2 암부(16)와 핸드 기부(17)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(33)는, 제2 암부(16) 및 핸드 기부(17) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제2 암부(16) 및 핸드 기부(17) 중 어느 다른 쪽에는, 핸드 기부(17)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(33)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.Similarly, in the joint part which is the connection part of the 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16, the origin sensor 32 is fixed to either of the 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16, and A detection member that is detected by the origin sensor 32 when the second arm 16 is at the origin position is fixed to the other of the first arm 15 and the second arm 16. In addition, in the joint portion that is a connection portion between the second arm portion 16 and the hand base 17, the origin sensor 33 is fixed to either of the second arm portion 16 and the hand base 17, and the second arm portion On either side of (16) and the hand base 17, a detection member that is detected by the origin sensor 33 when the hand base 17 is in the origin position is fixed.

(산업용 로봇의 보정값의 산출 방법)(Calculation method of correction value for industrial robot)

도 4는, 도 1에 나타내는 로봇(1)에 위치 결정 지그(36 내지 38)가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (B)의 E부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 5의 (A)의 F-F 방향으로부터 위치 결정 지그(36) 등을 나타내는 도면이고, 도 5의 (C)는, 도 5의 (A)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (B)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 6의 (A)의 J-J 방향으로부터 위치 결정 지그(37) 등을 나타내는 도면이고, 도 6의 (C)는, 도 6의 (A)의 K부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 L부의 확대도이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (B)의 M부의 확대도이고, 도 7의 (C)는, 도 7의 (B)의 N-N 방향으로부터 위치 결정 지그(38) 등을 나타내는 도면이고, 도 7의 (D)는, 도 7의 (B)의 P부의 확대도이다. 도 8은, 도 1에 나타내는 로봇(1)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a diagram of a state in which positioning jigs 36 to 38 are installed in the robot 1 shown in FIG. 1, (A) is a plan view, and (B) is a side view. FIG. 5A is an enlarged view of part E in FIG. 4B, and FIG. 5B is a view showing the positioning jig 36 and the like from the FF direction in FIG. 5A. , FIG. 5C is an enlarged view of a portion G in FIG. 5A. FIG. 6(A) is an enlarged view of part H of FIG. 4(B), and FIG. 6(B) is a view showing the positioning jig 37 and the like from the direction JJ of FIG. 6(A). , FIG. 6(C) is an enlarged view of part K of FIG. 6(A). FIG. 7A is an enlarged view of a portion L of FIG. 4A, FIG. 7B is an enlarged view of a portion M of FIG. 4B, and FIG. 7C is, It is a figure which shows the positioning jig 38 etc. from the NN direction of FIG. 7(B), and FIG. 7(D) is an enlarged view of the P part of FIG. 7(B). FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the robot 1 in a correction value calculation step of calculating a correction value of the robot 1 shown in FIG. 1.

로봇(1)이 제조 시스템(3)에 설치되면, 로봇(1)의 동작 프로그램을 제작하기 위해서, 로봇(1)의 교시 작업이 행해진다. 또한, 예를 들어 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계가 어긋나기 때문에, 로봇(1)의 교시 작업을 다시 행할 필요가 발생한다.When the robot 1 is installed in the manufacturing system 3, in order to produce the operation program of the robot 1, the teaching work of the robot 1 is performed. In addition, for example, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange is shifted from the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange. Therefore, it is necessary to perform the teaching work of the robot 1 again.

한편, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 본 형태에서는, 로봇(1)을 교환한 후에 번잡한 교시 작업을 다시 행하지 않아도 되게, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 즉, 교환 후의 로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 이하, 이 보정값의 산출 방법을 설명한다.On the other hand, by correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange, there is no need to perform the complicated teaching work again. In this embodiment, if the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced so that it is not necessary to perform the cumbersome teaching work again after replacing the robot 1, the teaching work of the robot 1 before the replacement A correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange of the coordinates of the teaching position is calculated. That is, a correction value for correcting the operation of the robot 1 after replacement is calculated. Hereinafter, a method of calculating this correction value will be described.

이하의 설명에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 한다.In the following description, a predetermined reference position of the second arm 16 in the rotation direction of the second arm 16 with respect to the first arm 15 is taken as the first reference position, and the second arm 16 The predetermined reference position of the hand base 17 in the direction of rotation of the hand base 17 relative to the hand base 17 is set as the second reference position, and is perpendicular to the direction of the long side of the hand fork 18 with respect to the hand base 17 A predetermined reference position of the hand fork 18 in the direction is set as a third reference position, and a predetermined reference position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 relative to the main body 10 The reference position is set as the fourth reference position.

본 형태에서는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향에서부터 보았을 때 제1 암부(15)의 긴 변 방향과 제2 암부(16)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치와 제1 기준 위치가 일치되어 있다.In this embodiment, when the second arm portion 16 is at the first reference position, as shown in FIG. 4, the first arm portion 15 and the second arm portion 16 overlap in the vertical direction. Specifically, when the second arm portion 16 is in the first reference position, the second arm portion 16 may correspond to the long side direction of the first arm portion 15 and the long side direction of the second arm portion 16 when viewed from the vertical direction. The first arm 15 and the second arm 16 overlap in the vertical direction. In addition, in this embodiment, the origin position of the 2nd arm part 16 and the 1st reference position in the rotation direction of the 2nd arm part 16 with respect to the 1st arm part 15 correspond.

또한, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향에서부터 보았을 때 제2 암부(16)의 긴 변 방향과 핸드 포크(18)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치로부터 핸드 기부(17)가 90° 회동한 위치가 제2 기준 위치로 되어 있다.Moreover, when the hand base 17 is in the 2nd reference position, as shown in FIG. 4, the 2nd arm part 16 and the hand fork 18 overlap in the vertical direction. Specifically, when the hand base 17 is in the second reference position, the second arm portion is so that the long side direction of the second arm portion 16 and the long side direction of the hand fork 18 match when viewed from the vertical direction. (16) and the hand fork 18 overlap in the vertical direction. In this embodiment, the position in which the hand base 17 rotates 90° from the origin position of the hand base 17 in the rotation direction of the hand base 17 with respect to the second arm 16 is the second reference position. It is made into.

또한, 제4 기준 위치는, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 일치되어 있어도 되고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있어도 된다.In addition, the fourth reference position may coincide with the origin position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, The position in which the first arm 15 rotates by a predetermined angle from the origin position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 may be the fourth reference position.

또한, 본 형태에서는, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(36)와, 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(37)와, 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(38)가 사용된다. 본 형태의 위치 결정 지그(36)는 제1 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(37)는 제2 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(38)는 제3 위치 결정 지그이다. 또한, 위치 결정 지그(38)는, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 소정의 기준 위치에 핸드 포크(19)를 위치 결정할 때도 사용된다.Further, in this embodiment, a positioning jig 36 for positioning the second arm 16 at the first reference position, and a positioning jig 37 for positioning the hand base 17 at the second reference position. ) And a positioning jig 38 for positioning the hand fork 18 at the third reference position. The positioning jig 36 of this form is a first positioning jig, the positioning jig 37 is a second positioning jig, and the positioning jig 38 is a third positioning jig. In addition, the positioning jig 38 holds the hand fork 19 at a predetermined reference position of the hand fork 19 with respect to the hand base 17 in a direction orthogonal to the direction of the long side of the hand fork 19. It is also used for positioning.

도 5에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(36)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(41)와, 핀(42)을 구비하고 있다. 고정 부재(41)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(41)에는, 핀(42)이 삽입되는 관통 구멍(41a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 선단의 측면에는, 핀(42)이 삽입되는 삽입 구멍(16a)이 형성되어 있다. 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 삽입되면, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(41)는 제1 고정 부재이고, 핀(42)은 제1 핀이고, 삽입 구멍(16a)은 제1 삽입 구멍이고, 관통 구멍(41a)은 제1 관통 구멍이다.As shown in FIG. 5, the positioning jig 36 includes a fixing member 41 fixed to the first arm 15 and a pin 42. The fixing member 41 is fixed to the side surface of the base end portion of the first arm 15. A through hole 41a into which the pin 42 is inserted is formed in the fixing member 41. Further, an insertion hole 16a into which the pin 42 is inserted is formed on the side surface of the tip end of the second arm 16. When the pin 42 inserted in the through hole 41a of the fixing member 41 is inserted into the insertion hole 16a, the second arm 16 is strictly positioned at the first reference position. The fixing member 41 of this embodiment is a first fixing member, the pin 42 is a first pin, the insertion hole 16a is a first insertion hole, and the through hole 41a is a first through hole.

도 6에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(37)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(43, 44)와, 핀(45)을 구비하고 있다. 고정 부재(43)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(44)는, 고정 부재(43)의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(43)에는, 고정 부재(41)와의 간섭을 방지하기 위한 홈부가 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 저면에는, 고정 부재(43)에 대한 고정 부재(44)의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 나사(46)의 선단면이 접촉하고 있다. 나사(46)는, 고정 부재(43)의 하단부면에 고정되는 나사 보유 지지 부재(47)에 나사 결합하고 있다.As shown in FIG. 6, the positioning jig 37 includes the fixing members 43 and 44 fixed to the first arm 15 and a pin 45. The fixing member 43 is fixed to the side surface of the base end of the first arm 15. The fixing member 44 is fixed to the side surface of the fixing member 43. The fixing member 43 is formed with a groove for preventing interference with the fixing member 41. A tip end surface of a screw 46 for adjusting the vertical position of the fixing member 44 relative to the fixing member 43 is in contact with the bottom surface of the fixing member 44. The screw 46 is screwed to the screw holding member 47 fixed to the lower end surface of the fixing member 43.

고정 부재(44)에는, 핀(45)이 삽입되는 관통 구멍(44a)이 형성되어 있다. 또한, 핸드 기부(17)의 측면에는, 핀(45)이 삽입되는 삽입 구멍(17a)이 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 삽입되면, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(43, 44)는 제2 고정 부재이고, 핀(45)은 제2 핀이고, 삽입 구멍(17a)은 제2 삽입 구멍이고, 관통 구멍(44a)은 제2 관통 구멍이다.A through hole 44a into which the pin 45 is inserted is formed in the fixing member 44. Further, an insertion hole 17a into which the pin 45 is inserted is formed on the side surface of the hand base 17. When the pin 45 inserted into the through hole 44a of the fixing member 44 is inserted into the insertion hole 17a, the hand base 17 is strictly positioned at the second reference position. The fixing members 43 and 44 of this form are a second fixing member, the pin 45 is a second pin, the insertion hole 17a is a second insertion hole, and the through hole 44a is a second through hole. .

도 7에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(38)는, 2개의 핸드 포크(18)에 고정되는 고정 부재(48, 49)와, 핀(50)을 구비하고 있다. 고정 부재(48)는, 2개의 핸드 포크(18)의 상면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)는, 고정 부재(48)의 하면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)에는, 핀(50)이 삽입되는 관통 구멍(49a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 기단부의 측면에는, 핀(50)이 삽입되는 삽입 구멍(16b)이 형성되어 있다. 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 삽입되면, 2개의 핸드 포크(18)가 제3 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(48, 49)는 제3 고정 부재이고, 핀(50)은 제3 핀이고, 삽입 구멍(16b)은 제3 삽입 구멍이고, 관통 구멍(49a)은 제3 관통 구멍이다.As shown in FIG. 7, the positioning jig 38 includes fixing members 48 and 49 fixed to the two hand forks 18 and a pin 50. The fixing member 48 is fixed to the upper surfaces of the two hand forks 18. The fixing member 49 is fixed to the lower surface of the fixing member 48. A through hole 49a into which the pin 50 is inserted is formed in the fixing member 49. Further, an insertion hole 16b into which the pin 50 is inserted is formed on the side surface of the base end of the second arm 16. When the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 is inserted into the insertion hole 16b, the two hand forks 18 are strictly positioned at the third reference position. The fixing members 48 and 49 of this form are a third fixing member, the pin 50 is a third pin, the insertion hole 16b is a third insertion hole, and the through hole 49a is a third through hole. .

예를 들어, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 먼저, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 제1 기준 위치(원점 위치)로 회동시킨다. 즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.For example, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, first, the second arm 16 is rotated to the first reference position (origin position) based on the detection result of the origin sensor 32 Let it. That is, the second arm 16 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 32 so that the second arm 16 stops at the first reference position.

또한, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 제2 기준 위치(원점 위치로부터 90° 회동한 위치)로 회동시킨다. 예를 들어, 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 원점 위치로 회동시킨 후, 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 원점 위치로부터 제2 기준 위치로 회동시킨다. 즉, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 정지시킨다.Further, based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26, the hand base 17 is rotated to a second reference position (position rotated by 90° from the origin position). For example, after rotating the hand base 17 to the origin position based on the detection result of the origin sensor 33, based on the detection result of the encoder 26, the hand base 17 is a second reference from the origin position. Rotate to position. That is, the hand base 17 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26 so that the hand base 17 stops at the second reference position.

그 후, 고정 부재(41, 43, 44)를 제1 암부(15)에 고정하고, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(18)에 고정한다. 또한, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제1 기준 위치에 회동한 제2 암부(16)는, 엄밀하게는 제1 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 마찬가지로, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 제2 기준 위치에 회동한 핸드 기부(17)는, 엄밀하게는 제2 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다.After that, the fixing members 41, 43, 44 are fixed to the first arm 15, and the fixing members 48, 49 are fixed to the two hand forks 18. Further, based on the detection result of the origin sensor 32, the second arm 16 rotated to the first reference position is strictly slightly shifted from the first reference position. Similarly, based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26, the hand base 17 rotated to the second reference position is strictly slightly shifted from the second reference position.

그 후, 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 끼워지는 위치까지 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 삽입 구멍(16a)에 핀(42)을 삽입하고, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(22)의 회동량을 인코더(25)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(25)에서의 검지 결과를 사용하여 제2 암부(16)의 제1 기준 위치를 특정한다.Thereafter, the second arm 16 is rotated with respect to the first arm 15 until the pin 42 inserted into the through hole 41a of the fixing member 41 is inserted into the insertion hole 16a and inserted. The pin 42 is inserted into the hole 16a, and the second arm 16 is precisely positioned at the first reference position. Further, the amount of rotation of the motor 22 at that time is detected by the encoder 25, and the control unit 27 uses the detection result by the encoder 25 to specify the first reference position of the second arm 16. do.

즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 정지시켰을 때의 제2 암부(16)의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(36)에 의해 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 위치 결정되는 위치까지 제2 암부(16)를 회동시켰을 때의 인코더(25)의 검지 결과와, 제1 정지 위치에 제2 암부(16)가 정지해 있을 때의 인코더(25)의 값에 기초하여 제1 기준 위치를 특정한다(제1 기준 위치 특정 공정).That is, the first, which is the stop position of the second arm 16 when the second arm 16 is stopped based on the detection result of the origin sensor 32 so that the second arm 16 stops at the first reference position. The detection result of the encoder 25 when the second arm 16 is rotated from the stop position to the position where the second arm 16 is positioned at the first reference position by the positioning jig 36, and the 1 A first reference position is specified based on the value of the encoder 25 when the second arm 16 is stopped at the stop position (first reference position specifying process).

그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 끼워지는 위치까지 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 삽입 구멍(17a)에 핀(45)을 삽입하고, 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(23)의 회동량을 인코더(26)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(26)에서의 검지 결과를 사용하여 핸드 기부(17)의 제2 기준 위치를 특정한다.After that, the pin 45 inserted into the through hole 44a of the fixing member 44 is inserted while the second arm 16 is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process. Insert the pin 45 into the insertion hole 17a by rotating the hand base 17 with respect to the second arm 16 to the position where it fits into the hole 17a, and insert the hand base 17 at the second reference position. Position it strictly. Further, the rotation amount of the motor 23 at that time is detected by the encoder 26, and the control unit 27 uses the detection result by the encoder 26 to specify the second reference position of the hand base 17. .

즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 정지시켰을 때의 핸드 기부(17)의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(37)에 의해 핸드 기부(17)가 위치 결정되는 위치까지 핸드 기부(17)를 회동시켰을 때의 인코더(26)의 검지 결과와, 제2 정지 위치에 핸드 기부(17)가 정지해 있을 때의 인코더(26)의 값에 기초하여 제2 기준 위치를 특정한다(제2 기준 위치 특정 공정).That is, the detection result of the origin sensor 33 so that the hand base 17 stops at the second reference position while the second arm 16 is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process. The hand base 17 is moved by the positioning jig 37 from the second stop position, which is the stop position of the hand base 17 when the hand base 17 is stopped based on the detection result of the and encoder 26. Based on the detection result of the encoder 26 when the hand base 17 is rotated to the position to be positioned and the value of the encoder 26 when the hand base 17 is stopped at the second stop position. 2 The reference position is specified (second reference position specifying process).

그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(18)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 제3 기준 위치에 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다.Thereafter, the second arm 16 is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the hand base 17 is disposed at the second reference position specified in the second reference position specifying process In the state in which the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 is inserted into the insertion hole 16b, the hand in a direction perpendicular to the long side direction of the hand fork 18 The two hand forks 18 are moved relative to the base 17 to insert the pin 50 into the insertion hole 16b, and the two hand forks 18 are positioned at the third reference position.

즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 위치 결정 지그(38)에 의해 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다(핸드 포크 위치 결정 공정). 위치 결정된 핸드 포크(18)는, 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정된다.That is, the second arm portion 16 is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the hand base 17 is disposed at the second reference position specified in the second reference position specifying process. In the present state, the two hand forks 18 are positioned by the positioning jig 38 (hand fork positioning process). The positioned hand fork 18 is fixed to the hand base 17 by screws.

그 후, 적어도 위치 결정 지그(37, 38)를 분리함과 함께, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 180° 회동시킨다. 이 상태에서, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(19)에 고정한다. 또한, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(19)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 소정의 기준 위치에 2개의 핸드 포크(19)를 위치 결정한다. 위치 결정된 핸드 포크(19)는, 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정된다.After that, at least the positioning jigs 37 and 38 are separated, and the hand base 17 is rotated 180° with respect to the second arm 16. In this state, the fixing members 48 and 49 are fixed to the two hand forks 19. Further, the hand base 17 in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork 19 until the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 is fitted into the insertion hole 16b. ), the two hand forks 19 are moved to insert the pins 50 into the insertion hole 16b, and the two hand forks 19 are positioned at a predetermined reference position. The positioned hand fork 19 is fixed to the hand base 17 by screws.

그 후, 2개의 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)(도 8 참조)을 탑재한다(패널 탑재 공정). 검지용 패널(52)은, 후술하는 보정값 산출 공정에 있어서 보정값을 산출할 때 사용되는 패널이고, 예를 들어 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 검지용 패널(52)은, 핸드 포크(18)의 상면에 설치된 위치 결정 부재에 의해 위치 결정된 상태에서, 2개의 핸드 포크(18)에 탑재되어 있다.After that, the detection panels 52 (see Fig. 8) are mounted on the two hand forks 18 (panel mounting process). The detection panel 52 is a panel used when calculating a correction value in a correction value calculation step described later, and is formed in a rectangular flat plate shape, for example. The detection panel 52 is mounted on the two hand forks 18 in a state positioned by a positioning member provided on the upper surface of the hand fork 18.

그 후, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 또는 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 정지시켰을 때의 제1 암부(15)의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 잠정 기준 자세로 한다(로봇 동작 공정).Then, based on the detection result of the origin sensor 31 or the detection result of the origin sensor 31 and the detection result of the encoder 24 so that the first arm 15 stops at the fourth reference position, the first The motor 21 is driven and controlled based on the third stop position, which is the stop position of the first arm 15 when the arm 15 is stopped, and the first reference position specified in the first reference position specifying process is set. As a reference, the motor 22 is driven and controlled, and the motor 23 is driven and controlled based on the second reference position specified in the second reference position specifying process, thereby setting the robot 1 to a provisional reference posture. (Robot operation process).

즉, 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 동작 개시 위치까지 동작시킨다. 본 형태에서는, 예를 들어 제1 암부(15))이 제3 정지 위치에 정지하고, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 정지하고, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치로부터 90° 회동한 위치에 정지해 있는 상태가 로봇(1)의 가상의 동작 개시 위치로 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 일치되어 있다. 단, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 어긋나 있어도 된다.That is, the motor 21 is driven and controlled based on the third stop position, and the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the second reference The motor 23 is driven and controlled based on the second reference position specified in the position specifying process, and the robot 1 is operated to the virtual operation start position. In this form, for example, the first arm portion 15 stops at the third stop position, the second arm portion 16 stops at the first reference position, and the hand base 17 is 90 from the second reference position. The state in which the robot 1 is stopped at the rotated position becomes the virtual operation start position of the robot 1. Further, in this embodiment, the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 are matched. However, the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 may be shifted.

또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 제4 기준 위치가 일치되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록, 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 제3 정지 위치는, 엄밀하게는 제4 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 또한, 로봇 동작 공정 전까지, 위치 결정 지그(36, 38)는 분리되어 있다.In addition, when the origin position of the first arm part 15 in the rotation direction of the first arm part 15 with respect to the body part 10 and the fourth reference position coincide, in the robot operation step, the fourth The first arm 15 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 31 so that the first arm 15 stops at the reference position. In addition, the position at which the first arm 15 rotates by a predetermined angle from the origin position of the first arm 15 in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 becomes the fourth reference position. If there is, in the robot operation process, the first arm 15 is based on the detection result of the origin sensor 31 and the detection result of the encoder 24 so that the first arm 15 stops at the fourth reference position. To stop by rotating. In addition, the 3rd stop position is slightly shifted from the 4th reference position strictly. In addition, the positioning jig 36 and 38 are separated before the robot operation process.

그 후, 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다(핸드 이동 공정). 예를 들어, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 구체적으로는, 암(9)을 연장시키고, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 그 후, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출한다(보정값 산출 공정).After that, the robot 1 is operated to move the hand fork 18 to the transfer position of the substrate 2 (hand movement process). For example, as shown in FIG. 8A, the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6. Specifically, the arm 9 is extended and the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2 in the chamber 6. After that, the motor 21 is based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 between the fifth reference position, which is a predetermined reference position, and the edge of the detection panel 52. Calculate a correction value for controlling) (correction value calculation process).

구체적으로는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 검지용 패널(52)의 에지가 배치되는 위치가 제5 기준 위치로 되어 있다. 또한, 제5 기준 위치에는, 1개의 센서(53)가 배치되어 있다. 센서(53)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서 또는, 근접 센서이다. 센서(53)는, 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다.Specifically, when the robot 1 before replacement, in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18, is operated and the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2, the main body 10 The position at which the edge of the detection panel 52 is disposed in the rotation direction of the first arm 15 relative to) is the fifth reference position. In addition, one sensor 53 is disposed at the fifth reference position. The sensor 53 is, for example, an optical sensor having a light-emitting element and a light-receiving element or a proximity sensor. The sensor 53 is installed inside the chamber 6.

보정값 산출 공정에서는, 센서(53)에서 검지용 패널(52)의 에지가 검지될 때까지(즉, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치할 때까지) 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제어부(27)가 보정값을 산출한다.In the correction value calculation process, until the edge of the detection panel 52 is detected by the sensor 53 (that is, in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, the fifth reference position) The control unit 27 calculates a correction value based on the detection result of the encoder 24 when the first arm 15 is rotated (until the edges of the detection panel 52 and the detection panel 52 coincide).

예를 들어, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 제5 기준 위치에 배치되는 센서(53)와 검지용 패널(52)의 에지가, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 어긋나 있는 경우에는, 보정값 산출 공정에 있어서, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 센서(53)에서 검지용 패널(52)의 에지가 검지될 때까지 제1 암부(15)를 회동시킨다. 또한, 그때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 또한, 검지용 패널(52)의 에지는, 센서(53)의 온/오프가 전환될 때 센서(53)에서 검지된다.For example, as shown in Fig. 8A, when the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6, the sensor 53 disposed at the fifth reference position and When the edge of the detection panel 52 is shifted in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, in the correction value calculation step, as shown in FIG. 8B , The first arm 15 is rotated until the edge of the detection panel 52 is detected by the sensor 53. Further, a correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 at that time. Further, the edge of the detection panel 52 is detected by the sensor 53 when the on/off of the sensor 53 is switched.

그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 정규의 동작 개시 위치로 복귀시킨다.Thereafter, the motor 21 is driven and controlled by reflecting the correction value calculated in the correction value calculation process, and the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process. Together, the motor 23 is driven and controlled based on the second reference position specified in the second reference position specifying process, thereby returning the robot 1 to the normal operation start position.

또한, 본 형태에서는, 그 후, 핸드 기부(17)를 180° 회동시킴과 함께 2개의 핸드 포크(19)에 검지용 패널(52)을 바꿔 싣고 나서, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(19)를 이동시킨다. 이때, 핸드 포크(19)에 탑재된 검지용 패널(52)의 에지가 센서(53)에서 검지되지 않는 경우에는, 핸드 포크(19)에 탑재된 검지용 패널(52)의 에지가 센서(53)에서 검지되도록, 위치 결정 지그(38)를 사용하여, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 고정 위치를 조정한다.Further, in this embodiment, after that, the hand base 17 is rotated 180° and the detection panel 52 is replaced on the two hand forks 19, and then the substrate 2 in the chamber 6 is Move the hand fork 19 to the delivery position. At this time, when the edge of the detection panel 52 mounted on the hand fork 19 is not detected by the sensor 53, the edge of the detection panel 52 mounted on the hand fork 19 is the sensor 53 ) So as to be detected by using the positioning jig 38, the fixed position of the hand fork 19 with respect to the hand base 17 in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork 19 is adjusted.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제1 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(36)를 사용하여, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 기준 위치인 제1 기준 위치를 특정하고, 제2 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(37)를 사용하여, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 기준 위치인 제2 기준 위치를 특정하여, 핸드 포크 위치 결정 공정에 있어서 위치 결정 지그(38)에 의해, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 기준 위치인 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 그 후의 로봇 동작 공정에 있어서, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 잠정 기준 자세로 하고 나서, 핸드 이동 공정에 있어서, 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키고 있다.As described above, in this embodiment, the positioning jig 36 is used in the first reference position specifying step, and the second arm portion in the rotation direction of the second arm portion 16 relative to the first arm portion 15 The first reference position, which is the reference position of (16), is specified, and in the second reference position specifying step, using the positioning jig 37, the rotation direction of the hand base 17 with respect to the second arm 16 The second reference position, which is the reference position of the hand base 17, is specified, and the long side of the hand fork 18 relative to the hand base 17 by the positioning jig 38 in the hand fork positioning process The hand fork 18 is positioned at a third reference position that is a reference position of the hand fork 18 in a direction orthogonal to the direction. In addition, in this embodiment, in the subsequent robot operation process, the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and specified in the second reference position specifying process. Based on the set second reference position, the motor 23 is driven and controlled to set the robot 1 to a provisional reference position, and then, in the hand movement process, the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2. Moving.

또한, 본 형태에서는, 그 후의 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다. 즉, 본 형태에서는, 제2 암부(16), 핸드 기부(17) 및 핸드 포크(18)를 소정의 기준 위치로 맞춘 상태에서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨 후, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다.In addition, in this embodiment, in the subsequent correction value calculation process, the deviation of the 5th reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the 1st arm part 15 with respect to the body part 10 A correction value for controlling the motor 21 is calculated based on the amount. That is, in this embodiment, after moving the hand fork 18 to the delivery position of the substrate 2 with the second arm 16, the hand base 17, and the hand fork 18 aligned to a predetermined reference position , A correction value for controlling the motor 21 based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 of the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 Is calculating.

또한, 본 형태에서는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 검지용 패널(52)의 에지가 배치되는 위치가 제5 기준 위치로 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Further, in this embodiment, when the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2 by operating the robot 1 before the replacement in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18, the main body is The position at which the edge of the detection panel 52 is arranged in the rotation direction of the first arm 15 with respect to (10) is the fifth reference position. Therefore, in the present embodiment, by calculating a correction value for controlling the motor 21 in the correction value calculation step, the robot after exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange ( It becomes possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system in 1).

즉, 본 형태에서는, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.That is, in this embodiment, the correction value is calculated based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 , It becomes possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange. Therefore, in this embodiment, it becomes possible to relatively easily calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange. .

또한, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 광학식 센서 또는 근접 센서인 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해지기 때문에, 비교적 저렴한 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Further, in this embodiment, in the correction value calculation step, the amount of the shift in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 Since it is sufficient to calculate the correction value based on it, it becomes possible to calculate the correction value using one sensor 53. Further, in this embodiment, since it becomes possible to calculate a correction value using the sensor 53 which is an optical sensor or a proximity sensor, it becomes possible to calculate the correction value using the relatively inexpensive sensor 53.

(보정값 산출 공정의 변형예 1)(Modification 1 of the correction value calculation process)

상술한 형태에 있어서, 센서(53) 대신에 1개의 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 챔버(6)의 내부의 제5 기준 위치에 대응하는 개소에 소정의 마킹이 형성되어 있고, 카메라로 촬영된 마킹의 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구함으로써, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한다. 또한, 예를 들어 제5 기준 위치의 좌표가 제어부(27)에 미리 기억되어 있어, 카메라로 촬영된 검지용 패널(52)의 에지 좌표와 제5 기준 위치의 좌표에 기초하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한다.In the above-described form, one camera is used instead of the sensor 53, and the rotation direction of the first arm 15 relative to the main body 10 at the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 You may obtain the amount of deviation in. In this case, for example, a predetermined marking is formed at a location corresponding to the fifth reference position inside the chamber 6, and the amount of deviation between the position of the marking photographed by the camera and the edge of the detection panel 52 By obtaining, the amount of shift between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 is obtained. In addition, for example, the coordinates of the fifth reference position are stored in advance in the control unit 27, and based on the coordinates of the edge of the detection panel 52 photographed with the camera and the coordinates of the fifth reference position, the fifth reference position And the amount of deviation of the edge of the panel 52 for detection is obtained.

이 경우에는, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구하는 것이 가능해진다. 또한, 이 경우에는, 예를 들어 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한 후, 구한 어긋남양만큼, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다.In this case, even if the first arm 15 is not rotated with respect to the main body 10, it is possible to obtain the amount of shift between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52. In addition, in this case, for example, using a camera, after obtaining the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52, the first arm portion ( A correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 when 15) is rotated.

또한, 이 경우라도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 카메라를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 카메라 대신에 광학식의 라인 센서를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 이 경우라도, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구하는 것이 가능해진다.In addition, even in this case, if the correction value is calculated based on the amount of shift in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 Therefore, it becomes possible to calculate a correction value using one camera. In addition, by using an optical line sensor instead of the camera, the amount of shift in the rotation direction of the first arm 15 relative to the main body 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 You can get it. Even in this case, even if the first arm 15 is not rotated with respect to the main body 10, it is possible to obtain the amount of shift between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52.

(보정값 산출 공정의 변형예 2)(Variant 2 of the correction value calculation process)

도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 보정값 산출 공정에서의 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.9 is a diagram for explaining the operation of the robot 1 in the correction value calculation step according to another embodiment of the present invention.

상술한 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 센서(53)를 사용하여, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향으로 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시키고 있지만, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치에서 검지용 패널(52)(핸드 포크(18)에 탑재된 검지용 패널(52))을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그를 사용하여, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향으로 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시켜도 된다.In the above-described form, in the correction value calculation step, the sensor 53 is used to determine the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10. Is rotating the first arm 15 to the same position, but in the rotation direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 coincide. Using a fourth positioning jig for positioning the detection panel 52 (the detection panel 52 mounted on the hand fork 18) at the position, the first arm portion 15 relative to the body portion 10 ), the first arm 15 may be rotated to a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 coincide with each other.

이 경우, 제4 위치 결정 지그는, 예를 들어 핀(55)과, 핀(55)이 삽입되는 삽입 구멍(56a)이 형성되는 핀 보유 지지 부재(56)를 구비하고 있다. 핀 보유 지지 부재(56)는, 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다. 검지용 패널(52)에는, 핀(55)이 삽입되는 관통 구멍(52a)이 형성되어 있다. 검지용 패널(52)의 관통 구멍(52a)에 삽입된 핀(55)이 핀 보유 지지 부재(56)의 삽입 구멍(56a)에 삽입되면, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치에서, 핸드 포크(18)에 탑재된 검지용 패널(52)이 위치 결정된다.In this case, the fourth positioning jig includes, for example, a pin 55 and a pin holding member 56 in which an insertion hole 56a into which the pin 55 is inserted is formed. The pin holding member 56 is provided inside the chamber 6. A through hole 52a into which the pin 55 is inserted is formed in the detection panel 52. When the pin 55 inserted into the through hole 52a of the detection panel 52 is inserted into the insertion hole 56a of the pin holding member 56, the first arm 15 with respect to the main body 10 In the rotation direction of, the detection panel 52 mounted on the hand fork 18 is positioned at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 coincide.

이 경우의 보정값 산출 공정에서는, 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널(52)이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 예를 들어, 도 9의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 핀 보유 지지 부재(56)의 삽입 구멍(56a)과 검지용 패널(52)의 관통 구멍(52a)이, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 어긋나 있는 경우에는, 보정값 산출 공정에 있어서, 도 9의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널(52)이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시킨다. 또한, 그때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다.In this case, in the correction value calculation process, correction based on the detection result of the encoder 24 when the first arm 15 is rotated to the position where the detection panel 52 is positioned by the fourth positioning jig. Calculate the value. For example, as shown in Fig. 9A, when the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6, the insertion hole 56a of the pin holding member 56 ) And the through-hole 52a of the detection panel 52 are shifted in the rotational direction of the first arm 15 with respect to the main body 10, in the correction value calculation step, ( As shown in B), the first arm 15 is rotated to a position at which the detection panel 52 is positioned by the fourth positioning jig. Further, a correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 at that time.

(다른 실시 형태)(Other embodiment)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described form is an example of a preferred form of the present invention, it is not limited thereto, and various modifications can be made without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 검지용 패널(52)의 한쪽 에지가 배치되는 위치와, 검지용 패널(52)의 다른 쪽 에지가 배치되는 위치의 2군데가 제5 기준 위치로 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 2군데의 제5 기준 위치의 각각에 센서(53)가 배치되어 있다.In the above-described form, when the hand fork 18 is moved to the transfer position of the substrate 2 by operating the robot 1 before replacement, in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18, the main body is In the direction of rotation of the first arm 15 relative to (10), there are two locations: a position where one edge of the detection panel 52 is arranged and a position where the other edge of the detection panel 52 is arranged. It may be the fifth reference position. In this case, the sensors 53 are disposed at each of the two fifth reference positions.

상술한 형태에 있어서, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치로부터 제2 암부(16)가 소정 각도 회동한 위치가 제1 기준 위치로 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과와 인코더(25)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.In the above-described form, the position at which the second arm 16 rotates by a predetermined angle from the origin position of the second arm 16 in the rotation direction of the second arm 16 relative to the first arm 15 1 It may be the reference position. In this case, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the detection result of the origin sensor 32 and the detection result of the encoder 25 so that the second arm 16 stops at the first reference position. The second arm 16 is rotated based on and stopped.

또한, 상술한 형태에 있어서, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치와 제2 기준 위치가 일치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇 동작 공정 후에 패널 탑재 공정이 행해져도 된다.Further, in the above-described form, the origin position of the hand base 17 in the rotation direction of the hand base 17 with respect to the second arm 16 and the second reference position may match. In this case, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the hand base 17 is moved based on the detection result of the origin sensor 33 so that the hand base 17 stops at the second reference position. Turn to stop. In addition, in the above-described aspect, the panel mounting step may be performed after the robot operation step.

상술한 형태에서는, 제조 시스템(3)에 설치된 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행하고 있지만, 제조 시스템(3)에 설치되기 전의 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다. 예를 들어, 로봇(1)의 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.In the above-described form, the first reference position specifying step, the second reference position specifying step, and the hand fork positioning step are performed with respect to the robot 1 installed in the manufacturing system 3, but installed in the manufacturing system 3 With respect to the previous robot 1, the first reference position specifying step, the second reference position specifying step, and the hand fork positioning step may be performed. For example, in the assembly factory of the robot 1, the robot 1 may be subjected to a first reference position specifying step, a second reference position specifying step, and a hand fork positioning step.

또한, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송할 때, 길이가 긴 핸드 포크(18, 19)가 반송의 지장이 되지 않도록, 핸드 포크(18, 19)를 분리한 상태에서, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송하는 경우에는, 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정을 행하고, 제조 시스템(3)에 설치된 후의 로봇(1)에 대하여 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.In addition, when transporting the robot 1 from the assembly plant to the manufacturing system 3, the hand forks 18 and 19 are separated so that the long hand forks 18 and 19 do not interfere with the transport. , When transporting the robot 1 from the assembly plant to the manufacturing system 3, in the assembly plant, a first reference position specifying step and a second reference position specifying step are performed with respect to the robot 1, and the manufacturing system The hand fork positioning step may be performed with respect to the robot 1 installed in (3).

상술한 형태에 있어서, 고정 부재(41)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(42)이 삽입되는 제1 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(44)는, 핸드 기부(17)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(45)이 삽입되는 제2 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(48, 49)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 2개의 핸드 포크(18)에, 핀(50)이 삽입되는 제3 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다.In the above-described form, the fixing member 41 may be fixed to the second arm 16. In this case, an insertion hole as a first insertion hole into which the pin 42 is inserted is formed on the side surface of the base end portion of the first arm 15. In addition, in the above-described aspect, the fixing member 44 may be fixed to the hand base 17. In this case, an insertion hole as a second insertion hole into which the pin 45 is inserted is formed on a side surface of the base end portion of the first arm 15. In addition, in the above-described form, the fixing members 48 and 49 may be fixed to the second arm 16. In this case, an insertion hole as a third insertion hole into which the pin 50 is inserted is formed in the two hand forks 18.

상술한 형태에 있어서, 핸드(8)는, 핸드 포크(19)를 구비하지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용의 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등 이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기압으로 되어 있는 공간 내에 배치되어 있어도 된다.In the above-described form, the hand 8 does not have to be provided with the hand fork 19. In addition, in the above-described form, the transport object conveyed by the robot 1 is the substrate 2 for organic EL displays, but the transport object conveyed by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display or a semiconductor. It may be a wafer or the like. In addition, in the above-described form, the robot 1 may be disposed in a space at atmospheric pressure.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(반송 대상물)
8: 핸드
9: 암
10: 본체부
15: 제1 암부
16: 제2 암부
16a: 삽입 구멍(제1 삽입 구멍)
16b: 삽입 구멍(제3 삽입 구멍)
17: 핸드 기부
17a: 삽입 구멍(제2 삽입 구멍)
18: 핸드 포크
21: 모터(제1 모터)
22: 모터(제2 모터)
23: 모터(제3 모터)
24: 인코더(제1 인코더)
25: 인코더(제2 인코더)
26: 인코더(제3 인코더)
31: 원점 센서(제1 원점 센서)
32: 원점 센서(제2 원점 센서)
33: 원점 센서(제3 원점 센서)
36: 위치 결정 지그(제1 위치 결정 지그)
37: 위치 결정 지그(제2 위치 결정 지그)
38: 위치 결정 지그(제3 위치 결정 지그)
41: 고정 부재(제1 고정 부재)
41a: 관통 구멍(제1 관통 구멍)
42: 핀(제1 핀)
43, 44: 고정 부재(제2 고정 부재)
44a: 관통 구멍(제2 관통 구멍)
45: 핀(제2 핀)
48, 49: 고정 부재(제3 고정 부재)
49a: 관통 구멍(제3 관통 구멍)
50: 핀(제3 핀)
52: 검지용 패널
53: 센서
55: 핀(제4 위치 결정 지그의 일부)
56: 핀 보유 지지 부재(제4 위치 결정 지그의 일부)1: Robot (industrial robot)
2: Substrate (object to be transported)
8: hand
9: cancer
10: main body
15: first arm
16: second arm part
16a: insertion hole (first insertion hole)
16b: insertion hole (third insertion hole)
17: hand donation
17a: insertion hole (second insertion hole)
18: hand fork
21: motor (first motor)
22: motor (second motor)
23: motor (third motor)
24: encoder (first encoder)
25: encoder (second encoder)
26: encoder (third encoder)
31: origin sensor (first origin sensor)
32: origin sensor (second origin sensor)
33: origin sensor (third origin sensor)
36: positioning jig (first positioning jig)
37: positioning jig (2nd positioning jig)
38: positioning jig (third positioning jig)
41: fixing member (first fixing member)
41a: through hole (first through hole)
42: pin (first pin)
43, 44: fixing member (second fixing member)
44a: through hole (second through hole)
45: pin (second pin)
48, 49: fixing member (third fixing member)
49a: through hole (third through hole)
50: pin (third pin)
52: detection panel
53: sensor
55: pin (part of the fourth positioning jig)
56: pin holding member (part of the fourth positioning jig)

Claims (8)

산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이며,
상기 산업용 로봇은, 본체부와, 상기 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 상기 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 상기 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와 상기 핸드 기부로부터 수평 방향의 일방향으로 연장됨과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 상기 본체부에 대하여 상기 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 상기 제1 암부에 대하여 상기 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 상기 제2 암부에 대하여 상기 핸드 기부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 상기 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 상기 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 상기 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더와, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제1 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제1 원점 센서와, 상기 제1 암부에 대한 상기 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제2 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제2 원점 센서와, 상기 제2 암부에 대한 상기 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 상기 핸드 기부의 원점 위치를 검지하기 위한 제3 원점 센서를 구비하고,
상기 제1 암부에 대한 상기 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제2 암부의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 상기 제2 암부에 대한 상기 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 상기 핸드 기부의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 상기 핸드 기부에 대한 상기 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 상기 핸드 포크의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제1 암부의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 하면,
상기 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은,
상기 제1 기준 위치에서 상기 제2 암부가 정지하도록 상기 제2 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제2 원점 센서의 검지 결과와 상기 제2 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 제2 암부를 정지시켰을 때의 상기 제2 암부의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부를 위치 결정하기 위한 제1 위치 결정 지그에 의해 상기 제2 암부가 위치 결정되는 위치까지 상기 제2 암부를 회동시켰을 때의 상기 제2 인코더의 검지 결과와, 상기 제1 정지 위치에 상기 제2 암부가 정지해 있을 때의 상기 제2 인코더의 값에 기초하여 상기 제1 기준 위치를 특정하는 제1 기준 위치 특정 공정과,
상기 제1 기준 위치 특정 공정 후, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부가 배치되어 있는 상태에서, 상기 제2 기준 위치에서 상기 핸드 기부가 정지하도록 상기 제3 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제3 원점 센서의 검지 결과와 상기 제3 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 핸드 기부를 정지시켰을 때의 상기 핸드 기부의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 상기 제2 기준 위치에 상기 핸드 기부를 위치 결정하기 위한 제2 위치 결정 지그에 의해 상기 핸드 기부가 위치 결정되는 위치까지 상기 핸드 기부를 회동시켰을 때의 상기 제3 인코더의 검지 결과와, 상기 제2 정지 위치에 상기 핸드 기부가 정지해 있을 때의 상기 제3 인코더의 값에 기초하여 상기 제2 기준 위치를 특정하는 제2 기준 위치 특정 공정과,
상기 제2 기준 위치 특정 공정 후, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부가 배치되고, 또한, 상기 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제2 기준 위치에 상기 핸드 기부가 배치되어 있는 상태에서, 상기 제3 기준 위치에 상기 핸드 포크를 위치 결정하기 위한 제3 위치 결정 지그에 의해 상기 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정과,
상기 핸드 포크 위치 결정 공정 후에, 상기 핸드 포크에 검지용 패널을 탑재하는 패널 탑재 공정과,
상기 핸드 포크 위치 결정 공정 후 또는 상기 패널 탑재 공정 후에, 상기 제4 기준 위치에서 상기 제1 암부가 정지하도록 상기 제1 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제1 원점 센서의 검지 결과와 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 제1 암부를 정지시켰을 때의 상기 제1 암부의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 상기 제1 모터를 구동 제어하고, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치를 기준으로 하여 상기 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 상기 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제2 기준 위치를 기준으로 하여 상기 제3 모터를 구동 제어하여, 상기 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과,
상기 로봇 동작 공정 후에, 상기 산업용 로봇을 동작시켜서 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과,
상기 핸드 이동 공정 후에, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지의, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 상기 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.It is a method of calculating a correction value for an industrial robot that calculates a correction value for correcting the motion of an industrial robot.
The industrial robot includes an arm having a body part, a first arm part rotatably connected to the base end side to the main body part, and a second arm part rotatably connected to the proximal end side of the first arm part, and the A hand having a hand base rotatably connected to the distal end side of the second arm and a hand fork extending in a horizontal direction from the hand base and on which an object to be conveyed is mounted, and rotating the first arm with respect to the main body A first motor for rotating, a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, and the rotation of the first motor A first encoder for detecting the total amount, a second encoder for detecting a rotation amount of the second motor, a third encoder for detecting a rotation amount of the third motor, and the first encoder for the main body A first origin sensor for detecting the origin position of the first arm in the rotation direction of the arm, and detecting the origin position of the second arm in the rotation direction of the second arm with respect to the first arm. And a third origin sensor for detecting an origin position of the hand base in a rotation direction of the hand base with respect to the second arm,
The hand in the rotation direction of the base of the hand with respect to the second arm with a predetermined reference position of the second arm in the rotation direction of the second arm with respect to the first arm A predetermined reference position of the base is set as a second reference position, and a predetermined reference position of the hand fork in a direction orthogonal to the long side direction of the hand fork with respect to the hand base is set to a third reference position, and the When the predetermined reference position of the first arm in the rotation direction of the first arm with respect to the main body is a fourth reference position,
The method of calculating the correction value of the industrial robot,
Stop the second arm based on the detection result of the second origin sensor or the detection result of the second origin sensor and the detection result of the second encoder so that the second arm part stops at the first reference position From the first stop position, which is the stop position of the second arm part when it is set, to the position where the second arm part is positioned by a first positioning jig for positioning the second arm part at the first reference position. The first reference position is specified based on the detection result of the second encoder when the second arm is rotated and the value of the second encoder when the second arm is stopped at the first stop position. The first reference position specifying process,
After the first reference position specifying process, in a state in which the second arm part is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, the hand base is stopped at the second reference position. 3 From a second stop position that is a stop position of the hand base when the hand base is stopped based on the detection result of the origin sensor or based on the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder, A detection result of the third encoder when the hand base is rotated to a position at which the hand base is positioned by a second positioning jig for positioning the hand base at the second reference position, and the second A second reference position specifying step of specifying the second reference position based on the value of the third encoder when the hand base is stopped at the stop position,
After the second reference position specifying process, the second arm is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the second reference position specified in the second reference position specifying process A hand fork positioning step of positioning the hand fork by a third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position in a state in which the hand base is disposed;
A panel mounting step of mounting a detection panel on the hand fork after the hand fork positioning step,
After the hand fork positioning process or after the panel mounting process, based on the detection result of the first origin sensor or the detection result of the first origin sensor so that the first arm part stops at the fourth reference position 1 Based on the detection result of the encoder, the first motor is driven and controlled based on the third stop position, which is the stop position of the first arm when the first arm is stopped, and in the first reference position specifying process In addition to driving and controlling the second motor based on the specified first reference position, driving and controlling the third motor based on the second reference position specified in the second reference position specifying process, A robot operation process of putting the industrial robot into a provisional reference posture,
After the robot operation process, a hand movement process of moving the hand fork to a delivery position of the transport object by operating the industrial robot; and
After the hand movement process, the first motor is controlled based on a shift amount of a fifth reference position, which is a predetermined reference position, and an edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm part with respect to the main body part. A method for calculating a correction value for an industrial robot, comprising: a correction value calculation step for calculating a correction value for 제1항에 있어서,
상기 보정값 산출 공정에서는, 상기 제5 기준 위치에 배치되는 1개의 센서에서 상기 검지용 패널의 에지가 검지될 때까지 상기 제1 암부를 회동시켰을 때의 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 보정값을 산출하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculation process, based on the detection result of the first encoder when the first arm is rotated until the edge of the detection panel is detected by one sensor disposed at the fifth reference position. A method of calculating a correction value for an industrial robot, characterized in that calculating a correction value. 제1항에 있어서,
상기 보정값 산출 공정에서는, 1개의 카메라를 사용하여, 상기 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지의, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculation step, a deviation amount of the fifth reference position and the edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm portion with respect to the body portion is obtained using one camera. How to calculate the correction value of the industrial robot. 제1항에 있어서,
상기 보정값 산출 공정에서는, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서 상기 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지가 일치하는 위치에서 상기 검지용 패널을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그에 의해 상기 검지용 패널이 위치 결정되는 위치까지 상기 제1 암부를 회동시켰을 때의 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 보정값을 산출하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculation process, a fourth position for positioning the detection panel at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel coincide in the rotation direction of the first arm with respect to the main body. A method for calculating a correction value for an industrial robot, characterized in that the correction value is calculated based on a detection result of the first encoder when the first arm is rotated to a position at which the detection panel is positioned by a determination jig. . 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 암부가 상기 제1 기준 위치에 있을 때는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부가 상하 방향에서 겹치고,
상기 핸드 기부가 상기 제2 기준 위치에 있을 때는, 상기 제2 암부와 상기 핸드 포크가 상하 방향에서 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to any one of claims 1 to 4,
When the second arm portion is in the first reference position, the first arm portion and the second arm portion overlap in the vertical direction,
When the hand base is in the second reference position, the second arm portion and the hand fork overlap in the vertical direction. 제5항에 있어서,
상기 제1 위치 결정 지그는, 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제1 고정 부재와, 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제1 삽입 구멍과 상기 제1 고정 부재에 형성되는 제1 관통 구멍에 삽입되는 제1 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 5,
The first positioning jig includes a first fixing member fixed to one of the first arm and the second arm, a first insertion hole formed on the other of the first arm and the second arm, and the A method of calculating a correction value for an industrial robot, comprising: a first pin inserted into a first through hole formed in the first fixing member. 제5항에 있어서,
상기 제2 위치 결정 지그는, 상기 제1 암부 및 상기 핸드 기부 중 어느 한쪽에 고정되는 제2 고정 부재와, 상기 제1 암부 및 상기 핸드 기부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제2 삽입 구멍과 상기 제2 고정 부재에 형성되는 제2 관통 구멍에 삽입되는 제2 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 5,
The second positioning jig includes a second fixing member fixed to one of the first arm and the hand base, a second insertion hole formed on the other of the first arm and the hand base, and the second A method of calculating a correction value for an industrial robot, comprising: a second pin inserted into a second through hole formed in the fixing member. 제5항에 있어서,
상기 핸드는, 2개의 상기 핸드 포크를 구비하고,
상기 제3 위치 결정 지그는, 2개의 상기 핸드 포크 및 상기 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제3 고정 부재와, 2개의 상기 핸드 포크 및 상기 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제3 삽입 구멍과 상기 제3 고정 부재에 형성되는 제3 관통 구멍에 삽입되는 제3 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 5,
The hand has two hand forks,
The third positioning jig includes a third fixing member fixed to one of the two hand forks and the second arm portion, and a third insertion hole formed on the other of the two hand forks and the second arm portion And a third pin inserted into a third through hole formed in the third fixing member.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4090444B2 (en) * 2004-03-05 2008-05-28 株式会社Ｔａｉｙｏ Arm check device for robot
JP2014233773A (en) * 2013-05-31 2014-12-15 シンフォニアテクノロジー株式会社 Articulated robot
JP2015032617A (en) * 2013-07-31 2015-02-16 株式会社ダイヘン Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04306705A (en) * 1991-04-03 1992-10-29 Seiko Epson Corp Calibration method
JP2803399B2 (en) * 1991-07-29 1998-09-24 株式会社デンソー Robot home position correction amount detection method and jig
JPH07164362A (en) * 1993-12-09 1995-06-27 Canon Inc Robot device and its origin finding method
JPH09309083A (en) * 1996-05-27 1997-12-02 Kokusai Electric Co Ltd Conveyer
JPH11254359A (en) * 1998-03-12 1999-09-21 Toyota Autom Loom Works Ltd Member conveyance system
JP2003048181A (en) * 2001-08-03 2003-02-18 Denso Corp Articulated robot
JP4182765B2 (en) * 2003-02-07 2008-11-19 株式会社安川電機 Robot automatic teaching apparatus and method
JP2005028529A (en) * 2003-07-08 2005-02-03 Yaskawa Electric Corp Device for positioning industrial robot into its original position
JP4501103B2 (en) * 2003-10-17 2010-07-14 株式会社安川電機 Calibration method for semiconductor wafer transfer robot, semiconductor wafer transfer robot and wafer transfer apparatus provided with the same
US20050137751A1 (en) * 2003-12-05 2005-06-23 Cox Damon K. Auto-diagnostic method and apparatus
JP4766233B2 (en) * 2005-05-10 2011-09-07 株式会社安川電機 Substrate transfer robot
JP4605560B2 (en) * 2005-12-05 2011-01-05 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
US8260461B2 (en) * 2007-08-30 2012-09-04 Applied Materials, Inc. Method and system for robot calibrations with a camera
JP5597536B2 (en) * 2008-08-01 2014-10-01 株式会社アルバック Teaching method for transfer robot
JP5178432B2 (en) * 2008-09-26 2013-04-10 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP5298919B2 (en) * 2009-02-16 2013-09-25 トヨタ自動車株式会社 Robot hand position correction method, robot hand, robot
JP6110636B2 (en) * 2012-08-09 2017-04-05 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
KR101385594B1 (en) * 2012-09-28 2014-04-15 삼성디스플레이 주식회사 Automated transportation system being feasible auto correction and teaching loading, and control method thereof
JP6129058B2 (en) * 2013-11-13 2017-05-17 三菱電機株式会社 Teaching point correction apparatus and teaching point correction method
JP6499826B2 (en) 2014-01-29 2019-04-10 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP5854083B2 (en) * 2014-05-21 2016-02-09 セイコーエプソン株式会社 Position control method, robot

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4090444B2 (en) * 2004-03-05 2008-05-28 株式会社Ｔａｉｙｏ Arm check device for robot
JP2014233773A (en) * 2013-05-31 2014-12-15 シンフォニアテクノロジー株式会社 Articulated robot
JP2015032617A (en) * 2013-07-31 2015-02-16 株式会社ダイヘン Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system

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