KR20190099125A - Method of calculating correcting value of industrial robot - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for calculating a correction value of an industrial robot for calculating a correction value for correcting the operation of the industrial robot.
종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유기 EL(유기 일렉트로루미네선스) 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이고, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.Conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in
암은, 기단부측이 본체부에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와, 핸드 기부에 고정됨과 함께 유리 기판이 탑재되는 핸드 포크를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기부를 회동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.The arm includes a first arm portion whose proximal end is rotatably connected to the main body, and a second arm portion whose proximal end is rotatably connected to the distal end of the first arm. The hand is provided with the hand base which is rotatably connected to the front-end | tip side of a 2nd arm part, and the hand fork to which the glass substrate is mounted while being fixed to the hand base. In addition, the industrial robot described in
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이 등의 제조 시스템에 설치되면, 산업용 로봇의 동작 프로그램을 작성하기 위해서, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 행해지고 있다. 또한, 예를 들어 제조 시스템에 설치되는 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하면, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여, 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계가 어긋난다. 그 때문에, 산업용 로봇이 교환되거나, 산업용 로봇의 모터가 교환되거나 하는 경우에도, 일반적으로, 산업용 로봇의 교시 작업이 다시 행해지고 있다.When the industrial robot of
한편, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 그 때문에, 본원 발명자는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하여, 어긋남을 보정하는 것을 검토하고 있다. 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출할 때는, 보정값을 용이하게 산출할 수 있는 것이 바람직하다.On the other hand, if the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching work before the replacement is corrected, it becomes unnecessary to perform complicated teaching work again. Therefore, the inventor of the present application considers correcting the deviation by calculating a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching operation of the industrial robot before replacement. . When calculating the correction value for correcting a deviation, it is preferable that the correction value can be easily calculated.
그래서, 본 발명의 과제는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법을 제공하는 데 있다.Therefore, the subject of this invention is the industrial robot which can calculate the correction value for correcting the shift | offset | difference of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinate of the teaching position taught in the industrial robot's teaching work before replacement | replacement relatively easily. The present invention provides a method for calculating a correction value.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 산업용 로봇의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법이며, 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와 핸드 기부로부터 수평 방향의 일방향으로 연장됨과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제2 암부에 대하여 핸드 기부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더와, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 제1 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제1 원점 센서와, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제2 원점 센서와, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 원점 위치를 검지하기 위한 제3 원점 센서를 구비하고, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 핸드 기부에 대한 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 제1 암부의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 하면, 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은, 제1 기준 위치에서 제2 암부가 정지하도록 제2 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제2 원점 센서의 검지 결과와 제2 인코더의 검지 결과에 기초하여 제2 암부를 정지시켰을 때의 제2 암부의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 제1 기준 위치에 제2 암부를 위치 결정하기 위한 제1 위치 결정 지그에 의해 제2 암부가 위치 결정되는 위치까지 제2 암부를 회동시켰을 때의 제2 인코더의 검지 결과와, 제1 정지 위치에 제2 암부가 정지해 있을 때의 제2 인코더의 값에 기초하여 제1 기준 위치를 특정하는 제1 기준 위치 특정 공정과, 제1 기준 위치 특정 공정 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부가 배치되어 있는 상태에서, 제2 기준 위치에서 핸드 기부가 정지하도록 제3 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제3 원점 센서의 검지 결과와 제3 인코더의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부를 정지시켰을 때의 핸드 기부의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 제2 기준 위치에 핸드 기부를 위치 결정하기 위한 제2 위치 결정 지그에 의해 핸드 기부가 위치 결정되는 위치까지 핸드 기부를 회동시켰을 때의 제3 인코더의 검지 결과와, 제2 정지 위치에 핸드 기부가 정지해 있을 때의 제3 인코더의 값에 기초하여 제2 기준 위치를 특정하는 제2 기준 위치 특정 공정과, 제2 기준 위치 특정 공정 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부가 배치되어 있는 상태에서, 제3 기준 위치에 핸드 포크를 위치 결정하기 위한 제3 위치 결정 지그에 의해 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정과, 핸드 포크 위치 결정 공정 후에, 핸드 포크에 검지용 패널을 탑재하는 패널 탑재 공정과, 핸드 포크 위치 결정 공정 후 또는 패널 탑재 공정 후에, 제4 기준 위치에서 제1 암부가 정지하도록 제1 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 제1 원점 센서의 검지 결과와 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 제1 암부를 정지시켰을 때의 제1 암부의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 제1 모터를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 제3 모터를 구동 제어하여, 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과, 로봇 동작 공정 후에, 산업용 로봇을 동작시켜서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과, 핸드 이동 공정 후에, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the correction value calculation method of the industrial robot of this invention is a correction value calculation method of the industrial robot which calculates the correction value for correcting the operation | movement of an industrial robot, The industrial robot is a main body part, An arm having a first arm portion whose proximal end is rotatably connected to the main body and a second arm portion whose proximal end is rotatably connected to the distal end side of the first arm, and rotatably connected to the distal end side of the second arm; A hand having a hand fork and a hand fork extending from the hand base in one direction in the horizontal direction and on which a conveying object is mounted; a first motor for rotating the first arm with respect to the main body; and a second arm with respect to the first arm. A second motor for rotating the motor, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, a first encoder for detecting the rotational amount of the first motor, and a rotation of the second motor. A second encoder for detecting the amount, a third encoder for detecting the rotation amount of the third motor, and a first position for detecting the origin position of the first arm in the rotational direction of the first arm with respect to the main body. Of the origin sensor, the second origin sensor for detecting the origin position of the second arm part in the rotation direction of the second arm part relative to the first arm part, and the hand base in the rotation direction of the hand base to the second arm part. A third origin sensor for detecting the origin position, the predetermined reference position of the second arm portion in the rotational direction of the second arm portion relative to the first arm portion as a first reference position, the hand relative to the second arm portion The predetermined reference position of the hand base in the rotational direction of the base is the second reference position, and the predetermined reference position of the hand fork in the direction orthogonal to the long side direction of the hand fork relative to the hand base is the third reference. By location Therefore, when the predetermined reference position of the first arm portion in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion is set as the fourth reference position, the method for calculating the correction value of the industrial robot stops the second arm portion at the first reference position. From the first stop position, which is the stop position of the second arm part when the second arm part is stopped based on the detection result of the second home sensor or based on the detection result of the second home sensor and the detection result of the second encoder, The detection result of the second encoder when the second arm is rotated to the position where the second arm is positioned by the first positioning jig for positioning the second arm at the first reference position, and the first stop position. The first reference position specifying step of specifying the first reference position based on the value of the second encoder when the second arm part is at rest, and the first specified by the first reference position specifying step after the first reference position specifying step. 2nd to 1 reference position With the arm part disposed, the hand base is stopped based on the detection result of the third origin sensor or the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder such that the hand base stops at the second reference position. When the hand base is rotated from the 2nd stop position which is the stop position of the hand base at the time of making it to the position where the hand base is positioned by the 2nd positioning jig for positioning a hand base to a 2nd reference position. After the 2nd reference position specifying process which specifies a 2nd reference position based on the detection result of 3 encoder and the value of the 3rd encoder when the hand base is stopped to a 2nd stop position, and a 2nd reference position specifying process The second arm portion is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the hand base is disposed at the second reference position specified in the second reference position specifying process. In the above state, the hand fork positioning process of positioning the hand fork by the third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position, and after the hand fork positioning process, attach the detecting panel to the hand fork. After the panel mounting process to be mounted and after the hand fork positioning process or after the panel mounting process, the detection result of the first home sensor or the first home sensor based on the detection result of the first home sensor so as to stop at the fourth reference position. Based on the detection result of 1 encoder, the 1st motor is drive-controlled based on the 3rd stop position which is the stop position of a 1st arm part when the 1st arm part is stopped, and the 1st specified in the 1st reference position specification process is carried out. Drive control of the second motor based on the reference position, and drive control of the third motor based on the second reference position specified in the second reference position specifying process. After the robot operation step, and the robot operation step, a hand movement step of operating the industrial robot to move the hand fork to the delivery position of the object to be conveyed, and a predetermined reference position after the hand movement step, And a correction value calculating step of calculating a correction value for controlling the first motor on the basis of the shift amount in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the fifth reference position and the edge of the detection panel. It features.
본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 제1 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 제2 암부의 기준 위치인 제1 기준 위치를 제1 위치 결정 지그를 사용하여 특정하고, 제2 기준 위치 특정 공정에 있어서, 제2 암부에 대한 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부의 기준 위치인 제2 기준 위치를 제2 위치 결정 지그를 사용하여 특정하고, 핸드 포크 위치 결정 공정에 있어서, 핸드 기부에 대한 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크의 기준 위치인 제3 기준 위치에 제3 위치 결정 지그에 의해 핸드 포크를 위치 결정하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 그 후의 로봇 동작 공정에 있어서, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 제3 모터를 구동 제어하고, 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하고 나서, 핸드 이동 공정에 있어서, 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시키고 있다.In the correction value calculation method of the industrial robot of this invention, a 1st reference position which is a reference position which is a reference position of a 2nd arm part in the rotation direction of a 2nd arm part with respect to a 1st arm part in a 1st reference position specification process. In the 2nd reference position specification process, the 2nd reference position which is the reference position of the hand base in the rotation direction of the hand base with respect to a 2nd arm part is specified using a 2nd positioning jig in a 2nd reference position specification process. In the hand fork positioning process, the hand fork is positioned by a third positioning jig at a third reference position which is a reference position of the hand fork in the direction orthogonal to the long side direction of the hand fork relative to the hand base. Doing. In addition, in the present invention, in the subsequent robot operation process, the second motor is controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying step and specified in the second reference position specifying step. After driving control of a 3rd motor based on a 2nd reference position, and making an industrial robot into a temporary reference | standard posture, in a hand movement process, a hand fork is moved to the delivery position of a conveyed object.
또한, 본 발명에서는, 그 후의 보정값 산출 공정에 있어서, 소정의 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다. 즉, 본 발명에서는, 제2 암부, 핸드 기부 및 핸드 포크를 소정의 기준 위치로 맞춘 상태에서 반송 대상물의 전달 위치로 핸드 포크를 이동시킨 후, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다.In the present invention, in the subsequent correction value calculation step, the first motor is based on a predetermined fifth reference position and the amount of shift in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the edge of the detection panel. The correction value for controlling is calculated. That is, in this invention, after moving a hand fork to the delivery position of a conveyed object in the state which set the 2nd arm part, the hand base, and the hand fork to a predetermined reference position, the main body of the 5th reference position and the edge of the detection panel The correction value for controlling a 1st motor is calculated based on the shift amount in the rotation direction of a 1st arm part with respect to a part.
그 때문에, 본 발명에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크가 반송 대상물의 전달 위치로 이동했을 때, 교환 전의 산업용 로봇의 핸드 포크에 탑재된 검지용 패널의 에지가 배치되는 소정의 위치를 제5 기준 위치로 하면, 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, when the hand fork of the industrial robot before the exchange moves to the transfer position of the object to be conveyed, the fifth reference is a predetermined position where the edges of the detection panel mounted on the hand fork of the industrial robot before the exchange are arranged. By setting the position, by calculating a correction value for controlling the first motor, a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching operation before replacement is calculated. It becomes possible.
즉, 본 발명에서는, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.That is, in the present invention, in the teaching operation of the industrial robot before replacement, the correction value is calculated based on the deviation amount in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the fifth reference position and the edge of the detection panel. It is possible to calculate a correction value for correcting the misalignment of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught. Therefore, in the present invention, it is possible to relatively easily calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching operation of the industrial robot before the replacement.
본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 제5 기준 위치에 배치되는 1개의 센서에서 검지용 패널의 에지가 검지될 때까지 제1 암부를 회동시켰을 때의 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 이 경우에는, 비교적 저렴한 센서를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 센서를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In the present invention, in the correction value calculating step, the detection result of the first encoder when the first arm is rotated until, for example, the edge of the detection panel is detected by one sensor arranged at the fifth reference position. The correction value is calculated based on this. In this case, the correction value can be calculated using a relatively inexpensive sensor. Moreover, in this invention, in a correction value calculation process, what is necessary is just to calculate a correction value based on the shift amount in the rotation direction of a 1st arm part with respect to a main body part of a 5th reference position and the edge of a detection panel. It is possible to calculate the correction value using one sensor.
또한, 본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 1개의 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 본 발명에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지의, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 카메라를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In addition, in this invention, in the correction value calculation process, the shift amount in the rotation direction of the 1st arm part with respect to a main body part of the 5th reference position and the edge of a detection panel using one camera, for example. You can also get In the present invention, in the correction value calculating step, the correction value may be calculated on the basis of the shift amount in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the fifth reference position and the edge of the detection panel. It is possible to calculate the correction value using two cameras.
또한, 본 발명에 있어서, 보정값 산출 공정에서는, 예를 들어 본체부에 대한 제1 암부의 회동 방향에 있어서 제5 기준 위치와 검지용 패널의 에지가 일치하는 위치에서 검지용 패널을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부를 회동시켰을 때의 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출해도 된다.In the present invention, in the correction value calculating step, for example, positioning the detecting panel at a position where the fifth reference position and the edge of the detecting panel coincide in the rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion. The correction value may be calculated based on the detection result of the first encoder when the first arm portion is rotated to the position where the detection panel is positioned by the fourth positioning jig.
본 발명에 있어서, 예를 들어 제2 암부가 제1 기준 위치에 있을 때는, 제1 암부와 제2 암부가 상하 방향에서 겹치고, 핸드 기부가 제2 기준 위치에 있을 때는, 제2 암부와 핸드 포크가 상하 방향에서 겹쳐 있다.In the present invention, for example, when the second arm portion is in the first reference position, when the first arm portion and the second arm portion overlap in the vertical direction, and when the hand base is in the second reference position, the second arm portion and the hand fork Overlap in the vertical direction.
본 발명에 있어서, 제1 위치 결정 지그는, 예를 들어 제1 암부 및 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제1 고정 부재와, 제1 암부 및 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제1 삽입 구멍과 제1 고정 부재에 형성되는 제1 관통 구멍에 삽입되는 제1 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 제2 암부를 제1 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the first positioning jig includes, for example, a first fixing member fixed to either one of the first arm portion and the second arm portion, and a first insertion formed on any one of the first arm portion and the second arm portion. A first pin is inserted into the hole and the first through hole formed in the first fixing member. In this case, it becomes possible to position a 2nd arm part in a 1st reference position with a comparatively simple structure.
본 발명에 있어서, 제2 위치 결정 지그는, 예를 들어 제1 암부 및 핸드 기부 중 어느 한쪽에 고정되는 제2 고정 부재와, 제1 암부 및 핸드 기부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제2 삽입 구멍과 제2 고정 부재에 형성되는 제2 관통 구멍에 삽입되는 제2 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 핸드 기부를 제2 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the second positioning jig includes, for example, a second fixing member fixed to either one of the first arm portion and the hand base, and a second insertion hole formed at any one of the first arm portion and the hand base; A second pin is inserted into the second through hole formed in the second fixing member. In this case, it becomes possible to position a hand base in a 2nd reference position with a comparatively simple structure.
본 발명에 있어서, 핸드는, 2개의 핸드 포크를 구비하고, 제3 위치 결정 지그는, 예를 들어 2개의 핸드 포크 및 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제3 고정 부재와, 2개의 핸드 포크 및 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제3 삽입 구멍과 제3 고정 부재에 형성되는 제3 관통 구멍에 삽입되는 제3 핀을 구비하고 있다. 이 경우에는, 비교적 간이한 구성으로, 2개의 핸드 포크를 제3 기준 위치에 위치 결정하는 것이 가능해진다.In the present invention, the hand includes two hand forks, and the third positioning jig includes, for example, a third fixing member fixed to either one of the two hand forks and the second arm portion, and the two hand forks. And a third pin inserted into the third insertion hole formed in the other of the second arm portions and the third through hole formed in the third fixing member. In this case, it becomes possible to position two hand forks in a 3rd reference position with a comparatively simple structure.
이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에서는, 교환 전의 산업용 로봇의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 산업용 로봇의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.As described above, in the method for calculating the correction value of the industrial robot of the present invention, the correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the industrial robot's teaching operation before replacement is relatively easy. It is possible to calculate.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇에 제1 위치 결정 지그, 제2 위치 결정 지그 및 제3 위치 결정 지그가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 5의 (A)는, 도 4의 (B)의 E부의 확대도이고, (B)는, (A)의 F-F 방향으로부터 제1 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는, 도 4의 (B)의 H부의 확대도이고, (B)는, (A)의 J-J 방향으로부터 제2 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (C)는, (A)의 K부의 확대도이다.
도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 L부의 확대도이고, (B)는, 도 4의 (B)의 M부의 확대도이고, (C)는, (B)의 N-N 방향으로부터 제3 위치 결정 지그 등을 나타내는 도면이고, (D)는, (B)의 P부의 확대도이다.
도 8은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 보정값 산출 공정에서의 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure of the industrial robot by which the correction value is calculated by the correction value calculation method of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention, (A) is a top view, (B) is a side view.
FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot shown in FIG. 1 is incorporated in a manufacturing system of an organic EL display.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a view in which the first positioning jig, the second positioning jig, and the third positioning jig are installed in the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a plan view, and (B) is a side view.
FIG. 5A is an enlarged view of an E portion in FIG. 4B, (B) is a diagram illustrating a first positioning jig and the like from the FF direction of (A), and (C) is ( It is an enlarged view of G section of A).
FIG. 6A is an enlarged view of an H portion in FIG. 4B, (B) is a diagram illustrating a second positioning jig and the like from the JJ direction of (A), and (C) is ( It is an enlarged view of K part of A).
FIG. 7A is an enlarged view of the L portion of FIG. 4A, (B) is an enlarged view of the M portion of FIG. 4B, and (C) is the NN direction of (B). It is a figure which shows a 3rd positioning jig | tool, etc., (D) is an enlarged view of the P part of (B).
FIG. 8 is a view for explaining the operation of the industrial robot in the correction value calculating step of calculating the correction value of the industrial robot shown in FIG. 1.
It is a figure for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the correction value calculation process which concerns on other embodiment of this invention.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.
(산업용 로봇의 구성)(Configuration of Industrial Robot)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 보정값 산출 방법에 의해 보정값이 산출되는 산업용 로봇(1)의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 3은, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure of the
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 한다.)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어서 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 한다.)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 챔버(5 내지 7)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 (henceforth "
챔버(5)는, 기판(2)에 대하여 소정의 처리를 행하기 위한 프로세스 챔버이다. 또한, 챔버(6)는, 예를 들어 제조 시스템(3)에 공급되는 기판(2)이 수용되는 공급용의 챔버(로더)이고, 챔버(7)는, 예를 들어 제조 시스템(3)으로부터 배출되는 기판(2)이 수용되는 배출용의 챔버(언로더)이다. 챔버(4 내지 7)의 내부는, 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는, 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는 후술하는 핸드 포크(18, 19)가 챔버(5 내지 7) 내로 들어감으로써, 로봇(1)은, 복수의 챔버(5 내지 7)의 사이에서 기판(2)을 반송한다.The
도 1에 나타내는 바와 같이, 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8)와, 핸드(8)가 선단부측으로 회동 가능하게 연결되는 암(9)과, 암(9)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다. 핸드(8) 및 암(9)은, 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)는, 암(9)을 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다.As shown in FIG. 1, the
상술한 바와 같이, 로봇(1)의 일부는, 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은, 진공 영역(VR) 내에 배치되어 있고, 핸드(8) 및 암(9)은, 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은, 대기 영역(AR) 내(대기 중)에 배치되어 있다.As described above, a part of the
암(9)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(15)와 제2 암부(16)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(9)은, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단부측은, 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(15)의 선단부측에는, 제2 암부(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(16)의 선단부측에는, 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되어 있다.The
제2 암부(16)는, 제1 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(8)는, 제2 암부(16)보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심의 거리는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심과 제2 암부(16)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리와 동등하게 되어 있다.The
핸드(8)는, 제2 암부(16)의 선단부측으로 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부(17)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(8)는, 2개의 핸드 포크(18)와, 2개의 핸드 포크(19)를 구비하고 있다. 핸드 포크(18, 19)는, 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 포크(18)와 핸드 포크(19)는 동일 형상으로 형성되어 있다. 2개의 핸드 포크(18)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(18)는, 핸드 기부(17)로부터 수평 방향의 일방향으로 연장되어 있다. 2개의 핸드 포크(19)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 핸드 포크(19)는, 핸드 기부(17)로부터 핸드 포크(18)와 역방향으로 연장되어 있다.The
핸드 포크(18, 19)는, 핸드 기부(17)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 핸드 포크(18, 19)는, 고정용의 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정되어 있다. 핸드 포크(18, 19)에는, 고정용의 나사가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 삽입 관통 구멍은, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍이고, 핸드 포크(18, 19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18, 19)의 고정 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.The
본 형태에서는, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(18)에 탑재된다. 또한, 1매의 기판(2)이 2개의 핸드 포크(19)에 탑재된다. 핸드 포크(18)의 상면에는, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다. 핸드 포크(19)의 상면에도, 탑재되는 기판(2)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재가 설치되어 있다.In this embodiment, one
또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키기 위한 모터(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키기 위한 모터(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 모터(21)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(24)와, 모터(22)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(25)와, 모터(23)의 회전량을 검지하기 위한 인코더(26)를 구비하고 있다(도 3 참조). The
인코더(24)는, 모터(21)에 설치되어 있다. 인코더(25)는, 모터(22)에 설치되고, 인코더(26)는, 모터(23)에 설치되어 있다. 모터(21) 및 인코더(24)는, 예를 들어 본체부(10)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 모터(22, 23) 및 인코더(25, 26)는, 예를 들어 제1 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(21 내지 23)는, 로봇(1)의 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 인코더(24 내지 26)도, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 형태의 모터(21)는 제1 모터이고, 모터(22)는 제2 모터이고, 모터(23)는 제3 모터이다. 또한, 인코더(24)는 제1 인코더이고, 인코더(25)는 제2 인코더이고, 인코더(26)는 제3 인코더이다.The
또한, 로봇(1)은, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(31)와, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(32)와, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치를 검지하기 위한 원점 센서(33)를 구비하고 있다. 본 형태의 원점 센서(31)는 제1 원점 센서이고, 원점 센서(32)는 제2 원점 센서이고, 원점 센서(33)는 제3 원점 센서이다.The
원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 근접 센서이다. 혹은, 원점 센서(31 내지 33)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서이다. 원점 센서(31 내지 33)는, 제어부(27)에 전기적으로 접속되어 있다. 본체부(10)와 제1 암부(15)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(31)는, 본체부(10) 및 제1 암부(15) 중 어느 한쪽에 고정되고, 본체부(10) 및 제1 암부(15)) 중 어느 다른 쪽에는, 제1 암부(15)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(31)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.The
마찬가지로, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(32)는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16) 중 어느 다른 쪽에는, 제2 암부(16)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(32)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다. 또한, 제2 암부(16)와 핸드 기부(17)의 연결부인 관절부에 있어서, 원점 센서(33)는, 제2 암부(16) 및 핸드 기부(17) 중 어느 한쪽에 고정되고, 제2 암부(16) 및 핸드 기부(17) 중 어느 다른 쪽에는, 핸드 기부(17)가 원점 위치에 있을 때 원점 센서(33)에 검지되는 검지 부재가 고정되어 있다.Similarly, in the joint part which is the connection part of the
(산업용 로봇의 보정값의 산출 방법)(Calculation method of correction value of industrial robot)
도 4는, 도 1에 나타내는 로봇(1)에 위치 결정 지그(36 내지 38)가 설치된 상태의 도면이고, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (B)의 E부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 5의 (A)의 F-F 방향으로부터 위치 결정 지그(36) 등을 나타내는 도면이고, 도 5의 (C)는, 도 5의 (A)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (B)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 6의 (A)의 J-J 방향으로부터 위치 결정 지그(37) 등을 나타내는 도면이고, 도 6의 (C)는, 도 6의 (A)의 K부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 L부의 확대도이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (B)의 M부의 확대도이고, 도 7의 (C)는, 도 7의 (B)의 N-N 방향으로부터 위치 결정 지그(38) 등을 나타내는 도면이고, 도 7의 (D)는, 도 7의 (B)의 P부의 확대도이다. 도 8은, 도 1에 나타내는 로봇(1)의 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정에서의 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a view in which the positioning jigs 36 to 38 are installed in the
로봇(1)이 제조 시스템(3)에 설치되면, 로봇(1)의 동작 프로그램을 제작하기 위해서, 로봇(1)의 교시 작업이 행해진다. 또한, 예를 들어 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대하여 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계가 어긋나기 때문에, 로봇(1)의 교시 작업을 다시 행할 필요가 발생한다.When the
한편, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하면, 번잡한 교시 작업을 다시 행할 필요가 없어진다. 본 형태에서는, 로봇(1)을 교환한 후에 번잡한 교시 작업을 다시 행하지 않아도 되게, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 즉, 교환 후의 로봇(1)의 동작을 보정하기 위한 보정값을 산출한다. 이하, 이 보정값의 산출 방법을 설명한다.On the other hand, if the misalignment of the robot coordinate system of the
이하의 설명에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 한다.In the following description, the predetermined reference position of the
본 형태에서는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향에서부터 보았을 때 제1 암부(15)의 긴 변 방향과 제2 암부(16)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치와 제1 기준 위치가 일치되어 있다.In this embodiment, when the
또한, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 구체적으로는, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 있을 때는, 상하 방향에서부터 보았을 때 제2 암부(16)의 긴 변 방향과 핸드 포크(18)의 긴 변 방향이 일치하도록, 제2 암부(16)와 핸드 포크(18)가 상하 방향에서 겹쳐 있다. 또한, 본 형태에서는, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치로부터 핸드 기부(17)가 90° 회동한 위치가 제2 기준 위치로 되어 있다.In addition, when the
또한, 제4 기준 위치는, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 일치되어 있어도 되고, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있어도 된다.In addition, the 4th reference position may correspond with the origin position of the
또한, 본 형태에서는, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(36)와, 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(37)와, 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 지그(38)가 사용된다. 본 형태의 위치 결정 지그(36)는 제1 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(37)는 제2 위치 결정 지그이고, 위치 결정 지그(38)는 제3 위치 결정 지그이다. 또한, 위치 결정 지그(38)는, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 소정의 기준 위치에 핸드 포크(19)를 위치 결정할 때도 사용된다.Moreover, in this form, the
도 5에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(36)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(41)와, 핀(42)을 구비하고 있다. 고정 부재(41)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(41)에는, 핀(42)이 삽입되는 관통 구멍(41a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 선단의 측면에는, 핀(42)이 삽입되는 삽입 구멍(16a)이 형성되어 있다. 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 삽입되면, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(41)는 제1 고정 부재이고, 핀(42)은 제1 핀이고, 삽입 구멍(16a)은 제1 삽입 구멍이고, 관통 구멍(41a)은 제1 관통 구멍이다.As shown in FIG. 5, the
도 6에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(37)는, 제1 암부(15)에 고정되는 고정 부재(43, 44)와, 핀(45)을 구비하고 있다. 고정 부재(43)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(44)는, 고정 부재(43)의 측면에 고정되어 있다. 고정 부재(43)에는, 고정 부재(41)와의 간섭을 방지하기 위한 홈부가 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 저면에는, 고정 부재(43)에 대한 고정 부재(44)의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 나사(46)의 선단면이 접촉하고 있다. 나사(46)는, 고정 부재(43)의 하단부면에 고정되는 나사 보유 지지 부재(47)에 나사 결합하고 있다.As shown in FIG. 6, the
고정 부재(44)에는, 핀(45)이 삽입되는 관통 구멍(44a)이 형성되어 있다. 또한, 핸드 기부(17)의 측면에는, 핀(45)이 삽입되는 삽입 구멍(17a)이 형성되어 있다. 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 삽입되면, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(43, 44)는 제2 고정 부재이고, 핀(45)은 제2 핀이고, 삽입 구멍(17a)은 제2 삽입 구멍이고, 관통 구멍(44a)은 제2 관통 구멍이다.In the fixing
도 7에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 지그(38)는, 2개의 핸드 포크(18)에 고정되는 고정 부재(48, 49)와, 핀(50)을 구비하고 있다. 고정 부재(48)는, 2개의 핸드 포크(18)의 상면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)는, 고정 부재(48)의 하면에 고정되어 있다. 고정 부재(49)에는, 핀(50)이 삽입되는 관통 구멍(49a)이 형성되어 있다. 또한, 제2 암부(16)의 기단부의 측면에는, 핀(50)이 삽입되는 삽입 구멍(16b)이 형성되어 있다. 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 삽입되면, 2개의 핸드 포크(18)가 제3 기준 위치에 엄밀하게 위치 결정된다. 본 형태의 고정 부재(48, 49)는 제3 고정 부재이고, 핀(50)은 제3 핀이고, 삽입 구멍(16b)은 제3 삽입 구멍이고, 관통 구멍(49a)은 제3 관통 구멍이다.As shown in FIG. 7, the
예를 들어, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 먼저, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 제1 기준 위치(원점 위치)로 회동시킨다. 즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.For example, when the
또한, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 제2 기준 위치(원점 위치로부터 90° 회동한 위치)로 회동시킨다. 예를 들어, 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 원점 위치로 회동시킨 후, 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 원점 위치로부터 제2 기준 위치로 회동시킨다. 즉, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 정지시킨다.Moreover, the
그 후, 고정 부재(41, 43, 44)를 제1 암부(15)에 고정하고, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(18)에 고정한다. 또한, 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제1 기준 위치에 회동한 제2 암부(16)는, 엄밀하게는 제1 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 마찬가지로, 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 제2 기준 위치에 회동한 핸드 기부(17)는, 엄밀하게는 제2 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다.Thereafter, the fixing
그 후, 고정 부재(41)의 관통 구멍(41a)에 삽입된 핀(42)이 삽입 구멍(16a)에 끼워지는 위치까지 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 삽입 구멍(16a)에 핀(42)을 삽입하고, 제1 기준 위치에 제2 암부(16)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(22)의 회동량을 인코더(25)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(25)에서의 검지 결과를 사용하여 제2 암부(16)의 제1 기준 위치를 특정한다.After that, the
즉, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 정지시켰을 때의 제2 암부(16)의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(36)에 의해 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 위치 결정되는 위치까지 제2 암부(16)를 회동시켰을 때의 인코더(25)의 검지 결과와, 제1 정지 위치에 제2 암부(16)가 정지해 있을 때의 인코더(25)의 값에 기초하여 제1 기준 위치를 특정한다(제1 기준 위치 특정 공정).That is, the 1st which is the stop position of the
그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(44)의 관통 구멍(44a)에 삽입된 핀(45)이 삽입 구멍(17a)에 끼워지는 위치까지 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 삽입 구멍(17a)에 핀(45)을 삽입하고, 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)를 엄밀하게 위치 결정한다. 또한, 그때의 모터(23)의 회동량을 인코더(26)에서 검지하고, 제어부(27)는, 인코더(26)에서의 검지 결과를 사용하여 핸드 기부(17)의 제2 기준 위치를 특정한다.Thereafter, the
즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되어 있는 상태에서, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과와 인코더(26)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 정지시켰을 때의 핸드 기부(17)의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 위치 결정 지그(37)에 의해 핸드 기부(17)가 위치 결정되는 위치까지 핸드 기부(17)를 회동시켰을 때의 인코더(26)의 검지 결과와, 제2 정지 위치에 핸드 기부(17)가 정지해 있을 때의 인코더(26)의 값에 기초하여 제2 기준 위치를 특정한다(제2 기준 위치 특정 공정).That is, in the state where the
그 후, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(18)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 제3 기준 위치에 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다.Thereafter, the
즉, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치에 제2 암부(16)가 배치되고, 또한, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치에 핸드 기부(17)가 배치되어 있는 상태에서, 위치 결정 지그(38)에 의해 2개의 핸드 포크(18)를 위치 결정한다(핸드 포크 위치 결정 공정). 위치 결정된 핸드 포크(18)는, 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정된다.That is, the
그 후, 적어도 위치 결정 지그(37, 38)를 분리함과 함께, 제2 암부(16)에 대하여 핸드 기부(17)를 180° 회동시킨다. 이 상태에서, 고정 부재(48, 49)를 2개의 핸드 포크(19)에 고정한다. 또한, 고정 부재(49)의 관통 구멍(49a)에 삽입된 핀(50)이 삽입 구멍(16b)에 끼워지는 위치까지, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 핸드 기부(17)에 대하여 2개의 핸드 포크(19)를 이동시켜서 삽입 구멍(16b)에 핀(50)을 삽입하고, 소정의 기준 위치에 2개의 핸드 포크(19)를 위치 결정한다. 위치 결정된 핸드 포크(19)는, 나사에 의해 핸드 기부(17)에 고정된다.Thereafter, at least the positioning jigs 37 and 38 are separated, and the
그 후, 2개의 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)(도 8 참조)을 탑재한다(패널 탑재 공정). 검지용 패널(52)은, 후술하는 보정값 산출 공정에 있어서 보정값을 산출할 때 사용되는 패널이고, 예를 들어 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 검지용 패널(52)은, 핸드 포크(18)의 상면에 설치된 위치 결정 부재에 의해 위치 결정된 상태에서, 2개의 핸드 포크(18)에 탑재되어 있다.Thereafter, the detection panel 52 (see FIG. 8) is mounted on the two hand forks 18 (panel mounting step). The
그 후, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 또는 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 정지시켰을 때의 제1 암부(15)의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 잠정 기준 자세로 한다(로봇 동작 공정).Thereafter, the
즉, 제3 정지 위치를 기준으로 하여 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 가상의 동작 개시 위치까지 동작시킨다. 본 형태에서는, 예를 들어 제1 암부(15))이 제3 정지 위치에 정지하고, 제2 암부(16)가 제1 기준 위치에 정지하고, 핸드 기부(17)가 제2 기준 위치로부터 90° 회동한 위치에 정지해 있는 상태가 로봇(1)의 가상의 동작 개시 위치로 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 일치되어 있다. 단, 로봇(1)의 동작 개시 위치와 로봇(1)의 홈 포지션이 어긋나 있어도 된다.That is, driving control of the
또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치와 제4 기준 위치가 일치되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록 원점 센서(31)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 제1 암부(15)의 원점 위치로부터 제1 암부(15)가 소정 각도 회동한 위치가 제4 기준 위치로 되어 있는 경우에는, 로봇 동작 공정에 있어서, 제4 기준 위치에서 제1 암부(15)가 정지하도록, 원점 센서(31)의 검지 결과와 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제1 암부(15)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 제3 정지 위치는, 엄밀하게는 제4 기준 위치로부터 약간 어긋나 있다. 또한, 로봇 동작 공정 전까지, 위치 결정 지그(36, 38)는 분리되어 있다.In addition, when the origin position of the
그 후, 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다(핸드 이동 공정). 예를 들어, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 구체적으로는, 암(9)을 연장시키고, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨다. 그 후, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출한다(보정값 산출 공정).Thereafter, the
구체적으로는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 검지용 패널(52)의 에지가 배치되는 위치가 제5 기준 위치로 되어 있다. 또한, 제5 기준 위치에는, 1개의 센서(53)가 배치되어 있다. 센서(53)는, 예를 들어 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식 센서 또는, 근접 센서이다. 센서(53)는, 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다.Specifically, when the
보정값 산출 공정에서는, 센서(53)에서 검지용 패널(52)의 에지가 검지될 때까지(즉, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치할 때까지) 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 제어부(27)가 보정값을 산출한다.In the correction value calculating step, the fifth reference position in the rotational direction of the
예를 들어, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 제5 기준 위치에 배치되는 센서(53)와 검지용 패널(52)의 에지가, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 어긋나 있는 경우에는, 보정값 산출 공정에 있어서, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 센서(53)에서 검지용 패널(52)의 에지가 검지될 때까지 제1 암부(15)를 회동시킨다. 또한, 그때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 또한, 검지용 패널(52)의 에지는, 센서(53)의 온/오프가 전환될 때 센서(53)에서 검지된다.For example, as shown to FIG. 8A, when the
그 후, 보정값 산출 공정에서 산출된 보정값을 반영시켜서 모터(21)를 구동 제어하고, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 정규의 동작 개시 위치로 복귀시킨다.Thereafter, driving control of the
또한, 본 형태에서는, 그 후, 핸드 기부(17)를 180° 회동시킴과 함께 2개의 핸드 포크(19)에 검지용 패널(52)을 바꿔 싣고 나서, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(19)를 이동시킨다. 이때, 핸드 포크(19)에 탑재된 검지용 패널(52)의 에지가 센서(53)에서 검지되지 않는 경우에는, 핸드 포크(19)에 탑재된 검지용 패널(52)의 에지가 센서(53)에서 검지되도록, 위치 결정 지그(38)를 사용하여, 핸드 포크(19)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(19)의 고정 위치를 조정한다.In addition, in this embodiment, after rotating the
(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제1 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(36)를 사용하여, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 기준 위치인 제1 기준 위치를 특정하고, 제2 기준 위치 특정 공정에 있어서 위치 결정 지그(37)를 사용하여, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 기준 위치인 제2 기준 위치를 특정하여, 핸드 포크 위치 결정 공정에 있어서 위치 결정 지그(38)에 의해, 핸드 기부(17)에 대한 핸드 포크(18)의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드 포크(18)의 기준 위치인 제3 기준 위치에 핸드 포크(18)를 위치 결정하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 그 후의 로봇 동작 공정에 있어서, 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제1 기준 위치를 기준으로 하여 모터(22)를 구동 제어함과 함께, 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 제2 기준 위치를 기준으로 하여 모터(23)를 구동 제어하여, 로봇(1)을 잠정 기준 자세로 하고 나서, 핸드 이동 공정에 있어서, 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시키고 있다.As described above, in the present embodiment, the second arm portion in the rotational direction of the
또한, 본 형태에서는, 그 후의 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다. 즉, 본 형태에서는, 제2 암부(16), 핸드 기부(17) 및 핸드 포크(18)를 소정의 기준 위치로 맞춘 상태에서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시킨 후, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출하고 있다.In addition, in this form, in the subsequent correction value calculation process, the shift | offset | difference in the rotation direction of the
또한, 본 형태에서는, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 검지용 패널(52)의 에지가 배치되는 위치가 제5 기준 위치로 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 모터(21)를 제어하기 위한 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.In addition, in this embodiment, when the
즉, 본 형태에서는, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출함으로써, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 교환 전의 로봇(1)의 교시 작업에서 교시되었던 교시 위치의 좌표에 대한 교환 후의 로봇(1)의 로봇 좌표계의 어긋남을 보정하기 위한 보정값을 비교적 용이하게 산출하는 것이 가능해진다.In other words, in this embodiment, the correction value is calculated based on the amount of deviation in the rotational direction of the
또한, 본 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 광학식 센서 또는 근접 센서인 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해지기 때문에, 비교적 저렴한 센서(53)를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다.Moreover, in this form, in the correction value calculation process, in the shift amount in the rotation direction of the
(보정값 산출 공정의 변형예 1)(
상술한 형태에 있어서, 센서(53) 대신에 1개의 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 챔버(6)의 내부의 제5 기준 위치에 대응하는 개소에 소정의 마킹이 형성되어 있고, 카메라로 촬영된 마킹의 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구함으로써, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한다. 또한, 예를 들어 제5 기준 위치의 좌표가 제어부(27)에 미리 기억되어 있어, 카메라로 촬영된 검지용 패널(52)의 에지 좌표와 제5 기준 위치의 좌표에 기초하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한다.In the above-described aspect, the rotation direction of the
이 경우에는, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구하는 것이 가능해진다. 또한, 이 경우에는, 예를 들어 카메라를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구한 후, 구한 어긋남양만큼, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다.In this case, even if the
또한, 이 경우라도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 보정값을 산출하면 되기 때문에, 1개의 카메라를 사용하여 보정값을 산출하는 것이 가능해진다. 또한, 카메라 대신에 광학식의 라인 센서를 사용하여, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구해도 된다. 이 경우라도, 본체부(10)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키지 않아도, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지의 어긋남양을 구하는 것이 가능해진다.Moreover, even in this case, if a correction value is calculated based on the shift amount in the rotation direction of the
(보정값 산출 공정의 변형예 2)(
도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 보정값 산출 공정에서의 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining the operation of the
상술한 형태에서는, 보정값 산출 공정에 있어서, 센서(53)를 사용하여, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향으로 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시키고 있지만, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치에서 검지용 패널(52)(핸드 포크(18)에 탑재된 검지용 패널(52))을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그를 사용하여, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향으로 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시켜도 된다.In the above-mentioned form, in the correction value calculation process, the 5th reference position and the edge of the
이 경우, 제4 위치 결정 지그는, 예를 들어 핀(55)과, 핀(55)이 삽입되는 삽입 구멍(56a)이 형성되는 핀 보유 지지 부재(56)를 구비하고 있다. 핀 보유 지지 부재(56)는, 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다. 검지용 패널(52)에는, 핀(55)이 삽입되는 관통 구멍(52a)이 형성되어 있다. 검지용 패널(52)의 관통 구멍(52a)에 삽입된 핀(55)이 핀 보유 지지 부재(56)의 삽입 구멍(56a)에 삽입되면, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서, 제5 기준 위치와 검지용 패널(52)의 에지가 일치하는 위치에서, 핸드 포크(18)에 탑재된 검지용 패널(52)이 위치 결정된다.In this case, the 4th positioning jig is equipped with the
이 경우의 보정값 산출 공정에서는, 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널(52)이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시켰을 때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 예를 들어, 도 9의 (A)에 나타내는 바와 같이, 챔버(6) 내의 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 핀 보유 지지 부재(56)의 삽입 구멍(56a)과 검지용 패널(52)의 관통 구멍(52a)이, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서 어긋나 있는 경우에는, 보정값 산출 공정에 있어서, 도 9의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제4 위치 결정 지그에 의해 검지용 패널(52)이 위치 결정되는 위치까지 제1 암부(15)를 회동시킨다. 또한, 그때의 인코더(24)의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다.In the correction value calculation step in this case, the correction is performed based on the detection result of the
(다른 실시 형태)(Other embodiment)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, A various deformation | transformation is possible in the range which does not change the summary of this invention.
상술한 형태에 있어서, 핸드 포크(18)에 검지용 패널(52)이 탑재된 교환 전의 로봇(1)을 동작시켜서 기판(2)의 전달 위치로 핸드 포크(18)를 이동시켰을 때, 본체부(10)에 대한 제1 암부(15)의 회동 방향에 있어서의 검지용 패널(52)의 한쪽 에지가 배치되는 위치와, 검지용 패널(52)의 다른 쪽 에지가 배치되는 위치의 2군데가 제5 기준 위치로 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 2군데의 제5 기준 위치의 각각에 센서(53)가 배치되어 있다.In the above-mentioned aspect, when the
상술한 형태에 있어서, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 방향에 있어서의 제2 암부(16)의 원점 위치로부터 제2 암부(16)가 소정 각도 회동한 위치가 제1 기준 위치로 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제1 기준 위치에서 제2 암부(16)가 정지하도록 원점 센서(32)의 검지 결과와 인코더(25)의 검지 결과에 기초하여 제2 암부(16)를 회동시켜서 정지시킨다.In the above-mentioned form, the position where the
또한, 상술한 형태에 있어서, 제2 암부(16)에 대한 핸드 기부(17)의 회동 방향에 있어서의 핸드 기부(17)의 원점 위치와 제2 기준 위치가 일치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제조 시스템(3)에 설치되는 로봇(1)이 교환되면, 제2 기준 위치에서 핸드 기부(17)가 정지하도록 원점 센서(33)의 검지 결과에 기초하여 핸드 기부(17)를 회동시켜서 정지시킨다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇 동작 공정 후에 패널 탑재 공정이 행해져도 된다.Moreover, in the form mentioned above, the origin position of the
상술한 형태에서는, 제조 시스템(3)에 설치된 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행하고 있지만, 제조 시스템(3)에 설치되기 전의 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다. 예를 들어, 로봇(1)의 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정과 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.In the above-mentioned aspect, although the 1st reference position specification process, the 2nd reference position specification process, and the hand fork positioning process are performed with respect to the
또한, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송할 때, 길이가 긴 핸드 포크(18, 19)가 반송의 지장이 되지 않도록, 핸드 포크(18, 19)를 분리한 상태에서, 조립 공장으로부터 제조 시스템(3)까지 로봇(1)을 반송하는 경우에는, 조립 공장에 있어서, 로봇(1)에 대하여, 제1 기준 위치 특정 공정과 제2 기준 위치 특정 공정을 행하고, 제조 시스템(3)에 설치된 후의 로봇(1)에 대하여 핸드 포크 위치 결정 공정을 행해도 된다.Moreover, when conveying the
상술한 형태에 있어서, 고정 부재(41)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(42)이 삽입되는 제1 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(44)는, 핸드 기부(17)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 암부(15)의 기단부의 측면에, 핀(45)이 삽입되는 제2 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(48, 49)는, 제2 암부(16)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 2개의 핸드 포크(18)에, 핀(50)이 삽입되는 제3 삽입 구멍으로서의 삽입 구멍이 형성되어 있다.In the above-described form, the fixing
상술한 형태에 있어서, 핸드(8)는, 핸드 포크(19)를 구비하지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용의 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등 이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기압으로 되어 있는 공간 내에 배치되어 있어도 된다.In the form mentioned above, the
1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(반송 대상물)
8: 핸드
9: 암
10: 본체부
15: 제1 암부
16: 제2 암부
16a: 삽입 구멍(제1 삽입 구멍)
16b: 삽입 구멍(제3 삽입 구멍)
17: 핸드 기부
17a: 삽입 구멍(제2 삽입 구멍)
18: 핸드 포크
21: 모터(제1 모터)
22: 모터(제2 모터)
23: 모터(제3 모터)
24: 인코더(제1 인코더)
25: 인코더(제2 인코더)
26: 인코더(제3 인코더)
31: 원점 센서(제1 원점 센서)
32: 원점 센서(제2 원점 센서)
33: 원점 센서(제3 원점 센서)
36: 위치 결정 지그(제1 위치 결정 지그)
37: 위치 결정 지그(제2 위치 결정 지그)
38: 위치 결정 지그(제3 위치 결정 지그)
41: 고정 부재(제1 고정 부재)
41a: 관통 구멍(제1 관통 구멍)
42: 핀(제1 핀)
43, 44: 고정 부재(제2 고정 부재)
44a: 관통 구멍(제2 관통 구멍)
45: 핀(제2 핀)
48, 49: 고정 부재(제3 고정 부재)
49a: 관통 구멍(제3 관통 구멍)
50: 핀(제3 핀)
52: 검지용 패널
53: 센서
55: 핀(제4 위치 결정 지그의 일부)
56: 핀 보유 지지 부재(제4 위치 결정 지그의 일부)1: Robot (Industrial Robot)
2: substrate (return object)
8: hand
9: cancer
10: main body
15: first dark
16: second arm
16a: insertion hole (first insertion hole)
16b: insertion hole (third insertion hole)
17: Hand Donation
17a: insertion hole (second insertion hole)
18: hand fork
21: motor (first motor)
22: motor (second motor)
23: motor (third motor)
24: encoder (first encoder)
25: encoder (second encoder)
26: encoder (third encoder)
31: origin sensor (first origin sensor)
32: home sensor (second home sensor)
33: home sensor (third home sensor)
36: positioning jig (first positioning jig)
37: positioning jig (second positioning jig)
38: positioning jig (third positioning jig)
41: fixing member (first fixing member)
41a: through hole (first through hole)
42: pin (first pin)
43, 44: fixing member (second fixing member)
44a: through hole (second through hole)
45: pin (second pin)
48, 49: fixing member (third fixing member)
49a: through hole (third through hole)
50: pin (third pin)
52: detection panel
53: sensor
55: pin (part of fourth positioning jig)
56: pin holding member (part of fourth positioning jig)
Claims (8)
상기 산업용 로봇은, 본체부와, 상기 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 상기 제1 암부의 선단부측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 갖는 암과, 상기 제2 암부의 선단부측에 회동 가능하게 연결되는 핸드 기부와 상기 핸드 기부로부터 수평 방향의 일방향으로 연장됨과 함께 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크를 갖는 핸드와, 상기 본체부에 대하여 상기 제1 암부를 회동시키기 위한 제1 모터와, 상기 제1 암부에 대하여 상기 제2 암부를 회동시키기 위한 제2 모터와, 상기 제2 암부에 대하여 상기 핸드 기부를 회동시키기 위한 제3 모터와, 상기 제1 모터의 회전량을 검지하기 위한 제1 인코더와, 상기 제2 모터의 회전량을 검지하기 위한 제2 인코더와, 상기 제3 모터의 회전량을 검지하기 위한 제3 인코더와, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제1 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제1 원점 센서와, 상기 제1 암부에 대한 상기 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제2 암부의 원점 위치를 검지하기 위한 제2 원점 센서와, 상기 제2 암부에 대한 상기 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 상기 핸드 기부의 원점 위치를 검지하기 위한 제3 원점 센서를 구비하고,
상기 제1 암부에 대한 상기 제2 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제2 암부의 소정의 기준 위치를 제1 기준 위치로 하고, 상기 제2 암부에 대한 상기 핸드 기부의 회동 방향에 있어서의 상기 핸드 기부의 소정의 기준 위치를 제2 기준 위치로 하고, 상기 핸드 기부에 대한 상기 핸드 포크의 긴 변 방향에 직교하는 방향에 있어서의 상기 핸드 포크의 소정의 기준 위치를 제3 기준 위치로 하고, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 상기 제1 암부의 소정의 기준 위치를 제4 기준 위치로 하면,
상기 산업용 로봇의 보정값 산출 방법은,
상기 제1 기준 위치에서 상기 제2 암부가 정지하도록 상기 제2 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제2 원점 센서의 검지 결과와 상기 제2 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 제2 암부를 정지시켰을 때의 상기 제2 암부의 정지 위치인 제1 정지 위치로부터, 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부를 위치 결정하기 위한 제1 위치 결정 지그에 의해 상기 제2 암부가 위치 결정되는 위치까지 상기 제2 암부를 회동시켰을 때의 상기 제2 인코더의 검지 결과와, 상기 제1 정지 위치에 상기 제2 암부가 정지해 있을 때의 상기 제2 인코더의 값에 기초하여 상기 제1 기준 위치를 특정하는 제1 기준 위치 특정 공정과,
상기 제1 기준 위치 특정 공정 후, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부가 배치되어 있는 상태에서, 상기 제2 기준 위치에서 상기 핸드 기부가 정지하도록 상기 제3 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제3 원점 센서의 검지 결과와 상기 제3 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 핸드 기부를 정지시켰을 때의 상기 핸드 기부의 정지 위치인 제2 정지 위치로부터, 상기 제2 기준 위치에 상기 핸드 기부를 위치 결정하기 위한 제2 위치 결정 지그에 의해 상기 핸드 기부가 위치 결정되는 위치까지 상기 핸드 기부를 회동시켰을 때의 상기 제3 인코더의 검지 결과와, 상기 제2 정지 위치에 상기 핸드 기부가 정지해 있을 때의 상기 제3 인코더의 값에 기초하여 상기 제2 기준 위치를 특정하는 제2 기준 위치 특정 공정과,
상기 제2 기준 위치 특정 공정 후, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치에 상기 제2 암부가 배치되고, 또한, 상기 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제2 기준 위치에 상기 핸드 기부가 배치되어 있는 상태에서, 상기 제3 기준 위치에 상기 핸드 포크를 위치 결정하기 위한 제3 위치 결정 지그에 의해 상기 핸드 포크를 위치 결정하는 핸드 포크 위치 결정 공정과,
상기 핸드 포크 위치 결정 공정 후에, 상기 핸드 포크에 검지용 패널을 탑재하는 패널 탑재 공정과,
상기 핸드 포크 위치 결정 공정 후 또는 상기 패널 탑재 공정 후에, 상기 제4 기준 위치에서 상기 제1 암부가 정지하도록 상기 제1 원점 센서의 검지 결과에 기초하여 또는 상기 제1 원점 센서의 검지 결과와 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 제1 암부를 정지시켰을 때의 상기 제1 암부의 정지 위치인 제3 정지 위치를 기준으로 하여 상기 제1 모터를 구동 제어하고, 상기 제1 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제1 기준 위치를 기준으로 하여 상기 제2 모터를 구동 제어함과 함께, 상기 제2 기준 위치 특정 공정에서 특정된 상기 제2 기준 위치를 기준으로 하여 상기 제3 모터를 구동 제어하여, 상기 산업용 로봇을 잠정 기준 자세로 하는 로봇 동작 공정과,
상기 로봇 동작 공정 후에, 상기 산업용 로봇을 동작시켜서 상기 반송 대상물의 전달 위치로 상기 핸드 포크를 이동시키는 핸드 이동 공정과,
상기 핸드 이동 공정 후에, 소정의 기준 위치인 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지의, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양에 기초하여 상기 제1 모터를 제어하기 위한 보정값을 산출하는 보정값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.It is a method of calculating the correction value of an industrial robot that calculates a correction value for correcting the operation of the industrial robot.
The industrial robot includes an arm having a main body portion, a first arm portion on which a proximal end side is rotatably connected to the main body, and a second arm portion on which a proximal end is rotatably connected to a distal end side of the first arm, A hand having a hand base rotatably connected to the distal end side of the second arm part and a hand fork extending from the hand base in one direction in a horizontal direction and on which a conveying object is mounted; and rotating the first arm part with respect to the main body part. A first motor for rotating the motor, a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm, a third motor for rotating the hand base with respect to the second arm, and a rotation of the first motor. A first encoder for detecting the whole quantity, a second encoder for detecting the rotation amount of the second motor, a third encoder for detecting the rotation amount of the third motor, and the main body portion A first origin sensor for detecting an origin position of the first arm portion in a rotational direction of the first arm portion, and an origin of the second arm portion in a rotational direction of the second arm portion with respect to the first arm portion. A second home sensor for detecting a position, and a third home sensor for detecting the home position of the hand base in the rotational direction of the hand base relative to the second arm,
The hand in the rotational direction of the hand base relative to the second arm, with a predetermined reference position of the second arm in the rotational direction of the second arm relative to the first arm. The predetermined reference position of the base is the second reference position, the predetermined reference position of the hand fork in the direction orthogonal to the long side direction of the hand fork relative to the hand base is the third reference position, When a predetermined reference position of the first arm portion in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion is a fourth reference position,
Method for calculating the correction value of the industrial robot,
Stop the second arm part based on a detection result of the second origin sensor or based on a detection result of the second origin sensor and a detection result of the second encoder such that the second arm part stops at the first reference position. From the first stop position which is the stop position of the said 2nd arm part at the time of making it into a position to the position where the said 2nd arm part is positioned by the 1st positioning jig for positioning the said 2nd arm part to the said 1st reference position. The first reference position is specified based on a detection result of the second encoder when the second arm is rotated and a value of the second encoder when the second arm is stopped at the first stop position. A first reference position specifying process,
After the first reference position specifying step, in the state where the second arm portion is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying step, the first base to stop at the second reference position From the second stop position which is the stop position of the hand base when the hand base is stopped based on the detection result of the three origin sensors or based on the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder, A detection result of the third encoder when the hand base is rotated to a position where the hand base is positioned by a second positioning jig for positioning the hand base at the second reference position, and the second A second reference position specifying ball specifying the second reference position based on a value of the third encoder when the hand base is at a stop position; And
After the second reference position specifying process, the second arm portion is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying process, and further, the second reference position specified in the second reference position specifying process. A hand fork positioning process of positioning the hand fork by a third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position with the hand base disposed at
A panel mounting step of mounting a detection panel on the hand fork after the hand fork positioning step;
After the hand fork positioning process or after the panel mounting process, on the basis of the detection result of the first origin sensor or the detection result of the first origin sensor so as to stop the first arm at the fourth reference position. On the basis of the detection result of the 1 encoder, the first motor is driven and controlled based on the third stop position, which is the stop position of the first arm portion when the first arm portion is stopped, and in the first reference position specifying step, Drive control of the second motor based on the specified first reference position, and drive control of the third motor based on the second reference position specified in the second reference position specifying process; A robot operation step of making the industrial robot a temporary reference pose;
A hand movement step of moving the hand fork to a delivery position of the object to be conveyed by operating the industrial robot after the robot operation step;
After the hand movement step, the first motor is controlled based on the deviation amount in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the fifth reference position which is a predetermined reference position and the edge of the detection panel. And a correction value calculating step of calculating a correction value for performing the correction.
상기 보정값 산출 공정에서는, 상기 제5 기준 위치에 배치되는 1개의 센서에서 상기 검지용 패널의 에지가 검지될 때까지 상기 제1 암부를 회동시켰을 때의 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 보정값을 산출하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculating step, the sensor is rotated based on a detection result of the first encoder when the first arm is rotated until one edge of the detection panel is detected by one sensor arranged at the fifth reference position. Compensation value calculation method for an industrial robot, characterized in that for calculating the correction value.
상기 보정값 산출 공정에서는, 1개의 카메라를 사용하여, 상기 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지의, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서의 어긋남양을 구하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculating step, a shift amount in the rotational direction of the first arm portion with respect to the main body portion of the fifth reference position and the edge of the detection panel is obtained using one camera. Method of calculating the correction value of an industrial robot.
상기 보정값 산출 공정에서는, 상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 방향에 있어서 상기 제5 기준 위치와 상기 검지용 패널의 에지가 일치하는 위치에서 상기 검지용 패널을 위치 결정하기 위한 제4 위치 결정 지그에 의해 상기 검지용 패널이 위치 결정되는 위치까지 상기 제1 암부를 회동시켰을 때의 상기 제1 인코더의 검지 결과에 기초하여 상기 보정값을 산출하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 1,
In the correction value calculating step, a fourth position for positioning the detection panel at a position where the edge of the detection panel coincides with the fifth reference position in the rotational direction of the first arm portion relative to the main body portion. The correction value calculation method of the industrial robot which calculates the said correction value based on the detection result of the said 1st encoder when the said 1st arm part is rotated to the position where the said detection panel is positioned by a decision jig | tool. .
상기 제2 암부가 상기 제1 기준 위치에 있을 때는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부가 상하 방향에서 겹치고,
상기 핸드 기부가 상기 제2 기준 위치에 있을 때는, 상기 제2 암부와 상기 핸드 포크가 상하 방향에서 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to any one of claims 1 to 4,
When the second arm portion is in the first reference position, the first arm portion and the second arm portion overlap in the vertical direction,
And the second arm portion and the hand fork overlap each other in the vertical direction when the hand base is in the second reference position.
상기 제1 위치 결정 지그는, 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제1 고정 부재와, 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제1 삽입 구멍과 상기 제1 고정 부재에 형성되는 제1 관통 구멍에 삽입되는 제1 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method of claim 5,
The first positioning jig includes a first fixing member fixed to either one of the first arm portion and the second arm portion, a first insertion hole formed in any one of the first arm portion and the second arm portion, and the And a first pin inserted into the first through hole formed in the first fixing member.
상기 제2 위치 결정 지그는, 상기 제1 암부 및 상기 핸드 기부 중 어느 한쪽에 고정되는 제2 고정 부재와, 상기 제1 암부 및 상기 핸드 기부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제2 삽입 구멍과 상기 제2 고정 부재에 형성되는 제2 관통 구멍에 삽입되는 제2 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to claim 5 or 6,
The second positioning jig includes a second fixing member fixed to either one of the first arm portion and the hand base, a second insertion hole and the second insertion hole formed on any one of the first arm portion and the hand base. And a second pin inserted into the second through hole formed in the fixing member.
상기 핸드는, 2개의 상기 핸드 포크를 구비하고,
상기 제3 위치 결정 지그는, 2개의 상기 핸드 포크 및 상기 제2 암부 중 어느 한쪽에 고정되는 제3 고정 부재와, 2개의 상기 핸드 포크 및 상기 제2 암부 중 어느 다른 쪽에 형성되는 제3 삽입 구멍과 상기 제3 고정 부재에 형성되는 제3 관통 구멍에 삽입되는 제3 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 보정값 산출 방법.The method according to any one of claims 5 to 7,
The hand has two said hand forks,
The third positioning jig includes a third fixing member fixed to either one of the two hand forks and the second arm, and a third insertion hole formed in any one of the two hand forks and the second arm. And a third pin inserted into a third through hole formed in the third fixing member.
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4090444B2 (en) * | 2004-03-05 | 2008-05-28 | 株式会社Taiyo | Arm check device for robot |
JP2014233773A (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Articulated robot |
JP2015032617A (en) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社ダイヘン | Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system |
JP2015139854A (en) | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 日本電産サンキョー株式会社 | industrial robot |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04306705A (en) * | 1991-04-03 | 1992-10-29 | Seiko Epson Corp | Calibration method |
JP2803399B2 (en) * | 1991-07-29 | 1998-09-24 | 株式会社デンソー | Robot home position correction amount detection method and jig |
JPH07164362A (en) * | 1993-12-09 | 1995-06-27 | Canon Inc | Robot device and its origin finding method |
JPH09309083A (en) * | 1996-05-27 | 1997-12-02 | Kokusai Electric Co Ltd | Conveyer |
JPH11254359A (en) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Member conveyance system |
JP2003048181A (en) * | 2001-08-03 | 2003-02-18 | Denso Corp | Articulated robot |
JP4182765B2 (en) * | 2003-02-07 | 2008-11-19 | 株式会社安川電機 | Robot automatic teaching apparatus and method |
JP2005028529A (en) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Yaskawa Electric Corp | Device for positioning industrial robot into its original position |
JP4501103B2 (en) * | 2003-10-17 | 2010-07-14 | 株式会社安川電機 | Calibration method for semiconductor wafer transfer robot, semiconductor wafer transfer robot and wafer transfer apparatus provided with the same |
US20050137751A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Cox Damon K. | Auto-diagnostic method and apparatus |
JP4766233B2 (en) * | 2005-05-10 | 2011-09-07 | 株式会社安川電機 | Substrate transfer robot |
JP4605560B2 (en) * | 2005-12-05 | 2011-01-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
US8260461B2 (en) * | 2007-08-30 | 2012-09-04 | Applied Materials, Inc. | Method and system for robot calibrations with a camera |
JP5597536B2 (en) * | 2008-08-01 | 2014-10-01 | 株式会社アルバック | Teaching method for transfer robot |
JP5178432B2 (en) * | 2008-09-26 | 2013-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
JP5298919B2 (en) * | 2009-02-16 | 2013-09-25 | トヨタ自動車株式会社 | Robot hand position correction method, robot hand, robot |
JP6173677B2 (en) * | 2012-08-09 | 2017-08-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | Home position return method for industrial robots |
KR101385594B1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | Automated transportation system being feasible auto correction and teaching loading, and control method thereof |
JP6129058B2 (en) * | 2013-11-13 | 2017-05-17 | 三菱電機株式会社 | Teaching point correction apparatus and teaching point correction method |
JP5854083B2 (en) * | 2014-05-21 | 2016-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | Position control method, robot |
-
2018
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-
2019
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4090444B2 (en) * | 2004-03-05 | 2008-05-28 | 株式会社Taiyo | Arm check device for robot |
JP2014233773A (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Articulated robot |
JP2015032617A (en) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社ダイヘン | Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system |
JP2015139854A (en) | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 日本電産サンキョー株式会社 | industrial robot |
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