KR20200012854A

KR20200012854A - 미세 돌기 유닛의 제조 방법 및 미세 돌기 유닛

Info

Publication number: KR20200012854A
Application number: KR1020197034540A
Authority: KR
Inventors: 다카토시 니이츠; 사토시 우에노
Original assignee: 카오카부시키가이샤
Priority date: 2017-06-07
Filing date: 2018-05-31
Publication date: 2020-02-05
Also published as: WO2018225628A1; CN110709128B; US20200129746A1; KR102248950B1; CN110709128A; US11690990B2

Abstract

본 발명의 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법은, 열가소성 수지를 포함하는 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터, 볼록형부 (11) 를 맞닿게 하여 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한 후, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 를 빼내어 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정을 구비한다. 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합하는 접합 공정을 구비한다. 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 그 윤곽 (4L) 을 따라 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 컷 공정을 구비한다.

Description

미세 돌기 유닛의 제조 방법 및 미세 돌기 유닛

본 발명은, 미세 돌기 유닛의 제조 방법 및 미세 돌기 유닛에 관한 것이다.

최근, 주사기에 의한 제 (劑) 의 공급과 동등의 성능이 얻어짐에도 불구하고, 피부를 손상시키지 않고 통증이 적다는 이유에서, 마이크로 니들을 구비한 미세 돌기에 의한 제의 공급이 주목받고 있다.

예를 들어, 특허문헌 1 에는 대좌부 상에 미소 침군을 구비한 미소 바늘 어레이가 기재되어 있다. 또, 특허문헌 2 에는 수지제 컵의 저부에 바깥쪽으로 돌출된 돌기부를 구비한 미세 노즐이 기재되어 있다. 또, 특허문헌 3 에는 유체 챔버의 저부 평면에 마이크로 바늘을 갖는 마이크로 바늘 구조체가 기재되어 있다.

일본 공개특허공보 2014-176568호 일본 공개특허공보 2013-172833호 미국 특허 출원 공개 제2002/0020688호

본 발명은, 내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구 (突起具) 와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법이다. 본 발명은, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트의 일면측으로부터, 볼록형부를 맞닿게 하고, 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성한 후, 그 돌기부의 내부로부터 그 볼록형부를 빼내어 미세 돌기구를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정을 구비한다. 본 발명은, 상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트의 일면측과 상기 베이스 부품의 선단을 접합하는 접합 공정을 구비한다. 본 발명은, 상기 베이스 부품이 접합된 상기 기재 시트를, 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라 상기 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법을 제공하는 것이다.

또, 본 발명은, 내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법이다. 본 발명은, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트의 일면측으로부터, 볼록형부를 맞닿게 하여, 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성한 후, 그 돌기부의 내부로부터 그 볼록형부를 빼내어 미세 돌기구를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정을 구비한다. 본 발명은, 상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트를 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라, 그 기재 시트의 일면측과 그 베이스 부품의 선단을 접합함과 동시에, 그 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 접합·컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법을 제공하는 것이다.

또, 본 발명은, 내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛이다. 본 발명은, 상기 베이스 부품의 상기 액체 유지 공간 내에 액체가 주입되어 내압이 가해지면, 상기 미세 돌기구의 상기 기저에 있어서의 상기 돌기부를 갖는 영역이 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡하는, 미세 돌기 유닛을 제공하는 것이다.

도 1 은, 본 발명의 미세 돌기 유닛의 제조 방법으로 제조되는 미세 돌기 유닛의 일례의 모식 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 미세 돌기 유닛을 미세 돌기구측으로부터 평면에서 본 평면도이다.
도 3 은, 도 2 에 나타내는 III-III 선 단면도이다.
도 4(a) 는, 도 1 에 나타내는 미세 돌기 유닛이 구비하는 1 개의 돌기부의 사시도이며, 도 4(b) 는, 도 4(a) 에 나타내는 IV-IV 선 단면도이다.
도 5(a) 는, 도 4(b) 에 나타내는 돌기부의 선단 직경의 측정 방법을 나타내는 설명도이며, 도 5(b) 는 돌기부가 선단 개구부를 갖는 경우에 있어서의, 돌기부의 선단 직경의 측정 방법을 나타내는 설명도이다.
도 6 은, 도 1 에 나타내는 미세 돌기 유닛을 제조하는 바람직한 일제조 장치의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 7(a) ∼ (e) 는, 도 6 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 미세 돌기구를 제조하는 공정을 설명하는 도면이다.
도 8 은, 볼록형부의 선단 각도의 측정 방법을 나타내는 설명도이다.
도 9(a) ∼ (g) 는, 도 6 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 접합부를 형성하는 접합 공정을 설명하는 도면이다.
도 10(a) ∼ (f) 는, 도 6 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 컷하여 미세 돌기 유닛을 형성하는 컷 공정을 설명하는 도면이다.
도 11 은, 본 발명의 미세 돌기 유닛의 바람직한 일 실시형태의 미세 돌기 유닛의 모식 사시도이다.
도 12 는, 도 11 에 나타내는 미세 돌기 유닛을 미세 돌기구측으로부터 평면에서 본 평면도이다.
도 13 은, 도 12 에 나타내는 III-III 선 단면도이다.
도 14(a) 는, 도 11 에 나타내는 미세 돌기 유닛이 구비하는 1 개의 돌기부의 사시도이며, 도 14(b) 는, 도 14(a) 에 나타내는 IV-IV 선 단면도이다.
도 15(a) 는, 돌기부의 선단 직경의 측정 방법을 나타내는 설명도이며, 도 15(b) 는 돌기부가 선단 개구부를 갖는 경우에 있어서의, 돌기부의 선단 직경의 측정 방법을 나타내는 설명도이다.
도 16 은, 도 11 에 나타내는 미세 돌기 유닛을 사용했을 때의 상태를 나타내는 모식 단면도이다.
도 17 은, 도 11 에 나타내는 미세 돌기 유닛을 제조하는 바람직한 일 제조 장치의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 18(a) ∼ (e) 는, 도 17 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 미세 돌기구를 제조하는 공정을 설명하는 도면이다.
도 19 는, 볼록형부의 선단 각도의 측정 방법을 나타내는 설명도이다.
도 20(a) ∼ (g) 는, 도 17 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 접합부를 형성하는 접합 공정을 설명하는 도면이다.
도 21(a) ∼ (f) 는, 도 17 에 나타내는 제조 장치를 사용하여 컷하여 미세 돌기 유닛을 형성하는 컷 공정을 설명하는 도면이다.
도 22(a) ∼ (d) 는, 다른 실시형태의 미세 돌기 유닛을 미세 돌기구측으로부터 평면에서 본 평면도이다.

특허문헌 1 에 기재된 미소 바늘 어레이는, 실리콘 기판에 에칭 등을 실시하여 미소 볼록부를 갖는 실리콘제의 마스터형을 제작하고, 그 후, 마스터형의 형상을 전사한 성형형을 제작하고, 이 성형형에 수지를 흘려 넣음으로써 제조되는 것이다. 이와 같이, 마스터형을 제작하는 스텝과, 마스터형에 기초하여 성형형을 제작하는 스텝을 가지고 있기 때문에, 시간이 걸려 제조 비용의 상승으로 이어져 버린다.

또, 특허문헌 2 에 기재된 수지제 컵의 저부에 돌기부를 구비한 미세 노즐의 제조 방법은, 탄성체의 이면측으로부터 핫 플레이트 등을 사용하여 가열하여, 탄성체 상에 배치된 수지제 컵의 저부 전체를 따뜻하게 하고 있으므로, 수지제 컵의 저부 전체를 따뜻하게 하는 데에 시간이 걸려 생산성을 향상시키는 것이 어렵다. 또, 탄성체 상에 배치된 수지제 컵의 저부 전체를 따뜻하게 할 필요가 있으므로, 미세 노즐을 연속하여 제조하는 것이 어렵다.

또, 특허문헌 3 에 기재된 마이크로 바늘 구조체의 제조 방법에서는, 직접, 유체 챔버의 저부 평면에, 가열한 미소 지주로 이루어지는 복수의 지주를 압박하여 마이크로 바늘을 형성하고 있어, 외부의 실린더에 장착하는 부분이 되는 유체 챔버의 형상이 제한되어 버린다.

따라서 본 발명은, 미세 돌기구와 베이스 부품을 구비한 미세 돌기 유닛을 효율적으로 정밀도 양호하게 제조하는 미세 돌기 유닛의 제조 방법에 관한 것이다.

또, 특허문헌 1 에 기재된 미소 바늘 어레이는, 미소 바늘로 이루어지는 침군이 대좌부 상에 직접 형성된 것이며, 미소 바늘을 형성하는 대좌부의 형상이 제한되어 버린다. 동일하게, 특허문헌 2 에 기재된 미세 바늘은, 미세 노즐이 수지제 컵의 저부에 직접 형성된 것이며, 미세 노즐을 형성하는 수지제 컵의 저부의 형상이 제한되어 버린다. 또, 동일하게, 특허문헌 3 에 기재된 마이크로 바늘 구조체는, 마이크로 바늘이 유체 챔버의 저부 평면에 직접 형성된 것이며, 유체 챔버의 저부의 형상이 제한되어 버린다. 또한, 특허문헌 1 ∼ 특허문헌 3 에는, 액체가 주입되어 내압이 가해졌을 때에, 대좌부 등을 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡시켜, 천자성을 향상시키는 관점에 관해서, 아무런 기재가 되어 있지 않다.

따라서 본 발명은, 천자성을 향상시킬 수 있는 미세 돌기 유닛에 관한 것이다.

이하, 본 발명을, 그 바람직한 일 실시형태에 근거하여 도면을 참조하면서 설명한다.

본 발명의 제조 방법은, 베이스 부품 (4) 의 선단에 미세 돌기구 (1) 를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법이다. 도 1 에는, 본 실시형태의 미세 돌기 유닛의 제조 방법으로 제조되는 일 실시형태의 미세 돌기 유닛 (10) (이하, 간단히 「미세 돌기 유닛 (10)」이라고도 한다) 의 사시도가 나타나 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 은, 내부가 중공인 돌기부 (3) 를 기저 (2) 상에 구비하는 미세 돌기구 (1) 와 그 돌기부 (3) 의 내부에 그 기저 (2) 를 통하여 연통하는 액체 유지 공간 (4k) (도 3 참조) 을 갖는 베이스 부품 (4) 을 구비하고, 베이스 부품 (4) 의 선단에 미세 돌기구 (1) 를 접합한 것이다.

미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 에 관하여, 돌기부 (3) 의 수, 돌기부 (3) 의 배치 및 돌기부 (3) 의 형상에, 특별히 제한은 없지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 시트상의 기저 (2) 의 상면에, 9 개의 원뿔대상의 돌기부 (3) 가 배열되어 있다. 배열된 9 개의 돌기부 (3) 는, 후술하는 기재 시트 (2A) 를 반송하는 방향 (기재 시트 (2A) 의 길이 방향에 대응) 인 제 2 방향 (도면 중의 Y 방향에 상당) 으로 3 행, 반송하는 방향인 제 2 방향과 직교하는 방향 및 반송되는 기재 시트 (2A) 의 폭방향인 제 1 방향 (도면 중의 X 방향에 상당) 으로 3 열로 배치되어 있다.

또한, 도 4(a) 는, 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 내의 1 개의 돌기부 (3) 에 주목한 미세 돌기구 (1) 의 사시도이며, 도 4(b) 는, 도 4(a) 에 나타내는 IV-IV 선 단면도이다. 도 2 에 나타내는 미세 돌기구 (1) 는, 시트상의 기저 (2) 와, 기저 (2) 의 상면 (기저 (2) 에 있어서의 베이스 부품 (4) 과의 대향면과는 반대측의 면) 상에 수직 형성되는 1 개의 원뿔상의 돌기부 (3) 를 갖는다. 미세 돌기구 (1) 는, 선단측에 개공부를 가지고 있어도 되지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 4(b) 에 나타내는 바와 같이, 개공부를 가지고 있지 않고, 기저 (2) 를 관통하여 돌기부 (3) 의 내부에까지 걸치는 중공의 공간 (3k) 이 형성된 형태로 되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 돌기부 (3) 의 내부의 공간 (3k) 이, 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응한 원뿔상으로 형성되어 있다. 또한, 돌기부 (3) 는, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 원뿔상이지만, 원뿔상의 형상 이외에, 원뿔대상, 원기둥상, 각기둥상, 각뿔상, 각뿔대상 등이어도 된다.

돌기부 (3) 는, 그 돌출 높이 (H1) (도 4(b) 참조) 가, 마이크로 니들로서 사용하는 경우에는, 그 선단을 가장 얕은 곳에서는 각질층까지, 깊게는 진피까지 자입 (刺入) 하기 때문에, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 3 mm 이하이다. 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 3 mm 이하이다. 돌기부 (3) 는, 그 평균 두께 (T1) 가, 바람직하게는 0.005 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.005 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 0.5 mm 이하이다.

돌기부 (3) 의 선단 직경은, 그 직경이, 바람직하게는 0.001 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.3 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.001 mm 이상 0.5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상 0.3 mm 이하이다. 미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 의 선단 직경은, 이하와 같이 하여 측정한다.

〔돌기부 (3) 선단 직경의 측정〕

돌기부 (3) 의 선단이 개구하고 있지 않은 경우에는, 미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 (SEM) 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율 확대한 상태에서, 예를 들어, 도 5(a) 에 나타내는 SEM 화상과 같이 관찰한다.

다음으로, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (1a, 1b) 내의 일측변 (1a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILa) 을 연장시키고, 타측변 (1b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILb) 을 연장시킨다. 그리고, 선단측에서, 일측변 (1a) 이 가상 직선 (ILa) 으로부터 떨어지는 지점을 제 1 선단점 (1a1) 으로서 구하고, 타측변 (1b) 이 가상 직선 (ILb) 으로부터 떨어지는 지점을 제 2 선단점 (1b1) 으로서 구한다. 이와 같이 하여 구한 제 1 선단점 (1a1) 과 제 2 선단점 (1b1) 을 잇는 직선의 길이 (L) 를, 주사형 전자현미경 (SEM) 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 직선의 길이를, 미세 돌기구 (1) 의 선단 직경으로 한다. 또한, 돌기부 (3) 의 선단이 개구하고 있는 경우에는, 도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 의 개공부측에 선단이 있다고 가정하여 가상 직선 (ILa, ILb) 을 긋고, 그 교점을 돌기부 (3) 의 정점으로 하여, 상기 서술한 도 5(a) 에 나타내는 방법으로 선단 직경을 측정한다.

시트상의 기저 (2) 의 상면에 배열된 9 개의 돌기부 (3) 는, 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 2 방향의 중심 간 거리가 균일하고, 제 1 방향의 중심 간 거리가 균일한 것이 바람직하고, 제 2 방향의 중심 간 거리와 제 1 방향의 중심 간 거리가 동일한 거리인 것이 바람직하다. 바람직하게는, 돌기부 (3) 의 제 2 방향의 중심 간 거리가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하이다. 또, 돌기부 (3) 의 제 1 방향의 중심 간 거리가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하이다.

기저 (2) 는, 균일한 두께의 시트상으로 형성되어 있고, 그 두께 (T2) (도 4(b) 참조) 가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.7 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 0.7 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기저 (2) 의 상면에, 9 개의 돌기부 (3) 가 형성된 영역인 돌기 영역 (3R) 을 가지고 있다. 여기서, 돌기 영역 (3R) 이란, 미세 돌기 유닛 (10) 을 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 봤을 때에, 제 1 방향 및 제 2 방향을 갖는 면방향의 가장 바깥쪽에 위치하는 돌기부 (3) 끼리로 둘러싸여 있는 영역을 의미한다. 돌기 영역 (3R) 은, 후술하는 베이스 부품 (4) 과의 접합부 (5) 보다 안쪽에 형성되어 있다.

베이스 부품 (4) 은, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 의 내부의 공간 (3k) 에 기저 (2) 를 통하여 연통하는 액체 유지 공간 (4k) 을 가지고 있다. 베이스 부품 (4) 은, 미세 돌기구 (1) 와의 접합부 (5) 를 형성하는 상면과는 반대측의 하면을 형성하는 저부 (41) 와, 저부 (41) 를 관통하여 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체를 공급하는 액체 공급로 (42) 와, 저부 (41) 의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되고 저부 (41) 의 상면 (미세 돌기구 (1) 측의 면) 상에 수직 형성되는 둘레벽부 (43) 를 가지고 있다. 그리고, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2), 저부 (41) 및 둘레벽부 (43) 로 둘러싸인 공간이, 액체 유지 공간 (4k) 이 된다. 이와 같이, 둘레벽부 (43) 는, 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 배치되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 은, 베이스 부품 (4) 의 액체 공급로 (42) 의 공급구에서, 액체를 공급하는 시린지 등과 접속 가능하게 형성되어 있다.

베이스 부품 (4) 에 관하여, 미세 돌기 유닛 (10) 을 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 봤을 때의 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상, 즉, 저부 (41) 의 외주 형상에, 특별히 제한은 없지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 원형상을 가지고 있다. 그리고, 베이스 부품 (4) 의 전체의 외형 형상은, 도 1 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형상으로 되어 있는 원통상으로 형성되어 있다. 또한, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상은, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 원형상이지만, 원형의 형상 이외에, 장원형상, 마름모꼴형상, 삼각형상, 사각형상, 오각형상 등의 등이어도 된다. 베이스 부품 (4) 의 전체의 형상은, 원통상 이외에, 원뿔상, 각통상, 각뿔상 등이어도 된다.

베이스 부품 (4) 은, 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체가 주입되어 내압이 가해졌을 때에 기저 (2) 를 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡시키기 쉬운 관점에서, 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 에서의 두께 (T3) (도 3 참조) 가, 기저 (2) 의 두께 (T2) 보다 두꺼운 것이 바람직하고, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하이다.

또, 베이스 부품 (4) 은, 동일한 관점에서, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에서의 두께 (T4) (도 3 참조) 가, 기저 (2) 의 두께 (T2) 보다 두꺼운 것이 바람직하고, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에, 미세 돌기구 (1) 의 윤곽, 즉, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 이 배치되어 있다. 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 은, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 으로부터 내측으로, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W1) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 미세 돌기구의 윤곽, 즉, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 이내의 위치에, 베이스 부품 (4) 과 미세 돌기구 (1) 를 접합한 접합부 (5) 가 배치되어 있다. 접합부 (5) 는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 걸쳐 배치된 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에 띠상으로 형성되어 있고, 액체 유지 공간 (4k) 의 외주 전역에 걸쳐 원환상으로 배치되어 있다. 여기서, 「윤곽 (2L) 이내의 위치」란, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 과, 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리가 일치하고 있거나, 혹은, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 보다 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리가 내측에 배치되어 있는 상태를 의미한다.

미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 접착 강도와 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 띠상의 접합부 (5) 의 폭 (W2) 이, 바람직하게는 0.5 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.5 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상 3 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 컷 안정성과 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 과 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리의 간격 (W3) 이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W3) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 돌기 영역 (3R) 을 접합부 (5) 보다 안쪽에 형성하는 관점에서, 접합부 (5) 의 안쪽측의 둘레가장자리와 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 내벽의 간격 (W4) 이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W4) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

다음으로, 본 발명의 미세 돌기 유닛의 제조 방법을, 전술한 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법을 예로 들어 도 6 ∼ 도 10 을 참조하여 설명한다. 도 6 에는, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 실시에 사용하는 바람직한 실시형태의 제조 장치 (100) 의 전체 구성이 나타나 있다. 또한, 상기 서술한 바와 같이, 미세 돌기 유닛 (10) 의 돌기부 (3) 는 매우 작은 것이지만, 설명의 편의상, 각 도면에 있어서는 돌기부 (3) 가 매우 크게 묘화되어 있다.

이하의 설명에서는, 기재 시트 (2A) 를 반송하는 방향 (기재 시트 (2A) 의 길이 방향) 을 Y 방향, 반송하는 방향과 직교하는 방향 및 반송되는 기재 시트 (2A) 의 폭방향을 X 방향, 반송되는 기재 시트 (2A) 의 두께 방향을 Z 방향으로 하여 설명한다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법은, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터, 볼록형부 (11) 을 맞닿게 하여, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한 후, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 를 빼내어 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합하는 접합 공정과, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 컷 공정을 구비한다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 제조 장치 (100) 는, 반송 방향 (Y 방향에 상당) 의 상류측으로부터 하류측을 향하여, 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성부 (200), 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 부재 접합부 (300), 및 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부재 컷부 (400) 를 구비하고 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 미세 돌기구 형성부 (200) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 돌기부 (3) 를 형성하는 돌기부 형성부 (210), 냉각부 (220), 볼록형부 (11) 를 빼내는 릴리스부 (230) 를 구비하고 있다.

또한, 본 명세서에 있어서 볼록형부 (11) 란 기재 시트 (2A) 에 찔리는 부분인 볼록형 (110) 을 구비한 부재이고, 볼록형부 (11) 는, 본 실시형태에서는, 원 반상의 토대 부분 상에 배치된 구조로 되어 있다. 단, 이것으로 한정되지 않고 볼록형 (110) 만으로 이루어지는 볼록형부여도 되고, 복수의 볼록형 (110) 을 대상 지지체 상에 배치한 볼록형부 (11) 여도 된다.

돌기부 형성부 (210) 를, 도 6 및 도 7 을 이용하여 설명한다. 돌기부 형성부 (210) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 가열 수단 (도시 생략) 을 가진 볼록형부 (11) 를 구비하고 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 가열 수단을 설치하고 있어도 된다. 또 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 의 가열 수단 이외에 다른 가열 수단을 설치하고 있지 않아도 된다. 또한, 본 명세서에서 「볼록형부 (11) 의 가열 수단 이외에 다른 가열 수단을 설치하고 있지 않다」란, 다른 가열 수단을 일체 배제하는 경우를 가리킬 뿐만 아니라, 기재 시트 (2A) 의 연화 온도 미만, 또는 유리 전이 온도 미만으로 가열하는 수단을 구비하는 경우도 포함한다. 단, 다른 가열 수단을 일절 포함하지 않는 것이 바람직하다. 볼록형부 (11) 의 가열 수단은, 제조 장치 (100) 에 있어서는, 초음파 진동 장치이다.

제조 장치 (100) 를 사용하는 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 먼저, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트 (2A) 의 원료 롤로부터 띠상의 기재 시트 (2A) 를 조출하고, 반송 방향으로 반송한다. 그리고, 기재 시트 (2A) 가 소정 위치까지 이송된 시점에서, 기재 시트 (2A) 의 반송을 정지한다. 이와 같이, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 띠상의 기재 시트 (2A) 의 반송을 간헐적으로 실시하도록 되어 있다.

기재 시트 (2A) 는, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 기저 (2) 가 되는 시트이며, 열가소성 수지를 포함하여 형성되어 있다. 열가소성 수지로는, 폴리 지방산 에스테르, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리스티렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트류, 폴리염화비닐, 나일론 수지, 아크릴 수지 등 또는 이들의 조합을 들 수 있고, 생분해성의 관점에서, 폴리 지방산 에스테르가 바람직하게 사용된다. 폴리 지방산 에스테르로는, 구체적으로, 폴리락트산, 폴리글리콜산 또는 이들의 조합 등을 들 수 있다. 또한, 기재 시트 (2A) 는, 열가소성 수지 이외에, 히알루론산, 콜라겐, 전분, 셀룰로오스 등을 포함한 혼합물로 형성되어 있어도 된다. 기재 시트 (2A) 의 두께는, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 기저 (2) 의 두께 (T2) 와 동등하다.

이어서, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 도 7(a) 및 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 방향으로 반송된 띠상의 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터 볼록형부 (11) 를 맞닿게 하고, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 맞닿음 부분 (TP) 을 열에 의해 연화시키면서, 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찔러 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한다 (돌기부 형성 공정). 돌기부 형성부 (210) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 휨 억제 수단으로서의 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 휨 억제 수단으로서의 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다.

볼록형부 (11) 는, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 원뿔상의 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응하여, 첨예한 선단의 원뿔상의 부분을 갖는 형상으로 되어 있다. 즉, 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제조하는 미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 의 개수, 배치, 각 돌기부 (3) 의 대략 외형 형상에 대응한 볼록형 (110) 을 갖고, 9 개의 원뿔대상의 돌기부 (3) 에 대응하여, 9 개의 원뿔상의 볼록형 (110) 을 가지고 있다. 이와 같이 복수개의 볼록형 (110) 을 갖는 볼록형부 (11) 를 사용하여, 시트상의 기저 (2) 의 상면에 배열된 복수개의 돌기부 (3) 를 형성하도록 되어 있다. 볼록형부 (11) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 각 볼록형 (110) 의 선단을 상방을 향하게 하여 배치되어 있고, 적어도 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 바람직하게, 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 볼록형부 (11) 의 가열 수단의 작동은, 기재 시트 (2A) 에 볼록형부 (11) 가 맞닿기 직전부터, 다음 공정인 냉각 공정에 이르기 직전까지 실시되는 것이 바람직하다.

볼록형부 (11) 의 동작, 볼록형부 (11) 의 가열 수단의 작동 등의 볼록형부 (11) 가 구비하는 가열 수단의 가열 조건의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

상기 서술한 바와 같이, 볼록형부 (11) 의 가열 수단은, 제조 장치 (100) 에 있어서는, 초음파 진동 장치이다. 볼록형부 (11) 의 초음파 진동 장치에 의한 초음파 진동에 관하여, 그 주파수는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 10 kHz 이상, 더욱 바람직하게는 15 kHz 이상이며, 그리고, 바람직하게는 50 kHz 이하이며, 더욱 바람직하게는 40 kHz 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 10 kHz 이상 50 kHz 이하이며, 더욱 바람직하게는 15 kHz 이상 40 kHz 이하이다. 또, 볼록형부 (11) 의 초음파 진동 장치에 의한 초음파 진동에 관하여, 그 진폭은, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 1 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 5 ㎛ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 60 ㎛ 이하이며, 더욱 바람직하게는 50 ㎛ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1 ㎛ 이상 60 ㎛ 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다.

볼록형부 (11) 의 선단측의 형상은, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응한 형상으로 되어 있으면 된다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 높이 (H2) (도 6 참조) 가, 제조되는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 의 돌출 높이 (H1) (도 4(b) 참조) 와 동일하거나 혹은 약간 높게 형성되어 있고, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 30 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 20 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 30 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 20 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 선단 직경 (D1) (도 8 참조) 이, 바람직하게는 0.001 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.001 mm 이상 1 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상 0.5 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 직경 (D1) 은, 이하와 같이 하여 측정한다.

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 근본 직경 (D2) 이, 바람직하게는 0.1 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.2 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.1 mm 이상 5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.2 mm 이상 3 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 충분한 강도가 얻어지기 쉬워지는 관점에서, 그 선단 각도 (α) 가, 바람직하게는 1 도 이상, 더욱 바람직하게는 5 도 이상이다. 그리고, 선단 각도 (α) 는, 적당한 각도를 갖는 돌기부 (3) 를 얻는 관점에서, 바람직하게는 60 도 이하이며, 더욱 바람직하게는 45 도 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1 도 이상 60 도 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 도 이상 45 도 이하이다. 볼록형부 (11) 의 선단 각도 (α) 는, 이하와 같이 하여 측정한다.

〔볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 직경의 측정〕

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 (SEM) 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율로 확대한 상태에서 관찰한다. 다음으로, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (11a, 11b) 내의 일측변 (11a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILc) 을 연장시키고, 타측변 (11b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILd) 을 연장시킨다. 그리고, 선단측에서, 일측변 (11a) 이 가상 직선 (ILc) 으로부터 떨어지는 지점을 제 1 선단점 (11a1) 으로서 구하고, 타측변 (11b) 이 가상 직선 (ILd) 으로부터 떨어지는 지점을 제 2 선단점 (11b1) 으로서 구한다. 이와 같이 하여 구한 제 1 선단점 (11a1) 과 제 2 선단점 (11b1) 을 잇는 직선의 길이 (D1) 를, 주사형 전자현미경 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 직선의 길이를, 볼록형 (110) 의 선단 직경으로 한다.

〔볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 각도 (α) 의 측정〕

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율 확대한 상태에서, 예를 들어, 도 8 에 나타내는 SEM 화상과 같이 관찰한다. 다음으로, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (11a, 11b) 내의 일측변 (11a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILc) 을 연장시키고, 타측변 (11b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILd) 을 연장시킨다. 그리고, 가상 직선 (ILc) 과 가상 직선 (ILd) 이 이루는 각을, 주사형 전자현미경 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 이루는 각을, 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 각도 (α) 로 한다.

볼록형부 (11) 는, 꺾이기 어려운 고강도의 재질로 형성되어 있다. 볼록형부 (11) 의 재질로는, 강철, 스테인리스강, 알루미늄, 알루미늄 합금, 니켈, 니켈 합금, 코발트, 코발트 합금, 구리, 구리 합금, 베릴륨구리, 베릴륨구리 합금 등의 금속, 또는 세라믹 등을 들 수 있다.

상기 서술한 바와 같이, 돌기부 형성 공정에서 사용하는 개구 플레이트 (12U) 는, 도 6 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측에 배치되어 있고, 볼록형부 (11) 를 일면 (2D) 측으로부터 찔러 넣었을 때에 기재 시트 (2A) 가 휘기 어렵게 하는 역할을 하고 있다. 그 때문에, 개구 플레이트 (12U) 는, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 볼록형부 (11) 가 찔러 넣어지는 영역 이외의 영역, 바꿔 말하면, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 이외의 영역을 지지하도록 배치되어 있다. 이와 같이 배치되는 개구 플레이트 (12U) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸도록 개구한 개구부 (12a) 를 갖는 판상의 개구 플레이트이다. 개구 플레이트 (12U) 에서는, 개구부 (12a) 이외의 영역에서 기재 시트 (2A) 를 지지하고 있다.

개구 플레이트 (12U) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (12a) 가 1 개 형성되어 있고, 1 개의 개구부 (12a) 의 개구 면적은, 볼록형부 (11) 에 있어서의 볼록형 (110) 이 복수개 삽입 통과할 수 있도록, 볼록형 (110) 의 총단면적보다 크게 형성되어 있다. 또한, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 는, 복수의 볼록형 (110) 이 각각 삽입 통과되도록 각 볼록형 (110) 에 대응하여, 복수 형성되어 있어도 된다.

개구 플레이트 (12U) 는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 개구 플레이트 (12U) 는, 전동 액추에이터에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

개구 플레이트 (12U) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단에 의해 제어되고 있다.

개구 플레이트 (12U) 를 구성하는 재질로는, 볼록형부 (11) 의 재질과 동일한 재질이어도 되고, 합성 수지 등으로 형성되어 있어도 된다.

제조 장치 (100) 는, 볼록형부 (11) 의 가열 수단으로서 초음파 진동 장치를 가지고 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 돌기부 형성 공정을 실시하도록 되어 있다. 제조 장치 (100) 를 사용하는 돌기부 형성 공정에서는, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 후술하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 에 볼록형부 (11) 를 통과시키고, 도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 초음파 진동 장치에 의해 각 볼록형부 (11) 에 초음파 진동을 미리 발현시키면서, 이어서 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 에 맞닿게 한다. 이로써 맞닿음 부분 (TP) 을 연화시킨다. 그리고, 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 맞닿음 부분 (TP) 을 연화시키면서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터 타면 (2U) 측 (상면측) 을 향하여 볼록형부 (11) 를 상승시키고, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면측) 측에 배치된 개구 플레이트 (12U) 로 기재 시트 (2A) 의 휨을 억제하면서, 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찔러 간다. 그리고, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한다.

볼록형부 (11) 의 가열에 의한 기재 시트 (2A) 의 가열 온도는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 사용되는 기재 시트 (2A) 의 유리 전이 온도 이상 용융 온도 미만인 것이 바람직하고, 특히 연화 온도 이상 용융 온도 미만인 것이 바람직하다. 상세히 서술하면 상기 가열 온도는, 바람직하게는 30 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 40 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 250 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 30 ℃ 이상 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 40 ℃ 이상 250 ℃ 이하이다. 또한, 초음파 진동 장치를 사용하여 기재 시트 (2A) 를 가열하는 경우에 있어서는, 볼록형 (110) 과 접촉한 기재 시트 (2A) 부분의 온도 범위로서 적용된다. 한편, 초음파 진동 장치 대신에 가열 히터 장치를 사용하여 기재 시트 (2A) 를 가열하는 경우에는, 볼록형부 (11) 의 가열 온도를 상기 서술한 범위에서 조정하면 된다. 또한, 유리 전이 온도 (Tg) 의 측정 방법은, 이하의 방법에 의해 측정되고, 연화 온도의 측정 방법은, JIS K-7196 「열가소성 플라스틱 필름 및 시트의 열기계 분석에 의한 연화 온도 시험 방법」에 따라 실시한다.

〔유리 전이 온도 (Tg) 의 측정 방법〕

DSC 측정기를 사용하여 열량의 측정을 실시하고, 유리 전이 온도를 구한다. 구체적으로, 측정기는 Perkin Elmer 사 제조의 시차주사 열량 측정 장치 (Diamond DSC) 를 사용한다. 기재 시트로부터 시험편 10 mg 을 채취한다. 측정 조건은 20 ℃ 에서 5 분간 유지한 후에, 20 ℃ 에서부터 320 ℃ 까지, 5 ℃/분으로 승온시켜, 가로축 온도, 세로축 열량의 DSC 곡선을 얻는다. 그리고, 이 DSC 곡선으로부터 유리 전이 온도 (Tg) 를 구한다.

또한, 상기 「기재 시트의 유리 전이 온도 (Tg)」는, 기재 시트의 구성 수지의 유리 전이 온도 (Tg) 를 의미하고, 그 구성 수지가 복수종 존재하는 경우에 있어서 그것들 복수종의 유리 전이 온도 (Tg) 가 서로 상이한 경우, 상기 가열 수단에 의한 기재 시트의 가열 온도는, 적어도 그것들 복수의 유리 전이 온도 (Tg) 중 가장 낮은 유리 전이 온도 (Tg) 이상인 것이 바람직하고, 그것들 복수의 유리 전이 온도 (Tg) 중 가장 높은 유리 전이 온도 (Tg) 이상인 것이 더욱 바람직하다.

또, 상기 「기재 시트의 연화 온도」에 대해서도 유리 전이 온도 (Tg) 와 동일하고, 즉, 기재 시트의 구성 수지가 복수종 존재하는 경우에 있어서 그것들 복수종의 연화 온도가 서로 상이한 경우, 상기 가열 수단에 의한 기재 시트의 가열 온도는, 적어도 그것들 복수의 연화 온도 중 가장 낮은 연화 온도 이상인 것이 바람직하고, 그것들 복수의 연화 온도 중 가장 높은 연화 온도 이상인 것이 더욱 바람직하다.

또, 기재 시트가 융점이 상이한 2 종 이상의 수지를 포함하여 구성되어 있는 경우, 상기 가열 수단에 의한 기재 시트의 가열 온도는, 그것들 복수의 융점 중 가장 낮은 융점 미만인 것이 바람직하다.

볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찌르는 자입 속도는, 지나치게 느리면 수지를 과잉으로 가열 연화시키고, 지나치게 빠르면 가열 연화 부족이 되므로, 돌기부 (3) 를 효율적으로 형성하는 관점에서, 바람직하게는 0.1 mm/초 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm/초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1000 mm/초 이하이며, 더욱 바람직하게는 800 mm/초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.1 mm/초 이상 1000 mm/초 이하이며, 더욱 바람직하게는 1 mm/초 이상 800 mm/초 이하이다. 가열 상태의 볼록형부 (11) 의 상승을 정지시키고, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태인 채 다음 공정인 냉각 공정을 실시할 때까지의 시간인 연화 시간은, 지나치게 길면 과잉 가열이 되지만, 가열 부족을 보충하는 관점에서, 바람직하게는 0 초 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0 초 이상 10 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.1 초 이상 5 초 이하이다.

기재 시트 (2A) 에 찌르는 볼록형부 (11) 의 자입 높이는, 돌기부 (3) 를 효율적으로 형성하는 관점에서, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 5 mm 이하이다. 여기서, 「자입 높이」란, 기재 시트 (2A) 에 가장 볼록형부 (11) 를 찔러 넣은 상태에 있어서, 볼록형부 (11) 의 정점과, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 사이의 거리를 의미한다. 따라서, 돌기부 형성 공정에 있어서의 자입 높이란, 돌기부 형성 공정에서 볼록형부 (11) 가 가장 깊게 찔러 넣어져 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 으로부터 볼록형부 (11) 가 나온 상태에 있어서의, 그 타면 (2U) 으로부터 수직 방향으로 측정한 볼록형부 (11) 의 정점까지의 거리이다.

또한, 돌기부 (3) 의 선단 근방에 개공부를 갖고 또한 돌기부 (3) 의 내부의 공간 (3k) 이 기저 (2) 로부터 그 개공부에 걸쳐 형성되어 있는 미세 돌기구 (1) 를 제조하는 경우에는, 돌기부 형성 공정에서, 볼록형부 (11) 의 동작, 및/또는 볼록형부 (11) 가 구비하는 가열 수단의 가열 조건 등을 제어하여, 기재 시트 (2A) 에 볼록형부 (11) 를 관통시킬 때까지 자입하여 개공부를 형성하면 된다.

돌기부 (3) 의 선단부의 중심으로부터 어긋난 위치에 개공부를 갖는 미세 돌기구 (1) 를 제조하는 경우에는, 열가소성 수지를 포함하는 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터, 볼록형부 (11) 를 맞닿게 하고, 그 기재 시트 (2A) 에 있어서의 그 볼록형부 (11) 와의 맞닿음 부분을 열에 의해 연화시키면서, 그 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측을 향하여 그 볼록형부 (11) 를 그 기재 시트 (2A) 에 찔러, 그 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 비관통의 돌기부 (3) 를 형성한다. 그리고, 상기 돌기부 (3) 의 내부에 상기 볼록형부 (11) 를 찌른 상태에서 그 돌기부 (3) 를 냉각한다. 그 후, 상기 돌기부 (3) 의 내부로부터 상기 볼록형부 (11) 를 빼내어 내부가 중공인 상기 돌기부 (3) 를 형성하고, 형성된 상기 돌기부 (3) 의 선단부의 중심으로부터 어긋난 위치에, 그 돌기부 (3) 의 내부에 관통하는 개공부를 형성해도 된다.

다음으로, 제조 장치 (100) 에서는, 도 7(c) 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 형성부 (210) 다음에 냉각부 (220) 가 설치되어 있다. 냉각부 (220) 는, 예를 들어 냉풍송풍 장치를 구비하고 있다 (도시 생략). 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 제조 장치 (100) 를 사용하여, 돌기부 형성 공정 후, 냉풍송풍 장치를 사용하여, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태에서 돌기부 (3) 를 냉각한다 (냉각 공정). 구체적으로, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 후술하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다. 그 때문에, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 냉각 공정을 실시하도록 되어 있다. 냉풍송풍 장치는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 냉풍송풍하는 송풍구 (21) 가 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 형성되어 있고, 송풍구 (21) 로부터 냉풍을 분무하여, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태인 채 냉각한다. 또한, 냉각할 때에는, 볼록형부 (11) 의 가열 장치에 의한 가열은, 계속 상태여도 되고 정지된 상태여도 되지만, 정지된 상태가 바람직하다.

분무하는 냉풍의 온도는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 -50 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 -40 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 26 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 10 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 -50 ℃ 이상 26 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 -40 ℃ 이상 10 ℃ 이하이다. 냉풍을 분무하여 냉각하는 냉각 시간은, 성형성과 가공 시간 양립성의 관점에서, 바람직하게는 0.01 초 이상, 더욱 바람직하게는 0.5 초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 60 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 30 초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 초 이상 60 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 초 이상 30 초 이하이다.

또한, 제조 장치 (100) 와 같이, 볼록형부 (11) 의 가열 수단이 초음파 진동인 경우에는, 냉풍송풍 장치를 반드시 구비할 필요는 없고, 초음파 진동 장치의 진동을 끔으로써, 냉각할 수도 있다. 이 점에서, 초음파 진동을 가열 수단으로서 사용하면, 장치의 간편화와 함께, 고속으로의 미세 돌기구 (1) 의 제조가 용이해지므로 바람직하다. 또, 기재 시트 (2A) 의 볼록형부 (11) 와 맞닿고 있지 않은 부분에서는, 보다 열이 전달되기 어렵고, 또, 초음파 진동 부여의 오프에 의해 냉각이 효율적으로 실시되므로, 성형 부분 이외의 변형이 생기기 어렵다는 장점이 있다.

다음으로, 제조 장치 (100) 에서는, 도 7(d) 에 나타내는 바와 같이, 냉각부 (220) 의 다음에 릴리스부 (230) 가 설치되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 냉각 공정 후에, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 를 빼내어 미세 돌기구 (1) 를 형성한다 (릴리스 공정). 릴리스 공정에서는, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 를 빼낼 때에 기재 시트 (2A) 의 휨을 억제하는 휨 억제 수단으로서 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 사용하여 미세 돌기구 (1) 를 형성한다. 제조 장치 (100) 에서는, 릴리스 공정에 사용하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측에 배치되어 있고, 기재 시트 (2A) 가 이송되는 소정 위치에 대응한 위치에 배치되어 있다.

릴리스 공정에서 사용하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 도 6 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측에 배치되어 있고, 볼록형부 (11) 를 일면 (2D) 측으로부터 인발할 때에 기재 시트 (2A) 가 휘기 어렵게 하는 역할을 하고 있다. 따라서, 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 볼록형부 (11) 가 인발되는 영역 이외의 영역, 바꿔 말하면, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 이외의 영역을 지지하도록 배치되어 있다. 이와 같이 배치되는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸도록 개구한 개구부 (13a) 를 갖는 판상의 제 2 개구 플레이트이다. 제 2 개구 플레이트 (13D) 에서는, 개구부 (13a) 이외의 영역에서 기재 시트 (2A) 를 지지하고 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (13a) 가 1 개 형성되어 있고, 1 개의 개구부 (13a) 의 개구 면적은, 볼록형부 (11) 에 있어서의 볼록형 (110) 이 복수개 삽입 통과할 수 있도록, 볼록형 (110) 의 총단면적보다 크게 형성되어 있다. 또한, 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 복수의 볼록형 (110) 이 각각 삽입 통과되도록 각 볼록형 (110) 에 대응하여, 복수 형성되어 있어도 된다. 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 와 동심원 상에 배치되어 있다. 따라서, 기재 시트 (2A) 를 협지하는 1 쌍의 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 및 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 가 두께 방향으로 겹쳐져 있다.

제조 장치 (100) 에서는, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 그 개구 형상이 동일하다. 또한, 개구부 (12a, 13a) 는, 개구 플레이트 (12U, 13D) 를 상면측으로부터 볼 때, 그 형상에, 특별히 제한은 없지만, 제조 장치 (100) 에서는, 양쪽 모두 원형상으로 형성되어 있고, 개구부 (12a, 13a) 의 개구 직경이 동일하게 되어 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 고정되어 있어도 되지만, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제 2 개구 플레이트 (13D) 에서는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 를 구성하는 재질로는, 개구 플레이트 (12U) 를 구성하는 재질 또는 볼록형부 (11) 의 재질과 동일한 재질이어도 되고, 합성 수지 등으로 형성되어 있어도 된다.

제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다. 그 때문에, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 릴리스 공정을 실시하도록 되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 7(e) 에 나타내는 바와 같이, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 릴리스 공정을 실시한 후, 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 하방으로 이동시키고 또한 개구 플레이트 (12U) 를 상방으로 이동시켜, 내부가 중공인 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 를 기재 시트 (2A) 에 형성한다 (미세 돌기구 형성 공정).

이어서, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 반송 방향으로 이동시킨다. 미세 돌기구 형성 공정의 후공정에서는, 도 6 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 형성 공정에서 제조된, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합한다 (접합 공정). 여기서, 베이스 부품 (4) 의 선단이란, 베이스 부품 (4) 에 있어서의 가장 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 위치하는 부위이며, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 걸쳐 배치된 둘레벽부 (43) 의 선단인 선단벽부 (43s) 이다. 접합 공정은, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 제조 장치 (100) 의 부재 접합부 (300) 를 사용하여 실시한다.

베이스 부품 (4) 은, 접합부 (5) 를 융착에 의해 형성하는 경우에는, 접합부 (5) 형성의 용이함의 관점에서, 기재 시트 (2A) 와 동일한 종류의 열가소성 수지를 포함하여 형성되어 있는 것이 바람직하다. 열가소성 수지로는, 폴리 지방산 에스테르, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리스티렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트류, 폴리염화비닐, 나일론 수지, 아크릴 수지 등 또는 이들의 조합을 들 수 있고, 생분해성의 관점에서, 폴리 지방산 에스테르가 바람직하게 사용된다. 폴리 지방산 에스테르로는, 구체적으로, 폴리락트산, 폴리글리콜산 또는 이들의 조합 등을 들 수 있다. 또한, 베이스 부품 (4) 은, 접합부 (5) 를 접착제를 사용하여 형성하는 경우에는, 기재 시트 (2A) 와 상이한 소재로 형성되어 있어도 되고, 예를 들어, 금속제여도 된다.

제조 장치 (100) 에서는, 부재 접합부 (300) 는, 도 6 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 (4) 을 고정하는 베이스 부품 고정부 (301) 와, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 및 베이스 부품 (4) 을 접합하는 접합부 (302) 와, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 두는 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 및 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 를 갖는다. 베이스 부품 고정부 (301) 는, 베이스 부품 (4) 전체의 외형 형상에 대응하는 형상의 오목부 (303) 를 가지고 있다. 오목부 (303) 는, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형의 원통상에 끼워 맞춰지는 형상으로 형성되어 있다.

베이스 부품 고정부 (301) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 오목부 (303) 를 가지고 있고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 오목부 (303) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰서 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 가 노출되도록 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측을 유지하도록 되어 있다. 베이스 부품 고정부 (301) 는, 고정되어 있어도 되지만, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 베이스 부품 고정부 (301) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

베이스 부품 고정부 (301) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

베이스 부품 고정부 (301) 는, 볼록형부 (11) 의 재질과 동일한 재질이어도 되고, 합성 수지 등으로 형성되어 있어도 된다.

접합부 (302) 는, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 부위이다. 접합부 (302) 는, 도 6 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸고, 또한 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에 대응하는 원환상의 선단부 (302s) 를 가지고 있다. 선단부 (302s) 를 갖는 접합부 (302) 는, 선단부 (302s) 측이 개구된 통상으로 형성되어 있다. 접합부 (302) 의 선단부 (302s) 의 폭은, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 폭보다 좁은 것이 바람직하고, 띠상의 접합부 (5) 의 폭 (W2) 과 대략 일치하고 있다.

접합부 (302) 는, 도 6 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있다. 접합부 (302) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 접합부 (302) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

접합부 (302) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

접합 공정에 있어서 접합하는 수단으로는, 열 시일, 초음파, 레이저, 또는 접착제 등의 수단을 들 수 있지만, 제조 장치 (100) 에서는, 접합부 (302) 의 접합하는 수단이, 열 시일에 의한 접합 수단이다. 또한, 열 시일, 초음파, 레이저는, 기재 시트 (2A) 및 베이스 부품 (4) 등의 재료를 열에 의해 용융하여 결합하는 현상, 즉 융착을 이용하여 접합하는 접합 수단이다. 또, 접착제로는, 종래부터 이러한 종류의 물품에 이용되고 있는 핫멜트 접착제 등을 이용할 수 있다.

제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (313a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (313a) 의 개구 면적은, 베이스 부품 고정부 (301) 를 일면 (2D) 측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시켰을 때에 베이스 부품 고정부 (301) 가 삽입 통과할 수 있도록, 베이스 부품 고정부 (301) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (312a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (312a) 의 개구 면적은, 접합부 (302) 를 타면 (2U) 측으로부터 두께 방향의 하방으로 이동시켰을 때에 접합부 (302) 가 삽입 통과할 수 있도록, 접합부 (302) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 및 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 및 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 및 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 9(a) 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 고정부 (301) 의 오목부 (303) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 가 노출되도록 베이스 부품 (4) 을 유지한다.

이어서, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 9(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 를 상방으로 이동시키고 또한 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 를 하방으로 이동시켜, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 의 돌기 영역 (3R) 보다 바깥쪽의 위치에서, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔다. 이와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 끼워 넣는다. 그리고, 도 9(c) 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 의 개구부 (313a) 에 베이스 부품 (4) 을 유지한 베이스 부품 고정부 (301) 를 통과시켜, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 를 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 에 맞닿게 한다.

또, 도 9(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터, 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 의 개구부 (312a) 에 접합부 (302) 를 통과시켜, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 를 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 한다. 또한, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 를 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 한 후, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태로 해도 된다.

그리고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치된 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 및 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치된 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 를 이용하여, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 접합한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 9(e) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 에서 가열시켜, 기재 시트 (2A) 에 있어서의, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에 위치하는 부분과 베이스 부품 (4) 의 선단벽부 (43s) 를 용융시키면서 미세 돌기 유닛 (10) 의 접합부 (5) 를 형성하고, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 접합부 (5) 의 형성 후, 접합부 (302) 의 가열을 정지한다.

접합부 (302) 를 기재 시트 (2A) 와 맞닿게 할 때의 가열 온도는, 바람직하게는 100 ℃ 이상이며, 더욱 바람직하게는 120 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 250 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 100 ℃ 이상 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 120 ℃ 이상 250 ℃ 이하이다.

접합부 (302) 를 기재 시트 (2A) 와 맞닿게 할 때의 가열 시간은, 바람직하게는 0.1 초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 5.0 초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.1 초 이상 5.0 초 이하이다.

접합부 (302) 를 기재 시트 (2A) 와 맞닿게 할 때의 압박력 (가압력) 은, 바람직하게는 10 N 이상이며, 그리고, 바람직하게는 100 N 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 10 N 이상 100 N 이하이다.

접합 공정 후, 도 9(f) 에 나타내는 바와 같이, 접합부 (302) 를, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시킨다. 그리고, 도 9(g) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 를 하방으로 이동시키고 또한 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 를 상방으로 이동시킨다. 이와 같이 하여, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를, 베이스 부품 고정부 (301) 상에 형성한다.

이어서, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성되고 또한 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 반송 방향으로 이동시킨다. 접합 공정의 후공정에서는, 접합 공정에서 제조된, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 을 따라 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다 (컷 공정). 여기서, 베이스 부품 (4) 의 윤곽보다 내측이란, 바꿔 말하면, 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 의 외주보다 내측이다. 컷 공정에서는, 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부재 컷부 (400) 를 사용하여 실시한다.

제조 장치 (100) 에서는, 부재 컷부 (400) 는, 도 6 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 (4) 을 고정하는 베이스 부품 고정부 (401) 와, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 절단하는 컷부 (402) 와, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 두는 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 및 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 를 갖는다. 베이스 부품 고정부 (401) 는, 베이스 부품 (4) 의 전체의 외형 형상에 대응하는 형상의 오목부 (403) 를 가지고 있다. 오목부 (403) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 베이스 부품 고정부 (301) 의 오목부 (303) 와 동일하게, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형의 원통상에 끼워 맞춰지는 형상으로 형성되어 있다.

베이스 부품 고정부 (401) 는, 도 6 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 오목부 (403) 를 가지고 있고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 오목부 (403) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 유지하도록 되어 있다. 베이스 부품 고정부 (401) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 베이스 부품 고정부 (301) 와 동일하게, 고정되어 있어도 되지만, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 베이스 부품 고정부 (401) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

베이스 부품 고정부 (401) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

베이스 부품 고정부 (401) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 베이스 부품 고정부 (301) 와 동일하게, 볼록형부 (11) 의 재질과 동일한 재질이어도 되고, 합성 수지 등으로 형성되어 있어도 된다.

컷부 (402) 는, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 절단하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부위이다. 컷부 (402) 는, 도 6 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸고, 또한 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에 대응하는 원환상의 선단부 (402s) 를 가지고 있다. 선단부 (402s) 를 갖는 컷부 (402) 는, 선단부 (402s) 측이 개구된 통상으로 형성되어 있다.

컷부 (402) 는, 도 6 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있다. 컷부 (402) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 컷부 (402) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

컷부 (402) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

컷 공정에 있어서 컷하는 수단으로는, 타발날, 또는 레이저 등의 수단을 들 수 있지만, 제조 장치 (100) 에서는, 컷부 (402) 의 컷하는 수단이, 타발날에 의한 컷 수단이다. 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날은, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 두께 (T4) 의 범위 내에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 제조 장치 (100) 에서는, 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날은, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L), 바꿔 말하면, 저부 (41) 의 외주보다 안쪽이고, 또한 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리보다 바깥쪽에 위치하고 있다. 또한, 레이저는, 레이저 광을 조사하여, 상기 서술한 바와 같이 기재 시트 (2A) 및 베이스 부품 (4) 등의 재료를 열에 의해 용융하여 결합시킴과 동시에, 기재 시트 (2A) 를 용융시켜 절단하는 컷 수단이다.

제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 동일하게, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (413a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (413a) 의 개구 면적은, 베이스 부품 고정부 (401) 를 일면 (2D) 측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시켰을 때에 베이스 부품 고정부 (401) 가 삽입 통과할 수 있도록, 베이스 부품 고정부 (401) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 와 동일하게, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (412a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (412a) 의 개구 면적은, 컷부 (402) 를 타면 (2U) 측으로부터 두께 방향의 하방으로 이동시켰을 때에 컷부 (402) 가 삽입 통과할 수 있도록, 컷부 (402) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 및 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 및 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 및 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 10(a) 및 도 10(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 를 상방으로 이동시키고 또한 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 를 하방으로 이동시켜, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 바깥쪽의 위치에서, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔다. 이와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 끼워 넣는다.

그리고, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 10(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 베이스 부품 고정부 (401) 를 통과시킨다. 그리고, 베이스 부품 고정부 (401) 의 오목부 (403) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를 유지한다.

그리고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치된 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 및 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치된 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 를 이용하여, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 10(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터, 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 의 개구부 (412a) 에 컷부 (402) 를 통과시켜, 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날을, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 윤곽 (4L) 을 따라, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 하여 컷해 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 컷 공정에 있어서는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 배치되는 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다.

컷 공정 후, 도 10(e) 에 나타내는 바와 같이, 컷부 (402) 를, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시킨다. 그리고, 도 10(f) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 를 하방으로 이동시키고 또한 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 를 상방으로 이동시킨다. 그 후, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로 사이에 둔 기재 시트 (2A) 의 트림 부분 (2At) 을, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 를 하방으로 이동시키고 또한 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 를 상방으로 이동시킨 후에, 제거한다. 이와 같이 하여, 미세 돌기 유닛 (10) 을, 베이스 부품 고정부 (401) 상에 형성한다.

이상과 같이 형성된 미세 돌기 유닛 (10) 은, 그 후, 베이스 부품 고정부 (401) 로부터 취출되고, 반송 방향 하류측으로 반송된다. 이상의 공정을 반복함으로써, 미세 돌기 유닛 (10) 을 연속적으로 효율적으로 제조할 수 있다.

또한, 상기 서술한 바와 같이 제조된 미세 돌기 유닛 (10) 은, 그 후의 공정에 있어서 또한 소정의 형상으로 형성되어도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합하는 접합 공정의 후공정에, 접합 공정에서 제조된, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 을 따라 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 컷 공정을 구비하고 있다. 이와 같이, 외부의 실린더에 장착하는 부분이 되는 베이스 부품 (4) 이 미세 돌기구 (1) 와는 다른 부재이기 때문에, 베이스 부품 (4) 의 형상이 제한되기 어렵다. 또, 이와 같은 미세 돌기구 (1) 와 베이스 부품 (4) 을 구비한 미세 돌기 유닛 (10) 을 효율적으로 정밀도 양호하게 제조할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날이, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 두께 (T4) 의 범위 내에 배치되어 있고, 컷 공정에 있어서는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 배치되는 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하고 있다. 그 때문에, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 가 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날을 압박하는 받이 부재의 역할을 담당할 수 있어, 다른 받이 부재를 설치할 필요가 없다. 이와 같이, 비용이 상승하는 것을 억제하면서 미세 돌기 유닛 (10) 을 효율적으로 정밀도 양호하게 제조할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 휨 억제 수단인 개구 플레이트 (12U) 및 제 2 개구 플레이트 (13D) 로 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 미세 돌기구 형성 공정의 돌기부 형성 공정, 냉각 공정, 및 릴리스 공정을 실시하도록 되어 있으므로, 내부가 중공인 미세 돌기구 (1) 를 정밀도 양호하게 제조할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 볼록형부 (11) 를 맞닿게 한 기재 시트 (2A) 의 맞닿음 부분 (TP) 에 있어서만, 볼록형부 (11) 의 가열 수단 (도시 생략) 인 초음파 진동을 발현시켰을 때의 마찰열에 의해 맞닿음 부분 (TP) 을 연화시키므로, 에너지 절약으로, 효율적으로 연속하여 미세 돌기구 (1) 를 제조할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 볼록형부 (11) 가 구비하는 가열 수단 (도시 생략) 의 조건, 돌기부 형성 공정에 있어서의 볼록형부 (11) 의 기재 시트 (2A) 에의 자입 높이, 기재 시트 (2A) 의 맞닿음 부분 (TP) 의 연화 시간, 볼록형부 (11) 의 기재 시트 (2A) 에의 자입 속도, 볼록형부 (11) 의 형상 및 냉각 공정에 있어서의 냉각 조건의 적어도 어느 하나를 제어하여, 미세 돌기구 (1) 의 형상을 자유롭게 컨트롤할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 개구 플레이트 (313D) 와 제 1 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 접합부 (302) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 의 접합부 (5) 를 형성하고 있다. 그 때문에, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 정밀도 양호하게 접합할 수 있다.

또, 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에 의하면, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 2 하측 개구 플레이트 (413D) 와 제 2 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 컷부 (402) 를 사용하여 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하고 있다. 그 때문에, 미세 돌기 유닛 (10) 을 정밀도 양호하게 제조할 수 있다.

이상, 본 발명을, 그 바람직한 실시형태에 근거하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 제한되는 것이 아니고, 적절히 변경 가능하다.

예를 들어, 상기 설명한 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법은, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합하는 접합 공정의 후공정에, 접합 공정에서 제조된, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 컷 공정을 구비하고 있지만, 접합 공정과 컷 공정이 동일한 공정이어도 된다. 즉, 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법은, 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 그 윤곽 (4L) 을 따라, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합함과 동시에, 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 접합·컷 공정을 구비하고 있어도 된다. 이와 같은 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 접합·컷 공정에 있어서 접합함과 동시에 컷하는 수단으로는, 레이저 등의 수단을 들 수 있다.

또, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 접합·컷 공정에 있어서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 배치된 제 3 하측 개구 플레이트 및 기재 시트의 타면측 (상면측) 에 배치된 제 3 상측 개구 플레이트를 사용하여, 제 3 하측 개구 플레이트를 기재 시트 (2A) 의 상방으로 이동시키고 또한 제 3 상측 개구 플레이트를 기재 시트 (2A) 의 하방으로 이동시켜, 제 3 하측 개구 플레이트와 제 3 상측 개구 플레이트로, 돌기부 (3) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합함과 동시에, 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조해도 된다. 그리고, 접합·컷 공정 후, 제 3 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 제 3 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시켜도 된다.

또, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 미세 돌기구 형성 공정에 있어서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 배치된 제 2 개구 플레이트 (13D) 및 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 배치된 개구 플레이트 (13U) 를 사용하여, 개구 플레이트 (13U) 를 기재 시트 (2A) 의 상방으로 이동시키고 또한 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 기재 시트 (2A) 의 하방으로 이동시켜, 개구 플레이트 (13U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 돌기부 (3) 를 형성해도 된다. 그리고, 미세 돌기구 형성 공정 후, 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 하방으로 이동시키고 또한 개구 플레이트 (13U) 를 상방으로 이동시키고, 돌기부 (3) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 다음의 공정으로 반송해도 된다.

또, 상기 설명한 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에서는, 볼록형부 (11) 가 구비하는 가열 수단으로서, 초음파 진동 장치를 사용했지만, 이것 대신에 가열 히터를 사용하여도 된다.

또, 상기 설명한 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 띠상의 기재 시트 (2A) 의 반송을 간헐적으로 실시하도록 하여, 돌기부 (3), 미세 돌기구 (1) 및 미세 돌기 유닛 (10) 을 성형하고 있지만, 띠상의 기재 시트 (2A) 의 반송을 연속하여 실시하도록 하고, 무한궤도를 그리는 박스 모션식의 미세 돌기구 형성부 (200), 부재 접합부 (300), 및 부재 컷부 (400) 를 사용하여 돌기부 (3), 미세 돌기구 (1) 및 미세 돌기 유닛 (10) 을 성형해도 된다. 또, 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에서는, 무한궤도를 그리는 박스 모션식의 미세 돌기구 형성부, 접합·컷부를 사용하여 돌기부 (3), 미세 돌기구 (1) 및 미세 돌기 유닛 (10) 을 성형해도 된다.

또, 상기 설명한 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 를 두께 방향의 하방으로부터 상방을 향하여 자입하는 볼록형부 (11) 를 사용하고 있지만, 기재 시트 (2A) 를 두께 방향의 상방으로부터 하방을 향하여 자입하는 볼록형부 (11) 를 사용하여 돌기부 (3) 를 성형해도 된다.

또, 상기 설명한 제조 장치 (100) 를 사용하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 제조 방법에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 형성 공정에서는 개구 플레이트 (12U) 및 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 사용하여, 접합·컷 공정에서는 제 3 하측 개구 플레이트 및 제 3 상측 개구 플레이트를 사용하여, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 가공하고 있지만, 각 개구 플레이트를 사용하지 않고 가공해도 된다.

본 발명의 미세 돌기 유닛의 바람직한 일 실시형태의 미세 돌기 유닛 (10) (이하, 간단히 「미세 돌기 유닛 (10)」이라고도 한다) 은, 내부가 중공인 돌기부 (3) 를 기저 (2) 상에 구비하는 미세 돌기구 (1) 와 그 돌기부 (3) 의 내부에 그 기저 (2) 를 통하여 연통하는 액체 유지 공간 (4k) (도 13 참조) 을 갖는 베이스 부품 (4) 을 구비하고, 베이스 부품 (4) 의 선단에 미세 돌기구 (1) 를 접합한 것이다. 도 11 에는 미세 돌기 유닛 (10) 의 사시도가 나타나 있다. 도 12 에는 미세 돌기 유닛 (10) 의 평면도가 나타나 있다. 그리고, 도 13 에는 미세 돌기 유닛 (10) 의 단면도가 나타나 있다.

미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 에 관하여, 돌기부 (3) 의 수, 돌기부 (3) 의 배치 및 돌기부 (3) 의 형상에, 특별히 제한은 없지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 시트상의 기저 (2) 의 상면에, 25 개의 원뿔대상의 돌기부 (3) 가 배열되어 있다. 배열된 25 개의 돌기부 (3) 는, 후술하는 기재 시트 (2A) 를 반송하는 방향 (기재 시트 (2A) 의 길이 방향에 대응) 인 제 2 방향 (도면 중의 Y 방향에 상당) 으로 5 행, 반송하는 방향인 제 2 방향과 직교하는 방향 및 반송되는 기재 시트 (2A) 의 폭방향인 제 1 방향 (도면 중의 X 방향에 상당) 으로 5 열로 배치되어 있다. 또한, 미세 돌기 유닛 (10) 의 두께 방향을 Z 방향으로 하여 설명한다. 또, 도 14(a) 는, 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 내의 1 개의 돌기부 (3) 에 주목한 미세 돌기구 (1) 의 사시도이고, 도 14(b) 는, 도 14(a) 에 나타내는 IV-IV 선 단면도이다.

도 14(a) 에 나타내는 미세 돌기구 (1) 는, 시트상의 기저 (2) 와, 기저 (2) 의 상면 (기저 (2) 에 있어서의 베이스 부품 (4) 과의 대향면과는 반대측의 면) 상에 수직 형성되는 1 개의 원뿔상의 돌기부 (3) 를 갖는다. 미세 돌기구 (1) 는, 선단측에 개공부를 가지고 있지 않아도 되지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 14(b) 에 나타내는 바와 같이, 개공부 (3h) 를 가지고 있고, 돌기부 (3) 의 내부에 기저 (2) 로부터 개공부 (3h) 에 이를 때까지 관통하는 공간 (3k) 이 형성된 형태로 되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 돌기부 (3) 의 내부의 공간 (3k) 이, 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응한 원뿔상으로 형성되어 있다. 또한, 돌기부 (3) 는, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 원뿔상이지만, 원뿔상의 형상 이외에, 원뿔대상, 원기둥상, 각기둥상, 각뿔상, 각뿔대상 등이어도 된다.

돌기부 (3) 는, 그 돌출 높이 (H1) (도 14(b) 참조) 가, 마이크로 니들로서 사용하는 경우에는, 그 선단을 가장 얕은 곳에서는 각질층까지, 깊게는 진피까지 자입하기 때문에, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 3 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 3 mm 이하이다. 돌기부 (3) 는, 그 평균 두께 (T1) 가, 바람직하게는 0.005 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.005 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 0.5 mm 이하이다.

〔돌기부 (3) 선단 직경의 측정〕

돌기부 (3) 의 선단이 개구하고 있지 않은 경우에는, 미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 (SEM) 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율 확대한 상태에서, 예를 들어, 도 15(a) 에 나타내는 SEM 화상과 같이 관찰한다.

다음으로, 도 15(a) 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (1a, 1b) 내의 일측변 (1a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILa) 을 연장시키고, 타측변 (1b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILb) 을 연장시킨다. 그리고, 선단측에서, 일측변 (1a) 이 가상 직선 (ILa) 으로부터 떨어지는 지점을 제 1 선단점 (1a1) 으로서 구하고, 타측변 (1b) 이 가상 직선 (ILb) 으로부터 떨어지는 지점을 제 2 선단점 (1b1) 으로서 구한다. 이와 같이 하여 구한 제 1 선단점 (1a1) 과 제 2 선단점 (1b1) 을 잇는 직선의 길이 (L) 를, 주사형 전자현미경 (SEM) 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 직선의 길이를, 미세 돌기구 (1) 의 선단 직경으로 한다. 또한, 미세 돌기 유닛 (10) 과 같이, 돌기부 (3) 의 선단에 개공부 (3h) 를 가지고 있는 경우에는, 도 15(b) 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 의 개공부측에 선단이 있다고 가정하여 가상 직선 (ILa, ILb) 을 긋고, 그 교점을 돌기부 (3) 의 정점으로 하고, 상기 서술한 도 15(a) 에 나타내는 방법으로 선단 직경을 측정한다.

개공부 (3h) 는, 그 개공 면적이, 미세 돌기 유닛 (10) 에 의한 제의 공급의 용이함의 관점에서, 바람직하게는 0.7 ㎛² 이상, 더욱 바람직하게는 20 ㎛² 이상이며, 그리고, 바람직하게는 200000 ㎛² 이하이며, 더욱 바람직하게는 70000 ㎛² 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.7 ㎛²이상 200000 ㎛² 이하이며, 더욱 바람직하게는 20 ㎛² 이상 70000 ㎛² 이하이다.

시트상의 기저 (2) 의 상면에 배열된 25 개의 돌기부 (3) 는, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 제 2 방향의 중심 간 거리가 균일하고, 제 1 방향의 중심 간 거리가 균일한 것이 바람직하고, 제 2 방향의 중심 간 거리와 제 1 방향의 중심 간 거리가 동일한 거리인 것이 바람직하다. 바람직하게는, 돌기부 (3) 의 제 2 방향의 중심 간 거리가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하이다. 또, 돌기부 (3) 의 제 1 방향의 중심 간 거리가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하이다.

기저 (2) 는, 균일한 두께의 시트상으로 형성되어 있다. 기저 (2) 는, 그 두께 (T2) (도 14(b) 참조) 가, 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체가 주입되어 내압이 가해졌을 때에 기저 (2) 를 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡시키기 쉬운 관점에서, 기저 (2) 및 베이스 부품 (4) 이 동종의 소재로 형성되어 있는 경우에, 후술하는 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 에서의 두께 (T3) (도 13 참조) 보다 얇은 것이 바람직하고, 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 에서의 두께 (T3) 에 대한 기저 (2) 의 두께 (T2) 의 비 (T2/T3) 가, 바람직하게는 0.001 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 이하이며, 또, 바람직하게는 0.001 이상 1 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 이상 0.5 이하이다. 바람직하게, 기저 (2) 의 두께 (T2) 는, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.7 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 0.7 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 기저 (2) 의 상면에, 25 개의 돌기부 (3) 를 갖는 영역, 즉 25 개의 돌기부 (3) 가 형성된 영역인 돌기 영역 (3R) 을 가지고 있다. 여기서, 돌기 영역 (3R) 이란, 미세 돌기 유닛 (10) 을 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 봤을 때에, 제 1 방향 및 제 2 방향을 갖는 면방향의 가장 바깥쪽에 위치하는 돌기부 (3) 끼리로 둘러싸여 있는 영역을 의미한다. 돌기 영역 (3R) 은, 후술하는 베이스 부품 (4) 과의 접합부 (5) 보다 안쪽에 형성되어 있다.

베이스 부품 (4) 은, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 의 내부의 공간 (3k) 에 기저 (2) 를 통하여 연통하는 액체 유지 공간 (4k) 을 가지고 있다. 베이스 부품 (4) 은, 미세 돌기구 (1) 와의 접합부 (5) 를 형성하는 상면과는 반대측의 하면을 형성하는 저부 (41) 와, 저부 (41) 를 관통하여 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체를 공급하는 액체 공급로 (42) 와, 저부 (41) 의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되고 저부 (41) 의 상면 (미세 돌기구 (1) 측의 면) 상에 수직 형성되는 둘레벽부 (43) 를 가지고 있다. 그리고, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2), 저부 (41) 및 둘레벽부 (43) 로 둘러싸인 공간이, 액체 유지 공간 (4k) 이 된다. 이와 같이, 둘레벽부 (43) 는, 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 배치되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 은, 베이스 부품 (4) 의 액체 공급로 (42) 의 공급구에서, 액체를 공급하는 시린지 등과 접속 가능하게 형성되어 있다.

베이스 부품 (4) 에 관하여, 미세 돌기 유닛 (10) 을 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 봤을 때의 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상, 즉, 저부 (41) 의 외주 형상에, 특별히 제한은 없지만, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 원형상을 가지고 있다. 그리고, 베이스 부품 (4) 의 전체의 외형 형상은, 도 11 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형상으로 되어 있는 원통상으로 형성되어 있다. 또한, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상은, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 원형상이지만, 원형의 형상 이외에, 장원형상, 마름모꼴형상, 삼각형상, 사각형상, 오각형상 등의 등이어도 된다. 베이스 부품 (4) 의 전체의 형상은, 원통상 이외에, 원뿔상, 각통상, 각뿔상 등이어도 된다.

베이스 부품 (4) 은, 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체가 주입되어 내압이 가해졌을 때에 기저 (2) 를 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡시키기 쉬운 관점에서, 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 에서의 두께 (T3) (도 13 참조) 가, 기저 (2) 의 두께 (T2) 보다 두꺼운 것이 바람직하고, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하이다.

또, 베이스 부품 (4) 은, 동일한 관점에서, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에서의 두께 (T4) (도 13 참조) 가, 기저 (2) 의 두께 (T2) 보다 두꺼운 것이 바람직하고, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 두께 방향을 따라 미세 돌기 유닛 (10) 을 단면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 과 미세 돌기구 (1) 를 접합한 접합부 (5) 에 있어서, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 두께 (T2) 가, 베이스 부품 (4) 의 두께 방향의 길이 (L1) 보다 작게 형성되어 있다. 도 13 은 도 12 에 나타내는 III-III 선 단면도이고, 미세 돌기 유닛 (10) 을 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 본 베이스 부품 (4) 이 원형인 경우, III-III 선은 베이스 부품 (4) 의 원형의 중심을 통과하는 위치의 단면도이다.

액체 유지 공간 (4k) 내에 액체가 주입되어 내압이 가해졌을 때에 기저 (2) 를 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡시키기 쉬운 관점에서, 접합부 (5) 에 위치하는, 베이스 부품 (4) 의 두께 방향의 길이 (L1) 에 대한 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 두께 (T2) 의 비 (T2/L1) 가, 바람직하게는 0.005 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 이상이며, 그리고, 바람직하게는 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.3 이하이며, 또, 바람직하게는 0.005 이상 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 이상 0.3 이하이다. 바람직하게, 베이스 부품 (4) 의 두께 방향의 길이 (L1) 는, 바람직하게는 2 mm 이상, 더욱 바람직하게는 3 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 20 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 15 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 2 mm 이상 20 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 3 mm 이상 15 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 12 및 도 13 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에, 미세 돌기구 (1) 의 윤곽, 즉, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 이 배치되어 있다. 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 은, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 으로부터 내측으로, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W1) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 미세 돌기구의 윤곽, 즉, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 이내의 위치에, 베이스 부품 (4) 과 미세 돌기구 (1) 를 접합한 접합부 (5) 가 배치되어 있다. 접합부 (5) 는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 걸쳐 배치된 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에 띠상으로 형성되어 있고, 액체 유지 공간 (4k) 의 외주 전역에 걸쳐 원환상으로 배치되어 있다. 여기서, 「윤곽 (2L) 이내의 위치」란, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 과, 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리가 일치하고 있거나, 혹은, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 보다 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리가 내측에 배치되어 있는 상태를 의미한다.

미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 접착 강도와 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 띠상의 접합부 (5) 의 폭 (W2) 이, 바람직하게는 0.5 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.5 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상 3 mm 이하이다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 컷 안정성과 외관 및 사용감 향상의 관점에서, 기저 (2) 의 윤곽 (2L) 과 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리의 간격 (W3) 이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W3) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 도 12 및 도 13 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 (4) 은, 액체 유지 공간 (4k) 을 둘러싸는 저부 (41) 와, 저부 (41) 의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부 (43) 를 갖고, 미세 돌기구 (1) 와 대향하는 둘레벽부 (43) 의 상면에 있어서 그 미세 돌기구 (1) 와 접합되어 있고, 그 상면의 액체 유지 공간 (4k) 측에는 미세 돌기구 (1) 와 접합하고 있지 않은 비접합 영역을 구비하고 있다. 즉, 미세 돌기구 (1) 와 선단벽부 (43s) 사이에 액체가 들어갈 수 있는 영역인 비접합 영역이 존재함으로써, 내압이 가해졌을 때에 기저부 (2) 가 바깥쪽으로 볼록하게 만곡하기 쉬워진다. 돌기부 (3) 가 바깥쪽으로 볼록하게 만곡하여 피부에의 천자성을 높이는 관점에서, 접합부 (5) 의 안쪽측의 돌기 영역 (3R) 측의 둘레가장자리와 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 내벽의 간격 (W4) 이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격 (W4) 을 두고 배치되어 있는 것이 바람직하다.

미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 11 및 도 13 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 를 기저 (2) 상에 구비하는 미세 돌기구 (1) 와, 베이스 부품 (4) 이 별체이며, 베이스 부품 (4) 의 선단에 미세 돌기구 (1) 를 접합한 것이므로, 미세 돌기구 (1) 와 베이스 부품 (4) 의 형상이 제한되기 어렵고, 베이스 부품 (4) 의 선택의 자유도가 높다. 또, 미세 돌기 유닛 (10) 은, 사용 시에 시린지 등으로부터 액체가 액체 공급로 (42) 를 통하여 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 내에 공급되고, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 액체 유지 공간 (4k) 내에 액체가 주입되어 내압이 가해지면, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 에 있어서의 돌기부 (3) 를 갖는 영역이 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡하도록 되어 있다. 이와 같이 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 에 있어서의 돌기부 (3) 를 갖는 영역이 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡하면, 기저 (2) 의 상면에 배치된 25 개의 돌기부 (3) 의 천자성이 향상되어 사용감이 향상된다. 특히, 기저 (2) 의 상면에 배치된 25 개의 돌기부 (3) 에 있어서, 중앙의 돌기부 (3) 로부터 나머지 24 개의 돌기부 (3) 의 천자 방향이 방사상으로 퍼지도록 되므로, 돌기부 (3) 의 천자성이 향상되어 사용감이 향상된다.

특히, 미세 돌기 유닛 (10) 은, 도 13 에 나타내는 바와 같이 단면에서 볼 때, 접합부 (5) 에 있어서, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 의 두께 (T2) 가, 베이스 부품 (4) 의 두께 방향의 길이 (L1) 보다 작게 형성되어 있다. 이와 같이 형성되고, 바깥쪽을 향하여 만곡 가능한 기저를 갖기 때문에, 미세 돌기구 (1) 의 기저 (2) 가 사용자의 피부의 요철에 추종하여 만곡하기 쉽고, 돌기부 (3) 의 천자성이 향상되어 사용감이 향상된다.

이상 설명한 미세 돌기 유닛 (10) 은, 예를 들어, 후술하는 제조 장치 (100) 를 사용하여 제조할 수 있다. 도 17 에는, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 실시에 사용되는 제조 장치 (100) 의 전체 구성이 나타나 있다. 이하, 제조 장치 (100) 를 사용하는 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법을, 도 17 ∼ 도 21 을 참조하면서 설명한다. 또한, 상기 서술한 바와 같이, 미세 돌기 유닛 (10) 의 돌기부 (3) 는 매우 작은 것이지만, 설명의 편의상, 각 도면에 있어서는 돌기부 (3) 가 매우 크게 묘화되어 있다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법은, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터, 볼록형부 (11) 을 맞닿게 하여, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한 후, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 을 빼내어 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합하는 접합 공정과, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 컷 공정을 구비한다.

도 17 에 나타내는 바와 같이, 제조 장치 (100) 는, 반송 방향 (Y 방향에 상당) 의 상류측으로부터 하류측을 향하여, 미세 돌기구 (1) 를 형성하는 미세 돌기구 형성부 (200), 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 부재 접합부 (300), 및 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부재 컷부 (400) 를 구비하고 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 미세 돌기구 형성부 (200) 는, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 돌기부 (3) 를 형성하는 돌기부 형성부 (210), 냉각부 (220), 볼록형부 (11) 를 빼내는 릴리스부 (230) 를 구비하고 있다.

또한, 본 명세서에 있어서 볼록형부 (11) 란 기재 시트 (2A) 에 찔리는 부분인 볼록형 (110) 을 구비한 부재이며, 볼록형부 (11) 는, 본 실시형태에서는, 원 반상의 토대 부분 상에 배치된 구조로 되어 있다. 단, 이것으로 한정되지 않고 볼록형 (110) 만으로 이루어지는 볼록형부여도 되고, 복수의 볼록형 (110) 을 대상 지지체 상에 배치한 볼록형부 (11) 여도 된다.

돌기부 형성부 (210) 를, 도 17 및 도 18 을 사용하여 설명한다. 돌기부 형성부 (210) 는, 도 17 및 도 18 에 나타내는 바와 같이, 가열 수단 (도시 생략) 을 가진 볼록형부 (11) 를 구비하고 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 가열 수단을 설치하고 있어도 된다. 또 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 의 가열 수단 이외에 다른 가열 수단을 설치하고 있지 않아도 된다. 또한, 본 명세서에서 「볼록형부 (11) 의 가열 수단 이외에 다른 가열 수단을 설치하고 있지 않다」란, 다른 가열 수단을 일체 배제하는 경우를 가리킬 뿐만 아니라, 기재 시트 (2A) 의 연화 온도 미만, 또는 유리 전이 온도 미만으로 가열하는 수단을 구비하는 경우도 포함한다. 단, 다른 가열 수단을 일절 포함하지 않는 것이 바람직하다. 볼록형부 (11) 의 가열 수단은, 제조 장치 (100) 에 있어서는, 초음파 진동 장치이다.

제조 장치 (100) 를 사용하는 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 먼저, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트 (2A) 의 원료 롤로부터 띠상의 기재 시트 (2A) 를 조출하고, 반송 방향으로 반송한다. 그리고, 기재 시트 (2A) 가 소정 위치까지 이송된 시점에서, 기재 시트 (2A) 의 반송을 정지한다. 이와 같이, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 띠상의 기재 시트 (2A) 의 반송을 간헐적으로 실시하도록 되어 있다.

이어서, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 도 18(a) 및 도 18(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 방향으로 반송된 띠상의 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측으로부터 볼록형부 (11) 를 맞닿게 하여, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 맞닿음 부분 (TP) 을 열에 의해 연화시키면서, 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찔러 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한다 (돌기부 형성 공정). 돌기부 형성부 (210) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 휨 억제 수단으로서의 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 휨 억제 수단으로서의 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다.

볼록형부 (11) 는, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 원뿔상의 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응하여, 첨예한 선단의 원뿔상의 부분을 갖는 형상으로 되어 있다. 즉, 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 제조하는 미세 돌기구 (1) 의 돌기부 (3) 의 개수, 배치, 각 돌기부 (3) 의 대략 외형 형상에 대응한 볼록형 (110) 을 갖고, 25 개의 원뿔대상의 돌기부 (3) 에 대응하여, 25 개의 원뿔상의 볼록형 (110) 을 가지고 있다. 이와 같이 복수개의 볼록형 (110) 을 갖는 볼록형부 (11) 를 사용하여, 시트상의 기저 (2) 의 상면에 배열된 복수개의 돌기부 (3) 를 형성하도록 되어 있다. 볼록형부 (11) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 각 볼록형 (110) 의 선단을 상방을 향하게 하여 배치되어 있고, 적어도 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 바람직하게, 제조 장치 (100) 에서는, 볼록형부 (11) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 볼록형부 (11) 의 가열 수단의 작동은, 기재 시트 (2A) 에 볼록형부 (11) 가 맞닿기 직전부터, 다음 공정인 냉각 공정에 이르기 직전까지 실시되는 것이 바람직하다.

상기 서술한 바와 같이, 볼록형부 (11) 의 가열 수단은, 제조 장치 (100) 에 있어서는, 초음파 진동 장치이다. 볼록형부 (11) 의 초음파 진동 장치에 의한 초음파 진동에 관하여, 그 주파수는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 10 kHz 이상 50 kHz 이하이며, 더욱 바람직하게는 15 kHz 이상 40 kHz 이하이다. 또, 볼록형부 (11) 의 초음파 진동 장치에 의한 초음파 진동에 관하여, 그 진폭은, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 1 ㎛ 이상 60 ㎛ 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다.

볼록형부 (11) 의 선단측의 형상은, 제조하는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 의 외형 형상에 대응한 형상으로 되어 있으면 된다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 높이 (H2) (도 17 참조) 가, 제조되는 미세 돌기구 (1) 가 갖는 돌기부 (3) 의 높이 (H1) 와 동일하거나 혹은 약간 높게 형성되어 있고, 바람직하게는 0.01 mm 이상 30 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 20 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 선단 직경 (D1) (도 19 참조) 이, 바람직하게는 0.001 mm 이상 1 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상 0.5 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 직경 (D1) 은, 이하와 같이 하여 측정한다.

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 그 근본 직경 (D2) 이, 바람직하게는 0.1 mm 이상 5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.2 mm 이상 3 mm 이하이다. 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 은, 충분한 강도가 얻어지기 쉬워지는 관점에서, 그 선단 각도 (α) 가, 바람직하게는 1 도 이상 60 도 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 도 이상 45 도 이하이다. 볼록형부 (11) 의 선단 각도 (α) 는, 이하와 같이 하여 측정한다.

〔볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 직경의 측정〕

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 (SEM) 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율로 확대한 상태에서 관찰한다. 다음으로, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (11a, 11b) 내의 일측변 (11a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILc) 을 연장시키고, 타측변 (11b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILd) 을 연장시킨다. 그리고, 선단측에서, 일측변 (11a) 이 가상 직선 (ILc) 으로부터 떨어지는 지점을 제 1 선단점 (11a1) 으로서 구하고, 타측변 (11b) 이 가상 직선 (ILd) 으로부터 떨어지는 지점을 제 2 선단점 (11b1) 으로서 구한다. 이와 같이 하여 구한 제 1 선단점 (11a1) 과 제 2 선단점 (11b1) 을 잇는 직선의 길이 (D1) 를, 주사형 전자현미경 (SEM) 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 직선의 길이를, 볼록형 (110) 의 선단 직경으로 한다.

〔볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 각도 (α) 의 측정〕

볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단부를, 주사형 전자현미경 (SEM) 혹은 마이크로스코프를 사용하여 소정 배율 확대한 상태에서, 예를 들어, 도 19 에 나타내는 SEM 화상과 같이 관찰한다. 다음으로, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 양측변 (11a, 11b) 내의 일측변 (11a) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILc) 을 연장시키고, 타측변 (11b) 에 있어서의 직선 부분을 따라 가상 직선 (ILd) 을 연장시킨다. 그리고, 가상 직선 (ILc) 과 가상 직선 (ILd) 이 이루는 각을, 주사형 전자현미경 (SEM) 또는 마이크로스코프를 사용하여 측정하고, 측정한 그 이루는 각을, 볼록형부 (11) 의 볼록형 (110) 의 선단 각도 (α) 로 한다.

상기 서술한 바와 같이, 돌기부 형성 공정에서 사용하는 개구 플레이트 (12U) 는, 도 17 및 도 18 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측에 배치되어 있고, 볼록형부 (11) 를 일면 (2D) 측으로부터 찔러 넣었을 때에 기재 시트 (2A) 가 휘기 어렵게 하는 역할을 하고 있다. 그 때문에, 개구 플레이트 (12U) 는, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 볼록형부 (11) 가 찔러 넣어지는 영역 이외의 영역, 바꿔 말하면, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 이외의 영역을 지지하도록 배치되어 있다. 이와 같이 배치되는 개구 플레이트 (12U) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸도록 개구한 개구부 (12a) 를 갖는 판상의 개구 플레이트이다. 개구 플레이트 (12U) 에서는, 개구부 (12a) 이외의 영역에서 기재 시트 (2A) 를 지지하고 있다.

개구 플레이트 (12U) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (12a) 가 1 개 형성되어 있고, 1 개의 개구부 (12a) 의 개구 면적은, 볼록형부 (11) 에 있어서의 볼록형 (110) 이 복수개 삽입 통과할 수 있도록, 볼록형 (110) 의 총단면적보다 크게 형성되어 있다. 또한, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 는, 복수의 볼록형 (110) 이 각각 삽입 통과되도록 각 볼록형 (110) 에 대응하여, 복수 형성되어 있어도 된다.

제조 장치 (100) 는, 볼록형부 (11) 의 가열 수단으로서 초음파 진동 장치를 가지고 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 돌기부 형성 공정을 실시하도록 되어 있다. 제조 장치 (100) 를 사용하는 돌기부 형성 공정에서는, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 후술하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 에 볼록형부 (11) 를 통과시키고, 도 18(a) 에 나타내는 바와 같이, 초음파 진동 장치에 의해 각 볼록형부 (11) 에 초음파 진동을 미리 발현시키면서, 이어서 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 에 맞닿게 한다. 이로써 맞닿음 부분 (TP) 을 연화시킨다. 그리고, 도 18(b) 에 나타내는 바와 같이, 맞닿음 부분 (TP) 을 연화시키면서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터 타면 (2U) 측 (상면측) 을 향하여 볼록형부 (11) 를 상승시키고, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면측) 측에 배치된 개구 플레이트 (12U) 로 기재 시트 (2A) 의 휨을 억제하면서, 볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찔러 간다. 그리고, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 돌출되는 돌기부 (3) 를 형성한다.

볼록형부 (11) 의 가열에 의한 기재 시트 (2A) 의 가열 온도는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 사용되는 기재 시트 (2A) 의 유리 전이 온도 이상 용융 온도 미만인 것이 바람직하고, 특히 연화 온도 이상 용융 온도 미만인 것이 바람직하다. 상세히 서술하면 상기 가열 온도는, 바람직하게는 30 ℃ 이상 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 40 ℃ 이상 250 ℃ 이하이다. 또한, 초음파 진동 장치를 사용하여 기재 시트 (2A) 를 가열하는 경우에 있어서는, 볼록형 (110) 과 접촉한 기재 시트 (2A) 의 부분의 온도 범위로서 적용된다. 한편, 초음파 진동 장치 대신에 가열 히터 장치를 사용하여 기재 시트 (2A) 를 가열하는 경우에는, 볼록형부 (11) 의 가열 온도를 상기 서술한 범위에서 조정하면 된다. 또한, 유리 전이 온도 (Tg) 의 측정 방법은, 이하의 방법에 의해 측정되고, 연화 온도의 측정 방법은, JIS K-7196 「열가소성 플라스틱 필름 및 시트의 열기계 분석에 의한 연화 온도 시험 방법」에 따라 실시한다.

〔유리 전이 온도 (Tg) 의 측정 방법〕

DSC 측정기를 사용하여 열량의 측정을 실시하여, 유리 전이 온도를 구한다. 구체적으로, 측정기는 Perkin Elmer 사 제조의 시차주사 열량 측정 장치 (Diamond DSC) 를 사용한다. 기재 시트로부터 시험편 10 mg 을 채취한다. 측정 조건은 20 ℃ 에서 5 분간 유지한 후에, 20 ℃ 에서부터 320 ℃ 까지, 5 ℃/분으로 승온시키고, 가로축 온도, 세로축 열량의 DSC 곡선을 얻는다. 그리고, 이 DSC 곡선으로부터 유리 전이 온도 Tg 를 구한다.

볼록형부 (11) 를 기재 시트 (2A) 에 찌르는 자입 속도는, 지나치게 느리면 수지를 과잉으로 가열 연화시키고, 지나치게 빠르면 가열 연화 부족이 되므로, 돌기부 (3) 를 효율적으로 형성하는 관점에서, 바람직하게는 0.1 mm/초 이상 1000 mm/초 이하이며, 더욱 바람직하게는 1 mm/초 이상 800 mm/초 이하이다. 가열 상태의 볼록형부 (11) 의 상승을 정지시키고, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태인 채 다음 공정인 냉각 공정을 실시할 때까지의 시간인 연화 시간은, 지나치게 길면 과잉 가열이 되지만, 가열 부족을 보충하는 관점에서, 바람직하게는 0 초 이상 10 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.1 초 이상 5 초 이하이다.

기재 시트 (2A) 에 찌르는 볼록형부 (11) 의 자입 높이는, 돌기부 (3) 를 효율적으로 형성하는 관점에서, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 5 mm 이하이다. 여기서, 「자입 높이」란, 기재 시트 (2A) 에 가장 볼록형부 (11) 를 찔러 넣은 상태에 있어서, 볼록형부 (11) 의 정점과, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 사이의 거리를 의미한다. 따라서, 돌기부 형성 공정에 있어서의 자입 높이란, 돌기부 형성 공정에서 볼록형부 (11) 가 가장 깊게 찔러 넣어져 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 으로부터 볼록형부 (11) 가 나온 상태에 있어서의, 그 타면 (2U) 으로부터 수직 방향으로 측정한 볼록형부 (11) 의 정점까지의 거리이다.

또한, 미세 돌기구 (1) 는, 돌기부 (3) 의 선단 근방에 개공부 (3h) 를 가지고 있으므로, 돌기부 형성 공정에서, 볼록형부 (11) 의 동작, 및/또는 볼록형부 (11) 가 구비하는 가열 수단의 가열 조건 등을 제어하여, 기재 시트 (2A) 에 볼록형부 (11) 를 관통할 때까지 자입하여 개공부 (3h) 를 형성한다.

다음으로, 제조 장치 (100) 에서는, 도 18(c) 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 형성부 (210) 의 다음에 냉각부 (220) 가 설치되어 있다. 냉각부 (220) 는, 예를 들어 냉풍송풍 장치를 구비하고 있다 (도시 생략). 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 제조 장치 (100) 를 사용하여, 돌기부 형성 공정 후, 냉풍송풍 장치를 사용하여, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태에서 돌기부 (3) 를 냉각한다 (냉각 공정). 구체적으로, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 후술하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다. 그 때문에, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 냉각 공정을 실시하도록 되어 있다. 냉풍송풍 장치는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 냉풍송풍하는 송풍구 (21) 가 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 형성되어 있고, 송풍구 (21) 로부터 냉풍을 분무하여, 돌기부 (3) 의 내부에 볼록형부 (11) 를 찌른 상태인 채 냉각한다. 또한, 냉각할 때에는, 볼록형부 (11) 의 가열 장치에 의한 가열은, 계속 상태여도 되고 정지된 상태여도 되지만, 정지된 상태가 바람직하다.

분무하는 냉풍의 온도는, 돌기부 (3) 형성의 관점에서, 바람직하게는 -50 ℃ 이상 26 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 -40 ℃ 이상 10 ℃ 이하이다. 냉풍을 분무하여 냉각하는 냉각 시간은, 성형성과 가공 시간 양립성의 관점에서, 바람직하게는 0.01 초 이상 60 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 초 이상 30 초 이하이다.

다음으로, 제조 장치 (100) 에서는, 도 18(d) 에 나타내는 바와 같이, 냉각부 (220) 의 다음에 릴리스부 (230) 가 설치되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 미세 돌기구 형성 공정에서는, 냉각 공정 후에, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 을 빼내어 미세 돌기구 (1) 를 형성한다 (릴리스 공정). 릴리스 공정에서는, 돌기부 (3) 의 내부로부터 볼록형부 (11) 를 빼낼 때에 기재 시트 (2A) 의 휨을 억제하는 휨 억제 수단으로서 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 사용하여 미세 돌기구 (1) 를 형성한다. 제조 장치 (100) 에서는, 릴리스 공정에 사용하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측에 배치되어 있고, 기재 시트 (2A) 가 이송되는 소정 위치에 대응한 위치에 배치되어 있다.

릴리스 공정에서 사용하는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 도 17 및 도 18 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측에 배치되어 있고, 볼록형부 (11) 를 일면 (2D) 측으로부터 인발할 때에 기재 시트 (2A) 가 휘기 어렵게 하는 역할을 하고 있다. 따라서, 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 볼록형부 (11) 가 인발되는 영역 이외의 영역, 바꿔 말하면, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 이외의 영역을 지지하도록 배치되어 있다. 이와 같이 배치되는 제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸도록 개구한 개구부 (13a) 를 갖는 판상의 제 2 개구 플레이트이다. 제 2 개구 플레이트 (13D) 에서는, 개구부 (13a) 이외의 영역에서 기재 시트 (2A) 를 지지하고 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (13a) 가 1 개 형성되어 있고, 1 개의 개구부 (13a) 의 개구 면적은, 볼록형부 (11) 에 있어서의 볼록형 (110) 이 복수개 삽입 통과할 수 있도록, 볼록형 (110) 의 총단면적보다 크게 형성되어 있다. 또한, 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 복수의 볼록형 (110) 이 각각 삽입 통과되도록 각 볼록형 (110) 에 대응하여, 복수 형성되어 있어도 된다. 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 와 동심원 상에 배치되어 있다. 따라서, 기재 시트 (2A) 를 협지하는 1 쌍의 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 및 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 가 두께 방향으로 겹쳐져 있다.

제조 장치 (100) 에서는, 개구 플레이트 (12U) 의 개구부 (12a) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 의 개구부 (13a) 는, 그 개구 형상이 동일하다. 또한, 개구부 (12a, 13a) 는, 개구 플레이트 (12U, 13D) 를 상면측으로부터 볼 때, 그 형상에, 특별히 제한은 없지만, 제조 장치 (100) 에서는, 쌍방 모두 원형상으로 형성되어 있고, 개구부 (12a, 13a) 의 개구 직경이 동일하게 되어 있다.

제 2 개구 플레이트 (13D) 를 구성하는 재질로는, 개구 플레이트 (12U) 를 구성하는 재질 또는 볼록형부 (11) 의 재질과 동일한 재질이어도 되고, 합성 수지등으로 형성되어 있어도 된다.

제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 에 개구 플레이트 (12U) 를 배치하고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 배치하고 있다. 그 때문에, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 릴리스 공정을 실시하도록 되어 있다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 18(e) 에 나타내는 바와 같이, 개구 플레이트 (12U) 와 제 2 개구 플레이트 (13D) 로, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서 릴리스 공정을 실시한 후, 제 2 개구 플레이트 (13D) 를 하방으로 이동시키고 또한 개구 플레이트 (12U) 를 상방으로 이동시켜, 내부가 중공인 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 를 기재 시트 (2A) 에 형성한다 (미세 돌기구 형성 공정).

이어서, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 반송 방향 (Y 방향) 으로 이동시킨다. 미세 돌기구 형성 공정의 후공정에서는, 도 17 및 도 20 에 나타내는 바와 같이, 미세 돌기구 형성 공정에서 제조된, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합한다 (접합 공정). 여기서, 베이스 부품 (4) 의 선단이란, 베이스 부품 (4) 에 있어서의 가장 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 에 위치하는 부위이며, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 걸쳐 배치된 둘레벽부 (43) 의 선단인 선단벽부 (43s) 이다. 접합 공정은, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 제조 장치 (100) 의 부재 접합부 (300) 를 사용하여 실시한다.

베이스 부품 (4) 은, 접합부 (5) 를 융착에 의해 형성하는 경우에는, 접합부 (5) 의 형성의 용이함의 관점에서, 기재 시트 (2A) 와 동일한 종류의 열가소성 수지를 포함하여 형성되어 있는 것이 바람직하다. 열가소성 수지로는, 폴리 지방산 에스테르, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리스티렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트류, 폴리염화비닐, 나일론 수지, 아크릴 수지 등 또는 이들의 조합을 들 수 있고, 생분해성의 관점에서, 폴리 지방산 에스테르가 바람직하게 사용된다. 폴리 지방산 에스테르로는, 구체적으로, 폴리락트산, 폴리글리콜산 또는 이들의 조합 등을 들 수 있다. 또한, 베이스 부품 (4) 은, 접합부 (5) 를 접착제를 사용하여 형성하는 경우에는, 기재 시트 (2A) 와 상이한 소재로 형성되어 있어도 되고, 예를 들어, 금속제여도 된다.

제조 장치 (100) 에서는, 부재 접합부 (300) 는, 도 17 및 도 20 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 (4) 을 고정하는 베이스 부품 고정부 (301) 와, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 및 베이스 부품 (4) 을 접합하는 접합부 (302) 와, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 두는 상측 개구 플레이트 (312U) 및 하측 개구 플레이트 (313D) 를 갖는다. 베이스 부품 고정부 (301) 는, 베이스 부품 (4) 의 전체의 외형 형상에 대응하는 형상의 오목부 (303) 를 가지고 있다. 오목부 (303) 는, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형의 원통상에 끼워 맞춰지는 형상으로 형성되어 있다.

베이스 부품 고정부 (301) 는, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 오목부 (303) 를 가지고 있고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 오목부 (303) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 가 노출되도록 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측을 유지하도록 되어 있다. 베이스 부품 고정부 (301) 는, 고정되어 있어도 되지만, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 베이스 부품 고정부 (301) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

접합부 (302) 는, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 와 베이스 부품 (4) 을 접합하는 부위이다. 접합부 (302) 는, 도 17 및 도 20 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸고, 또한 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에 대응하는 원환상의 선단부 (302s) 를 가지고 있다. 선단부 (302s) 를 갖는 접합부 (302) 는, 선단부 (302s) 측이 개구한 통상으로 형성되어 있다. 접합부 (302) 의 선단부 (302s) 의 폭은, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 폭보다 좁은 것이 바람직하고, 띠상의 접합부 (5) 의 폭 (W2) 과 대략 일치하고 있다.

접합부 (302) 는, 도 17 및 도 20 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있다. 접합부 (302) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 접합부 (302) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

하측 개구 플레이트 (313D) 는, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (313a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (313a) 의 개구 면적은, 베이스 부품 고정부 (301) 를 일면 (2D) 측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시켰을 때에 베이스 부품 고정부 (301) 가 삽입 통과할 수 있도록, 베이스 부품 고정부 (301) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

상측 개구 플레이트 (312U) 는, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (312a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (312a) 의 개구 면적은, 접합부 (302) 를 타면 (2U) 측으로부터 두께 방향의 하방으로 이동시켰을 때에 접합부 (302) 가 삽입 통과할 수 있도록, 접합부 (302) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

하측 개구 플레이트 (313D) 및 상측 개구 플레이트 (312U) 는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 하측 개구 플레이트 (313D) 및 상측 개구 플레이트 (312U) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

하측 개구 플레이트 (313D) 및 상측 개구 플레이트 (312U) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 20(a) 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 고정부 (301) 의 오목부 (303) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 가 노출되도록 베이스 부품 (4) 을 유지한다.

이어서, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 20(b) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (313D) 를 상방으로 이동시키고 또한 상측 개구 플레이트 (312U) 를 하방으로 이동시켜, 하측 개구 플레이트 (313D) 와 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 의 돌기 영역 (3R) 보다 바깥쪽의 위치에서, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔다. 이와 같이, 하측 개구 플레이트 (313D) 와 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔다. 그리고, 도 20(c) 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 하측 개구 플레이트 (313D) 의 개구부 (313a) 에 베이스 부품 (4) 을 유지한 베이스 부품 고정부 (301) 를 통과시켜, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 를 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 에 맞닿게 한다.

또, 도 20(d) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (313D) 와 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터, 상측 개구 플레이트 (312U) 의 개구부 (312a) 에 접합부 (302) 를 통과시켜, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 를 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 한다. 또한, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 를 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 한 후, 하측 개구 플레이트 (313D) 와 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태로 해도 된다.

그리고, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 20(e) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (313D) 와 상측 개구 플레이트 (312U) 로, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 접합부 (302) 의 원환상의 선단부 (302s) 에서 가열시켜, 기재 시트 (2A) 에 있어서의, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에 위치하는 부분과 베이스 부품 (4) 의 선단벽부 (43s) 를 용융시키면서 미세 돌기 유닛 (10) 의 접합부 (5) 를 형성하여, 미세 돌기구 (1) 가 형성된 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 과 베이스 부품 (4) 의 선단을 접합한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 접합부 (5) 의 형성 후, 접합부 (302) 의 가열을 정지한다.

접합 공정을 실시한 후, 도 20(f) 에 나타내는 바와 같이, 접합부 (302) 를, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시킨다. 그리고, 도 20(g) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (313D) 를 하방으로 이동시키고 또한 상측 개구 플레이트 (312U) 를 상방으로 이동시킨다. 이와 같이 하여, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를, 베이스 부품 고정부 (301) 상에 형성한다.

이어서, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 돌기부 (3) 를 갖는 미세 돌기구 (1) 가 형성되고 또한 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 반송 방향 (Y 방향) 으로 이동시킨다. 접합 공정의 후공정에서는, 접합 공정에서 제조된, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 을 따라 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다 (컷 공정). 여기서, 베이스 부품 (4) 의 윤곽보다 내측이란, 바꿔 말하면, 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 의 외주보다 내측이다. 컷 공정에서는, 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부재 컷부 (400) 를 이용하여 실시한다.

제조 장치 (100) 에서는, 부재 컷부 (400) 는, 도 17 및 도 21 에 나타내는 바와 같이, 베이스 부품 (4) 을 고정하는 베이스 부품 고정부 (401) 와, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 절단하는 컷부 (402) 와, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 두는 상측 개구 플레이트 (412U) 및 하측 개구 플레이트 (413D) 를 갖는다. 베이스 부품 고정부 (401) 는, 베이스 부품 (4) 의 전체의 외형 형상에 대응하는 형상의 오목부 (403) 를 가지고 있다. 오목부 (403) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 베이스 부품 고정부 (301) 의 오목부 (303) 와 동일하게, 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 저부 (41) 가 원형의 원통상에 끼워 맞춰지는 형상으로 형성되어 있다.

베이스 부품 고정부 (401) 는, 도 17 및 도 21 에 나타내는 바와 같이, 오목부 (403) 를 가지고 있고, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 오목부 (403) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 유지하도록 되어 있다. 베이스 부품 고정부 (401) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 베이스 부품 고정부 (301) 와 동일하게, 고정되어 있어도 되지만, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 베이스 부품 고정부 (401) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

컷부 (402) 는, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 절단하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조하는 부위이다. 컷부 (402) 는, 도 17 및 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 돌기부 (3) 가 형성되는 영역인 돌기 영역 (3R) 을 둘러싸고, 또한 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 에 대응하는 원환상의 선단부 (402s) 를 가지고 있다. 선단부 (402s) 를 갖는 컷부 (402) 는, 선단부 (402s) 측이 개구한 통상으로 형성되어 있다.

컷부 (402) 는, 도 17 및 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있다. 컷부 (402) 는, 제조 장치 (100) 에서는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 컷부 (402) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

컷 공정에 있어서 컷하는 수단으로는, 타발날, 또는 레이저 등의 수단을 들 수 있지만, 제조 장치 (100) 에서는, 컷부 (402) 의 컷하는 수단이, 타발날에 의한 컷 수단이다. 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날은, 베이스 부품 (4) 의 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 의 두께 (T4) 의 범위 내에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 제조 장치 (100) 에서는, 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날은, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L), 바꿔 말하면, 저부 (41) 의 외주보다 안쪽측의 돌기 영역 (3R) 측이고, 또한 띠상의 접합부 (5) 의 바깥쪽측의 둘레가장자리보다 바깥쪽에 위치하고 있다. 또한, 레이저는, 레이저 광을 조사하여, 상기 서술한 바와 같이 기재 시트 (2A) 및 베이스 부품 (4) 등의 재료를 열에 의해 용융하여 결합함과 동시에, 기재 시트 (2A) 를 용융시켜 절단하는 컷 수단이다.

하측 개구 플레이트 (413D) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 하측 개구 플레이트 (313D) 와 동일하게, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) (하면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (413a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (413a) 의 개구 면적은, 베이스 부품 고정부 (401) 를 일면 (2D) 측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시켰을 때에 베이스 부품 고정부 (401) 가 삽입 통과할 수 있도록, 베이스 부품 고정부 (401) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

상측 개구 플레이트 (412U) 는, 부재 접합부 (300) 가 갖는 상측 개구 플레이트 (312U) 와 마찬가지로, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) (상면) 측에 배치되어 있고, 1 개의 개구부 (412a) 를 갖는 판상의 플레이트로 형성되어 있다. 개구부 (412a) 의 개구 면적은, 컷부 (402) 를 타면 (2U) 측으로부터 두께 방향의 하방으로 이동시켰을 때에 컷부 (402) 가 삽입 통과할 수 있도록, 컷부 (402) 의 평면적보다 크게 형성되어 있다.

하측 개구 플레이트 (413D) 및 상측 개구 플레이트 (412U) 는, 기재 시트 (2A) 에 맞닿는 방향과 이간하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 제조 장치 (100) 에서는, 하측 개구 플레이트 (413D) 및 상측 개구 플레이트 (412U) 는, 전동 액추에이터 (도시 생략) 에 의해, 두께 방향의 상하로 이동 가능하게 되어 있다.

하측 개구 플레이트 (413D) 및 상측 개구 플레이트 (412U) 의 동작의 제어는, 제조 장치 (100) 에 구비된 제어 수단 (도시 생략) 에 의해 제어되고 있다.

미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 21(a) 및 도 21(b) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (413D) 를 상방으로 이동시키고 또한 상측 개구 플레이트 (412U) 를 하방으로 이동시켜, 하측 개구 플레이트 (413D) 와 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 기재 시트 (2A) 에 있어서의 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 바깥쪽의 위치에서, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔다. 이와 같이, 하측 개구 플레이트 (413D) 와 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 끼워 넣는다.

그리고, 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법에서는, 도 21(c) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (413D) 와 상측 개구 플레이트 (412U) 로 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 일면 (2D) 측 (하면측) 으로부터, 베이스 부품 고정부 (401) 를 통과시킨다. 그리고, 베이스 부품 고정부 (401) 의 오목부 (403) 내에 베이스 부품 (4) 의 저부 (41) 측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품 (4) 이 접합되고 또한 미세 돌기구 (1) 가 배치된 기재 시트 (2A) 를 유지한다.

그리고, 도 21(d) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (413D) 와 상측 개구 플레이트 (412U) 로, 베이스 부품 (4) 이 접합된 기재 시트 (2A) 를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터, 상측 개구 플레이트 (412U) 의 개구부 (412a) 에 컷부 (402) 를 통과시켜, 컷부 (402) 의 선단부 (402s) 의 날을, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 보다 내측에서 윤곽 (4L) 을 따라, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 에 맞닿게 하여 컷해 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다. 미세 돌기 유닛 (10) 의 제조 방법의 컷 공정에 있어서는, 베이스 부품 (4) 의 액체 유지 공간 (4k) 의 외주에 배치되는 둘레벽부 (43) 의 선단벽부 (43s) 상에서 기재 시트 (2A) 를 컷하여 미세 돌기 유닛 (10) 을 제조한다.

컷 공정을 실시한 후, 도 21(e) 에 나타내는 바와 같이, 컷부 (402) 를, 기재 시트 (2A) 의 타면 (2U) 측 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시킨다. 그리고, 도 21(f) 에 나타내는 바와 같이, 하측 개구 플레이트 (413D) 와 상측 개구 플레이트 (412U) 로 사이에 둔 기재 시트 (2A) 의 트림 부분 (2At) 을, 하측 개구 플레이트 (413D) 를 하방으로 이동시키고 또한 상측 개구 플레이트 (412U) 를 상방으로 이동시킨 후에, 제거한다. 이와 같이 하여, 미세 돌기 유닛 (10) 을, 베이스 부품 고정부 (401) 상에 형성한다.

이상과 같이 형성된 미세 돌기 유닛 (10) 은, 그 후, 베이스 부품 고정부 (401) 로부터 취출되고, 반송 방향 (Y 방향) 하류측으로 반송된다. 이상의 공정을 반복함으로써, 미세 돌기 유닛 (10) 을 연속적으로 효율적으로 제조할 수 있다.

예를 들어, 상기 설명한 도 11 ∼ 도 13 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 은, 미세 돌기구 (1) 측으로부터 평면에서 봤을 때에, 도 22(a) ∼ 도 22(d) 에 나타내는 바와 같은 형태의 미세 돌기 유닛 (10) 이어도 된다. 구체적으로, 도 22(a) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상이 원형상이며, 시트상 기저 (2) 의 상면에, 세로 방향 Y 로 3 열 및 가로 방향 X 로 3 열로 9 개의 돌기부 (3) 가 배열되어 있다. 도 22(a) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에 의하면 도 11 ∼ 도 13 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 과 동일한 효과를 발휘할 수 있다. 또, 도 22(b) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상이 원형상이며, 시트상의 기저 (2) 의 상면에, 윤곽 (4L) 의 중심에 1 개의 돌기부 (3) 가 배치되고, 그 1 개의 돌기부 (3) 로부터 동심원으로 넓어지는 복수의 각 원 상에 간격을 두고 복수의 돌기부 (3) 가 배치되어 있고, 합계 21 개의 돌기부 (3) 가 배치되어 있다. 도 22(b) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에 의하면 동심원 상에 돌기부 (3) 가 배치되어 있으므로 천자성이 더욱 향상된다.

또, 도 22(c) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상이 장원형상이며, 시트상의 기저 (2) 의 상면에, 장원형상이 연장되는 방향을 따라 간격을 두고 5 개의 돌기부 (3) 가 1 열로 배치되어 있다. 도 22(c) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에 의하면 1 열로 돌기부 (3) 가 배치되어 있으므로 천자성이 더욱 향상된다. 또, 도 22(d) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에서는, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상이 직사각형상의 사각형이며, 시트상의 기저 (2) 의 상면에, 세로 방향 Y 로 5 열 및 가로 방향 X 로 5 열로 25 개의 돌기부 (3) 가 배열되어 있다. 도 22(d) 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 에 의하면 도 11 ∼ 도 13 에 나타내는 미세 돌기 유닛 (10) 과 동일한 효과를 발휘할 수 있다. 또한, 베이스 부품 (4) 의 윤곽 (4L) 형상은, 직사각형상의 사각형 이외에, 마름모꼴형, 삼각형 등의 다각형이어도 된다.

상기 서술한 실시형태에 관하여, 본 발명은 또한 이하의 미세 돌기 유닛의 제조 방법을 개시한다.

＜1＞

내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법으로서,

열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트의 일면측으로부터, 볼록형부를 맞닿게 하고, 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성한 후, 그 돌기부의 내부로부터 그 볼록형부를 빼내어 미세 돌기구를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과,

상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트의 일면측과 상기 베이스 부품의 선단을 접합하는 접합 공정과,

상기 베이스 부품이 접합된 상기 기재 시트를, 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라 상기 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜2＞

상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간의 외주에 둘레벽부를 갖고,

상기 컷 공정에 있어서는, 상기 베이스 부품의 상기 둘레벽부의 선단벽부 상에서 상기 기재 시트를 컷하는, 상기 ＜1＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜3＞

상기 접합 공정에 있어서 접합하는 수단이, 열 시일, 초음파, 레이저, 또는 접착제인, 상기 ＜1＞ 또는 ＜2＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜4＞

상기 컷 공정에 있어서 컷하는 수단이, 타발날, 또는 레이저인, 상기 ＜1＞ ∼ ＜3＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜5＞

상기 접합 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 1 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 1 상측 개구 플레이트를 사용하여, 그 제 1 하측 개구 플레이트와 그 제 1 상측 개구 플레이트로, 미세 돌기구가 형성된 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 접합하고,

상기 접합 공정 후, 상기 제 1 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 1 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 상기 ＜1＞ ∼ ＜4＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜6＞

상기 컷 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 2 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 2 상측 개구 플레이트를 이용하여, 그 제 2 하측 개구 플레이트와 그 제 2 상측 개구 플레이트로, 상기 베이스 부품이 접합된 상기 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 상기 미세 돌기 유닛을 제조하고,

상기 컷 공정 후, 상기 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 상기 ＜1＞ ∼ ＜5＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜7＞

상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트를 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라, 그 기재 시트의 일면측과 그 베이스 부품의 선단을 접합함과 동시에, 그 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 접합·컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜8＞

상기 접합·컷 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 3 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 3 상측 개구 플레이트를 이용하여, 그 제 3 하측 개구 플레이트와 그 제 3 상측 개구 플레이트로, 상기 돌기부가 형성된 상기 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 상기 미세 돌기 유닛을 제조하고,

상기 접합·컷 공정 후, 상기 제 3 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 3 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 상기 ＜7＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜9＞

상기 기재 시트의 원료 롤로부터 띠상의 기재 시트를 조출하고, 반송 방향으로 반송하고, 기재 시트가 소정 위치까지 이송된 시점에서, 기재 시트의 반송을 정지하여, 띠상의 기재 시트의 반송을 간헐적으로 실시하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜8＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜10＞

상기 미세 돌기구 형성 공정에서는, 반송 방향으로 반송된 띠상의 기재 시트의 일면측으로부터 볼록형부를 맞닿게 하고, 기재 시트에 있어서의 맞닿음 부분을 열에 의해 연화시키면서, 볼록형부를 기재 시트에 찔러 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜9＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜11＞

상기 볼록형부의 가열에 의한 기재 시트의 가열 온도는, 사용되는 기재 시트의 유리 전이 온도 이상 용융 온도 미만인 것이 바람직하고, 특히 연화 온도 이상 용융 온도 미만인 상기 ＜10＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜12＞

상기 가열 온도는, 바람직하게는 30 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 40 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 250 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 30 ℃ 이상 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 40 ℃ 이상 250 ℃ 이하인 상기 ＜10＞ 또는 ＜11＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜13＞

상기 볼록형부를 기재 시트에 찌르는 자입 속도는, 바람직하게는 0.1 mm/초 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm/초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1000 mm/초 이하이며, 더욱 바람직하게는 800 mm/초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.1 mm/초 이상 1000 mm/초 이하이며, 더욱 바람직하게는 1 mm/초 이상 800 mm/초 이하인 상기 ＜1＞ ∼ ＜12＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜14＞

상기 미세 돌기구 형성 공정에서는, 제조 장치를 사용하여, 돌기부 형성 공정 후, 냉풍송풍 장치를 사용하여, 돌기부의 내부에 볼록형부를 찌른 상태에서 돌기부를 냉각하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜13＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜15＞

개구 플레이트와 제 2 개구 플레이트로, 상기 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 냉각 공정을 실시하도록 되어 있는 상기 ＜14＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜16＞

분무하는 냉풍의 온도는, 바람직하게는 -50 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 -40 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 26 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 10 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 -50 ℃ 이상 26 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 -40 ℃ 이상 10 ℃ 이하인 상기 ＜14＞ 또는 ＜15＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜17＞

냉풍을 분무하여 냉각하는 냉각 시간은, 바람직하게는 0.01 초 이상, 더욱 바람직하게는 0.5 초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 60 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 30 초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 초 이상 60 초 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 초 이상 30 초 이하인 상기 ＜14＞ ∼ ＜16＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜18＞

베이스 부품 고정부의 오목부 내에 베이스 부품의 저부측의 외형을 끼워 맞춰, 베이스 부품의 둘레벽부의 선단벽부가 노출되도록 베이스 부품을 유지하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜17＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜19＞

미세 돌기 유닛의 제조 방법에서는, 제 1 하측 개구 플레이트와 제 1 상측 개구 플레이트로, 미세 돌기구가 형성된 기재 시트를 사이에 둔 상태에서, 접합부의 원환상의 선단부에서 가열시켜, 기재 시트에 있어서의, 베이스 부품의 둘레벽부의 선단벽부 상에 위치하는 부분과 베이스 부품의 선단벽부를 용융시키면서 미세 돌기 유닛의 접합부를 형성하고, 미세 돌기구가 형성된 기재 시트의 일면측 (하면측) 과 베이스 부품의 선단을 접합하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜18＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜20＞

접합부를 기재 시트와 맞닿게 할 때의 가열 온도는, 바람직하게는 100 ℃ 이상이며, 더욱 바람직하게는 120 ℃ 이상이며, 그리고, 바람직하게는 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 250 ℃ 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 100 ℃ 이상 300 ℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 120 ℃ 이상 250 ℃ 이하인 상기 ＜19＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜21＞

접합부를 기재 시트와 맞닿게 할 때의 가열 시간은, 바람직하게는 0.1 초 이상이며, 그리고, 바람직하게는 5.0 초 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.1 초 이상 5.0 초 이하인 상기 ＜19＞ 또는 ＜20＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜22＞

접합부를 기재 시트와 맞닿게 할 때의 압박력 (가압력) 은, 바람직하게는 10 N 이상이며, 그리고, 바람직하게는 100 N 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 10 N 이상 100 N 이하인 상기 ＜19＞ ∼ ＜21＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜23＞

상기 접합 공정 후, 접합부를, 기재 시트의 타면 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시키고, 제 1 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 제 1 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는 상기 ＜19＞ ∼ ＜22＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜24＞

제 2 하측 개구 플레이트와 제 2 상측 개구 플레이트로, 베이스 부품이 접합된 기재 시트를 사이에 둔 상태에서, 기재 시트의 타면 (상면측) 으로부터, 제 2 상측 개구 플레이트의 개구부에 컷부를 통과시키고, 컷부의 선단부의 날을, 미세 돌기구로부터 평면에서 볼 때, 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 윤곽을 따라, 기재 시트의 타면에 맞닿게 하여 컷해 미세 돌기 유닛을 제조하는 상기 ＜1＞ ∼ ＜23＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

＜25＞

상기 컷 공정 후, 컷부를, 기재 시트의 타면 (상면측) 으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시키고, 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키고, 그 후, 제 2 하측 개구 플레이트와 제 2 상측 개구 플레이트로 사이에 둔 기재 시트의 트림 부분을, 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시킨 후에, 제거하는 상기 ＜24＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛의 제조 방법.

상기 서술한 실시형태에 관하여, 본 발명은 또한 이하의 미세 돌기 유닛을 개시한다.

＜26＞

내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛으로서, 상기 베이스 부품의 상기 액체 유지 공간 내에 액체가 주입되어 내압이 가해지면, 상기 미세 돌기구의 상기 기저에 있어서의 상기 돌기부를 갖는 영역이 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡하는, 미세 돌기 유닛.

＜27＞

두께 방향을 따라 상기 미세 돌기 유닛을 단면에서 볼 때, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구를 접합한 접합부에 있어서, 그 미세 돌기구의 상기 기저의 두께가, 그 베이스 부품의 두께 방향의 길이보다 작은, 상기 ＜26＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜28＞

상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고, 상기 저부에서의 두께가, 상기 기저의 두께보다 두꺼운, 상기 ＜26＞ 또는 ＜27＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜29＞

상기 둘레벽부에서의 두께가, 상기 기저의 두께보다 두꺼운, 상기 ＜28＞ 에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜30＞

상기 미세 돌기구는, 선단측에 개공부를 가지고 있고, 돌기부의 내부에 기저로부터 개공부에 이를 때까지 관통하는 공간이 형성된 형태로 되어 있는 상기 ＜26＞ ∼ ＜29＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜31＞

상기 돌기부는, 그 돌출 높이가, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 3 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 5 mm 이하이며, 보다 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 3 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜30＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜32＞

상기 돌기부는, 그 평균 두께가, 바람직하게는 0.005 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.005 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 mm 이상 0.5 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜31＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜33＞

상기 돌기부의 선단 직경은, 그 직경이, 바람직하게는 0.001 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 0.5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.3 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.001 mm 이상 0.5 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.005 mm 이상 0.3 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜32＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜34＞

상기 미세 돌기구는, 선단측에 개공부를 가지고 있고, 그 개공부는, 그 개공 면적이, 바람직하게는 0.7 ㎛² 이상, 더욱 바람직하게는 20 ㎛² 이상이며, 그리고, 바람직하게는 200000 ㎛² 이하이며, 더욱 바람직하게는 70000 ㎛² 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.7 ㎛² 이상 200000 ㎛² 이하이며, 더욱 바람직하게는 20 ㎛² 이상 70000 ㎛² 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜33＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜35＞

상기 베이스 부품의 저부에서의 두께 (T3) 에 대한 기저의 두께 (T2) 의 비 (T2/T3) 가, 바람직하게는 0.001 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.5 이하이며, 또, 바람직하게는 0.001 이상 1 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 이상 0.5 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜34＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜36＞

상기 기저의 두께는, 바람직하게는 0.01 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.7 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 0.01 mm 이상 1.0 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.02 mm 이상 0.7 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜35＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜37＞

상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고, 그 베이스 부품의 그 저부에서의 두께가, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜36＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜38＞

상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고, 그 베이스 부품의 그 둘레벽부에서의 두께가, 바람직하게는 1.0 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 5 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 1.0 mm 이상 10 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.5 mm 이상 5 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜37＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜39＞

두께 방향을 따라 상기 미세 돌기 유닛을 단면에서 볼 때, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구를 접합한 접합부에 있어서, 베이스 부품의 두께 방향의 길이 (L1) 에 대한 미세 돌기구의 기저의 두께 (T2) 의 비 (T2/L1) 가, 바람직하게는 0.005 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 이상이며, 그리고, 바람직하게는 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.3 이하이며, 또, 바람직하게는 0.005 이상 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.01 이상 0.3 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜38＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜40＞

상기 베이스 부품의 두께 방향의 길이는, 바람직하게는 2 mm 이상, 더욱 바람직하게는 3 mm 이상이며, 그리고, 바람직하게는 20 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 15 mm 이하이며, 구체적으로는, 바람직하게는 2 mm 이상 20 mm 이하이며, 더욱 바람직하게는 3 mm 이상 15 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜39＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜41＞

상기 미세 돌기구의 기저의 윤곽은, 베이스 부품의 윤곽으로부터 내측으로, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는 상기 ＜26＞ ∼ ＜40＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜42＞

상기 미세 돌기 유닛은, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고, 그 띠상의 접합부의 폭이, 바람직하게는 0.5 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.5 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상 3 mm 이하인 상기 ＜26＞ ∼ ＜41＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜43＞

상기 미세 돌기 유닛은, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고, 기저의 윤곽과 접합부의 바깥쪽측의 둘레가장자리의 간격이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는 상기 ＜26＞ ∼ ＜42＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

＜44＞

상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 가지고 있고, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고, 상기 미세 돌기 유닛은, 접합부의 안쪽측의 돌기 영역 (3R) 측의 둘레가장자리와 둘레벽부의 선단벽부의 내벽의 간격이, 바람직하게는 0.05 mm 이상, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상, 그리고, 바람직하게는 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 3 mm 이하, 구체적으로는, 바람직하게는 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 mm 이상 3 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는 상기 ＜26＞ ∼ ＜43＞ 중 어느 하나에 기재된 미세 돌기 유닛.

산업상 이용가능성

본 발명에 의하면, 미세 돌기구와 베이스 부품의 형상이 제한되기 어렵고, 미세 돌기구와 베이스 부품을 구비한 미세 돌기 유닛을 효율적으로 정밀도 양호하게 제조할 수 있다.

또 본 발명에 의하면, 미세 돌기구와 베이스 부품의 형상이 제한되기 어렵고, 천자성이 향상되어 사용감이 향상된다.

Claims

내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법으로서,
열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트의 일면측으로부터, 볼록형부를 맞닿게 하여, 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성한 후, 그 돌기부의 내부로부터 그 볼록형부를 빼내어 미세 돌기구를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과,
상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트의 일면측과 상기 베이스 부품의 선단을 접합하는 접합 공정과,
상기 베이스 부품이 접합된 상기 기재 시트를, 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라 상기 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간의 외주에 둘레벽부를 갖고,
상기 컷 공정에 있어서는, 상기 베이스 부품의 상기 둘레벽부의 선단벽부 상에서 상기 기재 시트를 컷하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 접합 공정에 있어서 접합하는 수단이, 열 시일, 초음파, 레이저, 또는 접착제인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컷 공정에 있어서 컷하는 수단이, 타발날, 또는 레이저인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 1 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 1 상측 개구 플레이트를 이용하여, 그 제 1 하측 개구 플레이트와 그 제 1 상측 개구 플레이트로, 미세 돌기구가 형성된 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 접합하고,
상기 접합 공정 후, 상기 제 1 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 1 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 베이스 부품 고정부를 이용하여, 그 베이스 부품 고정부의 오목부 내에 상기 베이스 부품의 저부측의 외형을 끼워 맞춰, 그 베이스 부품의 둘레벽부의 선단벽부가 노출되도록 그 베이스 부품을 유지하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 1 하측 개구 플레이트와, 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 1 상측 개구 플레이트와, 그 기재 시트의 타면측에 배치된 접합 수단을 이용하여, 그 제 1 하측 개구 플레이트와 그 제 1 상측 개구 플레이트로, 미세 돌기구가 형성된 그 기재 시트를 사이에 둔 상태에서, 그 접합 수단의 선단부에서 가열시키고,
상기 기재 시트에 있어서의 상기 베이스 부품의 둘레벽부의 선단벽부 상에 위치하는 부분과 그 베이스 부품의 선단벽부를 용융시키면서 미세 돌기 유닛의 접합부를 형성하여, 미세 돌기구가 형성된 그 기재 시트의 일면측과 그 베이스 부품의 선단을 접합하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 7 항에 있어서,
상기 접합 수단을 상기 기재 시트와 맞닿게 할 때의 가열 온도는, 100 ℃ 이상 300 ℃ 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 접합 수단을 상기 기재 시트와 맞닿게 할 때의 가열 시간은, 0.1 초 이상 5.0 초 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합 수단을 상기 기재 시트와 맞닿게 할 때의 압박력 (가압력) 은, 10 N 이상 100 N 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 7 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합 공정 후, 상기 접합 수단을, 상기 기재 시트의 타면측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시키고, 상기 제 1 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 1 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컷 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 2 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 2 상측 개구 플레이트를 이용하여, 그 제 2 하측 개구 플레이트와 그 제 2 상측 개구 플레이트로, 상기 베이스 부품이 접합된 상기 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 상기 미세 돌기 유닛을 제조하고,
상기 컷 공정 후, 상기 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컷 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 2 하측 개구 플레이트와, 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 2 상측 개구 플레이트와, 그 기재 시트의 타면측에 배치된 컷부를 이용하여, 그 제 2 하측 개구 플레이트와 그 제 2 상측 개구 플레이트로, 상기 베이스 부품이 접합된 그 기재 시트를 사이에 둔 상태에서, 그 기재 시트의 타면측으로부터, 그 제 2 상측 개구 플레이트가 갖는 개구부에 그 컷부를 통과시키고,
상기 컷부의 선단부의 날을, 상기 미세 돌기구로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라, 상기 기재 시트의 타면에 맞닿게 하여 컷하여 미세 돌기 유닛을 제조하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 13 항에 있어서,
상기 컷 공정 후, 상기 컷부를, 상기 기재 시트의 타면측으로부터 두께 방향의 상방으로 이동시키고, 상기 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키고, 그 후, 그 제 2 하측 개구 플레이트와 그 제 2 상측 개구 플레이트로 사이에 둔 기재 시트의 트림 부분을, 그 제 2 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 그 제 2 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시킨 후에 제거하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛의 제조 방법으로서,
열가소성 수지를 포함하여 형성된 기재 시트의 일면측으로부터, 볼록형부를 맞닿게 하여, 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성한 후, 그 돌기부의 내부로부터 그 볼록형부를 빼내어 미세 돌기구를 형성하는 미세 돌기구 형성 공정과,
상기 미세 돌기구가 형성된 상기 기재 시트를 상기 미세 돌기구측으로부터 평면에서 볼 때, 상기 베이스 부품의 윤곽보다 내측에서 그 윤곽을 따라, 그 기재 시트의 일면측과 그 베이스 부품의 선단을 접합함과 동시에, 그 기재 시트를 컷하여 상기 미세 돌기 유닛을 제조하는 접합·컷 공정을 구비하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 15 항에 있어서,
상기 접합·컷 공정에서는, 상기 기재 시트의 일면측에 배치된 제 3 하측 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 타면측에 배치된 제 3 상측 개구 플레이트를 이용하여, 그 제 3 하측 개구 플레이트와 그 제 3 상측 개구 플레이트로, 상기 돌기부가 형성된 상기 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 상기 미세 돌기 유닛을 제조하고,
상기 접합·컷 공정 후, 상기 제 3 하측 개구 플레이트를 하방으로 이동시키고 또한 상기 제 3 상측 개구 플레이트를 상방으로 이동시키는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기재 시트의 원료 롤로부터 띠상의 기재 시트를 조출하고, 반송 방향으로 반송하고, 그 기재 시트가 소정 위치까지 이송된 시점에서, 그 기재 시트의 반송을 정지하여, 띠상의 기재 시트의 반송을 간헐적으로 실시하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기구 형성 공정에서는, 반송 방향으로 반송된 띠상의 기재 시트의 일면측으로부터 볼록형부를 맞닿게 하고, 그 기재 시트에 있어서의 맞닿음 부분을 열에 의해 연화시키면서, 그 볼록형부를 그 기재 시트에 찔러 그 기재 시트의 타면측으로부터 돌출되는 돌기부를 형성하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 18 항에 있어서,
상기 볼록형부의 가열에 의한 상기 기재 시트의 가열 온도는, 사용되는 그 기재 시트의 유리 전이 온도 이상 용융 온도 미만인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 18 항 또는 제 19 항에 있어서,
상기 볼록형부의 가열에 의한 상기 기재 시트의 가열 온도는, 30 ℃ 이상 300 ℃ 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 18 항 내지 제 20 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 볼록형부를 상기 기재 시트에 찌르는 자입 속도는, 0.1 mm/초 이상 1000 mm/초 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기구 형성 공정에서는, 돌기부 형성 후, 냉풍송풍 장치를 사용하여, 상기 돌기부의 내부에 볼록형부를 찌른 상태에서 그 돌기부를 냉각하는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 22 항에 있어서,
상기 미세 돌기구 형성 공정에 있어서의 상기 기재 시트의 타면측에 배치된 개구 플레이트 및 그 기재 시트의 일면측에 배치된 제 2 개구 플레이트로, 그 기재 시트를 사이에 둔 상태에서 냉각 공정을 실시하도록 되어 있는, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 22 항 또는 제 23 항에 있어서,
분무하는 냉풍의 온도는, -50 ℃ 이상 26 ℃ 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
제 22 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
냉풍을 분무하여 냉각하는 냉각 시간은, 0.01 초 이상 60 초 이하인, 미세 돌기 유닛의 제조 방법.
내부가 중공인 돌기부를 기저 상에 구비하는 미세 돌기구와 그 돌기부의 내부에 그 기저를 통하여 연통하는 액체 유지 공간을 갖는 베이스 부품을 구비하고, 그 베이스 부품의 선단에 그 미세 돌기구를 접합한 미세 돌기 유닛으로서,
상기 베이스 부품의 상기 액체 유지 공간 내에 액체가 주입되어 내압이 가해지면, 상기 미세 돌기구의 상기 기저에 있어서의 상기 돌기부를 갖는 영역이 바깥쪽을 향하여 볼록하게 만곡하는, 미세 돌기 유닛.
제 26 항에 있어서,
두께 방향을 따라 상기 미세 돌기 유닛을 단면에서 볼 때,
상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구를 접합한 접합부에 있어서, 그 미세 돌기구의 상기 기저의 두께가, 그 베이스 부품의 두께 방향의 길이보다 작은, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 또는 제 27 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고,
상기 저부에서의 두께가, 상기 기저의 두께보다 두꺼운, 미세 돌기 유닛.
제 28 항에 있어서,
상기 둘레벽부에서의 두께가, 상기 기저의 두께보다 두꺼운, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 29 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고, 상기 미세 돌기구와 대향하는 그 둘레벽부의 상면에 있어서 그 미세 돌기구와 접합되어 있고, 그 상면의 상기 액체 유지 공간측에는 상기 미세 돌기구와 접합하고 있지 않은 비접합 영역을 구비하고 있는, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기구는, 선단측에 개공부를 가지고 있고,
상기 돌기부의 내부에 상기 기저로부터 상기 개공부에 이를 때까지 관통하는 공간이 형성된 형태로 되어 있는, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 31 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 돌기부는, 그 돌출 높이가, 0.01 mm 이상 10 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 32 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 돌기부는, 그 평균 두께가, 0.005 mm 이상 1.0 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 돌기부의 선단 직경은, 그 직경이, 0.001 mm 이상 0.5 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기구는, 선단측에 개공부를 가지고 있고,
상기 개공부는, 그 개공 면적이, 0.7 ㎛² 이상 200000 ㎛² 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 28 항에 있어서,
상기 베이스 부품의 저부에서의 두께 (T3) 에 대한 기저의 두께 (T2) 의 비 (T2/T3) 가, 0.001 이상 1 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 36 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기저의 두께는, 0.01 mm 이상 1.0 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 37 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고,
상기 베이스 부품의 상기 저부에서의 두께가, 1.0 mm 이상 10 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 갖고,
상기 베이스 부품의 상기 둘레벽부에서의 두께가, 1.0 mm 이상 10 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 39 항 중 어느 한 항에 있어서,
두께 방향을 따라 상기 미세 돌기 유닛을 단면에서 볼 때,
상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구를 접합한 접합부에 있어서, 베이스 부품의 두께 방향의 길이 (L1) 에 대한 미세 돌기구의 기저의 두께 (T2) 의 비 (T2/L1) 가, 0.005 이상 0.5 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 40 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 부품의 두께 방향의 길이는, 2 mm 이상 20 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 41 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기구의 기저의 윤곽은, 베이스 부품의 윤곽으로부터 내측으로, 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기 유닛은, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고,
상기 띠상의 접합부의 폭이, 0.5 mm 이상 5 mm 이하인, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 43 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세 돌기 유닛은, 상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고,
상기 기저의 윤곽과 상기 접합부의 바깥쪽측의 둘레가장자리가, 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는, 미세 돌기 유닛.
제 26 항 내지 제 44 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 부품은, 상기 액체 유지 공간을 둘러싸는, 저부와, 그 저부의 외주 전체 둘레에 걸쳐 배치되는 둘레벽부를 가지고 있고,
상기 베이스 부품과 상기 미세 돌기구가 띠상의 접합부에 의해 접합되어 있고,
상기 미세 돌기 유닛은, 상기 접합부의 안쪽측의 돌기 영역측의 둘레가장자리와 상기 둘레벽부의 선단벽부의 내벽이, 0.05 mm 이상 5 mm 이하, 간격을 두고 배치되어 있는, 미세 돌기 유닛.