KR20200007429A

KR20200007429A - 픽업 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치

Info

Publication number: KR20200007429A
Application number: KR1020180081540A
Authority: KR
Inventors: 김형욱
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2018-07-13
Filing date: 2018-07-13
Publication date: 2020-01-22

Abstract

본 발명은 픽업 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 픽업 유닛은, 기판에 대해 상하 이동 가능한 암(arm); 상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 암과 결합되고, 내부에 공간이 마련된 바디; 내부가 상기 바디의 상기 공간과 연통되고 상기 바디로부터 하측으로 연장되며 하면이 개구된 복수의 돌기; 및 상기 복수의 돌기 하면이 상기 기판의 일면에 접할 때, 상기 바디 및 상기 복수의 돌기 내부가 진공이 되도록 상기 바디에 결합된 흡입관을 포함한다.

Description

픽업 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치{PICK-UP UNIT AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE HAVING THE SAME}

본 발명은 픽업 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 기판(Substrate)을 세정하는 전처리공정, 상기 전처리공정을 거친 기판을 도금하는 도금공정 및 후처리공정으로 구분될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 컨베이어(Conveyor) 등으로 이루어진 로딩 장치를 이용하여 기판을 전처리공정에서 도금공정으로, 그리고 상기 도금공정에서 후처리공정으로 이송하고 있으며, 각 공정에서는 기판을 정렬한 후 흡착하여 이송토록 하고 있다.

일본 특허공개공보 제2000-332493호(2000.11.30. 공개)

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 대해 상하 이동 가능한 암(arm); 상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 암과 결합되고, 내부에 공간이 마련된 바디; 내부가 상기 바디의 상기 공간과 연통되고 상기 바디로부터 하측으로 연장되며 하면이 개구된 복수의 돌기; 및 상기 복수의 돌기 하면이 상기 기판의 일면에 접할 때, 상기 바디 및 상기 복수의 돌기 내부가 진공이 되도록 상기 바디에 결합된 흡입관을 포함하는 픽업 유닛이 제공된다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 프레임(frame); 상기 프레임의 일측에 설치되는 컨베이어(conveyor); 및 상기 프레임에 결합되고, 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 픽업 유닛을 포함하고, 상기 픽업 유닛은, 상기 기판에 대해 상하 이동 가능한 암(arm); 상기 암과 결합되고 내부에 공간이 마련된 바디; 내부가 상기 바디의 상기 공간과 연통되고 상기 바디로부터 하측으로 연장되며 하면이 개구된 복수의 돌기; 및 상기 복수의 돌기 하면이 상기 기판의 일면에 접할 때, 상기 바디 및 상기 복수의 돌기 내부가 진공이 되도록 상기 바디에 결합된 흡입관을 포함하는 기판 이송 장치가 제공된다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 유닛을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 유닛과 기판의 결합 관계를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 유닛을 포함하는 기판 이송 장치를 나타낸 도면.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

본 발명에 따른 픽업 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

또한 이하에서 설명한 본 발명의 각각의 실시예는 반드시 하나의 실시예 만을 나타내는 개념이 아니며, 각각의 실시예에 대하여 종속된 실시예들을 포괄하는 개념으로 이해되어야 한다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 픽업유닛을 나타낸 도면이다.

픽업유닛은 기판(S)을 픽업(pick up)할 수 있는 기기이다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 픽업유닛은, 암(110), 바디(120), 돌기(130), 흡입관(140)을 포함할 수 있다.

암(arm)(110)은 기판(S)에 대해 상하 이동 가능하게 설치되어, 암(110)이 하강할 때 픽업유닛이 기판(S)과 접할 수 있고, 암(110)이 상승할 때 픽업유닛이 기판(S)을 들어 올리거나 기판(S)과 멀어질 수 있다. 도 1에 도시된 것과 같이 암(110)은 "L"자 형상을 가질 수 있다.

바디(120)는 암(110)과 결합되고 기판(S)의 상부에 위치한다. 바디(120)의 내부에 공간이 마련된다. 바디(120)는 내부에 공간을 가지는 긴 기둥 형상을 가지며, 기판(S)의 상하면을 연결하는 방향을 z축이라고 한다면, 긴 기둥 형상의 바디(120)는 x-y 평면 방향으로 길게 연장되게 배치될 수 있다.

도 2를 참조하면, 바디(120)는 복수로 이루어질 수 있다. 복수의 바디(120)는 기판(S)의 가장자리에 기판(S)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 기판(S)이 사각 횡단면을 가지는 경우, 바디(120)는 4개로 구성되고, 기판(S)의 각 모서리(변)에 대응하여 4개의 바디(120)가 위치할 수 있다. 각각의 바디(120)는 인접하는 것끼리 서로 접촉되거나 이격될 수 있다.

복수의 바디(120)는 연결부(121)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 연결부(121)는 각각의 바디(120)의 상면에 결합될 수 있다. 이 경우, 연결부(121)는 복수의 바디(120) 상면들 사이에 위치하면서, 바디(120) 상면들보다 돌출될 수 있다. 이러한 연결부(121)는 "+"에 가까운 형상을 가질 수 있다.

암(110)은 상기 연결부(121)에 결합될 수 있다. 연결부(121)는 암(110)의 측면과 결합될 수 있다. 특히, 연결부(121)에는 돌출부위(121a)가 형성되고, 암(110)은 돌출부위(121a)와 결합될 수 있다.

돌기(130)는 복수로 이루어지고, 복수의 돌기(130)는 바디(120)에 결합된다. 돌기(130)는 바디(120)로부터 하측으로 연장되어 하단이 기판(S)의 상면을 향한다.

돌기(130)의 내부는 바디(120)의 내부 공간과 연통된다. 즉, 바디(120)의 일면에 홀이 형성되고, 돌기(130)는 상기 홀을 커버하도록 결합된다. 여기서, 돌기(130)의 상면은 상기 홀과 대응되는 개구부를 구비할 수 있다. 개구부는 상면 전체에 형성되거나, 상면 내에 형성될 수 있다. 돌기(130)의 상면의 면적(개구부를 포함한 면적)은 홀의 면적 이상일 수 있다.

한편, 상기 바디(120)의 일면은 바디(120)의 하면일 수 있고, 돌기(130)는 바디(120)의 하면에 결합되어, 바디(120)의 하면으로부터 하측으로 직선 형태로 연장될 수 있다.

돌기(130)의 하면은 개구된다. 하면 전체가 개구되거나, 하면의 일부가 개구될 수 있다. 하면의 일부가 개구된다는 것은, 하면에 소정의 크기의 구멍이 형성된다는 것이다.

돌기(130)의 상면의 면적(또는 돌기(130)의 상면의 외경)은 하면의 면적(또는 돌기(130)의 하면의 외경)보다 클 수 있다. 돌기(130)의 상면의 개구부(또는 돌기(130)의 상면의 내경)는 돌기(130)의 하면의 개구의 면적(또는 돌기(130)의 하면의 내경)보다 클 수 있다. 또한, 돌기(130)의 횡단면적은 아래로 갈수록 작아질 수 있다,

상술한 것처럼 돌기(130)는 복수로 이루어지는데, 복수의 돌기(130)는 바디(120)의 일면(또는 하면)에 소정의 간격으로 배열될 수 있다.

바디(120)가 복수로 이루어지는 경우, 각 바디(120)에 대해 돌기(130)가 복수로 형성되고, 각 바디(120)에 대해 복수의 돌기(130)가 일렬로 소정의 간격을 두고 배열될 수 있다.

이 경우, 돌기(130)의 하면은 기판(S)의 가장자리에 대응하여 위치할 수 있다. 특히, 기판(S)은 유닛 영역과 더미 영역(D)을 포함하고, 유닛 영역의 외측인 기판(S)의 가장자리는 더미 영역(D)일 수 있으며, 돌기(130)의 하면은 기판(S)의 더미 영역(D)에 대응하여 위치할 수 있다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 픽업유닛과 기판(S)의 결합 관계를 나타낸 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 돌기(130)는 기판(S)의 더미 영역(D)에 대응하여 기판(S)의 더미 영역(D)을 따라 이격되게 배치될 수 있다.

암(110)이 하강하면, 바디(120)와 돌기(130)가 하강함에 따라, 돌기(130)의 하면이 기판(S)의 일면(상면)에 접할 수 있다. 돌기(130)는 기판(S)의 더미 영역(D)에 접하며, 이렇게 돌기(130)의 하면이 기판(S)의 일면에 접하게 되면, 돌기(130)의 하면은 폐쇄된다.

흡입관(140)은 복수의 돌기(130) 하면이 기판(S)의 일면(상면)에 접할 때, 바디(120)의 내부 공간 및 돌기(130)의 내부가 함께 진공 상태로 되도록 내부 공기를 흡입하는 구성이다. 흡입관(140)이 작동되면, 바디(120) 및 돌기(130)의 내부가 진공이 되면서 기판(S)이 돌기(130)에 흡착될 수 있다. 흡입관(140)은 바디(120) 내부 공간의 공기를 흡입해야 하므로, 흡입관(140)의 내부는 바디(120)의 내부 공간과 연결된다.

기판(S)이 돌기(130)에 흡착된 상태로 암(110)이 상승하면, 기판(S)은 픽업된다. 즉, 진공에 의한 압력 차 때문에 기판(S)이 돌기(130)에 흡착되고, 진공 상태가 유지되는 한 기판(S)은 계속 돌기(130)에 흡착될 수 있다.

흡입관(140)은 바디(120)의 상면에 연결되며, 흡입관(140)은 하나의 바디(120)에 여러 개로 구성될 수 있다. 흡입관(140)은 연결부(121)를 회피하여 바디(120)의 상면에 연결될 수 있다. 또한, 흡입관(140)은 거꾸로 된 "L" 자 형상을 가질 수 있다.

흡입관(140)은 진공장치 또는 공기흡입장치와 연결되어, 바디(120)와 돌기(130) 내부를 진공으로 만들 수 있다.

상술한 구성에 의하여, 기판(S)은 픽업유닛과 결합하는 전 영역에 대해 균일한 힘으로 돌기(130)에 흡착될 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 픽업유닛은, 암 지지부(150)와 레일(R)을 더 포함할 수 있다.

암 지지부(150)는 암(110)과 결합되어 암(110)을 지지함과 동시에 암(110)을 상하로 이동시킨다. 즉, 암(110)은 암 지지부(150)에 대해 상하 이동 가능하게 결합된다. 암 지지부(150)에는 수직 가이드(예를 들어, 수직으로 연장된 홈)가 마련되고, 암(110)은 상기 수직 가이드를 따라 상하 방향으로 슬라이딩 이동할 수 있다.

암 지지부(150)는 수평 레일(160)을 따라 수평 이동(좌우 이동)될 수 있다. 즉, 암 지지부(150)는 수평 방향(좌우 방향)으로 연장된 수평 레일(160)과 결합되며, 수평 레일(160)을 따라 수평 방향(좌우 방향)으로 슬라이딩 이동할 수 있다. 수평 레일(160)에는 수평 방향으로 연장되는 홈이 형성되고, 암 지지부(150)는 상기 홈을 따라 이동될 수 있다.

요컨대 암 지지부(150)는 수평 레일(160)을 따라 좌우 이동 할 수 있고, 암(110)은 수직 가이드를 따라 상하 이동할 수 있다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 픽업유닛을 포함하는 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.

기판 이송 장치는, 프레임(frame)(10), 컨베이어(conveyor)(20), 픽업유닛(30)을 포함할 수 있다. 또한, 기판 이송 장치는 제1 리프트(40), 제2 픽업유닛(50), 제2 리프트(60)를 더 포함할 수 있다.

프레임(10)은 복수의 선형 구조물로 이루어질 수 있다. 복수의 선형 구조물은 수평 방향 또는 수직 방향으로 배열되고 서로 연결되어 캐비닛(cabinet) 형상을 이룰 수 있다. 프레임(10)은 직육각틀 형태로 형성될 수 있고, 프레임(10)의 최하부에는 다수의 지지레그가 결합될 수 있다. 프레임(10)은 큰 강성을 갖는 강재나 철재 등을 용접에 의해 연결하여 제작될 수 있다.

컨베이어(20)는 프레임의 일측에 설치되어 기판(S)을 이송시킨다. 컨베이어(20)는 복수의 롤러를 포함하며, 기판(S)은 회전하는 롤러에 의하여 일방향으로 이동할 수 있다.

픽업유닛(30)은 프레임에 결합되어 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(20)에 로딩할 수 있다.

픽업유닛(30)은, 암(110), 바디(120), 돌기(130), 흡입관(140)을 포함하고, 암 지지부(150)와 레일(R)을 더 포함할 수 있다.

암(110)은 기판(S)에 대해 상하 이동 가능하게 설치되어, 암(110)이 하강할 때 픽업유닛(30)이 기판(S)과 접할 수 있고, 암(110)이 상승할 때 픽업유닛(30)이 기판(S)을 들어 올리거나 기판(S)과 멀어질 수 있다. 도 1에 도시된 것과 같이 암(110)은 "L"자 형상을 가질 수 있다.

바디(120)는 복수로 이루어질 수 있다. 복수의 바디(120)는 기판(S)의 가장자리에 기판(S)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 기판(S)이 사각 횡단면을 가지는 경우, 바디(120)는 4개로 구성되고, 기판(S)의 각 모서리(변)에 대응하여 4개의 바디(120)가 위치할 수 있다. 각각의 바디(120)는 인접하는 것끼리 서로 접촉되거나 이격될 수 있다.

복수의 돌기(130)는 기판(S)의 더미 영역(D)에 대응하여 기판(S)의 더미 영역(D)을 따라 이격되게 배치될 수 있다.

상술한 구성에 의하여, 기판(S)은 픽업유닛(30)과 결합하는 전 영역에 대해 균일한 힘으로 돌기(130)에 흡착될 수 있다.

암 지지부(150)는 암(110)과 결합되어 암(110)을 지지함과 동시에 암(110)을 상하로 이동시킨다. 즉, 암(110)은 암 지지부(150)에 대해 상하 이동 가능하게 결합된다. 암 지지부(150)에는 수직 가이드가 마련되고, 암(110)은 상기 수직 가이드를 따라 상하 방향으로 슬라이딩 이동할 수 있다.

암 지지부(150)는 수평 레일(160)을 따라 수평 이동(좌우 이동)될 수 있다. 수평 레일(160)은 프레임에 결합될 수 있다. 수평 레일(160)은 수평 방향(좌우 방향)으로 연장되고, 암 지지부(150)는 수평 방향(좌우 방향)으로 연장된 수평 레일(160)과 결합되며, 수평 레일(160)을 따라 수평 방향(좌우 방향)으로 슬라이딩 이동할 수 있다. 수평 레일(160)에는 수평 방향으로 연장되는 홈이 형성되고, 암 지지부(150)는 상기 홈을 따라 이동될 수 있다.

제1 리프트(40)는 픽업유닛(30) 하부에 설치되어 상하로 승강하면서, 기판(S)을 픽업유닛(30)에 공급할 수 있다. 제1 리프트(40)는 리프트 프레임에 승강 가능하게 결합될 수 있다.

복수의 기판(S)은 상하로 적재되어 기판 이송 장치로 공급되는데, 복수의 기판(S) 사이마다 간지가 개재될 수 있다. 간지는 일정한 두께를 갖는 사각형의 종이나 합성수지로 이루어진 것일 수 있다.

제2 픽업유닛(50)은 간지를 픽업하는 기기로, 상술한 픽업유닛(이하, 제1 픽업유닛이라 함)(30)과 프레임 내부에 나란히 배치된다. 제2 픽업유닛(50)은 제1 픽업유닛(30)과 마찬가지로 암, 바디, 돌기, 흡입관을 포함할 수 있다. 제2 픽업유닛(50)은 픽업 대상물만 다를 뿐, 제1 픽업유닛(30)의 암(110), 바디(120), 돌기(130), 흡입관(140) 등의 구성을 동일하게 구비하며, 이들 구성에 대한 설명은 상술한 것과 같으므로 생략한다.

제2 리프트(60)는 제2 픽업유닛(50) 하부에 설치되어 상하로 승강한다. 제2 리프트(60)는 제2 픽업유닛(50)이 픽업한 간지를 수취한다. 제2 리프트(60)는 리프트 프레임에 승강 가능하게 결합될 수 있다.

이하, 기판 이송 장치의 작동에 대해서 설명한다.

제1 픽업유닛(30)은 컨베이어(20)와 제1 리프트(40) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있고, 제2 픽업유닛(50)은 제1 리프트(40)와 제2 리프트(60) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있다.

우선, 제1 픽업유닛(30)은 제1 리프트(40) 상에 위치하고, 제2 픽업유닛(50)은 제2 리프트(60)상에 위치(원 위치)할 때, 간지를 포함하는 기판(S)은 제1 리프트(40) 상에 적재되고, 제1 리프트(40)는 상승하고, 제1 픽업유닛(30)은 하강하여 제1 픽업유닛(30)의 돌기(130)가 기판(S)과 접하면, 제1 픽업유닛(30)의 흡입관(140)을 통해 공기가 유출되면 바디(120) 내부가 진공상태가 되며, 기판(S)이 제1 픽업유닛(30)의 돌기(130)에 흡착된다. 제1 픽업유닛(30)은 상승하고, 기판(S)은 제1 픽업유닛(30)에 의하여 픽업된다.

제1 픽업유닛(30)은 수평 레일(160)을 따라 이동하여 컨베이어(20) 상측에 위치한다. 동시에 제2 픽업유닛(50) 역시 수평 레일(160)을 따라 이동하여 제1 리프트(40) 상에 위치할 수 있다. 제1 픽업유닛(30)과 제2 픽업유닛(50)은 함께 하강하고, 제1 픽업유닛(30)은 기판(S)을 컨베이어(20) 상에 로딩한다. 이 때, 제1 픽업유닛(30) 바디(120)의 내부의 진공 상태는 해제되며, 기판(S)은 돌기(130)로부터 분리될 수 있다. 또한, 제1 픽업유닛(30)이 기판(S)을 흡착시키는 것과 같은 방식으로 제2 픽업유닛(50)의 돌기(130)는 간지와 접하고, 간지를 흡착시킨다. 제1 픽업유닛(30)과 제2 픽업유닛(50)이 상승하면, 제2 픽업유닛(50)은 간지를 픽업한다. 제1 픽업유닛(30)과 제2 픽업유닛(50)은 수평 레일(160)을 따라 이동하여 원 위치로 돌아온 후, 하강하고, 제1 픽업유닛(30)은 다시 기판(S)을 픽업하는 작업을 반복하게 되고, 제2 픽업유닛(50)의 바디(120) 내부의 진공 상태가 해제되면서 간지는 제2 리프트(60) 상에 수취된다. 이후, 상술한 작업이 반복된다.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리 범위 내에 포함된다고 할 것이다.

S: 기판
D: 더미 영역
10: 프레임
20: 컨베이어
30: 픽업유닛
40: 제1 리프트
50: 제2 픽업유닛
60: 제2 리프트
110: 암
120: 바디
121: 연결부
130: 돌기
140: 흡입관
150: 암 지지부
160: 레일

Claims

기판에 대해 상하 이동 가능한 암(arm);
상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 암과 결합되고, 내부에 공간이 마련된 바디;
내부가 상기 바디의 상기 공간과 연통되고 상기 바디로부터 하측으로 연장되며 하면이 개구된 복수의 돌기; 및
상기 복수의 돌기 하면이 상기 기판의 일면에 접할 때, 상기 바디 및 상기 복수의 돌기 내부가 진공이 되도록 상기 바디에 결합된 흡입관을 포함하는 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
상기 복수의 돌기는 상기 바디의 일면에 소정의 간격으로 배열되는 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
상기 복수의 돌기는 상기 바디의 하면에 결합되는 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
상기 흡입관은 상기 바디의 상면에 결합되는 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
상기 바디는 복수로 이루어지고,
복수의 상기 바디는 상기 기판의 가장자리에 위치하는 픽업 유닛.
제5항에 있어서,
상기 돌기의 하면은 상기 기판의 더미 영역에 대응는 픽업 유닛.
제5항에 있어서,
복수의 상기 바디는 각각의 상기 바디의 상면에 결합되는 연결부에 의하여 서로 연결된 픽업 유닛.
제7항에 있어서,
상기 암은 상기 연결부에 결합된 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
좌우로 연장된 레일; 및
상기 레일을 따라 좌우로 이동 가능하고, 상기 암이 상하 이동 가능하게 결합된 암 지지부를 더 포함하는 픽업 유닛.
제1항에 있어서,
상기 돌기의 상면 면적은 하면 면적보다 큰 픽업 유닛.
프레임(frame);
상기 프레임의 일측에 설치되는 컨베이어(conveyor); 및
상기 프레임에 결합되고, 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 픽업 유닛을 포함하고,
상기 픽업 유닛은,
상기 기판에 대해 상하 이동 가능한 암(arm);
상기 암과 결합되고 내부에 공간이 마련된 바디;
내부가 상기 바디의 상기 공간과 연통되고 상기 바디로부터 하측으로 연장되며 하면이 개구된 복수의 돌기; 및
상기 복수의 돌기 하면이 상기 기판의 일면에 접할 때, 상기 바디 및 상기 복수의 돌기 내부가 진공이 되도록 상기 바디에 결합된 흡입관을 포함하는 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 복수의 돌기는 상기 바디의 일면에 소정의 간격으로 배열되는 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 복수의 돌기는 상기 바디의 하면에 결합되는 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 흡입관은 상기 바디의 상면에 결합되는 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 바디는 복수로 이루어지고,
복수의 상기 바디는 상기 기판의 가장자리에 위치하는 기판 이송 장치.
제15항에 있어서,
상기 돌기의 하면은 상기 기판의 더미 영역에 대응하는 기판 이송 장치.
제15항에 있어서,
복수의 상기 바디는 각각의 상기 바디의 상면에 결합되는 연결부에 의하여 서로 연결된 기판 이송 장치.
제17항에 있어서,
상기 암은 상기 연결부에 결합된 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 프레임에 결합되고 좌우로 연장된 레일; 및
상기 레일을 따라 좌우로 이동 가능하고, 상기 암이 상하 이동 가능하게 결합된 암 지지부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
제11항에 있어서,
상기 돌기의 상면 면적은 하면 면적보다 큰 기판 이송 장치.