KR20190126533A - 디스플레이용 대면적 글라스 하정반 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이용 대면적 글라스 하정반에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스의 연마장치를 구성함에 있어서, 이러한 디스플레이용 글라스를 사전설정의 각종 공정을 진행하기 위해, 디스플레이용 글라스를 소정위치에 고정시키기 위한 것으로서, 공기흡입을 통한 진공으로 글라스가 고정되도록 하되, 공기를 불어넣어 밀착된 글라스를 탈착하는 용이한 구조를 가지는 디스플레이용 대면적 글라스 하정반에 관한 것이다.

Description

디스플레이용 대면적 글라스 하정반{Lower porous chuck panel for large area glass for display device}

본 발명은 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스를 다양한 공정처리하기 전, 이를 설정위치에 확실히 고정시켜 원활한 공정이 가능해지도록 하는 디스플레이용 대면적 글라스 하정반에 관한 것이다.

차세대 디스플레이인 VR/ AR용 패널은 現 중소형 유기발광다이오드(OLED) 패널에 적용되는 QHD (Quad High Definition, 2560 x 1440) 해상도보다 선명도가 더 뛰어난 초고해상도의 UHD (Ultra HD, 3840 x 2160) 급 이상의 OLED 제품이 요구되고 있지만 현재까지 상용화된 OLED 패널에 적용되는 최고 해상도는 QHD급으로, 2014년에 상품화된 이후 인치당 픽셀 수 500 ppi 대역에서 지금까지 머물고 있다.

그러나 UHD급 차세대 OLED 패널 개발 과정에서 반드시 해결해야 하는 당면한 두 가지 과제는 픽셀밀도 증가에 따른 Photolithography 공정의 미세화 패턴 구현(초고해상도 구현)과 패널 잔상 문제 해결이다.

OLED 패널의 특징은 전자이동도가 큰 LTPS(저온폴리실리콘) 기판을 바탕으로 빛의 투과율과 개구율(전체화면대비 정보 표시가 가능한 면적의 비율)을 높여 고휘도를 달성할 수 있도록 설계되어 있다.

현재의 LTPS 기판은 원장 Glass 위에 데포된 아몰포스 실리콘을 결정화시키는 ELA(Eximer Laser Annealing) 공정을 거쳐 완성되는데, OLED TFT(Thin Film Transistor)의 기판이 되는 이 Poly_Si의 형성 과정에서 발생된 Poly_Si 결정 경계면의 돌기(Hillock)는 VR/AR 기기에 적용될 초고해상도 (UHD, 1000ppi 이상) OLED 제품의 개발에서 제거되어야 하는 필수 요소이다.

LTPS 기판의 돌기를 제거하는 방법은 Poly_Si 기판을 연마패드의 표면에 접촉하도록 한 상태에서 연마제를 공급하여 Poly_Si 표면을 화학적으로 반응시키면서 기계적으로 Poly_Si 표면의 돌기부분을 평탄화하는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 이다

그러나 디스플레이용 대면적 Glass를 연마하는 설비를 제작하는 제작사들의 기술수준을 살펴보면 그 수준이 낮음을 알 수 있다.

연마 장비제작사의 국외 기술은 Glass 연마 장비제작 경험은 풍부하지만 FAB에서 양산 가능한 자동화 기반의 대면적 연마 장비제작 경험이 전무하여 OLED Device 제조사에 납품이 불가능하다.

이에, 이러한 OLED 연마장비에 사용되어지는 각종 기술들의 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.

대한민국 등록특허공보 10-0653725호(2006.11.28.등록)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 디스플레이용 글라스 연마장치에 있어서, 대면적을 이루는 디스플레이용 글라스의 각종 처리공정을 위해, 디스플레이용 글라스를 공기흡입을 통해 공정을 위한 소정위치에 확실히 고정시키고, 공정이 완료후에는 손쉽고 용이하게 탈착이 가능한 구조를 가지도록 하여, 대면적의 디스플레이용 글라스에 적합한 디스플레이용 대면적 글라스 하정반을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서,

사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)가, 흡입패드(21)를 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로 옮겨지며, 상기 디스플레이용 글라스(10)의 사전설정 처리공정을 위해, 상기 제 1트랜스퍼(20)에 의해 이송된 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 올려 고정되도록 하되, 상기 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 대응접촉되어 올려지는 미세기공이 형성된 세라믹부(31); 상기 세라믹부(31) 하단에 일체로 형성되는 상기 세라믹부(31)의 미세기공을 통해 공기를 흡입하여 진공상태를 만들어, 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31) 상면에 밀착고정되도록 하는 흡입부(32); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 대면적의 디스플레이용 글라스를 각종 공정처리전 확실하고 손쉽게 위치고정시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 공기를 흡입하여 진공상태를 만들거나, 공기를 불어넣어, 디스플레이용 대면적 글라스를 소정위치에 착탈가능한 구조를 가지도록 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이용 대면적 글라스 하정반으로 디스플레이용 글라스가 옮겨져 밀착고정되는 단계;
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이용 대면적 글라스 하정반에서 고정되어 연마작업이 완료된 디스플레이용 글라스가 탈착되어 이동되는 단계;
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이용 대면적 글라스 하정반의 일부 구성을 나타낸 일실시예의 도면.

본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

본 발명에 따른 일실시예를 살펴보면,

사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)가, 흡입패드(21)를 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로 옮겨지며, 상기 디스플레이용 글라스(10)의 사전설정 처리공정을 위해, 상기 제 1트랜스퍼(20)에 의해 이송된 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 올려 고정되도록 하되, 상기 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 대응접촉되어 올려지는 미세기공이 형성된 세라믹부(31); 상기 세라믹부(31) 하단에 일체로 형성되는 상기 세라믹부(31)의 미세기공을 통해 공기를 흡입하여 진공상태를 만들어, 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31) 상면에 밀착고정되도록 하는 흡입부(32); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 흡입부(32)는 디스플레이용 글라스(10)의 사전처리공정이 완료된 후에는, 별도의 제 2트랜스퍼(40)에 의해 세정기로 이송반출될 수 있도록, 사전처리공정 후 상기 세라믹부(31) 및 디스플레이용 글라스(10) 저면을 향해 공기를 주입하여, 공기 부양에 의해 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31)에서 탈착되도록 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 흡입부(32)는 다수의 공기홀이 형성된 기공성 세라믹을 고정시키는 석정반이 사용되는 것을 특징으로 한다.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 디스플레이용 대면적 글라스 하정반을 상세히 설명하도록 한다.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이용 대면적 글라스 하정반(100)은 세라믹부(31), 흡입부(32)를 포함한다.

우선 본 발명에서 각종 공정(표면연마 공정 등)을 진행하기 위한 디스플레이용 글라스(10)의 경우, 기존의 반도체 웨이퍼 등과 달리 대면적(ex: 1500 × 1850mm)을 가지는 것으로, 이러한 대면적의 디스플레이용 글라스(10)를 공정에 들어가기 전, 확실하게 고정(고정한 후 회전시키는 등)하기 위한 하정반(100)에 관한 것이다.

이러한 디스플레이용 글라스(10)는 우선적으로 다수의 흡입패드(21)를 구비하며 사방으로 이동이 가능한 제 1트랜스퍼(20)에 의해 이송이 되어지는데, 이러한 흡입패드(21)는 제 1트랜스퍼(20)의 하단면 테두리에 형성되어, 디스플레이용 글라스(10)의 최외각 테두리부분이 제 1트랜스퍼(20)에 부착접촉된 상태로 본 발명의 하정반으로 옮겨지게 된다.

이러한 본 발명의 하정반(100)은 세라믹부(31)와 흡입부(32)로 이루어진다.

상기 세라믹부(31)는 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 대응접촉되어 올려지는 미세기공이 형성된 것으로서, 미세기공 세라믹이 사용되어진다.

상기 흡입부(32)는 전술된 세라믹부(31) 하단에 상기 세라믹과 동일한 크기 또는 상대적으로 더 큰 크기로 일체로 형성되며, 상기 세라믹부(31)의 미세기공을 통해 공기를 흡입하여 진공상태를 만들어, 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31) 상면에 밀착고정되도록 하는 역할을 한다.

이러한 흡입부(32)는 본 발명에서 다수의 공기홀이 형성된 기공성 세라믹을 고정시키는 석정반이 사용되고, 또한, 이러한 흡입부(32)는 사용자의 실시예에 따라, 석정반이 장착되어 연마작업시 흡입밀착고정한 디스플레이용 글라스(10)를 회전시키는(세라믹부(31)와 흡입부(32)를 동시에 회전시킴) 회전부(33)가 일체로 더 형성되어질 수 있음이다. 이러한 흡입부(32)는 공기를 진공흡입 및 반대로 공기를 불어 공급할 수 있도록, 별도의 진공펌프, 공기펌프, Air blower(fan) 등과 연결되어 사용됨은 당연하다.

더불어, 상기 흡입부(32)는 전술된 바와 같이, 각종 공정을 위해 흡입부(32)를 통해 진공흡입시키고, 이에 세라믹부(31)의 미세기공을 통해 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31)에 완전밀착되어 고정되어지도록 한다. 이후 디스플레이용 글라스(10)의 사전처리공정이 완료한 후에는, 별도의 제 2트랜스퍼(40)(전술된 제 1트랜스퍼(20)와 동일한 구조를 가진다.)에 의해 세정기로 이송반출될 수 있도록, 사전처리공정 후 상기 세라믹부(31) 및 디스플레이용 글라스(10) 저면을 향해 흡입부(32)는 반대로 공기를 주입하여, 공기 부양에 의해 디스플레이용 글라스(10)와 세라믹부(31) 사이에 공기가 유입되면서, 디스플레이용 글라스(10)와 세라믹부(31)가 상호간 손쉽고 용이하게 탈착되도록 한 것이다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.

10: 디스플레이용 글라스 20: 제 1트랜스퍼
21: 흡입패드 31: 세라믹부
32: 흡입부 33: 회전부
40: 제 2트랜스퍼 100: 디스플레이용 대면적 글라스 하정반

Claims (3)

1. 사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)가, 흡입패드(21)를 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로 옮겨지며,
   상기 디스플레이용 글라스(10)의 사전설정 처리공정을 위해, 상기 제 1트랜스퍼(20)에 의해 이송된 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 올려 고정되도록 하되,
   상기 디스플레이용 글라스(10)가 상면에 대응접촉되어 올려지는 미세기공이 형성된 세라믹부(31);
   상기 세라믹부(31) 하단에 일체로 형성되는 상기 세라믹부(31)의 미세기공을 통해 공기를 흡입하여 진공상태를 만들어, 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31) 상면에 밀착고정되도록 하는 흡입부(32);
   로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 대면적 글라스 하정반.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 흡입부(32)는
   디스플레이용 글라스(10)의 사전처리공정이 완료된 후에는, 별도의 제 2트랜스퍼(40)에 의해 세정기로 이송반출될 수 있도록, 사전처리공정 후 상기 세라믹부(31) 및 디스플레이용 글라스(10) 저면을 향해 공기를 주입하여, 공기 부양에 의해 디스플레이용 글라스(10)가 세라믹부(31)에서 탈착되도록 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 대면적 글라스 하정반.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 흡입부(32)는
   다수의 공기홀이 형성된 기공성 세라믹을 고정시키는 석정반이 사용되는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 대면적 글라스 하정반.
   

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