KR20190124050A - 슬릿 노즐의 세정 방법 - Google Patents

Abstract

예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 세정액이 채워지는 세정 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시키고, 상기 노즐립 전체가 한 번에 세정이 이루어지도록 상기 세정액에 상기 노즐립 전체를 딥핑시키고, 상기 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 양쪽 측면으로부터 중심 부분을 향하여 건조 가스를 분사할 수 있는 분사부가 구비되는 건조 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시킨 후, 상기 노즐립 전체가 한 번에 건조가 이루어지도록 상기 노즐립 전체를 향하여 상기 건조 가스를 분사함에 의해 이루어질 수 있다.

Description

슬릿 노즐의 세정 방법{Method for cleaning silt nozzle}

본 발명은 슬릿 노즐의 세정 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 약액을 도포할 수 있는 노즐립을 구비하는 슬릿 노즐의 세정 방법에 관한 것이다.

표시 장치의 제조에서는 기판 상에 약액을 도포하는 공정을 수행한다. 약액의 도포는 주로 노즐립(nozzle lip)을 구비하는 슬릿 노즐(slit nozzle)을 사용한다.

그러나 슬릿 노즐의 노즐립 부분에 이물질 등이 잔류할 경우 기판 상에 도포되는 약액의 균일도가 저하된다. 이에, 슬릿 노즐에 대한 세정을 빈번하게 수행하고 있다.

슬릿 노즐에 대한 세정은 주로 노즐립 전체 크기에 부분적으로 대응되는 크기를 가지면서 노즐립을 향하여 세정액을 분사하는 세정액 분사부 및 건조 가스를 분사하는 건조 가스 분사부가 구비되는 세정 블록을 사용한다. 특히. 노즐립에 부분적으로 대응되는 세정 블록을 노즐립 길이 방향을 따라 이동시킴에 의해 노즐립 전체를 세정할 수 있다.

따라서 종래에는 슬릿 노즐의 노즐립을 한 번에 세정하지 못하는 단점이 있고, 세정 블록의 이동에 의한 벨트 등의 갈림으로 인하여 파티클 등이 발생하는 단점이 있다.

본 발명의 일 목적은 슬릿 노즐의 노즐립을 한 번에 세정함과 아울러 세정을 위한 부재의 이동을 억제할 수 있는 슬릿 노즐의 세정 방법을 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 세정액이 채워지는 세정 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시키고, 상기 노즐립 전체가 한 번에 세정이 이루어지도록 상기 세정액에 상기 노즐립 전체를 딥핑시키고, 상기 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 양쪽 측면으로부터 중심 부분을 향하여 건조 가스를 분사할 수 있는 분사부가 구비되는 건조 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시킨 후, 상기 노즐립 전체가 한 번에 건조가 이루어지도록 상기 노즐립 전체를 향하여 상기 건조 가스를 분사함에 의해 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 세정액은 신너를 포함하고, 상기 건조 가스는 질소 가스를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 건조 배스에 상기 슬릿 노즐을 이송시킬 때 상기 노즐립 단부가 상기 분사부 아래에 위치하도록 할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사부는 건조 배스의 측면에 일정 간격 마다 배치되는 분사홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사홀 구조를 가질 경우 상기 노즐립 전체를 향하여 상기 건조 가스를 분사할 때에는 상기 건조 배스를 길이 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사부는 건조 배스의 측면에 슬릿 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 세정액이 채워지는 세정 배스 및 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 양쪽 측면으로부터 중심 부분을 향하여 건조 가스를 분사할 수 있는 분사부가 구비되는 건조 배스를 사용한다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 한 번에 세정하고 건조할 수 있기 때문에 세정을 위한 공정 시간의 단축을 통한 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.

또한, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노졸의 세정 방법은 세정 배스 및 건조 배스의 이동을 억제하여 파티클 등의 발생을 최소화할 수 있기 때문에 공정 신뢰도의 향상도 기대할 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 세정을 위한 슬릿 노즐을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에 사용되는 세정 배스를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 및 도 5는 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에 사용되는 건조 배스를 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 예시적인 실시예들에 따른 건조 배스를 나타내는 도면이다.
도 7은 예시적인 실시예들에 따른 건조 배스를 나타내는 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 세정을 위한 슬릿 노즐을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 슬릿 노즐(11)은 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조시 포토레지스트 등과 같은 약액을 기판 상에 도포시키는 공정을 수행하는데 사용할 수 있다.

슬릿 노즐(11)은 기판 상에 약액을 도포하도록 노즐면 단부에 노즐립(13)을 구비할 수 있다. 이에, 슬릿 노즐(11)을 사용하는 약액의 도포 공정에서는 노즐립(13)을 통하여 약액의 도포가 이루어질 수 있다.

따라서 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)에 약액이 잔류하거나 이물질이 흡착될 경우 약액 도포에 따른 불량으로 작용할 수 있기 때문에 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)을 주기적으로 세정을 해야 한다.

도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에 사용되는 세정 배스를 설명하기 위한 도면들이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에서는 슬릿 노즐(11)을 세정하기 위한 세정 배스(21)를 사용할 수 있다.

세정 배스(21)는 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13) 전체를 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 세정 배스(21)에는 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)의 딥핑을 위한 세정액(23)이 수용될 수 있다. 언급한 세정액(23)의 예로서는 신너(thinner) 등을 들 수 있다.

도 4 및 도 5는 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에 사용되는 건조 배스를 설명하기 위한 도면들이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에서는 슬릿 노즐(11)을 건조시키기 위한 건조 배스(41)를 사용할 수 있다.

건조 배스(41)는 세정 배스(21)와 별도 부재로 구비된 것으로써, 세정 배스(21)와 마찬가지로 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13) 전체를 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 건조 배스(41)에는 양쪽 측면으로부터 중심 부분을 향하여 건조 가스를 분사할 수 있는 분사부(43)가 구비될 수 있다. 언급한 건조 가스의 예로서는 질소 가스 등을 들 수 있다.

이하, 언급한 건조 배스에 구비되는 분사부에 대한 구조에 대하여 설명하기로 한다.

도 6은 예시적인 실시예들에 따른 건조 배스를 나타내는 도면이고, 도 7은 예시적인 실시예들에 따른 건조 배스를 나타내는 도면이다.

먼저 도 6을 참조하면, 분사부(43)는 건조 배스(41)의 양쪽 측면에 일정 간격 마다 배치되어 건조 가스를 분사할 수 있는 분사홀 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

그리고 도 7을 참조하면, 분사부(43)는 건조 배스(41)의 양쪽 측면에서 건조 가스를 분사할 수 있는 슬릿 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

이하, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법에 대하여 설명하기로 한다.

먼저 세정 배스(21)로 세정을 위한 슬릿 노즐(11)을 이송시킨다. 그리고 세정 배스(21)에 수용되는 세정액(23)에 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)을 딥핑시킨다. 세정 배스(21)가 노즐립(13) 전체를 수용할 수 있는 크기를 갖기 때문에 한 번의 딥핑만으로도 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)을 충분하게 세정할 수 있다.

언급한 바와 같이 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)을 세정한 후 슬릿 노즐(11)의 노즐면에 잔류하는 세정액(23)을 건조하기 위한 건조 공정을 수행해야 한다.

이에, 세정이 이루어지는 슬릿 노즐(11)을 건조하도록 건조 배스(41)로 이송시킨다. 건조 배스(41)의 분사부(43)가 구비되는 부분으로 슬릿 노즐(11)을 이송시킨다. 특히, 건조 배스(41)에 슬릿 노즐(11)을 이송시킬 때 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13) 단부가 분사부(43) 아래에 위치하도록 이송시킨다. 이는, 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13) 단부가 분사부(43) 위쪽에 위치하도록 이송될 경우 분사부(43)를 통하여 건조 가스를 분사시켜도 충분한 분사가 이루어지지 않을 수 있기 때문이다. 세정 베스와 마찬가지로 건조 배스(41) 또한 노즐립(13) 전체를 수용할 수 있는 크기를 갖기 때문에 한 번의 건조 가스의 분사만으로도 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13)을 충분하게 건조시킬 수 있다.

그리고 도 6에서와 같이 분사부(43)가 분사홀 구조를 가질 경우에는 건조 가스의 분사시 건조 배스(41)를 길이 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다. 이는, 분사홀과 분사홀 사이에 건조 가스가 충분하게 분사되지 않을 수 있기 때문이다. 이에, 왕복 이동하는 구간은 분사홀과 분사홀 사이의 간격일 수 있다.

언급한 바와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 슬릿 노즐(11)의 노즐립(13) 전체를 한 번에 세정하고 건조할 수 있기 때문에 세정을 위한 공정 시간의 단축을 통한 생산성을 향상시킬 수 있을 것이고, 세정 배스(21) 및 건조 배스(41)의 이동을 억제하여 파티클 등의 발생을 최소화함으로써 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있을 것이다.

예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐의 세정 방법은 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 적용할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 슬릿 노즐 13 : 노즐립
21 : 세정 배스 23 : 세정액
41 : 건조 배스 43 : 분사부

Claims (6)

1. 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 세정액이 채워지는 세정 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시키는 단계;
   상기 노즐립 전체가 한 번에 세정이 이루어지도록 상기 세정액에 상기 노즐립 전체를 딥핑시키는 단계;
   상기 슬릿 노즐의 노즐립 전체를 수용할 수 있는 크기를 가지면서 양쪽 측면으로부터 중심 부분을 향하여 건조 가스를 분사할 수 있는 분사부가 구비되는 건조 배스로 상기 슬릿 노즐을 이송시키는 단계; 및
   상기 노즐립 전체가 한 번에 건조가 이루어지도록 상기 노즐립 전체를 향하여 상기 건조 가스를 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 세정액은 신너를 포함하고, 상기 건조 가스는 질소 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 건조 배스에 상기 슬릿 노즐을 이송시킬 때 상기 노즐립 단부가 상기 분사부 아래에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 분사부는 건조 배스의 측면에 일정 간격 마다 배치되는 분사홀 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.
5. 제4 항에 있어서,
   상기 분사홀 구조를 가질 경우 상기 노즐립 전체를 향하여 상기 건조 가스를 분사할 때에는 상기 건조 배스를 길이 방향을 따라 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 분사부는 건조 배스의 측면에 슬릿 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 세정 방법.

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