KR20190123015A - Picker tip change apparatus and test handler including same - Google Patents

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KR20190123015A
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Abstract

The present invention relates to a picker tip changing apparatus and to a test handler including the same. Specifically, according to one embodiment of the present invention, the picker tip changing apparatus comprises: a seating unit including a holder module for accommodating a picker tip, wherein the holder module is formed in a concave from one side surface thereof and has at least one seating hole which can accommodate a picker tip; a supporting member including an opening and closing portion disposed on one side surface of the seating unit in which the seating hole is formed in a concave, and having the opening and closing portion to be movable in a direction closer to the seating hole or away from the seating hole; and an elastic member applying an elastic force to the supporting member in a direction in which the opening and closing portion is closer to the seating hole.

Description

픽커 팁 교환 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러{PICKER TIP CHANGE APPARATUS AND TEST HANDLER INCLUDING SAME}Picker tip changer and test handler comprising same {PICKER TIP CHANGE APPARATUS AND TEST HANDLER INCLUDING SAME}

본 발명은 픽커 팁 교환 장치 및 이를 포함하는 핸들러에 대한 발명이다. The present invention relates to a picker tip changing device and a handler including the same.

핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체 소자 등의 전자부품이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 전자부품을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다. The handler supports an electronic component such as a semiconductor device manufactured through a predetermined manufacturing process to be tested by a tester, and classifies the electronic component into grades according to a test result and loads the electronic component into a customer tray.

이러한 핸들러에는 이송경로를 따라 전자부품을 이송시킬 수 있다. 또한, 핸들러는 전자부품을 테스트트레이에 적재하여 이동시킬 수 있으며, 여러 장의 테스트트레이를 순환시킬 수 있다. 이러한 테스트트레이의 이송경로는 로딩장치, 테스트 챔버, 및 언로딩 장치를 경유할 수 있다. 핸들러는 테스트 되지 않은 전자부품들을 고객트레이로부터 테스트트레이에 장착한 후, 전자부품들이 적재된 테스트트레이를 일정 경로를 따라서 순환시킴으로써 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트를 지원한다. 또한, 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트가 완료되면 테스트 완료된 전자부품들을 다시 고객트레이로 이송하도록 구성된다.Such handlers can transfer electronic components along a transfer path. In addition, the handler can load and move electronic components in a test tray, and can cycle several test trays. The transfer path of the test tray may be via a loading device, a test chamber, and an unloading device. The handler supports the testing of the electronic components loaded in the test tray by mounting the untested electronic components from the customer tray to the test tray and then circulating the test tray loaded with the electronic components along a predetermined path. Also, when the testing of the electronic components loaded in the test tray is completed, the tested electronic components are configured to be transferred back to the customer tray.

이와 같은, 핸들러에 구비되는 테스트트레이는 일반적으로 사각프레임에 다수의 인서트가 행렬 형태로 배열되어 있는 구조를 가지며, 각각의 인서트에는 전자부품이 적재된다. Such a test tray provided in the handler generally has a structure in which a plurality of inserts are arranged in a matrix form in a rectangular frame, and electronic components are loaded in each insert.

핸들러는 전자부품을 고객트레이와 테스트트레이 사이에서 이송시키게 되고, 이러한 핸들러의 픽커는 이러한 고객트레이, 테스트트레이 등에 놓인 전자부품을 들어올리게 된다. 또한, 픽커가 전자부품을 안정적으로 파지하기 위해 픽커가 들어올리는 전자부품의 종류가 바뀔 때마다 픽커의 전자부품에 접촉하는 부분에 해당하는 픽커의 팁은 전자부품의 종류에 맞게 교체된다. 종래에는 핸들러의 구동을 정지시킨 후 작업자가 직접 손으로 픽커의 팁을 교체하였다.The handler transfers the electronic components between the customer tray and the test tray, and the picker of the handler picks up the electronic components placed on the customer tray, the test tray, and the like. In addition, whenever the kind of electronic parts picked up by the picker is changed so that the picker grips the electronic parts stably, the tip of the picker corresponding to the part contacting the electronic parts of the picker is replaced according to the type of the electronic parts. Conventionally, after stopping the operation of the handler, the operator manually replaces the tip of the picker by hand.

그런데, 최근 들어서는 단위시간당 처리되어야 할 전자부품의 수가 계속 증가하는 추세이고, 이에 따라 픽커가 들어올리게 되는 전자부품의 수도 증가하게 되었다. 또한, 최근에는 전자부품의 종류가 다양해짐에 따라 핸들러가 구동하는 도중에 전자부품의 종류가 교체되는 빈도수가 증가되고 있다. 따라서, 많은 수의 픽커의 팁을 빠른 시간 내에 교체할 것이 요구되고 있다. However, in recent years, the number of electronic components to be processed per unit time continues to increase, and accordingly, the number of electronic components to be picked up has increased. Also, in recent years, as the types of electronic components are diversified, the frequency with which the types of electronic components are replaced while the handler is driven has increased. Therefore, it is required to replace the tip of a large number of pickers in a short time.

게다가, 최근에는 전자부품가 점차 소형화됨에 따라 픽커와 픽커 간의 간격이 좁아지게 되었다. 따라서, 작업자가 종래와 같이 픽커 사이의 좁은 공간에서 손을 넣어 픽커의 팁을 교체하는 것에 어려움이 있었다. In addition, in recent years, as electronic components are gradually miniaturized, the distance between the picker and the picker is narrowed. Therefore, it is difficult for an operator to replace the picker tip by hand in a narrow space between pickers as in the prior art.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 픽커의 팁을 용이하게 교체할 수 있는 픽커 팁 교환 장치를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention have been invented in view of the above-described conventional problems, and are intended to provide a picker tip exchange apparatus that can easily replace the tip of the picker.

본 발명의 일 측면에 따르면, 픽커 팁을 수용하기 위한 홀더 모듈을 포함하고, 상기 홀더 모듈은, 일측면으로부터 요입 형성되어 상기 픽커 팁이 수용될 수 있는 적어도 하나의 안착홀을 가지는 안착부; 상기 안착홀이 요입 형성된 상기 안착부의 일측면 측에 배치되는 개폐부를 포함하고, 상기 개폐부가 상기 안착홀에 가까워지거나 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 지지부재; 및 상기 개폐부가 상기 안착홀에 가까워지는 방향으로 상기 지지부재에 탄성력을 가해주는 탄성부재를 포함하는 픽커 팁 교환 장치가 제공될 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a holder module for receiving a picker tip, the holder module comprises a seating portion having at least one seating hole formed in the concave from one side to accommodate the picker tip; A support member including an opening and closing portion disposed on one side of the seating portion in which the seating hole is recessed and configured to move in a direction closer to the seating hole or away from the seating hole; And an elastic member for applying an elastic force to the support member in a direction in which the opening and closing portion is closer to the seating hole.

또한, 상기 안착홀을 개방시키는 홀더 개방기를 더 포함하고, 상기 홀더 개방기는, 상기 홀더 모듈이 안착될 수 있는 개방기 프레임부; 및 상기 개방기 프레임부에 대하여 왕복 운동 가능하게 구성되는 푸셔를 포함하고, 상기 푸셔는 상기 개폐부가 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 상기 지지부재를 밀어줄 수 있도록 제공되는 픽커 팁 교환 장치가 제공될 수 있다. The apparatus may further include a holder opener for opening the seating hole, wherein the holder opener includes: an opener frame part on which the holder module is seated; And a pusher configured to reciprocate with respect to the opener frame portion, wherein the pusher may be provided with a picker tip exchange device provided to open and close the support member in a direction away from the seating hole. have.

또한, 상기 홀더 개방기는, 상기 푸셔를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키고 상기 개방기 프레임부에 의해 지지되는 푸셔 구동기를 더 포함하고, 상기 푸셔 구동기는 상기 개방기 프레임부에 안착된 상기 홀더 모듈의 개폐부가 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 상기 푸셔를 밀어주도록 구동되는 픽커 팁 교환 장치가 제공될 수 있다. The holder opener may further include a pusher driver for generating a driving force for moving the pusher and supported by the opener frame part, wherein the pusher driver opens and closes the holder module seated on the opener frame part. The picker tip exchange apparatus may be provided so that the pusher pushes the pusher in a direction away from the seating hole.

또한, 상기 홀더 모듈에는 상기 개방기 프레임부와 맞물리기 위한 개방기 계합부가 형성되고, 상기 개방기 프레임부는, 상기 개방기 계합부에 맞물리는 홀더 고정부를 포함하는 제1 개방기 프레임; 및 상기 제1 개방기 프레임에 이동 가능하게 지지되고, 상기 홀더 모듈을 지지하기 위해 제공되는 홀더 지지부를 포함하는 제2 개방기 프레임을 포함하고, 상기 푸셔는 상기 제2 개방기 프레임에 이동 가능하게 지지되는 픽커 팁 교환 장치가 제공될 수 있다. The holder module may further include an opener engagement portion for engaging the opener frame portion, and the opener frame portion may include a first opener frame including a holder fixing portion engaged with the opener engagement portion; And a second opener frame movably supported by the first opener frame and including a holder support provided to support the holder module, wherein the pusher is moveable to the second opener frame. A supported picker tip exchange device may be provided.

또한, 상기 홀더 개방기는, 상기 제2 개방기 프레임을 이동시키기 위한 구동력을 발생시키고, 상기 개방기 프레임부에 지지되는 프레임 구동기를 더 포함하고, 상기 프레임 구동기는, 상기 홀더 지지부에 상기 홀더 모듈이 안착될 때 상기 홀더 모듈의 이동이 상기 홀더 고정부에 의해 방해받지 않도록, 상기 제2 개방기 프레임을 이동시키도록 구동되고, 상기 홀더 지지부에 상기 홀더 모듈이 안착된 후에는 상기 홀더 고정부에 상기 개방기 계합부가 맞물리도록 상기 제2 개방기 프레임을 이동시키도록 구동되는, 픽커 팁 교환 장치가 제공될 수 있다. The holder opener may further include a frame driver that generates a driving force for moving the second opener frame and is supported by the opener frame part. The frame driver may further include a holder module in the holder support part. It is driven to move the second opener frame so that movement of the holder module is not disturbed by the holder fixing part when it is seated, and after the holder module is seated on the holder supporting part, A picker tip changing device may be provided that is driven to move the second opener frame to engage the opener engagement.

또한, 테스트 핸들러는, 픽커 팁 교환 장치; 및 하나 이상의 전자부품을 소정 위치로 운반할 수 있는 운반 장치;를 포함하고, 상기 운반 장치는, 상기 전자부품을 픽업하기 위한 픽커; 상기 픽커를 지지하는 헤드; 상기 헤드를 종방향으로 이송시키기 위한 종방향 이송기; 및 상기 헤드를 횡방향으로 이송시키기 위한 횡방향 이송기를 포함하고, 상기 픽커는, 상기 헤드에 지지되는 픽커 몸체; 및 상기 전자부품에 따라 교체될 수 있도록 상기 픽커 몸체에 탈착 가능하게 연결되는 픽커 팁을 포함하고, 상기 픽커 팁 교환 장치는, 픽커 팁이 안착될 수 있는 안착홀을 구비하고, 상기 픽커 몸체로부터 분리되거나 상기 픽커 몸체에 연결될 복수 개의 픽커 팁을 상기 안착홀에 수용할 수 있도록 구성되는 홀더 모듈; 복수 개의 상기 홀더 모듈을 적재할 수 있도록 구성되는 홀더 스택커; 픽커 팁을 상기 픽커 몸체로부터 분리시키거나 상기 픽커 몸체에 연결시킴으로써 픽커 팁을 교환하는 픽커 팁 교환부; 및 상기 홀더 스택커와 상기 픽커 팁 교환부 사이에서 상기 홀더 모듈을 이송하기 위한 홀더 이송기를 포함하는 테스트 핸들러가 제공될 수 있다.The test handler also includes a picker tip exchange device; And a conveying device capable of conveying one or more electronic components to a predetermined position, the conveying apparatus comprising: a picker for picking up the electronic component; A head supporting the picker; A longitudinal conveyer for conveying the head in a longitudinal direction; And a transverse feeder for transversing the head in a transverse direction, the picker comprising: a picker body supported by the head; And a picker tip detachably connected to the picker body to be replaced according to the electronic component, wherein the picker tip exchange device has a seating hole to which the picker tip can be seated, and is separated from the picker body. A holder module configured to receive a plurality of picker tips in the mounting hole or to be connected to the picker body; A holder stacker configured to stack a plurality of holder modules; A picker tip exchanger for exchanging a picker tip by detaching a picker tip from the picker body or connecting to the picker body; And a holder transporter for transporting the holder module between the holder stacker and the picker tip exchanger.

본 발명의 실시예들에 따르면, 픽커의 팁을 빠른 속도로 교체할 수 있고, 핸들러의 가동률을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다. According to embodiments of the present invention, the tip of the picker can be replaced at a high speed, and the operation rate of the handler can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 팁 교환 장치와 이송 설비를 포함하는 핸들러의 개념도이다.
도 2는 도 1의 이송 설비에 구비되는 운반 장치를 나타내는 개념도이다.
도 3은 도 1의 이송설비에 구비되는 픽커 팁 교환 장치의 사시도이다.
도 4는 도 3의 픽커 팁 교환 장치에 포함되는 홀더 모듈과 홀더 개방기를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 홀더 모듈을 나타내는 저면 사시도이다.
도 6은 도 4의 홀더 개방기의 분해 사시도이다.
도 7 및 도 8은 홀더 개방기가 홀더 모듈을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이다.
도 9는 운반 장치의 픽커 몸체에 홀더 모듈의 픽커 팁이 체결되는 과정을 모식적으로 나타낸 사시도이다.
1 is a conceptual diagram of a handler including a picker tip exchange device and a transfer facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating a conveying apparatus provided in the conveying facility of FIG. 1.
3 is a perspective view of a picker tip exchange apparatus provided in the transfer facility of FIG. 1.
4 is a perspective view illustrating a holder module and a holder opener included in the picker tip changing device of FIG. 3.
5 is a bottom perspective view illustrating the holder module of FIG. 4.
6 is an exploded perspective view of the holder opener of FIG. 4.
7 and 8 are plan views illustrating a process in which the holder opener opens the holder module.
9 is a perspective view schematically showing a process of fastening the picker tip of the holder module to the picker body of the transport apparatus.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments for implementing the spirit of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 전달, 접촉될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Also, when a component is said to be 'connected', 'delivered', or 'contacted' to another component, it may be directly connected to, transmitted to, or contacted by the other component, but there may be other components in between. Should be.

본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. A singular expression includes a plural expression unless the context clearly indicates otherwise.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.In addition, the expression of the upper side, the lower side, and the side in the present specification are described with reference to the drawings in the drawings and it will be apparent that it can be expressed differently when the direction of the corresponding object is changed. For the same reason, some components in the accompanying drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated, and the size of each component does not entirely reflect the actual size.

또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.In addition, terms including ordinal numbers such as first and second may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. These terms are only used to distinguish one component from another.

명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.As used herein, the term "comprising" embodies a particular characteristic, region, integer, step, operation, element, and / or component, and other specific characteristics, region, integer, step, operation, element, component, and / or group. It does not exclude the presence or addition of.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 팁 교환 장치 및 이를 포함하는 핸들러의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. Hereinafter, with reference to the drawings will be described a specific configuration of the picker tip exchange device and the handler including the same according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 1을 참조하면, 테스트 핸들러(1)는 전자부품을 픽업하기 위한 픽커를 구비하는 이송헤드를 포함하는 이송 설비(2) 및 픽커에 포함된 픽커 팁을 교체하기 위한 픽커 팁 교환 장치(3)를 포함할 수 있다. First, referring to FIG. 1, the test handler 1 includes a transfer facility 2 including a transfer head including a picker for picking up an electronic component, and a picker tip exchange device for replacing a picker tip included in the picker. 3) may be included.

테스트 핸들러(1)의 이송 설비(2)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30), 언로딩 장치(40) 및 적어도 하나의 운반 장치(50)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 운반 장치(50)가 두 개 구비되는 경우를 예로 들어 도시하였으나, 이는 예시적인 설명을 위한 것이고, 본 발명의 사상이 운반 장치(50)의 총 개수에 있어서 제한되지는 않는다.The transport facility 2 of the test handler 1 may comprise a loading device 10, a temperature control unit 20, a test device 30, an unloading device 40 and at least one conveying device 50. have. In the present embodiment, the case in which two conveying devices 50 are provided as an example, but for illustrative purposes, the idea of the present invention is not limited to the total number of conveying devices (50).

로딩 장치(10)는 테스트 받을 전자부품을 온도 조절부(20)에 로딩하기 위해 준비시킬 수 있다. 로딩 장치(10)는 복수 개의 고객트레이(미도시)를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다. The loading device 10 may prepare the electronic component to be tested to be loaded into the temperature controller 20. The loading device 10 may include a plurality of customer trays (not shown), and may include a module for transporting the customer trays.

온도 조절부(20)는 전자부품의 온도를 조절할 수 있으며, 이를 위한 챔버를 포함할 수 있다. 또한, 이러한 온도 조절부(20)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 전자부품 테스트 과정에서 소크 챔버(soak chamber) 및 디소크 챔버(desoak chamber)의 역할을 수행할 수 있다. The temperature controller 20 may adjust the temperature of the electronic component, and may include a chamber therefor. In addition, the temperature controller 20 may be provided in plurality, and may serve as a soak chamber and a desoak chamber in the electronic component test process.

테스트 장치(30)는 테스트 포켓을 구비하며, 전자부품을 테스트 포켓으로 이송시킬 수 있다. 이러한 전자부품은 테스트트레이(T)에 적재된 상태에서 이송될 수 있다. 테스트 장치(30)는 테스트 핸들러(1)와는 별도로 구비되는 테스터(Tester)에 결합되기 위한 공간을 제공할 수 있다. The test apparatus 30 has a test pocket and can transfer electronic components to the test pocket. Such electronic components may be transported in a state where they are loaded in the test tray T. The test apparatus 30 may provide a space for coupling to a tester provided separately from the test handler 1.

언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품을 전달받을 수 있다. 언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품이 안착될 공간을 제공할 수 있다. 또한, 언로딩 장치(40)는 복수 개의 고객트레이를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다. The unloading device 40 may receive the tested electronic component. The unloading device 40 may provide a space in which the tested electronic component is to be seated. In addition, the unloading device 40 may include a plurality of customer trays, and may include a module for transferring the customer trays.

운반 장치(50)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30) 및 언로딩 장치(40)들 사이에서, 또는 각 장치의 내부에서 대상물체를 픽업하거나 내려놓을 수 있으며, 수평 또는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이하에서는 도 2를 참조하여 운반 장치(50)의 구성을 설명한다. The conveying device 50 may pick up or drop an object between the loading device 10, the temperature control unit 20, the test device 30 and the unloading device 40, or inside each device. It may be configured to be movable in a horizontal or vertical direction. Hereinafter, the structure of the conveying apparatus 50 is demonstrated with reference to FIG.

도 2를 참조하면, 운반 장치(50)는 헤드(51), 종방향 이송기(52), 횡방향 이송기(53) 및 픽커(54)를 포함할 수 있다. 또한, 헤드(51)는 복수 개의 픽커(54)를 지지할 수 있다. 헤드(51)는 픽커(54)에 전자부품이 지지된 상태에서 이동함으로써 전자부품을 이송할 수 있다. 종방향 이송기(52) 및 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)에 직접적, 간접적으로 연결되어 헤드(51)를 이동시킬 수 있다. 종방향 이송기(52)는 헤드(51)를 상하 방향(도 3 내지 도 9의 Z1, Z2 방향)으로 이동시킬 수 있고, 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)를 횡방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2, Y1, Y2 방향)으로 이송시킬 수 있다. 픽커(54)는 픽커 몸체(55)와 픽커 팁(56)을 포함할 수 있고, 픽커 팁(56)은 픽커 몸체(55)에 대해 분리 가능하게 구성되어 교체될 수 있다. 픽커 팁(56)은 안착홀(1210)에 맞물릴 수 있도록 구성될 수 있으며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 한편, 픽커 팁(56)은 픽커 팁 교환 장치(3)에 의해 픽커 몸체(55)에 결합되거나 분리될 수 있으므로, 이하에서는 픽커 팁 교환 장치(3)에 대하여 서술한다. Referring to FIG. 2, the conveying device 50 may include a head 51, a longitudinal feeder 52, a transverse feeder 53 and a picker 54. In addition, the head 51 may support the plurality of pickers 54. The head 51 can transfer the electronic components by moving in the state where the electronic components are supported by the picker 54. The longitudinal feeder 52 and the transverse feeder 53 may be directly and indirectly connected to the head 51 to move the head 51. The longitudinal feeder 52 can move the head 51 in the up and down direction (Z1 and Z2 directions in FIGS. 3 to 9), and the transverse feeder 53 moves the head 51 in the transverse direction (FIG. 3 to 9 in the directions X1, X2, Y1, and Y2. The picker 54 may include a picker body 55 and a picker tip 56, and the picker tip 56 may be detachably configured and replaced with respect to the picker body 55. The picker tip 56 may be configured to engage the mounting hole 1210 and may have various shapes. On the other hand, since the picker tip 56 can be coupled to or separated from the picker body 55 by the picker tip changing device 3, the picker tip changing device 3 will be described below.

도 3을 참조하면, 픽커 팁 교환장치(10)는 홀더 모듈(100), 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the picker tip exchanger 10 may include a holder module 100, a holder opener 200, a holder stacker 300, and a holder transporter 400.

도 3 내지 도 5를 더 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 프레임(1100), 안착부(1200), 지지부재(1300) 및 탄성부재(1400)를 포함할 수 있다. 이러한 홀더 모듈(100)은 복수 개로 제공될 수 있고, 복수 개의 홀더 모듈(100) 중 적어도 일부는 다른 홀더 모듈(100)과 구별하기 위한 바코드 등의 고유 식별표시를 가질 수 있다. 3 to 5, the holder module 100 may include a holder frame 1100, a seating portion 1200, a support member 1300, and an elastic member 1400. The holder module 100 may be provided in plural, and at least some of the holder modules 100 may have a unique identification mark such as a bar code for distinguishing it from other holder modules 100.

홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 이동 가능하도록 지지할 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 상하 방향으로 연통하는 것을 허용하도록 상하 방향으로 관통된 프레임 홀(1110)을 가질 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 홀더 개방기(200)에 맞물리기 위한 개방기 계합부(1120), 및 홀더 이송기(400)에 맞물리기 위한 파지용 홀(1130)이 형성될 수 있다. The holder frame 1100 may support the support member 1300 to be movable along one direction (X1 and X2 directions of FIGS. 3 to 9). In addition, the holder frame 1100 may have a frame hole 1110 penetrated in the vertical direction to allow communication in the vertical direction. In addition, the holder frame 1100 may be formed with an opener engaging portion 1120 for engaging the holder opener 200, and a gripping hole 1130 for engaging with the holder transporter 400.

개방기 계합부(1120)는 측방향을 따라 연장 형성된 홀 또는 돌기일 수 있다. 일 예로, 개방기 계합부(1120)는 일방향의 일측(도 3 내지 도 9의 X1 측)을 향해 개구되어 상기의 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 연장 형성된 홀일 수 있다. 또한, 개방기 계합부(1120)는 홀더 프레임(1100)의 가장자리 부위, 또는 프레임 홀(1110)의 안쪽에 형성될 수 있다. 홀더 모듈(100)은 안착부(1200)에 맞물린 픽커 팁(56), 및 이러한 픽커 팁(56)에 연결된 운반 장치(50) 등으로부터 외력을 받을 수 있다. 개방기 계합부(1120)는 후술할 홀더 고정부(2112)와 맞물림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 안착되었을 때에 홀더 모듈(100)이 외력에 의해 홀더 개방기(200)로부터 이탈하는 것이 방지될 수 있다. The opener engagement portion 1120 may be a hole or a protrusion extending along the lateral direction. For example, the opener engagement unit 1120 may be a hole that is opened toward one side (X1 side of FIGS. 3 to 9) in one direction and extends along one direction (X1 and X2 directions of FIGS. 3 to 9). . In addition, the opener engagement part 1120 may be formed at an edge portion of the holder frame 1100 or inside the frame hole 1110. The holder module 100 may receive an external force from the picker tip 56 engaged with the seating portion 1200, the transport device 50 connected to the picker tip 56, and the like. The opener engaging part 1120 is engaged with the holder fixing part 2112 to be described later, and when the holder module 100 is seated on the holder opener 200, the holder module 100 is opened by an external force. Departure from can be prevented.

파지용 홀(1130)은 홀더 프레임(1100)의 사이드부에 형성된 홀 또는 돌기 일 수 있다. 파지용 홀(1130)이 후술할 홀더 이송기(400)의 홀더 암(410)의 돌기 또는 홀에 맞물림으로써 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 안정적으로 파지될 수 있다. The gripping hole 1130 may be a hole or a protrusion formed in the side portion of the holder frame 1100. The holder module 100 can be stably gripped by the holder transporter 400 by engaging the gripping hole 1130 with the protrusion or hole of the holder arm 410 of the holder transporter 400 to be described later.

홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 슬라이드 이동 가능하게 지지하고, 지지부재(1300)의 이동을 안내하기 위해 지지부재 가이드(1140)를 포함할 수 있다. 지지부재 가이드(1140)는 일방향으로 연장 형성될 수 있으며, 봉 형상을 가질 수 있다. 이러한 지지부재 가이드(1140)는 홀더 프레임(1100)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.The holder frame 1100 may support the support member 1300 to be slidably movable, and may include a support member guide 1140 to guide the movement of the support member 1300. The support member guide 1140 may extend in one direction and have a rod shape. The support member guide 1140 may be provided at both sides (Y1 side and Y2 side of FIGS. 3 to 9) in other directions of the holder frame 1100.

안착부(1200)는 픽커 팁(56)이 수용되기 위한 안착홀(1210)을 가질 수 있다. 안착홀(1210)은 안착부(1200)의 일방향을 따라 요입 형성될 수 있으며, 안착부(1200)의 일측을 향해 개구될 수 있다. 이러한 안착홀(1210)은 복수 개로 형성될 수 있다. 또한, 복수 개의 안착홀(1210)은 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로의 열을 따라 나란하게 배열될 수 있다. 본 명세서에서 '타방향'은 일방향과 어긋나는 방향을 의미한다. 예를 들어 일방향이 전후방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)인 경우 타방향은 좌우방향이라 할 수 있다. 또한, 안착홀(1210)은 복수 개의 열로 배열될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서 안착부(1200)는 홀더 프레임(1100)과 별도의 부재인 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 홀더 프레임(1100)과 단일의 부재를 구성하는 것도 가능하다. The mounting portion 1200 may have a mounting hole 1210 for receiving the picker tip 56. The seating hole 1210 may be recessed along one direction of the seating part 1200, and may be opened toward one side of the seating part 1200. The seating hole 1210 may be formed in plural numbers. In addition, the plurality of seating holes 1210 may be arranged side by side along a row in the other direction (Y1 and Y2 directions of FIGS. 3 to 9). In the present specification, the 'other direction' means a direction which is shifted from one direction. For example, when one direction is the front-rear direction (X1 and X2 directions of FIGS. 3 to 9), the other direction may be referred to as a left-right direction. In addition, the mounting holes 1210 may be arranged in a plurality of rows. Meanwhile, in the drawing according to the present embodiment, the seating portion 1200 is represented as a separate member from the holder frame 1100, but the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto, and the holder frame 1100 and the single member are not limited thereto. It is also possible to configure.

지지부재(1300)는 일방향으로 이동 가능하도록 홀더 프레임(1100)에 지지될 수 있다. 또한, 지지부재(1300)는 픽커 팁(56)이 안착홀(1210) 내에 맞물리거나 이탈하는 것이 가능하도록 안착홀(1210)을 개방하거나, 안착홀(1210)에 안착된 픽커 팁(56)의 이탈을 방지하도록 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 본 명세서에서 '폐쇄'는 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구에 완전히 밀착하는 것에만 국한되는 것이 아니고, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)의 개구를 통해 안착홀(1210)에 삽입 또는 이탈하는 것을 방지하는 것을 의미한다. 따라서, 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구로부터 소정간격 이격되어 있더라도, 지지부재(1300)와 안착홀(1210)의 개구 사이의 간격이 픽커 팁(56)이 이동할 수 없을 정도로 좁다면 지지부재(1300)가 개구를 폐쇄한 것으로 간주된다. The support member 1300 may be supported by the holder frame 1100 to be movable in one direction. In addition, the support member 1300 may open the seating hole 1210 or allow the picker tip 56 to be engaged or disengaged in the seating hole 1210, or the picker tip 56 seated in the seating hole 1210. The mounting hole 1210 may be closed to prevent separation. In the present specification, the 'close' is not limited to the support member 1300 being completely in close contact with the opening of the seating hole 1210, and the picker tip 56 is seated through the opening of the seating hole 1210. ) To prevent insertion or removal. Therefore, even if the support member 1300 is spaced a predetermined distance from the opening of the seating hole 1210, the interval between the support member 1300 and the opening of the seating hole 1210 is so narrow that the picker tip 56 cannot move. The surface support member 1300 is considered to have closed the opening.

이러한 지지부재(1300)는 개폐부(1310), 지지부재 슬라이딩부(1320), 및 푸셔 대응부(1330)를 포함할 수 있다. The support member 1300 may include an opening / closing part 1310, a supporting member sliding part 1320, and a pusher counterpart 1330.

개폐부(1310)는 안착홀(1210)을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다[도 4]. 이러한 계패부(1310)는 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로 연장되는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 안착홀(1210)이 복수 개의 열로 배열되는 경우, 개폐부(1310)도 안착홀(1210)의 열의 개수에 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 도면에서와 같이 안착홀(1210)이 2개의 열로 배열될 경우 개폐부(1310)도 2개로 제공될 수 있다. 하나의 개폐부(1310)는 하나의 열에 놓인 복수 개의 안착홀(1210)을 동시에 개폐할 수 있다.The opening and closing portion 1310 may open or close the seating hole 1210 (FIG. 4). The crest portion 1310 may have a bar shape extending in the other direction (Y1 and Y2 directions of FIGS. 3 to 9). When the mounting holes 1210 are arranged in a plurality of rows, the opening and closing portion 1310 may also be provided in a number corresponding to the number of rows of the mounting holes 1210. For example, when the mounting holes 1210 are arranged in two rows as shown in the drawing, two openings 1310 may be provided. One opening and closing part 1310 may simultaneously open and close a plurality of seating holes 1210 placed in one row.

지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)를 따라 일방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지부재 가이드(1140)에 맞물릴 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 개폐부(1310)의 양측에 구비될 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 예를 들어, 지지부재 가이드(1140)에 삽입되도록 일방향으로 연장 형성되는 관통홀일 수 있다. 또한, 지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)와 동일한 개수로 제공될 수 있다. The support member sliding part 1320 may be engaged with the support member guide 1140 to slide in one direction along the support member guide 1140. The supporting member sliding part 1320 may be provided at both sides of the opening and closing part 1310. The support member sliding part 1320 may be, for example, a through hole extending in one direction to be inserted into the support member guide 1140. In addition, the support member sliding part 1320 may be provided in the same number as the support member guide 1140.

푸셔 대응부(1330)는 후술할 푸셔(2300)의 홀더 작용부(2320)로부터 힘을 받는 부분일 수 있다[도 5]. 예를 들어, 푸셔 대응부(1330)는 안착부(1200)의 하측에 배치되어 측방향으로 연장되는 돌출부일 수 있다. 푸셔 대응부(1330) 중 푸셔(2300)에 대향하는 부분에는 푸셔(2300)와의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다. The pusher counterpart 1330 may be a portion that receives a force from the holder acting portion 2320 of the pusher 2300 (FIG. 5). For example, the pusher counterpart 1330 may be a protrusion that is disposed below the seating portion 1200 and extends laterally. A portion of the pusher counterpart 1330 facing the pusher 2300 may be provided with a cushioning member such as rubber or silicone to mitigate an impact caused by contact with the pusher 2300.

탄성부재(1400)는 개폐부(1310)가 안착홀(1210)에 가까워지는 방향으로 지지부재(1300)에 탄성력을 가해줄 수 있다. 다시 말해, 탄성부재(1400)는 일방향 타측(도 3 내지 도 9의 X2 측)으로 지지부재(1300)를 밀 수 있고, 개폐부(1310)는 푸셔(2300) 등으로부터 힘을 받지 않는 상태에서는 탄성부재(1400)에 밀림으로써 안착홀(1210)을 폐쇄하는 상태를 유지할 수 있다. 따라서 홀더 모듈(100)이 이송되는 동안에도 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)이 임의로 개방되는 것이 방지될 수 있고, 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)이 이탈하는 것도 방지될 수 있다. The elastic member 1400 may apply an elastic force to the support member 1300 in a direction in which the opening and closing portion 1310 is close to the seating hole 1210. In other words, the elastic member 1400 may push the support member 1300 to the other side in one direction (X2 side of FIGS. 3 to 9), and the opening / closing portion 1310 may be elastic in a state in which no force is applied from the pusher 2300. The state of closing the mounting hole 1210 may be maintained by being pushed by the member 1400. Accordingly, the mounting hole 1210 of the holder module 100 can be prevented from being opened arbitrarily even while the holder module 100 is being transferred, and the picker tip 56 accommodated in the mounting hole 1210 can be prevented from being separated. Can be.

한편, 본 실시예에서는 홀더 모듈(100)이 안착홀(1210)을 능동적으로 개폐하는 모듈을 포함하는 것을 완전히 배제하는 것은 아니다. Meanwhile, in the present embodiment, the holder module 100 is not completely excluded from including a module for actively opening and closing the mounting hole 1210.

도 3, 도 4 및 도 6을 참조하면, 홀더 개방기(200)는 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있고, 지지부재(1300)를 이동시킴으로써 안착홀(1210)을 개방시킬 수 있이다. 이러한 홀더 개방기(200)는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 분리시키거나 픽커 몸체(55)에 연결시킴으로써 픽커 팁(56)을 교환하는 픽커 팁 교환부에 제공될 수 있다. 홀더 개방기(200)는 개방기 프레임부(2100), 푸셔(2300) 및 구동기(2400)를 포함할 수 있다. 3, 4, and 6, the holder opener 200 may support the holder module 100 and open the seating hole 1210 by moving the support member 1300. Such holder opener 200 may be provided to a picker tip exchanger that exchanges the picker tip 56 by detaching the picker tip 56 from the picker body 55 or by connecting to the picker body 55. The holder opener 200 may include an opener frame portion 2100, a pusher 2300, and a driver 2400.

개방기 프레임부(2100)는 푸셔(2300)와 구동기(2400)를 지지할 수 있는 프레임일 수 있다. 이러한 개방기 프레임부(2100)는 제1 개방기 프레임(2110) 및 제2 개방기 프레임(2120)을 포함할 수 있다. 홀더 모듈(100)은 제2 개방기 프레임(2120)에 탑재될 수 있다. The opener frame portion 2100 may be a frame capable of supporting the pusher 2300 and the driver 2400. The opener frame portion 2100 may include a first opener frame 2110 and a second opener frame 2120. The holder module 100 may be mounted on the second opener frame 2120.

제1 개방기 프레임(2110)은 구동기(2400)를 지지하기 위한 제1 프레임 바디(2111), 개방기 계합부(1120)와 맞물리는 홀더 고정부(2112), 및 프레임 가이드(2114)를 포함할 수 있다. 제1 프레임 바디(2111), 홀더 고정부(2112) 및 프레임 가이드(2114)는 서로 간의 상대적인 위치가 변하지 않도록 고정될 수 있다. The first opener frame 2110 includes a first frame body 2111 for supporting the driver 2400, a holder fixing portion 2112 for engaging the opener engagement portion 1120, and a frame guide 2114. can do. The first frame body 2111, the holder fixing part 2112, and the frame guide 2114 may be fixed so that their relative positions do not change.

홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)와 맞물리도록 구성될 수 있다. 예를 들어 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)가 돌출 또는 인입되는 방향과 동일한 방향으로 연장되는 돌기 또는 홈일 수 있다. 따라서, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀일 경우, 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)에 삽입되도록 일방향으로 돌출되는 돌기일 수 있다. The holder fixing portion 2112 may be configured to engage the opener engagement portion 1120. For example, the holder fixing part 2112 may be a protrusion or a groove extending in the same direction in which the opener engagement part 1120 protrudes or retracts. Therefore, when the opener engagement portion 1120 is a hole formed in one direction, the holder fixing portion 2112 may be a protrusion protruding in one direction to be inserted into the opener engagement portion 1120.

프레임 가이드(2114)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동 가능하게 지지할 수 있으며, 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 서로 맞물릴 수 있도록 제2 개방기 프레임(2120)의 이동을 안내할 수 있다. 다시 말해, 프레임 가이드(2114)는 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 돌출, 인입되는 방향을 따라 제2 개방기 프레임(2120)이 이동하도록 제2 개방기 프레임(2120)을 안내할 수 있다. 예를 들어, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀인 경우 프레임 가이드(2114)는 일방향으로 연장되는 슬라이딩 레일일 수 있다. 이러한 슬라이딩 레일은 돌출부 또는 오목부를 포함할 수 있다. 또한, 프레임 가이드(2114)는 제1 프레임 바디(2111)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.The frame guide 2114 may movably support the second opener frame 2120, and the second opener frame 2120 may engage the opener engagement part 1120 and the holder fixing part 2112 with each other. ) Can guide the movement. In other words, the frame guide 2114 may include the second opener frame 2120 such that the second opener frame 2120 moves along the direction in which the opener engagement part 1120 and the holder fixing part 2112 protrude and retract. Can guide. For example, when the opener engagement portion 1120 is a hole formed in one direction, the frame guide 2114 may be a sliding rail extending in one direction. Such sliding rails may include protrusions or recesses. In addition, the frame guide 2114 may be provided on both sides (Y1 side and Y2 side of FIGS. 3 to 9) in the other direction of the first frame body 2111.

제2 개방기 프레임(2120)은 제2 프레임 바디(2121), 프레임 슬라이딩부(2122) 및 푸셔 가이드(2123)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. The second opener frame 2120 may include a second frame body 2121, a frame sliding part 2122, and a pusher guide 2123. In addition, the second opener frame 2120 may be configured to be movable with respect to the first opener frame 2110.

제2 프레임 바디(2121)는 홀더 모듈(100)이 안착될 수 있는 홀더 지지부(2121a)가 제공될 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 홀더 지지부(2121a)의 가장자리에 구비되는 걸림쇠(2121b)를 포함할 수 있다. 이러한 걸림쇠(2121b)는 돌기 또는 홈의 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 프레임 바디(2121)는 프레임 슬라이딩부(2122)와 푸셔 가이드(2123)를 지지할 수 있으며, 복수 개의 부재를 포함할 수 있다.The second frame body 2121 may be provided with a holder support 2121a on which the holder module 100 may be mounted. In addition, the second opener frame 2120 may include a latch 2121b provided at an edge of the holder support 2121a to prevent the holder module 100 from being separated from the holder support 2121a. The latch 2121b may have a shape of a protrusion or a groove. In addition, the second frame body 2121 may support the frame sliding part 2122 and the pusher guide 2123, and may include a plurality of members.

프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 프레임 가이드(2114)에 맞물릴 수 있다. 예를 들어, 프레임 가이드(2114)가 일방향으로 연장되는 경우, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114) 상에서 일방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 프레임 슬라이딩부(2122)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 구비될 수 있다. 또한, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.The frame sliding part 2122 may be engaged with the frame guide 2114 to be slidably moved along the frame guide 2114. For example, when the frame guide 2114 extends in one direction, the frame sliding part 2122 may be configured to be movable in one direction on the frame guide 2114. The frame sliding part 2122 may be provided at both sides of the second frame body 2121 in other directions. In addition, the frame sliding part 2122 may be provided in the same number as the frame guide 2114.

푸셔 가이드(2123)는 푸셔(2300)의 이동을 안내하도록 연장 형성될 수 있다. 또한, 푸셔 가이드(2123)가 연장되는 방향은 지지부재(1300)가 이동하는 방향과 나란한 방향일 수 있다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123)를 따라 이동함으로써 지지부재(1300)가 안착홀(1210)로부터 멀어지는 방향으로 지지부재(1300)를 밀어줄 수 있다. 이러한 푸셔 가이드(2123)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 형성될 수 있다. 푸셔 가이드(2123)가 제2 개방기 프레임(2120)에 구비되고, 푸셔(2300)가 푸셔 가이드(2123)에 의해 지지되므로, 제2 개방기 프레임(2120)이 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동할 경우, 푸셔 가이드(2123)에 지지되는 푸셔(2300)도 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하게 된다. The pusher guide 2123 may be extended to guide the movement of the pusher 2300. In addition, the direction in which the pusher guide 2123 extends may be a direction parallel to the direction in which the support member 1300 moves. The pusher 2300 may push the support member 1300 in a direction away from the mounting hole 1210 by engaging the pusher guide 2123 and moving along the pusher guide 2123. The pusher guide 2123 may be formed at both sides of the second frame body 2121 in the other direction. Since the pusher guide 2123 is provided in the second opener frame 2120 and the pusher 2300 is supported by the pusher guide 2123, the second opener frame 2120 is the first opener frame 2110. When moving relative to, the pusher 2300 supported by the pusher guide 2123 also moves with respect to the first opener frame 2110.

푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123) 상에서 일방향을 따라 왕복 운동 가능하게 구성된다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)를 통해 제2 개방기 프레임(2120)에 지지될 수 있다. 푸셔(2300)는 일방향의 일측으로 이동함으로써 지지부재(1300)를 일방향의 일측으로 밀어줄 수 있다. The pusher 2300 is configured to engage with the pusher guide 2123 to reciprocate along one direction on the pusher guide 2123. The pusher 2300 may be supported by the second opener frame 2120 through the pusher guide 2123. The pusher 2300 may push the support member 1300 to one side in one direction by moving to one side in one direction.

푸셔(2300)는 푸셔 몸체(2310), 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)를 포함할 수 있다. The pusher 2300 may include a pusher body 2310, a holder acting portion 2320, and a pusher sliding portion 2330.

푸셔 몸체(2310)는 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)에 연결된 프레임일 수 있다. 이러한 푸셔 몸체(2310)는 타방향으로 연장하는 부분과, 그 양측에서 일방향으로 연장하는 부분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 푸셔 몸체(2310)는 상측에서 보았을 때 ㄷ자 형상 또는 I형상을 가질 수 있다. The pusher body 2310 may be a frame connected to the holder acting portion 2320 and the pusher sliding portion 2330. The pusher body 2310 may include a portion extending in the other direction and a portion extending in one direction from both sides thereof. For example, the pusher body 2310 may have a U shape or an I shape when viewed from above.

홀더 작용부(2320)는 홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)에 맞닿는 부분이다. 이러한 홀더 작용부(2320)는 푸셔 몸체(2310)로부터 상측으로 돌출된 돌출부재일 수 있다. 또한, 홀더 작용부(2320) 중 홀더 모듈(100)에 대향하는 부분에는 홀더 모듈(100)과의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다. The holder acting portion 2320 is a portion in contact with the support member 1300 of the holder module 100. The holder action part 2320 may be a protruding member protruding upward from the pusher body 2310. In addition, a portion of the holder acting portion 2320 facing the holder module 100 may be provided with a shock absorbing member such as rubber, silicon, etc. to mitigate the impact caused by contact with the holder module 100.

푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 푸셔 가이드(2123)에 맞물릴 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)상에서 일방향을 따라 움직일 수 있다. 이러한 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 몸체(2310)의 양측에 구비될 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)와 동일한 개수로 제공될 수 있다. The pusher sliding part 2330 may be engaged with the pusher guide 2123 to be slidably moved along the pusher guide 2123. The pusher sliding part 2330 may move in one direction on the pusher guide 2123. The pusher sliding part 2330 may be provided at both sides of the pusher body 2310. The pusher sliding part 2330 may be provided in the same number as the pusher guide 2123.

구동기(2400)는 제2 개방기 프레임(2120) 및 푸셔(2300)가 움직이기 위한 구동력을 제공할 수 있다. 이러한 구동기(2400)는 프레임 구동기(2410) 및 푸셔 구동기(2420)를 포함할 수 있다. The driver 2400 may provide driving force for the second opener frame 2120 and the pusher 2300 to move. The driver 2400 may include a frame driver 2410 and a pusher driver 2420.

프레임 구동기(2410)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 프레임 구동기 몸체(2411), 및 프레임 구동기 몸체(2411)에 연결되어 움직이는 프레임 구동기 작용부(2412)를 포함할 수 있다. 프레임 구동기 몸체(2411)는 제1 프레임 바디(2111)에 지지될 수 있으며, 프레임 구동기 작용부(2412)는 제2 프레임 바디(2121)에 연결될 수 있다. 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)에 지지된 상태에서 제2 개방기 프레임(2120)에 힘을 가하여, 제1 개방기 프레임(2110)에 대해 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시킬 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다. The frame driver 2410 may include a frame driver body 2411 for generating a driving force for moving the second opener frame 2120, and a frame driver action part 2412 connected to the frame driver body 2411 and moving. Can be. The frame driver body 2411 may be supported by the first frame body 2111, and the frame driver action part 2412 may be connected to the second frame body 2121. The frame driver 2410 applies a force to the second opener frame 2120 in a state supported by the first opener frame 2110, so that the second opener frame 2120 is applied to the first opener frame 2110. Can be moved. Such a frame driver 2410 may be, for example, a cylinder, a motor, or the like.

푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 푸셔 구동기 몸체(2421), 및 푸셔 구동기 몸체(2421)에 연결되어 움직이는 푸셔 구동기 작용부(2422)를 포함할 수 있다. 푸셔 구동기 몸체(2421)는 제2 프레임 바디(2121)에 지지될 수 있으며, 푸셔 구동기 작용부(2422)는 푸셔(2300)에 연결될 수 있다. 푸셔 구동기(2420)는 제2 개방기 프레임(2220)에 지지된 상태에서 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300)가 제2 개방기 프레임(2120)에 지지되어 있으므로, 제2 개방기 프레임(2120)가 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하더라도 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300) 간의 상대 위치가 유지될 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다. The pusher driver 2420 may include a pusher driver body 2421 for generating a driving force for moving the pusher 2300, and a pusher driver action part 2422 connected to the pusher driver body 2421 and moving. The pusher driver body 2421 may be supported by the second frame body 2121, and the pusher driver action part 2422 may be connected to the pusher 2300. The pusher driver 2420 may move the pusher 2300 in a state supported by the second opener frame 2220. Since the pusher driver 2420 and the pusher 2300 are supported by the second opener frame 2120, the pusher driver 2420 even if the second opener frame 2120 moves with respect to the first opener frame 2110. And the relative position between the pusher 2300 may be maintained. Such a frame driver 2410 may be, for example, a cylinder, a motor, or the like.

이하에서는 도 2를 다시 참조하여, 홀더 스택커(300), 홀더 이송기(400) 및 제어부(미도시)를 설명한다. Hereinafter, referring back to FIG. 2, the holder stacker 300, the holder conveyor 400, and a controller (not shown) will be described.

홀더 스택커(300)는 복수 개의 홀더 모듈(100)을 수용할 수 있다. 홀더 스택커(300)는 수용부(310), 이송부(320) 및 고정부(330)를 포함할 수 있다. 수용부(310)는 복수 개의 홀더 모듈(100)이 적층되기 위한 공간을 제공할 수 있으며, 층상 구조를 가질 수 있다. 또한, 이송부(320)는 수용부(310)를 이송하기 위한 구동력을 제공하는 액추에이터 및 가이드 레일을 포함할 수 있다. 수용부(310)는 이송부(320)에 의해 홀더 개방기(200) 측으로 가까워지거나 멀어지도록 이송될 수 있다. 수용부(310)가 홀더 개방기(200)로부터 멀어진 상태에서 수용부(310)에 수용된 홀더 모듈(100)이 한꺼번에 교체될 수 있다. 고정부(330)는 수용부(310)가 이송부(320)상에서 움직이지 않도록 수용부(310)를 고정시킬 수 있다. 또한 고정부(330)는 수용부(310)가 소정의 위치에 도달하였는지를 파악하기 위한 센서를 포함할 수 있다. The holder stacker 300 may accommodate a plurality of holder modules 100. The holder stacker 300 may include a receiving part 310, a conveying part 320, and a fixing part 330. The accommodation part 310 may provide a space for stacking the plurality of holder modules 100 and may have a layered structure. In addition, the transfer unit 320 may include an actuator and a guide rail that provides a driving force for transferring the receiving unit 310. Receiving unit 310 may be transported to move closer or away from the holder opener 200 by the transfer unit 320. The holder module 100 accommodated in the accommodating part 310 may be replaced at a time while the accommodating part 310 is separated from the holder opener 200. The fixing part 330 may fix the receiving part 310 so that the receiving part 310 does not move on the transfer part 320. In addition, the fixing unit 330 may include a sensor for determining whether the receiving unit 310 has reached a predetermined position.

홀더 모듈(100)을 파지하여 이송할 수 있다. 홀더 이송기(400)는 이를 위해 적어도 2개의 홀더 암(410)을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 홀더 암(410)에는 홀더 프레임(1100)의 파지용 홀(1130)에 맞물리기 위한 돌기가 제공될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 암(410)을 이송하기 위한 암 무버(420)를 더 포함할 수 있다. 홀더 암(410)은 암 무버(420)에 의해 홀더 모듈(100)을 파지한 상태에서 홀더 암(410)을 수직 방향으로 이송하거나 수평 방향으로 이송할 수 있다. 이러한 암 무버(420)는 종방향 액츄에이터 및/또는 횡방향 액츄에이터를 포함할 수 있으며, 상기 액츄에이터에 의한 이동을 안내하는 가이드 레일 등을 더 포함할 수 있다. The holder module 100 can be gripped and transported. The holder conveyor 400 may comprise at least two holder arms 410 for this purpose. In addition, the holder arm 410 may be provided with a protrusion for engaging the gripping hole 1130 of the holder frame 1100. The holder conveyor 400 may further include an arm mover 420 for transferring the holder arm 410. The holder arm 410 may transfer the holder arm 410 in the vertical direction or the horizontal direction in a state in which the holder module 100 is gripped by the arm mover 420. The arm mover 420 may include a longitudinal actuator and / or a lateral actuator, and may further include a guide rail or the like for guiding movement by the actuator.

제어부(미도시)는 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)의 구동을 제어할 수 있다. 또한, 제어부는 운반 장치(50)의 구동도 제어할 수 있다. 이러한 제어부는 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다. The controller (not shown) may control driving of the holder opener 200, the holder stacker 300, and the holder feeder 400. In addition, the controller may control the driving of the transport apparatus 50. Such a control unit may be implemented by a computing device including a microprocessor, and its implementation manner is obvious to those skilled in the art, and thus, further description thereof will be omitted.

이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 상술한 바와 같은 구성을 갖는 픽커 팁 교환장치(20)의 작용 및 효과에 대하여 설명한다. 참고로, 도 7은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이고, 도 8은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내되, 홀더 모듈(100)의 도시를 생략(홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)만 점선으로 표현)한 평면도이다.Hereinafter, with reference to FIGS. 7 and 8 will be described the operation and effect of the picker tip changing device 20 having the configuration as described above. For reference, FIG. 7 is a plan view illustrating a process of opening the holder module 100 by the holder opener 200, and FIG. 8 illustrates a process of opening the holder module 100 by the holder opener 200. It is a top view which abbreviate | omits illustration of the holder module 100 (only the support member 1300 of the holder module 100 is represented by a dotted line).

먼저, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)가 픽커 팁(56)이 체결되어 있지 않은 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결시키는 과정을 설명한다. First, the process of fastening the picker tip 56 to the picker body 55 in which the transfer facility 2 and the picker tip exchange device 3 are not fastened to the picker tip 56 will be described.

먼저, 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)가 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 이러한 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)에는 픽커 팁(56)이 수용되어 있을 수 있다. 한편, 이송 설비(2)도 운반 장치(50)의 헤드(51)가 홀더 개방기(200) 측으로 이동하도록 구동된다. First, the holder transporter 400 of the picker tip exchange device 3 grasps the holder module 100 accommodated in the holder stacker 300, and the holder module 100 is taken out of the holder stacker 300 to hold the holder. Transfer to the opener 200 side. The picker tip 56 may be accommodated in the mounting hole 1210 of the holder module 100. On the other hand, the conveying installation 2 is also driven so that the head 51 of the conveying apparatus 50 moves to the holder opener 200 side.

도 7(a) 및 도 8(a)를 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)를 향해 하강하고, 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)의 홀더 지지부(2121a)에 안착된다. 또한, 홀더 모듈(100)의 가장자리가 걸림쇠(2121b)에 걸림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 모듈(100)을 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)에 내려놓은 후 홀더 개방기(200)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. Referring to FIGS. 7A and 8A, the holder module 100 is lowered by the holder conveyor 400 toward the holder opener 200, and the second opening of the holder opener 200 is performed. The holder support part 2121a of the frame 2120 is seated. In addition, it is possible to prevent the holder module 100 from being separated from the holder support part 2121a by engaging the edge of the holder module 100 with the latch 2121b. The holder transporter 400 may move in a direction away from the holder opener 200 after laying down the holder module 100 on the second opener frame 2120 of the holder opener 200.

도 7(b) 및 도 8(b)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)에 안착된 후, 프레임 구동기(2410)는 개방기 계합부(1120)가 홀더 고정부(2112)과 맞물리도록 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 일측으로 이동시킬 수 있다[도 4 및 도 5의 개방기 계합부(1120) 참조]. 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은, 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 일측으로 이동될 수 있다. 홀더 모듈(100)의 개방기 계합부(1120)은 일방향의 일측으로 이동하여 홀더 고정부(2112)에 맞물린다. 이러한 홀더 고정부(2112)는 홀더 모듈(100)의 일방향의 일측에서 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있다. Referring to FIGS. 7B and 8B, after the holder module 100 is seated on the holder support 2121a, the frame driver 2410 has the opener engagement portion 1120 at the holder fixing portion 2112. ) May move the second opener frame 2120 to one side in one direction with respect to the first opener frame 2110 (see the opener engagement portion 1120 of FIGS. 4 and 5). The second opener frame 2120 supported by the first opener frame 2110 and the holder module 100 seated on the second opener frame 2120 may be moved by the movement of the first opener frame 2110. It can be moved to one side in one direction. The opener engagement portion 1120 of the holder module 100 moves to one side in one direction and engages with the holder fixing portion 2112. The holder fixing part 2112 may support the holder module 100 at one side of the holder module 100 in one direction.

도 7(c) 및 도 8(c)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 의해 고정되면, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)가 지지부재(1300)를 이동시키도록 제2 개방기 프레임(2120)에 대하여 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 일방향의 일측으로 이동시키고, 푸셔(2300)에 의해 지지부재(1300)도 일방향의 일측으로 이동하게 된다. 지지부재(1300)가 이동됨으로써 개폐부(1310)가 안착홀(1210)을 개방시킨다[도 4 및 도 5의 안착홀(1210) 참조]. Referring to FIGS. 7C and 8C, when the holder module 100 is fixed by the holder fixing unit 2112, the pusher driver 2420 moves the support member 1300 by the pusher 2300. The pusher 2300 may be moved relative to the second opener frame 2120. In other words, the pusher driver 2420 moves the pusher 2300 to one side in one direction, and the support member 1300 also moves to one side in one direction by the pusher 2300. As the supporting member 1300 is moved, the opening and closing portion 1310 opens the mounting hole 1210 (see the mounting hole 1210 of FIGS. 4 and 5).

한편, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 고정되면, 도 9에서와 같이 헤드(51)가 홀더 프레임(1100)의 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)에 접근할 수 있다. 또한, 픽커 몸체(55)는 헤드(51)의 하강에 의해 픽커 팁(56)에 체결될 수 있다. 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 개방 전에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하지만, 안착홀(1210)의 개방 후에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하다. 픽커 팁(56)이 픽커 몸체(55)에 체결되면, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)로부터 이탈할 수 있도록, 안착홀(1210)이 개방된 방향으로 헤드(51)가 이동하게 된다. 따라서, 안착홀(1210)이 일방향의 일측을 향해 개방된 경우, 픽커 팁(56)은 도 9의 화살표와 같이 안착홀(1210)에서 이탈하도록 헤드(51)가 일방향의 일측을 향해 이동할 수 있다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에서 이탈하면 헤드(51)는 승강함으로써 홀더 모듈(100)로부터 멀어지도록 이동할 수 있다. Meanwhile, when the holder module 100 is fixed to the holder fixing part 2112, the head 51 may access the picker tip 56 accommodated in the mounting hole 1210 of the holder frame 1100 as shown in FIG. 9. have. In addition, the picker body 55 may be fastened to the picker tip 56 by lowering the head 51. The picker body 55 may be coupled to the picker tip 56 before opening of the seating hole 1210, but may be coupled to the picker tip 56 after opening of the seating hole 1210. When the picker tip 56 is fastened to the picker body 55, the head 51 moves in the direction in which the mounting hole 1210 is opened so that the picker tip 56 can be separated from the mounting hole 1210. . Therefore, when the mounting hole 1210 is opened toward one side in one direction, the picker tip 56 may move toward the one side in one direction such that the picker tip 56 is separated from the mounting hole 1210 as shown by the arrow of FIG. 9. . In addition, when the picker tip 56 is separated from the seating hole 1210, the head 51 may move away from the holder module 100 by lifting.

도 7(d) 및 도 8(d)를 다시 참조하면, 픽커 팁(56)이 홀더 모듈(100)로부터 빠져나간 후, 푸셔 구동기(2420)는 일방향의 타측을 향해 이동하고, 지지부재(1300)는 홀더 모듈(100)의 탄성부재(1400)에 의해 이동되고 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 한편, 푸셔(2300)는 푸셔 구동기(2420)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수 있고, 탄성부재(1400)의 탄성력에 의해 밀리는 지지부재(1300)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수도 있다. Referring back to FIGS. 7D and 8D, after the picker tip 56 is pulled out of the holder module 100, the pusher driver 2420 moves toward the other side in one direction, and the support member 1300. ) May be moved by the elastic member 1400 of the holder module 100 and close the seating hole 1210. On the other hand, the pusher 2300 may be moved to the other side in one direction by the force from the pusher driver 2420, may be moved to the other side in one direction by the force from the support member 1300 being pushed by the elastic force of the elastic member 1400. .

또한, 푸셔 구동기(2420)에 의해 푸셔(2300)가 일방향의 타측으로 이동하면, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)을 일방향의 타측으로 이동시키고, 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 타측으로 이동될 수 있다. 이후, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다. In addition, when the pusher 2300 is moved to the other side in one direction by the pusher driver 2420, the second driver opens the frame driver 2410 so that the engagement between the opener engagement part 1120 and the holder fixing part 2112 is released. The frame 2120 may be moved to the other side in one direction. In other words, the frame driver 2410 moves the first opener frame 2110 to the other side in one direction, and the second opener frame 2120 supported by the first opener frame 2110 and the second opener. The holder module 100 mounted on the frame 2120 may be moved to the other side in one direction by the movement of the first opener frame 2110. Thereafter, the holder conveyor 400 may transfer the holder module 100 to the holder stacker 300.

이상에서는 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결하는 과정을 설명하였다. 한편, 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 체결된 픽커 팁(56)을 탈거하도록 구동될 수도 있다. 픽커 팁(56)을 탈거하는 과정에서의 픽커 팁 교환 장치(3)의 구동은 앞서 서술한 픽커 팁(56)을 체결하는 과정에서의 구동과 유사하다. In the above, the transfer facility 2 and the picker tip exchange device 3 have described a process of fastening the picker tip 56 to the picker body 55. Meanwhile, the transfer facility 2 and the picker tip changing device 3 may be driven to remove the picker tip 56 fastened to the picker body 55. The driving of the picker tip changing device 3 in the process of removing the picker tip 56 is similar to the driving in the process of engaging the picker tip 56 described above.

다시 말해, 홀더 스택커(300)에는 에는 픽커 팁(56)이 수용되지 않는 비어있는 홀더 모듈(100)이 수용될 수 있다. 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)는 비어있는 상태로 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 이를 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)에 안착된다. In other words, the holder stacker 300 may accommodate an empty holder module 100 in which the picker tip 56 is not accommodated. The holder transporter 400 of the picker tip exchange device 3 grasps the holder module 100 accommodated in the holder stacker 300 in an empty state, and carries it out of the holder stacker 300 so that the holder opener ( 200). The holder module 100 is seated on the holder opener 200 by a holder conveyor 400.

이후, 프레임 구동기(2410)에 의해 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 고정되고, 푸셔 구동기(2420)에 의해 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 개방시킨다. 안착홀(1210)이 개방되면 헤드(51)의 하강(도 3 내지 도 9의 Z2 방향으로의 이동)에 의해 픽커 팁(56)이 체결된 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 일방향의 일측에 위치하도록 하강한다. 이후, 헤드(51)가 일방향의 타측으로 이동함으로써 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 체결된다. 이러한 픽커 몸체(55)의 이동은 도 9의 화살표의 반대 방향으로의 이동일 수 있다. Thereafter, the holder module 100 is fixed to the holder opener 200 by the frame driver 2410, and the support member 1300 opens the seating hole 1210 by the pusher driver 2420. When the mounting hole 1210 is opened, the picker body 55 to which the picker tip 56 is fastened by the lowering of the head 51 (moving in the Z2 direction of FIGS. 3 to 9) is one direction of the mounting hole 1210. Lower to one side of. Then, the picker tip 56 is fastened to the seating hole 1210 by moving the head 51 to the other side in one direction. The movement of the picker body 55 may be the movement in the opposite direction of the arrow of FIG. 9.

한편, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 삽입되면 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 폐쇄하도록 푸셔 구동기(2420)가 구동된다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 맞물린 상태에서 헤드(51)가 승강함으로써, 픽커 몸체(55)로부터 픽커 팁(56)이 탈거되게 된다. Meanwhile, when the picker tip 56 is inserted into the mounting hole 1210, the pusher driver 2420 is driven such that the support member 1300 closes the mounting hole 1210. In addition, the head 51 is raised and lowered while the picker tip 56 is engaged with the seating hole 1210, so that the picker tip 56 is removed from the picker body 55.

픽커 팁(56)이 탈거된 후, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다. After the picker tip 56 is removed, the frame driver 2410 may move the second opener frame 2120 to the other side in one direction such that the engagement between the opener engagement portion 1120 and the holder fixing portion 2112 is released. Can be. In addition, the holder conveyor 400 may transfer the holder module 100 to the holder stacker 300.

한편, 제어부는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)에 장착되게 하거나, 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 탈거하기 위하여, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)의 일련의 구동을 제어할 수 있다. On the other hand, the control unit is configured to mount the picker tip 56 to the picker body 55, or to remove the picker tip 56 from the picker body 55, of the transfer facility 2 and the picker tip exchange device 3. A series of drives can be controlled.

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.Although the embodiments of the present invention have been described as specific embodiments, these are only examples, and the present invention is not limited thereto and should be construed as having the broadest scope in accordance with the basic idea disclosed herein. Those skilled in the art can combine / substitute the disclosed embodiments to implement a pattern of a timeless shape, but this also does not depart from the scope of the present invention. In addition, those skilled in the art can easily change or modify the disclosed embodiments based on the present specification, it is apparent that such changes or modifications belong to the scope of the present invention.

1: 핸들러 2: 이송 설비
3: 픽커 팁 교환 장치 10: 로딩 장치
20: 온도 조절부 30: 테스트 장치
40: 언로딩 장치 50: 운반 장치
51: 헤드 52: 종방향 이송기
53: 횡방향 이송기 54: 픽커
55: 픽커 몸체 56: 픽커 팁
100: 홀더 모듈 200: 홀더 개방기
300: 홀더 스택커 310: 수용부
320: 이송부 330: 고정부
400: 홀더 이송기 410: 홀더 암
420: 암 무버 1100: 홀더 프레임
1110: 프레임 홀 1120: 개방기 계합부
1130: 파지용 홀 1140: 지지부재 가이드
1200: 안착부 1210: 안착홀
1300: 지지부재 1310: 개폐부
1320: 지지부재 슬라이딩부 1330: 푸셔 대응부
1400: 탄성부재 2100: 개방기 프레임부
2110: 제1 개방기 프레임 2111: 제1 프레임 바디
2112: 홀더 고정부 2114: 프레임 가이드
2120: 제2 개방기 프레임 2121: 제2 프레임 바디
2121a: 홀더 지지부 2121b: 걸림쇠
2122: 프레임 슬라이딩부 2123: 푸셔 가이드
2300: 푸셔 2310: 푸셔 몸체
2320: 홀더 작용부 2330: 푸셔 슬라이딩부
2400: 구동기 2410: 프레임 구동기
2411: 프레임 구동기 몸체 2412: 프레임 구동기 작용부
2420: 푸셔 구동기 2421: 푸셔 구동기 몸체
2422: 푸셔 구동기 작용부
1: handler 2: transfer facility
3: picker tip changing device 10: loading device
20: temperature controller 30: test apparatus
40: unloading device 50: conveying device
51: head 52: longitudinal feeder
53: transverse feeder 54: picker
55: picker body 56: picker tip
100: holder module 200: holder opener
300: holder stacker 310: receiving portion
320: transfer portion 330: fixed portion
400: holder transporter 410: holder arm
420: arm mover 1100: holder frame
1110: frame hole 1120: opener engaging portion
1130: holding hole 1140: support member guide
1200: seating portion 1210: seating hole
1300: support member 1310: opening and closing portion
1320: support member sliding portion 1330: pusher counterpart
1400: elastic member 2100: opening frame portion
2110: first opener frame 2111: first frame body
2112 holder holder 2114 frame guide
2120: second opener frame 2121: second frame body
2121a: holder support 2121b: latch
2122: frame sliding part 2123: pusher guide
2300: pusher 2310: pusher body
2320: holder acting portion 2330: pusher sliding portion
2400: Driver 2410: Frame Driver
2411: frame driver body 2412: frame driver action
2420: pusher driver 2421: pusher driver body
2422: pusher actuator action

Claims (6)

픽커 팁을 수용하기 위한 홀더 모듈을 포함하고,
상기 홀더 모듈은,
일측면으로부터 요입 형성되어 상기 픽커 팁이 수용될 수 있는 적어도 하나의 안착홀을 가지는 안착부;
상기 안착홀이 요입 형성된 상기 안착부의 일측면 측에 배치되는 개폐부를 포함하고, 상기 개폐부가 상기 안착홀에 가까워지거나 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 지지부재; 및
상기 개폐부가 상기 안착홀에 가까워지는 방향으로 상기 지지부재에 탄성력을 가해주는 탄성부재를 포함하는 픽커 팁 교환 장치.
A holder module for receiving the picker tip,
The holder module,
A seating portion formed from one side and having at least one seating hole to accommodate the picker tip;
A support member including an opening and closing portion disposed on one side of the seating portion in which the seating hole is recessed and configured to move in a direction closer to the seating hole or away from the seating hole; And
Picker tip exchange device including an elastic member for applying an elastic force to the support member in the direction in which the opening and closing portion closer to the seating hole.
제 1 항에 있어서,
상기 안착홀을 개방시키는 홀더 개방기를 더 포함하고,
상기 홀더 개방기는,
상기 홀더 모듈이 안착될 수 있는 개방기 프레임부; 및
상기 개방기 프레임부에 대하여 왕복 운동 가능하게 구성되는 푸셔를 포함하고,
상기 푸셔는 상기 개폐부가 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 상기 지지부재를 밀어줄 수 있도록 제공되는 픽커 팁 교환 장치.
The method of claim 1,
Further comprising a holder opening for opening the seating hole,
The holder opener,
An opener frame portion on which the holder module can be mounted; And
A pusher configured to reciprocate relative to the opener frame portion,
And the pusher is provided so that the opening and closing portion can push the support member in a direction away from the seating hole.
제 2 항에 있어서,
상기 홀더 개방기는,
상기 푸셔를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키고 상기 개방기 프레임부에 의해 지지되는 푸셔 구동기를 더 포함하고,
상기 푸셔 구동기는 상기 개방기 프레임부에 안착된 상기 홀더 모듈의 개폐부가 상기 안착홀로부터 멀어지는 방향으로 상기 푸셔를 밀어주도록 구동되는 픽커 팁 교환 장치.
The method of claim 2,
The holder opener,
A pusher driver for generating a driving force for moving the pusher and being supported by the opener frame portion;
And the pusher driver is driven to push the pusher in a direction away from the seating hole of the holder module seated on the opener frame part.
제 2 항에 있어서,
상기 홀더 모듈에는 상기 개방기 프레임부와 맞물리기 위한 개방기 계합부가 형성되고,
상기 개방기 프레임부는,
상기 개방기 계합부에 맞물리는 홀더 고정부를 포함하는 제1 개방기 프레임; 및
상기 제1 개방기 프레임에 이동 가능하게 지지되고, 상기 홀더 모듈을 지지하기 위해 제공되는 홀더 지지부를 포함하는 제2 개방기 프레임을 포함하고,
상기 푸셔는 상기 제2 개방기 프레임에 이동 가능하게 지지되는 픽커 팁 교환 장치.
The method of claim 2,
The holder module is formed with an opener engaging portion for engaging with the opener frame portion,
The opener frame portion,
A first opener frame comprising a holder fixing portion engaged with the opener engagement portion; And
A second opener frame movably supported by the first opener frame, the second opener frame including a holder support provided to support the holder module,
And the pusher is movably supported by the second opener frame.
제 4 항에 있어서,
상기 홀더 개방기는,
상기 제2 개방기 프레임을 이동시키기 위한 구동력을 발생시키고, 상기 개방기 프레임부에 지지되는 프레임 구동기를 더 포함하고,
상기 프레임 구동기는,
상기 홀더 지지부에 상기 홀더 모듈이 안착될 때 상기 홀더 모듈의 이동이 상기 홀더 고정부에 의해 방해받지 않도록, 상기 제2 개방기 프레임을 이동시키도록 구동되고,
상기 홀더 지지부에 상기 홀더 모듈이 안착된 후에는 상기 홀더 고정부에 상기 개방기 계합부가 맞물리도록 상기 제2 개방기 프레임을 이동시키도록 구동되는, 픽커 팁 교환 장치.
The method of claim 4, wherein
The holder opener,
A frame driver for generating a driving force for moving the second opener frame and supported by the opener frame portion;
The frame driver,
Is driven to move the second opener frame such that movement of the holder module is not disturbed by the holder fixing part when the holder module is seated on the holder support,
And the holder module is driven to move the second opener frame to engage the opener engagement with the holder fixture after the holder module is seated in the holder support.
테스트 핸들러에 있어서,
상기 테스트 핸들러는,
픽커 팁 교환 장치; 및
하나 이상의 전자부품을 소정 위치로 운반할 수 있는 운반 장치;를 포함하고,
상기 운반 장치는,
상기 전자부품을 픽업하기 위한 픽커;
상기 픽커를 지지하는 헤드;
상기 헤드를 종방향으로 이송시키기 위한 종방향 이송기; 및
상기 헤드를 횡방향으로 이송시키기 위한 횡방향 이송기를 포함하고,
상기 픽커는,
상기 헤드에 지지되는 픽커 몸체; 및
상기 전자부품에 따라 교체될 수 있도록 상기 픽커 몸체에 탈착 가능하게 연결되는 픽커 팁을 포함하고,
상기 픽커 팁 교환 장치는,
픽커 팁이 안착될 수 있는 안착홀을 구비하고, 상기 픽커 몸체로부터 분리되거나 상기 픽커 몸체에 연결될 복수 개의 픽커 팁을 상기 안착홀에 수용할 수 있도록 구성되는 홀더 모듈;
복수 개의 상기 홀더 모듈을 적재할 수 있도록 구성되는 홀더 스택커;
픽커 팁을 상기 픽커 몸체로부터 분리시키거나 상기 픽커 몸체에 연결시킴으로써 픽커 팁을 교환하는 픽커 팁 교환부; 및
상기 홀더 스택커와 상기 픽커 팁 교환부 사이에서 상기 홀더 모듈을 이송하기 위한 홀더 이송기를 포함하는 테스트 핸들러.
In the test handler,
The test handler,
Picker tip exchange device; And
And a conveying device capable of conveying one or more electronic components to a predetermined position.
The conveying device,
A picker for picking up the electronic component;
A head supporting the picker;
A longitudinal conveyer for conveying the head in a longitudinal direction; And
A transverse feeder for conveying the head in a transverse direction,
The picker is,
A picker body supported by the head; And
A picker tip detachably connected to the picker body to be replaced according to the electronic component,
The picker tip exchange device,
A holder module having a seating hole to which a picker tip can be seated, and configured to receive a plurality of picker tips to be detached from or connected to the picker body;
A holder stacker configured to stack a plurality of holder modules;
A picker tip exchanger for exchanging a picker tip by detaching a picker tip from the picker body or connecting to the picker body; And
And a holder conveyor for transporting the holder module between the holder stacker and the picker tip exchanger.
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