KR20190118509A

KR20190118509A - 릴을 교체하는 시스템 및 방법

Info

Publication number: KR20190118509A
Application number: KR1020190032856A
Authority: KR
Inventors: 쿠앙 엥 오; 밴 쭈언 떼; 콕 셍 찬
Original assignee: 엠아이 이큅먼트 (엠) 에스디엔. 비에이치디.
Priority date: 2018-04-10
Filing date: 2019-03-22
Publication date: 2019-10-18
Also published as: TWI690472B; TW201943631A; PH12019000134A1; MY194779A; KR102268854B1

Abstract

본 발명은 릴 교체 방법(2)에 관한 것으로서, 상기 방법은 테이프 공급 스테이션(513)이 적어도 하나의 브리지(517)를 통해 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계를 포함하고, 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계는 상기 릴(511)의 적어도 하나의 매칭 암형(female) 키 요소(509)가 샤프트(505)의 수형(male) 키 요소(507)에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)에서 적어도 하나의 수형 키 요소(507)의 방향을 미리 결정함으로써 수행되어, 상기 브리지(517)로부터의 상기 테이프가 상기 릴(511)상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정된 릴 위치를 제공한다.

Description

릴을 교체하는 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD OF REPLACING REEL}

본 발명은 릴 교체 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은 테이프 공급 스테이션이 적어도 하나의 브리지를 통해 코일링 스테이션에 테이프를 공급하는 단계를 포함하고, 상기 코일링 스테이션에 테이프를 공급하는 단계는 상기 릴의 적어도 하나의 매칭(matching) 암형(female) 키 요소가 샤프트의 수형(male) 키 요소에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션의 샤프트에서 적어도 하나의 수형 키 요소의 방향을 미리 결정함으로써 수행되어, 상기 브리지로부터의 상기 테이프가 상기 릴상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정되는 릴 위치를 제공한다.

최근 들어, 반도체 분야에서 직면한 주요 이슈들 중 하나는 캐리어 테이프를 릴내에 삽입 실패하는 것이다. 상기 릴에서의 캐리어 테이프 삽입 개구부는 삽입되는 캐리어 테이프에 대해 작은 간극(clearance)을 갖는다. 상기 캐리어 테이프의 위치 또는 각도가 상기 개구부로부터 약간 벗어나면, 캐리어 테이프를 릴에 삽입하는 것이 실패할 것이다. 상기 캐리어 테이프 상의 전류 구동력은 "자기 정렬"하고 캐리어 테이프를 릴 개구부로 푸시하기에 충분하지 못하다.

이스메카(Ismeca)에 의한 미국 특허 제8439292호는 전자 부품의 가요성 테이프 캐리어의 릴 상에서 자동 코일링 및/또는 언코일링하는 장치를 개시하는데, 이 장치는 릴이 회전 액추에이터에 연결될 수 있는 코일링 위치, 및 가요성 테이프를 가이드하고 가요성 테이프의 자유 단부를 릴의 허브에 연결하는 채널을 형성하도록 함께 폐쇄될 수 있는 관절식 죠(jaw)로 이루어진 신축식(retractable) 테이프 가이드를 포함하고, 상기 장치는 슬롯이 테이프 가이드와 정렬되는 위치에서 릴을 정지시키기 위하여, 릴 허브 내의 슬롯과 결합하는 스토퍼 부재를 더 구비한다. 그러나, 이러한 발명은 릴 로딩 중에 미리 결정된 방향을 갖지 않으며 출력 정보를 갖는 라벨을 프린트할 수 없다.

오가와(Ogawa)에 의한 미국 특허 공개 제4747553호는 내부에서 테이프 수납형 칩 부품을 코일링하는 방법과, 테이프를 릴 상에 코일링하고 절단하여, 테이프 리더를 형성하고, 테이프 리더가 가장 바깥쪽 테이프 와인딩의 주변 표면에 테이프되게 하는 장치를 개시한다. 통상적으로, 일정한 직사각형 단면을 갖는 슬롯은 테이프의 기계 결합 구멍이 공급 기계의 전진기구와 맞추어지는 한, 테이프가 임의의 방향으로 삽입되고 리드의 어느 한쪽 모서리를 통해 공급되게 한다. 슬롯 내에서 요구되는 테이프 방향이 없고 테이프가 감겨야만 하는 특정 모서리가 없으면, 부품이 슬롯 내에서 잘못 배향될 수 있고, 테이프가 허브에서 뒤로 감겨지고, 운반된 부품이 회로 기판 상에 잘못 배치될 수 있다. 이러한 오류의 빈도는 릴 작업자가 작업해야만 하는 속도가 증가함에 따라 증가한다.

부품이 적절한 방향으로 삽입 기계로 전달되도록 캐리어 테이프가 릴 상에 위치되지 않거나 또는 테이프의 공급 부가 전진기구와 결합되지 않으면, 고객은 테이프를 리턴해야만 하거나, 또는 그들 스스로 강제로 재편집 또는 수정해야만 할 것이다. 이것은 매우 심각한 문제이며 시간 소모적이다.

따라서, 추적가능성을 가지고 릴을 교체하는 시스템 및 방법을 구비함으로써 상기 단점들을 완화시키는 것이 유리할 것이며, 상기 시스템 및 방법은

상기 릴의 적어도 하나의 매칭 암형 키 요소가 샤프트의 수형 키 요소에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션의 샤프트에서 적어도 하나의 수형 키 요소의 방향을 미리 결정하고, 그에 의해 상기 브리지로부터의 상기 테이프가 상기 릴 상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정된 릴 위치를 제공함으로써, 제품 결함을 방지 및 감소시킬 수 있다.

따라서, 본 발명의 주된 목적은 릴을 교체하기 위한 시스템 및 방법을 제공하는 것이며, 상기 시스템 및 방법은 절적한 절차에 다라 완료되기 이전에, 상기 시스템이 다수의 빈(empty) 릴을 처리할 수 있기 때문에, 작업자 보조가 감소됨에 따라 평균 보조 시간(MTBA(Mean Time Between Assists))을 개선하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 릴 교체 시스템 및 방법이 출력 정보를 갖는 라벨을 자동으로 인쇄함으로써 인간의 오류를 줄일 수 있는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 릴 교체 시스템 및 방법이 각각의 릴에 대한 추적 가능성을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 릴 교체 시스템 및 방법을 제공하는 것으로서, 릴 교체 시스템이 각각의 릴에 대한 식별을 수행하기 위한 바코드 스캐너를 포함하게 하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 릴 교체 시스템 및 방법을 제공하는 것으로서, 릴 교체 시스템이 바코드를 갖는 각각의 릴을 연결함으로써 추적 가능성을 위한 릴 맵을 생성할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 인간 개입을 감소시킬 수 있는 릴 교체 시스템 및 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 다른 추가 목적은 본 발명의 하기 상세한 설명의 이해 또는 실제로 본 발명의 채용에 의해 명백해질 것이다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 다음이 제공된다:

릴 교체 방법에 있어서, 상기 방법은,

(i) 테이프 공급 스테이션이 적어도 하나의 브리지를 통해 코일링 스테이션에 테이프를 공급하는 단계;를 포함하고,

상기 코일링 스테이션에 테이프를 공급하는 단계는 상기 릴의 적어도 하나의 매칭 암형 키 요소가 샤프트의 수형 키 요소에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션의 샤프트에서 적어도 하나의 수형 키 요소의 방향을 미리 결정함으로써 수행되어, 상기 브리지로부터의 상기 테이프가 상기 릴 상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정된 릴 위치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시 양태에 따르면, 다음이 제공된다:

릴 교체 시스템에 있어서,

적어도 하나의 코일링 스테이션로서, 적어도 하나의 회전 액추에이터, 적어도 하나의 샤프트, 및 적어도 하나의 수형 키 요소를 포함하며, 상기 수형 키 요소는 상기 릴 상의 적어도 하나의 암형 키 요소에 꼭 맞게 끼워질 수 있고;

적어도 하나의 모터 구동식 인덱싱 롤러를 포함하는 적어도 하나의 테이프 공급 스테이션;

상기 공급 스테이션과 상기 코일링 스테이션을 연결하는 적어도 하나의 브리지;

적어도 하나의 처리 수단;을 포함하고,

상기 시스템은 미리 결정된 위치에 배치되며 상기 샤프트에 평행하며 상기 샤프트와 동일한 방향으로 연장되는 적어도 하나의 로드를 더 포함하고, 실질적으로 편평한 측면에 적어도 하나의 관통 개구를 갖는 상기 릴은 상기 로드가 상기 관통 개구로 들어갈 때만, 상기 샤프트에 삽입될 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 태양 및 이점은 첨부 도면과 함께 상세한 설명을 검토하면 파악될 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 방법의 흐름을 도시한다.
도 2는 테이프 공급 공정의 예시적인 방법의 흐름을 도시한다.
도 3은 싱귤레이션 공정의 예시적인 방법의 흐름을 도시한다.
도 4는 릴 언로더 공정의 예시적인 방법의 흐름을 도시한다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 예시적인 도면을 도시한다.
도 5c는 수형 키 요소 및 암형 키 요소의 예시적인 도면을 도시한다.
도 5d는 로드의 예시적인 도면을 도시한다.
도 5e는 파지기구의 예시적인 도면을 도시한다.
도 5f는 릴 싱귤레이터 시스템의 예시적인 도면을 도시한다.
도 5g는 릴 언로더 시스템의 예시적인 도면을 도시한다.
도 6은 센서 시스템의 예시적인 도면을 도시한다.

이하의 상세한 설명에서, 본 발명의 철저한 이해를 제공하기 위해 다수의 특정 세부 사항이 설명된다. 그러나, 당업자는 본 발명이 이러한 특정 세부 사항들 없이 실시될 수 있음을 이해할 것이다. 다른 경우, 본 발명을 모호하게 하지 않도록 하기 위해, 널리 공지된 방법, 절차 및/또는 구성 요소는 상세히 설명되지 않았다.

본 발명은 그 실시 예에 대한 다음의 설명으로부터 명백하게 이해될 것이며, 첨부 도면을 참조하여 단지 예로서 주어진 것이며, 도면은 일정한 비율로 도시되어 있지 않다.

본 명세서 및 첨부된 청구 범위에 사용된 바와 같이, 단수 형태 "a", "an" 및 "the"는 문맥 상 명확하게 달리 지시하지 않는 한, 복수 대상을 포함한다.

본 명세서의 개시사항 및 청구 범위 전반에 걸쳐, 단어 "포함하는(comprise)" 및 "포함하고 있는(comprising)"과 "포함하는(comprises)"과 같은 단어의 변형은 "포함하지만 이에 한정되지 않는다"를 의미하고, 예를 들어, 다른 구성 요소, 정수 또는 단계를 배제하려는 의도가 아니다. "예시적인(exemplary)"은 "의 예"를 의미하며 바람직한 또는 이상적인 실시 예의 지시를 나타내기 위한 것이 아니며, "와 같은(such as)"은 제한된 의미로는 사용되지 않으며, 단지 설명을 위해 사용된다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 방법의 흐름이 도시된다. 본 발명의 주요 공정 흐름은 전자 부품을 포함하는 테이프를 릴에 공급하는 것을 포함한다. 이러한 주된 공정 흐름은 상기 테이프 공급 공정 이전에, 릴 싱귤레이션 공정 및 상기 테이프 공급 공정 이후에, 릴 언로더 공정을 선택적으로 더 포함한다. 이제, 도 2를 참조하면, 테이프 공급 공정의 예시적인 방법의 흐름이 도시된다. 상기 테이프 공급 공정은 (i) 테이프 공급 스테이션(513)이 적어도 하나의 브리지(517)를 통해 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계를 포함하고; 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계는 상기 릴(511)의 적어도 하나의 매칭 암형 키 요소(509)가 샤프트(505)의 수형 키 요소(507)에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)에서 적어도 하나의 수형 키 요소(507)의 방향을 미리 결정함으로써 수행되어, 상기 브리지(517)로부터의 상기 테이프가 상기 릴(511)상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정된 릴 위치를 제공한다. 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프(513)를 공급하는 단계는 다음의 하위 단계: 상기 테이프가 적어도 하나의 모터 구동 인덱싱 롤러(515)에 배치된 적어도 하나의 제1 센서(601)를 사용하여 감지될 때, 공급 스테이션(513)이 테이프 및 릴 모듈로부터 테이프를 공급하도록 작동하고 정지하는 단계(201); 상기 공급 스테이션(513)과 상기 코일링 스테이션(501) 사이에서 물리적 링크를 가능하게 하도록 상기 브리지(517)가 닫혀서, 상기 테이프가 상기 공급 스테이션(513)으로부터 상기 코일링 스테이션(501)으로 공급되게 하는 단계(203); 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제2 거리에서, 테이프 이동과 동일한 축에 있는 상기 인덱싱 롤러(515) 앞의 미리 결정된 제1 거리에서 모니터링하는 적어도 하나의 제2 센서(605)를 사용하여, 상기 테이프가 감지될 때, 공급 스테이션(513)이 테이프를 상기 코일링 스테이션(501)을 향해 계속해서 공급하고 정지하는 단계(205); 상기 브리지(517)가 개방되고 상기 인덱싱 롤러(515)가 릴리스되는 단계(207); 상기 코일링 스테이션(501)이 상기 릴을 회전시켜 상기 테이프를 상기 릴(209)내로 코일링하는 단계(209); 상기 제2 거리 보다 작으며 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제3 거리에서, 상기 제2 센서(605)와 실질적으로 동일한 거리에서 상기 인덱싱 롤러(515)로부터 떨어져 모니터링하는 적어도 하나의 제3 센서(607)가 미리 결정된 지속 기간 후에 상기 테이프의 존재를 감지하면, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)가 계속해서 회전하는 단계(211); 상기 제3 센서(607)가 상기 미리 결정된 지속 기간 후에 상기 테이프의 존재를 감지할 수 없으면, 상기 코일링 스테이션(501)의 상기 샤프트(505)가 회전을 멈추고 사용자에게 코일링이 실패한 것을 경고하도록 경보가 트리거링되는 단계(213);를 사용하여 행해진다. 이것은 릴 슬롯으로의 테이프 삽입이 실패한 것을 나타내고, 기계가 경보를 발한다. 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 상기 단계는 단계 (c) 이후에, 파지기구(523)를 구비함으로써 상기 캐리어 테이프를 파지하는 단계를 더 포함한다.

이제, 도 3을 참조하면, 릴 싱귤레이션 공정의 예시적인 방법의 흐름이 도시된다. 릴 교체 방법은 상기 단계 (i) 이전에, 릴 싱귤레이터 시스템(525)가 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 릴을 싱귤레이팅하고, 적어도 하나의 코일링 스테이션(525)에 로딩하는 단계를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계: 적어도 하나의 제1 릴 저장 센서(535)에 의해 상기 제1 릴의 존재가 감지될 때, 상기 제1 릴 저장 시스템(527)의 싱귤레이터 아암(529)이 상기 이송기구(531)을 향해 빈 릴을 푸시하고 정지하는 단계(301); 제1 릴 저장 시스템(527)의 적어도 하나의 릴 차단 게이트(537)가 개방되어 있는 동안, 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴 홀더 샤프트가 제1 위치에서 적어도 하나의 릴 이송기구(531)의 샤프트와 만나는 단계(303); 릴 이송기구(531)의 적어도 하나의 흡인 컵(533)이 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(305); 상기 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 상기 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 멀어지도록 후퇴하여 상기 하나의 릴(307)을 가져 오게 하는 단계(307); 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴 홀더 샤프트가 상기 릴 이송기구(531)의 샤프트로부터 분리되고 상기 제1 릴 저장 시스템(527)의 상기 릴 차단 게이트(537)가 닫히는 단계(309); 상기 릴 이송기구(531)가 상기 릴을 상기 제1 위치로부터 적어도 하나의 코일링 스테이션(501)에 대향하는 제2 위치로 이송하는 단계(311); 릴 이송기구(531)의 릴 홀더 샤프트가 제2 위치에서 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트와 만나게 하는 단계(313); 상기 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 릴 코일링 스테이션(501)을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴(315)을 유지할 수 있게 하는 단계(315); 일단 릴이 코일링 스테이션(501)에 위치되면, 진공은 해제되고, 릴 이송기구(531)의 샤프트는 제1 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 멀어지도록 후퇴하기 이전에, 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트로부터 분리되는 단계(317)를 포함한다.

이제, 도 4를 참조하면, 릴 언로더 공정의 예시적인 방법의 흐름이 도시된다. 릴 교체 방법은 상기 단계 (2) 이후에, 릴 언로더 시스템(539)이 릴을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)(3)으로 언로딩하는 단계를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계: 코일링 스테이션(501)의 릴 홀더 샤프트가 제2 위치(401)에서 적어도 하나의 릴 이송기구(543)의 샤프트와 만나는 단계(401); 릴 이송기구(543)의 적어도 하나의 흡인 컵(545)이 코일링 스테이션(501)의 릴을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(403); 제1 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)를 갖는 상기 코일링 스테이션(501)의 적어도 하나의 푸셔가 릴을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 상기 릴 이송기구(543)로 이송하는 단계(405); 코일링 스테이션(501)의 상기 푸셔가 상기 릴 이송기구(543)로부터 후퇴하고, 코일링 스테이션(501)의 샤프트가 상기 릴 이송기구(543)의 샤프트로부터 분리되게 하는 단계(407); 상기 릴 이송기구(543)가 상기 릴을 상기 제2 위치로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)에 대향하는 제3 위치로 이송하는 단계(409); 릴 이송기구(543)의 릴 홀더 샤프트가 상기 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트와 만나는 단계(411); 상기 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)이 제2 릴 저장 시스템(541)을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(413); 일단 릴이 제2 릴 저장 시스템(541)에 위치되면, 진공이 해제되고 릴 이송기구(543)의 샤프트는 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)이 상기 제2 릴 저장 시스템(541)으로부터 멀어지도록 후퇴하기 이전에, 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트로부터 분리되는 단계(415)를 포함한다. 테이프 공급 공정에서, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)에서 적어도 하나의 수형 키 요소(507)의 방향을 미리 결정하는 방법은 상기 테이프 삽입 슬롯에 대한 상기 수형 키 요소(507)의 방향 정보를 임의의 적절한 처리 수단에 제공하도록 사용자에 의해 행해진다. 대안적으로, 테이프 공급 공정(2)에서, 릴(511) 위치를 결정하는 방법은 미리 결정된 위치에 배치되며 상기 샤프트(505)에 평행하며 상기 샤프트(505)와 동일한 방향으로 연장되는 적어도 하나의 로드(519)를 구비함으로써 행해지고, 실질적으로 편평한 측에 적어도 하나의 관통 개구를 갖는 상기 릴(511)은 상기 로드(519)가 상기 관통 개구로 들어갈 때만, 상기 샤프트(505)에 삽입될 수 있다. 수형 키 요소(507)의 미리 결정된 방향은 처리 수단에 방향 정보를 제공하고 상기 로드(519)를 동시에 사용함으로써 수행될 수있다.

본 발명의 방법은 테이프 공급 공정(2) 이후에 각각의 릴을 식별하는 단계를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계: 테이프가 각각의 릴에 코일링된 후에, 적어도 하나의 처리 수단이 적어도 하나의 프린터에 관련 릴 정보를 전송하는 단계; 상기 프린터가 각각의 릴 상에 배치될 수 있는 적어도 하나의 식별 태그를 인쇄하는 단계를 포함하고, 상기 관련 릴 정보는 출력량, 빈(bin) 유형, 웨이퍼 ID, 로트(lot) ID 또는 임의의 다른 관련 정보일 수 있다. 본 발명의 방법은 테이프 공급 공정 후에 릴 정보를 저장하는 단계를 더 포함하고, 이에 의해 테이프가 각각의 릴에 코일링된 후에, 적어도 하나의 처리 수단이 관련 릴 정보를 적어도 하나의 스토리지 데이터베이스에 전송한다. 상기 관련 정보는 XY 웨이퍼 좌표, 비젼 결과, 전기적 빈 유형, 로트 ID, 웨이퍼 ID 또는 임의의 다른 관련 정보일 수 있다. 상기 식별 태그를 구비함으로써, 작업자가 기계에 주의를 기울이기 전에, 다수의 릴이 처리되기 때문에 사람의 개입을 줄일 수 있다. 추적가능성 특징부를 구비하면, 최종 사용자는 어떤 문제가 발생하면 출처 웨이퍼로부터 전자 부품을 추적 할 수 있다.

이제, 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 발명의 예시적인 도면이 도시된다. 릴 교체 시스템(5)은 적어도 하나의 코일링 스테이션(501)로서, 적어도 하나의 회전 액추에이터(503), 적어도 하나의 샤프트(505), 및 적어도 하나의 수형 키 요소(507)를 포함하며, 상기 수형 키 요소(507)는 상기 릴(511)상의 적어도 하나의 암형 키 요소(509)에 꼭 맞게 끼워질 수 있고; 적어도 하나의 모터 구동식 인덱싱 롤러(515)를 포함하는 적어도 하나의 테이프 공급 스테이션(513); 상기 공급 스테이션(513)과 상기 코일링 스테이션(501)을 연결하는 적어도 하나의 브리지(517); 적어도 하나의 처리 수단;을 포함하고, 상기 시스템은 미리 결정된 위치에 배치되며 상기 샤프트(505)에 평행하며 상기 샤프트(505)와 동일한 방향으로 연장되는 적어도 하나의 로드(519)를 더 포함하고, 실질적으로 편평한 측면에 적어도 하나의 관통 개구를 갖는 상기 릴(511)은 상기 로드(519)가 상기 관통 개구로 들어갈 때만, 상기 샤프트(505)에 삽입될 수 있다. 상기 시스템은 적어도 하나의 릴 식별 기구(547)를 더 포함하고, 상기 릴 식별 기구는 바코드 스캐너 또는 그와 유사하는 것을 포함한다.

이제, 도 5c 및 도 5d를 참조하면, 수형 키 요소(507), 암형 키 요소(509) 및 로드(519)의 예시적인 도면이 도시된다. 상기 로드(519)는 빈 릴의 방향을 고정하는데 사용되며, 다른 유형의 릴은 특정 로드(519) 형상에 맞게 결합되지 않을 것이다. 이제, 도 5e를 참조하면, 상기 공급 스테이션(513)으로부터 상기 코일링 스테이션(501)에서의 릴(511)상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯으로 상기 테이프를 핸들링하고 가이드하기 위한 파지기구(523)의 예시적인 도면이 도시된다.

이제, 도 5f를 참조하면, 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 릴을 싱귤레이팅하고 상기 코일링 스테이션(501)에 로딩하기 위한 릴 싱귤레이터 시스템(525의 예시적인 도면이 도시된다. 상기 릴 싱귤레이터 시스템(525)은 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527), 적어도 하나의 싱귤레이터 아암(529), 적어도 하나의 흡인 컵(533)을 갖는 적어도 하나의 이송기구(531), 적어도 하나의 릴 저장 센서(535) 및 적어도 하나의 릴 차단 게이트(537)를 포함한다. 이제, 도 5g를 참조하면, 릴 언로더 시스템(539)의 예시적인 도면이 도시된다. 상기 릴 언로더 시스템(539)은 릴(511)을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)으로 언로딩한다. 상기 릴 언로더 시스템(539)은 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541) 및 적어도 하나의 흡인 컵(545)을 갖는 적어도 하나의 릴 이송기구(543)를 포함한다. 상기 로드(519)는 릴 싱귤레이션 시스템(525), 코일링 스테이션(501) 및/또는 릴 언로더 시스템(539)에 설치될 수 있다.

이제, 도 6을 참조하면, 센서 시스템(601, 605, 607)의 예시적인 도면이 도시된다. 상기 시스템(5)은 공급 스테이션(513)으로부터의 테이프가 상기 릴(511)의 적어도 하나의 테이프 입력 구멍 내로 들어가는 것을 보증하기 위한 적어도 하나의 센서 시스템(601, 605, 607)를 더 포함한다. 상기 센서 시스템(601, 605, 607)은 상기 인덱싱 롤러(515)에 배치된 적어도 하나의 제1 센서(601); 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제2 거리에서, 테이프 이동과 동일한 축에 있는 상기 인덱싱 롤러(515) 앞의 미리 결정된 제1 거리에서 모니터링하는 적어도 하나의 제2 센서(605); 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제3 거리에서, 상기 제 2 센서(605)와 실질적으로 동일한 거리에서 상기 인덱싱 롤러(515)로부터 떨어져 모니터링하는 적어도 하나의 제 3 센서(607)를 포함한다.

Claims

릴 교체 방법(2)에 있어서, 상기 방법은,
(i) 테이프 공급 스테이션(513)이 적어도 하나의 브리지(517)를 통해 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계;를 포함하고,
상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계는 상기 릴(511)의 적어도 하나의 매칭 암형 키 요소(509)가 샤프트(505)의 수형 키 요소(507)에 꼭 맞게 끼워지기 이전에, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)에서 적어도 하나의 수형 키 요소(507)의 방향을 미리 결정함으로써 수행되어, 상기 브리지(517)로부터의 상기 테이프가 상기 릴(511)상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯에 정렬되도록 미리 결정된 릴 위치를 제공하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 단계 (i) 이전에, 릴 싱귤레이터 시스템(525)이 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 릴을 싱귤레이팅하고, 적어도 하나의 코일링 스테이션(525)에 로딩하는 단계를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계:
(a) 적어도 하나의 제1 릴 저장 센서(535)에 의해 상기 제1 릴의 존재가 감지될 때, 상기 제1 릴 저장 시스템(527)의 싱귤레이터 아암(529)이 상기 이송기구(531)을 향해 빈 릴을 푸시하고 정지하는 단계(301);
(b) 제1 릴 저장 시스템(527)의 적어도 하나의 릴 차단 게이트(537)가 개방되어 있는 동안, 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴 홀더 샤프트가 제1 위치에서 적어도 하나의 릴 이송기구(531)의 샤프트와 만나는 단계(303);
(c) 릴 이송기구(531)의 적어도 하나의 흡인 컵(533)이 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴을 향해 연장되고, 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(305);
(d) 상기 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 상기 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 멀어지도록 후퇴하여 상기 하나의 릴(307)을 가져 오게 하는 단계(307);
(e) 제1 릴 저장 시스템(527)의 릴 홀더 샤프트가 상기 릴 이송기구(531)의 샤프트로부터 분리되고 상기 제1 릴 저장 시스템(527)의 상기 릴 차단 게이트(537)가 닫히는 단계(309);
(f) 상기 릴 이송기구(531)가 상기 릴을 상기 제1 위치로부터 적어도 하나의 코일링 스테이션(501)에 대향하는 제2 위치로 이송하는 단계(311);
(g) 릴 이송기구(531)의 릴 홀더 샤프트가 제2 위치에서 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트와 만나는 단계(313);
(h) 상기 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 릴 코일링 스테이션(501)을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(315);
(i) 일단 릴이 코일링 스테이션(501)에 위치되면, 진공은 해제되고, 릴 이송기구(531)의 샤프트는 제1 릴 이송기구(531)의 상기 흡인 컵(533)이 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 멀어지도록 후퇴하기 이전에, 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트로부터 분리되는 단계(317);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 단계 (i) 이후에, 릴 언로더 시스템(539)이 릴을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)으로 언로딩하는 단계(3)를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계:
(a) 코일링 스테이션(501)의 릴 홀더 샤프트가 제2 위치에서 적어도 하나의 릴 이송기구(543)의 샤프트와 만나는 단계(401);
(b) 릴 이송기구(543)의 적어도 하나의 흡인 컵(545)이 코일링 스테이션(501)의 릴을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(403);
(c) 제1 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)를 갖는, 상기 코일링 스테이션(501)의 적어도 하나의 푸셔가 릴을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 상기 릴 이송기구(543)로 이송하는 단계(405);
(d) 코일링 스테이션(501)의 상기 푸셔가 상기 릴 이송기구(543)로부터 후퇴하고, 코일링 스테이션(501)의 샤프트가 상기 릴 이송기구(543)의 샤프트로부터 분리되게 하는 단계(407);
(e) 상기 릴 이송기구(543)가 상기 릴을 상기 제2 위치로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)에 대향하는 제3 위치로 이송하는 단계(409);
(f) 릴 이송기구(543)의 릴 홀더 샤프트가 상기 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트와 만나는 단계(411);
(g) 상기 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)이 제2 릴 저장 시스템(541)을 향해 연장되고 진공에 의해 상기 릴을 유지할 수 있게 하는 단계(413);
(h) 일단 릴이 제2 릴 저장 시스템(541)에 위치되면, 진공이 해제되고 릴 이송기구(543)의 샤프트는 릴 이송기구(543)의 상기 흡인 컵(545)이 상기 제2 릴 저장 시스템(541)으로부터 멀어지도록 후퇴하기 이전에, 제2 릴 저장 시스템(541)의 샤프트로부터 분리되는 단계(415);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)에서 적어도 하나의 수형 키 요소(507)의 방향을 미리 결정하는 단계 (i)는 상기 테이프 삽입 슬롯에 대한 상기 수형 키 요소(507)의 방향 정보를 임의의 적절한 처리 수단에 제공하도록 사용자에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 릴 위치를 미리 결정하는 단계 (i)는 미리 결정된 위치에 배치되며 상기 샤프트(505)에 평행하며 상기 샤프트(505)와 동일한 방향으로 연장되는 적어도 하나의 로드(519)를 구비함으로써 행해지고, 실질적으로 편평한 측면에 적어도 하나의 관통 개구를 갖는 상기 릴(511)은 상기 로드(519)가 상기 관통 개구로 들어갈 때만, 상기 샤프트(505)에 삽입될 수 있는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프(513)를 공급하는 단계는 다음의 하위 단계:
(a) 상기 테이프가 적어도 하나의 모터 구동 인덱싱 롤러(515)에 배치된 적어도 하나의 제1 센서(601)를 사용하여 감지될 때, 공급 스테이션(513)이 테이프 및 릴 모듈로부터 테이프를 공급하도록 작동하고 정지하는 단계(201);
(b) 상기 브리지(517)가 닫혀서, 상기 공급 스테이션(513)과 상기 코일링 스테이션(501) 사이에서 물리적 링크를 가능하게 하고, 이는 상기 테이프가 상기 공급 스테이션(513)으로부터 상기 코일링 스테이션(501)으로 공급되게 하는 단계(203);
(c) 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제2 거리에서, 테이프 이동과 동일한 축에 있는 상기 인덱싱 롤러(515) 앞의 미리 결정된 제1 거리에서 모니터링하는 적어도 하나의 제2 센서(605)를 사용하여, 상기 테이프가 감지될 때, 공급 스테이션(513)이 테이프를 상기 코일링 스테이션(501)을 향해 계속해서 공급하고 정지하는 단계(205);
(d) 상기 브리지(517)가 개방되고 상기 인덱싱 롤러(515)가 릴리스되는 단계(207);
(e) 상기 코일링 스테이션(501)이 상기 릴을 회전시켜 상기 테이프를 상기 릴(209)내로 코일링하는 단계(209);
(f) 상기 제2 거리 보다 작으며 상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제3 거리에서, 상기 제2 센서(605)와 실질적으로 동일한 거리에서 상기 인덱싱 롤러(515)로부터 떨어져 모니터링하는 적어도 하나의 제3 센서(607)가 미리 결정된 지속 기간 후에 상기 테이프의 존재를 감지하면, 상기 코일링 스테이션(501)의 샤프트(505)가 계속해서 회전하는 단계(211);
(g) 상기 제3 센서(607)가 상기 미리 결정된 지속 기간 후에 상기 테이프의 존재를 감지할 수 없으면, 상기 코일링 스테이션(501)의 상기 샤프트(505)가 회전을 멈추는 단계(213);
를 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 6 항에 있어서, 상기 코일링 스테이션(501)에 테이프를 공급하는 단계는 단계 (c) 이후에, 파지기구(523)를 구비함으로써 상기 캐리어 테이프를 파지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 방법은 단계 (i) 이후에, 각각의 릴을 식별하는 단계를 더 포함하고, 이는 다음의 하위 단계:
(a) 테이프가 각각의 릴에 코일링된 후에, 적어도 하나의 처리 수단이 적어도 하나의 프린터에 관련 릴 정보를 전송하는 단계;
(b) 상기 프린터가 각각의 릴 상에 배치될 수 있는 적어도 하나의 식별 태그를 인쇄하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 8 항에 있어서, 상기 관련 릴 정보는 출력량, 빈(bin) 유형, 웨이퍼 ID, 로트(lot) ID 또는 임의의 다른 관련 정보일 수 있는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 1 항에 있어서, 상기 방법은 단계 (i) 후에, 릴 정보를 저장하는 단계를 더 포함하고, 이에 의해 테이프가 각각의 릴에 코일링된 후에, 적어도 하나의 처리 수단이 관련 릴 정보를 적어도 하나의 스토리지 데이터베이스에 전송하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
제 10 항에 있어서, 상기 관련 정보는 XY 웨이퍼 좌표, 비젼 결과, 전기적 빈 유형, 로트 ID, 웨이퍼 ID 또는 임의의 다른 관련 정보일 수 있는 것을 특징으로 하는 릴 교체 방법(2).
릴 교체 시스템(5)에 있어서,
적어도 하나의 코일링 스테이션(501)로서, 적어도 하나의 회전 액추에이터(503), 적어도 하나의 샤프트(505), 및 적어도 하나의 수형 키 요소(507)를 포함하며, 상기 수형 키 요소(507)는 상기 릴(511)상의 적어도 하나의 암형 키 요소(509)에 꼭 맞게 끼워질 수 있고;
적어도 하나의 모터 구동식 인덱싱 롤러(515)를 포함하는 적어도 하나의 테이프 공급 스테이션(513);
상기 공급 스테이션(513)과 상기 코일링 스테이션(501)을 연결하는 적어도 하나의 브리지(517);
적어도 하나의 처리 수단;을 포함하고,
상기 시스템은 미리 결정된 위치에 배치되며 상기 샤프트(505)에 평행하며 상기 샤프트(505)와 동일한 방향으로 연장되는 적어도 하나의 로드(519)를 더 포함하고, 실질적으로 편평한 측면에 적어도 하나의 관통 개구를 갖는 상기 릴(511)은 상기 로드(519)가 상기 관통 개구로 들어갈 때만, 상기 샤프트(505)에 삽입될 수 있는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 11 항에 있어서, 공급 스테이션(513)으로부터의 테이프가 상기 릴(511)의 적어도 하나의 테이프 입력 구멍 내로 들어가는 것을 보증하기 위한 적어도 하나의 센서 시스템(601, 605, 607)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 11 항에 있어서, 상기 공급 스테이션(513)으로부터 상기 코일링 스테이션(501)에서의 릴(511)상의 적어도 하나의 테이프 삽입 슬롯으로 상기 테이프를 핸들링하고 가이드하기 위한 적어도 하나의 파지기구(523)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 11 항에 있어서, 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527)으로부터 릴을 싱귤레이팅하고 상기 코일링 스테이션(501)에 로딩하기 위한 적어도 하나의 릴 싱귤레이터 시스템(525)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5). .
제 14 항에 있어서, 상기 릴 싱귤레이터 시스템(525)은 적어도 하나의 제1 릴 저장 시스템(527), 적어도 하나의 싱귤레이터 아암(529), 적어도 하나의 흡인 컵(533)을 갖는 적어도 하나의 이송기구(531), 적어도 하나의 릴 저장 센서(535) 및 적어도 하나의 릴 차단 게이트(537)를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 11 항에 있어서, 릴(511)을 상기 코일링 스테이션(501)으로부터 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541)으로 언로딩하는 적어도 하나의 릴 언로더 시스템(539)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 16 항에 있어서, 상기 릴 언로더 시스템(539)은 적어도 하나의 제2 릴 저장 시스템(541) 및 적어도 하나의 흡인 컵(545)을 갖는 적어도 하나의 릴 이송기구(543)를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 12 항에 있어서, 상기 센서 시스템(601, 605, 607)은,
상기 인덱싱 롤러(515)에 배치된 적어도 하나의 제 1 센서(601);
상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제2 거리에서, 테이프 이동과 동일한 축에 있는 상기 인덱싱 롤러(515) 앞의 미리 결정된 제1 거리에서 모니터링하는 적어도 하나의 제2 센서(605);
상기 테이프의 이동 축으로부터 미리 결정된 수직한 제3 거리에서, 상기 제 2 센서(605)와 실질적으로 동일한 거리에서 상기 인덱싱 롤러(515)로부터 떨어져 모니터링하는 적어도 하나의 제3 센서(607);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).
제 11 항에 있어서, 상기 시스템은 적어도 하나의 릴 식별 기구(547)를 더 포함하고, 상기 릴 식별 기구는 바코드 스캐너 또는 그와 유사하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 릴 교체 시스템(5).