KR20190106671A - Substrate processing apparatus - Google Patents

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다쓰히사 쓰지
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

Provided is a substrate processing apparatus capable of accurately measuring exhaust pressure in an exhaust pipe even with respect to a gas containing a sublimate. The sampling photo (71) is provided in an exhaust pipe opening (77) of the exhaust pipe (51), and the exhaust pressure in the exhaust pipe (51) is measured by a pressure sensor (75). The sampling photo (71) has a rectifying plate (85) which covers the opening so that the opening cannot be seen. The rectifying plate (85) is provided so that an opening (81) communicates with the inside of the exhaust pipe (51) in a direction orthogonal to both the central axis of the opening (81) and a flow direction of the gas in the exhaust pipe (51), thereby enabling the pressure sensor (75) to measure the exhaust pressure. The sublimate contained in the gas is attached to and deposited on an upstream side of the rectifying plate (85), but can be prevented from being deposited in the opening (81) to block the opening (81). Even with respect to a gas containing a sublimate, the exhaust pressure in the exhaust pipe (51) can be measured correctly.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}Substrate Processing Unit {SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, 유기 EL용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광디스플레이용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 태양전지용 기판 등의 각종 기판(이하, 간단히 기판이라고 칭한다)에 대해서, 열처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention provides a semiconductor wafer, a substrate for liquid crystal display, a substrate for plasma display, a substrate for organic EL, a substrate for field emission display (FED), a substrate for optical display, a substrate for magnetic disk, a substrate for magneto-optical disk, a photomask The present invention relates to a substrate processing apparatus that performs heat treatment on various substrates (hereinafter, simply referred to as substrates) such as substrates and substrates for solar cells.

종래, 이런 종류의 장치로서 재치(載置)된 기판을 가열하는 열처리 플레이트와, 열처리 플레이트의 상부를 둘러싸고, 열처리 플레이트에 대해서 승강 가능하게 구성되고, 열처리 플레이트에 의한 열처리 분위기를 형성하는 커버 부재와, 열처리 플레이트와 커버 부재를 둘러싼 하우징과, 커버 부재의 천정면과 열처리 플레이트의 상면의 사이에 설치된 천판과, 천판의 하면과 열처리 플레이트의 상면의 간격을 조정하는 위치 조정 부재를 구비한 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Conventionally, a heat treatment plate for heating a substrate placed as an apparatus of this type, a cover member surrounding the upper portion of the heat treatment plate and configured to be elevated relative to the heat treatment plate, and forming a heat treatment atmosphere by the heat treatment plate; And a housing surrounding the heat treatment plate and the cover member, a top plate provided between the ceiling surface of the cover member and the top surface of the heat treatment plate, and a positioning member for adjusting the distance between the bottom surface of the top plate and the top surface of the heat treatment plate ( See, for example, Patent Document 1).

이러한 기판 처리 장치에서는, 하우징 내의 기체를 배출하고 있다. 구체적으로는, 하우징 내로부터 기체를 배기하는 배기관과 배기관 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하고, 압력 센서에 의해서 측정된 압력에 근거해 배기 제어를 실시한다. 압력 센서는, 배기관에 설치된 샘플링 포토를 통하여 압력을 측정한다. 구체적으로는, 샘플링 튜브의 일단측을, 배기관 내에 연통한 개구부에 장착해, 그 외단측에 압력 센서를 장착하고 있다. 배기관에 형성된 개구부는, 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향에서 개구부를 보았을 경우, 개구부가 노출한 상태가 되어 있다.In such a substrate processing apparatus, the gas in a housing is discharged | emitted. Specifically, an exhaust pipe for exhausting gas from the housing and a pressure sensor for detecting pressure in the exhaust pipe are provided, and exhaust control is performed based on the pressure measured by the pressure sensor. The pressure sensor measures the pressure through the sampling port provided in the exhaust pipe. Specifically, one end side of the sampling tube is attached to an opening communicating with the exhaust pipe, and a pressure sensor is attached to the outer end side thereof. The opening formed in the exhaust pipe is in a state in which the opening is exposed when the opening is viewed from the flow direction of the gas in the exhaust pipe.

일본 특개 2000－3843호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2000-3838

그러나, 이러한 구성을 가지는 종래 예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.However, in the conventional example having such a configuration, there are the following problems.

즉, 최근에는, 미세 가공 프로세스를 위해서, 도포 탄소막이라고 하는 하층막을 형성하는 일이 있다. 이 하층막의 생성은, 고온의 열처리로 실시되며, 그 때에는 하층막으로부터 승화물을 포함하는 기체가 발생한다. 종래의 장치와 같이 구성된 기판 처리 장치에서는, 개구부의 주위에 승화물을 부착하여, 개구부가 폐색 하도록 승화물이 점차 퇴적해 가므로, 압력의 검출에 지장이 생긴다. 따라서, 배기관 내의 배기 압력을 정확하게 측정할 수 없다고 하는 문제가 있다.That is, in recent years, an underlayer film called a coated carbon film may be formed for the micromachining process. The underlayer film is produced by a high temperature heat treatment, and gas containing a sublimation is generated from the underlayer film at that time. In the substrate processing apparatus constructed as in the conventional apparatus, the sublimation is deposited around the openings, and the sublimation gradually accumulates so that the openings are blocked, which causes a problem in detecting the pressure. Therefore, there is a problem that the exhaust pressure in the exhaust pipe cannot be accurately measured.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 승화물을 포함하는 기체여도, 배기관 내의 배기 압력을 정확하게 측정할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the substrate processing apparatus which can measure the exhaust pressure in an exhaust pipe correctly, even if it is a gas containing sublimation.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.

즉, 청구항 1에 기재된 발명은, 기판에 대해서 열처리를 실시하는 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 재치(載置)하여, 기판을 가열하는 열처리 플레이트와, 상기 열처리 플레이트의 상방을 덮어, 열처리 플레이트에 의한 열처리 분위기를 형성하는 하우징과, 상기 하우징 내의 기체를 배기하는 배기관과, 상기 배기관에 형성되며, 상기 배기관의 내부에 연통한 배기관 개구부와, 상기 배기관 개구부에 설치되며, 상기 배기관 내의 배기 압력을 검출하기 위한 샘플링 포트와, 상기 샘플링 포트를 통하여 배기 압력을 측정하는 압력 센서를 구비하고, 상기 샘플링 포트는, 상기 배기관 개구부에서 상기 배기관의 내부에 연통한 개구부와, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 연장선의 교점으로부터 상기 개구부를 보았을 경우, 상기 개구부가 보이지 않도록 상기 개구부를 덮는 것과 더불어, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향, 상기 배기관의 기체의 유통 방향에 있어서의 상기 개구부보다 하류측의 적어도 한쪽에서 상기 배기관의 내부에 상기 개구부가 연통하도록 설치된 정류판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.That is, the invention of Claim 1 WHEREIN: In the substrate processing apparatus which heat-processes a board | substrate, the board | substrate is mounted, the heat processing plate which heats a board | substrate, and the upper part of the said heat processing plate are covered, And a exhaust pipe opening formed in the exhaust pipe, and an exhaust pipe opening formed in the exhaust pipe and communicating with the inside of the exhaust pipe, and installed in the exhaust pipe opening. And a pressure sensor for measuring exhaust pressure through the sampling port, wherein the sampling port includes an opening communicating with the inside of the exhaust pipe from the exhaust pipe opening, and a flow direction of gas in the exhaust pipe. When the opening is viewed from the intersection of the extension line of the central axis of the opening, In addition to covering the opening so that the opening is invisible, at least a portion downstream of the opening in the direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the central axis of the opening, and the flow direction of the gas in the exhaust pipe. One side is provided with a rectifying plate provided in said exhaust pipe so that the said opening part may communicate.

［작용·효과］청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 샘플링 포토는, 열처리 플레이트의 상부를 덮은 하우징으로부터의 기체를 배기하는 배기관의 배기관 개구부에 설치되어, 배기관 내의 배기 압력이, 샘플링 포토를 통하여 장착되어 있는 압력 센서에 의해 측정된다. 이 샘플링 포토는, 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부의 중심축의 연장선의 교점으로부터 개구부를 보았을 경우, 개구부가 보이지 않도록 개구부를 덮는 정류판을 구비하고 있다. 이 정류판은, 또한, 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부의 중심축의 양쪽 모두에 직교하는 방향, 배기관의 기체의 유통 방향에 있어서의 개구부보다 하류측의 적어도 한쪽에서 배기관의 내부에 개구부가 연통하도록 설치되어 있으므로, 배기 압력을 압력 센서로 측정할 수 있다. 따라서, 기체에 포함되어 있는 승화물은, 정류판의 상류측에는 부착하여 퇴적하지만, 개구부에 퇴적하여 개구부를 폐색하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 승화물을 포함한 기체여도, 배기관 내의 배기 압력을 정확하게 측정할 수 있다.ACTION AND EFFECT According to the invention of Claim 1, a sampling port is provided in the exhaust pipe opening part of the exhaust pipe which exhausts gas from the housing which covered the upper part of the heat processing plate, and the exhaust pressure in an exhaust pipe is attached through the sampling port, Is measured by a pressure sensor. The sampling port is provided with a rectifying plate covering the opening so that the opening is not visible when the opening is viewed from the intersection of the gas flow direction in the exhaust pipe and the extension line of the central axis of the opening. The rectifying plate further has an opening in the exhaust pipe at least on one downstream side of the opening in a direction orthogonal to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the central axis of the opening. Since it is provided so that it may communicate, exhaust pressure can be measured with a pressure sensor. Therefore, the sublimate contained in the gas adheres and accumulates on the upstream side of the rectifying plate, but can be prevented from being deposited in the opening and blocking the opening. As a result, even in a gas containing a sublimation, the exhaust pressure in the exhaust pipe can be accurately measured.

또, 본 발명에 있어서, 상기 정류판은, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 보았을 경우에, 상기 배기관의 상류측으로부터 하류측을 향해 서서히 상기 개구부로부터의 거리가 커지는 경사면을 가지는 것이 바람직하다(청구항 2).In the present invention, the rectifying plate is gradually moved from the upstream side to the downstream side of the exhaust pipe when viewed from the direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the central axis of the opening. It is preferable to have an inclined surface in which the distance from the opening becomes large (claim 2).

개구부에 대향하는 배관 내에는, 상류측으로부터 하류측을 향해 서서히 개구부로부터의 거리가 커지는 경사면을 가지는 정류판이 배치되어 있으므로, 배기에 포함되는 승화물은 주로 그 경사면에 부착하여 퇴적한다. 또, 기체의 유통 방향과 직교하는 방향이나, 기체의 유통하는 방향의 하류측에서 개구부가 배기관에 연통하고 있으므로, 샘플링 포토를 통하여 압량 센서가 정확하게 배기 압력을 측정할 수 있다.In the pipe facing the opening, a rectifying plate having an inclined surface that gradually increases in distance from the upstream side to the downstream side is disposed. Thus, the sublimation contained in the exhaust is mainly attached to and deposited on the inclined surface. Moreover, since the opening part communicates with the exhaust pipe in the direction orthogonal to the flow direction of the gas, or downstream of the flow direction of the gas, the pressure sensor can accurately measure the exhaust pressure through the sampling port.

또, 본 발명에 있어서, 상기 정류판은, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 본 단면이 삼각형 형상을 나타내고, 그 꼭짓점이, 그 내각측을 상기 개구부에 대향해서 장착되어 있는 것이 바람직하다(청구항 3).In the present invention, the rectifying plate has a triangular cross section viewed in a direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and a direction perpendicular to both of the central axis of the opening, and the vertex of the rectifying plate has It is preferable that it is attached to the said opening part (claim 3).

개구부에 대향하는 배기관 내에는, 정류판이 삼각 지붕과 같이 배치되고, 그 경사면이 기체의 유통 방향에 접한 자세로 되어 있다. 따라서, 배기에 포함되는 승화물은 주로 그 상하류에 접한 경사면에 부착하여 퇴적한다. 또, 기체의 유통 방향과 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향으로 개구부가 배기관에 연통되어 있으므로, 샘플링 포토를 통하여 압력 센서가 정확하게 배기 압력을 측정할 수 있다.In the exhaust pipe facing the opening, the rectifying plate is arranged like a triangular roof, and its inclined surface is in a posture in contact with the gas flow direction. Therefore, the sublimation contained in the exhaust is mainly deposited on the inclined surfaces in contact with the upstream and downstream thereof and deposited. In addition, since the opening communicates with the exhaust pipe in a direction orthogonal to both the flow direction of the gas and the central axis of the opening, the pressure sensor can accurately measure the exhaust pressure through the sampling port.

또, 본 발명에 있어서, 상기 개구부가 형성된 블록체와, 상기 배기관 개구부에 상기 개구부가 임하도록 하여, 상기 블록체를 상기 배기관에 착탈 가능하게 장착하는 장착구를 구비하고, 상기 정류판은, 상기 블록체의 상기 배기관 개구부측에 장착되어 있는 것이 바람직하다(청구항 4).Moreover, in this invention, it is provided with the block body in which the said opening part was formed, and the fitting opening which attaches the said block body to the said exhaust pipe so that attachment and detachment is possible so that the said opening part may be provided in the said exhaust pipe opening part, It is preferable that it is attached to the said exhaust pipe opening side of a block body (claim 4).

장착구를 벗기면, 배기관으로부터 블록체를 떼어낼 수 있으므로, 승화물이 개구부에 부착하고 있어도 메인터넌스에 의해 용이하게 제거할 수 있다. 따라서, 정기적인 메인터넌스를 실시함으로써, 장기간에 걸쳐서 배기 압력의 정밀도를 유지할 수 있다.When the mounting hole is removed, the block body can be removed from the exhaust pipe, so that even if the sublimation is attached to the opening, it can be easily removed by maintenance. Therefore, by performing periodic maintenance, the accuracy of exhaust pressure can be maintained over a long period of time.

또, 본 발명에 있어서, 상기 블록체는, 상기 개구부의 반대면에, 상기 개구부에 연통한 측정관 장착부가 형성되어 있는 것과 더불어, 상기 블록체의 상기 측정관 장착부에 일단측이 배치되고, 타단측에 상기 압력 센서가 배치된 측정관과, 상기 측정관의 일단측을 상기 측정관 장착부에 착탈 가능하게 장착하는 측정관 장착구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.(청구항 5)In the present invention, the block body is provided with a measuring tube mounting portion communicating with the opening on the opposite side of the opening, and one end side of the block body is disposed on the measuring tube mounting portion of the block. It is preferable to have a measuring tube with the pressure sensor arranged at one end and a measuring tube mounting hole for detachably attaching one end of the measuring tube to the measuring tube mounting portion. (Claim 5)

측정관 장착구를 떼어내면, 측정관을 블록체로부터 떼어낼 수 있으므로, 승화물이 측정관의 내부에 부착하고 있어도 메인터넌스에 의해 용이하게 제거할 수 있다. 따라서, 정기적인 메인터넌스를 실시함으로써, 장기간에 걸쳐서 배기 압력의 정밀도를 유지할 수 있다.If the measuring tube mounting opening is removed, the measuring tube can be removed from the block body, so that even if the sublimation is attached to the inside of the measuring tube, it can be easily removed by maintenance. Therefore, by performing periodic maintenance, the accuracy of exhaust pressure can be maintained over a long period of time.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 샘플링 포토는, 열처리 플레이트의 상부를 덮은 하우징으로부터의 기체를 배기하는 배기관의 배기관 개구부에 설치되어, 배기관 내의 배기 압력이, 샘플링 포토를 통하여 장착되어 있는 압력 센서에 의해 측정된다. 이 샘플링 포토는, 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부의 중심축의 연장선의 교점으로부터 개구부를 보았을 경우, 개구부가 보이지 않도록 개구부를 덮는 정류판을 구비하고 있다. 이 정류판은, 또한, 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향, 배기관의 기체의 유통 방향에 있어서의 개구부보다 하류측의 적어도 한쪽에서 배기관의 내부에 개구부가 연통하도록 설치되어 있으므로, 배기 압력을 압력 센서로 측정할 수 있다. 따라서, 기체에 포함되어 있는 승화물은, 정류판의 상류측에는 부착하여 퇴적하지만, 개구부에 퇴적하여 개구부를 폐색하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 승화물을 포함한 기체여도, 배기관 내의 배기 압력을 정확하게 측정할 수 있다.According to the substrate processing apparatus which concerns on this invention, the sampling photo is provided in the exhaust pipe opening part of the exhaust pipe which exhausts gas from the housing which covered the upper part of the heat processing plate, and the pressure sensor in which the exhaust pressure in an exhaust pipe is attached through the sampling port is carried out. Is measured by. The sampling port is provided with a rectifying plate covering the opening so that the opening is not visible when the opening is viewed from the intersection of the gas flow direction in the exhaust pipe and the extension line of the central axis of the opening. The rectifying plate further has an opening communicating with the inside of the exhaust pipe at least on the downstream side of the opening in the direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the central axis of the opening, and the flow direction of the gas in the exhaust pipe. Since it is installed so that the exhaust pressure can be measured by a pressure sensor. Therefore, the sublimate contained in the gas adheres and accumulates on the upstream side of the rectifying plate, but can be prevented from being deposited in the opening and blocking the opening. As a result, even in a gas containing a sublimation, the exhaust pressure in the exhaust pipe can be accurately measured.

도 1은, 실시예에 따른 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는, 가동 천판의 평면도이다.
도 3은, 승강 핀의 선단부 부근을 나타내는 종단면도이다.
도 4는, 압력 검출 유닛을 나타내는 종단면도이다.
도 5는, 압력 검출 유닛을 배기관 내부에서 본 도이다.
도 6은, 압력 검출 유닛을 배기관 외부에서 본 도이다.
도 7은, 기판을 반입출하는 상태를 나타내는 종단면도이다.
도 8은, 기판을 가열하는 상태를 나타내는 종단면도이다.
도 9는, 정류판의 제1 변형예를 나타내는 종단면도이다.
도 10은, 정류판의 제2 변형예를 나타내는 종단면도이다.1 is a schematic configuration diagram showing an overall configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment.
2 is a plan view of the movable top plate.
3 is a longitudinal cross-sectional view showing the vicinity of a tip end portion of the lifting pin.
4 is a longitudinal sectional view showing the pressure detection unit.
5 is a view of the pressure detection unit viewed from inside the exhaust pipe.
6 is a view of the pressure detection unit viewed from outside the exhaust pipe.
7 is a longitudinal cross-sectional view showing a state of carrying in and carrying out a substrate.
8 is a longitudinal sectional view showing a state in which a substrate is heated.
9 is a longitudinal sectional view showing a first modification of the rectifying plate.
10 is a longitudinal sectional view showing a second modification of the rectifying plate.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 하나의 실시예에 대해 설명한다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은, 실시예에 따른 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 개략 구성도이며, 도 2는, 가동 천판의 평면도이며, 도 3은, 승강 핀의 선단부 부근을 나타내는 종단면도이다.FIG. 1: is a schematic block diagram which shows the whole structure of the substrate processing apparatus which concerns on an Example, FIG. 2 is a top view of a movable top plate, and FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view which shows the vicinity of the front-end | tip part of a lifting pin.

실시예에 따른 기판 처리 장치(1)는, 기판(W)에 대해서 열처리를 가하는 것이다. 구체적으로는, 미세 가공 프로세스를 위해서, 예를 들면, 도포 탄소막이라고 하는 하층막을 형성할 때의 열처리를 실시한다. 이 하층막의 생성을 위해서는, 300~500℃ 정도의 고온에서 열처리가 실시된다.In the substrate processing apparatus 1 according to the embodiment, the substrate W is subjected to heat treatment. Specifically, for the microfabrication process, for example, heat treatment is performed when forming an underlayer film called a coated carbon film. In order to produce this underlayer film, heat treatment is performed at a high temperature of about 300 to 500 ° C.

기판 처리 장치(1)는, 하부 베이스 플레이트(3)와, 수냉식 베이스 플레이트(5)와, 열처리 플레이트(7)와, 가동 천판 유닛(9)과, 승강 핀 유닛(11)과, 하우징(13)과, 셔터 유닛(15)을 구비하고 있다.The substrate processing apparatus 1 includes a lower base plate 3, a water-cooled base plate 5, a heat treatment plate 7, a movable top plate unit 9, a lifting pin unit 11, and a housing 13. ) And a shutter unit 15.

이 기판 처리 장치(1)는, 인접해서 배치된 반송 암(17)으로부터 기판(W)이 반입되고 열처리를 가한 후, 처리 완료의 기판(W)이 반송 암(17)에 의해서 반출된다.In this substrate processing apparatus 1, after the board | substrate W is carried in from the adjacent conveyance arm 17 arrange | positioned and heat-processed, the processed board | substrate W is carried out by the conveyance arm 17. As shown in FIG.

하부 베이스 플레이트(3)는, 상면에 지주(19)가 세워져 설치되고, 그 상부에 수냉식 베이스 플레이트(5)가 배치되어 있다. 수냉식 베이스 플레이트(5)는, 열처리 플레이트(7)의 열이 하방에 전달하는 것을 억제한다. 구체적으로는, 수냉식 베이스 플레이트(5)는, 예를 들면, 내부에 냉매를 유통 가능한 냉매 유로(21)가 전체에 걸쳐서 형성되어 있다. 이 냉매 유로(21)에는, 예를 들면, 냉매로서 냉각수가 유통된다. 이 냉각수는, 예를 들면, 20℃로 온도 조절되어 있다.The lower base plate 3 is provided with a support 19 standing on an upper surface thereof, and a water-cooled base plate 5 is disposed at an upper portion thereof. The water-cooled base plate 5 suppresses transfer of heat of the heat treatment plate 7 downward. Specifically, in the water-cooled base plate 5, for example, a coolant flow passage 21 through which a coolant can be distributed is formed throughout. In this refrigerant flow path 21, for example, cooling water is distributed as a refrigerant. This cooling water is temperature-controlled at 20 degreeC, for example.

열처리 플레이트(7)는, 평면에서 봤을 때에 원형상을 나타낸다. 그 직경은, 기판(W)의 직경보다 약간 크다. 열처리 플레이트(7)는, 도시 하지 않은 히터 등의 가열 수단을 내장하고 있어, 예를 들면, 표면 온도가 400℃가 되도록 가열된다. 열처리 플레이트(7)는, 그 하면과 수냉식 베이스 플레이트(5)의 상면의 사이에 설치된 지주(23)에 의해, 수냉식 베이스 플레이트(5)로부터 상방으로 이격한 상태로 배치되어 있다. 열처리 플레이트(7)는, 평면에서 봤을 때에 정삼각형의 각 꼭짓점에 대응하는 위치에 관통구(25)가 형성되어 있다.The heat treatment plate 7 shows a circular shape in plan view. The diameter is slightly larger than the diameter of the substrate W. FIG. The heat treatment plate 7 incorporates heating means such as a heater (not shown), and is heated so that the surface temperature is 400 ° C, for example. The heat treatment plate 7 is disposed in a state spaced apart upward from the water-cooled base plate 5 by the support 23 provided between the lower surface and the upper surface of the water-cooled base plate 5. In the heat treatment plate 7, the through hole 25 is formed at a position corresponding to each vertex of the equilateral triangle in plan view.

열처리 플레이트(7)에는, 가동 천판 유닛(9)이 부설되어 있다. 가동 천판 유닛(9)은, 승강 베이스 플레이트(27)와, 승강기구(29)와, 지주(31)와, 가동 천판(33)을 구비하고 있다.The movable top plate unit 9 is attached to the heat treatment plate 7. The movable top plate unit 9 includes a lifting base plate 27, a lifting mechanism 29, a support 31, and a movable top plate 33.

승강 베이스 플레이트(27)는, 지주(23)나, 후술하는 승강 핀(41)의 간섭을 회피하는 개구를 구비하고 있다. 승강기구(29)는, 예를 들면, 에어 실린더로 구성되어 있다. 승강기구(29)는, 작동축을 가지는 부분을 상방을 향한 자세로 수냉식 베이스 플레이트(5)에 밀착해서 장착되어 있다. 이 승강기구(29)는, 작동축의 선단부의 높이를 임의의 위치에서 고정할 수 있다. 승강기구(29)는, 그 작동축이 승강 베이스 플레이트(27)의 저면에 연결되어 있다. 승강기구(29)의 작동축을 승강시키면, 승강 베이스 플레이트(27)의 높이 위치를 가변할 수 있다. 승강 베이스 플레이트(27)는, 그 상면에, 예를 들면, 4개의 지주(31)가 세워져 설치되어 있다. 4개의 지주(31)의 상단에는, 가동 천판(33)이 장착되어 있다.The lifting base plate 27 is provided with the opening which avoids the support | pillar 23 and the interference of the lifting pin 41 mentioned later. The lifting mechanism 29 is configured of, for example, an air cylinder. The lifting mechanism 29 is attached to the water-cooled base plate 5 in close contact with a portion having an operating shaft in an upward-facing position. The elevating mechanism 29 can fix the height of the tip of the working shaft at any position. The lifting shaft 29 has an operating shaft connected to the bottom face of the lifting base plate 27. By elevating the operating shaft of the elevating mechanism 29, the height position of the elevating base plate 27 can be varied. The lifting base plate 27 is provided with four pillars 31 standing on the upper surface thereof, for example. The movable top plate 33 is attached to the upper ends of the four pillars 31.

도 2에 나타내는 바와 같이, 가동 천판(33)은, 평면에서 봤을 때에 중앙부에 개구(35)가 형성되어 있다. 개구(35)는, 평면에서 봤을 때에 기판(W)의 직경보다 작게 형성되어 있다. 이 가동 천판(33)은, 승강기구(29)가 작동함으로써, 승강 베이스 플레이트(27)와 함께 승강한다. 가동 천판(33)의 승강 위치는, 기판(W)에 열처리를 실시할 때의 하강 위치와 기판(W)을 반입할 때의 상승 위치에 걸쳐서 이동된다. 또한, 하강 위치는, 기판(W)의 상면과 가동 천판(33)의 하면의 거리가 약 10mm인 것이 바람직하다. 이것은, 발명자 등의 실험에 의해, 기판(W)의 표면에 있어서의 온도 분포의 면내 균일성을 향상시키기에는, 이 거리가 바람직한 것을 알 수 있었기 때문이다.As shown in FIG. 2, the movable top plate 33 has the opening 35 formed in the center part in planar view. The opening 35 is formed smaller than the diameter of the substrate W in plan view. The movable top plate 33 moves up and down together with the lifting base plate 27 by operating the lifting mechanism 29. The lifting position of the movable top plate 33 is moved over the lowering position when heat-processing the board | substrate W, and the rising position at the time of carrying in the board | substrate W. As shown in FIG. Moreover, as for a falling position, it is preferable that the distance of the upper surface of the board | substrate W and the lower surface of the movable top plate 33 is about 10 mm. This is because experiments by the inventors have found that this distance is preferable for improving the in-plane uniformity of the temperature distribution on the surface of the substrate W.

가동 천판(33)은, 그 대각길이가, 열처리 플레이트(7)의 직경보다 길게 형성된 직사각형 형상을 나타낸다. 4개의 지주(31)는, 각각의 상단이 가동 천판(33)의 하면에 있어서의 네 귀퉁이에 연결되어 있다. 가동 천판(33)의 네 귀퉁이는, 열원인 평면에서 봤을 때에 열처리 플레이트(7)로부터 먼 위치에 해당한다. 따라서, 열처리 플레이트(7)의 복사열에 의해 가동 천판(33)이 가열되어도, 지주(31)에는 열이 전해지기 어렵게 할 수 있다. 따라서, 승강기구(29)가 열의 영향을 받기 어렵고, 고장의 발생을 억제할 수 있다.The movable top plate 33 shows the rectangular shape in which the diagonal length was formed longer than the diameter of the heat processing plate 7. Each of the four pillars 31 is connected to four corners on the lower surface of the movable top plate 33. The four corners of the movable top plate 33 correspond to a position far from the heat treatment plate 7 in a plan view as a heat source. Therefore, even if the movable top plate 33 is heated by the radiant heat of the heat treatment plate 7, heat can hardly be transferred to the support 31. Therefore, the lifting mechanism 29 is less likely to be affected by heat, and the occurrence of failure can be suppressed.

상술한 가동 천판(33)은, 세라믹 또는 금속과 세라믹의 합금으로부터 이루어지는 것이 바람직하다. 이에 의해 고온의 열처리를 실시해도, 열에 의한 변형을 방지할 수 있다.It is preferable that the above-mentioned movable top plate 33 consists of ceramic or an alloy of metal and ceramic. Thereby, even if high temperature heat processing is performed, deformation by heat can be prevented.

승강 핀 유닛(11)은, 구동 기구(37)와 승강 링(39)과 3개의 승강 핀(41)을 구비하고 있다. 또한, 승강 핀(41)은, 도시 관계상, 2개 만을 그리고 있다.The lift pin unit 11 includes a drive mechanism 37, a lift ring 39, and three lift pins 41. In addition, only the two lifting pins 41 draw two in relation to the city.

구동 기구(37)는, 예를 들면, 에어 실린더로 구성되어 있다. 구동 기구(37)는, 그 작동축을 가지는 부분을 하방을 향해서 반대측을 수냉식 베이스 플레이트(5)의 하면에 밀착시킨 상태로 장착되어 있다. 작동축의 하부에는, 승강 링(39)이 연결되어 있다. 승강 링(39)의 상면에는, 3개의 승강 핀(41)이 세워져 설치되어 있다. 구동 기구(39)는, 그 작동축의 높이 위치를, 3개의 승강 핀(41)이 열처리 플레이트(7)의 상면으로부터 상방으로 돌출된 수도 위치(도 1중의 이점쇄선)와, 3개의 승강 핀(41)이 열처리 플레이트(7)의 상면으로부터 하방에 몰입한 처리 위치(도 1중의 실선)의 두군데에 걸쳐서 조절 가능하다. 3개의 승강 핀(41)은, 열처리 플레이트(7)에 형성되어 있는 세군데의 관통구(25)에 삽입 통과되어 있다.The drive mechanism 37 is comprised with the air cylinder, for example. The drive mechanism 37 is attached in a state in which the part having the operating shaft is in downward contact with the lower surface of the water-cooled base plate 5 with the opposite side facing downward. A lifting ring 39 is connected to the lower portion of the working shaft. Three lifting pins 41 are provided on the upper surface of the lifting ring 39 so as to stand up. The drive mechanism 39 has a height position of the operating shaft of which the three lifting pins 41 protrude upward from the upper surface of the heat treatment plate 7 (the double-dotted line in FIG. 1), and the three lifting pins ( 41 can be adjusted over two places of the processing position (solid line in FIG. 1) immersed below from the upper surface of the heat processing plate 7. As shown in FIG. Three lifting pins 41 are inserted through three through holes 25 formed in the heat treatment plate 7.

승강 핀(41)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 구성되어 있는 것이 바람직하다. 승강 핀(41)은, 심부(41a)와, 외통(41b)과, 석영 볼(41c)을 구비하고 있다. 심부(41a)는, 몸통부(41d)의 상부에 해당하는 선단부(41e)가, 몸통부(41d)보다 소경으로 형성되어 있다. 외통(41b)은, 선단부 이외가 석영 볼(41c)의 외경보다 약간 큰 내경으로 형성되어 있다. 외통(41b)의 선단부는, 석영 볼(41c)의 직경보다 작은 내경으로 형성되어 있다. 석영 볼(41c)은, 그 직경이 선단부(41e) 보다 약간 작게 형성되어 있다. 따라서, 석영 볼(41c)을 선단부(41e)의 상면에 재치한 상태로, 외통(41b)을 씌우면, 석영 볼(41c)의 1/3 정도가 외통(41b)으로부터 돌출한 상태가 된다. 이 상태에서, 심부(41d)와 외통(41b)을 관통하는 관통구(41f)에 결합 핀(41g)을 압입함으로써, 외통(41b)을 석영 볼(41c)과 함께 심부(41a)에 고정해 승강 핀(41)을 구성한다. 또한, 석영 볼(41c) 이외의 부재는 금속제이다.It is preferable that the lifting pin 41 is comprised as shown in FIG. The lifting pin 41 is provided with the core part 41a, the outer cylinder 41b, and the quartz ball 41c. As for the core part 41a, the front-end | tip part 41e corresponding to the upper part of the trunk part 41d is formed in smaller diameter than the trunk part 41d. The outer cylinder 41b is formed with an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the quartz ball 41c except for the tip portion. The tip end of the outer cylinder 41b is formed with an inner diameter smaller than the diameter of the quartz ball 41c. The quartz ball 41c is formed slightly smaller in diameter than the tip portion 41e. Therefore, when the outer cylinder 41b is covered with the quartz ball 41c placed on the upper surface of the tip portion 41e, about one third of the quartz balls 41c protrude from the outer cylinder 41b. In this state, the outer cylinder 41b is fixed to the core portion 41a together with the quartz ball 41c by pressing the coupling pin 41g into the through hole 41f penetrating the core portion 41d and the outer cylinder 41b. The lifting pin 41 is constituted. In addition, members other than the quartz ball 41c are metal.

고온 환경에서 견딜 수 있는 재료로는 석영이 적합하지만, 강도나 코스트를 고려하면 승강 핀(41)의 전체를 석영제로 하는 것은 곤란하다. 여기서, 상술한 것처럼 선단부의 석영 볼(41c)만을 석영제로 함으로써 코스트를 억제할 수 있다. 또, 석영은, 기판(W)의 재료인 단결정 실리콘보다 고도가 약간 낮기 때문에, 기판(W)의 하면을 손상할 우려가 낮고, 게다가, 구형상이므로 접촉 면적을 최소한으로 할 수 있다.Quartz is suitable as a material that can withstand a high temperature environment. However, considering the strength and cost, it is difficult to make the whole of the lifting pins 41 made of quartz. Here, the cost can be suppressed by making only the quartz ball 41c of the front end part made from quartz as mentioned above. In addition, since quartz is slightly lower in altitude than single crystal silicon, which is a material of the substrate W, there is a low risk of damaging the lower surface of the substrate W. Furthermore, quartz has a spherical shape, so that the contact area can be minimized.

하우징(13)은, 열처리 플레이트(7)의 상방을 덮고, 열처리 플레이트(7)에 의한 열처리 분위기를 형성한다. 하우징(13)은, 그 한쪽면에 반입 출구(43)가 형성되어 있다. 반입 출구(43)는, 열처리 플레이트(7)의 상면 부근의 높이 위치에서 위로 개구되어 있다. 반송 암(17)은, 이 반입 출구(43)을 통해 기판(W)의 반입출을 실시한다.The housing 13 covers the upper part of the heat treatment plate 7, and forms the heat treatment atmosphere by the heat treatment plate 7. The housing 13 is formed with a carry-out outlet 43 on one side thereof. The loading exit 43 is opened upward at a height position near the upper surface of the heat treatment plate 7. The conveyance arm 17 carries in and out of the board | substrate W through this carry-in exit 43. FIG.

반입 출구(43)에는, 셔터 유닛(15)이 부설되어 있다. 셔터 유닛(15)은, 구동 기구(45)와 셔터 본체(47)를 구비하고 있다. 구동 기구(45)는, 그 작동축의 부분이 상방으로 향해진 자세로, 일부가 수냉식 베이스 플레이트(5)에 밀착되어서 장착되어 있다. 작동축의 상부에는, 셔터 본체(47)가 연결되어 있다. 구동 기구(45)가 작동축을 신장시키면, 셔터 본체(47)가 상승되어 반입 출구(43)가 폐색 되고(도 1에 나타내는 실선), 구동 기구(45)가 작동축을 수축시키면, 셔터 본체(47)가 하강되어 반입 출구(43)가 개방된다(도 1에 나타내는 이점 쇄선).The shutter unit 15 is attached to the carry-in exit 43. The shutter unit 15 includes a drive mechanism 45 and a shutter body 47. The drive mechanism 45 is attached to the water-cooled base plate 5 with a part of the operation shaft facing upward. The shutter main body 47 is connected to the upper part of the operating shaft. When the drive mechanism 45 extends the operating shaft, the shutter main body 47 is raised, the carry-out outlet 43 is closed (solid line shown in FIG. 1), and when the drive mechanism 45 contracts the operating shaft, the shutter main body 47 ) Is lowered to open the carry-in outlet 43 (the dashed-dotted line shown in FIG. 1).

하우징(13)은, 그 천장면에 배기구(49)가 형성되어 있다. 배기구(49)는, 배기관(51)에 연통 접속되어 있다. 하우징(13)의 배기구(49)와 열처리 플레이트(7)의 상면의 간격은, 예를 들면, 30mm 정도이다. 배기관(51)은, 배기 설비(52)에 연통 접속되어 있다. 배기 설비(52)는, 외부로부터의 지시에 의해 배기 유량을 조정 가능하게 구성되어 있다. 배기관(51)의 일부에는, 압력 검출 유닛(53)이 배치되어 있다. 이 압력 검출 유닛(53)은, 배기관(51) 내의 배기 압력을 검출한다. 압력 검출 유닛(53)의 상세한 구성에 대해서는, 후술한다.The exhaust port 49 is formed in the ceiling surface of the housing 13. The exhaust port 49 is connected to the exhaust pipe 51. The interval between the exhaust port 49 of the housing 13 and the upper surface of the heat treatment plate 7 is, for example, about 30 mm. The exhaust pipe 51 is connected to the exhaust facility 52 in communication. The exhaust facility 52 is comprised so that adjustment of exhaust flow volume is possible by the instruction | indication from the exterior. The pressure detection unit 53 is disposed in a part of the exhaust pipe 51. This pressure detection unit 53 detects the exhaust pressure in the exhaust pipe 51. The detailed structure of the pressure detection unit 53 is mentioned later.

하우징(13)은, 배기관(51)의 상면을 따라서 시즈 히터(55)가 설치되어 있다. 이 시즈 히터(55)는, 하우징(13)이나 배기관(51)을 가열해, 승화물을 포함한 기체가 하우징(13)에 접촉했을 때에, 기체가 냉각되어 승화물이 하우징(13)의 내벽에 부착하는 것을 방지한다.The sheath heater 55 is provided in the housing 13 along the upper surface of the exhaust pipe 51. The sheath heater 55 heats the housing 13 and the exhaust pipe 51, and when the gas containing the sublimate contacts the housing 13, the gas is cooled, and the sublimation is formed on the inner wall of the housing 13. Prevents attachment.

제어부(61)는, 도시 생략된 CPU나 메모리로부터 구성되어 있다. 제어부(61)는, 열처리 플레이트(7)의 온도 제어, 가동 천판 유닛(9)의 승강 제어, 승강 핀 유닛(11)의 구동 제어, 셔터 유닛(15)의 개폐 제어, 시즈 히터(55)의 온도 제어, 압력 검출 유닛(53)에 근거하는 배기 설비(52)의 배기 제어 등을 실시한다. 또, 제어부(61)는, 가동 천판 유닛(9)의 승강 제어에 있어서의 하강 위치를 기판(W)에 따라 여러 가지로 조작할 수 있다. 예를 들면, 기판(W)마다의 처리 조건이나 순서를 규정한 레시피에 가동 천판(33)의 하강 위치를 규정하도록 해두어, 도시 생략된 지시부를 조작해서, 기판(W)의 표면으로부터의 가동 천판(33)의 거리에 상당하는 파라미터를 미리 레시피에 지시해 둔다. 제어부(61)는, 예를 들면, 기판(W)을 처리하는 데 있어서, 장치 오퍼레이터에 의해서 지시받은 기판(W)에 따른 레시피를 참조하여, 그 파라미터에 따라 승강기구(29)를 조작한다. 이에 의해, 기판(W)마다 가동 천판(33)의 하강 위치를 조정할 수 있다.The control part 61 is comprised from CPU and memory not shown. The control unit 61 controls the temperature of the heat treatment plate 7, the lift control of the movable top plate unit 9, the drive control of the lift pin unit 11, the opening and closing control of the shutter unit 15, and the sheath heater 55. Temperature control and exhaust control of the exhaust facility 52 based on the pressure detection unit 53 are performed. Moreover, the control part 61 can operate the fall position in the lifting control of the movable top plate unit 9 according to the board | substrate W in various ways. For example, the lowering position of the movable top plate 33 is defined in the recipe which defines the processing conditions and the order for each substrate W, and the indication part (not shown) is operated to operate from the surface of the substrate W. A parameter corresponding to the distance of the top plate 33 is instructed in the recipe in advance. The control part 61, for example, processes the board | substrate W, referring to the recipe concerning the board | substrate W instructed by the apparatus operator, and operates the lifting mechanism 29 according to the parameter. Thereby, the fall position of the movable top plate 33 can be adjusted for every board | substrate W. As shown in FIG.

여기서, 도 4~도 6을 참조하여, 압력 검출 유닛(53)의 상세한 구성에 대해 설명한다. 또한, 도 4는, 압력 검출 유닛을 나타내는 종단면도이며, 도 5는, 압력 검출 유닛을 배기관 내부에서 본 도이며, 도 6은, 압력 검출 유닛을 배기관 외부에서 본 도이다.Here, with reference to FIGS. 4-6, the detailed structure of the pressure detection unit 53 is demonstrated. 4 is a longitudinal sectional view which shows a pressure detection unit, FIG. 5 is the figure which looked at the pressure detection unit from inside an exhaust pipe, and FIG. 6 is the figure which looked at the pressure detection unit from outside the exhaust pipe.

압력 검출 유닛(53)은, 샘플링 포토(71)와, 측정관(73)과, 압력 센서(75)를 구비하고 있다.The pressure detection unit 53 is provided with the sampling port 71, the measuring tube 73, and the pressure sensor 75.

샘플링 포토(71)는, 배기관(51)의 내부와, 측정관(73) 및 압력 센서(75)를 연통 접속한다. 샘플링 포토(71)는, 구체적으로는 다음과 같이 구성되어 있다.The sampling port 71 connects the inside of the exhaust pipe 51 with the measurement tube 73 and the pressure sensor 75. The sampling port 71 is specifically comprised as follows.

샘플링 포토(71)는, 배기관(51)에 형성되어 배기관(51)의 내부에 연통된 배기관 개구부(77)에 장착되어 있다. 샘플링 포토(71)는, 블록체(79)와, 개구부(81)와, 장착구(83)와, 정류판(85)을 구비하고 있다.The sampling port 71 is formed in the exhaust pipe 51 and attached to the exhaust pipe opening 77 communicated with the inside of the exhaust pipe 51. The sampling photo 71 is provided with a block body 79, an opening 81, a mounting opening 83, and a rectifying plate 85.

블록체(79)는, 개구부(81)가 형성되어 있다. 블록체(79)는, 외관이 판형상을 나타내고, 중앙 부근에 개구부(81)가 형성되어 있다. 이 개구부(81)는, 블록체(79)의 표리면(도 4의 좌우면)에 관통하고 있다. 개구부(81)는, 도 4에 있어서의 우측의 내경이, 좌측의 내경보다 약간 크게 형성된 측정관 장착부(87)가 형성되어 있다. 블록체(79)의 표면(우측)에 있어서의 중앙 부근의 상하단에는, 장착구(83)를 위한 오목부(89)가 형성되어 있다. 오목부(89)에는, 장착구(83)가 장착되어 블록체(79)가 개구부(81)를 배기관 개구부(77)에 임하도록, 또한 블록체(79)가 배기관 개구부(77)를 덮도록 배기관(51)에 장착되어 있다. 장착구(83)는 예를 들면 육각 나사가 예시된다.In the block 79, an opening 81 is formed. The block body 79 has a plate-like appearance, and an opening 81 is formed near the center. The opening 81 penetrates the front and back surfaces (left and right surfaces in FIG. 4) of the block body 79. As for the opening part 81, the measurement tube mounting part 87 in which the inner diameter of the right side in FIG. 4 was slightly larger than the inner diameter of the left side is formed. At the upper and lower ends near the center on the surface (right side) of the block 79, recesses 89 for the mounting holes 83 are formed. The recessed part 89 is equipped with a mounting hole 83 so that the block body 79 faces the opening 81 to the exhaust pipe opening 77, and the block body 79 covers the exhaust pipe opening 77. It is attached to the exhaust pipe 51. The mounting holes 83 are exemplified by hexagonal screws, for example.

블록체(79)는, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향(도 4~도 6에 있어서 화살표로 나타낸다)에 있어서의 개구부(81)의 상류측으로부터 하류측에 걸쳐, 개구 부(81)를 넘도록 정류판(85)이 장착되어 있다. 정류판(85)은, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 연장선의 교점으로부터 개구부(81)를 보았을 경우에, 도 5에 나타내는 바와 같이, 개구부(81)가 보이지 않게 개구부(81)를 덮도록 배치되어 있다. 또한, 정류판(85)은, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향(도 4)으로, 배기관(51)의 내부에 개구부(81)가 연통하도록 설치되어 있다.The block body 79 is an opening portion 81 from an upstream side to a downstream side of the opening portion 81 in the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 (indicated by an arrow in FIGS. 4 to 6). ), The rectifying plate 85 is mounted. As shown in FIG. 5, when the rectifying plate 85 is viewed from the intersection of the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the extension line of the central axis of the opening 81, the opening 81 is shown. Is disposed so as to cover the opening 81. In addition, the rectifying plate 85 is an opening 81 inside the exhaust pipe 51 in a direction orthogonal to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the central axis of the opening 81. Is installed to communicate.

보다 구체적으로는, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과, 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향(도 4)에서 본 단면이 삼각형 형상을 나타낸다. 그리고, 그 꼭짓점이, 그 내각측을 개구부(81)에 대향하여 장착되어 있다. 즉, 정류판(85)은, 배기관(51)에 있어서의 개구부(81)를 기준으로 한 상류측으로부터 하류측으로 기체가 유하하는 축선상에 있어서의 시점으로부터 샘플링 포토(71) 측을 보았을 경우에 개구부(81)가 보이지 않게 되어 있다. 환언하면, 도 4에 나타내는 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과, 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 보았을 경우에는, 개구부(81)로 연통한 연통 공간(91)이 형성된다. 이 경우의 연통 공간(91)은, 그 종단면이 삼각형 형상을 나타내고, 도 4에 나타낸 방향에서 보았을 경우, 개구부(81)의 중심축까지는, 기체의 유통 방향에 있어서의 상류측으로부터 하류측을 향해 개구부(81)로부터 정류판(85)까지의 거리가 서서히 커진다.More specifically, the cross section seen from the direction orthogonal to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the center axis of the opening part 81 (FIG. 4) shows a triangular shape. The vertex is mounted so that its inner side is opposite to the opening portion 81. That is, when the rectifying plate 85 sees the sampling port 71 side from the viewpoint on the axis line in which gas flows from the upstream side to the downstream side with respect to the opening part 81 in the exhaust pipe 51 as a reference, The opening 81 is not visible. In other words, when viewed from the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 shown in FIG. 4 and the direction orthogonal to both of the central axis of the opening 81, the communication space 91 communicated with the opening 81 is formed. Is formed. In the case of the communication space 91 in this case, the longitudinal cross section shows a triangular shape, and when viewed from the direction shown in FIG. The distance from the opening 81 to the rectifying plate 85 gradually increases.

블록체(79)는, 측정관 장착부(87)에 측정관(73)의 일단측이 삽입된다. 측정관(73)은, 블록체(79) 중, 배기관(51)의 반대 측에 해당되는 면에 장착된 튜브 클램프(93)에 의해서 고정된다. 튜브 클램프(93)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 두갈래로 나누어진 클램프 편(93a, 93b)과, 그 사이에 형성된 클램프 구멍(93c)을 구비하고 있다. 클램프 편(93a, 93b)의 한쪽에만 나사식 결합된 클램프 나사(95)를 박음으로써, 클램프 편(93a, 93b)이 서로 접근하고, 클램프 구멍(93c)에 삽입되어 있는 측정관(73)의 외주면을 협지하여 측정관(73)을 고정한다. 또, 클램프 나사(95)를 느슨하게함으로써, 클램프 편(93a, 93b)이 서로 떨어져 클램프 구멍(93c)으로부터 측정관(73)의 외주면을 개방해, 측정관(73)을 떼어낼 수 있도록 되어 있다.The block body 79 has one end side of the measuring tube 73 inserted into the measuring tube mounting portion 87. The measuring tube 73 is fixed by the tube clamp 93 attached to the surface corresponding to the opposite side of the exhaust pipe 51 among the block bodies 79. As shown in FIG. 6, the tube clamp 93 is provided with the clamp piece 93a, 93b divided into two parts, and the clamp hole 93c formed between them. By clamping the clamp screw 95 screwed to only one side of the clamp pieces 93a and 93b, the clamp pieces 93a and 93b come into contact with each other and are inserted into the clamp holes 93c. The measuring tube 73 is fixed by sandwiching the outer circumferential surface. In addition, by loosening the clamp screw 95, the clamp pieces 93a and 93b are separated from each other to open the outer circumferential surface of the measuring tube 73 from the clamp hole 93c so that the measuring tube 73 can be removed. .

측정관(73)의 타단 측에는, 압력 센서(75)가 장착되어 있다. 압력 센서(75)는, 측정관(73)과, 개구부(81)와 연통 공간(91)을 통하여 배기관(51) 내에 있어서의 기체의 배기 압력을 측정한다. 압력 센서(75)에 의해서 측정된 배기 압력은, 제어부(61)로 부여된다.The pressure sensor 75 is attached to the other end side of the measurement tube 73. The pressure sensor 75 measures the exhaust pressure of the gas in the exhaust pipe 51 through the measuring tube 73, the opening 81, and the communication space 91. The exhaust pressure measured by the pressure sensor 75 is given to the control part 61.

또한, 상술한 튜브 클램프가 본 발명에 있어서의 「측정관 장착구」에 해당한다.In addition, the tube clamp mentioned above corresponds to the "measuring tube mounting opening" in this invention.

다음으로, 도 7 및 도 8을 참조하여, 상술한 구성의 기판 처리 장치에 의한 기판(W)의 처리에 대해 설명한다. 또한, 도 7은, 기판을 반입출하는 상태를 나타내는 종단면도이며, 도 8은, 기판을 가열하는 상태를 나타내는 종단면도이다.Next, with reference to FIG.7 and FIG.8, the process of the board | substrate W by the substrate processing apparatus of the structure mentioned above is demonstrated. 7 is a longitudinal cross-sectional view which shows the state which carries in / out a board | substrate, and FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view which shows the state which heats a board | substrate.

우선, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제어부(61)는, 가동 천판 유닛(9)을 조작하여, 가동 천판(33)을 상승 위치에 이동시킨다. 또한, 제어부(61)는, 승강 핀 유닛(11)을 조작하여, 3개의 승강 핀(41)을 수도 위치로 상승시킨다. 이러한 조작과 더불어, 제어부(61)는, 셔터 유닛(15)을 조작하여, 반입 출구(43)를 개방시킨다.First, as shown in FIG. 7, the control part 61 operates the movable top plate unit 9, and moves the movable top plate 33 to a raise position. Moreover, the control part 61 operates the lifting pin unit 11, and raises the three lifting pins 41 to a water supply position. In addition to such an operation, the control unit 61 operates the shutter unit 15 to open the carry-in outlet 43.

그리고, 제어부(61)는, 반송 암(17)을, 수도 위치보다 높고, 또한, 상승 위치의 가동 천판의 하면보다 낮은 위치로 한 상태에서, 반입 출구(43)로부터 진입시켜, 열처리 플레이트(7)의 상방으로 반송 암(17)을 하강시킨다. 이에 의해, 기판(W)이 수도 위치에 있는 승강 핀(41)으로 건네진다. 그리고, 반송 암(17)을 반입 출구(43)로부터 퇴출시키는 것과 더불어, 셔터 유닛(15)을 조작해, 반입 출구(43)를 폐색시킨다.And the control part 61 makes the conveyance arm 17 enter from the carrying-in outlet 43 in the state which made the conveyance arm 17 higher than the water supply position, and lower than the lower surface of the movable top plate of a raised position, and heat-processed plate 7 ), The transfer arm 17 is lowered. Thereby, the board | substrate W is passed to the lifting pin 41 in a water position. Then, the transport arm 17 is removed from the carry-in outlet 43, and the shutter unit 15 is operated to close the carry-in outlet 43.

다음으로, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제어부(61)는, 승강 핀 유닛(11)을 조작해, 3개의 승강 핀(41)을 처리 위치에 하강시킨다. 이에 의해 기판(W)에 대해서 400℃에 의한 가열 처리가 실시된다. 제어부(61)는, 레시피를 참조해, 규정된 가열 시간에 걸쳐서 가열 처리를 실시하게 한다.Next, as shown in FIG. 8, the control unit 61 operates the lift pin unit 11 to lower the three lift pins 41 to the processing position. Thereby, the heat processing by 400 degreeC is performed with respect to the board | substrate W. As shown in FIG. The control unit 61 causes the heat treatment to be performed over a prescribed heating time with reference to the recipe.

제어부(61)는, 소정의 가열 시간이 경과하면, 가동 천판 유닛(9) 및 승강 핀 유닛(11)을 조작하여, 가동 천판(33)을 상승 위치로 상승시킴과 함께, 승강 핀(41)을 수도 위치로 상승시킨다. 다음으로, 제어부(61)는, 셔터 유닛(15)을 조작해, 반입 출구(43)를 개방시킨다. 또한, 제어부(61)는, 반송 암(17)을, 수도 위치보다 하방, 또한, 열처리 플레이트(7)의 상면보다 상방의 높이로부터 반입 출구(43)로 진입시킨다. 그리고, 반송 암(17)을 수도 위치보다 높고, 또한, 가동 천판(33)의 하면보다 낮은 위치로 상승시킴으로써, 처리 완료의 기판(W)을 반송 암(17)이 승강 핀(41)으로부터 받아들인다. 다음으로, 반송 암(17)을 반입출(43)로부터 퇴출시킴으로써, 처리 완료의 기판(W)을 반출시킨다. 또한, 제어부(61)는, 상술한 처리 내내, 압력 검출 유닛(53)에서 검출된 배기관(51) 내의 배기 압력에 근거해 배기 설비(52)를 조작해, 처리 상황에 따라 배기관(51) 내의 배기 유량을 소정의 값이 되도록 제어한다.When the predetermined heating time elapses, the control unit 61 operates the movable top plate unit 9 and the elevating pin unit 11 to raise the movable top plate 33 to the raised position, and the elevating pin 41. To the water position. Next, the control part 61 operates the shutter unit 15 to open the carry-in exit 43. In addition, the control part 61 makes the conveyance arm 17 enter into the carry-in exit 43 from the height above the upper surface of the heat treatment plate 7, and below the water supply position. And the conveyance arm 17 receives the processed board | substrate W from the lifting pin 41 by raising the conveyance arm 17 to the position higher than a water supply position, and lower than the lower surface of the movable top plate 33. It is. Next, the conveyance arm 17 is removed from the carrying in and out 43 to carry out the processed substrate W. Then, as shown in FIG. Moreover, the control part 61 operates the exhaust installation 52 based on the exhaust pressure in the exhaust pipe 51 detected by the pressure detection unit 53 throughout the process mentioned above, and operates in the exhaust pipe 51 according to the process situation. The exhaust flow rate is controlled to be a predetermined value.

상기 일련의 동작에 의해 한 장의 기판(W)에 대한 열처리가 완료되었지만, 새로운 기판(W)을 처리할 때에는, 제어부(61)는, 예를 들면, 장치 오퍼레이터에 의해서 지시받은 레시피를 참조해, 가동 천판 유닛(9)에 의한 가동 천판(33)의 상승 위치를 레시피에서 지시받은 것으로 할 수 있다.Although the heat treatment of one board | substrate W is completed by the said series of operation | movement, when processing the new board | substrate W, the control part 61 refers to the recipe instructed by the apparatus operator, for example, The rising position of the movable top plate 33 by the movable top plate unit 9 can be assumed to be indicated by the recipe.

본 실시예에 의하면, 샘플링 포토(71)는, 배기관(51)의 배기관 개구부(77)에 설치되며, 배기관(51) 내의 배기 압력이, 샘플링 포토(71)를 통하여 장착되어 있는 압력 센서(75)에 의해 측정된다. 이 샘플링 포토(71)는, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 연장선의 교점으로부터 개구부를 보았을 경우, 개구부가 보이지 않도록 개구부를 덮는 정류판(85)을 구비하고 있다. 이 정류판(85)은, 또한, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 배기관(51)의 내부에 개구부(81)가 연통하도록 설치되어 있으므로, 배기 압력을 압력 센서(75)로 측정할 수 있다. 따라서, 기체에 포함되어 있는 승화물은, 정류판(85)의 상류 측에는 부착하여 퇴적하지만, 개구부(81)에 퇴적하여 개구부(81)를 폐색하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 승화물을 포함한 기체여도, 배기관(51) 내의 배기 압력을 정확하게 측정할 수 있다.According to the present embodiment, the sampling port 71 is provided in the exhaust pipe opening 77 of the exhaust pipe 51, and the pressure sensor 75 in which the exhaust pressure in the exhaust pipe 51 is mounted via the sampling port 71. Is measured by The sampling port 71 includes a rectifying plate 85 that covers the opening so that the opening is not visible when the opening is viewed from the intersection of the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the extension line of the central axis of the opening 81. Doing. The rectifying plate 85 is further provided so that the opening portion 81 communicates with the inside of the exhaust pipe 51 in a direction orthogonal to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the central axis of the opening 81. As a result, the exhaust pressure can be measured by the pressure sensor 75. Therefore, the sublimate contained in the base adheres and deposits on the upstream side of the rectifying plate 85, but can be prevented from being deposited in the opening 81 to block the opening 81. As a result, even if it is a gas containing sublimation, the exhaust pressure in the exhaust pipe 51 can be measured accurately.

또한, 본 실시예에 의한 정류판(85)에 의해, 다음의 효과를 얻을 수 있다.In addition, the following effects can be obtained by the rectifying plate 85 according to the present embodiment.

즉, 개구부(81)에 대향하는 배기관(51) 내에는, 정류판(85)이 삼각 지붕과 같이 배치되어 그 경사면이 기체의 유통 방향에 접한 자세로 되어있다. 따라서, 배기에 포함되는 승화물은 주로 그 상류 및 하류에 접한 경사면에 부착하여 퇴적한다. 또, 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 개구부(81)가 배기관(51)에 연통하고 있으므로, 샘플링 포토(71)를 통하여 압력 센서(75)가 정확하게 배기 압력을 측정할 수 있다.That is, in the exhaust pipe 51 which opposes the opening 81, the rectifying plate 85 is arranged like a triangular roof, and its inclined surface is in a posture in contact with the gas flow direction. Therefore, the sublimation contained in the exhaust mainly adheres and deposits on the inclined surfaces in contact with the upstream and downstream thereof. Moreover, since the opening part 81 communicates with the exhaust pipe 51 in the direction orthogonal to both the gas flow direction and the central axis of the opening part 81, the pressure sensor 75 accurately exhausts the pressure through the sampling port 71. Can be measured.

또, 장착구(83)를 벗기면, 배기관(51)으로부터 블록체(79)를 정류판(85) 마다 떼어낼 수 있으므로, 정류판(85)이나 개구부(81)에 승화물이 부착하고 있어도 메인터넌스에 의해 용이하게 제거할 수 있다. 따라서, 정기적인 메인터넌스를 실시함으로써, 장기간에 걸쳐서 배기 압력의 정밀도를 유지할 수 있다. 또한, 튜브 클램프(93)를 느슨하게하면, 측정관(73)을 블록체(79)로부터 떼어낼 수 있으므로, 승화물이 측정관(73)의 내부에 부착하고 있어도 메인터넌스에 의해 용이하게 제거할 수 있다. 따라서, 정기적인 메인터넌스를 실시함으로써, 장기간에 걸쳐서 배기 압력의 정밀도를 유지할 수 있다.In addition, if the mounting hole 83 is removed, the block body 79 can be removed from the exhaust pipe 51 for each of the rectifying plates 85, so that even if a sublimation adheres to the rectifying plate 85 or the opening 81, maintenance is possible. It can be easily removed by. Therefore, by performing periodic maintenance, the accuracy of exhaust pressure can be maintained over a long period of time. In addition, when the tube clamp 93 is loosened, the measuring tube 73 can be detached from the block body 79, so that even if the sublimation is attached to the inside of the measuring tube 73, it can be easily removed by maintenance. have. Therefore, by performing periodic maintenance, the accuracy of exhaust pressure can be maintained over a long period of time.

＜제1 변형예＞<1st modification>

여기서, 도 9를 참조하여, 상술한 정류판(85)의 다른 실시예에 대해 설명한다. 또한, 도 9는, 정류판의 제1 변형예를 나타내는 종단면도이다.9, another embodiment of the above-mentioned rectifying plate 85 will be described. 9 is a longitudinal cross-sectional view showing a first modification of the rectifying plate.

이 정류판(85A)은, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 연장선의 교점으로부터 개구부(81)를 보았을 경우, 개구부(81)가 보이지 않도록 개구부(81)를 덮는다. 또한, 이 정류판(85A)은, 배기관(51)에 있어서의 기체의 유통 방향과 개구부(81)의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향뿐만이 아니라, 배기관(51)의 기체의 유통 방향에 있어서의 개구부(81)보다 하류측에서도 배기관(51)의 내부에 개구부(81)가 연통하도록 설치되어 있다. 환언하면, 정류판(85A)는, 배기관(51)의 벽면으로부터 서서히 배기관(51)의 중심 측을 향해 경사면이 벌어지도록 형성되어 있다. 그 하류측의 단부는, 개구부(81)의 하류측의 주연부보다 하류 측에 연장되어 있다. 이러한 정류판(85A)은, 상술한 정류판(85)보다 간단하고 쉬운 구성으로 할 수 있으면서도, 상술한 실시예와 마찬가지로, 승화물이 개구부(81)에 퇴적하여 개구부(81)를 폐색하는 것을 억제할 수 있다.The rectifying plate 85A has an opening 81 so that the opening 81 is not visible when the opening 81 is viewed from the intersection of the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the extension line of the central axis of the opening 81. To cover. The rectifying plate 85A is not only a direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe 51 and the central axis of the opening 81, but also an opening in the flow direction of the gas of the exhaust pipe 51. It is provided so that the opening part 81 may communicate in the inside of the exhaust pipe 51 also downstream from the 81 side. In other words, 85 A of rectifying plates are formed so that the inclined surface may spread toward the center side of the exhaust pipe 51 gradually from the wall surface of the exhaust pipe 51. The downstream end portion extends downstream from the peripheral portion on the downstream side of the opening 81. The rectifying plate 85A can have a simpler and easier configuration than the above-mentioned rectifying plate 85, and similarly to the above-described embodiment, the sublimation deposits on the opening 81 to close the opening 81. It can be suppressed.

＜제2 변형예＞<2nd modification>

여기서, 도 10을 참조하여, 상술한 정류판(85, 85A)의 다른 실시예에 대해 설명한다. 또한, 도 10은, 정류판의 제2 변형예를 나타내는 종단면도이다.10, another embodiment of the above-described rectifying plates 85 and 85A will be described. 10 is a longitudinal cross-sectional view showing a second modification of the rectifying plate.

이 정류판(85B)은, 배기관(51)의 기체의 유통 방향에 있어서의 개구부(81)보다 하류측만이 배기관(51)의 내부에 개구부(81)가 연통하도록 설치되어 있다. 이 정류판(85B)은, 배기의 하류측에만 개구한 후드형상에 형성되어 있다. 이러한 정류판(85B)은, 상술한 실시예와 마찬가지로, 개구부(81)에 승화물이 퇴적하여 개구부(81)를 폐색하는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 경사면이 측면의 판형상 부재로 지지되어 있으므로, 기계적 강도를 높게 할 수 있다.This rectifying plate 85B is provided so that the opening part 81 may communicate in the inside of the exhaust pipe 51 only downstream from the opening part 81 in the flow direction of the gas of the exhaust pipe 51. The rectifying plate 85B is formed in a hood shape which is opened only on the downstream side of the exhaust. As in the above-described embodiment, the rectifying plate 85B can suppress the sublimation deposited on the opening 81 to block the opening 81. In addition, since the inclined surface is supported by the side plate-like member, the mechanical strength can be increased.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiment and can be modified as follows.

(1) 상술한 실시예에서는, 가동 천판(33)을 구비하고 있지만, 본 발명은 이 구성을 구비할 필요는 없다. 즉, 열처리 분위기를 형성하는 하우징(13) 내의 기체를 배기하기 위한 배기관(51)을 구비하고, 그 배기 압력을 검출하는 기판 처리 장치이면 본 발명을 적용할 수 있다.(1) In the above-described embodiment, the movable top plate 33 is provided, but the present invention does not need to include this configuration. That is, if the exhaust pipe 51 for exhausting the gas in the housing 13 which forms a heat processing atmosphere is provided, and it is a substrate processing apparatus which detects the exhaust pressure, this invention can be applied.

(2) 상술한 실시예에서는, 장착구(83)에 의해 블록체(79)를 배기관(51)에 착탈 가능하게 구성했지만 본 발명은 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 블록체(79)로 배기관(51)을 드로우 래치(draw latch)로 착탈 가능하게 구성해도 된다. 또, 샘플링 포토(71)를 배기관(51)의 일부에 고정적으로 장착하는 구성으로 해, 배기관(51)의 일부를 배기관(51)에 착탈 가능하게 하는 구성으로 해도 된다.(2) In the above-described embodiment, the block 79 is detachably attached to the exhaust pipe 51 by the mounting holes 83, but the present invention is not limited to such a configuration. For example, the exhaust pipe 51 may be detachably formed by a draw latch with the block 79. The sampling port 71 may be fixed to a part of the exhaust pipe 51, and a part of the exhaust pipe 51 may be detachably attached to the exhaust pipe 51.

(3) 상술한 실시예에서는, 블록체(79)에 대해서 측정관(73)을 튜브 클램프(93)에 의해 착탈 가능한 구성으로 했다. 그러나, 본 발명은 튜브 클램프(93)를 필수로 하는 것은 아니다. 예를 들면, 블록체(79)에 측정관(73)을 제외할 수 없게 장착하도록 해도 된다.(3) In the above-mentioned embodiment, the measurement tube 73 was attached to and detached from the block body 79 by the tube clamp 93. However, the present invention does not require the tube clamp 93. For example, you may make it mount | wear so that the measuring pipe 73 cannot be removed from the block body 79. FIG.

1, 1A…기판 처리 장치
W…기판
3…하부 베이스 플레이트
5…수냉식 베이스 플레이트
7…열처리 플레이트
9…가동 천판 유닛
11…승강 핀 유닛
13…하우징
15…셔터 유닛
29…승강기구
33…가동 천판
35…개구
37…구동 기구
41…승강 핀
43…반입 출구
47…셔터 본체
51…배기관
53…압력 검출 유닛
61…제어부
71…샘플링 포토
73…측정관
75…압력 센서
77…배기관 개구부
79…블록체
81…개구부
83…장착구
85, 85A, 85B…정류판
87…측정관 장착부
93…튜브 클램프1, 1A... Substrate processing equipment
W… Board
3... Lower base plate
5... Water-cooled base plate
7... Heat treatment plate
9... Movable top plate unit
11... Lifting pin unit
13... housing
15... Shutter unit
29... Lifting mechanism
33.. Movable top plate
35... Opening
37... Drive mechanism
41... Lifting pin
43.. Import exit
47... Shutter body
51... vent pipe
53... Pressure detection unit
61... Control
71... Sampling photo
73... Measuring tube
75... Pressure sensor
77... Exhaust pipe opening
79... Block
81... Opening
83... Mounting Hole
85, 85A, 85B... Rectifying plate
87... Measuring tube mounting
93... Tube clamps

Claims (5)

기판에 대해서 열처리를 실시하는 기판 처리 장치에 있어서,
기판을 재치(載置)하여, 기판을 가열하는 열처리 플레이트와,
상기 열처리 플레이트의 상방을 덮어, 열처리 플레이트에 의한 열처리 분위기를 형성하는 하우징과,
상기 하우징 내의 기체를 배기하는 배기관과,
상기 배기관에 형성되며, 상기 배기관의 내부에 연통한 배기관 개구부와,
상기 배기관 개구부에 설치되며, 상기 배기관 내의 배기 압력을 검출하기 위한 샘플링 포트와,
상기 샘플링 포트를 통하여 배기 압력을 측정하는 압력 센서를 구비하고,
상기 샘플링 포트는,
상기 배기관 개구부에서 상기 배기관의 내부에 연통한 개구부와,
상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 연장선의 교점으로부터 상기 개구부를 보았을 경우, 상기 개구부가 보이지 않도록 상기 개구부를 덮는 것과 더불어, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향, 상기 배기관의 기체의 유통 방향에 있어서의 상기 개구부보다 하류측의 적어도 한쪽에서 상기 배기관의 내부에 상기 개구부가 연통하도록 설치된 정류판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.In the substrate processing apparatus which heat-processes a board | substrate,
A heat treatment plate for placing the substrate and heating the substrate;
A housing covering an upper portion of the heat treatment plate to form a heat treatment atmosphere by the heat treatment plate;
An exhaust pipe for exhausting gas in the housing;
An exhaust pipe opening formed in the exhaust pipe and communicating with the inside of the exhaust pipe;
A sampling port provided in the exhaust pipe opening for detecting exhaust pressure in the exhaust pipe;
A pressure sensor for measuring exhaust pressure through the sampling port,
The sampling port is
An opening communicating with the inside of the exhaust pipe from the exhaust pipe opening;
When the opening is viewed from the intersection of the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the extension line of the central axis of the opening, the opening is covered so that the opening is invisible, and the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the opening. And a rectifying plate provided so that the opening communicates with the inside of the exhaust pipe at least on one downstream side of the opening in the direction orthogonal to both of the central axes of the gas distribution direction of the exhaust pipe. Processing unit. 청구항 1에 있어서,
상기 정류판은, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 보았을 경우에, 상기 배기관의 상류측으로부터 하류측을 향해 서서히 상기 개구부로부터의 거리가 커지는 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
The rectifying plate is an inclined surface in which the distance from the opening gradually increases from the upstream side to the downstream side of the exhaust pipe when viewed from the direction perpendicular to both the flow direction of the gas in the exhaust pipe and the central axis of the opening. Substrate processing apparatus having a. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 정류판은, 상기 배기관에 있어서의 기체의 유통 방향과, 상기 개구부의 중심축의 양쪽에 직교하는 방향에서 본 단면이 삼각형 형상을 나타내고, 그 꼭짓점이, 그 내각측을 상기 개구부에 대향해서 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rectifying plate has a triangular cross section viewed from the flow direction of the gas in the exhaust pipe and in a direction orthogonal to both of the central axis of the opening, and a vertex thereof is mounted so that its inner side faces the opening. The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 1에 있어서,
상기 개구부가 형성된 블록체와,
상기 배기관 개구부에 상기 개구부가 임하도록 하여, 상기 블록체를 상기 배기관에 착탈 가능하게 장착하는 장착구를 구비하고,
상기 정류판은, 상기 블록체의 상기 배기관 개구부측에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
A block body in which the opening is formed,
It is provided with the mounting opening which mounts the said block body to the said exhaust pipe so that the said opening may come in the said exhaust pipe opening,
The said rectifying plate is attached to the said exhaust pipe opening side of the said block body, The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 4에 있어서,
상기 블록체는, 상기 개구부의 반대면에, 상기 개구부에 연통한 측정관 장착부가 형성되어 있는 것과 더불어,
상기 블록체의 상기 측정관 장착부에 일단측이 배치되고, 타단측에 상기 압력 센서가 배치된 측정관과,
상기 측정관의 일단측을 상기 측정관 장착부에 착탈 가능하게 장착하는 측정관 장착구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 4,
The block body is provided with a measuring tube mounting portion communicating with the opening portion on an opposite surface of the opening portion.
A measuring tube having one end side disposed at the measuring tube mounting portion of the block body and the pressure sensor disposed at the other end thereof;
And a measuring tube mounting hole for detachably attaching one end side of the measuring tube to the measuring tube mounting portion.
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