KR20190103427A

KR20190103427A - 지그

Info

Publication number: KR20190103427A
Application number: KR1020197024184A
Authority: KR
Inventors: 아키히로 슈토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2017-02-07
Filing date: 2018-02-06
Publication date: 2019-09-04
Also published as: EP3581944A1; TW201835578A; KR102157780B1; WO2018147246A1; CN110268274B; JP6961351B2; US10962568B2; CN110268274A; JP2018128301A; TWI644105B; US20200025800A1; EP3581944A4

Abstract

특별한 유지 장치를 사용하지 않고 전기적 접속 장치로부터의 프로브 헤드의 분리 및 장착을 가능하게 하는 지그를 제공한다. 지그(50)는, 피검사체와 그 검사 장치를 전기적으로 접속하는 전기적 접속 장치(10)에 적용된다. 전기적 접속 장치는 배선기판(22)과 배선기판에 복수의 고정 나사(26)로 고정된, 자성체로 이루어진 복수의 프로브(34)를 포함하는 프로브 헤드(28)를 구비한다. 지그(50)는, 플레이트 (52)와, 플레이트에 장착된 자석(54)을 구비한다. 플레이트는 프로브 헤드에 대해 착탈 자유롭게 장착 가능하며, 자석은 프로브의 하단부(34b)에 대향한다.

Description

지그

본 발명은, 전기적 접속 장치에 적용되는 지그(JIG)에 관한 것이다.

본 발명의 적용 대상인 전기적 접속 장치는, 배선 기판과, 그 배선 기판에 장착된 프로브 헤드(probe head)를 구비한다. 수직형 프로브 카드에 사용되는 프로브 헤드는, 상하 양단부 및 이들 사이의 중간부를 갖는 자성체로 이루어지는 복수의 프로브와, 그 프로브를 지지하는 지지체를 구비한다. 지지체는 서로 평행한 상판(上板) 및 하판(下板)을 구비하고, 상판은 각 프로브의 하단부, 중간부 및 상단부의 삽통(揷通)을 허락하는 구멍(穴)을 가지며, 또 하판은 각 프로브의 하단부의 삽통을 허락하지만 그 중간부의 삽통을 저지하는 구멍을 갖는다.

그런데, 프로브 헤드의 프로브에는, 그 사용 양태에서, 마모, 절곡, 절손, 도전(導電) 불량 등이 발생하여, 그 교체를 위해 프로브 헤드가 전기적 접속 장치에서 분리된다. 전기적 접속 장치에서 분리된 프로브 헤드에 있어서는, 각 프로브가 그 축선 방향으로의 이동 및 이에 따른 지지체의 하판의 구멍에서의 각 프로브의 하단부의 빠짐이 가능한 상태에 놓인다. 이 때문에 프로브 헤드의 분리 및 프로브 교체 후의 장착(재설치)은, 프로브 헤드가 위아래가 거꾸로 되지 않도록 위아래를 유지한 상태로 이루어진다. 그러나, 전기적 접속 장치는, 제품에 따라서는, 예를 들어 10kg을 초과하는 장치도 있기 때문에, 프로브 헤드의 분리 및 재설치는 전기적 접속 장치를 특별한 유지 장치로 유지한 상태로 수행할 필요가 있었다.

일본 특허공개공보 제2016-80657호

본 발명은, 특별한 유지장치를 사용하지 않고 전기적 접속 장치로부터의 프로브 헤드의 분리 및 재설치를 가능하게 하는 지그를 제공한다.

본 발명은, 피검사체와 상기 피검사체의 검사장치를 전기적으로 접속하는 전기적 접속 장치에 적용되는 지그에 관한 것이다. 본 발명의 적용 대상인 상기 전기적 접속 장치는, 배선기판과, 상기 배선기판의 상기 피검사체에 대향하는 면에 복수의 고정 나사로 고정된 프로브 헤드를 구비한다. 상기 프로브 헤드는, 상하 양단부 및 이들 사이의 중간부를 갖는 자성체로 이루어지는 복수의 프로브와, 상기 복수의 프로브를 지지하는 지지체를 갖는다. 상기 지지체는, 서로 평행한 상판 및 하판을 가지며, 상기 상판이 각 프로브의 하단부, 중간부 및 상단부가 순차적으로 통과시켜진 구멍을 갖고, 상기 하판이, 각 프로브의 하단부가 통과시켜지고 또 그 중간부가 그 통과를 저지받는 구멍을 갖는다. 본 발명에 관련한 지그는, 플레이트와, 상기 플레이트에 장착된 자석을 구비한다. 상기 플레이트는 상기 지지체에 설치된 복수의 나사 구멍에 대응하는 복수의 구멍을 갖고, 이들 복수의 구멍을 통해서 상기 나사 구멍에 조여지는 복수의 나사를 통해서 상기 프로브 헤드에 대해 착탈 자유롭게 장착할 수 있으며, 상기 자석은 상기 프로브의 하단부에 대향한다.

본 발명에 관련한 지그를 사용해서 행하는 상기 전기적 접속 장치의 프로브 헤드의 프로브의 교체 작업시에는, 우선, 상기 전기적 접속 장치를 그 프로브 헤드가 위가 되도록 두고, 상기 배선 기판으로부터 상기 프로브 헤드를 떼어낸다. 보다 상세하게는, 상기 복수의 고정 나사를 풀고 이들을 꺼내어 상기 배선 기판에 대한 상기 프로브 헤드의 고정을 해제한다. 그 후, 상기 지그를 상기 프로브 헤드 상에 배치하고, 이어서 상기 프로브 헤드에 상기 지그를 장착한다. 상기 지그의 장착은, 상기 플레이트의 복수의 구멍을 통해서 상기 지지체에 설치된 복수의 나사 구멍에 복수의 나사를 조임으로써 수행할 수 있다. 이때 상기 지그의 자석이 복수의 프로브의 하단부에 대향한다. 이에 따라, 상기 프로브는 상기 자석의 자기 흡착력을 받아서 상기 플레이트를 향해서 끌어당겨진 상태, 즉 상기 지지체에 대한 상기 프로브의 축선 방향으로의 상대 이동과, 이에 따른 상기 프로브의 하단부의 상기 지지체의 하판의 구멍으로부터의 빠져나옴이 저지된 상태에 놓인다. 그 후, 상기 프로브 헤드의 위아래를 맞춘 상태에서 상기 프로브 헤드로부터 상기 지그를 분리하여, 프로브의 교체 작업을 행할 수 있다. 또한, 프로브가 교체된 후의 프로브 헤드는, 상술한 분리의 공정(detaching procedure)을 반대로 함으로써 상기 배선 기판에 다시 설치할 수 있다. 이에 따라, 상기 전기적 접속 장치의 유지 장치를 사용한 상기 프로브 헤드의 분리 및 설치를 필요로 하지 않을 수 있다.

상기 플레이트는, 상기 복수의 고정 나사(set screws)에 각각 대응하는 복수의 구멍을 갖는 것으로 할 수 있다. 이에 따르면, 상기 지그를 상기 프로브 헤드에 장착한 후, 상기 고정 나사에 대응하는 상기 플레이트의 구멍에 드라이버(screwdriver)의 선단부를 끼워넣고 상기 고정 나사를 풀고, 상기 고정 나사에 대응하는 상기 구멍을 통해서 상기 고정 나사를 제거할 수 있으며, 이에 따라 상기 배선 기판에 대한 상기 프로브 헤드의 고정을 해제할 수 있다. 상기 자석은 영구 자석 및 전자석 중 어느 것이어도 좋다. 상기 프로브는, 예를 들면 배럴(barrel)이며 그 축선 방향으로 신축 가능한 스프링부를 갖는 배럴과, 그 배럴 내에 배치되고 상기 배럴에 고정된 본체 및 상기 배럴 밖으로 돌출하는 선단부로 구성된 플런저(plunger)를 구비한다. 상기 배럴이 상기 프로브의 상단부 및 중간부를 규정하고, 상기 플런저의 선단부가 상기 프로브의 하단부를 규정한다.

도 1은, 피검사체와 전기적 접속 장치를 도시하는 개략도이고,
도 2는, 전기적 접속 장치에서의 프로브 헤드의 개략적인 단면도이고,
도 3은, 프로브의 단면도이고,
도 4의 (a), (b) 및 (c)는, 지그와, 그 지그를 이용하여 전기적 접속 장치에서 프로브 헤드를 분리하는 공정을 나타내는 사시도이고,
도 5는, 위아래가 거꾸로 된 프로브 헤드의 하판, 상판 및 복수의 프로브와, 지그의 자석과의 위치 관계를 도시하는 개략도이고,
도 6은, 얼라인먼트용 링을 통해서 배선기판에 장착된, 위아래가 거꾸로 된 상태에 있는 프로브 헤드의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 관련한 지그(50)(후술의 도 4를 참조)의 적용 대상인 전기적 접속 장치가 전체로 부호 10으로 도시되어 있다. 전기적 접속 장치(10)는, 웨이퍼, 프린트 배선 기판 등으로 이루어지는 피검사체(A)와, 예를 들면 피검사체(A)의 전기적 특성이나 통전 상태를 조사하기 위한 검사를 행하는 검사 장치(미도시)를 전기적으로 접속하는 작용을 이룬다. 피검사체(A)의 상기 검사는, 상기 검사 장치에서 전기적 접속 장치(10)를 통해서 피검사체(A)에 전류 또는 전기 신호를 공급하고, 피검사체(A)에서 전기적 접속 장치(10)를 통해서 상기 검사 장치로 돌아가는 귀환 전류 또는 귀환 전기 신호를 검출함으로써 이루어진다.

피검사체(A)는, 전기적 접속 장치(10)를 지지하기 위해 준비된 지지 프레임 (12) 내에 배치되어 있다. 지지 프레임(12)은, 하(下)베이스 부재(14)와, 그 하 베이스 부재의 상방에 이와 평행하게 배치된 상(上) 베이스 부재(16)와, 상 베이스 부재(16)를 하 베이스 부재(14) 위에 지지하는 복수의 지주(支柱)(18)를 구비한다. 전기적 접속 장치(10)는, 유지 부재(holding member)(20)를 통해서 상 베이스 부재(16)에 유지되어 있다. 상 베이스 부재(16)는 그 중앙부에 설치된 개구(16a)를 가지고, 유지 부재(20)는 그 일부에 있어서 상 베이스 부재(16)의 개구(16a)에 감합한다. 유지 부재(20)도 또한 그 중앙부에 개구(20a)를 갖는다.

전기적 접속 장치(10)는, 서로 상대(相對)하는 양면(22a,22b)을 갖는 배선기판(22)과, 배선기판(22)의 면(22b) 즉 피검사체(A)에 대향하는 면(22b)에 복수(도시 예에서는 4개)의 고정 나사(26)로 고정된, 이른바 수직형의 프로브 헤드(28)를 구비한다. 도시의 프로브 헤드(28)는 직사각형의 평면 형상을 가지며, 전기적 접속 장치(10)를 유지하는 유지 부재(20)의 개구(20a) 내에 받아들여진다.

피검사체(A)는, 전기적 접속 장치(10)의 프로브 헤드(28)의 바로 아래에 있고, 하 베이스 부재(14) 상에 배치된 스테이지(30) 상의 척(chuck)(32)에 유지되어 있다. 스테이지(30)는, 프로브 헤드(28)에 대한 피검사체(A)의 위치 결정을 위해 척(32)에 유지된 피검사체(A)를 평면상의 서로 직교하는 2방향(X와 Y 방향) 또는 상하 방향(Z방향)으로 이동시키거나 혹은 스테이지(30)의 축을 중심으로(around the axis) 회전시키는 기능을 갖는다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 프로브 헤드(28)는 자성체(예를 들면 강자성체 인 니켈소재)로 이루어진 복수의 프로브(34)와, 이들의 프로브(34)를 상하 방향으로 수직으로 지지하는 지지체(36)를 구비한다. 각 프로브(34)는 서로 상대하는 상단부(34a)와, 하단부(34b)와, 상단부(34a) 및 하단부(34b) 사이에 있고 이들에 이어지는 중간부(34c)를 갖는다.

프로브(34)를 지지하는 지지체(36)는, 서로 평행한 상판(38) 및 하판(40)을 갖는다. 도시의 예에서는, 상판(38) 및 하판(40)은 이들의 중앙부에 각각 설치되어 하방 및 상방에 각각 개방하는 오목부(凹所)(38a,40a)를 갖는다. 또한, 상판(38) 및 하판(40)은, 각각 이들을 관통하고 이들의 오목부(38a,40a)에 각각 이어지는 복수의 구멍(38b,40b)을 갖는다. 여기에서, 구멍(38b)은 프로브(34)의 상단부(34a), 하단부(34b) 및 중간부(34c) 각각의 직경보다 큰 직경을 가지며, 또한 구멍(40b)은 프로브(34)의 하단부(34b)의 직경보다 크며 상단부(34a) 및 중간부(34c) 각각의 직경보다 작은 직경을 갖는다. 도시의 예에 있어서는, 또한 상판(38), 및 하판(40)의 사이에 판상의 스페이서(spacer)(42)가 배치되어 있다. 스페이서(42)는 그 중앙부에 형성되고 그 중앙부를 관통하고 상판(38) 및 하판(40)의 오목부(38a,40a)로 이어지는 구멍(42a)을 갖는다.

도시의 예에 있어서, 프로브 헤드(28)는, 얼라인먼트용 링(58)(도 4, 도 6)을 통해서 배선 기판(22)에 고정되어 있다. 얼라인먼트용 링(58)은, 프로브 헤드(28)의 프로브(34)의 상단부(34a)와 피치 변환 기판(41)의 전극(미도시)의 위치 맞춤(align)을 하기 위해 설치되는 부재이다. 전체로 직사각형을 띠는 얼라인먼트용 링(58)은 배선기판(22)의 면(22b)에 설치되어 있으며, 프로브 헤드(28)의 일부인 상판(38) 및 스페이서(42)의 주위를 둘러싸고 있다. 더 상세하게는, 프로브 헤드(28)는, 그 하판(40)에 있어서 얼라인먼트용 링(58)의 4개의 나사 구멍(61)의 각각에 나사조여진 각 고정 나사(26)를 통해서 얼라인먼트용 링(58)에 고정되고, 얼라이먼트용 링(58)을 통해서 배선 기판(22)에 고정되어 있다. 도 6에 있어서, 부호 24는 배선기판(22)의 보강을 위해 배선 기판(22)의 면(22a)에 장착된 판상의 스티프너(stiffener)를 나타낸다. 스티프너(24)는, 배선 기판(22)을 거쳐 연장되고 그리고 얼라인먼트용 링(58)에 나사조여진 복수의 볼트(43)를 통해서 배선 기판 (22)에 고정되어 있다. 또한, 얼라인먼트용 링(58)은 그 설치가 생략될 수 있다. 이 경우, 프로브 헤드(28)는, 예를 들면 그 지지체(36) 즉 하판(40), 스페이서(42) 및 상판(38)과, 피치 변환 기판(41)과, 배선 기판(22)을 순차적으로 지나서 스티프너(24)의 내부로 연장하며 그 스티프너에 나사 결합 가능한 고정 나사(미도시)를 이용하여 배선 기판(22)에 고정할 수 있다.

지지체(36)의 상판(38)의 각 구멍(38b)에는 각 프로브(34)의 하단부(34b), 중간부(34c) 및 상단부(34a)가 순차적으로 통과되고, 또한 하판(40)의 구멍(40b)에는 각 프로브(34)의 하단부(34b)가 통과되어 있지만, 중간부(34c)는 그 통과가 저지되어 있다. 또한, 각 프로브(34)는, 그 중간부(4c)에 있어서 지지체(36)의 스페이서(42)의 구멍(42a)을 거쳐서 연장되어 있다. 이에 따라, 각 프로브(34)는 그 상단부(34a) 및 하단부(34b)의 일부분이 각각 지지체(36)의 상판(38) 및 하판(40)에서 상방 및 하방으로 돌출한 상태로 지지체(36)에 대해서 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 각 프로브(34)의 상단부(34a)는, 프로브 헤드(28)가 배선 기판(22)에 고정될 때, 배선 기판(22)에 설치된 각 전극(미도시)에 맞닿은 상태에 놓여진다.

도 3에 프로브(34)의 일례를 도시한다. 도시의 프로브(34)는, 원통형상의 배럴(44)과, 그 배럴 내에 배치된 원기둥 형상의 플런저(46)를 구비한다. 배럴(44)은 그 축선 방향으로 신축 가능한 두 개의 스프링부(44a)를 갖는다. 스프링부(44a)의 수는 임의이다. 플런저(46)는, 배럴(44)에 고정된 본체(46a)와 배럴(44)의 일단에서 외부로 돌출하는 선단부(46b)로 이루어진다. 플런저(46)는, 배럴(44)의 상기 일단의 근방에서 고정되어 있다. 고정은, 도시의 예에서의 스웨징(swaging), 혹은 저항 용접, 레이저 용접 등에 의해 이루어져 있다. 여기에서, 배럴(44)은 프로브(34)의 일부분(상단부(34a) 및 중간부(34c))을 구성하고, 플런저(46)의 선단부(46b)는 프로브의 하단부(34b)를 구성한다.

다시 도 2를 참조하면, 상기 검사시, 피검사체(A)가 그 상방에 위치하는 프로브 헤드(28)를 향해서 상승되고, 피검사체(A)에 설치된 복수의 전극 패드(Aa)가 이들에 대응하는 복수의 프로브(34)의 하단부(34b), 즉 플런저(46)의 선단부(46b)에 접촉된다. 그 결과, 플런저(46)의 선단부(46b)가 이에 고정되어 있는 배럴(44)의 일부와 함께 지지체(36)의 하판(40)에 대해서 상승하고, 이에 따라 배럴(44)의 다른 일부인 스프링부(44a)에 있어서 압축된다. 이에 따라, 상기 검사 장치와 피검사체(A) 사이에 도전로가 형성된다.

이어서 도 4를 참조하면, 본 발명에 관련한 지그(50)가 도시되어 있다. 지그(50)는 프로브 헤드(28)에서의 복수의 프로브(34)의 일부 또는 전부에 마모, 절곡, 절손, 도전 불량 등의 고장이 생겼을 때, 고장난 프로브(34)를 새 것으로 교체하는 데 사용된다.

지그(50)는, 플레이트(52)와, 그 플레이트에 장착된 자석(54)을 구비하고, 플레이트(52)는 복수의 고정 나사(26)에 각각 대응하는 복수의 구멍(56)을 갖는다. 플레이트(52)의 각 구멍(56)은 고정 나사(26)의 머리부의 직경보다 큰 직경을 갖는다. 도시의 플레이트(52)는 자석(54)으로부터의 자력을 방해하지 않는 재료, 예를 들면, 아크릴 수지로 이루어지고, 프로브 헤드(28)보다 큰 직사각형의 평면 형상을 갖는다. 또한, 도시의 예에 있어서는, 복수의 구멍(56)이 4개의 구멍(56)으로 이루어지고, 상기 직사각형의 네 모서리에 설치되어 있다. 자석(54)은, 영구 자석 또는 전자석으로 이루어지며, 모든 프로브(34)를 자기적으로 흡착할 수 있는 크기의 자력을 갖는다. 자석(54)은 플레이트(52)에 접착함으로써 혹은 그 전부 또는 일부를 플레이트(52) 중에 매장함으로써 플레이트(52)에 장착할 수 있다.

지그(50)는, 지지 프레임(12)(도1)으로부터 전기적 접속 장치(10)를 떼어내고, 전기적 접속 장치(10)를 위아래 거꾸로 한 상태, 즉 프로브 헤드(28)가 위에 그리고 배선 기판(22)의 면(22a)이 아래가 되는 상태로 두고, 후술하는 바와 같이 프로브 헤드(28)에 장착할 수 있다. 이때, 프로브 헤드(28)는 위아래를 거꾸로 한 상태에 놓인다. 여기에서, 「위아래 거꾸로 한 상태」란, 프로브(34)의 하단부(34b)(도2참조)가, 도 4(a)에서 도시하는 상방향을 향하고 있는 상태를 나타낸다.

프로브 헤드(28)로의 지그(50)의 장착의 편의를 위해, 지지체(36)에, 도시의 예에 있어서는 하판(40)을 거쳐 스페이서(42)의 일부까지 연장하는 복수의 나사 구멍(59)이 설치되어 있다. 한편, 플레이트(52)에는, 복수의 나사 구멍(59)에 대응하는 복수(도시의 예에서는 4개)의 구멍(60)이 설치되어 있다. 4개의 구멍(59)은, 다른 4개의 구멍(56) 상호 간에 배치되어 있다. 지그(50)의 장착시에, 플레이트(52)에 의해 프로브 헤드(28)의 하판(40)의 표면이 덮이도록, 지그(50)를 올려놓는다. 이어서, 지그(50)를 프로브 헤드(28)에 장착한다(도4(a),(b)참조). 이때, 플레이트(52)의 각 구멍(56)이 프로브 헤드(28)를 배선 기판(22)에 고정하는 각 고정 나사(26)에 대향하고, 또 자석(54)이 복수의 프로브(34)의 하단부(34b)에 대향한다. 또한, 이해의 용이화를 목적으로서 프로브 헤드(28)의 하판(40)에 설치된 구멍(40b) 및 그 구멍에서 돌출하는 프로브(34)의 하단부(34b)의 도시가 생략되어 있다.

지그(50)는, 플레이트(52)의 복수의 구멍(60)에 각각 복수의 나사(고정용 나사)(62)를 통과시키고, 그리고 이들 나사(62)를 프로브 헤드(28)의 지지체(36)의 하판(40)에 개구되는 복수의 나사 구멍(59)에 조임으로써 프로브 헤드(28)에 대해 착탈 자유롭게 장착할 수 있다(도4(a),(b)). 지그(50)의 장착에 의해 도 5에 도시하는 바와 같이 각 프로브(34)가 자석(54)의 자기 흡착력을 받아서 지그(50)의 자석(54)을 향해서 끌어당겨진다. 이어서, 플레이트(52)의 구멍(56)에 드라이버(미도시)의 선단부를 끼워넣고, 고정 나사(26)를 풀어서 뽑아낸다. 이에 따라, 배선기판(22), 더 자세하게는 배선기판(22)에 장착된 얼라인먼트용 링(58)에 대한 프로브 헤드(28)의 고정이 해제된다(도4(b)). 고정이 해제된 프로브 헤드(28)는 나사(62)를 통해서 이것과 일체를 이루는 지그(50)와 함께 배선기판(22)으로부터 분리할 수 있다(도4(c)). 그 후, 프로브 헤드(28)의 위아래를 맞춘 상태에서, 즉 프로브(34)의 상단부(34a) 및 하단부(34b)가 각각 상하에 위치하는 상태에서, 프로브 헤드(28)로부터 지그(50)를 분리하여 고장이 있는 프로브(34)의 교체 작업을 할 수 있다.

지그(50)의 플레이트(52)는, 도시의 예를 대신하여 복수의 구멍(56)을 가지지 않는 것으로 할 수 있다. 복수의 구멍(56)을 갖지 않는 플레이트(52)를 구비하는 지그(50)의 사용시에는 지그(50)를 얼라인먼트용 링(58) 위에 올려놓기에 앞서서 프로브 헤드(28)를 배선기판(22)에 고정하고 있는 4개의 고정 나사(26)를 풀어 이들을 제거하고 배선기판(22)에 대한 프로브 헤드(28)의 고정을 해제해 둔다. 그 후, 상술한 바와 마찬가지로 해서 프로브(34)의 교체를 위한 작업을 행할 수 있다.

또한, 자석(54)의 자력을 받은 프로브(34)가 자기를 띤 상태(자화된 상태)에 있으면, 프로브(34) 상호간에 자기 흡착력이 작용하여, 이것이 프로브(34)의 교체 작업을 곤란하게 할 우려가 있다. 이를 회피하기 위해 프로브(34)의 교체에 앞서 모든 프로브(34)에 관해서 소자(demagnetization)하는 것이 바람직하다. 소자는, 시판의 소자기(demagnetizer)(예:오사카시 나니와쿠에 있는 Hozan Tool Ind. Co., Ltd. 제품의 품번HC-33)를 사용하여 수행할 수 있다.

프로브(34)가 교체된 뒤의 프로브 헤드(28)는, 상기한 분리 공정을 거꾸로 함으로써 배선 기판(22)에 다시 장착할 수 있다. 프로브 헤드(28)의 재장착후, 상기한 것과 같은 이유에서 모든 프로브(34)에 대해서 소자하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관련한 지그(50)는, 도시의 프로브(34)에 한정되지 않고, 자성체로 이루어진 다른 종류 또는 다른 형태의 프로브를 포함하는 수직형 프로브 카드에 이용되는 프로브 헤드에 적용 가능하다.

10; 전기적 접속 장치
22; 배선 기판
26; 고정 나사
28; 프로브 헤드
34,34a,34b,34c; 프로브 및 그 상단부, 하단부, 중간부
36; 지지체
38,38a; 상판 및 그 구멍
40,40a; 하판 및 그 구멍
50; 지그(治具)
52; 플레이트
54; 자석
56; 구멍

Claims

피검사체와, 상기 피검사체의 검사 장치를 전기적으로 접속하는 배선기판과, 상기 배선기판의 상기 피검사체에 대향하는 면에 복수의 고정 나사로 고정된 프로브 헤드를 구비하고,
상기 프로브 헤드는, 상단부, 하단부, 및 상기 상단부와 상기 하단부 사이의 중간부를 갖는 자성체로 이루어지는 복수의 프로브와, 상기 복수의 프로브를 지지하는 지지체을 갖고,
상기 지지체는, 서로 평행한 상판 및 하판을 가지며, 상기 상판이 각 프로브의 하단부, 중간부 및 상단부가 순차적으로 통과시켜진 구멍(穴)을 가지고, 상기 하판이, 각 프로브의 하단부가 통과시켜지며 또 각 프로브의 중간부가 그 통과가 저지된 구멍을 갖는 전기적 접속 장치에 적용되는 지그로서,
플레이트와, 상기 플레이트에 장착된 자석을 구비하고,
상기 플레이트는 상기 지지체에 설치된 복수의 나사 구멍에 대응하는 복수의 구멍을 가지고, 이들의 복수의 구멍을 지나 상기 나사 구멍에 조여지는 복수의 나사를 통해서 상기 프로브 헤드에 대해 착탈 자유롭게 장착 가능하며,
상기 자석은 상기 프로브의 하단부에 대향하는, 지그.
제1항에 있어서,
상기 플레이트는, 상기 복수의 고정 나사에 각각 대응하는 복수의 구멍을 갖는 지그.
제1항에 있어서,
상기 자석은 영구 자석 또는 전자석으로 이루어지는 지그.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프로브는, 배럴(barrel)이며 그 축선 방향으로 신축 가능한 스프링부를 갖는 배럴과, 그 배럴 내에 배치되고 또 상기 배럴에 고정된 본체 및 상기 배럴 밖으로 돌출하는 선단부로 이루어지는 플런저(plunger)를 구비하고,
상기 배럴이 상기 프로브의 상단부 및 중간부를 구성하고, 상기 플런저의 선단부가 상기 프로브의 하단부를 구성하는, 지그.