KR20190094723A - Semiconductor device package and light emitting device including the same - Google Patents

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Abstract

Disclosed are a semiconductor element package with a small size and a light emitting device including the same. According to an embodiment of the present invention, the semiconductor element package comprises: a body including a first cavity; and a semiconductor element arranged in the first cavity. The first cavity includes: a first surface inclined to widen an area as the first cavity moves away from the semiconductor element; and a plurality of second surfaces perpendicular to an upper surface of the semiconductor element. The body includes: a first corner unit arranged in a region where a first outer surface and a third outer surface facing each other, a second outer surface and a fourth outer surface facing each other, and the first outer surface and the second outer surface meet each other; a second corner unit arranged in a region where the second outer surface and the third outer surface meet each other; a third corner unit arranged in a region where the third outer surface and the fourth outer surface meet each other; and a fourth corner unit arranged in a region where the fourth outer surface and the first outer side surface meet each other. The plurality of second surfaces are arranged between the first corner unit and the second corner unit, between the second corner unit and the third corner unit, between the third corner unit and the fourth corner unit, and between the fourth corner unit and the first corner unit, respectively.

Description

반도체 소자 패키지 및 이를 포함하는 발광장치{SEMICONDUCTOR DEVICE PACKAGE AND LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING THE SAME}Semiconductor device package and light emitting device including the same {SEMICONDUCTOR DEVICE PACKAGE AND LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING THE SAME}

실시 예는 반도체 소자 패키지 및 이를 포함하는 발광장치에 관한 것이다.Embodiments relate to a semiconductor device package and a light emitting device including the same.

GaN, AlGaN 등의 화합물을 포함하는 반도체 소자는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점을 가져서 발광 소자, 수광 소자 및 각종 다이오드 등으로 다양하게 사용될 수 있다.A semiconductor device including a compound such as GaN, AlGaN, etc. has many advantages, such as having a wide and easy-to-adjust band gap energy, and can be used in various ways as a light emitting device, a light receiving device, and various diodes.

특히, 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드(Laser Diode)와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성의 장점을 가진다. Particularly, light emitting devices such as light emitting diodes and laser diodes using semiconductors of Group 3-5 or Group 2-6 compound semiconductors have been developed through the development of thin film growth technology and device materials. Various colors such as blue and ultraviolet light can be realized, and efficient white light can be realized by using fluorescent materials or combining colors.Low power consumption, semi-permanent lifespan, and fast response speed compared to conventional light sources such as fluorescent and incandescent lamps can be realized. It has the advantages of safety, environmental friendliness.

이러한 반도체 소자는 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트, 조명 장치, 경화기, 및 노광기의 광원으로 적용될 수 있다.Such a semiconductor device may be applied as a transmission module of an optical communication means, a backlight of a liquid crystal display (LCD) display device, a light source of an illumination device, a curing machine, and an exposure machine.

노광기는 빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 시료 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크를 올려놓고 자외선을 조사하여 감광막에 원하는 패턴을 전사시키는 장치이다. The exposure machine is a device that transfers a desired pattern to the photosensitive film by placing a mask on which a desired pattern is formed on a photo-resist coated sample, which is a material reacting with light, and irradiating ultraviolet rays.

예를 들어, 전자기기의 주요 부품으로 내장되는 반도체 소자나 회로기판(PCB) 및 디스플레이 패널은 노광 공정에서 포토리소그래피(Photolithography) 기술을 이용하여 미세 회로 패턴을 형성할 수 있다.For example, semiconductor devices, circuit boards (PCBs), and display panels, which are embedded as main components of electronic devices, may form fine circuit patterns using photolithography techniques in an exposure process.

이러한 자외선 노광 장치의 광원으로는 수은 자외선 램프, 또는 할로겐 램프 등이 이용될 수 있는데, 이러한 램프들은 효율이 떨어지고, 고가인 문제점이 있다.A mercury ultraviolet lamp, a halogen lamp, or the like may be used as a light source of the ultraviolet exposure apparatus, but these lamps have a problem of low efficiency and high cost.

실시 예는 사이즈가 작은 반도체 소자 패키지를 제공한다.The embodiment provides a small semiconductor device package.

실시 예는 렌즈 장착이 용이한 반도체 소자 패키지를 제공한다.The embodiment provides a semiconductor device package that can be easily mounted with a lens.

실시 예는 조밀하게 배치할 수 있는 반도체 소자 패키지를 제공한다.The embodiment provides a semiconductor device package that can be densely arranged.

실시 예는 제작이 용이한 반도체 소자 패키지를 제공한다.The embodiment provides a semiconductor device package that is easy to manufacture.

실시 예에서 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되는 것은 아니며, 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 포함된다고 할 것이다.The problem to be solved in the examples is not limited thereto, and the object or effect that can be grasped from the solution means or the embodiment described below will also be included.

본 발명의 일 특징에 따른 반도체 소자 패키지는, 제1캐비티를 포함하는 몸체; 및 상기 제1캐비티의 내부에 배치되는 반도체 소자를 포함하고, 상기 제1캐비티는 상기 반도체 소자에서 멀어질수록 면적이 넓어지도록 경사진 제1면, 및 상기 반도체 소자의 상면과 수직한 복수 개의 제2면을 포함하고, 상기 몸체는 서로 마주보는 제1외측면과 제3외측면, 서로 마주보는 제2외측면과 제4외측면, 상기 제1외측면과 제2외측면이 만나는 영역에 배치되는 제1모서리부, 제2외측면과 제3외측면이 만나는 영역에 배치되는 제2모서리부, 상기 제3외측면과 상기 제4외측면이 만나는 영역에 배치되는 제3모서리부, 및 상기 제4외측면과 상기 제1외측면이 만나는 영역에 배치되는 제4모서리부를 포함하고, 상기 복수 개의 제2면은 상기 제1모서리부와 제2모서리부 사이, 상기 제2모서리부와 제3모서리부 사이, 상기 제3모서리부와 제4모서리부 사이, 및 상기 제4모서리부와 제1모서리부 사이에 각각 배치된다.According to one or more exemplary embodiments, a semiconductor device package includes: a body including a first cavity; And a semiconductor device disposed inside the first cavity, wherein the first cavity has a first surface inclined so that an area thereof becomes wider as it moves away from the semiconductor device, and a plurality of first materials perpendicular to an upper surface of the semiconductor device. The body includes two surfaces, and the body is disposed in an area where the first outer surface and the third outer surface facing each other, the second outer surface and the fourth outer surface facing each other, and the first outer surface and the second outer surface meet each other. A first edge portion disposed in a region where the second outer side surface and the third outer side meet, a third edge portion disposed in an area where the third outer side and the fourth outer side meet, and the A fourth edge portion disposed in an area where a fourth outer surface and the first outer surface meet each other, the plurality of second surfaces being between the first edge portion and the second edge portion, and the second edge portion and the third edge portion. Between corners, between the third and fourth corners, and They are respectively disposed between the fourth group the edge portion of the first edge portion.

상기 반도체 소자가 배치되는 기판을 포함할 수 있다.It may include a substrate on which the semiconductor device is disposed.

상기 몸체는 제1캐비티와 연결되고 상기 몸체의 하부면을 관통하는 제2캐비티를 포함하고, 상기 제2캐비티의 측면은 상기 기판의 일면과 수직한 제3면을 가질 수 있다.The body may include a second cavity connected to the first cavity and penetrating the lower surface of the body, and the side surface of the second cavity may have a third surface perpendicular to one surface of the substrate.

상기 복수 개의 제2면의 수직 방향 폭은 상기 제1 내지 제4 모서리부에 가까워질수록 작아질 수 있다.The vertical widths of the plurality of second surfaces may become smaller as they approach the first to fourth corners.

상기 제3면의 제1방향 폭은 상기 제1 내지 제4 모서리부에 가까워질수록 커질 수 있다.The first direction width of the third surface may increase as the first to fourth corners are closer to the first to fourth corners.

상기 제1면과 상기 제2면 사이의 제1경계는 곡선을 가질 수 있다.The first boundary between the first surface and the second surface may have a curve.

상기 제3면과 상기 제1면 사이의 제2경계는 곡선을 가질 수 있다.The second boundary between the third surface and the first surface may have a curve.

상기 제1경계와 제2경계의 곡선은 동일한 곡률을 가질 수 있다.The curves of the first boundary and the second boundary may have the same curvature.

상기 제1면은 상기 제1 내지 제4모서리부로 연장되어 상기 복수 개의 제2면을 구획할 수 있다.The first surface may extend to the first to fourth corner portions to partition the plurality of second surfaces.

상기 제2캐비티는 사각 형상을 가질 수 있다.The second cavity may have a square shape.

상기 제2캐비티는 서로 마주보는 제1측면과 제3측면, 서로 마주보는 제2측면과 제4측면을 포함하고, 상기 제1측면과 제3측면의 길이가 상기 제2측면과 제4측면보다 길고, 상기 제2측면과 제4측면의 수직 방향 폭이 상기 제1측면과 제3측면의 수직 방향 폭보다 클 수 있다.The second cavity includes a first side and a third side facing each other, a second side and a fourth side facing each other, and the length of the first side and the third side is greater than the second side and the fourth side. Longer, the vertical width of the second side surface and the fourth side surface may be greater than the vertical width of the first side surface and the third side surface.

상기 복수 개의 제2면의 수직방향 폭은 상기 제1면의 수직 방향 폭보다 작을 수 있다.The vertical widths of the plurality of second surfaces may be smaller than the vertical widths of the first surfaces.

상기 복수 개의 제2면의 수직방향 폭은 상기 제1면의 수직 방향 폭의 비는 1:1.2 내지 1:1.8일 수 있다.The ratio of the vertical widths of the plurality of second surfaces may be 1: 1.2 to 1: 1.8.

상기 기판은 상기 반도체 소자가 배치되는 제1전극, 상기 제1전극과 이격 배치된 제2전극, 및 상기 기판의 가장자리를 따라 배치되는 제1돌출부를 포함하고, 상기 몸체의 타면에는 상기 제2캐비티를 둘러싸는 오목부가 배치되고, 상기 오목부는 상기 제1돌출부 상에 배치될 수 있다.The substrate includes a first electrode on which the semiconductor device is disposed, a second electrode spaced apart from the first electrode, and a first protrusion disposed along an edge of the substrate, and the second cavity is formed on the other surface of the body. A concave portion surrounding the concave portion is disposed, and the concave portion may be disposed on the first protrusion.

상기 몸체 상에 배치되어 상기 캐비티를 덮는 투광부재를 포함할 수 있다.It may include a light transmitting member disposed on the body to cover the cavity.

본 발명의 실시 예에 따르면, 반도체 소자 패키지의 사이즈를 줄일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the size of the semiconductor device package can be reduced.

또한, 반도체 소자 패키지에 렌즈 결합이 용이해질 수 있다. In addition, lens coupling to the semiconductor device package may be facilitated.

또한, 반도체 소자 패키지들의 조밀한 배치가 가능해진다.In addition, compact arrangement of semiconductor device packages is possible.

또한, 반도체 소자 패키지의 제작이 용이해질 수 있다.In addition, fabrication of a semiconductor device package may be facilitated.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Various and advantageous advantages and effects of the present invention are not limited to the above description, and will be more readily understood in the course of describing specific embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 개념도이고,
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지를 위에서 본 분해 사시도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지를 아래에서 본 분해 사시도이고,
도 4는 도 1의 캐비티를 보여주는 도면이고,
도 5는 도 1의 A-A 방향 단면도이고,
도 6은 도 4의 B-B 방향 단면도이고,
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광장치의 개념도이고,
도 8은 도 7의 A 부분 확대도이고,
도 9는 복수 개의 반도체 소자 패키지와 리드전극의 연결을 보여주는 도면이고,
도 10은 도 1을 다른 방향에서 본 사시도이고,
도 11은 도 1의 저면도이고,
도 12는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 사시도이고,
도 13은 도 12의 분해 사시도이고,
도 14는 도 13의 몸체와 기판의 결합 관계를 보여주는 도면이고,
도 15는 도 12의 C-C 방향 단면도이고,
도 16은 도 13의 D-D 방향 단면 사시도이고,
도 17은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 개념도이고,
도 18은 도 17의 평면도이고,
도 19는 도 18의 제1변형예이고,
도 20은 도 18의 제2변형예이고,
도 21은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 단면도이고,
도 22는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 일부 분해 사시도이고,
도 23은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 평면도이다.
1 is a conceptual diagram of a semiconductor device package according to a first embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of the semiconductor device package according to the first embodiment of the present invention,
3 is an exploded perspective view of a semiconductor device package according to a first embodiment of the present invention as seen from below;
4 is a view showing the cavity of FIG.
5 is a cross-sectional view along the AA direction of FIG. 1,
6 is a cross-sectional view taken along the BB direction of FIG. 4;
7 is a conceptual diagram of a light emitting device according to an embodiment of the present invention;
8 is an enlarged view of a portion A of FIG. 7;
9 is a view illustrating a connection between a plurality of semiconductor device packages and lead electrodes;
10 is a perspective view of FIG. 1 viewed from another direction;
11 is a bottom view of FIG. 1,
12 is a perspective view of a semiconductor device package according to a second embodiment of the present disclosure;
FIG. 13 is an exploded perspective view of FIG. 12;
14 is a view showing a coupling relationship between the body and the substrate of FIG. 13,
15 is a cross-sectional view taken along the direction CC of FIG. 12;
16 is a sectional view taken along the line DD of FIG. 13,
17 is a conceptual diagram of a semiconductor device package according to a third embodiment of the present disclosure;
FIG. 18 is a plan view of FIG. 17;
19 is a first modification of FIG. 18,
20 is a second modification of FIG. 18,
21 is a cross-sectional view of a semiconductor device package according to a fourth embodiment of the present disclosure;
FIG. 22 is a partially exploded perspective view of a semiconductor device package according to a fourth embodiment of the present disclosure;
23 is a plan view of a semiconductor device package according to a fourth embodiment of the present invention.

본 실시 예들은 다른 형태로 변형되거나 여러 실시 예가 서로 조합될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 각각의 실시 예로 한정되는 것은 아니다. The embodiments may be modified in other forms or in various embodiments, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below.

특정 실시 예에서 설명된 사항이 다른 실시 예에서 설명되어 있지 않더라도, 다른 실시 예에서 그 사항과 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 다른 실시 예에 관련된 설명으로 이해될 수 있다. Although matters described in a specific embodiment are not described in other embodiments, it may be understood as descriptions related to other embodiments unless there is a description that is contrary to or contradictory to the matters in other embodiments.

예를 들어, 특정 실시 예에서 구성 A에 대한 특징을 설명하고 다른 실시 예에서 구성 B에 대한 특징을 설명하였다면, 구성 A와 구성 B가 결합된 실시 예가 명시적으로 기재되지 않더라도 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.For example, if a feature is described for component A in a particular embodiment and a feature for component B in another embodiment, a description that is contrary or contradictory, even if the embodiments in which configuration A and configuration B are combined are not explicitly described. Unless otherwise, it should be understood to fall within the scope of the present invention.

실시 예의 설명에 있어서, 어느 한 element가 다른 element의 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element 사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment, when one element is described as being formed "on or under" of another element, it is on (up) or down (on). or under) includes both two elements being directly contacted with each other or one or more other elements are formed indirectly between the two elements. In addition, when expressed as "on" or "under", it may include the meaning of the downward direction as well as the upward direction based on one element.

이하에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 개념도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지를 위에서 본 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지를 아래에서 본 분해 사시도이다.1 is a conceptual diagram of a semiconductor device package according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of the semiconductor device package according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a first embodiment of the present invention. An exploded perspective view of a semiconductor device package according to an example seen from below.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지는, 기판(200), 기판(200) 상에 배치되는 몸체(100), 몸체(100)의 내부에 배치되는 반도체 소자(400), 및 몸체(100)의 상부에 배치되는 투광부재(300)를 포함할 수 있다.1 to 3, a semiconductor device package according to an embodiment may include a substrate 200, a body 100 disposed on the substrate 200, and a semiconductor device 400 disposed inside the body 100. , And a light transmitting member 300 disposed above the body 100.

기판(200)은 AlN 재질을 포함할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 자외선 광을 반사할 수 있는 다양한 재질이 선택될 수도 있다. 예시적으로 기판(200)은 산화 알루미늄(Al2O3)을 포함할 수도 있다. 기판(200)은 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다.The substrate 200 may include an AlN material. However, the present invention is not limited thereto, and various materials capable of reflecting ultraviolet light may be selected. In exemplary embodiments, the substrate 200 may include aluminum oxide (Al 2 O 3 ). The substrate 200 may have a polygonal shape, for example, a rectangular shape.

기판(200)은 일면에 제1전극(230) 및 제2전극(220)이 배치될 수 있다. 제1전극(230)과 제2전극(220)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다. 예시적으로 제1전극(230) 및 제2전극(220)은 W/Ti/Ni/Cu/Pd/Au 순으로 적층된 구조를 가질 수도 있다.The first electrode 230 and the second electrode 220 may be disposed on one surface of the substrate 200. The first electrode 230 and the second electrode 220 are Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag, Au and Au It can be chosen from the optional alloys. For example, the first electrode 230 and the second electrode 220 may have a stacked structure in the order of W / Ti / Ni / Cu / Pd / Au.

반도체 소자(400)는 제2전극(220) 상에 배치되고, 와이어(미도시)에 의해 제1전극(230)과 전기적으로 연결될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 반도체 소자(400)는 와이어에 의해 제1전극(230) 및 제2전극(220)과 전기적으로 연결될 수도 있다. 또한, 반도체 소자(400)는 플립칩으로 구현되어 제1전극(230) 및 제2전극(220) 상에 배치될 수도 있다. 즉, 반도체 소자(400)는 전극 구조에 따라 다양한 방법으로 제1전극(230) 및 제2전극(220)과 전기적으로 연결될 수 있다.The semiconductor device 400 may be disposed on the second electrode 220 and may be electrically connected to the first electrode 230 by a wire (not shown). However, the present disclosure is not limited thereto, and the semiconductor device 400 may be electrically connected to the first electrode 230 and the second electrode 220 by a wire. In addition, the semiconductor device 400 may be implemented as a flip chip and disposed on the first electrode 230 and the second electrode 220. That is, the semiconductor device 400 may be electrically connected to the first electrode 230 and the second electrode 220 in various ways according to the electrode structure.

반도체 소자(400)는 자외선 파장대의 광을 출력할 수 있다. 예시적으로 반도체 소자(400)는 근자외선 파장대의 광(UV-A)을 출력할 수도 있고, 원자외선 파장대의 광(UV-B)을 출력할 수도 있고, 심자외선 파장대의 광(UV-C)을 출력할 수도 있다. 파장범위는 반도체 소자(400)가 포함하는 반도체 구조물에 의해 결정될 수 있다.The semiconductor device 400 may output light in an ultraviolet wavelength band. For example, the semiconductor device 400 may output light (UV-A) in the near ultraviolet wavelength band, may output light (UV-B) in the far ultraviolet wavelength band, or light (UV-C) in the deep ultraviolet wavelength band. You can also print The wavelength range may be determined by the semiconductor structure included in the semiconductor device 400.

반도체 구조물(미도시)은 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 및 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 배치되는 활성층을 포함할 수 있다. The semiconductor structure (not shown) may include a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer.

제1 도전형 반도체층은 n 형 반도체층일 수 있고, 제2 도전형 반도체층은 p 형 반도체층일 수 있다. 다만, 이에 한정하지 않고, 제1 도전형 반도체층은 p 형 반도체층일 수 있고, 제2 도전형 반도체층은 n 형 반도체층일 수 있다. The first conductive semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer may be a p-type semiconductor layer. However, the present invention is not limited thereto, and the first conductive semiconductor layer may be a p-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer.

활성층은 제1 도전형 반도체층에서 주입되는 반송자와 제2 도전형 반도체층에서 주입되는 반송자의 발광성 재결합에 의해 광을 발광할 수 있다. The active layer may emit light by luminescent recombination of the carrier injected in the first conductive semiconductor layer and the carrier injected in the second conductive semiconductor layer.

이때, 활성층의 밴드갭 에너지 크기에 발광하는 광의 파장이 결정될 수 있다. 예를 들어, 활성층이 양자 우물과 양자 장벽을 적어도 하나 이상 가질 경우, 양자 우물의 밴드갭 크기에 따라 발광하는 광의 파장이 결정될 수 있다. At this time, the wavelength of the light emitted to the bandgap energy magnitude of the active layer can be determined. For example, when the active layer has at least one of a quantum well and a quantum barrier, the wavelength of light to emit light may be determined according to the band gap size of the quantum well.

양자 우물에서 발광하는 광은 유도 방출 또는 자발성 발광을 할 수 있다. 유도 방출일 경우, 발광하는 광의 파장이 특정 파장에서 그 세기가 크고, 발광하는 광의 위상이 같을 수 있으나 자발성 발광을 하는 경우 발광하는 광의 파장이 다양할 수 있고, 광의 파장에 따라 그 세기가 다양할 수 있다. 이 때, 발광하는 광의 파장은 파장에 대한 상대적인 세기를 측정하여, 다른 파장에 비해 광의 세기가 가장 큰 광의 파장으로 정의할 수 있다. 또한, 상기 활성층은 n 형 도펀트 및/또는 p 형 반도체층일 수 있으나, 이에 한정하지 않고 진성 반도체층일 수 있다. Light emitting from the quantum wells may be induced emission or spontaneous emission. In the case of induced emission, the wavelength of light to be emitted is greater in intensity at a specific wavelength, and the phase of light to be emitted may be the same. However, in the case of spontaneous light emission, the wavelength of light to be emitted may vary, and its intensity may vary according to the wavelength of light. Can be. At this time, the wavelength of the light to emit light can be defined as the wavelength of the light having the largest intensity of light compared to other wavelengths by measuring the intensity relative to the wavelength. The active layer may be an n-type dopant and / or a p-type semiconductor layer, but is not limited thereto and may be an intrinsic semiconductor layer.

반도체 구조물은 AlGaN, GaN, GaAs, GaP 등을 기반으로하는 화합물 반도체로 구성될 수 있다. 특히, 반도체 구조물이 GaN 기반의 화합물 반도체로 구성되고, 반도체 소자(400)가 자외선을 발광하는 경우, 반도체 구조물의 Al 조성(또는 함량)에 의해 발광하는 파장이 결정될 수 있다. 예시적으로, 활성층이 AlGaN 또는 GaN으로 구성되는 양자 우물층을 가질 경우, Al 의 조성(또는 함량)에 따라 양자 우물층의 밴드갭을 다양하게 조절할 수 있고 이 때, 양자 우물층의 밴드갭의 크기에 따라 반도체 구조물이 자외선을 발광할 수 있다.The semiconductor structure may be composed of a compound semiconductor based on AlGaN, GaN, GaAs, GaP, and the like. In particular, when the semiconductor structure is composed of a GaN-based compound semiconductor, and the semiconductor device 400 emits ultraviolet rays, the wavelength of light emitted by the Al composition (or content) of the semiconductor structure may be determined. For example, when the active layer has a quantum well layer composed of AlGaN or GaN, the band gap of the quantum well layer may be variously adjusted according to the composition (or content) of Al, wherein the band gap of the quantum well layer may be Depending on the size, the semiconductor structure may emit ultraviolet light.

예시적으로, 근자외선 파장대의 광(UV-A)은 320nm 내지 420nm 파장대에서 메인 피크를 가질 수 있고, 원자외선 파장대의 광(UV-B)은 280nm 내지 320nm의 파장대에서 메인 피크를 가질 수 있으며, 심자외선 파장대의 광(UV-C)은 100nm 내지 280nm 파장대에서 메인 피크를 가질 수 있다. 그러나, 반도체 소자(400)는 노광에 필요한 파장대의 광을 출력하도록 제작될 수 있다.For example, light (UV-A) in the near ultraviolet wavelength range may have a main peak in the wavelength range of 320 nm to 420 nm, and light (UV-B) in the far ultraviolet wavelength range may have a main peak in the wavelength range of 280 nm to 320 nm. The light of the deep ultraviolet wavelength band (UV-C) may have a main peak in the wavelength range of 100 nm to 280 nm. However, the semiconductor device 400 may be manufactured to output light in a wavelength band required for exposure.

몸체(100)는 기판(200) 상에 배치될 수 있다. 몸체(100)는 접착제(미도시)에 의해 기판(200) 상에 고정될 수 있다. 예시적으로 접착제는 솔더 또는 에폭시일 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 접착제는 금속 재질 및/또는 반도체 재질을 접착할 수 있는 다양한 접착제가 선택될 수 있다.The body 100 may be disposed on the substrate 200. The body 100 may be fixed on the substrate 200 by an adhesive (not shown). By way of example, the adhesive may be solder or epoxy. However, the present invention is not limited thereto, and various adhesives capable of adhering a metal material and / or a semiconductor material may be selected.

몸체(100)는 상면(일면, 131)과 하면(타면), 그리고 상면과 하면 사이에 배치되는 복수 개의 외측면(121, 122, 123, 124)을 포함할 수 있다. 복수 개의 외측면은 서로 마주보는 제1외측면(121)과 제3외측면(123), 서로 마주보는 제2외측면(122)과 제4외측면(124), 제1외측면(121)과 제2외측면(122)이 만나는 영역에 배치되는 제1모서리부(127a), 제2외측면(122)과 제3외측면(123)이 만나는 영역에 배치되는 제2모서리부(127b), 제3외측면(123)과 제4외측면(124)이 만나는 영역에 배치되는 제3모서리부(127c), 및 제4외측면(124)과 제1외측면(121)이 만나는 영역에 배치되는 제4모서리부(127d)를 포함할 수 있다. 몸체(100)는 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다.The body 100 may include an upper surface (one surface, 131) and a lower surface (the other surface), and a plurality of outer surfaces 121, 122, 123, and 124 disposed between the upper surface and the lower surface. The plurality of outer surfaces include a first outer surface 121 and a third outer surface 123 facing each other, a second outer surface 122 and a fourth outer surface 124 facing each other, and a first outer surface 121 facing each other. First edge portion 127a disposed in an area where the second outer surface 122 and the second outer surface 122 meet, and a second edge portion 127b disposed in an area where the second outer surface 122 and the third outer surface 123 meet. And a third edge portion 127c disposed in an area where the third outer surface 123 and the fourth outer surface 124 meet, and an area where the fourth outer surface 124 and the first outer surface 121 meet. It may include a fourth corner portion (127d) disposed. The body 100 may be polygonal in shape, for example rectangular in shape.

몸체(100)는 상면(131)과 하면을 관통하는 캐비티(110)를 포함할 수 있다. 캐비티(110)의 내면은 자외선 광을 반사할 수 있다. 예시적으로 몸체(100)는 전체적으로 AlN 또는 산화 알루미늄 재질로 이루어져 자외선 광을 반사할 수 있거나, 캐비티(110)에 별도의 반사층이 배치될 수 있다.The body 100 may include a cavity 110 penetrating the upper surface 131 and the lower surface. The inner surface of the cavity 110 may reflect ultraviolet light. For example, the body 100 may be made of AlN or aluminum oxide as a whole to reflect ultraviolet light, or a separate reflective layer may be disposed in the cavity 110.

캐비티(110)는 경사진 제1면(111)과 기판(200)의 일면(210)에 수직한 제2면(112)을 갖는 제1캐비티(110a), 및 몸체의 하면을 관통하여 반도체 소자(400)를 노출시키는 제2캐비티(110b)를 포함할 수 있다. 제2캐비티(110b)는 사각 형상일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 캐비티(110)의 형상에 대해서는 후술한다.The cavity 110 penetrates the first cavity 110a having the inclined first surface 111, the second surface 112 perpendicular to the one surface 210 of the substrate 200, and the lower surface of the body. It may include a second cavity (110b) that exposes (400). The second cavity 110b may have a rectangular shape, but is not necessarily limited thereto. The shape of the cavity 110 will be described later.

몸체(100)는 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d) 중 대각 방향으로 마주보는 모서리부에서 돌출된 복수 개의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)를 포함할 수 있다.The body 100 may include a plurality of protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d protruding from the corner portions facing in the diagonal direction among the first to fourth corner portions 127a, 127b, 127c, and 127d.

예시적으로 복수 개의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)는 제1모서리부(127a)에서 돌출된 제1돌기부(125a), 제2모서리부(127b)에서 돌출된 제2돌기부(125b), 제3모서리부(127c)에서 돌출된 제3돌기부(125c), 및 제4돌기부(125d)에서 돌출된 제4돌기부(125d)를 포함할 수 있다.For example, the plurality of protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d may include the first protrusion 125a protruding from the first edge portion 127a, the second protrusion 125b protruding from the second edge portion 127b, and the like. The third protrusion 125c protruding from the third edge portion 127c and the fourth protrusion 125d protruding from the fourth protrusion 125d may be included.

그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 복수 개의 돌기부(125a, 125c)는 제1모서리부(127a)에서 돌출된 제1돌기부(125a)와 제3모서리부(127c)에서 돌출된 제3돌기부(125c)만을 포함할 수도 있다. However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of protrusions 125a and 125c may protrude from the first protrusion 125a protruding from the first edge portion 127a and the third protrusion 125c protruding from the third edge portion 127c. May contain only.

제1 내지 제4돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)는 다각 기둥 형상을 가질 수 있다. 예시적으로 제1 내지 제4돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)는 삼각 기둥 형상을 가질 수 있으나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 사각 기둥, 오각 기둥 형상을 가질 수도 있다.The first to fourth protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d may have a polygonal pillar shape. For example, the first to fourth protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d may have a triangular pillar shape, but are not limited thereto and may have a square pillar and a pentagonal pillar shape.

투광부재(300)는 몸체(100) 상에 배치되어 반도체 소자(400)에서 출사되는 광을 제어할 수 있다. 투광부재(300)는 렌즈부(320)를 포함할 수 있다. 렌즈부(320)는 반도체 소자(400)에서 출사된 광이 균일하게 조사될 수 있도록 제어할 수 있다. 렌즈부(320)는 돔(dome) 형상인 것으로 예시하였으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 광을 균일하게 제어할 수 있도록 다양한 곡률을 가질 수 있다.The light transmitting member 300 may be disposed on the body 100 to control the light emitted from the semiconductor device 400. The light transmitting member 300 may include a lens unit 320. The lens unit 320 may control the light emitted from the semiconductor device 400 to be uniformly irradiated. The lens unit 320 is illustrated as having a dome shape, but is not necessarily limited thereto, and may have various curvatures to uniformly control light.

투광부재(300)는 서로 마주보는 제1측면(311)과 제3측면(313), 서로 마주보는 제2측면(312)과 제4측면(314), 제1측면(311)과 제2측면(312) 사이에 배치되는 제1모서리부(316), 제2측면(312)과 제3측면(313) 사이에 배치되는 제2모서리부(317), 제3측면(313)과 제4측면(314) 사이에 배치되는 제3모서리부(318), 및 제4측면(314)과 제1측면(311) 사이에 배치되는 제4모서리부(315)를 포함할 수 있다. 투광부재(300)는 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다.The light transmitting member 300 includes a first side surface 311 and a third side surface 313 facing each other, a second side surface 312 and a fourth side surface 314 facing each other, and a first side surface 311 and a second side surface. The first edge portion 316 disposed between the 312, the second edge portion 317, the third side surface 313 and the fourth side surface disposed between the second side surface 312 and the third side surface 313. And a third edge portion 318 disposed between 314 and a fourth edge portion 315 disposed between the fourth side surface 314 and the first side surface 311. The light transmitting member 300 may have a polygonal shape, for example, a rectangular shape.

투광부재(300)의 모서리부(315, 316, 317, 318)는 복수 개의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)와 결합하는 결합부를 포함할 수 있다. 투광부재(300)의 결합부는 몸체(100)의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)의 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 본 실시 예에서 몸체(100)의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)는 상면이 삼각형 형상을 가질 수 있다. 따라서, 투광부재(300)의 결합부는 평탄면을 가질 수 있다. 따라서, 투광부재(300)는 제1 내지 제4돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)에 모서리부(315, 316, 317, 318)가 삽입되어 고정될 수 있다. Corner portions 315, 316, 317, and 318 of the light transmitting member 300 may include coupling portions that couple with the plurality of protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d. The coupling part of the light transmitting member 300 may have a shape corresponding to the shape of the protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d of the body 100. In the present embodiment, the protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d of the body 100 may have a triangular upper surface. Therefore, the coupling portion of the light transmitting member 300 may have a flat surface. Accordingly, the light transmitting member 300 may be fixed by inserting the corners 315, 316, 317, and 318 into the first to fourth protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d.

투광부재(300)는 접착제(미도시)에 의해 몸체(100)의 상면(131)에 고정될 수 있다. 접착제는 UV 경화성 레진일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The light transmitting member 300 may be fixed to the upper surface 131 of the body 100 by an adhesive (not shown). The adhesive may be a UV curable resin, but is not limited thereto.

투광부재(300)는 자외선 파장대의 광을 투과할 수 있는 재질이면 특별히 제한하지 않는다. 예시적으로 투광부재(300)는 쿼츠(Quartz) 또는 글라스를 사용할 수 있으나, 이에 한정하지 않고 자외선 파장 투과율이 높은 광학 재료를 포함할 수 있다.The light transmitting member 300 is not particularly limited as long as it is a material capable of transmitting light in the ultraviolet wavelength band. For example, the light transmitting member 300 may use quartz or glass, but is not limited thereto and may include an optical material having a high UV wavelength transmittance.

도 4는 도 1의 캐비티를 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 A-A 방향 단면도이고, 도 6은 도 4의 B-B 방향 단면도이다.4 is a view illustrating the cavity of FIG. 1, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the A-A direction of FIG. 1, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the B-B direction of FIG. 4.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 실시 예에 따른 캐비티(110)는 경사진 제1면(111)과 기판(200)에 수직한 제2면(112)을 갖는 제1캐비티(110a), 및 몸체(100)의 하면을 관통하여 반도체 소자(400)를 노출시키는 제2캐비티(110b)를 포함할 수 있다. 4 to 6, the cavity 110 according to the embodiment includes a first cavity 110a having an inclined first surface 111 and a second surface 112 perpendicular to the substrate 200, and It may include a second cavity (110b) through the lower surface of the body 100 to expose the semiconductor device 400.

제1면(111)은 기판(200)에서 멀어질수록 횡단면적이 커지는 파라볼라 형상을 가질 수 있다. 따라서, 반도체 소자(400)에서 출사된 광이 상향 반사되어 광속이 증가하고 균일한 배광을 가질 수 있다.The first surface 111 may have a parabolic shape in which the cross-sectional area increases as the distance from the substrate 200 increases. Therefore, the light emitted from the semiconductor device 400 may be upwardly reflected to increase the luminous flux and to have uniform light distribution.

제2면(112)은 제1면(111) 상에 배치되고 기판(200)에 수직하게 배치될 수 있다. 제2면(112)은 반도체 소자 패키지의 사이즈를 축소시킬 수 있다. 제1면(111)에 의해 제1캐비티(110a)가 전체적으로 파라볼라 형상을 갖는 경우 직경(R1)이 큰 원형의 캐비티가 형성되므로 반도체 소자 패키지의 크기가 커져야 한다. 따라서, 복수 개의 반도체 소자 패키지가 배치되는 경우 밀집도가 떨어질 수 있다.The second surface 112 may be disposed on the first surface 111 and disposed perpendicular to the substrate 200. The second surface 112 may reduce the size of the semiconductor device package. When the first cavity 110a has a parabolic shape as a whole by the first surface 111, a circular cavity having a large diameter R1 is formed, and thus the size of the semiconductor device package must be increased. Therefore, when a plurality of semiconductor device packages are disposed, the density may be reduced.

실시 예에 따르면, 제1캐비티(110a) 내에 제2면(112)이 부분적으로 형성되어 반도체 소자 패키지의 사이즈를 줄일 수 있다. 즉, 패키지의 내측은 파라볼라 형상을 가지면서도 외측은 사각 형상을 가져 복수 개의 반도체 소자 패키지를 조밀하게 배치할 수 있다.According to an embodiment, the second surface 112 may be partially formed in the first cavity 110a to reduce the size of the semiconductor device package. That is, the inside of the package may have a parabolic shape while the outside thereof may have a quadrangular shape to densely arrange a plurality of semiconductor device packages.

제1면(111)과 제2면(112)의 수직 방향 최대 폭의 비(H1:H2)는 1:0.5 내지 1: 0.7일 수 있다. 비가 1:0.5보다 커지는 경우 제2면(112)이 넓어져 반도체 소자 패키지의 사이즈를 줄일 수 있으며, 비가 1:0.7보다 작은 경우 제2면(112)이 너무 넓어져 전반사에 따른 광속이 저하되는 문제를 방지할 수 있다.The ratio H1: H2 of the maximum width in the vertical direction of the first surface 111 and the second surface 112 may be 1: 0.5 to 1: 0.7. If the ratio is greater than 1: 0.5, the second surface 112 may be widened to reduce the size of the semiconductor device package. If the ratio is less than 1: 0.7, the second surface 112 may be too wide to decrease the luminous flux due to total reflection. Problems can be prevented.

복수 개의 제2면(112)은 몸체(100)의 모서리부(127a, 127b, 127c, 127d) 사이에 각각 배치될 수 있다. 예시적으로 복수 개의 제2면(112)은 제1모서리부(127a)와 제2모서리부(127b) 사이, 제2모서리부(127b)와 제3모서리부(127c) 사이, 제3모서리부(127c)와 제4모서리부(127d) 사이, 및 제4모서리부(127d)와 제1모서리부(127a) 사이에 각각 배치될 수 있다.The plurality of second surfaces 112 may be disposed between the corner portions 127a, 127b, 127c, and 127d of the body 100, respectively. For example, the plurality of second surfaces 112 may include a space between the first edge portion 127a and the second edge portion 127b, between the second edge portion 127b and the third edge portion 127c, and a third edge portion. It may be disposed between 127c and the fourth edge portion 127d and between the fourth edge portion 127d and the first edge portion 127a, respectively.

이때, 제2면(112)의 수직 방향 폭(H2)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 작아질 수 있다. 따라서, 제2면(112)은 반원 형상을 가질 수 있다. 제2면(112)의 수직 방향 폭(H2)이 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 커지거나 동일한 경우, 제1캐비티(110a)가 전체적으로 파라볼라 형상을 갖기 어려워 원하는 배광 분포를 갖기 어려울 수 있다. 또한, 수직면이 넓어지므로 상부로 출사되는 광량이 적어져 광속이 저하될 수도 있다.In this case, the vertical width H2 of the second surface 112 may become smaller as it approaches the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d. Thus, the second surface 112 may have a semicircular shape. When the vertical width H2 of the second surface 112 becomes larger or the same as the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d, the first cavity 110a generally has a parabola shape. It may be difficult to have the desired distribution of light distribution. In addition, since the vertical plane becomes wider, the amount of light emitted upwards may be lowered, thereby lowering the luminous flux.

제1면(111)은 복수 개의 제2면(112) 사이의 영역으로 연장될 수 있다. 즉, 제1면(111)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)를 향해 연장되어 복수 개의 제2면(112)을 구획할 수 있다.The first surface 111 may extend to an area between the plurality of second surfaces 112. That is, the first surface 111 may extend toward the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d to partition the plurality of second surfaces 112.

제2캐비티(110b)는 반도체 소자(400)를 노출시킬 수 있는 크기를 가질 수 있다. 예시적으로 제2캐비티(110b)는 사각 형상일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 제2캐비티(110b)는 다각 형상 또는 원 형상을 가질 수 있다.The second cavity 110b may have a size to expose the semiconductor device 400. For example, the second cavity 110b may have a rectangular shape, but is not limited thereto. The second cavity 110b may have a polygonal shape or a circular shape.

제2캐비티(110b)의 측면은 기판(200)과 수직한 제3면(113)을 포함할 수 있다. 제3면(113)은 제2면(112)과 평행할 수 있다. 즉, 제2면(112)과 제3면(113)은 기판(200)에 수직한 면일 수 있다. Side surfaces of the second cavity 110b may include a third surface 113 perpendicular to the substrate 200. The third surface 113 may be parallel to the second surface 112. That is, the second surface 112 and the third surface 113 may be surfaces perpendicular to the substrate 200.

제3면(113)의 수직 방향 폭(H3)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 커질 수 있다. 즉, 제2면(112)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 폭이 작아지는데 반해, 제3면(113)의 수직 방향 폭(H3)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 커질 수 있다. 이러한 구성에 의하면 제2캐비티(110b)의 형상을 다각 형상으로 형성할 수 있어 와이어 실장 면적을 확보할 수 있다. 따라서, 소자의 신뢰성이 향상될 수 있다.The vertical width H3 of the third surface 113 may increase as the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d get closer to each other. That is, the width of the second surface 112 becomes smaller as the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d become closer, whereas the vertical width H3 of the third surface 113 is determined to be first. As the first to fourth corner portions 127a, 127b, 127c, and 127d become closer, they may become larger. According to such a structure, the shape of the 2nd cavity 110b can be formed in a polygonal shape, and the wire mounting area can be ensured. Therefore, the reliability of the device can be improved.

제1면(111)과 제2면(112) 사이의 제1경계(CL1)는 곡선을 갖고, 제3면(113)과 제1면(111) 사이의 제2경계(CL2)는 곡선을 가질 수 있다. 이때, 제1경계(CL1)와 제2경계(CL2)의 곡선은 동일한 곡률을 가질 수 있다. 이러한 구성에 의하면 몸체(100)의 사이즈를 줄일 수 있고, 캐비티(110)의 형상을 다각 형상으로 형성하여 와이어 실장 면적 등을 확보할 수 있다.The first boundary CL1 between the first surface 111 and the second surface 112 has a curve, and the second boundary CL2 between the third surface 113 and the first surface 111 has a curve. Can have. In this case, the curves of the first boundary CL1 and the second boundary CL2 may have the same curvature. According to this configuration, the size of the body 100 can be reduced, and the shape of the cavity 110 can be formed in a polygonal shape to secure a wire mounting area and the like.

기판(200)은 일면에 배치되는 제1전극(230) 및 제2전극(220), 하면에 배치되는 제1패드(240), 제2패드(260), 및 제3패드(250)를 포함할 수 있다. 제1패드(240)는 관통전극에 의해 제1전극(230)과 전기적으로 연결될 수 있고, 제2패드(260)는 관통전극에 의해 제2전극(220)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1패드(240)와 제2패드(260) 사이에 배치되는 제3패드(250)는 방열 패드일 수 있다. 제1 내지 제3패드(240, 250, 260)는 제1, 제2전극(220)과 동일한 재질일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The substrate 200 includes a first electrode 230 and a second electrode 220 disposed on one surface, a first pad 240, a second pad 260, and a third pad 250 disposed on a lower surface of the substrate 200. can do. The first pad 240 may be electrically connected to the first electrode 230 by a through electrode, and the second pad 260 may be electrically connected to the second electrode 220 by a through electrode. The third pad 250 disposed between the first pad 240 and the second pad 260 may be a heat radiation pad. The first to third pads 240, 250, and 260 may be made of the same material as the first and second electrodes 220, but are not limited thereto.

제1전극(230), 제2전극(220) 및 제1 내지 제3패드(240, 250, 260)는 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다. 예시적으로 제1전극(230), 제2전극(220) 및 제1 내지 제3패드(240, 250, 260)는 W/Ti/Ni/Cu/Pd/Au 순으로 적층된 구조를 가질 수도 있다.The first electrode 230, the second electrode 220, and the first to third pads 240, 250, and 260 are Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, It may be selected from Co, Ni, Si, Ge, Ag and Au and their optional alloys. For example, the first electrode 230, the second electrode 220, and the first to third pads 240, 250, and 260 may have a stacked structure in the order of W / Ti / Ni / Cu / Pd / Au. have.

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광장치의 개념도이고, 도 8은 도 7의 A 부분 확대도이고, 도 9는 복수 개의 반도체 소자 패키지와 회로 패턴의 연결을 보여주는 도면이고, 도 10은 도 1을 다른 방향에서 본 사시도이고, 도 11은 도 1의 저면도이다.7 is a conceptual diagram of a light emitting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 8 is an enlarged view of a portion A of FIG. 7, FIG. 9 is a view illustrating connection of a plurality of semiconductor device packages and circuit patterns, and FIG. 10 is 1 is a perspective view from another direction, and FIG. 11 is a bottom view of FIG. 1.

도 7을 참조하면, 실시 예에 따른 발광장치는 스테이지(30), 스테이지(30) 상에 배치되는 광원모듈(10, 20)을 포함할 수 있다. 실시 예에 따른 발광장치는 살균 장치, 경화 장치, 노광 장치, 조명 장치, 및 표시 장치 및 차량용 램프 등을 포함하는 개념일 수 있다. 이하에서는 예시적으로 발광장치를 노광기로 설명한다.Referring to FIG. 7, the light emitting device according to the embodiment may include a stage 30 and light source modules 10 and 20 disposed on the stage 30. The light emitting device according to the embodiment may be a concept including a sterilizing device, a curing device, an exposure device, a lighting device, and a display device and a vehicle lamp. Hereinafter, the light emitting device will be described as an exposure machine.

노광 대상물(41)은 스테이지(30) 상에 배치되고, 노광 대상물(41)과 광원모듈(10, 20) 사이에는 마스크 패턴(42)이 배치될 수 있다. 따라서, 마스크 패턴(42)에 따라 선택적으로 자외선 광이 노광 대상물(41)에 입사할 수 있다. 이러한 구조는 종래 노광기의 구조가 모두 적용될 수 있다.The exposure object 41 may be disposed on the stage 30, and a mask pattern 42 may be disposed between the exposure object 41 and the light source modules 10 and 20. Accordingly, ultraviolet light may selectively enter the exposure target 41 according to the mask pattern 42. This structure can be applied to all of the structure of the conventional exposure machine.

광원모듈(10, 20)은 회로기판(20) 및 회로기판(20)에 배치되는 복수 개의 반도체 소자 패키지(10)를 포함할 수 있다. 발광장치의 광원모듈(10, 20)에서 복수 개의 반도체 소자 패키지(10)는 최대한 조밀하게 배치되는 것이 중요할 수 있다. 반도체 소자 패키지의 간격을 더 좁게 할수록 타겟(target)면의 광속 및 조도 균일도가 개선될 수 있다.The light source modules 10 and 20 may include a circuit board 20 and a plurality of semiconductor device packages 10 disposed on the circuit board 20. In the light source modules 10 and 20 of the light emitting device, it may be important that the plurality of semiconductor device packages 10 are arranged as densely as possible. As the distance between the semiconductor device packages is narrower, the luminous flux and illuminance uniformity of the target surface may be improved.

도 8 및 도 9를 참조하면, 제1리드전극(21)은 제1반도체 소자 패키지(10a)에 전기적으로 연결되고, 제2리드전극(22)은 제1반도체 소자 패키지(10a)와 제4반도체 소자 패키지(10d)에 전기적으로 연결될 수 있다. 8 and 9, the first lead electrode 21 is electrically connected to the first semiconductor device package 10a, and the second lead electrode 22 is connected to the first semiconductor device package 10a and the fourth. It may be electrically connected to the semiconductor device package 10d.

제3리드전극(23)은 제1반도체 소자 패키지(10a)와 제2반도체 소자 패키지(10b) 사이를 지나 제5반도체 소자 패키지(10e)에 전기적으로 연결될 수 있다. 이때, 제3리드전극(23)은 제1반도체 소자 패키지(10a) 및 제2반도체 소자 패키지(10b)와 일부 중첩될 수 있다. 그러나, 제3리드전극(23)은 제1반도체 소자 패키지(10a) 및 제2반도체 소자 패키지(10b)의 패드(240, 250, 260)와는 이격되어 쇼트를 방지할 수 있다.The third lead electrode 23 may be electrically connected to the fifth semiconductor device package 10e through the first semiconductor device package 10a and the second semiconductor device package 10b. In this case, the third lead electrode 23 may partially overlap the first semiconductor device package 10a and the second semiconductor device package 10b. However, the third lead electrode 23 may be spaced apart from the pads 240, 250, and 260 of the first semiconductor device package 10a and the second semiconductor device package 10b to prevent a short circuit.

즉, 실시 예에 따른 광원모듈에서 복수 개의 반도체 소자 패키지(10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f) 사이로 리드전극(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27)이 중첩되어 배치될 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 반도체 소자 패키지의 사이 간격을 줄여 조도 균일도를 개선할 수 있다.That is, in the light source module according to the embodiment, the lead electrodes 21, 22, 23, 24, 25, 26, and 27 may be overlapped between the plurality of semiconductor device packages 10a, 10b, 10c, 10d, 10e, and 10f. Can be. According to such a structure, roughness uniformity can be improved by reducing the space | interval between semiconductor element packages.

실시 예에 따른 리드전극(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27)은 각 반도체 소자 패키지(10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f)와 개별적으로 연결될 수 있다. 따라서, 리드전극을 통해 각 반도체 소자 패키지에 인가되는 전류값을 다르게 제어할 수 있다. 예시적으로 광원모듈(10, 20)의 에지 영역에 배치된 반도체 소자 패키지에 인가되는 전류값을 더 낮게 제어할 수 있다. 이러한 구성에 의하면 광원모듈 내에서 조도가 낮은 영역에는 전류값을 상대적으로 높게 제어하고 조도가 높은 영역은 전류값을 상대적으로 낮게 제어하여 전체적으로 조도 균일도를 개선할 수 있다. 그러나, 조도가 일정하게 유지되는 구간(예: 광원모듈의 중앙 영역)에서는 복수 개의 반도체 소자 패키지에 공통 리드 전극을 연결하여 동일한 전류를 인가할 수 있다.The lead electrodes 21, 22, 23, 24, 25, 26, and 27 may be individually connected to the semiconductor device packages 10a, 10b, 10c, 10d, 10e, and 10f, respectively. Therefore, the current value applied to each semiconductor device package can be controlled differently through the lead electrode. For example, the current value applied to the semiconductor device package disposed in the edge regions of the light source modules 10 and 20 may be controlled to be lower. According to this configuration, the current value is controlled to be relatively high in the low illuminance region in the light source module, and the illuminance uniformity can be improved overall by controlling the current value relatively low in the high illuminance region. However, the same current may be applied by connecting common lead electrodes to a plurality of semiconductor device packages in a section in which illuminance is maintained (eg, a central region of the light source module).

도 10 및 도 11을 참조하면, 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 몸체(100)는 기판(200) 상에 배치되는 하면(132), 기판(200)에 수직한 복수 개의 측면(121, 122, 123, 124), 및 복수 개의 측면(121, 122, 123, 124)과 하면(132)을 연결하는 경사면(126)을 포함할 수 있다. 실시 예에서 복수 개의 측면(121, 122, 123, 124)은 기판(200)과 수직하게 배치된 것으로 설명하나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 복수 개의 측면(121, 122, 123, 124)은 경사를 가질 수도 있다.10 and 11, the body 100 of the semiconductor device package according to the embodiment may include a lower surface 132 disposed on the substrate 200, and a plurality of side surfaces 121 and 122 perpendicular to the substrate 200. 123, 124, and an inclined surface 126 connecting the plurality of side surfaces 121, 122, 123, and 124 and the lower surface 132. In the embodiment, the plurality of side surfaces 121, 122, 123, and 124 are described as being perpendicular to the substrate 200, but the present disclosure is not limited thereto, and the plurality of side surfaces 121, 122, 123, and 124 may have an inclination. It may be.

몸체(100)는 기판(200) 상에 배치될 수 있다. 이때, 몸체(100)의 하면(132)은 기판(200)보다 작을 수 있다. 즉, 몸체(100)의 하면(132)은 기판(200)의 내측에 배치될 수 있다. 이에 반해 몸체(100)의 외측면(121, 122, 123, 124)은 기판(200)의 외측에 배치될 수 있다. 따라서, 몸체(100)의 측면(121, 122, 123, 124)을 자른 단면적은 기판(200)보다 클 수 있다.The body 100 may be disposed on the substrate 200. In this case, the lower surface 132 of the body 100 may be smaller than the substrate 200. That is, the lower surface 132 of the body 100 may be disposed inside the substrate 200. In contrast, the outer surfaces 121, 122, 123, and 124 of the body 100 may be disposed outside the substrate 200. Therefore, the cross-sectional area of the side surfaces 121, 122, 123, and 124 of the body 100 may be larger than that of the substrate 200.

실시 예에 따르면 복수 개의 외측면(121, 122, 123, 124)과 하면(132)을 연결하는 경사면(126)이 기판(200)에 가까워질수록 면적이 좁아지도록 기울어지므로 몸체(100)의 측면(121, 122, 123, 124)은 기판(200)의 외측에 배치됨에도 불구하고 몸체(100)의 하면(132)은 기판(200)의 내측에 배치될 수 있다. 그 결과, 기판(200)에 배치된 복수 개의 패드(240, 250, 260)는 몸체(100)의 측면(121, 122, 123, 124)의 내측에 배치될 수 있다. 따라서, 회로기판(20)의 리드전극이 몸체(100)와 일부 중첩되어도 패드(240, 250, 260)와는 이격될 수 있다. 따라서, 반도체 소자 패키지를 조밀하게 배치하면서도 전기적 절연성을 확보할 수 있다.According to an embodiment, the inclined surface 126 connecting the plurality of outer surfaces 121, 122, 123, and 124 and the lower surface 132 is inclined so that the area becomes narrower as it approaches the substrate 200. Although the 121, 122, 123, and 124 are disposed outside the substrate 200, the bottom surface 132 of the body 100 may be disposed inside the substrate 200. As a result, the plurality of pads 240, 250, and 260 disposed on the substrate 200 may be disposed inside the side surfaces 121, 122, 123, and 124 of the body 100. Therefore, even when the lead electrode of the circuit board 20 partially overlaps the body 100, the lead electrodes of the circuit board 20 may be spaced apart from the pads 240, 250, and 260. Therefore, it is possible to secure the electrical insulation while densely arranging the semiconductor device package.

기판(200)의 면적과 몸체(100)의 최대 단면적의 비는 1:1.2 내지 1:1.8일 수 있다. 몸체(100)의 최대 단면적은 복수 개의 측면(121, 122, 123, 124)이 이루는 면적일 수 있다. 비가 1:1.2 이상인 경우 기판(200)의 면적이 충분히 작아 몸체(100)와 리드전극이 일부 중첩되어도 기판(200)의 패드와 전기적으로 절연될 수 있다. 또한, 비가 1:1.8 이하인 경우 몸체(100)의 면적이 작아져 조밀하게 배치될 수 있다.The ratio of the area of the substrate 200 to the maximum cross-sectional area of the body 100 may be 1: 1.2 to 1: 1.8. The maximum cross-sectional area of the body 100 may be an area formed by the plurality of side surfaces 121, 122, 123, and 124. When the ratio is greater than or equal to 1: 1.2, the area of the substrate 200 may be sufficiently small to electrically insulate the pad of the substrate 200 even when the body 100 and the lead electrode partially overlap. In addition, when the ratio is 1: 1.8 or less, the area of the body 100 may be reduced and be densely arranged.

도 12는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 사시도이고, 도 13은 도 12의 분해 사시도이고, 도 14는 도 13의 몸체와 기판의 결합 관계를 보여주는 도면이다.12 is a perspective view of a semiconductor device package according to a second embodiment of the present disclosure, FIG. 13 is an exploded perspective view of FIG. 12, and FIG. 14 is a view illustrating a coupling relationship between a body and a substrate of FIG. 13.

도 12 및 도 13을 참조하면, 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지는, 기판(200), 기판(200) 상에 배치되는 몸체(100), 몸체(100)의 내부에 배치되는 반도체 소자(400), 및 몸체(100)의 상부에 배치되는 투광부재(300)를 포함할 수 있다.12 and 13, a semiconductor device package according to an embodiment may include a substrate 200, a body 100 disposed on the substrate 200, and a semiconductor device 400 disposed inside the body 100. , And a light transmitting member 300 disposed above the body 100.

기판(200)은 AlN 재질을 포함할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 자외선 광을 반사할 수 있는 다양한 재질이 선택될 수도 있다. 예시적으로 기판(200)은 산화 알루미늄(Al2O3)을 포함할 수도 있다. 기판(200)은 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다. The substrate 200 may include an AlN material. However, the present invention is not limited thereto, and various materials capable of reflecting ultraviolet light may be selected. In exemplary embodiments, the substrate 200 may include aluminum oxide (Al 2 O 3 ). The substrate 200 may have a polygonal shape, for example, a rectangular shape.

기판(200)은 일면에 제1전극(230) 및 제2전극(220)이 배치될 수 있다. 제1전극(230)과 제2전극(220)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다. 예시적으로 제1전극(230) 및 제2전극(220)은 W/Ti/Ni/Cu/Pd/Au 순으로 적층된 구조를 가질 수도 있다.The first electrode 230 and the second electrode 220 may be disposed on one surface of the substrate 200. The first electrode 230 and the second electrode 220 are Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, W, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag, Au and Au It can be chosen from the optional alloys. For example, the first electrode 230 and the second electrode 220 may have a stacked structure in the order of W / Ti / Ni / Cu / Pd / Au.

반도체 소자(400)는 제2전극(220) 상에 배치되고, 와이어에 의해 제1전극(230)과 전기적으로 연결될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 반도체 소자(400)는 와이어에 의해 제1전극(230) 및 제2전극(220)과 전기적으로 연결될 수도 있다. 또한, 반도체 소자(400)는 플립칩으로 구현되어 제1전극(230) 및 제2전극(220) 상에 배치될 수도 있다. 즉, 반도체 소자(400)는 전극 구조에 따라 다양하게 제1전극(230) 및 제2전극(220)과 전기적으로 연결될 수 있다.The semiconductor device 400 may be disposed on the second electrode 220 and electrically connected to the first electrode 230 by a wire. However, the present disclosure is not limited thereto, and the semiconductor device 400 may be electrically connected to the first electrode 230 and the second electrode 220 by a wire. In addition, the semiconductor device 400 may be implemented as a flip chip and disposed on the first electrode 230 and the second electrode 220. That is, the semiconductor device 400 may be electrically connected to the first electrode 230 and the second electrode 220 in various ways depending on the electrode structure.

반도체 소자(400)는 자외선 파장대의 광을 출력할 수 있다. 예시적으로 반도체 소자(400)는 근자외선 파장대의 광(UV-A)을 출력할 수도 있고, 원자외선 파장대의 광(UV-B)을 출력할 수 도 있고, 심자외선 파장대의 광(UV-C)을 출력할 수 있다. 파장범위는 반도체 구조물의 Al의 조성비에 의해 결정될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 반도체 소자(400)는 노광에 필요한 파장대의 광을 출력하도록 제작될 수 있다.The semiconductor device 400 may output light in an ultraviolet wavelength band. For example, the semiconductor device 400 may output light in the near ultraviolet wavelength band (UV-A), may output light in the far ultraviolet wavelength band (UV-B), or may emit light in the deep ultraviolet wavelength band (UV-A). C) can be output. The wavelength range may be determined by the composition ratio of Al of the semiconductor structure. However, the present invention is not limited thereto, and the semiconductor device 400 may be manufactured to output light in a wavelength band required for exposure.

몸체(100)는 서로 마주보는 제1외측면(121)과 제3외측면(123), 서로 마주보는 제2외측면(122)과 제4외측면(124), 제1외측면(121)과 제2외측면(122) 사이에 배치되는 제1모서리부(127a), 제2외측면(122)과 제3외측면(123) 사이에 배치되는 제2모서리부(127b), 제3외측면(123)과 제4외측면(124) 사이에 배치되는 제3모서리부(127c), 및 제4외측면(124)과 제1외측면(121) 사이에 배치되는 제4모서리부(127d)를 포함할 수 있다. 몸체(100)는 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다.The body 100 has a first outer surface 121 and a third outer surface 123 facing each other, a second outer surface 122 and a fourth outer surface 124 facing each other, and a first outer surface 121. First corner portion 127a disposed between the second outer surface 122 and the second outer portion 127b disposed between the second outer surface 122 and the third outer surface 123 and the third outer portion. The third edge portion 127c disposed between the side surface 123 and the fourth outer surface 124, and the fourth corner portion 127d disposed between the fourth outer surface 124 and the first outer surface 121. ) May be included. The body 100 may be polygonal in shape, for example rectangular in shape.

몸체(100)는 상면과 하면을 관통하는 캐비티(110)를 포함할 수 있다. 캐비티(110)의 내면은 자외선 광을 반사할 수 있다. 예시적으로 몸체(100) 자체가 AlN 산화 알루미늄과 같이 자외선 광을 반사할 수 있거나, 캐비티(110)에 별도의 반사층이 배치될 수 있다.The body 100 may include a cavity 110 penetrating the upper and lower surfaces. The inner surface of the cavity 110 may reflect ultraviolet light. For example, the body 100 itself may reflect ultraviolet light, such as AlN aluminum oxide, or a separate reflective layer may be disposed in the cavity 110.

캐비티(110)는 경사진 제1면(111)과 기판(200)에 수직한 제2면(112)을 갖는 제1캐비티(110a), 및 반도체 소자(400)를 노출시키는 제2캐비티(110b)를 포함할 수 있다. 제2캐비티(110b)는 사각 형상일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. The cavity 110 includes a first cavity 110a having an inclined first surface 111 and a second surface 112 perpendicular to the substrate 200, and a second cavity 110b exposing the semiconductor device 400. ) May be included. The second cavity 110b may have a rectangular shape, but is not necessarily limited thereto.

몸체(100)는 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d) 중 대각 방향으로 마주보는 모서리부에서 돌출된 복수 개의 돌기부(125a, 125b, 125c, 125d)를 포함할 수 있다.The body 100 may include a plurality of protrusions 125a, 125b, 125c, and 125d protruding from the corner portions facing in the diagonal direction among the first to fourth corner portions 127a, 127b, 127c, and 127d.

예시적으로 복수 개의 돌기부(125a, 125c)는 제1모서리부(127a)에서 돌출된 제1돌기부(125a), 제3모서리부(127c)에서 돌출된 제3돌기부(125c)를 포함할 수 있다. 이때, 돌기부가 형성되지 않은 제2모서리부(127b)와 제4모서리부(127d)는 진공척이 몸체(100)을 잡기 위한 공간을 제공할 수 있다.For example, the plurality of protrusions 125a and 125c may include a first protrusion 125a protruding from the first edge portion 127a and a third protrusion 125c protruding from the third edge portion 127c. . In this case, the second corner portion 127b and the fourth corner portion 127d in which the protrusions are not formed may provide a space for the vacuum chuck to hold the body 100.

그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 제2모서리부(127b)에서 돌출된 제2돌기부(미도시)와 제4모서리부(127d)에서 돌출된 제4돌기부(미도시)를 더 포함할 수도 있다.However, the present invention is not limited thereto, and may further include a second protrusion (not shown) protruding from the second edge portion 127b and a fourth protrusion (not shown) protruding from the fourth edge portion 127d.

제1 및 제3돌기부(125a, 125c)는 다각 기둥 형상을 가질 수 있다. 예시적으로 제1 및 제3돌기부(125a, 125c)는 삼각 기둥 형상을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 사각 기둥, 오각 기둥 형상을 가질 수도 있다.The first and third protrusions 125a and 125c may have a polygonal pillar shape. For example, the first and third protrusions 125a and 125c may include a triangular pillar shape, but are not necessarily limited thereto and may have a square pillar and a pentagonal pillar shape.

투광부재(300)는 몸체(100) 상에 배치되어 반도체 소자(400)에서 출사되는 광을 제어할 수 있다. 투광부재(300)는 렌즈부(320)를 포함할 수 있다. 렌즈부(320)는 반도체 소자(400)에서 출사된 광이 균일하게 조사될 수 있도록 광속을 제어할 수 있다. 렌즈부(320)는 돔 형상인 것으로 예시하였으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 광을 균일하게 제어할 수 있도록 다양한 곡률을 가질 수 있다.The light transmitting member 300 may be disposed on the body 100 to control the light emitted from the semiconductor device 400. The light transmitting member 300 may include a lens unit 320. The lens unit 320 may control the luminous flux so that the light emitted from the semiconductor device 400 may be uniformly irradiated. The lens unit 320 is illustrated as having a dome shape, but is not necessarily limited thereto, and may have various curvatures to uniformly control light.

투광부재(300)는 서로 마주보는 제1측면(311)과 제3측면(313), 서로 마주보는 제2측면(312)과 제4측면(314), 제1측면(311)과 제2측면(312) 사이에 배치되는 제1모서리부(316), 제2측면(312)과 제3측면(313) 사이에 배치되는 제2모서리부(317), 제3측면(313)과 제4측면(314) 사이에 배치되는 제3모서리부(318), 및 제4측면(314)과 제1측면(311) 사이에 배치되는 제4모서리부(315)를 포함할 수 있다. 투광부재(300)는 다각형 형상, 예컨대, 사각형 형상일수 있다.The light transmitting member 300 includes a first side surface 311 and a third side surface 313 facing each other, a second side surface 312 and a fourth side surface 314 facing each other, and a first side surface 311 and a second side surface. The first edge portion 316 disposed between the 312, the second edge portion 317, the third side surface 313 and the fourth side surface disposed between the second side surface 312 and the third side surface 313. And a third edge portion 318 disposed between 314 and a fourth edge portion 315 disposed between the fourth side surface 314 and the first side surface 311. The light transmitting member 300 may have a polygonal shape, for example, a rectangular shape.

투광부재(300)는 복수 개의 돌기부(125a, 125c)와 마주보는 모서리부에 배치된 평탄면을 포함할 수 있다. 따라서, 투광부재(300)는 제1 및 제3돌기부(125a, 125c)에 의해 고정될 수 있다.The light transmitting member 300 may include a flat surface disposed at an edge portion facing the plurality of protrusions 125a and 125c. Therefore, the light transmitting member 300 may be fixed by the first and third protrusions 125a and 125c.

이때, 제1돌기부(125a) 및 제3돌기부(125c)는 서로 마주보는 면에 배치된 제1체결부(125-1)를 포함하고, 투광부재(300)는 제1모서리부(316)와 제3모서리부(318)에 배치되어 제1체결부(125-1)와 결합하는 제2체결부(316a, 318a)를 포함할 수 있다.In this case, the first protrusion 125a and the third protrusion 125c may include a first fastening part 125-1 disposed on surfaces facing each other, and the light transmitting member 300 may have a first edge portion 316. The second fastening part 318 may include second fastening parts 316a and 318a which are coupled to the first fastening part 125-1.

이때, 제1체결부(125-1)는 돌기이고 제2체결부(316a, 318a)는 홈일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 예시적으로 제1체결부(125-1)는 홈이고 제2체결부(316a, 318a)는 돌기일 수도 있다. 제1체결부(125-1)와 제2체결부(316a, 318a)는 제1 및 제3돌기부(125a, 125c)의 돌출 방향으로 연장될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 투광부재(300)가 제1 및 제3돌기부(125a, 125c)에 안정적으로 삽입 고정될 수 있다. In this case, the first fastening portion 125-1 may be a protrusion and the second fastening portions 316a and 318a may be grooves, but are not necessarily limited thereto. For example, the first fastening parts 125-1 may be grooves and the second fastening parts 316a and 318a may be protrusions. The first fastening portions 125-1 and the second fastening portions 316a and 318a may extend in the protruding directions of the first and third protrusions 125a and 125c. According to this configuration, the light transmitting member 300 may be stably inserted and fixed to the first and third protrusions 125a and 125c.

투광부재(300)는 접착제(미도시)에 의해 몸체(100)의 일면에 고정될 수 있다. 접착제는 UV 경화성 레진일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The light transmitting member 300 may be fixed to one surface of the body 100 by an adhesive (not shown). The adhesive may be a UV curable resin, but is not limited thereto.

투광부재(300)는 자외선 파장대의 광을 투과할 수 있는 재질이면 특별히 제한하지 않는다. 예시적으로 투광부재(300)는 쿼츠(Quartz) 또는 글라스와 같이 자외선 파장 투과율이 높은 광학 재료를 포함할 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다.The light transmitting member 300 is not particularly limited as long as it is a material capable of transmitting light in the ultraviolet wavelength band. For example, the light transmitting member 300 may include an optical material having a high ultraviolet light transmittance such as quartz or glass, but is not limited thereto.

도 14를 참조하면, 기판(200)은 반도체 소자(400)가 배치되는 제2전극(220), 제2전극(220)과 이격 배치된 제1전극(230), 및 기판(200)의 가장자리를 따라 배치되는 제1돌출부(270)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 14, the substrate 200 includes a second electrode 220 on which the semiconductor device 400 is disposed, a first electrode 230 spaced apart from the second electrode 220, and an edge of the substrate 200. It may include a first protrusion 270 disposed along the.

제1전극(230), 제2전극(220), 및 제1돌출부(270)는 기판(200) 상에 전극층을 형성한 후 패터닝하여 제작할 수 있다. 즉 제1돌출부(270)는 반도체 소자(400)와 전기적으로 절연될 수 있다. 따라서, 제1전극(230), 제2전극(220), 및 제1돌출부(270)는 동일한 재질을 가질 수 있다. 예시적으로 제1전극(230), 제2전극(220), 및 제1돌출부(270)는 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다. The first electrode 230, the second electrode 220, and the first protrusion 270 may be manufactured by patterning an electrode layer on the substrate 200. That is, the first protrusion 270 may be electrically insulated from the semiconductor device 400. Accordingly, the first electrode 230, the second electrode 220, and the first protrusion 270 may have the same material. For example, the first electrode 230, the second electrode 220, and the first protrusion 270 may include Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, and Si. , Ge, Ag and Au and their optional alloys.

제1돌출부(270)의 두께는 제1전극(230) 및 제2전극(220)과 동일할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 제1돌출부(270)의 두께는 제1전극(230) 및 제2전극(220)보다 두꺼울 수도 있다. The thickness of the first protrusion 270 may be the same as the first electrode 230 and the second electrode 220. However, the present invention is not limited thereto, and the thickness of the first protrusion 270 may be thicker than that of the first electrode 230 and the second electrode 220.

몸체(100)의 하면(132)에는 제2캐비티(110b)가 배치되는 제2돌출부(132b) 및 가장자리를 따라 배치되는 오목부(132a)가 배치되고, 제1돌출부(270)는 오목부(132a)에 삽입될 수 있다. 따라서, 기판(200)와 몸체(100)의 조립이 용이해지고 얼라인이 개선될 수 있다. 또한, 조립 후 몸체(100)가 회전하는 것을 방지할 수 있다.The lower surface 132 of the body 100 is provided with a second protrusion 132b in which the second cavity 110b is disposed and a recess 132a disposed along the edge, and the first protrusion 270 is a recess ( 132a). Therefore, the assembly of the substrate 200 and the body 100 can be facilitated and the alignment can be improved. In addition, it is possible to prevent the body 100 from rotating after assembly.

도 15는 도 12의 C-C 방향 단면도이고, 도 16은 도 13의 D-D 방향 단면 사시도이다.15 is a cross-sectional view taken along the C-C direction of FIG. 12, and FIG. 16 is a cross-sectional perspective view taken along the D-D direction of FIG. 13.

도 15 및 도 16을 참조하면, 실시 예에 따른 캐비티(110)는 경사진 제1면(111)과 기판(200)에 수직한 제2면(112)을 갖는 제1캐비티(110a), 및 반도체 소자(400)를 노출시키는 제2캐비티(110b)를 포함할 수 있다. 15 and 16, a cavity 110 according to an embodiment includes a first cavity 110a having an inclined first surface 111 and a second surface 112 perpendicular to the substrate 200, and The second cavity 110b exposing the semiconductor device 400 may be included.

제1면(111)은 기판(200)에서 멀어질수록 횡단면적이 커지는 파라볼라 형상을 가질 수 있다. 따라서, 반도체 소자(400)에서 출사된 광이 상향 반사되어 광속이 증가하고 균일한 배광을 가질 수 있다.The first surface 111 may have a parabolic shape in which the cross-sectional area increases as the distance from the substrate 200 increases. Therefore, the light emitted from the semiconductor device 400 may be upwardly reflected to increase the luminous flux and to have uniform light distribution.

제2면(112)은 제1면(111) 상에 배치되고 기판(200)에 수직하게 배치될 수 있다. 제2면(112)은 반도체 소자 패키지의 사이즈를 축소시킬 수 있다. 제1면(111)에 의해 제1캐비티(110a)가 전체적으로 파라볼라 형상을 갖는 경우 반도체 소자 패키지의 크기가 커져야 한다. The second surface 112 may be disposed on the first surface 111 and disposed perpendicular to the substrate 200. The second surface 112 may reduce the size of the semiconductor device package. When the first cavity 110a has a parabolic shape as a whole by the first surface 111, the size of the semiconductor device package should be increased.

실시 예에 따르면, 제1캐비티(110a) 내에 제2면(112)이 부분적으로 형성되어 반도체 소자 패키지의 사이즈를 줄일 수 있다. 따라서, 반도체 소자 패키지를 조밀하게 배치할 수 있다.According to an embodiment, the second surface 112 may be partially formed in the first cavity 110a to reduce the size of the semiconductor device package. Therefore, the semiconductor element package can be densely arranged.

제1면(111)과 제2면(112)의 수직 방향 최대 폭의 비(H1:H2)는 1:0.5 내지 1: 0.7일 수 있다. 비가 1:0.5보다 커지는 경우 제2면(112)이 넓어져 반도체 소자 패키지의 사이즈를 줄일 수 있으며, 비가 1:0.7보다 작은 경우 제2면(112)이 너무 넓어져 전반사에 따른 광속이 저하되는 문제를 방지할 수 있다.The ratio H1: H2 of the maximum width in the vertical direction of the first surface 111 and the second surface 112 may be 1: 0.5 to 1: 0.7. If the ratio is greater than 1: 0.5, the second surface 112 may be widened to reduce the size of the semiconductor device package. If the ratio is less than 1: 0.7, the second surface 112 may be too wide to decrease the luminous flux due to total reflection. Problems can be prevented.

도 13을 참조하면, 제2면(112)은 몸체(100)의 모서리부 사이에 배치될 수 있다. 예시적으로 복수 개의 제2면(112)은 제1모서리부(127a)와 제2모서리부(127b) 사이, 제2모서리부(127b)와 제3모서리부(127c) 사이, 제3모서리부(127c)와 제4모서리부(127d) 사이, 및 제4모서리부(127d)와 제1모서리부(127a) 사이에 각각 배치될 수 있다.Referring to FIG. 13, the second surface 112 may be disposed between the corner portions of the body 100. For example, the plurality of second surfaces 112 may include a space between the first edge portion 127a and the second edge portion 127b, between the second edge portion 127b and the third edge portion 127c, and a third edge portion. It may be disposed between 127c and the fourth edge portion 127d and between the fourth edge portion 127d and the first edge portion 127a, respectively.

이때, 제2면(112)의 수직 방향 폭은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 작아질 수 있다. 따라서, 제2면(112)은 반원 형상을 가질 수 있다. 제2면(112)의 수직 방향 폭(H2)이 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)에 가까워질수록 커지거나 동일한 경우 제1캐비티(110a)가 전체적으로 파라볼라 형상을 갖기 어려워 원하는 배광 분포를 갖기 어려울 수 있다. 또한, 광속이 저하될 수도 있다.In this case, the vertical width of the second surface 112 may be smaller as the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d become closer. Thus, the second surface 112 may have a semicircular shape. When the vertical width H2 of the second surface 112 becomes larger or the same as the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d, the first cavity 110a has a parabolic shape as a whole. It can be difficult to have the desired distribution of light distribution. In addition, the luminous flux may be lowered.

제1면(111)은 복수 개의 제2면(112) 사이의 영역으로 연장될 수 있다. 즉, 제1면(111)은 제1 내지 제4모서리부(127a, 127b, 127c, 127d)로 연장되어 복수 개의 제2면(112)을 구획할 수 있다.The first surface 111 may extend to an area between the plurality of second surfaces 112. That is, the first surface 111 may extend to the first to fourth edge portions 127a, 127b, 127c, and 127d to partition the plurality of second surfaces 112.

도 15 및 도 16을 참조하면, 제2캐비티(110b)는 제1캐비티(110a)의 하부에 배치될 수 있다. 제2캐비티(110b)는 반도체 소자(400)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 제2캐비티(110b)는 다각 형상 또는 원 형상을 가질 수 있다.15 and 16, the second cavity 110b may be disposed under the first cavity 110a. The second cavity 110b may be disposed to surround the semiconductor device 400. The second cavity 110b may have a polygonal shape or a circular shape.

제2캐비티(110b)는 기판(200)과 수직한 제3면(113)을 포함할 수 있다. 제2캐비티(110b)의 제3면(113)은 제2면(112)과 평행할 수 있다. The second cavity 110b may include a third surface 113 perpendicular to the substrate 200. The third surface 113 of the second cavity 110b may be parallel to the second surface 112.

제2캐비티(110b)의 제3면(113)은 서로 마주보는 제1내측면(113a)과 제3내측면(113c), 서로 마주보는 제2내측면(113b)과 제4내측면(113d)을 포함하고, 제1내측면(113a)과 제3내측면(113c)의 수평 방향 길이는 제2내측면(113b)과 제4내측면(113d)보다 길고, 제2내측면(113b)과 제4내측면(113d)의 수직 방향 폭(H4)이 제1내측면(113a)과 제3내측면(113c)의 수직 방향 폭(H3)보다 클 수 있다. The third surface 113 of the second cavity 110b includes the first inner surface 113a and the third inner surface 113c facing each other, the second inner surface 113b and the fourth inner surface 113d facing each other. ), The horizontal length of the first inner side 113a and the third inner side 113c is longer than the second inner side 113b and the fourth inner side 113d, and the second inner side 113b. The vertical width H4 of the fourth inner side surface 113d may be greater than the vertical width H3 of the first inner side surface 113a and the third inner side surface 113c.

제2캐비티(110b)의 제1내측면(113a)은 몸체(100)의 제1측면(121)과 마주보게 배치될 수 있고, 제3내측면(113c)은 몸체(100)의 제3측면(123)과 마주보게 배치될 수 있다.The first inner side surface 113a of the second cavity 110b may be disposed to face the first side surface 121 of the body 100, and the third inner side surface 113c may have a third side surface of the body 100. It may be disposed to face 123.

또한, 제2캐비티(110b)의 제2내측면(113b)은 몸체(100)의 제2측면(122)과 마주보게 배치될 수 있고, 제4내측면(113d)은 몸체(100)의 제4측면(124)과 마주보게 배치될 수 있다.In addition, the second inner side surface 113b of the second cavity 110b may be disposed to face the second side surface 122 of the body 100, and the fourth inner side surface 113d may be the first side surface of the body 100. It may be disposed to face the four sides 124.

제2캐비티(110b)의 제1내측면(113a)과 제3내측면(113c)의 수직 방향 폭(H3)은 제2캐비티(110b)의 제2내측면(113b)과 제4내측면(113d)에 가까워질수록 커질 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 제1면(111)의 하부에 배치되는 제2캐비티(110b)의 형상을 다각 형상으로 형성할 수 있어 와이어 실장 면적 등을 확보할 수 있다. 따라서, 소자의 신뢰성이 향상될 수 있다. 제2내측면(113b) 및 제3내측면(113c)의 수직 방향 폭(H4)은 제1면(111)의 수직 방향 폭(H2)보다 작을 수 있다.The vertical width H3 of the first inner side surface 113a and the third inner side surface 113c of the second cavity 110b includes the second inner side surface 113b and the fourth inner side surface of the second cavity 110b. Closer to 113d). According to such a structure, the shape of the 2nd cavity 110b arrange | positioned under the 1st surface 111 can be formed in polygonal shape, and wire mounting area etc. can be ensured. Therefore, the reliability of the device can be improved. The vertical width H4 of the second inner side surface 113b and the third inner side surface 113c may be smaller than the vertical width H2 of the first surface 111.

도 17은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 개념도이고, 도 18은 도 17의 평면도이고, 도 19는 도 18의 제1변형예이고, 도 20은 도 18의 제2변형예이다.17 is a conceptual diagram of a semiconductor device package according to a third exemplary embodiment of the present invention, FIG. 18 is a plan view of FIG. 17, FIG. 19 is a first modification of FIG. 18, and FIG. 20 is a second modification of FIG. 18. to be.

도 17 및 도 18을 참조하면, 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지는 복수 개의 캐비티(511)를 포함하는 몸체(500), 복수 개의 캐비티(511)에 각각 배치되는 복수 개의 반도체 소자(400), 및 복수 개의 캐비티(511)에 배치되는 복수 개의 렌즈부(521)를 포함하는 투광부재(520)를 포함할 수 있다.17 and 18, a semiconductor device package according to an embodiment may include a body 500 including a plurality of cavities 511, a plurality of semiconductor devices 400 disposed in a plurality of cavities 511, and A light transmitting member 520 including a plurality of lens units 521 disposed in the plurality of cavities 511 may be included.

몸체(510)는 복수 개의 캐비티(511)를 포함할 수 있다. 몸체(510)는 알루미늄 기판을 가공하여 제작할 수 있다. 따라서, 실시 예에 따른 몸체(510)는 내면과 외면이 모두 도전성을 가질 수 있다. 이러한 구조는 다양한 이점을 가질 수 있다. AlN, Al2O3와 같은 비도전성 재질을 몸체(510)로 사용하는 경우, 자외선 파장대의 반사율이 20% 내지 40%로 작으므로 별도의 반사부재를 배치해야 하는 문제가 있다. 또한, 리드 프레임과 같은 별도의 도전성 부재 및 회로 패턴이 필요할 수 있다. 따라서, 제작 비용이 상승하고 공정이 복잡해질 수 있다. 또한, 금(Au)과 같은 도전성 부재는 자외선을 흡수하여 광 추출 효율이 감소하는 문제가 있다.The body 510 may include a plurality of cavities 511. The body 510 may be manufactured by processing an aluminum substrate. Therefore, the body 510 according to the embodiment may have both inner and outer surfaces conductive. Such a structure can have various advantages. When using a non-conductive material such as AlN, Al 2 O 3 as the body 510, since the reflectance of the ultraviolet wavelength band is small to 20% to 40%, there is a problem that a separate reflecting member must be disposed. In addition, a separate conductive member such as a lead frame and a circuit pattern may be required. As a result, manufacturing costs may rise and the process may become complicated. In addition, a conductive member such as gold (Au) has a problem in that light absorption efficiency is reduced by absorbing ultraviolet rays.

그러나, 실시 예에 따르면, 몸체(510) 자체가 알루미늄으로 구성되므로 자외선 파장대에서 반사율이 높아 별도의 반사부재를 생략할 수 있다. 또한, 몸체(510) 자체가 도전성이 있으므로 별도의 회로패턴 및 리드 프레임을 생략할 수 있다. 또한, 알루미늄으로 제작되므로 열전도성이 140W/m.k 내지 160W/m.k으로 우수할 수 있다. 따라서, 열 방출 효율도 향상될 수 있다.However, according to the embodiment, since the body 510 itself is made of aluminum, a high reflectance may be omitted in the ultraviolet wavelength range. In addition, since the body 510 itself is conductive, separate circuit patterns and lead frames may be omitted. In addition, since it is made of aluminum, the thermal conductivity may be excellent as 140W / m.k to 160W / m.k. Therefore, the heat dissipation efficiency can also be improved.

몸체(510)는 제1방향(수평 방향)으로 배치된 복수 개의 도전부(512)를 포함할 수 있다. 복수 개의 도전부(512) 사이에는 절연라인(514a, 514b)이 배치될 수 있다. 복수 개의 도전부(512)는 도전성을 가지므로 극을 분리하기 위해 절연라인(514a, 514b)이 배치될 필요가 있다. 따라서, 절연라인(514a, 514b)은 제2방향(수직 방향)으로 복수 개의 캐비티(511)를 관통할 수 있다. 이때, 제1절연라인(514a)은 제1열(L1)에 배치된 캐비티(511)의 바닥면(511a)을 관통할 수 있고, 제2절연라인(514b)은 제2열(L2)에 배치된 캐비티의 바닥면(511a)을 관통할 수 있다.The body 510 may include a plurality of conductive parts 512 disposed in the first direction (horizontal direction). Insulation lines 514a and 514b may be disposed between the plurality of conductive parts 512. Since the plurality of conductive parts 512 are conductive, insulating lines 514a and 514b need to be disposed to separate the poles. Therefore, the insulation lines 514a and 514b may pass through the plurality of cavities 511 in the second direction (vertical direction). In this case, the first insulating line 514a may penetrate the bottom surface 511a of the cavity 511 disposed in the first column L1, and the second insulating line 514b may pass through the second column L2. It may penetrate the bottom surface 511a of the disposed cavity.

절연라인(514a, 514b)은 절연 기능을 갖는 다양한 재질이 모두 포함될 수 있다. 예시적으로 절연라인(514a, 514b)은 폴리이미드와 같은 레진을 포함할 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 절연라인(514a, 514b)의 두께는 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다. 두께가 10㎛이상인 경우 복수 개의 도전부(512)를 충분히 절연시킬 수 있으며, 두께가 70㎛이하인 경우 패키지의 사이즈가 커지는 문제를 개선할 수 있다.The insulation lines 514a and 514b may include all of various materials having an insulation function. In exemplary embodiments, the insulating lines 514a and 514b may include a resin such as polyimide, but are not limited thereto. The thickness of the insulation lines 514a and 514b may be 10 μm to 100 μm. When the thickness is 10 μm or more, the plurality of conductive parts 512 may be sufficiently insulated, and when the thickness is 70 μm or less, a problem of increasing the size of the package may be improved.

캐비티(110)의 형상은 특별히 제한하지 않는다. 캐비티(110)는 전체적으로 파라볼라 형상을 가질 수 있다. 캐비티(110)는 평면상 원 형상을 가질 수도 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 다각 형상을 가질 수도 있다. 즉, 전술한 캐비티(110)의 구조를 가질 수도 있다.The shape of the cavity 110 is not particularly limited. The cavity 110 may have a parabolic shape as a whole. The cavity 110 may have a circular shape in plan but is not limited thereto and may have a polygonal shape. That is, it may have a structure of the cavity 110 described above.

투광부재(520)는 복수 개의 캐비티(110) 상에 배치되는 복수 개의 렌즈부(521)를 포함할 수 있다. 투광부재(520)의 형상은 몸체(510)의 형상과 대응될 수 있다. 도 18과 같이 몸체(510)가 육각 형상인 경우 투광부재(520) 역시 육각형상을 가질 수 있다. 몸체(510)의 외측면이 육각 형상을 갖는 경우 내부에 배치된 캐비티가(110) 가장 조밀하게 배치될 수 있다. 따라서, 단위 면적당 반도체 소자(400)의 개수가 많아져 광 출력을 향상시킬 수 있다. 이 경우 캐비티(511)가 서로 엇갈리게 배치되어 캐비티(511) 간의 사이 공간을 줄일 수 있다. 그러나, 몸체의 형상은 이에 한정되는 것은 아니고 다양한 다각 형상 또는 원 형상을 가질 수 있다. 예시적으로 도 19와 같이 몸체(510)는 사각 형상을 가질 수도 있고, 도 20과 같이 삼각 형상을 가질 수도 있다.The light transmitting member 520 may include a plurality of lens units 521 disposed on the plurality of cavities 110. The shape of the light transmitting member 520 may correspond to the shape of the body 510. As shown in FIG. 18, when the body 510 has a hexagonal shape, the light transmitting member 520 may also have a hexagonal shape. When the outer surface of the body 510 has a hexagonal shape, the cavity 110 disposed therein may be most densely disposed. Therefore, the number of semiconductor elements 400 per unit area increases, so that light output can be improved. In this case, the cavities 511 are staggered from each other to reduce the space between the cavities 511. However, the shape of the body is not limited thereto and may have various polygonal shapes or circular shapes. For example, the body 510 may have a quadrangular shape as shown in FIG. 19, or may have a triangular shape as shown in FIG. 20.

도 21은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 단면도이고, 도 22는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 일부 분해 사시도이고, 도 23은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지의 평면도이다.FIG. 21 is a cross-sectional view of a semiconductor device package according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 22 is a partially exploded perspective view of a semiconductor device package according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 23 is a fourth embodiment of the present invention. A plan view of a semiconductor device package according to FIG.

도 21 및 도 22를 참조하면, 실시 예에 따른 반도체 소자 패키지는(600)는 기판(610), 기판(610) 상에 배치되고 복수 개의 캐비티(621)를 포함하는 몸체(620), 복수 개의 캐비티(621) 내에 각각 배치되는 복수 개의 반도체 소자(400), 및 복수 개의 캐비티(621) 상에 각각 배치되는 복수 개의 렌즈부(631)를 포함하는 투광부재(630)를 포함할 수 있다.21 and 22, a semiconductor device package 600 according to an embodiment may include a substrate 610, a body 620 disposed on the substrate 610, and including a plurality of cavities 621. The light emitting member 630 may include a plurality of semiconductor elements 400 disposed in the cavity 621, and a plurality of lens units 631 disposed on the plurality of cavities 621, respectively.

실시 예에 따른 반도체 소자 패키지는 도 15의 반도체 소자 패키지가 복수 개 합쳐져 형성될 수 있다. 즉, 기판(610) 상에 복수 개의 반도체 소자(400)가 배치되고, 몸체(620)에는 각각의 반도체 소자(400)가 배치될 수 있는 캐비티(621)가 형성될 수 있다. 또한, 투광부재(630)는 복수 개의 캐비티(621)에 각각 배치되는 복수 개의 렌즈부(631)를 포함할 수 있다.The semiconductor device package according to the embodiment may be formed by combining a plurality of semiconductor device packages of FIG. 15. That is, a plurality of semiconductor devices 400 may be disposed on the substrate 610, and a cavity 621 in which each semiconductor device 400 may be disposed may be formed in the body 620. In addition, the light transmitting member 630 may include a plurality of lens units 631 disposed in the plurality of cavities 621.

이때, 반도체 소자 패키지는 도 12 내지 도 16에서 설명한 구조가 모두 적용될 수 있다. 예시적으로 캐비티(621)는 경사를 갖는 제1면(111)과 기판(610)에 수직한 제2면(112)을 포함할 수 있다. 또한, 제2캐비티(110b)의 구조도 가질 수 있다. 또한, 도 1 내지 도 11에서 전술한 구조도 모두 적용될 수 있다.In this case, all of the structures described with reference to FIGS. 12 to 16 may be applied to the semiconductor device package. For example, the cavity 621 may include a first surface 111 having an inclination and a second surface 112 perpendicular to the substrate 610. In addition, it may have a structure of the second cavity (110b). In addition, all of the above-described structure in FIGS. 1 to 11 may be applied.

실시 예에 따르면, 제너 다이오드(410)는 몸체의 내부에 형성된 홈(624)에 배치될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 반도체 소자(400)에서 출사되는 광이 제너 다이오드(410)에 흡수되는 것을 방지하여 광 출력을 향상시킬 수 있다. 홈(624)은 제2캐비티(110b)와 연결될 수도 있고 이격될 수도 있다. 제너 다이오드(410)는 반도체 소자(400)의 회로 패턴과 전기적으로 연결될 수 있다.According to an embodiment, the zener diode 410 may be disposed in the groove 624 formed inside the body. According to such a configuration, light emitted from the semiconductor device 400 may be prevented from being absorbed by the zener diode 410, thereby improving light output. The groove 624 may be connected to or spaced from the second cavity 110b. The zener diode 410 may be electrically connected to the circuit pattern of the semiconductor device 400.

도 23을 참조하면, 반도체 소자 패키지의 형상(600)은 사각 형상을 가질 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 반도체 소자 패키지는 삼각 형성, 오각 형상, 육각 형상 등 다양한 다각 형상을 가질 수 있다.Referring to FIG. 23, the shape 600 of the semiconductor device package may have a square shape. However, the present invention is not limited thereto, and the semiconductor device package may have various polygonal shapes such as triangular shape, pentagonal shape, and hexagonal shape.

반도체 소자는 다양한 종류의 발광장치에 적용될 수 있다. 예시적으로 발광장치는 살균 장치, 경화 장치, 노광장치, 조명 장치, 및 표시 장치 및 차량용 램프 등을 포함하는 개념일 수 있다. 즉, 반도체 소자는 케이스에 배치되어 광을 제공하는 다양한 전자 디바이스에 적용될 수 있다.The semiconductor device may be applied to various kinds of light emitting devices. For example, the light emitting device may be a concept including a sterilizing device, a curing device, an exposure device, a lighting device, and a display device and a vehicle lamp. That is, the semiconductor device may be applied to various electronic devices disposed in a case to provide light.

살균 장치는 실시 예에 따른 반도체 소자를 구비하여 원하는 영역을 살균할수 있다. 살균 장치는 정수기, 에어컨, 냉장고 등의 생활 가전에 적용될 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 즉, 살균 장치는 살균이 필요한 다양한 제품(예: 의료 기기)에 모두 적용될 수 있다.The sterilization apparatus may include a semiconductor device according to the embodiment to sterilize a desired region. The sterilizer may be applied to household appliances such as water purifiers, air conditioners and refrigerators, but is not necessarily limited thereto. That is, the sterilization apparatus can be applied to all the various products (eg, medical devices) requiring sterilization.

예시적으로 정수기는 순환하는 물을 살균하기 위해 실시 예에 따른 살균 장치를 구비할 수 있다. 살균 장치는 물이 순환하는 노즐 또는 토출구에 배치되어 자외선을 조사할 수 있다. 이때, 살균 장치는 방수 구조를 포함할 수 있다.Illustratively, the water purifier may be provided with a sterilizing device according to the embodiment to sterilize the circulating water. The sterilization apparatus may be disposed at a nozzle or a discharge port through which water circulates to irradiate ultraviolet rays. At this time, the sterilization apparatus may include a waterproof structure.

경화 장치는 실시 예에 따른 반도체 소자를 구비하여 다양한 종류의 액체를 경화시킬 수 있다. 액체는 자외선이 조사되면 경화되는 다양한 물질을 모두 포함하는 최광의 개념일 수 있다. 예시적으로 경화장치는 다양한 종류의 레진을 경화시킬 수 있다. 또는 경화장치는 매니큐어와 같은 미용 제품을 경화시키는 데 적용될 수도 있다.The curing apparatus includes a semiconductor device according to an embodiment to cure various kinds of liquids. Liquids can be the broadest concept that includes all of the various materials that cure when irradiated with ultraviolet light. By way of example, the curing apparatus may cure various kinds of resins. Alternatively, the curing device may be applied to cure a cosmetic product such as a nail polish.

노광 장치는 빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 시료 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크를 올려놓고 자외선을 조사하여 감광막에 원하는 패턴을 전사할 수 있다. 예를 들어, 전자기기의 주요 부품으로 내장되는 반도체 소자나 회로기판(PCB) 및 디스플레이 패널은 노광 공정에서 포토리소그래피(Photolithography) 기술을 이용하여 미세 회로 패턴을 형성할 수 있다.The exposure apparatus may transfer a desired pattern to the photosensitive film by placing a mask on which a desired pattern is formed on a sample coated with a photo-resist, which is a material reacting with light, and irradiating ultraviolet rays. For example, semiconductor devices, circuit boards (PCBs), and display panels, which are embedded as main components of electronic devices, may form fine circuit patterns using photolithography techniques in an exposure process.

조명 장치는 기판과 실시 예의 반도체 소자를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열부 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 또한, 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등 등을 포함할 수 있다. The lighting apparatus may include a light source module including a substrate and the semiconductor device of the embodiment, a heat dissipation unit for dissipating heat of the light source module, and a power supply unit for processing or converting an electrical signal provided from the outside and providing the light source module to the light source module. In addition, the lighting apparatus may include a lamp, a head lamp, or a street lamp.

표시 장치는 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 광학 시트, 디스플레이 패널, 화상 신호 출력 회로 및 컬러 필터를 포함할 수 있다. 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 구성할 수 있다.The display device may include a bottom cover, a reflector, a light emitting module, a light guide plate, an optical sheet, a display panel, an image signal output circuit, and a color filter. The bottom cover, the reflector, the light emitting module, the light guide plate, and the optical sheet may constitute a backlight unit.

반사판은 바텀 커버 상에 배치되고, 발광 모듈은 광을 방출할 수 있다. 도광판은 반사판의 전방에 배치되어 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하고, 광학 시트는 프리즘 시트 등을 포함하여 이루어져 도광판의 전방에 배치될 수 있다. 디스플레이 패널은 광학 시트 전방에 배치되고, 화상 신호 출력 회로는 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하며, 컬러 필터는 디스플레이 패널의 전방에 배치될 수 있다.The reflecting plate is disposed on the bottom cover, and the light emitting module may emit light. The light guide plate may be disposed in front of the reflective plate to guide light emitted from the light emitting module to the front, and the optical sheet may include a prism sheet or the like to be disposed in front of the light guide plate. The display panel is disposed in front of the optical sheet, the image signal output circuit supplies an image signal to the display panel, and the color filter may be disposed in front of the display panel.

반도체 소자는 표시장치의 백라이트 유닛으로 사용될 때 에지 타입의 백라이트 유닛으로 사용되거나 직하 타입의 백라이트 유닛으로 사용될 수 있다.The semiconductor device may be used as an edge type backlight unit or a direct type backlight unit when used as a backlight unit of a display device.

반도체 소자는 상술한 발광 다이오드 외에 레이저 다이오드일 수도 있다.The semiconductor element may be a laser diode in addition to the light emitting diode described above.

레이저 다이오드는, 발광소자와 동일하게, 상술한 구조의 제1 도전형 반도체층과 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다. 그리고, p-형의 제1 도전형 반도체와 n-형의 제2 도전형 반도체를 접합시킨 뒤 전류를 흘러주었을 때 빛이 방출되는 electro-luminescence(전계발광) 현상을 이용하나, 방출되는 광의 방향성과 위상에서 차이점이 있다. 즉, 레이저 다이오드는 여기 방출(stimulated emission)이라는 현상과 보강간섭 현상 등을 이용하여 하나의 특정한 파장(단색광, monochromatic beam)을 가지는 빛이 동일한 위상을 가지고 동일한 방향으로 방출될 수 있으며, 이러한 특성으로 인하여 광통신이나 의료용 장비 및 반도체 공정 장비 등에 사용될 수 있다.Like the light emitting device, the laser diode may include the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer having the above-described structure. In addition, although the p-type first conductive semiconductor and the n-type second conductive semiconductor are bonded to each other, an electro-luminescence phenomenon is used in which light is emitted when a current flows, but the direction of emitted light is used. There is a difference in and phase. That is, a laser diode may emit light having a specific wavelength (monochromatic beam) in the same direction with the same phase by using a phenomenon called stimulated emission and a constructive interference phenomenon. Due to this, it can be used for optical communication, medical equipment and semiconductor processing equipment.

수광 소자로는 빛을 검출하여 그 강도를 전기 신호로 변환하는 일종의 트랜스듀서인 광 검출기(photodetector)를 예로 들 수 있다. 이러한 광 검출기로서, 광전지(실리콘, 셀렌), 광 출력전 소자(황화 카드뮴, 셀렌화 카드뮴), 포토 다이오드(예를 들어, visible blind spectral region이나 true blind spectral region에서 피크 파장을 갖는 PD), 포토 트랜지스터, 광전자 증배관, 광전관(진공, 가스 봉입), IR(Infra-Red) 검출기 등이 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.For example, a photodetector may be a photodetector, which is a type of transducer that detects light and converts its intensity into an electrical signal. Such photodetectors include photovoltaic cells (silicon, selenium), photoelectric devices (cadmium sulfide, cadmium selenide), photodiodes (e.g. PD having peak wavelength in visible blind or true blind spectral regions) Transistors, optoelectronic multipliers, phototubes (vacuum, gas encapsulation), infrared (Infra-Red) detectors, and the like, but embodiments are not limited thereto.

또한, 광검출기와 같은 반도체 소자는 일반적으로 광변환 효율이 우수한 직접 천이 반도체(direct bandgap semiconductor)를 이용하여 제작될 수 있다. 또는, 광검출기는 구조가 다양하여 가장 일반적인 구조로는 p-n 접합을 이용하는 pin형 광검출기와, 쇼트키접합(Schottky junction)을 이용하는 쇼트키형 광검출기와, MSM(Metal Semiconductor Metal)형 광검출기 등이 있다. In addition, a semiconductor device such as a photodetector may generally be manufactured using a direct bandgap semiconductor having excellent light conversion efficiency. Alternatively, the photodetector has various structures, and the most common structures include a pin photodetector using a pn junction, a Schottky photodetector using a Schottky junction, a metal semiconductor metal (MSM) photodetector, and the like. have.

포토 다이오드(Photodiode)는 발광소자와 동일하게, 상술한 구조의 제1 도전형 반도체층과 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있고, pn접합 또는 pin 구조로 이루어진다. 포토 다이오드는 역바이어스 혹은 제로바이어스를 가하여 동작하게 되며, 광이 포토 다이오드에 입사되면 전자와 정공이 생성되어 전류가 흐른다. 이때 전류의 크기는 포토 다이오드에 입사되는 광의 강도에 거의 비례할 수 있다.Like a light emitting device, a photodiode may include a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer having the above-described structure, and have a pn junction or pin structure. The photodiode operates by applying a reverse bias or zero bias. When light is incident on the photodiode, electrons and holes are generated and current flows. In this case, the magnitude of the current may be approximately proportional to the intensity of light incident on the photodiode.

광전지 또는 태양 전지(solar cell)는 포토 다이오드의 일종으로, 광을 전류로 변환할 수 있다. 태양 전지는, 발광소자와 동일하게, 상술한 구조의 제1 도전형 반도체층과 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다. Photovoltaic cells or solar cells are a type of photodiodes that can convert light into electrical current. The solar cell may include the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer having the above-described structure, similarly to the light emitting device.

또한, p-n 접합을 이용한 일반적인 다이오드의 정류 특성을 통하여 전자 회로의 정류기로 이용될 수도 있으며, 초고주파 회로에 적용되어 발진 회로 등에 적용될 수 있다.In addition, through the rectification characteristics of a general diode using a p-n junction it may be used as a rectifier of an electronic circuit, it may be applied to an ultra-high frequency circuit and an oscillation circuit.

또한, 상술한 반도체 소자는 반드시 반도체로만 구현되지 않으며 경우에 따라 금속 물질을 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 수광 소자와 같은 반도체 소자는 Ag, Al, Au, In, Ga, N, Zn, Se, P, 또는 As 중 적어도 하나를 이용하여 구현될 수 있으며, p형이나 n형 도펀트에 의해 도핑된 반도체 물질이나 진성 반도체 물질을 이용하여 구현될 수도 있다.In addition, the semiconductor device described above is not necessarily implemented as a semiconductor and may further include a metal material in some cases. For example, a semiconductor device such as a light receiving device may be implemented using at least one of Ag, Al, Au, In, Ga, N, Zn, Se, P, or As, and may be implemented by a p-type or n-type dopant. It may also be implemented using a doped semiconductor material or an intrinsic semiconductor material.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the above description has been made based on the embodiments, these are merely examples and are not intended to limit the present invention. Those skilled in the art to which the present invention pertains may not have been exemplified above without departing from the essential characteristics of the present embodiments. It will be appreciated that many variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

Claims (16)

제1캐비티를 포함하는 몸체; 및
상기 제1캐비티의 내부에 배치되는 반도체 소자를 포함하고,
상기 제1캐비티는 상기 반도체 소자에서 멀어질수록 면적이 넓어지도록 경사진 제1면, 및 상기 반도체 소자의 상면과 수직한 복수 개의 제2면을 포함하고,
상기 몸체는 서로 마주보는 제1외측면과 제3외측면, 서로 마주보는 제2외측면과 제4외측면, 상기 제1외측면과 제2외측면이 만나는 영역에 배치되는 제1모서리부, 제2외측면과 제3외측면이 만나는 영역에 배치되는 제2모서리부, 상기 제3외측면과 상기 제4외측면이 만나는 영역에 배치되는 제3모서리부, 및 상기 제4외측면과 상기 제1외측면이 만나는 영역에 배치되는 제4모서리부를 포함하고,
상기 복수 개의 제2면은 상기 제1모서리부와 제2모서리부 사이, 상기 제2모서리부와 제3모서리부 사이, 상기 제3모서리부와 제4모서리부 사이, 및 상기 제4모서리부와 제1모서리부 사이에 각각 배치되는 반도체 소자 패키지.
A body including a first cavity; And
A semiconductor device disposed inside the first cavity,
The first cavity includes a first surface inclined such that an area becomes wider as it moves away from the semiconductor device, and a plurality of second surfaces perpendicular to an upper surface of the semiconductor device.
The body has a first edge portion disposed in an area where the first outer side and the third outer side facing each other, the second outer side and the fourth outer side facing each other, the first outer side and the second outer side meet; A second corner portion disposed in an area where the second outer surface and the third outer surface meet, a third edge portion disposed in an area where the third outer surface and the fourth outer surface meet, and the fourth outer surface and the fourth outer surface A fourth edge portion disposed in an area where the first outer surface meets,
The plurality of second surfaces may be disposed between the first edge portion and the second edge portion, between the second edge portion and the third edge portion, between the third edge portion and the fourth edge portion, and the fourth edge portion. A semiconductor device package disposed between the first edge portion.
제1항에 있어서,
상기 반도체 소자가 배치되는 기판을 포함하는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 1,
A semiconductor device package comprising a substrate on which the semiconductor device is disposed.
제2항에 있어서,
상기 몸체는 제1캐비티와 연결되고 상기 몸체의 하부면을 관통하는 제2캐비티를 포함하고,
상기 제2캐비티의 측면은 상기 기판의 일면과 수직한 제3면을 갖는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 2,
The body includes a second cavity connected to the first cavity and penetrating the lower surface of the body,
The side surface of the second cavity has a third surface perpendicular to one surface of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 제2면의 수직 방향 폭은 상기 제1 내지 제4 모서리부에 가까워질수록 작아지는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 1,
The vertical width of the plurality of second surfaces becomes smaller as the first to fourth corner portions become closer.
제3항에 있어서,
상기 제3면의 제1방향 폭은 상기 제1 내지 제4 모서리부에 가까워질수록 커지는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 3,
The first direction width of the third surface is larger as the closer to the first to fourth corner portion.
제3항에 있어서,
상기 제1면과 상기 제2면 사이의 제1경계는 곡선을 갖는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 3,
And a first boundary between the first and second surfaces is curved.
제6항에 있어서,
상기 제3면과 상기 제1면 사이의 제2경계는 곡선을 갖는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 6,
And a second boundary between the third surface and the first surface is curved.
제7항에 있어서,
상기 제1경계와 제2경계의 곡선은 동일한 곡률을 갖는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 7, wherein
The semiconductor device package of claim 1, wherein the curves of the first boundary and the second boundary have the same curvature.
제1항에 있어서,
상기 제1면은 상기 제1 내지 제4모서리부로 연장되어 상기 복수 개의 제2면을 구획하는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 1,
The first surface extends to the first to fourth edges to define the plurality of second surfaces.
제3항에 있어서,
상기 제2캐비티는 사각 형상을 갖는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 3,
The second cavity is a semiconductor device package having a rectangular shape.
제10항에 있어서,
상기 제2캐비티는 서로 마주보는 제1측면과 제3측면, 서로 마주보는 제2측면과 제4측면을 포함하고,
상기 제1측면과 제3측면의 길이가 상기 제2측면과 제4측면보다 길고,
상기 제2측면과 제4측면의 수직 방향 폭이 상기 제1측면과 제3측면의 수직 방향 폭보다 큰 반도체 소자 패키지.
The method of claim 10,
The second cavity includes a first side and a third side facing each other, a second side and a fourth side facing each other,
The length of the first side and the third side is longer than the second side and the fourth side,
The semiconductor device package of claim 1, wherein a vertical width of the second side surface and a fourth side surface is greater than a vertical width of the first side surface and the third side surface.
제3항에 있어서,
상기 복수 개의 제2면의 수직방향 폭은 상기 제1면의 수직 방향 폭보다 작은 반도체 소자 패키지.
The method of claim 3,
The vertical width of the plurality of second surfaces is smaller than the vertical width of the first surface.
제12항에 있어서,
상기 복수 개의 제2면의 수직방향 폭은 상기 제1면의 수직 방향 폭의 비는 1:1.2 내지 1:1.8인 반도체 소자 패키지.
The method of claim 12,
The vertical width of the plurality of second surface is a semiconductor device package ratio of 1: 1.2 to 1: 1.8 of the vertical width of the first surface.
제3항에 있어서,
상기 기판은 상기 반도체 소자가 배치되는 제1전극, 상기 제1전극과 이격 배치된 제2전극, 및 상기 기판의 가장자리를 따라 배치되는 제1돌출부를 포함하고,
상기 몸체의 타면에는 상기 제2캐비티를 둘러싸는 오목부가 배치되고,
상기 오목부는 상기 제1돌출부 상에 배치되는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 3,
The substrate includes a first electrode on which the semiconductor device is disposed, a second electrode spaced apart from the first electrode, and a first protrusion disposed along an edge of the substrate,
On the other side of the body is disposed a recess surrounding the second cavity,
The recessed portion is a semiconductor device package disposed on the first protrusion.
제1항에 있어서,
상기 몸체 상에 배치되어 상기 캐비티를 덮는 투광부재를 포함하는 반도체 소자 패키지.
The method of claim 1,
And a light transmitting member disposed on the body to cover the cavity.
회로기판; 및 상기 회로기판 상에 배치되는 복수 개의 반도체 소자 패키지를 포함하고,
상기 반도체 소자 패키지는,
제1캐비티를 포함하는 몸체; 및
상기 제1캐비티의 내부에 배치되는 반도체 소자를 포함하고,
상기 제1캐비티는 상기 반도체 소자에서 멀어질수록 면적이 넓어지도록 경사진 제1면, 및 상기 반도체 소자의 상면과 수직한 복수 개의 제2면을 포함하고,
상기 몸체는 서로 마주보는 제1외측면과 제3외측면, 서로 마주보는 제2외측면과 제4외측면, 상기 제1외측면과 제2외측면이 만나는 영역에 배치되는 제1모서리부, 제2외측면과 제3외측면이 만나는 영역에 배치되는 제2모서리부, 상기 제3외측면과 상기 제4외측면이 만나는 영역에 배치되는 제3모서리부, 및 상기 제4외측면과 상기 제1외측면이 만나는 영역에 배치되는 제4모서리부를 포함하고,
상기 복수 개의 제2면은 상기 제1모서리부와 제2모서리부 사이, 상기 제2모서리부와 제3모서리부 사이, 상기 제3모서리부와 제4모서리부 사이, 및 상기 제4모서리부와 제1모서리부 사이에 각각 배치되는 발광장치.
Circuit board; And a plurality of semiconductor device packages disposed on the circuit board,
The semiconductor device package,
A body including a first cavity; And
A semiconductor device disposed inside the first cavity,
The first cavity includes a first surface inclined such that an area becomes wider as it moves away from the semiconductor device, and a plurality of second surfaces perpendicular to an upper surface of the semiconductor device.
The body has a first edge portion disposed in an area where the first outer side and the third outer side facing each other, the second outer side and the fourth outer side facing each other, the first outer side and the second outer side meet; A second corner portion disposed in an area where the second outer surface and the third outer surface meet, a third edge portion disposed in an area where the third outer surface and the fourth outer surface meet, and the fourth outer surface and the fourth outer surface A fourth edge portion disposed in an area where the first outer surface meets,
The plurality of second surfaces may be disposed between the first edge portion and the second edge portion, between the second edge portion and the third edge portion, between the third edge portion and the fourth edge portion, and the fourth edge portion. Light emitting devices respectively disposed between the first edge portions.
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