KR20190083746A - 정전척용 dc 포트 및 이를 구비한 정전척 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전척용 DC 포트에 관한 것이다. 본 발명은 하단에 방사상 플랜지(106)를 갖는 절연튜브(102)의 삽입공(103)에 전극로드(101)가 삽입되어 결합된 상태에서 상면에 하부절연막(116), 전극층(117) 및 상부절연막(118)이 형성된 모재(113)의 포트삽입공(114)으로 삽입되어 전극로드(101)의 상단부분이 상기 모재(113)의 상기 전극층(117)에 접속될 수 있도록 한 정전척용 DC 포트를 제공한다. 본 발명에 따라서, 상기 전극로드(101)의 상단부분에 상기 전극로드(101)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 상부헤드(107)가 형성되어 있고, 상기 절연튜브(102)는 그 상단부(104)에 상기 전극로드(101)의 상기 상부헤드(107)의 하측부분이 삽입되는 확장삽입구(105)가 형성되어 있음을 특징으로 한다.

Description

정전척용 DC 포트 및 이를 구비한 정전척 {DC PORT FOR HIGH VOLTAGE ELECTROSTATIC CHUCK AND ELECTROSTATIC CHUCK HAVING THE SAME}
본 발명은 고전압 정전척용 DC 포트에 관한 것으로, 특히 아크 발생과 같은 전압충격의 발생을 방지하고 기계적으로 안정되게 고정 및 지지될 수 있도록 한 정전척용 DC 포트에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 이러한 정전척용 DC 포트를 사용하여 구비한 정전척에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조공정에 있어서 웨이퍼를 고정하기 위해서는 척(chuck)이 사용된다. 특히, 예컨대 반도체 공정에서 파티클(particle)의 발생을 최소화하기 위하여 종래 기계적 클램프나 진공방식의 척보다는 정전기력을 이용하여 웨이퍼와 접촉하지 않고도 착탈이 가능한 정전척(electrostatic chuck)이 주로 사용된다.
이러한 정전척은 판상의 알루미늄 모재 상에 유전체층이 형성되고 그 사이에 전극층이 매설되며 상기 전극층으로 DC 전압을 인가함으로써 상기 유전체층의 상부면 상에 형성되는 정전기력으로 반도체 기판을 흡착하여 고정한다. 상기 유전체층은 특히 플라즈마 처리공정에서 플라즈마 상태의 공정 가스에 의해 정전척이 식각되는 것을 방지하기 위한 것으로 알루미나 등의 유전체를 주로 용사코팅하여 형성된다. 이러한 정전척에 관한 종래기술로서는 일본특허공개공보 평04-358074호(1992. 12. 11자 공개), 국제특허공개공보 WO 99/54928호(1999. 10. 28자 공개), 공개특허 제10-2011-0099974호(2011. 9. 9자 공개) 및 공개특허 제10-2012-0000745호(2012. 1. 4자 공개) 등이 개시된 바 있다.
정전척에서 위와 같이 DC 전압을 인가하기 위한 DC 포트는 일반적으로 알루미늄 모재를 관통하여 삽입되는 전극로드로 구성되며, 이는 모재와의 절연을 위하여 절연튜브에 삽입된 상태에서 모재에 삽입결합되고 그 상단부가 모재의 상면에 전개된 전극층에 접속될 수 있는 구조로 구성된다. 이러한 정전척용 DC 포트의 일반적인 구조는 도 1~2에 도시한다. 도 1은 종래기술에서 정전척용 DC 포트의 분해사시도로서 상기 DC 포트를 구성하는 전극로드, 고정디스크 및 절연튜브의 결합전 분리상태를 나타내고, 도 2는 도 1에서 보인 상기 전극로드, 고정디스크 및 절연튜브가 결합된 후 정전척용 DC 포트로서 사용되는 상태의 단면도이다.
도 1~2를 참조하면, 전극로드(1)는 기다란 로드의 형상으로 상단부(2)의 변부에는 경사면(3)이 형성되어 있고 하단부에는 방사상 플랜지(4)가 일체로 형성된다. 또한, 세라믹제의 절연튜브(5)는 상단부(6)로부터 하단부에 이르기까지 중심에 전극로드(1)가 삽입되는 로드삽입공(7)을 갖는 튜브의 형상이고 하단에 방사상 플랜지(8)가 일체로 형성된다.
또한, 상기 전극로드(1)는 절연튜브(5)에 삽입되어 결합되며, 이때 절연튜브(5)의 플랜지(8)는 고정디스크(9) 상면의 내부에 안착되는 한편, 절연튜브(5)의 중공부와 상기 고정디스크(9)의 로드삽입공(7)에 차례로 전극로드(1)가 삽입되면서 상기 고정디스크(9) 하면의 내부에 상기 전극로드(1)의 방사상 플랜지(4)가 결합된다.
그리고, 이렇게 결합된 정전척용 DC포트는 도 2에 도시하듯이 전극로드(1)의 하측이 고정컵(10)에 결합되면서 정전척의 알루미늄 모재(11)의 삽입공(12)에 삽입된 형태로 사용된다. 이러한 전극로드(1)는 이의 일부 영역(즉, 상단부(2), 또는 상기 상단부(2)와 이에 하측으로 연이은 전극로드(1) 일부)이 절연튜브(5)의 상단부(6)의 상측으로 돌출됨으로써 아래 설명하는 하부절연막(13) 및 텅스텐 전극층(14)과 접촉된다. 동시에, 절연튜브(5)의 상단부(6)의 상면은 모재(11)의 상면과 함께 동일 평면을 이루도록 배치된다.
이후, 도 2에 도시하듯이, 모재(11)의 상면과 이로부터 돌출된 전극로드(1) 부분에 용사코팅공정을 통하여 차례로 하부절연막(13), 텅스텐 전극층(14), 그리고 상부절연막(15)이 형성된다.
이리하여, 전극로드(1)의 상기 돌출된 일부 영역, 특히 상단부(2)는 그 변부의 경사면(3)이 하부절연막(13)으로 코팅되어 전기적 절연을 유지하면서, 그의 상면은 전극층(14)에 전기적으로 접촉됨으로써 상기 전극로드(1)의 상단부(2)는 전극층(14)에 DC 전압을 공급할 수 있게 된다.
특히, 이렇게 전극층(14)에 면접촉되어 DC 전압을 공급하는 상단부(2)는 대체로 그의 상부를 향해 갈수록 단면적이 작아지는 구조를 갖는다. 이러한 구조에서의 단면저항은 상부로 갈수록 점차 커지며, 따라서 이는 인가되는 DC 고전압 충격에 취약하여 아크를 쉽게 유발하고 정전척의 사용수명을 크게 단축시킨다.
더구나, 도 2에 나타내듯이, 전극로드(1)는 개재된 적당한 접착제를 통해 절연튜브(5)의 로드삽입공(7)과 접착 고정되는 형태이므로, 결합이 불안정하고 접착제 도포로 인한 불필요한 공정이 초래된다는 문제도 있다.
본 발명에 있어서는 종래의 이와 같은 점을 감안하여 창안한 것으로, 본 발명은 전극로드가 모재 상면의 전극층에 접속되는 상단부의 면적을 증가시켜 아크현상과 같은 전압충격의 발생을 줄이고 전극로드를 지지하는 절연튜브와의 결합이 기계적으로 안정되게 유지될 수 있도록 한 정전척용 DC 포트를 제공하는데 그 목적이 있다.
위 과제를 해결하기 위한 일 관점에 의한 본 발명은 중심부에 형성된 삽입공과 하단부에 외측으로 방사상 확장된 플랜지를 포함하는 절연튜브와, 상기 삽입공에 삽입됨으로써 상기 절연튜브에 결합되는 전기전도성의 전극로드를 포함하는 정전척용 DC 포트로서, 상기 전극로드는 상기 전극로드의 상단부에 소정의 두께를 가지면서 상기 전극로드의 외측으로 방사상 확장된 전기전도성의 상부헤드를 포함하고, 상기 상부헤드는 절두된 돔 형상으로 되되, 상기 상부헤드의 절두된 두부의 수평상부면은 상기 전극로드의 단면적보다 더 큰 단면적을 가질 수 있다.
이때, 상기 상부헤드의 측부는 만곡된 형상의 만곡변부면을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 정전척용 DC 포트는 고정 나선캡을 더 포함할 수 있고, 상기 상부헤드의 하측이 상기 수평상부면을 포함한 상기 상부헤드의 일부가 상기 절연튜브의 상부로 노출되도록 상기 절연튜브 내부의 상부에 안착되고, 상기 전극로드의 하단부는 상기 고정 나선캡과 나선체결됨으로써 상기 절연튜브에 기계적으로 결합됨이 바람직하다.
또한, 상기 절연튜브의 상단부는 상기 삽입공 내부에 상기 중심부를 향해 돌출하여 둔턱지도록 형성된 확장삽입구을 더 포함하고, 상기 상부헤드의 하측부분은 상기 확장삽입구에 안착될 수 있다.
또한, 상기 정전척용 DC 포트는 고정링을 더 포함할 수 있고, 상기 전극로드의 하단부는 상기 고정링에 삽입되고 상기 고정링을 개재하여 상기 고정 나선캡과 나선체결되고 상기 고정링의 상면은 상기 절연튜브의 플랜지의 저면에 부착될 수 있다.
또한, 다른 일 관점에 의한 본 발명은 상부에 놓인 외부의 매체를 정전기력으로 표면에 흡착 고정하는 정전척에 관한 것으로서, 모재와, 외부의 전원에 전기적으로 연결되고, 상기 모재의 내부에 형성된 포트삽입공으로 삽입되되 상기 절연튜브의 상단부가 상기 모재의 상부면과 동일 평면을 이루고 상기 상부헤드의 적어도 일부가 상기 모재의 상부면 상으로 돌출하도록 배치된 전술한 상기 정전척용 DC 포트와, 저면이 상기 상부헤드의 수평상부면과 동일 평면을 이루도록 상기 정전척용 DC 포트의 상부에 배치되고 상기 수평상부면과의 전기적 접촉면을 갖는 전극층과, 상기 모재의 상부면 상으로 돌출한 상기 상부헤드의 영역을 제외하고 상기 전극층과 상기 모재 간에 개재된 제1절연층과, 상기 전극층 상부에 적층되고 상기 외부의 매체가 표면에 놓이는 제2절연층을 포함하고, 상기 전극층은 상기 정전척용 DC 포트로부터 인가되는 전압에 따라 상기 제1 및 제2 절연층 중의 하나 이상과 함께 상기 정전기력을 발생시킬 수 있다.
본 발명에 의한 정전척용 DC 포트는 정전척의 전극층과 전기적 접촉되는 전극로드의 상부헤드가 절두된 돔 형태를 갖고 수평상부면이 전극로드보다도 더 큰 단면적을 가짐으로써 아크현상과 같은 전압충격의 발생을 줄이고, 전극로드를 지지하는 절연튜브와의 결합이 접착제의 도움없이 간단한 나선체결방식으로 기계적으로 안정되게 유지될 수 있는 한편, 전극로드의 상부헤드가 만곡변부면의 기하학적 구조를 가짐으로써 용사공정시 상부헤드 표면으로의 균일한 절연코팅을 보장한다.
본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술의 정전척용 DC 포트의 분해사시도.
도 2는 도 1에서 보인 정전척용 DC 포트의 사용상태 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 정전척용 DC 포트의 분해사시도.
도 4는 본 발명에 따른 정전척용 DC 포트의 전극로드와 절연튜브가 결합된 상태를 보인 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 정전척용 DC 포트의 사용상태 단면도.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 정전척용 DC 포트를 구성하는 전극로드의 헤드부분이 가공되는 과정을 설명하는 설명도.
도 8a~8b와 도 9는 정전척용 DC 포트를 정전척에 장착하여 측정한 내전압 대 누설전류 그래프로서,
도 8a~8b는 비교예로서 도 1~2에 도시한 바와 같은 구조의 종래 DC 포트를 사용한 것으로서 도 8a는 단계전압 승압한 경우이고 도 8b는 직전압 승압한 경우이며;
도 9는 본 발명의 일 실시예로서 도 3~4에 도시한 본 발명에 의한 DC 포트를 사용한 것으로서 7㎸ 직접압 승압한 경우이다.
본 발명에 따른 정전척용 DC 포트의 주요구성은 도 3 내지 도 5에서 설명된다.
먼저, 도 3에 도시하듯이, 본 발명에 의한 전극로드(101)는 기다란 봉상의 형태이고 세라믹제의 절연튜브(102)에 삽입되어 정전척용 DC 포트를 구성한다. 전극로드(101)는 전기전도성이며 일 예로서 티타늄제로 될 수 있다.
또한, 절연튜브(102)는 중심에 삽입공(103)이 형성되고 상단부(104)에는 삽입공(103)과 동심원상으로 깊이가 얕은 확장삽입구(105)가 형성된다. 그리고 절연튜브(102)의 하단부에는 방사상 플랜지(106)가 형성된다.
한편, 전극로드(101)는 절연튜브(102)의 삽입공(103)에 밀착삽입되는 구조로서, 상단부에는 전극로드(101)의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 상부헤드(107)가 형성되고, 하단부에는 하단턱부분(108)을 경계로 하는 소경부(109)가 연장되되 그 하단에 나선부(110)가 형성된다. 이러한 전극로드(101)는 절연튜브(102)에 삽입되었을 때, 하측으로부터 소경부(109)에 고정링(111)이 삽입되고 나선부(110)에는 고정나선캡(112)이 결합된다.
이와 같은 전극로드(101)와 절연튜브(102)의 결합을 위하여 전극로드(101)가 상측으로부터 절연튜브(102)의 삽입공(103)에 삽입된다. 이는 전극로드가 절연튜브의 하측으로부터 삽입되어 결합되는 종래기술과는 반대이다. 왜냐면, 본 발명에 의한 전극로드(101)는 이의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 상부헤드(107)를 포함하기 때문이다.
즉, 전극로드(101)가 절연튜브(102)에 삽입될 때, 전극로드(101)의 상부헤드(107)의 하측부분이 절연튜브(102)의 상단부(104)에 형성된 확장삽입구(105)에 안착되고, 하측에서는 전극로드(101)의 소경부(109)에 고정링(111)이 삽입되며 나선부(110)에는 고정나선캡(112)이 결합됨으로써, 전극로드(101)는 절연튜브(102)에 대하여 흔들림없이 기계적으로 안정되게 고정된다. 이는 종래기술에서 전극로드와 절연튜브가 접착제를 사용하여 접착되는 것보다도 더 간단하고 안정된 결합을 제공한다.
한편, 본 발명에 따른 전극로드(101)의 상부헤드(107)의 구현예는 도 6~7에서 상세히 설명한다.
먼저 도 6과 같이, 처음 전극로드(101)의 가공시에 상부헤드(107)는 전체 형상이 대략 돔(dome)의 형상이다. 본 발명에 따른 상부헤드(107)를 얻기 위하여 도 7에 도시하듯이 상기 돔의 상부가 수평절삭되어 상부헤드(107)의 수평상부면(107a)이 형성되고 이러한 수평상부면(107a)의 둘레는 돔의 일부로써 만곡변부면(107b)을 형성한다.
그리고, 도 4에서 보인 본 발명에 의한 전극로드(101)는 도 5에서 보인 바와 같이 정전척의 알루미늄 모재(113)의 포트삽입공(114)에서 절연튜브(102)의 상측으로부터 삽입된 후, 전술했듯이 절연튜브(102)의 하측에서 나선부(110)와 고정나선캡(112) 간의 나선 결합을 통하여 체결되고 상기 모재(113)의 하측에 있는 플러그(115)에 고정된다. 그리고, 전극로드(101)의 상부헤드(107)의 일부는 절연튜브(102)의 상단부(104)의 상측으로 돌출됨으로써 아래 설명하는 하부절연막(115) 및 전극층(117)과 접촉된다. 동시에, 절연튜브(102)의 상단부(104)는 모재(113)의 상부면과 동일 평면을 이루도록 결합고정된다.
이후, 종래기술에 대해서 전술했듯이, 용사공정을 통하여 하부절연막(116)이 코팅되고 하부절연막(116)의 상부에 텅스텐 전극층(117)과 상부절연막(118)이 차례로 형성된다. 이때, 모재(113)의 상부면에 하부절연막(115)이 용사 코팅될 때, 모재(113)의 상부면으로부터 돌출된 전극로드(101)의 상부헤드(107)는 그 둘레의 만곡변부면(107b)의 기하학적 구조에 의하여 상부헤드(107)와 모재(113)의 상부면 사이의 경계부분에 공극이 형성되는 것이 방지됨으로써 균일한 절연코팅을 보장한다.
특히, 도 5에 가장 잘 도시하듯이, 본 발명에 따른 전극로드(101)의 상부헤드(107)의 수평상부면(107a)은 정전척에 장착되어 상부의 전극층(117)과 면접촉함으로써 이에 DC 전압을 인가하게 된다. 이때, 본 발명에서 이렇게 전극층(117)과 전기적으로 면접촉하는 상기 수평상부면(107a)은 전극로드(101)의 단면적보다도 더 넓은 단면적을 가지므로 종래에 비교하여 오히려 단면저항이 감소하고 따라서 DC 고전압 충격이 발생할 수가 없어 아크를 유발할 염려가 없다.
도 8a~8b와 도 9는 정전척용 DC 포트를 정전척에 장착하여 내전압-누설전류 특성을 측정한 것으로, 도 8a~8b는 비교예로서 도 1~2에 도시한 바와 같은 구조의 종래 DC 포트를 사용한 것이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예로서 도 3~4에 도시한 본 발명에 의한 DC 포트를 사용한 것이다.
먼저, 비교예인 도 8a~8b를 보면, 종래 DC 포트의 경우, 10초 단위간격으로 인가하는 DC 전압을 1㎸씩 승압하면 4㎸까지 내전압을 유지하지만(도 8a 참조), 인가하는 DC 전압을 10초 이내에 3㎸까지 승압하면 절연이 파괴되어버림이 관찰된다(도 8b 참조).
그러나, 본 발명 실시예인 도 9를 보면, 본 발명에 의한 DC 포트를 사용하여 이에 인가하는 DC 전압을 10초 이내에 상기 3㎸보다 더 큰 7㎸까지 승압하여도, 전압충격에 의한 절연파괴가 전혀 일어나지않음이 확인된다. 이는 본 발명에 의한 정전척용 DC 포트의 우수한 내전압 특성을 입증하는 것이다.
위와 같이, 본 발명에 의한 정전척용 DC 포트는 정전척의 전극층(117)과 전기적 접촉되는 전극로드(101)의 상부헤드(107)가 절두된 돔 형태를 갖고 수평상부면(107a)이 전극로드(101)보다도 더 큰 단면적을 가짐으로써 아크현상과 같은 전압충격의 발생을 줄이고, 전극로드(101)를 지지하는 절연튜브(102)와의 결합이 기계적으로 안정되게 유지될 수 있는 한편, 전극로드(101)의 상부헤드(107)가 만곡변부면(107b)의 기하학적 구조를 가짐으로써 용사공정시 상부헤드(107) 표면으로의 균일한 절연코팅을 보장한다.
전술한 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구 범위에 속하는 것으로 보아야 한다. 일 예로서, 전술한 본 발명의 실시예에서는 전극로드(101)가 하단부에 소경부(109)를 구비하여 절연튜브(102)에 삽입될 때 하측으로부터 상기 소경부(109)에 고정링(111)이 삽입된다고 기술하였으나, 이러한 소경부(109)와 고정링(111)을 생략하여 구비하지 않으면서 단순히 전극로드(101)의 하단부에 형성된 나선부(110)와 고정 나선캡(112) 만의 체결로써만으로도 전극로드(101)는 절연튜브(102)에 결합될 수도 있다.
1: 전극로드, 2: 상단부, 3: 경사면, 4: 방사상 플랜지, 5: 절연튜브, 6: 상단부, 7: 로드삽입공, 8: 방사상 플랜지, 9: 고정디스크, 10: 고정컵, 11: 모재, 12: 삽입공, 13: 하부절연막, 14: 텅스텐 전극층, 15: 하부절연막, 101: 전극로드, 102: 절연튜브, 103: 삽입공, 104: 상단부, 105: 확장삽입구, 106: 방사상 플랜지, 107: 상부헤드, 107a: 수평상부면, 107b: 만곡변부면, 108: 하단턱부분, 109: 소경부, 110: 나선부, 111: 고정링, 112: 고정나선캡, 113: 모재, 114; 포트삽입공, 115: 플러그, 116: 하부절연막, 117: 전극층, 118: 상부절연막.

Claims (6)

  1. 중심부에 형성된 삽입공(103)과 하단부에 외측으로 방사상 확장된 플랜지(106)를 포함하는 절연튜브(102)와, 상기 삽입공(103)에 삽입됨으로써 상기 절연튜브(102)에 결합되는 전기전도성의 전극로드(101)를 포함하는 정전척용 DC 포트에 있어서,
    상기 전극로드(101)는 상기 전극로드(101)의 상단부에 소정의 두께를 가지면서 상기 전극로드(101)의 외측으로 방사상 확장된 전기전도성의 상부헤드(107)를 포함하고, 상기 상부헤드(107)는 절두된 돔 형상으로 되되, 상기 상부헤드(107)의 절두된 두부의 수평상부면(107a)은 상기 전극로드(101)의 단면적보다 더 큰 단면적을 갖는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부헤드(107)의 측부는 만곡된 형상의 만곡변부면(107b)을 갖는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.
  3. 제1항에 있어서,
    고정 나선캡(112)을 더 포함하고, 상기 상부헤드(107)의 하측이 상기 수평상부면(107a)을 포함한 상기 상부헤드(107)의 일부가 상기 절연튜브(102)의 상부로 노출되도록 상기 절연튜브(102) 내부의 상부에 안착되고, 상기 전극로드(101)의 하단부는 상기 고정 나선캡(112)과 나선체결됨으로써 상기 절연튜브(102)에 기계적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 절연튜브(102)의 상단부는 상기 삽입공(103) 내부에 상기 중심부를 향해 돌출하여 둔턱지도록 형성된 확장삽입구(105)을 더 포함하고, 상기 상부헤드(107)의 하측부분은 상기 확장삽입구(105)에 안착되는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.
  5. 제3항에 있어서,
    고정링(111)을 더 포함하고, 상기 전극로드(101)의 하단부는 상기 고정링(111)에 삽입되고 상기 고정링(111)을 개재하여 상기 고정 나선캡(112)과 나선체결되고 상기 고정링(111)의 상면은 상기 절연튜브(102)의 플랜지(106)의 저면에 부착되는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.
  6. 상부에 놓인 외부의 매체를 정전기력으로 표면에 흡착 고정하는 정전척에 있어서,
    모재(113)와;
    외부의 전원에 전기적으로 연결되고, 상기 모재(113)의 내부에 형성된 포트삽입공(114)으로 삽입되되 상기 절연튜브(102)의 상단부(104)가 상기 모재(113)의 상부면과 동일 평면을 이루고 상기 상부헤드(107)의 적어도 일부가 상기 모재(113)의 상부면 상으로 돌출하도록 배치된 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 의한 정전척용 DC 포트와;
    저면이 상기 상부헤드(107)의 수평상부면(107a)과 동일 평면을 이루도록 상기 정전척용 DC 포트의 상부에 배치되고 상기 수평상부면(107a)과의 전기적 접촉면을 갖는 전극층(117)과;
    상기 모재(113)의 상부면 상으로 돌출한 상기 상부헤드(107)의 영역을 제외하고 상기 전극층(117)과 상기 모재(113) 간에 개재된 제1절연층(116)과;
    상기 전극층(117) 상부에 적층되고 상기 외부의 매체가 표면에 놓이는 제2절연층(118)을 포함하고, 상기 전극층(117)은 상기 정전척용 DC 포트로부터 인가되는 전압에 따라 상기 제1 및 제2 절연층 중의 하나 이상과 함께 상기 정전기력을 발생시키는 정전척.
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