KR20190080741A

KR20190080741A - Break apparatus

Info

Publication number: KR20190080741A
Application number: KR1020180155443A
Authority: KR
Inventors: 마사카즈 다케다; 가즈오 하야시; 아츠시 야마모토
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2017-12-28
Filing date: 2018-12-05
Publication date: 2019-07-08
Also published as: KR102585416B1; TW201931450A; JP2019119053A; JP6967276B2; TWI774876B; CN110000936A; CN110000936B

Abstract

Provided is a brake device capable of preferably checking the parallelism of a blade edge of a brake plate. For each of a plurality of different measurement points of the blade edge, while a blade edge position sensor is placed so that a detection surface is located just below the measurement point due to the horizontal movement of a table and the in-plane rotation of an in-plane rotation part, the present invention lowers the brake plate from a predetermined initial position, measures the displacement of the brake plate from the initial position when the brake plate is in contact with or near the detection surface, obtains the maximum difference value which is the maximum value of the difference value between a reference displacement amount and a displacement amount at another measurement point when a displacement amount for one predetermined measurement point among the plurality of measurement points is made into the reference displacement amount, determines that the parallelism of the blade edge is sufficient when the maximum difference value is within a predetermined threshold, and determines that the parallelism of the blade edge is not sufficient when the maximum difference value exceeds the threshold.

Description

Brake device {BREAK APPARATUS}

본 발명은, 취성 재료 기판을 브레이크하는 장치에 관한 것으로, 특히 브레이크 플레이트의 검사에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for breaking a brittle material substrate, and more particularly to inspection of a brake plate.

유리 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판, 나아가서는 동종 또는 이종의 취성 재료 기판을 첩합 (貼合) 한 첩합 기판 등의 분단 수법으로서, 취성 재료 기판의 일방 주면 (主面) 에 커터 휠 (스크라이빙 휠) 등의 스크라이브 툴로 스크라이브 라인을 형성한 다음에, 당해 취성 재료 기판의 타방 주면측에 스크라이브 라인을 따라 브레이크 플레이트 (브레이크 바) 를 가압하고, 이로써 스크라이브 라인으로부터 균열을 신전시켜 기판을 브레이크한다 (분단한다) 고 하는 수법이 널리 알려져 있다. 최근, 브레이크시에 취성 재료 기판이 재치 (載置) 되는 테이블이 탄성체로 구성된 브레이크 장치도 공지되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).A brittle material substrate such as a glass substrate, a semiconductor substrate, or the like, or a bonded substrate obtained by laminating the same or different types of brittle material substrates, A brake plate (brake bar) is pressed along the scribe line on the other main surface side of the brittle material substrate to thereby extend a crack from the scribe line, It is widely known how to do (divide). BACKGROUND ART [0002] Recently, there is known a brake apparatus in which a table on which a brittle material substrate is placed upon braking is made of an elastic body (see, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2016-047628호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2016-047628

브레이크 장치에 있어서 취성 재료 기판의 브레이크를 양호하게 실시하려면, 브레이크 플레이트의 날끝이, 테이블과 (혹은 수평 재치된 취성 재료 기판과) 평행할 필요가 있다. 한편으로, 브레이크 플레이트는, 계속적인 사용에 의해 날끝이 마모되는 소모품으로, 적절한 타이밍에 교환된다. 그러므로, 브레이크 장치에 있어서 브레이크의 정밀도를 유지하려면, 신규 브레이크 플레이트를 장착할 때마다 날끝의 평행도를 확인할 것이 요구된다. 또, 계속적인 사용을 실시하던 중 장착부에 느슨해짐이 발생하거나 하여, 당초에는 바람직하게 장착되어 있었던 브레이크 플레이트의 평행도가 열화될 가능성도 있다. 그 때문에, 사용을 계속하는 동안에 있어서도, 정기적으로 날끝의 평행도를 확인할 것이 요구된다.In order to properly perform braking of the brittle material substrate in the braking device, the edge of the brake plate needs to be parallel to the table (or the brittle material substrate placed horizontally). On the other hand, the brake plate is a consumable item whose abrasive edge is worn by continuous use, and is replaced at an appropriate timing. Therefore, in order to maintain the precision of the brakes in the braking device, it is required to check the degree of parallelism of the edges each time a new brake plate is mounted. In addition, looseness may occur in the mounting portion during the continuous use, and there is a possibility that the parallelism of the brake plate, which is initially mounted, may deteriorate. Therefore, it is required to regularly check the parallelism of the blade even during use.

종래의 평행도의 확인은, 브레이크 장치와는 별개의 독립된 검사 장치를 사용하여, 검사자의 수작업으로 실시되는 것이 통상적이었다. 예를 들어, 물체의 접촉을 압력 변화나 전기적 특성의 변화로서 검지 가능한 접촉 검지 센서를, 브레이크 장치의 스테이지 상의 브레이크 바 하강 위치에 재치한 다음에 브레이크 바를 하강시켜, 접촉 검지 센서가 브레이크 바의 접촉을 검지했을 때의 브레이크 바의 높이를 측정한다, 고 하는 작업을, 날끝의 몇 지점인가에서 반복함으로써 평행도가 확인되고 있었다.Conventionally, confirmation of the parallelism has been carried out manually by an inspector using an independent inspection apparatus which is separate from the brake apparatus. For example, when a contact detection sensor capable of detecting the contact of an object as a change in pressure or an electrical characteristic is placed at a brake bar lowering position on the stage of the brake device, the brake bar is lowered and the contact detection sensor contacts the contact The degree of parallelism was confirmed by repeating the operation to measure the height of the brake bar when detecting the position of the brake bar at several points of the blade edge.

그러나, 이러한 양태는, 측정 지점의 조정이나 브레이크 장치의 조작에 숙련을 요하기 때문에 재현성이나 작업 효율이 나쁘다는 문제가 있는 것 외에, 작업 도중에서 날끝이 검사자의 손에 닿아 검사자가 다칠 우려가 있는 등의 문제도 있었다. 또, 브레이크 장치에 대한 검사 데이터의 축적이라는 면에서도 수고를 요하는 것이었다.However, such an embodiment has a problem in that reproducibility and work efficiency are poor because it requires skill in adjustment of a measurement point and operation of a brake device, and in addition, there is a possibility that the tip of the blade touches the hand of the inspector during the operation, There were also problems such as. In addition, it was also necessary to save time in terms of accumulation of inspection data for the brake unit.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 브레이크 플레이트의 날끝의 평행도를 바람직하게 검사하는 것이 가능한 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a brake device capable of suitably inspecting the degree of parallelism of a blade edge of a brake plate.

상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1 의 발명은, 브레이크 대상물을 분단하는 브레이크 장치로서, 수평 방향에 있어서 일 방향으로 자유롭게 진퇴할 수 있게 형성된 테이블과, 상기 테이블 상에 형성된, 수평면 내에 있어서 자유롭게 회전할 수 있는 면내 회전부와, 상기 면내 회전부 상에 형성된, 브레이크 대상물이 재치되는 수평한 피재치면을 갖는 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에, 날끝이 연직 방향 최하단부에 위치하는 자세로 자유롭게 승강할 수 있게 형성되고, 상기 스테이지에 재치된 상기 브레이크 대상물의 소정 위치에 맞닿게 됨으로써 상기 브레이크 대상물을 상기 소정 위치에서 분단하는 브레이크 플레이트와, 상기 면내 회전부에 있어서 상기 스테이지의 외측 가장자리부보다 외측에, 검지면이 연직 상방을 향하는 자세로 형성되어 이루어지고, 연직 상방으로부터의 상기 날끝의 상기 검지면에 대한 접촉 또는 근접을 검지 가능한 날끝 위치 검출 센서와, 상기 날끝의 평행도 검사를 위한 상기 브레이크 장치의 각 부의 처리 동작을 제어하는 날끝 검사 처리부를 구비하고, 상기 날끝 검사 처리부는, 상기 날끝의 상이한 복수의 측정 포인트 각각에 대하여, 상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전에 의해 상기 검지면이 당해 측정 포인트 바로 아래에 위치하도록 상기 날끝 위치 검출 센서를 배치한 상태에서, 상기 브레이크 플레이트를 소정의 초기 위치로부터 하강시켜, 상기 브레이크 플레이트가 상기 검지면에 접촉 또는 근접했을 때의 상기 초기 위치로부터 상기 브레이크 플레이트의 변위량을 측정하고, 상기 복수의 측정 포인트에 대한 상기 변위량에 기초하여 상기 날끝의 평행도를 판정하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is a brake device for dividing a brake object, comprising: a table formed so as to freely move forward and backward in one direction in a horizontal direction; A stage having a horizontal workpiece surface on which the brake object is placed, which is formed on the in-plane rotary portion, and a stage which is formed so as to be freely movable up and down above the stage in a state in which the blade tip is located at the lowermost end in the vertical direction A brake plate for holding the brake object at the predetermined position by being brought into contact with a predetermined position of the brake object placed on the stage, and a brake plate, which is located outside the outer edge portion of the stage, As shown in FIG. A blade tip position detecting sensor which is capable of detecting the contact or proximity of the blade tip to the detection surface from a vertically upward position and a blade tip inspection processing section for controlling a processing operation of each portion of the brake device for checking the parallelism of the blade tip And the nose tip inspection processing section performs the nose tip position detection so that the nose tip position detection processing section detects the nose tip position detection such that the detection surface is positioned immediately below the measurement point by the horizontal movement of the table and the in- The displacement amount of the brake plate is measured from the initial position when the brake plate is brought into contact with or close to the detection surface by lowering the brake plate from a predetermined initial position in a state in which the sensor is disposed, Based on the displacement amount with respect to the point, And the degree of parallelism of the drawing edge is determined.

청구항 2 의 발명은, 청구항 1 에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 브레이크 플레이트는 수평면 내에 있어서는 고정적으로 형성되어 이루어지고, 상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전을 동기적으로 실시함으로써, 상기 검지면이 상기 복수의 측정 포인트 중 제 1 측정 포인트 바로 아래로부터 제 2 측정 포인트 바로 아래로 이동할 때의 상대 이동 방향이, 상기 브레이크 플레이트의 날 길이 방향을 따르고 있는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, in the brake device according to the first aspect, the brake plate is fixedly formed in the horizontal plane, and the horizontal movement of the table and the in-plane rotation of the in- Wherein a relative movement direction of the plurality of measurement points when moving from immediately below the first measurement point to immediately below the second measurement point is along the blade length direction of the brake plate.

청구항 3 의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2 에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 날끝 검사 처리부는, 상기 복수의 측정 포인트 중에서 미리 정해진 하나의 측정 포인트에 대한 상기 변위량을 기준 변위량으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 상기 기준 변위량의 차분값의 최대값인 최대 차분값을 구하고, 상기 최대 차분값이 미리 정한 임계값 이내인 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하다고 판정하고, 상기 최대 차분값이 상기 임계값을 초과하고 있는 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하지 않다고 판정하는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 3 is the brake apparatus according to claim 1 or 2, wherein the blade edge inspection processing unit is configured to calculate a blade tip inspection result at a different measurement point when the displacement amount with respect to a predetermined measurement point among the plurality of measurement points is defined as a reference displacement amount And determines that the degree of parallelism of the edge is sufficient when the maximum difference value is within a predetermined threshold value, and determines that the maximum difference value is greater than the predetermined threshold value, And judges that the degree of parallelism of the edge is not sufficient when the threshold value is exceeded.

청구항 1 내지 청구항 3 의 발명에 의하면, 종래에 비해 효율적으로 또한 양호한 재현성으로, 나아가서는 검사자의 안전을 확보하면서, 날끝의 평행도를 검사할 수 있다.According to the invention of claims 1 to 3, it is possible to inspect the parallelism of the blade edge more efficiently and with good reproducibility, and further ensuring the safety of the inspector.

특히, 청구항 2 의 발명에 의하면, 검사 시간의 단축을 도모할 수 있다.Particularly, according to the invention of Claim 2, the inspection time can be shortened.

도 1 은 브레이크 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 브레이크 장치 (100) 의 동작 제어에 관련된 블록도이다.
도 3 은 날끝의 평행도 검사의 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.
도 5 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.1 is a perspective view showing a main part of a brake device 100. Fig.
2 is a block diagram related to the operation control of the braking device 100. As shown in Fig.
Fig. 3 is a view schematically showing a state of parallelism inspection of the blade edge.
Fig. 4 is a plan view showing the movement of the nose tip position detecting sensor 8. Fig.
5 is a plan view showing a state of movement of the nose tip position detecting sensor 8. Fig.

＜브레이크 장치의 개요＞<Outline of Brake Device>

도 1 은, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 브레이크 장치 (100) 의 동작 제어에 관련된 블록도이다.1 is a perspective view showing a main part of a brake device 100 according to the present embodiment. 2 is a block diagram relating to the operation control of the braking device 100. As shown in Fig.

브레이크 장치 (100) 는, 미리 일방 주면에 스크라이브 라인이 형성된 브레이크 대상물 (도시 생략, 이하, 워크라고도 한다) 을 그 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 (분단하는) 장치이다. 브레이크 장치 (100) 는 스테이지 (1) 와, 브레이크 플레이트 (2) 를 주로 구비한다.The brake device 100 is a device that breaks (divides) a brake object (not shown, hereinafter also referred to as a work) having a scribing line formed on one main surface in advance along the scribe line. The brake device 100 mainly includes a stage 1 and a brake plate 2.

스테이지 (1) 는, 그 상면이 균일하게 평탄한 피재치면 (1a) 이 되고, 피재치면 (1a) 을 지지하는 균일하게 평탄한 지지부 (1b) 를 가지고 있으며, 브레이크시에는 이러한 피재치면에 워크가 재치 고정된다.The upper surface of the stage 1 is a uniformly flat workpiece surface 1a and has a uniformly flat support portion 1b for supporting the workpiece tooth surface 1a. When the workpiece is braked, do.

브레이크 플레이트 (2) 는, 스테이지 (1) 의 상방에, 일 방향 (이하, 날 길이 방향) 으로 연장되는 날끝 (2a) 이 연직 방향 하단부에 위치하는 자세로 형성된, 박판상의 부재이다. 날끝 (2a) 은 대략 2 개의 날면이 소정의 날끝각 (예를 들어 5° ∼ 90°) 을 이룸으로써, 날 길이 방향에 수직인 단면이 삼각 형상을 이루도록 형성되어 이루어진다. 브레이크 플레이트 (2) 는, 도 1 에 있어서는 도시를 생략하지만, 홀더 (2b) (도 3 참조) 에 나사 (2c) (도 3 참조) 에 의해 고정된 다음에, 승강 기구 (3) 에 의해 연직 방향으로 자유롭게 승강할 수 있게 되어 이루어진다. 단, 브레이크 플레이트 (2) 는, 수평면 내에 있어서는 고정적으로 형성된다. 또한, 도 1 에 있어서는, 브레이크 플레이트 (2) 의 날 길이 방향을 x 축으로 하고, 연직 상향을 z 축 정방향으로 하는 오른손 좌표계의 xyz 좌표를 부여하고 있다 (도 3 이후도 마찬가지).The brake plate 2 is a thin plate member formed above the stage 1 in such a manner that a blade edge 2a extending in one direction (hereinafter referred to as a blade lengthwise direction) is positioned at a vertically lower end. The blade edge 2a is formed such that the two blade surfaces have a predetermined blade edge angle (for example, 5 ° to 90 °) so that a cross section perpendicular to the blade length direction forms a triangular shape. 3, the brake plate 2 is fixed to the holder 2b (see Fig. 3) by a screw 2c (see Fig. 3) So that it can freely move up and down. However, the brake plate 2 is fixedly formed in the horizontal plane. 1, the xyz coordinates of the right-handed coordinate system in which the blade length direction of the brake plate 2 is the x-axis and the vertically upward direction is the z-axis normal direction is given.

보다 상세하게는, 스테이지 (1) 는 테이블 (4) 상에 형성되어 이루어진다. 테이블 (4) 은, 수평 이동 기구 (5) (예를 들어 볼나사나 리니어 모터 등) 에 의해, 수평면 내에 있어서 브레이크 플레이트 (2) 의 날 길이 방향에 수직인 방향 (도 1 의 경우라면 y 축 방향) 으로 자유롭게 진퇴할 수 있게 되어 이루어진다. 또한, 테이블 (4) 은 수평면 내에서 정역 양 방향으로 자유롭게 회전할 수 있는 면내 회전부 (6) 를 구비하고 있으며, 스테이지 (1) 는 이러한 면내 회전부 (6) 상에 형성되어 있다. 면내 회전부 (6) 는, 스테이지 (1) 의 중앙 위치를 지나 연직 방향으로 연장되는 가상적인 회전축 (C) 을 회전 중심으로 하여 수평면 내에서 회전한다. 이러한 면내 회전부 (6) 의 회전은, 회전 기구 (7) 가 작동함으로써 실현된다.More specifically, the stage 1 is formed on the table 4. The table 4 is supported by a horizontal moving mechanism 5 (for example, a ball screw or a linear motor) in a direction perpendicular to the blade length direction of the brake plate 2 in the horizontal plane In the direction of the arrow. The table 4 also has an in-plane rotation section 6 that can freely rotate in both the forward and reverse directions within the horizontal plane. The stage 1 is formed on the in-plane rotation section 6. [ The in-plane rotation unit 6 rotates in a horizontal plane around a virtual rotation axis C extending in the vertical direction beyond the center position of the stage 1 as a rotation center. The rotation of the in-plane rotation portion 6 is realized by the operation of the rotation mechanism 7.

또, 브레이크 장치 (100) 는, 장치 전체의 동작을 제어하는 제어부 (10) 와, 장치의 조작자가 여러 가지 실행 지시나 데이터 입력 등을 실시하기 위한 입력 조작부 (11) 와, 여러 가지 처리 메뉴나 동작 상태, 처리 경과 및 처리 결과 등을 표시하기 위한 표시부 (12) 와, 장치의 동작 프로그램이나 여러 가지 데이터가 격납되는 기억부 (13) 를 구비한다.The braking device 100 includes a control unit 10 for controlling the operation of the entire apparatus, an input operation unit 11 for allowing the operator of the apparatus to perform various execution instructions and data input, A display section 12 for displaying an operation state, a process progress and a processing result, and a storage section 13 for storing an operation program and various data of the apparatus.

또한, 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 기억부 (13) 에 격납되어 있는 소정의 프로그램이 제어부 (10) 에 의해 실행됨으로써, 일련의 브레이크 처리의 동작을 제어하는 브레이크 처리부 (10a) 가, 제어부 (10) 에 있어서 가상적 구성 요소로서 실현되도록 되어 있다. 브레이크 처리부 (10a) 는, 브레이크 처리에 관련된 장치 각 부의 동작, 구체적으로는, 브레이크 플레이트 (2) 의 승강 동작, 테이블 (4) 의 수평 동작, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 동작을 제어한다. 이러한 브레이크 처리부 (10a) 의 제어에 의해, 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 브레이크 처리가 가능하게 되어 이루어진다.In the braking device 100, a predetermined program stored in the storage unit 13 is executed by the control unit 10, so that the break processing unit 10a that controls the operation of the series of break processing operations is controlled by the control unit 10 as a virtual component. The brake processing section 10a controls the operation of each part of the apparatus related to the brake process, specifically, the elevating operation of the brake plate 2, the horizontal operation of the table 4, and the rotating operation of the in- The braking process in the braking device 100 can be performed under the control of the brake processing section 10a.

이상과 같은 구성을 갖는 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 워크의 브레이크 (분단) 에 있어서는, 먼저, 워크가 스크라이브 라인을 하방으로 하는 자세로 스테이지 (1) 의 피재치면 (1a) 에 재치 고정된다. 이러한 재치 고정이 이루어지면, 브레이크 처리부 (10a) 가 수평 이동 기구 (5) 와 회전 기구 (7) 를 제어함으로써, 테이블 (4) 의 수평 이동과 면내 회전부 (6) 의 회전 이동이 적절히 조합되어, 스테이지 (1) 에 재치되어 있는 워크의 위치 결정이 이루어진다. 구체적으로는, 브레이크 플레이트 (2) 의 수평면 내에 있어서의 배치 위치는 일정한 점에서, 분단하고자 하는 스크라이브 라인이 브레이크 플레이트 (2) 의 연직 하방에 위치하도록 워크가 위치 결정된다.In breaking of the work in the brake apparatus 100 having the above-described structure, first, the workpiece is fixed to the workpiece surface 1a of the stage 1 in a posture in which the scribe line is downward. The horizontal movement mechanism 5 and the rotation mechanism 7 are controlled by the brake processing section 10a so that the horizontal movement of the table 4 and the rotation movement of the in- plane rotation section 6 are properly combined, The position of the work placed on the stage 1 is determined. Concretely, the work is positioned such that the scribe line to be divided is positioned vertically below the brake plate 2 at a predetermined position in the horizontal plane of the brake plate 2.

이러한 위치 결정이 이루어지면, 브레이크 처리부 (10a) 의 제어에 따라 승강 기구 (3) 가 연직 상방으로부터 브레이크 플레이트 (2) 를 하강시킨다. 이윽고 그 날끝 (2a) 은 스크라이브 라인의 상방 위치에 있어서 워크에 맞닿는다. 이러한 맞닿음 후에도 이러한 날끝 (2a) 의 하강을 소정 거리 (소정 시간) 계속하면, 스크라이브 라인으로부터 균열이 신전되고, 그 결과, 워크가 분단되도록 되어 있다.When such positioning is performed, the lift mechanism 3 descends the brake plate 2 from the vertically upper side under the control of the brake processing section 10a. Finally, the edge 2a thereof abuts against the work in a position above the scribe line. Even after such abutment, if the falling of the blade edge 2a continues for a predetermined distance (predetermined time), a crack is stretched from the scribe line, and as a result, the work is divided.

또한, 도 1 에 있어서는, 스테이지 (1) 의 피재치면 (1a) 이 균일하게 평탄하고, 또한, 적어도 그 피재치면 (1a) 전체를 포함하는 부분이 탄성체로 구성되는 경우를 상정하고 있는데, 스테이지 (1) 의 구성은 이것에 한정되는 것은 아니다. 워크가 확실하게 고정되고, 분단이 바람직하게 실시되는 것이라면, 다른 구성이 채용되어도 된다. 예를 들어, 소정 거리 이격된 1 쌍의 지지부 및 피재치면으로 스테이지가 구성되고, 스크라이브 라인이 이들 지지부 사이의 공극 부분에 위치하도록, 워크가 재치되는 양태여도 된다.1, it is assumed that the workpiece tooth surface 1a of the stage 1 is uniformly flat, and at least a portion including the entire surface of the workpiece surface 1a is made of an elastic body. 1) is not limited to this. Other configurations may be adopted as long as the work is securely fixed and the division is preferably carried out. For example, the work may be placed in such a manner that the stage is constituted by a pair of support portions spaced by a predetermined distance from each other, and the scribe line is located in the gap portion between these support portions.

또, 스테이지 (1) 가 광학적으로 투명한 부재로 형성되어 있고, 도시하지 않은 카메라로, 스테이지 (1) 의 하방으로부터 피재치면 (1a) 에 재치된 워크의 일방 주면이 관찰 가능하게 되어 있어도 된다.In addition, the stage 1 is formed of an optically transparent member, and one main surface of the work placed on the workpiece surface 1a from the lower side of the stage 1 can be observed with a camera (not shown).

＜날끝의 평행도 검사＞<Parallelism check of edges>

다음으로, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서 실시되는 날끝의 평행도 검사에 대하여 설명한다. 도 3 은, 이러한 날끝의 평행도 검사의 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.Next, the inspection of the parallelism of the edges of the brake device 100 according to the present embodiment will be described. Fig. 3 is a view schematically showing the shape of the edge inspection of the parallelism.

본 실시형태에 있어서, 날끝의 평행도란, 브레이크를 실행할 때와 마찬가지로, 스테이지 (1) 의 지지부 (1b) 의 표면을 기준으로 하여, 브레이크 플레이트 (2) 를 날끝 (2a) 이 연직 하방이 되는 방향의 수평 자세로 한 상태에 있어서의, 수평면에 대한 날끝 (2a) 의 기울기의 정도이다. 본 실시형태에 있어서는, 날끝 (2a) 의 상이한 위치에 있어서의 높이의 일치도이다. 즉, 날끝 (2a) 의 상이한 복수의 측정 포인트에서 높이를 측정한 다음에, 그 중 하나의 포인트에 있어서의 날끝 (2a) 의 높이를 기준으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 높이의 편차량의 최대값에 의해, 평행도를 평가한다. 즉, 이러한 편차량이 작을수록 평행도는 우수한 것이 된다.In the present embodiment, the parallelism of the blade edge refers to the direction in which the blade 2a is moved downward in the vertical direction with respect to the surface of the support portion 1b of the stage 1, Is the degree of inclination of the blade edge 2a with respect to the horizontal plane in the state of being in the horizontal posture of FIG. In the present embodiment, the degree of agreement of the heights at the different positions of the blade tips 2a. That is, after the height is measured at a plurality of different measurement points of the blade edge 2a, the height difference at the other measurement points with respect to the height of the blade edge 2a at one of them , The parallelism is evaluated. That is, the smaller the deviation amount, the better the parallelism.

평행도의 좋고 나쁨은 브레이크의 정밀도에 직접적으로 관련되는 점에서, 평행도 검사는 통상적으로, 신규 브레이크 플레이트 (2) 를 장착할 때마다 실시된다. 또, 계속적인 사용을 실시하던 중 브레이크 플레이트 (2) 를 홀더 (2b) 에 고정하고 있는 나사 (2c) 에 느슨해짐이 발생하는 등 하여, 당초에는 양호했던 평행도가 열화될 가능성도 있는 점에서, 사용을 계속하는 동안에 있어서도 정기적으로 평행도 검사는 실시된다.In view of the fact that the goodness and the badness of the parallelism are directly related to the precision of the brake, the parallelism check is usually carried out every time the new brake plate 2 is mounted. In addition, since the brake plate 2 is loosened at the screw 2c fixing the brake plate 2 to the holder 2b during the continuous use, there is a possibility that the good parallelism may deteriorate at first, Even during use, periodic parallelism testing is carried out.

또한, 도 3 에 있어서는 x ＝ x1 ∼ x5 의 5 개 지점의 측정 포인트에서 측정을 실시하는 경우를 예시하고 있지만, 측정 포인트의 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다. 그 개수는, 요구되는 평행도의 정밀도나 날끝 (2a) 의 길이 등에 따라 적절히 정해지면 된다.3, measurement is performed at five measurement points of x = x1 to x5. However, the number of measurement points is not limited to this. The number of which may be appropriately determined according to the accuracy of required parallelism, the length of the blade edge 2a, and the like.

이상적으로는, 모든 포인트에 있어서의 날끝 (2a) 의 높이 위치가 동일한 것이, 즉 편차량이 0 인 것이 바람직하지만, 실용적으로는, 구해진 편차량이 미리 정한 임계값의 범위 내이면, 평행도는 확보되어 있다고 판정된다.Ideally, it is preferable that the height position of the blade edge 2a at all points is the same, that is, the deviation amount is 0. However, practically, if the obtained deviation amount is within the range of the predetermined threshold value, .

예를 들어 나사 (2c) 의 느슨해짐 등으로 브레이크 플레이트 (2) 가 홀더 (2b) 에 적절히 장착되어 있지 않은 경우나, 날끝 (2a) 에 결손이 있는 경우 등에는, 당해 편차량이 임계값을 초과한 값으로서 얻어져, 평행도가 확보되어 있지 않다고 판정되게 된다.When the brake plate 2 is not properly mounted on the holder 2b due to, for example, loosening of the screw 2c or the like, or when there is a defect in the blade tip 2a, Is obtained as an excess value, and it is determined that the parallelism is not ensured.

브레이크 장치 (100) 는, 이와 같은 날끝 (2a) 의 평행도 검사를 실시하기 위한 구성 요소로서, 날끝 위치 검출 센서 (8) 를 구비한다. 게다가, 기억부 (13) 에 격납되어 있는 소정의 프로그램이 제어부 (10) 에 의해 실행됨으로써, 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 날끝의 평행도 검사를 위한 각 부의 처리 동작을 제어하는 날끝 검사 처리부 (10b) 가, 제어부 (10) 에 있어서 가상적 구성 요소로서 실현되도록 되어 있다.The brake device 100 is provided with a blade tip position detecting sensor 8 as a component for checking the parallelism of the blade tips 2a. In addition, a predetermined program stored in the storage unit 13 is executed by the control unit 10, whereby an edge inspection processing unit 10b (or 10b) for controlling the processing operation of each part for checking the parallelism of the edge of the braking device 100 ) Are realized as a virtual component in the control unit 10. [

날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 정밀 접촉 측정기라고도 하며, 검지면 (8a) 에 검지 대상물이 접촉했을 때의 힘의 변화로부터, 당해 접촉이 있었음을 검지하는 센서이다. 혹은, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 당해 접촉 (또는 근접) 이 발생했을 때의 전기적 특성의 변화로부터, 당해 접촉 (또는 근접) 이 있었음을 검지하는 센서여도 된다. 또한, 이후에 있어서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 날끝 위치 검출 센서 (8) 로서 검지면 (8a) 에 검지 대상물이 근접한 것을 검지하는 것을 사용하는 경우를 포함하여, 검지 대상물이 검지면 (8a) 에 「접촉」했다고 표현하기로 한다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 테이블 (4) 의 면내 회전부 (6) 상으로서, 스테이지 (1) 의 외측 가장자리부보다 더욱 외측의 위치에, 검지면 (8a) 이 연직 상방을 향하는 자세로 형성되어 이루어진다. 보다 상세하게는, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 검지면 (8a) 의 높이 위치가 스테이지 (1) 에 워크가 재치되었을 때의 워크 상면의 높이 위치와 대체로 일치하도록 배치되어 이루어진다.The nose tip position detecting sensor 8 is also referred to as a precision contact measuring device and is a sensor for detecting that the contact has occurred from a change in force when the detection target contacts the detection surface 8a. Alternatively, the edge position detecting sensor 8 may be a sensor that detects that there is a contact (or proximity) due to a change in electrical characteristics when the contact (or proximity) occurs. Hereinafter, in order to simplify the explanation, the case where the detection target is detected on the detection surface 8a, including the case of using the detection of the proximity of the detection target on the detection surface 8a as the blade tip position detection sensor 8, Quot; contacted " The edge position detecting sensor 8 is formed on the in-plane rotating portion 6 of the table 4 at a position further outward than the outer edge portion of the stage 1 so that the detecting surface 8a is formed in a posture vertically upward . More specifically, the blade tip position detecting sensor 8 is arranged such that the height position of the detection surface 8a substantially coincides with the height position of the workpiece top surface when the workpiece is placed on the stage 1.

또, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 면내 회전부 (6) 상에 형성됨으로써, 면내 회전부 (6) 가 수평면 내에서 회전축 (C) 을 회전 중심으로 하여 회전할 때, 이것에 맞춰 회전축 (C) 둘레를 회전하도록 되어 있다.The tip position detecting sensor 8 is formed on the in-plane rotating portion 6 so that when the in-plane rotating portion 6 rotates about the rotating axis C in the horizontal plane, So as to rotate around.

실제로 평행도 검사가 날끝 검사 처리부 (10b) 에 의한 제어하에서 실시되는 경우에는, 먼저, 브레이크 플레이트 (2) 의 높이를 초기 위치 (혹은 검사 기준 위치) 로 한 상태에서, 검지면 (8a) 이 날끝 (2a) 의 최초의 측정 포인트 (도 3 의 경우라면, x ＝ x1) 바로 아래에 위치하도록, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 배치 위치가 조정된다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 가, 이러한 위치에 배치되면, 도 3 에 있어서 화살표 AR1 로 나타내는 바와 같이 브레이크 플레이트 (2) 가 당해 검지면 (8a) 을 향하여 하강되고, 이윽고 그 날끝 (2a) 이 검지면 (8a) 에 접촉한다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 가 이러한 접촉을 검지하면, 그 취지의 검지 신호가 날끝 검사 처리부 (10b) 에 주어져, 바로 브레이크 플레이트 (2) 의 하강이 정지되고, 브레이크 플레이트 (2) 는 초기 위치로 복귀된다. 그리고, 이 경우에 있어서의 z 축 방향에 있어서의 브레이크 플레이트 (2) 의 초기 위치로부터의 변위량이, 제어부 (10) (날끝 검사 처리부 (10b)) 를 통해서 기억부 (13) 에 기억된다.When the parallelism inspection is actually performed under the control of the blade inspection processing unit 10b, first, the height of the brake plate 2 is set to the initial position (or the inspection reference position) The position of the blade tip position detecting sensor 8 is adjusted so as to be located immediately below the first measurement point (x = x1 in the case of Fig. 3) of the blade tip 2a. When the nose tip position detecting sensor 8 is disposed at this position, the brake plate 2 is lowered toward the detecting surface 8a as indicated by the arrow AR1 in Fig. 3, And comes into contact with the paper surface 8a. When the nose tip position detecting sensor 8 detects such contact, a detection signal indicating that the nose tip position detecting sensor 8 is present is given to the nose tip inspecting processing unit 10b so that the lowering of the break plate 2 is stopped immediately, Is returned. The displacement amount from the initial position of the brake plate 2 in the z-axis direction in this case is stored in the storage section 13 through the control section 10 (blade tip inspection processing section 10b).

x ＝ x1 에 대한 측정이 끝나면, 화살표 AR2 에 나타내는 바와 같이, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는 다음의 측정 포인트 x ＝ x2 에서의 측정을 실시하기 위해 이동된다. 이후, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동과 브레이크 플레이트 (2) 가 검지면 (8a) 과 접촉할 때까지의 변위량의 측정이, 모든 측정 포인트 (x ＝ x1 ∼ x5) 에서 반복된다.When the measurement for x = x1 is finished, the edge position detection sensor 8 is moved to perform the measurement at the next measurement point x = x2, as indicated by the arrow AR2. Thereafter, the measurement of the amount of displacement until the movement of the nose tip position detecting sensor 8 and the contact of the brake plate 2 with the detecting surface 8a is repeated at all measurement points (x = x1 to x5).

모든 측정 포인트에 대하여 변위량의 측정이 종료되면, 날끝 검사 처리부 (10b) 는, 미리 정한 하나의 측정 포인트 (예를 들어 중간의 측정 포인트) 에 있어서의 변위량을 기준 변위량으로 하여, 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 기준 변위량의 차분값을 산출한다. 이들 차분값의 최대값 (최대 차분값) 이 미리 정한 임계값 이하이면, 브레이크 플레이트 (2) 는 충분한 평행도를 가지고 있다고 판정된다. 한편, 최대 차분값이 임계값을 초과하고 있는 경우에는, 브레이크 플레이트 (2) 는 평행도가 충분하지 않다고 판정된다. 이들 판정 결과는 표시부 (12) 에 표시된다. 후자의 경우에는, 장착 상태의 재조정 혹은 교환을 재촉하는 표시에 대해서도 적절히 표시되어도 된다.When the measurement of the displacement amount is completed for all the measurement points, the edge inspection processing unit 10b sets the amount of displacement at a predetermined measurement point (for example, intermediate measurement point) as the reference displacement amount, And the difference between the reference displacement amount and the reference displacement amount. If the maximum value (maximum difference value) of these difference values is equal to or less than the predetermined threshold value, it is determined that the brake plate 2 has sufficient parallelism. On the other hand, when the maximum difference value exceeds the threshold value, it is determined that the brake plate 2 has insufficient parallelism. These determination results are displayed on the display unit 12. [ In the latter case, a display for urging the user to readjust or replace the mounting state may be appropriately displayed.

이와 같이, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 날끝 (2a) 의 평행도 검사가, 날끝 검사 처리부 (10b) 에 의한 제어하에서, 당해 장치에 구비되는 날끝 위치 검출 센서 (8) 를 사용하여 자동적으로 실시되도록 되어 있다. 이로써, 종래와 같은, 브레이크 장치와는 별개의 독립된 검사 장치를 사용한, 검사자의 수작업에 의한 검사에 비해, 검사의 재현성 및 작업 효율의 향상이 실현된다. 또, 검사자의 안전성도 확보된다.As described above, in the brake device 100 according to the present embodiment, the parallelism inspection of the blade edge 2a is performed using the blade edge position detection sensor 8 provided in the apparatus under the control of the blade edge inspection processing section 10b And is automatically performed. As a result, the reproducibility of the inspection and the improvement of the working efficiency can be realized as compared with the manual inspection by the inspector using an independent inspection apparatus which is separate from the brake apparatus as in the conventional art. In addition, the safety of the inspector is secured.

또한, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 이러한 평행도 검사시의, 측정 포인트 간에 있어서의 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 방식에 특징을 갖는다. 도 4 및 도 5 는, 이러한 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.The brake device 100 according to the present embodiment is characterized by a method of moving the blade tip position detection sensor 8 between measurement points during the parallelism inspection. Figs. 4 and 5 are plan views showing the movement of the edge position detecting sensor 8.

먼저, 날끝 (2a) 의 x ＝ x1 인 측정 포인트에 있어서의 변위량의 측정은, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 도 4(a) 에 나타내는 바와 같이, 그 검지면 (8a) 이 (바람직하게는 그 중심이) x ＝ x1 바로 아래의 위치에 배치된 상태에서 실시된다.First, the displacement amount at the measurement point x = x1 of the blade edge 2a is measured by the blade edge position detection sensor 8, as shown in Fig. 4 (a) Is placed at a position immediately below x = x1.

이러한 측정이 끝나면, 검지면 (8a) 을 x ＝ x2 인 측정 포인트 바로 아래로 이동시키게 되는데, 브레이크 장치 (100) 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 혹은 이것이 부설된 테이블 (4) 을 날끝 (2a) 의 날 길이 방향이기도 한 x 축 방향으로 이동시키는 구성을 가지고 있지는 않다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동은, 브레이크시의 브레이크 지점의 이동이나 위치 결정시에도 사용되는, 테이블 (4) 의 수평 이동과 면내 회전부 (6) 의 수평면 내에서의 회전 이동을 조합함으로써 실현된다.The braking device 100 moves the blade tip position detecting sensor 8 or the table 4 attached thereto to the blade tip 2a. Axis direction, which is also the longitudinal direction of the blade of the blade. The movement of the nose tip position detecting sensor 8 is realized by combining the horizontal movement of the table 4 and the rotational movement of the in-plane rotation portion 6 in the horizontal plane, which is also used at the time of movement or positioning of a break point at the time of braking .

보다 구체적으로는, 면내 회전부 (6) 가 회전축 (C) 둘레로 수평면 내 회전하는 것에 의한, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 이 (보다 엄밀하게는 그 중심이), 도 4 에 있어서 이점 쇄선으로 나타내는 회전 궤적 (L) 을 따라 수평면 내에서 θ 회전되는 동작과, 도 4(b) 에 있어서 화살표 AR3 으로 나타내는, 테이블 (4) 의 수평 이동 동작 (도 4(b) 에 있어서는 회전축 (C) 의 이동으로서 대표시키고 있다) 이 조합됨으로써, 검지면 (8a) 은, 도 4(c) 에 나타내는 바와 같이, x ＝ x2 로 이동된다.More specifically, the detection surface 8a of the blade tip position detection sensor 8 (more precisely, the center thereof) due to rotation of the in-plane rotation portion 6 in the horizontal plane around the rotation axis C is 4 in the horizontal plane along the rotation locus L indicated by the two-dot chain line in Fig. 4B and the horizontally shifting operation of the table 4 shown in the arrow AR3 in Fig. 4 (b) (Represented by the movement of the rotation axis C) are combined, whereby the detection surface 8a is moved to x = x2 as shown in Fig. 4 (c).

이와 같이, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 의 이동이, 테이블 (4) 과 면내 회전부 (6) 의 이동에 의해 실현됨으로써, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 브레이크시에 워크를 위치 결정할 때와 동일한 위치 결정 정밀도로, 평행도 검사시의 측정 포인트의 위치 결정을 실시할 수 있다. 보다 상세하게는, 이러한 위치 결정은, 날끝 위치 검출 센서 (8) (의 검지면 (8a)) 의 회전축 (C) 둘레의 회전 반경이, 날끝 (2a) 에 있어서의 가장 떨어진 측정 포인트 (도 3 ∼ 도 5 의 경우라면 x ＝ x1 과 x ＝ x5) 사이의 거리 (x5 － x1) 의 1/2 배 이상인 경우에 가능한 점에서, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서도, 이러한 요건을 만족시키도록, 날끝 위치 검출 센서 (8) 가 배치되어 이루어진다.As described above, since the movement of the detection surface 8a of the blade tip position detection sensor 8 is realized by the movement of the table 4 and the in-plane rotation portion 6, in the brake device 100 according to the present embodiment, It is possible to position the measurement point at the time of the parallelism inspection with the same positioning accuracy as when the work is positioned at the time of braking. More specifically, such positioning is performed such that the turning radius around the rotation axis C of the (detection surface 8a) of the blade tip position detecting sensor 8 is larger than the turning radius of the blade point 2a (X5 - x1) between the x = x1 and x = x5 in the case of Fig. 5, the brake device 100 according to the present embodiment is also applicable to such a requirement The blade edge position detection sensor 8 is disposed.

바람직하게는, 그 때의 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 이동 개시 타이밍, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 속도와 테이블 (4) 의 수평 이동 속도가 바람직하게 조정됨으로써, 즉, 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 동작이 동기적으로 이루어짐으로써, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 은 상대적으로, 날끝 (2a) 의 날 길이 방향인 x 축 방향을 따라 x ＝ x1 로부터 x ＝ x2 를 향하여 직선적으로 이동된다. 이러한 경우, 양자를 별개로 이동시키는 경우에 비해, 단시간에 의한 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동이 실현된다. 이로써, 검사 시간의 단축이 도모된다.Preferably, the movement start timing of the in-plane rotation portion 6 and the table 4 at that time, the rotation speed of the in-plane rotation portion 6 and the horizontal movement speed of the table 4 are preferably adjusted, The detection surface 8a of the blade tip position detection sensor 8 is relatively moved along the x-axis direction which is the blade length direction of the blade 2a, and is linearly moved from x1 to x = x2. In this case, the movement of the blade tip position detecting sensor 8 is realized in a short time, compared with the case of moving them separately. As a result, the inspection time can be shortened.

x ＝ x2 에 있어서의 측정이 종료된 후의 x ＝ x3 으로의 이동도 마찬가지로, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 검지면 (8a) 의 회전 궤적 (L) 을 따른 수평면 내에서의 θ 회전과, 도 5(b) 에 있어서 화살표 AR4 로 나타내는 테이블 (4) 의 수평 이동이 조합됨으로써 이루어진다. 이러한 이동에 대해서도, 바람직하게는, 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 이동 개시 타이밍, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 속도와 테이블 (4) 의 수평 이동 속도가 바람직하게 조정됨으로써, 검지면 (8a) 이 상대적으로 x 축 방향을 따라 이동되는 양태로 이루어진다.Similarly, as shown in Fig. 5, the rotation in the horizontal plane along the rotation locus L of the detection surface 8a and the rotation in the x = x3 after the measurement at x = and the horizontal movement of the table 4 indicated by the arrow AR4 in Fig. With respect to this movement, preferably, the movement start timing of the in-plane rotation portion 6 and the table 4, the rotation speed of the in-plane rotation portion 6 and the horizontal movement speed of the table 4 are preferably adjusted, (8a) is relatively moved along the x-axis direction.

또한, 이후의 x ＝ x4, x5 로의 이동에 대해서도, 동일한 양태로 이루어진다.In the following, movement to x = x4, x5 is made in the same manner.

이상, 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 브레이크 장치에 날끝 위치 검출 센서를 형성하고, 그 날끝 위치 검출 센서를 사용하여 브레이크 플레이트의 날끝의 평행도 검사를 실시하도록 함으로써, 종래에 비해 효율적으로 또한 양호한 재현성으로, 나아가서는 검사자의 안전을 확보하면서, 날끝의 평행도를 검사할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the blade position detecting sensor is formed on the brake device and the parallelism of the blade edge of the brake plate is inspected using the blade edge position detecting sensor. Thus, It is possible to check the parallelism of the blade edge while ensuring the reproducibility and, furthermore, the safety of the inspector.

또, 날끝 위치 검출 센서의 이동을, 브레이크시의 워크의 위치 결정에 사용되는 테이블과 면내 회전부의 이동에 의해 실시하기 때문에, 평행도 검사시의 측정 포인트의 위치 결정을, 브레이크시와 동일한 위치 결정 정밀도로 실시할 수 있다. 바람직하게는, 테이블의 수평 이동 동작과 면내 회전부의 회전 동작을 동기시킴으로써, 날끝 위치 검출 센서의 검지면을 상대적으로 날 길이 방향을 따라 이동시킴으로써, 검사 시간의 단축을 도모할 수 있다.In addition, since the movement of the blade tip position detecting sensor is performed by moving the table and the in-plane rotating portion used for positioning the workpiece at the time of braking, the positioning of the measurement point at the time of the parallelism inspection is performed at the same positioning accuracy . Preferably, by synchronizing the horizontal movement of the table and the rotation of the in-plane rotation unit, the detection time of the blade position detection sensor is relatively moved along the blade length direction.

＜변형예＞<Modifications>

상기 서술한 실시형태에 있어서는, 기준 변위량과의 차분값에 기초하여 평행도를 평가하고 있지만, 이 대신에 모든 측정 포인트에 있어서의 변위량끼리의 차분값을 구하고, 이들 차분값의 최대값이 임계값의 범위 내인지 여부에 의해, 평행도를 검사하는 양태여도 된다.In the embodiment described above, the degree of parallelism is evaluated on the basis of the difference value with respect to the reference displacement amount. However, instead of this, the difference value between the displacement amounts at all the measurement points is obtained and the maximum value of these difference values is It may be an aspect of checking the parallelism depending on whether or not it is within the range.

1 : 스테이지
1a : 피재치면
2 : 브레이크 플레이트
2a : 날끝
2b : 홀더
2c : 나사
3 : 승강 기구
4 : 테이블
5 : 수평 이동 기구
6 : 면내 회전부
7 : 회전 기구
8 : 날끝 위치 검출 센서
8a : 검지면
10 : 제어부
11 : 입력 조작부
12 : 표시부
13 : 기억부
10a : 브레이크 처리부
10b : 날끝 검사 처리부
100 : 브레이크 장치
C : (면내 회전부의) 회전축
L : (날끝 위치 검출 센서의 검지면의) 회전 궤적1: stage
1a: an impact tooth
2: Brake plate
2a: end point
2b: holder
2c: Screw
3: lifting mechanism
4: Table
5: Horizontal movement mechanism
6:
7: Rotating mechanism
8: Edge tip position detection sensor
8a:
10:
11:
12:
13:
10a:
10b: edge inspection processing unit
100: Brake device
C: rotation axis (of the in-plane rotation part)
L: (on the detection surface of the edge position sensor) rotation locus

Claims

A brake device for dividing a brake object,
A table formed so as to freely move back and forth in one direction in the horizontal direction,
An in-plane rotating portion formed on the table and capable of freely rotating in a horizontal plane,
A stage having a horizontal object surface on which the brake object is placed,
A brake is provided above the stage so as to freely ascend and descend in a posture in which the blade tip is located at the lowermost end in the vertical direction and is brought into contact with a predetermined position of the brake object placed on the stage, Plate,
Wherein the detection surface is formed so as to be vertically upwardly directed on the outer side of the outer edge portion of the stage in the in-plane rotation portion, and the edge position detection capable of detecting contact or proximity of the edge of the edge from the vertical direction to the detection surface A sensor,
And a blade tip inspection processing unit for controlling a processing operation of each part of the brake apparatus for checking the parallelism of the blade tips,
Wherein the edge inspection processing unit
In the state where the blade tip position detecting sensor is disposed such that the detection surface is positioned directly under the measurement point by the horizontal movement of the table and the in-plane rotation of the in-plane rotation portion with respect to each of a plurality of different measurement points of the blade tip, The displacement amount of the brake plate is measured from the initial position when the brake plate is lowered from a predetermined initial position and the brake plate is brought into contact with or close to the detection surface,
And determines the parallelism of the blade tip based on the amount of displacement of the plurality of measurement points.

The method according to claim 1,
Wherein the brake plate is fixedly formed in a horizontal plane,
The relative movement direction when the detection surface is moved from immediately below the first measurement point to a point directly below the second measurement point in the plurality of measurement points is obtained by synchronously performing the horizontal movement of the table and the in- , And extends along the blade length direction of the brake plate.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the edge inspection processing unit
A maximum difference value which is a maximum value of a displacement amount at another measurement point and a difference value between the reference displacement amount when the displacement amount with respect to a predetermined measurement point among the plurality of measurement points is taken as a reference displacement amount,
When the maximum difference value is within a predetermined threshold value, it is determined that the parallelism of the edge is sufficient, and when the maximum difference value exceeds the threshold value, it is determined that the parallelism of the edge is not sufficient Characterized by a brake device.