KR20190077973A - Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it - Google Patents
Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it Download PDFInfo
- Publication number
- KR20190077973A KR20190077973A KR1020170179586A KR20170179586A KR20190077973A KR 20190077973 A KR20190077973 A KR 20190077973A KR 1020170179586 A KR1020170179586 A KR 1020170179586A KR 20170179586 A KR20170179586 A KR 20170179586A KR 20190077973 A KR20190077973 A KR 20190077973A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- magnet
- plate
- mask
- switching
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/682—Mask-wafer alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
Abstract
Description
본 발명은 디스플레이, 반도체, 태양전지, OLED 등 박막소자 제조공정에서 박막증착 공정 시 기판과 마스크를 정렬, 합착 및 탈착하는 기술에 관한 것이다. The present invention relates to a technique for aligning, attaching and detaching a substrate and a mask in a thin film deposition process in a thin film device manufacturing process such as a display, a semiconductor, a solar cell, and an OLED.
좀 더 상세하게는, 기판 배면에 놓인 마스크를 기판 쪽으로 당겨주기 위해 기판 위에 놓이는 마그넷 플레이트와 기판의 냉각을 위해 기판 바로 위에 놓이는 터치 플레이트의 구성을 개선한 얼라인 시스템에 관한 것이다. More particularly, the present invention relates to a magnet plate that is placed on a substrate to pull a mask placed on the back surface of the substrate toward the substrate and an alignment system that improves the configuration of the touch plate that is directly above the substrate for cooling the substrate.
대면적화된 기판에 마스크를 정렬하여 합착하는 얼라인 공정은 기판과 마스크 모두 자중에 의해 처짐 현상이 발생하고 정렬을 위한 미세 조종 동작에서 상당한 떨림 현상이 있기 때문에 이러한 문제들을 해결하기 위한 수단이 제안되고 있다. Means for solving these problems have been proposed since the alignment process for aligning and laminating the mask on the large-sized substrate causes deflection phenomenon due to self weight in both the substrate and the mask and there is a considerable tremble phenomenon in the micro manipulation operation for alignment have.
도 1은 종래 기판과 마스크의 정렬과 합착 과정에서 기판을 눌러 안정화시키고 마스크를 당겨 처짐을 방지하는 터치 플레이트와 마그넷 플레이트의 동작을 보여준다. 터치 플레이트는 기판을 직접 가압하여 기판을 안정화하며, 냉각 장치를 구비하여 증착 공정에서 국지적인 가열부가 없도록 하는 역할을 한다. 마그넷 플레이트(magnet plate)는 영구자석이 2차원 어레이로 배열되어 증착 공정 중 얼라인먼트가 완료된 마스크를 기판쪽으로 당겨 기판에 밀착, 고정하는 장치이다. 이러한 구성에서는, 마스크 시이트가 기판에 부착된 상태에서 마그넷 플레이트가 분리되기 때문에 마스크 시이트 위쪽으로 작용하는 자력에 의해 마스크 시이트의 변형이 있을 수 있고, 분리 과정에서 기판이 움직일 수 있으며, 이로 인해 증착면에 스크래치가 발생될 수 있다. 이러한 점을 개선한 기술이 본 출원인의 공개특허 제10-2017-0064654호에 나와있다. 도 2를 보면, 터치 플레이트를 마그넷 플레이트에서 분리하여 하강하되, 지지체로 연결되게 함으로써 터치 플레이트가 유리기판을 누른 상태에서 마그넷 플레이트가 먼저 상승하고, 마그넷 플레이트가 충분히 상승된 후, 터치 플레이트가 기판에 고정된 상태에서 마스크 시이트를 분리한다. 마스크 시이트가 분리되어 자력을 받지 않는 상태에서 마그넷 플레이트와 터치 플레이가 함께 상승하여 디척킹이 완료된다. 마스크 시이트를 부착 할 때에도 터치 플레이트가 먼저 기판을 누르게 하고, 기판을 누르고 있는 상태에서, 마그넷 플레이트가 하강하여 마스크 시이트에 자력이 작용하는 거리 안에 진입하면 마스크 시이트를 기판 표면으로 당겨 밀착시킨다. 유리기판이 고정되지 않은 상태에서 자력이 미치면 유리기판이 이동, 위치 이탈될 수 있고, 이는 곧 스크래치 위험요소가 되며, 분리시, 영구자석 배열(PMA)의 자장이 작용하지 않는 위치까지 마그넷 플레이트를 충분히 상승시켜야 하므로, 그만큼 공정실시를 위한 공간 확보를 요하게 된다. FIG. 1 shows the operation of a touch plate and a magnet plate that presses the substrate in a process of aligning and bonding a conventional substrate and a mask, and stabilizes the mask and pulls the mask to prevent deflection. The touch plate directly pressurizes the substrate to stabilize the substrate, and has a cooling device to prevent localized heating in the deposition process. A magnet plate is a device in which permanent magnets are arranged in a two-dimensional array, and a mask having been aligned in the deposition process is pulled toward the substrate to fix the same to the substrate. In such a configuration, since the magnet plate is detached in a state where the mask sheet is attached to the substrate, the mask sheet may be deformed by the magnetic force acting on the mask sheet, and the substrate may move during the separation process, Scratches may occur. A technique for improving this point is disclosed in the applicant's public patent 10-2017-0064654. 2, when the touch plate is detached from the magnet plate and connected to the support, the magnet plate is raised first while the touch plate is pressed against the glass substrate, the magnet plate is sufficiently raised, Separate the mask sheet in a fixed state. The magnet plate and the touch play rise together with the mask sheet separated and not receiving the magnetic force, and the dechucking is completed. When attaching the mask sheet, the touch plate first presses the substrate. When the magnet plate is lowered in the state where the substrate is pressed down, the mask sheet is pulled toward the substrate surface and brought into close contact with the mask sheet. If the magnetic force is insufficient in the state where the glass substrate is not fixed, the glass substrate may move and be displaced, which is a risk of scratching. In the separation, the magnet plate is moved to a position where the magnetic field of the permanent magnet array (PMA) Therefore, it is necessary to secure a space for carrying out the process.
따라서 본 발명의 목적은 마그넷 플레이트에 구비된 자석의 영향력을 원하는 시점에 온/오프 할 수 있는 새로운 구성의 마그넷 플레이트를 제공하고, 이를 적용한 얼라인먼트 시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a magnet plate of a new construction capable of turning on / off an influence of a magnet provided on a magnet plate at a desired point, and to provide an alignment system using the magnet plate.
상기 목적에 따라 본 발명은 마그넷 플레이트와 터치 플레이트를 하나로 통합한 스위칭 마그넷 플레이트를 구성하고, 상기 스위칭 마그넷 플레이트에는 영구자석 대신 스위칭 마그넷 모듈을 설치하여 기판과 마스크 얼라인 공정에서 스위칭 마그넷 플레이트의 스위칭 마그넷은 적시에 온/오프시켜 기판과 마스크의 얼라인 상태가 자력에 의해 전혀 훼손되지 않게 하였다. According to an aspect of the present invention, there is provided a switching magnet plate in which a magnet plate and a touch plate are integrated into one unit. In the switching magnet plate, a switching magnet module is provided instead of a permanent magnet, Is timely turned on / off so that the alignment state of the substrate and the mask is not damaged by the magnetic force at all.
즉, 상기 스위칭 마그넷 플레이트는 기판과 마스크의 얼라인이 완료된 이후, 스위칭 마그넷이 오프(off) 된 상태에서 하강하여 기판 위에 안착 된 후, 스위칭 마그넷을 온(on)시켜 기판 아래에 있는 마스크를 당겨 기판과 마스크를 밀착시키고, 기판과 미스크를 분리하고자 할 때에도 스위칭 마그넷을 오프시키고 스위칭 마그넷 플레이트를 상승시킴으로써 자력에 의한 마스크의 동반상승 문제를 해소하였다. That is, after the alignment of the substrate and the mask is completed, the switching magnet plate is lowered in a state where the switching magnet is off, and then the switching magnet plate is mounted on the substrate. Then, the switching magnet is turned on, Even when the substrate and the mask are in close contact with each other and the separation between the substrate and the mask is to be separated, the switching magnet is turned off and the switching magnet plate is raised, thereby solving the problem of the accompanying increase of the mask due to the magnetic force.
본 발명에 따르면, 기존의 터치 플레이트를 별도로 구비하지 않아도 기판 이동 위험이 없는 안정적인 작동 가능하여 장치 구성이 간소화되며, 영구자석이 아닌 스위칭 마그넷을 적용함으로써 적시에 자장을 형성하고 소거할 수 있어 기판과 마스크의 합착과 분리를 안정적으로 실시할 수 있다. According to the present invention, the apparatus can be stably operated without the risk of moving the substrate even if a conventional touch plate is not separately provided, thereby simplifying the structure of the apparatus. By applying a switching magnet other than the permanent magnet, a magnetic field can be formed and erased at a right time, It is possible to stably perform adhesion and separation of the mask.
또한, 기존에 터치 플레이트와 마그넷 플레이트를 2단계로 하강 또는 상승하는 방식으로 공정 단계가 나뉘어 있던 것을 하나로 합칠 수 있어 얼라인 공정에 소요되는 택 타임을 줄일 수 있다. In addition, since the touch plate and the magnet plate can be lowered or raised in two steps, it is possible to combine the process steps divided into one, thereby reducing the time required for the alignment process.
또한, 기판과 마스크 분리 시 스위칭 마그넷 모듈을 오프(off) 하면 어느 위치에서나 자력이 작용하지 않게 되므로 마그넷 플레이트가 상대적으로 짧은 거리를 상승한 상태에서도 다음 공정 단계를 진행시킬 수 있다. In addition, when the switching magnet module is turned off when the substrate and the mask are separated, the magnetic force is not applied at any position, so that the next process step can be performed even when the magnet plate has a relatively short distance.
또한, 공정 중 마그넷 플레이트의 이동 거리가 짧아지므로 짧아진 만큼 얼라인먼트 챔버 크기를 줄일 수 있고, 공간을 절약할 수 있는 장점이 있다. In addition, since the moving distance of the magnet plate during the process is shortened, the size of the alignment chamber can be reduced by as much as possible, and the space can be saved.
도 1은 종래 마그넷 플레이트와 터치 플레이트의 동작을 보여주는 개요도이다.
도 2는 도 1에 비해 개선된 종래 기술에 따라 마그넷 플레이트와 터치 플레이트가 분리 이동되는 것을 보여주는 개요도이다.
도 3은 본 발명에 따라 스위칭 마그넷 플레이트를 적용한 기판 마스크 합착 과정을 보여주는 개요도이다.
도 4는 본 발명에 따라 스위칭 마그넷 플레이트를 적용한 기판 마스크 분리 과정을 보여주는 개요도이다.
도 5는 대면적 기판 공정의 경우 종래의 척플레이트에서 영구자석을 상승 또는 하강시키면서 마스크와 기판의 합착과 분리를 실시하는 공정을 보여주는 개요도이다.
도 6은 본 발명의 기판 마스크의 합착과 분리 과정을 요약한 개념도 이다. 1 is a schematic view showing the operation of a conventional magnet plate and a touch plate.
FIG. 2 is a schematic view showing a separation of the magnet plate and the touch plate according to an improved prior art compared to FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a schematic view showing a process of attaching a substrate mask using a switching magnet plate according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic view showing a process of separating a substrate mask using a switching magnet plate according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic view showing a process of attaching and separating a mask and a substrate while raising or lowering a permanent magnet in a conventional chuck plate in the case of a large-area substrate process.
6 is a conceptual diagram summarizing the process of cementing and separating the substrate mask of the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 스위칭 마그넷 플레이트(300)가 적용된 기판(100) 마스크(200) 합착 공정을 보여준다. FIG. 3 shows a process of attaching a
기판(100) 위에 놓여 기판 배면에 있는 마스크(200)를 자력으로 당겨주는 마그넷 플레이트는 전기적인 신호를 통해 온/오프를 제어할 수 있는 스위칭 마그넷 모듈(350)을 구비한 스위칭 마그넷 플레이트(300)로 구성된다. 스위칭 마그넷 모듈은 본 발명자들에 의해 발명되고 본 출원인에 의해 출원된 10-2017-0105132호에 상세히 나와있고, 본 발명에 참조되고 편입된다. 스위칭 마그넷 모듈의 경우 구동부가 필요 없이 짧은 시간의 전기적 신호 인가만으로 홀딩 면의 자기장을 온, 오프할 수 있다. 즉, 스위칭 마그넷 모듈의 경우, 짧은 전기적 펄스 신호에 의해 온, 오프 작동이 되고, 홀딩 면의 자기장은 영구자석의 자기장을 이용하여 생성하므로 열 발생이 없고 전력 소모가 극히 적으며 동작이 안정적이다. 따라서 기판(100)-마스크(200) 얼라인먼트 완료 후, 스위칭 마그넷 모듈(350)을 오프한 상태에서 스위칭 마그넷 플레이트(300)를 하강시켜 기판(100) 위에 내려 놓는다. 스위칭 마그넷 플레이트(300)가 기판(100) 윗면에 닿아 누르고 있는 상태에서 스위칭 마그넷 모듈(350)을 온시켜 자력이 작용하게 하여 마스크(200)를 당겨 기판에 밀착시킨다. 이러한 기판-마스크 합착 동작은 기판 이동이 없는 매우 안정적인 동작으로 이루어져 기존의 터치 플레이트를 구성할 필요가 없고 터치 플레이트와 마그넷 플레이트의 하강을 분리 실시 하던 동작도 필요가 없다. The magnet plate which is placed on the
기판(100)과 마스크(200)를 분리할 때의 스위칭 마그넷 플레이트(300)의 동작은 도 4와 같이 이루어진다. Operation of the
증착 공정 완료 후 스위칭 마그넷 플레이트(300)가 기판(100) 윗면을 누르고 있는 상태에서 스위칭 마그넷 모듈(350)을 오프시킨다. 그에 따라 마스크(200)는 기판 배면에서 떨어져 쳐진 상태로 분리된다. 바로, 스위칭 마그넷 플레이트(300)를 상승시켜 기판에서 분리한다. After the completion of the deposition process, the
기판과 마스크 분리 시에도 스위칭 마그넷 모듈을 오프(off) 하면 어느 위치에서나 자력이 작용하지 않게 되므로 스위칭 마그넷 플레이트(300)가 상대적으로 짧은 거리를 상승한 상태에서도 다음 공정 단계를 수행할 수 있다.When the switching magnet module is turned off even when the substrate and the mask are separated from each other, the magnetic force is not applied at any position, so that the next process step can be performed even when the
따라서, 공정 간소화가 가능하고, 택타임을 단축할 수 있다. 또한, 공정 중 스위칭 마그넷 플레이트 이동 거리가 짧아지므로 짧아진 만큼 얼라인먼트 챔버 크기를 줄일 수 있고, 공간을 절약할 수 있는 장점이 있다. Therefore, the process can be simplified and the tack time can be shortened. In addition, since the moving distance of the switching magnet plate is shortened during the process, the size of the alignment chamber can be reduced by as much as possible, and the space can be saved.
도 5는 종래의 척플레이트를 사용하는 대면적 기판 공정에서 영구자석을 상승 또는 하강시키면서 마스크와 기판의 합착과 분리를 실시하는 공정을 보여주는 개요도이다. 척플레이트가 기판 홀딩을 위해 사용되는 경우 종래에는 마그넷 플레이트를 별도로 구성하지 않았고, 척플레이트 내부에 마스크 부착을 위한 영구자석을 장착하고, 영구자석의 위치를 제어하여 자력의 영향권을 조절한 것이다. FIG. 5 is a schematic view showing a process of attaching and separating a mask and a substrate while raising or lowering a permanent magnet in a large-area substrate process using a conventional chuck plate. In the case where the chuck plate is used for holding the substrate, the conventional magnet plate is not separately constructed, the permanent magnet for attaching the mask is mounted inside the chuck plate, and the influence of the magnetic force is controlled by controlling the position of the permanent magnet.
즉, 도 5에 나타낸 것과 같이 자석을 상승 및 하강 구동하여 마스크에 작용하는 자력을 조절한다. 영구자석은 척플레이트에 마련된 자석 이동 통로 내부에 배치되고, 소정의 구동장치를 이용 자석 이동 통로를 따라 상승위치(마스크에 자력이 미치지 않는 위치) 또는 하강위치(마스크에 자력이 작용하는 위치)로 이동, 정지시킬 수 있다. 얼라인먼트 공정 중이나 마스크 분리 중에는 자력이 작용하면 곤란하므로 자석을 상승위치에 두고, 얼라인먼트 종료 후 마스크 합착되어 마스크를 기판에 밀착해야 할 때에는 자석을 하강시킨다. 이러한 방식으로도 자력의 영향권을 적절히 제어할 수는 있지만 영구자석의 이동을 제어할 수 있도록 동력 수단을 구비하여야 하고 개개의 영구자석을 물리적으로 상승/하강시킬 수 있는 행로를 형성하여야 하므로 스위칭 마그넷 사용시보다 장비 구조가 복잡해지고 구동시간도 오래 걸릴 수 있으며, 자석의 이동에 따른 마모 및 오염입자 발생의 문제가 있다. That is, as shown in FIG. 5, the magnet is moved up and down to adjust the magnetic force acting on the mask. The permanent magnet is disposed inside the magnet moving path provided in the chuck plate and is movable in the upward direction along the magnet moving path using a predetermined driving device to a position where the magnetic force does not reach the mask or a down position Move, and stop. During the alignment process or during mask separation, it is difficult to apply a magnetic force, so the magnet is placed in the raised position, and when the mask is attached after the alignment is completed, the magnet is lowered. Although the influence of the magnetic force can be appropriately controlled in this manner, it is necessary to provide the power means so as to control the movement of the permanent magnet and to form a path for physically raising / lowering the individual permanent magnets. The structure of the apparatus becomes complicated and the driving time may take a long time, and wear and contamination particles arise due to the movement of the magnet.
따라서, 척플레이트가 사용되는 대면적 기판 공정의 경우에도 영구자석 어레이를 스위칭 마그넷 어레이로 대치하는 실시예를 적용하면 위에서 언급한 문제점들을 해소할 수 있다. 스위칭 마그넷은 척플레이트 내부 고정된 위치에 설치하면 되고, 영구자석처럼 상승, 하강 구동이 필요없게 된다. 마스크를 부착하기 위한 자력은 얼라인먼트 공정이 끝나서 마스크가 기판에 합착되면, 원하는 시점에 즉시 생성 및 소멸 가능하므로, 공정이 간소화되고, 택타임 단축이 가능하다. 스위칭 마그넷은 이동없이 고정된 위치에서 사용하므로 마모, 오염입자, 마그넷 파손이 발생하지 않는다. Thus, even in the case of a large area substrate process in which a chuck plate is used, the above-mentioned problems can be solved by applying the embodiment in which the permanent magnet array is replaced with the switching magnet array. The switching magnet can be installed at a fixed position inside the chuck plate, and it is not necessary to move up and down like a permanent magnet. The magnetic force for attaching the mask can be generated and destroyed instantaneously at a desired point of time when the mask is attached to the substrate after the alignment process is completed, thus simplifying the process and shortening the tact time. Since the switching magnet is used at a fixed position without moving, it does not cause wear, contamination particles, and magnet damage.
도 6은 본 발명의 기판 마스크의 합착과 분리 과정을 요약한 개념도로 척플레이트가 없이 기판을 핸들링하는 경우나 척플레이트로 기판을 홀딩한 경우 모두 공통으로 적용되며 본 발명의 실시예를 명확하게 이해할 수 있다.FIG. 6 is a conceptual diagram summarizing the process of attaching and separating a substrate mask of the present invention. In this case, both the case of handling a substrate without a chuck plate and the case of holding a substrate by a chuck plate are commonly applied, and the embodiment of the present invention can be clearly understood .
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiment, but is capable of many modifications and variations within the scope of the appended claims. It is self-evident.
100: 기판
200: 마스크
300: 마그넷 플레이트
350: 스위칭 마그넷 모듈100: substrate
200: mask
300: Magnet plate
350: Switching magnet module
Claims (5)
상기 마그넷 플레이트는 전기적인 신호를 이용하여 자력(magnetic force)을 온오프(on/off)할 수 있는 스위칭 마그넷 모듈을 구비한 것을 특징으로 하는 마그넷 플레이트.1. A magnet plate arranged on a substrate in alignment with a substrate and aligning the mask with each other to pull the mask toward the substrate,
Wherein the magnet plate includes a switching magnet module capable of turning on / off a magnetic force using an electrical signal.
상기 기판과 얼라인 되고 합착되는 마스크; 및
상기 기판 위에 놓이는 제1항의 마그넷 플레이트;를 포함하고,
상기 기판과 상기 마스크가 얼라인을 마친 후, 상기 마그넷 플레이트의 스위칭 마그넷 모듈의 자력이 오프(off) 된 상태에서 하강하여 기판 위에 안착 되고,
기판 위에 안착 된 마그넷 플레이트의 스위칭 마그넷 모듈의 자력을 온(on) 상태로 하여 자력으로 마스크를 기판 쪽으로 당겨 밀착시키는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 시스템.Board;
A mask that is aligned and adhered to the substrate; And
The magnet plate according to claim 1, wherein the magnet plate is placed on the substrate,
After the substrate and the mask have been aligned, the magnetic force of the switching magnet module of the magnet plate is lowered and is placed on the substrate,
Wherein the magnetic force of the switching magnet module of the magnet plate placed on the substrate is turned on and the mask is pulled toward the substrate by the magnetic force to adhere closely.
기판을 척킹하는 척 플레이트; 및
상기 기판과 얼라인 되고 합착되는 마스크;를 포함하고,
상기 척플레이트는 내부에 스위칭 마그넷을 구비하여 기판을 척 플레이트에 척킹한 후, 마스크와 기판을 얼라인먼트하여 기판과 마스크가 합착된 후 상기 스위칭 마그넷의 자력을 온(On)하여 마스크를 기판에 밀착 고정하는 얼라인먼트 시스템.
Board;
A chuck plate for chucking the substrate; And
And a mask that is aligned and adhered to the substrate,
The chuck plate has a switching magnet inside the chuck plate, and chucks the substrate with the chuck plate. The substrate and the mask are aligned by aligning the mask and the substrate. Then, the magnetic force of the switching magnet is turned on, An alignment system.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170179586A KR102072893B1 (en) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170179586A KR102072893B1 (en) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190077973A true KR20190077973A (en) | 2019-07-04 |
| KR102072893B1 KR102072893B1 (en) | 2020-02-03 |
Family
ID=67259594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170179586A KR102072893B1 (en) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102072893B1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102248045B1 (en) | 2019-11-04 | 2021-05-04 | 파인원 주식회사 | Apparatus for mounting and detaching the magnetic body of the magnet plate assembly |
| KR20210053510A (en) | 2019-11-04 | 2021-05-12 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
| KR20220067288A (en) | 2020-11-17 | 2022-05-24 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
| KR20220111874A (en) | 2021-02-03 | 2022-08-10 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110017503A (en) * | 2009-08-14 | 2011-02-22 | 주식회사 아데소 | Aligner for large size substrate |
| KR20130102151A (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-17 | 주식회사 선익시스템 | Apparatus for aligning substrates and method thereof |
| KR20130111182A (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | Vapor deposition apparatus and vapor deposition method |
| KR20160045518A (en) * | 2014-10-18 | 2016-04-27 | (주)브이앤아이솔루션 | Mask chucking apparatus |
| KR20160082557A (en) * | 2014-12-26 | 2016-07-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| KR20160123434A (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | Mask assembly and manufacturing apparatus for a display apparatus using the same |
| KR20160141501A (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-09 | 강창수 | Electrostatic chuck for controlling chucking and dechucking of mask |
| KR20170069400A (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-21 | 주식회사 선익시스템 | Chucking module and deposition apparatus of substrate having the same |
| KR20170003133U (en) * | 2017-08-21 | 2017-09-05 | 주식회사 야스 | Aligner and aligning method using electrostatic chuck |
| KR20170101509A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-06 | 주식회사 선익시스템 | Appratus for aligning substrate and appratus of deposition having the same |
| KR20170101507A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-06 | 주식회사 선익시스템 | Method for aligning substrate |
-
2017
- 2017-12-26 KR KR1020170179586A patent/KR102072893B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110017503A (en) * | 2009-08-14 | 2011-02-22 | 주식회사 아데소 | Aligner for large size substrate |
| KR20130102151A (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-17 | 주식회사 선익시스템 | Apparatus for aligning substrates and method thereof |
| KR20130111182A (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | Vapor deposition apparatus and vapor deposition method |
| KR20160045518A (en) * | 2014-10-18 | 2016-04-27 | (주)브이앤아이솔루션 | Mask chucking apparatus |
| KR20160082557A (en) * | 2014-12-26 | 2016-07-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| KR20160123434A (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | Mask assembly and manufacturing apparatus for a display apparatus using the same |
| KR20160141501A (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-09 | 강창수 | Electrostatic chuck for controlling chucking and dechucking of mask |
| KR20170069400A (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-21 | 주식회사 선익시스템 | Chucking module and deposition apparatus of substrate having the same |
| KR20170101509A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-06 | 주식회사 선익시스템 | Appratus for aligning substrate and appratus of deposition having the same |
| KR20170101507A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-06 | 주식회사 선익시스템 | Method for aligning substrate |
| KR20170003133U (en) * | 2017-08-21 | 2017-09-05 | 주식회사 야스 | Aligner and aligning method using electrostatic chuck |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102248045B1 (en) | 2019-11-04 | 2021-05-04 | 파인원 주식회사 | Apparatus for mounting and detaching the magnetic body of the magnet plate assembly |
| KR20210053510A (en) | 2019-11-04 | 2021-05-12 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
| KR20220067288A (en) | 2020-11-17 | 2022-05-24 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
| KR20220111874A (en) | 2021-02-03 | 2022-08-10 | 파인원 주식회사 | Magnet plate assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102072893B1 (en) | 2020-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20190077973A (en) | Touch plate integrated magnet plate with switching magnet and alignment system using it | |
| US9015930B2 (en) | Substrate bonding apparatus | |
| CN107680983B (en) | Micro LED array device, pickup device, related manufacturing method and transferring method | |
| JP5024971B2 (en) | Substrate holding mechanism and substrate assembling apparatus having the same | |
| JP4375232B2 (en) | Mask deposition method | |
| JP4545393B2 (en) | Substrate fixing apparatus and substrate fixing method for thin film deposition apparatus | |
| KR102520693B1 (en) | Deposition Apparatus | |
| US8724288B2 (en) | Electrostatic chuck and vacuum processing apparatus | |
| WO2012117509A1 (en) | Thin plate-shaped workpiece adhesion and retention method, thin plate-shaped workpiece adhesion and retention device, and manufacturing system | |
| EP3220412A1 (en) | Encapsulating device and method | |
| TW201448101A (en) | Retaining system, device and method for handling substrate stacks | |
| US10596797B2 (en) | Film and device for tearing film | |
| JP2012524419A (en) | Apparatus and method for separating a substrate from a carrier substrate | |
| JP2978470B2 (en) | Electrostatic suction device and method of detaching object | |
| JP2011040691A (en) | Substrate holder, stage device, laminating device, and method of manufacturing laminated semiconductor device | |
| JP5115082B2 (en) | Substrate bonding equipment | |
| KR101844643B1 (en) | Combining unit of substrate and mask for improving substrate hangning | |
| JP3976546B2 (en) | Thin film forming equipment | |
| KR102146631B1 (en) | Substrate Holding System with Magnetic force of Switching magnets applied | |
| JP2004279679A (en) | Substrate sticking device | |
| JP2008262971A (en) | Substrate holder, and device and method for joining substrate | |
| KR101268397B1 (en) | Substrate bonding apparatus and substrate bonding method | |
| KR20190055713A (en) | Method and apparatus for attaching and detaching thin film using electrostatic force | |
| KR101299284B1 (en) | Substrate bonding apparatus and substrate bonding method | |
| KR20090054789A (en) | Chuck |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |