KR20190051692A - Heating process system - Google Patents

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KR20190051692A
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Abstract

Disclosed is a heat treatment system. According to the present invention, the heat treatment system, which heat-treats a substrate (5), includes: a heat treatment device (110) including a chamber (105) providing a heat treatment space with respect to the substrate (5); and a heater (200) slidably inserted through an insertion hole (121) formed on one side of the heat treatment device (110).

Description

열처리 시스템 {HEATING PROCESS SYSTEM}[0001] HEATING PROCESS SYSTEM [0002]

본 발명은 열처리 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 챔버의 일측에서 히터를 삽입하고, 챔버의 일면에서 유지보수가 가능하여 공간 활용도 및 생산성을 향상시킬 수 있는 열처리 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment system. More particularly, the present invention relates to a heat treatment system capable of inserting a heater from one side of a chamber and performing maintenance on one side of the chamber, thereby improving space utilization and productivity.

어닐링(annealing) 장치는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리 단계를 담당하는 장치이다.The annealing apparatus is a device that performs a thermal treatment step necessary for a process such as crystallization and phase change on a predetermined thin film deposited on a substrate such as a silicon wafer or glass.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치(1)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 열처리 장치(1)에 히터(20)가 설치된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터(20)를 나타낸다. 도 3은 종래의 열처리 시스템으로서, 도 3의 (a)는 열처리 장치(1) 내 히터(20, 30)들의 배치 형태, 도 3의 (b)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.2 is a cross-sectional view taken along the line AA 'in Fig. 1, and Fig. 2 (a) is a cross-sectional view of the heat treatment apparatus 1 in a state in which the heater 20 is installed in the heat treatment apparatus 1. Fig. , And FIG. 2 (b) shows a rod-shaped heater 20. 3 (a) and 3 (b) illustrate a conventional arrangement of the heaters 20 and 30 in the heat treatment apparatus 1, and FIG. 3 (b) Represents space.

도 1을 참조하면, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 챔버(15) 공간을 포함하는 본체(10), 본체(10)의 출입구를 개폐하는 도어(11), 메인 히터(20) 및 사이드 히터(30)를 포함한다. 챔버(15) 내부에는 복수개의 기판이 배치될 수 있다. 복수개의 기판은 각각 일정간격을 가지면서 배치되며, 기판 홀더(미도시)에 지지되거나, 보트(미도시)에 안착되어 챔버(15) 내부에 배치될 수 있다.1, a conventional batch type heat treatment apparatus 1 includes a main body 10 including a space for a chamber 15, a door 11 for opening and closing an entrance of the main body 10, a main heater 20, And a heater (30). A plurality of substrates may be disposed in the chamber 15. [ The plurality of substrates may be disposed at regular intervals and may be supported in a substrate holder (not shown), or may be placed in a boat (not shown) and disposed inside the chamber 15.

메인 히터(20)는 통상적인 길이가 긴 봉형의 히터로서 석영관(21) 내부에 발열체(22)가 삽입되어 있고, 비발열체(25)가 양단에 설치된 단자를 통하여 외부의 전원을 인가 받아 발열체(22)에 전달하여 열을 발생시킨다. 메인 히터(20)의 양단은 커넥터(26)를 결합하여 단전함과 동시에 히터(20)를 본체(10)의 벽면에 설치 고정할 수 있다.The main heater 20 is a bar type heater having a long length and a heating element 22 is inserted into the quartz tube 21. The non-heating element 25 receives external power through terminals provided at both ends, (22) to generate heat. Both ends of the main heater 20 can be fixed to the wall surface of the main body 10 while the connector 26 is coupled to the main body 10 at the same time.

보조 히터(30)는 구성은 메인 히터(20)와 동일하다. 다만, 열처리 장치(1)에서 외부로 열이 방출되는 것을 고려하여, 챔버(15) 내 모든 영역에 균일한 열이 인가되도록 보조 히터(30)가 더 배치된다. 보조 히터(30)는 메인 히터(20)의 형성 방향에 수직한 방향으로, 본체(10)의 양측면에 평행하도록 배치된다.The configuration of the auxiliary heater 30 is the same as that of the main heater 20. However, considering that the heat is emitted from the heat treatment apparatus 1 to the outside, the auxiliary heater 30 is further arranged so that uniform heat is applied to all the regions in the chamber 15. [ The auxiliary heater 30 is disposed in parallel to both side surfaces of the main body 10 in a direction perpendicular to the direction in which the main heater 20 is formed.

도 3의 (a)를 참조하면, 메인 히터(20)는 주로 기판(5)이 점유하는 영역(Z2)에 대해서 가열을 수행하고, 보조 히터(30)는 기판(5)의 바깥측, 즉, 기판(5)이 점유하지 않는 영역(Z1, Z3)인 챔버(15)의 모서리 부분에 대해서 가열을 수행한다. 외부로의 열손실을 방지하기 위해 Z1, Z3 영역의 히팅 온도가 Z2 영역보다 높도록 보조 히터(30)를 메인 히터(20)와 수직하도록 더 배치하는 것이다.3 (a), the main heater 20 mainly performs heating with respect to a region Z2 occupied by the substrate 5, and the auxiliary heater 30 is arranged on the outer side of the substrate 5, that is, , The heating is performed on the edge portion of the chamber 15, which is the regions Z1 and Z3 that the substrate 5 does not occupy. The auxiliary heater 30 is further arranged so as to be perpendicular to the main heater 20 so that the heating temperature of the Z1 and Z3 regions is higher than the Z2 region in order to prevent heat loss to the outside.

하지만, 이 때문에 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 불필요하게 부피가 커지는 문제점이 있었다. 도 3의 (b)를 참조하면, 메인 히터(20)를 본체(10)에 설치하고 유지/관리하기 위한 경로(P1', P2')를 확보하기 위해서, 최소한 본체(10)의 좌우측 공간(M1', M2')이 필요하다. 그리고, 보조 히터(30)를 본체(10)에 설치하고 유지/관리하기 위한 경로(P3', P4')를 확보하기 위해서, 최소한 본체(10)의 전후측 공간(M3', M4')이 필요하다. 이렇듯, 본체(10)를 둘러싸는 모든 면 외측 공간(M1', M2', M3', M4')이 반드시 확보되어야 하므로, 유지/관리를 위한 전체 설비의 크기가 불필요하게 커지게 되고, 단위 면적당 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.However, because of this, there is a problem that the conventional batch type heat treatment apparatus 1 becomes unnecessarily bulky. 3 (b), in order to secure the paths P1 'and P2' for installing and maintaining / managing the main heater 20 in the main body 10, at least the left and right spaces of the main body 10 M1 ', M2') are required. In order to secure the paths P3 'and P4' for installing and maintaining / managing the auxiliary heater 30 in the main body 10, at least the front and rear side spaces M3 'and M4' of the main body 10 need. As described above, since all the outer surfaces M1 ', M2', M3 ', and M4' surrounding the main body 10 must be ensured, the size of the entire facility for maintenance / management becomes unnecessarily large, There is a problem that the productivity is lowered.

또 한편, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 기판의 개수에 따라 수많은 히터(20, 30)들이 설치되는데, 각각의 히터(20, 30)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하는 과정에서 장치의 제조 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 또한, 히터(20, 30)의 수리, 교체 등을 수행할 때에도 커넥터(26)를 해체하는 과정에서 유지/관리 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 열처리 공정 중간에 일부 히터(20, 30)가 고장날 경우, 이러한 수리, 교체 시간의 지연은 대량의 공정 실패로 이어질 수 있다.In the conventional batch type heat treatment apparatus 1, a large number of heaters 20 and 30 are installed according to the number of substrates. In the process of coupling the connectors 26 to both ends of the heaters 20 and 30, There is a problem that the manufacturing time of the semiconductor device increases. Further, even when the heaters 20 and 30 are repaired or replaced, there is a problem that the maintenance / management time increases in the process of disassembling the connector 26. If some of the heaters 20 and 30 fail during the heat treatment process, such delay in repair and replacement time may lead to a large number of process failures.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 히터를 본체에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a heat treatment system in which a heater is installed in a main body and a space for maintenance / .

또한, 본 발명은 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a heat treatment system capable of improving productivity per unit area due to an increase in space utilization.

또한, 본 발명은 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a heat treatment system capable of reducing the number of workings by greatly reducing the manufacturing time, maintenance time and maintenance time by installing, repairing, and replacing the heater on one side of the main body.

본 발명의 상기의 목적은, 기판을 열처리 하는 열처리 시스템으로서, 상기 열처리 시스템은, 상기 기판에 대하여 열처리 공간을 제공하는 챔버를 포함하는 열처리 장치; 및 상기 열처리 장치의 일측면에 형성된 삽입구를 통해 슬라이딩 삽입되는 히터를 포함하는, 열처리 시스템에 의해 달성된다.The above object of the present invention is also achieved by a heat treatment system for heat treating a substrate, the heat treatment system comprising: a heat treatment apparatus including a chamber for providing a heat treatment space with respect to the substrate; And a heater slidably inserted through an insertion port formed in one side surface of the heat treatment apparatus.

상기 열처리 장치는, 상기 챔버를 포함하는 본체; 및 상기 챔버의 적어도 일측을 관통하도록 배치되는 복수의 삽입 튜브를 포함하고, 복수의 상기 삽입 튜브는 상호 소정의 간격을 가지며 평행하게 배치될 수 있다.The heat treatment apparatus includes: a body including the chamber; And a plurality of insertion tubes arranged to penetrate at least one side of the chamber, and the plurality of insertion tubes may be arranged in parallel with each other at a predetermined interval.

상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향으로 메인터넌스(maintenance) 경로가 형성될 수 있다.A maintenance path may be formed in the outer side of one side of the heat treatment apparatus.

상기 열처리 장치의 일측면에 대향하는 타측면에 제2 삽입구가 더 형성될 수 있다.And a second inserting port may be further formed on the other side of the heat-treating apparatus opposite to the one side.

상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향 및 타측면 외측 방향으로 메인터넌스 경로가 형성될 수 있다.A maintenance path may be formed in the outer side direction of the one side surface and the outer side direction of the other side surface of the heat treatment apparatus.

상기 히터는, 발열부 및 비발열부를 포함하는 하나의 히터라인을 포함하고, 상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치될 수 있다.The heater includes one heater line including a heating portion and a non-heating portion, and the terminals of the heating portion and the non-heating portion may be disposed on the same side.

상기 히터는, 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 배치되는 하나의 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 상기 발열부에 연결되고 상기 히터관의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heater includes: a housing; And a heater tube disposed inside the housing, wherein the heat generating portion is disposed on an outer circumferential surface of the heater tube, and the non-heat generating portion is connected to the heat generating portion and disposed in an inner space of the heater tube .

상기 히터는, 발열부 및 비발열부를 포함하는 복수의 히터라인을 포함하고, 상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치되며, 각각의 상기 히터라인은 발열부 및 비발열부의 위치가 상이할 수 있다.Wherein the heater includes a plurality of heater lines including a heat generating portion and a non-heat generating portion, the terminals of the heat generating portion and the non-heat generating portion are disposed on the same side, and the positions of the heat generating portion and the non- Can be different.

상기 히터는, 하우징; 및 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 대응하는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 대응하는 상기 히터관의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heater includes: a housing; And a plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines, wherein the heat generating portion is disposed on an outer circumferential surface of the corresponding heater tube, and the non-heat generating portion is disposed in an inner space of the corresponding heater tube have.

상기 히터는, 하우징; 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관; 및 상기 복수의 히터관을 내부 공간에 배치하는 발열 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 상기 발열 히터관의 외주면 상에 배치될 수 있다.The heater includes: a housing; A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And a heat generating heater tube arranged in the inner space of the plurality of heater tubes, and the heat generating portion may be disposed on an outer peripheral surface of the heat generating heater tube.

상기 하우징의 일단은 폐쇄형 또는 개방형으로 형성되고, 상기 하우징의 타단은 개방형으로 형성될 수 있다.One end of the housing may be closed or open, and the other end of the housing may be open.

상기 발열부와 상기 비발열부는 이종(異種)의 금속 재질을 가질 수 있다.The heating portion and the non-heating portion may have different kinds of metal materials.

상기 복수의 히터관은, 동축(coaxial)을 가지거나, 상기 하우징 내에서 별도의 공간을 점유할 수 있다.The plurality of heater tubes may have a coaxial or occupy a separate space in the housing.

상기 복수의 히터라인 중 일부는 상기 히터의 중심 영역에 상기 발열부가 위치하고, 나머지는 상기 히터의 사이드 영역에 상기 발열부가 위치할 수 있다.Some of the plurality of heater lines may have the heat generating portion in a center region of the heater and the heat generating portion may be located in a side region of the heater.

상기 중심 영역의 히팅 온도는 상기 사이드 영역의 히팅 온도보다 낮을 수 있다.The heating temperature of the center region may be lower than the heating temperature of the side region.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 히터를 본체에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, there is an effect that the heater is installed in the main body, and the space for maintenance / management is greatly reduced, thereby increasing the space utilization.

또한, 본 발명에 따르면, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, productivity per unit area can be improved by increasing space utilization.

또한, 본 발명에 따르면, 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, a heater is installed, repaired, or replaced on one side of the main body, thereby significantly reducing the manufacturing time and the maintenance / management time, thereby reducing the work flow.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 열처리 장치에 히터가 설치된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터를 나타내는 도면이다.
도 3은 종래의 열처리 시스템으로서, 도 3의 (a)는 열처리 장치 내 히터들의 배치 형태, 도 3의 (b)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템으로서, 도 5의 (a)는 열처리 장치 내 히터들의 배치 형태, 도 5의 (b), (c)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 6의 히터가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 9 내지 도 12는 도 8의 히터를 구현하기 위한 다양한 형태를 나타내는 히터의 길이 방향에 대한 수평 단면(a) 및 수직 단면(b)이다.
도 13은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 12의 히터가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing a conventional batch type heat treatment apparatus.
Fig. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA 'in Fig. 1, Fig. 2 (a) is a view showing a heater provided in a heat treatment apparatus, and Fig. 2 (b) is a view showing a bar heater.
Fig. 3 shows a conventional heat treatment system. Fig. 3 (a) shows a layout of heaters in the heat treatment apparatus, and Fig. 3 (b) shows a space required for manufacturing, maintaining and repairing the heat treatment system.
4 is a perspective view showing a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 (a) and 5 (b) illustrate arrangement of heaters in the heat treatment apparatus, and FIGS. 5 (b) and 5 (c) .
6 is a view illustrating a heater according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view of BB 'of FIG. 4 on an enlarged side, showing a heat treatment apparatus to which the heater of FIG. 6 is applied.
8 is a view illustrating a heater according to another embodiment of the present invention.
9 to 12 are a horizontal section (a) and a vertical section (b) with respect to the longitudinal direction of the heater showing various forms for implementing the heater of FIG.
FIG. 13 is a cross-sectional view of BB 'of FIG. 4 on an enlarged side, showing a heat treatment apparatus to which the heater of FIG. 12 is applied.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings, which illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 히터 및 히팅 시스템을 상세히 설명한다.Hereinafter, a heater and a heating system according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치(100)를 나타내는 사시도이다.4 is a perspective view showing a heat treatment apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 열처리 장치(100)는 챔버(105) 공간을 포함하는 본체(110), 삽입 튜브(120), 본체(110)의 출입구를 개폐하는 도어(130) 및 히터(200)를 포함한다.4, a heat treatment apparatus 100 according to the present invention includes a body 110 including a chamber 105, an insertion tube 120, a door 130 for opening and closing an entrance of the body 110, 200).

열처리 장치(100)는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 외관을 이루는 본체(110)를 포함하고, 본체(110)의 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(105)가 형성될 수 있다. 본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(5)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있고, 챔버(105)는 밀폐된 공간으로 마련될 수 있다.The heat treatment apparatus 100 includes a main body 110 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape and having an outer appearance. A chamber 105, which is a space through which the substrate 50 is processed, may be formed in the main body 110. The body 110 may be formed in various shapes according to the shape of the substrate 5 as well as the rectangular parallelepiped shape, and the chamber 105 may be provided as a closed space.

챔버(105) 내부에는 하나 또는 복수의 기판이 배치될 수 있다. 복수개의 기판은 각각 일정간격을 가지면서 배치되며, 기판 홀더(미도시)에 지지되거나, 보트(미도시)에 안착되어 챔버(105) 내부에 배치될 수 있다.One or a plurality of substrates may be disposed in the chamber 105. The plurality of substrates may be disposed at regular intervals and may be supported in a substrate holder (not shown), or may be placed in a chamber (not shown) and placed inside the chamber 105.

삽입 튜브(120)는 본체(110)의 챔버(105)의 좌우측을 관통하도록 형성되며, 삽입 튜브(120)의 적어도 일단은 본체(110) 벽을 관통하여 삽입구(121)가 형성될 수 있다. 즉, 삽입구(121)는 본체(110)의 일측(좌측 또는 우측)에 형성될 수 있고, 양측(좌측 및 우측)에 제1, 제2 삽입구(121)의 형태로 형성될 수도 있다. 삽입 튜브(120)는 내부가 비어있는 관, 기둥 등의 형태일 수 있다.The insertion tube 120 is formed to penetrate the left and right sides of the chamber 105 of the main body 110 and at least one end of the insertion tube 120 may be formed through the wall of the main body 110 to form the insertion hole 121. That is, the insertion port 121 may be formed on one side (left side or right side) of the main body 110 and may be formed on both sides (left side and right side) in the form of first and second insertion ports 121. The insertion tube 120 may be in the form of a hollow tube, column, or the like.

삽입 튜브(120)는 후술할 히터(200)가 슬라이딩 삽입될 수 있다. 히터(200)는 삽입구(121)를 통과하여 삽입 튜브(120)에 삽입 배치됨에 따라, 챔버(105) 내부에 열을 공급할 수 있다. 히터(200)가 슬라이딩 될 수 있도록 삽입 튜브(120)의 내경은 히터(200)의 외경과 동일하거나 적어도 큰 정도인 것이 바람직하고, 본체(110) 또는 히터(200)의 하우징과 동일한 석영(quartz) 등의 재질로 형성되는 것이 바람직하다.The insertion tube 120 can be slidably inserted into a heater 200 to be described later. The heater 200 is inserted into the insertion tube 120 through the insertion port 121, and thus can supply heat to the inside of the chamber 105. The inner diameter of the insertion tube 120 is preferably equal to or at least as great as the outer diameter of the heater 200 so that the heater 200 can be slid and the inner diameter of the quartz ) And the like.

히터(200)는 본체(110) 전면의 출입구를 따라 기판(5)이 로딩되는 방향과 수직한 방향으로, 일정한 간격을 가지면서 복수개가 배치될 수 있다. 히터(200)의 배치 형태와 동일하게 삽입 튜브(120)가 열처리 장치(100) 내에 배치될 수 있다.A plurality of heaters 200 may be disposed at regular intervals in a direction perpendicular to the direction in which the substrate 5 is loaded along the entrance of the front surface of the main body 110. The insertion tube 120 may be disposed in the heat treatment apparatus 100 in the same manner as the arrangement of the heaters 200. [

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템으로서, 도 5의 (a)는 열처리 장치(100) 내 히터(200)들의 배치 형태, 도 5의 (b), (c)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.5 (a) is a layout of heaters 200 in the heat treatment apparatus 100, and FIGS. 5 (b) and 5 (c) are views showing the arrangement of the heaters 200 in the heat treatment system 100. FIG. It represents the space required for manufacturing, maintenance and repair.

도 5의 (a)를 참조하면, 본체(110)에는 복수의 히터(200)들이 삽입되고 챔버(105) 공간을 가열할 수 있다. 이때, 챔버(105) 내부는 기판(5)이 점유하는 영역(Z2)과 기판(5)이 점유하지 않는 영역(Z1, Z3)으로 구분될 수 있다.Referring to FIG. 5 (a), a plurality of heaters 200 are inserted into the main body 110, and the space of the chamber 105 can be heated. At this time, the inside of the chamber 105 can be divided into a region Z2 occupied by the substrate 5 and regions Z1 and Z3 occupied by the substrate 5. [

도 5의 (b)를 참조하면, 열처리 시스템은 열처리 장치(100), 히터(200) 외에도 열처리 장치(100)를 유지/관리하기 위한 주변 공간까지 포함하여 구성될 수 있다. 도 1 내지 3의 종래의 배치식 열처리 장치(1)와는 다르게, 본 발명의 열처리 장치(100)는 히터(200)를 본체(110)에 고정 설치하는 구조가 아니고, 삽입 튜브(120) 내로 삽입구(121)를 통해 슬라이딩 방식으로 삽입/인출하는 구조이다. 따라서, 히터(200)를 본체(110)에 설치하고 유지/관리하기 위한 메인터넌스(maintenance) 경로(P1)를 확보하기 위해서, 본체(110)의 일측 공간(M1)만으로 충분하다.Referring to FIG. 5B, the heat treatment system may include a heat treatment apparatus 100, a heater 200, and a peripheral space for maintaining / managing the heat treatment apparatus 100. The heat treatment apparatus 100 of the present invention is different from the conventional batch heat treatment apparatus 1 of FIGS. 1 to 3 in that the heater 200 is not fixed to the body 110, (Not shown). Therefore, only one side space M1 of the main body 110 is sufficient for securing the maintenance path P1 for installing and maintaining / managing the heater 200 on the main body 110.

구체적으로, 본체(110)의 일측면(좌측면 또는 우측면) 상에 형성된 삽입구(121)를 통해 히터(200)를 슬라이딩 방식으로 삽입하는 것만으로 히터(200)의 배치가 완료된다. 사용자는 본체(110)의 일측 공간(M1)의 메인터넌스 경로(P1)로 접근하여 히터(200)를 슬라이딩 인출하는 것만으로도 히터(200)를 수리, 교체 등의 유지/관리를 수행할 수 있다.The placement of the heater 200 is completed by simply inserting the heater 200 through the insertion port 121 formed on one side (left side or right side) of the main body 110 in a sliding manner. The user can approach the maintenance path P1 of the space M1 at one side of the main body 110 and perform maintenance and management of the heater 200 by repairing and replacing the heater 200 by simply sliding the heater 200 out .

또는, 작업 속도를 보다 빠르게 하기 위해, 본체(110)의 양측면(좌측면 및 우측면)에 형성된 삽입구(121)를 통해 히터(200)를 배치하고, 본체(110)의 양측 공간(M1, M2)의 메인터넌스 경로(P1, P2)로 접근하여 히터(200)를 슬라이딩 인출하는 것만으로도 히터(200)를 수리, 교체 등의 유지/관리를 수행할 수 있다.Alternatively, the heaters 200 may be disposed through the insertion holes 121 formed on both side surfaces (the left side and the right side) of the main body 110 and the side spaces M1 and M2 of the main body 110, It is possible to carry out maintenance / management such as repairing and replacement of the heater 200 by simply approaching the maintenance paths P1 and P2 of the heater 200 and sliding the heater 200 out.

위와 같이, 본 발명의 열처리 시스템은, 본체(10)의 전후좌우측 공간(M1', M2', M3', M4')을 반드시 필요로 하는 종래의 열처리 시스템[도 3의 (b) 참조]에 비하여, 유지/관리를 위한 공간을 좌우측 중 어느 한 공간(M1), 또는, 좌우측 두 공간(M1, M2)만으로 대폭 축소할 수 있다. 이에 따라, 공간 활용도를 현저히 증가시킬 수 있고, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 게다가, 본체(110) 일측의 삽입구(121)에 히터(200)를 슬라이딩하여 삽입하는 것만으로 제조가 완료되고, 히터(200)를 삽입/인출하는 것만으로도 간단하게 유지/관리를 수행할 수 있으므로, 작업 공수를 절감할 수 있는 이점이 있다.As described above, the heat treatment system of the present invention is applied to a conventional heat treatment system (see FIG. 3 (b)) which necessarily requires front, rear, left and right spaces M1 ', M2', M3 'and M4' In contrast, the space for maintenance / management can be greatly reduced to only one of the left and right spaces M1, or the two left and right spaces M1 and M2. Accordingly, space utilization can be remarkably increased, and productivity per unit area can be improved by increasing space utilization. In addition, the manufacturing is completed by simply sliding the heater 200 into the insertion opening 121 of the main body 110, and maintenance / management can be performed simply by inserting / withdrawing the heater 200 Therefore, there is an advantage that the work flow can be reduced.

이하에서는, 삽입 튜브(120)에 삽입될 수 있는 히터(200)들의 실시예에 대해서 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the heaters 200 that can be inserted into the insertion tube 120 will be described.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200: 200a)를 나타내는 도면이다.6 is a view showing a heater 200 (200a) according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 히터(200: 200a)는 하우징(210), 하나의 히터라인(220)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the heater 200 (200a) may include a housing 210 and a heater line 220.

하우징(210)은 히터(200)의 외관을 구성하고, 내부 요소를 커버함과 동시에 내부에서 발생된 열을 외부로 발산할 수 있다. 하우징(210)은 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 일 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다.The housing 210 constitutes an outer appearance of the heater 200, and at the same time, it can cover the internal elements and dissipate heat generated therein. The housing 210 may be made of quartz or the like and may extend in one direction. For example, it may be formed long as a rod shape as a whole.

하우징(210)의 내부 환경이 외부와 분리되도록, 하우징(210)의 일단(도 6에서 좌측단)은 폐쇄형으로 형성될 수 있다. 타단(도 6에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있고, 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200a)의 내부를 외부 환경으로부터 폐쇄할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 하우징(210) 내주면/외주면에 더 형성될 수 있다. 폐쇄 캡(205)은 단전과 동시에 삽입 튜브(200)[도 7 참조] 내의 히터(200)를 고정하는 커넥터 역할을 할 수 있다. 하우징(210)의 일단은 반구 형상, 돔(dome) 형상 등으로, 삽입 튜브(200)[도 7 참조]에 삽입되기 용이하다면, 그 형상에 있어서의 제한은 없다. 개방형으로 형성된 타단은, 히터라인(220)의 단자(226, 227)가 외부로 연결되는 통로를 제공할 수 있다.One end (left end in FIG. 6) of the housing 210 may be closed so that the internal environment of the housing 210 is separated from the outside. The other end (the right end in FIG. 6) may be formed in an open shape. Coupling means such as coupling grooves may be formed on the inner circumferential surface of the housing 210 to close the inside of the heater 200a, / Outer circumferential surface. The closed cap 205 can serve as a connector for fixing the heater 200 in the insertion tube 200 (see FIG. One end of the housing 210 has a hemispherical shape, a dome shape, and the like, so long as it can be easily inserted into the insertion tube 200 (see FIG. 7). The other end formed in an open shape may provide a passage through which the terminals 226 and 227 of the heater line 220 are connected to the outside.

히터라인(220)은 발열부(221) 및 비발열부(225)를 포함할 수 있다.The heater line 220 may include a heat generating portion 221 and a non-heat generating portion 225.

발열부(221)는 높은 발열량 및 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 코일링(coiling)되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 발열부(221)는 높은 온도에 대한 내구성을 갖는 칸탈(kanthal), 슈퍼 칸탈(super kanthal), 니크롬(nichrome) 등의 재질로 구성될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며 공지의 발열 재질을 사용할 수 있다.The heat generating portion 221 may have a wire shape that is coiling to secure a buffering property due to a high calorific value and thermal expansion. The heat generating part 221 may be made of a material such as kanthal, super kanthal, nichrome, etc. having durability against high temperature, but it is not limited thereto and a known heat-generating material can be used have.

비발열부(225)는 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 적어도 일부가 코일링되는 와이어 형태(225a)를 가지거나, 직선 형태(225b)를 가질 수 있다. 다만, 비발열부(225)의 전체를 코일링되도록 형성하면 축열(蓄熱)/응열에 의해 전류의 흐름이 저하되는 경우가 발생할 수 있으므로, 적어도 일부만 코일링되도록 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 비발열부(225)라고 해서 발열이 전혀 되지 않는 것은 아니며, 다만, 발열부(221)에 비해 발열량, 발열 표면적 등이 현저하게 낮아 열처리에 영향을 주는 바가 거의 없는 정도로 이해되어야 한다.The non-heat generating portion 225 may have a wire form 225a at least partially coiled or have a straight form 225b in order to ensure a buffering property due to thermal expansion. However, if the entire non-heat generating portion 225 is formed to be coiled, the current flow may be lowered due to heat storage / coagulation, so that it may be desirable to form at least a portion of the coil to be coiled. It should be understood that the non-heat generating portion 225 does not generate heat at all, but the heat generating amount and the exothermic surface area are remarkably lower than those of the heat generating portion 221 and hardly affect the heat treatment.

발열부(221)와 비발열부(225)는 서로 다른 금속 재질로 형성될 수 있다. 발열부(221)는 발열성이 높아야 하고, 비발열부(225)는 전류가 잘 흐르도록 저항이 낮고 발열성이 낮아야 한다. 또한, 열팽창계수가 높으면 발열 도중에 발열부(221)/비발열부(225)의 팽창에 의해 히터(200)[또는, 히터라인(220)]가 파손될 수도 있다. 이를 고려하여, 비발열부(225)는 저항, 발열성, 열팽창계수가 낮은 니켈(Ni), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등의 여러 재질로 구성될 수 있다.The heat generating portion 221 and the non-heat generating portion 225 may be formed of different metal materials. The heat generating portion 221 should have high heat generating property, and the non-heat generating portion 225 should have low resistance and low heat generating property so that current flows well. If the thermal expansion coefficient is high, the heater 200 (or the heater line 220) may be broken by the expansion of the heat generating portion 221 / the non-heat generating portion 225 during the heat generation. In consideration of this, the non-heat generating portion 225 may be made of various materials such as nickel (Ni), tungsten (W), and molybdenum (Mo) having low resistance, heat generation and thermal expansion coefficient.

한편, 발열부(221)와 비발열부(225)는 발열량의 차이에 대한 표현상의 차이일 뿐, 반드시 이종(異種)의 금속 재질이 아닌, 동일 재질로 형성될 수도 있다. 이 경우, 발열량에서 현저한 차이가 나타나도록 코일링/직선 형태, 와이어의 두께, 저항 등을 조절하여 발열부(221)와 비발열부(225)를 구분할 수 있다. 또한, 발열부(221)와 비발열부(225)는 히터라인(220) 상에서 연속적으로 연결될 수 있다.The heat generating part 221 and the non-heat generating part 225 are different from each other in terms of the difference in calorific value, and may be formed of the same material instead of a different kind of metal material. In this case, the heating part 221 and the non-heating part 225 can be distinguished from each other by adjusting the coiling / straight line shape, the thickness of the wire, the resistance, etc. so that a significant difference is generated in the calorific value. Further, the heat generating portion 221 and the non-heat generating portion 225 may be continuously connected on the heater line 220.

히터관(260)은 하우징(210)의 내부에 배치될 수 있다. 열이 균일하게 발산될 수 있도록 하우징(210)과 히터관(260)은 동축을 이루는 것이 바람직하다. 히터관(260)은 발열부(221)를 지지하고, 발열부(221)와 비발열부(225)가 히터(200a) 내에서 점유하는 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 히터관(260)도 하우징(210)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 히터관(260)의 일단(도 6에서 좌측단) 및 타단(도 6에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 히터관(260) 내주면/외주면에 더 형성될 수 있다.The heater tube 260 may be disposed inside the housing 210. It is preferable that the housing 210 and the heater tube 260 are coaxial so that heat can be uniformly emitted. The heater tube 260 supports the heat generating portion 221 and can separate the space occupied by the heat generating portion 221 and the non-heat generating portion 225 in the heater 200a. The heater tube 260 may be made of quartz or the like as in the case of the housing 210, and may be formed as a long rod. One end (left end in FIG. 6) and the other end (right end in FIG. 6) of the heater pipe 260 can be formed in an open shape. And coupling means such as coupling grooves may be further formed on the inner circumferential surface / outer circumferential surface of the heater tube 260 so that the closed cap 205 can be coupled to the other end.

발열부(221)는 히터관(260)의 외주면 상에 배치될 수 있고, 비발열부(225)는 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heat generating portion 221 may be disposed on the outer circumferential surface of the heater tube 260 and the non-heat generating portion 225 may be disposed on the inner space of the heater tube 260.

종래의 히터(20)[도 2 참조]는 양측에 단자가 있으므로, 석영관(21) 내부에 발열체(22)만이 존재하고, 비발열체(25)는 히터(20)의 양측에서 발열체(22)와 단자 사이에 개재된다. 즉, 좌측 단자-비발열체(25)-발열체(22)-비발열체(25)-우측 단자와 같이 한 방향을 따라 배열될 수 있다.The conventional heater 20 (refer to FIG. 2) has terminals on both sides, so that only the heating element 22 exists in the quartz tube 21. The non-heating element 25 is disposed on both sides of the heater 20, And the terminal. That is, the left terminal-non-heating element 25, the heating element 22, the non-heating element 25, and the right terminal may be arranged along one direction.

이와 다르게, 본원의 히터(200)는 동일 측면에만 단자(226, 227)가 있으므로, 한 방향을 따라 배열되지 않고, 단자(226)-발열부(221)-비발열부(226)-단자(267) 순으로 배열될 필요가 있다. 따라서, 단자(226)에서 히터관(260)의 일단(좌측단)의 방향을 따라 발열부(221)가 히터관(260)의 외주면 상에 배치되고, 발열체(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 히터관(260)은 발열부(221)와 비발열부(225)가 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있다.The heater 200 of the present invention has the terminals 226 and 227 only on the same side so that the terminals 226 -the heat generating portion 221-the non-heating portion 226 -terminal 267 ). ≪ / RTI > The heating unit 221 is disposed on the outer circumferential surface of the heater tube 260 along the direction of one end (left end) of the heater tube 260 at the terminal 226 and the left end of the heating unit 221 and the non- 225 may be integrally connected to each other. The non-heat generating portion 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. The heater tube 260 can separate the space occupied by the heat generating portion 221 and the non-heat generating portion 225 so that they are not short-circuited.

다시 말해, 발열부(221)와 비발열부(225)는 하우징(210)의 일단부에서 연결되고, 발열부(221)와 비발열부(225)의 단자(226, 227)는 하우징(210)의 타단부에 배치될 수 있다. 그리하여, 히터(200)의 한측에서 전류를 공급하고, 한측에서 히터(200)의 유지관리를 수행할 수 있다.In other words, the heat generating unit 221 and the non-heat generating unit 225 are connected at one end of the housing 210, and the terminals 226 and 227 of the heat generating unit 221 and the non- And may be disposed at the other end. Thus, current can be supplied from one side of the heater 200, and maintenance of the heater 200 can be performed from one side.

도 7은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 6의 히터(200: 200a)가 적용된 열처리 장치(100)를 나타내는 도면이다.FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view taken along line B-B 'of FIG. 4, showing a heat treatment apparatus 100 to which the heater 200 (200a) of FIG. 6 is applied.

도 7의 (a)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125) 및 타단(126)은 개방된 상태로 삽입구(121)가 각각 형성된다. 삽입 튜브(120)는 내부는 비어 있고, 히터(200a)가 삽입 튜브(120) 내부의 빈 공간에 삽입될 수 있다.Referring to FIG. 7A, the insertion port 121 is formed with one end 125 and the other end 126 of the insertion tube 120 being opened. The inside of the insertion tube 120 is empty and the heater 200a can be inserted into the empty space inside the insertion tube 120. [

도 1을 참조하면, 본체(10)의 측면에 설치되는 히터(20)만 50개에 이른다. 이 경우, 종래의 열처리 시스템은 50개의 히터를 본체(10)에 관통하도록 하고, 각각의 히터(20)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하여 히터(20)를 설치하였으나, 본 발명의 히터(200)는 각각의 히터(200)마다 삽입 튜브(120)에 슬라이딩 삽입하고 일측에서만 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200)를 설치할 수 있으므로, 히터(200)의 조립 시간이 거의 절반으로 줄어들 수 있다. 이는 유지 관리를 행함에 있어서도 마찬가지이다.Referring to FIG. 1, only 50 heaters 20 are provided on the side surface of the main body 10. In this case, in the conventional heat treatment system, 50 heaters are passed through the main body 10, and the heaters 20 are provided by connecting the connectors 26 to both ends of each heater 20. However, 200 are slidably inserted into the insertion tube 120 for each heater 200 and the heater 200 can be installed by coupling the closing cap 205 to only one side of the insertion tube 120. Therefore, . This is the same when maintenance is performed.

도 7의 (b)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 즉, 일단(125')은 본체(110)의 벽으로 막혀 있는 형태일 수 있다. 히터(200a)는 삽입 튜브(120)의 타단(126)으로만 삽입될 수 있고, 히터(200a)의 유지 관리를 위한 접근도 타단(126)을 통해서 가능하다. 또한, 히터(200a)를 삽입 튜브(120) 내의 일단(125')까지 밀어넣고 폐쇄 캡(205)을 결합하는 과정으로, 히터(200a)가 본체(110)에서 정렬을 이루며 설치될 수 있는 이점이 있다.Referring to FIG. 7 (b), one end 125 'of the insertion tube 120 is closed, and the insertion port 121 is formed with only the other end 126 passing therethrough. That is, one end 125 'may be in the form of being clogged with the wall of the main body 110. The heater 200a can be inserted only into the other end 126 of the insertion tube 120 and the approach for maintenance of the heater 200a is possible through the other end 126. [ The heater 200a can be installed in alignment with the body 110 by pushing the heater 200a to one end 125 'of the insertion tube 120 and engaging the closing cap 205. [ .

도 7의 (c)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 형태는 도 7의 (b)와 동일하게 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 한편, 하우징(210')의 일단 및 타단이 개방형으로 형성된 히터(200a')를 사용할 수 있다. 하우징(210')의 일단에 개방되어 있더라도, 삽입 튜브(120)의 일단(125')이 폐쇄되어 있으므로, 히터(200a')의 내부 구성을 커버하는 역할을 할 수 있다.7 (c), the shape of the insertion tube 120 is similar to that of FIG. 7 (b), and one end 125 'is closed and only the other end 126 penetrates, (121) is formed. Meanwhile, a heater 200a 'having one end and the other end of the housing 210' formed in an open shape can be used. Since the one end 125 'of the insertion tube 120 is closed even if it is opened at one end of the housing 210', it can serve to cover the internal structure of the heater 200a '.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터(200: 200b)를 나타내는 도면이다. 도 6에서 설명한 히터(200: 200a)와 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하고 차이점만 설명한다.8 is a view showing a heater 200 (200b) according to another embodiment of the present invention. The same components as those of the heater 200 (200a) described in Fig. 6 will not be described, but only differences will be described.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200: 200b)는 하우징(210), 복수의 히터라인(220, 230, 240)을 포함할 수 있다. 복수의 히터라인(220, 230, 240)은 각각 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, a heater 200 200b according to an exemplary embodiment of the present invention may include a housing 210, and a plurality of heater lines 220, 230, and 240. The plurality of heater lines 220, 230 and 240 may include heat generating portions 221, 231 and 241 and non-heat generating portions 225, 235 and 245, respectively.

히터(200: 200b)는 히터라인(220, 230, 240)들이 각각 다른 영역에 열을 발생하는 것을 특징으로 한다. 이런 의미에서, 히터라인(220, 230, 240)의 개수는 히터(200b)가 다른 온도를 구성할 수 있는 복수의 영역(Z1, Z2, Z3)의 개수에 대응할 수 있다. 또한, 히터라인(220, 230, 240)들은 상이한 온도로 열을 발생시킬 수 있다. 이에 따라, 히터(200b)는 멀티 존(multi-zone) 가열 히터로서 기능할 수 있다.The heaters 200 and 200b are characterized in that the heater lines 220, 230 and 240 generate heat in different areas. In this sense, the number of the heater lines 220, 230, and 240 may correspond to the number of the plurality of regions Z1, Z2, and Z3 where the heater 200b can configure different temperatures. In addition, the heater lines 220, 230, and 240 can generate heat at different temperatures. Accordingly, the heater 200b can function as a multi-zone heating heater.

영역(Z1, Z2, Z3)마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있도록, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 구성될 수 있다. 이 외에, 영역마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있는 목적의 범위 내에서, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)는 형태, 크기, 두께, 저항, 재질, 발열량 등이 상이하게 구성될 수 있다.Each of the heater lines 220, 230 and 240 is connected to the heat generating portions 221, 231 and 241 and the non-heat generating portions 225, 235 and 245 so that the temperature can be individually controlled for each of the regions Z1, The positions can be configured differently. In addition, the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may have shapes, sizes, thicknesses, resistances, materials, calorific values And the like may be configured differently.

다시, 도 5의 (a)를 참조하면, Z1, Z3 영역과 Z2 영역은 다른 온도로 가열될 수 있다. 즉, Z1, Z3 영역은 챔버(105)의 모서리 부분으로서, 외부로 열손실이 발생할 수 있으므로, Z2 영역과 균일하게 온도를 맞추기 위해서는 더 많은 열이 제공되어야 한다. 따라서, 히터(200b)에서 Z1, Z3 영역에 대응하는 사이드 영역은, Z2 영역에 대응하는 중심 영역보다 히팅 온도가 높게 된다.Referring again to FIG. 5 (a), the Z1 and Z3 regions and the Z2 region may be heated to different temperatures. That is, since the regions Z1 and Z3 are the corner portions of the chamber 105, heat loss may occur to the outside, so that more heat must be provided in order to uniformly adjust the temperature to the Z2 region. Therefore, in the heater 200b, the side regions corresponding to the regions Z1 and Z3 have higher heating temperatures than the center regions corresponding to the region Z2.

Z1, Z3 영역에 열을 제공하는 히터라인(220, 240)의 발열부(221, 241)는 Z1, Z3 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 그리고, Z2 영역에 열을 제공하는 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 이렇게, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 가열하는 영역(Z1, Z2, Z3)에 대응하도록 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 형성될 수 있다. 도 8에서는 3개의 영역(Z1, Z2, Z3)을 예시로 설명하나, 히터라인(220, 230, 240)들의 구성에 따라, 하나의 히터(200)로 다양한 개수의 영역들에 대해서 개별적으로 온도 제어가 가능하다. 위와 같이, 본 발명의 열처리 시스템은 하나의 히터(200b)로 여러 영역의 온도를 제어할 수 있으므로, 종래의 기술과 같이 보조 히터(30)[도 1 및 도 3 참조]를 메인 히터(20)에 수직하게 배치할 필요가 없다. 그리하여 한 종류의 히터(200b)를 본체(110)의 일측에서만 삽입하여도 챔버(105) 내의 여러 영역(Z1, Z2, Z3)에 대해 각각 다른 온도를 적용하여 기판(5)의 전면적을 균일하게 열처리할 수 있는 이점이 있다.The heat generating portions 221 and 241 of the heater lines 220 and 240 providing heat in the regions Z1 and Z3 may be disposed at positions corresponding to the regions Z1 and Z3. The heat generating portion 231 of the heater line 230 for providing heat in the Z2 region may be disposed at a position corresponding to the Z2 region. The positions of the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 in the heater lines 220, 230 and 240 are different from each other in the heating regions Z1, . In the embodiment shown in FIG. 8, the three zones Z1, Z2 and Z3 are exemplarily described. However, according to the configuration of the heater lines 220, 230 and 240, Control is possible. As described above, the heat treatment system of the present invention can control the temperatures of various regions with one heater 200b, so that the auxiliary heater 30 (see FIGS. 1 and 3) It is not necessary to arrange it vertically. Even if one heater 200b is inserted only from one side of the main body 110, different temperatures are applied to various regions Z1, Z2 and Z3 in the chamber 105 to uniformly cover the whole area of the substrate 5 There is an advantage of heat treatment.

종래의 히터(20)[도 2 참조]는 양측에 단자가 있으므로, 석영관(21) 내부에 발열체(22)만이 존재하고, 비발열체(25)는 히터(20)의 양측에서 발열체(22)와 단자 사이에 개재된다. 즉, 좌측 단자-비발열체(25)-발열체(22)-비발열체(25)-우측 단자와 같이 한 방향을 따라 배열될 수 있다.The conventional heater 20 (refer to FIG. 2) has terminals on both sides, so that only the heating element 22 exists in the quartz tube 21. The non-heating element 25 is disposed on both sides of the heater 20, And the terminal. That is, the left terminal-non-heating element 25, the heating element 22, the non-heating element 25, and the right terminal may be arranged along one direction.

이와 다르게, 본원의 히터(200b)는 동일 측면에만 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)가 배치될 수 있다. 히터라인(220, 230, 240)은 단자(226, 236, 246)-비발열부(225, 235, 245)-발열부(221, 231, 241)-비발열부(225, 235, 245)-단자(227, 237, 247) 순으로 배열될 수 있다. 그리하여, 히터(200b)의 한측에서 전류를 공급하고, 한측에서 히터(200)의 유지관리를 수행할 수 있다.Alternatively, the heater 200b of the present invention may be provided with terminals 226, 227, 236, 237, 246, 247 only on the same side. The heater lines 220, 230 and 240 are connected to the terminals 226, 236 and 246, the non-heat generating portions 225, 235 and 245, the heat generating portions 221 and 231 and 241, (227, 237, 247). Thus, current can be supplied from one side of the heater 200b, and maintenance of the heater 200 can be performed from one side.

각각의 히터라인(220, 230, 240)은 단락되지 않도록 서로 접촉되지 않는 것이 바람직하다. 도 9 내지 도 12에서 후술할 히터(200b)의 여러 실시예들은 각각의 히터라인(220, 230, 240)이 서로 접촉되지 않고 각기 다른 공간을 점유한 형태를 개시한다.It is preferable that the heater lines 220, 230, and 240 are not in contact with each other so as not to be short-circuited. Various embodiments of the heater 200b to be described later with reference to FIGS. 9 to 12 disclose a configuration in which each of the heater lines 220, 230, and 240 occupies different spaces without being in contact with each other.

도 9 내지 도 12는 도 8의 히터(200b)를 구현하기 위한 다양한 형태를 나타내는 히터의 길이 방향에 대한 수평 단면(a) 및 수직 단면(b)이다.9 to 12 are a horizontal section (a) and a vertical section (b) with respect to the longitudinal direction of the heater showing various forms for implementing the heater 200b of FIG.

도 9를 참조하면, 히터(200: 200c)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다. 히터관이라는 표현을 사용했지만, 각각의 히터라인(220, 230, 240)을 지지하면서, 공간을 분리하는 역할을 한다면, 관 형태가 아닌 분리칸의 형태[도 10 참조]도 가능하다.Referring to FIG. 9, the heater 200 200c may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated. Although the expression "heater tube" is used, the shape of the separation chamber (see FIG. 10) is also possible as long as it plays the role of separating the space while supporting the respective heater lines 220, 230 and 240.

히터관(260, 270, 280)도 하우징(210)과 동일하게 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)의 일단(도 9에서 좌측단) 및 타단(도 9에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heater tubes 260, 270 and 280 may be made of quartz or the like in the same manner as the housing 210, and may be formed long as a rod. One end (the left end in FIG. 9) and the other end (the right end in FIG. 9) of the heater pipes 260, 270, and 280 may be open. And an engaging means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to engage with the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 히터관(260, 270, 280)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 외주면 상에 배치될 수 있다.Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heater tubes 260, 270, The non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be disposed on the inner space or the outer peripheral surface of the heater tubes 260, 270, and 280, respectively.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)와 발열부(221)가 히터관(260)의 외주면 상에 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 외주면 상의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다. 히터관(260)은 외주면 상의 발열부(221)와 내측 공간의 비발열부(225)가 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있다.The non-heat generating portion 225 and the heat generating portion 221 start from the terminal 226 along the direction of one end (left end) of the housing 210 as an example of the heater line 220, And the left end of the heat generating part 221 and the left end of the non-heat generating part 225 can be integrally connected. The non-heat generating portion 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heat generating portion 225 on the outer circumferential surface of the heater tube 260, a heat generating portion 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260, (225) - terminal (227). The heater tube 260 can separate the space occupied by the heat generating portion 221 on the outer circumferential surface and the non-heat generating portion 225 of the inner space so as not to be short-circuited.

이 외에도, 히터관(260)에 관통공을 형성하여 비발열부(225)는 모두 내측 공간에만 배치되도록 할 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)[관통공을 통과하여 외주면 상으로 이어짐]-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수도 있다.In addition, through holes may be formed in the heater tube 260 so that all the non-heat generating portions 225 may be disposed only in the inner space. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heating portion 225 in the inner space of the heater tube 260, a heating portion 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260 And a non-heating portion 225 and a terminal 227 in the inner space of the heater tube 260.

히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 적어도 동일한 공간을 점유하도록, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 히터관(260)이 가장 큰 직경을 가지고 히터관(280)이 가장 작은 직경을 가지도록 형성될 수 있다. 히터관(260)의 내측 공간에 히터관(270, 280)이 배치되고, 히터관(270)의 내측 공간에 히터관(280)이 배치될 수 있다.The heater tubes 260, 270, 280 may be formed coaxially so as to occupy at least the same space in the housing 210. That is, the heater tube 260 may have the largest diameter and the heater tube 280 may have the smallest diameter. The heater tubes 270 and 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 and the heater tube 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 270.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 히터관(260)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 히터관(270)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 히터관(280)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 260 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heat generating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer peripheral surface of the heater tube 270 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 280 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

한편, 단자(226, 236, 246)에 단자(227, 237, 247) 사이에 전압이 가해짐에 따라 히터라인(220, 230, 240)에서 열을 발생할 수 있는데, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다.On the other hand, as a voltage is applied between the terminals 226, 236 and 246 to the terminals 227, 237 and 247, heat can be generated in the heater lines 220, 230 and 240, ) Functions as an output terminal, so that three terminals can be combined into one line for grounding.

도 10을 참조하면, 히터(200: 200d)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터(200d)는 봉 형상이 아닌 길이 방향으로 연장되는 사각 판, 사각 기둥 형상을 가진다. 히터관(260, 270, 270)은 하우징(210) 내의 공간을 분리하는 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 10, the heater 200, 200d may include a plurality of heater tubes 260, 270, 280 corresponding to a plurality of heater lines 220, 230, 240. The heater 200d has a rectangular plate shape extending in the longitudinal direction, not a bar shape, and a rectangular column shape. The heater tubes 260, 270, and 270 may be in the form of a separation chamber for separating the space in the housing 210. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated.

히터(200d)의 히터관(260, 270, 280)들은 사각 판, 사각 기둥 형상의 하우징(210) 내의 공간을 수평 방향으로 칸 형태로 분리할 수 있도록 한쌍의 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 측단면 방향으로 6 공간으로 분리된 경우, 1, 6번째 공간은 히터라인(220)이, 2, 5번째 공간은 히터라인(230)이, 3, 4번째 공간은 히터라인(240)이 배치될 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 of the heater 200d may be configured as a pair of separation chambers so that the space in the rectangular plate-shaped housing 210 may be divided into a plurality of chambers in a horizontal direction. As shown in FIG. 10 (b), in the case where the space is divided into six spaces in the side surface direction, the heater lines 220 in the first and sixth spaces, the heater lines 230 in the second and fifth spaces, And the heater line 240 may be disposed in the fourth space.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heat generating portion 231 of the heater line 230 may be coiled at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

히터(200d)는 하우징(210) 내에 분리칸 형태로 히터관(260, 270, 280)을 형성하므로, 별도로 히터관(260, 270, 280)을 하우징(210) 내로 삽입하지 않아도 되며 제조 원가를 절감할 수 있는 이점이 있고, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.The heater 200d forms the heater tubes 260, 270 and 280 in the form of a separation chamber in the housing 210 so that the heater tubes 260, 270 and 280 need not be separately inserted into the housing 210, There is an advantage in that the space separation between the heater lines 220, 230, 240 is clarified.

도 11을 참조하면, 히터(200: 200e)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 11, the heaters 200 and 200e may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240, respectively. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated.

히터(200e)의 히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 별도의 공간을 점유하도록 배치될 수 있다. 즉, 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간은 상호 중첩되지 않는다. 히터관(260, 270, 280)의 직경은 동일하거나 상이하게 형성될 수 있다.The heater tubes 260, 270 and 280 of the heater 200e may be arranged to occupy a separate space in the housing 210. [ That is, the inner spaces of the heater tubes 260, 270, and 280 do not overlap each other. The diameter of the heater tubes 260, 270, and 280 may be the same or different.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 히터관(260)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 히터관(270)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 히터관(280)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 260 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heat generating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer peripheral surface of the heater tube 270 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 280 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

히터(200e)는 하우징(210) 내에 히터관(260, 270, 280)들이 독립적인 공간을 점유하므로, 제조가 간단해지며, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.The heater 200e occupies a space independent of the heater tubes 260, 270 and 280 in the housing 210 so that the manufacturing is simplified and the advantage that the space separation between the heater lines 220, 230 and 240 is clarified .

도 12를 참조하면, 히터(200f)는 하우징(210)의 내부에 발열 히터관(250)이 배치될 수 있다. 그리고, 발열 히터관(250)의 내부에, 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 12, a heater heater pipe 250 may be disposed inside the housing 210. A plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240 may be disposed in the heating heater tube 250.

발열 히터관(250)도, 하우징(210), 히터관(260, 270, 280)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 발열 히터관(250)의 일단(도 12에서 좌측단) 및 타단(도 12에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heating heater tube 250 may be made of quartz or the like as the housing 210 and the heater tubes 260, 270 and 280, and may be formed as a long rod. One end (the left end in Fig. 12) and the other end (the right end in Fig. 12) of the heater heater tube 250 may be formed in an open shape. And an engaging means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to engage with the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면의 각각의 영역(Z1, Z2, Z3) 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 발열 히터관(250)의 내측 공간에 배치될 수 있다.Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250. Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on each of the regions Z1, Z2, and Z3 on the outer peripheral surface of the heat generating heater tube 250. Each of the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be disposed in an inner space of the heater tubes 260, 270, 280 or an inner space of the heater tubes 250.

발열 히터관(250)에는 소정의 관통공(251, 253, 254, 255, 256)이 형성될 수 있다. 관통공(251, 253, 254, 255, 256)을 통해 각각의 히터 라인(220, 230, 240)이 발열 히터관(250)의 외주면 상에서 내측 공간으로, 내측 공간에서 외주면 상으로 이어질 수 있다.The heat generating heater tube 250 may be formed with predetermined through holes 251, 253, 254, 255, and 256. Each of the heater lines 220, 230 and 240 may extend from the inner space to the inner space on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 through the through holes 251, 253, 254, 255 and 256 on the outer circumferential surface.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)가 히터관(260)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(260)의 좌측단에서 관통공(251)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z1 영역에서 발열부(221)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간 상의 비발열부(225)-관통공(251) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(221)-발열 히터관(250) 및 히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다.The non-heat generating portion 225 is disposed on the inner space of the heater tube 260 starting from the terminal 226 along the direction of one end (left end) of the housing 210, And may be connected to the outer circumferential surface of the heater tube 250 through the through hole 251 at the left end of the heater tube 260. The left end of the heat generating portion 221 and the left end of the non-heat generating portion 225 may be integrally connected to each other so that the heat generating portion 221 is coiled in the Z1 region on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250. The non-heat generating portion 225 may be disposed in the inner space of the heat generating heater tube 250 and the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heat generating portion 225 on the inner space of the heater tube 260, a heat generating portion 221 on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250 after passing through the through hole 251, And a non-heating portion 225 and a terminal 227 of the heater tube 250 and the inner space of the heater tube 260.

히터라인(230)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(223)로부터 시작해서 비발열부(235)가 히터관(270)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(270)의 좌측단에서 관통공(253)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z2 영역에서 발열부(231)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(231)의 좌측단과 비발열부(235)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 발열부(231)의 좌측단에서 관통공(254)을 통해 발열 히터관(250) 내측 공간으로 연결되며, 비발열부(235)는 좌측단으로부터 단자(237)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(270)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(230)은, 단자(236)-히터관(270) 내측 공간 상의 비발열부(235)-관통공(253) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(231)-관통공(254) 통과 후 발열 히터관(250) 및 히터관(270) 내측 공간의 비발열부(235)-단자(237)로 구성될 수 있다.The non-heat generating portion 235 is arranged on the inner space of the heater tube 270 starting from the terminal 223 along the direction of one end (left end) of the housing 210, And may be connected to the outer circumferential surface of the heater tube 250 through the through hole 253 at the left end of the heater tube 270. The left end of the heat generating portion 231 and the left end of the non-heat generating portion 235 may be integrally connected. The non-heat generating portion 235 is connected from the left end of the heat generating portion 231 to the inner space of the heat generating heater tube 250 through the through hole 254, (250) and the heater tube (270). That is, the heater line 230 includes a heating portion 231 on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 after passing through the terminal 236, the non-heating portion 235 on the inner space of the heater tube 270, the through hole 253, And a non-heating portion 235-terminal 237 in the inner space of the heater tube 270 after passing through the hole 254.

단자(227, 237, 247)로 연결되는 비발열부(225, 235, 245)는 각각 다른 라인으로 구성될 수도 있으나, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다. 도 8에는 하나의 라인으로 그라운딩 시키는 형태가 예시되었다.The non-heat generating portions 225, 235 and 245 connected to the terminals 227, 237 and 247 may be constituted by different lines. However, since the terminals 227, 237 and 247 function as output terminals, And grounding may be performed. In Fig. 8, a form of grounding with one line is illustrated.

히터관(260, 270, 280)은 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있고, 발열 히터관(250)의 영역 경계(Z1과 Z2의 경계, Z2와 Z3의 경계)에는 절연을 위해 절연막(미도시)이 더 형성될 수도 있다.The heater tubes 260, 270 and 280 can separate the spaces occupied by the heater lines 220, 230 and 240 so that they are not short-circuited. The boundary between the zone boundaries Z1 and Z2, Z2 and Z3) may be further formed with an insulating film (not shown) for insulation.

히터관(260, 270, 280)들은 발열 히터관(250) 내에서 각각 독립적인 공간을 점유할 수 있으나, 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 하는 범위 내에서라면, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다.The heater tubes 260, 270 and 280 may occupy independent spaces in the heating heater tube 250. However, if the heater lines 260, 270 and 280 are coaxial with each other, As shown in FIG.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

도 13은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 12의 히터(200: 200f)가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다. 도 12의 히터(200f) 대신 도 8 내지 도 11의 히터(200b~200e)가 적용되어도 무방하다.Fig. 13 is an enlarged cross-sectional view taken along line B-B 'in Fig. 4, showing a heat treatment apparatus to which the heater 200 (200f) of Fig. 12 is applied. Instead of the heater 200f of Fig. 12, the heaters 200b to 200e of Figs. 8 to 11 may be applied.

도 13의 (a)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125) 및 타단(126)은 개방된 상태로 삽입구(121)가 각각 형성된다. 삽입 튜브(120)는 내부는 비어 있고, 히터(200f)가 삽입 튜브(120) 내부의 빈 공간에 삽입될 수 있다.Referring to FIG. 13 (a), one end 125 and the other end 126 of the insertion tube 120 are opened to form an insertion port 121, respectively. The inside of the insertion tube 120 is empty and the heater 200f can be inserted into the empty space inside the insertion tube 120. [

도 13의 (b)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 즉, 일단(125')은 본체(110)의 벽으로 막혀 있는 형태일 수 있다. 히터(200f)는 삽입 튜브(120)의 타단(126)으로만 삽입될 수 있고, 히터(200f)의 유지 관리를 위한 접근도 타단(126)을 통해서 가능하다. 또한, 히터(200f)를 삽입 튜브(120) 내의 일단(125')까지 밀어넣고 폐쇄 캡(205)을 결합하는 과정으로, 히터(200f)가 본체(110)에서 정렬을 이루며 설치될 수 있는 이점이 있다.Referring to FIG. 13 (b), one end 125 'of the insertion tube 120 is closed and only the other end 126 is opened to form the insertion port 121. That is, one end 125 'may be in the form of being clogged with the wall of the main body 110. The heater 200f can be inserted only into the other end 126 of the insertion tube 120 and the approach for maintenance of the heater 200f is possible through the other end 126. [ The heater 200f can be installed in alignment with the body 110 by the process of pushing the heater 200f to the one end 125 'of the insertion tube 120 and engaging the closing cap 205, .

도 13의 (c)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 형태는 도 13의 (b)와 동일하게 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 한편, 하우징(210')의 일단 및 타단이 개방형으로 형성된 히터(200f')를 사용할 수 있다. 하우징(210')의 일단에 개방되어 있더라도, 삽입 튜브(120)의 일단(125')이 폐쇄되어 있으므로, 히터(200f')의 내부 구성을 커버하는 역할을 할 수 있다.13 (c), the shape of the insertion tube 120 is similar to that of FIG. 13 (b), and one end 125 'is closed and only the other end 126 is opened, (121) is formed. Meanwhile, a heater 200f 'having one end and the other end of the housing 210' formed in an open shape can be used. Since the one end 125 'of the insertion tube 120 is closed even if it is opened at one end of the housing 210', it can cover the internal structure of the heater 200f '.

위와 같이, 본 발명은 히터(200)를 본체(110)에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간(M1, M2)을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the heater (200) is installed in the main body (110), and the space (M1, M2) for maintenance / management is greatly reduced. Further, according to the present invention, productivity per unit area can be improved by increasing space utilization.

또한, 본 발명은 본체(110)의 한면에서 히터(200)를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of reducing the number of workings by greatly reducing the manufacturing time and the maintenance / management time by installing, repairing, and replacing the heater 200 from one side of the main body 110.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken in conjunction with the present invention. Variations and changes are possible. Such variations and modifications are to be considered as falling within the scope of the invention and the appended claims.

100: 열처리 장치
105: 챔버
110: 본체
120: 삽입 튜브
121: 삽입구
130: 도어
200, 200a~200f: 히터
205: 폐쇄 캡(커넥터)
210: 하우징
220, 230, 240: 히터라인
221, 231, 241: 발열부
225, 235, 245: 비발열부
226, 227, 236, 237, 246, 247: (인풋/아웃풋) 단자
250: 발열 히터관
260, 270, 280: 히터관
M1, M2: 열처리 시스템의 메인터넌스 공간
P1, P2: 열처리 시스템의 메인터넌스(maintenance) 경로
Z1~Z3: 가열 영역100: Heat treatment apparatus
105: chamber
110:
120: Insertion tube
121:
130: Door
200, 200a to 200f: heater
205: Closed cap (connector)
210: Housing
220, 230, 240: heater line
221, 231, and 241:
225, 235, and 245:
226, 227, 236, 237, 246, 247: (input / output) terminal
250: Heating heater tube
260, 270, 280: heater pipe
M1, M2: Maintenance space of the heat treatment system
P1, P2: Maintenance path of the heat treatment system
Z1 to Z3: heating zone

Claims (16)

기판을 열처리 하는 열처리 시스템으로서,
상기 열처리 시스템은,
상기 기판에 대하여 열처리 공간을 제공하는 챔버를 포함하는 열처리 장치; 및
상기 열처리 장치의 일측면에 형성된 삽입구를 통해 슬라이딩 삽입되는 히터
를 포함하는, 열처리 시스템.A heat treatment system for heat-treating a substrate,
The heat treatment system includes:
A heat treatment apparatus including a chamber for providing a heat treatment space with respect to the substrate; And
A heater inserted through the insertion opening formed on one side of the heat treatment apparatus,
≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 열처리 장치는,
상기 챔버를 포함하는 본체; 및
상기 챔버의 적어도 일측을 관통하도록 배치되는 복수의 삽입 튜브
를 포함하고,
복수의 상기 삽입 튜브는 상호 소정의 간격을 가지며 평행하게 배치되는, 열처리 시스템.The method according to claim 1,
The heat treatment apparatus includes:
A body including the chamber; And
A plurality of insertion tubes arranged to penetrate at least one side of the chamber
Lt; / RTI >
Wherein the plurality of insertion tubes are disposed parallel to each other with a predetermined gap therebetween. 제1항에 있어서,
상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향으로 메인터넌스(maintenance) 경로가 형성되는, 열처리 시스템.The method according to claim 1,
Wherein a maintenance path is formed in an outward direction of one side of the heat treatment apparatus. 제1항에 있어서,
상기 열처리 장치의 일측면에 대향하는 타측면에 제2 삽입구가 더 형성되는, 열처리 시스템.The method according to claim 1,
And a second insertion port is further formed on the other side opposite to one side of the heat treatment apparatus. 제4항에 있어서,
상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향 및 타측면 외측 방향으로 메인터넌스 경로가 형성되는, 열처리 시스템.5. The method of claim 4,
Wherein a maintenance path is formed in an outward direction of the one side surface and an outward direction of the other side surface of the heat treatment apparatus. 제1항에 있어서,
상기 히터는,
발열부 및 비발열부를 포함하는 하나의 히터라인을 포함하고,
상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치되는, 열처리 시스템.The method according to claim 1,
The heater
And one heater line including a heating portion and a non-heating portion,
And the terminals of the heat generating portion and the non-heat generating portion are disposed on the same side. 제6항에 있어서,
상기 히터는,
하우징; 및
상기 하우징의 내부에 배치되는 하나의 히터관
을 포함하고,
상기 발열부는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 상기 발열부에 연결되고 상기 히터관의 내측 공간에 배치되는, 열처리 시스템.The method according to claim 6,
The heater
housing; And
One heater pipe disposed inside the housing
/ RTI >
Wherein the heat generating portion is disposed on an outer circumferential surface of the heater tube, and the non-heat generating portion is connected to the heat generating portion and disposed in an inner space of the heater tube. 제1항에 있어서,
상기 히터는,
발열부 및 비발열부를 포함하는 복수의 히터라인을 포함하고,
상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치되며,
각각의 상기 히터라인은 발열부 및 비발열부의 위치가 상이한, 열처리 시스템.The method according to claim 1,
The heater
And a plurality of heater lines including a heating portion and a non-heating portion,
The terminals of the heating portion and the non-heating portion are disposed on the same side,
Wherein each of said heater lines has a different position of a heating part and a non-heating part. 제8항에 있어서,
상기 히터는,
하우징; 및
복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관
을 포함하고,
상기 발열부는 대응하는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 대응하는 상기 히터관의 내측 공간에 배치되는, 열처리 시스템.9. The method of claim 8,
The heater
housing; And
A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines
/ RTI >
Wherein the heat generating portion is disposed on an outer circumferential surface of the corresponding heater tube and the non-heat generating portion is disposed in a corresponding inner space of the heater tube. 제8항에 있어서,
상기 히터는,
하우징;
복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관; 및
상기 복수의 히터관을 내부 공간에 배치하는 발열 히터관
을 포함하고,
상기 발열부는 상기 발열 히터관의 외주면 상에 배치되는, 열처리 시스템.9. The method of claim 8,
The heater
housing;
A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And
A plurality of heater tubes disposed in an inner space,
/ RTI >
And the heat generating portion is disposed on an outer peripheral surface of the heat generating heater tube. 제10항에 있어서,
상기 발열 히터관의 외주면 상에는 관통공이 형성되는, 히터.11. The method of claim 10,
And a through hole is formed on an outer peripheral surface of the heat generating heater tube. 제7항, 제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 하우징의 일단은 폐쇄형 또는 개방형으로 형성되고,
상기 하우징의 타단은 개방형으로 형성되는, 열처리 시스템.11. The method according to claim 7, 9 or 10,
One end of the housing is closed or open,
And the other end of the housing is formed in an open shape. 제6항 또는 제8항에 있어서,
상기 발열부와 상기 비발열부는 이종(異種)의 금속 재질을 가지는, 열처리 시스템.9. The method according to claim 6 or 8,
Wherein the heat generating portion and the non-heat generating portion have different kinds of metal materials. 제9항에 있어서,
상기 복수의 히터관은, 동축(coaxial)을 가지거나, 상기 하우징 내에서 별도의 공간을 점유하는, 열처리 시스템.10. The method of claim 9,
Wherein the plurality of heater tubes have a coaxial or occupy a separate space in the housing. 제8항에 있어서,
상기 복수의 히터라인 중 일부는 상기 히터의 중심 영역에 상기 발열부가 위치하고, 나머지는 상기 히터의 사이드 영역에 상기 발열부가 위치하는, 열처리 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein a part of the plurality of heater lines is located in a center region of the heater and the other is located in a side region of the heater. 제15항에 있어서,
상기 중심 영역의 히팅 온도는 상기 사이드 영역의 히팅 온도보다 낮은, 열처리 시스템.16. The method of claim 15,
Wherein the heating temperature of the central region is lower than the heating temperature of the side region.
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