KR102243269B1

KR102243269B1 - Heating process system

Info

Publication number: KR102243269B1
Application number: KR1020170147600A
Authority: KR
Inventors: 최우용; 박경완
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2017-11-07
Filing date: 2017-11-07
Publication date: 2021-04-22
Also published as: CN209766367U; KR20190051692A

Abstract

열처리 시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 열처리 시스템은, 기판(5)을 열처리 하는 열처리 시스템으로서, 기판(5)에 대하여 열처리 공간을 제공하는 챔버(105)를 포함하는 열처리 장치(110), 및 열처리 장치(110)의 일측면에 형성된 삽입구(121)를 통해 슬라이딩 삽입되는 히터(200)를 포함하는 것을 특징으로 한다.A heat treatment system is disclosed. The heat treatment system according to the present invention is a heat treatment system for heat treatment of a substrate 5, the heat treatment apparatus 110 including a chamber 105 providing a heat treatment space for the substrate 5, and the heat treatment apparatus 110 It characterized in that it comprises a heater 200 that is slidingly inserted through the insertion hole 121 formed on one side.

Description

Heat treatment system {HEATING PROCESS SYSTEM}

본 발명은 열처리 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 챔버의 일측에서 히터를 삽입하고, 챔버의 일면에서 유지보수가 가능하여 공간 활용도 및 생산성을 향상시킬 수 있는 열처리 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment system. More specifically, it relates to a heat treatment system capable of improving space utilization and productivity by inserting a heater on one side of the chamber and performing maintenance on one side of the chamber.

어닐링(annealing) 장치는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리 단계를 담당하는 장치이다.An annealing apparatus is an apparatus that performs an essential heat treatment step for processes such as crystallization and phase change for a predetermined thin film deposited on a substrate such as a silicon wafer or glass.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치(1)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 열처리 장치(1)에 히터(20)가 설치된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터(20)를 나타낸다. 도 3은 종래의 열처리 시스템으로서, 도 3의 (a)는 열처리 장치(1) 내 히터(20, 30)들의 배치 형태, 도 3의 (b)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.1 is a perspective view showing a conventional batch-type heat treatment apparatus 1, FIG. 2 is an enlarged side cross-sectional view of AA′ of FIG. 1, and FIG. 2(a) is a form in which a heater 20 is installed in the heat treatment apparatus 1 , Figure 2 (b) shows a rod-shaped heater 20. Figure 3 is a conventional heat treatment system, Figure 3 (a) is the arrangement form of the heaters (20, 30) in the heat treatment device (1), Figure 3 (b) is necessary for manufacturing, maintenance, and repair of the heat treatment system. Indicates space.

도 1을 참조하면, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 챔버(15) 공간을 포함하는 본체(10), 본체(10)의 출입구를 개폐하는 도어(11), 메인 히터(20) 및 사이드 히터(30)를 포함한다. 챔버(15) 내부에는 복수개의 기판이 배치될 수 있다. 복수개의 기판은 각각 일정간격을 가지면서 배치되며, 기판 홀더(미도시)에 지지되거나, 보트(미도시)에 안착되어 챔버(15) 내부에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, a conventional batch heat treatment apparatus 1 includes a main body 10 including a chamber 15 space, a door 11 opening and closing the entrance of the main body 10, a main heater 20, and a side. It includes a heater (30). A plurality of substrates may be disposed inside the chamber 15. The plurality of substrates may be disposed at regular intervals, and may be supported by a substrate holder (not shown), or may be seated on a boat (not shown) and disposed inside the chamber 15.

메인 히터(20)는 통상적인 길이가 긴 봉형의 히터로서 석영관(21) 내부에 발열체(22)가 삽입되어 있고, 비발열체(25)가 양단에 설치된 단자를 통하여 외부의 전원을 인가 받아 발열체(22)에 전달하여 열을 발생시킨다. 메인 히터(20)의 양단은 커넥터(26)를 결합하여 단전함과 동시에 히터(20)를 본체(10)의 벽면에 설치 고정할 수 있다.The main heater 20 is a conventional long rod-shaped heater, in which the heating element 22 is inserted into the quartz tube 21, and the non-heating element 25 receives external power through terminals installed at both ends of the heating element. (22) to generate heat. Both ends of the main heater 20 may be disconnected by coupling the connectors 26 and the heater 20 may be installed and fixed to the wall surface of the main body 10.

보조 히터(30)는 구성은 메인 히터(20)와 동일하다. 다만, 열처리 장치(1)에서 외부로 열이 방출되는 것을 고려하여, 챔버(15) 내 모든 영역에 균일한 열이 인가되도록 보조 히터(30)가 더 배치된다. 보조 히터(30)는 메인 히터(20)의 형성 방향에 수직한 방향으로, 본체(10)의 양측면에 평행하도록 배치된다.The auxiliary heater 30 has the same configuration as the main heater 20. However, in consideration of the heat dissipation from the heat treatment apparatus 1 to the outside, the auxiliary heater 30 is further disposed so that uniform heat is applied to all regions of the chamber 15. The auxiliary heater 30 is disposed in a direction perpendicular to the formation direction of the main heater 20 and parallel to both side surfaces of the body 10.

도 3의 (a)를 참조하면, 메인 히터(20)는 주로 기판(5)이 점유하는 영역(Z2)에 대해서 가열을 수행하고, 보조 히터(30)는 기판(5)의 바깥측, 즉, 기판(5)이 점유하지 않는 영역(Z1, Z3)인 챔버(15)의 모서리 부분에 대해서 가열을 수행한다. 외부로의 열손실을 방지하기 위해 Z1, Z3 영역의 히팅 온도가 Z2 영역보다 높도록 보조 히터(30)를 메인 히터(20)와 수직하도록 더 배치하는 것이다.3A, the main heater 20 mainly performs heating on the area Z2 occupied by the substrate 5, and the auxiliary heater 30 is outside the substrate 5, that is, , Heating is performed on the corner portions of the chamber 15, which are regions Z1 and Z3 not occupied by the substrate 5. In order to prevent heat loss to the outside, the auxiliary heater 30 is further disposed perpendicular to the main heater 20 so that the heating temperature in the Z1 and Z3 regions is higher than the Z2 region.

하지만, 이 때문에 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 불필요하게 부피가 커지는 문제점이 있었다. 도 3의 (b)를 참조하면, 메인 히터(20)를 본체(10)에 설치하고 유지/관리하기 위한 경로(P1', P2')를 확보하기 위해서, 최소한 본체(10)의 좌우측 공간(M1', M2')이 필요하다. 그리고, 보조 히터(30)를 본체(10)에 설치하고 유지/관리하기 위한 경로(P3', P4')를 확보하기 위해서, 최소한 본체(10)의 전후측 공간(M3', M4')이 필요하다. 이렇듯, 본체(10)를 둘러싸는 모든 면 외측 공간(M1', M2', M3', M4')이 반드시 확보되어야 하므로, 유지/관리를 위한 전체 설비의 크기가 불필요하게 커지게 되고, 단위 면적당 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.However, for this reason, there is a problem in that the conventional batch type heat treatment apparatus 1 is unnecessarily bulky. 3B, in order to secure paths P1' and P2' for installing and maintaining/managing the main heater 20 in the main body 10, at least the left and right spaces of the main body 10 ( M1', M2') is required. And, in order to secure the paths (P3', P4') for installing and maintaining the auxiliary heater 30 in the main body 10, at least the front and rear spaces (M3', M4') of the main body 10 are need. As such, since the outer spaces (M1', M2', M3', M4') on all surfaces surrounding the main body 10 must be secured, the size of the entire facility for maintenance/management becomes unnecessarily large, and per unit area There was a problem of lowering productivity.

또 한편, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 기판의 개수에 따라 수많은 히터(20, 30)들이 설치되는데, 각각의 히터(20, 30)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하는 과정에서 장치의 제조 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 또한, 히터(20, 30)의 수리, 교체 등을 수행할 때에도 커넥터(26)를 해체하는 과정에서 유지/관리 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 열처리 공정 중간에 일부 히터(20, 30)가 고장날 경우, 이러한 수리, 교체 시간의 지연은 대량의 공정 실패로 이어질 수 있다.On the other hand, in the conventional batch-type heat treatment apparatus 1, a number of heaters 20 and 30 are installed depending on the number of substrates. In the process of coupling connectors 26 at both ends of each heater 20, 30, the apparatus There was a problem of increasing the manufacturing time of the. In addition, there is a problem in that maintenance/management time increases in the process of dismantling the connector 26 even when repairing or replacing the heaters 20 and 30 is performed. If some of the heaters 20 and 30 fail in the middle of the heat treatment process, such a delay in repair or replacement time may lead to a large number of process failures.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 히터를 본체에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was conceived to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a heat treatment system capable of increasing space utilization by installing a heater in the main body and significantly reducing the space for maintenance/management. It is done.

또한, 본 발명은 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a heat treatment system capable of improving productivity per unit area due to an increase in space utilization.

또한, 본 발명은 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a heat treatment system capable of reducing work man-hours by significantly reducing manufacturing time and maintenance/management time by installing, repairing, and replacing a heater on one side of a main body.

본 발명의 상기의 목적은, 기판을 열처리 하는 열처리 시스템으로서, 상기 열처리 시스템은, 상기 기판에 대하여 열처리 공간을 제공하는 챔버를 포함하는 열처리 장치; 및 상기 열처리 장치의 일측면에 형성된 삽입구를 통해 슬라이딩 삽입되는 히터를 포함하는, 열처리 시스템에 의해 달성된다.An object of the present invention is a heat treatment system for heat-treating a substrate, the heat treatment system comprising: a heat treatment apparatus including a chamber providing a heat treatment space for the substrate; And a heater slidingly inserted through an insertion hole formed on one side of the heat treatment apparatus.

상기 열처리 장치는, 상기 챔버를 포함하는 본체; 및 상기 챔버의 적어도 일측을 관통하도록 배치되는 복수의 삽입 튜브를 포함하고, 복수의 상기 삽입 튜브는 상호 소정의 간격을 가지며 평행하게 배치될 수 있다.The heat treatment apparatus includes: a body including the chamber; And a plurality of insertion tubes disposed to pass through at least one side of the chamber, and the plurality of insertion tubes may be disposed in parallel with each other having a predetermined distance.

상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향으로 메인터넌스(maintenance) 경로가 형성될 수 있다.A maintenance path may be formed in a direction outside one side of the heat treatment apparatus.

상기 열처리 장치의 일측면에 대향하는 타측면에 제2 삽입구가 더 형성될 수 있다.A second insertion hole may be further formed on the other side facing one side of the heat treatment apparatus.

상기 열처리 장치의 일측면 외측 방향 및 타측면 외측 방향으로 메인터넌스 경로가 형성될 수 있다.A maintenance path may be formed in an outer direction on one side of the heat treatment apparatus and an outer direction on the other side of the heat treatment apparatus.

상기 히터는, 발열부 및 비발열부를 포함하는 하나의 히터라인을 포함하고, 상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치될 수 있다.The heater may include one heater line including a heating part and a non-heating part, and terminals of the heating part and the non-heating part may be disposed on the same side.

상기 히터는, 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 배치되는 하나의 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 상기 발열부에 연결되고 상기 히터관의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heater, the housing; And a heater tube disposed inside the housing, wherein the heating part is disposed on an outer circumferential surface of the heater tube, and the non-heating part is connected to the heating part and disposed in an inner space of the heater tube. .

상기 히터는, 발열부 및 비발열부를 포함하는 복수의 히터라인을 포함하고, 상기 발열부 및 상기 비발열부의 단자는 동일 측면에 배치되며, 각각의 상기 히터라인은 발열부 및 비발열부의 위치가 상이할 수 있다.The heater includes a plurality of heater lines including a heating part and a non-heating part, terminals of the heating part and the non-heating part are disposed on the same side, and each of the heater lines has a location of the heating part and the non-heating part. It can be different.

상기 히터는, 하우징; 및 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 대응하는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 대응하는 상기 히터관의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heater, the housing; And a plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines, wherein the heating part is disposed on an outer circumferential surface of the corresponding heater tube, and the non-heating part may be disposed in an inner space of the corresponding heater tube. have.

상기 히터는, 하우징; 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관; 및 상기 복수의 히터관을 내부 공간에 배치하는 발열 히터관을 포함하고, 상기 발열부는 상기 발열 히터관의 외주면 상에 배치될 수 있다.The heater, the housing; A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And a heating heater tube for arranging the plurality of heater tubes in an inner space, and the heating part may be disposed on an outer circumferential surface of the heating heater tube.

상기 하우징의 일단은 폐쇄형 또는 개방형으로 형성되고, 상기 하우징의 타단은 개방형으로 형성될 수 있다.One end of the housing may be formed in a closed type or an open type, and the other end of the housing may be formed in an open type.

상기 발열부와 상기 비발열부는 이종(異種)의 금속 재질을 가질 수 있다.The heating part and the non-heating part may have different kinds of metal materials.

상기 복수의 히터관은, 동축(coaxial)을 가지거나, 상기 하우징 내에서 별도의 공간을 점유할 수 있다.The plurality of heater tubes may have a coaxial or occupy a separate space within the housing.

상기 복수의 히터라인 중 일부는 상기 히터의 중심 영역에 상기 발열부가 위치하고, 나머지는 상기 히터의 사이드 영역에 상기 발열부가 위치할 수 있다.Some of the plurality of heater lines may have the heating part located in a central area of the heater, and the others may be located in a side area of the heater.

상기 중심 영역의 히팅 온도는 상기 사이드 영역의 히팅 온도보다 낮을 수 있다.The heating temperature of the central region may be lower than the heating temperature of the side region.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 히터를 본체에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, there is an effect that the heater is installed in the main body, and the space for maintenance/management is drastically reduced to increase the space utilization.

또한, 본 발명에 따르면, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an effect of improving productivity per unit area by increasing space utilization.

또한, 본 발명에 따르면, 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by installing, repairing, and replacing a heater on one side of the main body, manufacturing time and maintenance/management time can be significantly reduced, thereby reducing work man-hours.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 열처리 장치에 히터가 설치된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터를 나타내는 도면이다.
도 3은 종래의 열처리 시스템으로서, 도 3의 (a)는 열처리 장치 내 히터들의 배치 형태, 도 3의 (b)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템으로서, 도 5의 (a)는 열처리 장치 내 히터들의 배치 형태, 도 5의 (b), (c)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 6의 히터가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 9 내지 도 12는 도 8의 히터를 구현하기 위한 다양한 형태를 나타내는 히터의 길이 방향에 대한 수평 단면(a) 및 수직 단면(b)이다.
도 13은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 12의 히터가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing a conventional batch type heat treatment apparatus.
FIG. 2 is an enlarged side cross-sectional view of AA′ of FIG. 1, in which (a) of FIG. 2 is a heater installed in a heat treatment apparatus, and (b) of FIG. 2 is a view showing a rod-shaped heater.
3 is a conventional heat treatment system, in which (a) of FIG. 3 is an arrangement of heaters in the heat treatment apparatus, and (b) of FIG. 3 shows a space required for manufacturing, maintenance, and repair of the heat treatment system.
4 is a perspective view showing a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a heat treatment system according to an embodiment of the present invention, in which (a) of FIG. 5 is an arrangement of heaters in the heat treatment apparatus, and (b) and (c) of FIG. 5 illustrate manufacturing, maintenance, and repair of the heat treatment system. Indicates the space required for it.
6 is a view showing a heater according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an enlarged side cross-sectional view of BB′ of FIG. 4, illustrating a heat treatment apparatus to which the heater of FIG. 6 is applied.
8 is a view showing a heater according to another embodiment of the present invention.
9 to 12 are horizontal cross-sections (a) and vertical cross-sections (b) in the longitudinal direction of the heater showing various forms for implementing the heater of FIG. 8.
13 is an enlarged side cross-sectional view of BB′ of FIG. 4, illustrating a heat treatment apparatus to which the heater of FIG. 12 is applied.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The detailed description of the present invention described below refers to the accompanying drawings, which illustrate specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in detail sufficient to enable a person skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different from each other, but need not be mutually exclusive. For example, specific shapes, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the present invention in relation to one embodiment. In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the detailed description to be described below is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if appropriately described, is limited only by the appended claims, along with all ranges equivalent to those claimed by the claims. In the drawings, similar reference numerals refer to the same or similar functions over various aspects, and the length, area, thickness, and the like may be exaggerated and expressed for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 히터 및 히팅 시스템을 상세히 설명한다.Hereinafter, a heater and a heating system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치(100)를 나타내는 사시도이다.4 is a perspective view showing a heat treatment apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 열처리 장치(100)는 챔버(105) 공간을 포함하는 본체(110), 삽입 튜브(120), 본체(110)의 출입구를 개폐하는 도어(130) 및 히터(200)를 포함한다.4, the heat treatment apparatus 100 of the present invention includes a body 110 including a chamber 105 space, an insertion tube 120, a door 130 for opening and closing the entrance of the body 110, and a heater ( 200).

열처리 장치(100)는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 외관을 이루는 본체(110)를 포함하고, 본체(110)의 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(105)가 형성될 수 있다. 본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(5)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있고, 챔버(105)는 밀폐된 공간으로 마련될 수 있다.The heat treatment apparatus 100 may include a body 110 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape to form an external appearance, and a chamber 105 as a space in which the substrate 50 is processed may be formed in the body 110. The body 110 may be formed in various shapes depending on the shape of the substrate 5 as well as a rectangular parallelepiped shape, and the chamber 105 may be provided as a closed space.

챔버(105) 내부에는 하나 또는 복수의 기판이 배치될 수 있다. 복수개의 기판은 각각 일정간격을 가지면서 배치되며, 기판 홀더(미도시)에 지지되거나, 보트(미도시)에 안착되어 챔버(105) 내부에 배치될 수 있다.One or a plurality of substrates may be disposed inside the chamber 105. The plurality of substrates may be disposed at regular intervals, and may be supported by a substrate holder (not shown) or mounted on a boat (not shown) to be disposed inside the chamber 105.

삽입 튜브(120)는 본체(110)의 챔버(105)의 좌우측을 관통하도록 형성되며, 삽입 튜브(120)의 적어도 일단은 본체(110) 벽을 관통하여 삽입구(121)가 형성될 수 있다. 즉, 삽입구(121)는 본체(110)의 일측(좌측 또는 우측)에 형성될 수 있고, 양측(좌측 및 우측)에 제1, 제2 삽입구(121)의 형태로 형성될 수도 있다. 삽입 튜브(120)는 내부가 비어있는 관, 기둥 등의 형태일 수 있다.The insertion tube 120 is formed to pass through the left and right sides of the chamber 105 of the body 110, and at least one end of the insertion tube 120 may pass through the wall of the body 110 to form an insertion hole 121. That is, the insertion hole 121 may be formed on one side (left or right) of the main body 110, and may be formed in the form of first and second insertion holes 121 on both sides (left and right). The insertion tube 120 may be in the form of a tube, a column, or the like with an empty inside.

삽입 튜브(120)는 후술할 히터(200)가 슬라이딩 삽입될 수 있다. 히터(200)는 삽입구(121)를 통과하여 삽입 튜브(120)에 삽입 배치됨에 따라, 챔버(105) 내부에 열을 공급할 수 있다. 히터(200)가 슬라이딩 될 수 있도록 삽입 튜브(120)의 내경은 히터(200)의 외경과 동일하거나 적어도 큰 정도인 것이 바람직하고, 본체(110) 또는 히터(200)의 하우징과 동일한 석영(quartz) 등의 재질로 형성되는 것이 바람직하다.In the insertion tube 120, a heater 200, which will be described later, may be slidingly inserted. As the heater 200 passes through the insertion hole 121 and is inserted into the insertion tube 120, heat may be supplied into the chamber 105. The inner diameter of the insertion tube 120 is preferably equal to or at least larger than the outer diameter of the heater 200 so that the heater 200 can slide, and the same quartz as the body 110 or the housing of the heater 200 ) It is preferable to be formed of a material such as.

히터(200)는 본체(110) 전면의 출입구를 따라 기판(5)이 로딩되는 방향과 수직한 방향으로, 일정한 간격을 가지면서 복수개가 배치될 수 있다. 히터(200)의 배치 형태와 동일하게 삽입 튜브(120)가 열처리 장치(100) 내에 배치될 수 있다.A plurality of heaters 200 may be disposed in a direction perpendicular to a direction in which the substrate 5 is loaded along the entrance of the front surface of the main body 110, having a predetermined interval. The insertion tube 120 may be disposed in the heat treatment apparatus 100 in the same manner as the heater 200 is disposed.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템으로서, 도 5의 (a)는 열처리 장치(100) 내 히터(200)들의 배치 형태, 도 5의 (b), (c)는 열처리 시스템의 제조, 유지, 보수를 위한 필요 공간을 나타낸다.5 is a heat treatment system according to an embodiment of the present invention, in which (a) of FIG. 5 is an arrangement of heaters 200 in the heat treatment apparatus 100, and (b) and (c) of FIG. 5 are It represents the space required for manufacturing, maintenance, and repair.

도 5의 (a)를 참조하면, 본체(110)에는 복수의 히터(200)들이 삽입되고 챔버(105) 공간을 가열할 수 있다. 이때, 챔버(105) 내부는 기판(5)이 점유하는 영역(Z2)과 기판(5)이 점유하지 않는 영역(Z1, Z3)으로 구분될 수 있다.Referring to FIG. 5A, a plurality of heaters 200 are inserted into the main body 110 and the space of the chamber 105 may be heated. In this case, the interior of the chamber 105 may be divided into a region Z2 occupied by the substrate 5 and regions Z1 and Z3 not occupied by the substrate 5.

도 5의 (b)를 참조하면, 열처리 시스템은 열처리 장치(100), 히터(200) 외에도 열처리 장치(100)를 유지/관리하기 위한 주변 공간까지 포함하여 구성될 수 있다. 도 1 내지 3의 종래의 배치식 열처리 장치(1)와는 다르게, 본 발명의 열처리 장치(100)는 히터(200)를 본체(110)에 고정 설치하는 구조가 아니고, 삽입 튜브(120) 내로 삽입구(121)를 통해 슬라이딩 방식으로 삽입/인출하는 구조이다. 따라서, 히터(200)를 본체(110)에 설치하고 유지/관리하기 위한 메인터넌스(maintenance) 경로(P1)를 확보하기 위해서, 본체(110)의 일측 공간(M1)만으로 충분하다.Referring to FIG. 5B, the heat treatment system may include a heat treatment device 100 and a heater 200 as well as a surrounding space for maintaining/managing the heat treatment device 100. Unlike the conventional batch-type heat treatment apparatus 1 of FIGS. 1 to 3, the heat treatment apparatus 100 of the present invention does not have a structure in which the heater 200 is fixedly installed to the main body 110, but is inserted into the insertion tube 120. It is a structure that inserts/withdraws through 121 in a sliding manner. Therefore, in order to secure the maintenance path P1 for installing and maintaining the heater 200 in the main body 110, only one space M1 of the main body 110 is sufficient.

구체적으로, 본체(110)의 일측면(좌측면 또는 우측면) 상에 형성된 삽입구(121)를 통해 히터(200)를 슬라이딩 방식으로 삽입하는 것만으로 히터(200)의 배치가 완료된다. 사용자는 본체(110)의 일측 공간(M1)의 메인터넌스 경로(P1)로 접근하여 히터(200)를 슬라이딩 인출하는 것만으로도 히터(200)를 수리, 교체 등의 유지/관리를 수행할 수 있다.Specifically, the arrangement of the heater 200 is completed simply by inserting the heater 200 in a sliding manner through the insertion hole 121 formed on one side (left or right side) of the main body 110. The user can perform maintenance/management such as repair and replacement of the heater 200 by simply sliding and drawing the heater 200 by accessing the maintenance path P1 of the space M1 on one side of the main body 110. .

또는, 작업 속도를 보다 빠르게 하기 위해, 본체(110)의 양측면(좌측면 및 우측면)에 형성된 삽입구(121)를 통해 히터(200)를 배치하고, 본체(110)의 양측 공간(M1, M2)의 메인터넌스 경로(P1, P2)로 접근하여 히터(200)를 슬라이딩 인출하는 것만으로도 히터(200)를 수리, 교체 등의 유지/관리를 수행할 수 있다.Alternatively, in order to speed up the work, the heater 200 is disposed through the insertion holes 121 formed on both sides (left and right sides) of the main body 110, and spaces on both sides of the main body 110 (M1, M2) Maintenance/management such as repair and replacement of the heater 200 can be performed simply by sliding and drawing the heater 200 by approaching the maintenance paths P1 and P2 of.

위와 같이, 본 발명의 열처리 시스템은, 본체(10)의 전후좌우측 공간(M1', M2', M3', M4')을 반드시 필요로 하는 종래의 열처리 시스템[도 3의 (b) 참조]에 비하여, 유지/관리를 위한 공간을 좌우측 중 어느 한 공간(M1), 또는, 좌우측 두 공간(M1, M2)만으로 대폭 축소할 수 있다. 이에 따라, 공간 활용도를 현저히 증가시킬 수 있고, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 게다가, 본체(110) 일측의 삽입구(121)에 히터(200)를 슬라이딩하여 삽입하는 것만으로 제조가 완료되고, 히터(200)를 삽입/인출하는 것만으로도 간단하게 유지/관리를 수행할 수 있으므로, 작업 공수를 절감할 수 있는 이점이 있다.As above, the heat treatment system of the present invention is a conventional heat treatment system (see Fig. 3 (b)) that necessarily requires the front and rear spaces (M1', M2', M3', M4') of the main body 10. In contrast, the space for maintenance/management can be significantly reduced to only one of the left and right spaces (M1), or the left and right two spaces (M1 and M2). Accordingly, there is an advantage in that space utilization can be remarkably increased, and productivity per unit area can be improved due to an increase in space utilization. In addition, manufacturing is completed simply by sliding and inserting the heater 200 into the insertion port 121 on one side of the main body 110, and maintenance/management can be performed simply by inserting/withdrawing the heater 200. Therefore, there is an advantage of reducing the work man-hour.

이하에서는, 삽입 튜브(120)에 삽입될 수 있는 히터(200)들의 실시예에 대해서 설명한다.Hereinafter, embodiments of the heaters 200 that can be inserted into the insertion tube 120 will be described.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200: 200a)를 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating a heater 200: 200a according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 히터(200: 200a)는 하우징(210), 하나의 히터라인(220)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the heaters 200: 200a may include a housing 210 and one heater line 220.

하우징(210)은 히터(200)의 외관을 구성하고, 내부 요소를 커버함과 동시에 내부에서 발생된 열을 외부로 발산할 수 있다. 하우징(210)은 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 일 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다.The housing 210 constitutes the exterior of the heater 200 and covers the internal elements and at the same time dissipates heat generated from the inside to the outside. The housing 210 may be formed of a material such as quartz, and may be formed to extend in one direction. For example, it may be formed in a long rod shape as a whole.

하우징(210)의 내부 환경이 외부와 분리되도록, 하우징(210)의 일단(도 6에서 좌측단)은 폐쇄형으로 형성될 수 있다. 타단(도 6에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있고, 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200a)의 내부를 외부 환경으로부터 폐쇄할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 하우징(210) 내주면/외주면에 더 형성될 수 있다. 폐쇄 캡(205)은 단전과 동시에 삽입 튜브(200)[도 7 참조] 내의 히터(200)를 고정하는 커넥터 역할을 할 수 있다. 하우징(210)의 일단은 반구 형상, 돔(dome) 형상 등으로, 삽입 튜브(200)[도 7 참조]에 삽입되기 용이하다면, 그 형상에 있어서의 제한은 없다. 개방형으로 형성된 타단은, 히터라인(220)의 단자(226, 227)가 외부로 연결되는 통로를 제공할 수 있다.One end (left end in FIG. 6) of the housing 210 may be formed in a closed type so that the internal environment of the housing 210 is separated from the outside. The other end (right end in FIG. 6) may be formed in an open type, and a coupling means such as a coupling groove is provided on the inner circumferential surface of the housing 210 so that the inside of the heater 200a can be closed from the external environment by coupling the closing cap 205 /Can be formed more on the outer circumferential surface. The closing cap 205 may serve as a connector for fixing the heater 200 in the insertion tube 200 (refer to FIG. 7) at the same time as power failure. One end of the housing 210 has a hemispherical shape, a dome shape, or the like, so long as it is easily inserted into the insertion tube 200 (see Fig. 7), there is no limitation in the shape thereof. The other end formed in an open type may provide a passage through which the terminals 226 and 227 of the heater line 220 are connected to the outside.

히터라인(220)은 발열부(221) 및 비발열부(225)를 포함할 수 있다.The heater line 220 may include a heating part 221 and a non-heating part 225.

발열부(221)는 높은 발열량 및 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 코일링(coiling)되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 발열부(221)는 높은 온도에 대한 내구성을 갖는 칸탈(kanthal), 슈퍼 칸탈(super kanthal), 니크롬(nichrome) 등의 재질로 구성될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며 공지의 발열 재질을 사용할 수 있다.The heating unit 221 may have a coiled wire shape in order to secure a high calorific value and a buffer property according to thermal expansion. The heating unit 221 may be made of a material such as kanthal, super kanthal, nichrome, etc., which have durability against high temperatures, but is not limited thereto, and a known heating material may be used. have.

비발열부(225)는 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 적어도 일부가 코일링되는 와이어 형태(225a)를 가지거나, 직선 형태(225b)를 가질 수 있다. 다만, 비발열부(225)의 전체를 코일링되도록 형성하면 축열(蓄熱)/응열에 의해 전류의 흐름이 저하되는 경우가 발생할 수 있으므로, 적어도 일부만 코일링되도록 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 비발열부(225)라고 해서 발열이 전혀 되지 않는 것은 아니며, 다만, 발열부(221)에 비해 발열량, 발열 표면적 등이 현저하게 낮아 열처리에 영향을 주는 바가 거의 없는 정도로 이해되어야 한다.The non-heating part 225 may have a wire form 225a in which at least a portion is coiled or may have a straight form 225b in order to secure a buffer property according to thermal expansion. However, if the entire non-heating portion 225 is formed to be coiled, the flow of current may be reduced due to heat storage/condensation, so it may be desirable to form at least a portion of the non-heating portion 225 to be coiled. The non-heating portion 225 does not generate heat at all. However, it should be understood to the extent that there is little effect on the heat treatment because the amount of heat generated and the surface area of heat generation are significantly lower than that of the heating portion 221.

발열부(221)와 비발열부(225)는 서로 다른 금속 재질로 형성될 수 있다. 발열부(221)는 발열성이 높아야 하고, 비발열부(225)는 전류가 잘 흐르도록 저항이 낮고 발열성이 낮아야 한다. 또한, 열팽창계수가 높으면 발열 도중에 발열부(221)/비발열부(225)의 팽창에 의해 히터(200)[또는, 히터라인(220)]가 파손될 수도 있다. 이를 고려하여, 비발열부(225)는 저항, 발열성, 열팽창계수가 낮은 니켈(Ni), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등의 여러 재질로 구성될 수 있다.The heating part 221 and the non-heating part 225 may be formed of different metal materials. The heating part 221 should have high heat generation, and the non-heating part 225 should have low resistance and low heat generation so that current flows well. In addition, when the coefficient of thermal expansion is high, the heater 200 (or the heater line 220) may be damaged due to the expansion of the heating unit 221 / non-heating unit 225 during heat generation. In consideration of this, the non-heating part 225 may be made of various materials such as nickel (Ni), tungsten (W), molybdenum (Mo), etc. having a low resistance, heat generation property, and a low coefficient of thermal expansion.

한편, 발열부(221)와 비발열부(225)는 발열량의 차이에 대한 표현상의 차이일 뿐, 반드시 이종(異種)의 금속 재질이 아닌, 동일 재질로 형성될 수도 있다. 이 경우, 발열량에서 현저한 차이가 나타나도록 코일링/직선 형태, 와이어의 두께, 저항 등을 조절하여 발열부(221)와 비발열부(225)를 구분할 수 있다. 또한, 발열부(221)와 비발열부(225)는 히터라인(220) 상에서 연속적으로 연결될 수 있다.On the other hand, the heating part 221 and the non-heating part 225 are only a difference in expression of the difference in the amount of heat generated, and may be formed of the same material, not necessarily of a different metal material. In this case, the heating part 221 and the non-heating part 225 can be distinguished by adjusting the coiling/straight line shape, the thickness of the wire, and the like so that a remarkable difference in the amount of heat is displayed. In addition, the heating unit 221 and the non-heating unit 225 may be continuously connected on the heater line 220.

히터관(260)은 하우징(210)의 내부에 배치될 수 있다. 열이 균일하게 발산될 수 있도록 하우징(210)과 히터관(260)은 동축을 이루는 것이 바람직하다. 히터관(260)은 발열부(221)를 지지하고, 발열부(221)와 비발열부(225)가 히터(200a) 내에서 점유하는 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 히터관(260)도 하우징(210)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 히터관(260)의 일단(도 6에서 좌측단) 및 타단(도 6에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 히터관(260) 내주면/외주면에 더 형성될 수 있다.The heater tube 260 may be disposed inside the housing 210. It is preferable that the housing 210 and the heater tube 260 form coaxial so that heat can be uniformly dissipated. The heater tube 260 supports the heating part 221 and may serve to separate the space occupied by the heating part 221 and the non-heating part 225 in the heater 200a. The heater tube 260 may also be made of a material such as quartz, similarly to the housing 210, and may be formed in a long rod shape as a whole. One end (left end in FIG. 6) and the other end (right end in FIG. 6) of the heater tube 260 may be formed in an open type. At the other end, a coupling means such as a coupling groove may be further formed on the inner/outer circumferential surface of the heater tube 260 so that the closing cap 205 may be coupled.

발열부(221)는 히터관(260)의 외주면 상에 배치될 수 있고, 비발열부(225)는 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다.The heating part 221 may be disposed on the outer circumferential surface of the heater tube 260, and the non-heating part 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260.

종래의 히터(20)[도 2 참조]는 양측에 단자가 있으므로, 석영관(21) 내부에 발열체(22)만이 존재하고, 비발열체(25)는 히터(20)의 양측에서 발열체(22)와 단자 사이에 개재된다. 즉, 좌측 단자-비발열체(25)-발열체(22)-비발열체(25)-우측 단자와 같이 한 방향을 따라 배열될 수 있다.Since the conventional heater 20 (see Fig. 2) has terminals on both sides, only the heating element 22 exists inside the quartz tube 21, and the non-heating element 25 is the heating element 22 on both sides of the heater 20 Is interposed between the and terminals. That is, the left terminal-the non-heating element 25-the heating element 22-the non-heating element 25-the right terminal may be arranged along one direction.

이와 다르게, 본원의 히터(200)는 동일 측면에만 단자(226, 227)가 있으므로, 한 방향을 따라 배열되지 않고, 단자(226)-발열부(221)-비발열부(226)-단자(267) 순으로 배열될 필요가 있다. 따라서, 단자(226)에서 히터관(260)의 일단(좌측단)의 방향을 따라 발열부(221)가 히터관(260)의 외주면 상에 배치되고, 발열체(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 히터관(260)은 발열부(221)와 비발열부(225)가 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있다.In contrast, since the heater 200 of the present application has terminals 226 and 227 only on the same side, it is not arranged along one direction, and the terminal 226-the heating part 221-the non-heating part 226-the terminal 267 ) Need to be arranged in order. Accordingly, the heating part 221 is disposed on the outer circumferential surface of the heater tube 260 along the direction of the one end (left end) of the heater tube 260 in the terminal 226, and the left end of the heating element 221 and the non-heating part ( The left end of 225) may be integrally connected. In addition, the non-heating part 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. The heater tube 260 may separate the space occupied by the heating unit 221 and the non-heating unit 225 so as not to be short-circuited.

다시 말해, 발열부(221)와 비발열부(225)는 하우징(210)의 일단부에서 연결되고, 발열부(221)와 비발열부(225)의 단자(226, 227)는 하우징(210)의 타단부에 배치될 수 있다. 그리하여, 히터(200)의 한측에서 전류를 공급하고, 한측에서 히터(200)의 유지관리를 수행할 수 있다.In other words, the heating part 221 and the non-heating part 225 are connected at one end of the housing 210, and the terminals 226 and 227 of the heating part 221 and the non-heating part 225 are It can be placed on the other end. Thus, current may be supplied from one side of the heater 200 and maintenance of the heater 200 may be performed from one side.

도 7은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 6의 히터(200: 200a)가 적용된 열처리 장치(100)를 나타내는 도면이다.FIG. 7 is an enlarged side cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 4, and is a view showing the heat treatment apparatus 100 to which the heaters 200 (200a) of FIG. 6 are applied.

도 7의 (a)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125) 및 타단(126)은 개방된 상태로 삽입구(121)가 각각 형성된다. 삽입 튜브(120)는 내부는 비어 있고, 히터(200a)가 삽입 튜브(120) 내부의 빈 공간에 삽입될 수 있다.Referring to (a) of FIG. 7, one end 125 and the other end 126 of the insertion tube 120 are opened, and the insertion openings 121 are formed, respectively. The insertion tube 120 is empty, and the heater 200a may be inserted into an empty space inside the insertion tube 120.

도 1을 참조하면, 본체(10)의 측면에 설치되는 히터(20)만 50개에 이른다. 이 경우, 종래의 열처리 시스템은 50개의 히터를 본체(10)에 관통하도록 하고, 각각의 히터(20)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하여 히터(20)를 설치하였으나, 본 발명의 히터(200)는 각각의 히터(200)마다 삽입 튜브(120)에 슬라이딩 삽입하고 일측에서만 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200)를 설치할 수 있으므로, 히터(200)의 조립 시간이 거의 절반으로 줄어들 수 있다. 이는 유지 관리를 행함에 있어서도 마찬가지이다.Referring to FIG. 1, only 50 heaters 20 installed on the side surfaces of the main body 10 are reached. In this case, in the conventional heat treatment system, 50 heaters are passed through the main body 10, and a heater 20 is installed by coupling connectors 26 at both ends of each heater 20, but the heater of the present invention ( Since the heater 200 can be installed by slidingly inserted into the insertion tube 120 for each heater 200 and combining the closing cap 205 at only one side, the assembly time of the heater 200 is reduced by almost half. I can. This is also the same in performing maintenance.

도 7의 (b)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 즉, 일단(125')은 본체(110)의 벽으로 막혀 있는 형태일 수 있다. 히터(200a)는 삽입 튜브(120)의 타단(126)으로만 삽입될 수 있고, 히터(200a)의 유지 관리를 위한 접근도 타단(126)을 통해서 가능하다. 또한, 히터(200a)를 삽입 튜브(120) 내의 일단(125')까지 밀어넣고 폐쇄 캡(205)을 결합하는 과정으로, 히터(200a)가 본체(110)에서 정렬을 이루며 설치될 수 있는 이점이 있다.Referring to (b) of FIG. 7, one end 125 ′ of the insertion tube 120 is in a closed form, and the insertion hole 121 is formed in an open state through only the other end 126. That is, one end 125 ′ may be in a form that is blocked by the wall of the main body 110. The heater 200a may be inserted only into the other end 126 of the insertion tube 120, and access for maintenance of the heater 200a is also possible through the other end 126. In addition, as a process of pushing the heater 200a to the one end 125' in the insertion tube 120 and coupling the closing cap 205, the heater 200a can be installed while being aligned in the main body 110. There is this.

도 7의 (c)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 형태는 도 7의 (b)와 동일하게 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 한편, 하우징(210')의 일단 및 타단이 개방형으로 형성된 히터(200a')를 사용할 수 있다. 하우징(210')의 일단에 개방되어 있더라도, 삽입 튜브(120)의 일단(125')이 폐쇄되어 있으므로, 히터(200a')의 내부 구성을 커버하는 역할을 할 수 있다.Referring to Figure 7 (c), the shape of the insertion tube 120 is the same as in Figure 7 (b), one end (125') is in a closed form, only the other end (126) is passed through the insertion hole in an open state. 121 is formed. Meanwhile, a heater 200a' in which one end and the other end of the housing 210' are open may be used. Even if it is open to one end of the housing 210 ′, since one end 125 ′ of the insertion tube 120 is closed, it may serve to cover the internal configuration of the heater 200a ′.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터(200: 200b)를 나타내는 도면이다. 도 6에서 설명한 히터(200: 200a)와 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하고 차이점만 설명한다.8 is a view showing a heater (200: 200b) according to another embodiment of the present invention. Description of the same components as those of the heaters 200 (200a) described in FIG. 6 will be omitted and only differences will be described.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200: 200b)는 하우징(210), 복수의 히터라인(220, 230, 240)을 포함할 수 있다. 복수의 히터라인(220, 230, 240)은 각각 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the heater 200: 200b according to an embodiment of the present invention may include a housing 210 and a plurality of heater lines 220, 230, and 240. The plurality of heater lines 220, 230, and 240 may include heating parts 221, 231, 241 and non-heating parts 225, 235 and 245, respectively.

히터(200: 200b)는 히터라인(220, 230, 240)들이 각각 다른 영역에 열을 발생하는 것을 특징으로 한다. 이런 의미에서, 히터라인(220, 230, 240)의 개수는 히터(200b)가 다른 온도를 구성할 수 있는 복수의 영역(Z1, Z2, Z3)의 개수에 대응할 수 있다. 또한, 히터라인(220, 230, 240)들은 상이한 온도로 열을 발생시킬 수 있다. 이에 따라, 히터(200b)는 멀티 존(multi-zone) 가열 히터로서 기능할 수 있다.The heaters 200: 200b are characterized in that the heater lines 220, 230, and 240 generate heat in different regions, respectively. In this sense, the number of heater lines 220, 230, and 240 may correspond to the number of regions Z1, Z2, and Z3 in which the heater 200b can configure different temperatures. In addition, the heater lines 220, 230, and 240 may generate heat at different temperatures. Accordingly, the heater 200b may function as a multi-zone heating heater.

영역(Z1, Z2, Z3)마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있도록, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 구성될 수 있다. 이 외에, 영역마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있는 목적의 범위 내에서, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)는 형태, 크기, 두께, 저항, 재질, 발열량 등이 상이하게 구성될 수 있다.In order to individually control the temperature for each region (Z1, Z2, Z3), each heater line (220, 230, 240) is the heating unit (221, 231, 241) and the non-heating unit (225, 235, 245) The location can be configured differently. In addition, within the range of the purpose of controlling the temperature individually for each region, the heating parts 221, 231, 241 and the non-heating parts 225, 235, 245 are the shape, size, thickness, resistance, material, and calorific value. And the like can be configured differently.

다시, 도 5의 (a)를 참조하면, Z1, Z3 영역과 Z2 영역은 다른 온도로 가열될 수 있다. 즉, Z1, Z3 영역은 챔버(105)의 모서리 부분으로서, 외부로 열손실이 발생할 수 있으므로, Z2 영역과 균일하게 온도를 맞추기 위해서는 더 많은 열이 제공되어야 한다. 따라서, 히터(200b)에서 Z1, Z3 영역에 대응하는 사이드 영역은, Z2 영역에 대응하는 중심 영역보다 히팅 온도가 높게 된다.Again, referring to FIG. 5A, regions Z1 and Z3 and regions Z2 may be heated to different temperatures. That is, since regions Z1 and Z3 are corner portions of the chamber 105 and may cause heat loss to the outside, more heat must be provided in order to uniformly match the temperature with the region Z2. Accordingly, in the heater 200b, the side regions corresponding to the Z1 and Z3 regions have a higher heating temperature than the central region corresponding to the Z2 region.

Z1, Z3 영역에 열을 제공하는 히터라인(220, 240)의 발열부(221, 241)는 Z1, Z3 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 그리고, Z2 영역에 열을 제공하는 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 이렇게, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 가열하는 영역(Z1, Z2, Z3)에 대응하도록 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 형성될 수 있다. 도 8에서는 3개의 영역(Z1, Z2, Z3)을 예시로 설명하나, 히터라인(220, 230, 240)들의 구성에 따라, 하나의 히터(200)로 다양한 개수의 영역들에 대해서 개별적으로 온도 제어가 가능하다. 위와 같이, 본 발명의 열처리 시스템은 하나의 히터(200b)로 여러 영역의 온도를 제어할 수 있으므로, 종래의 기술과 같이 보조 히터(30)[도 1 및 도 3 참조]를 메인 히터(20)에 수직하게 배치할 필요가 없다. 그리하여 한 종류의 히터(200b)를 본체(110)의 일측에서만 삽입하여도 챔버(105) 내의 여러 영역(Z1, Z2, Z3)에 대해 각각 다른 온도를 적용하여 기판(5)의 전면적을 균일하게 열처리할 수 있는 이점이 있다.The heating parts 221 and 241 of the heater lines 220 and 240 providing heat to regions Z1 and Z3 may be disposed at positions corresponding to regions Z1 and Z3. In addition, the heating unit 231 of the heater line 230 providing heat to the Z2 region may be disposed at a position corresponding to the Z2 region. In this way, each of the heater lines 220, 230, 240 has different positions of the heating parts 221, 231, 241 and the non-heating parts 225, 235, 245 to correspond to the heating regions Z1, Z2, Z3. Can be formed. In FIG. 8, three regions (Z1, Z2, Z3) are described as an example. However, according to the configuration of the heater lines 220, 230, and 240, a temperature for various numbers of regions with one heater 200 individually Control is possible. As described above, since the heat treatment system of the present invention can control the temperature of several regions with one heater 200b, the auxiliary heater 30 (see FIGS. 1 and 3) is used as the main heater 20 as in the prior art. There is no need to place it vertically. Thus, even if one type of heater 200b is inserted only on one side of the main body 110, different temperatures are applied to the various areas (Z1, Z2, Z3) in the chamber 105 to make the entire surface area of the substrate 5 uniform. There is an advantage that can be heat-treated.

이와 다르게, 본원의 히터(200b)는 동일 측면에만 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)가 배치될 수 있다. 히터라인(220, 230, 240)은 단자(226, 236, 246)-비발열부(225, 235, 245)-발열부(221, 231, 241)-비발열부(225, 235, 245)-단자(227, 237, 247) 순으로 배열될 수 있다. 그리하여, 히터(200b)의 한측에서 전류를 공급하고, 한측에서 히터(200)의 유지관리를 수행할 수 있다.Unlike this, in the heater 200b of the present application, terminals 226, 227, 236, 237, 246, and 247 may be disposed only on the same side. Heater line (220, 230, 240) is terminal (226, 236, 246)-non-heating portion (225, 235, 245)-heating portion (221, 231, 241)-non-heating portion (225, 235, 245)-terminal It can be arranged in the order of (227, 237, 247). Thus, current may be supplied from one side of the heater 200b, and maintenance of the heater 200 may be performed from one side.

각각의 히터라인(220, 230, 240)은 단락되지 않도록 서로 접촉되지 않는 것이 바람직하다. 도 9 내지 도 12에서 후술할 히터(200b)의 여러 실시예들은 각각의 히터라인(220, 230, 240)이 서로 접촉되지 않고 각기 다른 공간을 점유한 형태를 개시한다.Each of the heater lines (220, 230, 240) is preferably not in contact with each other so as not to be short-circuited. Various embodiments of the heater 200b to be described later in FIGS. 9 to 12 disclose a form in which the heater lines 220, 230, and 240 do not contact each other and occupy different spaces.

도 9 내지 도 12는 도 8의 히터(200b)를 구현하기 위한 다양한 형태를 나타내는 히터의 길이 방향에 대한 수평 단면(a) 및 수직 단면(b)이다.9 to 12 are horizontal cross-sections (a) and vertical cross-sections (b) in the longitudinal direction of a heater showing various forms for implementing the heater 200b of FIG. 8.

도 9를 참조하면, 히터(200: 200c)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다. 히터관이라는 표현을 사용했지만, 각각의 히터라인(220, 230, 240)을 지지하면서, 공간을 분리하는 역할을 한다면, 관 형태가 아닌 분리칸의 형태[도 10 참조]도 가능하다.Referring to FIG. 9, the heaters 200: 200c may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater pipes 260, 270, and 280 support the heater lines 220, 230, and 240, and may serve to separate the space so that the heater lines 220, 230, and 240 do not contact each other. In addition, the space in which the heating parts 221, 231, and 241 and the non-heating parts 225, 235, and 245 are located may be separated. Although the expression “heater tube” is used, if it serves to separate the space while supporting each heater line (220, 230, 240), it is possible to form a separate compartment (see FIG. 10) instead of a tube form.

히터관(260, 270, 280)도 하우징(210)과 동일하게 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)의 일단(도 9에서 좌측단) 및 타단(도 9에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 may be formed of a material such as quartz in the same manner as the housing 210, and may be formed in a long rod shape as a whole. One end (left end in FIG. 9) and the other end (right end in FIG. 9) of the heater pipes 260, 270, and 280 may be formed in an open type. A coupling means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to couple the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 히터관(260, 270, 280)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 외주면 상에 배치될 수 있다.Each of the heating parts 221, 231, 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heater tube 260, 270, 280. In addition, each of the non-heating units 225, 235, 245 may be disposed on the inner space or outer circumferential surface of the heater pipes 260, 270, 280.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)와 발열부(221)가 히터관(260)의 외주면 상에 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 외주면 상의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다. 히터관(260)은 외주면 상의 발열부(221)와 내측 공간의 비발열부(225)가 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있다.For example, the heater line 220, starting from the terminal 226, along the direction of one end (left end) of the housing 210, the non-heating part 225 and the heating part 221 are the outer circumferential surface of the heater tube 260 It is disposed above, and the left end of the heating part 221 and the left end of the non-heating part 225 may be integrally connected. In addition, the non-heating part 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 is a terminal 226-a non-heating part 225 on the outer circumferential surface of the heater tube 260-a heating part 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260-a non-heating part in the inner space of the heater tube 260 It can be composed of (225)-terminal 227. The heater tube 260 may separate the space occupied by the heating part 221 on the outer circumferential surface and the non-heating part 225 in the inner space so as not to be short-circuited.

이 외에도, 히터관(260)에 관통공을 형성하여 비발열부(225)는 모두 내측 공간에만 배치되도록 할 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)[관통공을 통과하여 외주면 상으로 이어짐]-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수도 있다.In addition, by forming a through hole in the heater tube 260, the non-heating portion 225 may be disposed only in the inner space. That is, the heater line 220 is the terminal 226-the non-heating part 225 of the inner space of the heater tube 260-the heating part 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260 (passes through the through hole and leads to the outer circumferential surface ]-Heater tube 260 may be configured as a non-heating portion 225-terminal 227 in the inner space.

히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 적어도 동일한 공간을 점유하도록, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 히터관(260)이 가장 큰 직경을 가지고 히터관(280)이 가장 작은 직경을 가지도록 형성될 수 있다. 히터관(260)의 내측 공간에 히터관(270, 280)이 배치되고, 히터관(270)의 내측 공간에 히터관(280)이 배치될 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 may be formed to have a coaxial shape so as to occupy at least the same space within the housing 210. That is, the heater tube 260 may be formed to have the largest diameter and the heater tube 280 to have the smallest diameter. The heater tubes 270 and 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 260, and the heater tube 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 270.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 히터관(260)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 히터관(270)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 히터관(280)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating part 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 260 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, it can be heated in the Z1 region to generate heat. Likewise, the heating part 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 270 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating part 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 280 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

한편, 단자(226, 236, 246)에 단자(227, 237, 247) 사이에 전압이 가해짐에 따라 히터라인(220, 230, 240)에서 열을 발생할 수 있는데, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다.Meanwhile, as a voltage is applied between the terminals 227, 237, and 247 to the terminals 226, 236, and 246, heat may be generated in the heater lines 220, 230, and 240. Terminals 227, 237, and 247 ) Functions as an output terminal, so three terminals can be combined into one line for grounding.

도 10을 참조하면, 히터(200: 200d)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터(200d)는 봉 형상이 아닌 길이 방향으로 연장되는 사각 판, 사각 기둥 형상을 가진다. 히터관(260, 270, 270)은 하우징(210) 내의 공간을 분리하는 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 10, the heaters 200: 200d may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater 200d has a shape of a square plate or a square column extending in a longitudinal direction, not a rod shape. The heater pipes 260, 270, and 270 may be configured in the form of a separation compartment that separates the space in the housing 210. The heater pipes 260, 270, and 280 support the heater lines 220, 230, and 240, and may serve to separate the space so that the heater lines 220, 230, and 240 do not contact each other. In addition, the space in which the heating parts 221, 231, and 241 and the non-heating parts 225, 235, and 245 are located may be separated.

히터(200d)의 히터관(260, 270, 280)들은 사각 판, 사각 기둥 형상의 하우징(210) 내의 공간을 수평 방향으로 칸 형태로 분리할 수 있도록 한쌍의 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 측단면 방향으로 6 공간으로 분리된 경우, 1, 6번째 공간은 히터라인(220)이, 2, 5번째 공간은 히터라인(230)이, 3, 4번째 공간은 히터라인(240)이 배치될 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 of the heater 200d may be configured in the form of a pair of separation compartments so that the space in the housing 210 having a square plate or square column shape can be separated in a horizontal direction. As shown in (b) of FIG. 10, when divided into 6 spaces in the lateral cross-sectional direction, the first and sixth spaces are the heater line 220, the second and fifth spaces are the heater line 230, and 3 , In the fourth space, a heater line 240 may be disposed.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating part 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled at a position corresponding to the region Z1. Thus, it can be heated in the Z1 region to generate heat. Likewise, the heating part 231 of the heater line 230 may be coiled at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating part 241 of the heater line 240 may be coiled at a position corresponding to the region Z3 to generate heat in the region Z3.

히터(200d)는 하우징(210) 내에 분리칸 형태로 히터관(260, 270, 280)을 형성하므로, 별도로 히터관(260, 270, 280)을 하우징(210) 내로 삽입하지 않아도 되며 제조 원가를 절감할 수 있는 이점이 있고, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.Since the heater 200d forms the heater pipes 260, 270, 280 in the form of separate compartments in the housing 210, it is not necessary to separately insert the heater pipes 260, 270, 280 into the housing 210, and manufacturing cost is reduced. There is an advantage that can be saved, and there is an advantage that space separation between the heater lines 220, 230, and 240 is clear.

도 11을 참조하면, 히터(200: 200e)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 11, the heaters 200: 200e may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater pipes 260, 270, and 280 support the heater lines 220, 230, and 240, and may serve to separate the space so that the heater lines 220, 230, and 240 do not contact each other. In addition, the space in which the heating parts 221, 231, and 241 and the non-heating parts 225, 235, and 245 are located may be separated.

히터(200e)의 히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 별도의 공간을 점유하도록 배치될 수 있다. 즉, 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간은 상호 중첩되지 않는다. 히터관(260, 270, 280)의 직경은 동일하거나 상이하게 형성될 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 of the heater 200e may be disposed to occupy a separate space within the housing 210. That is, the inner spaces of the heater tubes 260, 270, and 280 do not overlap each other. The heater tubes 260, 270, and 280 may have the same or different diameters.

히터(200e)는 하우징(210) 내에 히터관(260, 270, 280)들이 독립적인 공간을 점유하므로, 제조가 간단해지며, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.In the heater 200e, since the heater pipes 260, 270, and 280 occupy an independent space in the housing 210, manufacturing is simplified, and the space separation between the heater lines 220, 230, and 240 is clear. There is this.

도 12를 참조하면, 히터(200f)는 하우징(210)의 내부에 발열 히터관(250)이 배치될 수 있다. 그리고, 발열 히터관(250)의 내부에, 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 12, the heater 200f may have a heating heater tube 250 disposed inside the housing 210. In addition, a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240 may be disposed inside the heating heater tube 250.

발열 히터관(250)도, 하우징(210), 히터관(260, 270, 280)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 발열 히터관(250)의 일단(도 12에서 좌측단) 및 타단(도 12에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heating heater tube 250 may also be made of a material such as quartz, similarly to the housing 210 and the heater tubes 260, 270, and 280, and may be formed in a long rod shape as a whole. One end (left end in FIG. 12) and the other end (right end in FIG. 12) of the heating heater tube 250 may be formed in an open type. A coupling means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to couple the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면의 각각의 영역(Z1, Z2, Z3) 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 발열 히터관(250)의 내측 공간에 배치될 수 있다.Each of the heating parts 221, 231, 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250. Each of the heating parts 221, 231, 241 may be disposed on respective regions Z1, Z2, and Z3 of the outer circumferential surface of the heating heater tube 250. In addition, each of the non-heating parts 225, 235, 245 may be disposed in the inner space of the heater pipes 260, 270, 280 or the inner space of the heating heater pipe 250.

발열 히터관(250)에는 소정의 관통공(251, 253, 254, 255, 256)이 형성될 수 있다. 관통공(251, 253, 254, 255, 256)을 통해 각각의 히터 라인(220, 230, 240)이 발열 히터관(250)의 외주면 상에서 내측 공간으로, 내측 공간에서 외주면 상으로 이어질 수 있다.Predetermined through holes 251, 253, 254, 255, 256 may be formed in the heating heater tube 250. Each of the heater lines 220, 230, 240 through the through-holes 251, 253, 254, 255, 256 may lead from the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 to the inner space, and from the inner space to the outer circumferential surface.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)가 히터관(260)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(260)의 좌측단에서 관통공(251)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z1 영역에서 발열부(221)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간 상의 비발열부(225)-관통공(251) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(221)-발열 히터관(250) 및 히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다.For example, the heater line 220, along the direction of one end (left end) of the housing 210, starting from the terminal 226, the non-heating portion 225 is disposed on the inner space of the heater tube 260, It may be connected to the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 through a through hole 251 at the left end of the heater tube 260. The heating part 221 is arranged to be coiled in the region Z1 on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250, and the left end of the heating part 221 and the left end of the non-heating part 225 may be integrally connected. In addition, the non-heating unit 225 may be disposed in the inner space of the heating heater tube 250 and the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 is a terminal 226-a non-heating part 225 on the inner space of the heater tube 260-a heat generating part 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 250 after passing through the through hole 251-heating The heater tube 250 and the non-heating part 225 in the inner space of the heater tube 260 may be configured with a terminal 227.

히터라인(230)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(223)로부터 시작해서 비발열부(235)가 히터관(270)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(270)의 좌측단에서 관통공(253)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z2 영역에서 발열부(231)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(231)의 좌측단과 비발열부(235)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 발열부(231)의 좌측단에서 관통공(254)을 통해 발열 히터관(250) 내측 공간으로 연결되며, 비발열부(235)는 좌측단으로부터 단자(237)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(270)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(230)은, 단자(236)-히터관(270) 내측 공간 상의 비발열부(235)-관통공(253) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(231)-관통공(254) 통과 후 발열 히터관(250) 및 히터관(270) 내측 공간의 비발열부(235)-단자(237)로 구성될 수 있다.Taking the heater line 230 as an example, the non-heating portion 235 is disposed on the inner space of the heater tube 270 starting from the terminal 223 along the direction of one end (left end) of the housing 210, It may be connected to the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 through a through hole 253 at the left end of the heater tube 270. The heating part 231 is arranged to be coiled in the area Z2 on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250, and the left end of the heating part 231 and the left end of the non-heating part 235 may be integrally connected. And, from the left end of the heating part 231, it is connected to the inner space of the heating heater tube 250 through the through hole 254, and the non-heating part 235 is a heating heater tube along the direction of the terminal 237 from the left end. 250, may be disposed in the inner space of the heater tube 270. That is, the heater line 230 passes through the terminal 236-the non-heating part 235 on the inner space of the heater tube 270-the heating part 231 on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 after passing through the through hole 253- After passing through the hole 254, the heating heater tube 250 and the non-heating portion 235 in the inner space of the heater tube 270 may be composed of a terminal 237.

단자(227, 237, 247)로 연결되는 비발열부(225, 235, 245)는 각각 다른 라인으로 구성될 수도 있으나, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다. 도 8에는 하나의 라인으로 그라운딩 시키는 형태가 예시되었다.The non-heating parts 225, 235, 245 connected to the terminals 227, 237, 247 may be formed of different lines, respectively, but the terminals 227, 237, 247 function as output terminals, so that three terminals It can also be grounded by combining it with the line of. In FIG. 8, a form of grounding with one line is illustrated.

히터관(260, 270, 280)은 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있고, 발열 히터관(250)의 영역 경계(Z1과 Z2의 경계, Z2와 Z3의 경계)에는 절연을 위해 절연막(미도시)이 더 형성될 수도 있다.The heater pipes 260, 270, and 280 may separate the space occupied by the heater lines 220, 230, and 240 so that they are not short-circuited, and the boundary of the region of the heating heater pipe 250 (the boundary between Z1 and Z2, An insulating film (not shown) may be further formed at the boundary between Z2 and Z3) for insulation.

히터관(260, 270, 280)들은 발열 히터관(250) 내에서 각각 독립적인 공간을 점유할 수 있으나, 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 하는 범위 내에서라면, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 may each occupy an independent space within the heating heater tube 250, but if the heater lines 220, 230, and 240 are within a range so that they are not short-circuited, the coaxial (coaxial) ) And can be formed.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating part 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, it can be heated in the Z1 region to generate heat. Likewise, the heating part 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating part 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z3 area to generate heat in the Z3 area.

도 13은 도 4의 B-B' 확대 측단면도로서, 도 12의 히터(200: 200f)가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다. 도 12의 히터(200f) 대신 도 8 내지 도 11의 히터(200b~200e)가 적용되어도 무방하다.FIG. 13 is an enlarged side cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 4, illustrating a heat treatment apparatus to which the heaters 200 (200f) of FIG. 12 are applied. Instead of the heater 200f of FIG. 12, the heaters 200b to 200e of FIGS. 8 to 11 may be applied.

도 13의 (a)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125) 및 타단(126)은 개방된 상태로 삽입구(121)가 각각 형성된다. 삽입 튜브(120)는 내부는 비어 있고, 히터(200f)가 삽입 튜브(120) 내부의 빈 공간에 삽입될 수 있다.Referring to (a) of FIG. 13, one end 125 and the other end 126 of the insertion tube 120 are each formed with an insertion hole 121 in an open state. The insertion tube 120 is empty, and the heater 200f may be inserted into an empty space inside the insertion tube 120.

도 13의 (b)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 즉, 일단(125')은 본체(110)의 벽으로 막혀 있는 형태일 수 있다. 히터(200f)는 삽입 튜브(120)의 타단(126)으로만 삽입될 수 있고, 히터(200f)의 유지 관리를 위한 접근도 타단(126)을 통해서 가능하다. 또한, 히터(200f)를 삽입 튜브(120) 내의 일단(125')까지 밀어넣고 폐쇄 캡(205)을 결합하는 과정으로, 히터(200f)가 본체(110)에서 정렬을 이루며 설치될 수 있는 이점이 있다.Referring to FIG. 13B, one end 125 ′ of the insertion tube 120 is in a closed form, and the insertion hole 121 is formed in an open state through only the other end 126. That is, one end 125 ′ may be in a form that is blocked by the wall of the main body 110. The heater 200f may be inserted only into the other end 126 of the insertion tube 120, and access for maintenance of the heater 200f is also possible through the other end 126. In addition, as a process of pushing the heater (200f) to one end (125') in the insertion tube (120) and coupling the closing cap (205), the advantage that the heater (200f) can be installed in alignment in the main body (110) There is this.

도 13의 (c)를 참조하면, 삽입 튜브(120)의 형태는 도 13의 (b)와 동일하게 일단(125')은 폐쇄된 형태이고, 타단(126)만이 관통되어 개방된 상태로 삽입구(121)가 형성된다. 한편, 하우징(210')의 일단 및 타단이 개방형으로 형성된 히터(200f')를 사용할 수 있다. 하우징(210')의 일단에 개방되어 있더라도, 삽입 튜브(120)의 일단(125')이 폐쇄되어 있으므로, 히터(200f')의 내부 구성을 커버하는 역할을 할 수 있다.13(c), as in FIG. 13(b), the shape of the insertion tube 120 has one end 125' closed, and only the other end 126 penetrates and is opened. 121 is formed. Meanwhile, a heater 200f' in which one end and the other end of the housing 210' are open may be used. Even if it is open to one end of the housing 210 ′, since one end 125 ′ of the insertion tube 120 is closed, it may serve to cover the internal configuration of the heater 200f ′.

위와 같이, 본 발명은 히터(200)를 본체(110)에 설치하고, 유지/관리를 위한 공간(M1, M2)을 대폭 축소하여 공간 활용도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 공간 활용도 증가에 의한 단위 면적당 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, in the present invention, the heater 200 is installed in the main body 110, and spaces for maintenance/management (M1, M2) are significantly reduced, thereby increasing space utilization. In addition, according to the present invention, there is an effect of improving productivity per unit area by increasing space utilization.

또한, 본 발명은 본체(110)의 한면에서 히터(200)를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지/관리의 시간을 대폭 감소시켜 작업 공수를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by installing, repairing, and replacing the heater 200 on one side of the main body 110, the manufacturing time and maintenance/management time can be significantly reduced, thereby reducing the number of work hours.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been shown and described with reference to a preferred embodiment as described above, it is not limited to the above embodiment, and within the scope not departing from the spirit of the present invention, various It can be transformed and changed. Such modifications and variations should be viewed as falling within the scope of the present invention and the appended claims.

100: 열처리 장치
105: 챔버
110: 본체
120: 삽입 튜브
121: 삽입구
130: 도어
200, 200a~200f: 히터
205: 폐쇄 캡(커넥터)
210: 하우징
220, 230, 240: 히터라인
221, 231, 241: 발열부
225, 235, 245: 비발열부
226, 227, 236, 237, 246, 247: (인풋/아웃풋) 단자
250: 발열 히터관
260, 270, 280: 히터관
M1, M2: 열처리 시스템의 메인터넌스 공간
P1, P2: 열처리 시스템의 메인터넌스(maintenance) 경로
Z1~Z3: 가열 영역100: heat treatment device
105: chamber
110: main body
120: insertion tube
121: insertion port
130: door
200, 200a~200f: heater
205: closing cap (connector)
210: housing
220, 230, 240: heater line
221, 231, 241: heating part
225, 235, 245: non-heating part
226, 227, 236, 237, 246, 247: (Input/Output) terminal
250: heating heater tube
260, 270, 280: heater tube
M1, M2: maintenance space of heat treatment system
P1, P2: The maintenance path of the heat treatment system
Z1~Z3: heating zone

Claims

As a heat treatment system that heats the substrate,
The heat treatment system,
A heat treatment device providing a heat treatment space for the substrate; And
Heater slidingly inserted through an insertion hole formed on one side of the heat treatment device
Including,
The heater includes one heater line including a heating part and a non-heating part, and terminals of the heating part and the non-heating part are disposed on the same side,
The heater, the housing; And one heater tube disposed inside the housing,
The heating part is disposed on the outer circumferential surface of the heater tube, the non-heating part is connected to the heating part and disposed in the inner space of the heater tube,
One end of the housing is formed in a closed type or an open type, and the other end of the housing is formed in an open type.

As a heat treatment system that heats the substrate,
The heat treatment system,
A heat treatment device providing a heat treatment space for the substrate; And
Heater slidingly inserted through an insertion hole formed on one side of the heat treatment device
Including,
The heater includes a plurality of heater lines including a heating part and a non-heating part, and terminals of the heating part and the non-heating part are disposed on the same side, and each of the heater lines has a location of the heating part and the non-heating part. Different,
The heater, the housing; And a plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines,
The heating part is disposed on the outer peripheral surface of the corresponding heater tube, the non-heating part is disposed in the inner space of the corresponding heater tube,
One end of the housing is formed in a closed type or an open type, and the other end of the housing is formed in an open type.

As a heat treatment system that heats the substrate,
The heat treatment system,
A heat treatment device providing a heat treatment space for the substrate; And
Heater slidingly inserted through an insertion hole formed on one side of the heat treatment device
Including,
The heater includes a plurality of heater lines including a heating part and a non-heating part, and terminals of the heating part and the non-heating part are disposed on the same side, and each of the heater lines has a location of the heating part and the non-heating part. Different,
The heater, the housing; A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And a heating heater tube for arranging the plurality of heater tubes in an inner space,
The heating unit is disposed on the outer circumferential surface of the heating heater tube,
One end of the housing is formed in a closed type or an open type, and the other end of the housing is formed in an open type.

The method according to any one of claims 1 to 3,
The heat treatment device,
A body including the heat treatment space; And
A plurality of insertion tubes disposed to pass through at least one side of the heat treatment space
Including,
A heat treatment system, wherein a plurality of the insertion tubes are arranged in parallel with each other having a predetermined spacing.

The method according to any one of claims 1 to 3,
A heat treatment system in which a maintenance path is formed in a direction outside one side of the heat treatment apparatus.

The method according to any one of claims 1 to 3,
The heat treatment system, wherein a second insertion hole is further formed on the other side opposite to one side of the heat treatment apparatus.

The method of claim 6,
A heat treatment system, wherein a maintenance path is formed in an outer direction of one side and an outer direction of the other side of the heat treatment apparatus.

The method of claim 3,
A heat treatment system in which a through hole is formed on an outer circumferential surface of the heating heater tube.

The method according to any one of claims 1 to 3,
The heat treatment system, wherein the heating part and the non-heating part have different kinds of metal materials.

The method of claim 2,
The plurality of heater tubes, having a coaxial (coaxial), or occupying a separate space in the housing, heat treatment system.

The method according to claim 2 or 3,
A heat treatment system, wherein some of the plurality of heater lines have the heating part located in a central area of the heater, and the other part of the heater line has the heating part located in a side area of the heater.

The method of claim 11,
The heating temperature of the center region is lower than the heating temperature of the side region.

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