KR20190051693A

KR20190051693A - Heater

Info

Publication number: KR20190051693A
Application number: KR1020170147601A
Authority: KR
Inventors: 최우용; 이학문
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2017-11-07
Filing date: 2017-11-07
Publication date: 2019-05-15
Also published as: KR102243268B1

Abstract

Disclosed is a heater. According to the present invention, the heater (200) is applicable to a heat treatment device (1) capable of heat-treating a substrate (5). The heater (200) comprises heat generating parts (221, 231, 241) and a plurality of heater lines (220, 230, 240) including non-heat generating parts (225, 235, 245); and each of the heater lines (220, 230, 240) is characterized such that the positions of the heat generating parts (221, 231, 241) and the non-heat generating parts (225, 235, 245) are different.

Description

Heater {HEATER}

본 발명은 히터에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 하나의 히터에서 복수의 영역을 각각 다른 온도로 제어할 수 있는 히터에 관한 것이다.The present invention relates to a heater. More specifically, the present invention relates to a heater capable of controlling a plurality of regions at different temperatures from one heater.

어닐링(annealing) 장치는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리 단계를 담당하는 장치이다.The annealing apparatus is a device that performs a thermal treatment step necessary for a process such as crystallization and phase change on a predetermined thin film deposited on a substrate such as a silicon wafer or glass.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치(1)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 삽입 튜브(20) 내에 히터(21)가 삽입된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터(21)를 나타낸다.2 is a cross-sectional view taken along the line AA 'in Fig. 1, and Fig. 2 (a) is a cross-sectional view of the batch type heat treatment apparatus 1 in which the heater 21 is inserted in the insertion tube 20 2 (b) shows a rod-shaped heater 21. As shown in Fig.

도 1을 참조하면, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 챔버(15) 공간을 포함하는 본체(10), 본체(10)의 출입구를 개폐하는 도어(11), 삽입 튜브(20) 및 삽입 튜브(20)에 삽입되는 히터(21)를 포함한다. 챔버(15) 내부에는 복수개의 기판이 배치될 수 있다. 복수개의 기판은 각각 일정간격을 가지면서 배치되며, 기판 홀더(미도시)에 지지되거나, 보트(미도시)에 안착되어 챔버(15) 내부에 배치될 수 있다.1, a conventional batch type heat treatment apparatus 1 includes a main body 10 including a chamber 15 space, a door 11 for opening and closing an entrance of the main body 10, an insertion tube 20, And a heater (21) inserted into the tube (20). A plurality of substrates may be disposed in the chamber 15. [ The plurality of substrates may be disposed at regular intervals and may be supported in a substrate holder (not shown), or may be placed in a boat (not shown) and disposed inside the chamber 15.

히터(21)는 통상적인 길이가 긴 봉형의 히터로서 석영관(22) 내부에 발열체(24)가 삽입되어 있고, 비발열체(25)가 양단에 설치된 단자를 통하여 외부의 전원을 인가 받아 발열체(24)에 전달하여 열을 발생시킨다. 히터(21)의 양단은 커넥터(26)를 결합하여 단전함과 동시에 삽입 튜브(20) 내의 히터(21)를 고정할 수 있다.The heater 21 is a bar type heater having a long length and a heating element 24 is inserted into the quartz tube 22. The non-heating element 25 receives external power through a terminal provided at both ends of the heating element 24, 24 to generate heat. Both ends of the heater 21 can be connected to the connector 26 to fix the heater 21 in the insertion tube 20 at the same time.

배치식 열처리 장치(1)에서는 공정의 안정성, 신뢰성을 보장하기 위해 복수의 기판의 전 면적에 대해서 균일한 열처리가 수행될 필요가 있다. 넓은 챔버(15) 공간 전체에서 균일한 온도를 유지할 수 있도록, 챔버(15)의 사이드 영역은 외부로 열이 방출되는 것을 고려하여 상대적으로 챔버(15)의 센터 영역보다 열을 더 가해야 한다. 하지만, 종래의 히터(21)는 1개의 봉형 히터(21) 내에서 사이드 부분과 센터 부분에서 온도 편차가 발생하는 문제점이 있었다. 또한, 챔버(15)의 사이드 영역에 열을 더 보강하기 위해 사이드 영역 부분에 추가적으로 히터(21)를 더 배치해야 하는 번거로움이 있었다. 히터(21) 수의 증가는 배치식 열처리 장치(1)의 제조 시간을 증가시킬 뿐만 아니라, 내부의 다른 구성들과의 간섭에 의해 설계가 복잡해지는 문제점을 발생시킨다.In the batch type heat treatment apparatus 1, it is necessary to perform a uniform heat treatment on the entire area of a plurality of substrates in order to ensure process stability and reliability. The side area of the chamber 15 must be heated more than the center area of the chamber 15 in consideration of releasing heat to the outside so as to maintain a uniform temperature throughout the wide chamber 15. [ However, in the conventional heater 21, there is a problem that a temperature deviation occurs in the side portion and the center portion in one bar heater 21. Further, there has been a problem in that, in order to further reinforce the heat in the side area of the chamber 15, it is necessary to further arrange the heater 21 in the side area. The increase in the number of the heaters 21 not only increases the manufacturing time of the batch type heat treatment apparatus 1 but also causes a problem that the design becomes complicated due to interference with other internal components.

또 한편, 종래의 배치식 열처리 장치(1)는 기판의 개수에 따라 수많은 히터(21)들이 설치되는데, 각각의 히터(21)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하는 과정에서 장치의 제조 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 또한, 히터(21)의 수리, 교체 등을 수행할 때, 본체(10)을 양측을 통해 접근하여 커넥터(26)를 해체하는 것이 필수적인데, 이는 유지, 관리의 시간을 증가시키는 문제점이 있을뿐만 아니라, 본체(10)의 양측 공간을 모두 확보하기 위해 전체 설비의 크기가 불필요하게 커지게 되는 문제점이 있었다.In the conventional batch type heat treatment apparatus 1, a large number of heaters 21 are provided according to the number of substrates. In the process of joining the connectors 26 at both ends of each heater 21, There was an increasing problem. When repairing or replacing the heater 21 is performed, it is essential to disassemble the connector 26 by approaching the main body 10 through both sides thereof, which increases the maintenance and management time However, there is a problem in that the size of the entire facility becomes unnecessarily large in order to secure both sides of the main body 10.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 하나의 히터에서 복수의 영역을 다른 온도로 제어할 수 있는 히터를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a heater capable of controlling a plurality of regions at different temperatures in one heater.

또한, 본 발명은 보다 적은 개수의 히터로 기판의 균일한 열처리를 구현할 수 있는 히터를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a heater capable of realizing a uniform heat treatment of a substrate with a smaller number of heaters.

또한, 본 발명은 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지관리의 시간을 대폭 감소시키고, 전체 설비의 크기를 감축시킬 수 있는 히터를 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a heater capable of reducing installation time, maintenance time, and size of the entire equipment by performing installation, repair, replacement, etc. of the heater on one side of the main body .

본 발명의 상기의 목적은, 기판을 열처리 할 수 있는 열처리 장치에 적용 가능한 히터로서, 상기 히터는, 발열부 및 비발열부를 포함하는 복수의 히터라인을 포함하고, 각각의 상기 히터라인은 발열부 및 비발열부의 위치가 상이한, 히터에 의해 달성된다.The above object of the present invention can be achieved by a heater applicable to a heat treatment apparatus capable of performing a heat treatment on a substrate, wherein the heater includes a plurality of heater lines including a heat generating unit and a non-heat generating unit, And the position of the non-heating portion is different.

상기 복수의 히터라인의 단자는 동일 측면에 배치될 수 있다.The terminals of the plurality of heater lines may be disposed on the same side.

상기 히터는, 하우징; 및 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관을 포함할 수 있다.The heater includes: a housing; And a plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines.

상기 히터는, 하우징; 복수의 상기 히터라인의 각각에 대응하는 복수의 히터관; 및 상기 복수의 히터관을 내부 공간에 배치하는 발열 히터관을 포함할 수 있다.The heater includes: a housing; A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And a heating heater tube for disposing the plurality of heater tubes in an inner space.

각각의 상기 히터라인에서, 상기 발열부 및 상기 비발열부는 연속적으로 연결되며, 상기 발열부는 대응하는 상기 히터관의 외주면 상에 배치되고, 상기 비발열부는 대응하는 상기 히터관의 내측 공간에 배치될 수 있다.In each of the heater lines, the heating portion and the non-heating portion are continuously connected, the heating portion is disposed on the outer peripheral surface of the corresponding heater tube, and the non-heating portion is disposed in the inner space of the corresponding heater tube .

각각의 상기 히터라인에서, 상기 발열부 및 상기 비발열부는 연속적으로 연결되며, 상기 발열부는 상기 발열 히터관의 외주면 상에 배치될 수 있다.In each of the heater lines, the heating portion and the non-heating portion are continuously connected, and the heating portion may be disposed on an outer circumferential surface of the heating heater tube.

상기 하우징의 일단은 폐쇄형 또는 개방형으로 형성되고, 상기 하우징의 타단은 개방형으로 형성될 수 있다.One end of the housing may be closed or open, and the other end of the housing may be open.

상기 복수의 히터관은 동축(coaxial)을 가질 수 있다.The plurality of heater tubes may have a coaxial.

상기 복수의 히터관은 상기 하우징 내에서 별도의 공간을 점유할 수 있다.The plurality of heater tubes may occupy a separate space in the housing.

적어도 일부의 상기 히터관의 외주면 상에는 코일링 홈이 형성될 수 있다.A coil ring groove may be formed on at least a portion of the outer circumferential surface of the heater tube.

상기 발열부는 상기 코일링 홈을 따라 상기 히터관의 외주면 상에 배치될 수 있다.The heat generating portion may be disposed on an outer circumferential surface of the heater tube along the coil ring groove.

적어도 일부의 상기 발열 히터관의 외주면 상에는 코일링 홈이 형성될 수 있다.A coil ring groove may be formed on at least a part of the outer circumferential surface of the heat generating heater tube.

상기 발열 히터관의 외주면 상에는 관통공이 형성될 수 있다.A through hole may be formed on the outer circumferential surface of the heat-generating heater tube.

상기 복수의 히터라인 중 일부는 상기 히터의 중심 영역에 상기 발열부가 위치하고, 나머지는 상기 히터의 사이드 영역에 상기 발열부가 위치할 수 있다.Some of the plurality of heater lines may have the heat generating portion in a center region of the heater and the heat generating portion may be located in a side region of the heater.

상기 중심 영역의 히팅 온도는 상기 사이드 영역의 히팅 온도보다 낮을 수 있다.The heating temperature of the center region may be lower than the heating temperature of the side region.

상기 하우징의 내부에 배치되고, 열전대(thermocouple)가 삽입될 수 있는 열전대관을 더 포함할 수 있다.And a thermocouple pipe disposed inside the housing and into which a thermocouple can be inserted.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 하나의 히터에서 복수의 영역을 다른 온도로 제어할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, there is an effect that a plurality of regions can be controlled at different temperatures in one heater.

또한, 본 발명에 따르면, 보다 적은 개수의 히터로 기판의 균일한 열처리를 구현할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, a uniform heat treatment of the substrate can be realized with a smaller number of heaters.

또한, 본 발명에 따르면, 본체의 한면에서 히터를 설치, 수리, 교체 등을 수행하여, 제조 시간, 유지관리의 시간을 대폭 감소시키고, 전체 설비의 크기를 감축시킬 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, it is possible to reduce the manufacturing time, the maintenance time, and the size of the entire facility by installing, repairing, and replacing the heater on one side of the main body.

도 1은 종래의 배치식 열처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 확대 측단면도로서, 도 2의 (a)는 삽입 튜브 내에 히터가 삽입된 형태, 도 2의 (b)는 봉형의 히터를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 및 히터의 영역별 온도 제어를 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제6 실시예에 따른 히터를 나타내는 도면이다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 여러 실시예에 따른 히터가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing a conventional batch type heat treatment apparatus.
Fig. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA 'in Fig. 1, Fig. 2 (a) showing a heater inserted in the insertion tube, and Fig. 2 (b) showing a rod-shaped heater.
FIG. 3 is a schematic view showing temperature control for each region of a heater and a heater according to an embodiment of the present invention. FIG.
4 is a view showing a heater according to a first embodiment of the present invention.
5 is a view showing a heater according to a second embodiment of the present invention.
6 is a view showing a heater according to a third embodiment of the present invention.
7 is a view showing a heater according to a fourth embodiment of the present invention.
8 is a view showing a heater according to a fifth embodiment of the present invention.
9 is a view showing a heater according to a sixth embodiment of the present invention.
10 to 12 are views showing a heat treatment apparatus to which a heater according to various embodiments of the present invention is applied.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings, which illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 히터 및 히팅 시스템을 상세히 설명한다.Hereinafter, a heater and a heating system according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200) 및 히터(200)의 영역(Z1~Z3)별 온도 제어를 나타내는 개략도이다. 도 3의 (a)는 히터(200)의 길이 방향에 대한 단면을 나타내고, 도 3의 (b)는 배치식 열처리 장치(1)의 본체(10) 내부 영역(Z1~Z3)에 대한 단면을 나타낸다.FIG. 3 is a schematic view showing temperature control for each zone Z1 to Z3 of the heater 200 and the heater 200 according to an embodiment of the present invention. 3 (a) is a cross-sectional view of the heater 200 in the longitudinal direction, and FIG. 3 (b) is a cross-sectional view of the batch type heat treatment apparatus 1 with respect to the inner regions Z1 to Z3 of the main body 10 .

본 발명의 히터(200)는 도 1에서 상술한 복수개의 기판을 동시에 열처리 할 수 있는 배치식 열처리 장치(1)에 적용될 수 있으며, 이 외에 히터를 사용하는 장치에도 제한없이 적용될 수 있음을 밝혀둔다. 히터(200)는 도 1의 히터(21)를 대체하여 사용할 수 있으므로, 기존의 장치(1)를 그대로 사용하여 히터(21)만을 본원발명의 히터(200)로 교체할 수 있는 이점이 있다.The heater 200 of the present invention can be applied to a batch type heat treatment apparatus 1 capable of simultaneously heat treating a plurality of substrates described above with reference to FIG. 1, and can be applied to an apparatus using a heater without limitation thereto . The heater 200 can be used in place of the heater 21 shown in FIG. 1, so that only the heater 21 can be replaced with the heater 200 of the present invention by using the existing apparatus 1 as it is.

도 3의 (a)를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터(200)는 하우징(210), 복수의 히터라인(220, 230, 240)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 (a), the heater 200 according to an embodiment of the present invention may include a housing 210, and a plurality of heater lines 220, 230, and 240.

하우징(210)은 히터(200)의 외관을 구성하고, 내부 요소를 커버함과 동시에 내부에서 발생된 열을 외부로 발산할 수 있다. 하우징(210)은 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 일 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다.The housing 210 constitutes an outer appearance of the heater 200, and at the same time, it can cover the internal elements and dissipate heat generated therein. The housing 210 may be made of quartz or the like and may extend in one direction. For example, it may be formed long as a rod shape as a whole.

하우징(210)의 내부 환경이 외부와 분리되도록, 하우징(210)의 일단(도 3에서 좌측단)은 폐쇄형으로 형성될 수 있다. 타단(도 3에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있고, 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200)의 내부를 외부 환경으로부터 폐쇄할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 하우징(210) 내주면/외주면에 더 형성될 수 있다. 폐쇄 캡(205)은 단전과 동시에, 삽입 튜브(20)[도 10 내지 도 12참조] 내의 히터(200)를 고정하는 커넥터 역할을 할 수 있다. 하우징(210)의 일단은 반구 형상, 돔(dome) 형상, 사각기둥 형상 등으로, 삽입 튜브(20)에 삽입되기 용이하다면, 그 형상에 있어서의 제한은 없다. 개방형으로 형성된 타단은, 히터라인(220, 230, 240)의 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)가 외부의 전원 공급 장치(미도시)로 연결되는 통로를 제공할 수 있다.One end (left end in FIG. 3) of the housing 210 may be formed in a closed shape so that the internal environment of the housing 210 is separated from the outside. 3). The other end (the right end in FIG. 3) may be formed in an open shape. In order to close the inside of the heater 200 from the outside environment by engaging the closing cap 205, / Outer circumferential surface. The closed cap 205 can serve as a connector for fixing the heater 200 in the insertion tube 20 (see Figs. 10 to 12) at the same time as the power failure. One end of the housing 210 may have a hemispherical shape, a dome shape, a quadrangular prism shape, or the like, so long as it can be easily inserted into the insertion tube 20. The other end formed in an open shape may provide a passage through which the terminals 226, 227, 236, 237, 246, 247 of the heater lines 220, 230, 240 are connected to an external power supply device (not shown).

각각의 히터라인(220, 230, 240)은 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)를 포함할 수 있다.Each of the heater lines 220, 230, and 240 may include heat generating portions 221, 231, and 241 and non-heat generating portions 225, 235, and 245.

발열부(221, 231, 241)는 높은 발열량 및 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 코일링(coiling)되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 발열부(221, 231, 241)는 높은 온도에 대한 내구성을 갖는 칸탈(kanthal), 슈퍼 칸탈(super kanthal), 니크롬(nichrome) 등의 재질로 구성될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며 공지의 발열 재질을 사용할 수 있다.The heat generating portions 221, 231, and 241 may have a wire shape that is coiling to secure a buffering property due to a high calorific value and thermal expansion. The heat generating units 221, 231 and 241 may be made of materials such as kanthal, super kanthal, and nichrome having durability against high temperature, but the present invention is not limited thereto, Materials can be used.

비발열부(225, 235, 245)는 열팽창에 따른 완충성을 확보하기 위해, 적어도 일부가 코일링되는 와이어 형태를 가지거나, 직선 형태를 가질 수 있다. 다만, 비발열부(225, 235, 245)의 전체를 코일링되도록 형성하면 축열(蓄熱)/응열에 의해 전류의 흐름이 저하되는 경우가 발생할 수 있으므로, 적어도 일부만 코일링되도록 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 비발열부(225, 235, 245)라고 해서 발열이 전혀 되지 않는 것은 아니며, 다만, 발열부(221, 231, 241)에 비해 발열량, 발열 표면적 등이 현저하게 낮아 열처리에 영향을 주는 바가 거의 없는 정도로 이해되어야 한다.The non-heat generating portions 225, 235, and 245 may have a wire shape in which at least a portion is coiled, or may have a linear shape, in order to secure a buffering property due to thermal expansion. However, if the entire non-heat generating portions 225, 235, and 245 are formed to be coiled, the current flow may be lowered due to heat storage (heat accumulation) / coercive heat. have. The non-heat generating portions 225, 235 and 245 do not cause heat generation at all. However, the heat generating portions 221, 231 and 241 have a significantly lower heat generation amount and exothermic surface area than the heat generating portions 221, 231 and 241, Should be understood.

발열부(221, 231, 241)와 비발열부(225, 235, 245)는 서로 다른 금속 재질로 형성될 수 있다. 발열부(221, 231, 241)는 발열성이 높아야 하고, 비발열부(225, 235, 245)는 전류가 잘 흐르도록 저항이 낮고 발열성이 낮아야 한다. 또한, 열팽창계수가 높으면 발열 도중에 발열부(221, 231, 241)/비발열부(225, 235, 245)의 팽창에 의해 히터(200)[또는, 히터라인(220, 230, 240)]가 파손될 수도 있다. 이를 고려하여, 비발열부(225, 235, 245)는 저항, 발열성, 열팽창계수가 낮은 니켈(Ni), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등의 여러 재질로 구성될 수 있다.The heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be formed of different metal materials. The heat generating portions 221, 231, and 241 must have high heat generating property, and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 should have low resistance and low heat generating property so that current flows well. If the thermal expansion coefficient is high, the heater 200 (or the heater lines 220, 230, and 240) is broken due to expansion of the heat generating portions 221, 231, and 241 / non-heat generating portions 225, 235, It is possible. In consideration of this, the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be made of various materials such as nickel (Ni), tungsten (W), and molybdenum (Mo) having low resistance, heat generation and thermal expansion coefficient.

한편, 발열부(221, 231, 241)와 비발열부(225, 235, 245)는 발열량의 차이에 대한 표현상의 차이일 뿐, 반드시 이종(異種)의 금속 재질이 아닌, 동일 재질로 형성될 수도 있다. 이 경우, 발열량에서 현저한 차이가 나타나도록 코일링/직선 형태, 와이어의 두께, 저항 등을 조절하여 발열부(221, 231, 241)와 비발열부(225, 235, 245)를 구분할 수 있다. 또한, 발열부(221, 231, 241)와 비발열부(225, 235, 245)는 히터라인(220, 230, 240) 상에서 연속적으로 연결될 수 있다.The heat generating portions 221, 231 and 241 and the non-heat generating portions 225 and 235 and 245 are different from each other only in terms of the difference in calorific value and may be formed of the same material have. In this case, the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 can be distinguished from each other by adjusting the coiling / straight line shape, the thickness and the resistance of the wire so as to show a significant difference in calorific value. The heat generating portions 221, 231 and 241 and the non-heat generating portions 225, 235 and 245 may be continuously connected on the heater lines 220, 230 and 240.

다시, 도 3의 (a) 및 (b)를 참조하면, 본 발명은 히터라인(220, 230, 240)들이 각각 다른 영역에 열을 발생하는 것을 특징으로 한다. 이런 의미에서, 히터라인(220, 230, 240)의 개수는 히터(200)가 다른 온도를 구성할 수 있는 복수의 영역(Z1, Z2, Z3)의 개수에 대응할 수 있다. 또한, 히터라인(220, 230, 240)들은 상이한 온도로 열을 발생시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 히터(200)는 멀티 존(multi-zone) 가열 히터로서 기능할 수 있다.3 (a) and 3 (b), the present invention is characterized in that the heater lines 220, 230, and 240 generate heat in different regions. In this sense, the number of the heater lines 220, 230, and 240 may correspond to the number of the plurality of regions Z1, Z2, and Z3 where the heater 200 can configure different temperatures. In addition, the heater lines 220, 230, and 240 can generate heat at different temperatures. Accordingly, the heater 200 of the present invention can function as a multi-zone heating heater.

영역(Z1, Z2, Z3)마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있도록, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 구성될 수 있다. 이 외에, 영역마다 개별적으로 온도를 제어할 수 있는 목적의 범위 내에서, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)는 형태, 크기, 두께, 저항, 재질, 발열량 등이 상이하게 구성될 수 있다.Each of the heater lines 220, 230 and 240 is connected to the heat generating portions 221, 231 and 241 and the non-heat generating portions 225, 235 and 245 so that the temperature can be individually controlled for each of the regions Z1, The positions can be configured differently. In addition, the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may have shapes, sizes, thicknesses, resistances, materials, calorific values And the like may be configured differently.

도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 본체(10)에는 복수의 히터(200)들이 삽입되고 챔버(15) 공간을 가열할 수 있다. 이때, 기판(5)이 챔버(15) 내에서 점유하는 영역(Z2)과 기판(5)이 점유하지 않는 영역(Z1, Z3)은 다른 온도로 가열될 수 있다. 즉, Z1, Z3 영역은 챔버(15)의 모서리 부분으로서, 외부로 열손실이 발생할 수 있으므로, Z2 영역과 균일하게 온도를 맞추기 위해서는 더 많은 열이 제공되어야 한다. 따라서, 히터(200)에서 Z1, Z3 영역에 대응하는 사이드 영역은, Z2 영역에 대응하는 중심 영역보다 히팅 온도가 높게 된다.As shown in FIG. 3 (b), a plurality of heaters 200 are inserted into the main body 10, and the space of the chamber 15 can be heated. At this time, the regions Z2 occupied by the substrate 5 in the chamber 15 and the regions Z1 and Z3 occupied by the substrate 5 can be heated to different temperatures. That is, since the regions Z1 and Z3 are the corner portions of the chamber 15, heat loss may occur to the outside, and thus more heat must be provided in order to uniformly adjust the temperature to the Z2 region. Therefore, the side regions corresponding to the regions Z1 and Z3 in the heater 200 have a higher heating temperature than the center regions corresponding to the region Z2.

Z1, Z3 영역에 열을 제공하는 히터라인(220, 240)의 발열부(221, 241)는 Z1, Z3 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 그리고, Z2 영역에 열을 제공하는 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 이렇게, 각각의 히터라인(220, 230, 240)은 가열하는 영역(Z1, Z2, Z3)에 대응하도록 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)의 위치가 상이하게 형성될 수 있다. 도 3에서는 3개의 영역(Z1, Z2, Z3)을 예시로 설명하나, 히터라인(220, 230, 240)들의 구성에 따라, 하나의 히터(200)로 다양한 개수의 영역들에 대해서 개별적으로 온도 제어가 가능하다.The heat generating portions 221 and 241 of the heater lines 220 and 240 providing heat in the regions Z1 and Z3 may be disposed at positions corresponding to the regions Z1 and Z3. The heat generating portion 231 of the heater line 230 for providing heat in the Z2 region may be disposed at a position corresponding to the Z2 region. The positions of the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 in the heater lines 220, 230 and 240 are different from each other in the heating regions Z1, . 3, the three zones Z1, Z2, and Z3 are exemplarily described. However, according to the configuration of the heater lines 220, 230, and 240, Control is possible.

한편, 종래의 히터(21)[도 2 참조]는 양측에 단자가 있으므로, 석영관(22) 내부에 발열체(24)만이 존재하고, 비발열체(25)는 히터(21)의 양측에서 발열체(24)와 단자 사이에 개재된다. 즉, 좌측 단자-비발열체(25)-발열체(24)-비발열체(25)-우측 단자와 같이 한 방향을 따라 배열될 수 있다. 이와 다르게, 본원의 히터(200)는 동일 측면에만 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)가 배치될 수 있다. 히터라인(220, 230, 240)은 단자(226, 236, 246)-비발열부(225, 235, 245)-발열부(221, 231, 241)-비발열부(225, 235, 245)-단자(227, 237, 247) 순으로 배열될 수 있다. 그리하여, 히터(200)의 한측에서 전류를 공급하고, 한측에서 히터(200)의 유지관리를 수행할 수 있다.Since the conventional heater 21 (see Fig. 2) has terminals on both sides thereof, only the heating body 24 exists in the quartz tube 22, and the non-heating body 25 is provided on both sides of the heater 21 24 and the terminal. That is, the left terminal-non-heating element 25, the heating element 24, the non-heating element 25, and the right terminal may be arranged along one direction. Alternatively, the heater 200 of the present invention may be provided with terminals 226, 227, 236, 237, 246, 247 only on the same side. The heater lines 220, 230 and 240 are connected to the terminals 226, 236 and 246, the non-heat generating portions 225, 235 and 245, the heat generating portions 221 and 231 and 241, (227, 237, 247). Thus, current can be supplied from one side of the heater 200, and maintenance of the heater 200 can be performed from one side.

각각의 히터라인(220, 230, 240)은 단락되지 않도록 서로 접촉되지 않는 것이 바람직하다. 후술할 히터(200)의 여러 실시예들은 각각의 히터라인(220, 230, 240)이 서로 접촉되지 않고 각기 다른 공간을 점유한 형태를 개시한다.It is preferable that the heater lines 220, 230, and 240 are not in contact with each other so as not to be short-circuited. Various embodiments of the heater 200 to be described later disclose a form in which each of the heater lines 220, 230, and 240 does not contact each other but occupies different spaces.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터(200: 200a)를 나타내는 도면이다. 도 4의 (a)는 히터(200a)의 길이 방향에 대한 수평 단면을 나타내고, 도 4의 (b)는 길이 방향에 대한 수직 단면을 나타낸다.4 is a view showing a heater 200 (200a) according to the first embodiment of the present invention. Fig. 4 (a) shows a horizontal section of the heater 200a in the longitudinal direction, and Fig. 4 (b) shows a vertical section of the heater 200a in the longitudinal direction.

도 4를 참조하면, 제1 실시예에 따른 히터(200: 200a)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다. 히터관이라는 표현을 사용했지만, 각각의 히터라인(220, 230, 240)을 지지하면서, 공간을 분리하는 역할을 한다면, 관 형태가 아닌 분리칸의 형태[도 5 참조]도 가능하다.Referring to FIG. 4, the heater 200 (200a) according to the first embodiment may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated. Although the expression "heater tube" is used, the shape of the separation chamber (see FIG. 5) is also possible as long as it serves to separate the spaces while supporting the respective heater lines 220, 230, and 240.

히터관(260, 270, 280)도 하우징(210)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)의 일단(도 4에서 좌측단) 및 타단(도 4에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heater tubes 260, 270, and 280 may be made of quartz or the like as the housing 210, and may have a long rod shape. One end (the left end in FIG. 4) and the other end (the right end in FIG. 4) of the heater pipes 260, 270, and 280 may be open. And an engaging means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to engage with the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 히터관(260, 270, 280)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 외주면 상에 배치될 수 있다.Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heater tubes 260, 270, The non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be disposed on the inner space or the outer peripheral surface of the heater tubes 260, 270, and 280, respectively.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)와 발열부(221)가 히터관(260)의 외주면 상에 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 외주면 상의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다. 히터관(260)은 외주면 상의 발열부(221)와 내측 공간의 비발열부(225)가 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있다.The non-heat generating portion 225 and the heat generating portion 221 start from the terminal 226 along the direction of one end (left end) of the housing 210 as an example of the heater line 220, And the left end of the heat generating part 221 and the left end of the non-heat generating part 225 can be integrally connected. The non-heat generating portion 225 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heat generating portion 225 on the outer circumferential surface of the heater tube 260, a heat generating portion 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260, (225) - terminal (227). The heater tube 260 can separate the space occupied by the heat generating portion 221 on the outer circumferential surface and the non-heat generating portion 225 of the inner space so as not to be short-circuited.

이 외에도, 히터관(260)에 관통공을 형성하여 비발열부(225)는 모두 내측 공간에만 배치되도록 할 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-히터관(260) 외주면 상의 발열부(221)[관통공을 통과하여 외주면 상으로 이어짐]-히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수도 있다.In addition, through holes may be formed in the heater tube 260 so that all the non-heat generating portions 225 may be disposed only in the inner space. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heating portion 225 in the inner space of the heater tube 260, a heating portion 221 on the outer circumferential surface of the heater tube 260 And a non-heating portion 225 and a terminal 227 in the inner space of the heater tube 260.

제1 실시예에서 히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 적어도 동일한 공간을 점유하도록, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 히터관(260)이 가장 큰 직경을 가지고 히터관(280)이 가장 작은 직경을 가지도록 형성될 수 있다. 히터관(260)의 내측 공간에 히터관(270, 280)이 배치되고, 히터관(270)의 내측 공간에 히터관(280)이 배치될 수 있다.In the first embodiment, the heater tubes 260, 270, and 280 may be formed coaxially so as to occupy at least the same space in the housing 210. That is, the heater tube 260 may have the largest diameter and the heater tube 280 may have the smallest diameter. The heater tubes 270 and 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 260 and the heater tube 280 may be disposed in the inner space of the heater tube 270.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 히터관(260)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 히터관(270)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 히터관(280)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 260 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heat generating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer peripheral surface of the heater tube 270 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 280 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

한편, 단자(226, 236, 246)에 단자(227, 237, 247) 사이에 전압이 가해짐에 따라 히터라인(220, 230, 240)에서 열을 발생할 수 있는데, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다.On the other hand, as a voltage is applied between the terminals 226, 236 and 246 to the terminals 227, 237 and 247, heat can be generated in the heater lines 220, 230 and 240, ) Functions as an output terminal, so that three terminals can be combined into one line for grounding.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 히터(200: 200b)를 나타내는 도면이다. 도 5의 (a)는 히터(200b)의 길이 방향에 대한 수평 단면을 나타내고, 도 5의 (b)는 길이 방향에 대한 수직 단면을 나타낸다. 도 5는 도 4와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이점에 대해서만 설명한다.5 is a view showing a heater 200 (200b) according to a second embodiment of the present invention. 5 (a) shows a horizontal section of the heater 200b in the longitudinal direction, and FIG. 5 (b) shows a vertical section of the heater 200b in the longitudinal direction. 5, description of the same components as those of FIG. 4 will be omitted, and only differences will be described.

도 5를 참조하면, 제2 실시예에 따른 히터(200: 200b)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 제2 실시예의 히터(200b)는 봉 형상이 아닌 길이 방향으로 연장되는 사각 판, 사각 기둥 형상을 가진다. 히터관(260, 270, 270)은 하우징(210) 내의 공간을 분리하는 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 5, the heater 200 200b according to the second embodiment may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater 200b of the second embodiment has a rectangular plate shape and a rectangular column shape extending in the longitudinal direction instead of the bar shape. The heater tubes 260, 270, and 270 may be in the form of a separation chamber for separating the space in the housing 210. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated.

제2 실시예에서 히터관(260, 270, 280)들은 사각 판, 사각 기둥 형상의 하우징(210) 내의 공간을 수평 방향으로 칸 형태로 분리할 수 있도록 한쌍의 분리칸 형태로 구성될 수 있다. 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 측단면 방향으로 6 공간으로 분리된 경우, 1, 6번째 공간은 히터라인(220)이, 2, 5번째 공간은 히터라인(230)이, 3, 4번째 공간은 히터라인(240)이 배치될 수 있다.In the second embodiment, the heater tubes 260, 270 and 280 may be configured as a pair of separation chambers so that the space in the rectangular plate-shaped housing 210 can be divided into a plurality of chambers in the horizontal direction. As shown in FIG. 5 (b), when the heater is separated into six spaces in the side surface direction, the heater line 220 is located in the first and sixth spaces, the heater line 230 is located in the second and fifth spaces, And the heater line 240 may be disposed in the fourth space.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heat generating portion 231 of the heater line 230 may be coiled at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

제2 실시예의 히터(200b)는 하우징(210) 내에 분리칸 형태로 히터관(260, 270, 280)을 형성하므로, 별도로 히터관(260, 270, 280)을 하우징(210) 내로 삽입하지 않아도 되며 제조 원가를 절감할 수 있는 이점이 있고, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.The heater 200b of the second embodiment forms the heater tubes 260, 270 and 280 in the form of a separation chamber in the housing 210 so that the heater tubes 260, 270 and 280 are not separately inserted into the housing 210 There is an advantage in that the manufacturing cost can be saved, and there is an advantage that the space separation between the heater lines 220, 230, 240 is clarified.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 히터(200: 200c)를 나타내는 도면이다. 도 6의 (a)는 히터(200c)의 길이 방향에 대한 수평 단면을 나타내고, 도 6의 (b)는 길이 방향에 대한 수직 단면을 나타낸다. 도 6은 도 4와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이점에 대해서만 설명한다.FIG. 6 is a view showing a heater 200 (200c) according to a third embodiment of the present invention. 6 (a) shows a horizontal section of the heater 200c with respect to the longitudinal direction, and Fig. 6 (b) shows a vertical section with respect to the longitudinal direction. 6, description of the same components as those in FIG. 4 will be omitted, and only differences will be described.

도 6을 참조하면, 제3 실시예에 따른 히터(200: 200c)는 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)을 포함할 수 있다. 히터관(260, 270, 280)은 히터라인(220, 230, 240)을 지지하고, 히터라인(220, 230, 240)들끼리 서로 접촉하지 않도록 공간을 분리하는 역할을 할 수 있다. 그리고, 발열부(221, 231, 241) 및 비발열부(225, 235, 245)가 위치하는 공간도 분리 할 수 있다.Referring to FIG. 6, the heater 200 200c according to the third embodiment may include a plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240. The heater tubes 260, 270 and 280 support the heater lines 220, 230 and 240 and can separate the spaces so that the heater lines 220, 230 and 240 are not in contact with each other. The space in which the heat generating portions 221, 231, and 241 and the non-heat generating portions 225, 235, and 245 are located can also be separated.

제3 실시예에서 히터관(260, 270, 280)들은 하우징(210) 내에서 별도의 공간을 점유하도록 배치될 수 있다. 즉, 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간은 상호 중첩되지 않는다. 히터관(260, 270, 280)의 직경은 동일하거나 상이하게 형성될 수 있다.In the third embodiment, the heater tubes 260, 270, and 280 may be arranged to occupy a separate space in the housing 210. That is, the inner spaces of the heater tubes 260, 270, and 280 do not overlap each other. The diameter of the heater tubes 260, 270, and 280 may be the same or different.

제3 실시예의 히터(200 c)는 하우징(210) 내에 히터관(260, 270, 280)들이 독립적인 공간을 점유하므로, 제조가 간단해지며, 히터라인(220, 230, 240)들간의 공간 분리가 명확히 되는 이점이 있다.The heater 200c of the third embodiment is simple in manufacturing because the heater tubes 260, 270 and 280 occupy independent spaces in the housing 210 and the space between the heater lines 220, 230 and 240 There is an advantage that the separation is clarified.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 히터(200: 200d)를 나타내는 도면이다. 도 7의 (a)는 히터(200d)의 길이 방향에 대한 수평 단면을 나타내고, 도 7의 (b)는 길이 방향에 대한 수직 단면을 나타낸다. 도 7은 도 6과 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이점에 대해서만 설명한다.7 is a view showing a heater 200 (200d) according to a fourth embodiment of the present invention. Fig. 7A shows a horizontal section of the heater 200d in the longitudinal direction, and Fig. 7B shows a vertical section of the heater 200d in the longitudinal direction. 7, description of the same components as those in Fig. 6 will be omitted, and only differences will be described.

도 7을 참조하면, 히터(200d)는 하우징(210)의 내부에 열전대관(290)이 더 배치될 수 있다. 또는, 히터관(260, 270, 280)의 내부에 열전대관(290)이 더 배치될 수도 있다. 열전대관(290)도 하우징(210)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 열전대관(290)은 폐쇄 캡(205)에 형성된 삽입홀(295)에 삽입 고정될 수 있다. 삽입홀(295)을 개재하여 열전대관(270)의 내부로 열전대(thermocouple; TC)가 외부로부터 삽입될 수 있다. 그리하여, 열전대(TC)의 손상없이 히터(200)의 내부를 출입하면서 온도를 측정할 수 있는 이점이 있다.Referring to FIG. 7, the heater 200d may further include a thermoelectric tube 290 inside the housing 210. FIG. Alternatively, a thermoelectric tube 290 may be further disposed inside the heater tubes 260, 270, and 280. The thermoelectric tube 290 may be made of quartz or the like in the same manner as the housing 210, and may be formed long as a whole. The thermoelectric tube 290 can be inserted and fixed into the insertion hole 295 formed in the closed cap 205. A thermocouple (TC) can be inserted from the outside into the thermoelectric tube 270 through the insertion hole 295. [ Thus, there is an advantage that the temperature can be measured while going in and out of the heater 200 without damaging the thermocouple TC.

도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 히터(200: 200e)를 나타내는 도면이다. 도 8의 (a)는 히터(200e)의 길이 방향에 대한 수평 단면을 나타내고, 도 8의 (b)는 길이 방향에 대한 수직 단면을 나타낸다. 도 8은 도 4와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이점에 대해서만 설명한다.8 is a view showing a heater 200 200e according to a fifth embodiment of the present invention. 8 (a) shows a horizontal section of the heater 200e in the longitudinal direction, and Fig. 8 (b) shows a vertical section of the heater 200e in the longitudinal direction. 8, description of the same components as those in Fig. 4 will be omitted, and only differences will be described.

도 8을 참조하면, 히터(200e)는 하우징(210)의 내부에 발열 히터관(250)이 배치될 수 있다. 그리고, 발열 히터관(250)의 내부에, 복수의 히터라인(220, 230, 240)에 대응하는 복수의 히터관(260, 270, 280)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 8, the heater 200e may include a heating heater tube 250 disposed inside the housing 210. Referring to FIG. A plurality of heater tubes 260, 270, and 280 corresponding to the plurality of heater lines 220, 230, and 240 may be disposed in the heating heater tube 250.

발열 히터관(250)도, 하우징(210), 히터관(260, 270, 280)과 동일하게 석영 등의 재질을 사용할 수 있고, 전체적으로 봉형으로 길게 형성될 수 있다. 발열 히터관(250)의 일단(도 8에서 좌측단) 및 타단(도 8에서 우측단)은 개방형으로 형성될 수 있다. 타단에는 폐쇄 캡(205)을 결합할 수 있도록 결합 홈 등의 결합 수단이 더 형성되어 있을 수 있다.The heating heater tube 250 may be made of quartz or the like as the housing 210 and the heater tubes 260, 270 and 280, and may be formed as a long rod. One end (the left end in FIG. 8) and the other end (the right end in FIG. 8) of the heater heater pipe 250 may be formed in an open shape. And an engaging means such as a coupling groove may be further formed at the other end so as to engage with the closing cap 205.

각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 각각의 발열부(221, 231, 241)는 발열 히터관(250)의 외주면의 각각의 영역(Z1, Z2, Z3) 상에 배치될 수 있다. 그리고 각각의 비발열부(225, 235, 245)는 히터관(260, 270, 280)의 내측 공간 또는 발열 히터관(250)의 내측 공간에 배치될 수 있다.Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250. Each of the heat generating portions 221, 231, and 241 may be disposed on each of the regions Z1, Z2, and Z3 on the outer peripheral surface of the heat generating heater tube 250. Each of the non-heat generating portions 225, 235, and 245 may be disposed in an inner space of the heater tubes 260, 270, 280 or an inner space of the heater tubes 250.

발열 히터관(250)에는 소정의 관통공(251, 253, 254, 255, 256)이 형성될 수 있다. 관통공(251, 253, 254, 255, 256)을 통해 각각의 히터 라인(220, 230, 240)이 발열 히터관(250)의 외주면 상에서 내측 공간으로, 내측 공간에서 외주면 상으로 이어질 수 있다.The heat generating heater tube 250 may be formed with predetermined through holes 251, 253, 254, 255, and 256. Each of the heater lines 220, 230 and 240 may extend from the inner space to the inner space on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 through the through holes 251, 253, 254, 255 and 256 on the outer circumferential surface.

히터라인(220)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(226)로부터 시작해서 비발열부(225)가 히터관(260)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(260)의 좌측단에서 관통공(251)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z1 영역에서 발열부(221)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(221)의 좌측단과 비발열부(225)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 비발열부(225)는 좌측단으로부터 단자(227)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(260)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(220)은, 단자(226)-히터관(260) 내측 공간 상의 비발열부(225)-관통공(251) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(221)-발열 히터관(250) 및 히터관(260) 내측 공간의 비발열부(225)-단자(227)로 구성될 수 있다.The non-heat generating portion 225 is disposed on the inner space of the heater tube 260 starting from the terminal 226 along the direction of one end (left end) of the housing 210, And may be connected to the outer circumferential surface of the heater tube 250 through the through hole 251 at the left end of the heater tube 260. The left end of the heat generating portion 221 and the left end of the non-heat generating portion 225 may be integrally connected to each other so that the heat generating portion 221 is coiled in the Z1 region on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250. The non-heat generating portion 225 may be disposed in the inner space of the heat generating heater tube 250 and the heater tube 260 along the direction of the terminal 227 from the left end. That is, the heater line 220 includes a terminal 226, a non-heat generating portion 225 on the inner space of the heater tube 260, a heat generating portion 221 on the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250 after passing through the through hole 251, And a non-heating portion 225 and a terminal 227 of the heater tube 250 and the inner space of the heater tube 260.

히터라인(230)을 예로 들면, 하우징(210)의 일단(좌측단)의 방향을 따라, 단자(223)로부터 시작해서 비발열부(235)가 히터관(270)의 내측 공간 상에 배치되고, 히터관(270)의 좌측단에서 관통공(253)을 통해 발열 히터관(250)의 외주면 상으로 연결될 수 있다. 발열 히터관(250)의 외주면 상의 Z2 영역에서 발열부(231)가 코일링되도록 배치되고, 발열부(231)의 좌측단과 비발열부(235)의 좌측단이 일체로 연결될 수 있다. 그리고, 발열부(231)의 좌측단에서 관통공(254)을 통해 발열 히터관(250) 내측 공간으로 연결되며, 비발열부(235)는 좌측단으로부터 단자(237)의 방향을 따라 발열 히터관(250), 히터관(270)의 내측 공간에 배치될 수 있다. 즉, 히터라인(230)은, 단자(236)-히터관(270) 내측 공간 상의 비발열부(235)-관통공(253) 통과 후 발열 히터관(250) 외주면 상의 발열부(231)-관통공(254) 통과 후 발열 히터관(250) 및 히터관(270) 내측 공간의 비발열부(235)-단자(237)로 구성될 수 있다.The non-heat generating portion 235 is arranged on the inner space of the heater tube 270 starting from the terminal 223 along the direction of one end (left end) of the housing 210, And may be connected to the outer circumferential surface of the heater tube 250 through the through hole 253 at the left end of the heater tube 270. The left end of the heat generating portion 231 and the left end of the non-heat generating portion 235 may be integrally connected. The non-heat generating portion 235 is connected from the left end of the heat generating portion 231 to the inner space of the heat generating heater tube 250 through the through hole 254, (250) and the heater tube (270). That is, the heater line 230 includes a heating portion 231 on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 after passing through the terminal 236, the non-heating portion 235 on the inner space of the heater tube 270, the through hole 253, And a non-heating portion 235-terminal 237 in the inner space of the heater tube 270 after passing through the hole 254.

단자(227, 237, 247)로 연결되는 비발열부(225, 235, 245)는 각각 다른 라인으로 구성될 수도 있으나, 단자(227, 237, 247)는 아웃풋 단자로 기능하므로, 3개의 단자를 하나의 라인으로 합쳐서 그라운딩(grounding) 시킬 수도 있다. 도 8에는 하나의 라인으로 그라운딩 시키는 형태가 예시되었다.The non-heat generating portions 225, 235 and 245 connected to the terminals 227, 237 and 247 may be constituted by different lines. However, since the terminals 227, 237 and 247 function as output terminals, And grounding may be performed. In Fig. 8, a form of grounding with one line is illustrated.

히터관(260, 270, 280)은 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 각각이 점유하는 공간을 분리할 수 있고, 발열 히터관(250)의 영역 경계(Z1과 Z2의 경계, Z2와 Z3의 경계)에는 절연을 위해 절연막(미도시)이 더 형성될 수도 있다.The heater tubes 260, 270 and 280 can separate the spaces occupied by the heater lines 220, 230 and 240 so that they are not short-circuited. The boundary between the zone boundaries Z1 and Z2, Z2 and Z3) may be further formed with an insulating film (not shown) for insulation.

제5 실시예에서 히터관(260, 270, 280)들은 발열 히터관(250) 내에서 각각 독립적인 공간을 점유할 수 있으나, 히터 라인(220, 230, 240)들이 단락되지 않도록 하는 범위 내에서라면, 동축(coaxial)을 가지며 형성될 수 있다.In the fifth embodiment, the heater tubes 260, 270, and 280 may occupy independent spaces in the heating heater tube 250, but the heater tubes 260, It can be formed with coaxial.

히터라인(220)의 발열부(221)는 Z1 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되는 와이어 형태를 가질 수 있다. 그리하여, Z1 영역에서 가열되어 열을 발생할 수 있다. 마찬가지로, 히터라인(230)의 발열부(231)는 Z2 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z2 영역에서 열을 발생할 수 있다. 히터라인(240)의 발열부(241)는 Z3 영역에 대응하는 위치에서 발열 히터관(250)의 외주면 상에 코일링되어 Z3 영역에서 열을 발생할 수 있다.The heating portion 221 of the heater line 220 may have a wire shape coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z1 region. Thus, heat can be generated in the Z1 region by heating. Similarly, the heating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z2 region to generate heat in the Z2 region. The heating portion 241 of the heater line 240 may be coiled on the outer circumferential surface of the heating heater tube 250 at a position corresponding to the Z3 region to generate heat in the Z3 region.

한편, 도 9에서 후술하는, 코일링 홈(CG) 및 나사산(ST)은 도 8의 발열 히터관(250)의 외주면 상에도 동일하게 적용할 수 있다.The coil ring groove CG and the thread ST to be described later with reference to FIG. 9 can be equally applied to the outer circumferential surface of the heat generating heater tube 250 of FIG.

도 9는 본 발명의 제6 실시예에 따른 히터(200: 200f)를 나타내는 도면이다.FIG. 9 is a view showing a heater 200 (200f) according to a sixth embodiment of the present invention.

발열부(221, 231, 241)가 동일한 코일링 형태 및 와이어 형태를 가지는 경우에, 각 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)마다 동일한 값의 전원을 인가하면 발열부(221, 231, 241)에서는 동일한 열이 발생될 수 있다. 단, 도 3의 (b)에서 상술한 바와 같이, 챔버(15)의 모서리 부분인 Z1, Z3 영역은 외부의 열손실을 고려하여 더 많은 열을 발생시켜야 한다. Z1, Z3 영역에 대응하는 발열부(221, 241)에 발열부(231)보다 더 큰 값의 전원을 인가할 수도 있으나, 상이한 전원을 인가하기 위한 전력 인가 장치들이 더 구비되어야 하는 번거로움이 있다. 따라서, 제6 실시예의 히터(200f)는 각 단자(226, 227, 236, 237, 246, 247)마다 동일한 값의 전원을 인가하여도 영역(Z1, Z2, Z3) 별로 다른 세기의 열이 발생되는 실시예를 제안한다.If the same value of power is applied to each of the terminals 226, 227, 236, 237, 246 and 247 in the case where the heat generating portions 221, 231 and 241 have the same coil ring shape and wire shape, 231, and 241, the same heat may be generated. However, as described above with reference to FIG. 3 (b), the regions Z1 and Z3, which are the corner portions of the chamber 15, must generate more heat in consideration of external heat loss. It is possible to apply a power source having a larger value than that of the heat generating unit 231 to the heat generating units 221 and 241 corresponding to the areas Z1 and Z3 but it is troublesome to further include power applying units for applying different power sources . Therefore, even if a power source having the same value is applied to each of the terminals 226, 227, 236, 237, 246, and 247, the heater 200f of the sixth embodiment generates heat of different intensity for each of the regions Z1, And the like.

도 9를 참조하면, 발열 히터관(250)[도 8의 실시예의 경우] 또는 일부의 히터관(260, 280)[도 8의 실시예의 경우]의 외주면 상에 코일링 홈(CG)이 형성될 수 있다. 히터관(260, 280)의 외주면 상에 나사산(ST)을 더 형성함에 따라 나타나는 요홈을 코일링 홈(CG)으로 이용할 수 있다.9, a coil ring groove CG is formed on the outer circumferential surface of the heater tube 250 (in the embodiment of FIG. 8) or a part of the heater tubes 260 and 280 (in the embodiment of FIG. 8) . The groove formed by further forming the thread ST on the outer circumferential surface of the heater pipes 260 and 280 can be used as the coil ring groove CG.

히터라인(220, 240)의 발열부(221, 241)는 코일링 홈(CG)을 따라 히터관(260, 280)의 외주면 상에 배치될 수 있다. 이와 동시에, 코일링 홈(CG)을 따라가며 발열부(221, 241)가 코일링 될 수 있다. 요홈이 형성되므로 발열부(221, 241)는 코일링 홈(CG)에 안정적으로 수용된 상태로 1차 코일링 되면서 코일링 홈(CG)을 따라 2차 코일링 될 수 있다. 히터라인(230)의 발열부(231)는 히터관(270)의 외주면 상에서 코일링 될 수 있다.The heating portions 221 and 241 of the heater lines 220 and 240 may be disposed on the outer circumferential surfaces of the heater tubes 260 and 280 along the coil ring grooves CG. At the same time, the heat generating portions 221 and 241 can be coiled along the coil ring grooves CG. Since the recesses are formed, the heat generating portions 221 and 241 can be primarily coiled while being stably accommodated in the coil ring groove CG, and can be secondarily coiled along the coil ring groove CG. The heating portion 231 of the heater line 230 may be coiled on the outer circumferential surface of the heater tube 270.

코일링 홈(CG)의 제1 코일링 반경값(R1)보다 발열부(221, 241)의 제2 코일링 반경값(R2)이 작기 때문에, 실질적으로 발열부(221, 241)는 이중으로 코일링 된 것과 마찬가지의 효과를 나타낸다. 즉, 도 4에 도시된 히터관(260, 280)의 외주면 상에서 코일링 된 발열부(221, 241)(1중 코일링)와 비교하면, 도 9의 발열부(221, 241)(2중 코일링)의 표면적이 더 큰 값을 가진다. 따라서, 발열부(221, 241)가 더 많은 열을 발생시킬 수 있는 이점이 있다.Since the second coil ring radius value R2 of the heat generating portions 221 and 241 is smaller than the first coil ring radius value R1 of the coil ring groove CG, the heat generating portions 221 and 241 are substantially double The same effect as that of being coiled is exhibited. That is, as compared with the heat generating portions 221 and 241 (single coil rings) coiled on the outer circumferential surface of the heater tubes 260 and 280 shown in FIG. 4, the heat generating portions 221 and 241 Coil ring) has a larger surface area. Therefore, there is an advantage that the heat generating portions 221 and 241 can generate more heat.

코일링 홈(CG)의 발열부(221, 241)의 와이어 두께는, 발열부(231)의 와이어 두께보다 적은 값을 가질 수 있다. 그리하여 코일링 홈(CG)을 따라 2중으로 코일링 되기 용이하게 되고, 표면적을 더 크게 할 수 있다.The wire thickness of the heat generating portions 221 and 241 of the coil ring groove CG may be smaller than the wire thickness of the heat generating portion 231. [ Thus, it becomes easy to double coiled along the coil ring groove CG, and the surface area can be made larger.

도 10 내지 도 12는 본 발명의 여러 실시예에 따른 히터(200)가 적용된 열처리 장치를 나타내는 도면이다. 이하에서는, 도 3 내지 도 9의 히터(200)를 배치식 열처리 장치(1)의 삽입 튜브(20)에 삽입한 형태를 상정하여 설명한다.10 to 12 are views showing a heat treatment apparatus to which a heater 200 according to various embodiments of the present invention is applied. Hereinafter, a description will be given on the assumption that the heater 200 of FIGS. 3 to 9 is inserted into the insertion tube 20 of the batch type heat treatment apparatus 1. FIG.

도 10을 참조하면, 삽입 튜브(20)의 일단(22) 및 타단(23)은 개방된 상태이다. 즉, 삽입 튜브(20)는 챔버(15) 공간에 배치되고, 본체(10)의 양측을 관통하도록 배치될 수 있다. 삽입 튜브(20)는 내부는 비어 있고, 히터(200)가 삽입 튜브(20) 내부의 빈 공간에 삽입될 수 있다. 히터(200)의 직경[하우징(210)의 직경]보다 삽입 튜브(20)의 내경이 동일 또는 크게 형성되어야 함은 물론이다. 히터(200)는 삽입 튜브(20)의 일단(22)으로부터, 또는 타단(23)으로부터 삽입될 수 있지만, 추후에 히터(200)의 유지 관리를 위한 접근, 접근을 위한 설비의 공간 확보 효율성을 고려하면, 한 부분에서만 일률적으로 히터(200)를 삽입 설치하는 것이 바람직하다.Referring to Fig. 10, one end 22 and the other end 23 of the insertion tube 20 are in the open state. That is, the insertion tube 20 is disposed in the space of the chamber 15 and can be arranged to pass through both sides of the body 10. The inside of the insertion tube 20 is empty and the heater 200 can be inserted into the empty space inside the insertion tube 20. [ It is needless to say that the inner diameter of the insertion tube 20 should be the same or larger than the diameter of the heater 200 (the diameter of the housing 210). The heater 200 can be inserted from the one end 22 of the insertion tube 20 or from the other end 23 but the space saving efficiency of the facility for approaching and approaching the maintenance of the heater 200 It is preferable that the heater 200 is inserted uniformly in only one portion.

도 1을 참조하면, 본체(10)의 측면에 설치되는 히터만 50개에 이른다. 이 경우, 종래의 히터(21)는 50개의 히터를 삽입 튜브(20)에 삽입하고, 각각의 히터(21)마다 양단에 커넥터(26)를 결합하여 히터(21)를 설치하였으나, 본 발명의 히터(200)는 각각의 히터(200)마다 일측에서만 폐쇄 캡(205)을 결합하여 히터(200)를 설치할 수 있으므로, 히터(200)의 조립 시간이 거의 절반으로 줄어들 수 있다. 이는 유지 관리를 행함에 있어서도 마찬가지이다.Referring to FIG. 1, only 50 heaters are provided on the side surface of the main body 10. In this case, the conventional heater 21 is provided with the heater 21 by inserting 50 heaters into the insertion tube 20 and connecting the connectors 26 to both ends of each heater 21. However, Since the heater 200 can be installed by connecting the closing cap 205 to only one side of each heater 200, the assembling time of the heater 200 can be reduced to almost half. This is the same when maintenance is performed.

도 11 및 도 12에서는 도 10과의 차이점만 설명한다.11 and 12, only differences from Fig. 10 will be described.

도 11을 참조하면, 삽입 튜브(20)의 일단(22')은 폐쇄된 형태이고, 타단(23)만이 관통되어 개방된 형태일 수 있다. 즉, 일단(22')은 본체(10)의 벽으로 막혀 있는 형태일 수 있다. 히터(200)는 삽입 튜브(200)의 타단(23)으로만 삽입될 수 있고, 히터(200)의 유지 관리를 위한 접근도 타단(23)을 통해서 가능하다. 또한, 히터(200)를 삽입 튜브(20) 내의 일단(22')까지 밀어넣고 폐쇄 캡(205)을 결합하는 과정으로, 히터(200)가 본체(10)에서 정렬을 이루며 설치될 수 있는 이점이 있다.Referring to FIG. 11, one end 22 'of the insertion tube 20 is closed and only the other end 23 is open to penetrate. That is, one end 22 'may be in the form of being clogged with the wall of the body 10. The heater 200 can be inserted only into the other end 23 of the insertion tube 200 and the approach for maintenance of the heater 200 is possible through the other end 23. The heater 200 can be installed in the main body 10 in an aligned manner by the process of pushing the heater 200 to the one end 22 'of the insertion tube 20 and engaging the closed cap 205. .

도 12를 참조하면, 삽입 튜브(20)의 형태는 도 11과 동일하게 일단(22')은 폐쇄된 형태이고, 타단(23)만이 관통되어 개방된 형태일 수 있다. 히터(200)는 하우징(210')의 일단(좌측단)이 개방형으로 형성된 히터(200')를 사용할 수 있다. 하우징(210')의 일단이 개방되어 있더라도, 삽입 튜브(20)의 일단(22')이 폐쇄되어 있으므로, 히터(200')의 내부 구성을 커버하는 역할을 할 수 있다.12, the shape of the insertion tube 20 may be a shape in which one end 22 'is closed and only the other end 23 is opened to open, as in FIG. The heater 200 may be a heater 200 'having one end (left end) of the housing 210' formed in an open shape. Even if one end of the housing 210 'is opened, since the one end 22' of the insertion tube 20 is closed, it can cover the internal structure of the heater 200 '.

위와 같이, 본 발명은 하나의 히터(200)에서 복수의 영역(Z1~Z3)을 다른 온도로 제어할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 보다 적은 개수의 히터(200)로 기판(5)의 균일한 열처리를 구현할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has an effect that one heater (200) can control a plurality of regions (Z1 to Z3) at different temperatures. In addition, the present invention has the effect of realizing a uniform heat treatment of the substrate 5 with a smaller number of heaters 200.

또한, 본 발명은 본체의 한면에서만 히터를 설치하여 장치의 제조 시간을 대폭 감소시키고, 본체의 한면에서 히터의 수리, 교체 등을 수행하므로, 유지관리의 시간을 대폭 감소시키며, 전체 설비의 크기를 감축시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, since the heater is installed only on one side of the main body to greatly reduce the manufacturing time of the apparatus, and the repair or replacement of the heater is performed on one side of the main body, the maintenance time is greatly reduced, There is an effect that can be reduced.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken in conjunction with the present invention. Variations and changes are possible. Such variations and modifications are to be considered as falling within the scope of the invention and the appended claims.

1: 배치식 열처리 장치
10: 본체
11: 도어
15: 챔버
20: 삽입 튜브
200, 200a~200e: 히터
205: 폐쇄 캡(커넥터)
210: 하우징
220, 230, 240: 히터라인
221, 231, 241: 발열부
225, 235, 245: 비발열부
226, 227, 236, 237, 246, 247: (인풋/아웃풋) 단자
250: 발열 히터관
260, 270, 280: 히터관
290: 열전대관
CG: 코일링 홈
ST: 나사산
TC: 열전대(thermocouple)
Z1~Z3: 가열 영역1: batch type heat treatment device
10: Body
11: Door
15: chamber
20: Insertion tube
200, 200a to 200e: heater
205: Closed cap (connector)
210: Housing
220, 230, 240: heater line
221, 231, and 241:
225, 235, and 245:
226, 227, 236, 237, 246, 247: (input / output) terminal
250: Heating heater tube
260, 270, 280: heater pipe
290:
CG: Coil ring groove
ST: Threaded
TC: thermocouple
Z1 to Z3: heating zone

Claims

A heater applicable to a heat treatment apparatus capable of heat treating a substrate,
The heater
And a plurality of heater lines including a heating portion and a non-heating portion,
Wherein the positions of the heat generating portion and the non-heat generating portion are different from each other in the heater line.

The method according to claim 1,
And the terminals of the plurality of heater lines are disposed on the same side.

The method according to claim 1,
The heater
housing; And
And a plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines.

The method according to claim 1,
The heater
housing;
A plurality of heater tubes corresponding to each of the plurality of heater lines; And
And a plurality of heater tubes disposed in the inner space.

The method of claim 3,
In each of the heater lines, the heating portion and the non-heating portion are continuously connected,
Wherein the heat generating portion is disposed on an outer circumferential surface of the corresponding heater tube, and the non-heat generating portion is disposed in an inner space of the corresponding heater tube.

5. The method of claim 4,
In each of the heater lines, the heating portion and the non-heating portion are continuously connected,
Wherein the heat generating portion is disposed on an outer peripheral surface of the heat generating heater tube.

The method according to claim 3 or 4,
Wherein one end of the housing is closed or open, and the other end of the housing is open.

The method of claim 3,
Said plurality of heater tubes having a coaxial.

The method according to claim 3 or 4,
Wherein the plurality of heater tubes occupy a separate space in the housing.

The method of claim 3,
And a coil ring groove is formed on an outer circumferential surface of at least a part of the heater tube.

11. The method of claim 10,
And the heat generating portion is disposed on an outer peripheral surface of the heater tube along the coil ring groove.

5. The method of claim 4,
And a coil ring groove is formed on at least a part of the outer circumferential surface of the heat generating heater tube.

5. The method of claim 4,
And a through hole is formed on an outer peripheral surface of the heat generating heater tube.

The method according to claim 1,
Wherein a part of the plurality of heater lines is located in a center region of the heater, and the remaining portion is located in a side region of the heater.

15. The method of claim 14,
Wherein a heating temperature of the center region is lower than a heating temperature of the side region.

The method according to claim 3 or 4,
Further comprising a thermocouple disposed within the housing and into which a thermocouple can be inserted.