KR20190028327A - 인산 내에서 규소 종을 검출하기 위한 자동화된 시스템 - Google Patents

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파트릭 설리반
다니엘 알. 위더린
브래드 프루카
제이알. 데릭 씨. 퀄스
재 석 이
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Abstract

분석을 위해서 원격 샘플 내에 존재하는 규소 종의 종분화를 제공하는 시스템 및 방법이 설명된다. 방법 실시예는, 비제한적으로, 유체 이송 라인을 통해서 원격 샘플링 시스템으로부터, 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계; 유체 샘플을 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템에 이송하는 단계; 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템을 통해서 결합 규소로부터 무기 규소를 분리하는 단계; 분리된 무기 규소 및 결합 규소를 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템과 유체 연통되는 규소 검출기에 이송하는 단계; 및 규소 검출기를 통해서 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하는 단계를 포함한다.

Description

인산 내에서 규소 종을 검출하기 위한 자동화된 시스템{AUTOMATED SYSTEM FOR DETECTION OF SILICON SPECIES IN PHOSPHORIC ACID}
관련 출원에 대한 상호 참조
본원은 2017년 9월 8일자로 출원되고 명칭이 "인산 내에서 규소 종을 검출하기 위한 자동화된 시스템"인 미국 가출원 제62/556,081호 및 2018년 8월 23일자로 출원되고 명칭이 "인산 내에서 규소 종을 검출하기 위한 자동화된 시스템"인 미국 특허출원 제62/721,962호의 35 U.S.C. § 119(e)의 이익 향유를 주장한다. 미국 가출원 제62/556,081호 및 제62/721,962호는 그 전체가 본원에서 참조로 포함된다.
많은 실험실 환경에서, 한번에 많은 수의 화학적 또는 생물학적 샘플을 분석할 필요가 종종 있다. 그러한 프로세스를 간소화하기 위해서, 샘플의 조작이 기계화되었다. 그러한 기계화된 샘플링은 자동 샘플링으로 지칭될 수 있고 자동화된 샘플링 장치, 또는 자동 샘플러를 이용하여 실시될 수 있다.
유도 결합 플라즈마(ICP) 분광분석은 액체 샘플 내의 미량 원소(trace element) 농도 및 동위원소 비율(isotope ratio)을 결정하기 위해서 일반적으로 이용되는 분석 기술이다. ICP 분광분석은, 약 7,000 K의 온도에 달하는, 전자기적으로 생성된 부분적으로 이온화된 아르곤 플라즈마를 이용한다. 샘플이 플라즈마로 도입될 때, 고온은 샘플 원자가 이온화되게 하거나 광을 방출하게 한다. 각각의 화학 원소가 특징적인 질량 또는 방출 스펙트럼을 생성하기 때문에, 방출된 질량 또는 광의 스펙트럼을 측정하는 것은 원래의 샘플의 원소 조성의 결정을 가능하게 한다.
분석을 위해서 액체 샘플을 ICP 분광분석 기구(예를 들어, 유도 결합 플라즈마 질량 분광계(ICP/ICP-MS), 또는 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계(ICP-AES) 등), 또는 다른 샘플 검출기나 분석 기구 내로 도입하기 위해서, 샘플 도입 시스템이 이용될 수 있다. 예를 들어, 샘플 도입 시스템이 액체 샘플의 부분 표본(aliquot)을 컨테이너로부터 인출할 수 있고 그 이후에 부분 표면을 분무기(nebulizer)로 운송할 수 있으며, 그러한 분무기는 부분 표본을 ICP 분광분석 기구에 의한 플라즈마 내의 이온화에 적합한 다분산 에어로졸(polydisperse aerosol)로 변환한다. 이어서, 에어로졸을 분무 챔버 내에서 분류하여 큰 에어로졸 입자를 제거한다. 분무 챔버를 떠날 때, 에어로졸은, 분석을 위해서 ICP-MS 또는 ICP-AES 기구의 플라즈마 토치 조립체에 의해서 플라즈마 내로 도입된다.
분석을 위해서 원격 샘플 내에 존재하는 규소 종의 종분화를 제공하기 위한 시스템 및 방법이 설명된다. 방법 실시예는, 비제한적으로, 유체 전달 라인을 통해서 원격 샘플링 시스템으로부터, 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계; 유체 샘플을 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템에 전달하는 단계; 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템을 통해서 결합 규소로부터 무기 규소를 분리하는 단계; 분리된 무기 규소 및 결합 규소를 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템과 유체 연통되는 규소 검출기에 전달하는 단계; 및 규소 검출기를 통해서 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하는 단계를 포함한다.
이러한 "발명의 내용"은 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용"에서 추가적으로 후술되는 단순화된 형태의 개념의 선택을 도입하기 위해서 제공된 것이다. 이러한 "발명의 내용"은 청구된 청구 대상의 중요 특징 또는 본질적 특징을 식별하도록 의도된 것이 아니고, 청구된 청구 대상의 범위를 결정하는데 도움을 주기 위한 것으로 이용되도록 의도된 것도 아니다.
첨부 도면을 참조하여 상세한 설명을 설명한다. 첨부 도면에 포함된 모든 치수는 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용을 제한하기 위한 것은 아니다.
도 1a는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 장거리에 걸쳐 이송되는 샘플을 분석하도록 구성된 시스템을 도시한 부분적 선도이다.
도 1b 및 도 1c는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른 원격 샘플의 분석을 위한 규소 종분화(speciation) 시스템의 주변도(environmental view)를 제공한다.
도 1d는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템의 주변도이다.
도 1e는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템의 주변도이다.
도 1f는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템의 주변도이다.
도 1g는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템의 주변도이다.
도 1h는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템에 의해서 준비된 액체 샘플의 분석에 대한 세기 대 시간의 차트이다.
도 1i는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템에 의해서 준비된 액체 샘플의 분석에 대한 세기 대 시간의 차트이다.
도 1j는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템에 의해서 준비된 액체 샘플의 분석에 대한 세기 대 시간의 차트이다.
도 1k는 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템에 의해서 준비된 액체 샘플의 분석에 대한 세기 대 시간의 차트이다.
도 1l은 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종분화 시스템에 의해서 준비된 액체 샘플의 분석에 대한 세기 대 시간의 차트이다.
도 1m은 본 개시내용의 실시예에 따른 규소 종 농도의 분석에 응답하여 하나 이상의 에칭 프로세스를 제어하기 위한 제어 시스템의 주변도이다.
도 1n 및 도 1o는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른 원격 샘플의 분석을 위한 규소 종분화 시스템의 주변도를 제공한다.
도 2a는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 원격 샘플링 시스템에서 이용되는 원격 샘플링 장치를 도시하는 주변도이다.
도 2b는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 원격 샘플링 시스템에서 이용되는 원격 샘플링 장치를 도시하는 주변도이다.
도 3a는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 분석 시스템에서 이용되는 분석 장치를 도시하는 주변도이다.
도 3b는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 분석 시스템에서 이용되는 분석 장치를 도시하는 주변도이다.
도 4는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 장거리에 걸쳐 이송되는 샘플을 분석하도록 구성된 시스템 내의 분석 시스템을 도시한 부분적 선도이다.
도 5는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 도 4에 도시된 분석 시스템 내에서 이용될 수 있는 검출기를 도시한 부분적 선도이다.
도 6은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 원격 샘플링 시스템으로부터 수용된 샘플을 분석하기 위한 복수의 분석 장치를 가지는 분석 시스템을 도시한 주변도이다.
도 7은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 샘플 수용 라인, 및 샘플 수용 라인이 검출기들 사이에서 연속적인 액체 단편을 포함하는 때를 결정하도록 구성된 검출기를 포함하는 시스템의 개략도이다.
도 8은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 원격 샘플링 시스템에 의해서 획득된 다수의 샘플의 단편을 포함하는 샘플 전달 라인의 부분적 횡단면이다.
도 9는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 샘플 수용 라인에 제공되고 2개의 검출기에 의해서 등록된 다수의 액체 샘플 단편들을 도시한 연대표(timeline)이다.
도 10은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 샘플 수용 라인이 검출기들 사이에서 연속적인 액체 단편을 포함하는 때를 결정하기 위한 방법을 도시한 흐름도이다.
도 11은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 화학물질 검출 한계를 기초로 프로세스 동작을 모니터링하고 제어하기 위한 제어 시스템의 프로세스 흐름도이다.
도 12는 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 복수의 원격 샘플링 시스템을 포함하는 프로세싱 시설의 개략도이다.
도 13은 본 개시내용의 예시적인 실시예에 따른, 수동 샘플링을 나타내는 데이터 지점 및 자동 시스템으로 획득된 데이터 지점과 함께, 시간에 걸친 화학물질 욕(chemical bath)의 금속 오염을 도시한 차트이다.
샘플 내의 미량 원소의 농도 또는 양을 결정하는 것은 샘플의 순도의 표시, 또는 시약, 반응 성분 등으로서의 샘플의 이용 가능성을 제공할 수 있다. 예를 들어, 특정 생산 또는 제조 프로세스(예를 들어, 광산, 야금, 반도체 제조, 의약 프로세싱 등)에서, 불순물에 대한 공차 또는 특히 바람직한 화학물질의 존재가, 예를 들어 십억분의 1의 분률 정도로, 매우 엄격할 수 있다. 반도체 제조를 위해서, 특정 식각 기술을 이용하여, 예를 들어 규소 질화물 또는 규소 산화물 층의 에칭에 의해서, 정밀하게 제어하면서 반도체 웨이퍼의 층을 화학적으로 제거할 수 있다. 예를 들어, 질화물 반도체 웨이퍼에 있어서, 다른 구성요소 또는 층을 손상하지 않으면서, 고선택비 질화물(HSN) 에칭제로 질화물 막을 정밀하게 식각할 수 있다. 그러한 식각은 고온 인산(예를 들어, 약 150 ℃ 내지 약 180 ℃의 온도를 가지는 인산(H3PO4))을 이용하는 습식 식각 프로세스에 의해서 촉진될 수 있고, 식각율은 고온 인산 내의 규소의 농도에 의존한다. 3-차원적인 메모리 장치(3-D NAND)의 생산이 HSN 에칭제로 규소 질화물 층을 선택적으로 에칭하는 것을 포함할 수 있고, 물리적 에칭 지역이 일반적으로 너무 작아서 에칭 중에 광학적으로 측정할 수 없고, 그에 따라 에칭은 시간 기반에 따라 실시된다. 규소 질화물의 식각율은 인산 내에 존재하는 규소의 농도에 따라 달라지고, 따라서 에칭 프로세스의 타이밍 제어는, 그에 따라, 인산 내의 규소의 양의 정밀한 제어에 정확하게 의존할 수 있다. 인산 내의 너무 많은 규소는 식각율이 상당히 낮아지거나 본질적으로 중단되게 할 수 있는 반면, 인산 내의 너무 적은 규소는 식각율이 너무 높아지게 하여, 제조되는 장치를 손상시킬 수 있다. 또한, 고온 인산 내의 규소의 농도가 시간에 걸쳐 변화될 수 있는데, 이는 식각 프로세스 자체가 인산 욕(bath)에 규소를 부가하고, 그에 의해서 규소 농도를 변화시키기 때문이다.
인산 내에 존재하는 총 규소의 농도는, 존재하는 모든 무기 및 유기 규소 종과 같은, 인산 내에 존재하는 규소 종의 각각의 합계의 존재에 관한 표시를 제공한다. 그러나, 에칭 프로세스의 정밀 제어는 하나 이상의 개별적인 규소 종의 정확한 농도(예를 들어, 무기 규소 농도), 다른 것에 대한 하나의 종의 비율(예를 들어, 무기 규소 대 하나 이상의 폴리실록산 농도의 비율), 또는 기타, 또는 그 범위 또는 그 조합에 따라 달라질 수 있다. 또한, HSN 에칭제의 유효 수명은 하나 이상의 개별적인 규소 종의 정확한 농도(예를 들어, 무기 규소 농도), 다른 것에 대한 하나의 종의 비율(예를 들어, 무기 규소 대 하나 이상의 폴리실록산 농도의 비율), 또는 기타, 또는 그 범위 또는 그 조합에 따라 달라질 수 있다. 또한, ICP 기구(예를 들어, ICP-MS)에 의해서 측정된 인산 내에 존재하는 무기 규소 종의 분해능(resolution)은 무기 규소 종의 분해능보다 실질적으로 낮을 수 있다. 따라서, 존재하는 규소의 총 농도의 측정은, 무기 규소 종의 농도가 변화되었는지의 여부, 특히 유기 규소 종의 농도가 변화된 곳에 관한 명확한 표시를 제공하지 못할 수 있는데, 이는 무기 규소 종 농도의 비교적 큰 변화 조차도 비교적 많은 양의 유기 규소 종에 의해서 감춰질 수 있기 때문이다.
따라서, 본 개시내용은 인산 내에 존재하는 규소의 자동화된 인라인 종분화를 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 예시적인 시스템은, ICP-MS 시스템과 같은, 유도 결합 플라즈마(ICP) 분석 시스템에 의한 후속 분석을 위해서 인산 샘플 내에 존재하는 규소의 종을 분리하기 위해서, 밸브 조립체 및 하나 이상의 컬럼(column)을 이용한다. 샘플은 (예를 들어, 원격 샘플링 시스템의 일부로서의) 원격 샘플 장소에서, 원격 샘플링 시스템으로부터 원격 배치된 분석 시스템에서(예를 들어, 원격 샘플을 수용하는 ICP-MS 시스템을 갖는 분석 시스템에서), 또는 그 조합에서 종분화될 수 있다.
예시적인 구현예
일반적으로 도 1a 내지 도 13을 참조하여, 장거리에 걸쳐 이송되는 샘플을 분석하도록 구성된 예시적인 시스템을 설명한다. 예시적인 실시예에서, 샘플은 인산을 포함하고, 원격 샘플링 시스템과 원격 샘플링 시스템으로부터 원격지에 배치된 분석 시스템 사이의 거리에 걸친 운송 이전에, 이후에, 또는 이전 및 이후 모두에, 규소 종분화 시스템에 도입된다. 시스템(100)은 제1 위치에서 분석 시스템(102)을 포함한다. 시스템(100)은 또한 제1 위치로부터 이격된 제2 위치에서 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104)은, 분석 시스템(102)으로 분석하고자 하는 화학물질의 공급원에, 예를 들어, 화학물질 저장 탱크, 화학물질 처리 탱크(예를 들어, 화학물질 욕), 화학물질 이송 라인 또는 파이프, 또는 기타(예를 들어, 제2 위치)에 근접 배치될 수 있고, 분석 시스템(102)은, 생산 시설(예를 들어, 제1 위치)을 위한 분석 허브와 같은, 원격 샘플링 시스템(들)(104)으로부터 원격에 배치될 수 있다. 시스템(100)은 또한 제3 위치, 제4 위치, 등에서 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(들)(104)을 포함할 수 있고, 제3 위치 및/또는 제4 위치가 제1 위치로부터 이격된다. 구현예에서, 원격 샘플링 시스템(104)의 제3 위치, 제4 위치, 및 다른 위치는 다른 원격 샘플링 시스템(104)의 각각의 다른 위치로부터 원격일 수 있다. 예를 들어, 하나의 원격 샘플링 시스템(104)이 물 라인(예를 들어, 탈이온수 이송 라인)에 배치될 수 있는 반면, 하나 이상의 다른 원격 샘플링 시스템(104)은 화학물질 저장 탱크, 화학물질 처리 탱크(예를 들어, 화학물질 욕), 화학물질 이송 라인 또는 파이프, 또는 기타에 배치될 수 있고, 그러한 화학물질은 고온 인산, 고선택비 질화물(HSN) 에칭제, 또는 기타를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템(100)은 또한 (예를 들어, 분석 시스템(102)에 근접한) 제1 위치에서 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(들)(104)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 위치에서의 샘플링 시스템(104)은, 분석 시스템(102)과 커플링된 자동 샘플러를 포함할 수 있다. 하나 이상의 샘플링 시스템(104)이 제1 위치, 제2 위치, 제3 위치, 제4 위치, 및 기타 등등으로부터 샘플을 수용하도록 동작될 수 있고, 시스템(100)은 분석을 위해서 샘플을 분석 시스템(102)에 전달하도록 동작될 수 있다.
원격 샘플링 시스템(104)은, 샘플(150)을 수용하도록 그리고 (예를 들어, 분석 시스템(102)으로의) 전달 및/또는 분석을 위해서 샘플(150)을 준비하도록 구성될 수 있다. 실시예에서, 원격 샘플링 시스템(104)은 분석 시스템(102)으로부터 다양한 거리(예를 들어, 1 m, 5 m, 10 m, 30 m, 50 m, 100 m, 300 m, 1000 m 등)에 배치될 수 있다. 구현예에서, 원격 샘플링 시스템(104)이 원격 샘플링 장치(106) 및 샘플 준비 장치(108)를 포함할 수 있다. 샘플 준비 장치(108)는 관통-유동 밸브와 같은 밸브(148)를 더 포함할 수 있다. 구현예에서, 원격 샘플링 장치(106)는 샘플 스트림 또는 공급원(예를 들어, 폐수, 헹굼물, 화학물질, 산업용 화학물질, 등과 같은 액체, 액체와 접촉되는 공기 샘플 및/또는 그 내부의 오염물과 같은 가스, 등)으로부터 샘플(150)을 수집하도록 구성된 장치를 포함할 수 있다. 원격 샘플링 장치(106)는, 샘플 공급원으로부터 샘플을 획득하고 샘플을 거리에 걸쳐 분석 시스템(102)에 전달하기에 적합한, 펌프, 밸브, 배관, 센서 등과 같은 구성요소를 포함할 수 있다. 샘플 준비 장치(108)는, 예를 들어 특별한 샘플 농도, 스파이크드(spiked) 샘플, 교정 곡선, 또는 기타를 제공하기 위해서, 희석제(114), 내부 표준물(internal standard)(116), 운반체(154), 등을 이용하여 원격 샘플링 장치(106)으로부터 수집된 샘플(150)을 준비하도록 구성된 장치를 포함할 수 있고, 헹굼 용액(158)으로 헹굼할 수 있다.
일부 실시예에서, 샘플(150)은, 비제한적으로: 희석, 종분화, 예비-농축(pre-concentration), 하나 이상의 교정 표준물의 첨가, 등을 포함하는, 하나 이상의 준비 기술을 이용하여 전달 및/또는 분석을 위해서 준비될 수 있다(예를 들어, 준비된 샘플(152)). 예를 들어, 점성 샘플(150)은, (예를 들어, 샘플(150)이 전달 중에 분리되는 것을 방지하기 위해서) 분석 시스템(102)에 전달되기 전에, (예를 들어, 샘플 준비 장치(108)에 의해서) 원격에서 희석될 수 있다. 본원에서 설명된 바와 같이, 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 전달된 샘플은 샘플(150)로서 지칭될 수 있고, 샘플(150)은 또한 준비된 샘플(152)로 지칭될 수 있다. 일부 실시예에서, 샘플(들)(150)을 희망 속도(rate)로 시스템을 통해서 이동시키기 위해서, 샘플 희석이 동적으로 조정될(예를 들어, 자동적으로 조정될) 수 있다. 예를 들어, 샘플(150)이 (예를 들어, 제2 위치로부터 제1 위치까지의 전달 시간에 의해서 측정될 때) 시스템(100)을 통해서 너무 느리게 이동될 때, 특별한 샘플 또는 샘플 유형에 첨가되는 희석제(114)가 증가된다. 다른 예에서, 1 리터(1 L)의 해수가, 분석 시스템(102)에의 전달에 앞서서, 원격에서 예비-농축될 수 있다. 추가적인 예에서, 가능한 공기중의 오염물을 예비-농축시키기 위해서, 정전기적 농축이 공기 샘플로부터의 재료 상에서 이용된다. 추가적인 예에서, 샘플은, 1% 메탄올 용액으로 10배 희석되는 것 또는 초-순수 물(UPW)로 10배 희석되는 것과 같이, 초-순수 물(UPW) 또는 용리제(예를 들어, 메탄올, 10% 메탄올 등)로 인-라인 희석될 수 있다. 일부 실시예에서, 인-라인 희석 및/또는 교정이 시스템(100)에 의해서 자동적으로 실시된다. 예를 들어, 샘플 준비 장치(108)는, 분석 시스템(102)을 교정하기 위해서 분석 시스템(102)에 전달된 샘플에 하나 이상의 내부 표준물을 첨가할 수 있다. 일부 실시예에서, 샘플은, (예를 들어, 작은 샘플 크기의 경우에) 희석이 없이 분석 시스템(102)에 의해서 분석된다.
실시예에서, 예가 도 1a에 도시된 실시예에서, 샘플 준비 장치(108)는, 준비된 샘플(152)(예를 들어, 종분화된 샘플)을 분석 시스템(102)에 전달하기 전에, 원격 샘플링 장치(106)로부터 수용된 샘플(150) 내에 존재하는 규소 종을 분리하기 위한 규소 종분화 시스템(200)을 포함한다. 대안적으로 또는 부가적으로, 분석 시스템(102)은, 본원에서 설명된 분석 장치에 의한 분석에 앞서서, 규소 종을 분리하기 위한 규소 종분화 시스템(200)을 포함할 수 있다. 도 1b 내지 도 1g를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)의 예시적인 실시예가 도시되어 있다. 도 1b에 도시된 규소 종분화 시스템(200)은, 비제한적으로, 인산 샘플 장소 및 고선택비 질화물 샘플 장소를 포함하는 복수의 원격 샘플 장소로부터 또는 그러한 장소에서 샘플을 수용하도록 구성된, 시스템(100)의 부분으로서 도시되어 있다. 규소 종분화 시스템(200)은, 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위해서 인산 샘플로부터 규소 종을 분리하도록 동작될 수 있는, 제1 밸브(202), 컬럼(204), 샘플 루프(206), 및 제2 밸브(208)를 포함한다. 컬럼(204)은 샘플 내에 존재하는 다양한 규소 종을 분리하기 위해서 이용되는 크로마토그래피 컬럼이다. 예를 들어, 컬럼(204)은 이온 교환 크로마토그래피 컬럼, 역상 크로마토그래피 컬럼(reverse phase chromatography column), 정상 상 크로마토그래피 컬럼, 전기영동 컬럼, 킬레이션 크로마토그래피 컬럼, 크기 배제 크로마토그래피 컬럼, 또는 기타, 또는 그 조합(예를 들어, 직렬 구성, 병렬 구성 등)을 포함할 수 있다. 구현예에서, 컬럼(204)은, 분리된 종을 컬럼(204)으로부터 이송하기 위해서 0.1% 내지 10% 메탄올 또는 0.3% 내지 30% 아세토니트릴을 갖는 하나의 용리제를 이용하는 적어도 50 mm 길이의 역상 컬럼이다. 구현예에서, 용리제는 구배 용리 체계(gradient elution scheme)에 따라 컬럼(204) 내로 도입된다. 규소 종분화 시스템(200)의 동작의 예시적인 모드가 도 1d 내지 도 1g와 관련하여 설명된다.
도 1c를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)은 로드 구성(load configuration)에서 도시되어 있고, 여기에서 샘플(예를 들어, 샘플(150) 또는 준비된 샘플(152))은 샘플 공급원으로부터 수용된다. 샘플 공급원은 일반적으로, 규소 종분화 시스템(200)이 원격 샘플링 시스템(104)에 또는 분석 시스템(102)에 위치되는지의 여부에 따라 달라진다. 예를 들어, 규소 종분화 시스템(200)이 원격 샘플링 시스템(104)에 위치될 때, 샘플 공급원은, 인산 공급원(예를 들어, 화학물질 저장 탱크, 화학물질 처리 탱크(예를 들어, 화학물질 욕(bath)), 화학물질 이송 라인 또는 파이프, 또는 기타)으로부터 직접적으로 샘플을 취할 수 있는, 원격 샘플링 장치(106)일 수 있다. 규소 종분화 시스템(200)이 분석 시스템(102)에 위치될 때, 샘플 공급원은 원격 샘플링 시스템(104)과 분석 시스템(102) 사이의 전달 라인(예를 들어, 본원에서 설명된 전달 라인(144))일 수 있다. 규소 종분화 시스템(200)이 로드 구성에 있을 때, 샘플은, 샘플을 샘플 루프(206) 상으로 로드하기 위한 공급원과 샘플 루프(206) 사이의 유동 경로를 제공하는, 제1 밸브(202)에 의해서 수용된다. 일단 충진되면, 규소 종의 종분화를 시작하기 위해서 컬럼(204)을 샘플로 로드하도록 규소 종분화 시스템(200)을 준비하기 위해서, 과다 샘플은 제1 밸브(202)를 통해서 제2 밸브(208)로 그리고 (예를 들어, 폐기물로서) 규소 종분화 시스템(200)의 외부로 유동된다.
도 1d를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)은 컬럼 로드 구성에서 도시되어 있고, 여기에서 제1 밸브(202)는 루프(206) 상으로 로드된 샘플이 루프(206)로부터 컬럼(204) 내로 밀릴 수 있게 하는 유동 경로를 제공한다. 예를 들어, 주사기 펌프(syringe pump)(예를 들어, 주사기 펌프(210)가 도시되어 있다)는 샘플을 루프(206)로부터 컬럼(204) 내로 밀 수 있고, 여기에서 과다 샘플은 제2 밸브(208)를 통해서 그리고 (폐기물로서) 규소 종분화 시스템(200)의 외부로 지향된다. 주사기 펌프는, 샘플을 컬럼(204) 내로 전달하는 것을 돕기 위해서, 용리제를 규소 종분화 시스템(200) 내로 끌어들일 수 있고, 그에 의해서 규소 종은 컬럼 내에서 분리된다. 컬럼이 일단 로드되면, 규소 종분화 시스템(200)은 종분화된 샘플을 컬럼(204)으로부터 용리시키기 위해서 용리 구성으로 전이될 수 있다.
도 1e를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)이 용리 구성에서 도시되어 있고, 여기에서 제1 밸브(202)는, 컬럼(204)으로부터의 종분화된 샘플을 용리시키기 위해서, 주사기 펌프(210)로부터 밀려난 용리제와 컬럼(204) 사이의 그리고 제2 밸브(208) 내로의 유동 경로를 제공하며, 이는, 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위해서 종분화된 샘플을 공급하기 위한 (예를 들어, 분무기(212)를 통한, 전달 라인(144)을 통한, 또는 기타를 통한) 제1 밸브(202)와 분석 시스템(102) 사이의 유동 경로를 제공한다. 예를 들어, 제2 밸브(208)를 동작시키는 제어기는, 주사기 펌프(210)에 의해서 밀려나는 용리제의 유량을 기초로, 제2 밸브(208)의 구성을 컬럼 로드 구성과 용리 구성 사이에서 토글링(toggle)시킬 수 있고, 그에 따라 유동 경로 구성을, 폐기물로서 규소 종분화 시스템(200)을 빠져나가는 것으로부터, 종분화된 샘플을 폐기물 쪽으로 밀지 않고, 종분화된 샘플이 분석 시스템(102)으로 전달되는 것으로 스위칭한다. 분석 시스템(102)은, 비제한적으로, 분리된 규소 종의 ICP 검출, ICP-MS 검출, 전기화학적 검출, 또는 그 조합을 포함하는, 프로세스를 통해서 종분화된 샘플을 분석할 수 있다.
도 1f를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)이 직접 분석 구성에서 도시되어 있고, 여기에서 제1 밸브(202)는, 컬럼(204)을 우회하는, (예를 들어, 루프(206)를 통한) 샘플 공급원과 제2 밸브(208) 사이의 유동 경로를 제공하고, 여기에서 제2 밸브(208)는, 샘플 공급원으로부터 수용된 샘플(예를 들어, 종분화되지 않은 샘플)을, 컬럼(204)을 통과하지 않고, 분석 시스템(102)에 직접적으로 공급하기 위해서, (예를 들어, 분무기(212)를 통해서, 전달 라인(144)을 통해서, 또는 기타를 통해서) 제1 밸브(202)와 분석 시스템(102) 사이의 유동 경로를 제공한다. 그러한 샘플의 직접 분석은 (예를 들어, 샘플 공급원으로부터 수용된 샘플이 종분화되지 않은 샘플일 때) 샘플 내에 존재하는 총 규소량의 표시를 제공할 수 있다.
도 1h 내지 도 1l을 참조하면, 예시적인 규소 종분화 시스템(200)에 의해서 준비된 샘플의 세기 대 시간의 예시적인 차트가 도시되어 있다. 도 1g를 참조하면, 고선택비 질화물(HSN) 에칭제의 샘플에 대한 세기 대 시간의 차트가 도시되어 있고, 여기에서 HSN 에칭제는, HSN가 에칭 프로세스에서 사용되기 전의 샘플 공급원으로부터의 에칭제이다. 차트는 2개의 피크, 즉 약 500 초의 제1 피크 및 900 초 이후의 제2 피크를 도시한다. 이러한 피크는 HSN 에칭제 내에 존재하는 유기 규소 종에 상응하는 것으로 생각되며, 무기 규소 종에 기인하는 것으로 생각되는 구분 가능한 피크는 도시되지 않았다. 도 1h를 참조하면, 무기 규소의 10 ppm 표준물로 급등된 HSN 에칭제의 샘플에 대한 세기 대 시간의 차트가 도시되어 있다. 그러한 차트는 3개의 피크, 즉 약 450초의 제1 피크, 약 500초의 제2 피크, 및 약 950초의 제3 피크를 도시한다. 제1 피크는 표준물 급등부로부터 존재하는 무기 규소 종에 상응하는 것으로 생각되는 반면, 제2 및 제3 피크는 HSN 에칭제 내에 존재하는 유기 규소 종에 상응하는 것으로 생각된다. 도 1i를 참조하면, HSN 에칭제의 샘플에 대한 세기 대 시간의 차트가 도시되어 있고, 여기에서 HSN 에칭제는, HSN가 에칭 프로세스에서 사용된 후의 샘플 공급원으로부터의 에칭제이다. 그러한 차트는 3개의 피크, 즉 약 450초의 제1 피크, 약 500초의 제2 피크, 및 약 950초의 제3 피크를 도시한다. 제1 피크는 에칭 프로세스에 기인할 수 있는 무기 규소 종에 상응하는 것으로 생각되는 반면, 제2 및 제3 피크는 HSN 에칭제 내에 존재하는 유기 규소 종에 상응하는 것으로 생각된다. 도 1j를 참조하면, 고순도 인산의 샘플에 대한 세기 대 시간의 차트가 도시되어 있고, 인산은 10% 농도이다. 그러한 차트는 임의의 규소 종에 대한 구별 가능한 피크를 도시하지 않는다. 도 1k를 참조하면, 무기 규소의 10 ppm 표준물로 급등된 고순도 인산의 샘플에 대한 세기 대 시간의 차트가 도시되어 있고, 인산은 10% 농도이다. 그러한 차트는 약 400초에서 하나의 피크를 보여주고, 이는 표준물 급등부로부터 존재하는 무기 규소 종에 상응하는 것으로 생각된다.
구현예에서, 분석 시스템(102)에 의한 종분화된 샘플의 분석이 에칭 시스템의 하나 이상의 프로세스 장치의 자동적인 제어를 위한 데이터를 초래할 수 있다. 예를 들어, 도 1l를 참조하면, 분석 시스템이 에칭 시스템(50)에 통신 가능하게 커플링되고, 그에 의해서 분석 시스템(102)에 의해서 제공되는 데이터가 에칭 시스템(50)의 하나 이상의 프로세스 장치의 자동적인 제어를 도울 수 있다. 분석 시스템(102)이 개별적인 규소 종, 총 규소 종, 규소의 종들의 비율, 또는 기타, 또는 그 조합에 관한 농도 데이터를 하나 이상의 통신 프로토콜을 통해서 보고하여, 작업 유체(예를 들어, 필터(56)에 의해서 필터링될 수 있는, 인산)의 재순환률을 제어하기 위한 재순환 펌프(500)(또는 그 제어기), 산 욕(52)의 온도를 제어하기 위한 가열기(502)(또는 그 제어기), 신선한 인산이 산 욕(52)으로 제공되는 비율(rate)을 제어하기 위한 펌프(504)(또는 그 제어기), 특정 규소 종이 산 욕(52)에 제공될 수 있는 비율을 제어하기 위한 펌프(506)(또는 그 제어기), 또는 기타를 비제한적으로 포함하는, 에칭 시스템(50)의 제어 장치를 자동적으로 조작하기 위한 제어 신호를 제공한다. 예를 들어, 구현예에서, 피드백이 시스템(100)으로부터 습윤대(wetbench) 시스템(예를 들어, 에칭 시스템(50))으로 제공되어, 산 욕(52) 내에 존재하는 하나 이상의 다른 규소 종과 관련하여 하나 이상의 규소 종의 농도를 조정하기 위한 규소 종의 첨가를 자동적으로 제어한다. 대안적으로 또는 부가적으로, 시스템(100)은, 하나 이상의 규소 종의 농도가 문턱값 공차 농도를 벗어나는 경우에, 산 욕(52)의 내용물을 교체할 수 있다. 또한, 시스템(100)이 규소 종 농도 데이터를 이용하여 에칭 시스템(50)의 생산 속력을 제어할 수 있는데, 이는, 반도체 제품의 생산률을 규소 농도와 상호관련시켜, 산 욕(52)의 규소 농도를 기초로 피크 생산률을 결정할 수 있기 때문이다.
개시내용의 실시예에서, 분석 시스템(102)은, 분석 시스템(102)과 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104) 사이에 커플링된 샘플 전달 라인(144)으로부터 샘플(150)을 수집하도록 구성된 샘플 수집기(110) 및/또는 샘플 검출기(130)를 포함할 수 있다. 샘플 수집기(110) 및/또는 샘플 검출기(130)는, 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 (예를 들어, 하나 이상의 샘플 전달 라인(144)을 통해서) 샘플(150)을 수용하기 위해서, 펌프, 밸브, 배관, 포트, 센서, 등과 같은 구성요소를 포함할 수 있다. 예를 들어, 시스템(100)이 다수의 원격 샘플링 시스템(104)을 포함하는 경우에, 각각의 원격 샘플링 시스템은, 샘플 수집기(110)의 별개의 부분에 또는 분석 시스템(102)의 별개의 샘플 수집기(110)에 커플링시키기 위한 전용 샘플 전달 라인(144)을 포함할 수 있다. 부가적으로, 분석 시스템(102)은, 분석 시스템(102)에 대해서 국소적인(local) 샘플(150)을 수집하도록 구성된 샘플링 장치(160)(예를 들어, 국소적인 자동 샘플러)를 포함할 수 있다.
도 1n 및 도 1o를 참조하면, 규소 종분화 시스템(200)의 예시적인 실시예가 도시되어 있다. 도 1n 및 도 1o에 도시된 규소 종분화 시스템(200)은, 비제한적으로, 인산 샘플 장소 및 고선택비의 질화물(HSN) 샘플 장소를 포함하는 복수의 원격 샘플 장소로부터 또는 그러한 장소에서 샘플을 수용하도록 구성된, 시스템(100)의 부분으로서 도시되어 있다. 예를 들어, 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104)은 하나 이상의 원격 샘플 장소(300)로부터 샘플을 취할 수 있고 하나 이상의 전달 라인(144)을 통해서 샘플을 규소 종분화 시스템(200)으로 전달할 수 있다. 구현예에서, 시스템(100)은, 인산을 포함하는 것과 같은 샘플의 전달을 돕기 위해서 전달 라인(144)을 가열하기 위한 하나 이상의 가열 요소를 포함할 수 있다. 규소 종분화 시스템(200)은 일반적으로, 원격 샘플링 시스템(들)(104)으로부터 수용된 샘플(들)로부터 하나 이상의 규소 종을 분리함으로써, 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위한 샘플을 준비하기 위해서, 샘플 준비 부분(302) 및 규소 종분화 부분(304)를 포함한다. 샘플 준비 부분(302)은 샘플을 수용하기 위해서 하나 이상의 전달 라인(144)과 유체 연통되는 밸브(306)를 포함한다. 구현예에서, 밸브(306)는 본원에서 도 3a를 참조하여 설명된 밸브(148)를 포함할 수 있다. 밸브(306)는, 유동 채널을 유체 라인에 의해서 시스템(100)의 다른 부분에 연결된 밸브(306)의 포트와 연결함으로써 규소 종분화 시스템(200)을 통한 유체의 유동을 조절하기 위해서 밸브 구성들 사이에서 스위칭될 수 있다. 예를 들어, 밸브(306)는 원격 샘플링 시스템으로부터 밸브(306)에 커플링된 (예를 들어, 유지 루프 내로 형성될 수 있는) 유지 라인(308) 내로 샘플을 수용하기 위한 제1 밸브 구성을 포함한다. 구현예에서, 유지 라인(308)은 본원에서 설명된 샘플 루프(164)를 포함한다. 밸브(306)는 또한 샘플을 밸브(306)로부터 규소 종분화 부분(304)으로 전달하기 위한 제2 밸브 구성을 포함할 수 있다. 예를 들어, 펌프 조립체(310)는 하나 이상의 유체를 밸브(306)에 도입하여, 샘플을 유지 라인(308)로부터 규소 종분화 부분(304)으로 밀 수 있고 그리고 선택적으로, 비제한적으로, 희석제, 내부 표준물, 교정 표준물, 또는 기타를 포함하는 하나 이상의 유체를 샘플과의 인라인 혼합을 위해서 도입할 수 있다. 예를 들어, 희석제, 내부 표준물, 교정 표준물, 또는 기타를 수용하는 하나 이상의 포트는, 샘플이 밸브(306)로부터 규소 종분화 부분(304)으로 이동될 때 조합된 유체들을 인라인 혼합하기 위해서 샘플을 전달하는 유체 라인과 커플링될 수 있다. 구현예에서, 펌프 조립체(310)는 유체 전달을 돕기 위한 복수의 주사기 펌프를 포함한다. 예를 들어, 펌프 조립체(310)는 헹굼 유체를 시스템(100)에 도입하기 위한 헹굼 주사기(312), (예를 들어, 샘플을 유지 라인(308)로부터 밀기 위한) 운반체 유체를 시스템(100)에 도입하기 위한 운반체 주사기(314), (예를 들어, 희석제 및 샘플의 각각의 유량을 기초로 희망 희석 배율에 따라 샘플을 희석하기 위해서) 희석제를 시스템(100)에 도입하기 위한 희석제 주사기(316), (예를 들어, 교정 표준물 공급원(320)으로부터) 교정 표준물을 시스템에 도입하기 위한 교정 주사기(318), (예를 들어, 10% 인산과 같은, 교정 유체 공급원(324)로부터) 샘플 또는 교정 매트릭스를 시스템(100)에 도입하기 위한 샘플 주사기(322), 및 (예를 들어, 내부 표준물 공급원(328)으로부터) 내부 표준물을 샘플에 도입하기 위한 내부 표준물 주사기(326)를 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 원격 샘플링 시스템(104)은, 전달 라인(144)을 통한 밸브(306)로의 전달에 앞서서 샘플을 희석할 수 있다.
규소 종분화 부분(304)은, 샘플을 수용하여 규소 종분화 및 분석을 위해서 또는 종분화를 우회하여 분석 장치(102)로 전달하기 위해서, (예를 들어, 유체 라인(332)을 통해서) 밸브(306)에 유체적으로 커플링된 밸브(330)를 포함한다. 밸브(330)는, 유동 채널을 유체 라인에 의해서 시스템(100)의 다른 부분에 연결된 밸브(330)의 포트와 연결함으로써 규소 종분화 시스템(200)을 통한 유체의 유동을 조절하기 위해서 밸브 구성들 사이에서 스위칭될 수 있다. 구현예에서, 밸브(330)는, 밸브(306)로부터 수용된 샘플을 규소 종분화 부분을 통해서 전달하여 샘플 내의 규소의 하나 이상의 종을 분리하기 위해서, 밸브(306)를 규소 종분화 부분(규소 종분화 부분(334A, 334B, 334C, 및 334D)이 도시됨)과 유체적으로 커플링시키는 제1 밸브 구성을 포함한다. 예를 들어, 샘플은 샘플 매트릭스(예를 들어, 인산 매트릭스) 내의 무기 규소(예를 들어, 용해된 실리케이트) 및 결합 규소(예를 들어, 중합체 규소)와 같은 다수의 규소의 종을 포함할 수 있다. 규소 종분화 부분은 무기 규소를 결합 규소로부터 분리하기 위한 크로마토그래피 컬럼(컬럼(336A, 336B, 336C, 336D)이 도시됨)을 포함한다. 적용예에서, 샘플 내에 존재하는 결합 규소는 무기 규소를 초과하고, 여기에서 결합 규소는 인산 매트릭스 내에서 적어도 100 ppm(parts per million)의 농도로 샘플 내에 존재한다. 예를 들어, 밸브(330)는 채널을 포함할 수 있고, 그러한 채널은 유체 라인(332)을 4개의 포트 중 하나에 커플링시키며, 그러한 4개의 포트는, 규소 종분화 부분들 중 어느 곳으로 샘플을 전송할지를 선택하기 위해서, 밸브(330)를 각각의 규소 종분화 부분(334A, 334B, 334C, 및 334D)에 연결한다. 예를 들어, 밸브(330)의 제1 밸브 구성에서, 그러한 밸브는 밸브(306)에 유체적으로 커플링되어 샘플을 밸브(330)를 통해서 밸브(338A)(예를 들어, 종분화 밸브)에 전달한다.
밸브(338A)는, 밸브(330)로부터 수용된 샘플을 (예를 들어, 유지 루프를 형성하는) 유지 라인(340A) 내로 로드하기 위한 제1 밸브 구성, 및 내부에 수용된 하나 이상의 규소 종을 분리하기 위해서(예를 들어, 결합된 중합체 규소로부터 무기 규소를 분리하기 위해서) 샘플을 컬럼(336A)에 도입하기 위한 제2 밸브 구성을 포함한다. 예를 들어, 밸브(338A)는, 펌프(344A)(예를 들어, 용리제 주사기 펌프)에 의해서 밸브(342A)를 통해서 지향된 용리제를 수용하기 위해서, 밸브(338A)가 제2 밸브 구성에 있을 때, 밸브(342A)(예를 들어, 용리제 밸브)에 유체적으로 커플링될 수 있다. 밸브(342A)는, (예를 들어, 용리제 주사기 펌프를 충진하기 위해서) 펌프(344A)를 용리제 공급원(346A)에 유체적으로 연결하기 위한 밸브 구성, 및 이어서 펌프(334A)로부터 밸브(338A)로의 용리제의 유동을 허용하기 위해서 펌프(344A)를 밸브(338A)에 연결하는 밸브 구성을 번갈아 가질 수 있다. 밸브(338A)가 용리제를 수용하기 위한 제2 밸브 구성에 있을 때, 밸브(338A)는 용리제를 유지 라인(340A) 내로 지향시켜, 내부에서 유지되는 샘플을 컬럼(336A) 내로 민다. 샘플이 컬럼을 통과할 때(예를 들어, 용리제에 의해서 밀릴 때), 컬럼(336A)은 내부에 포함된 하나 이상의 규소 종을 분리하고(예를 들어, 결합 규소로부터 무기 규소를 분리하고), 그에 의해서, 용리제가 후속하여 컬럼(336A)을 통과하여 컬럼(336A)에 의해서 보유되는 임의의 샘플 부분을 제거한다. 이어서, 종분화된 샘플은, 종분화된 샘플의 분석을 위한 분석 시스템(102)에 커플링된 분석 출력 라인(348)에 (예를 들어, 밸브(350)를 통해서) 전달된다. 예를 들어, 분석 시스템(102)은, 종분화된 샘플의 하나 이상의 규소 종의 양을 결정하기 위해서, 유도 결합 플라즈마 분광분석 기구, 자외선-가시광선 분광학(UV-vis) 기구, 또는 근적외선 분광학(NIR) 기구 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 구현예에서, 용리제는 또한 밸브(306)에 의해서 수용된 부가적인 샘플의 후속 종분화 적용의 준비를 위한 컬럼을 컨디셔닝할 수 있다.
전술한 바와 같이, 밸브(330)는, 밸브(306)로부터 수용된 샘플을 전송하기 위한 규소 종분화 부분을, 규소 종분화 부분(334A, 334B, 334C, 및 334D) 중에서, 선택할 수 있다. 규소 종분화 부분들은, 밸브(338A), 유지 라인(340A), 밸브(342A), 펌프(344A), 및 용리제 공급원(346A)을 참조하여 설명된 것들과 합치되도록 각각의 밸브, 유체 라인, 및 펌프를 포함할 수 있거나, 각각의 구성요소가 상이할 수 있다. 구현예에서, 컬럼(336A, 336B, 336C, 및 336D)은 동일한 유형의 컬럼이다. 구현예에서, 컬럼(336A, 336B, 336C, 및 336D) 중 하나 이상은 다른 컬럼과 상이한 유형의 컬럼이다. 시스템 제어기는, 샘플을 전송하기 위한 규소 종분화 부분(334A, 334B, 334C, 및 334D)의 선택을 도울 수 있다. 예를 들어, 규소 종분화 부분 중 하나의 동작 상태가 다른 규소 종분화 부분의 동작 상태와 상이할 수 있고, 주어진 동작 상태는, 밸브(330)로부터 샘플을 수용하기 위해서 규소 종분화 부분을 이용할 수 있는지의 여부를 결정할 수 있다. 예를 들어, 규소 종분화 부분(334A)은, 샘플이 컬럼(336A)을 통해서 밀리는 종분화 동작 상태에 있을 수 있는 반면, 규소 종분화 부분(334B)은, 샘플이 현재 다루어지지 않는 공회전 동작 상태에 있을 수 있는 반면, 규소 종분화 부분(334C)은, 후속 샘플의 종분화의 준비를 위해서 용리제가 컬럼(336C)에 도입되는 컬럼 컨디셔닝 동작 상태에 있을 수 있고, 기타 등등이 될 수 있다. 그러한 예에서, 시스템 제어기는, 공회전 동작 상태를 기초로 밸브(306)로부터 수용된 다음 샘플을 규소 종분화 부분(334B) 내로 지향시키도록, 밸브(330)의 밸브 구성을 제어할 수 있다. 예를 들어, 제1 샘플이 규소 종분화 부분(334A)로 지향될 수 있고, 제2 샘플이 다음에 규소 종분화 부분(334B)으로 지향될 수 있으며, 후속 샘플이 규소 종분화 부분(334C)으로 지향될 수 있으며, 기타 등등이 이루어질 수 있다. 밸브(330)는 또한, 밸브(306)로부터 수용된 샘플(또는 교정 또는 표준물 유체)을 (예를 들어, 유체 라인(352)을 통해서) 밸브(350)로 그리고 분석 출력 라인(348)으로 직접적으로 전달하여, 규소 종분화 부분(334A, 334B, 334C, 및 334D)을 우회시켜 분석 시스템(102)에 의한 샘플의 분석을 허용하기 위한, 제2 밸브 구성을 포함할 수 있다.
분석 시스템(102)은 또한, (예를 들어, 액체 샘플 내의) 미량 원소 농도, 동위원소 비율, 등을 결정하기 위해서 샘플을 분석하도록 구성된 적어도 하나의 분석 장치(112)를 포함한다. 예를 들어, 분석 장치(112)는, 비제한적으로, 유도 결합 플라즈마 질량 분광계(ICP/ICP-MS), 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계(ICP-AES), 또는 기타를 포함하는 ICP 분광분석 기구를 포함할 수 있다. 실시예에서, 분석 시스템(102)은 복수의 분석 장치(112)(즉, 하나 초과의 분석 장치)를 포함한다. 예를 들어, 시스템(100) 및/또는 분석 시스템(102)은 다수의 샘플링 루프를 포함할 수 있고, 각각의 샘플링 루프는 샘플의 일부를 복수의 분석 장치(112)에 도입한다. 다른 예로서, 시스템(100) 및/또는 분석 시스템(102)은 다중위치 밸브로 구성될 수 있고, 그에 따라 단일 샘플이 신속하게 그리고 연속적으로 복수의 분석 장치(112)에 도입될 수 있다. 예를 들어, 도 6은 분석 시스템(102)과 유체 연통되는 하나의 원격 샘플링 시스템(104)을 도시하며, 분석 시스템(102)은 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 수용된 샘플을 분석하기 위해서 (ICPMS(602), 이온 크로마토그래프(IC) 컬럼(604), 및 푸리에 변환 적외 분광(FTIR)(606)으로 도시된) 3개의 분석 장치와 커플링된 다중위치 밸브(600)를 포함한다. 도 6은 분석 시스템(102)이 3개의 분석 장치를 포함하는 실시예를 도시하지만, 분석 시스템(102)은 그보다 적은(예를 들어, 3개 미만의) 또는 그보다 많은(예를 들어, 3개 초과의) 분석 장치(112)를 포함할 수 있다. 실시예에서, 분석 장치(112)는, 비제한적으로, (예를 들어, 미량 금속 결정을 위한) ICPMS, (예를 들어, 미량 금속 결정을 위한) ICPOES, (예를 들어, 음이온 및 양이온 결정을 위한) 이온 크로마토그래프, (예를 들어, 유기 오염물 결정을 위한) 액체 크로마토그래프(LC), (예를 들어, 화학적 조성 및 구조적 정보 결정을 위한) FTIR 적외선, (예를 들어, 미용해 입자의 검출을 위한) 입자 계수기, (예를 들어, 샘플 내의 물의 검출을 위한) 수분 분석기, (예를 들어, 휘발성 성분의 검출을 위한) 가스 크로마토그래프(GC), 또는 기타를 포함할 수 있다. 실시예에서, 복수의 분석 장치(112)는 원격 샘플링 장치(104)와 동일한 위치에 위치될 수 있는 한편, 시스템(100)은, 복수의 분석 장치(112)에 의해서 실시된 그러한 분석(들) 이외의 부가적인 또는 상이한 샘플 분석을 위해서, 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 원격에 위치된 하나 이상의 부가적인 분석 장치(112)를 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 복수의 분석 장치(112)가 원격 샘플링 시스템(104)과 상이한 위치에 위치될 수 있다.
시스템(100) 및/또는 분석 시스템(102)은 시간에 걸쳐 소정 위치에서 피분석물 농도를 보고하도록 구성될 수 있다(도 13을 참조하여 이하에서 더 도시됨). 일부 실시예에서, 분석 장치(112)는 샘플(150) 내의 하나 이상의 미량 금속을 검출하도록 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 분석 장치(112)는 이온 크로마토그래피를 위해서 구성될 수 있다. 예를 들어, 이온 및/또는 양이온이 샘플(150) 내에서 수집될 수 있고 크로마토그래프 분석 장치(112)에 전달될 수 있다. 추가적인 실시예에서, 유기 분자, 단백질, 등이 샘플 내에서 수집될 수 있고 (예를 들어, 분무기(156)를 이용하여) 고해상도 비행-시간(time-of-flight)(HR-ToF) 질량 분광계 분석 장치(112)에 전달될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은 시스템은, 비제한적으로: (예를 들어, 다수의 제약 반응기에 연결된 중앙 질량 분광계 분석 장치를 가지는) 제약 적용예, 하나 이상의 폐기물 스트림의 폐기물 모니터링, 반도체 제조 설비, 등을 포함하는, 다양한 적용예를 위해서 이용될 수 있다. 예를 들어, 폐기물 스트림은 오염물에 대해서 연속적으로 모니터링될 수 있고 오염물이 검출될 때 탱크로 전달될 수 있다. 다른 예에서, 하나 이상의 화학물질 스트림이, 분석 시스템(102)에 연계된 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(104)에 의해서 획득된 샘플의 분석을 통해서, 연속적으로 모니터링될 수 있고, 그에 의해서 오염 한계가 각각의 화학물질 스트림에 대해서 설정될 수 있다. 특정 스트림에 대한 오염 한계를 초과하는 오염물의 검출 시에, 시스템(100)은 경보를 제공할 수 있다.
연속적인 액체 샘플 단편(150)을 샘플 전달 라인(144)에 공급하기 위해서 원격 샘플링 시스템(104)이 샘플 전달 라인(144)과 유체 연통되게 동작 가능하도록, 원격 샘플링 시스템(104)은 적어도 하나의 샘플 전달 라인(144)과 선택적으로 커플링되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 원격 샘플링 시스템(104)은 샘플(150)을 수집하도록, 그리고 예를 들어, 원격 샘플링 시스템(104)을 샘플 전달 라인(144)에 커플링시키는 관통-유동 밸브(148)를 이용하여, 샘플(150)을 샘플 전달 라인(144)에 공급하도록 구성될 수 있다. 샘플 전달 라인(144)으로의 샘플(150)의 공급은 "피치(pitch)"로서 지칭될 수 있다. 샘플 전달 라인(144)은 가스 공급부(146)와 커플링될 수 있고 제2 위치(그리고 가능하게는 제3 위치, 제4 위치, 등)로부터 제1 위치까지 가스를 이송하도록 구성될 수 있다. 이러한 방식으로, 원격 샘플링 시스템(104)에 의해서 공급되는 액체 샘플 단편은 가스 스트림 내에서 수집되고, 가스 압력 샘플 전달을 이용하여 분석 시스템(102)의 위치로 이송된다.
일부 실시예에서, 샘플 전달 라인(144) 내의 가스는, 비제한적으로: 질소 가스, 아르곤 가스, 등을 포함하는, 불활성 가스를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 샘플 전달 라인(144)은 8/10 밀리미터(0.8 mm)의 내경을 가지는 단편화되지 않은 또는 최소로 단편화된 관을 포함할 수 있다. 그러나, 8/10 밀리미터의 내경은 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 다른 실시예에서, 샘플 전달 라인(144)은 8/10 밀리미터 초과의 내경 및/또는 8/10 밀리미터 미만의 내경을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 샘플 전달 라인(144) 내의 압력은 적어도 약 사(4) 바아 내지 십(10) 바아의 범위일 수 있다. 그러나, 이러한 범위는 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 다른 실시예에서, 샘플 전달 라인(144) 내의 압력은 10 바아 초과 및/또는 4 바아 미만일 수 있다. 또한, 일부 구체적인 실시예에서, 샘플(150)이 일반적으로 상향 방향으로(즉, 수직으로) 분배되도록, 샘플 전달 라인(144) 내의 압력이 조정될 수 있다. 그러한 수직 배향은 (예를 들어, 샘플 공급원(들) 및 원격 샘플링 시스템(들)이 분석 시스템(102)에 비해서 "아래층"에 위치되는 경우에) 분석 시스템(102) 보다 낮은 위치에서 수집된 샘플의 전달을 도울 수 있다.
일부 예에서, 샘플 전달 라인(144)은 제1 액체 욕(또는 화학물질 욕)과 유체 연통되는 원격 샘플링 시스템(104) 및 제2 액체 욕(또는 화학물질 욕)과 유체 연통되는 분석 시스템(102)과 커플링될 수 있다. 개시내용의 실시예에서, 제1 위치 및/또는 하나 이상의 원격 위치(예를 들어, 제2 위치, 제3 위치, 제4 위치, 등)에서의 범람을 방지하거나 최소화하기 위해서, 시스템(100)은 (예를 들어, 홈통(trough) 내에 장착된) 하나 이상의 누출 센서를 포함할 수 있다. 주사기 펌프 또는 진공 펌프와 같은 펌프를 이용하여 샘플을 샘플링 장치(106) 내로 적재할 수 있다. 밸브(148)를 이용하여 원격 샘플링 시스템(104)에서 샘플(150)을 선택할 수 있고, 샘플(150)은 샘플 전달 라인(144)에 공급될 수 있고, 샘플 전달 라인은 샘플(150)을 제1 위치에서 분석 시스템(102)에 전달할 수 있다. 격막 펌프와 같은 다른 펌프를 이용하여, 분석 시스템(102) 상의 배수(drain)를 펌핑할 수 있고 샘플(150)을 샘플 전달 라인(144)으로부터 끌어 당길 수 있다.
시스템(100)은 폐쇄된 샘플링 시스템으로서 구현될 수 있고, 여기에서 샘플 전달 라인(144) 내의 가스 및 샘플은 주변 환경에 노출되지 않는다. 예를 들어, 하우징 및/또는 외피가 시스템(100)의 하나 이상의 구성요소를 둘러쌀 수 있다. 일부 실시예에서, 원격 샘플링 시스템(104)의 하나 이상의 샘플 라인이 샘플 전달들 사이에서 세정될 수 있다. 또한, 샘플 전달 라인(144)은 (예를 들어, 세정 용액을 이용하여) 샘플들(150) 사이에서 세정될 수 있다.
연속적인 액체 샘플 단편을 수용하기 위해서 샘플 루프(164)가 샘플 전달 라인(144)과 유체 연통되게 동작 가능하도록, 샘플 전달 라인(144)은 제1 위치에서 샘플 수용 라인(162)과 선택적으로 커플링되게 구성될 수 있다(예를 들어, 샘플 루프(164)). 연속적인 액체 샘플 단편을 샘플 루프(164)에 전달하는 것이 "캐치(catch)"로서 지칭될 수 있다. (예를 들어, 충분한 액체 샘플 단편이 분석 시스템(102)에 의해서 분석을 위해서 이용될 수 있다는 것을 시스템(100)이 결정하였을 때) 연속적인 액체 샘플 단편을 분석 장치(112)에 공급하기 위해서 샘플 루프(164)가 분석 장치(112)와 유체 연통되게 동작될 수 있도록, 샘플 루프(164)는 또한 분석 장치(112)와 선택적으로 커플링되게 구성된다. 개시내용의 실시예에서, 분석 시스템(102)은, 샘플 루프(164)가 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위한 충분한 양의 연속적인 액체 샘플 단편을 포함하는지를 결정하도록 구성된 하나 이상의 검출기를 포함할 수 있다. 일 예에서, 충분한 양의 연속적인 액체 샘플은 분석 장치(112)로 보내기에 충분한 액체 샘플을 포함할 수 있다. 충분한 양의 연속적인 액체 샘플의 다른 예는 (예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이) 제1 검출기(126)와 제2 검출기(128) 사이의 샘플 수용 라인(162) 내의 연속적인 액체 샘플을 포함할 수 있다. 구현예에서, 제1 검출기(126) 및/또는 제2 검출기(128)는 광 분석기(132), 광학 센서(134), 전도도 센서(136), 금속 센서(138), 전도 센서(conducting sensor)(140), 및/또는 압력 센서(142)를 포함할 수 있다는 점이 고려된다. 제1 검출기(126) 및/또는 제2 검출기(128)가 다른 센서를 포함할 수 있다는 점이 고려된다. 예를 들어, 제1 검출기(126)는, 샘플(150)이 샘플 루프(164)에 진입하는 때를 검출하는 광 분석기(132)를 포함할 수 있고, 제2 검출기(128)는, 샘플 루프(164)가 충진되는 때를 검출하는 다른 광 분석기(132)를 포함할 수 있다. 이러한 예는 "성공적인 캐치"로서 지칭될 수 있다. 광 분석기(132)는 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다는 것을 주목하여야 한다. 다른 예시적인 검출기는: 광학 센서, 전도도 센서, 금속 센서, 전도 센서, 압력 센서, 등을 포함하나, 반드시 그러한 것으로 제한되는 것은 아니다.
도 7을 참조하여, 연속적인 액체 샘플 단편이 샘플 수용 라인(162) 내에 포함되는 때 및/또는 샘플 루프(164)가 (예를 들어, 분석 시스템(102)에 의한) 분석에 충분한 양의 연속적인 액체 샘플 단편을 포함하는 때를 결정할 수 있는 시스템(100)을 설명한다. 예시적인 실시예에서, 제1 검출기(126)는 둘 이상의 상태를 결정하도록 구성될 수 있고, 그러한 상태는 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체(예를 들어, 액체 샘플 단편)의 존재, 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 부재, 등을 나타낼 수 있다. 예를 들어, (예를 들어, 하이 상태(high state)와 같은, 제1 로직 레벨에 의해서 표시된) 제1 상태를 이용하여 (예를 들어, 제1 검출기(126)에 근접한) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체 샘플 단편의 존재를 나타낼 수 있고, (예를 들어, 로우 상태와 같은, 제2 로직 레벨에 의해서 표시된) 제2 상태를 이용하여 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체 샘플 단편의 부재(예를 들어, 샘플 수용 라인(162) 내의 공극 또는 가스)를 나타낼 수 있다.
일부 실시예에서, 압력 센서(142)를 포함하는 제1 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 액체가 존재할 때 제1 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162) 내의 압력의 증가를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 존재를 검출할 수 있다. 또한 제1 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 제1 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162) 내의 압력의 감소를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 부재를 검출할 수 있다. 그러나, 압력 센서는 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 다른 실시예에서, 광학 센서(134)를 포함하는 제1 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 액체가 존재할 때 제1 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162)을 통과하는 광의 감소를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 존재를 검출할 수 있다. 또한 제1 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 제1 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162)을 통과하는 광의 증가를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 부재를 검출할 수 있다. 이러한 예에서, 제1 검출기(126)는 제1 위치에서의 액체 샘플의 존재를 하이 상태로서 그리고 제1 위치에서의 액체 샘플의 부재를 로우 상태로서 보고할 수 있다.
일부 실시예에서, 시스템(100)은 또한, 제2 검출기(126), 제3 검출기 등과 같은 하나 이상의 부가적인 검출기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 검출기(126)는 또한 둘 이상의 상태를 결정하도록 구성될 수 있고, 그러한 상태는 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체(예를 들어, 액체 샘플 단편)의 존재, 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 부재, 등을 나타낼 수 있다. 예를 들어, (예를 들어, 하이 상태와 같은, 제1 로직 레벨에 의해서 표시된) 제1 상태를 이용하여 (예를 들어, 제2 검출기(126)에 근접한) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체 샘플 단편의 존재를 나타낼 수 있고, (예를 들어, 로우 상태와 같은, 제2 로직 레벨에 의해서 표시된) 제2 상태를 이용하여 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체 샘플 단편의 부재를 나타낼 수 있다.
일부 실시예에서, 압력 센서(142)를 포함하는 제2 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 액체가 존재할 때 제2 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162) 내의 압력의 증가를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 존재를 검출할 수 있다. 또한 제2 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 제2 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162) 내의 압력의 감소를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 부재를 검출할 수 있다. 그러나, 압력 센서는 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 다른 실시예에서, 광학 센서(134)를 포함하는 제2 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 액체가 존재할 때 제2 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162)을 통과하는 광의 감소를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 존재를 검출할 수 있다. 또한 제2 검출기(126)를 이용하여, (예를 들어, 제2 위치에 근접한 샘플 수용 라인(162)을 통과하는 광의 증가를 검출하는 것에 의해서) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 부재를 검출할 수 있다. 이러한 예에서, 제2 검출기(126)는 제2 위치에서의 액체 샘플의 존재를 하이 상태로서 그리고 제2 위치에서의 액체 샘플의 부재를 로우 상태로서 보고할 수 있다.
제어기(118)는 하나 이상의 검출기(들)(126)과 통신 가능하게 커플링될 수 있고 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서, 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서, 샘플 수용 라인(162) 내의 다른 위치에서, 그리고 기타에서, 액체를 등록하도록 구성된다. 예를 들어, 제어기(118)는 제1 검출기(126)를 이용하여 검출 동작을 개시하고, 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체는 (예를 들어, 제어기(118)가 제1 검출기(126)에 의해서 결정된 바에 따라 로우로부터 하이로의 상태의 변화를 등록할 때) 제어기(118)에 의해서 등록될 수 있다. 이어서, 제1 검출기(126)가 (예를 들어, 연속적으로, 적어도 실질적으로 연속적으로) 모니터링될 수 있고, 제어기(118)는 (예를 들어, 제어기(118)가 제1 검출기(126)에 의해서 결정된 바에 따라 하이로부터 로우로의 상태의 변화를 등록할 때) 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서의 액체의 부재를 후속하여 등록할 수 있다.
유사하게, 제어기(118)는 또한 제2 검출기(126)를 이용하여 검출 동작을 개시할 수 있고, 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체는 (예를 들어, 제어기(118)가 제2 검출기(126)에 의해서 결정된 바에 따라 로우로부터 하이로의 상태의 변화를 등록할 때) 제어기(118)에 의해서 등록될 수 있다. 이어서, 제2 검출기(126)가 (예를 들어, 연속적으로, 적어도 실질적으로 연속적으로) 모니터링될 수 있고, 제어기(118)는 (예를 들어, 제어기(118)가 제2 검출기(126)에 의해서 결정된 바에 따라 하이로부터 로우로의 상태의 변화를 등록할 때) 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서의 액체의 부재를 후속하여 등록할 수 있다.
제어기(118) 및/또는 하나 이상의 검출기(126)는, 시스템(100)을 위해 특정 이벤트(예를 들어, 샘플 수용 라인(162) 내의 다수의 위치에서의 특별한 시간에서의 액체의 존재 또는 부재)의 타이밍을 제공하기 위해서, 타이머를 포함할 수 있거나 타이머의 동작에 영향을 미칠 수 있다. 예로서, 제어기(118)는, (예를 들어, 액체를 폐기물로 또는 유지 루프로 지향시키는 것에 대조적인 것으로서) 액체 샘플이 분석 시스템(102)으로 지향되게 허용할 것인지의 여부에 관한 결정을 하기 위해서, 다양한 검출기(들)에 의해서 상태의 변화가 등록되는 시간을 모니터링할 수 있다. 다른 예로서, 제어기(118)는 검출기(들)(126)를 통해서 제어기(118)에 의해서 등록되는 상태의 변화를 기초로 액체가 샘플 수용 라인(162) 및/또는 샘플 루프(164) 내에서 소비하는 시간을 모니터링할 수 있다.
액체 샘플 단편 중단 및 적절한 액체 단편의 결정
일반적으로, 샘플이 연관된 분석 장치에 근접하여 획득될 때(예를 들어, 분석 장치 옆의 자동 샘플러), 상당한 샘플량을 필요로 하지 않으면서, 샘플이 샘플 공급원과 분석 장치 사이의 전체 거리에 걸쳐질 수 있다. 그러나, 샘플의 장거리 전달의 경우에, 원격 샘플링 시스템(104)과 분석 시스템(102) 사이의 (예를 들어, 수백 미터까지의 샘플 길이의) 전체 전달 라인(144)을 충진하는 것은, 예를 들어, 미사용 샘플 부분의 폐기와 관련한 환경적 염려, 샘플의 점도, 또는 기타로 인해서, 이루어질 수 없거나 바람직하지 않을 수 있다. 따라서, 실시예에서, 원격 샘플링 시스템(104)은 전체 전달 라인(144)을 샘플로 충진하지 않고, 그 대신에, 총 전달 라인(144) 부피의 일부를 나타내는 액체 샘플 단편이 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위해서 전달 라인(144)을 통해서 전달된다. 예를 들어, 전달 라인(144)이 수백 미터까지의 길이일 수 있으나, 샘플은, 분석 시스템(102)으로의 운송 중에, 임의의 주어진 시간에 약 1 미터 이하의 전달 라인(144)을 점유할 수 있다. 라인 통해서 액체 샘플 단편을 전달하는 것이 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 전달되는 샘플의 양을 줄일 수 있지만, 그러한 샘플은, 분석 시스템(102)으로의 운송 중에 샘플 전달 라인(144) 내에서 기포 또는 간극/공극을 유발할 수 있다. 그러한 기포 또는 간극/공극은, 운송 중의 배관 사이의 오리피스들의 변화와 같은 샘플의 장거리 전달과 연관된 환경으로 인해서, 샘플들 사이에서 라인을 세정하기 위해서 이용되는 잔류 세정 유체와의 상호 작용으로 인해서, 라인 내의 잔류 유체와의 상호 작용으로 인해서, 전달 라인 전장(span)을 따른 압력 차(들)로 인해서, 또는 기타로 인해서, 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이, 액체 샘플(800)은 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 전달 라인(144)을 통해서 분석 시스템(102)이 위치되는 제1 위치까지 전달될 수 있다. 원격 샘플링 시스템(104)에 의해서 획득되는 총 샘플의 부피를 도 8에서 VTOT로 표시하였다. 도시된 바와 같이, 간극 또는 공극(802)은 원격 샘플링 시스템(104)으로부터의 운송 중에 전달 라인(144) 내에서 형성될 수 있다. 간극 또는 공극(802)은, 분석 시스템(102)에 의한 분석을 위한 충분한 양 또는 부피의 샘플을 포함하지 않는 많은 수의 샘플 단편(804)으로 구획한다. 그러한 샘플 단편(804)은 분석 시스템(102)에 의한 분석에 충분한 부피를 가지는 (VSAMPLE로 도시된) 큰 샘플 단편(806)에 선행 및/또는 후행할 수 있다. 실시예에서, 원격 샘플링 시스템(104)에 의해서 수집된 샘플의 양(예를 들어, VTOT)을 조정하여, 분석 장치(112)에 의한 분석에 충분한 양의 샘플(150)을 제공한다. 예를 들어, "피치된" 샘플(150)의 양 대 "캐치된" 샘플(150)의 양의 부피비(예를 들어, VTOT/VSAMPLE)는 적어도 약 1과 1/4(1.25)이다. 그러나, 이러한 비율은 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 일부 실시예에서, 그러한 비율은 1과 1/4보다 크고, 다른 실시예에서 그 비율은 1과 1/4보다 작다. 일 예에서, 샘플(150)(예를 들어, 농축 황산 또는 질산)의 2와 1/2 밀리리터(2.5 mL)가 피치되었고, 샘플(150)의 1 밀리리터(1 mL)가 캐치되었다. 다른 예에서, 샘플(150)의 1와 1/2 밀리리터(1.5 mL)가 피치되었고, 샘플(150)의 1 밀리리터(1 mL)가 캐치되었다. 개시내용의 실시예에서, 제1 위치와 제2 위치 사이의 거리, 제1 위치와 제2 위치 사이의 샘플 전달 라인 배관의 양, 샘플 전달 라인(144) 내의 압력, 및 기타에 상당하도록 "피치된" 샘플(150)의 양을 조정하였다. 일반적으로, VTOT/VSAMPLE의 비율은 1보다 클 수 있고, 이는 전달 중의 샘플 전달 라인(144) 내의 간극/공극(802) 및 샘플 단편(804)의 형성에 해당한다.
시스템(100)은 복수의 원격 샘플링 시스템(104) 중 어떠한 것이 그 각각의 샘플을 분석 시스템(102)에 전송하여야 하는지(예를 들어, "피치")를 선택할 수 있고, 그에 의해서 검출기(126)는 분석 시스템(102)에 보내기에(예를 들어, "캐치") 충분한 샘플이 존재하는지(예를 들어, 샘플 루프(164) 내의 VSAMPLE)의 여부 또는 공극 또는 간극이 라인 내에(예를 들어, 검출기들(126) 사이에) 존재하는지의 여부, 그에 따라 해당되는 특별한 시간에 샘플을 분석 시스템(102)에 보내지 않아야 하는지의 여부를 결정하는데 도움을 준다. 만약 기포 또는 간극이 (예를 들어, 샘플 루프(164) 내에) 존재한다면, 특히 분석 장치(112)에의 도입에 앞서서 분석 시스템(102)에서 샘플이 희석되거나 추가로 희석되어야 하는 경우에, 그러한 기포 또는 간극의 존재는 샘플의 분석의 정확도를 손상시킬 수 있는데, 이는 분석 장치(112)가 "블랭크(blank)" 용액을 분석할 수 있기 때문이다.
일부 실시예에서, 시스템(100)은, 연속적인 액체 샘플 단편(예를 들어, 샘플 단편(806))이 샘플 수용 라인(162) 및/또는 샘플 루프(164) 내에 포함되는 때를 결정하도록 구성될 수 있고, 그에 따라 시스템(100)은 간극 또는 공극(802)을 또는 작은 샘플 단편(804)을 분석 장치(112)에 전달하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 시스템(100)은 샘플 수용 라인(162)을 따른 제1 위치에서 제1 검출기(126)를 그리고 (예를 들어, 제1 위치 하류의) 샘플 수용 라인(162)을 따른 제2 위치에서 제2 검출기(126)를 포함할 수 있다. 시스템(100)은 또한 제1 검출기(126)와 제2 검출기(126) 사이에서 샘플 루프(164)를 포함할 수 있다. 실시예에서, 적어도 2개의 유동 경로 구성(예를 들어, 도 3a에 도시된 밸브(148)의 제1 유동 경로 구성; 도 3b에 도시된 밸브(148)의 제2 유동 경로 구성, 등) 사이에서 스위칭될 수 있는 다중-포트 밸브와 같은 밸브가 제1 검출기(126)와 샘플 루프(164) 사이에 그리고 제2 검출기(126)와 샘플 루프(164) 사이에 배치될 수 있다. 개시내용의 실시예에서, 시스템(100)은, 제1 위치 및 제2 위치 모두에서 동시에 액체를 등록하는 한편, 제1 위치에서 제1 검출기(126)를 통한 하이로부터 로우로의 상태의 변화를 등록하지 않음으로써, 연속적인 액체 샘플 단편이 샘플 수용 라인(162) 및/또는 샘플 루프(164) 내에 포함되는지를 결정할 수 있다. 달리 설명하면, 액체 샘플은 제1 검출기(126)로부터 제2 검출기(126)로 연속적으로 전달되고, 제2 검출기(126)가 액체 샘플의 존재를 인지할 때까지 상태의 변화는 제1 검출기(126)에 의해서 검출되지 않는다.
샘플 수용 라인이 검출기들 사이에서 연속적인 액체 단편을 포함하는 때를 결정하기 위해서 둘 이상의 검출기가 이용되는 예시적인 구현에서, 액체 단편은 샘플 수용 라인 내에 수용된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 샘플 수용 라인(162)은 액체 샘플 단편을 수용한다. 이어서, 액체 단편은 샘플 수용 라인 내의 제1 위치에서 액체 단편의 존재 및/또는 부재를 검출하도록 구성된 제1 검출기를 이용한 검출 동작을 개시함으로써 샘플 수용 라인 내의 제1 위치에서 등록된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 제1 검출기(126)는 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서 액체 샘플 단편을 로우로부터 하이로의 상태의 변화로서 검출한다. 도 9를 참조하면, 액체 샘플 단편은 시간(t1) 및 시간(t5)에서 제1 위치에서 검출될 수 있다. 이어서, 제1 위치에서 액체 단편을 등록한 이후에, 제1 검출기가 모니터링된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 제1 검출기(126)는 제어기(118)에 의해서 모니터링되고, 제1 검출기(126)는 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서 액체 샘플 단편의 부재를 하이로부터 로우로의 상태의 변화로서 검출한다. 도 9를 참조하면, 제1 위치는 시간(t1) 및 시간(t5)에서 시작하여 (예를 들어, 연속적으로, 적어도 실질적으로 연속적으로) 모니터링되고, 액체 샘플 단편의 부재는 시간(t3) 및 시간(t6)에서 제1 위치에서 검출될 수 있다.
유사하게, 액체 단편은 샘플 수용 라인 내의 제2 위치에서 액체 단편의 존재 및/또는 부재를 검출하도록 구성된 제2 검출기를 이용한 검출 동작을 개시함으로써 샘플 수용 라인 내의 제2 위치에서 등록된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 제2 검출기(126)는 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서 액체 샘플 단편을 로우로부터 하이로의 상태의 변화로서 검출한다. 도 9를 참조하면, 액체 샘플 단편은 시간(t2) 및 시간(t7)에서 제2 위치에서 검출될 수 있다. 이어서, 제2 위치에서 액체 단편을 등록한 이후에, 제2 검출기가 모니터링된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 제2 검출기(126)는 제어기(118)에 의해서 모니터링되고, 제2 검출기(126)는 샘플 수용 라인(162) 내의 제2 위치에서 액체 샘플 단편의 부재를 하이로부터 로우로의 상태의 변화로서 검출한다. 도 9를 참조하면, 제2 위치는 시간(t2) 및 시간(t7)에서 시작하여 (예를 들어, 연속적으로, 적어도 실질적으로 연속적으로) 모니터링되고, 액체 샘플 단편의 부재는 시간(t4) 및 시간(t8)에서 제2 위치에서 검출될 수 있다.
액체가 제1 위치 및 제2 위치 모두에서 동시에 등록될 때, 연속적인 액체 단편은 제1 검출기와 제2 검출기 사이에서 샘플 수용 라인 내에 등록된다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 하이 상태가 제1 검출기(126) 및 제2 검출기(126)의 각각에서 액체 샘플 단편의 존재를 나타낼 때, 제어기(118)는 샘플 수용 라인(162) 내의 연속적인 액체 샘플 단편을 (예를 들어, 제1 검출기(126)와 제2 검출기(126) 사이에 존재하는 것으로) 등록한다. 도 9를 참조하면, 액체 샘플 단편이 제2 위치에서 검출될 때, 연속적인 액체 샘플 단편이 시간(t2)에서 등록될 수 있다.
일부 실시예에서, 논리적인 AND 동작을 이용하여, 연속적인 액체 단편이 샘플 수용 라인 내에서 등록되는 때를 결정할 수 있고 샘플 수용 라인으로부터 분석 장비로의 연속적인 액체 단편의 전달을 개시할 수 있다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 제어기(118)는 제1 검출기(126) 및 제2 검출기(126)의 각각에서 하이 상태에서 논리적 AND 동작을 이용할 수 있고 밸브(148)를 이용한 샘플 루프(164)와 분석 장치(112)의 선택적인 커플링을 개시할 수 있고, 그에 따라 연속적인 액체 샘플 단편을 분석 장치(112)에 공급하기 위해서 샘플 루프(164)가 분석 장치(112)와 유체 연통되도록 동작될 수 있다. 일부 실시예에서, 제어기(118)는, 로우로부터 하이로의 상태 변화가 제1 검출기(126) 또는 제2 검출기(126)에서 등록될 때 연속적인 액체 샘플 단편을 분석 장치(112)에 공급하기 위해서 밸브(148)를 스위칭할지의 여부만을 결정할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템(100)은, 제2 검출기(126)에서의 하이 상태가 샘플 루프(164)와 분석 장치의 선택적인 커플링을 개시하기에 앞서서 소정 기간(예를 들어, 도 9에 도시된 tΔ)동안 유지될 것을 요구한다. 예를 들어, 제어기(118) 및/또는 프로세서(120)의 타이머 또는 타이밍 기능이, 제2 검출기(126)가 하이 상태를 유지한 기간을 확인할 수 있고, 그에 의해서 제2 검출기(126)가 시간(tΔ)(예를 들어, 문턱값 시간) 동안 하이 상태로 유지되었고 제1 검출기가 하이 상태에 있는 경우에, 제어기(118)는, 충분한 액체 샘플 단편(예를 들어, 도 8의 단편(806))이 캐치되었다는 것을 결정할 수 있고, 연속적인 액체 샘플 단편을 분석 장치(112)에 공급하기 위해서 밸브(148)를 스위칭할 수 있다. tΔ의 지속시간은, 샘플 또는 다른 전달 조건의 유량에 따라 달라질 수 있는 기간으로서, 해당 기간이 도과되는 경우에 제2 검출기가 공극 또는 기포를 측정하지 못할 수도 있는 기간에 상응할 수 있다.
일부 실시예에서, 제어기(118)는 하이 상태에서 및/또는 로우 상태에서 제1 검출기(126)의 타이밍을 모니터링할 수 있다. 예를 들어, 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 전달되는 샘플의 유동 특성을 알고 있는 실시예에서, 제1 검출기(126)를 모니터링하여, 제2 검출기(126)에서 하이 상태를 확인하거나 확인하지 않거나 간에, 제어기(118)가 샘플을 분석 장치(112)에 보내기에 충분한 액체 샘플이 샘플 수용 라인(162) 및/또는 샘플 루프(164) 내에 존재하는지의 여부를 개산(approximate)하기 위해서, 하이 상태에서 경과된 시간의 길이를 결정할 수 있다. 예를 들어, 샘플의 주어진 유량에 대해서, 제1 검출기(126)가 하이 상태에 있었던 시간의 길이를 모니터링하는 것에 의해서, 샘플의 부피가 개산될 수 있다. 그러나, 샘플의 유량은 펌프 기능의 요동(fluctuation), 전달되는 샘플의 유형, 샘플의 점도, 전달의 지속시간, 전달의 거리, 주변 온도 조건, 전달 라인(144) 온도 조건, 또는 기타로 인해서 용이하게 명확해지지 않을 수 있고, 그에 따라 제2 검출기(126)의 기능이 정보를 제공할 수 있다.
개시내용의 실시예에서, 본원에서 설명된 시스템 및 기술을 이용하여, 제1 검출기(126)와 제2 검출기(126) 사이의 샘플 수용 라인(예를 들어, 샘플 루프)의 일부가 기포 존재 없이 충진되었다는 것을 결정할 수 있다. 예를 들어, 도 9를 참조하여 설명된 바와 같은 시간(t3)과 시간(t5) 사이의 제1 위치에서 액체 샘플의 부재는 샘플 수용 라인(162) 내의 기포의 존재에 상응할 수 있다. 샘플 수용 라인(162) 내에 기포가 존재하지 않을 수 있는 조건에 시스템(100)이 도달하였을 때, 제어기(118)는 밸브(148)를 스위칭하여, 샘플 루프(164) 내의 유체가 (예를 들어, 분석 또는 분석 전의 샘플 컨디셔닝을 위해서) 분석 장치(112)에 전달될 수 있게 한다.
예시적인 방법
도 10은, 연속적인 액체 샘플 단편 내에 간극 또는 공극이 없이, 샘플 수용 라인이 분석 시스템에 의한 분석을 위해서 충분한 양의 샘플을 연속적인 액체 샘플 단편 내에서 포함하는 때를 결정하기 위해서 2개의 검출기가 이용되는 예시적인 구현예의 과정(810)을 도시한다. 도시된 바와 같이, 액체 단편이 샘플 수용 라인 내에 수용된다(블록(812)). 예를 들어, 샘플 수용 라인(162)은 원격 샘플링 시스템(104)에 의해서 획득되고 운송 라인(144)을 통해서 전달된 샘플을 수용할 수 있다. 과정(810)은 또한, 액체 단편이 제1 위치를 지나서 이동될 때 액체 단편의 존재 및/또는 부재를 검출하도록 구성된 제1 검출기로 샘플 수용 라인 내의 제1 위치에서 액체 단편을 등록하는 것을 포함한다(블록(814)). 예를 들어, 제1 검출기(126)는 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서 액체 샘플 단편의 존재를 측정할 수 있다. 도 9를 참조하면, 액체 샘플 단편은 시간(t1) 및 시간(t5)에서 제1 위치에서 검출된다.
다음에, 제1 위치에서 액체 단편을 등록한 이후에, 제1 검출기가 모니터링된다(블록(816)). 예를 들어, 샘플 수용 라인(162) 내의 제1 위치에서 액체 단편의 부재가 존재하는지의 여부(예를 들어, 제1 검출기(126)가, 샘플 유체의 검출을 나타내는 하이 상태로부터, 샘플 유체가 검출되지 않는 로우 상태로 전이되었는지의 여부)를 결정하도록, 제1 검출기(126)가 제어기(118)에 의해서 모니터링될 수 있다. 도 9를 참조하면, 제1 위치는 시간(t1) 및 시간(t5)에서 시작하여 (예를 들어, 연속적으로, 적어도 실질적으로 연속적으로) 모니터링된다. 이어서, 제2 위치에서 액체 단편의 존재 및/또는 부재를 검출하도록 구성된 제2 검출기를 이용한 검출 동작을 실시함으로써, 제1 위치 하류의 샘플 수용 라인 내의 제2 위치에서 액체 단편을 등록하기 전에, 샘플 수용 라인 내의 제1 위치에서 액체 단편의 부재가 등록되지 않은 때, 연속적인 액체 단편이 샘플 수용 라인 내에서 등록된다(블록(818)). 예를 들어, 도 9를 참조하면, 제1 검출기(126)는 시간(t1) 및 시간(t5)에서 샘플 유체의 존재를 검출하는 반면, 제2 검출기(126)는 시간(t2) 및 시간(t7)에서 샘플 유체의 존재를 검출한다. 제2 검출기가 해당 샘플 단편을 검출하기 전에 중간 시간에 제1 검출기(126)가 부재를 검출하지 않고, 제1 검출기에서 시간(t1)과 시간(t3) 사이의 액체 샘플 단편 만이 (시간(t2)에서 시작하여) 제2 검출기에 의해서 등록될 수 있다. 그러한 시간에, 제어기(118)는 샘플 루프(164) 내에 포함된 샘플을 분석 장치(112)에 보내도록 밸브(148)에 스위칭을 지시할 수 있다. 제2 검출기(126)가 t7에서 액체 샘플의 존재를 후속하여 검출하기 전에, 제1 검출기(126)가 t5에서 액체 샘플의 존재를 등록하는 한편, 제1 검출기는 또한 t6에서 액체 샘플의 부재를 검출한다. 따라서, 시스템(100)은, 간극 또는 공극(예를 들어, 간극/공극(802))이 샘플 루프(164) 내에 존재한다는 것을 인지할 것이고, 분석을 위해서 밸브(148)를 스위칭 하지 않을 것이고, 그 대신에 부적절한 샘플 단편(예를 들어, 액체 단편(804))이 폐기물로 전달될 수 있게 할 것이다. 본원에서 설명된 바와 같이, 제1 검출기(126)가 중간에 하이 상태에서 유지된 후에 제2 검출기(126)가 특정 기간(예를 들어, tΔ) 동안 하이 상태에서 유지되면, (예를 들어, 제어기(118)에 의해서 구현된) 타이머를 이용하여 밸브(148)가 스위칭되게 할 수 있다.
제어 시스템
시스템의 일부 또는 모든 구성요소를 포함하여, 시스템(100)이 컴퓨터 제어 하에서 동작될 수 있다. 예를 들어, 프로세서(120)가 시스템(100)과 함께 포함되거나 시스템 내에 포함되어, 소프트웨어, 펌웨어, 하드웨어(예를 들어, 고정형 로직 회로망), 수동 프로세싱, 또는 그 조합을 이용하여 본원에서 설명된 시스템의 구성요소 및 기능을 제어할 수 있다. 본원에서 사용된 바와 같이, "제어기", "기능", "서비스" 및 "로직"이라는 용어는 일반적으로, 시스템의 제어와 협력하는 소프트웨어, 펌웨어, 하드웨어, 또는 소프트웨어, 펌웨어, 또는 하드웨어의 조합을 나타낸다. 소프트웨어 구현예의 경우, 모듈, 기능, 또는 로직은, 프로세서(예를 들어, 중앙 프로세싱 유닛(CPU) 또는 CPU들)에서 실행될 때, 특정 과제를 실시하는 프로그램 코드를 나타낸다. 프로그램 코드는 하나 이상의 컴퓨터-판독 가능 메모리 장치(예를 들어, 내부 메모리 및/또는 하나 이상의 유형적 매체(tangible media)) 등에 저장될 수 있다. 본원에서 설명된 구조, 기능, 접근 방식, 및 기술은 다양한 프로세서를 가지는 다양한 상용 컴퓨팅 플랫폼에서 구현될 수 있다.
예를 들어, 분석 시스템(102), 원격 샘플링 시스템(104), 밸브(148), 펌프, 및/또는 검출기(예를 들어, 제1 검출기(126), 제2 검출기(126), 샘플 검출기(130))와 같은, 시스템의 하나 이상의 구성요소가 샘플(150)의 수집, 전달 및/또는 분석을 제어하기 위해서 제어기와 커플링될 수 있다. 예를 들어, 제어기(118)는, 성공적인 "캐치"가 제1 검출기(126) 및 제2 검출기(126)에 의해서 표시될 때(예를 들어, 양 센서가 액체를 검출할 때), 샘플 루프(164)를 분석 시스템(102)에 커플링시키는 밸브(148)를 스위칭하도록 그리고 샘플(150)을 샘플 루프(164)로부터 분석 시스템(102)으로 지향시키도록 구성될 수 있다. 또한, 제어기(118)는 "성공적이지 못한 캐치"(예를 들어, 샘플 루프(164)가 분석 시스템(102)에 의한 분석을 완료하기에 충분한 샘플(150)로 충진되지 않았을 때)를 결정하기 위한 기능을 실시할 수 있다. 일부 실시예에서, "성공적이지 못한 캐치"는, 예를 들어, 제1 검출기(126) 또는 제2 검출기(126)와 같은 센서로부터 수신된 신호의 신호 세기의 변동을 기초로 결정된다. 다른 실시예에서, 제1 검출기(126)가 샘플 수용 라인(162) 내의 샘플(150)을 나타냈고 제2 검출기(126)가 샘플 수용 라인(162) 내의 샘플(150)을 표시하지 않는 미리 결정된 시간량이 경과되었을 때, "성공적이지 못한 캐치"가 결정된다.
일부 실시예에서, 제어기(118)는, 제2 위치와 같은, 원격 위치에서 표시부와 통신 가능하게 커플링되고, 불충분한 샘플(150)이 제1 위치에서 수용될 때 제2 위치에서 표시(예를 들어, 경보)를 제공한다. 표시는 (예를 들어, 자동적으로) 부가적인 샘플 수집 및 전달을 개시하기 위해서 이용될 수 있다. 일부 실시예에서, (예를 들어, 하나 이상의 표시부 조명을 통해서, 디스플레이 판독을 통해서, 그 조합을 통해서, 기타를 통해서) 표시부는 경보를 조작자에게 제공한다. 또한, 표시는 하나 이상의 미리 결정된 조건을 기초로 (예를 들어, 다수의 샘플을 놓쳤을 때에만) 타이밍화되고 및/또는 개시될 수 있다. 일부 실시예에서, 표시부는 또한 원격 샘플링 장소에서 측정된 조건을 기초로 활성화될 수 있다. 예를 들어, 제2 위치에서의 검출기(130)를 이용하여, 샘플(150)이 원격 샘플링 시스템(104)에 제공되는 때를 결정할 수 있고, 샘플(150)이 수집되지 않을 때 표시부가 활성화될 수 있다.
일부 실시예에서, 제어기(118)는 상이한 원격 위치들로부터의 샘플들의 수집에 대해서 및/또는 상이한 유형들의 샘플들(150)에 대해서 상이한 타이밍을 제공하도록 동작될 수 있다. 예를 들어, 제어기(118)는 원격 샘플링 시스템(104)이 샘플(150)을 샘플 전달 라인(144)에 전달하기 위한 준비가 되었을 때 경보를 받을 수 있고, 샘플(150)의 샘플 전달 라인(144)으로의 전달을 개시할 수 있다. 제어기(118)는 또한 샘플(150)과 연관된 식별 정보(그리고 가능하게는 로그/기록 정보)를 수신하기 위해서 및/또는 샘플들(150)이 시스템(100) 내에 전달되는 순서를 제어하기 위해서 하나 이상의 원격 샘플링 시스템(102)과 통신 가능하게 커플링될 수 있다. 예를 들어, 제어기(118)는 다수의 샘플(150)이 원격적으로 줄지어지게 할 수 있고(queue) 하나 이상의 샘플 전달 라인(144)을 통한 샘플의 전달을 조정할 수 있다. 이러한 방식으로, 샘플(150)의 전달은 (예를 들어, 다수의 샘플 전달 라인(144)을 통해서) 다수의 동시적인 유동 경로들을 따라서 조정될 수 있고, 하나 이상의 부가적인 샘플(150)이 취해지는 동안 하나 이상의 샘플(150)이 전달될 수 있고, 기타 등등이 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 11은 시스템(100)을 위한 예시적인 제어 흐름도를 도시하고, 여기에서 2개의 원격 샘플링 시스템(104a 및 104b) 및 연관된 전달 라인(144a 및 144b)을 통해서, 샘플 위치(900) 및 샘플 위치(902)로서 도시된, 2개의 원격 샘플 위치와 유체 연통되는 분석 시스템(102)이 도시되어 있다. 도시된 실시예에서, 분석 시스템(102)은, 각각 904a 및 904b로 도시된, 원격 샘플링 시스템(104a) 및 원격 샘플링 시스템(104b)의 각각에 명령을 전송한다. 원격 샘플링 시스템(104a 및 104b) 각각은 전달 라인(144a) 및 전달 라인(144b) 각각을 통해서 각각의 샘플링 위치(원격 샘플링 시스템(104a)을 위한 샘플링 위치(900), 원격 샘플링 시스템(104b)을 위한 샘플링 위치(902))에서 획득된 샘플을 분석 시스템(102)에 전달한다. 이어서, 분석 시스템(102)은 샘플을 프로세스하여 내부의 다양한 화학물질 종 컨테이너의 양을 결정한다. 이어서, 분석 시스템(102)은 임의의 화학물질 종의 양이 원소-특정 한계(element-specific limit)(예를 들어, 샘플 내의 특정 오염물에 대한 한계)를 초과하는지의 여부를 결정한다. 실시예에서, 시스템(100)은, 독립적으로, 각각의 샘플링 위치에 대해서 그리고 독립적으로 각각의 샘플링 위치에서 특별한 화학물질 종에 대해서 오염 한계를 설정할 수 있다. 예를 들어, 특별한 금속 오염물에 대한 공차가 프로세싱 중에 감소될 수 있고, 그에 따라 특별한 화학물질 종에 대해서, 하류의 화학물질 샘플이 상류에서 취해진 화학물질 샘플보다 낮은 한계를 가질 수 있다. 도 11에 도시된 바와 같이, 분석 시스템(102)은, 화학물질 종이 원격 샘플링 시스템(104a)에 의해서 샘플링 위치(900)에서 획득된 샘플에 대한 임의의 원소-특정 한계를 초과하지 않는다는 것을 결정하였다. 이어서, 분석 시스템(102)은, 원소-특정 한계 미만의 프로세스 애플리케이션의 동작으로 인해, 908a로서 도시된 표시를 CIM 호스트(906)에 전송하여, 샘플링 위치(900)에서 프로세스 애플리케이션이 계속되게 한다. 분석 시스템(102)은, 원격 샘플링 시스템(104b)에 의해서 샘플링 위치(902)에서 획득된 샘플 내에 존재하는 적어도 하나의 화학물질 종이 원소-특정 한계(예를 들어, 샘플 내의 오염물에 대한 한계)를 초과한다는 것을 결정하였다. 이어서, 분석 시스템(102)은, 원소-특정 한계 초과의 프로세스 애플리케이션의 동작으로 인해, 908b로서 도시된 표시를 CIM 호스트(906)에 전송하여, 샘플링 위치(902)에서 프로세스 애플리케이션에 지시되는 경보를 전송한다. 이어서, CIM 호스트(906)는, 샘플링 위치(902)에서 원격 샘플링 시스템(104b)에 의해서 획득된 샘플의 분석을 기초로, 프로세스 정지 명령(910)을 통해서, 샘플링 위치(902)에서 프로세스에 지시하여, 동작을 정지시킨다. 실시예에서, CIM 호스트(906)와 시스템(100)의 구성요소 사이의 통신은 SECS/GEM 프로토콜에 의해서 촉진될 수 있다. 실시예에서, 시스템(100)은, 원소가 특별한 샘플 위치에 대한 샘플 내의 원소-특정 한계를 초과하는 것으로 결정될 때, 문맥-특정 행동(context-specific action)을 포함할 수 있고, 그러한 문맥-특정 행동은, 비제한적으로, 경보를 무시하고 프로세스 동작을 계속하는 것, 프로세스 동작을 중단시키는 것, 시스템 교정을 실행하고 이어서 한계-초과 샘플에 대해 재-실행하는 것, 또는 기타를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 경보 시에, 분석 시스템(102)은 교정(또는 다른 교정)을 실시하고 이어서 샘플을 재-실행할 수 있는 반면, 후속 경보(예를 들어, 제2 경보)는, CIM 호스트(906)가 문제 샘플링 위치에서의 프로세스에 동작 중단을 명령하게 할 수 있다.
제어기(118)는 프로세서(120), 메모리(122), 및 통신 인터페이스(124)를 포함할 수 있다. 프로세서(120)는 제어기(118)를 위한 프로세싱 기능을 제공하고, 임의 수의 프로세서, 마이크로-제어기, 또는 다른 프로세싱 시스템, 그리고 제어기(118)에 의해서 액세스되거나 생성되는 데이터 또는 다른 정보를 저장하기 위한 상주 메모리 또는 외부 메모리를 포함할 수 있다. 프로세서(120)는, 본원에서 설명된 기술을 구현하는 하나 이상의 소프트웨어 프로그램을 실행할 수 있다. 프로세서(120)는, 형성 재료 또는 내부에서 이용되는 프로세싱 메커니즘에 의해서 제한되지 않으며, 그에 따라, (예를 들어, 전자 집적 회로(IC) 구성요소를 이용하는) 반도체(들) 및/또는 트랜지스터, 등을 통해서 구현될 수 있다.
메모리(122)는, 본원에서 설명된 기능을 실시하기 위해서, 소프트웨어 프로그램 및/또는 코드 단편(code segment)과 같은, 제어기(118)의 동작과 연관된 다양한 데이터, 또는 제어기(118)의 프로세서(120) 및 가능한 다른 요소에 지시하기 위한 다른 데이터를 저장하기 위한 저장 기능을 제공하는 유형적인 컴퓨터-판독 가능 저장 매체의 예이다. 따라서, 메모리(122)는 (시스템의 구성요소를 포함하여) 시스템(100)을 동작시키기 위한 명령어의 프로그램과 같은, 데이터 등을 저장할 수 있다. 단일 메모리가 설명되었지만, 매우 다양한 유형의 메모리 및 그 조합(예를 들어, 유형적, 비-일시적 메모리)이 이용될 수 있다는 것을 주목하여야 한다. 메모리(122)는 프로세서(120)와 통합될 수 있거나, 단독형 메모리를 포함할 수 있거나, 그 모두의 조합일 수 있다.
메모리(122)는, 비제한적으로: 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 플래시 메모리(예를 들어, 보안 디지털(SD) 메모리 카드, 미니 SD 메모리 카드 및/또는 마이크로-SD 메모리 카드), 자기 메모리, 광학 메모리, 범용 직렬 버스(USB) 메모리 장치, 하드 디스크 메모리, 외부 메모리 등과 같은, 분리 가능 및 비-분리형 메모리 구성 요소를 포함할 수 있다. 구현예에서, 시스템(100) 및/또는 메모리(122)는, 가입자 식별 모듈(SIM) 카드, 범용 가입자 식별 모듈(USIM) 카드, 범용 집적 회로 카드(UICC) 등에 의해 제공되는 메모리(122)와 같은 분리 가능한 집적 회로 카드(ICC) 메모리를 포함할 수 있다.
통신 인터페이스(124)는 시스템의 구성요소와 통신하도록 동작 가능하게 구성된다. 예를 들어, 통신 인터페이스(124)는 시스템(100) 내의 저장을 위해서 데이터를 전송하도록, 시스템(100) 내의 저장부로부터 데이터를 검색하도록, 그리고 기타등등을 하도록 구성될 수 있다. 통신 인터페이스(124)가 또한 프로세서(120)와 통신 가능하게 커플링되어, (예를 들어, 제어기(118)와 통신 가능하게 커플링된 장치로부터 수신된 입력을 프로세서(120)에 통신하기 위해서) 시스템(100)의 구성요소와 프로세서(120) 사이의 데이터 전달을 돕는다. 통신 인터페이스(124)가 제어기(118)의 구성요소로서 설명되었지만, 통신 인터페이스(124)의 하나 이상의 구성요소가, 유선 및/또는 무선 연결을 통해서, 시스템(100)에 통신 가능하게 커플링된 외부 구성요소로서 구현될 수 있다는 것을 주목하여야 한다. 시스템(100)은 또한, 비제한적으로: 디스플레이, 마우스, 터치패드, 키보드, 등을 포함하는, 하나 이상의 입/출력(I/O) 장치를 포함하고 및/또는 (예를 들어, 통신 인터페이스(124)를 통해서) 그에 연결될 수 있다.
통신 인터페이스(124) 및/또는 프로세서(120)는: 3G 셀룰러 네트워크, 4G 셀룰러 네트워크, 또는 GSM(global system for mobile communications) 네트워크와 같은, 광역 셀룰러 전화 네트워크; Wi-Fi 네트워크(예를 들어, IEEE 802.11 네트워크 표준을 사용하여 동작되는 무선 근거리 네트워크(WLAN))와 같은, 무선 컴퓨터 통신 네트워크; 인터넷(internet); 인터넷(Internet); 광역 네트워크(WAN); 근거리 네트워크(LAN); 개인 영역 네트워크(PAN)(예를 들어, IEEE 802.15 네트워크 표준을 사용하여 동작되는 무선 개인 영역 네트워크(WPAN)); 공중 전화 네트워크; 엑스트라넷; 인트라넷; 등을 포함하나, 반드시 그러한 것으로 제한되지 않는, 다양한 상이한 네트워크와 통신하도록 구성될 수 있다. 그러나, 이러한 목록은 단지 예로서 제공된 것이고 본 개시내용의 제한을 의미하지 않는다. 또한, 통신 인터페이스(124)는 단일 네트워크 또는 상이한 접속 지점들에 걸친 다수의 네트워크와 통신하도록 구성될 수 있다.
예 1 - 예시적인 모니터링 시스템
일반적으로, 본원에서 설명된 시스템(100)은 임의 수의 샘플링 위치로부터 샘플을 취하기 위해서 임의 수의 원격 샘플링 시스템(104)을 통합할 수 있다. 도 12에 도시된 구현예에서, 시스템(100)은 화학물질 욕, 벌크 화학물질, 환경 유출물, 및 기타 액체 샘플을 이용하는 프로세스 설비의 5개의 상이한 위치에 배치된 (104A, 104B, 104C, 104D, 104E로 도시된) 5개의 원격 샘플링 시스템(104)을 포함한다. 원격 샘플링 시스템(104)은, 5개의 원격 샘플링 시스템(104)의 각각으로부터 원격에 배치된 분석 시스템(102)에 전달하기 위해서 상이한 위치들에서 샘플을 획득한다. 제1 원격 샘플링 시스템(104A)은 탈이온수 파이프라인(1000)에 근접 배치되고 (d5로 도시된) 약 사십 미터(40 m)의 거리만큼 분석 시스템(102)으로부터 이격된다. 제2 원격 샘플링 시스템(104B)은 분배 밸브 지점(1002)에 근접 배치되고 (d4로 도시된) 약 팔십 미터(80 m)의 거리만큼 분석 시스템(102)으로부터 이격된다. 제3 원격 샘플링 시스템(104C)은 화학물질 공급 탱크(1004)에 근접 배치되고 (d3으로 도시된) 약 팔십 미터(80 m)의 거리만큼 분석 시스템(102)으로부터 이격된다. 화학물질 공급 탱크(1004)는 화학물질 저장 탱크(1008)으로부터 원격에 배치되고, 화학물질 저장 탱크(1008)로부터 화학물질을 공급 받는다. 제4 원격 샘플링 시스템(104D)은 화학물질 공급 탱크(1006)에 근접 배치되고 (d2로 도시된) 약 팔십 미터(80 m)의 거리만큼 분석 시스템(102)으로부터 이격된다. 화학물질 공급 탱크(1006)는 화학물질 저장 탱크(1008)으로부터 원격에 배치되고, 화학물질 저장 탱크(1008)로부터 화학물질을 공급 받는다. 제5 원격 샘플링 시스템(104E)은 화학물질 저장 탱크(1004)에 근접 배치되고 (d1으로 도시된) 약 삼백 미터(300 m)의 거리만큼 분석 시스템(102)으로부터 이격된다. 5개의 원격 샘플링 시스템(104)이 도시되어 있지만, 시스템(100)은, 다른 프로세스 스트림, 화학물질 욕, 벌크 화학물질 저장부, 환경 유출물, 및 다른 액체 샘플과 같은, 프로세싱 설비 전반을 통해서 초-미량 불순물을 모니터링하기 위해서 5개 초과의 원격 샘플링 시스템(104)을 이용할 수 있다. 구현예에서, 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 분석 시스템으로의 샘플의 전달은 초당 약 1.2 미터(1.2 m/s)의 비율로 제공되어, 프로세싱 설비 전반을 통한 초-미량 불순물의 거의 실시간의 분석(예를 들어, ICPMS 분석)을 제공한다.
예 2 - 재현성
구현예에서, 분석 시스템(102)은 원격 샘플링 시스템(104)으로부터 백미터(100 m)에 배치되었다. 원격 샘플링 시스템(104)은 20개의 구분된 샘플을 획득하였고, 20개의 구분된 샘플의 각각에 존재하는 각각의 화학물질 종의 신호 세기의 결정을 위해서, 그 샘플을 분석 시스템(102)에 이송하였다. 각각의 구분된 샘플은 이하의 화학물질 종을 포함하였다: 리튬(Li), 베릴륨(Be), 붕소(B), 나트륨(Na), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 칼슘(Ca), 망간(Mn), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 구리(Cu), 아연(Zn), 게르마늄(Ge), 스트론튬(Sr), 은 (Ag), 카드뮴(Cd), 인듐(In), 주석(Sn), 안티모니(Sb), 바륨(Ba), 세륨(Ce), 하프늄(Hf), 텅스텐(W) 및 납(Pb). 분석 시스템(102)에 의한 분석 시에, 모든 화학물질 종에 대한 모든 20개의 구분된 샘플에 걸쳐, 상대 표준 편차(RSD)가 삼 퍼센트 미만(< 3%)이었다는 것이 결정되었다. 따라서, 분석 시스템(102)과 원격 샘플링 시스템(104) 사이가 백 미터인 예시적인 시스템(100)은 샘플 획득, (예를 들어, 전달 라인(144)을 통해서) 분석 시스템(102)까지 샘플을 백 미터 전달하는 것, 그리고 분석 시스템(102)으로 샘플을 분석하는 것에서 신뢰 가능한 재현성을 제공하였다.
예 3 - 수동 샘플링과의 비교 - 반도체 프로세스 예
도 13을 참조하면, 시간에 걸친 반도체 제조 프로세스에 대한 화학물질 욕(SC-1 욕)의 금속 오염을 보여주는 차트가 제공된다. 차트는 3개의 시점에서 취해진 수동 샘플로부터 측정된 금속 오염에 대한 데이터 지점을 보여주는 부분(1100)을 포함한다. 차트는 또한, 수동 샘플링 방법의 샘플링 빈도수를 초과하는 (예를 들어, 적어도 16배 내지 17배로 더 빈번한) 샘플링 빈도수로 시스템(100)으로부터 (원격 샘플링 시스템(104)으로부터) 취한 샘플로부터 측정된 금속 오염에 대한 데이터 지점에 중첩된, 부분(1100)으로부터의 수동 샘플로부터 측정된 금속 오염에 대한 데이터 지점을 보여주는 부분(1102)을 포함한다. 부분(1102)에 도시된 바와 같이, 반도체 제조 프로세스에서 오염물의 점진적인 증가가 시간에 걸쳐 발생된다. 특별한 반도체 프로세스(예를 들어, 부분(1100)으로부터의 수동 샘플링 기술)에서 화학물질을 교환하기 위한 때를 결정하는 수명 또는 수명 계수 방법(life time or life counts method)은 종종 시간에 걸친 금속 오염물의 특이성을 설명할 수 없다. 따라서, 화학물질은 종종 욕 내의 금속 오염물에 관한 지식이 없이 교환된다. 이는, 화학물질 욕이 실질적으로 부가적인 웨이퍼 프로세싱을 제공할 수 있음에도 불구하고 어쨌든 변경되는(예를 들어, 프로세스 가동 시간의 손실을 초래하는), 과다-교환을 초래할 수 있거나, 화학물질 욕이 용인될 수 없는 금속 오염물을 실제로 가짐에도 불구하고 늦은 시간까지 교환되지 않는(예를 들어, 잠재적으로 프로세스에 의해서 생산되는 웨이퍼를 위태롭게 하는), 과소-교환을 초래할 수 있다. 부분(1102)에서 볼 수 있는 바와 같이, 금속 오염은 더 많은 빈도수로 자동적으로 시스템(100)으로 추적될 수 있다. 오염 한계(1104)는, 화학물질 욕에 대한 오염물 한계에 도달될 때, CIM 호스트(906)에 경보하도록 설정된다. 그에 따라, 시스템(100)은, 오염 한계(1104)에 도달할 때, 프로세스 동작을 자동적으로 중단시키게(예를 들어, 과소-교환을 방지하게) 하는 한편, 오염 한계(1104)에 도달하지 않았을 때 프로세스가 계속될 수 있게 하며, 그에 의해서 가능할 때, 프로세스 가동 시간을 제공한다(예를 들어, 과다-교환을 방지한다).
결론
구현예에서, 다양한 분석 장치가 본원에서 설명된, 구조, 기술, 접근 방식, 등을 이용할 수 있다. 따라서, 시스템이 본원에서 설명되었지만, 다양한 분석 기구는 설명된 기술, 접근 방식, 구조 등을 이용할 수 있다. 이러한 장치는 제한된 기능(예를 들어, 얇은 장치)으로 또는 강건한 기능(예를 들어, 두꺼운 장치)으로 구성될 수 있다. 따라서, 장치의 기능은 장치의 소프트웨어 또는 하드웨어 자원, 예를 들어 프로세싱 파워, 메모리(예를 들어, 데이터 저장 용량), 분석 능력, 등과 관련될 수 있다.
일반적으로, 본원 설명된 임의의 기능이, 하드웨어(예를 들어, 집적 회로와 같은 고정 로직 회로망), 소프트웨어, 펌웨어, 수동 프로세싱, 또는 그 조합을 이용하여 구현될 수 있다. 따라서, 전술한 개시내용에서 설명된 블록은 일반적으로 하드웨어(예를 들어, 집적 회로와 같은 고정 로직 회로망), 소프트웨어, 펌웨어, 또는 그 조합을 나타낸다. 하드웨어 구성의 경우에, 전술한 개시내용에서 설명된 다양한 블록은 다른 기능과 함께 집적 회로로서 구현될 수 있다. 그러한 집적 회로는 주어진 블록, 시스템, 또는 회로의 기능, 또는 블록, 시스템, 또는 회로의 기능의 일부의 모두를 포함할 수 있다. 또한, 블록, 시스템, 또는 회로의 요소가 다수의 집적 회로에 걸쳐 구현될 수 있다. 그러한 집적 회로는, 비제한적으로: 모놀리식(monolithic) 집적 회로, 플립 칩 집적 회로, 멀티칩 모듈 집적 회로 및/또는 혼합 신호 집적 회로를 포함하는 다양한 집적 회로를 포함할 수 있다. 소프트웨어 구현예의 경우에, 전술한 개시내용에서 설명된 다양한 블록은, 프로세서에서 실행될 때 특정 과제를 실시하는 실행 가능 명령어(예를 들어, 프로그램 코드)를 나타낸다. 이러한 실행 가능 명령어는 하나 이상의 유형적인 컴퓨터 판독 가능 매체에 저장될 수 있다. 일부 그러한 경우에, 전체 시스템, 블록, 또는 회로는 그 소프트웨어 또는 펌웨어 등가물을 이용하여 구현될 수 있다. 다른 경우에, 주어진 시스템, 블록, 또는 회로의 일 부분이 소프트웨어 또는 펌웨어로 구현될 수 있는 한편, 다른 부분은 하드웨어로 구현된다.
비록 청구 대상이 구조적 특징 및/또는 프로세스 동작에 대해서 특정한 언어로 기술되었지만, 첨부된 청구 범위에서 규정된 청구 대상이 상술한 구체적인 특징 또는 작용으로 반드시 제한되는 것이 아님을 이해하여야 한다. 오히려, 상술한 구체적인 특징 및 동작은 청구 범위를 구현하는 예시적인 형태로서 개시된 것이다.

Claims (36)

  1. 유체 샘플 내에 포함된 규소의 자동 인라인 크로마토그래피의 방법이며:
    유체 전달 라인을 통해서 원격 샘플링 시스템으로부터, 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계;
    유체 샘플을 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템에 전달하는 단계;
    인라인 크로마토그래픽 분리 시스템을 통해서 결합 규소로부터 무기 규소를 분리하는 단계;
    분리된 무기 규소 및 결합 규소를 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템과 유체 연통되는 규소 검출기에 전달하는 단계; 및
    규소 검출기를 통해서 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하는 단계를 포함하는, 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    결합 규소가 중합체 형태인, 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    결합 규소가 인산 매트릭스 내에서 적어도 100 ppm(parts per million)의 농도로 유체 샘플 내에 존재하는, 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    하나 이상의 첨가 유체 샘플을 수용하는 단계; 및
    하나 이상의 첨가 유체 샘플을 규소 검출기에 전달하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    유체 전달 라인을 통해서 원격 샘플링 시스템으로부터, 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계는, 유체 전달 라인을 통해서 원격 샘플 공급원에 근접한 원격 샘플링 시스템으로부터 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계를 포함하고, 규소 검출기는 원격 샘플 공급원으로부터 먼 위치에 배치되는, 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    원격 샘플링 시스템에서 유체 샘플을 희석하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    규소 검출기를 통해서 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하는 단계는, 후속하여 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템을 통해서 결합 규소로부터 무기 규소를 분리하기 위해서, 규소 검출기를 통해서 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하는 단계를 포함하는, 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    규소 검출기는 유도 결합 플라즈마 분광분석 기구, 자외선-가시광선 분광학(UV-vis) 기구, 또는 근적외선 분광학(NIR) 기구 중 적어도 하나를 포함하는, 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    전달 라인을 가열하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    유체 샘플을 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템에 전달하는 단계는 하나 이상의 유체 샘플을 복수의 크로마토그래픽 분리 시스템에 전달하는 단계를 포함하는, 방법.
  11. 유체 샘플 내에 포함된 규소의 자동 인라인 크로마토그래피를 위한 시스템이며:
    유체 전달 라인을 통해서 원격 샘플링 시스템으로부터, 결합 규소의 존재 하에서 무기 규소를 포함하는 유체 샘플을 수용하도록 구성된 전달 라인에 커플링된 분석 시스템을 포함하고, 상기 분석 시스템은:
    유체 전달 라인과 커플링된 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템으로서, 결합 규소로부터 무기 규소의 적어도 일부를 분리하도록 구성된 적어도 하나의 규소 종분화 컬럼을 포함하는, 인라인 크로마토그래픽 분리 시스템; 및
    인라인 크로마토그래픽 분리 시스템과 유체 연통되는 규소 검출기로서, 적어도 하나의 규소 종분화 컬럼에 의해서 분리된 유체 샘플 내의 무기 규소 또는 결합 규소 중 하나 이상의 양을 결정하도록 구성되는, 규소 검출기를 포함하는, 시스템
  12. 제11항에 있어서,
    결합 규소가 중합체 형태인, 시스템.
  13. 제11항에 있어서,
    결합 규소가 인산 매트릭스 내에서 적어도 100 ppm(parts per million)의 농도로 유체 샘플 내에 존재하는, 시스템.
  14. 제11항에 있어서,
    복수의 원격 샘플링 시스템을 더 포함하고, 복수의 원격 샘플링 시스템의 각각의 원격 샘플링 시스템은, 구분된 유체 샘플을 분석 시스템에 전달하기 위해서 분석 시스템에 커플링된 구분된 전달 라인에 커플링되는, 시스템.
  15. 제11항에 있어서,
    규소 검출기는 유도 결합 플라즈마 분광분석 기구, 자외선-가시광선 분광학(UV-vis) 기구, 또는 근적외선 분광학(NIR) 기구 중 적어도 하나를 포함하는, 시스템.
  16. 제11항에 있어서,
    전달 라인을 가열하기 위해서 전달 라인과 커플링되는 가열 요소를 더 포함하는, 시스템.
  17. 유체 샘플의 분석을 위한 규소 종분화 시스템이며:
    제1 밸브로서, 인산을 포함하는 원격 샘플을 원격 샘플링 시스템으로부터 제1 밸브에 커플링된 유지 라인 내로 수용하기 위한 제1 밸브 구성을 가지는, 제1 밸브;
    제1 밸브에 유체적으로 커플링된 펌프 조립체로서, 원격 샘플 또는 희석된 원격 샘플을 제1 밸브로부터 전달하기 위한 제2 밸브 구성에서 제1 밸브와 유체적으로 커플링되는 하나 이상의 펌프를 포함하는, 펌프 조립체;
    제1 밸브에 유체적으로 커플링되는 제2 밸브로서, 제2 밸브는 분석 출력 라인, 및 종분화 컬럼을 가지는 규소 종분화 부분의 각각과 커플링되고, 제2 밸브는, 종분화 컬럼을 통해서 원격 샘플 또는 희석된 원격 샘플 내의 하나 이상의 규소 종을 분리하기 위해서, 제1 밸브와 규소 종분화 부분을 유체적으로 커플링시키는 제1 밸브 구성을 가지며, 규소 종분화 부분은 분석 출력 라인과 커플링되고 하나 이상의 규소 종을 분석 출력 라인에 전달하기 위해서 종분화 컬럼을 통해서 용리제를 지향시키도록 구성된 용리제 펌프를 더 포함하며, 제2 밸브는, 제1 밸브와 분석 출력 라인을 유체적으로 커플링시키고 규소 종분화 시스템을 우회하는 제2 밸브 구성을 가지는, 제2 밸브를 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    규소 종분화 부분이 종분화 밸브 및 용리제 밸브를 더 포함하고, 종분화 밸브는 종분화 컬럼에 커플링되고, 용리제 밸브는 용리제 펌프와 종분화 밸브 사이에 커플링되는, 규소 종분화 시스템.
  19. 제18항에 있어서,
    용리제 밸브는, 용리제를 용리제 공급원으로부터 용리제 펌프 내로 끌어 들이기 위해서 용리제 펌프와 용리제 공급원을 유체적으로 커플링시키는 제1 밸브 구성을 포함하고, 그리고 용리제를 종분화 밸브로 전달하기 위해서 용리제 펌프를 종분화 밸브와 유체적으로 커플링시키는 제2 밸브 구성을 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  20. 제18항에 있어서,
    종분화 밸브는, 원격 샘플 또는 희석된 원격 샘플을 샘플 라인 내로 로드하기 위해서 종분화 밸브에 커플링된 샘플 라인을 제2 밸브와 유체적으로 커플링시키는 제1 밸브 구성을 포함하고, 그리고 원격 샘플 또는 희석된 원격 샘플을 종분화 컬럼에 도입하기 위해서 샘플 라인과 종분화 컬럼을 유체적으로 커플링시키는 제2 밸브 구성을 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  21. 제20항에 있어서,
    종분화 밸브는 용리제 펌프로부터 용리제를 수용하도록 그리고, 제2 밸브 구성에 있을 때, 용리제를 샘플 라인 내로 지향시켜 원격 샘플 또는 희석된 원격 샘플을 종분화 컬럼을 통해서 분석 출력 라인으로 밀도록 구성되는, 규소 종분화 시스템.
  22. 제17항에 있어서,
    분석 출력 라인은 유도 결합 플라즈마 분광분석 기구, 자외선-가시광선 분광학(UV-vis) 기구, 또는 근적외선 분광학(NIR) 기구 중 적어도 하나와 유체적으로 커플링되는, 규소 종분화 시스템.
  23. 제17항에 있어서,
    규소 종분화 부분은 복수의 규소 종분화 부분을 포함하고, 복수의 규소 종분화 부분의 각각의 규소 종분화 부분이 별개의 종분화 컬럼을 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    제2 밸브는, 하나의 시점에(at a time), 제1 밸브를 복수의 규소 종분화 부분 중 하나의 규소 종분화 부분에 유체적으로 커플링시키는, 규소 종분화 시스템.
  25. 제23항에 있어서,
    복수의 규소 종분화 부분의 각각의 규소 종분화 부분이 별개의 용리제 펌프를 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  26. 제23항에 있어서,
    복수의 규소 종분화 부분 중 적어도 하나의 규소 종분화 부분은, 하나의 시점에, 복수의 규소 종분화 부분 중 각각의 다른 규소 종분화 부분과 상이한 동작 상태인, 규소 종분화 시스템.
  27. 제26항에 있어서,
    복수의 규소 종분화 부분은 제1 규소 종분화 부분 및 제2 규소 종분화 부분을 포함하고, 제2 규소 종분화 부분이 컬럼 컨디셔닝 동작에 있는 동안 제1 규소 종분화 부분은 종분화 동작에 있는, 규소 종분화 시스템.
  28. 제23항에 있어서,
    복수의 규소 종분화 부분이 4개의 규소 종분화 부분을 포함하는, 규소 종분화 시스템.
  29. 규소 종분화 시스템을 통한 유체 샘플의 취급 방법이며:
    제1 밸브로 원격 샘플링 시스템으로부터 인산을 포함하는 유체 샘플을 수용하는 단계;
    제1 밸브가 제1 밸브 구성에 있을 때 제1 밸브에 커플링된 유지 라인 내로 유체 샘플을 지향시키는 단계;
    제1 밸브가 제2 밸브 구성에 있는 동안 적어도 하나의 펌프의 동작을 통해서 유체 샘플을 유지 라인으로부터 제2 밸브로 전달하는 단계로서, 제2 밸브는 분석 출력 라인, 및 종분화 컬럼을 가지는 규소 종분화 부분의 각각과 커플링되는, 단계;
    제2 밸브가 제1 밸브 구성에 있을 때, 유체 샘플을 제2 밸브로부터 규소 종분화 부분으로 전달하여, 종분화 컬럼을 통해서 하나 이상의 규소 종을 유체 샘플로부터 분리하고, 하나 이상의 규소 종을 분석 출력 라인에 전달하는 단계; 및
    제2 밸브가 제2 밸브 구성에 있을 때, 유체 샘플을 제2 밸브로부터 분석 출력 라인에 전달하는 단계를 포함하는, 방법.
  30. 제29항에 있어서,
    규소 종분화 부분이 종분화 밸브 및 용리제 밸브를 더 포함하고, 종분화 밸브는 종분화 컬럼에 커플링되고, 용리제 밸브는 용리제 펌프와 종분화 밸브 사이에 커플링되는, 방법.
  31. 제30항에 있어서,
    제2 밸브가 제1 밸브 구성에 있을 때, 유체 샘플을 제2 밸브로부터 규소 종분화 부분으로 전달하여, 종분화 컬럼을 통해서 하나 이상의 규소 종을 유체 샘플로부터 분리하고, 하나 이상의 규소 종을 분석 출력 라인에 전달하는 단계가:
    유체 샘플을 종분화 밸브에 커플링된 샘플 라인에 전달하고, 용리제를 용리제 밸브로부터 샘플 라인에 전달하고, 유체 샘플 및 용리제를 종분화 컬럼에 전달하며, 종분화 컬럼을 통해서 하나 이상의 규소 종을 유체 샘플로부터 분리하고, 그리고 하나 이상의 규소 종을 분석 출력 라인에 전달하는 단계를 포함하는, 방법.
  32. 제29항에 있어서,
    하나 이상의 규소 종 또는 유체 샘플 중 적어도 하나를 분석 출력 라인으로부터 유도 결합 플라즈마 분광분석 기구, 자외선-가시광선 분광학(UV-vis) 기구, 또는 근적외선 분광학(NIR) 기구 중 적어도 하나에 전달하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  33. 제29항에 있어서,
    제2 밸브는 별개의 종분화 컬럼을 각각 가지는 복수의 규소 종분화 부분과 커플링되고, 제2 밸브가 제1 밸브 구성에 있을 때, 유체 샘플을 제2 밸브로부터 규소 종분화 부분으로 전달하는 단계는, 제2 밸브가 제1 밸브 구성에 있을 때 유체 샘플을 제2 밸브로부터 복수의 종분화 부분 중 하나의 규소 종분화 부분에 전달하는 단계를 포함하는, 방법.
  34. 제33항에 있어서,
    유체 샘플을 제2 밸브로부터 복수의 종분화 부분 중 하나의 규소 종분화 부분으로 전달하는 단계는, 복수의 종분화 부분 중 유체 샘플을 지향시키기 위한 규소 종분화 부분을 선택하고 유체 샘플을 제2 밸브로부터 복수의 종분화 부분 중 선택된 규소 종분화 부분으로 전달하는 단계를 포함하는, 방법.
  35. 제33항에 있어서,
    선택되는 규소 종분화 부분이, 선택된 규소 종분화 부분의 동작 상태를 기초로 선택되는, 방법.
  36. 제33항에 있어서,
    선택된 규소 종분화 부분이, 복수의 종분화 부분 중 각각의 다른 규소 종분화 부분의 동작 상태와 상이한 동작 상태인, 방법.
KR1020180106449A 2017-09-08 2018-09-06 인산 내에서 규소 종을 검출하기 위한 자동화된 시스템 KR102604158B1 (ko)

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