KR20190019796A

KR20190019796A - Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품

Info

Publication number: KR20190019796A
Application number: KR1020170144474A
Authority: KR
Inventors: 권상균; 유한울; 심철민; 최창학; 정종석
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2017-08-18
Filing date: 2017-11-01
Publication date: 2019-02-27
Also published as: KR102465581B1; US20230160047A1; JP7322350B2; JP2019035140A

Abstract

본 발명은 일 실시 형태는 (Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-} _gM² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 만족하는 Fe계 나노결정립 합금을 제공한다.

Description

Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품 {FE-BASED NONOCRYSTALLINE ALLOY AND ELECTRONIC COMPONENT USING THE SMAE}

본 발명은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품에 관한 것이다.

인덕터, 트랜스, 모터 자심, 무선전력전송장치 등의 기술 분야의 경우, 소형화 및 고주파수 특성이 향상된 연자성 재료를 개발하고자 하고 있으며 최근 Fe계 나노결정립 합금이 주목 받고 있다.

Fe계 나노결정립 합금은 투자율이 높고 기존 페라이트 대비 2배 이상의 포화자속밀도를 가지며, 기존 금속에 비해 고주파수에서 작동이 된다는 장점이 있다.

그러나, 최근 그 성능의 한계가 나타나 포화자속밀도 향상을 위한 새로운 나노결정립 합급 조성의 개발이 진행되고 있다. 특히 자기유도방식의 무선전력송신장비는 주변 금속물에 의해 받은 EMI/EMC 영향 및 무선전력송신효율향상을 위해 자성체를 사용하고 있다.

이러한 자성체는 효율향상 및 장치의 경박단소화 특히, 고속충전을 위해 높은 포화자속밀도를 가지는 자성체를 적용하고자 한다. 그러나, 높은 포화자속밀도를 가지는 자성체는 손실이 높아 발열이 발생하여 적용에 한계가 있다.

본 발명의 일 목적은 모상의 비정질성이 우수하여 높은 포화자속밀도를 가지면서도 손실이 낮은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품을 제공하는 것이다. 이러한 Fe계 나노결정립 합금의 경우, 분말 형태에서도 나노결정립 생성이 용이하며 포화자속밀도 등과 같은 자기적 특성이 우수하다.

상술한 과제를 해결하기 위한 방법으로, 본 발명은 일 실시 형태를 통하여 신규한 Fe계 나노결정립 합금을 제안하고자 하며, 구체적으로, (Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-g}M² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 만족한다.

일 실시 예에서, 중량비를 기준으로 C 함량 / (Fe 함량 + C 함량)은 0.1%보다 크거나 같고 0.7%보다 작거나 같을 수 있다.

일 실시 예에서, D₅₀이 20um 이상인 분포를 갖는 다수의 입자 형태일 수 있다.

일 실시 예에서, 모상이 비정질 단상 구조일 수 있다.

일 실시 예에서, 열처리 후 결정립의 크기가 50nm 이하일 수 있다.

일 실시 예에서, 1.4T 이상의 포화자속밀도를 가질 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 측면은,

코일부 및 상기 코일부를 봉합하며, 절연체 및 상기 절연체에 분산된 다수의 자성 입자를 포함하는 봉합재를 포함하며, 상기 자성 입자는 (Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-g}M² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 만족하는 Fe계 나노결정립 합금을 포함하는 전자부품을 제공한다.

일 실시 예에서, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 중량비를 기준으로 C 함량 / (Fe 함량 + C 함량)은 0.1%보다 크거나 같고 0.7%보다 작거나 같을 수 있다.

일 실시 예에서, 상기 다수의 자성 입자는 D₅₀이 20um 이상일 수 있다.

일 실시 예에서, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 모상이 비정질 단상 구조일 수 있다.

일 실시 예에서, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 결정립의 크기가 50nm 이하일 수 있다.

일 실시 예에서, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 1.4T 이상의 포화자속밀도를 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 모상의 비정질성이 우수하여 높은 포화자속밀도를 가지면서도 손실이 낮은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품을 구현할 수 있다. 이러한 Fe계 나노결정립 합금의 경우, 분말 형태에서도 나노결정립 생성이 용이하며 포화자속밀도 등과 같은 자기적 특성이 우수하다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 코일부품을 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선에 의한 단면도이다.
도 3은 도 2의 코일부품에서 봉합재 영역을 확대하여 나타낸 것이다.
도 4 및 도 5는 각각 비교 예와 실시 예에 따른 조성물들에 대한 XRD 분석 그래프를 나타낸 것이다.
도 6 내지 10은 표 2의 결과를 C 함량에 따라 그래프로 나타낸 것으로서 도 6은 투자율, 도 7은 코어 손실, 도 8은 히스테리시스 손실, 도 9는 에디 손실, 도 10은 포화자속밀도에 해당한다.

이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 통상의 기술자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.

그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. 나아가, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 Fe계 나노결정립 합금이 사용될 수 있는 예로서 무선충전 시스템을 설명한다. 도 1은 일반적인 무선충전 시스템을 개략적으로 나타낸 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 주요 내부 구성을 분해하여 도시한 단면도이다.

전자부품

이하에서는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 전자부품을 설명하며, 대표적인 예로서 코일부품을 선정하였다. 다만, 후술할 Fe계 나노결정립 합금은 코일부품 외에도 다른 전자부품, 예컨대, 무선충전장치, 필터 등에도 적용될 수 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태의 코일부품의 외형을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 또한, 도 2는 도 1의 I-I'선에 의한 단면도이다. 도 3은 도 2의 코일부품에서 봉합재 영역을 확대하여 나타낸 것이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 코일부품(100)은 주요하게는 코일부(103), 봉합재(101), 외부 전극(120, 130)을 포함하는 구조이다.

봉합재(101)는 코일부(103)를 봉합하여 이를 보호하며, 도 3에 도시된 형태와 같이, 다수의 자성 입자(111)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 자성 입자(111)가 수지 등으로 이루어진 절연체(112)에 분산된 형태일 수 있다. 이 경우, 자성 입자(111)는 Fe계 나노결정립 합금을 포함하여 이루어질 수 있으며, 구체적인 조성에 대해서는 후술한다. 본 실시 형태에서 제안하는 조성의 Fe계 나노결정립 합금을 이용할 경우, 분말 형태로 제조되는 경우에도 나노결정립의 크기와 상(phase) 등이 적절히 제어되어 인덕터에 사용되기에 적합한 자기적 특성을 나타내었다.

코일부(103)는 코일부품(100)의 코일로부터 발현되는 특성을 통하여 전자 기기 내에서 다양한 기능을 수행하는 역할을 한다. 예를 들면, 코일부품(100)은 파워 인덕터일 수 있으며, 이 경우 코일부(103)는 전기를 자기장 형태로 저장하여 출력 전압을 유지하여 전원을 안정시키는 역할 등을 수행할 수 있다. 이 경우, 코일부(103)를 이루는 코일 패턴은 지지부재(102)의 양면 상에 각각 적층된 형태일 수 있으며, 지지부재(103)를 관통하는 도전성 비아를 통하여 전기적으로 연결될 수 있다. 코일부(103)는 나선(spiral) 형상으로 형성될 수 있는데, 이러한 나선 형상의 최외곽에는 외부전극(120, 130)과의 전기적인 연결을 위하여 봉합재(101)의 외부로 노출되는 인출부(T)를 포함할 수 있다. 코일부(103)를 이루는 코일 패턴의 경우, 당 기술 분야에서 사용되는 도금 공정, 예컨대, 패턴 도금, 이방 도금, 등방 도금 등의 방법을 사용하여 형성될 수 있으며, 이들 공정 중 복수의 공정을 이용하여 다층 구조로 형성될 수도 있다.

코일부(103)를 지지하는 지지부재(102)의 경우, 폴리프로필렌글리콜(PPG) 기판, 페라이트 기판 또는 금속계 연자성 기판 등으로 형성될 수 있다. 이 경우, 지지부재(102)의 중앙 영역에는 관통 홀이 형성될 수 있으며, 상기 관통 홀에는 자성 재료가 충진되어 코어 영역(C)을 형성할 수 있는데, 이러한 코어 영역(C)은 봉합재(101)의 일부를 구성한다. 이와 같이, 자성 재료로 충진된 형태로 코어 영역(C)을 형성함에 따라 코일부품(100)의 성능을 향상시킬 수 있다.

외부전극(120, 130)은 봉합재(101)의 외부에 형성되어 인출부(T)와 각각 접속된다. 외부전극(120, 130)은 전기 전도성이 뛰어난 금속을 포함하는 페이스트를 사용하여 형성할 수 있으며, 예를 들어, 니켈(Ni), 구리(Cu), 주석(Sn) 또는 은(Ag) 등의 단독 또는 이들의 합금 등을 포함하는 전도성 페이스트일 수 있다. 또한, 외부전극(120, 130) 상에 도금층(미 도시)을 더 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 도금층은 니켈(Ni), 구리(Cu) 및 주석(Sn)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 니켈(Ni)층과 주석(Sn)층이 순차로 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이 본 실시 형태의 경우, 자성 입자(111)는 분말 형태로 제조 시 자기적 특성이 우수한 Fe계 나노결정립 합금을 포함하며 이하, 상기 합금에 관한 특징을 상세히 설명한다. 다만, 후술할 Fe계 나노결정립 합금은 분말 형태 외에도 금속 박판 형태 등으로도 활용될 수 있다. 또한, 이러한 합금은 인덕터 외에도 트랜스, 모터 자심, 전자파 차폐 시트 등에 이용될 수 있다.

Fe계 나노결정립 합금

본 발명의 발명자들의 연구에 의하면, 특정 조성의 Fe계 나노결정립 합금의 경우, 상대적으로 직경이 큰 입자나 두께가 두꺼운 금속 리본 형태로 제조 시 모상의 비정질성이 높은 것을 확인할 수 있었다. 모상의 비정질 성능과 포화자속밀도가 우수한 합금 조성의 범위를 확인하였고 특히 C를 첨가하고 그 함량을 적절히 조절함으로써 종래보다 포화자속밀도가 향상되는 것을 확인하였다. 여기서 상대적으로 직경이 큰 입자라 함은 D₅₀이 약 20um인 경우로 정의될 수 있으며, 예컨대, 자성 입자(111)들의 D₅₀이 약 20-40um인 경우에 해당한다. 또한, 금속 리본 형태로 제조되는 경우는 약 20um 이상의 두께를 갖는 경우에 해당하며, 다만, 직경이나 두께의 기준은 절대적인 것은 아니며 상황에 따라 변경될 수 있다.

이렇게 비정질성이 높은 합금을 열처리할 경우 나노결정립의 크기를 효과적으로 제어할 수 있었다. 구체적으로, (Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-g}M² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 갖는다. 이러한 조성의 합금은 모상이 비정질 단상 구조(혹은 모상의 대부분이 비정질 단상 구조)를 가질 수 있으며, 열처리 후 결정립의 크기가 50nm 이하 수준으로 제어될 수 있다.

이 경우, 투자율이나 손실 등의 자기적 특성은 P와 C의 함량에 영향을 받으며, 특히 C의 함량에 큰 영향을 받는다. 구체적으로, 중량비를 기준으로 C 함량 / (Fe 함량 + C 함량)은 0.1%보다 크거나 같고 0.7%보다 작거나 같은 경우에 우수한 특성을 보임이 확인되었다.

이하, 본 발명의 발명자들의 실험 결과를 상세히 설명한다. 아래 표 1은 실험에 사용된 비교 예와 실시 예의 조성들을 나타낸 것이며, C의 함량을 위주로 변화를 주었다. 그리고 도 4 및 도 5는 각각 비교 예와 실시 예에 따른 조성물들에 대한 XRD 분석 그래프를 나타낸 것이다. 구체적으로, 도 4는 비교 예 1의 XRD 분석 결과이며, 비교 예 1 조성은 분말 제작 시 비정질과 결정질이 혼합되어 분말이 제작됨을 알 수 있다. 도 5는 실시 예를 대표하는 XRD 분석 결과이며, 실시 예 조성 전체에서 나타난다. 그 결과는 실시 예 조성은 분말 제작 시 모두 비정질상으로 제작이 가능함을 확인할 수 있다.

아래 표 2는 각각의 합금 조성물에서 탄소(C)의 함량에 따른 자기적 특성(포화자속밀도, 투자율, 코어 손실, 히스테리시스 손실, 에디 손실)의 변화를 정리하여 나타낸 것이다. 여기서 탄소(C)의 함량은 원자%와 철(Fe)의 함량에 대한 중량비로 나누어서 표시하였다. 그리고 도 6 내지 10은 표 2의 결과를 C 함량에 따라 그래프로 나타낸 것으로서 도 6은 투자율, 도 7은 코어 손실, 도 8은 히스테리시스 손실, 도 9는 에디 손실, 도 10은 포화자속밀도에 해당한다.

표 2와 도 6 내지 10의 결과로부터, 우선, 비교 예 1에 비해 비교 예 2를 포함한 다른 조성물들의 경우, C을 첨가함에 따라 비정질 성능이 향상됨을 확인할 수 있었다. 또한, 자기적 특성의 경우, C 함량에 따라 변화하는 것을 확인 할 수 있었는데, 중량비를 기준으로 (C 함량)/(Fe 함량 + C 함량)에 따라 특성의 변화가 나타났다. 구체적으로, 투자율과 손실 특성의 경우, C의 중량 비율이 1% 이하에서 우수한 특성을 나타내는 경향을 보였다. 그리고 포화자속밀도의 경우, 0.1% ~ 0.7% 범위에서 C를 첨가하지 않은 조성에 비해 1.44T 이상으로 특성이 향상되는 것을 확인할 수 있었다.

이와 같이, 표 1 및 표 2에 나타난 결과는 P를 특정 함량으로 첨가한 상기 Fe계 나노결정립 합금의 경우, 20um 이상의 크기를 갖는 분말 형태에서도 투자율, Bs (약, 1.4T 이상) 및 코어 손실 특성이 우수함을 확인할 수 있다. 이하, Fe계 나노결정립 합금을 이루는 원소 중 Fe 외의 주요 원소들에 대하여 설명한다.

붕소(Boron, B)는 비정질을 형성하기 위한 주요 원소이며, 비정질상을 형성을 안정화하기 위한 원소이다. B는 Fe 등이 나노 결정으로 결정화되는 온도를 증가시키며, 자기적 특성을 결정하는 Fe 등과 합금화되는 에너지가 높기 때문에 나노 결정이 형성되는 과정에서 합금화되지 않는 특징이 있다. 따라서, Fe계 나노결정립 합금에는 B의 첨가가 필요하다. 그러나, B 함량이 지나치게 많아지는 경우 나노결정화가 힘들며 포화자속밀도가 낮아지는 문제점이 있다.

실리콘(Silicon, Si)은 B와 유사한 기능을 하며, 비정질을 형성하기 위한 주요 원소로서 비정질상을 형성을 안정화하기 위한 원소이다. 다만, Si은 B와는 다르게 나노결정이 형성되는 온도에서도 Fe와 같은 강자성체와 합금화되어 자기적 손실을 감소시키기도 하지만, 나노결정화 시에 발생되는 열이 많아진다. 특히 Fe 함량이 높은 조성에서는 나노결정의 크기를 제어하기가 어려운 것을 본 발명자들의 연구 결과에서 확인되었다.

니오븀(Niobium, Nb)은 나노결정립의 크기를 제어하는 원소로 Fe 등과 같은 나노 크기로 형성된 결정립이 확산에 의해 성장하지 않도록 제한하는 역할을 한다. 일반적으로 Nb 함량은 약 3at%로 최적화되었으나, 본 발명자들이 행한 실험에서는 Fe 함량 증가로 인하여 기존 Nb 함량보다는 낮은 상태에서 나노결정립 합금 형성을 시도하였고 그 결과 3at%보다 낮은 상태에서도 나노결정립이 형성되고 특히 Fe 함량이 증가 함에 의해 Nb 함량 또한 증가된 양이 필요하다는 일반적인 기술과는 다르게 오히려 Fe 함량이 높고 나노결정립의 결정화 에너지가 바이모달(bimodal) 형상으로 형성되는 조성 범위에서는 기존 Nb 함량보다는 낮은 경우에서 자기적 특성이 향상됨을 확인하였다. 오히려 Nb 함량이 높은 경우에 자기적 특성인 투자율이 감소하고 손실이 증가하는 것을 확인하였다.

인(Phosphor, P)은 비정질 및 나노결정립 합금에서 비정질성을 향상시키는 원소로 기존 Si과 B과 함께 준금속(metalloid)으로 알려져 있다. 그러나, B에 비해 강자성 원소인 Fe와의 결합에너지가 높아 Fe+P화합물이 형성될 경우 자기적 특성 열화가 커져 상용화되지 않다가, 최근 High Bs 조성 개발에 의해 높은 비정질성 확보를 위해 연구되고 있다.

탄소(C)는 비정질 및 나노결정립 합금에서 비정질성을 향상시키는 원소이며, Si, B 및 P와 같이 준금속(metalloid)으로 알려져 있다. 비정질성 향상을 위한 참가원소는 주원소인 Fe와 공정 조성(eutectic composition)을 가지며 Fe와 혼합열(mixing enthalpy)이 음의 값을 가지는 것을 특징으로 한다. 본 발명자들은 탄소의 이러한 특성을 고려하여 합금 조성물의 일부로서 사용하였으며, 다만, 탄소는 합금의 보자력을 증가시키는 특성이 있다. 이에 본 발명자들은 연자성 특성에 영향을 미치지 않으면서 비정질 특성을 향상시킬 수 있는 탄소의 조성범위를 확보하였다.

구리(Copper, Cu)는 나노결정립이 형성되기 위한 핵 생성 형성에너지를 낮추어주는 시드의 역할을 하는 것으로 기존 나노결정립 형성과 크게 차이 나지 않았다.

본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.

100: 코일 부품
101: 봉합재
102: 지지부재
103: 코일부
111: 자성 입자
112: 절연체
120, 130: 외부전극
C: 코어 영역

Claims

(Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-g}M² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 만족하는 Fe계 나노결정립 합금.
제1항에 있어서,
중량비를 기준으로 C 함량 / (Fe 함량 + C 함량)은 0.1%보다 크거나 같고 0.7%보다 작거나 같은 Fe계 나노결정립 합금.
제1항에 있어서,
D₅₀이 20um 이상인 분포를 갖는 다수의 입자 형태인 Fe계 나노결정립 합금.
제1항에 있어서,
모상이 비정질 단상 구조인 Fe계 나노결정립 합금.
제1항에 있어서,
열처리 후 결정립의 크기가 50nm 이하인 Fe계 나노결정립 합금.
제1항에 있어서,
1.4T 이상의 포화자속밀도를 갖는 Fe계 나노결정립 합금.
코일부; 및
상기 코일부를 봉합하며, 절연체 및 상기 절연체에 분산된 다수의 자성 입자를 포함하는 봉합재를 포함하며,
상기 자성 입자는 (Fe_(1-a)M¹ _a)_{100-b-c-d-e-f-g}M² _bB_cP_dCu_eM³ _g의 조성식으로 표현되되, 여기서, M¹은 Co 및 Ni로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M²는 Nb, Mo, Zr, Ta, W, Hf, Ti, V, Cr 및 Mn으로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소이고, M³는 C, Si, Al, Ga 및 Ge로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 2종의 원소이되 C는 반드시 포함하며, a, b, c, e, g는 원자%를 기준으로 0≤a≤0.5, 1.5<b≤3, 10≤c≤13, 0<d≤4, 0<e≤1.5, 8.5≤g≤12의 함량 조건을 만족하는 Fe계 나노결정립 합금을 포함하는 전자부품.
제7항에 있어서,
상기 Fe계 나노결정립 합금은 중량비를 기준으로 C 함량 / (Fe 함량 + C 함량)은 0.1%보다 크거나 같고 0.7%보다 작거나 같은 전자부품.
제7항에 있어서,
상기 다수의 자성 입자는 D₅₀이 20um 이상인 전자부품.
제7항에 있어서,
상기 Fe계 나노결정립 합금은 모상이 비정질 단상 구조인 전자부품.
제7항에 있어서,
상기 Fe계 나노결정립 합금은 결정립의 크기가 50nm 이하인 전자부품.
제1항에 있어서,
상기 Fe계 나노결정립 합금은 1.4T 이상의 포화자속밀도를 갖는 전자부품.